JP4743609B2 - アルミニウム系ターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Claims (12)
- 相対密度が95%以上である複数のアルミニウム合金ターゲット部材からなるアルミニウム系ターゲットにおいて、
摩擦撹拌接合法によりアルミニウム合金ターゲット部材を接合した接合部を備え、
接合部は、径1μm〜500μmのブローホールを0.01〜0.1個/cm 2 有し、径500μmを超えるブローホールを有することなく、
接合したターゲットの相対密度が99.7〜99.99%であることを特徴するアルミニウム系ターゲット。 - 接合部には、径10μm以下の析出物が分散したものである請求項1に記載のアルミニウム系ターゲット。
- アルミニウム合金は、ニッケル、コバルト、鉄のうち少なくとも1種以上の元素を0.5〜7.0at%含有し、残部がアルミニウムである請求項1または請求項2に記載のアルミニウム系ターゲット。
- アルミニウム合金は、0.1〜3.0at%の炭素を更に含むものである請求項3に記載のアルミニウム系ターゲット。
- アルミニウム合金は、0.5〜2.0at%のシリコンを更に含むものである請求項3または請求項4に記載のアルミニウム系ターゲット。
- アルミニウム合金は、0.1〜3.0at%のネオジウムを更に含むものである請求項3〜請求項5いずれかに記載のアルミニウム系ターゲット。
- 複数のアルミニウム合金ターゲット部材は、溶解法、熱間等方圧成型法又はプレス−熱間等方圧成型法のいずれかにより製造された請求項1〜請求項6いずれかに記載のアルミニウム系ターゲット。
- 請求項1〜請求項7いずれかに記載のアルミニウム系ターゲットの製造方法であって、
アルミニウム合金ターゲット部材の一辺の端面同士を当接し、
当接部に摩擦撹拌溶接用のプローブを配置して、プローブと当接部との間に相対的な循環運動を起こし、発生した摩擦熱により当接部分に塑性流動を生じさて、プローブの1回転あたりの移動距離を0.5〜1.4mmとして、アルミニウム合金ターゲット部材を接合処理することを特徴とするアルミニウム系ターゲットの製造方法。 - 接合処理は、アルミニウム合金ターゲット部材における表面及び裏面の両面側より行うものである請求項8に記載のアルミニウム系ターゲットの製造方法。
- 隣接する当接部の接合処理は、基端から終端までのプローブの移動方向を同一方向にするものである請求項8または請求項9に記載のアルミニウム系ターゲットの製造方法。
- 隣接する当接部の接合処理は、基端から終端までのプローブの移動方向を逆方向にするものである請求項8または請求項9に記載のアルミニウム系ターゲットの製造方法。
- 請求項8〜請求項11いずれかに記載のアルミニウム系ターゲットの製造方法により得られたアルミニウム系ターゲットに対して、さらに矯正処理を施すことを特徴とするアルミニウム系ターゲットの製造方法。
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