KR20030015125A - 전자밸브용 매니폴드 - Google Patents

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KR20030015125A
KR20030015125A KR1020020043508A KR20020043508A KR20030015125A KR 20030015125 A KR20030015125 A KR 20030015125A KR 1020020043508 A KR1020020043508 A KR 1020020043508A KR 20020043508 A KR20020043508 A KR 20020043508A KR 20030015125 A KR20030015125 A KR 20030015125A
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Abstract

매니폴드내부의 유체유로와 전자밸브 탑재면상의 개구가 서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있더라도, 그들을 탑재면으로부터 수직으로 똑바로 뚫은 분기구멍으로 확실히 연통시킬 수 있도록 구성한다.
매니폴드(10A)를, 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)로 분할하고, 매니폴드본체(12)에는, 설치면(20)으로부터 수직으로 똑바로 연장되어 유체유로(14, 15, 16)로 통하는 복수의 분기구멍(14a, 15a, 16a)을 형성하고, 상기 서브플레이트(13)에는, 상기 각 분기구멍(14a, 15a, 16a)을 전자밸브(11)의 각 포트(21, 22, 23)에 연통시키기 위한 복수의 중계구멍(24, 25, 26)을 형성하고, 위치가 다른 중계구멍과 분할구멍은, 상기 서브플레이트(13)의 아래면에 형성한 오목부(29)를 통하여 서로 연통시킨다.

Description

전자밸브용 매니폴드{MANIFOLD FOR ELECTROMAGNETIC VALVE}
본 발명은, 전자밸브를 탑재하기 위한 매니폴드에 관한 것이다.
도 7에는 공지의 매니폴드가 나타나 있다. 이 매니폴드는, 그 윗면에 복수의 전자밸브(2)를 나란히 하여 탑재할 수 있는 탑재면(1)을 갖는 동시에, 도 8의 (A), (B)에서도 알 수 있는 바와 같이, 그 내부에, 이들 전자밸브(2)에 압력유체를 집중적으로 공급하기 위한 공통의 공급유로(3)와, 상기 전자밸브(2)로부터의 배기를 집중적으로 배출하기 위한 공통의 배출유로(4)와, 각 전자밸브(2)로부터의 출력유체를 꺼내기 위한 개별의 출력유로(5)를 가지며, 이들 각 유로(3, 4, 5)가, 상기 탑재면(1)상의 개개의 전자밸브 탑재영역(1a)에 각각 개구하는 복수의 접속구(3b, 4b, 5b)에, 분기구멍(3a, 4a, 5a)을 통하여 연통되어 있다. 그리고, 이 탑재면(1)상에 전자밸브(2)를 탑재했을 때 이들 접속구(3b, 4b, 5b)가, 각 전자밸브(2)에 형성된 유체접속포트에 각각 연통하도록 되어있다.
이러한 종류의 매니폴드에 있어서는, 통상, 제한된 체적 중에 상술한 바와같은 복수의 유체유로(3, 4, 5)를 서로 위치경합하지 않도록 형성하지 않으면 안되기 때문에, 예컨대 도 8의 (A), (B)에 나타내는 바와 같이, 공급유로(3)와 배출유로(4)가 서로 떨어진 위치에 형성되고, 탑재면(1)상에 개구하는 접속구(3b, 4b)는, 전자밸브(2)의 각 포트와의 관계에서 서로 근접하여 형성되어 있는 경우가 많다. 또한, 상기 출력유로(5)도, 다른 유로나 분기구멍 등을 우회하기 때문에, 그것에 대응하는 탑재면(1)상에 접속구(5b)로부터 측방으로 떨어진 위치에 형성되는 것도 많다. 그리고, 이와 같은 경우에, 상하의 상대하는 위치에 있는 배출유로(4)와 배출용 접속구(4b)는, 탑재면(1)에서 수직으로 똑바로 뚫은 분기구멍(4a)에서 접속할 수 있지만, 서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있는 공급유로(3)와 공급용 접속구(3b), 및 출력유로(5)와 출력용 접속구(5b)는, 탑재면(1)으로부터 기울어진 아래쪽으로 경사지게 하여 뚫은 분기구멍(3a, 5a)에 의해 각각 접속하지 않으면 안된다.
그런데, 이와 같이 분기구멍을 탑재면으로부터 기울어져 경사지게 하여 뚫은 것은, 그 가공시에 매니폴드를 필요한 각도로 경사진 상태로 유지시키지 않으면 안되기 때문에, 작업이 번잡하고 성가셔서 복잡한 가공장치를 필요로 하고, 특히, 경사각도가 다른 복수의 분기구멍을 형성하든지, 수직한 분기구멍과 경사진 분기구멍의 양쪽을 형성하던지 하는 경우에는, 작업이 보다 번잡하고 성가셔서 많은 수고가 따른다.
본 발명의 기술적 과제는, 매니폴드내부의 유체유로와 전자밸브 탑재면상의개구가 서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있더라도, 그들을 탑재면으로부터 수직으로 똑바로 뚫은 분기구멍에서 확실히 연통시킬 수 있는, 간단하고 합리적인 설계구조를 구비한 전자밸브용 매니폴드를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명에 따른 전자밸브용 매니폴드의 제1실시형태를 나타내는 평면도,
도 2의 (A)는 도 1의 IIA-IIA선을 따른 단면도, (B)는 도 1의 IIB-IIB선을 따른 단면도, (C)는 도 1의 IIC-IIC선을 따른 단면도,
도 3은 매니폴드상의 1개의 서브플레이트를 분리하여 나타내는 사시도,
도 4는 매니폴드상의 1개의 서브플레이트를 분리하여 나타내고, 도 3과는 다른 구성의 사시도,
도 5는 매니폴드상에 전자밸브를 탑재한 상태의 단면도,
도 6은 본 발명의 매니폴드의 제2실시형태를 나타내는 사시도,
도 7은 종래의 매니폴드의 평면도,
도 8의 (A)는 도 7의 VIIIA-VIIIA선을 따른 단면도, (B)는 도 7의 VIIIB-VIIIB선을 따른 단면도이다.
<본 발명의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10A, 10B : 매니폴드 11 : 전자밸브
12 : 매니폴드본체 12a : 접합면
13 : 서브플레이트 13a : 접합면
14, 15, 16 : 유체유로 14a, 15a, 16a : 분기구멍
17 : 탑재면 20 : 설치면
21, 22, 23 : 전자밸브의 포트 24, 25, 26 : 중계구멍
29 : 오목부 32 : 돌기
33 : 함몰부
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의하면, 복수의 유체유로를 내부에 구비한 1개의 매니폴드본체와, 이 매니폴드본체상에 설치되어 전자밸브용 탑재면을 형성하는 적어도 1개의 서브플레이트로 이루어지는 매니폴드가 제공된다.
상기 매니폴드본체는, 상기 서브플레이트를 설치하기 위한 설치면과, 이 설치면으로부터 수직으로 똑바로 연장되어 상기 각 유체유로로 통하는 복수의 분기구멍을 가지며, 또한, 상기 서브플레이트는, 상기 각 분기구멍을 전자밸브의 각 포트에 연통시키기 위한 복수의 중계구멍을 가지고 있고, 이들 중계구멍의 적어도 일부가 대응하는 분기구멍과는 다른 위치에 형성되는 동시에, 위치가 다른 이들 중계구멍과 분기구멍이, 상기 서브플레이트의 아래면에 이들 중계구멍과 분기구멍에 걸치도록 형성된 오목부를 통하여 서로 연통하고 있다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 매니폴드를 매니폴드본체와 서브플레이트로 분할하고, 상기 매니폴드본체에는, 그 내부의 각 유체유로에 연통하는 수직인 분기구멍을 형성하고, 전자밸브용 탑재면을 형성하는 상기 서브플레이트에는, 전자밸브의 각 포트에 연통하는 복수의 중계구멍을 형성하고, 대응하는 중계구멍과 분기구멍을, 서브플레이트에 형성한 오목부에서 연통시키도록 하였으므로, 대응하는 유체유로와 중공구멍이 서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있더라도, 그들을 매니폴드본체에 수직으로 뚫은 상기 분기구멍에 의해 확실히 접속할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 의하면, 상기 매니폴드본체 및 서브플레이트가 각각 금속소재에 의해 형성되어 있어서, 서로의 접합면을 납땜함으로써 일체로 접합시키고 있다. 이 경우, 상기 매니폴드본체와 서브플레이트의 땜납접합시의 위치어긋남을 방지하기 위해, 서로 결합하여 합쳐지는 돌기와 함몰부로 이루어지는 위치결정수단을 설치하는 것이 바람직하다.
본 발명의 하나의 구체적인 실시형태에 의하면, 상기 매니폴드본체가, 복수의 전자밸브를 탑재할 수 있도록 형성되는 동시에, 상기 서브플레이트가, 개개의 전자밸브마다 분할되어 있다.
본 발명의 다른 구체적인 실시형태에 의하면, 상기 매니폴드본체 및 서브플레이트가 각각, 개개의 전자밸브마다 분할되어 있고, 복수개를 연결하여 사용하도록 구성되어 있다.
(실시형태)
도 1 및 도 2의 (A), (B), (C)는, 본 발명에 따른 전자밸브용 매니폴드의 제1실시형태를 나타내는 것으로, 이 제1실시형태의 매니폴드(10A)는, 복수의 전자밸브(11)(도 5참조)를 탑재할 수 있도록 구성된 단체형의 매니폴드이다. 그리고 이 매니폴드(10A)는, 복수의 유체유로(14, 15, 16)를 내부에 구비한 1개의 매니폴드본체(12)와, 이 매니폴드본체(12)상에 설치되어 전자밸브용 탑재면(17)을 형성하는 복수의 서브플레이트(13)로 구성되어 있다.
상기 매니폴드본체(12)는, 축선방향으로 길고 가느다란 블록형상의 부재로서, 직사각형이고 평탄한 윗면을 가지고, 이 윗면이, 상기 서브플레이트(13)를 설치하기 위한 설치면(20)으로 되어있다. 이 매니폴드본체(12)의 내부에는, 탑재되는 각 전자밸브(11)에 압축공기 등의 압력유체를 집중적으로 공급하기 위한 공통의 공급용 유로유체(14)와, 각 전자밸브(11)로부터 배출되는 압력유체를 집중적으로 배출하기 위한 공통의 배출용 유체유로(15)가, 축선방향으로 관통하여 형성되고, 이 매니폴드본체(12)의 축선방향의 한끝면 또는 양끝면에는, 도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 이들 유체유로(14, 15)로 각각 통하는 공급포트(P) 및 배출포트(R)가 형성되어 있다. 또한, 상기 매니폴드본체(12)의 측면에는, 각 서브플레이트(13)와 대응하는 위치에, 각 전자밸브(11)로부터 출력되는 출력유체를 개별적으로 꺼내기 위한 출력포트(A)가 각각 형성되고, 이들 각 출력포트(A)로부터 출력용 유체유로(16)가, 매니폴드본체(12)의 폭방향으로 향하여 수평으로 연장되어 있다.
또한, 상기 매니폴드본체(12)의 내부에는, 상기 각 유체유로(14, 15, 16)로부터 상기 설치면(20)으로 향하여 수직으로 똑바로 연장되는 복수의 분기구멍(14a, 15a, 16a)이 형성되고, 이들 분기구멍(14a, 15a, 16a)은, 상기 설치면(20)에 있어서의 각 서브플레이트(13)의 설치영역에 각각 개구하여 있다.
한편, 상기 서브플레이트(13)는, 균일한 두께를 갖는 직사각형이고 평탄한 플레이트로서, 상기 설치면(20)의 폭과 실질적으로 동일한 길이를 가지며, 이 설치면(20)상에, 상호간에 약간의 간극을 유지한 상태로 나란히 하여 설치되고, 납땜에 의해 매니폴드본체(12)에 일체로 설치되어 있다. 각 서브플레이트(13)는, 그 윗면을 전자밸브(11)용의 탑재면(17)으로 하는 것으로, 이 탑재면(17)에는,전자밸브(11)의 저면에 형성된 복수의 포트(21, 22, 23)(도 5 참조)와 대응하는 복수의 중계구멍(24, 25, 26)이 각각 개구하고, 도 5에 나타내는 바와 같이 이 탑재면(17)상에 전자밸브(11)를 탑재했을 때, 이들 중계구멍(24, 25, 26)과 전자밸브(11)의 각 포트(21, 22, 23)가 서로 연통하도록 되어 있다. 도면 중 도면부호 27은, 탑재된 전자밸브(11)를 고정하기 위한 나사구멍이다.
상기 서브플레이트(13)에 형성된 복수의 중계구멍(24, 25, 26)은, 상기 매니폴드본체(12)의 설치면(20)에 개구하는 복수의 분기구멍(14a, 15a, 16a)과, 전자밸브(11)의 복수의 포트(21, 22, 23)를, 서로 연통시키기 위한 것이지만, 이들 중계구멍(24, 25, 26)과 분기구멍(14a, 15a, 16a)은, 대응하는 것끼리가 동축위치에 형성되어 있는 것으로는 제한하지 않고, 일부 또는 전부가 서로 가로방향의 다른 위치를 차지하도록 형성되어 있다. 즉, 도면에 나타낸 예에서는, 배출용 유체유로(15)로 통하는 배출용 분기구멍(15a)과 이것에 대응하는 배출용 중계구멍(25)이 동축위치에 형성되이 있지만, 공급용 유체유로(14)로 통하는 공급용 분기구멍(14a)과 이것에 대응하는 공급용 중계구멍(24), 및 출력용 유체유로(16)로 통하는 출력용 분기구멍(16a)과 이들에 대응하는 출력용 중계구멍(26)은, 서로 다른 위치에 형성되고, 위치가 다른 이들 중계구멍(24, 26)과 분기구멍(14a, 16a)이, 상기 서브플레이트(13)의 아래면에 이들 중계구멍과 분기구멍에 걸치도록 형성된 오목부(29)를 통하여 서로 연통되어 있다.
위치가 다른 중계구멍과 분기구멍을 이와 같은 오목부(29)로 연통시킴으로써, 접속해야 할 유체유로(14, 15, 16)와 탑재면(17)상의 중계구멍(24, 25, 26)이서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있더라도, 그들을 매니폴드본체(12)에 수직으로 뚫은 상기 분기구멍(14a, 15a, 16a)에 의해 확실히 접속할 수 있고, 종래품과 같이 경사진 분기구멍을 형성할 필요가 없다.
상기 매니폴드본체(12)와 각 서브플레이트(13)는, 알루미늄이나 알루미늄합금과 같은 금속소재에 의해 형성되어 있고, 서로의 접합면(12a, 13a)을 서로 납땜함으로써 일체로 접합되어 있다. 그들 납땜은, 예컨대 마찰납땜법이나, 초음파납땜법 등에 의해 행할 수 있다.
전자의 마찰납땜법에서는, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)를 토치(torch)를 사용하여 200∼250℃정도의 온도로 예비가열하고, 접합면의 산화피막을 와이어브러시 등으로 기계적으로 제거하면서, 이 접합면을 용융한 땜납으로 젖게 함으로써 예비땜납을 실시한다. 그리고 그후, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)의 접합면끼리를 접합하여 땜납의 용융온도까지 재가열하는 동시에, 양접합면을 비벼서 맞추어 일체화하고, 냉각한다.
또한, 후자의 초음파납땜법에서는, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)를 200∼250℃정도의 온도로 예비가열하고, 그들 접합면을 땜납조에 침지하여 초음파를 수초간 조사함으로써, 이들 접합면의 산화피막을 제거하여 예비땜납을 실시한다. 그리고 그후, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)를 땜납조로부터 끌어올려서 나머지의 땜납을 제거하고, 그들 땜납면끼리를 접합하여 땜납의 용융온도까지 재가열하는 동시에, 양접합면을 비벼서 맞추어 일체화한 후, 냉각한다.
이와 같은 방법에 의해 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)는, 서로 접합면(12a, 13a)을 전면적으로 납땜함으로써 일체화되어 있다. 여기서, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 땜납접합시의 위치어긋남을 방지하기 위해, 서로 결합하여 합쳐지는 돌기(32)와 함몰부(33)로 이루어지는 위치결정수단을 설치하는 것이 바람직하다. 이들 돌기(32)와 함몰부(33)는, 도면에 나타낸 예에서는 서브플레이트(13)측에 돌기(32)가 형성되고, 매니폴드본체(12)측에 함몰부(32)가 형성되어 있지만, 그 역이더라도 좋다. 또한, 상기 돌기(32)는, 상기 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)를 납땜하는데 당하여, 그들 접합면(12a, 13a)을 연삭할 필요가 발생했을 경우 등에, 연삭의 방해로 되지 않도록 떼낼 수 있도록 되어 있는 것이 바람직하다. 그런데 이와 같은 돌기(32)로서는, 예컨대, 탄성금속판을 원통형상으로 둥글게 하여 형성한 스프링핀과 같은, 탄성변형에 의해 용이하게 붙였다 떼었다할 수 있는 것이 바람직하게 사용된다.
도 5에는, 상기 매니폴드(10A)의 각 탑재면(17)에 전자밸브(11)를 탑재한 상태가 나타나 있다. 이 전자밸브(11)는, 공급포트(21)와 배출포트(23) 및 출력포트(24)를 구비한 3포트식의 전자밸브이고, 따라서, 상기 매니폴드(10A)의 각 탑재면(17)도, 공급용 중계구멍(24)과 배출용 중계구멍(25) 및 출력용 중계구멍(26)을 구비한 3포트식의 탑재면으로 되어있다. 이 전자밸브(11)는, 각 탑재면(17)에 형성된 나사구멍(27)에 볼트로 나사고정되어 있다.
상기 전자밸브(11)는, 연통구멍(37)으로 서로 연통하는 제1 및 제2의 2개의 밸브실(36a, 36b)을 가지고 있고, 제1밸브실(36a)과 공급포트(21)의 사이에 공급밸브실(38)이 형성되고, 상기 제2밸브실(36b)은 출력포트(23)에 연통하고, 또한 이 제2밸브실(36b)과 배출포트(23)의 사이에 배출밸브실(39)이 형성되어 있다. 또한, 상기 제1밸브실(36a)내에는, 가동철심(40)으로 구동되어 상기 공급밸브실(38)을 개폐하는 제1밸브체(41)가 설치되고, 또한, 상기 제2밸브실(36b)내에는, 상기 제1밸브체(41)와 연동하여 배출밸브실(39)을 개폐하는 제2밸브체(42)가 설치되어 있다. 상기 가동철심(40)은, 여자(勵磁)코일(43)과 고정철심(44)을 구비한 전기조작부(45)에 의해 구동된다.
상기 여자코일(43)이 비통전시에, 상기 가동철심(40)은, 도 5의 하반부에 나타내는 바와 같이, 복귀나사(46)의 탄발력에 의해 고정철심(44)으로부터 이반한 위치에 있기 때문에, 제1밸브체(41)는 공급밸브실(38)을 폐쇄하고, 제2밸브체(42)는 배출밸브실(39)을 개방하고 있다. 따라서, 공급포트(21)는 폐쇄되고, 출력포트(24)와 배출포트(23)가 연통하고 있다.
상기 상태에서 여자코일(43)에 통전하면, 상기 가동철심(40)이, 도 5의 상반부에 나타내는 바와 같이 고정철심(44)에 흡착되기 때문에, 제1밸브체(41)가 공급밸브실(38)을 개방하고, 제2밸브체(42)는 배출밸브실(39)을 폐쇄한다. 따라서 공급포트(21)가, 제1밸브실(36a)로부터 연통구멍(37) 및 제2밸브실(36b)을 통하여 출력포트(23)에 연통하고, 매니폴드(10A)의 출력포트(A)로부터 출력유체가 나온다.
도면에 나타낸 실시예에서는, 매니폴드(10A)가 3포트식 전자밸브(11)를 탑재하기 위해 이것에 대응하는 구성을 구비하고 있지만, 본 발명의 매니폴드는 이와 같은 구성의 것에 한정되지 않는다. 예컨대 4포트식이나 5포트식의 전자밸브를 탑재하기 위한 매니폴드이어도 좋다. 5포트식 전자밸브를 탑재하는 매니폴드의 경우에는, 매니폴드본체에, 1개의 공급용 유체유로와, 2개의 배출용 유체유로와, 2개의 출력용 유체유로와, 이들 각 유로에 연통하는 5개의 분기구멍이 형성되고, 또한, 각 서브플레이트 윗면의 전자밸브 탑재면에는, 상기 각 분기구멍에 연통하는 5개의 중계구멍이 형성되는 것으로 된다.
또한, 상기 서브플레이트(13)이 개개의 전자밸브(11)마다 분할되어 있지만, 복수의 전자밸브를 탑재할 수 있는 크기로 형성할 수 있다.
또한, 도면에 나타낸 살시형태의 매니폴드(10A)는, 그 위에 복수의 전자밸브를 탑재하도록 구성되어 있지만, 1개의 전바밸브만을 탑재할 수 있도록 구성할 수 있다. 이 경우, 매니폴드끼리를 연결하지 않고, 각각을 단독으로 사용한다는 점에서, 도 6에 나타내는 충적(stacking)식의 분할형 매니폴드와는 상위하다.
도 6에는, 매니폴드의 제2실시형태로서, 개개의 전자밸브마다 분할된 분할형의 매니폴드(10B)가 나타나 있다. 이 매니폴드(10B)는, 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)가, 1개의 전자밸브(11)만을 탑재할 수 있는 크기로 형성되어 있고, 상기 제1실시형태의 단체형 매니폴드(10A)와는 다르고, 복수개를 연결함으로써 집합상태로 사용되는 것이다. 그리고, 이와 같이 복수의 매니폴드(10B)를 연결하는 경우, 그 연결체의 양단에는, 매니폴드(10B)의 각 유체유로(14, 15)로 통하는 복수의 포트(P, R)를 구비한 포트 블록(48)이 설치된다.
상기 제2실시형태의 매니폴드(10B)의 상기 이외의 구성이나 그 바람직한 변형예 등에 대해서는, 상기 제1실시형태의 매니폴드(10A)와 실질적으로 동일하기 때문에, 주요한 동일구성부분에 제1실시형태와 동일한 부호를 부여하여 그 설명은 생략한다.
또한, 상기 각 실시형태에 있어서는, 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)가 납땜으로 일체화되어 있지만, 이들 매니폴드본체(12)와 서브플레이트(13)는, 그들 사이에 개스킷(gasket)을 개재시킨 상태로 나사고정 등에 의해 고정할 수 있다.
이상에 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 매니폴드내부의 유체유로와 전자밸브 탑재면상의 중계구멍이 서로 가로방향으로 어긋난 위치관계에 있더라도, 그들을 탑재면으로부터 수직으로 똑바로 뚫은 분기구멍에 의해 확실히 연통시킬 수 있다.

Claims (5)

  1. 복수의 유체유로를 내부에 구비한 1개의 매니폴드본체와, 이 매니폴드본체상에 설치되어 전자밸브용 탑재면을 형성하는 1개 이상의 서브플레이트에 의해 구성되고,
    상기 매니폴드본체는, 상기 서브플레이트를 설치하기 위한 설치면과, 이 설치면으로부터 수직으로 똑바로 연장되어 상기 각 유체유로로 통하는 복수의 분기구멍을 가지고, 또한 상기 서브플레이트는, 상기 각 분기구멍을 전자밸브의 각 포트에 연통시키기 위한 복수의 중계구멍을 가지고 있고, 이들 중계구멍의 적어도 일부가 대응하는 분기구멍과는 다른 위치에 형성되는 동시에, 위치가 다른 이들 중계구멍과 분기구멍이, 상기 서브플레이트의 아래면에 이들 중계구멍과 분기구멍에 걸치도록 형성된 오목부를 통하여 서로 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 전자밸브용 매니폴드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 매니폴드본체 및 서브플레이트는 각각 금속소재로 형성되어 있고, 서로의 접합면을 납땜함으로써 일체로 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 전자밸브용 매니폴드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 매니폴드본체와 서브플레이트는, 땜납접합시의 위치어긋남을 방지하기 위해, 서로 결합하여 합쳐지는 돌기와 함몰부로 이루어지는 위치결정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전자밸브용 매니폴드.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 매니폴드본체는 복수의 전자밸브를 탑재할 수 있도록 형성되는 동시에, 상기 서브플레이트는 개개의 전자밸브마다 분할되어 있는 것을 특징으로 하는 전자밸브용 매니폴드.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 매니폴드본체 및 서브플레이트는 각각, 개개의 전자밸브마다 분할되어 있고, 복수개를 연결하여 사용할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자밸브용 매니폴드.
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