KR20020051857A - 냉각판 및 그 제조 방법과, 스퍼터링 타겟 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
연결 방법 | 시험 횟수(값) | 결함 분율(%) |
마찰 교반 용접 | 126 | 0 |
전자 비임 용접 | 60 | 5 |
중첩폭 W (mm)) | 오프셋 x (mm) | W+ x(mm) | 핀(r)의 최대 반경 (mm) | 결합 상태 |
2.5 | 0 | 2.5 | 4.0 | 붕괴 |
2.5 | 1 | 3.5 | 4.0 | 붕괴 |
2.5 | 1.5 | 4.0 | 4.0 | 양호 |
1 | 0 | 1.0 | 4.0 | 붕괴 |
2 | 0 | 2.0 | 4.0 | 붕괴 |
3 | 0 | 3.0 | 4.0 | 붕괴 |
4 | 0 | 4.0 | 4.0 | 양호 |
Claims (25)
- 본체 내부가 냉각제의 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈은 상기 홈 보다 더 큰 폭을 갖는 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드는 통로 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 복수개의 독립된 냉각제 통로가 되는 밀폐된 통로의 홈들을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈들은 덮개들로 덮혀져 있으며, 상기 덮개들은 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드는 통로 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈들은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드의 적어도 한 단부는 결합되지 않고 상기 본체 내에 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈들은 상기 홈 보다 더 큰 폭을 갖는 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접 및 용융 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드의 통로 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈 내에 하나 이상의 핀이 제공되며, 상기 홈은 상기 홈 보다 더 큰 폭을 갖는 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드의 통로 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 통로는 상기 본체 내에 밀폐된 통로인 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 통로를 형성하는 부분 내에 공기 배출구가 제공되는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 덮개는 견부와 핀을 구비한 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 결합의 용접 비드의 단부의 적어도 한 단부는 결합되지 않는 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 1미터 폭에 대해 두 개 이상의 U형 홈들을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈들은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 통로는 상기 본체 내에 밀폐된 통로인 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 기다란 판으로 형성된 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 길이 방향의 M형 홈을 포함하는 냉각판에 있어서,상기 홈은 덮개로 덮혀져 있으며, 상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며, 상기 통로는 상기 본체 내에 밀폐된 통로인 것을 특징으로 하는 냉각판.
- 스퍼터링 타겟으로서,스퍼터링용 타겟 재료는 청구범위 제1항에 따른 냉각판 상에 결합되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟.
- 냉각제 통로가 되는 제1 홈, 및 제1 홈보다 더 큰 폭을 갖는 제2 홈을 가지며, 본체 내부에 상기 제1 홈상에 덮개를 수용하고 제1 홈 보다 더 큰 폭을 가지며, 제2 홈 상에 덮개를 위치시키고, 상기 본체에 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체는 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 함께 결합되며, 상기 결합에 의해 형성된 용접 비드가 통로 외부에 위치되도록 결합이 수행되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하며 상기 홈에 덮개가 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체가 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 함께 결합되며, 상기 홈은 상기 회전 공구가 좌측으로 회전될 때 결합 이송 방향으로 좌측으로 홈이 제조되며, 상기 홈은 상기 회전 공구가 우측으로 회전될 때 결합 이송 방향으로 우측으로 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈 내에 덮개가 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체는 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 회전 공구의 중심은 상기 홈의 모서리로부터 상기 핀의 반경만큼 떨어진 위치에 설정되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈 내에 덮개가 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체는 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 회전 공구가 회전하는 결합 방향은 상기 회전 공구에 의한 결합 방향이 곡선을 통과할 때 상기 회전 공구의 회전 방향에 반대하는 방향인 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈 내에 덮개가 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체는 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 결합의 접혀짐을 형성하는 결합은 두 개의 직선에 의해 결합이 행해지는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈 내에 덮개가 결합되는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 본체 및 상기 덮개의 결합은 다른 단면보다 더 두꺼운 돌출부를 구비하며, 상기 돌출부의 결합은 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입 및 이동으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈을 덮개가 덮는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며,상기 덮개 및 상기 본체가 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 통로를 형성하는 부분 내에 공기 배출구가 제공되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 본체 내부가 냉각제 통로가 되는 홈을 구비하고 상기 홈을 덮개가 덮는 냉각판의 제조 방법에 있어서,상기 덮개는 마찰 교반 용접에 의해 상기 본체에 결합되며,상기 덮개 및 상기 본체가 견부 및 핀을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 결합되며, 상기 결합의 적어도 한 단부는 결합되지 않고 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각판의 제조 방법.
- 제12항 내지 제19항중 어느 한 항에 있어서,상기 덮개 및 상기 본체가 견부만을 갖는 회전 공구의 삽입으로 인해 마찰 교반 용접에 의해 부분적 및 일시적으로 결합되며, 마찰 교반 용접에 의해 전체 결합이 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 덮개 및 상기 본체가 용융 용접 또는 마찰 교반 용접에 의해 일시적으로 결합된 이후에, 마찰 교반 용접에 의해 전체 결합이 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 결합은 물, 오일, 및 불활성 가스 중의 어느 하나로 제조된 냉각제 내에서 수행되거나, 결합 및 회전 공구의 내부를 냉각제로 강제 냉각시키는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 핀이 삽입된 상기 덮개와 상기 본체의 결합 삽입 측면 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 결합의 용접 비드의 표면은 상기 견부의 압력에 의해 오목한 것을 특징으로 하는 방법.
- 냉각판 상에 스퍼터링용 타겟 재료를 결합하는 스퍼터링 타겟의 제조 방법에 있어서,상기 냉각판은 제12항에 따른 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟의 제조 방법.
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