TWI632098B

TWI632098B - 翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置

Info

Publication number: TWI632098B
Application number: TW105122081A
Authority: TW
Inventors: 林漢聲; 郭冠志; 陳瑞銘
Original assignee: 萬潤科技股份有限公司
Priority date: 2016-07-13
Filing date: 2016-07-13
Publication date: 2018-08-11
Also published as: TW201802013A

Abstract

本發明提供一種翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置，該翻轉機構包括：一以一轉軸為軸心受驅動件驅動作對稱性旋轉的翻轉座；該翻轉機構可使用於對一載盤中盛載的待檢查元件檢查方法中，使載盤被一第一搬送裝置搬送至一第一載台受一第一檢視單元進行檢查；檢查後被第一搬送裝置搬送至一第二載台；以該翻轉機構將一第二載台上載盤保持並翻轉至一第二搬送裝置的一第三載台；使第三載台上的載盤搬送至一第四載台上被一第二檢視單元進行檢查。

Description

翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置

本發明係有關於一種翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置，尤指一種可在搬送過程中對待檢查元件進行翻轉，使該待檢查元件的正、反面皆可受到檢查的翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置。

按，一般電子元件中的基板加工製程通常需要進行品質檢查，這些檢查依製程別有不同的需求，但通常需藉助搬送裝置來協助以使檢查的過程可以自動化方式來進行；以在基板上已設有晶片並在晶片上方已覆設有散熱片的基板為例，由於時下的封裝製程以BGA(球柵陣列封裝Ball Grid Array)封裝為盛行，此類封裝後的基板通常必須檢查反面(底部)的錫球焊點的漏銅(又稱漏底銅)狀況，也必須檢查基板上方(正面)的散熱片是否刮傷、規格銘標是否無損，另散熱片封裝時的溢膠則需由基板四周側的檢查得知。

這些基板在進行檢查時，常複數個以矩陣方式排列置於一載盤中複數個定位區間中，每一個基板在一個定位區間中以散熱片朝上置放著，以便於整個載盤搬送及定位；載盤上盤面、下盤面在同一位置分別各設有對應之定位區間，故複數個載盤間可相互上、下堆疊、定位。

先前技術中，在進行檢查時，常以人工方式逐一將載盤中基板取出置於顯微鏡下進行檢查，然而在大量檢查需求中，採自動化為必然趨勢，如何在進行檢查時於一機台上有效而妥善規劃基板的搬送及提供檢查的功能，以提高檢查效率及降低成本、節省廠房空間，乃為值得研究的重要課題；惟為求基板各面可在一機台上作檢查，完成正面檢查後的基板必須能作翻轉以進行反面檢查，現行進行翻轉的機構大致僅考慮尚未切割的整片基板以吸附基板表面方式進行翻轉，該種翻轉方式未考慮吸附或夾持基板表面所造成的刮傷問題，同時也無法適用於已完成切割後基板的檢查，因切割後基板通常複數個以矩陣方式排列置於一載盤中複數個定位區間中，翻轉的機構必需同時翻轉載盤，無法逐一單獨吸附基板翻轉；亦有翻轉的機構採以一端轉軸配合橫設的二上下夾板進行載盤翻轉者，惟其機構複雜且翻轉時力矩過大，易使載盤中基板被拋傷。

爰是，本發明的目的，在於提供一種可以將待檢查元件在搬送中進行翻轉之翻轉機構。

本發明的另一目的，在於提供一種使用該翻轉機構之檢查方法及裝置。

本發明的又一目的，在於提供一種使用該翻轉機構之檢查裝置。

依據本發明目的之翻轉機構，包括：一翻轉座，其上供保持一受搬送物，該翻轉座可受驅動件驅動以一轉軸為軸心作對稱性旋轉，以使其上受搬送物自水平狀態進行一百八十度的朝上或朝下翻轉；該翻轉座以該轉軸設於一立設之機座上，該轉軸可受驅動件驅動在該機座上作上、下位移，該機座設於一軌座並受驅動件驅動而在軌座上作位移。

依據本發明目的之另一翻轉機構，包括：一翻轉座，，該翻轉座具有一框體，其上供保持一受搬送物，該框體以一轉軸為軸心受驅動件驅動作旋轉，以使其上受搬送物自水平狀態進行一百八十度的朝上或朝下翻轉，框體內部具有鏤空狀操作區間；該框體兩相對應邊側設有第一保持組件。

依據本發明另一目的之檢查方法，使用如所述翻轉機構，包括：提供一載盤，盛載待檢查元件；使載盤被一第一搬送裝置搬送至一第一載台受一第一檢視單元進行檢查；檢查後被第一搬送裝置搬送至一第二載台；以該翻轉機構將第二載台上載盤保持並翻轉至一第二搬送裝置的一第三載台；使第三載台上的載盤搬送至一第四載台上被一第二檢視單元進行檢查。

依據本發明又一目的之檢查裝置，使用如所述翻轉機構，包括：一第一搬送裝置，形成一搬送載盤之傳送流路，設有一第一載台及一第二載台；一第一檢視單元，位於該第一載台上方，設有由上往下檢視之鏡頭；一第二搬送裝置，形成一搬送載盤之傳送流路，設有一第三載台及一第四載台；一第二檢視單元，位於該第四載台上方，設有由上往下檢視之鏡頭；該翻轉機構的翻轉座可受驅動位移於第一搬送裝置、第二搬送裝置間並進行翻轉。

本發明實施例翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置，由於翻轉機構的翻轉座以一轉軸為軸心受驅動件驅動作對稱性旋轉，故翻轉時力矩小，載盤中基板不易被拋傷；且翻轉座具有一框體，框體內部具有鏤空狀操作區間，載盤以周緣被保持於框體中，不論使用於本實施例或一般未切割之基板，皆不易使基板被刮傷；而將該翻轉機構應用於基板之檢查，該第一搬送裝置、翻轉機構、第二搬送裝置、移載機構、第三搬送裝置循序將載盤傳送，故可在整個傳送流路中完成基板的反、正、四周側面等六面檢查；並藉由翻轉機構的第一保持組件、第二保持組件之對抵或對夾轉換，使基板順利轉換於二載盤間並被穩定輸送；同時配合第一搬送裝置之供料機構、第二搬送裝置之收料機構、第三搬送裝置之供料機構及收料機構之設計，使載盤可順利的供、收，甚至作盛載不同規格基板之載盤的分別供、收，其所獲得的檢查、輸送效益確大幅提昇產能效率。

A‧‧‧載盤

A1‧‧‧框緣

A2‧‧‧扣緣

A3‧‧‧扣肋

A4‧‧‧盤面

A5‧‧‧定位部

A51‧‧‧定位區間

B‧‧‧基板

C‧‧‧第一搬送裝置

C1‧‧‧第一軌道

C11‧‧‧座板

C111‧‧‧工作區間

C12‧‧‧側架

C13‧‧‧皮帶

C2‧‧‧第二軌道

C21‧‧‧第一載台

C22‧‧‧第二載台

C221‧‧‧夾持機構

C23‧‧‧皮帶

C3‧‧‧供料機構

C31‧‧‧載料架

C311‧‧‧移載區間

C312‧‧‧載座

C313‧‧‧側座

C314‧‧‧角架桿

C315‧‧‧第一嵌抵組件

C3151‧‧‧卡掣件

C316‧‧‧第二嵌抵組件

C3161‧‧‧立架

C3162‧‧‧卡掣件

C317‧‧‧導引件

C32‧‧‧昇降架

C321‧‧‧固定架

C3211‧‧‧上固定座

C3212‧‧‧下固定座

C3213‧‧‧支撐座

C3214‧‧‧定位件

C3215‧‧‧感應器

C322‧‧‧移動架

C3221‧‧‧上撐座

C3222‧‧‧驅動座

C3223‧‧‧支撐桿

C3224‧‧‧驅動件

C3225‧‧‧螺桿

C3226‧‧‧感應片

D‧‧‧第二搬送裝置

D1‧‧‧第三軌道

D11‧‧‧第三載台

D111‧‧‧夾持機構

D12‧‧‧第四載台

D13‧‧‧皮帶

D2‧‧‧第四軌道

D21‧‧‧軌座

D22‧‧‧第五載台

D221‧‧‧夾持機構

D23‧‧‧座板

D231‧‧‧工作區間

D24‧‧‧側架

D25‧‧‧皮帶

D26‧‧‧迫推機構

D3‧‧‧收料機構

D31‧‧‧載料機構

D311‧‧‧移載區間

D312‧‧‧載座

D313‧‧‧側座

D314‧‧‧角架桿

D315‧‧‧第一嵌抵組件

D3151‧‧‧卡掣件

D316‧‧‧第二嵌抵組件

D3161‧‧‧立座

D32‧‧‧昇降架

D321‧‧‧固定架

D3211‧‧‧上固定座

D3212‧‧‧下固定座

D3213‧‧‧支撐桿

D3214‧‧‧定位件

D3215‧‧‧感應器

D322‧‧‧移動架

D3221‧‧‧上撐座

D3222‧‧‧驅動座

D3223‧‧‧支撐座

D3224‧‧‧驅動件

D3225‧‧‧螺桿

D3226‧‧‧感應片

E‧‧‧翻轉機構

E1‧‧‧驅動件

E2‧‧‧轉軸

E3‧‧‧驅動件

E4‧‧‧翻轉座

E41‧‧‧框體

E411‧‧‧操作區間

E42‧‧‧第一保持組件

E421‧‧‧第一對抵件

E4211‧‧‧樞桿

E422‧‧‧第二對抵件

E4221‧‧‧樞桿

E423‧‧‧驅動件

E4231‧‧‧驅動桿

E424‧‧‧驅動件

E4241‧‧‧驅動桿

E4242‧‧‧連動件

E43‧‧‧第二保持組件

E431‧‧‧第一對夾件

E432‧‧‧第二對夾件

E433‧‧‧樞桿

E434‧‧‧驅動件

E435‧‧‧驅動桿

E436‧‧‧連動件

E437‧‧‧滑軌

E438‧‧‧夾爪

E439‧‧‧定位件

E44‧‧‧震盪器

E45‧‧‧感應器

E5‧‧‧機座

E6‧‧‧軌座

E7‧‧‧驅動件

E8‧‧‧感應器

F‧‧‧第一檢查機構

F1‧‧‧第一軌座

F11‧‧‧第一檢視單元

F2‧‧‧第二軌座

F12‧‧‧第二檢視單元

F3‧‧‧第三軌座

G‧‧‧第三搬裝置

G1‧‧‧第五軌道

G2‧‧‧第六軌道

G3‧‧‧供料機構

G4‧‧‧收料機構

G5‧‧‧第六載台

G51‧‧‧夾持機構

H‧‧‧第二檢查機構

H1‧‧‧第三檢視單元

H2‧‧‧第四檢視單元

K‧‧‧移載機構

K1‧‧‧第一移載軌座

K11‧‧‧第一提取組件

K2‧‧‧第二移載軌座

K21‧‧‧第二提取組件

Y‧‧‧機台台面

Y1‧‧‧側邊

Y2‧‧‧側邊

圖1係本發明實施例中載盤之立體示意圖。

圖2係本發明實施例中基板盛載於載盤之立體示意圖。

圖3係本發明實施例中載盤之側面示意圖。

圖4係本發明實施例中各機構配置在一機台台面上之俯視示意圖。

圖5係本發明實施例中各機構配置在一機台台面上之立體示意圖。

圖6係本發明實施例中第一搬送裝置之第一軌道及供料機構立體示意圖。

圖7係本發明實施例中第一搬送裝置之第一軌道及供料機構之立體分解示意圖。

圖8係本發明實施例中第一搬送裝置中供料機構供料操作之示意圖(一)。

圖9係本發明實施例中第一搬送裝置中供料機構供料操作之示意圖(二)。

圖10係本發明實施例中第一搬送裝置中供料機構供料操作之示意圖(三)。

圖11係本發明實施例中第二搬送裝置之第四軌道及收料機構立體示意圖。

圖12係本發明實施例中第二搬送裝置之第四軌道及收料機構之立體分解示意圖。

圖13係本發明實施例中第二搬送裝置中收料機構收料操作之示意圖(一)。

圖14係本發明實施例中第二搬送裝置中收料機構收料操作之示意圖(二)。

圖15係本發明實施例中第二搬送裝置中收料機構收料操作之示意圖(三)。

圖16係本發明實施例中翻轉機構之立體示意圖。

圖17係本發明實施例中翻轉框的背側立體示意圖。

圖18係本發明實施例中翻轉框的第一保持組件之第二對抵件立體示意圖。

圖19係本發明實施例中翻轉框的第二保持組件之第一、二對夾件立體示意圖。

圖20係本發明實施例中翻轉框的第一保持組件之第一、二對抵件進行對載盤保持之示意圖(一)。

圖21係本發明實施例中翻轉框的第一保持組件之第一、二對抵件進行對載盤保持之示意圖(二)。

圖22係本發明實施例中翻轉框的第二保持組件之第一、二對夾件進行對載盤保持之示意圖(一)。

圖23係本發明實施例中翻轉框的第二保持組件之第一、二對夾件進行對載盤保持之示意圖(二)。

請參閱圖1~3，本發明實施例在進行搬送時，採用一載盤A，該載盤A大致呈一長方形之盤狀，其四個側邊之周緣設有朝上凸設之框緣A1，並在兩側長側邊之框緣A1上以相隔間距設有二微凹之扣緣A2，及在兩側短側邊之框緣A1外分別各設有一外凸之扣肋A3，框緣A1內設有一平設之盤面A4，並在盤面A4上以矩陣排列複數組凸設的定位部A5，每一組定位部A5分別各提供一可供置放基板B等之待檢查元件的定位區間A51，各基板B呈矩陣排列；該基板B可為採BGA方式已植設晶片及散熱片者，其置於載盤A中時，採散熱片朝上方式，該散熱片上表面為正面，基板B下方表面為反面。

請參閱圖2、4~5，本發明實施例可以圖中之裝置實施例來說明，該裝置可適用分別載有二種不同規格基板B之二種載盤A同時置入裝置中，依序分別進行檢查，該裝置包括：一第一搬送裝置C，設於一機台台面Y上，呈X軸向設置並偏靠機台台面Y一側邊Y1，該第一搬送裝置C包括相互對設的第一軌道C1及第二軌道C2，第一軌道C1搬送起點設有一供料機構C3，該供料機構C3層層疊置載有反面朝上基板B之載盤A，並由上往下對第一軌道C1逐件供應所述載盤A；第二軌道C2中設有相隔間距且分別各設於定位但可作Z軸向上下昇降的第一載台C21、第二載台C22，及可受驅動用以進行輸送形成傳送流路的皮帶C23；其中，第二載台C22鄰靠該第二軌道C2輸送終點並設有夾持機構C221；待檢查元件之基板B以反面朝上置於載盤A並由供料機構C3經第一軌道C1往第二軌道C2輸送；一第二搬送裝置D，與第一搬送裝置C平行且相隔間距併設於機台台面Y上，呈X軸向設置並位於相對機台台面Y之側邊Y1的第一搬送裝置C另一側，該第二搬送裝置D包括相互對設的第三軌道D1及第四軌道D2，第四軌道D2輸送終點設有一收料機構D3，該收料機構D3用以收集完成檢查載有正面朝上基板B良品之載盤A，並由下往上自第四軌道D2逐件承收所述載盤A作層層疊置；第三軌道D1中設有相隔間距且分別各設於定位但可作Z軸向上下昇降的第三載台D11、第四載台D12，及可受驅動用以進行輸送形成傳送流路的皮帶D13，第四軌道D2中設有可作Z軸向上下昇降的第五載台D22，其位於一第四軌道D2中下方軌座D21上可受驅動作X軸向位移並設有一夾持機構D221；其中，第三載台D11鄰靠該第三軌道D1輸送起點並設有一夾持機構D111，待檢查元件之基板B以正面朝上置於載盤A並由第三軌道D1經第四軌道D2往收料機構D3輸送；一翻轉機構E，設於機台台面Y上，位於第一搬送裝置C之第二軌道C2輸送終點外，及第二搬送裝置D之第三軌道D1輸送起點外，其設有一可受驅動件E1作Z軸向上、下位移、Y軸向左、右位移及以一X軸向轉軸E2為軸心受驅動件E3驅動作對稱性旋轉的翻轉座E4，其設於一立設之機座E5上，該機座E5設於一Y軸向軌座E6並受驅動件E7驅動而在軌座E6上作Y軸向位移，使翻轉座E4可反復位移於第一搬送裝置C之第二軌道C2與第二搬送裝置D之第三軌道D1之間上方；一第一檢查機構F，位於機台台面Y上，設有以一Y軸向橫設於第一搬送裝置C的第二軌道C2及第二搬送裝置D的第三軌道D1上方的第一軌座F1，第一軌座F1兩端分別設於相併設的第一搬送裝置C、第二搬送裝置D兩外側所架高平行設置的X軸向第二軌座F2、第三軌座F3上，第一軌座F1可在第二軌座F2、第三軌座F3上受驅動作X軸向位移；第一軌座F1上設有可受驅動作Z軸向位移的第一檢視單元F11，其可獨立受驅動在第一軌座F1上作Y軸向位移，並對下方被輸送至第一搬送裝置C之第二軌道C2中第一載台C21上載盤A以反面朝上放置之待檢查元件基板B的上表面進行檢查，該第一檢視單元F11設有一由上往下進行檢視之CCD鏡頭；第一軌座F1上另設有可受驅動作Z軸向位移的第二檢視單元F12，其可獨立受驅動在第一軌座F1上作Y軸向位移，並對下方被輸送至第二搬送裝置D之第三軌道D1中第四載台D12上載盤A以正面朝上放置之待檢查元件基板B進行上表面檢查，該第二檢視單元F12設有一由上往下進行檢視之CCD鏡頭；一第三搬送裝置G，其傳送流路與第一搬送裝置C、第二搬送裝置D的傳送流路相互平行且相隔間距併設於機台台面Y上，且呈X軸向設置並位於偏靠相對機台台面Y之側邊Y1的另一側機台台面Y之側邊Y2，該第三搬送裝置G包括相互對設的第五軌道G1及第六軌道G2，第五軌道G1上設有一供料機構G3，該供料機構G3由上往下對第五軌道G1供應空載盤A，第六軌道G2輸送終點設有一收料機構G4，該收料機構G4由下往上自第六軌道G2回收經檢測為不良品而撿置其上之正面朝上待檢查元件基板B的載盤A；第六軌道G2中設有可作Z軸向上下昇降且位於一第六軌道G2中下方軌座G21上可受驅動作X軸向位移的第六載台G5，第六載台G5在Y軸向位置對應第二搬送裝置D之第四軌道D2中第五載台D22並設有夾持機構G51，空載盤A由第五軌道G1經第六軌道G2往收料機構G4輸送；一第二檢查機構H，設有一第三檢視單元H1及一第四檢視單元H2，其在X軸向相隔間距設置於機台台面Y上，並位於第二搬送裝置D之第四軌道D2與第三搬送裝置G之第六軌道G2間，其分別各設有由下往上進行檢視之CCD鏡頭，用以對待檢查元件基板B之四周側面進行檢視；一移載機構K，設有相向、相互平行並設於機台台面Y上的第一移載軌座K1、第二移載軌座K2，該第一移載軌座K1、第二移載軌座K2分別各被架高呈Y軸向設置，其傳送流路與第一搬送裝置C、第二搬送裝置D的傳送流路相互垂直；第一移載軌座K1上設有可受驅動作Y軸向及Z軸向位移的第一提取組件K11，第一提取組件K2可被驅動在第一移載軌座K1上移送於第二搬送裝置D之第四軌道D2中第五載台D22、第二檢查機構H的第三檢視單元H1及第三搬送裝置G之第六軌道G2的第六載台G5間；第二移載軌座K2設有可受驅動作Y軸向及Z軸向位移的第二提取組件K21，第二提取組件K21可被驅動移送於第二搬送裝置D之第四軌道D2中第五載台D22、第二檢查機構H之第四檢視單元H2及第三搬送裝置G之第六軌道G2的第六載台G5間。

請參閱圖4、6~7，該第一搬送裝置C的第一軌道C1係在一座板C11上設有二相隔間距並相互平行的架高側架C12，二側架C12相對應之內側分別設有受驅動的皮帶C13，該皮帶C13形成所述輸送載盤A的傳送流路，二側架C12間的一端下方座板C11上設有一鏤空的工作區間C111；所述供料機構C3與第三搬送裝置G中第五軌道G1上供料機構G3相同，茲以供料機構C3作說明，供料機構G3同理可推，茲不贅述，該供料機構C3包括一載料架C31及一昇降架C32；其中，該載料架C31包括一設有可供載盤A移經之長方形鏤空移載區間C311的載座C312，該移載區間C311與工作區間C111上、下對應；載座C312下方兩側分別各設有可跨設於第一軌道C1二側架C12兩外側之側座C313，使載座C312被架高於第一軌道C1二側架C12上方一間距高度；該移載區間C311外的四角落處分別於載座C312上各設有角架桿C314，在載座C312下方設有由四個可受驅動作前後凸伸或縮入之卡掣件C3151所組成的第一嵌抵組件C315，其在長方形鏤空移載區間C311二長側邊外的二角架桿C314間分別各設有二個卡掣件C3151；在載座C312上方設有由四個被立架C3161距離載座C312一間距下架高的可受驅動作前後凸伸或縮入之卡掣件C3162所組成的第二嵌抵組件C316，其在長方形鏤空移載區間C311二長側邊外的二角架桿C314間分別各設有二個卡掣件C3162；該第一嵌抵組件C315與第二嵌抵組件C316間供疊置第一種規格的載有反面朝上基板B之載盤A，該第二嵌抵組件C316上方供疊置第二種規格的載有反面朝上基板B之載盤A；該昇降架C32包括一固定架C321及一移動架C322所組成；該固定架C321由上固定座C3211、下固定座C3212及其間複數支撐桿C3213組成，並以上固定座C3211設於該第一軌道C1的座板C11下方；上固定座C3211、下固定座C3212間設有一長條狀定位件C3214，其上設有分別設於上、下兩定位之感應器C3215；該移動架C322由位於上固定座C3211上方的上撐座C3221、位於上固定座C3211下方並位於各支撐桿C3213間的驅動座C3222 及其間複數支撐桿C3223組成；該上撐座C3221設有二個並相隔間距，每一個上撐座C3221各位於二支撐桿C3223上端；該驅動座C3222受一驅動件C3224所驅動的螺桿C3225作用，可作上下位移並藉支撐桿C3223連動上撐座C3221上下位移進出移載區間C311與工作區間C111；驅動座C3222一側設有一感應片C3226可受該感應器C3215感應。

請參閱圖2、8~10，該第一嵌抵組件C315與第二嵌抵組件C316間疊置的第一種規格載有反面朝上基板B之載盤A，其下方受凸伸的第一嵌抵組件C315所阻抵而定位在第一嵌抵組件C3152的卡掣件C3151上方(圖8)；當欲作入料於第一軌道C1時，昇降架C32被驅動上移以上撐座C3221抵於載有反面朝上基板B之載盤A下方，第一嵌抵組件C315的卡掣件C3151被驅動縮入，使載盤A循載座C312下方兩側分別各設的導引件C317間之限制區間落置於上撐座C3221上(圖9)；第一嵌抵組件C315的卡掣件C3151被驅動凸伸以限制其上方載盤A不致續落，昇降架C32被驅動下移以上撐座C3221將載盤A降至二側架C12相對應內側皮帶C13上，使載盤A受第一軌道C1之該皮帶C13所形成的傳送流路進行輸送(圖10)；若係第一種規格載有反面朝上基板B之載盤A欲作入料於第一軌道C1時，則同理方式執行；在本實施例中，第一種規格載有反面朝上基板B之載盤A將被優先執行完後再執行第二種規格載有反面朝上基板B之載盤A入料檢查作業。

請參閱圖11~12，該第二搬送裝置D之第四軌道D2及收料機構D3與第三搬送裝置G之第六軌道G2及收料機構G4相同，茲以第二搬送裝置D之第四軌道D2及收料機構D3作說明，第六軌道G2及收料機構G4同理可推，茲不贅述；該第二搬送裝置D之第四軌道D2包括在一座板D23上設有二相隔間距並相互平行的架高側架D24，二側架D24相對應之內側分別設有受驅動的皮帶D25，該皮帶D25形成所述輸送載盤A的傳送流路，二側架D24間的一端下方座板D23上設有一鏤空的工作區間D231；該設有夾持機構D221並位於軌座D21上可作Z軸向上下昇降的第五載台D22係位於二側架D24間，並於一側對應該第五載台D22的側架D24上設有迫推機構D26，以迫推移至第五載台D22上的載盤A朝一側之側架D24偏靠定位；該收料機構D3包括一載料架D31及一昇降架D32；其中，該載料架D31包括一設有可供載盤A移經之長方形鏤空移載區間D311的載座D312，該移載區間D311與工作區間D231上、下對應；載座D312下方兩側分別各設有可跨設於第四軌道D2二側架D24兩外側之側座D313，使載座D312被架高於第四軌道D2二側架D24上方一間距高度；該移載區間D311外的四角落處分別於載座D312上各設有角架桿D314，在載座D312上表面上設有由四個可由下往上旋撥或受彈性(或重力作用)回復呈水平定位之卡掣件D3151所組成的第一嵌抵組件D315，其在長方形鏤空移載區間D311二長側邊外的二角架桿D314間分別各設有二個卡掣件D3151；在第一嵌抵組件D315上方設有由四個被立座D3161距離第一嵌抵組件D315一上下間距下架高的由四個可由下往上旋撥或受彈性(或重力作用)回復呈水平定位之卡掣件D3162所組成的第二嵌抵組件D316，其在長方形鏤空移載區間D311二長側邊外的二角架桿D314間分別各設有二個卡掣件D3162；其中，該第二嵌抵組件D316上方供疊置第一種規格的載有正面朝上被檢查為良品的基板B之載盤A，第一嵌抵組件D315與第二嵌抵組件D316間供疊置第二種規格的載有正面朝上被檢查為良品的基板B之載盤A；該昇降架D32包括一固定架D321及一移動架D322所組成；該固定架D321由上固定座D3211、下固定座D3212及其間複數支撐桿D3213組成，並以上固定座D3211設於該第四軌道D2的座板D23下方；上固定座C3211、下固定座C3212間設有一長條狀定位件D3214，其上設有分別設於上、下兩定位之感應器D3215；該移動架D322由位於上固定座D3211上方的上撐座D3221、位於上固定座D3211下方並位於各支撐桿D3213間的驅動座D3222及其間複數支撐桿D3223組成；該驅動座D3222受一驅動件D3224所驅動的螺桿D3225作用，可作上下位移並藉支撐桿D3223連動上撐座D3221上下位移進出移載區間D311與工作區間D111；驅動座D3222一側設有一感應片D3226可受該感應器D3215感應。

請參閱圖2、13~15，當第二種規格的載有正面朝上被檢查為良品的基板B之載盤A被第四軌道D2之皮帶D25形成的傳送流路移送至該收料機構D3之載料架D31下方時(圖13)，昇降架D32被驅動上移以上撐座D3221抵於載有正面朝上基板B之載盤A下方並承托上移至抵及第一嵌抵組件D315的卡掣件D3151，使卡掣件D3151被由下往上旋撥(圖14)，使載盤A上移通過兩側卡掣件D3151後，卡掣件D3151受彈性(或重力作用)回復呈水平定位，昇降架D32被驅動下移使載盤A下移落置於第一嵌抵組件D315的卡掣件D3151上(圖15)；若係第一種規格的載有正面朝上被檢查為良品的基板B之載盤A被第四軌道D2之皮帶D25形成的傳送流路移送至該收料機構D3之載料架D31下方，則同理被移送落置第二嵌抵組件D316的卡掣件D3162上方；在本實施例中，第一種規格的載有正面朝上被檢查為良品的基板B之載盤A將被優先執行，故載盤A移送落置第二嵌抵組件D316的卡掣件D3162上方將被先執行。

請參閱圖16~19，該翻轉機構E的翻轉座E4具有一呈長方形的框體E41，內部具有較載盤A大的長方形鏤空狀操作區間E411，框體E41一側受機座E5上所設感應器E8所感應定位，使框體E41每一次翻轉皆保持在一水平狀態；框體E41兩相對應的短邊側設有一組第一保持組件E42，框體 E41兩相對應的長邊側設有二組相隔間距的第二保持組件E43；翻轉座E4上並設有震盪器E44及朝操作區間E411檢測是否有載盤A之感應器E45；該組第一保持組件E42包括位於鄰靠轉軸E2的框體E41短邊側之第一對抵件E421以及相對轉軸E2的框體E41另一短邊側之第二對抵件E422；其中，第一對抵件E421以二樞桿E4211(圖中未示)樞設於框體E41，並受框體E41下方一驅動件E423作用，以驅動件E423之驅動桿E4231凸伸出力方向，作為向操作區間E411內前抵執行對抵之施力；第二對抵件E422以二樞桿E4221樞設於框體E41，並受框體E41下方一驅動件E424作用，該驅動件E424之驅動桿E4241朝框體E41聯結一連動件E4242，連動件E4242則連動二樞桿E4221，以驅動件E424之驅動桿E4241凸伸出力方向之反向，作為向操作區間E411內前抵執行對抵之施力；每一組第二保持組件E43各包括位於框體E41一長邊側之第一對夾件E431以及框體E41另一長邊側之第二對夾件E432；其中，第一對夾件E431、第二對夾件E432分別各以二樞桿E433樞設於框體E41，並受框體E41下方一驅動件E434作用，該驅動件E434之驅動桿E435朝框體E41外聯結一連動件E436，連動件E436則連動二樞桿E433，以驅動件E434之驅動桿E435凸伸出力方向之反向，作為向操作區間E411內前抵執行對抵之施力；第一對夾件E431及第二對夾件E432分別各設有可受驅動在一Z軸向滑軌E437上作滑移以進行上下開啟或閉靠之二夾爪E438，二夾爪E438一側並設有一定位件E439，其中，該二夾爪E438前端較定位件E439前端朝操作區間E411前伸。

請參閱圖20~21，該組第一保持組件E42之第一對抵件E421以及第二對抵件E422用以對抵載盤A兩側短側邊框緣A1外分別各設之外凸的扣肋A3；請參閱圖22~23，該二組第二保持組件E43之第一對夾件E431以及第二對夾件E432分別各以二夾爪E437對載盤A兩側長側邊之框緣A1 上相隔間距所設二微凹之扣緣A2(參閱圖3)進行上下對夾扣合，且在本實施例中，該二組第二保持組件E43之第一對夾件E431以及第二對夾件E432以同時進行二載盤A之上下對夾扣合為原則。

本發明實施例之電子元件之檢查方法，在實施上包括：一送空盤步驟，使一空載盤A先由供料機構C3或直接置於第一搬送裝置C的第一軌道C1之皮帶C13被輸送至第二軌道C2中第二載台C22處，並受夾持機構C221夾抵定位，及受第二載台C22頂抵連動上昇至預定高度定位，使翻轉機構E的翻轉座E4移至第二載台C22的空載盤A上方，並下移以第一保持組件E42將空載盤A保持在翻轉座E4中，翻轉座E4再上移待命；一反面檢查步驟，使載有反面朝上待檢查元件基板B之載盤A由供料機構C3經第一搬送裝置C的第一軌道C1被輸送至第二軌道C2中第一載台C21處，並受第一載台C21頂抵連動上昇至預定高度定位，以受第一檢查機構F的第一檢視單元F11對載盤A中各待檢查元件基板B反面逐一進行漏底銅檢查；檢查完後，第一載台C21連動載盤A下移回復原位，載盤A再受皮帶C13輸送至第二軌道C2中第二載台C22處，並受夾持機構C221夾抵定位；一翻轉步驟，完成反面檢查步驟的載盤A受第二載台C22頂抵連動上昇至預定高度定位；使翻轉機構E的翻轉座E4移至第二載台C22的上方，並下移以第一保持組件E42之翻轉座E4中原保持的空載盤A置於第二載台C22上的已完成反面檢查步驟的載盤A上方，並在解除第一保持組件E42對抵保持後，改以該二組第二保持組件E43之第一對夾件E431以及第二對夾件E432同時進行二載盤A之上下對夾扣合，將二載盤A保持在翻轉座E4中，翻轉座E4並進行翻轉一百八十度及位移至第二搬送裝置D的第三軌道D1中已上昇至預定高度定位的第三載台D11上方，此時載盤A中原反面朝上的基板B已被翻轉改為正面朝上並改置於原空轉盤A上，並使震盪器E44啟動而令翻轉座E4受震動以連動載盤A中基板B充份落置轉載，翻轉座E4下移將已載有正面朝上待檢查元件基板B且位於下方之轉盤A置於第三載台D11上受夾持機構D111夾持，翻轉座E4並改以第一保持組件E42之第一對抵件E421及第二對抵件E422對抵保持上方已轉載完畢的空載盤A，翻轉座E4並上移反復於第一搬送裝置C與第二搬送裝置D間作前述翻轉作業；一正面檢查步驟，完成翻轉步驟的載盤A在第三載台D11下降回位後被第二搬送裝置D的第三軌道D1輸送至第四載台D12處，載盤A受第四載台D12頂抵連動上昇至預定高度定位，以受第一檢查機構F的第二檢視單元F12對載盤A中各待檢查元件基板B正面逐一進行散熱片表面檢查；檢查完後，第四載台D12連動載盤A下移回復原位，載盤A再受皮帶D25輸送至第四軌道D2中第五載台D22處，並受夾持機構D221夾抵定位；一側面檢查步驟，完成正面檢查步驟的載盤A受第五載台D22頂抵連動上昇至預定高度定位，移載機構K的第一提取組件K11、第二提取組件K21分別自載盤A上提取已完成正面檢查的基板B，若該基板B經正、反面檢查後已確定為不良品，則第一提取組件K11、第二提取組件K21將分別經第一移載軌座K1、第二移載軌座K2將該基板B不良品直接移至第三搬送裝置G之第六軌道G2中第六載台G5上之空載盤A上置放；若該基板B經正、反面檢查後已確定為良品，則第一提取組件K11、第二提取組件K21將分別經第一移載軌座K1、第二移載軌座K2將該基板B良品分別移至第二檢查機構H的第三檢視單元H1及第四檢視單元H2進行四周側面之溢膠檢查，基板B檢查後若為良品，則回送於第五載台D22的載盤A中，基板B檢查後若為不良品，則移至第三搬送裝置G之第六軌道G2中第六載台G5之空載盤A上；一良品收集步驟，完成側面檢查步驟的第五載台D22上盛載基板B良品的載盤A下移回復原位，夾持機構D221解除夾抵定位，載盤A再受皮帶D25輸送至收料機構D3處收集；一不良品收集步驟，第三搬送裝置G之第五軌道G1上供料機構G3供應空載盤A循第五軌道G1輸送至第六軌道G2之第六載台G5處，並被夾持機構G51夾持定位及受第六載台G5頂抵連動上昇至預定高度定位，完成側面檢查步驟的第六載台G5上盛載基板B不良品的載盤A，隨第六載台G5下移回復原位，並受第六軌道G2輸送至收料機構G4收集。

本發明實施例翻轉機構及使用該翻轉機構之檢查方法及裝置，由於翻轉機構E的翻轉座E4以一轉軸E2為軸心受驅動件E3驅動作對稱性旋轉，故翻轉時力矩小，載盤A中基板B不易被拋傷；且翻轉座E4具有一框體E41，框體E41內部具有鏤空狀操作區間，載盤A以周緣被保持於框體E41中，不論使用於本實施例或一般未切割之基板，皆不易使基板被刮傷；而將該翻轉機構應用於基板B之檢查，該第一搬送裝置C、翻轉機構E、第二搬送裝置D、移載機構K、第三搬送裝置G循序將載盤A傳送，故可在整個傳送流路中完成基板B的反、正、四周側面等六面檢查；並藉由翻轉機構E的第一保持組件E42、第二保持組件E43之對抵或對夾轉換，使基板B順利轉換於二載盤A間並被穩定輸送；同時配合第一搬送裝置C之供料機構C3、第二搬送裝置D之收料機構D3、第三搬送裝置G之供料機構G3及收料機構G4之設計，使載盤A可順利的供、收，甚至作盛載不同規格基板B之載盤A的分別供、收，其所獲得的檢查、輸送效益確大幅提昇產能效率。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims

一種翻轉機構，包括：一翻轉座，其上供保持一受搬送物，該翻轉座可受驅動件驅動以一轉軸為軸心作對稱性旋轉，以使其上受搬送物自水平狀態進行一百八十度的朝上或朝下翻轉；該翻轉座以該轉軸設於一立設之機座上，該轉軸可受驅動件驅動在該機座上作上、下位移，該機座設於一軌座並受驅動件驅動而在軌座上作位移。
如申請專利範圍第1項所述翻轉機構，其中，該翻轉座具有一框體，框體內部具有鏤空狀操作區間。
如申請專利範圍第2項所述翻轉機構，其中，該框體兩相對應邊側設有第一保持組件，框體另一兩相對應的邊側設有第二保持組件。
如申請專利範圍第3項所述翻轉機構，其中，該第一保持組件包括位於鄰靠轉軸的框體邊側之第一對抵件以及相對轉軸的框體另一邊側之第二對抵件；該第二保持組件各包括位於框體一邊側之第一對夾件以及框體另一邊側之第二對夾件。
如申請專利範圍第4項所述翻轉機構，其中，該第一對夾件、第二對夾件分別各以二樞桿樞設於框體，並受框體下方一驅動件作用，該驅動件之驅動桿朝框體外聯結一連動件，連動件則連動二樞桿，以驅動件之驅動桿凸伸出力方向之反向，作為向操作區間內前抵執行對抵之施力。
如申請專利範圍第4項所述翻轉機構，其中，該第一對夾件及第二對夾件分別各設有可受驅動進行上下開啟或閉靠之二夾爪。
一種翻轉機構，包括：一翻轉座，該翻轉座具有一框體，其上供保持一受搬送物，該框體以一轉軸為軸心受驅動件驅動作旋轉，以使其上受搬送物自水平狀態進行一百八十度的朝上或朝下翻轉，框體內部具有鏤空狀操作區間；該框體兩相對應邊側設有第一保持組件。
如申請專利範圍第7項所述翻轉機構，其中，該翻轉座設於一立設之機座上，該機座設於一Y軸向軌座並受驅動件驅動而在軌座上作Y軸向位移。
如申請專利範圍第7項所述翻轉機構，其中，該框體另一兩相對應的邊側設有第二保持組件。
如申請專利範圍第7項所述翻轉機構，其中，該第一保持組件包括位於鄰靠轉軸的框體邊側之第一對抵件以及相對轉軸的框體另一邊側之第二對抵件。
如申請專利範圍第10項所述翻轉機構，其中，該第一對抵件以二樞桿樞設於框體，並受框體下方一驅動件作用，以驅動件之驅動桿凸伸出力方向，作為向操作區間內前抵執行對抵之施力。
如申請專利範圍第10項所述翻轉機構，其中，該第二對抵件以二樞桿樞設於框體，並受框體下方一驅動件作用，該驅動件之驅動桿朝框體聯結一連動件，連動件則連動二樞桿，以驅動件之驅動桿凸伸出力方向之反向，作為向操作區間內前抵執行對抵之施力。
一種檢查方法，使用如申請專利範圍第1至12項任一項所述翻轉機構，包括：提供一載盤，盛載待檢查元件；使載盤被一第一搬送裝置搬送至一第一載台受一第一檢視單元進行檢查；檢查後被第一搬送裝置搬送至一第二載台；以該翻轉機構將第二載台上載盤保持並翻轉至一第二搬送裝置的一第三載台；使第三載台上的載盤搬送至一第四載台上被一第二檢視單元進行檢查。
一種檢查裝置，使用如申請專利範圍第1至12項任一項所述翻轉機構，包括：一第一搬送裝置，形成一搬送載盤之傳送流路，設有一第一載台及一第二載台；一第一檢視單元，位於該第一載台上方，設有由上往下檢視之鏡頭；一第二搬送裝置，形成一搬送載盤之傳送流路，設有一第三載台及一第四載台；一第二檢視單元，位於該第四載台上方，設有由上往下檢視之鏡頭；該翻轉機構的翻轉座可受驅動位移於第一搬送裝置、第二搬送裝置間並進行翻轉。