JP2012004382A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 容器本体の左右の側壁の内側には、基板を一定間隔で水平に支持する相対向する1対の支持部材が備えられ、支持部材の奥側には、基板の挿入限界を規制する位置規制部が備えられ、この位置規制部の外側の側壁には、補強用リブが形成されていることを特徴とする。
前記補強用リブが、側壁から外側に突出する格子状のリブ、側壁の上部から底部にかけて外側に突出する細長のリブ、また、側壁にハニカム状に形成されるリブであることが好ましい。
【選択図】 図3
Description
容器本体の開口部を閉鎖する蓋体には、各基板の前方周縁を個別に保持する弾性片を備えたフロントリテーナが設けられている。基板は、このフロントリテーナによって奥側の所定の位置まで押し込まれて、輸送中の振動や衝撃があっても回転して、位置ずれしないようにしっかりと保持する必要がある。
従来、中央部のスロットによる保持力は、容器本体にリブを全く設けない場合は、両端部の保持力に比べて、約1/5程度にまで低減していた。そのため、各スロットの保持力を個別に調整することが必要であり、大変な労力と時間を必要としてきたが、“調整”の適否は結果を見なければ最終的には評価出来ず、必ずしも安定的な“調整”が常に可能であるとは言い難かった。
このように、極限的な条件下においては中央部で基板が適切に保持されなくなってしまうことを回避し難いので、基板の回転によりパーティクルなどの汚染が発生したり、膨らみによる移動によって破損してしまう恐れが残るのが現状であった。
前記補強用リブが、側壁から外側に突出する格子状のリブ、側壁の上部から底部にかけて外側に突出する細長のリブ、また、側壁にハニカム状に形成されるリブであることが好ましい。
前記補強用リブは、容器本体の内側に設けることもできる。また、支持部材を容器本体とは別部材として形成して取り付ける場合には、この支持部材の外側に補強リブを設けることもできる。
図1は、300mmウェーハを収納する基板収納容器の外観を示す分解斜視図であり、図2は、前記ウェーハを収納した状態の基板収納容器を水平面と平行に切断した状態で示す断面図である。
図1、2において、こうした基板収納容器は、基板を収納する開口を前面に備えた容器本体1と、容器本体1の開口を閉鎖する蓋体2とを有していて、容器本体1の左右の内側壁には、基板Wを水平状態で、一定間隔に整列させて支持する一対の支持部材3が備えられている。これらの側壁の外壁の支持部材3の奥側の位置規制部4の裏面に相当する部分には、補強用のリブ5を形成することができる。
蓋体2には、1対の施錠機構8が内蔵されている。施錠機構8は、外部から操作可能な回転部材9と、回転部材9のカム溝と連動する連結バー10と、連結バー10の先端と蓋体2とに軸支されている係止部材11とを有し、この係止部材11が、蓋体の側面の貫通穴(図示省略)から出没し、容器本体1の係合凹部7に係合される。
蓋体2には、それぞれの基板の前周部に個別に接触してこれを保持する弾性片を備えたフロントリテーナ12が設けられている。
また、蓋体2の側壁には、シール用のガスケット13が備えられていて、容器本体1との間にシールを形成する。
この場合、容器本体1の基板の位置規制部4の裏面に位置する外壁部には、格子状の複数のリブが形成されている例(格子状リブ5a)として示してある。
この場合、天面または底面との稜線部に近い部分は、幅方向が短いリブとし、そのほかは、均一な幅のリブとすることが出来る。
この場合、容器本体14の基板の位置規制部4の裏面に位置する外壁部15には、補強用リブ5として、長方体状に張り出す1本のリブ(棒状リブ5b)が容器本体14の天面から底面にかけて連続的に形成されている。
図7、図8は、本発明の第三の実施形態である補強用リブを備えた容器本体14を表す簡略斜視図と、平面図を表している。
この場合、容器本体16の基板の位置規制部17の裏面に位置する外壁部18には、長方体状に張り出す3本のリブ(5b)が、一定間隔で、それぞれ平行に、容器本体の天面から底面にかけて連続的に形成されている(5c)。
この場合も、基板収納容器は、基板を収納する開口を前面に備えた容器本体19と、容器本体19の開口を閉鎖する蓋体21とを有していて、容器本体19の左右の内側壁22には、基板を水平状態で、一定間隔に整列させて支持する一対の支持部材23が備えられている。
本実施形態の場合も、前述の実施形態と同様に、容器本体の強度は著しく向上するので、ウェーハを確実に保持できて、振動や衝撃があった場合でもウェーハの回転を抑えることができる。
なお、25は係合凹部、蓋体21側において、26は、回転部材27・連結バー28を構成要素とする施錠機構、29はフロントリテーナ、30はガスケットである。
この場合は、支持部の位置規制部の裏側(外側)に補強リブを形成したり、容器本体の内側に補強用リブを形成したりして支持部を支承することができる。また、支持部に、補強用リブを設けて、さらに容器本体にも補強用リブを設けるようにしてもよい。
このように、支持部や容器本体の変形を防止することができるので、上記実施形態と同様の効果が得られる。
[強度測定]
容器本体の強度の確認
アルミニウム製のダミーウェーハを開口を上部に向けた容器本体に収納し、ダミーウェーハの上端部から引張圧縮試験機(オリエンテック社製 商品名テンシロン)で2cm押し込むときの荷重すなわち容器本体の側壁の強度を支持部の13番スロットにおいて、それぞれ確認した。
また、比較のために、補強用リブを全く設けない容器本体を比較例として用いた。
次に、これらの実施形態にシリコンウェーハ25枚を収納し、振動試験を行い、収納したシリコンウェーハの回転の有無を確認した。振動条件は、周波数帯を5〜200〜5Hzスイープとし、加速度1G、1サイクル10.6minで5サイクルを行い、ウェーハの回転の有無を確認した。
これらの結果を表1と、図13に纏めた。
これらの結果から、一番強度の弱い13番スロットの強度が約167N(17kgf)以上であれば、振動試験での基板の回転を17mm以下とできる。強度が約265N(27kgf)以上あれば、基板の回転を15mm以下とできるので好ましい。また、強度が約392N(40kgf)以上あれば、基板の回転を5mm以下とできるので特に好ましい。
実施例1〜実施例3において、支持部材の下端と上端である、1番スロットと25番スロット、中段部である13番スロットのそれぞれの箇所での容器本体の強度のばらつきを確認するための測定を先程と同様に行い、結果を表2にまとめた。
2:蓋体
3:支持部材
4:位置規制部
5:補強用リブ
5a:格子状リブ
5b:棒状リブ
5c:複数の棒状リブ
5d:ハニカム形状リブ
6:ロボティックフランジ
7:係合凹部
8:施錠機構
9:回転部材
10:連結バー
11:係止部材
12:フロントリテーナ
13:ガスケット
14:容器本体
15:外壁部
16:容器本体
17:位置規制部
18:外壁部
19:容器本体
20:補強用リブ
21:蓋体
22:内側壁
23:支持部材
24:位置規制部
25:係合凹部
26:施錠機構
27:回転部材
28:連結バー
29:フロントリテーナ
30:ガスケット
31:支持部材
32:容器本体
33:ブリッジ
W:基板
Claims (6)
- 開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖し、基板を保持するフロントリテーナを容器本体と向き合う面に有する蓋体とを有する基板収納容器であって、容器本体の左右の側壁の内側には、基板を一定間隔で水平に支持する相対向する1対の支持部材が備えられ、支持部材の奥側には、基板の挿入限界を規制する位置規制部が備えられ、この位置規制部の外側の側壁には、補強用リブが形成されていることを特徴とする基板収納容器。
- 前記容器本体の側壁に補強用リブを形成することで、補強用リブがない場合に比べて、強度が1.2倍以上になっている請求項1記載の基板収納容器。
- 前記容器本体の側壁に補強用リブを形成することで、支持部材の両端に収納される基板を2mm押し込んだときの平均荷重P1と、中段の支持部に収納される基板を2mm押し込んだときの荷重P2の比(P1/P2)が、2.3倍以内である請求項1記載の基板収納容器。
- 前記補強用リブが、容器本体の側壁の外側又は内側に、あるいは支持部材の外側に突出する格子状のリブである請求項1〜3のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記補強用リブが、容器本体の外側又は内側の側壁、あるいは支持部材の外側壁の上部から底部にかけて突出する細長のリブである請求項1〜3のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記補強用リブが、容器本体の外側又は内側の側壁、あるいは支持部材の外側にハニカム状に形成されるリブである請求項1〜3のいずれかに記載の基板収納容器。
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