JP2004182517A - 使用済み硫酸の再資源化装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、(イ)混合機、(ロ)混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は(ハ)混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置。
【選択図】 なし
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、使用済み硫酸の再資源化装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
硫酸は種々の産業でその目的に応じたグレード(純度及び濃度)で大量に利用されている。これら硫酸が使用済みとなった場合は、通常、下記に示すような処理が行われる。
(1)発生工場内での排水処理(中和処理)。
(2)専門処理業者による引き取り、及び排水(中和)処理。
(3)工場内での中和剤としての再利用。
(4)工場内での若しくは再生処理専門業者による再生処理(蒸留精製)。
(5)専門業者による引き取り、及び硫酸バンド(硫酸アルミニウム)の原料としての再利用処理。
【0003】
上記(1)のケースが最も多いが、この場合、多量のアルカリ剤(消石灰)や各種排水処理剤(例えば無機凝集剤、高分子凝集剤又は過酸化水素分解促進剤等)が必要とされ、これに伴い、多量の汚泥と排水とが発生するため、環境面及び資源面で好ましくない。上記(2)については、使用済み硫酸を工場外で処理する以外は上記(1)のケースと同様であり、多量の汚泥と排水とが発生するため、環境面及び資源面で好ましくない。上記(3)の場合、工場内の中和剤としての需要が少なく、結局余剰分に対しては、上記(1)や上記(2)のケースと同じ処理が必要となり、必ずしも満足のいくものではない。また、上記(4)の場合、使用済み硫酸の再生には大掛かりなプラントやエネルギーが必要となるため、例えばエネルギー、コスト、敷地面積、安全性又はハンドリング等の実用面での問題が多く、一般には殆ど普及していない。上記(5)の場合も、使用済み硫酸は殆ど有価物としての取り扱いを受けず、通常は有償で引き渡すか、もしくは、非常に低価格(〜数円/Kg)で売却されることとなり、さらに、この場合における使用済み硫酸の使用率は、通常、使用済み硫酸の10質量%以下であり、さらなる改善が求められていた。
【0004】
上記した使用済み硫酸の処理方法では使用済み硫酸の付加価値が低いため、従来の使用済み硫酸の処理は、自社工場で行うか、もしくは、外部に有償で引き渡しているかのどちらかが一般的であった。例えば、半導体事業所で排出された使用済み硫酸中には、通常、過酸化水素水が0.数%〜数%程度含まれており、このため、工場内で(中和)排水処理するか、もしくは、中和剤として利用するのが一般的で、硫酸バンドの原料として工場外で利用されるケースも一部存在した。いずれにせよ、たとえ、再利用したとしても付加価値が大幅に低下するカスケード利用(単に工業硫酸の代替物)にとどまっていた。そこで、使用済み硫酸を他の製造工場又は事業所で付加価値の高い材料として有効利用できる方法及びその装置が待ち望まれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、使用済み硫酸を工業的有利に再資源化し、付加価値の高い再資源化硫酸として利用できる使用済み硫酸の再資源化装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、(イ)混合機、(ロ)混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は(ハ)混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置の創製に成功した。成功するとともに、上記再資源化装置が工業的有利に使用済み硫酸の有効利用に使用できること、かかる装置によって再資源化された硫酸の付加価値が高いこと、中和剤のような下流排出側で利用するのではなく、種々工業製品の製造用原料として再利用することができること、及び環境負荷を低減できること等を知見し、上記した伝統的課題を一挙に解決できることを見出した。
本発明者らは、かかる種々の知見を得た後、さらに検討を重ね、本発明を完成させた。
【0007】
すなわち、本発明は、
(1) 排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、(イ)混合機、(ロ)混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は(ハ)混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置、
(2) 受け入れタンクが、同一の又は異なる受け入れ口から(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容するタンクであり、(A)前記バージン硫酸と(B)前記使用済み硫酸との混合のための循環パイプをさらに具備することを特徴とする(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
(3) 循環パイプがさらに冷却器を具備することを特徴とする(2)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
に関する。
【0008】
また、本発明は、
(4) 使用済み硫酸の濃度が50〜90質量%であり、バージン硫酸の濃度が70質量%以上であることを特徴とする(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
(5) 排出元Aが、半導体製造工場又は事業所であることを特徴とする(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
(6) 搬送体Bが、車両又は船舶であることを特徴とする(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
(7) 利用先Cが、電気・電子製品製造工場又は事業所であることを特徴とする(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
に関する。
【0009】
また、本発明は、
(8) さらに(i)バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、(ii)過酸化水素水又は/及び水とを混合する混合槽とを設置した(1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
(9) (1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置を用いて使用済み硫酸を再利用することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化方法、
(10) (1)記載の使用済み硫酸の再資源化装置で再資源化された硫酸であることを特徴とする再資源化硫酸、
(11) (10)記載の再資源化硫酸の工業製品製造のための使用、
に関する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明は、排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、(イ)混合機、(ロ)混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は(ハ)混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置である。
【0011】
本発明の装置は、排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、これを利用先Cにて再利用するシステムにおいて使用されることを特長とする。上記排出元Aは、上記使用済み硫酸が排出される所であればどのような所でもよい。例えば、各種工業の工場又は事業所等が挙げられる。前記各種工業としては、例えば、半導体を含む電気・電子、鉄鋼、薬品(例えば無機薬品、有機薬品又は医薬品等)、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池又は中和石膏等の各種工業が挙げられる。本発明においては、上記排出元Aが、使用済み硫酸の排出量が多い工場又は事業所であることが好ましく、電気・電子工業、又は無機薬品、有機薬品又は医薬品等の化学工業における製品製造工場又は事業所であることがより好ましく、半導体製造工場又は事業所であることが最も好ましい。
【0012】
上記使用済み硫酸は、H2SO4で表される化合物を含むものであればどのようなものでもよい。不純物が混ざっている硫酸であってもよいし、不純物が全く混ざっていない硫酸であってもよい。本発明においては、上記使用済み硫酸が、不純物の少ない硫酸であることが好ましく、含有重金属の含有量約1ppm以下であって、含有塩化物の含有量約10ppm以下である硫酸であることがより好ましく、含有重金属の含有量約100ppb以下であって、含有塩化物の含有量約1ppm以下である硫酸であることが最も好ましい。上記使用済み硫酸の濃度は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。0を超え100質量%の範囲内であってよい。本発明においては、使用済み硫酸の濃度が、高いことが好ましく、約50〜90質量%であることがより好ましく、約60〜90質量%であることが最も好ましい。
【0013】
上記搬送体Bは、上記使用済み硫酸を運搬できるものであればどのようなものでもよい。例えば、パイプライン、車両、船舶又は航空機等が挙げられる。上記車両は、陸上を走行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、列車(例えば貨物列車等)、電車(例えば新幹線等)又は自動車(例えばタンクローリー、トラック又は薬品コンテナ搬送車等)などが挙げられる。上記船舶は、水上を航行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、タンカー、フェリー又はボート等が挙げられる。上記航空機は、飛行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、ジャンボジェット機、貨物機、軽飛行機、水上飛行機又は気球等が挙げられる。本発明においては、上記搬送体Bが、運搬手段として適用範囲の広いものであることが好ましく、車両又は船舶であることがより好ましく、タンクローリー、トラック又は薬品コンテナ搬送車であることが最も好ましい。
【0014】
本発明で用いられるバージン硫酸は、精製された硫酸であればどのようなものでもよい。濃硫酸であってもよいし、希硫酸であってもよい。例えば、電子工業グレード、医薬グレード、試薬グレード、工業グレード又は精製硫酸グレード等が挙げられる。本発明においては、上記バージン硫酸が、上記使用済み硫酸との併用性があり、低コストであり、均一/一定の品質であることが好ましく、電子工業グレード、試薬グレード又は精製硫酸グレードであることがより好ましく、電子工業グレード又は試薬グレードであることが最も好ましい。上記グレードは、例えば各種工業によって使用された使用済み硫酸を公知の方法に従って精製した精製硫酸をいう。本発明においては、上記バージン硫酸の濃度が、約70質量%以上であることが好ましく、約75〜98質量%であることがより好ましく、約80〜98質量%であることが最も好ましい。本発明においては、上記バージン硫酸として市販品を用いることができる。かかる市販品としては、東京都中央区にある住友化学工業株式会社から硫酸の商品名で入手可能である。
【0015】
本発明で用いられる受け入れタンクは、(A)上記バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の上記使用済み硫酸とを収容できさえすればどのようなものでもよい。上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを同一の又は異なる受け入れ口から収容するタンクであってよい。例えば、タンク、コンテナ、ケース、缶又は瓶等が挙げられる。本発明においては、上記受け入れタンクが、液体を入れても変形しないものであることが好ましく、さらに酸により上記受け入れタンクの材質が変化しないものであることがより好ましく、硫酸により材質が劣化しない又は容易に劣化しないものであることが最も好ましい。また、本発明においては、上記受け入れタンクを複数用いることができる。
【0016】
本発明で用いられる混合機は、上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを混合できさえすればどのようなものでもよい。公知のものであってよい。例えば、容器回転型、機械攪拌型、流動攪拌型又は無攪拌型等の混合機が挙げられる。上記容器回転型の混合機としては、例えば容器自体が回転又は/及び振動して混合する手段を用いる混合機等が挙げられる。上記機械攪拌型の混合機としては、例えば、攪拌羽根によって攪拌し、混合する手段を用いる混合機又は循環ポンプを用いる混合機等が挙げられる。機械攪拌型混合機にはラインミクサーを含む。上記流動攪拌型としては、例えば空気又はガスにより攪拌して混合する手段を用いる混合機等が挙げられる。上記無攪拌型の混合機としては、例えば、合流を利用する混合機、重力流動と分岐板又は管によって流露分割して混合する混合機等が挙げられる。本発明においては、循環パイプによる混合であることが好ましい。
【0017】
本発明で用いられる濃度測定機は、硫酸の濃度が測定できさえすればどのようなものでもよい。公知のものであってもよい。例えば、屈折率測定、中和滴定、水分測定(例えばカールフィッシャー法又は蒸発残さ法等)、超音波(音速)測定、吸光度測定、比重(密度)測定、粘度測定、pH測定及び電位差滴定等から選ばれる1種以上の測定手段を用いる濃度計等が挙げられる。本発明においては、上記濃度測定機が、測定の速さと精度、測定機の価格及び大きさ、又はハンドリング性の点から、超音波(音速)、密度(振動型)、屈折率、比重、pH及び吸光度から選ばれる少なくとも1種以上の測定手段を用いる濃度計であることが好ましい。また、上記濃度測定機が、ポータブル型の濃度計であってもよい。本発明においては、上記濃度測定機を複数用いてもよく、上記濃度測定機を複数用いる場合、それぞれ複数箇所で用いてもよい。使用済み硫酸が排出される工場又は事業所(排出元A)で上記濃度測定機を用いてもよいし、使用済み硫酸を運搬する搬送体Bで上記濃度測定機を用いてもよい。使用済み硫酸を排出する工場又は事業所であればどこでも上記濃度測定機を用いてよい。また、上記濃度測定機により上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合時の濃度変化を調べることができる。
【0018】
本発明で用いられる冷却器は、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合物を冷却できさえすればどのようなものでもよい。公知の冷却手段を用いる冷却器であってもよい。例えば、クーラー等が挙げられる。上記公知の冷却手段としては、例えば、水、氷水或いは液体窒素等の液状冷却材、又は氷或いはドライアイス等の固形冷却材などを用いる冷却手段又は放冷(例えば循環空冷を含む。)等が挙げられる。本発明においては、上記冷却器が、液状冷却材を用いる冷却器であることが好ましく、水を用いる冷却器であることがより好ましい。冷却器は、循環パイプとタンクや混合槽のいずれに具備されても良いが、循環パイプに具備されることが最も好ましい。上記冷却器によって、濃度が異なる硫酸の混合による水和熱等の発熱を抑え得る。
【0019】
本発明においては、上記再資源化装置が、さらに、ポンプ、パイプ、バルブ及び混合槽から選ばれる1種以上を具備するものであることが好ましい。上記ポンプは、圧力の作用で、液体や気体を吸い上げたり送ったりする機械であればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、往復ポンプ、回転ポンプ、渦巻きポンプ、軸流ポンプ又はジェットポンプ等が挙げられる。上記パイプは、管状のものであればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、金属管、プラスチック管、ゴム管又は土管等が挙げられる。上記バルブは、例えばパイプなどを流れる気体又は液体の出入り又は流れの方向を調節できる装置であればどのようなものであってもよく、公知のものであってもよい。上記混合槽は、(i)バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、(ii)過酸化水素水又は/及び水とを混合できるものであればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、タンク、コンテナ、ケース、缶又は瓶等が挙げられる。本発明においては、上記混合槽にて、上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸との混合硫酸の硫酸濃度を利用先Cの要求に応じて調整することが好ましく、かかる濃度の調整に過酸化水素水又は/及び水を希釈剤として用いることがより好ましく、かかる濃度の調整に過酸化水素水又は水を希釈剤として用いることが最も好ましい。
【0020】
本発明では、上記使用済み硫酸の再資源化装置を、(A)上記バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の上記使用済み硫酸とを収容する上記受け入れタンクを設置し、タンクに(イ)上記混合機、(ロ)上記混合機及び上記濃度測定機若しくは上記冷却器、又は(ハ)上記混合機、上記濃度測定機及び上記冷却器を具備させることで、上記排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを上記搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するシステムに好適な使用済み硫酸の再資源化装置を製造することができる。
【0021】
かかる装置は、上記排出元A、搬送体B又は利用先Cのいずれに設置されてもよいが、好ましくは利用先Cに設置される。
【0022】
以下、図面を用いて本発明の好ましい態様を説明する。
【0023】
図1は、受け入れタンク3、ポンプ2a、2b、バルブ5a、5b、濃度計7、冷却器6及び槽8を具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを同一の受け入れタンクに収容することを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図1の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度が、約80〜100質量%であることが好ましく、約85〜99.9999質量%であることがより好ましく、約95〜99質量%であることが最も好ましい。また、図1の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度が、約0〜99質量%であることが好ましく、約40〜99質量%であることがより好ましく、約60〜99質量%であることが最も好ましい。
【0024】
図1では、ポンプ2a及び受け入れタンク3が設置されていて、上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ2aを用いて搬送体1により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク3に収容でき、また、上記バージン硫酸もポンプ2aにより受け入れタンク3に収容できる。受け入れタンク3には、温度計4が設置されている。上記パイプでもって、受け入れタンク3、ポンプ2b、バルブ5a、5b及び槽8が連結されており、これら連結体は、循環パイプを構成している。ポンプ2bを作動させ、バルブ5aを開き、5bを閉めることにより、受け入れタンク3に収容された上記使用済み硫酸及び上記バージン硫酸を循環させ、この循環パイプによって上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを循環せしめて均一混合し得る。バルブ5aから受け入れタンク3に至るまでの上記パイプに冷却器6及び濃度計7が設置されており、混合過程で冷却及び濃度測定を行うことができる。温度計4で測定された温度が設定温度より高くなると、冷却器6による冷却を行うことができる。本発明においては、温度計4と冷却器6とをCPU等によって自動制御してもよい。上記設定温度は、上記受け入れタンクの種類等によって適宜設定される温度であってよい。
【0025】
濃度計7で測定された硫酸の濃度が所定の濃度になるとバルブ5bを開き、バルブ5aを閉めることにより、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合液がバルブ5bを通過し、バルブ5bを通過した前記混合液を槽8に収容できる。上記所定の濃度は、上記使用済み硫酸の再利用用途等によって適宜設定されるものであってよい。また、本発明においては、濃度計7で測定した測定結果を他の薬品又は水等で混合する際の薬品供給量算出の参考として用いることが好ましい。上記循環パイプでの混合後、所望により、槽8で硫酸濃度の調整が行われる。かかる硫酸濃度の調整は、硫酸濃度があらかじめ設定された濃度より高ければ過酸化水素水又は/及び水を混合して硫酸が希釈される。希釈に用いられる過酸化水素水又は/及び水の添加量は、上記循環ポンプに設置されている濃度計からのデータを基に算出される量であることが好ましい。上記希釈剤を添加する際、上記混合液と上記過酸化水素水又は/及び水との混合を行うことが好ましい。上記説明から明らかなように槽8は貯蔵槽であると同時に混合槽である。また、本発明においては、槽8が、上記パイプ等によって製造ラインに連結されていることが好ましい。
【0026】
図2は、受け入れタンク3、ポンプ2c、2d、攪拌機9、冷却器6、濃度計7及びバルブ5cを具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを収容する受け入れタンク3に、濃度計7、攪拌機9及び冷却器6が設置されていることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図2の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度は、上記図1の場合と同様である。また、図2の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度は、通常、約80質量%以下である。
【0027】
図2では、ポンプ2cと受け入れタンク3とが上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ2cを用いて搬送体1により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク3に収容でき、上記バージン硫酸もポンプ2cを用いて受け入れタンク3に収容できる。受け入れタンク3には、冷却器6、濃度計7及び攪拌機9が設置されている。そのため、受け入れタンク内で、攪拌機9による混合を行うことができ、冷却器6による冷却を行うことができ、濃度計7による濃度測定を行うことができる。また、受け入れタンク3は、上記パイプでもってバルブ5cと連結されており、濃度計7により測定された硫酸濃度が所定の濃度になると、ポンプ2dを作動させ、バルブ5cを開くことにより、再資源化された使用済み硫酸がバルブ5cを通過して再利用される。上記所定の濃度は、上記図1と同様である。本発明においては、バルブ5cから上記パイプ等を用いて利用先Cの製造ライン等に連結することが好ましい。
【0028】
図3は、受け入れタンク3、ポンプ2e、2d、2f、2g、パイプ、バルブ5d、5e、槽8、冷却器6及び濃度計7を具備する上記再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とが別々の受け入れタンク3に収容されることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図3の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸及びバージン硫酸の硫酸濃度は、上記図1の場合と同様である。また、図3の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度は、上記図2の場合と同様である。
【0029】
図3では、ポンプ2e、2d、受け入れタンク3、バルブ5d及び槽8が上記パイプでもって連結されている。また、ポンプ2f、2g、受け入れタンク3、バルブ5e及び槽8が上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ2eを作動させて搬送体1により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク3に収容でき、バルブ5dを開いて、ポンプ2dを作動させることにより上記使用済み硫酸を槽8に収容することができる。また、ポンプ2fを作動させて上記バージン硫酸を受け入れタンク3に収容でき、バルブ5eを開いて、ポンプ2gを作動させることにより上記バージン硫酸を槽8に収容できる。本発明においては、槽8で、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との合流を利用して混合が行われることが好ましい。槽8には、冷却器6及び濃度計7が設置されており、温度が高くなると冷却器6による冷却を行うことができ、濃度計7の濃度測定により所定の濃度であるかどうか確認でき、所定の濃度であれば再資源化された硫酸が再利用され得る。上記所定の濃度は、上記図1と同様である。本発明においては、槽8から上記パイプ等を用いて製造ライン等に連結することが好ましい。槽8は混合槽であると共に貯蔵槽でもある。
【0030】
図4は、受け入れタンク3、ポンプ2h、2i、パイプ、バルブ5f、5g、5h、5i、5j、濃度計7及び冷却器6を具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを循環パイプを用いて混合し、受け入れタンク3に冷却器6を設置していることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図4の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度及び上記使用済み硫酸は、上記図1の場合と同様である。
【0031】
図4では、ポンプ2h、バルブ5f、5g、5h及び受け入れタンク3が上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ2hを作動させ、バルブ5f、5g、5hを開いて、搬送体1により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク3に収容できる。上記使用済み硫酸が搬送体1によって個別専用コンテナで運ばれる場合であって、前記コンテナと受け入れタンクとの距離が長い場合でも、バルブ5f、5g、5h、ポンプ2h及び受け入れタンク3を上記パイプでもって連結することができる。そのため、ポンプ2hを作動させ、バルブ5f、5g、5hを開いて、上記バージン硫酸を受け入れタンク3に収容できる。上記パイプでもって、受け入れタンク3、ポンプ2i、バルブ5i、5jが連結されており、これら連結体は、循環パイプを構成している。ポンプ2iを作動させ、バルブ5iを開き、バルブ5jを閉めることにより、受け入れタンク3に収容された上記使用済み硫酸及び上記バージン硫酸を循環させ、この循環パイプによって上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを混流せしめて混合し得る。また、受け入れタンク3には、冷却器6及び濃度計7が設置されており、受け入れタンク3内で、冷却器6による冷却が行われ、濃度計7による濃度測定が行われる。濃度計7による測定で所定の濃度と確認されると、バルブ5iを閉め、バルブ5jを開くことにより、再資源化された硫酸が再利用され得る。上記所定の濃度は、上記図1と同様である。本発明においては、バルブ5jから上記パイプ等を用いて利用先Cの製造ライン等に連結することが好ましい。
【0032】
上記使用済み硫酸の再資源化装置は、上記排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを上記搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置として用いられる。
【0033】
上記利用先Cは、上記使用済み硫酸を再資源化した硫酸を使用することができる所であればどのような所でもよい。例えば、電気・電子(ブラウン管、基板事業所含む。)、鉄鋼、無機薬品、有機薬品、医薬品、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池若しくは中和石膏等の各種分野の製造工場又は事業所等を挙げることが出来る。本発明においては、上記利用先Cが、電気・電子、鉄鋼、無機薬品、有機薬品の各種工業の工場又は事業所であることが好ましく、電気・電子製品製造工場又は事業所であることがより好ましく、半導体製造工場または事業所であることが最も好ましい。より具体的には、上記利用先Cが、基板製造工場(銅箔のエッチング液)、ブラウン管製造工場(フォトレジストマスク用剥離液)、又はメッキ工場であることが好ましく、硫酸と過酸化水素水の混合液を洗浄液や剥離液として使用している基板製造工場であることがより好ましい。本発明においては、上記利用先Cで、上記使用済み硫酸によって再資源化された上記使用済み硫酸を、金属分除去、レジスト剥離、基板のエッチング又は表面処理剤として利用することが好ましく、過酸化水素水及び所望により水を混合して洗浄液又は剥離液として利用することがより好ましく、さらに廃液の供給量に変化があるため安定供給を考慮して、上記バージン硫酸と併用することが最も好ましい。
【0034】
【発明の効果】
本発明により、使用済み硫酸を処理するための排水処理剤の削減と、排水処理の際に発生する汚泥と排水の低減が図れ、使用済み硫酸を工業的有利に再資源化し、付加価値の高い再資源化硫酸として利用できる使用済み硫酸の再資源化装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを同一の受け入れタンクに収容することを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図2】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを収容する受け入れタンク3に攪拌機が設置されていることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図3】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とが別々の受け入れタンク3に収容されることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図4】使用済み硫酸を収容している個別専用コンテナと受け入れタンクとの距離が長い場合であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを循環パイプを用いて混合し、受け入れタンク3に冷却器6を設置していることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【符号の説明】
1 搬送体
2(a、b、c、d、e、d、f、g、h、i) ポンプ
3 受け入れタンク
4 温度計
5(a、b、c、d、e、d、f、g、h、i、j) バルブ
6 冷却器
7 濃度計
8 槽
9 攪拌機
Claims (11)
- 排出元Aで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Bにて運搬し、利用先Cにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、(イ)混合機、(ロ)混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は(ハ)混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置。
- 受け入れタンクが、同一の又は異なる受け入れ口から(A)バージン硫酸と、(B)そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容するタンクであり、(A)前記バージン硫酸と(B)前記使用済み硫酸との混合のための循環パイプをさらに具備することを特徴とする請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 循環パイプがさらに冷却器を具備することを特徴とする請求項2記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 使用済み硫酸の濃度が50〜90質量%であり、バージン硫酸の濃度が70質量%以上であることを特徴とする請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 排出元Aが、半導体製造工場又は事業所であることを特徴とする請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 搬送体Bが、車両又は船舶であることを特徴とする請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 利用先Cが、電気・電子製品製造工場又は事業所であることを特徴とする請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- さらに(i)バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、(ii)過酸化水素水又は/及び水とを混合する混合槽とを設置した請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
- 請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置を用いて使用済み硫酸を再利用することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化方法。
- 請求項1記載の使用済み硫酸の再資源化装置で再資源化された硫酸であることを特徴とする再資源化硫酸。
- 請求項10記載の再資源化硫酸の工業製品製造のための使用。
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US3047369A (en) * | 1959-05-08 | 1962-07-31 | Inland Steel Co | Apparatus for decomposing solid ammonium sulfate |
US3885587A (en) * | 1969-09-02 | 1975-05-27 | Cluett Peabody & Co Inc | Apparatus for mixing volatile liquid with nonvolatile material |
US3743484A (en) * | 1969-12-30 | 1973-07-03 | Daido Chem Eng Corp | Regeneration of sulfuric acid pickling waste |
US3738815A (en) * | 1970-10-09 | 1973-06-12 | Dow Chemical Co | Reactor for removing olefins from acetylenic and olefin-containing gaseous hydrocarbon mixtures |
US3830473A (en) * | 1973-02-22 | 1974-08-20 | Standard Brands Inc | Starch paste apparatus |
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JPS58146527U (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-01 | 日立化成工業株式会社 | 酸希釈装置 |
JPS58168792A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-05 | 日東化学工業株式会社 | 石油掃攻用水溶液を得るための粉体ポリアクリルアミドの溶解装置 |
US4483357A (en) * | 1983-02-22 | 1984-11-20 | Globe-Union Inc. | Method for two stage in-line acid mixing |
US4764019A (en) * | 1987-09-01 | 1988-08-16 | Hughes Tool Company | Method and apparatus for mixing dry particulate material with a liquid |
US4980032A (en) * | 1988-08-12 | 1990-12-25 | Alameda Instruments, Inc. | Distillation method and apparatus for reprocessing sulfuric acid |
US5052486A (en) * | 1989-09-08 | 1991-10-01 | Smith Energy Services | Method and apparatus for rapid and continuous hydration of polymer-based fracturing fluids |
US4955723A (en) * | 1990-01-16 | 1990-09-11 | Schneider John R | Slurry mixing apparatus with dry powder conveyer |
CA2031229C (en) * | 1990-11-30 | 2000-08-08 | Lynda G. Sturgeoff | Fluoride removal from sulphuric acid |
JP2893654B2 (ja) | 1991-08-29 | 1999-05-24 | 日立プラント建設株式会社 | 廃液の分別回収方法及びその装置 |
DE4135648C1 (en) * | 1991-10-29 | 1993-05-13 | Erich Netzsch Gmbh & Co Holding Kg, 8672 Selb, De | Mixing powdered solid into liq. phase e.g. for paint mfr. |
JP3383334B2 (ja) * | 1992-12-16 | 2003-03-04 | クロリンエンジニアズ株式会社 | 硫酸の再生利用方法 |
JPH0891811A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-04-09 | Nippon Sanso Kk | 廃硫酸精製装置及び精製方法 |
US5516423A (en) * | 1994-08-08 | 1996-05-14 | Concorp, Inc. | Variable residence time treatment system |
US5522660A (en) * | 1994-12-14 | 1996-06-04 | Fsi International, Inc. | Apparatus for blending and controlling the concentration of a liquid chemical in a diluent liquid |
JPH11204486A (ja) | 1998-01-09 | 1999-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | 硫酸−過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法 |
KR100548750B1 (ko) * | 1998-04-30 | 2006-02-06 | 더 비오씨 그룹, 인크. | 슬러리 혼합용 전도율 귀환 제어 시스템 |
US6224252B1 (en) | 1998-07-07 | 2001-05-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Chemical generator with controlled mixing and concentration feedback and adjustment |
JP3909364B2 (ja) * | 1998-10-29 | 2007-04-25 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | ガリウムの精製方法および装置 |
JP2000265945A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-09-26 | Uct Kk | 薬液供給ポンプ、薬液供給装置、薬液供給システム、基板洗浄装置、薬液供給方法、及び基板洗浄方法 |
JP2000164550A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2001350879A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Showa Kogyo:Kk | 廃棄物交換システム |
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US6554467B2 (en) * | 2000-12-28 | 2003-04-29 | L'air Liquide - Societe' Anonyme A'directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process and apparatus for blending and distributing a slurry solution |
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