CN106007099A - 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺 - Google Patents

一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN106007099A
CN106007099A CN201610571148.XA CN201610571148A CN106007099A CN 106007099 A CN106007099 A CN 106007099A CN 201610571148 A CN201610571148 A CN 201610571148A CN 106007099 A CN106007099 A CN 106007099A
Authority
CN
China
Prior art keywords
copper
waste liquid
recovery process
manganese sand
hydrogen peroxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610571148.XA
Other languages
English (en)
Inventor
马小静
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201610571148.XA priority Critical patent/CN106007099A/zh
Publication of CN106007099A publication Critical patent/CN106007099A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/001—Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
    • C02F1/441—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by reverse osmosis
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/5236—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/5236—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
    • C02F1/5245—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents using basic salts, e.g. of aluminium and iron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/54—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using organic material
    • C02F1/56—Macromolecular compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/66—Treatment of water, waste water, or sewage by neutralisation; pH adjustment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/72—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation
    • C02F1/722—Oxidation by peroxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F2001/007—Processes including a sedimentation step
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00—Nature of the contaminant
    • C02F2101/10—Inorganic compounds
    • C02F2101/20—Heavy metals or heavy metal compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/16—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from metallurgical processes, i.e. from the production, refining or treatment of metals, e.g. galvanic wastes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/34—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from industrial activities not provided for in groups C02F2103/12 - C02F2103/32
    • C02F2103/346—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from industrial activities not provided for in groups C02F2103/12 - C02F2103/32 from semiconductor processing, e.g. waste water from polishing of wafers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2301/00—General aspects of water treatment
    • C02F2301/08—Multistage treatments, e.g. repetition of the same process step under different conditions
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
    • Y02A20/124—Water desalination
    • Y02A20/131—Reverse-osmosis

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)

Abstract

针对现有上述铜刻蚀废液的处理工艺，本发明实施例提供一种高效的铜刻蚀液回收工艺，工艺设计主要分为两部分，一部分为铜刻蚀废液回收工艺，主体工艺为：废水收集罐、pH调节，双氧水分解系统、高效过滤器、双级反渗透系统；另一部分为废液处理工艺，主体工艺为：化学沉淀处理系统，污泥处理系统；本工艺中，锰砂造价较低，反应过程无需药剂，无损耗，无析出，无污染，经济实惠，另外具有反应快速，设备占地面积小；并将废水进行回收再利用，实现了资源再利用。

Description

一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺
技术领域
本发明涉及废水处理技术及废水回收领域。
背景技术
铜刻蚀废液是一类由冶金、电子等工业产生的废水,主要包括电镀废水和印刷电路板生产过程的蚀刻废液。
目前，各厂家采用不同的铜刻蚀工艺，虽有不同, 但都产生大量的含铜废酸液或废碱液。铜刻蚀废液水质特点表现为：1）铜含量为100-200mg/l；2）较高、或较低的pH值；3）刻蚀液主要成分含量高，如双氧水、氨根离子等。其中，酸性铜刻蚀液的主要特性为低pH值，高的双氧水、F、P、NH3-N、铜氨络合物，具有强氧化性和腐蚀性。目前针对此类废水，主要处理工艺为:调pH—双氧水分解酶—化学沉淀—排放。此工艺主要缺点为：药剂投加量大、占地面积大、处理后的水排放造成水资源浪费。
针对现有上述铜刻蚀废液的处理工艺，本发明实施例提供一种高效的铜刻蚀液回收工艺，工艺设计主要分为两部分，一部分为铜刻蚀废液回收工艺，主体工艺为：废水收集罐、pH调节，双氧水分解系统、高效过滤器、双级反渗透系统；另一部分为废液处理工艺，主体工艺为：化学沉淀处理系统，污泥处理系统；该工艺降低了废水处理加药成本并将废水进行回收再利用，实现了资源再利用。
发明内容
为了达到上述目的，本发明实施例提供如下技术方案，步骤如下：
(1)将铜刻蚀废液通过收集罐进行集中收集；
(2)通过供水泵将废水泵入锰砂过滤器进行处理；
(3)含铜废水进入锰砂分解罐之前通过投加氢氧化钠经管道混合器混合后将进水pH=2调节至7，用于加快双氧水的反应速度，并防止反应过程中产生其他有害气体；
(4)经过锰砂过滤器后的含铜废水进入高效纤维过滤器过滤掉颗粒物,达到出水浊度<1NTU；(5)高效纤维过滤器处理后的含铜废水再次通过双级反渗透脱盐、净化，出水达到再生水的回用水质要求；
(6) 反渗透浓缩后的铜刻蚀废液进入化学沉淀处理系统，首先通过投加氢氧化钠，调节废水至合适的化学沉淀条件，随后投加释铜剂、氯化钙、混凝剂PAC、助凝剂PAM，使F、P、铜同时沉降，产水达到排放标准，排放；污泥经框板压滤机处理后外运。
根据所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（1）中，收集罐为耐腐蚀的玻璃钢罐。
根据所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（2）中锰砂的主要成分为二氧化锰，一般工业锰砂中，二氧化锰含量为30-40%。双氧水自行分解为水和氧气，二氧化锰作为催化剂，加速双氧水的自解作用，从而达到去除双氧水的目的，经试验证明，锰砂催化双氧水分解时间为10-20min；由于锰砂催化双氧水分解反应为放热反应，产水温度将上升3-4℃，产水温度约为20℃左右，故锰砂过滤器罐体采用碳钢衬氟处理，此罐为加盖式，产生的氧气由排气管接出至室外或进入洗气塔。
根据所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（3）中调节pH至7，加速双氧水的分解反应，又防止低pH下反应过程中产生其他有毒气体。
根据权利1所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（5）中，反渗透装置为一级反渗透装置和二级反渗透装置。
本发明实施例提供的铜刻蚀液回收处理工艺，节省了药剂投加量，降低了运行费用；将铜刻蚀液中的水进行回收再利用，达到了资源化再利用的目标。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本发明实施例的工艺流程图。
具体实施实例 .
如图1 所示, 本发明工艺流程为：废水收集罐--pH调节--双氧水分解系统--高效过滤器--化学沉淀处理系统--污泥处理系统；另一部分为废水回收工艺，主体工艺为：双级反渗透系统。
某TFT企业的铜刻蚀液废水1710m3/d。
处理工艺采用如图1所示的方法。
1.收集罐:此铜刻蚀液为pH＝2，H2O2含量7600mg/L，具有强氧化性及强腐蚀性，收集罐采用FRP材质。
2.双氧水分解系统
双氧水分解系统采用无二次污染的锰砂催化双氧水自解反应。
2H2O2=2H20+O2
含铜废水进入锰砂分解罐之前通过加药通过pH混合器将进水pH=2调节至7，用于加快双氧水的反应速度，并防止反应过程中产生其他有害气体。在线pH检测仪一台， 4～20mA信号输出，监控双氧水分解罐进水的pH值，调节氢氧化钠加药量，使双氧水分解罐进水pH值保持在7。
含铜废水进入锰砂分解罐加速双氧水分解（实验证明目前的双氧水含量锰砂反应只需要5分钟反应结束），故将锰砂池设计停留时间10分钟，由于锰砂分解双氧水为放热反应，产水温度将上升3-4℃，产水温度约为20℃左右，故锰砂过滤器罐体采用碳钢衬氟处理，此罐为加盖式，产生的氧气由排气管接出室外或进入洗气塔。
在线ORP检测仪一台， 4～20mA信号输出，监控双氧水分解罐的出水的ORP值，检测出水双氧水含量，并自动调节还原剂计量泵的加药速度，增加还原剂的加药量，控制系统会在设定的ORP值的控制点进行PID调节，使双氧水分解罐出水ORP值保持稳定。
本工艺中，锰砂造价较低，反应过程无需药剂，无损耗，无析出，无污染，经济实惠，另外具有反应快速，设备占地面积非常小的特点。
3.经过锰砂过滤器的铜刻蚀废液进入高效纤维过滤器过滤掉颗粒物,出水浊度<1 NTU。
4.经过高效纤维过滤器处理后的铜刻蚀液废水，再次通过两级反渗透处理后，出水达到再生水回用水质要求，进行回收再利用。
经反渗透系统浓缩后的铜刻蚀废液进入化学沉淀处理系统（机械加速澄清池），首先通过投加氢氧化钠，调节废水至合适的化学沉淀条件，随后投加释铜剂、氯化钙、混凝剂PAC、助凝剂PAM，使F、P、铜同时沉降，产水达到排放标准，排放；污泥至框板压滤机，进入污泥处理系统处理后，外运。

Claims (5)

1.一种铜刻蚀废液处理及回收工艺，其特征在于，所述工艺采取以下工序：
(1)将铜刻蚀废液通过收集罐进行集中收集；
(2)通过供水泵将废水泵入锰砂过滤器进行处理；
(3)含铜废水进入锰砂分解罐之前通过投加氢氧化钠经过管道混合器混合将进水pH=2调节至7，用于加快双氧水的反应速度，并防止反应过程中产生其他有害气体；
（4）经过锰砂过滤器后的含铜废水进入高效纤维过滤器过滤掉颗粒物,达到出水浊度<1NTU；(5)高效纤维过滤器处理后的含铜废水再次通过双级反渗透脱盐、净化，出水达到再生水的回用水质要求；
(6) 反渗透浓缩后的铜刻蚀废液进入化学沉淀处理系统，首先通过投加氢氧化钠，调节废水至合适的化学沉淀条件，随后投加释铜剂、氯化钙、混凝剂PAC、助凝剂PAM，使F、P、铜同时沉降，产水达到排放标准，排放；污泥经框板压滤机处理后外运。
2.根据权利1所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（1）中，收集罐为耐腐蚀的玻璃钢罐。
3.根据权利1所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（2）中锰砂的主要成分为二氧化锰，一般工业锰砂中，二氧化锰含量为30-40%；双氧水自行分解为水和氧气，二氧化锰作为催化剂，加速双氧水的自分解作用，从而达到去除双氧水的目的，经试验证明，锰砂催化双氧水分解时间为10-20min；由于锰砂催化双氧水分解反应为放热反应，产水温度将上升3-4℃，产水温度约为20℃左右，故采用碳钢衬氟处理，此罐为加盖式，产生的氧气由排气管接出室外或进入洗气塔。
4.根据权利1所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（3）中调节pH至7，加速双氧水的分解反应，又防止低pH下反应过程中产生其他有毒气体。
5.根据权利1所述的铜刻蚀液处理及回收工艺，其特征在于：所述步骤（5）中，反渗透装置为一级反渗透装置和二级反渗透装置。
CN201610571148.XA 2016-07-20 2016-07-20 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺 Pending CN106007099A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610571148.XA CN106007099A (zh) 2016-07-20 2016-07-20 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610571148.XA CN106007099A (zh) 2016-07-20 2016-07-20 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106007099A true CN106007099A (zh) 2016-10-12

Family

ID=57116097

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610571148.XA Pending CN106007099A (zh) 2016-07-20 2016-07-20 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106007099A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106966482A (zh) * 2017-03-16 2017-07-21 合肥茂腾环保科技有限公司 一种tft用铜刻蚀液废液的安全储存方法
CN107382083A (zh) * 2017-08-14 2017-11-24 湖北工程学院 一种用于除去玻璃减薄蚀刻液中的絮状物的方法及其净化设备
CN108664046A (zh) * 2018-04-23 2018-10-16 南通福沃得智能制造有限公司 双氧水浓度在线智能测控系统
CN109778193A (zh) * 2019-03-24 2019-05-21 宏俐（汕头）电子科技有限公司 蚀刻废液电镀回用设备及蚀刻废液电镀回用方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0663362A (ja) * 1992-08-24 1994-03-08 Kurita Water Ind Ltd 膜分離装置
US6338803B1 (en) * 1999-08-30 2002-01-15 Koch Microelectronic Service Co., Inc. Process for treating waste water containing hydrofluoric acid and mixed acid etchant waste
CN1743055A (zh) * 2005-08-05 2006-03-08 宁波全泽国际贸易有限公司 一种纤维超过滤方法和设备
CN201932963U (zh) * 2010-12-02 2011-08-17 东莞市纯源水处理设备有限公司 一种电路板废水处理装置
CN102730887A (zh) * 2012-08-02 2012-10-17 华夏新资源有限公司 表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法
CN102897940A (zh) * 2011-07-26 2013-01-30 兆联实业股份有限公司 含氟废液的回收处理方法及其设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0663362A (ja) * 1992-08-24 1994-03-08 Kurita Water Ind Ltd 膜分離装置
US6338803B1 (en) * 1999-08-30 2002-01-15 Koch Microelectronic Service Co., Inc. Process for treating waste water containing hydrofluoric acid and mixed acid etchant waste
CN1743055A (zh) * 2005-08-05 2006-03-08 宁波全泽国际贸易有限公司 一种纤维超过滤方法和设备
CN201932963U (zh) * 2010-12-02 2011-08-17 东莞市纯源水处理设备有限公司 一种电路板废水处理装置
CN102897940A (zh) * 2011-07-26 2013-01-30 兆联实业股份有限公司 含氟废液的回收处理方法及其设备
CN102730887A (zh) * 2012-08-02 2012-10-17 华夏新资源有限公司 表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106966482A (zh) * 2017-03-16 2017-07-21 合肥茂腾环保科技有限公司 一种tft用铜刻蚀液废液的安全储存方法
CN107382083A (zh) * 2017-08-14 2017-11-24 湖北工程学院 一种用于除去玻璃减薄蚀刻液中的絮状物的方法及其净化设备
CN108664046A (zh) * 2018-04-23 2018-10-16 南通福沃得智能制造有限公司 双氧水浓度在线智能测控系统
CN109778193A (zh) * 2019-03-24 2019-05-21 宏俐（汕头）电子科技有限公司 蚀刻废液电镀回用设备及蚀刻废液电镀回用方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106007099A (zh) 一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺
CN104193123B (zh) 一种黄金矿山含氰废水系统处理方法
CN104944636B (zh) 一种有色金属矿山酸性废水治理方法
CN104445750B (zh) 一种含氰废水回收治理方法
CN106746181A (zh) 一种汽车厂废水的处理方法及应用
CN102775004A (zh) 混合电镀废水处理系统及工艺方法
CN104193058B (zh) 一种黄金矿山含氰废水综合治理方法
CN104129875A (zh) 一种氰化废水处理方法
CN106517478B (zh) 一种提高零价铁还原去除污染物的方法
CN104176884B (zh) 一种含氰废水综合处理方法
CN107879501A (zh) 一种回收含有次氯酸钠废水的方法
CN104817157A (zh) 化工废水预处理方法及续批式碱解反应设备
CN105601049B (zh) 一种pcb综合有机废水处理及回收装置
CN209456248U (zh) 化学镀废水处理及回用系统
CN104556510B (zh) 含铜废水回收处理系统及含铜废水回收处理方法
CN104086053A (zh) 一种黄金矿山中低浓度含氰废水处理方法
CN211521881U (zh) 一种用于电镀焦铜废水的处理装置
CN212025096U (zh) 一种废水处理系统
CN104193040B (zh) 一种黄金矿山含氰废水综合处理方法
CN210559747U (zh) 一种工业重金属污水处理系统
CN106430705A (zh) 电镀废水反渗透浓缩液处理工艺及其专用装置
CN111977752A (zh) 一种印刷电路板含铜蚀刻清洗废水处理工艺
CN217535737U (zh) 一种废水中重金属去除用处理系统
CN116282688B (zh) 一种尿素水解废水资源化处理系统及方法
CN218491598U (zh) 一种含铜蚀刻废液与塔喷淋吸收液协同处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20161012

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication