KR20020000499A - 다층 배선 기판 및 다층 배선 기판을 이용한 반도체 장치 - Google Patents

다층 배선 기판 및 다층 배선 기판을 이용한 반도체 장치 Download PDF

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모기 쥰이찌
신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤
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Abstract

다층 배선 기판은 각각 판상 또는 시트상의 절연층과 절연층의 일면에만 형성된 배선층을 구비하는 복수의 배선 기판을 구비하고, 상기 복수의 배선 기판은 상기 절연층과 배선층이 교대로 배치되도록 적층되고, 적어도 1쌍의 상기 배선층이 상기 절연층을 관통하도록 형성된 접속부에 의해 전기적으로 서로 접속되는 절연층의 각각의 표면에 배치되며, 상기 접속부는 상기 절연층을 관통하도록 형성된 개구부의 영역으로 뻗는 상기 배선층의 일부와, 상기 개구부에 배치되고 상기 배선층의 일부를 적층 구조체에 인접하는 절연층에 형성된 배선 기판과 전기적으로 접속하는 저융점 금속부로 되는 것을 특징으로 한다.

Description

다층 배선 기판 및 다층 배선 기판을 이용한 반도체 장치{MULTI-LAYER WIRING SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE MULTI-LAYER WIRING SUBSTRATE}
본 발명은 다층 배선 기판과 이를 이용한 반도체 장치에 관한 것이다.
반도체 패키지와 같이 사용되는 종래의 다층 배선 기판의 구성과 그 제조 방법을 도11a~도11d에 의거해 설명한다.
먼저, 폴리이미드 등의 수지재로 구성된, 판상 또는 시트 상으로 형성된 절연 기판(절연층)(10)의 양면에 동박 등의 도체층을 형성한다.
이 절연 기판(1O)의 도체층을 에칭하여, 도11a에 나타내는 바와 같이 절연 기판(10)의 양면에 소정의 회로 패턴(배선층)(12)이 형성된 배선 기판(14)을 얻는다.
다음에 적층되는 배선 기판(14)의 배선층(12)끼리 전기적으로 접속하려고 하는 부위에, 배선층(12) 및 절연 기판(10)을 관통하는 스루홀(16)을 도11b에 나타내는 바와 같이 형성한다.
다음에 스루홀(16)의 내주면 및 이 스루홀(16)에 대응하는 배선층(12)의 표면에, 도11c에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 동도금(18)을 실시하여, 절연 기판(10)의 양면의 배선층(12)끼리 전기적으로 접속하는 접속부(소위 비어)(18)를 형성한다. 또한 스루홀(16)의 내주면에 도금을 실시하는 경우는 먼저 무전해 도금을 실시하고, 이어서 전해 도금을 실시하도록 한다.
그리고 복수의 배선 기판(14)끼리 접착재(21)에 의해 적층한다.
그리고 적층된 각 배선 기판(14)의 배선층(12) 사이를 전기적으로 접속하기 위해서, 도11d에 나타내는 바와 같이 각 절연 기판(10)의 접속부(18)끼리 적층 방향으로 동일 직선 상에 배치해 두고, 가열 용해시켜 유동상태로 한 땜납 등의 합금(제1도체)(22)을 연통한 각 접속부(18) 내에 흘러 들어가게 함으로써, 각 접속부(18)끼리 도통하게 한다. 이에 따라 각 배선 기판(14)의 배선층(12)이 층간에서 전기적으로 접속된 다층 배선 기판(23)이 얻어진다.
또 땜납 볼을 사용해 층간의 전기적인 접속을 하는 예로서, 도12 및 도13에 나타내는 바와 같은 다층의 반도체 장치가 알려져 있다. 도12는 이와 같은 반도체 장치의 전체를 나타내는 측면 단면도이고, 도13은 도12의 A로 나타내는 부분의 확대도이다. 이 종래예에서는 폴리이미드 등의 수지재로 되는 절연 기판(10)에 일면에 동으로 되는 회로 패턴(배선층)(12)이 형성되어 있고, 그 위에 반도체 칩(40)이 탑재되어 있다. 이와 같은 반도체 패키지가 다층으로 형성되어, 다층의 반도체 장치가 형성된다. 절연 기판(10)에는 이를 관통하여 뻗는 스루홀(16)과 각 절연기판의 일면에 형성되어 노출되는 배선층(12)이 설치된다. 층간의 전기적 접속은 스루홀(16)에 도입된 리플로 가능한 땜납 볼(15)에 의해 이루어짐으로써, 땜납볼이 인접하는 절연 기판(10) 상에서 배선층(12)과 접촉하게 된다. 도13에 있어서, 20은 절연 기판(예를 들면 폴리이미드)(10)과 배선층(예를 들면 동)(12) 사이를 접합하는 접착재이고, 17은 솔더레지스트이다.
그러나 도11a~도11d에 나타내는 종래의 다층 배선 기판에서는 절연층의 양면에 도체층이 형성된 배선 기판을 재료로서 사용하여야 만 하여, 부품 비용이 높아진다는 과제가 있다. 또 접속부의 형성 공정에 있어서, 무전해 도금 처리가 필요하기 때문에, 제조 비용이 상승하는 과제도 있다. 또 절연층의 양면에 도체층이 형성된 배선 기판을 적층하는 구조이기 때문에, 적층 후의 다층 배선 기판이 두껍게 되는 과제가 생긴다.
도12 및 도13에 나타내는 종래의 다층의 반도체 장치에서는 일면에 배선층을 갖는 절연 기판을 사용할 수 있으므로, 비용은 삭감할 수 있지만, 층간의 전기적인 접속을 하는 땜납(15)에 의해 다층 배선 기판이나 반도체 소자의 층간 간격을 유지하여야 하고, 두께가 충분히 얇은 다층 배선 기판이나 반도체 장치를 얻는 것은 곤란하다는 과제가 있다.
여기서 본 발명의 목적은 절연층의 양면에 도체층이 형성된 배선 기판이나 무전해 도금 처리를 사용하는 일이 없이, 염가의 제조 비용으로 제조할 수 있고, 두께를 충분히 얇게 할 수 있는 다층 배선 기판과 반도체 장치를 제공하는 것이다.
도1은 다층 배선 기판을 제조하기 위한 단일층의 배선 기판의 단면도.
도2는 도1에 나타낸 배선 기판의 평면도.
도3은 도1에 나타낸 배선 기판에 땜납부를 형성한 상태를 나타내는 단면도.
도4는 도3에 나타내는 배선 기판을 다층으로 배치한 상태를 나타내는 단면도.
도5는 도4에 나타내는 다층으로 배치한 배선 기판에 대해 리플로 처리를 함으로써 다층 배선 기판을 구성한 상태를 나타내는 단면도.
도6은 다른 실시예에서 배선 기판을 다층으로 배치한 상태를 나타내는 단면도.
도7은 도6에 나타내는 다른 실시예에서, 리플로 처리를 함으로써 다층 배선 기판을 구성한 상태를 나타내는 단면도.
도8은 도7의 다층 배선 기판의 층간 접속부를 나타내는 사시도.
도9는 본 발명에 관한 반도체 장치의 1 실시예의 구성을 설명하기 위한 도면으로, 배선층측으로 본 부분 평면도.
도10은 도9의 W-W단면도.
도11a~ 도11d는 종래의 다층 배선 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 설명도.
도12는 땜납 볼을 사용한 종래의 다층 배선 기판을 설명하기 위한 도면.
도13은 도12의 A에서 나타내는 부분을 확대한 도면.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 다음의 구성을 구비한다. 즉 본 발명에 관한 다층 배선 기판은 배선층과 절연층이 교대로 적층되고, 절연층의 표리에 배치된 적어도1쌍의 배선층끼리 절연층을 관통해 형성된 접속부를 통해서 전기적으로 접속되어 이루어지는 다층 배선 기판에 있어서, 배선층 및 절연층은 판상 또는 시트상의 절연층의 한쪽의 표면에만 배선층이 형성된 배선 기판을, 배선층과 절연층이 교대로 위치하도록 적층해 형성되고, 접속부는 배선 기판의 절연층을 관통해 형성된 개구부의 영역 내에, 배선 기판의 배선층을 일부를 연장시켜 연장부(extension)를 형성하고, 연장부와 배선 기판의 절연층에 인접해 적층된 다른 배선 기판의 배선층이 저융점 금속부를 통해서 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
개구부는 절연층에 형성된 스루홀인 것을 특징으로 한다. 또는 개구부는 절연층의 테두리부에 형성된 노치인 것을 특징으로 한다.
저융점 금속부는 땜납 볼 또는 땜납 페이스트 또는 이들 양자를 원료로 하는 재료인 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 관한 반도체 장치는 각 배선 기판의 절연층에 반도체 소자를 수용하기 위한 오목부가 형성되고, 배선층은 일단측이 반도체 소자의 전극 단자에 전기적으로 접속되는 리드부에 형성되고, 타단측이 개구부의 영역 내에 뻗는 연장부에 형성되는 다층 배선 기판과, 수용 오목부 내에 전극 단자 형성면이 배선층측을 향하도록 수용되고, 전극 단자에 배선층의 리드부가 접속된 반도체 소자를 구비하는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
도1~도8을 참조해 본 실시예의 다층 배선 기판의 구성에 대해서 설명한다. 또한 종래예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다.
도1 및 도2는 다층 배선 기판을 제조하기 위한 1층의 배선 기판(26)을 나타낸 것이고, 도1은 단면도, 도2는 상면에서 본 도면이다. 이 배선 기판(26)은 예를 들면 폴리이미드 등의 수지재로 되는 판상 또는 시트상의 절연층으로서의 절연 기판(10)의 한쪽의 표면(도1의 상면)에만, 예를 들면 동으로 되는 배선층(12)이 형성되어 있다. 또한 부호(20)는 절연 기판(예를 들면 폴리이미드)(10)과 배선층(예를 들면 동)(12) 사이를 접합하는 접착재다. 그리고 이와 같은 배선 기판(26)이 다층으로 적층되면, 도5에 나타내는 바와 같이, 절연 기판(10)과 배선층(12)이 교대로 위치하도록 적층된다.
배선 기판(26)에는 상기 배선 기판의 배선층(12)과, 인접하는 배선 기판의 배선층 사이를 서로 전기적으로 접속하기 위한 접속부(28)가 형성된다. 이 접속부(28)는 절연 기판(10)의 표리를 연통하도록 형성된 개구부(16)(도1의 실시예에서는 스루홀)의 영역 내에, 절연 기판(10)의 상면에 형성되어 있는 배선층(12)의 일부를 연장시켜 되는 연장부(30)가 형성된다. 즉 도2에 나타내는 바와 같이, 스루홀(16)의 영역 내에 연장하고 있는 배선층(12)의 일부인 연장부(30)가 스루홀(16)의 개구 부분의 주요부를 차지하는 크기로 된다. 또 스루홀(16)의 영역 내에 위치하는 배선층(12)의 연장부(30)는 개구부(16)의 내측으로 꺾여 굽혀지는 일이 없이, 배선 기판(10)의 상면에 형성된 배선층(12)의 부분과 평면 상에서 동일면에 위치하고 있다.
이와 같은 구성을 갖는 배선 기판(26)은 주지의 방법으로 제조할 수 있다. 예를 들면, 한쪽의 면에 동박 등의 도체층이 일체적으로 형성된 절연층으로서의 절연 기판(10)을 준비하고, 이 도체층을, 포토리소그래피법 등을 이용해 에칭에 의해 패터닝하여, 소정 패턴의 배선층(12)이 형성된 배선 기판(26)을 얻는다. 스루홀(16)은 절연 기판(10)의 한쪽의 면에 배선층(12)을 형성하기 전에, 미리 절연 기판(10)에 드릴링 등으로 형성하여도 좋고, 또 절연 기판(10)의 한쪽의 면에 배선층(12)을 형성한 후에, 레이저 등을 이용해 천공(穿孔)함으로써 스루홀(16)을 형성해도 좋다.
스루홀(16)은 도1 및 도2의 실시예에서는 그 구체적인 평면의 단면 형상이 원형으로 형성되어 있지만, 원형에 한정하지 않고, 사각형이나 다른 다각형, 또는 임의의 형상이어도 좋은 것은 말할 것도 없다.
그리고 절연 기판(10)의 스루홀(16) 내에 땜납 볼을 공급하고, 배선층(12)의 연장부(30)에 저융점 금속으로서의 땜납 볼을 탑재하여, 땜납 볼을 리플로함으로써, 도3에 나타내는 바와 같이, 땜납부(32)가 배선층(12)의 연장부(30)로부터 탈락하지 않도록 이 연장부(30)에 형성된다.
도4는 도3에 나타내는 바와 같은 땜납부(32)를 형성시킨 배선 기판(26)을, 적층한 상태를 나타낸다. 적층했을 때에 인접하는 배선 기판(26)의 배선층(12)을 서로 전기적으로 접속하기 위해서, 필요한 배선 기판(26)의 접속부인 스루홀(16)의 위치를 맞추어 겹쳐 쌓는다. 이 상태에서 리플로함으로써, 도5에 나타내는 바와 같이, 땜납부(32)가 용해하여, 인접하는 배선 기판(26)의 배선층(12)끼리 결합되고, 층간의 배선층 상호간의 전기적인 접속이 달성된다.
또한 도4 및 도5에서는 상층, 중층 및 하층의 3개의 층에 걸쳐, 각 층의 배선 기판(26)상의 배선층(12)이 상하 방향의 소정의 위치에서 전기적으로 접속된 실시예를 나타내고 있지만, 본 발명은 이와 같이 3층에 걸쳐 동일한 위치에서 접속될 필요는 없고, 적어도2개의 층에서 서로의 배선층끼리 전기적으로 접속되도록 구성되면 된다.
도1~도5의 실시예에서는 저융점 금속으로서 땜납 볼에서 유래된 땜납부(32)를 이용하고 있지만, 땜납 페이스트를 이용할 수도 있다. 땜납 페이스트를 이용하는 경우는 도3에 있어서, 땜납 볼 유래의 땜납부(32)에 대신하여, 땜납 페이스트를 스루홀(16) 내에 충전하여, 배선층(12)의 연장부에 접합시킨다. 배선 기판의 적층 후에는 땜납 볼의 경우와 마찬가지로 리플로함으로써, 인접하는 배선 기판(26)의 배선층(12)끼리 땜납을 통해서 결합하여, 층 사이의 배선층 상호간의 전기적 접속이 달성된다. 단, 층간의 접속에 필요한 땜납량을 확보하기 위해서는 땜납 페이스트를 이용하는 것보다 땜납 볼을 이용하는 것이 보다 바람직하다.
도1~도5의 실시예에서는 배선 기판(26)의 배선층(12)끼리의 접속부(28)를, 절연 기판(10)에 형성한 스루홀(16)을 이용해 구성한 것이다. 도6~도8에 나타내는 실시예에서는 배선 기판(26)의 바깥 둘레 부분(테두리부)에, 예를 들면 평면형상이 반원형인 노치(36)를 설치한 것이다.
즉 도6~도8에 나타내는 바와 같이, 스루홀(16) 대신에 배선 기판(26)의 바깥둘레 부분(테두리부)에, 예를 들면 평면형상이 반원상인 노치(36)를 설치한다. 그리고 절연 기판(10)의 한쪽의 면에 형성된 배선층(12)의 일부를, 연장부(30)를 획정하기 위해 노치(36)의 영역 안까지 뻗게 한다. 그리고 전술과 마찬가지로, 각 배선 기판(26)의 노치(36)에 땜납 볼을 공급하고, 땜납부(32)를 배선층(12)의 연장부(30)에 형성한다. 이어서, 도6에 나타내는 바와 같이, 이와 같이 노치(36)와 연장부(30)를 형성한 배선 기판(26)끼리, 노치(36)의 내주면끼리 연통하도록 적층하고 리플로함으로써, 도7 및 도8에 나타내는 바와 같이, 적층한 각 배선 기판(26)의 연장부(30)끼리 전기적으로 접속해 접속부(28)를 구성할 수 있다. 이에 따라 층간에서 배선층(12)끼리 전기적으로 접속된 다층 배선 기판(24)을 얻는 것이 가능하다.
이 구성에 의해서, 종래예에서와 같이 절연층의 양면에 도체층이 형성된 배선 기판에 비해 염가이고 절연층의 일면에만 도체층이 형성된 배선 기판(예를 들면 일면 동박 테이프 기판 등)을 사용해 다층 배선 기판을 제조할 수 있고, 또한 절연 기판(절연층)(10)을 개재해서 형성된 배선층(12)끼리 층간에서 접속하는 접속부(28)도 무전해 도금 처리를 사용하는 일이 없이 형성할 수 있으므로, 제조코스트를 크게 저감할 수 있고, 제품 비용도 염가로 된다.
<반도체 장치>
다음에 전술한 구조의 다층 배선 기판(24)을 이용한 반도체 장치의 구조에 대해서 도9와 도10을 이용해 설명한다. 또한 일례로서 접속부(28)는 각 배선 기판(26)의 바깥 둘레에 노치(36)를 형성하고, 이 노치(36) 내에 배선층(12)의 단부를 연장시켜 형성된 연장부(30)에 땜납부(32)를 형성하여, 적층시에 리플로한 것이다. 또 접속부(28)를 배선 기판(26)의 바깥 둘레가 아니라 비어(스루홀) 같이 내부 영역에 형성한 구조로 하는 것도 가능하다.
반도체 장치(38)는 절연 기판(10)의 한쪽의 표면에만 배선층(12)이 형성된 배선 기판(26)이 배선층(12)과 절연 기판(10)이 교대로 위치하도록 복수 적층되어 형성된 다층 배선 기판(24)을 이용해 구성되어 있다.
그리고 각 배선 기판(26)의 절연 기판(10)에는 반도체 소자(40)를 수용하기 위한 수용 오목부(디바이스 홀)(42)가 형성되어 있다. 수용 오목부(42)의 저면(도10의 상면)에는 평면상의 배선층(12)이 노출함과 동시에, 수용 오목부(42)의 영역 내의 리드부(48)는 리드부 이외의 도체층이 에칭으로 박리되는 결과, 배선 기판(26)을 관통하는 윈도우(44)에 형성되어 있다.
또 배선층(12)은 일단측(도9나 도10중의 좌단측)이 수용 오목부(42) 내에 연장되어 반도체 소자(40)의 전극 단자(46)에 접속되는 리드부(48)에 형성되고, 타단측(도9나 도10중의 우단측)이 절연 기판(10)의 바깥 둘레에 형성된 노치(36)의 영역 안으로 뻗고, 이 연장부(30)가 노치(36)의 영역 내에 뻗어 있다.
각 배선 기판(26)의 각각의 수용 오목부(42) 내에는 전극 단자(46)가 형성된 면(전극 단자 형성면)(40a)를 배선층(12)측을 향하게 하여 반도체 소자(40)가 수용되고, 전극 단자 형성면(40a)에 노출하는 전극 단자(46)에 배선층(12)의 리드부(48)가 접속되어 있다.
각 배선 기판(26)은 수용 오목부(42) 내에 반도체 소자(40)가 탑재된 후에,수용 오목부(42) 내에 수지재(50)가 충전되어 반도체 소자(40)의 측면, 전극 단자 형성면(40a) 및 배선층(12)의 리드부(48)가 봉지된다.
그리고 각 배선 기판(26)이 대응되는 노치(36)끼리 연통하도록 적층되고, 각 배선 기판(26)이 관통하는 노치(36)의 영역 내에 연장하고 있는 연장부(30)끼리 땜납부(32)를 통해서 전기적으로 접속됨으로써, 반도체 장치(38)를 얻게 된다.
또한 54는 배선층(12)에 반도체 소자(40)를 접착하는 접착층이고, 56은 배선층(12)과 절연 기판(10)을 접착하는 접착층이다.
이 반도체 장치(38)에서는 적층된 각 배선 기판(26)에 수용 오목부(42)가 형성되어 이 수용 오목부(42) 내에 반도체 소자(40)가 탑재되어 있기 때문에, 복수의 서브 반도체 장치(52)가 적층되어 1개의 새로운 반도체 장치(38)로 구성되었다고 생각할 수도 있고, 또한 수용 오목부(42)가 형성된 각 배선 기판(26)은 각 서브 반도체 장치(52)의 반도체 패키지라고도 생각할 수 있다.
본 발명에 관한 다층 배선 기판과 반도체 장치에 의하면, 종래에 사용하고 있던 절연층의 양면에 도체층이 형성된 배선 기판에 비해 염가이고 절연층의 일면에만 도체층이 형성된 배선 기판(예를 들면 그 일면에만 동박 테이프가 형성된 기판)을 사용해 다층 배선 기판을 제조할 수 있다. 또한 예를 들면 도체층을 에칭 등으로 형성하고 서로 인접하는 층의 배선층끼리 층간에서 접속하는 접속부를 무전해 도금 처리를 이용하는 일이 없이 형성할 수 있기 때문에, 제조 비용이 대폭적으로 저감되어 제품 비용도 염가로 됨과 동시에 두께도 얇게 할 수 있다는 효과가 있다.또 층간의 전기적인 접속을 행할 때에, 배선층의 일부를 꺾어 굽히는 등, 특수의 가공을 할 필요가 없고, 배선층의 연장부끼리 땜납 등의 저융점 금속을 통해서 접속할 수 있어 염가의 구조로 할 수 있다.
상기 설명은 개시된 발명의 바람직한 실시예의 일부에 관한 것으로서, 발명의 정신 및 범주를 벋어나지 않으면서 다양한 변경과 수정이 가능함이 당업자에게 명백할 것이다.

Claims (8)

  1. 각각 판상 또는 시트상의 절연층과 절연층의 일면에만 형성된 배선층을 구비하는 복수의 배선 기판을 구비한 다층 배선 기판에 있어서,
    상기 복수의 배선 기판은 상기 절연층과 배선층이 교대로 배치되도록 적층되고,
    적어도 1쌍의 상기 배선층이 상기 절연층을 관통하도록 형성된 접속부에 의해 전기적으로 서로 접속되는 절연층의 각각의 표면에 배치되며,
    상기 접속부는 상기 절연층을 관통하도록 형성된 개구부의 영역으로 뻗는 상기 배선층의 일부와, 상기 개구부에 배치되고 상기 배선층의 일부를 적층 구조체에 인접하는 절연층에 형성된 배선 기판과 전기적으로 접속하는 저융점 금속부로 되는 것을 특징으로 하는 다층 배선 기판.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 절연층에 형성된 스루홀인 것을 특징으로 하는 다층 배선 기판.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 절연층의 둘레 부분에 형성된 노치인 것을 특징으로 하는 다층 배선 기판.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 저융점 금속은 땜납 볼 또는 땜납 페이스트인 것을 특징으로 하는 다층 배선 기판.
  5. 각각 판상 또는 시트상의 절연층과 절연층의 일면에만 형성된 배선층을 구비하는 복수의 배선 기판을 구비하고,
    상기 복수의 배선 기판은 상기 절연층과 배선층이 교대로 배치되도록 적층되고,
    적어도 1쌍의 상기 배선층이 상기 절연층을 관통하도록 형성된 접속부에 의해 전기적으로 서로 접속되는 절연층의 각각의 표면에 배치되며,
    상기 접속부는 상기 절연층을 관통하도록 형성된 개구부의 영역으로 뻗는 상기 배선층의 일부와, 상기 개구부에 배치되고 상기 배선층의 일부를 적층 구조체에 인접하는 절연층에 형성된 배선 기판과 전기적으로 접속하는 저융점 금속부로 되는 다층 배선 기판을 구비한 반도체 장치에 있어서,
    상기 각각의 배선 기판의 절연층은 반도체 소자 수용 오목부와 그 일단에 상기 반도체 소자의 전극에 전기적으로 접속되는 리드부가 형성되고, 그 타단에 상기 개구부의 영역으로 뻗는 연장부(extension)가 형성되는 배선층을 갖고,
    반도체 소자는 각각 전극 형성면을 갖고, 상기 반도체 소자의 각각은 상기 오목부에 상기 전극 형성면이 상기 배선층과 대향하고, 상기 반도체 소자의 전극이배선층의 상기 리드부와 전기적으로 접속하도록 상기 오목부에 수용되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    다층 배선 기판의 각 절연층의 상기 개구부는 상기 절연층에 형성된 스루홀인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    다층 배선 기판의 각 절연층의 상기 개구부는 상기 절연층의 둘레 부분에 형성된 노치인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 저융점 금속은 땜납 볼 또는 땜납 페이스트인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
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