KR20040002647A - 밀폐된 진공 시스템에서 임의의 횡단면을 가진 용기에게터를 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프 및 밀폐된 진공시스템에 사용하기 위한 용기, 특히 콜렉터 관 - Google Patents

밀폐된 진공 시스템에서 임의의 횡단면을 가진 용기에게터를 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프 및 밀폐된 진공시스템에 사용하기 위한 용기, 특히 콜렉터 관 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공 시스템에 사용하기 위한 임의의 구조의 횡단면을 가진 용기들(18, 19)내에 적어도 부분적으로 중공 바디로서 구현된 게터를 가진 소자(16)를 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프(1, 14)로서,
- 상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2;2.4)과, 지지 부분(4)을 형성하는, 용기(18, 19)에 지지를 위한 부분 영역(3)을 포함하고,
- 상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2;2.4)은 강성 연결부를 통해 지지 부분(4)에 연결되고,
- 상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 및 지지 부분(4)이 스프링 탄성적으로 형성되므로, 게터를 가진 소자가 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역에 대해 그리고 상기 지지 부분이 용기의 내부면에 대해 탄성 변형에 의해 고정될 수 있다.

Description

밀폐된 진공 시스템에서 임의의 횡단면을 가진 용기에 게터를 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프 및 밀폐된 진공 시스템에 사용하기 위한 용기, 특히 콜렉터 관{Holding clamp for position-fixing getter in receptacle of any cross section in closed vacuum system and receptacle for using in closed vacuum system, especially collector tube}
전자관, 램프 또는 진공관 콜렉터에서 대개 10-3 mbar 미만의 최소 압력을 유지하기 위해 밀폐된 진공 시스템의 전체 수명 동안 게터를 사용하는 것은 공지되어 있다. 게터는 흡수 또는 화학적 반응에 의해 많은 양의 가스를 결합시킬 수 있어서 밀폐된 시스템에서 진공을 유지 또는 개선시키기 위해 사용되는 물질이다.증발 게터, 볼륨 게터 또는 레이어(layer) 게터가 공지되어 있다. 전자관에 사용되는 바와 같은 소위 증발 게터에는 통상적으로 바륨이 사용된다. 이러한 증발 가능한 게터의 공급은 소위 콘테이너 내에서 이루어진다. 콘테이너는 한 측면이 개방된 금속 링이며, 상기 금속 링 내로 바륨-알루미늄 합금이 압입되어있다. 이것은 게터 링이라고도 한다. 밀폐된 시스템에서, 상기 링은 유도 점화됨으로써, 바륨이 용기, 특히 유리 용기의 벽에 달라붙고 경우에 따라 방출되는 가스를 화학적으로 결합한다. 그러나, 상기 점화를 위해, 상기 링을 고정시킬 필요가 있다. 이것을 위해 게터 링이 용접된 와이어 브래킷을 가지며, 상기 브래킷은 시스템에, 특히 유리 용기에 적합하게 고정된다. 링에 와이어를 용접하는 것과 더불어, 적합한 고정을 위한 조치가 취해져야 한다. 이것은 제조 비용을 증가시킨다. 또한, 용접된 와이어 브래킷은 특히, 저장 및 이송 시에 캐칭 위험으로 인해 링의 핸들링을 어렵게 한다.
게터 홀더는 다양한 실시예로 공지되어 있다. 여기서는 하기 간행물
a) DE 32 17 868 A1
b) DE 32 17 869 A1
이 인용된다.
간행물 DE 32 17 868 A1 호에는 전자관, 특히 수상관의 벽에 대해 지지되는 지지 장치와 홀더를 구비한 게터 장치가 개시되어 있다. 여기서는 금속 스트립이 지지 장치로서 작용하는데, 상기 금속 스트립은 일체형으로 게터 장치에 연결되며 U-형으로 휘어진다. 금속 스트립의 각각의 단부는 라운딩된 지지 푸트 내에 뻗는다. 개별 게터 장치는 게터 장치와의 연결을 보장하기 위해, 홀더와 지지 장치의 디자인에 매칭되는 구체적인 구조적 형상을 갖는다. 예비 조립된 상태에서, 상기 구조로 인해 핸들링이 어려워지며, 특히 저장 및 이송 시에 캐칭 위험이 있다.
본 발명의 목적은 용기, 특히 유리 용기에 대한 게터의 간단한 위치 고정과 더불어, 진공 시스템의 형성을 위해 간단한 조립 및 핸들링 가능성을 갖는, 게터, 특히 게터 링을 위치 고정하기 위한 장치를 제공하는 것이다. 또한, 상기 홀딩 및 고정 장치의 구조적 및 제조 기술상 비용이 가급적 작아야 한다.
도 1은 진공 시스템에 사용하기 위해 용기, 특히 유리 용기에 위치 고정하기 위한 게터를 가진 소자용의 본 발명에 따라 형성된 홀딩 클램프의 제 1 실시예의 측면도.
도 2는 조립된 상태에서 게터를 가진 소자를 구비한 도 1에 따른 홀딩 클램프.
도 3은 용기에 지지된 상태의, 게터를 가진 소자를 구비한 홀딩 클램프.
도 4a 내지 4c는 본 발명에 따라 형성된 홀딩 클램프들의 제 2 실시예를 나타낸 3개의 도면.
도 5는 용기 내에 조립된 상태에서 도 4에 따른 홀딩 클램프.
도 6a 및 도 6b는 선 A-A를 따른 홀딩 클램프의 횡단면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1, 1.4: 홀딩 클램프
2, 2.4: 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역
4, 4.4: 지지 부분
5: 게터와 상기 게터를 가진 부부 영역을 연결하기 위한 수단
6, 69, 610, 711, 712: 외부면 8, 13, 14: 연결 부품
9, 10, 11, 12: 레그 소자 15: 단부 영역
16: 게터를 가진 소자 17: 내부 둘레
18: 용기 19, 19.4:콜렉터 관
20: 내부면 21: 강성 연결부
d20: 콜렉터 관의 내경 FH4, FH16: 홀딩력
S1: 홀딩 클램프의 대칭축
본 발명에 따른 해결책은 청구항 제 1항의 특징을 포함한다. 바람직한 실시예는 종속 청구항에 제시된다.
본 발명에 따라, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역과 하우징 내에 지지를 위한, 지지 부분이라고도 하는 부분 영역을 포함하는, 게터를 가진 소자를 진공 시스템의 임의의 횡단면을 가진 용기에 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프가 제공된다. 상기 지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역은 서로 강성 연결된다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역에서는 게터를 가진 소자와의 마찰 결합을 가능하게 하는 수단이 제공된다. 상기 마찰 결합은 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역과 게터를 가진 소자 사이의 고정, 특히 클램핑에 의해 형성된다. 또한, 지지 부분이 용기에 대해 고정될 수 있다. 이것을 위해 본 발명에 따라 지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역이 스프링 탄성적으로 형성되며, 상기 특성은 부분 영역의 윤곽, 상기 윤곽을 나타내는 요소들의 횡단면 및 재료의 함수로서 조절될 수 있다. 지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 사이의 연결은 강성으로 형성된다.
본 발명에 따른 해결책은 게터를 가진 소자를 홀딩 클램프에 그리고 상기 클램프를 진공 시스템 내의 용기의 내부 둘레에 대해 간단하고 확실하게 위치 고정한다는 장점과 더불어, 홀딩 클램프를 고정하기 위한 특별한 장치 없이도, 게터를 가진 소자를 간단히 위치 고정한다는 장점을 갖는다. 또한, 스프링 탄성적 형성으로 인해 홀딩 클램프의 간단한 조립 및 용기 및/또는 게터를 가진 소자로부터 홀딩 클램프의 간단한 분해가 가능하다. 지지 부분과, 게터를 가진 소자를 지지하는 영역의 강성 연결은 지지 부분의 탄성 변형 시에 게터를 가진 부분 영역에서의 강제 이동을 필요로 하므로, 게터를 가진 소자의 조립은 용기 내에 홀딩 클램프의 고정과 동시에 이루어질 수 있다. 홀딩 클램프의 크기 및 그것의 설계에 따라 홀딩 클램프가 진공 시스템에서의 다양한 사용 목적을 위한 임의의 용기에 사용될 수 있다.
특히 바람직한 실시예에 따라, 홀딩 클램프가 와이어 또는 작은 횡단면의 평형 스프링 강 쉬트로 형성된다. 지지 부분 및 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역의 성형(shaping)은 적합한 성형 방법, 예컨대 벤딩에 의해 이루어진다. 홀딩 클램프는 또한 지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역이 하나의 동일한 평면에 형성된다는 특징을 갖는다. 이것은 제조가 간단하며 다수의 다양한 사용 목적에 적합하다는, 특히 다양한 횡단면 구조를 가진 용기에 사용하기에 적합하다는 장점을 제공하는데, 그 이유는 이 경우 항상 용기의 내부 둘레와 180°의 면 접촉 또는 선 접촉이 이루어지기 때문이다.
지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 사이의 강성 연결은 2개의 강성 에지의 제공에 의해 이루어진다. 즉, 지지 부분과 이것에 일정한 각, 특히 90°로 정렬된 연결 부품 사이의 제 1 강성 에지와, 상기 연결 부품과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 사이의 제 2 강성 에지의 제공에 의해 이루어진다. 이 경우, 홀딩 클램프의 헤드 부분은 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역으로 형성된다. 상기 단부 영역은 폐쇄되도록 구현되는 한편, 지지 부분으로 형성된 제 2 단부 영역은 개방된다.
와이어 부재 또는 스프링 강 쉬트로 구성된 실시예에서, 지지 부재는 서로 180°오프셋되어 배치된 2개의 레그 소자로 형성되며, 상기 레그 소자들은 강성 연결 연결부, 즉 2개의 강성 에지를 통해 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역에 연결된다. 상기 부분 영역도 연결 부품을 통해 서로 연결되는 2개의 레그 소자로 형성된다. 지지 기능을 위해, 지지 부분의 2개의 레그 소자간의 간격은 무부하 상태에서 진공 시스템 내에 통합 가능한 용기 또는 용기의 내부 둘레에 서로 180°오프셋되어 배치된 2개의 점에서 진공 시스템을 제한하는 용기의 내부 치수 보다 크거나 같도록 선택된다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역의 레그 소자간의 간격은 게터를 가진 소자의 내부 둘레에서 서로 180°오프셋되어 배치된 2개의 지점간의 거리 보다 크거나 같다. 이것을 위해, 상기 소자는 적어도 부분적으로 중공 바디로 구현된다. 상기 해결책은 게터를 가진, 다양한 구조의 소자가 본 발명에 따라 형성된 홀딩 클램프에 의해 고정될 수 있다는 장점을 갖는데, 그 이유는 게터를 가진 소자의 내부 둘레에서 특히 바람직한 실시예에 따라 서로 180°오프셋되어 서로 대향하는 2개의 지점 사이의 간격에 대한 요구만이 주어지기 때문이다. 바람직하게는 링 형태의, 게터를 가진 소자가 사용된다. 이것은 쉽게 제조될 수 있으며 양호하게 핸들링될 수 있다.
전술한 특히 바람직한 실시예에 따라 와이어 또는 작은 폭 및 작은 횡단면을 가진 스프링 강 쉬트로 구성된 홀딩 클램프의 실시예에서, 지지 부분은 2가지 기능을 한다. 즉, 상기 지지 부재가 한편으로는 탄성 변형 시에 게터를 가진 소자를 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 상에 조립하기 쉽게 하기 위해 사용되고, 다른 한편으로는 탄성 변형 및 부하 경감 시에 홀딩 클램프와 용기 사이의 클램핑을 위해 사용된다. 따라서, 게터를 가진 소자의 위치 고정은 용기 내에서 지지 부분을 통해 준간접적으로 이루어진다.
홀딩 클램프의 실시예에 따라 그 축방향 폭은
a) 지지 부분과, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역과의 축방향 폭의 합 또는
b) 지지 부분의 축방향 폭인 것을 특징으로 한다.
첫 번째 경우, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역이 지지 부분에 대한 돌출부로서 형성되는 한편, 두 번째 경우 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역이 지지 부분 내로 형성된다. 두 번째 해결책은 작은 축방향 폭을 특징으로 하므로, 특히 이용될 수 있는 공간이 작은 경우에 적합하다.
내부 간격이 특정하게 변하는 홀딩 클램프를 형성하기 위해, 지지 부분, 특히 2개의 레그 소자가 단부 영역 쪽으로 커지도록 구현된다. 따라서, 적어도 항상 지지 부분의 부분 영역을 통해 면 또는 선 프레싱이 레그 소자의 외부면 및/또는 용기의 내부 윤곽에 따라 이루어진다. 특히 바람직한 실시예에 따라 레그 소자가 적어도 지지 부분의 단부 영역에서 라운딩되어 구현되고 부가로 지지 부분에서 내부로 약간 경사짐으로써, 용기 내부면에 대한 스크레치가 피해진다.
둥근 횡단면을 가진 용기에 대한 보다 양호한 매칭을 위해, 지지 부분의 레그 소자가 바람직하게는 반원형으로 형성된다. 이것은 지지 부분과 관형으로 형성된 유리 용기의 내부 둘레 사이에 면 접촉이 형성되고, 일반적으로 높은 하중을 갖는 선 접촉이 형성되지 않는다는 장점을 제공한다.
본 발명에 따른 해결책은 게터를 가진 소자를 용기의 구조와 무관하게 진공 시스템에 사용하기 위한 용기, 특히 유리 용기 내에 위치 고정하는데 적합하다. 특히 바람직하게는 홀딩 클램프가 콜렉터 관, 특히 HV-ICR-콜렉터 관의 게터 링 형태의, 게터를 가진 소자를 위치 고정하는데 사용된다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참고로 구체적으로 설명한다.
도 1은 상이한 구조적 형상의, 게터를 가진 소자용의 본 발명에 따른 홀딩 클램프(1)의 개략적인 측면도이다. 게터를 가진 소자는 제 1 실시예에 따라 임의의 횡단면을 가진 용기에 위치 고정을 위해 적어도 부분적으로 중공 바디로서 구현된다. 홀딩 클램프(1)는 게터를 가진 소자를 지지하는 제 1 부분 영역(2)과, 하우징에 지지를 위해 사용되는 제 2 부분 영역을 포함한다. 상기 제 2 부분 영역은지지 부분(4)이라고도 한다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)과 지지 부분(4)은 강성 연결부를 통해 서로 연결된다. 바람직하게는 상기 연결이 직접 이루어진다. 즉, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 강성 연결부(21)를 통해 지지 부분(4)에 연결된다. 본 발명에 따라 또한 게터를 가진 소자와 이것을 지지하는 영역(2)을 마찰 연결하기 위한 수단들(5)이 제공된다. 상기 수단들(5)은 특히 바람직한 실시예에 따라, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 스프링 탄성적으로 형성되며 그 구조가 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 외부면(6)이 게터의 내부 둘레에 대해 고정되도록 선택됨으로써, 부분 영역(2)자체로 형성된다. 이 경우에는 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 설계가 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)을 형성하는 요소의 두께(d)의 함수, 그 구조 및 스프링 탄성 특성과 관련해서 이루어진다. 상기 설계는 게터를 가진 소자와 이것을 지지하는 부분 영역(2) 사이의 클램핑을 위해 게터를 가진 소자의 내부 둘레에 대해 부분 영역(2)에 의해 제공될 수 있는 힘이 홀딩 클램프(1)에 대해 게터를 그 축방향 위치에 고정시키는데 필요한 이론적 홀딩력(FH) 보다 크거나 같도록 이루어진다.
지지 부분(4)은 그 구조 및 재료 특성과 관련해서, 홀딩 클램프(1)가 삽입된 용기에 대해 클램핑이 형성될 수 있도록 설계된다. 여기서도 지지 부분(4)이 스프링 탄성적으로 구현되고, 외부면(711, 712)의 적어도 하나의 부분면이 용기와 클램핑될 수 있다. 즉, 이것이 용기의 내부 둘레에 대해 지지 부분(U)을 고정하기 위해 이론적으로 필요한 홀딩력(FH)에 상응하는 힘을 용기의 내부 둘레에 가한다.
도 1에 따른 홀딩 클램프(1)는 일체형으로 구현되며 실질적으로 평평한 구조를 특징으로 한다. 즉, 지지 부분(4)과, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 하나의 평면에 배치된다. 또한, 홀딩 클램프(1)는 바람직하게는 대칭으로 구성된다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)은 지지 부분(4) 보다 작은 외부 치수(A2)를 갖는다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)과 지지 부분(4)을 평평하게 배치하기 위해, 홀딩 클램프(1)는 바람직하게는 적합하게 성형된 평형 스프링 와이어로서 구현된다. 이것을 위해, 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)은 연결 부품(8)을 통해 서로 연결된 2개의 레그 소자(9 및 10)를 포함한다.
이것들은 바람직하게는 서로 반대 방향으로 향한 연결면(6.10) 및 (6.9)을 형성한다. 지지 부분(4)도 2개의 레그 소자(11 및 12)로 형성된다. 이것들은 각각 레그 소자( 9 및 10)에 형성되며, 홀딩 클램프(1)의 대칭축(S1)에 대해 레그 소자(10 및 9)와 상기 대칭축의 간격 보다 큰 간격(A12 또는 A11)을 갖는다. 레그 소자(9 및 10)와 대칭축(S1)의 간격은 각각 A9 및 A10으로 표시된다. 지지 부분의 레그 소자(11 및 12)와 게터를 가진 부분 영역(2)의 레그 소자(9 및 10) 간의 커플링은 연결 부품(13 및 14)을 통해 이루어진다. 상기 연결 부품(13 및 14)의 각각 하나의 강성 에지는 지지 부분(4)에 연결되고, 다른 강성 에지는 부분 영역(2)에 연결되므로 상기 연결 부품은 강성 연결부(21)를 형성한다. 바람직하게는 레그 소자(11 및 12)의 축방향 폭은 도 1에 도시된 실시예에서 대칭축(S1)에 대해, 게터를 가진 부분 영역에 대향하는 단부 영역(15)으로부터 게터를 가진 부분 영역(2)으로경사지게 구현된다. 상기 실시예는 적어도 레그 소자들(11 및 12)의 축방향 폭(l11,12)의 일부에 걸쳐 상기 소자들의 연결면(711, 712)이 용기에 조립된 상태에서 용기에 접촉하는 것을 가능하게 한다.
홀딩 클램프(1)는 적합한 스프링 탄성 특성을 가진 와이어 또는 평형 쉬트 스트립으로 제조된다. 개별 레그 소자는 차례로 예컨대 12, 14, 10, 8, 9, 13, 11의 순서로 형성된다. 평형 쉬트 스트립으로 제조하는 것은 고정 시에, 특히 지지 부분(4)의 클램핑 시에 면 접촉을 가능하게 하는 한편, 와이어로 제조하는 것은 일반적으로 선 접촉만을 가능하게 한다.
도 2는 도 1에 따른 홀딩 클램프에 있어서 이것에 클램핑되는 게터를 가진 소자(16)의 상태를 도시한다. 따라서, 도 1과 동일한 소자는 동일한 도면 부호를 갖는다. 게터를 가진 소자(16)은 도시된 경우에 게터 링으로 구현된다. 상기 게터 링의 내부 둘레(17)는 상기 상태에서 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 외부 둘레에 의해 고정된다. 도 2에 나타나는 바와 같이, 부분 영역(2)은 게터(16)와의 마찰 결합을 위해 변형되었다. 2개의 레그 소자(9 및 10)의 외부 치수(A9 또는 A10)는 게터 링(16)의 내경(D16) 보다 크거나 같다. 게터 링(16)의 장착은 2개의 레그 소자(9 및 10)에 대한 힘 작용에 의서만, 그에 따라 그것 및 연결 부품(8)의 변형에 의해 가능하다. 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 스프링 탄성적 특성으로 인해, 상기 부분 영역이 게터 링(16)의 내부 둘레에 힘을 발생하는데, 상기 힘은 대칭 축(S1)에 대해 평행하게 게터 링의 독자적인 이동을 저지하고, 외부로부터 제공되는 힘이 클 때만 상대 운동을 가능하게 한다. 외부로부터 제공되는 상기 힘은 탄성 변형, 특히 레그 소자(9 및 10)의 가압을 야기한다. 바람직하게는 게터를 가진 소자를 지지하는 영역(2)은 그 스프링 탄성 특성 면에서, 홀딩 클램프(1)의 수직 배치 시에도 게터 링(16)의 중량으로 인해 중력 방향으로 부분 영역(2)에 대한 게터 링(16)의 이동이 허용되지 않도록 설계된다.
도 3은 용기(18)내에 도 2에 따른 게터 링(2)의 형태로 게터를 가진 소자(16)를 포함하는 도 1에 따른 홀딩 클램프(1)의 조립 상태를 도시한다. 상기 용기(18)는 콜렉터 관(19)의 형태로 구현된다. 이것으로부터 나타나는 바와 같이, 지지 부분(4)이 콜렉터 관(19)의 내부면에 대해 고정된다. 이 때, 레그 소자들(11 및 12)의 한 부분 영역만이 콜렉터 관(19)의 내부면(20)에 접촉한다. 여기서, t11, 12로 표시된 부분 영역의 크기는 콜렉터 관(19)의 내부 직경(d20), 도 1에 따라 부분 간격(A11 및 A12)으로부터 주어지는 두 레그 소자들(11 및 12)간의 치수(A4), 및 스프링 탄성 특징, 특히 레그 소자(11 및 12)를 형성하는 재료의 탄성 한계의 함수이다. 상기 지지 기능에 의해 일반적으로 접촉 없이 게터 링(16)의 고정이 유지된다.
콜렉터 관(19)내로 게터 링(16)의 삽입은 홀딩 클램프(1)상에 장착된 상태에서 이루어지며, 홀딩 클램프(1)는 함께 가압된다. 즉, 상기 소자(11 및 12)에는 서로 반대 방향의 압력이 가해진다. 이로 인해 얻어지는 외부 치수의 감소, 즉 레그 소자(11 및 12)의 외부 둘레(712 및 711)간의 간격의 감소에 의해, 홀딩 클램프(1)가 문제없이 용기(18)내로, 특히 관내로 삽입될 수 있다. 레그 소자(11 및 12)에 대한 힘이 감소하면, 홀딩 클램프(1)의 프리스트레스(prestress)가 커지고 두 레그 소자는 콜렉터 관(19)의 내부 둘레(20)에 서로 반대 방향으로 지지된다.
도 1 내지 3에 도시된 홀딩 클램프(1)의 실시예는 간단한 와이어 소자 또는 좁은 스프링 강 쉬트로 형성될 수 있는 매우 바람직한 실시예이다. 이 실시예는 한편으로는 상이한 내부 윤곽을 가진 용기에 고정하는데 적합하다는 장점을 갖는다. 즉, 상기 용기가 관으로 또는 다른 횡단면으로 구현될 수 있다. 또한, 이러한 방식으로 형성된 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)은 상이한 구조적 형상의, 게터를 가진 소자를 그 위치에 고정시킬 수 있다. 2가지 고정을 위해, 즉 내부 둘레(20)에 대한 지지 부분(4)의 고정 및 게터(16)에 대한 상기 소자를 지지하는 부분 영역의 고정을 위해, 서로 고정되는 소자들 사이에 적어도 선 접촉이 형성되는 것이 중요하다. 다른 가능성은 면 접촉이 가능하도록 홀딩 클램프를 형성하는 것이다. 그러나, 이러한 방식으로 형성된 홀딩 클램프는 도 1 내지 3에서 설명되는 바와 같이 다양하게 사용될 수 없는데, 그 이유는 홀딩 클램프의 구체적인 설계 시에 면 접촉으로 정렬하는 것은 특정 용도에만 적합하기 때문이다.
도 1 내지 3은 지지 부분과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 축방향으로 차례로 연결되고 서로 나란히 배치된 실시예를 도시한다. 이에 비해, 도 4a 내지 4c는 홀딩 클램프의 축방향 폭(l1)이 지지 부분(4.4) 및 그에 따라 여기서는 l11.4, 12.4로 표시된 두 레그 소자(12.4) 및 (11.4)의 축방향 폭을 갖는 대체 실시예를 도시한다. 게터를 가진 소자(16)는 여기서도 게터 링으로 구현된다. 여기서, 게터를 가진 소자(16)를 지지하는 부분 영역(2.4)은 지지 부분(4.4)의 축방향 폭 내부에 배치된다. 게터(16.4)와 게터를 가진 부분 영역(2.4) 그리고 지지 부분(4.4)과 용기 사이의 마찰 연결과 관련한 기본 기능은 도 1내지 3에서 설명한 실시예와 유사하게 형성된다.
도 5는 용기(18), 특히 콜렉터 관(19.4)에 조립된 상태에서 도 4에 따른 홀딩 클램프(1.4)를 도시한다. 조립 방법은 도 3에 설명된 실시예와 유사하게 형성된다.
도 6a 및 6b는 레그 소자의 실시예를 도 4의 선 A-A을 따른 단면도로 도시한다. 이것으로부터 알 수 있는 바와 같이, 도 6a에 따른 실시예에서 홀딩 클램프(1.4)의 횡단면 윤곽은 예리한 에지를 갖도록 구현된다. 이에 비해, 도 6b에 도시된 지지 부분(4)의 실시예는 반원형으로 형성된 레그 소자(12.4 및 11.4)를 갖는다.
상기 해결책이 특히 바람직한데, 그 이유는 그로 인해 용기, 특히 유리관의 휘어진 내부 윤곽에 대한 보다 양호한 매칭이 이루어질 수 있기 때문이다. 바람직하게는 부가로 지지 부분의 레그 소자(11, 12)의 개방된 단부 영역이 내부로 경사짐으로써, 유리벽에 대한 스크레치가 방지될 수 있다.
본 발명에 따라 용기, 특히 유리 용기에 대한 게터의 간단한 위치 고정과 더불어, 진공 시스템의 형성을 위해 간단한 조립 및 핸들링 가능성을 갖는, 게터, 특히 게터 링의 위치 고정 장치가 제공된다.

Claims (15)

  1. 진공 시스템에 사용하기 위한 임의의 구조의 횡단면을 가진 용기들(18, 19)내에 적어도 부분적으로 중공 바디로서 구현된 게터를 가진 소자(16)를 위치 고정하기 위한 홀딩 클램프로서,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2;2.4)과, 지지 부분(4)을 형성하는, 용기(18, 19)에 지지를 위한 부분 영역(3)을 포함하고,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2;2.4)은 강성 연결부를 통해 지지 부분(4)에 연결되고,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역 및 지지 부분(4)이 스프링 탄성적으로 형성되므로, 게터를 가진 소자가 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역에 대해 그리고 상기 지지 부분이 용기의 내부면에 대해 탄성 변형에 의해 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 부분(4) 및/또는 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2; 2.4)의 스프링 탄성이 재료 및/또는 횡단면 및/또는 홀딩 클램프의 윤곽의 함수로서 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 연결 부품(8)을 통해 서로 연결되는 2개의 레그 소자(9, 10)를 포함하고,
    상기 지지 부분(4)이 2개의 레그 소자(11, 12)를 포함하고,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 각 레그 소자(9, 10)가 지지 부분(4)의 레그 소자(11, 12)에 연결되고,
    상기 지지 부분(4)의 레그 소자(11, 12)와 상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 레그 소자(9, 10)간의 연결이 2개의 강성 에지에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 레그 소자들(9, 10) 사이의 간격이 상기 지지 부분(4)의 레그 소자들(11, 12) 사이의 간격 보다 작은 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 지지 부분(4)의 레그 소자들(11, 12)이 단부 영역으로부터 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)과의 강성 연결부(21)쪽으로 경사지게 연장되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  6. 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 한에 있어서,
    상기 지지 부분(4)과 상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 하나의 평면에 배치되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  7. 제 3항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 부분(4)의 레그 소자(11, 12)의 횡단면은 라운딩되거나 및/또는 적어도 경사진 에지로 형성되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀딩 클램프가 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀딩 클램프의 축방향 폭은 지지 부분(4)의 축방향 폭인 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  10. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀딩 클램프의 축방향 폭은 지지 부분(4)의 축방향 폭과 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)의 축방향 폭의 합인 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 게터를 가진 소자를 지지하는 부분 영역(2)이 적어도 부분적으로 지지 부분(4)의 레그 소자(11, 12) 사이의 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  12. 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀딩 클램프가 와이어로 형성되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  13. 제 1항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀딩 클램프가 작은 폭 및 작은 횡단면의 스프링 강 쉬트로 형성되는 것을 특징으로 하는 홀딩 클램프.
  14. 내부 공간에 배치된 게터를 가진 소자(16)를 포함하는 진공 시스템에 사용하기 위한 용기(18), 특히 콜렉터 관(19)에 있어서,
    상기 게터를 가진 소자(16)가 제 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 따른 홀딩 클램프(1)에 고정되고,
    상기 홀딩 클램프(1)는 용기(18)의 내부 둘레에 대해 고정되는 것을 특징으로 하는 용기.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 용기가 링형 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는 용기.
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