KR20040048354A - 박판수납용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박판수납용기에 관한 것으로, 용기본체(2)와 덮개(3)를 구비하며, 용기본체(2)를 횡으로 한 상태에서 반도체 실리콘 웨이퍼를 출납하는 웨이퍼 수납용기(1)에 관한 것이다. 용기본체(2)의 덮개수용부(7)에 설치된 지지편(10)과 지지편(10)에 당접하여 덮개(3)를 지지하는 당접편(16)을 구비하였다. 용기본체(2)를 지지하는 지지재(4)를 설치하였다. 지지부재(4)는, 용기본체(2)를 지지하는 저판부(21)와 저판부(21)의 양측으로부터 입상하여 형성된 측판부(22,23)와 측판부(22,23)에 설치되어 용기본체(2)를 들어올릴 때에 잡는 핸들(24)을 구비하였다. 박판지지재(51)는, 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지하는 당접편(52)과 당접편(52)을 탄성적으로 지지하는 지지부(53)와 지지부(53)를 지지하는 기단 지지봉부(54)를 구비하였다. 지지부(53)의 선단은 지지대(62)의 감합부(62A)에 당접하여, 당접편(52)을 양측으로부터 탄성적으로 지지한다.

Description

박판수납용기{Thin plate storage container}
본 발명은 박판수납용기에 관한 것으로, 용기본체(2)와 덮개(3)를 구비하며, 용기본체(2)를 횡으로 한 상태에서 반도체 실리콘 웨이퍼를 출납하는 웨이퍼 수납용기(1)에 관한 것이다. 박판수납용기로서는, 반도체 실리콘 웨이퍼를 내부에 수납하여 수송하는 용기가 일반적으로 알려져 있다. 이러한 웨이퍼 수납용기에서는 수납한 반도체 실리콘 웨이퍼 표면의 오염 등을 방지하기 위해, 용기내를 청정하게 유지하여 수송하는 것이 중요하다. 따라서 용기내부는 밀봉되어 있다. 이 경우, 통상 덮개에 봉인재가 설치되며, 덮개를 용기본체에 부착한 상태에서 봉인재가 용기 본체에 접하며 용기내를 밀봉한다.
또한, 박판수납용기에는 손으로 옮기기 위한 손잡이가 용기본체의 양측벽에 설치되어 있다.
상기 구성의 박판수납용기내에 반도체 실리콘 웨이퍼가 수납되어, 반도체 제조공장 등으로 출하된다. 그리고 반도체 제조라인에 실린다.
더욱이, 웨이퍼 수납용기에서는 수납되는 여러장의 반도체 실리콘 웨이퍼를 서로 접촉하지 않도록 일정 간격을 비워 지지할 필요가 있다. 이 때문에, 용기 본체내에 반도체 실리콘 웨이퍼를 일정한 간격을 비워 지지하는 지지부재가 설치되고 있음과 동시에 덮개의 내측면에도 지지부재가 설치되어 있다.
이 덮개의 지지부재의 예를 도 26에 나타낸다. 이 지지부재는 특허문헌(일본특표평 4－505263호 공보)에 개시된 것이다.
도 중의 (35)는 상부덮개이다. 상부덮개(35)의 내측면(하측면)에는 반도체실리콘 웨이퍼(37)를 상측으로부터 지지하는 지지부재로서의 웨이퍼 누름부(36)가 설치되어 있다. 상부덮개(35)의 하측에는 용기본체(도시하지 않음) 내에 수납된 반도체 실리콘 웨이퍼(37)가 위치하고 있다.
웨이퍼 누름부(36)는 좌우로부터 교대로 연장된 지지완부(38)를 구비하고 있다. 지지완부(38)는 그 기단이 상부 덮개(35)측에 고정되며, 그 선단이 반도체 실리콘 웨이퍼(37)측으로 연장되고 있다. 그리고 지지완부(38)의 선단의 홀드 다운재(39)가 웨이퍼(37)의 주연부에 감합하며, 반도체 실리콘 웨이퍼(37)를 1장씩 일정간격을 비워 지지하도록 되어 있다.
그런데, 상기 구성의 박판수납용기는 수송시에 작업자에 의해 들어올려지거나 내려진다. 이 경우 작업자는 손잡이를 잡아 박판수납용기를 든다.
그러나, 손잡이는 박판수납용기의 측벽에 장착되어 있기 때문에, 박판수납용기를 들어 올릴 때에 측벽에 부담을 가하게 된다. 이에 의해, 용기본체의 개구부가 다소 변형되어, 봉인재가 다소 어긋날 가능성이 있다. 이 경우에도, 봉인성에는 문제가 없지만, 신중을 기할 때는 바람직한 것이 아니다.
또한, 용기본체에 덮개가 부착된 상태에서, 이들 용기본체와 덮개와의 사이에는 약간의 극간이 존재한다. 박판수납용기의 통상적인 사용에서는 특별히 문제되는 것은 없지만, 박판수납용기를 재치(載置)할 때 등에, 박판수납용기에 충격이 가해지는 경우가 있을 수 있다. 이 경우는 필연적으로 존재하는 용기본체와 덮개와의 극간에 의해 덮개가 다소 어긋나, 봉인재가 어긋날 가능성이 있다. 이 경우에도, 봉인성에는 문제가 없지만, 신중을 기할 때 결코 바람직한 것이 아니다.
더욱이, 상기 구성의 박판수납용기에서는 웨이퍼 누름부(36)의 지지완부(38)가 그 기단을 상부덮개(35)측에 고정되어 선단을 자유단으로 한 단편고정 상태로 되어 있기 때문에, 지지완부(38)는 비교적 약한 힘으로 반도체 실리콘 웨이퍼(37)를 지지하게 되며, 반도체 실리콘 웨이퍼(37)를 강하게 지지하는 것이 어렵다. 이 때문에 지름이 크고 질량이 큰 반도체 실리콘 웨이퍼(37)를 지지하는 경우, 반도체 실리콘 웨이퍼(37)를 확실히 지지하는 것이 어렵고, 반도체 실리콘 웨이퍼(37)가 용기내에서 흔들리는 문제가 있다.
또한, 단편고정의 웨이퍼 누름부(36)의 경우, 그 선단의 홀드 다운재(39)가 기단부를 중심으로 하여 회동(回動)하기 때문에, 반도체 실리콘 웨이퍼(37)가 어긋나면, 웨이퍼 누름부(36)의 선단의 홀드 다운재(39)와 실리콘 웨이퍼(37)의 주연과의 사이에 마찰이 생겨, 먼지 등이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은, 덮개의 엇갈림을 방지함과 동시에, 운반 시 용기본체로의 부담을 경감하여 봉인성을 향상시키고, 더욱 용기 본체내에 수납된 여러장의 박판을 확실히 지지할 수 있는 박판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1의 발명에 따른 박판수납용기는 내부가 청정하게 유지된 상태로 여러장의 박판을 수납 지지하는 용기본체와, 해당 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개로 구성되며, 상기 용기본체를 횡으로 한 상태에서 덮개를 떼어내 상기 박판을 출납하는 박판수납용기에 있어서, 상기 용기본채의 개구부에 설치되어 상기 덮개가 장착되는 덮개수용부와 상기 덮개수용부의 4개의 부분 가운데 적어도 용기본체를 횡으로 한 상태에서의 하측의 변에 설치되어 상기 덮개를 지지하는 지지편과, 상기 덮개의 주연 중 지지편에 대향하는 위치에 설치되어 지지편에 당접하여 상기 덮개를 지지하는 당접편을 설치한 것을 특징으로 한다.
이상의 구성에 의해, 용기본체의 덮개수용부에 덮개가 장착된 상태에서, 용기 본체의 덮개수용부의 지지편과 덮개 주연의 당접면이 직접적으로 당접하거나, 약간의 극간을 개입시켜 접한다. 이 상태에서, 박판수납용기의 운반 중 신중하지 못한 취급에 의해 용기 본체에 충격이 가해졌을 경우는, 지지편과 당접편이 직접 접적으로 당접하여, 덮개가 용기 본체에 대하여 어긋나지 않도록 지지한다.
상기 지지편은 덮개수용부에 설치된 요형(凹形)에 감합하는 철형상(凸形狀)으로 형성되며, 그 겉면에 평탄상의 당접면이 설치되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 철형상의 지지편이 덮개수용부의 요형의 홈에 감합한 상태에서 당접면이 당접편과 당접한다. 이 때 서로의 당접면을 평탄상으로 하였으므로 먼지 등의 발생을 최소한으로 억제할 수가 있다. 이 경우 지지편 및 당접편의 재료를 서로 마찰시켜도 발진이 적은 조합으로 한다.
상기 당접편은 상기 덮개의 주연의 모서리에 설치된 감합홈에 삽입되어 고정되는 고정판부와, 상기 고정판부에 지지된 상태에서 상기 덮개의 모서리부를 덮도록 만곡하게 형성되며, 그 외측면이 상기 지지편에 당접하는 평탄상의 당접면이 되는 당접판부로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 고정판부가 덮개 모서리의 감합홈에 고정된 상태에서, 당접판부가 덮개 모서리를 덮도록 설치된다. 이 상태에서 접판부의 양단 부근의 평탄상의 당접면이 지지편에 접하게 되어, 덮개를 지지한다. 이에 의해, 용기본체에 충격 등이 가해졌을 때에도 덮개가 어긋나는 일 없이, 봉인성이 한층 더 향상된다.
제2의 발명에 따른 박판수납용기는, 내부가 청정하게 유지된 상태로 여러장의 박판수납용기를 수납 지지하는 용기본체와, 상기 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개로 구성되며, 용기본체를 횡으로 한 상태로 상기 덮개를 떼어내 상기 박판을 출납하는 박판수납용기에 있어서, 상기 용기본체를 지지하는 지지부재를 설치하여, 상기 지지부재가 횡으로 한 상태의 용기본체의 하측벽에 장착되어 용기본체를 지지하는 저판부와 저판부의 양측으로부터 입상하여 형성된 측판부와 해당 측판부에 설치되어 해당 용기본체를 들어올릴 때에 잡는 핸들를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 박판수납용기를 운반 할 때는 핸들을 잡아 들어 올린다. 핸들을 잡아 들어 올리면, 직접적으로는 지지부재를 잡게 되며, 용기본체는 저판부에서 지지된다. 따라서 핸들을 들어올릴 때의 스트레인(strain) 등을 지지부재의 측판부 및 저판부가 흡수해 버려 용기본체로의 영향을 최소한으로 억제할 수 있다.
상기 용기본체의 양측벽에는 지지부재의 측판부에 계지(係止)하는 계지조(係止爪)를 마련하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 용기 본체의 양측벽의 계지조를 지지부재의 측판부에 계지시키는 것에 의해 지지부재로 용기 본체를 지지할 때, 보다 안정하게 지지할 수 있다.
지지부재의 측판부에는 컨베이어레일(conveyor rail)을 설치하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 공장의 제조라인등의 컨베이어에 컨베이어 레일을 걸어 그대로 사용할 수 있다.
상기 지지 부재의 저판부에는, 용기본체의 재치(載値)위치를 정확하게 조정하는 위치결정수단를 마련하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 위치결정수단으로 용기 본체의 재치위치를 정확하게 조정할 수 있다.
제3의 발명에 따른 박판수납용기는, 내부가 청정하게 유지된 상태로 여러장의 박판을 수납 지지하는 용기본체와, 해당 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개를 구비한 박판수납용기에 있어서, 상기 덮개의 내측면에 설치되어 박판을 1장씩 일정 간격을 비워 지지하는 박판 지지부재를 구비하며, 해당 박판 지지부재가, 박판의 주연에 감합하여 박판을 지지하는 당접편과 해당 당접편을 탄성적으로 지지하는 지지부와 해당 지지부를 병렬로 일정한 간격을 비워 일체적으로 지지하여 상기 덮개의 내측면에 장착되는 기단 지지봉부를 구비하며, 지지부의 기단이 기단 지지봉부에 일체적으로 연결됨과 동시에, 상기 당접편이 상기 지지부의 도중에 설치되어 지지부의 선단이 덮개의 내측면에 당접하여 당접편을 그 양측으로부터 탄성적으로 지지하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 지지부가 당접편을 그 양측으로부터 탄성적으로 지지하기 위해, 직경과 질량이 큰 박판에 대해서도 확실히 지지할 수 있다.
상기 지지부의 기단측은 길게 형성되며, 선단측은 짧게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 지지부는 기단 지지봉부가 덮개의 내측면에 장착되어 기단부가 고정된 상태로 당접편을 지지한다. 이 때, 기단 지지봉부에서 당접편까지를 길게 형성했으므로, 당접편이 박판의 주연에 당접하는 처음 단계에 있어서는 지지부가 당접편을 약한 힘으로 박판의 주연을 눌러 맞춘다. 그리고 지지부 중 당접편의 선단측이 덮개의 내측면 측에 당접하면, 당접편은 그 양측으로부터 탄성적으로 지지된다. 이 때, 당접편에서부터 앞의 선단이 짧게 형성되었으므로 당접편을 강한 힘으로 박판의 주연 쪽으로 눌러 맞춘다. 지지부는 당접편의 양측에서 그 탄성 계수는 거의 바뀌지 않지만, 그 선단이 짧기 때문에 강한 힘으로 당접편을 지지한다.
상기 지지부는 상기 당접편의 양측에서 용기본체 내의 박판측으로 융기시켜 형성되는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해 지지부를 당접편의 양측에서 용기본체 내의 박판측으로 융기시키는 것으로, 이 융기하여 경사진 부분이 강한 탄성력을 발휘한다.
상기 덮개의 내측면에는 지지부의 선단측을 지지하는 지지대를 설치하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 덮개의 내측면에 설치된 지지대가 지지부의 선단측을 지지하는 것으로, 지지부가 양측으로부터 지지된다. 이에 의해, 당접편이 지지부에 의해 양측으로부터 지지된다.
상기 지지대부에는 지지부의 선단이 감합하여 지지되는 감합부를 설치하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 지지대의 감합부에 지지부의 선단측이 감합하는 것으로, 지지부의 선단측이 안정하게 지지된다. 따라서 당접편이 지지부에 의해 안정되어 지지된다.
상기 지지부의 선단측에는 덮개의 내측면에 당접하여 당접편을 선단측으로부터 탄성적으로 지지하는 지지대부(支持臺部)를 설치하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 지지대부가 덮개의 내측면에 당접하는 것으로, 당접편을 선단측에서 탄성적으로 지지한다.
상기 박판 지지부재를 2개 서로 마주보게 장착하고, 각 박판 지지부재의 당접편이 교대로 조합하여 일렬로 배열되며, 상기 박판을 1장씩 일정 간격을 비워 지지하는 것을 그 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 다수의 박판을 1장씩 일정 간격을 비워 지지할 수 있다.
도 1은 제1의 발명에 따른 웨이퍼 수납용기의 용기본체의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 2는 제2의 발명에 따른 웨이퍼 수납용기의 용기본체를 나타내는 사시도이다.
도 3은 지지편을 나타내는 정면도이다.
도 4는 지지편을 나타내는 측면도이다.
도 5는 지지편을 나타내는 평면도이다.
도 6은 지지편을 나타내는 배면도이다.
도 7은 지지편의 변형예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 덮개의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 9는 덮개를 나타내는 사시도이다.
도 10은 당접편을 나타내는 사시도이다.
도 11은 당접편을 나타내는 평면도이다.
도 12는 지지부재를 나타내는 사시도이다.
도 13은 웨이퍼 수납용기를 나타내는 사시도이다.
도 14는 웨이퍼 수납용기를 나타내는 평면도이다.
도 15는 웨이퍼 수납용기를 나타내는 주요부 사시도이다.
도 16은 계지조(係止爪)를 나타내는 사시도이다.
도 17은 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 박판 지지부재를 위쪽으로부터 나타내는 사시도이다.
도 18은 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 용기본체를 나타내는 사시도이다.
도 19는 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 덮개를 나타내는 사시도이다.
도 20은 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 박판 지지부재를 아래 쪽으로부터 가리키는 사시도이다.
도 21은 제2의 발명과 따른 박판수납용기의 박판 지지부재를 나타내는 측면도이다.
도 22는 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 덮개의 띠모양 돌기를 나타내는 사시도이다.
도 23은 제2의 발명에 따른 박판수납용기의 박판 지지부재를 나타내는 사시도이다.
도 24는 제2의 발명의 제1변형예를 나타내는 측면도이다.
도 25는 제2의 발명의 제2변형예를 나타내는 측면도이다.
도 26는 종래의 박판 지지부재를 나타태는 주요부 단면도이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 형태를 첨부 도면에 근거하여 설명한다.
우선, 제1실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서는 박판으로서의 반도체 실리콘 웨이퍼를 수납해 수송하는 수납용기를 예로 설명한다.
이 웨이퍼 수납용기(1)는 도 2, 9, 13에 나타낸 바와 같이, 내부에 반도체 실리콘 웨이퍼(도시하지 않음) 여러장을 수납 지지하는 용기본체(2)와, 이 용기본체(2)내의 대향하는 측벽에 각각 설치되며, 내부에 수납된 여러장의 반도체 실리콘 웨이퍼를 일정 간격을 두고 평행하게 그 양측에서 보호 유지하기 위한 웨이퍼 지지판(도시하지 않음)과, 용기본체(2)의 상측 통로를 기밀하게 막아 내부를 청정하게유지하는 덮개(3)와 용기본체(2)를 지지하는 지지부재(4) 등으로 구성되어 있다.
용기 본체(2)는 전체가 거의 입방체형으로 형성되어 있다. 용기 본체(2)의 측벽부 (2A, 2B)의 내측에는, 착탈이 자유롭게 장착된 웨이퍼 지지판을 지지하는 지지용 돌기(6)가 앞측과 내측에 복수로 설치되어 있다. 용기본체(2)의 상단의 개구부에는 덮개가 감합하기 위한 덮개수용부(7)가 설치되어 있다. 이 덮개수용부(7)는 용기본체(2)의 상단의 개구부를 덮개의 크기 만큼 넓게 형성하고 있다.
덮개수용부(7)에는, 덮개(3)의 후술할 계지용 롤러(14)가 감합하는 감합공 (8)이 설치되어 있다. 이 감합공(8)은 네 모서리부에 각각 설치되어 있다.
덮개수용부(7)의 네 모서리부에는 지지편(10)이 설치되어 있다. 지지편(10)은 도 1∼6에 나타낸 바와 같이 덮개수용부(7)에 설치된 요형의 홈에 감합하는 철형을 양측에 있는 쐐기형(wedge)으로 형성되어 있다. 지지편(10)의 겉면의 중앙에는 그 전체 길이에 걸쳐서 철조부(凸條部)(11)가 설치되어 있다. 철조부(11)의 외측(도 4의 우측)에는, 테이퍼(taper)가 설치되며, 덮개(3)의 착탈시에 당접편(16)이 접촉하지 않도록 되어 있다. 철조부(凸條部,11)의 안쪽은 당접면(11A)이 되어 있다. 이 당접면(11A)은 당접편(16)과 접하기 위한 부분으로, 평탄상으로 형성되어 있다. 당접면(11A)에 테이퍼가 붙어 있으면, 접촉면의 전면에 접촉압에 불균형이 생겨 발진의 원인이 될 우려가 있기 때문이다. 또한, 철조부(11)로 하는 것으로 당접면(11A)을 좁게 하고 있지만, 이 당접면(11A)의 면적은 하중과 마찰과의 균형으로 설정된다. 덮개(3) 착탈 시에 당접편(16)과 지지편(10)이 접촉해 마찰할 가능성이 있기 때문에, 당접면(11A)은 가능한 한 좁은 편이 바람직하다. 한편, 덮개(3)의무게를 철조부(11)로 지지해야 한다. 따라서, 덮개(3)의 무게와의 균형으로 당접면 (11A)을 최소한의 면적으로 설정한다. 덮개(3)가 크고 무거운 경우는, 접촉면적을 넓게 하기 위하여 도 7과 같이 철조부(11)를 설치하지 않는 경우도 있다.
지지편(10)은 덮개수용부(7)의 네 변에 각각 설치되어 있다. 구체적으로는, 덮개수용부(7)의 네 모서리에 한 쌍씩 형성된 홈에 감합시켜 설치되며, 각 모서리의 쌍을 이루는 2개의 지지편(10)이 덮개(3)의 네 모서리를 90도 방향에서 지지하도록 하고 있다.
덮개(3)는 도 8, 9에 나타낸 바와 같이, 사각형 판상으로 형성되며, 용기본체(2)의 덮개수용부(7)에 감합하도록 되어 있다. 덮개(3)의 외측(도 9의 하측)에는, 덮개(3)가 덮개수용부(7)에 감합한 상태로 덮개수용부(7)의 외측을 덮도록 플랜지부(3A)가 설치되어 있다. 덮개(3)의 네 모서리부에는, 출몰(出沒)가능하게 설치된 계지용 롤러(14)가 설치되어 있다. 덮개(3)의 표면에는, 계지용 롤러(14)를 출몰시키는 키홀(keyhole)(15)(도 13 참조)이 설치되어 있다. 이 키홀(15)에 키를 넣어 회전시키는 것으로, 링크(도시하지 않음)에 의해 연결된 계지용 롤러(14)가 출몰하여 용기본체(2)의 감합공(8)에 감합하도록 되어 있다. 키는 제조라인 등의 반송장치의 완부(婉部)에 장착되며, 자동적으로 덮개(3)를 부착하고 떼어내도록 하고 있다. 덮개(3)의 내측 주연에는, 봉인재(도시하지 않음)가 전체 둘레에 걸쳐서 설치되어 있다.
덮개(3)의 네 모서리에는 당접편(16)이 설치되어 있다. 이 당접편(16)은, 용기 본체(2)의 지지편(10)에 당접하여 덮개(3)를 지지하기 위한 부재이다.당접편(16)은, 도 10, 11에 나타낸 바와 같이, 고정판부(17)와, 당접판부(18)로 구성되어 있다. 고정판부(17)는 축공(軸孔)(17A)을 가지며, 덮개(3)의 주연의 모서리에 설치된 감합홈(도시하지 않음)에 삽입되어 고정된다. 당접판부(18)는, 고정판부(17)에 지지된 상태로 덮개(3)의 모서리를 덮도록 만곡하게 형성되어 있다. 당접판부(18)의 외측면 중 양측부가, 지지편(10)의 당접면(11A)에 당접하는 평탄상의 당접면(18A)로 되어 있다. 접판부(18)의 양단부에는 지지족부(支持足部)(18B)가 설치되어 있다. 이 지지족부(18B)는 당접판부(18)의 양단부를 안쪽으로 접어서 구부려 형성되며, 접판부(18)가 덮개(3)의 모서리부에 부착되어진 상태로, 덮개3의 주연의 벽면에 당접하여 당접면(18A)을 지지하도록 되어 있다. 이 지지부(18B)에서 지지되어진 당접면(18A)이 지지편(10)의 당접면(11A)에 당접하여 덮개(3)를 지지하며, 용기본체(2)에 충격 등이 가해졌을 때도 덮개(3)가 어긋나는 것을 방지한다.
지지편(10) 및 당접편(16)의 재료는 서로 마찰시켜도 발진이 적은 조합으로 한다. 구체적으로는 지지편(10)의 재료로서는 PBT 수지, PEEK 수지, 폴리아세탈 수지, 초고분자량 PE 수지 또는 나일론 수지를 이용한다. 또는 이들 5종류의 재료에 PTFE를 첨가한 것, 또는 탄소섬유를 첨가한 것을 이용한다. 당접편(16)의 재료로서도 위와 같이, PBT 수지, PEEK 수지, 폴리아세탈 수지, 초고분자량 PE 수지, 또는 나일론 수지, 또는, 이들 5종류의 재료에 PTFE 또는 탄소섬유를 첨가한 15종류의 재료를 이용한다. 이 재료들은 서로 마찰시켜도 발진이 적은 최적의 조합으로 한다.
덮개(3)의 이면에는 박판 지지부재(41)가 설치되어 있다. 박판 지지부재(41)의 구체적 구성은 제2실시형태에서 후술하기로 한다.
지지부재(4)는 용기본체(2)를 지지하기 위한 부재이다. 지지부재(4)는 도 12∼16에서 나타낸 바와 같이 저판부(21)와, 측판부(22,23)와 핸들(24)로 구성되어 있다.
저판부(21)는 용기본체(2)를 직접적으로 지지하기 위한 판재이다. 저판부(21)는 횡으로 한 상태의 용기본체(2)의 하측(도 13 중, 하측)의 벽에 장착되어 용기본체(2)를 지지한다. 저판부(21)의 표면에 복수개로 설치된 지지봉(26)에 지지된 상태로 나사고정에 의해 지지부재(4)와 용기본체(2)가 서로 고정되어 있다. 더욱이 저판부(21)에는 자기의 재치위치를 정확하게 조정하는 위치결정수단으로서의 위치결정용 감합부(27)가 설치되어 있다. 이 위치결정용 감합부(27)는, 3개의 감합편 (27A, 27B, 27C)으로부터 구성되어 있다. 각 감합편(27A, 27B, 27C)은 V형의 홈에 구성되어 있다. 각 감합편(27A, 27B, 27C)은 거의 120°간격으로 3방향에 배치 및 설치되어 있다. 또한 위치결정용 감합부(27)의 치수, 각도 등은 규격화되어 있다. 용기본체(2)가 재치되는 위치에는, 각 감합편 (27A, 27B, 27C)에 대응하는 3부분에 감합돌기(도시하지 않음)가 설치되며, 이 감합돌기가 각 감합편 (27A, 27B, 27C)에 각각 감합하며, 용기본체(2)의 정확한 위치결정이 이루어지게 되어 있다.
측판부(22, 23)는 저판부(21)의 양측으로부터 입상하여 형성되어 있다. 측판부(22), (23)에는 핸들(24)과 걸이수용부(28)와 컨베이어 레일(29)이 설치되어 있다. 핸들(24)은 용기본체(2)를 들어올릴 때에 잡는 부재이다. 핸들(24)은 측판부(22, 23)의 상단부에 일체적으로 설치되어 있다. 걸이수용부(28)는 용기본체(2)에 계지하기 위한 부재이다. 걸이수용부(28)는, 측판부(22, 23)의 전단부(도 12의 하측 단부)에 각각 설치되어 있다. 걸이수용부(28)는 측판부(22, 23)의 두께를 얇게 하여, 후술할 계지조(30)가 감합하도록 패어 형성되어 있다.
계지조(30)는, 걸이수용부(28)에 감합하여 측판부(22, 23)가 열리지 않도록 안정시키며, 지지부재(4)를 용기본체(2)에 확실히 지지하기 위한 부재이다. 계지조(30)는 용기본체(2)의 측벽부(2A, 2B)의 전방(도 15의 우측)에 설치되어 있다. 계지조(30)는, 평면형상을 L자형으로 형성하며, 각 측판부(22, 23)의 계지조(30)에 감합한다.
컨베이어 레일(29)은 각 측판부(22, 23)의 외측에 각각 설치되어 있다. 컨베이어 레일(29)은, 공장의 제조라인 등의 컨베이어에 걸려 이동하기 위한 부재이다. 컨베이어 레일(29)은 평판재로 형성되며, 측판부(22, 23)의 외측에 전후방향의 전체길이에 걸쳐서 수평으로 배설되어 있다.
상기 저판부 (21) 및 측판부(22, 23)는, 종횡으로 보강용리브가 배치 및 설치되어, 전체가 보강되어 있다.
이상과 같이 구성된 웨이퍼 수납용기(1)는, 다음과 같이 사용된다.
우선, 용기본체(2)내에 반도체 실리콘 웨이퍼가 수납되고 덮개(3)가 부착된다. 이에 의해, 용기본체(2)의 덮개수용부(7)의 지지편(10)과 덮개(3)의 주연의 당접편(16)이 직접 접하거나, 약간의 극간을 개입시켜 접하는 상태로 된다. 이 상태에서, 웨이퍼 수납용기(1)는 목적지로 반송된다.
반송 중에, 운반에 부주의한 취급으로 인하여 용기본체(2)에 충격이 가해진 경우는, 지지편(10)과 당접편(16)이 직접 당접하여, 덮개(3)를 지지한다. 이에 의해, 덮개(3)가 용기본체(2)에 대하여 어긋나는 것을 방지한다.
이 때, 지지편(10)을 PBT 수지, PEEK 수지, 폴리아세탈 수지, 초고분자량 PE 수지 또는 나일론 수지 등으로 구성하며, 당접편(16)도 PBT 수지, PEEK 수지, 폴리아세탈 수지, 초고분자량 PE 수지 또는 나일론 수지 등으로 구성함과 동시에, 서로의 당접면(11A, 18A)을 평탄상으로 하였기 때문에, 먼지 등의 발생을 최소한으로 억제할 수 있다.
웨이퍼 수납용기(1)를 옮길 때는 핸들(24)을 잡고 들어올린다. 이 때, 핸들 (24)을 잡고 웨이퍼 수납용기(1)를 들어올리면, 직접적으로는 지지부재(4)를 잡는 것이 되어, 용기본체(2) 자체는 저판부(21)에서 지지된다. 이 때, 용기본체(2)의 양측벽부(2A, 2B)의 계지조(30)를 지지부재(4)의 측판부(22, 23)의 걸이수용부(28)에 계지시키고 있으므로, 측판부(22, 23)가 열리지 않도록 지지되며, 핸들(24)을 잡아 웨이퍼 수납용기(1)를 들어올릴 때에도 측판부(22, 23)가 흔들리는 일 없이 안정된다. 이에 의해, 핸들(24)를 들어 올릴 때의 충격 등을 지지부재(4)의 측판부(22, 23) 및 저판부(21)에서 흡수해 버려, 용기본체(2)에 미치는 영향을 최소한으로 억제한다. 이에 의해, 용기본체(2)와 덮개(3)와의 사이의 봉인재로의 영향을 억제한다.
공장의 제조라인 등에 있어서는, 컨베이어에 컨베이어 레일(29)을 걸어서 그대로 사용한다. 재치대에 재치하는 경우는, 위치결정용 감합부(27)에서 용기본체(2)의 재치위치를 정확하게 조정한다.
이상과 같이, 용기본체(2) 및 덮개(3)에 지지편(10) 및 당접편(16)을 설치하므로, 용기본체(2)에 충격이 가해졌을 경우에도, 지지편(10)과 당접편(16)이 직접 당접하여 덮개(3)가 용기본체(2)에 대하여 어긋나지 않도록 지지한다. 이에 의해, 용기본체(2)와 덮개(3)의 사이의 봉인재가 어긋나는 것을 방지하여, 웨이퍼 수납용기(1)의 봉인성을 더욱 향상시킨다.
지지편(10)의 당접면(11A)과 당접편(16)의 당접면(18A)의 서로의 접촉면을 평탄상으로 함과 동시에, 각각의 재료를 엄선하였으므로, 먼지 등의 발생을 최소한으로 억제할 수가 있다.
지지부재(4)에 핸들(24)을 설치했으므로, 웨이퍼 수납용기(1)를 들어올릴 때의 스트레인 등을 지지부재(4)의 측판부(22, 23) 및 저판부(21)에서 흡수하여, 용기본체(2)로의 영향을 최소한으로 억제하며, 봉인성을 향상 시킬 수 있다.
용기본체(2)의 계지조(30)를 지지부재(4)의 측판부(22, 23)에 걸이수용부(28)로 계지시키도록 하였기 때문에, 측판부(22, 23)가 열리는 일이 없어 지고, 보다 안정하게 지지할 수 있다.
측판부(22, 23)에 컨베이어 레일(29)을 설치했으므로, 공장의 제조라인 등의 컨베이어에 그대로 걸어서 사용할 수 있다.
저판부(21)에 위치결정용 감합부(27)를 설치했으므로, 용기본체(2)의 재치위치를 정확하게 조정할 수 있다.
(1) 상기 제1실시형태에서는, 지지편(10) 및 당접편(16)을 용기본체(2)의 덮개수용부(7)의 네 변에 각각 설치하였지만, 용기본체(2)를 횡으로 한 상태에서의 하측의 변에만, 또는, 하측의 변 및 양측의 변에 설치해도 무방하다. 이 경우, 용기본체(2)를 횡으로 한 상태에서 취급할 때, 상기와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 각각의 사용 상황에 따라, 4변 전부에 부착되어진 형상이어도 무방하고, 일부에 설치해도 무방하다.
(2) 지지부재(4)의 저판부(21) 및 측판부(22, 23)는 용기본체(2)를 지지하고, 핸들(24) 등이 부착되어진 상태이면 무방하고, 평판상으로 한정되지 않고, 다양한 형태이어도 무방하다.
(3)　박판으로서 반도체 실리콘 웨이퍼를 예로 설명했지만, 이것에 한정하지 않고, 액정용 유리판이나 기억디스크 등, 가스나 미립자 등에 의해 악영향을 받을 우려가 있는 박판이라면, 본 발명의 박판수납용기를 적용할 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시형태를 첨부 도면에 근거하여 설명한다.
본 실시형태에서는 박판으로서의 반도체 실리콘 웨이퍼를 수납하여 수송하는 수납용기를 예로 설명한다.
이 웨이퍼 수납용기(41)는 도 18, 19에 나타낸 바와 같이, 내부에 반도체 실리콘 웨이퍼(도시하지 않음)를 여러장 수납하는 용기본체(42)와, 용기본체(42)내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 여러장의 반도체 실리콘 웨이퍼를 일정 간격을 두워 평행하게 그 양측에서 보관 및 유지하는 웨이퍼 지지판(43)과 용기본체(42)의 상측개구(上側開口)를 기밀하게 막아 내부를 청정하게 유지하는덮개(44)로 구성되어 있다.
용기본체(42)의 상단부에는 덮개(44)가 감합하기 위한 덮개수용부(45)가 설치되어 있다. 이 덮개수용부(45)는 용기본체(42)의 상단부를, 덮개의 크기 만큼 넓혀 형성되어 있다. 덮개(44)와 덮개수용부(45)의 사이에는 덮개(44)를 용기본체(42)측에 고정하기 위한 다양한 고정수단(도시하지 않음)이 설치된다.
또한, 도 18의 (46)은 제조라인 등에 설치된 반송장치(도시하지 않음)에서 반송될 때, 그 완부에서 잡히는 반송용 플랜지부이다. (47)은 작업자가 손으로 들어 용기본체(42)를 운반하거나 들어올려 세로로 하거나 가로로 하기 위한 핸들이다.
덮개(44)의 내측면(도 19의 상측면)에는 박판 지지부재(51)가 설치되어 있다. 이 박판 지지부재(51)는, 용기본체(42)에 수납된 반도체 실리콘 웨이퍼를 상측에서 1장씩 일정 간격을 두고 지지하기 위한 부재이다. 이 박판 지지부재(51)를 도 17 및 도 19∼도 23에 기초하여 설명한다.
박판 지지부재(51)는 주로 반도체 실리콘 웨이퍼의 주연에 감합하여 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지하는 당접편(52)과 당접편(52)을 탄성적으로 지지하는 지지부 (53)와, 지지부(53)를 병렬로 복수개 일정간격을 비워 일체적으로 지지하여 덮개(44)의 내측면(도 19의 상측면)에 부착되는 기단 지지봉부(54)로 구성되어 있다.
당접편(52)의 반도체 실리콘 웨이퍼에 대향하는 면에는 감합홈(56)이 설치되어 있다. 이 감합홈(56)은, 반도체 실리콘 웨이퍼의 주연에 감합하여 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지하기 위한 부분이다. 당접편(52)의 양측에는 지지부(53)가 일체적으로 설치되어 있다.
지지부(53)는 당접편(52)과 일체적으로 형성되어 당접편(52)을 지지하기 위한 부재이다. 지지부(53)는 탄성을 갖는 합성수지로 막대모양(봉상)으로 형성되며, 당접편(52)을 탄성적으로 지지한다. 당접편(52)은 지지부(53)의 도중에 설치되어 있다. 이에 의해, 지지부(53)는 당접편(52)을 경계로 하여 기단 지지부(53A)와 선단 지지부 (53B)로 나누어져 있다. 기단 지지부(53A)는, 당접편(52)과 기단 지지봉부(54)에 일체적으로 형성되며, 기단 지지봉(54)에 지지된 상태로 당접편(52)을 지지한다. 선단 지지부(53B)는 그 기단이 당접편(52)과 일체적으로 형성되어 있다. 선단 지지부(53B)의 선단에는 맞춤반부(55)가 형성되어 있다. 맞춤판부(55)는 후술할 지지대(32)의 감합부(32A)에 감합하여(도 23의 상태) 선단 지지부(3B)를 지지한다. 이에 의해, 당접편(52)은 기단 지지부(53A) 및 선단 지지부(53B)에 의해 양측으로부터 탄성적으로 지지되어 있다.
기단 지지부(53A)는 길게 형성되며, 선단 지지부(53B)는 짧게 형성되어 있다. 기단 지지부(53A)를 길게 형성하는 것으로, 당접편(52)이 반도체 실리콘 웨이퍼의 주연에 당접하는 처음시기에 있어서, 기단 지지부(53A)가 당접편(52)을 약한 힘으로 반도체 실리콘 웨이퍼 주연에 눌러 맞춘다. 또한, 선단 지지부(53B)를 짧게 형성하는 것으로, 그 선단의 누름판부(55)가 덮개(44)의 내측면측에 당접하여, 당접편(52)을 강한 힘으로 지지한다. 이에 의해, 당접편(52)을 강한 힘으로 반도체 실리콘 웨이퍼의 주연에 눌러 맞출수 있다.
선단 지지부(53B)는, 지지대(62)의 감합부(62A)와의 사이에 일정한 극간을 두는 경우와 극간을 두지 않는 경우가 있다. 극간을 두는 경우는 당접편(52)이 반도체 실리콘 웨이퍼의 주연에 당접한 상태로 당접편(52)이 기단 지지부(53A)만으로 한쪽 편으로부터 지지되어, 반도체 실리콘 웨이퍼를 약한 힘으로 지지한다. 그리고 웨이퍼 수납용기(44)가 흔들리는 등의 외력에 의해 반도체 실리콘 웨이퍼가 크게 흔들리면, 당접편(52)이 눌려, 선단 지지부(53B)가 지지대(62)의 감합부(62A)에 접촉하여, 반도체 실리콘 웨이퍼를 양측으로부터 강한 힘으로 탄성적으로 지지하게 된다. 극간을 두지 않는 경우는 처음부터 반도체 실리콘 웨이퍼를 강한 힘으로 지지하게 된다.
지지부(53) 중 당접편(52)의 양측부는 당접편(52)을 용기본체(42)내의 반도체 실리콘 웨이퍼측에 융기시키도록 형성되어 있다. 지지부(53) 중, 융기에 의해 경사진 부분에서 탄성력을 증가시키고 있다.
기단 지지봉부(54)는 각 지지부(53)를 일정한 간격을 비운 상태로 평행하게 지지하기 위한 부재이다. 이 기단 지지봉부(54)는 각 지지부(53)를 지지함과 동시에, 후술할 지지홈(64)에 감합하여 덮개(44)의 내측면에 고정되도록 되어 있다.
덮개(44)의 내측면에는 띠모양 돌기(61)가 설치되어 있다. 이 띠모양 돌기 (61)는, 지지부(53)의 선단을 지지하기 위한 부재이다. 띠모양 돌기(61)는 지지대(62)와 지지철부(63)가 교대로 배치 및 설치되어 구성되어 있다. 띠모양 돌기(61)는 덮개(44)의 내측면에 평행하게 2개 설치되어 있다. 이것은 대향하여 설치되는 2개의 박판지지재(51)의 누름판(55)을 각각 지지하기 위해서이다. 각 띠모양돌기(61)의 지지대(62)와 지지철부(63)는 서로 빗겨 설치되어 있다. 즉, 지지대(62)와 지지철부(63)가 서로 대향하게 배설되어 있다.
띠모양 돌기(61)의 지지대(62)는 지지부(53)의 선단의 맞춤판부(55)를 지지하기 위한 부재이다. 지지대(62)에는 감합부(62A)가 설치되어 있다. 이 감합부 (62A)는 지지부(53)의 선단 누름판부(55)를 감합하여 지지하기 위한 부분이다. 감합부(62A)는 누름판부(55)가 감합하는 요형으로 형성되며, 좌우로의 엇갈림도 지지하고 있다.
지지철부(63)는 기단 지지부(53A)를 통하여 지지하기 위한 부분이다. 지지철부(63)는 지지대(62)에 비해 낮게 형성되고 있다. 지지철부(63)의 높이는 지지부 (53)의 사용형태에 따라 적당하게 설정된다. 반도체 실리콘 웨이퍼를 강한 힘으로 지지하고 싶을 때는 지지대(62)와 지지철부(63)로 지지한다. 이 때문에, 지지철부(63)를 기단 지지부(53A)가 당접할 수 있는 정도의 높이로 설정한다. 반도체 실리콘 웨이퍼를 비교적 강하지 않은 힘으로 지지하고 싶을 때는, 기단 지지봉부(54)와 지지대(62)로 지지한다. 이 때문에, 지지철부(63)는 기단 지지부(53A)가 접촉하지 않도록 낮게 설정한다.
2개의 띠모양 돌기(61)의 외측에는 박판지지부재(51)의 기단 지지봉부(54)를 감합하여 지지하기 위한 지지홈(64)이 설치되어 있다. 지지홈(64)은 기단 지지봉부(54)가 감합할 수 있는 크기의 홈형에 형성되어 있다. 이 2개의 지지홈(64)에 2개의 서로 대향하는 박판지지재(51)의 기단 지지봉부(54)가 각각 감합하는 것으로, 박판 지지부재(51)의 당접편(52)이 교대로 조합하여 일렬로 배열되며, 반도체 실리콘 웨이퍼를 1장씩 일정 간격을 비워 지지하도록 되어 있다. 2개의 박판지지재(51)는 완전히 같은 구조로, 서로 대향하여 배설된다.
이상과 같이 구성된 박판 수납용기는, 다음과 같이 사용된다.
우선, 용기본체(42) 내에 복수의 반도체 실리콘 웨이퍼가 수납된다. 이 때, 각 반도체 실리콘 웨이퍼는 웨이퍼 지지판(43)에 의해 일정 간격을 비운 상태로 지지된다.
이 상태로, 용기본체(42)의 덮개수용부(45)에 덮개(44)가 장착된다. 이에 의해, 각 박판 지지부재(51)의 당접편(52)이 각 반도체 실리콘 웨이퍼에 감합하여 지지된다.
당접편(52)이 감합한 상태로, 덮개(44)가 덮개수용부(45) 내에 깊이 끼워지면, 당접편(52)이 덮개(44)의 내측면으로 밀어올려질 수 있다. 이에 의해, 지지홈(64)에 고정된 기단 지지봉부(54)에 지지된 기단 지지부(53A)에서 비교적 약한 인력(人力)에 의해 당접편(52)을 지지하고 각 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지한다. 또는, 지지부(53)의 맞춤판부(55)가 지지대(62)의 감합부(62A)에 감합하여 당접편(52)을 그 양측으로부터 지지하며, 강한 힘으로 각 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지한다. 또는, 기단 지지부(53A)가 지지철부(63)에 당접하여, 대향하는 지지대(62)와 지지철부(63)에서 당접편(52)을 지지한다. 즉, 대향하는 지지대(62)와 지지철부(63)에서 직접적으로 지지부(53)를 지지하고, 간접적으로 당접편(52)을 지지한다. 이에 의해, 더욱 강한 힘으로 각 반도체 실리콘 웨이퍼를 지지한다.
이상으로, 소형의 가벼운 반도체 실리콘 웨이퍼에서도, 대형의 무거운 반도체 실리콘 웨이퍼에서도, 최적의 견고성으로 확실히 지지할 수가 있게 된다.
또한, 접촉 부분에서의 마찰이 거의 발생하지 않고, 먼지 등의 발생을 억제할 수가 있다.
박판지지부재(51)는 서로 대향하여 각 당접편(52)이 교대로 배설되도록 되어 있기 때문에, 1개의 박판 지지부재(51)의 각 당접편(52) 및 지지부(53)의 간격이 넓게 잡히기 때문에, 금형에 의한 형성이 용이하게 된다. 금형자체도 별로 복잡하지 않기 때문에, 염가로 제조할 수 있다. 따라서 박판지지재(51)의 제조단가를 낮게 억제할 수 있다.
(1)　상기 제2실시 형태에서는, 박판지지부재(51)를 서로 대향하여 2개 설치했지만, 수납하는 반도체 실리콘 웨이퍼의 장수에 따라 1개만 설치하거나 3개 이상 설치해도 무방하다. 이 경우에도, 상기와 같은 작용, 효과를 거둘 수 있다.
(2)　상기 제2실시 형태에서는, 덮개(44)의 내측면에 지지대(62)를 구비하여 지지부(53)의 선단측을 지지하도록 했지만, 도 24에 나타낸 바와 같이, 지지부(53) 의 선단측의 맞춤판부(55)에 지지대(41)를 직접 부착하여도 무방하다. 또한, 도 25에 나타낸 바와 같이, 선단 지지부(53B)의 부분을 덮개(44)의 내측면까지 연장하여 지지편(42)로 하여도 무방하다. 이 경우에도 상기와 같은 작용, 효과를 거둘 수 있다.

Claims (14)

  1. 내부가 청정하게 유지된 상태로 여러장의 박판을 수납지지하는 용기본체와, 상기 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개로 구성되며, 상기 용기본체를 횡으로 한 상태에서 덮개를 떼어내 박판을 출납하는 박판수납용기에 있어서,
    상기 용기본체의 개구부에 설치되어 덮개가 장착되는 덮개수용부와,
    상기 덮개수용부의 4개의 변 가운데 적어도 용기본체를 횡으로 한 상태에서의 하부 측면에 설치되어 덮개를 지지하는 지지편과,
    덮개의 주연 중 지지편에 대향하는 위치에 설치되고 지지편에 접하여 덮개를 지지하는 당접편을 설치하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지편이, 덮개수용부에 설치된 요형(凹型)의 홈에 감합하는 철형상(凸型狀)으로 형성되고, 그 겉면에 평탄상의 당접면이 설치된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 당접편이, 상기 덮개의 둘레의 모서리부에 설치된 감합홈에 삽입되어 고정되는 고정판부와,
    상기 고정판부에 지지된 상태로 상기 덮개의 모서리를 덮도록 만곡하여 형성되며, 그 외측면이 상기 지지편에 접하는 평탄상의 당접면이 되는 접판부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  4. 내부가 청정하게 유지된 상태로 여러장의 박판을 수납 지지하는 용기본체와,상기 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개를 구비하여 상기 용기본체를 횡으로 한 상태로 상기 덮개를 떼어내 상기 박판을 출납하는 박판수납 용기에 있어서,
    상기 용기 본체를 지지하는 지지부재를 설치하며,
    상기 지지부재부가, 횡으로 한 상태의 용기본체의 하측벽에 장착되어 해당 용기본체를 지지하는 저판부와,
    상기 저판부의 양측으로부터 입상하여 형성된 측판부와,
    상기 측판부에 설치되어 상기 용기본체를 들어올릴 때에 잡는 핸들을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  5. 제4항에 있어서, 상기 용기본체의 양측벽에 지지부재의 측판부에 계지(係止)하는 계지조(係止爪)를 마련한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  6. 제4항에 있어서, 상기 지지부재의 측판부에 컨베이어 레일을 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  7. 제4항에 있어서, 상기 지지부재의 저판부에, 상기 용기본체의 재치위치(載置位置)를 정확하게 조정하는 위치결정수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  8. 복수의 박판을 수납 지지하는 용기본체와, 상기 용기본체를 막아 내부를 밀봉하는 덮개를 설치한 박판수납용기에 있어서,
    상기 덮개의 내측면에 설치되어 상기 박판을 1장씩 일정 간격을 비워 지지하는 박판 지지부재를 구비하며,
    상기 박판 지지부재가 박판의 모서리에 감합하여 박판을 지지하는 당접편과당접편을 탄성적으로 지지하는 지지부와, 지지부를 병렬하게 복수 개로 일정 간격을 비워 일체적으로 지지하여 상기 덮개의 내측면에 부착되는 기단 지지봉부기단 지지봉부를 구비하며,
    상기 지지부의 기단이 기단 지지봉부에 일체적으로 연결됨과 동시에 당접편이 지지부의 도중에 설치되고, 상기 지지부의 선단이 덮개의 내측면 측에 당접하여 상기 당접편을 그 양측으로부터 탄성적으로 지지하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 지지부의 기단측이 길게 형성됨과 동시에 선단측이 짧게 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  10. 제8항에 있어서, 상기 지지부가 상기 당접편의 양측에서 용기 본체내의 박판측으로 융기시켜 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  11. 제8항에 있어서, 덮개의 내측면에, 지지부의 선단측을 지지하는 지지대를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  12. 제11항에 있어서, 상기 지지대에, 상기 지지부의 선단이 감합하여 지지된 감합부를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  13. 제8항에 있어서, 상기 지지부의 선단측에, 상기 덮개의 내측면에 당접하여 당접편을 선단측으로부터 탄성적으로 지지하는 지지대를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  14. 제8항에 있어서, 상기 박판 지지부재를 2개 서로 마주보게 장착하며,
    각 박판 지지부재를 당접편이 상호로 조합하여 일렬로 나열하며, 박판을 1장 씩 일정 간격을 비워 지지하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기
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