JPH0437712A - 液晶表示パネル用プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、液晶表示パネル用プローバに関し、目視に
よる表示検査に用いられるものに利用して有効な技術に
関するものである。

〔従来の技術〕

液晶表示パネルは、薄型軽量で低消費電力であることか
ら、ランプトップ型又はノートブック型パーソナルコン
ピュータ等の表示装置として実用化が図られている。液
晶表示パネル用プローバの例としては、例えば特開昭６
１−７０５７９号公報がある。このプローバは、表示パ
ネルの載置台に対してＸ軸ステージにより表示パネルの
Ｘ軸に沿って平行移動するＸプローブヘッドと、Ｙ軸ス
テージにより表示パネルのＹ軸に沿って平行移動するＹ
プローブヘッドとともに、表示パネルのＸ軸及びＹ軸に
沿って平行移動するＸＹステージにより表示パネルの任
意の位置に接触する第３のプローブヘッドを設けるもの
である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の液晶表示パネル用プローバは、ガラス基板上に形
成されたＴＰＴ）ランジスタのスイッチング動作を電気
的に測定するためのものであり、完成された液晶表示パ
ネルを目視により表示検査を行うことができない。

液晶表示パネルは、静電気の影響を受は易く、上記目視
検査にあたっては人手による搬送は静電気により素子を
破壊させる虞れがあるためタブ−とされている。また、
液晶表示パネルは視野角が狭く、検査者が所定の視角を
もって検査できるように表示パネルを傾斜させる必要が
ある。

この発明の目的は、自動搬入／搬出機能と視角調整を実
現した液晶表示パネル用プローバを提供することにある
。

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。

〔発明が解決しようとする課題〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。

すなわち、パネル搬送装置により検査を行うべき複数の
液晶表示パネルが水平状態に置かれて収納される収納容
器の液晶表示バふルをその裏面側から支えるとともに真
空吸着して取り出し又は検査が終了した液晶表示パネル
を所定の収納容器に収めるとともに、ハックライトが内
蔵され、上記真空吸着するアームの厚みより高い高さを
持ち、上記ローディングの部分を除く液晶表示パネルの
周辺部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置台に載せ
られた液晶表示パネルの電極に対してプローブアッセン
ブリにより電気的接触を行うとともに、表示目視検査を
行うときにプローブアッセンブリのプローブと接触され
た状態で測定載置台を検査者との視角に対応じて所定角
度に傾ける角度調整機構を設ける。

〔作　用〕

上記した手段によれば、比較的大型で重量のある液晶表
示パネルの自動搬送が可能となり、目視検査のときに液
晶表示パネルの電極にプローブを当てた状態で測定載置
台を検査者との視角に対応じて傾けることができから検
査能率の向上を図ることができる。

〔実施例〕

第１図には、この発明に係る液晶表示パネル用ブローハ
の一実施例の要部概略斜視図が示δれている。

カセットＣＡＩとＣＡ２は、検査を行うべき又は検査が
終了した複数からなる液晶表示パネルを所定の間隔を持
って積み重ねるように収納する収納容器である。すなわ
ち、内側の左右に液晶表示パネルの周辺上下を挟むよう
な突起部か設けられる。これらのカセットＣＡＩとＣＡ
２は、ヘースＢＡＳ　１上にあって、同図のＹ軸方向に
スライドすることの他、カセットＣＡＬとＣＡ２を載せ
たまま、上下（Ｕ／Ｄ）に移動可能にされる。

特に制限されないが、上記カセ７１ＣＡＩは、検査を行
うべき液晶表示パネルと、検査の結果により不良とされ
た液晶表示パネルの収納とに併用される。これに対して
、カセットＣＡ２は、検査の結果、良品と判定された液
晶表示パ名ルの収納に利用される。これにより、２つの
カセ７）ＣＡ１とＣＡ２を用いて上記のような３通りの
使い方が可能になる。

上記カセｙ　）　ＣＡ　１から検査を行うべき液晶表示
パネルを搬出させるためにローディングアームＬＯＤが
用いられる。ローディングアームＬＯＤは１．そのアー
ムの先端部分がベースＢＡＳ　２のＸ及びＹ方向の移動
制御によりカセットｃＡ１に収納された検査を行うべき
液晶表示パネルの裏面にまで延び、その裏面から支える
とともに真空吸着を行うチャックトップＣＴＩを持つ。

上記チャックトップＣＴＩと検査を行うべき液晶表示パ
ネルとの上記のような高さ調整は、カセットＣＡ１がｉ
載されたベースＢＡＳ　１のＵ／Ｄコントロールにより
行われる。

上記ローディングアームＬＯＤは、ベースＢＡＳ２に搭
載され、同図に示すようにＸ及びＹ方向の他、θ方向に
アームを回転させる機能を持つ。

このような位置制御は、ステッピングモータ等により電
気的にコントロールされる。

検査が終了した液晶表示パネルは、アンローディングア
ームＵＬＡによりその判定結果に応じてカセットＣＡＬ
又はカセットＣＡ２に搬入される。

このアンローディングアームＵＬＡは、ベースＢＡＳ３
に搭載され、特に制限されないが、同図のＸ軸方向のみ
の移動制御が行われる。

箱状のコンタクトニ７ト（測定載置台）Ｃｌは、バンク
ライトを内蔵している。その表面には枠状のパネル吸着
部ＣＰが設けられる。この吸着部ＣＰは、液晶表示パネ
ルの画素が形成されない周辺部に対応した枠状をしてお
り、その高さがローディングアームＬＯＤ又はアンロー
ディングアームＵＬＡの厚み（高さ）より高く形成され
ている。吸着部ｃｐの表面には、液晶表示パネルの裏面
に対して真空吸着する小穴又は溝が設けられている。そ
して、吸着部ＣＰは、ローディングアームＬＯＤ又はア
ンローディングアームＵＬＡを液晶表示パネルの裏面か
ら引き抜き又は挿入させるための切欠部が設けられてい
る。

なお、同図では省略されているが、上記コンタクトユニ
ットＣＵの上部には、それに搭載された液晶表示パネル
に対して、その電極に電気的に接触させるプローブアッ
センブリが設けられている。

上記コンタクトユニットＣＵに液晶表示パネルが搭載さ
れると、コンタクトユニットＣＵがアップし、又は上記
プローブアッセンブリがダウンして上記プローブと電極
との電気的接触が行われて、液晶表示パネルの表示動作
が可能にされる。

また、上記プローブと電極との電気的接触が行われて液
晶表示パネルの表示動作が可能にされた状態で、コンタ
クトユニソ）ＣＵは同図に前面に対して傾斜させられ、
前面の検査者による目視検査に好適な角度に調整させら
れる。

以下、第１図と、第２図に示した概略平面図及び第３図
に示したコンタクトユニ７トＣＵ部の概略側面図を参照
して、上記液晶表示パネル用プローバの動作の一例を説
明する。第３図に示すように、コンタクトユニットＣＴ
Ｊは、ローディングアームＬＯＤが液晶パネルをカセッ
トＣＡ１から取り出す際に障害にならないようにスウィ
ングダウンする。

（１）第１図に示すようにカセットＣ人工がロードポジ
ションの位置に移動され、検査を行うべき液晶表示パネ
ルが収納されている高さに対応じてアップ／ダウンのコ
ントロールが行われる。

（２）ローディングアームＬＯＤは、所定のホームポジ
ションからスタートして、所定のθ及びＸＹ動作を行っ
てアーム先端部分のチャックトップＣＴＩを検査を行う
べき液晶表示パネルを裏面側に挿入させ、その液晶表示
パネルを裏面から支えて真空吸着する。このとき、カセ
ットＣＡＩは、上記チャックトップＣＴＩが検査を行う
べき液晶表示パネルの裏面に挿入されると、カセット内
部の突起に代わってチャックトップＣＴＩがそれを支え
るよう微小高さだけダウンする。

（３）チャックトップＣＴＩが検査を行うべき液晶表示
パネルを裏面で真空吸着すると、ローディングアームＬ
ＯＤは、第１図及び第２図で左方向に移動して、液晶表
示パネルと吸着部ｃｐの関係位置をアライメントマーク
によって検出すると、そのポイントで停止する。この信
号を受は取ると、コンタクトユニ７トＣＬＩがスウィン
グダウンを行い、液晶表示パネルが第１図でいう右方向
に移動し、吸着部ＣＰ上で停止する。コンタクトユニッ
トｃＵが所定距離だけアップ動作を行う、その吸着部Ｃ
Ｐが液晶表示パネルの裏面と接触すると、上記チャック
トップの真空吸着が解放され、これに代わって吸着部Ｃ
Ｐの真空吸着が開始される。

（４）ローディングアームＬＯＤは、第１図及び第２図
の左方向（Ｘ）に移動して上記コンタクトユニットＣ，
Ｕの部分からチャックトップＣＴＩが抜き取られてパネ
ル面から離れる。そして、コンタクトユニン）ＣＵがア
ンプ動作を行い、それに搭載された液晶表示パネルの電
極を第２図に示すプローブアッセンブリＰＡのプローブ
に押し当てて電気的接触を得る。

（５）上記（４）の動作に続いてローディングアームＬ
ＯＤは、ホームポジションに戻って停止する。

（６）ローディングアームＬＯＤの停止信号を受けて、
第３図に示すようにコンタクトユニットＣＵの下部に設
けられた油圧シリンダーが作動して、液晶表示パネルの
電極にプローブアッセンブリのプローブが接触した状態
のまま、言い換えるならば、同図では省略されているプ
ローブアッセンブリＰＡとともに所定傾斜角度までスイ
ング動作して停止する。このとき、上記スイング動作は
、検査者の背丈等に応じて最適視角が得られるように任
意の角度を持つように調整可能にされる。

（７）検査者は、上記のような傾斜角度をもって液晶表
示パネルを点灯表示させ、予め決められた表示パターン
の検査基準にしたがって表示品質の良否判定を行う。

（８）上記のようにコンタクトユニットＣＵとプローブ
アッセンブリが傾斜角を持って目視検査が行われるいる
間、次に検査を行うべき液晶表示パネルがある場合には
、ローディングアームＬＯＤが再びホームポジションか
らスタートして、前記（２）の動作を行って次に検査す
べき液晶表示パネルをカセットＣＡＬから取り出すとも
とに、それを吸着した状態で第１図の左方向に移動し、
液晶表示パネルと吸着部ＣＰの位置関係をアライメント
マークによって検出し待機する。

（９）検査者が図外の操作パネルを操作して、検査終了
信号を送ると、コンタクトユニットＣＵが元の水平状態
に戻るととともにプローブアッセンブリに対して所定量
だけＺダウン動作を行って電極とプローブとを解放する
。

００）アンロードヘッドＵＬＡは、アームがホームポジ
ションからスタートして右方向にＸ移動して、そのアー
ムの先端に設けられたチャックトップＣＴ２を吸着部Ｃ
，Ｐの切欠部から挿入して液晶表示パネルの裏面に挿入
させる。そして、コンタクトユニットＣＵを微小量だけ
ダウンさせてチャックトップＣＴ２が液晶表示パネルの
裏面を支えると吸着部ｃｐの真空吸着を解除して、それ
に代わってチャックトップＣＴ２の真空吸着を開始させ
る。

このようにして、アンローディングアームＵＬＡのチャ
ックトップＣＴ２が液晶表示パネルを受は取ると、右方
向のアンロードポジションまで液晶表示パネルを搬出さ
せる。上記検査終了信号を送るときに、不良品である旨
を指示すると、カセットＣＡ２が第２図の点線で示した
位１ｌｃＡ’　に、またカセットＣＡＩはアンロードポ
ジションに対応した位置にそれぞれＹ移動し、その空室
が搬出される液晶表示バぶルの位置に合うようアップ／
ダウン制御が行われている。これにより、不良品とされ
た液晶表示パネルはカセノ）ＣＡＩに搬入される。これ
に対して、上記検査終了信号を送るときに、良品である
旨を指示すると、カセットＣＡ１及びＣＡ２はそれぞれ
第２図に示した位置にＹ移動し、その空室が搬出される
液晶表示パネルの位置に合うようアップ、／ダウン制御
が行われている。これにより、良品とされた液晶表示パ
ネルはカセットＣＡ２に搬入される。この後、アンロー
ディングアームＵＬＡは、ホームポジションまで戻り停
止する。

Ｑｌ）上記アンローディングアームＵＬＡによりコンタ
クトポイントＣＵ上から液晶表示パネルが取り出される
と、上記（８）において待機していたローディングアー
ムＬＯＤが保持していた液晶表示パネルを前記同様にコ
ンタクトポイントまで搬送して前記（３）以降の動作を
繰り返す。以上の各動作をヰ★査すべき液晶表示パネル
が無くなるまで行うことができる。

第４図には、上記液晶表示パ茅ル用プローへに用いられ
るプローブアッセンブリの一実施例の平面図が示されて
いる。

この実施例では、液晶表示パネル（以下、単にＬＣＤと
いう）パネルの持つ電極に対して比較的少ない数からな
る複数のプローブが固定的に設けられるプローブアッセ
ンブリユニットを用いる。

すなわち、上記ＬＣＤパネルの持つ多数の電極に対して
分担させて上記各プローブアッセンブリユニットを割り
当てるようにする。特に制限されないが、この実施例で
は、ＬＣＤパネルを横方向に走るように配置される走査
線に対応した電極を３分割して、３つからなるプローブ
アッセンブリユニットを設ける。また、ＬＣＤパネルを
縦方向に走るように配置される信号線に対応した電極を
４分割して、４つからなるプローブアッセンブリユニッ
トを設ける。この場合、ＬＣＤパネルの長平方向に配置
される４つのプローブアッセンブリユニットは、同一の
信号線の両端に対して電気的接触を行うようにするもの
である。このようにプローブを配置したときには、両端
での導通チエツクにより、信号線電極の途中断線を簡単
に検出することが可能となる。

上記のように同一の信号線の両端にプローブを割り当て
るものの他、ＬＣＤパネルの信号線電極を奇数番目と偶
数番目のものに分割し、例えば上側のプローブアッセン
ブリユニットは１つおきに奇数番目の信号線電極に接続
し、下側のプローブアッセンブリユニットは、１つのお
きに偶数番目の信号線電極に接続するようにしてもよい
。この場合は、プローブの数を半分にでき、かつそのピ
ンチを信号線電極のピンチの２倍に大きくすることがで
きる。その反面、上記信号線に画素信号を供給し、画素
の明点検査や暗点検査により間接的に信号線の断線等を
検出するものとなる。

このことは、ＬＣＤパネルの横方向に延長されるよう配
置される走査線電極に対応じて、左右に３個ずつ設けら
れるプローブアッセンブリユニットにおいても同様であ
る。

ＬＣＤパネルの４つの各辺に対応じて設けられる各プロ
ーブアッセンブリユニットは、同図に点線で示したタブ
取付基板によりそれぞれ共通に結合され、このタブ取付
基板を取付板に取り付けることによって、ＬＣＤパネル
の全電極に同時接触するプローブボードが構成される。

第５図には、上記プローブアッセンブリユニットの一実
施例の断面図が示されている。

複数のプローブは、その先端が測定すべきＬＣＤパネル
の電極のピンチに対応じて位置合わせされ、その状態を
維持するよう支持体とプローブ押さえにより挟まれて固
定される。プローブ押さえは、特に制限されないが、熱
硬化性を持つ接着剤により構成される。半導体ウェハ用
の固定プローブボードと同様な技術を用いて上記プロー
ブの先端を揃えておき、その状態で支持体とプローブ押
さえにより複数のプローブを固定する。このように形成
された複数のプローブは、その先端が正しく位置合わせ
された関係で固定される。

このように複数のプローブを固定する支持体は、プロー
ブ取付体に接着される。プローブ取付体は、特に制限さ
れないが、表面が酸化処理されることにより、電気絶縁
性を持つようにされたアルミユニラムから構成される。

プローブの接続端側は、特に制限されないが、フレキシ
ブル配線基板の接続端に接続される。このフレシキブル
配線基板は、その一端側が上記プローブ取付体に接着さ
れ、その配線がプローブの接続端側と半田等により接続
される。

タブ（Ｔ　Ａ　Ｂ　；　Ｔａｐｅ　Ａｕｔｏｍａｔｅｄ
　Ｂｏｎｄｉｎｇ）は、上記タブ取付基板に取り付けら
れる。すなわち、前記実施例のようにＬＣＤパネルの信
号線に対して４つのプローブアッセンブリユニットを設
ける場合には、４つのプローブアッセンブリユニットに
対応した４つのダブが取り付けられる。各タブには、ド
ライブ用ＩＣが実装される。上記プローブが一端側に取
り付けられたフレキシブル配線基板の他端側は、上記タ
ブに設けられる配線と半田を用いた熱圧着又は適当な治
具により電気的に接続される。

上記タブ取付基板の上面側には、各ブローブアフセンブ
リユニットに対応じて設けられるアッセンブリ取付板が
設けられる。このアッセンブリ取付板は、上記タブ取付
基板側と各プローブ取付体とを一時的に結合させるため
に用いられる。例えば、上記タブ取付基板により４個の
プローブ取付付体が上記アッセンブリ取付板を介して一
体的に構成される。このとき、タブ取付基板とアッセン
ブリ取付板とは、取付ネジにより固定され、アッセンブ
リ取付板とプローブ取付体とは、プローブ群取付ネジに
より仮止される。例えば、適当な位置合わせ治具を用い
、４個からなるプローブ取付体のプローブの先端が、Ｌ
ＣＤパネルの信号線電極に合うようし、上記プローブ群
取付ネジにより仮止する。

第６図には、上記プローブアッセンブリユニットが取付
板に取り付けられた状態の一実施例の断面図が示されて
いる。

上記のように仮止されたプローブアッセンブリユニット
は、ネジＡにより取付板に取り付けられる。そして、取
付板の上面側に固定的に搭載されたマニピュレータのア
ームが取付板の開口部を通して下側に延び、プローブ取
付体のネジ穴とネジＢにより固定される。この後、アー
ムに設けられた貫通穴を通して上記仮止されたプローブ
群取付ネジが取り除かれる。このため、プローブ取付体
は、アッセンブリ取付板から解放され、マニピュレータ
のアームの動きに従い、ｘ、ｙ、ｚ及びθ方向の微調整
される。これは、上記タブ取付基板により各辺に対応し
たプローブ群のプローブ先端は、上記のように位置合わ
せされているが、それを１つの取付体に共通に取り付け
たときの相互の位置ずれを上記マニピュレータの調整に
より補正するものである。このプローブ先端の補正は、
第４図に示すように、ＬＣＤパネルの各電極に各プロー
ブアッセンブリユニットとプローブ先端が合うよう、各
プローブアッセンブリユニット毎に行うものである。こ
のとき、取付板に対してネジＡにより固定的にアッセン
ブリ取付板、タブ取付基板及びタブが取り付けられいる
が、タブとプローブ取付体とはフレキシブル配線基板に
より接続されている。これにより、上記プローブ取付体
はマニピュレータのアームの動きに応じて自由に位置調
整される。

なお、上記のように４個からなるタブ取付基板を１つの
取付板に取り付けるとき、専用の調整治具を用いて全ピ
ンのプローブの先端が基準面に合うように予め調整する
ことにより、取付板に取り付けてからマニピュレータに
よる調整を大幅に省略化することができる。

上記第５図及び第６図では省略されいるが、プローブは
支持体とプローブ押さえにより挟まれて固定支持される
。そして、フレキシブル配ｖＡ基板は、プローブが設け
られる下面側に接着され、その下面に設けられる配線パ
ターンと上記プローブの接続端側か半田等により固定さ
れる。プローブ取付体の上面側における段差が設けられ
ることにより高くされた先端部に設けられた２つのネジ
穴は、上記マニピュレータのアームと結合させるときに
用いられるものであり、上記段差により低くされ、アッ
センブリ取付板に対応した部分に設けられる１つのネジ
穴は、アッセンブリ取付板に対して仮止に用いられるプ
ローブ群取付ネジに用いられる。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 （１１パネル搬送装置により検査を行うべき複数の液晶
表示パネルが水平状態に置かれて収納される収納容器の
液晶表示パネルをその裏面側から支えるとともに真空吸
着して取り出し又は検査が終了した液晶表示パネルを所
定の収納容器に収めるとともに、ハックライトが内蔵さ
れ、上記真空吸着するアームの厚みより高い高さを持ち
、上記ローディングの部分を除く液晶表示パネルの周辺
部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置台に載せられ
た液晶表示パネルの電極に対してプローブアッセンブリ
により電気的接触を行うとともに、表示目視検査を行う
ときにプローブアッセンブリのプローブと接触された状
態で測定載置台を検査者との視角に対応じて所定角度に
傾ける角度調整機構を設けることにより、比較的大型で
重量のある液晶表示パネルの自動搬送が可能となり、目
視検査のときに液晶表示パネルの電極にプローブを当て
た状態で測定載置台を検査者との視角に対応じて傾ける
ことができから検査能率の向上を図ることができるとい
う効果が得られる。

（２）ローディングアームとアンローディングアームと
を設けるとともに、目視検査によりコンタクトユニット
が所定角度を持って傾斜させられているときに、その裏
面側を通って次に検査を行うべき液晶表示パネルをカセ
ットから搬出させて待機させるようにすることによって
、液晶表示パネルの自動搬送を効率よく行うことができ
るという効果が得られる。

以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、カセ７）ＣＡＬ
とＣＡ２は、上方向又は下方向に移動させて、そのＹ方
向の位置関係の入れ替えを行うようにするものであって
もよい。

この場合、水平方向のストロークが小さくできるから、
使用するカセットの兼用が利用できることの他、装置全
体の床面積を小さくすることができる。

また、プローブアッセンブリの構成は、液晶表示パネル
に電気的接触が行われるものであれば何であってもよい
。

この発明は、液晶表示パネルの目視による表示検査に用
いられる液晶表示パネル用プローバとして広く利用でき
る。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、パネル搬送装置により検査を行うべき複数
の液晶表示パネルが水平状態に置かれて収納される収納
容器の液晶表示パネルをその裏面側から支えるとともに
真空吸着して取り出し又は検査が終了した液晶表示パネ
ルを所定の収納容器に収めるとともに、バンクライトが
内蔵され、上記真空吸着するアームの厚みより高い高さ
を持ち、上記ローディングの部分を除く液晶表示パネル
の周辺部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置台に載
せられた液晶表示パネルの電極に対してプローブアッセ
ンブリにより電気的接触を行うとともに、表示目視検査
を行うときにプローブアッセンブリのプローブと接触さ
れた状態で測定載置台を検査者との視角に対応じて所定
角度に傾ける角度調整機構を設けることにより、比較的
大型で重量のある液晶表示パネルの自動搬送が可能とな
り、目視検査のときに液晶表示パネルの電極にプローブ
を当てた状態で測定載置台を検査者との視角に対応じて
傾けることができから検査能率の向上を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る液晶表示パネル用ブローハの
一実施例を示す要部概略斜視図、第２図は、この発明に
係る液晶表示パネル用プローパの一実施例を示す概略平
面図、 第３図は、コンタクトユニット部の一実施例を示す概略
側面図、 第４図は、この発明に係る表示パネル用プローバに用い
られるプローブアンセンブリの一実施例を示す平面図、 第５図は、そのブローブアソセンブリュ、−ソトの一実
施例を示す断面図、 第６図は、上記プローブアノセンブリュニソトが取付板
に取り付けられた状態の一実施例を示す断面図である。 ＢＡＳ　１−ＢＡＳ　３・・ヘース、ＣＡＬ、ＣＡ２・
・カセット（収納容器＞ＬＯＤ・・ローディングアーム
、ＵＬＡ・・アンローディングアーム、ＣＴＩ、ＣＴ２
・・チャックトップ、ＣＰ・・吸着部、ＣＵ・・コンタ
クトユニット、ＰＡ・・プローブアッセンブリ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、検査を行うべき複数の液晶表示パネルが水平状態に
   置かれて収納される収納容器と、この収納容器の液晶表
   示パネルを水平状態でその裏面側から支えるとともに真
   空吸着して取り出し又は検査が終了した液晶表示パネル
   を所定の収納容器に収めるパネル搬送装置と、バックラ
   イトが内蔵され、上記真空吸着するアームの厚みより高
   い高さを持ち、上記ローディングの部分を除く液晶表示
   パネルの周辺部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置
   台と、この測定載置台に載せられた液晶表示パネルの電
   極に対して電気的接触を行うプローブアッセンブリと、
   上記液晶表示パネルを搬入又は搬出させるときには水平
   状態とし、表示目視検査を行うときにプローブアッセン
   ブリのプローブと接触された状態で測定載置台を検査者
   との視角に対応して所定角度に傾ける角度調整機構とを
   備えてなることを特徴とする液晶表示パネル用プローバ
   。 ２、上記搬送装置は、検査を行うべき液晶表示パネルを
   収納容器から測定載置台まで搬出させるローディングア
   ームと、検査が終了した液晶表示パネルを所定の収納容
   器まで搬入させるアンローディングアームとからなるも
   のであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   液晶表示パネル用プローバ。 ３、上記収納容器は、上下動するとともに同一の収納容
   器が上記搬送装置に対応したロードポジションとアンロ
   ードポジションとの間を移動可能とし、その検査結果に
   応じて空室に検査が終了した液晶表示パネルが搬入され
   るものであることを特徴とする特許請求の範囲第１又は
   第２項記載の液晶表示パネル用プローバ。