KR20030052964A

KR20030052964A - 펠리클 및 펠리클 부착 마스크의 제조 방법

Info

Publication number: KR20030052964A
Application number: KR1020020065235A
Authority: KR
Inventors: 후지타미노루; 나카가와히로아키
Original assignee: 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2001-10-31
Filing date: 2002-10-24
Publication date: 2003-06-27
Also published as: TW546552B; CN1217235C; US6703172B2; CN1416018A; KR100505283B1; US20030096178A1; TW200406645A

Abstract

본 발명의 과제는 검사 회수를 줄일 수 있고, 또 펠리클을 마스크에 붙인 뒤에, 그것을 박리하여 다시 사용할 수 있는 펠리클 및 펠리클 부착 마스크의 제조 방법을 제공하는데 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 수단으로, 펠리클 프레임(10)의 일방의 단면(11)에 펠리클막(12)을 길게 설치하고, 타방의 단면(13)에 점착층(14)을 설치하고, 메인 라이너(21)의 일부(23)가 서브 라이너(22)로부터 노출하도록 적층하고, 서브 라이너(22)는 점착층(14)에 직접 접착함과 동시에, 메인 라이너(21)도 서브 라이너(22)로부터 노출하는 일부(23)에서 접착층(14)에 직접 부착하도록 한다. 펠리클(1)을 마스크에 붙일 때에는, 메인 라이너(21)를 박리하고, 펠리클(1)을 마스크에 가접착을 하고, 그 상태에서 검사하고, 검사가 합격이라면, 서브 라이너(22)를 박리하여 본접착을 한다. 불합격이라면, 펠리클(1)을 마스크로부터 박리하여 재이용한다.

Description

펠리클 및 펠리클 부착 마스크의 제조 방법{PELLICLE AND METHOD OF MANUFACTURING MASK WITH PELLICLE}

본 발명은 펠리클 및 펠리클을 마스크 혹은 레티클(이하, 마스크 및 레티클을 총칭하여 단순히 "마스크"라 함) 등의 기판에 붙인 펠리클 부착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.

포토 리소그래피 공정에서는, 유리판 표면에 크롬 등의 증착막으로 회로 패턴을 형성한 포토 마스크나 레티클을 사용하여, 레지스트를 도포한 실리콘 웨이퍼상에 그 회로 패턴을 노광에 의해 전사하는 작업이 행해진다. 이 공정에서는 마스크 상의 회로 패턴에 먼지 등의 이물질이 부착한 상태에서 노광이 행해지면, 웨이퍼 상에도 상기 이물질이 전사되어 불량 제품의 웨이퍼가 되어 버린다. 특히, 노광을 스테퍼에서 행하는 경우에는, 웨이퍼 상에 형성되는 모든 칩이 불량이 될 가능성이 높아지고, 마스크의 회로 패턴에의 이물질의 부착은 큰 문제가 된다. 그래서, 노광용의 빛을 잘 통과시키는 펠리클을 마스크에 장착하여, 마스크에 먼지가 부착하는 것을 방지하고 있다.

통상, 마스크의 제조는 이하와 같이 행해지고 있다.

(1) 마스크의 세정이 행해지는 공정,

(2) 마스크의 검사를 행하는 공정, 즉, 설계한 대로의 회로가 되어 있는가 어떤가 하는 것 외에, 이물질의 부착은 없는지를 검사하는 공정,

(3) 펠리클을 붙이는 공정,

(4) 펠리클 부착 마스크를 검사하는 공정,

(5) 출하하는 공정,

의 5단계로 행해진다. 통상, 공정 (2)에서는, 마스크가 설계한 대로 되어 있는지의 여부, 이물질이 부착하여 있지 않은지의 여부에 대해서 검사된다. 그리고, 검사에 합격한 것만이 공정 (3)으로 진행하다. 그 후 공정 (4)에서는, 펠리클을 붙인 뒤에, 마스크에 결함이 발생하여 있지 않은지의 여부, 이물질이 혼입하여 있지 않은지의 여부에 대해서 검사되고, 합격한 것이 출하 공정으로 순환되지만,불합격품은 마스크로부터 펠리클을 박리하여 마스크는 공정 (1)로 되돌려 재사용되지만, 펠리클은 박리시의 힘에 의해서 파손하는 경우가 있어 폐기되고 있다.

그러나, 검사에는 컴퓨터에 의한 시스템이 이용되지만, 최종적으로는 사람에 의해서 판단하지 않을 수 없고, 게다가, 출하까지 같은 검사를 2회나 행하는 것은, 공업적으로 고비용이 된다. 또한, 공정 (4)의 검사에서 불합격으로 된 펠리클 부착 마스크는, 펠리클을 박리한 뒤, 마스크는 세정 공정 (1)로 되돌려지지만 펠리클은 재이용할 수 없기 때문에 폐기하지 않을 수 없는 것이 실상이다.

특개평 7-120931호 공보에는, 펠리클을 레티클에 고정하는 점착층을 가열 및/또는 광조사(光照射)에 의해 점착력이 감소하는 점착제를 이용하여, 펠리클을 이 종류의 점착층으로 레티클에 접착하고, 이 점착층을 가열하든가 이에 광조사를 하면 점착층의 점착력이 저하하기 때문에 펠리클을 레티클로부터 용이하게 박리할 수 있다는 취지의 발명이 개시되어 있다. 해당 발명에 의하면, 펠리클을 레티클로부터 박리하기 위해서는, 마스크에 부착되는 펠리클의 환경 조건을 바꾸는 등의 조작을 실시하는 것이 필요하다.

본 발명의 주된 목적은, 검사 회수를 줄일 수 있고, 또 펠리클을 마스크에 붙인 뒤에, 그것을 박리하여 다시 사용할 수 있는 펠리클 및 펠리클 부착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 펠리클을 설명하기 위한 도면, 도 1의 (a)는 본 발명의 일 실시예의 펠리클의 개략 부분 종단면도, 도 1의 (b)는 본 발명의 일 실시예의 펠리클의 라이너의 개략 평면도, 도 1의 (c)는 본 발명의 일 실시예의 펠리클의 라이너의 개략 측면도.

도 2는 본 발명의 일 실시예 및 종래의 펠리클의 마스크로부터의 박리력을 측정하는 방법을 설명하기 위한 개략 측면도.

도 3은 종래의 펠리클을 설명하기 위한 도면, 도 3의 (a)는 종래 펠리클의 개략 부분 종단면도, 도 3의 (b)는 종래 펠리클의 라이너의 개략 평면도, 도 3의 (c)는 종래 펠리클의 라이너의 개략 측면도.

도 4는 본 발명의 일 실시예의 개략 개념도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 펠리클

10 : 펠리클 프레임

11, 13 : 단면

12 : 펠리클막

14 : 점착층

15 : 지그 홀

16 : 개구부

20 : 라이너

21 : 메인 라이너

22, 223, 224 : 서브 라이너

201, 211, 221 : 탭

222 : 홈

30 : 석영(마스크)

41 : 로드 셀

42, 43 : 말단

44 : 박리 지그

본 발명의 제 1 태양에 의하면,

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 점착층 상에 적어도 2매 이상의 라이너가 부착되고, 각 라이너는 점착층으로부터 각각 박리하여 점착층이 노출하는 것을 특징으로 하는 펠리클이 제공된다.

바람직하게는, 중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 적어도 2매 이상의 라이너가 각 라이너의 일부가 그 위의 라이너로부터 노출하여 적층되고, 상기 점착층에 가장 가까운 최상층의 라이너는 상기 점착층에 직접 부착됨과 동시에, 상기 최상층의 라이너보다 하층의 각 라이너도 상기 적어도 노출하는 일부에서의 상기 점착층에 각각 직접 부착되고, 또 각 라이너는 상기 점착층으로부터 각각 박리될 수 있다.

또한, 바람직하게는, 상기 적어도 2매의 라이너가 메인 라이너와 서브 라이너로 이루어지고, 상기 메인 라이너의 일부가 상기 서브 라이너로부터 노출되고, 상기 서브 라이너는 상기 점착층에 직접 부착됨과 동시에, 상기 메인 라이너도 상기 서브 라이너로부터 노출하는 상기 일부에서의 상기 점착층에 직접 부착되고, 또 상기 메인 라이너 및 상기 서브 라이너는 상기 점착층으로부터 각각 박리될 수 있다.

또한, 바람직하게는, 상기 각 라이너의 상기 노출하는 적어도 일부가, 상기 개구부를 각각 위요(圍繞)하는 형상이다.

또한, 바람직하게는, 상기 적어도 2매 이상의 라이너는 서로 크기가 다르다.

또한, 바람직하게는, 상기 적층된 적어도 2매 이상의 라이너는, 상기 점착층에 가까워짐에 따라서 각 라이너의 크기가 순차로 작게 되어 있다.

본 발명의 제 2 태양에 의하면,

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치된 펠리클을 박리 가능한 상태에서 마스크에 가접착(假接着)되고, 마스크의 검사를 행하고, 검사에 합격이면 상기 펠리클을 상기 점착층에 의해서 본접착하여 펠리클 부착 마스크를 제조하고, 상기 가접착한 상태에서 상기 마스크의 검사를 행하고, 검사가 불합격이면, 상기 펠리클을 상기 마스크로부터 박리하고, 그 뒤 펠리클을 재이용하여 펠리클 부착 마스크를 제조하는 것을 특징으로 하는 펠리클 부착 마스크의 제조 방법이 제공된다.

바람직하게는, 중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 점착층 상에 적어도 2매 이상의 라이너가 부착되고, 하나의 라이너만을 펠리클 프레임으로부터 제거하여 점착층을 노출시켜 점착층을 통해서 펠리클을 마스크에 가접착하고, 나머지 라이너를 모두 제거함으로써 본접착을 행하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 메인 라이너와 서브 라이너가 상기 메인 라이너의 일부가 상기 서브 라이너로부터 노출하여 적층되고, 상기 서브 라이너는 상기 점착층에 직접 부착됨과 동시에, 상기 메인 라이너도 상기 서브 라이너로부터 노출하는 상기 일부에서의 상기 점착층에 직접 부착되고, 또 상기 메인 라이너 및 상기 서브 라이너는 상기 점착층으로부터 각각 박리 가능한 펠리클을 준비하고, 상기 메인 라이너를 상기 점착층으로부터 박리하고, 상기 서브 라이너로부터 노출하는 상기 점착층에 의해서 상기 펠리클을 마스크에 가접착하고, 그 후, 상기 가접착한 상태에서 상기 서브 라이너를 상기 점착층으로부터 박리하고, 상기 펠리클을 상기 마스크에 상기 점착층에 의해서 접착하는 것을 특징으로 하여 제조한다.

또한, 바람직하게는,

상기 가접착한 상태에서 상기 마스크의 검사를 행하고, 검사가 합격이면, 상기 가접착한 상태에서 상기 서브 라이너를 상기 점착층으로부터 박리하고, 상기 펠리클을 상기 마스크에 상기 점착층에 의해 접착하여 펠리클 부착 마스크를 제조하고, 상기 가접착한 상태에서 상기 마스크의 검사를 행하고, 검사가 불합격이면, 상기 펠리클을 상기 마스크로부터 박리하고, 그 후, 상기 펠리클을 다른 마스크에 이용하여, 펠리클 부착 마스크를 제조한다.

또한, 바람직하게는,

상기 각 라이너의 상기 노출하는 적어도 일부가, 상기 개구부의 주위를 각각 위요하는 형상이다.

(실시예)

다음으로, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 펠리클을 설명하기 위한 도면이고, 도 1의 (a)는 본 발명의 일 실시예의 펠리클의 개략 부분 종단면도이고, 도 1의 (b)는 본 발명의 일 실시예의 펠리클의 라이너의 개략 평면도이고, 도 1의 (c)는 본 발명의일 실시예의 펠리클의 라이너의 개략 측면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예 및 종래 펠리클의 마스크로부터의 박리력(剝離力)을 측정하는 방법을 설명하기 위한 개략 측면도이다. 도 3은 종래 펠리클을 설명하기 위한 도면이고, 도 3의 (a)는 종래 펠리클의 개략 부분 종단면도이고, 도 3의 (b)는 종래 펠리클의 라이너의 개략 평면도이고, 도 3의 (c)는 종래 펠리클의 라이너의 개략 측면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예의 펠리클 라이너의 개략 개념도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 펠리클(1)은 펠리클 프레임(10)의 개구부(16)를 덮어 펠리클 프레임(10)의 단면(11)에 펠리클막(12)이 길게 설치(張設)된다. 본 발명에 이용되는 펠리클 프레임(10)은 펠리클 프레임으로서 통상 이용되고 있는 것이면 된다. 펠리클 프레임(10)으로서는, 알루미늄 합금, 스텐레스, 폴리에틸렌, 알루마이트 처리한 흑색 알루미늄 등으로 이루어지는 펠리클 프레임을 들 수 있다. 또한, 이들 펠리클 프레임의 표면 전체를 비정계 불소 폴리머 등으로 코팅한 것을 이용해도 좋다. 이들 중에서도 바람직하게는, 알루미늄 합금, 알루마이트 처리한 흑색 알루미늄 등으로 이루어지는 펠리클 플레임을 들 수 있다.

본 발명에서 펠리클막(12)으로서 이용되는 박막은, 펠리클막으로서 통상 이용되고 있는 것이면 좋다. 예를 들면, 펠리클막(12)으로서 이용되는 박막으로서는, 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰로오스, 비정성(非晶性) 불소계 중합체 등을 들 수 있다. 박막이 펠리클 프레임(10)의 일방의 단면(11)에 길게 설치되어, 펠리클막(12)이 형성된다. 펠리클막(12)은 예를 들면 막 접착재에 의해 펠리클 프레임(10)에 고정될 수 있다.

본 발명의 일 실시예의 펠리클(1)에서는, 단면(端面)(11)과는 반대측의 단면(13)에 점착층(14)이 설치되고, 점착층(14)에는 서브 라이너(22)와 메인 라이너(21)를 적층한 라이너를, 메인 라이너(21)가 펠리클막(12)과 반대측이 되도록 적층한다. 즉, 펠리클막(12)/펠리클 프레임(10)/점착층(14)/서브 라이너(22)/메인 라이너(21)의 순서로 설치되어 있다. 서브 라이너(22)는 메인 라이너(21)보다 작고, 메인 라이너(21)의 일부(23)가 서브 라이너(22)로부터 노출하여 적층되어 있다. 서브 라이너(22)는 직접 점착층(14)에 부착되어 있는 동시에, 메인 라이너(21)도 서브 라이너(22)로부터 노출한 부분(23)에서 직접 점착층(14)에 접착되어 있다. 이 서브 라이너(22)로부터 노출한 부분(23)은 펠리클 프레임의 개구부(16)를 위요(圍繞)하는 형상으로 되어 있다. 메인 라이너(21)의 두께는 통상 50~300㎛, 바람직하게는 50~150㎛이다. 또한, 서브 라이너(22)의 두께는 통상 10~300㎛이고, 바람직하게는 15~150㎛이다. 또한, 메인 라이너(21)에는 탭(212)이 설치되고, 서브 라이너(22)에는 탭(221)을 설치함과 동시에, 홈(222)이 설치되어 있다.

이와 같이 서브 라이너(22)와 메인 라이너(21)가 적층되어 접착층(14)에 부착된 펠리클(1)을 마스크에 접착하여 펠리클 부착 마스크를 제조하는 데에는, 우선, 메인 라이너(21)를 접착층(14)으로부터 박리하고, 서브 라이너(22)로부터 노출하는 점착층(14)에 의해 펠리클(1)을 마스크에 가접착한다. 가접착한 상태에서 검사를 행하고, 검사가 합격이면, 가접착한 상태에서 서브 라이너(22)를 점착층(14)으로부터 박리하고, 펠리클(1)을 마스크에 점착층(14)에 의해서 본접착한다. 검사가 불합격이면, 펠리클(1)을 마스크로부터 박리하고, 그 후, 펠리클(1)을 다른 마스크에 이용하여, 펠리클 부착 마스크를 제조한다.

도 4와 같이 서브 라이너가 223 및 224와 같이 분할되어 있어도 좋다. 이 경우는, 우선 메인 라이너(21)를 박리한 뒤에는 상기와 동일한 조작에 의해 펠리클 부착 마스크를 제조할 수 있다. 즉, 서브 라이너(223)를 박리하고, 노출하는 점착층에 의해 펠리클을 마스크에 가접착하고, 가접착한 상태에서 검사를 행하고, 검사가 합격이면 서브 라이너(224)를 박리하여 본접착을 함으로써 펠리클 부착 마스크를 제조한다.

이에 의해, 종래와 같이, 펠리클을 붙이기 전과 펠리클을 붙인 뒤의 2회에 걸쳐서 마스크의 검사를 행할 필요가 없어지고, 펠리클을 붙인 뒤의 검사만으로 좋고, 또 검사에서 불합격이 된 경우라도, 펠리클(1)을 마스크로부터 박리하고, 그 후, 펠리클(1)을 다른 마스크에 재이용하여, 펠리클 부착 마스크를 제조할 수 있게 되었다.

또한, 점착층(14)은 펠리클막(12)이 길게 설치된 단면(端面)(11)과는 반대측의 펠리클 프레임(3)의 단면(13)에 설치되어 있다. 점착층(14)은 펠리클(1)을 마스크에 고착할 수 있는 수단이면 좋고, 예를 들면 점착 재료를 도포하여 펠리클 프레임(10)에 점착층(14)을 형성해도 좋고, 또 점착 재료를 폴리에스테르제(製) 필름 등에 도포하여 점착 테이프로 하여 펠리클 프레임(10)에 설치하여 접착시켜도 좋다. 점착 재료는, 점착성이 있는 합성 수지(이하 "베이스 폴리머"라 함)를 포함하는 것이 바람직하다. 베이스 폴리머로서 바람직하게는, 에틸렌 초산 비닐 공중합체, 부틸 메타크릴 수지, 폴리 스틸렌, 스틸렌-부틸렌 공중합체, 폴리 이소부틸렌 등을 들 수 있고, 특히 바람직하게는 스틸렌-부틸렌 공중합체 등을 들 수 있다.

점착 수단을 제전(制電)성 재료로 이루어지는 것으로 하는 경우는, 제전성을 갖는 점착 재료(이하 "제전성 접착 재료"라 함)를 이용하면 좋고, 예를 들면 상기 베이스 폴리머를 포함하는 점착 재료에 대전 방지제를 배합하여 제전성 점착 재료로 하는 것 등이 바람직하다. 베이스 폴리머에 배합하는 대전 방지제로서는, 합성 수지 등의 고분자 화합물에 혼합하는데 적합한 연입형 대전 방지제가 매우 적합하고, 구체적으로는 카본블랙(black), 글리세린지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르, N, N-비스(2-히드록시에틸)알킬아민, N-2-히드록시에틸-N-2-히드록시알킬아민, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 폴리옥시에틸렌알킬아민지방산에스테르, 알킬디에탄올아민, 알킬설폰산염, 알킬벤젠설폰산염, 알킬포스페이트 등이 바람직하게 예시된다.

또한, 일반적으로 친수성 폴리머는 제전성을 갖고 있고, 제전성을 갖는 친수성 폴리머도 상기 연입형 대전 방지제에 포함된다. 또, 친수성 폴리머의 중에는 대전 방지 효과의 지속성이 특히 뛰어난 것이 있고, 예를 들면, 폴리에틸렌글리콜계 폴리머 등을 들 수 있고, 구체적으로 바람직하게는, 폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜메타크릴레이트 공중합체, 폴리(에틸렌옥시드ㆍ프로필렌옥시드) 공중합체, 폴리에틸렌글리콜계 폴리에스테르아미드, 폴리(에피클로로히드린ㆍ에틸렌옥시드) 공중합체 등을 들 수 있다.

연입형 대전 방지제는 2종 이상을 혼합하여 이용해도 좋고, 알킬디에탄올아민과 글리세린지방산에스테르와의 혼합물, 알킬벤젠설폰산염과 폴리에틸렌글리콜 또는 고급 알코올과의 혼합물은 연입형 대전 방지제로서 특히 바람직하게 이용할 수 있다.

또한, 연입형 대전 방지제는 베이스 폴리머의 종류 등에 따라 선택해도 좋다. 연입형 대전 방지제는 제전성 점착 재료 중의 함유량이 바람직하게는 O.05 ~ 10 중량%, 특히 바람직하게는 0.1 ~ 5 중량%가 되도록 배합하는 것이 매우 적합하다.

(실시예 1)

두께 100㎛ㆍ폭 2.6mm의 PET 수지로 이루어지는 메인 라이너(21)와 두께 25㎛ㆍ폭 1.0mm의 PET 수지로 이루어지는 서브 라이너(22)를 접합하여, 122 x 149mm의 2층 구조 라이너를 제작했다(도 1의 (b), (c) 참조). 그 후, 직교 로보트(마쓰시타전기 FR-A102X)를 이용하여, 200℃로 용해한 SEBS계 점착제(욱화학(旭化學) 합성 A131)를 높이 5.8mmㆍ폭 2mm의 알루미늄 프레임(10)의 단면(端面)(13)에 도포하여, 제작한 2층 구조 라이너의 서브 라이너면과 점착재 층이 마주 보도록 2층 구조 라이너를 점착재(14) 위에 탑재했다. 2층 구조 라이너의 위로부터, 온도 100 ~ 110도의 판으로 억누르고, 25℃의 냉각판으로 강제 냉각하여, 전체를 6.3mm의 높이로 성형했다(도 1의 (a) 참조).

작업으로서는, 우선, 메인 라이너(21)만을 탭(212)(도 1의 (b) 참조)를 파지하여 박리하고, 서브 라이너(22)를 점착재(14)의 표면에 남긴 상태에서 점착재 노출부를 제한하면서, 400gㆍ30초의 힘으로 펠리클(1)을 마스크에 붙였다(가(假)부착했다). 펠리클 점착재 노출부와 마스크의 밀착폭은, 0.3 ~ 0.5mm이었다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 펠리클(1)의 지그 홀(15)에 하나의 말단(末端)(42)을 삽입하여 부착된 박리 지그(44)의 다른 말단(43)을 50mm/min의 속도로 눌러서 내리면서, 그 때 펠리클(1)과 마스크(30)의 박리력을 로드 셀(41)(오리엔테크제(製)/BT-2L-B)로 측정했다. 그 결과, 박리력은 30 ~ 100g정도 이었다. 또한, 그 때의 펠리클(1)의 마스크(30)로부터의 박리 상태는 5매(枚) 중 5매 모두 점착제의 형상이 붕괴되지 않고, 마스크(30)를 거의 더러움 없이 깨끗한 박리를 할 수 있었다. 또한 그 박리력은 박리 지그를 이용하지 않아도, 사람의 손에 의해, 충분히 박리할 수 있는 것이었다.

(실시예 2)

실시예 1과 마찬가지로 하여 펠리클(1)을 마스크(30)에 붙였다. 노출한 점착제와 마스크 사이는 주위 전체에 걸쳐, 공기 등이 혼입하지 않는 상태(완전 밀착)를 확인한 뒤, 서브 라이너(22)의 탭(221)(도 1의 (b) 참조)을 파지하고, 라이너 박리 방향 30 ~ 60도, 마스크 표면으로부터 10 ~ 20도의 경사를 갖게 하여, 알루미늄 프레임 외주를 따라, 서브 라이너(22)를 뽑아 냈다. 그 때, 완전 밀착부의 붙임 상태에 영향을 미치게 하지 않고, 점착제에 끌려 걸리는 일 없이, 5매 중 5매 모두 주위 전체에 걸쳐 순조롭게 서브 라이너(22)를 뽑아 낼 수 있었다. 그 후, 30kgㆍ3분의 하중을 주위 전체에 인가하여, 통상의 펠리클 붙임(본부착)을 실시했다. 그 결과, 현행 펠리클과 다르지 않는 붙음 상태(주위 전체 완전 밀착)를 확인했다.

(비교예)

도 3의 (b), (c)에 나타낸 바와 같이, 두께 125㎛ㆍ폭 2.6mm의 1층 구조 라이너(20)를 이용하고, 라이너가 다른 것 이외는 모두 실시예 1과 같고, SEBS계 점착제(욱화학(旭化學)합성 A131)를 알루미늄 프레임(10)에 도포하고, 라이너(20)를 붙여 성형했다(도 3의 (a) 참조). 다음으로, 라이너(20)의 탭(201)(도 3의 (b) 참조)을 파지하여 박리하고, 가부착하여 박리력의 측정을 행했다. 이 때의 펠리클 점착재 노출부와 마스크의 밀착폭은, 0.8 ~ 0.9mm이고, 마스크로부터의 박리력은 250g정도로 크고, 2층 구조 라이너를 이용한 경우와 비교하여, 2.5 ~ 8.3배의 값을 나타냈다. 마스크로부터는, 박리 지그 없이는 펠리클 박리는 할 수 없었다. 또한, 박리 지그를 이용한 펠리클 박리를 시도했지만, 5매 중 5매 모두 박리 부분의 점착제가 늘어져 그 형상은 무너지고, 펠리클을 재사용할 수 있는 상태에서의 박리는 할 수 없었다.

이상과 같이, 1층 구조 라이너에서는 가부착을 행해도, 마스크와 펠리클의 밀착력이 강하고, 깨끗하게 펠리클을 박리하는 일이 곤란하지만, 서브 라이너와 메인 라이너의 2층 구조 라이너를 사용함으로써, 점착재의 노출 면적을 제한한 가부착, 및 가벼운 펠리클 박리가 가능하게 되고, 박리 후, 펠리클을 재사용할 수 있게 되었다.

본 발명의 펠리클을 사용하면, 2단계로 맞붙일 수 있고, 합격인 경우에는, 펠리클과 마스크를 밀착시킨 채 2단째의 라이너만을 박리할 수 있으므로, 이물질 혼입의 걱정 없이 본부착을 할 수 있다. 또한, 펠리클 부착 마스크의 이물질 등의검사에서 불합격한 경우에는 양자를 박리하여 마스크와 펠리클을 재이용할 수 있다. 또한, 합격한 경우는, 2단째의 라이너를 마스크와 밀착시킨 채로 1단째의 펠리클만을 박리할 수 있으므로, 이물질 혼입의 걱정없이 본부착을 할 수 있다. 또한, 본 발명의 펠리클에 의해, 마스크만의 이물질 검사는 불필요하게 되고, 펠리클 부착 마스크의 제조 공정에서, 이물질 검사를 1회로 끝낼 수 있다.

본 발명에 의하면, 검사 회수를 줄일 수 있고, 또 펠리클을 마스크에 붙인 뒤에, 그것을 박리하여 다시 사용할 수 있는 펠리클 및 펠리클 부착 마스크의 제조 방법이 제공된다.

Claims

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면(端面)에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착(粘着)층이 설치되며, 점착층 상에 적어도 2매 이상의 라이너가 부착되고, 각 라이너는 점착층으로부터 각각 박리하여 점착층이 노출하는 것을 특징으로 하는 펠리클.
제 1 항에 있어서,

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 적어도 2매 이상의 라이너가 각 라이너의 일부가 그 위의 라이너로부터 노출하여 적층되고, 상기 점착층에 가장 가까운 최상층의 라이너는 상기 점착층에 직접 부착됨과 동시에, 상기 최상층의 라이너보다 하층의 각 라이너도 상기 적어도 노출하는 일부에서의 상기 점착층에 각각 직접 부착되고, 또 각 라이너는 상기 점착층으로부터 각각 박리할 수 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.
중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면(端面)에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치된 펠리클을 박리 가능한 상태에서 마스크에 가접착(假接着)하고, 마스크의 검사를 행하고, 검사에 합격이면 상기 펠리클을 상기 점착층에 의해서 본접착하여 펠리클 부착 마스크를 제조하고, 상기 가접착한 상태에서 상기 마스크의 검사를 행하고, 검사가 불합격이면, 상기 펠리클을 상기 마스크로부터 박리하고, 그 뒤 펠리클을 재이용하여 펠리클 부착 마스크를 제조하는 것을 특징으로 하는 펠리클 부착 마스크의 제조 방법.
제 3 항에 있어서,

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 점착층 상에 적어도 2매 이상의 라이너가 부착되고, 하나의 라이너만을 펠리클 프레임으로부터 제거하여 점착층을 노출시켜 점착층을 통해서 펠리클을 마스크에 가접착하고, 나머지 라이너를 모두 제거함으로써 본접착을 행하는 것을 특징으로 하는 펠리클 부착 마스크의 제조 방법.
제 3 항에 있어서,

중앙에 개구부를 갖는 펠리클 프레임의 일방의 단면에 펠리클막이 길게 설치되고, 타방의 단면에 점착층이 설치되며, 메인 라이너와 서브 라이너가 상기 메인 라이너의 일부가 상기 서브 라이너로부터 노출하여 적층되고, 상기 서브 라이너는 상기 점착층에 직접 부착됨과 동시에, 상기 메인 라이너도 상기 서보 라이너로부터 노출하는 상기 일부에서의 상기 점착층에 직접 부착되고, 또 상기 메인 라이너 및 상기 서브 라이너는 상기 점착층으로부터 각각 박리 가능한 펠리클을 준비하고, 상기 메인 라이너를 상기 점착층으로부터 박리하고, 상기 서브 라이너로부터 노출하는 상기 점착층에 의해서 상기 펠리클을 마스크에 가접착하고,

그 후, 상기 가접착한 상태에서 상기 서브 라이너를 상기 점착층으로부터 박리하고, 상기 펠리클을 상기 마스크에 상기 점착층에 의해서 본접착하는 것을 특징으로 하는 펠리클 부착 마스크의 제조 방법.