KR20040101891A

KR20040101891A - 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템, 황산폐액의재자원화 방법 및 재자원화 황산

Info

Publication number: KR20040101891A
Application number: KR10-2003-7015618A
Authority: KR
Inventors: 이나가키야스히토
Original assignee: 소니 가부시끼 가이샤
Priority date: 2002-04-05
Filing date: 2003-04-04
Publication date: 2004-12-03
Also published as: US20040211464A1; US7360550B2; EP1493713A4; EP1493713A1; CN1522226A; CN1251966C; WO2003084868A1

Abstract

본 발명은, 지리적 조건 등에 불구하고, 사용이 끝난 폐황산의 부가가치를 향상하고, 배출원과는 다른 장소에서 유효하게 이용하는 것을 특징으로 하는 산업상 유리한 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템, 황산폐액의 재자원화 방법 및 재자원한 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 이 황산의 농도측정 및/또는 농도조정을, 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서 행하는 것, 배출원(A)에서 배출 또는 회수된 사용이 끝난 황산폐액을, 과산화 수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하여 재이용하는 것을 특징으로 한다.

Description

사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템, 황산폐액의 재자원화 방법 및 재자원화 황산{System for recycling spent sulfuric acid, method for recycling sulfuric acid waste, and recycled sulfuric acid}

황산은 여러 가지 산업에서 그 목적에 따른 그레이드(순도, 농도)로 대량으로 이용되고 있다. 이들 황산이 사용이 끝난 것으로 된 경우, 여러 가지의 리사이클방법 등이 제안되고 있으나(특개평9-315806호, 특개2002-68715호 등), 현재는, 통상 하기에 나타내는 바와 같은 처리가 행해지고 있다.

(1) 발생공장 내에서 배수처리(중화처리)를 행한다.

(2) 전문처리업자가 인수하여(회수하고), 배수처리를 행한다.

(3) 공장 내에서 중화제로서 이용한다.

(4) 황산폐액을 공장내, 혹은 재생전문업자가 재생 처리한다(증류정제).

(5) 전문업자에게 인도하고, 황산밴드(황산알루미늄)의 원료로서 이용한다(단, 이 경우에 있어서의 사용이 끝난 황산의 사용율은 10% 이하이다).

(6) 전문업자가 회수를 행하고, 버진품과 혼합하여 다른 사용자에게 전매한다.

상기 (1)의 케이스의 경우, 황산자체는 강산성의 극약이기 때문에, 그대로 폐기할 수는 없고, 다량의 알칼리 등의 중화제(예를 들면, 소석회 등)에 의한 중화처리, 각종 배수처리제(예를 들면, 무기응집제, 고분자 응집제, 과산화수소 분해촉진제 등)에 의한 응집침전처리 또는 과산화수소 제거처리 등이 필요하게 되고, 이것에 수반하여 다량의 오니와 배수를 발생시키게 된다. 상기 (2)에 대해서는, 사용이 끝난 황산을 공장외에서 처리하는 이외는 (1)의 케이스와 동일하다. 상기 (3)의 경우, 공장 내의 중화제로서의 수요는 적고, 결국 잉여분에 대해서는 (1)의 케이스와 동일한 처리가 필요하게 된다. 상기 (4)의 경우, 사용이 끝난 황산의 재생에는 대규모의 플랜트나 에너지가 필요하게 되고, 로케이션(입지조건)에 크게 영향되기 때문에, 일부의 한정지역밖에 대상으로 되지 않는다. 또, 발생공장 내에 재생설비를 설치하는 것은, 에너지, 코스트, 부지면적, 안전성, 핸드링 등의 면에서의 문제가 많고 실용적이 아니기 때문에, 일반에게는 거의 보급하고 있지 않다. 상기 (5)의 경우도, 폐황산은 거의 유가물로서의 취급을 받지 않고, 통상은 유상으로 인도하거나, 혹은 상당히 저가격(∼수엔/Kg)으로 매각되게 된다. 또 배출원→전문업자→이용자의 경로를 취하기 때문에 수송거리가 길게 되고, 상기 (4)의 경우와 같게, 로케이션(입지조건)에 의해 크게 영향된다. 상기 (5)에 대해서도, 배출원→전문업자→이용자의 경로를 취하기 때문에 수송거리가 길게 되고, 로케이션(입지조건)에 의한 영향을 받기 쉽다.

이상 기술한 바와 같이, 종래 기술에서는, 사용이 끝난 황산의 회수/인수를업무로 하는 전문업자의 로케이션에 의한 영향을 받기 쉽고, 그 때문에 그들 전문업자가 근처에 존재하지 않는 경우는, 자기공장 내에서 배수처리를 행하는 것이 일반적이며, 사용이 끝난 황산의 재자원화는, 아직 충분히 확립되어 있지 않다. 종래기술에서는, 사용이 끝난 황산의 부가가치는 낮고, 일반적으로는 상기 (1)이나 (2)의 방법에 의해 배수처리를 행하는 것이 통상이며, 혹은 외부에 유상으로 인도하고 있는지의 어느 방법으로 처리되고 있다. 그렇지만, 환경보호 대책상, 상기 (1)이나 (2)의 케이스에서 볼 수 있는 바와 같은 다량의 화학물질을 사용하고, 다량의 오니와 배수를 발생하게 하는 처리방법을 반복하고 있어서는, 점점 환경파괴가 조장되는 것은 명백하다.

그래서, 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법에 대한 기술의 개발요청이 높아져 오고 있고, 각 사업소에 있어서는, 그 방법과 함께 방법을 실행하기 위한 설비 등의 간결화, 에너지 절약화를 목표로 한 개발이 진행되고 있다. 예를 들면, 사용이 끝난 황산에, 아황산을 도입하고, 잔류 과산화수소수를 분해시키는 동시에 황산을 생성시키는 방법(특개평9-315806)이나, 음·양이온 교환막으로 구성되는 전해조에 사용이 끝난 황산을 공급함으로써, 황산을 농축하는 동시에 산화성물질을 생성하는 방법(특개평5-139707) 등이 각 사업소에 있어서 검토되고, 플랜트나 에너지의 축소화로 향한 맞붙음이 행해지고 있다. 그러나, 이들의 기술도 코스트면에서의 다수의 문제를 안고 있고, 실용적인 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법은 충분히 확립되어 있다고는 말할 수 없다.

본 발명은, 지리적조건 등에 불구하고, 사용이 끝난 황산을 배출원과는 다른장소에서 유효하게 이용하는 것을 장점으로 하는 산업상 유리한 신시스템을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

또, 본 발명은, 사용이 끝난 황산을 필요로 되는 순도나 량에 따라서 적절한 이용처에 공급하여 재자원화함으로써, 대규모의 설비를 설치하지 않고, 또한 저코스트로, 사용이 끝난 황산을 재자원화 할 수 있는 시스템을 제공하는 것도 목적으로 하는 것이다.

또, 본 발명은, 어느 사업소로부터 배출된 사용이 끝난 황산폐액을, 과산화 수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합함으로써, 부가가치를 높혀서 유효하게 이용하는 것을 특징으로 하는 산업상 유리한 재자원화 방법 및 부가가치가 높아진 재자원화 황산을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

또, 본 발명은, 사용이 끝난 황산폐액을 대규모한 설비를 설치하지 않고, 또한 저코스트로 재자원화 할 수 있는 방법을 제공하는 것도 목적으로 하는 것이다.

본 발명은 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템, 사용이 끝난 황산의 재자원화 황산, 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법과 동 재자원화 황산에 관한 것이다.

도 1a 와 1b는 종래의 사용이 끝난 황산폐액의 처리의 흐름을 나타내는 도면이다.

도 2는 종래의 사용이 끝난 황산폐액의 정제, 재생에 의한 재이용법의 일 양태를 나타내는 도면이다.

도 3은 종래의 사용이 끝난 황산의 처리의 흐름을 나타내는 도면이다.

도 4a∼도 4c는 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 일 양태를 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 다른 양태를 나타내는 도면이다.

도 6은 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 보다 구체적인 양태를 나타내는 도면이다.

도 7은 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법의 일 양태를 나타내는 도면이다.

도 8a∼도 8c는 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법의 다른 양태를 나타내는 도면이다.

본 발명자는, 상기의 목적을 달성하기 위해 예의 연구를 거듭한 결과, 어느 사업소에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산을 다른 사업소에서 유효하게 사용하기 위해, 사용이 끝난 황산발생 사업소, 사용이 끝난 황산운반업자, 사용이 끝난 황산이용 사업소 중의 적어도 1개소 이상에서 사용이 끝난 황산의 농도측정과 농도조정을 행하는 것으로, 로케이션의 영향을 거의 받지 않고 사용이 끝난 황산의 유효이용이 가능하게 되는 것을 발견하고, 다시 여러 가지의 검토를 행하여, 본 발명을 완성시키는데 이르렀다.

또, 어느 사업소에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산을 유효하게 이용하기 위해, 사용이 끝난 황산에 과산화 수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하는 것으로, 재자원화 황산으로써 이용하는 것이 가능하게 되는 것을 발견하고, 다시 여러 가지의 검토를 행하여, 본 발명을 완성시키는데 이르렀다.

본 발명에서 대상으로 하는 사용이 끝난 황산폐액은, 농도에 관해서는 특별히 한정하지 않으나, 순분(純分) 당의 운반비를 낮게 억제하고, 본 발명의 실용성을 향상시키기 위해서는, 농도가 높은 것일 수록 운송효율이 잘 되기 때문에 보다 바람직하다. 또, 황산폐액 중에 과산화 수소수가 혼입하고 있는 것이 보다 바람직하다. 의료기구 등의 소독탈취 등에 사용되는 과산화 수소는 강력한 산화제이며, 산화성 강산인 황산에 과산화 수소수를 혼입한 것은 상당히 산화력이 강하고, 유기물 및 무기물을 산화하여 용해·제거하는 것이 가능하고, 각종 세정액으로서의 용도가 기대할 수 있기 때문이다. 이상의 관점에서 본 발명에 적합한 황산폐액은, 반도체 사업소에서 배출되는 것이 호적하다. 즉, 반도체 사업소에서는 반도체 제조공정에 있어서, 불순물 함유량이 낮고 순도가 높은 농황산과 과산화 수소수를 혼입하여 세정액으로서 이용하고 있고, 이 때문에 사용이 끝난 것으로 된 황산폐액을 그대로 회수하면, 고농도이고 고순도인, 또한 과산화 수소수를 포함한 황산폐액을 얻을 수 있기 때문이다.

반도체 사업소에서 발생한 황산 과산화 수소수를 포함한 폐액은, 상술과 같이 공장 내에서 폐수처리되거나, 혹은 중화제로서 이용되는 것이 일반적이고, 황산밴드의 원료로서 공장 외에서 이용되는 경우도 있으나, 혼입하고 있는 과산화 수소수분을 유효하게 살리지 않고, 오히려 과산화 수소수가 폐액 중에 혼입하고 있는 것이 디메리트로 되어 이 황산폐액의 부가가치를 대폭으로 저감한 캐스케이드 이용(단순히 공업황산의 대체물)으로 밖에 있을 수 없다.

본 발명은, 이 황산폐액에 과산화 수소수 및/또는 물을 소정의 농도가 되도록 첨가하는 것이며, 폐액 중에 이미 포함되는 과산화 수소는 특히 문제로 되지 않고, 역으로 잔류분량만 첨가 과산화 수소수분량을 저감할 수 있기 때문에 유리하게 된다.

반도체 사업소로부터의 황산폐액은, 농도가 높으면 높을 수록, 불순물이 적으면 적을 수록, 재이용할 수 있는 대상이 많아지기 때문에 바람직하나, 통상 황산분 농도가 50∼90중량%가 보다 일반적이다. 또 이 황산폐액 중에 포함되는 과산화 수소분은 0∼6중량%이고, 0.1∼3중량%가 보다 일반적이다. 또 전자공업용의 황산의 순도에 대한 요구가, 반도체장치의 미세화, 고밀도화에 수반하여 엄격히 되고 있고, 예를 들면 금속성분에 대해서는 20ppb 이하인 것이 구해지고 있다. 따라서, 이 황산폐액 중에 포함되는 각종 불순물의 함유량은, 통상 금속성분이 <10ppb, 염화물이 <0.1ppm의 레벨의 상당히 고순도한 것인 것이 바람직하고, 이 때문에 반도체 사업소 이외의 사업소에서의 세정액 등의 용도에 사용하는 것이 가능하게 된다. 예를 들면, 브라운관 제조사업소에서의 포토레지스트 마스크용 박리액으로서, 기판 제조사업소에서의 동박의 에칭액으로서 이용할 수 있다. 이들의 경우, 어느 것도 저농도의 황산(0.수%∼40중량%)과 과산화 수소수(0.0 수∼십수%)의 혼합수용액이 사용되고 있기 때문에, 상술의 반도체 사업소에서 배출된 황산 과산화 수소수를 혼합한 폐액을 이들의 용도에 이용하는 것이 보다 호적하게 된다.

본 발명에 있어서의 황산폐액을 배출하는 사업소(A)는, 황산분 농도가 높고 또한 불순물이 적은 황산폐액을 배출하는 사업소 등이면 특별히 한정되지 않으나,예를 들면, 반도체를 포함하는 전기·전자, 철강, 무기약품, 유기약품, 의약, 섬유, 비료, 금속, 철강, 제지, 소다, 기계, 축전지, 중화석고 등의 각종 공업의 공장 또는 사업소 등을 들 수 있다. 이들 중에서는, 반도체, 약품, 의약, 화학공업이 바람직하지만, 특히, 반도체 사업소로부터 배출되는 사용이 끝난 황산폐액의 중금속등 불순물 함량이 적고(ppm∼ppt레벨) 또 황산농도가 60중량% 이상인 것에서, 황산폐액의 품질과 순도의 안정성에서 판단하면, 사업소(A)는, 반도체 사업소 또는 공장인 것이 바람직하다.

본 발명에서 대상으로 하는 사용이 끝난 황산폐액을 이용하는 사업소(C)로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 전기·전자(브라운관, 기판사업소를 포함한다), 철강, 무기약품, 유기약품, 의약, 섬유, 비료, 철강, 광산, 제지, 소다, 기계, 축전지, 중화석고 등의 각종 공업의 공장 또는 사업소를 들 수 있다. 이들 중에서는, 전기·전자(브라운관, 기판사업소를 포함한다), 화학, 기계, 철강공업이 바람직하다. 특히, 전기·전자산업(브라운관, 기판사업소를 포함한다)이 바람직하고, 이들의 구체예로서는, 브라운관 사업소나 기판제조사업소 등을 들 수 있다. 이들 사업소에서는, 포토레지스트막의 박리나 동박의 박리액으로서, 황산과 과산화 수소수의 희박혼합수용액을 이용하고 있고, 동(同)혼합액 중의 황산농도도 50%중량% 이하의 것이 많기 때문에, 사업소(A)로부터 배출된 사용이 끝난 황산을 재이용하는 위에서 호적하다.

본 발명에서 대상으로 하는 사용이 끝난 황산폐액의 이동체(B)로서는, 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면, 차량(예를 들면, 탱크로리, 트럭 등), 선박(예를들면, 탱커, 페리 등), 화물열차, 비행기(화물) 등을 들 수 있지만, 이들 중에서는, 차량과 선박이 보다 실용적이다. 특히, 로리차나 트럭(약품 콘테너에서의 반송)은 배출원 사업소(A)에서 이용처 사업소(C)로의 엑세스가 용이하기 때문에, 다른 운송수단 보다 적용범위가 크게 된다.

본 발명의 사용이 끝난 황산의 제자원화 시스템에 있어서는, 상술의 배출원(A), 이동체(B), 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서, 사용이 끝난 황산의 농도 측정 및/또는 황산조정을 행하는 것이 장점으로 한다. 특히, 사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 농도조정이 행해지는 것이 바람직하다.

본 발명에서 대상으로 하는 사용이 끝난 황산의 농도를 측정하는 수단으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 이하의 것을 들 수 있다. 즉, 굴절율 측정, 중화적정, 수분측정, (컬피셔법, 증발 남김법), 흡광도측정, 비중측정, 점도측정, pH측정, 전위차적정 등의 적어도 1종류 이상의 수단을 이용하여, 사용이 끝난 황산의 농도를 측정할 수 있다. 이들 중에서는, 측정의 속도와 정밀도, 측정기의 가격이나 크기, 핸들링성의 관점에서, 굴절율, 비중, pH의 측정수단이 보다 호적하다. 이상의 농도측정은, 사용이 끝난 황산이 배출되는 배출원(A), 사용이 끝난 황산을 운반하는 이동체(B) 또는 사용이 끝난 황산을 이용하는 이용처(C)의 어느 것으로 행해도 좋고, 상기 2개소 이상에서 행해도 좋다. 이와 같이, 농도측정을 행함으로써, 후술하는 농도조정의 지표로 된다. 또, 후에 농도조정을 행하지 않는 경우라도, 농도측정의 결과를 이용처(C)에 제시하는 것은, 재자원화 황산의 품질을보증하는 것에 연결된다. 또, 사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 가격을 결정할 수도 있다.

본 발명에서 대상으로 하는 농도조정은, 이 사용이 끝난 황산의 농도를 높게 하는 경우와, 낮게 하는 경우의 어느 쪽이라도 좋지만, 낮게 조절하는 쪽이 보다 일반적이다. 사용이 끝난 황산의 농도를 높게 하는데는, 무수황산이나 발연황산을 첨가하면 좋다. 또, 농도를 낮게 조정하는데는 물이나 순수(純水)를 첨가하는 것으로 가능하게 된다. 또한, 사용이 끝난 황산을 소정의 농도로 조정하는 방법으로서는, 사용이 끝난 황산에 대하여 일정량(대 볼륨, 중량)의 농도조정액(무수황산, 발연황산, 물, 순수 등)을 첨가하는 방법과, 상술의 농도측정의 결과를 토대로 소정량의 농도조정액을 첨가하는 방법이 있다. 품질관리의 관점에서 후자 쪽이 보다 바람직하다. 이상의 농도조정은, 사용이 끝난, 황산이 배출되는 배출원(A), 사용이 끝난 황산을 운반하는 이동체(B) 또는 사용이 끝난 황산을 이용하는 이용처(C)의 어느 것으로 행해도 좋고, 상기 2개소 이상으로 행해도 좋다.

상술의 농도측정과 농도조정은, 행하는 장소가 같아도 좋고, 달라도 좋다. 농도측정과 농도조정을 같은 장소에서 행하는 경우는, 농도측정 결과를 직접 농도조정장치(농도조정액, 농도조정액 저장탱크, 저장액 공급펌프, 조합탱크, 조합탱크내의 농도측정기 등)에 신호로 보내고, 소정의 농도로 자동적으로 조정할 수 있다. 한편, 농도측정과 농도조정을 행하는 경우가 다른 경우는, 농도측정 결과를 다음 공정에, 구두, 전화, 우송, 인터넷 등의 여러 가지의 수단을 이용하여 전달할 수 있다. 측정결과의 전달을 받은 개소는, 전달내용을 토대로 사용이 끝난 황산을그대로 사용할 것이지, 혹은, 농도조정을 할 것인지의 판단을 행한다. 농도조정할 경우는, 상술한 바와 같이, 희망하는 농도로 되도록 농도조정액의 첨가를 행한다. 또한, 농도조정액 첨가후의 사용이 끝난 황산의 농도가 소정의 농도로 되어 있는지 어떤지에 대하여 확인을 행하기 위해, 농도조정탱크 내에 농도측정기를 설치해도 좋다.

본 발명에 있어서는, 상술의 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서, 사용이 끝난 황산의 농도측정 및/또는 농도조정 이외의 다른 처리가 행해져도 좋다. 상기 다른 처리로서는, 하기에 상술하지만, 예를 들면, 사용이 끝난 황산 중의 황산을 농축하는 처리, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 첨가하는 처리등을 들 수 있다.

상기 다른 처리로서는, 사용이 끝난 황산중 황산을 농축하는 처리를 들 수 있다. 상기 농축처리로서는, 공지의 수단을 이용해도 좋다. 예를 들면, 사용이 끝난 황산에 포함되는 다른 성분이 물이나 과산화수소수 등과 같이 황산보다도 비점이 낮은 물질인 경우, 사용이 끝난 황산을 가열함으로써, 황산보다도 먼저 상기 다른 성분이 증발하기 때문에, 사용이 끝난 황산 중의 황산을 농축할 수 있다. 이 때, 기화한 상기 다른 성분을 흡인기 등을 이용하여 반응계로부터 제거함으로써, 상기 다른 성분의 기체를 자연확산에 의해 외부로 방출시키는 경우에 비해, 신속하게 황산을 농축할 수 있다. 이러한 처리에 있어서의 사용이 끝난 황산의 가열온도는, 사용이 끝난 황산에 포함되는 황산이외의 성분 등에 의해 다르므로, 일률적으로는 말할 수 없지만, 예를 들면 사용이 끝난 황산에 물이나 과산화 수소수가 포함되어 있는 경우, 약 150∼315℃정도, 바람직하게는, 약 180∼250℃정도이다. 상기 처리에서 이용하는 반응장치는 특별히 한정되지 않고, 공지의 장치를 이용해도 좋다. 상기 장치로서는, 농축조건하에서 사용이 끝난 황산에 대한 내식성(耐蝕性)을 가지는 재질로 이루며, 농축처리시에 일시적으로 모아둘 수 있고, 사용이 끝난 황산을 공급하는 공급구와, 농축후의 용액을 꺼내는 배출구와, 사용이 끝난 황산을 가열하는 가열장치와, 기화한 상기 다른 성분의 기체를 배기하는 배기구와, 소망에 의해 배기구에 접속되어 있는 흡인기로 이루는 장치를 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 황산 및 과산화 수소수를 혼합하여 이루는 사용이 끝난 황산 중의 황산을 농축하는 장치로서, 특개 평2002-68715호 공보에 기재의 장치 등을 들 수 있다.

또, 상기 다른 처리로서는, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리를 들 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 금속도금 분야에서 배출되는 사용이 끝난 황산에는 금속이온이 포함되어 있는 것이 많기 때문에, 이러한 금속이온을 제거하는 처리 등을 들 수 있다. 금속이온을 제거하는 처리로서는, 음이온 교환막을 사용하여, 산과 금속을 함유하는 용액으로부터 농도차를 구동력으로서 산을 회수하고, 금속이온을 분리하는, 이른바 확산투석을 들 수 있다. 이러한 산의 확산투석용 막으로서는, 수 많은 문헌, 특허가 보고되고 있지만, 가장 실용적으로 유익한 것으로서, 클로로메틸스티렌(또는 비닐피리딘)-디비닐벤젠 공중합체의 아미노화(또는 4급 피리디늄화) 음이온 교환막이 있다.

상기 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리로서는, 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산으로부터 과산화 수소수만을 제거하는 처리를 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 과산화 수소분해 촉매로 수소를 공급하면서 과산화 수소를 분해처리하는 방법(특개 소61-186208호 공보), 탄소질물질로 온도를 높인 폐액을 통하여 과산화 수소를 분해처리하는 방법(특개 평5-345188호 공보)을 들 수 있다. 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산으로 아황산을 도입하고, 과산화 수소와, 아황산을 반응시켜, 과산화 수소를 분해하는 동시에 황산을 생성시키고, 아황산의 과잉첨가를 아황산가스를 검지함으로써 방지하고, 또한 아황산 도입정지후 통기함으로써 잔존하는 아황산을 제거하는 방법(특개 평9-315806)도 들 수 있다.

상기 사용이 끝난 황산에는, 이용처(C)에서의 이용목적에 의해, 황산 이외의 다른 성분을 첨가해도 좋다. 상기 다른 성분으로서는 특별히 한정되지 않으나, 과산화 수소수등을 들 수 있다. 과산화 수소수를 함유하고 있는 황산은, 에칭제, 표면처리제 등으로서, 반도체의 제조, 프린트배선판의 제조, 각종 금속의 표면가공등에 많이 이용되고 있기 때문이다.

이상의 방법을 이용함으로써, 종래는 유효되게 이용되지 않았던, 혹은 저가격으로 매각되어 있던 사용이 끝난 황산의 부가가치를 비약적으로 향상(유가물로서)시킬 수 있다. 사용이 끝난 황산을 매각하는 경우의 형태로서는, 농도측정 결과를 매각처로 전달하여 그대로의 상태로 매각하는 케이스, 농도조정액을 첨가한 것(단, 조정액 첨가후의 농도는 미확인)을 매각하는 케이스, 소정의 농도로 조정한것(농도 확인한 것)을 매각하는 케이스의 3개를 들 수 있다. 사용이 끝난 황산을 매각하는 경우는, 종래와 같이 볼륨(용적)이나 중량을 기준으로 해도 좋고, 혹은, 농도측정 결과에 의거하여, 순분을 기준으로 매각해도 좋다. 사용이 끝난 황산을 그대로의 상태, 즉, 농도조정 하지 않은 상태로 매각하는 경우는, 배출측에서의 사용이 끝난 황산의 농도에 차가 생기기 때문에, 순분을 기준으로서 매각한 쪽이 보다 합리적(정량적)이다.

본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템은, 복수회 반복할 수 있다. 즉, 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템에 의해 재자원화 된 황산을, 재차 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템에 부가해도 좋다. 보다 구체적으로는, 다음식; 배출원(A) →이동체(B)→이용처(C) (=배출원(A')→이동체(B')→이용처(C')) n(식중, n은 자연수, 바람직하게는 1∼7의 자연수를 나타낸다. 단, n이 2이상의 자연수일 때, n의 값이 다른 경우의 A', B' 및 C' 각각은 동일해도 달라도 좋다.) 으로 나타내는 리사이클의 순환이 행해져도 좋다.

본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템은, 하기와 같은 양태를 취하고 있어도 좋다. 즉, 배출원(A)의 단말과, 이용처(C)의 단말과, 상기 단말과 네트워크를 거쳐서 접속되어 있는 사용이 끝난 황산정보 관리장치를 가지는 시스템이며, (a)사용이 끝난 황산에 관한 정보를 입력하는 수단과, (b)상기 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 축적하는 수단과, (c)공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 입력하는 수단과, (d)상기 (b)에서 축적되어 있는 정보중에서, 상기 (c)에서 입력된 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 수단과, (e)상기 (d)의 검색의 결과로서 얻어지는 정보를, 이러한 정보를 제시한 배출원(A)의 단말 또는/및 검색조건을 입력한 이용처(C)의 단말에 송신하는 수단을 가지는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템을 들 수 있다.

상기 사용이 끝난 황산정보 관리장치는, 배출원(A)의 단말 및 이용처(C)의 단말과 네트워크를 거쳐서 접속되어 있고, (a) 배출원(A)의 단말로부터 송신되어 오는 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 수신하는 수단과, (b) 상기 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 축적하는 수단과, (c) 이용처(C)의 단말로부터 송신되어 오는 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 수신하는 수단과, (d) 상기 (b)에서 축적되어 있는 정보로부터, 상기 (c)에서 수신한 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 수단과, (e) 상기 (d)의 검색의 결과로서 얻어지는 정보를, 이러한 정보를 제시한 배출원(A)의 단말 또는/및 검색조건을 입력한 이용처(C)의 단말에 송신하는 수단을 가진다.

네트워크로서는, 무선에 의해 구성되는 것이라도, 유선에 의해 구성되는 것이라도 좋다. 예를 들면, 인터넷이나, LAN으로 구성되어 있는 네트워크, 전용선으로 접속되어 있는 네트워크 등을 들 수 있다.

배출원(A)의 단말로부터 송신되어 오는 사용이 끝난 황산에 관한 정보로서는, 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면, 사용이 끝난 황산의 배출량, 사용이 끝난 황산의 농도측정의 유무, 농도측정이 행해지고 있는 경우의 측정결과, 사용이 끝난 황산의 농도조정을 행하는 것이 가능한지 아닌지, 사용이 끝난 황산에 포함되어 있는 다른 성분에 관한 정보(예를 들면, 종류나 함유량 등) 또는 인도하는 가격 등을 들 수 있다.

본 발명에 관계되는 상기 시스템은, 배출원(A)의 단말로부터 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 입력할 때에, 배출원(A)을 인증하는 인증수단을 가지고 있어도 좋다. 또, 명칭이나 주소 등 변경이 적은 사항, 지금까지 입력한 사용이 끝난 황산에 관한 정보등은, 로그인용의 ID와 패스워드에 대응하여, 사전에 등록하여 둔 사용자정보를 토대로 자동적으로 표시되어도 좋다.

이용처(C)의 단말로부터 송신되어 오는 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건으로서는, 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면, 사용이 끝난 황산의 공급량, 사용이 끝난 황산의 농도측정의 필요성의 유무, 희망농도, 사용이 끝난 황산의 농도조정의 필요성의 유무, 사용이 끝난 황산에 포함되어 있는 다른 성분에 관한 정보(예를 들면, 종류나 함유량 등) 또는 구입희망 등을 들 수 있다.

본 발명에 관계되는 상기 시스템은, 이용처(C)의 단말에서 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 입력할 때에, 이용처(C)를 인증하는 인증수단을 가지고 있어도 좋다. 또, 명칭이나 주소등 변경이 적은 사항, 지금까지 입력한 조건등은, 로그인용의 ID와 패스워드에 대응하여, 사전에 등록하여 둔 사용자 정보를 토대로 자동적으로 표시되어도 좋다.

본 발명에 관계되는 상기 시스템에 있어서의 검색수단은, 상기 (b)에서 축적되어 있는 정보로부터, 상기 (c)에서 수신한 조건을 모두 채우는 정보뿐만 아니라, 상기 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 수단이라도 좋다. 그리고, 검색된 정보는, 상기 조건을 입력한 이용처(C)의 단말로 송신된다. 이 때에, 검색된 정보를 제시한 배출원(A)에 관한 정보(예를 들면, 소재지나 명칭 등)등이 송신되어도 좋다. 또, 검색된 정보를 제시한 배출원(A)에, 상기 이용처(C)에 대한 정보(예를 들면, 소재지나 명칭 등) 또는/및, 이용처(C)가 제시한 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건등이, 송신되어도 좋다.

본 발명에 관계되는 상기 시스템은, 또한, (f) 이동체(B)에 관한 정보를 축적하는 수단과, (g) 배출원(A) 및 이용처(C)의 소재지, 운반하는 사용이 끝난 황산의 양과 사용이 끝난 황산의 농도측정 및 농도조정의 필요성으로부터 선택되는 적어도 1이상의 조건에 의거하여, 이동체(B)를 선택하는 수단을 가지는 것이 바림직하다. 이동체(B)를 선택할 때에는, 예를 들면, 운송코스트나, 이동체(B)의 구조나 재질에 있어서의 특성등의 상기 조건이외의 조건이 가미되어도 좋다. 또한, 상기 「이동체(B)에 관한 정보」로서는, 특별히 한정되지 않으나, 이동체(B)의 관리장소, 1회로 운반할 수 있는 양, 농도측정 또는 농도조정의 설비를 가지느냐 아니냐, 특수한 구조나 재질을 가지느냐 아니냐, 가지는 경우는 그 특성등을 들 수 있다.

또한, 본 발명에 관계되는 상기 시스템은, 사용이 끝난 황산정보 관리장치가, 이동체(B) 관리자의 단말도 네트워크를 거쳐서 접속되어 있고, (h) 선택된 이동체(B) 관리자의 단말에, 사용이 끝난 황산의 운반에 관한 정보를 송신하는 수단을 가지는 것이 보다 바람직하다. 「사용이 끝난 황산의 운반에 관한 정보」로서는, 배출원(A) 및 이용처(C)의 명칭이나 소재지, 운반하는 사용이 끝난 황산의양과 사용이 끝난 황산의 농도측정 및 농도조정의 필요성, 운반코스트, 운반일시, 이동체(B)에 요구되는 구조나 재질상의 특성등을 들 수 있다. 또, 「이동체(B)의 관리자」로서는, 이동체(B)를 관리하는 자라면 특별히 한정되지 않고, 통상은 이동체(B)의 소유자를 들 수 있지만, 이 자에 한정되지 않는다.

본 발명은, (a) 배출원(A)의 단말로부터 송신되어 오는 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 수신하는 기능과, (b) 상기 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 축적하는 기능과, (c) 이용처(C)의 단말로부터 송신되어 오는 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 수신하는 기능과, (d) 상기 (b)에서 축적되어 있는 정보로부터, 상기 (c)에서 수신한 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 기능과, (e) 상기 (d)의 검색 결과로서 얻어지는 정보를, 이러한 정보를 제시한 배출원(A)의 단말 또는/및 검색조건을 입력한 이용처(C)의 단말에 송신하는 기능을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 독해 가능한 기록매체도 제공한다.

상기 본 발명에 관계되는 기록매체에는, 또한, (f) 이동체(B)에 관한 정보를 축적하는 기능과, (g) 배출원(A) 및 이용처(C)의 소재지, 운반하는 사용이 끝난 황산의 양과 사용이 끝난 황산의 농도측정 및 농도조정의 필요성에서 선택되는 적어도 1이상의 조건에 의거하여, 이동체(B)를 선택하는 기능을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램이 기록되어 있는 것이 바람직하다. 또한, (h) 선택된 이동체(B)의 소유자의 단말에, 사용이 끝난 황산의 운반에 관한 정보를 송신하는 기능을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램이 기록되어 있는 것이 보다 바림직하다.

상기 프로그램은, 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산정보 관리장치에 내장되어 있는 기록매체로서의 하드디스크나 반도체메모리에 미리 인스톨 한 상태로 사용자에게 제공할 수 있다.

또, 상기 프로그램은, 플로피(등록상표)디스크, CD-ROM(Cisc-Read Only Memory), MO(Magneto Optical)디스크, DVD(Digital Versatile Disc), 자기디스크, 반도체메모리 등의 기록매체에, 일시적 혹은 연속적으로 격납하고, 패키지 소프트웨어로서 제공할 수 있다.

또한, 상기 프로그램은, 다운로드사이트로부터, 무선으로 위성등을 거쳐서, 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산정보 관리장치에 전송하거나, 로컬에어리어 네트워크, 인터넷이라는 네트워크를 거쳐서, 유선 또는 무선으로 전송하고, 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산정보 관리장치에 있어서, 내장하는 하드디스크 등에 격납시킬수 있다.

본 명세서에 관계되는 기록매체란, 이들 전체의 매체를 포함하는 광의의 개념을 의미하는 것이다. 또, 본 명세서에 있어서, 기록매체에 의해 제공되는 프로그램을 기술하는 상기 기능은, 기재된 순서에 따라서 시계열적으로 처리가 행해져도 좋고, 반듯이 시계열적으로 처리되지 않아도, 병렬적 혹은 개별로 처리가 실행되는 것이라도 좋다.

본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템에 있어서는, 상술의 배출원 사업소(A), 이동체(B), 이용처 사업소(C)의 적어도 일개소 이상으로, 사용이 끝난 황산의 농도측정 및/또는 과산화 수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하여 농도조정을 행하는 것을 장점으로 한다. 또 사용이 끝난 황산폐액의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 농도조정이 행해지며, 조정후의 황산폐액의 농도도 측정하는 것이 바림직하다.

본 발명에서 대상으로 하는 사용이 끝난 황산폐액 혹은 과산화 수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하여 농도조정한 황산폐액의 농도를 측정하는 수단으로서는, 특별히 한정되지 않으나, 이하의 것을 들 수 있다. 즉, 굴절율측정, 중화 적정(滴定), 수분측정(컬피셔법, 증발남김법), 초음파측정, 흡광도측정, 비중(밀도)측정, 점도측정, pH측정, 전위차적정 등의 적어도 일종류 이상의 수단을 이용할 수 있다. 이들 중에서는, 측정의 속도와 정밀도, 측정기의 가격이나 크기, 핸들링성의 관점에서, 굴절율, 비중, pH, 초음파, 흡광도의 측정수단이 보다 호적하다. 이상의 농도측정은, 사용이 끝난 황산폐액이 배출되는 배출원 사업소(A), 사용이 끝난 황산폐액을 운반하는 이동체(B) 또는 사용이 끝난 황산폐액을 이용하는 이용처 사업소(C) 어느 것으로 행해도 좋고, 상기 2개소 이상으로 행해도 좋다. 이와 같이, 농도측정을 행하는 것은 후술하는 농도조정을 행할 필요가 있는지 없는지의 판단지표로 되며, 농도조정을 행할 경우는, 과산화 수소수 및/또는 물을 혼합할때의 혼합중량비율 결정의 지표로 된다.

본 발명은, 상기 사용이 끝난 황산폐액에, 과산화 수소수와 물이 적어도 일종 이상을 혼합하는 것으로, 이 황산폐액의 부가가치의 향상을 지향하는 것이지만, 황산폐액으로의 과산화 수소수 및/또는 물의 혼합순서나, 혼합중량비율 등의 혼합조정방법에 대해서는 특별한 제약은 없다. 사용이 끝난 황산폐액을 소정의 농도로 조정하는 방법으로서는, 사용이 끝난 황산폐액에 대하여 일정량(대 볼륨, 중량)의 과산화 수소수 및/또는 물을 첨가하는 방법과, 상술의 농도측정의 결과를 토대로 소정량의 과산화 수소수 및/또는 물을 첨가하는 방법이 있지만, 품질관리의 관점에서 후자 쪽이 보다 바람직하다. 또 혼합순에 대해서는, 안전면의 관점에서 과산화 수소수나 물에 황산폐액을 첨가한 쪽이 보다 바람직하다. 또한, 농도측정의 결과에 의해, 황산폐액의 농도를 높게할 필요가 있는 경우에는, 진한 황산이나 무수(無水)황산 발연황산을 첨가해도 좋다. 또 혼합중량 비율에 대해서는, 이용처에서 필요하게 되는 농도로 조정되는 것이 바람직하다. 농도조정에 이용되는 과산화 수소수는, 산화력을 가지는 것이라면, 특별히 한정되지 않고, 이용측에서 요구되는 품질그레이드에 맞추면 좋고, 공업레벨의 저그레이드품이여도 좋고, 시약이나 전자공업용의 고그레이드품이라도 좋다.

이상의 과산화 수소수 및/또는 물의 첨가에 의한 농도조정(필요하면, 진한 황산이나 무수황산, 발연황산을 첨가)은, 사용이 끝난 황산이 배출되는 배출원 사업소(A), 사용이 끝난 황산을 운반하는 이동체(B) 또는 사용이 끝난 황산을 이용하는 이용처 사업소(C) 어느 것으로 행해도 좋고, 상기 2개소 이상으로 행해도 좋다.

상술의 농도측정과 농도조정은, 행하는 장소가 같아도 좋고, 달라도 좋다. 농도측정과 농도조정을 같은 장소에서 행하는 경우는, 농도측정결과를 직접 농도조정장치(황산 폐액탱크, 농도조정액, 농도조정액 저장탱크, 조정액 공급펌프, 혼합조, 혼합조 내의 농도측정기 등)에 신호로 보내고, 소정의 농도에 자동적으로 조정할 수 있다. 한편, 농도측정과 농도조정을 행하는 장소가 다른 경우는, 농도측정 결과를 다음 공정으로, 구두(口頭), 전화, 우송, 인터넷 등의 여러 가지 수단을 이용하여 전달할 수 있다. 측정결과의 전달을 받은 개소는, 전달내용을 토대로 사용이 끝난 황산을 그대로 사용할 것인지, 혹은, 농도조정할 것인지의 판단을 행한다. 농도조정할 경우는, 상술한 바와 같이, 희망하는 농도로 되도록 농도조정의 첨가를 행한다. 또한, 농도조정액 첨가후의 사용이 끝난 황산의 농도가 소정의 농도로 되어 있는지 어떤지에 대하여 확인을 행하기 위해, 농도조정탱크 내에 농도측정기를 설치해도 좋다.

본 발명에 있어서의, 사용이 끝난 황산폐액으로의 과산화 수소수 및/또는 물의 첨가에 의한 농도조정(필요하다면, 황산이나 무수황산, 발연황산을 첨가)은, 사용이 끝난 황산이 배출되는 배출원 사업소(A), 사용이 끝난 황산을 운반하는 이동체(B) 또는 사용이 끝난 황산을 이용하는 이용처 사업소(C)의 어느 것으로 행해도 좋고, 상기 2개소 이상으로 행해도 좋지만, 농도조정을 위한 농도조정장치(황산폐액탱크, 농도조정액, 농도조정액 저장탱크, 조정액 공급펌프, 혼합조, 혼합조 내의 농도측정기 등)를 가지고 있는 것이 바림직하다. 농도조정장치는 특별히 한정되지 않지만, 사업소(A) 또는 사업소(C)에서 농도조정이 행해지는 경우는, 농도조정장치는 설치형인 것이 바람직하고, 이동체(B)에서 농도조정이 행해지는 경우는, 탱크로리차의 탱크 등인 것이 바람직하다. 혼합조로서는, 농도조정한 황산폐액을 일시적으로 모아 둘 수 있고, 황산 및 과산화 수소수에 대한 내식성을 가지는 것이면 좋다. 이와 같은 혼합조의 재질로서는, 예를 들면 석영유리 등을 이용하는 것이 소망스럽다. 또 이 혼합조에는, 사용이 끝난 황산폐액, 과산화 수소수 및 물을 혼합조에 공급하기 위해 일시적으로 사용이 끝난 황산폐액을 모아 두는 폐액탱크, 과산화 수소수 및 물 등의 농도조정액을 모아 두는 농도조정액 저장탱크 및 이들을 혼합조에 공급하는 조정액 공급펌프를 갖추고 있는 것이 바람직하다. 폐액탱크, 농도조정액 저장탱크 및 조정액 공급펌프의 재질로서는, 혼합조와 동일하게 황산 및 과산화 수소수에 대한 내식성을 가지는 것이라면 좋고, 또 조정액 공급펌프로서는, 예를 들면 압력차에 의해 유체(流體)를 보내는 장치인 펌프, 예를 들면 회전펌프, 다이어프램 펌프 등을 이용할 수 있다.

본 발명에 있어서는, 상술의 배출원 사업소(A), 이동체(B) 및 이용처 사업소(C)의 적어도 일개소 이상에서, 사용이 끝난 황산의 농도측정 및/또는 농도조정 이외의 다른 처리가 행해져도 좋다. 상기 다른 처리로서는, 하기에 상세히 설명하지만, 예를 들면, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 첨가하는 처리등을 들 수 있다.

상기 다른 처리로서는, 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리를 들 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 금속 도금분야에서 배출되는 사용이 끝난 황산에는 금속이온이 포함되어 있는 것이 많기 때문에, 이러한 금속이온을 제거하는 처리등을 들 수 있다. 금속이온을 제거하는 처리로서는, 음이온 교환막을 사용하여, 산과 금속을 함유하는 용액에서 농도차를 구동력으로서 산을 회수하고, 금속이온을 분리하는, 이른바 확산투석을 들 수 있다(특개 평08-000966). 이러한 산의 확산투석용 막으로서는, 수 많은 문헌, 특허가 보고 되어 있지만, 가장 실용적으로 유익한 것으로서, 클로로메틸스티렌(또는 비닐피리딘)-디비닐벤젠 공중합체의 아미노화(또는 4급 피리디늄화) 음이온 교환막이 있다.

상기 사용이 끝난 황산 중의 황산이외의 성분을 제거하는 처리로서는, 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산폐액으로부터 , 소정의 과산화 수소수농도로 하도록 과잉의 과산화 수소수분을 제거하는 처리를 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 과산화 수소분해 촉매에 수소를 공급하면서 과산화 수소를 분해처리하는 방법(특개 소61-186208호 공보), 탄소질물질에 온도를 높인 폐액을 통하여 과산화 수소를 분해처리하는 방법(특개 평5-345188호 공보)을 들 수 있다. 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산으로 아황산을 도입하고, 과산화 수소와 아황산을 반응시켜, 과산화 수소를 분해하는 동시에 황산을 생성시켜, 아황산의 과잉첨가를 아황산가스를 검지함으로써 방지하고, 또한 아황산 도입정지 후 통기함으로써 잔존하는 아황산을 제거하는 방법(특개 평9-315806)도 들 수 있다.

이상의 방법을 이용함으로써, 종래는 유효하게 이용되지 않았던, 혹은 저가격으로 매각되어 있던 사용이 끝난 황산의 부가가치를 비약적으로 향상(유가물로서)시킬 수 있다. 사용이 끝난 황산을 매각하는 경우의 형태로서는, 농도측정 결과를 매각처에 전달하여 그대로의 상태로 매각하는 케이스, 과산화수소수 및/또는 물의 농도조정액을 첨가한 물(단, 조정액 첨가후의 농도는 미확인)을 매각하는 케이스, 소정의 농도로 조정한 것(농도 확인한 것)을 매각하는 케이스의 3개를 들 수 있다. 사용이 끝난 황산을 매각하는 경우는, 종래와 같이 볼륨(용적)이나 중량을 기준으로 해도 좋고, 혹은, 농도측정 결과에 의거하여, 순분을 기준으로 매각해도 좋다. 사용이 끝난 황산을 그대로의 상태, 즉, 농도조정 하지 않은 상태로 매각하는 경우는, 배출측에서의 사용이 끝난 황산의 농도에 오차가 생기기 때문에,순분을 기준으로서 매각한 쪽이 보다 합리적(정량적)이다.

본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법은, 복수회 반복할 수 있다. 즉, 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법에 의해 재자원화 된 황산을, 재차 본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법에 회부하여도 좋다. 보다 구체적으로는, 다음식; 배출원(A)→이동체(B)→이용처 사업소(C)(=배출원(A')→이동체(B')→이용처(C')) n(식중, n은 자연수, 바람직하게는 1∼7의 자연수를 나타낸다. 단, n이 2이상의 자연수일 때, n의 값이 다른 경우의 A', B' 및 C' 각각은 동일해도 달라도 좋다.) 으로 표시되는 리사이클의 순환이 행해져도 좋다.

본 발명에 관계되는 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화 방법은, 하기와 같은 시스템 양태를 가지고 있어도 좋다. 즉, 배출원 사업소(A)의 단말과, 이용처 사업소(C)의 단말이, 예를 들면 인터넷이나 LAN 등의 네트워크를 거쳐서 접속되어 있는 사용이 끝난 황산정보 관리장치를 구비하는 시스템을 가지는 방법이며, (a)사용이 끝난 황산에 관한 정보를 입력하는 수단과, (b)상기 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 축적하는 수단과, (c)공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 입력하는 수단과, (d) 상기 (b)에서 축적되어 있는 정보중에서, 상기 (c)에서 입력된 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 수단과, (e) 상기 (d)의 검색의 결과로서 얻어지는 정보를, 이러한 정보를 제시한 배출원 사업소(A)의 단말 또는/및 검색조건을 입력한 이용처 사업소(C)의 단말에 송신하는 수단을 가지는 시스템을 구비하는 방법을 들 수 있다. 또, 사용이 끝난 황산정보 관리장치가,이동체(B)의 단말도 네트워크를 거쳐서 접속되어 있고, (f) 선택된 이동체(B)의 단말에, 사용이 끝난 황산폐액의 운반에 관한 정보를 송신하는 수단을 가지고 있어도 좋다.

<실시예>

실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

비교를 위해, 종래의 사용이 끝난 황산폐액의 처리의 흐름을 도 1a, 도 1b, 도 2 및 도 3에 기재했다. 예를 들면, 반도체 사업소 및 공장 등으로부터 배출되는 사용이 끝난 황산은, 도 1a에 나타내는 바와 같이, 다른 알칼리·산성 세정액과 함께 그대로 배수처리에 회부되고, 산 또는 알칼리 등의 중화제, 각종 배수처리제를 실시한 후, 폐수 및 오니로 되는 경우가 있다. 또, 도 1b에 나타내는 바와 같이, 사용이 끝난 황산폐액만을 회수하여 중화제(산) 등으로서 이용된 후, 배수처리에 회부되는 경우가 있다. 또한 사용이 끝난 황산폐액은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 전문처리업자에게 인수되어, 정제, 재생 등의 처리에 회부되는 경우도 있다. 보다 구체적으로는, 회수후 장거리 수송된 사용이 끝난 황산폐액은, 이용자에게 도착되어서, 거기서 대형 플랜트에서 정제·재생처리에 회부되고, 폐황산이나 황산밴드의 원료로서 저부가가치의 용도적으로 이용되는 경우가 있다. 예를 들면, 도 3c에 나타내는 바와 같이, 사용이 끝난 황산은, 대형 플랜트에서 정제처리에 회부된 후, 장거리 수송되어, 이용자에게 도달되는 경우가 있다. 도 3d에 나타내는 바와 같이, 사용이 끝난 황산은, 대형 플랜트에서 조합처리되어, 재생된후, 장거리 수송되어, 이용자에게 도달되는 경우가 있다. 또한, 도 3e에 나타내는 바와 같이, 사용이 끝난 황산은, 대형 플랜트에서 배수처리된 후, 페기되는 경우도 있다.

도 4a∼도 4c에, 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 일 양태를 나타낸다. 본 양태에서는, 배출원(A)(도 4a의 경우), 이동체(B)(도 4b의 경우) 또는 이용처(C)(도 4c의 경우)의 어느 것에서, 사용이 끝난 황산의 농도측정을 행한다. 또한, 도 4a 및 도 4b의 경우는, 측정된 농도결과의 정보가 이용처(C)에 전달된다.

도 5에, 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 다른 양태를 나타낸다. 본 양태에서는, 사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 농도조정을 행한다. 보다 구체적으로는, 도 5a에 나타내는 바와 같이, 배출원(A)에서 사용이 끝난 황산의 농도측정을 행하고, 측정된 농도결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 농도조정을 행하고, 이어서, 농도조정된 재자원황산을 이동체(B)에서 이용자(C)에게 제공한다. 도 5c는, 농도측정 및 그것에 의거한 농도조정을, 배출원(A) 대신에 이용자(C)가 행하는 경우를 나타낸다. 또, 사용이 끝난 황산의 농도측정을 이동체(B)에서 행하고, 그 측정결과를 이용자(C)에게 전달하고, 이용자(C)가 전달된 농도결과에 의거하여 농도조정을 행해도 좋다(도 5b).

본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템의 보다 구체적인 양태를, 도 6에 나타낸다. 본 양태에서는, 반도체공장으로부터 회수되는 과산화 수소수를포함하는 사용이 끝난 황산을, 브라운관 기판공장에서 황산과 과산화 수소수의 혼합수용액으로서 재자원화 한다. 보다 구체적으로는, 반도체공장에 있어서의, 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산(도 6에 있어서는 황산과수폐액이라고 나타내고, 이하에 있어서 황산과수폐액이라고 약칭한다.)을 회수하고, 황산과수폐액 탱크에 저장한다. 이동체(B)로서 탱크로리를 이용하여, 황산과수폐액을 브라운관 기판공장까지 운반한다. 이 때, 탱크로리의 소유자는, 황산과수폐액을 그냥 운반하는 것이 아니라, 황산과수폐액을 반도체공장으로부터 매입하고, 브라운관 기판공장에 황산과수폐액을 매각하는 것으로 하여도 좋다. 브라운관 기판공장에서는, 운반되어 온 황산과수폐액의 농도를 측정하고, 소망에 의해 과산화수소수나 물을 첨가하고, 소망의 혼합비율을 가지는 과산화 수소수를 포함하는 황산을 제작하고, 그것을 포토레지스트막의 박리나 동박의 박리액으로서 이용한다. 여기서, 농도조정을 위해 이용하는 과산화 수소수는, 사용이 끝난 과산화 수소수이라도 좋다.

또, 도 6에, 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템이 2회 연속하여 반복되는 경우를 나타냈다. 즉, 반도체공장에 있어서 배출된 황산폐수폐액을, 본 발명에 관계되는 재자원화 시스템에 의거하여, 화학공장에서 재이용하고, 또한, 상기 화학공장에서 배출된 황산과수폐액을, 브라운관 기판공장에서 재이용한다는 것이다. 또한, 도 6에서는, 각각의 과정에서의 상세는 특별히 도시하지 않았다.

본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법의 구체적인 양태를 도 7에 나타낸다. 본 양태에서는, 반도체사업소 또는 공장으로부터 회수되는 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산폐액을, 브라운관 제조사업소 또는 공장에서 포토레지스트막의 박리액 등으로서 재자원화하여 이용한다. 보다 구체적으로는, 반도체공장에 있어서, 과산화 수소수를 포함하는 사용이 끝난 황산폐액(도 7에 있어서는 황산과수폐액이라고 나타내고, 이하에 있어서 황산과수폐액이라고 약칭한다.)을 회수하고, 황산과수폐액 탱크에 저장한다. 이동체(B)로서 탱크로리를 이용하고, 황산과수폐액을 브라운관 제조사업소 또는 공장까지 운반한다. 이 때, 탱크로리의 소유자는, 황산과수폐액을 그냥 운반하는 것이 아니라, 황산과수폐액을 반도체공장으로부터 매입하고, 브라운관 제조사업소 또는 공장에 황산과수폐액을 매각하는 것으로 해도 좋다. 브라운관 제조사업소 또는 공장에서는, 운반되어 온 황산과수폐액의 농도를 측정하고, 희망하는 농도로 과산화수소수 및/또는 물의 일종 이상을 첨가하여, 소망의 혼합비율을 가지는 과산화 수소수를 포함하는 황산을 혼합조 내에서 제작하고, 그것을 포토레지스트막의 박리나 동박의 박리액으로서 이용한다. 여기서, 농도조정을 위해 이용하는 과산화 수소수는, 사용이 끝난 과산화 수소수라도 좋다.

본 양태에 의해 얻어진 재자원화 황산은, 종래 브라운관 제조사업소 또는 공장이 포토레지스트막 박리용으로서 약품메이커로부터 구입하고 있던 박리액(저농도 황산과수혼합액)과 품질그레이드는 동등하며, 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화에 의한 유효이용과 함께, 브라운관 제조사업소 또는 공장에 있어서의 제조코스트의 삭감에 공헌할 수 있게 된다.

도 8a∼도 8c에, 본 발명의 사용이 끝난 황산의 재자원화 방법의 다른 양태를 나타낸다. 본 양태에서는, 사용이 끝난 황산폐액의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 과산화 수소수 및/또는 물의 일종 이상의 첨가에 의한 농도조정을 행한다. 보다 구체적으로는, 도 8a에 나타내는 바와 같이, 배출원 사업소(A)에서 사용이 끝난 황산폐액의 농도측정을 행하고, 측정된 농도결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 과산화 수소수 및/또는 물의 일종 이상의 첨가에 의한 농도조정을 행하고, 이어서, 농도조정된 재자원황산을 이동체(B)에서 이용처 사업소(C)에 제공한다. 도 8c는, 농도측정 및 그 것에 의거한 농도조정을, 배출원 사업소(A) 대신에 이용처 사업소(C)가 행하는 경우를 나타낸다. 또, 사용이 끝난 황산의 농도측정을 이동체(B)에서 행하고, 그 측정결과를 이용처 사업소(C)에 전달하고, 이용처 사업소(C)가 전달된 농도결과에 의거하여 과산화 수소수 및/또는 물의 일종 이상의 첨가에 의한 농도조정을 행해도 좋다(도 8b).

본 발명에 의해, 어떤 사업소로부터 배출된 사용이 끝난 황산에 과산화 수소수 및/또는 물의 일종 이상을 첨가함으로써, 이 황산폐액의 부가가치를 향상하고, 다른 사업소에서의 유효이용이 촉진되게 된다. 또, 본 발명에 있어서는, 사용이 끝난 황산의 부가가치를 향상시키기 위해 특히 큰 설비를 필요로 하지 않기 때문에, 로케이션에 의한 영향을 받는 것이 거의 없다. 그 결과, 사용이 끝난 황산의 리사이클이 촉진되어, 사용이 끝난 황산을 처리하기 위한 배수처리제의 삭감과, 배수처리할 때에 발생하는 오니와 배수발생량의 저감이 가능하게 된다. 특히, 배수원(A)과 이용자(C)가 동일기업, 동일기업그룹 또는 관련기업그룹에 속하는 경우에는, 본 발명의 이점이 현저하게 증대한다.

Claims

배출원(A)에서 배출 또는 회수된 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 이 황산의 농도측정 및/또는 농도조정을, 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서 행하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
제 1항에 있어서,

사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 농도조정을 행하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
제 1항에 있어서,

사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여 사용이 끝난 황산의 가격을 결정하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
배출원(A)에서 배출 또는 회수된 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서 농도측정 및/또는 농도조정을 행하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템을 사용하여 얻어지는 재자원화 황산.
제 4항에 있어서,

농도측정의 결과에 의거하여 농도가 조정되는 것을 특징으로 하는 재자원화 황산.
배출원(A)에서 배출 또는 회수된 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서 농도측정 및/또는 농도조정을 행하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템을 사용하여 얻어지는 재자원화 황산을 이용하여 제조되고 있는 공업제품.
제 6항에 있어서,

농도측정의 결과에 의거하여 농도가 조정된 재자원화 황산을 이용하여 제조되고 있는 공업제품.
배출원(A)에서 배출 또는 회수된 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 이 황산의 농도측정 및/또는 농도조정을 배출원(A), 이동체(B) 및 이용처(C)의 적어도 일개소 이상에서 행하는 것을 특징으로 하는 재자원화 황산의 제조방법.
제 1항에 있어서,

배출원(A)의 단말과, 이용처(C)의 단말과, 상기 단말과 네트워크를 거쳐서 접속되어 있는 사용이 끝난 황산정보 관리장치를 가지는 시스템이며, (a) 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 입력하는 수단과, (b) 상기 사용이 끝난 황산에 관한 정보를 축적하는 수단과, (c) 공급을 받고 싶은 사용이 끝난 황산에 관한 조건을 입력하는 수단과, (d) 상기 (b)에서 축적되어 있는 정보 중에서, 상기 (c)에서 입력된 조건의 적어도 일부에 합치하는 정보를 검색하는 수단과, (e) 상기 (d)의 검색의 결과로서 얻어지는 정보를, 이러한 정보를 지시한 배출원(A)의 단말 또는/및 검색조건을 입력한 이용처(C)의 단말에 송신하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
제 9항에 있어서,

또한, (f) 이동체(B)에 관한 정보를 축적하는 수단과, (g) 배출원(A) 및 이용처(C)의 소재지, 운반하는 사용이 끝난 황산의 양 및 사용이 끝난 황산의 농도측정 및 농도조정의 필요성으로부터 선택되는 적어도 1이상의 조건에 의거하여, 이동체(B)를 선택하는 수단을 가지는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
제 10항에 있어서,

사용이 끝난 황산정보 관리장치가, 이동체(B)의 관리자의 단말도 네트워크를 거쳐서 접속되어 있고, (h) 선택된 이동체(B)의 관리자의 단말에, 사용이 끝난 황산의 운반에 관한 정보를 송신하는 수단을 가지는 사용이 끝난 황산의 재자원화 시스템.
배출원(A)에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산폐액을, 과산화수소수와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하여, 이용하는 것을 특징으로 하는 황산폐액의 재자원화방법.
제 12항에 있어서,

사용이 끝난 황산폐액중의 금속성분 농도가 10ppb이하 및 염화물 농도가 0.1ppm 이하인 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화 방법.
제 12항에 있어서,

배출원(A)에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산폐액을, 배출원(A)과는 다른 이용처(C)에서 이용하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화 방법.
제 12항에 있어서,

사용이 끝난 황산의 농도측정의 결과에 의거하여, 사용이 끝난 황산의 농도조정을 행하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화 방법.
제 12항에 있어서,

배출원(A)에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산을, 이동체(B)에서 운반을 행하고, 이용처(C)에서 사용할 때, 이 황산의 농도측정 및/또는 농도조정을, 배출원(A), 이용처(C) 및 이동체(B)의 적어도 일개소 이상에서 행하는 것을 특징으로 하는 사용이 끝난 황산폐액의 재자원화 방법.
배출원(A)에서 배출/회수된 사용이 끝난 황산폐액을, 과산화수소와 물의 적어도 일종 이상을 혼합하여, 이용하는 것을 특징으로 하는 황산폐액의 재자원화 방법을 사용하여 제조된 재자원화 황산.
제 13항에 있어서,

사용이 끝난 황산폐액 중의 금속성분 농도가 10ppb 이하 및 염화물 농도가 0.1ppm 이하인 것을 특징으로 하는 재자원화 황산.