KR20040027353A - 압전 공진자, 압전 필터, 통신장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 개구부 내지는 오목부를 가지는 기판; 상기 개구부 내지는 오목부상에 형성되어 있는, 1층 이상의 압전박막을 가지는 박막부의 상하면을 적어도 한 쌍의 상부전극 및 하부전극을 대향시켜서 사이에 끼우는 구조의 진동부;를 가지는 압전 공진자로서,상기 진동부를 제외하는 위치에서, 또한, 상기 상부전극 및 상기 박막부의 적어도 한쪽의 위에, 방열막을 형성한 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항에 있어서, 상기 방열막은 열전도율이 실질적으로 150W/(m·K) 이상인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 2항에 있어서, 상기 방열막은 Si, AlN, 다이아몬드 등의 절연재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 2항에 있어서, 상기 방열막은 Cu, Al, Au, Ag 등의 금속재료 내지는 Cu, Al, Au, Ag을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 방열막과 진동부 사이의 거리가, 진동부의 진동파장의 실질적으로 1/2배인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 진동부를 제외하고 상기 개구부 내지는 오목부 전체가, 상기 방열막으로 덮어져 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 5항에 있어서, 상기 개구부 내지는 오목부의 주위가, 상기 방열막으로 덮어져 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 진동부의 두께 방향에서 보았을 때의 형상이 길이가 다른 변을 가지는 다각형이며, 또한, 적어도 진동부의 가장 긴 변이 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 8항에 있어서, 상기 진동부의 가장 긴 변의 길이가, 상기 진동부에 있어서의 개구부 내지는 오목부의 단부에서 가장 떨어진 점과, 개구부 내지는 오목부와의 거리보다도 긴 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 8항에 있어서, 상기 진동부의 가장 긴 변과 상기 개구부 내지는 오목부의 단부와의 거리가, 진동부의 진동파장의 실질적으로 1/2배인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 10항에 있어서, 상기 진동부의 모든 변이 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성되고, 또한 상기 진동부의 모든 변과 상기 개구부 내지는 오목부의 단부와의 거리가 진동부의 진동파장의 실질적으로 1/2배인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 8항에 있어서, 상기 진동부의 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성된 모든 변의 길이의 합 W, 및 상기 진동부에 있어서의 개구부 내지는 오목부의 단부로부터 가장 떨어진 점과 개구부 내지는 오목부와의 거리 L이, L/W≤0.8을 만족시키는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 8항에 있어서, 상기 진동부분의 두께 방향에서 보았을 때의 형상은, 그 길이방향이 진동부의 진동파장의 20배 이상, 폭방향이 진동파장의 5배 이하인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 8항에 있어서, 상기 진동부분의 두께 방향에서 보았을 때의 형상이, 이등변 삼각형인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 개구부 내지는 오목부를 가지는 기판; 상기 개구부 내지는 오목부상에 형성되어 있는, 1층 이상의 압전박막을 가지는 박막부의 상하면을 적어도 한 쌍의 상부전극 및 하부전극을 대향시켜서 사이에 끼우는 구조의 진동부;를 가지는 압전 공진자로서,진동부의 두께 방향에서 보았을 때의 형상이 길이가 다른 변을 가지는 다각형이며, 또한, 적어도 진동부의 가장 긴 변이 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 15항에 있어서, 상기 진동부의 가장 긴 변의 길이가, 상기 진동부에 있어서의 개구부 내지는 오목부의 단부에서 가장 떨어진 점과, 개구부 내지는 오목부와의 거리보다도 긴 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 진동부의 가장 긴 변과 상기 개구부 내지는 오목부의 단부와의 거리가 진동부의 진동파장의 실질적으로 1/2배인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 17항에 있어서, 상기 진동부의 모든 변이 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성되고, 또한 상기 진동부의 모든 변과 상기 개구부 내지는 오목부의 단부와의 거리가 진동부의 진동파장의 실질적으로 1/2배인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 진동부의 개구부 내지는 오목부의 단부를 따라 형성된 모든 변의 길이의 합 W, 및 상기 진동부에 있어서의 개구부 내지는 오목부의 단부로부터 가장 떨어진 점과 개구부 내지는 오목부와의 거리 L이, L/W≤0.8을 만족시키는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
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- 제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 진동부분의 두께 방향에서 보았을 때의 형상이, 이등변 삼각형인 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항, 제 2항, 제 15항 또는 제 16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전박막이 ZnO 내지는 AlN를 주성으로 하는 것을 특징으로 하는 압전 공진자.
- 제 1항, 제 2항, 제 15항 또는 제 16항 중 어느 한 항에 기재된 압전 공진자를 이용한 것을 특징으로 하는 압전 필터.
- 제 1항, 제 2항, 제 15항 또는 제 16항 중 어느 한 항에 기재된 압전 공진자를 래더 구성으로 한 것을 특징으로 하는 압전 필터.
- 제 1항, 제 2항, 제 15항 또는 제 16항 중 어느 한 항에 기재된 압전 공진자를 이용한 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
- 제 1항, 제 2항, 제 15항 또는 제 16항 중 어느 한 항에 기재된 압전 공진자를 가지는 것을 특징으로 하는 통신장치.
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