JP2000073164A - スパッタリング用バッキングプレート - Google Patents
スパッタリング用バッキングプレートInfo
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- B23K2101/04—Tubular or hollow articles
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/08—Non-ferrous metals or alloys
- B23K2103/10—Aluminium or alloys thereof
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単に製作することができ、かつ高い冷却効
率を有するスパッタリング用バッキングプレートを提供
すること。 【解決手段】 このバッキングプレート１は、ターゲッ
トＴが表面に取り付けられるアルミニウム板からなるベ
ース部２と、内部に冷却媒体流通路６を有する平板状の
冷却部３とからなる。そして、ベース２の裏面に冷却部
３が溶接により一体に張り合わされている。冷却部３
は、アルミニウム製のロールボンドパネル４からなるも
ので、膨出管部５の内部中空部を冷却媒体流通路６とす
るものである。
率を有するスパッタリング用バッキングプレートを提供
すること。 【解決手段】 このバッキングプレート１は、ターゲッ
トＴが表面に取り付けられるアルミニウム板からなるベ
ース部２と、内部に冷却媒体流通路６を有する平板状の
冷却部３とからなる。そして、ベース２の裏面に冷却部
３が溶接により一体に張り合わされている。冷却部３
は、アルミニウム製のロールボンドパネル４からなるも
ので、膨出管部５の内部中空部を冷却媒体流通路６とす
るものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶パネ
ルの製造の際に用いられるマグネトロンスパッタリング
装置等のパッタリング装置に好適に使用されるスパッタ
リング用バッキングプレートに関する。
ルの製造の際に用いられるマグネトロンスパッタリング
装置等のパッタリング装置に好適に使用されるスパッタ
リング用バッキングプレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばマグネトロンスパッタリング装置
には、図５に示すように、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉ
ｎ Ｏｘｉｄｅ）焼結体等のターゲット（Ｔ’）を表面
に取り付けるバッキングプレート（５１）が用いられて
いる。このバッキングプレート（５１）は、図６に示す
ように、表面に取り付けられたターゲット（Ｔ’）を冷
却するために、その内部に冷却媒体流通路（５４）を有
している。また、バッキングプレート（５１）の裏面側
には、スパッタ粒子に磁界を印加する図示しない磁石が
配置される。
には、図５に示すように、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉ
ｎ Ｏｘｉｄｅ）焼結体等のターゲット（Ｔ’）を表面
に取り付けるバッキングプレート（５１）が用いられて
いる。このバッキングプレート（５１）は、図６に示す
ように、表面に取り付けられたターゲット（Ｔ’）を冷
却するために、その内部に冷却媒体流通路（５４）を有
している。また、バッキングプレート（５１）の裏面側
には、スパッタ粒子に磁界を印加する図示しない磁石が
配置される。
【０００３】従来のバッキングプレート（５１）は、２
枚の金属板（５２）（５３）が一体に張り合わされた合
わせ板からなるものであって、図６に示すように、両金
属板（５２）（５３）の合わせ面（５５）にそれぞれ冷
却媒体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）が形成さ
れるとともに、両金属板（５２）（５３）が合わされて
溶接（溶接部Ｗ1′、Ｗ2′）により接合一体化されるこ
とにより、内部に回路状の冷却媒体流通路（５４）が形
成されているものである。そして、このバッキングプレ
ート（５１）の冷却媒体流通路（５４）内には、両金属
板（５２）（５３）が溶接される前に注入された冷却媒
体（図示せず）が封入されている。
枚の金属板（５２）（５３）が一体に張り合わされた合
わせ板からなるものであって、図６に示すように、両金
属板（５２）（５３）の合わせ面（５５）にそれぞれ冷
却媒体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）が形成さ
れるとともに、両金属板（５２）（５３）が合わされて
溶接（溶接部Ｗ1′、Ｗ2′）により接合一体化されるこ
とにより、内部に回路状の冷却媒体流通路（５４）が形
成されているものである。そして、このバッキングプレ
ート（５１）の冷却媒体流通路（５４）内には、両金属
板（５２）（５３）が溶接される前に注入された冷却媒
体（図示せず）が封入されている。
【０００４】ところで、従来のバッキングプレート（５
１）の冷却媒体流通路（５４）は、上述したように、冷
却媒体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）から構成
されたものであるが、これら溝（５４ａ）（５４ｂ）
は、従来、各金属板（５２）（５３）の合わせ面（５
５）を、該溝に対応する成形凸部を有する成形金型でプ
レスすることにより、形成されていた。
１）の冷却媒体流通路（５４）は、上述したように、冷
却媒体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）から構成
されたものであるが、これら溝（５４ａ）（５４ｂ）
は、従来、各金属板（５２）（５３）の合わせ面（５
５）を、該溝に対応する成形凸部を有する成形金型でプ
レスすることにより、形成されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のバッキングプレート（５１）は、冷却媒体流通路形
成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）を形成するために高価な
成形金型を用いなければならないことから、その製作費
が高く付いてしまうという欠点があった。殊に、冷却媒
体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）は、冷却効率
を向上させるために複雑な回路状に形成することが好ま
しいが、この場合には、その溝（５４ａ）（５４ｂ）の
回路形状に対応した複雑な成形凸部を有する成形金型を
用いることとなるため、ますます製作費が高く付いてし
まう。
来のバッキングプレート（５１）は、冷却媒体流通路形
成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）を形成するために高価な
成形金型を用いなければならないことから、その製作費
が高く付いてしまうという欠点があった。殊に、冷却媒
体流通路形成用の溝（５４ａ）（５４ｂ）は、冷却効率
を向上させるために複雑な回路状に形成することが好ま
しいが、この場合には、その溝（５４ａ）（５４ｂ）の
回路形状に対応した複雑な成形凸部を有する成形金型を
用いることとなるため、ますます製作費が高く付いてし
まう。
【０００６】また、上記従来のバッキングプレート（５
１）は、冷却媒体流通路（５４）内に封入された冷却媒
体が合わせ面（５５）に滲み込んで外部に漏出してしま
うことを防止するために、必ず両金属板（５２）（５
３）の周縁の略全周を溶接（溶接部Ｗ1′）しなければ
ならず、このため溶接作業が面倒であるし、冷却媒体が
液体からなる場合には溶接部（Ｗ1′）が液密になるよ
うに、また冷却媒体が気体からなる場合には溶接部（Ｗ
1′）が気密になるようにしっかりと溶接しなければな
らないから、溶接作業がますます面倒になる。万一、溶
接部（Ｗ1′）に未溶接部等の溶接欠陥が存在すると、
この溶接欠陥部から冷却媒体が漏出してしまい、このた
め装置内の雰囲気が汚染されて良好な成膜条件を得るこ
とができなくなるという問題が生じる。
１）は、冷却媒体流通路（５４）内に封入された冷却媒
体が合わせ面（５５）に滲み込んで外部に漏出してしま
うことを防止するために、必ず両金属板（５２）（５
３）の周縁の略全周を溶接（溶接部Ｗ1′）しなければ
ならず、このため溶接作業が面倒であるし、冷却媒体が
液体からなる場合には溶接部（Ｗ1′）が液密になるよ
うに、また冷却媒体が気体からなる場合には溶接部（Ｗ
1′）が気密になるようにしっかりと溶接しなければな
らないから、溶接作業がますます面倒になる。万一、溶
接部（Ｗ1′）に未溶接部等の溶接欠陥が存在すると、
この溶接欠陥部から冷却媒体が漏出してしまい、このた
め装置内の雰囲気が汚染されて良好な成膜条件を得るこ
とができなくなるという問題が生じる。
【０００７】さらに、対応する溝（５４ａ）（５４ｂ）
同士が一致するように２枚の金属板（５２）（５３）を
厳密に位置合わせする必要があるから、溶接する際に
は、両金属板（５２）（５３）の位置ずれを防止する固
定装置が別途、必要となるため、この点においても製作
費が高く付いてしまうし、溶接作業が面倒となる。
同士が一致するように２枚の金属板（５２）（５３）を
厳密に位置合わせする必要があるから、溶接する際に
は、両金属板（５２）（５３）の位置ずれを防止する固
定装置が別途、必要となるため、この点においても製作
費が高く付いてしまうし、溶接作業が面倒となる。
【０００８】この発明は、このような難点を解決するた
めになされたもので、簡単に製作することができるスパ
ッタリング用バッキングプレートを提供することを目的
とする。
めになされたもので、簡単に製作することができるスパ
ッタリング用バッキングプレートを提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係るスパッタリング用バッキングプレー
トは、板状のベース部に、内部に冷却媒体流通路を有す
る板状の冷却部が溶接により張り合わされていることを
特徴とする。
め、この発明に係るスパッタリング用バッキングプレー
トは、板状のベース部に、内部に冷却媒体流通路を有す
る板状の冷却部が溶接により張り合わされていることを
特徴とする。
【００１０】これによれば、冷却媒体流通路は、冷却部
の内部に形成されているものであることから、ベース部
に冷却部を溶接する場合には、必ずしも冷却部の周縁の
略全周を溶接しなくてもよくなり、そのため溶接作業が
楽になるし、溶接を行う際に、溶接部が液密や気密にな
るように溶接する必要がなくなるから、溶接作業が更に
楽になる。また万一、溶接部に溶接欠陥が存在している
場合であっても、この溶接欠陥部からの冷却媒体の漏出
がないので、装置内の雰囲気が汚染されることもなくな
り、したがって良好な成膜条件を確実に維持することが
できるものとなる。さらに、ベース部に冷却部を溶接す
る際に、両者を厳密に位置合わせしなくてすむから、両
者の位置ずれを防止する固定装置を必ずしも使用する必
要がなくなり、そのため溶接作業がより一層楽になる。
もとより、冷却媒体流通路を形成するために高価な成形
金型を用いる必要がないから、複雑な回路状の冷却媒体
流通路を形成する場合であっても、コストアップを招来
することはない。
の内部に形成されているものであることから、ベース部
に冷却部を溶接する場合には、必ずしも冷却部の周縁の
略全周を溶接しなくてもよくなり、そのため溶接作業が
楽になるし、溶接を行う際に、溶接部が液密や気密にな
るように溶接する必要がなくなるから、溶接作業が更に
楽になる。また万一、溶接部に溶接欠陥が存在している
場合であっても、この溶接欠陥部からの冷却媒体の漏出
がないので、装置内の雰囲気が汚染されることもなくな
り、したがって良好な成膜条件を確実に維持することが
できるものとなる。さらに、ベース部に冷却部を溶接す
る際に、両者を厳密に位置合わせしなくてすむから、両
者の位置ずれを防止する固定装置を必ずしも使用する必
要がなくなり、そのため溶接作業がより一層楽になる。
もとより、冷却媒体流通路を形成するために高価な成形
金型を用いる必要がないから、複雑な回路状の冷却媒体
流通路を形成する場合であっても、コストアップを招来
することはない。
【００１１】
【発明の実施の形態】次にこの発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１２】図１及び図２は、この発明の一つの実施形
態を示すものである。同図において、（１）はこの実施
形態のスパッタリング用バッキングプレートである。
態を示すものである。同図において、（１）はこの実施
形態のスパッタリング用バッキングプレートである。
【００１３】このバッキングプレート（１）は、方形平
板状のベース部（２）と、該ベース部（２）と同じ大き
さの方形平板状の冷却部（３）とからなる。そして、前
記ベース部（２）の表面に、ターゲット（Ｔ）が取り付
けられる一方、裏面に前記冷却部（３）が溶接（溶接部
Ｗ1 、Ｗ2 ）により一体に張り合わされている。
板状のベース部（２）と、該ベース部（２）と同じ大き
さの方形平板状の冷却部（３）とからなる。そして、前
記ベース部（２）の表面に、ターゲット（Ｔ）が取り付
けられる一方、裏面に前記冷却部（３）が溶接（溶接部
Ｗ1 、Ｗ2 ）により一体に張り合わされている。
【００１４】前記ベース部（２）は、表裏両面が平坦な
金属板からなり、その金属板としてこの実施形態ではア
ルミニウム（その合金を含む、以下同じ）板が用いられ
ている。このベース部（２）は、前記冷却部（３）を溶
接により張り合わせたときに屈曲しないように、所定の
厚みを有している。
金属板からなり、その金属板としてこの実施形態ではア
ルミニウム（その合金を含む、以下同じ）板が用いられ
ている。このベース部（２）は、前記冷却部（３）を溶
接により張り合わせたときに屈曲しないように、所定の
厚みを有している。
【００１５】前記冷却部（３）は、略全面に回路状の膨
出管部（５）が形成されているアルミニウム製ロールボ
ンドパネル（４）からなる。
出管部（５）が形成されているアルミニウム製ロールボ
ンドパネル（４）からなる。
【００１６】この冷却部（３）を構成するロールボンド
パネル（４）は、常法に従って製造されたもので、その
製造方法を簡単に説明すると、２枚のアルミニウム板の
うちのいずれか一方のアルミニウム板に、圧着防止剤を
所定パターンに印刷し、この面に他方のアルミニウム板
を張り合わせて圧着して両板を一体化することにより、
合わせ板とし、次いで、非圧着部に流体圧を導入して非
圧着部を膨出させることにより、合わせ面に印刷パター
ンに応じた膨出管部（５）が形成されたものである。
パネル（４）は、常法に従って製造されたもので、その
製造方法を簡単に説明すると、２枚のアルミニウム板の
うちのいずれか一方のアルミニウム板に、圧着防止剤を
所定パターンに印刷し、この面に他方のアルミニウム板
を張り合わせて圧着して両板を一体化することにより、
合わせ板とし、次いで、非圧着部に流体圧を導入して非
圧着部を膨出させることにより、合わせ面に印刷パター
ンに応じた膨出管部（５）が形成されたものである。
【００１７】このロールボンドパネル（４）の膨出管部
（５）は、片面側にのみ膨出しているもので、その内部
中空部を冷却媒体流通路（６）とするものである。そし
て、このパネル（４）の長さ方向の一端面には、膨出管
部（５）の一端開口部からなる冷却媒体流入口（６ａ）
が形成される一方、反対側の端面には、同じく膨出管部
（５）の他端開口部からなる冷却媒体流出口（６ｂ）が
形成されており、冷却媒体は、流入口（６ａ）から冷却
媒体流通路（６）に流入して流出口（６ｂ）へと流出さ
れるようになっている。そして、このロールボンドパネ
ル（４）の他方側の平坦な片面が、前記ベース部（２）
の裏面に面接触状態に接触し、かつこの状態で、パネル
（４）の幅方向の両縁部と、パネル（４）の中央部にお
ける膨出管部（５）が形成されていない部分とが、ベー
ス部（２）に溶接固着されている。
（５）は、片面側にのみ膨出しているもので、その内部
中空部を冷却媒体流通路（６）とするものである。そし
て、このパネル（４）の長さ方向の一端面には、膨出管
部（５）の一端開口部からなる冷却媒体流入口（６ａ）
が形成される一方、反対側の端面には、同じく膨出管部
（５）の他端開口部からなる冷却媒体流出口（６ｂ）が
形成されており、冷却媒体は、流入口（６ａ）から冷却
媒体流通路（６）に流入して流出口（６ｂ）へと流出さ
れるようになっている。そして、このロールボンドパネ
ル（４）の他方側の平坦な片面が、前記ベース部（２）
の裏面に面接触状態に接触し、かつこの状態で、パネル
（４）の幅方向の両縁部と、パネル（４）の中央部にお
ける膨出管部（５）が形成されていない部分とが、ベー
ス部（２）に溶接固着されている。
【００１８】この溶接は、ロールボンドパネル（４）の
裏面側から行われており、その溶接手段としては、例え
ば、レーザ溶接、電子ビーム溶接等の高エネルギー密度
熱源を利用した溶接法を採用することができ、また回転
するピン状プローブを溶接部に挿入し、プローブとの接
触部を摩擦熱にて軟化させ撹拌しながら、プローブを挿
入状態で溶接部に沿って移動させることにより溶接する
摩擦撹拌接合法を採用することができる。高エネルギー
密度熱源を利用した溶接法によれば、高速で溶接するこ
とができるという利点があり、また摩擦撹拌接合法によ
れば、固相接合法の一種であるから、異種金属同士を接
合することができる、溶接時の熱歪みや反りの発生を抑
制することができる等といった利点がある。
裏面側から行われており、その溶接手段としては、例え
ば、レーザ溶接、電子ビーム溶接等の高エネルギー密度
熱源を利用した溶接法を採用することができ、また回転
するピン状プローブを溶接部に挿入し、プローブとの接
触部を摩擦熱にて軟化させ撹拌しながら、プローブを挿
入状態で溶接部に沿って移動させることにより溶接する
摩擦撹拌接合法を採用することができる。高エネルギー
密度熱源を利用した溶接法によれば、高速で溶接するこ
とができるという利点があり、また摩擦撹拌接合法によ
れば、固相接合法の一種であるから、異種金属同士を接
合することができる、溶接時の熱歪みや反りの発生を抑
制することができる等といった利点がある。
【００１９】このようにロールボンドパネル（４）から
なる冷却部（３）と、ベース部（２）とを面接触状態で
接合一体化することにより、両者間に形成される隙間に
より生じる熱伝導率の低下を防止でき、したがって得ら
れたバッキングプレート（１）は、高い冷却能力を有す
るものとなっている。
なる冷却部（３）と、ベース部（２）とを面接触状態で
接合一体化することにより、両者間に形成される隙間に
より生じる熱伝導率の低下を防止でき、したがって得ら
れたバッキングプレート（１）は、高い冷却能力を有す
るものとなっている。
【００２０】また、冷却部（３）とベース部（２）を溶
接する際には、両者を正確に位置合わせする必要がない
から、位置ずれ防止手段として固定装置を使用しなくて
もすみ、そのため簡単に溶接作業を行うことができる。
さらに、冷却部（３）とベース部（２）との面接触状態
を保持できる程度に溶接すれば良いから、数カ所の溶接
ですみ、そのため溶接に要する時間が短くなって、溶接
作業能率が格段に向上する。
接する際には、両者を正確に位置合わせする必要がない
から、位置ずれ防止手段として固定装置を使用しなくて
もすみ、そのため簡単に溶接作業を行うことができる。
さらに、冷却部（３）とベース部（２）との面接触状態
を保持できる程度に溶接すれば良いから、数カ所の溶接
ですみ、そのため溶接に要する時間が短くなって、溶接
作業能率が格段に向上する。
【００２１】このバッキングプレート（１）は、従来の
ものと同じように使用することができる。すなわち、こ
れを簡単に説明すれば、スパッタリング装置の所定位置
にバッキングプレート（１）を配置し、ベース部（２）
の表面にターゲット（Ｔ）を取り付ける。そして、冷却
部（３）の膨出管部（５）の中空部からなる冷却媒体流
通路（６）に冷却媒体を流しながら成膜を行う。ここ
で、仮に溶接部（Ｗ1 、Ｗ2 ）に未溶接部等の溶接欠陥
が存在していても、冷却媒体が外部に漏出する虞がない
から、成膜時の雰囲気を汚染することがなく、したがっ
て膜質の良好なスパッタ膜を確実に形成することができ
る。
ものと同じように使用することができる。すなわち、こ
れを簡単に説明すれば、スパッタリング装置の所定位置
にバッキングプレート（１）を配置し、ベース部（２）
の表面にターゲット（Ｔ）を取り付ける。そして、冷却
部（３）の膨出管部（５）の中空部からなる冷却媒体流
通路（６）に冷却媒体を流しながら成膜を行う。ここ
で、仮に溶接部（Ｗ1 、Ｗ2 ）に未溶接部等の溶接欠陥
が存在していても、冷却媒体が外部に漏出する虞がない
から、成膜時の雰囲気を汚染することがなく、したがっ
て膜質の良好なスパッタ膜を確実に形成することができ
る。
【００２２】また、このバッキングプレート（１）を構
成するベース部（２）と冷却部（３）は、ともにアルミ
ニウムからなるものであるから、かなり軽量なものとな
っている。殊に近年、バッキングプレート（１）の大型
化に伴い、その軽量化が必要となってきているが、この
実施形態のようにベース部（２）と冷却部（３）をとも
にアルミニウムから製作することによって、必要とされ
るバッキングプレート（１）の軽量化を達成することが
できる。
成するベース部（２）と冷却部（３）は、ともにアルミ
ニウムからなるものであるから、かなり軽量なものとな
っている。殊に近年、バッキングプレート（１）の大型
化に伴い、その軽量化が必要となってきているが、この
実施形態のようにベース部（２）と冷却部（３）をとも
にアルミニウムから製作することによって、必要とされ
るバッキングプレート（１）の軽量化を達成することが
できる。
【００２３】また、冷却部（３）はロールボンドパネル
（４）からなるものであることから、その内部に形成さ
れる冷却媒体流通路（６）の回路形態は、この実施形態
に示されたもの以外に、より複雑なものにすることがで
きるし、このような複雑な回路を簡単に形成することが
できる。なぜならば、膨出管部（５）が複雑な回路にな
るように圧着防止剤を印刷するだけで良いからである。
したがって、この実施形態のように、冷却部（３）とし
てロールボンドパネル（４）を用いることにより、複雑
な回路となっている冷却媒体流通路（６）を内部に有す
る冷却部（３）を、簡単に製作することができ、つまり
優れた冷却能力を有するバッキングプレート（１）を簡
単に製作することができる。その結果、バッキングプレ
ート（１）の製作コストを大幅にダウンすることができ
る。
（４）からなるものであることから、その内部に形成さ
れる冷却媒体流通路（６）の回路形態は、この実施形態
に示されたもの以外に、より複雑なものにすることがで
きるし、このような複雑な回路を簡単に形成することが
できる。なぜならば、膨出管部（５）が複雑な回路にな
るように圧着防止剤を印刷するだけで良いからである。
したがって、この実施形態のように、冷却部（３）とし
てロールボンドパネル（４）を用いることにより、複雑
な回路となっている冷却媒体流通路（６）を内部に有す
る冷却部（３）を、簡単に製作することができ、つまり
優れた冷却能力を有するバッキングプレート（１）を簡
単に製作することができる。その結果、バッキングプレ
ート（１）の製作コストを大幅にダウンすることができ
る。
【００２４】而して、この発明に係るバッキングプレー
トは、上記実施形態のものに限定されず、様々に設定変
更可能である。
トは、上記実施形態のものに限定されず、様々に設定変
更可能である。
【００２５】例えば、この発明に係るバッキングプレー
トは、図３及び図４に示すものであっても良い。なお、
同図には、上記実施形態のバッキングプレートと同一要
素に同一の符号が付されており、同図に示されたバッキ
ングプレート（１）の構成を簡単に説明すると、次の通
りである。
トは、図３及び図４に示すものであっても良い。なお、
同図には、上記実施形態のバッキングプレートと同一要
素に同一の符号が付されており、同図に示されたバッキ
ングプレート（１）の構成を簡単に説明すると、次の通
りである。
【００２６】すなわち、このバッキングプレート（１）
のベース部（２）の裏面には、図４に示すように、冷却
部（３）を構成するロールボンドパネル（４）の膨出管
部（５）に対応した溝（２ａ）が設けられている。そし
て、このベース部（２）の裏面の溝（２ａ）に、ロール
ボンドパネル（４）の膨出管部（５）がぴったりと嵌合
した面接触状態で、ロールボンドパネル（４）がベース
部（２）の裏面に溶接（溶接部Ｗ1 、Ｗ2 ）により一体
に張り合わされている。
のベース部（２）の裏面には、図４に示すように、冷却
部（３）を構成するロールボンドパネル（４）の膨出管
部（５）に対応した溝（２ａ）が設けられている。そし
て、このベース部（２）の裏面の溝（２ａ）に、ロール
ボンドパネル（４）の膨出管部（５）がぴったりと嵌合
した面接触状態で、ロールボンドパネル（４）がベース
部（２）の裏面に溶接（溶接部Ｗ1 、Ｗ2 ）により一体
に張り合わされている。
【００２７】更にこの発明は、これら二つの実施形態の
ものに限定されない。例えば、冷却部（３）を構成する
ロールボンドパネル（４）は、銅製のものであっても良
い。このように銅製ロールボンドパネルを使用すること
により、熱伝導性が良くなり、そのためバッキングプレ
ート（１）の冷却能力が更に向上することとなる。ま
た、このように異種金属同士を溶接する場合には、上記
した摩擦撹拌接合法を採用することが、冷却部（３）と
ベース部（２）とをしっかりと接合一体化することがで
きる点で、望ましい。
ものに限定されない。例えば、冷却部（３）を構成する
ロールボンドパネル（４）は、銅製のものであっても良
い。このように銅製ロールボンドパネルを使用すること
により、熱伝導性が良くなり、そのためバッキングプレ
ート（１）の冷却能力が更に向上することとなる。ま
た、このように異種金属同士を溶接する場合には、上記
した摩擦撹拌接合法を採用することが、冷却部（３）と
ベース部（２）とをしっかりと接合一体化することがで
きる点で、望ましい。
【００２８】さらに、冷却部（３）は、ロールボンドパ
ネルからなるものである必要はなく、平板状の金属板に
冷却媒体流通路用の金属パイプが溶接により取り付けら
れたものであっても良い。この場合には、金属板の裏面
に金属パイプの外径に対応する溝部を設けておき、この
溝部に金属パイプを沿わせて嵌合することにより、金属
板に金属パイプを埋入しておくことが好ましい。また、
前記金属パイプは、均一な冷却を得るために、蛇行状等
に屈曲されていることが好ましい。
ネルからなるものである必要はなく、平板状の金属板に
冷却媒体流通路用の金属パイプが溶接により取り付けら
れたものであっても良い。この場合には、金属板の裏面
に金属パイプの外径に対応する溝部を設けておき、この
溝部に金属パイプを沿わせて嵌合することにより、金属
板に金属パイプを埋入しておくことが好ましい。また、
前記金属パイプは、均一な冷却を得るために、蛇行状等
に屈曲されていることが好ましい。
【００２９】
【発明の効果】上述の次第で、この発明に係るスパッタ
リング用バッキングプレートは、板状のベース部に、内
部に冷却媒体流通路を有する板状の冷却部が溶接により
張り合わされているものであることから、このバッキン
グプレートを製作するに際し、次のような効果をする。
すなわち、ベース部に冷却部を溶接する際に、必ずしも
冷却部の周縁の略全周を溶接しなくてもよくなり、その
ため溶接作業が楽になるし、また溶接部が液密や気密に
なるように溶接する必要もないから、溶接作業が更に楽
になる。また万一、溶接部に溶接欠陥が存在する場合で
あっても、この溶接欠陥部からの冷却媒体の漏出がない
から、装置内の雰囲気が汚染されることもなくなり、し
たがって良好な成膜条件を確実に維持することができ
る。さらに、ベース部と冷却部を厳密に位置合わせしな
くてもよいから、両者の位置ずれを防止する固定装置を
必ずしも使用する必要がなくなり、そのため溶接作業が
より一層楽になる。もとより、冷却媒体流通路を形成す
るために高価な成形金型を用いる必要がないから、複雑
な回路状の冷却媒体流通路を形成する場合であっても、
コストアップを招来することはない。したがって、この
発明によれば、複雑な回路状の冷却媒体流通路を備え
た、つまり高い冷却効率を有するバッキングプレート
を、コストアップを招来することなく簡単に製作するこ
とができるという効果を奏する。
リング用バッキングプレートは、板状のベース部に、内
部に冷却媒体流通路を有する板状の冷却部が溶接により
張り合わされているものであることから、このバッキン
グプレートを製作するに際し、次のような効果をする。
すなわち、ベース部に冷却部を溶接する際に、必ずしも
冷却部の周縁の略全周を溶接しなくてもよくなり、その
ため溶接作業が楽になるし、また溶接部が液密や気密に
なるように溶接する必要もないから、溶接作業が更に楽
になる。また万一、溶接部に溶接欠陥が存在する場合で
あっても、この溶接欠陥部からの冷却媒体の漏出がない
から、装置内の雰囲気が汚染されることもなくなり、し
たがって良好な成膜条件を確実に維持することができ
る。さらに、ベース部と冷却部を厳密に位置合わせしな
くてもよいから、両者の位置ずれを防止する固定装置を
必ずしも使用する必要がなくなり、そのため溶接作業が
より一層楽になる。もとより、冷却媒体流通路を形成す
るために高価な成形金型を用いる必要がないから、複雑
な回路状の冷却媒体流通路を形成する場合であっても、
コストアップを招来することはない。したがって、この
発明によれば、複雑な回路状の冷却媒体流通路を備え
た、つまり高い冷却効率を有するバッキングプレート
を、コストアップを招来することなく簡単に製作するこ
とができるという効果を奏する。
【図１】この発明の一つの実施形態のバッキングプレー
トを示す図で、（ａ）は同バッキングプレートの斜視
図、（ｂ）は同バッキングプレートの底面図である。
トを示す図で、（ａ）は同バッキングプレートの斜視
図、（ｂ）は同バッキングプレートの底面図である。
【図２】図１（ａ）中のII−II線断面図である。
【図３】この発明のもう一つの実施形態のバッキングプ
レートを示す図で、（ａ）は同バッキングプレートの斜
視図、（ｂ）は同バッキングプレートの底面図である。
レートを示す図で、（ａ）は同バッキングプレートの斜
視図、（ｂ）は同バッキングプレートの底面図である。
【図４】図３（ａ）中のIV−IV線断面図である。
【図５】従来のバッキングプレートを示す図で、（ａ）
は同バッキングプレートの斜視図、（ｂ）は同バッキン
グプレートの底面図である。
は同バッキングプレートの斜視図、（ｂ）は同バッキン
グプレートの底面図である。
【図６】図５（ａ）中のVI−VI線断面図である。
１…バッキングプレート ２…ベース部 ３…冷却部 ４…ロールボンドパネル ５…膨出管部 ６…冷却媒体流通路 Ｗ…溶接部 Ｔ…ターゲット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川田 斉礼 堺市海山町６丁224番地 昭和アルミニウ ム株式会社内 (72)発明者 橋本 武典 堺市海山町６丁224番地 昭和アルミニウ ム株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 DC21 DC25
Claims (1)
- 【請求項１】 板状のベース部（２）に、内部に冷却媒
体流通路（６）を有する板状の冷却部（３）が溶接によ
り張り合わされていることを特徴とするスパッタリング
用バッキングプレート。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242821A JP2000073164A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | スパッタリング用バッキングプレート |
| US09/383,506 US6344117B2 (en) | 1998-08-28 | 1999-08-26 | Backing plate for sputtering |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242821A JP2000073164A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | スパッタリング用バッキングプレート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000073164A true JP2000073164A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17094804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10242821A Pending JP2000073164A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | スパッタリング用バッキングプレート |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| US (1) | US6344117B2 (ja) |
| JP (1) | JP2000073164A (ja) |
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1998
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1999
- 1999-08-26 US US09/383,506 patent/US6344117B2/en not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040608 |