KR20010085434A - 이방도전성 접착필름 - Google Patents

이방도전성 접착필름 Download PDF

Info

Publication number
KR20010085434A
KR20010085434A KR1020010008613A KR20010008613A KR20010085434A KR 20010085434 A KR20010085434 A KR 20010085434A KR 1020010008613 A KR1020010008613 A KR 1020010008613A KR 20010008613 A KR20010008613 A KR 20010008613A KR 20010085434 A KR20010085434 A KR 20010085434A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
adhesive layer
insulating adhesive
film
anisotropic conductive
circuit board
Prior art date
Application number
KR1020010008613A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100639083B1 (ko
Inventor
구마꾸라히로유끼
야마모또사또시
Original Assignee
구리다 히데유키
소니 케미카루 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 구리다 히데유키, 소니 케미카루 가부시키가이샤 filed Critical 구리다 히데유키
Publication of KR20010085434A publication Critical patent/KR20010085434A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100639083B1 publication Critical patent/KR100639083B1/ko

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • C09J9/02Electrically-conducting adhesives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L63/00Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/10Adhesives in the form of films or foils without carriers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/29Laminated material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/18Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of organic substances
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R4/00Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
    • H01R4/04Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation using electrically conductive adhesives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • H05K3/323Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2400/00Characterised by the use of unspecified polymers
    • C08J2400/12Polymers characterised by physical features, e.g. anisotropy, viscosity or electrical conductivity
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2203/00Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2203/326Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/20Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
    • C09J2301/208Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself the adhesive layer being constituted by at least two or more adjacent or superposed adhesive layers, e.g. multilayer adhesive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/30Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
    • C09J2301/314Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive layer and/or the carrier being conductive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2433/00Presence of (meth)acrylic polymer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2463/00Presence of epoxy resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/2919Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83101Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus as prepeg comprising a layer connector, e.g. provided in an insulating plate member
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01013Aluminum [Al]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01027Cobalt [Co]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01045Rhodium [Rh]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01047Silver [Ag]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01055Cesium [Cs]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/0132Binary Alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/0665Epoxy resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/07802Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/0781Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/0781Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
    • H01L2924/07811Extrinsic, i.e. with electrical conductive fillers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0104Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0133Elastomeric or compliant polymer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0364Conductor shape
    • H05K2201/0379Stacked conductors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10674Flip chip
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1189Pressing leads, bumps or a die through an insulating layer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y10T29/49144Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by metal fusion
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49204Contact or terminal manufacturing
    • Y10T29/49208Contact or terminal manufacturing by assembling plural parts
    • Y10T29/4921Contact or terminal manufacturing by assembling plural parts with bonding
    • Y10T29/49211Contact or terminal manufacturing by assembling plural parts with bonding of fused material
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y10T428/254Polymeric or resinous material
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/269Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension including synthetic resin or polymer layer or component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • Y10T428/2852Adhesive compositions
    • Y10T428/2857Adhesive compositions including metal or compound thereof or natural rubber
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y10T428/2991Coated
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y10T428/2991Coated
    • Y10T428/2998Coated including synthetic resin or polymer

Abstract

본 발명은 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우에 적합한 이방도전성 접착필름을 제공한다. 이방도전성 접착필름은 제 1 절연성 접착제층, 경화 후의 탄성율이 제 1 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율보다도 낮은 제 2 절연성 접착제층, 및 제 1 절연성 접착제층과 제 2 절연성 접착제층 중 적어도 일방에 분산되어 있는 도전입자로 이루어진다. 이와 같은 이방도전성 접착필름을 사용하면 접착성 및 도통신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

이방도전성 접착필름{ANISOTROPIC CONDUCTIVE ADHESIVE FILM}
본 발명은 반도체칩 등의 전자부품과 회로기판의 전기적 기계적 접속에 사용되는 이방도전성 접착필름에 관한 것이며, 특히, 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 반도체칩을 플립칩 실장하는 경우에 적합한 이방도전성 접착필름에 관한 것이다.
종래, 반도체칩 등의 전자부품과 회로기판, 또는 회로기판끼리를 전기적 기계적으로 접속하기 위해 이방도전성 접착필름 (ACF) 이 사용되어 왔지만, 최근에는 특히 휴대전화 또는 IC 카드 등의 분야에서 플렉시블 회로기판 (FPC) 상에 IC 칩을 플립칩 실장 (COF) 하기 위해 이방도전성 접착필름이 널리 사용되고 있다.
이방도전성 접착필름으로는, 일반적으로 에폭시수지계로 된 단층의 절연성 접착제층 내부에 도전입자를 분산시킨 단층구조인 것이 사용되고 있다. 또, 같은 구성의 절연성 접착제를 사용하여 도전입자를 분산시킨 층 및 분산시키지 않은 층의 이층구조로 된 것이나, 도전입자를 분산시킨 절연성 접착제층 및 그 절연성 접착제와 조성의 일부를 변화시킨 절연성 접착제로 된 층의 이층구조인 것도 알려져 있다.
한편, 휴대전화 또는 IC 카드 등의 분야에서는 가격경쟁 때문에 비용절감이 강하게 요구되고 있다. 이로 인해, 이들 분야에서 사용하는 플렉시블 회로기판으로서는 종전의 폴리이미드계인 것보다는 폴리에스테르계인 것을 많이 사용하고 있다.
그러나, 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판은 표면 특성의 영향으로 인해 폴리이미드계인 것에 비하여 접착성이 낮은 한편, 종래의 에폭시수지계의 절연성 접착제를 사용한 이방도전성 접착필름은 탄성율이 높기 때문에, 전자부품을 실장하는 플렉시블 회로기판을 폴리이미드계인 것에서 폴리에스테르계인 것으로 변경하면 전자부품과 회로기판의 접착성이 저하한다는 문제가 있었다.
이를 해결하기 위해, 이방도전성 접착필름의 절연성 접착제로서, 접착성이 높고 탄성율이 낮은 아크릴레이트계인 것을 사용하는 것이 시도되었지만, 그 경우에는 접착성은 향상하는 반면에 도통신뢰성이 저하되는 문제가 발생하였다.
이로 인해, 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우에 종래의 이방도전성 접착필름을 사용하면, 접착성이나 도통신뢰성의 면에서 소정의 스펙을 만족시킬수 없다는 문제가 발생하였다.
본 발명은, 이와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이방도전성 접착필름을 사용하고, 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우라도, 높은 접착성 및 도통신뢰성을 얻을 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
도 1 은 본 발명에 의한 접속방법의 설명도이다.
도 2 는 본 발명에 의한 접속방법의 설명도이다.
도 3 은 본 발명에 의한 접속방법의 설명도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1A, 1B, 1C : 이방도전성 접착필름
2 : 제 1 절연성 접착제층 3 : 제 2 절연성 접착제층
4 : 도전입자 10 : IC 칩
20 : 회로기판 21 : 기재필름
22 : 배선회로
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 이방도전성 접착필름을 사용하여 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우에, 이방도전성 접착필름을 구성하는 절연성 접착제층을 전자부품측의 층과 플렉시블 회로기판측의 층을 갖는 복층구조로 하고, 플렉시블 회로기판측의 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율을 전자부품측의 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율보다도 낮게 함으로써, 접착성과 도통신뢰성을 모두 향상시킬 수 있다.
즉, 본 발명은 제 1 절연성 접착제층과 경화 후의 탄성율이 제 1 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율보다도 낮은 제 2 절연성 접착제층과 제 1 절연성 접착제층과 제 2 절연성 접착제층 중 적어도 일방에 분산되어 있는 도전입자로 이루어진 이방도전성 접착필름을 제공한다.
또한, 본 발명은 상술한 이방도전성 접착필름을 사용하여 반도체칩과 회로기판을 전기적 기계적으로 접속하는 방법으로서, 이방도전성 접착필름의 제 1 절연성 접착제층을 반도체칩측에 배치하고 제 2 절연성 접착제층을 회로기판측에 배치하는 접속방법을 제공한다.
이에 더하여, 본 발명은 상술한 이방도전성 접착필름을 사용하여 반도체칩과 회로기판을 전기적 기계적으로 접속시킨 접속구조체로서, 이방도전성 접착필름의 제 1 절연성 접착제층의 경화물이 반도체칩과 접착하고 제 2 절연성 접착제층의 경화물이 회로기판과 접착되어 있는 접속구조체를 제공한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 각 도면 중에서 동일부호는 동일 또는 동등한 구성요소를 나타내고 있다.
도 1 은 본 발명의 이방도전성 접착필름 (1A) 을 사용하여, IC 칩 (10) 과 회로기판 (20) 을 접속하는 방법의 설명도이다.
이방도전성 접착필름 (1A) 은 제 1 절연성 접착제층 (2) 과 제 2 절연성 접착제층 (3) 의 이층구조로 되어 있고, 이들 양측의 절연성 접착제층 (2, 3) 에는 각각 도전입자 (4) 가 분산되어 있다.
본 발명의 이방도전성 접착필름 (1A) 에서는, 제 1 절연성 접착제층 (2) 의 경화 후의 탄성율 c1이 제 2 절연성 접착제층 (3) 의 경화 후의 탄성율 c2보다 더 큰 것을 특징으로 한다. 절연성 접착제층들 (2, 3) 의 경화 후의 탄성율의 비c1/c2는, 바람직하게는 10 이상이다. 이로 인해, IC 칩 (10) 과 회로기판 (20) 을 이방도전성 접착필름 (1A) 을 사용하여 접속시키는 경우, 회로기판 (20) 이 폴리에스테르계의 기재필름 (21) 에 배선회로 (22) 를 형성한 것임에도, 제 1 절연성 접착제층 (2) 측을 IC 칩 (10) 측에 배치하고 제 2 절연성 접착제층 (3) 을 회로기판 (20) 측에 배치하여 접속시킴으로써, 회로기판이 폴리이미드계인 경우에 비해 접착성과 도통신뢰성을 모두 향상시킬 수 있다.
이와 같이 절연성 접착제층 (2, 3) 의 경화 후의 탄성율을 달리하는 방법으로서는, 특별히 제한은 없지만, 동종의 절연성수지를 사용하면 경화제의 종류나 첨가량 등을 조정해도 경화 후의 탄성율을 충분히 달리하는 것이 어렵기 때문에, 이종의 절연성수지를 사용하는 것이 바람직하다. 예컨대, 제 1 절연성 접착제층 (2) 을 열경화성 에폭시계 접착제 등으로 형성하고, 제 2 절연성 접착제층 (3) 을 열경화성 아크릴레이트계 접착제 등으로 형성한다. 특히, 보존성과 속경화성 등의 특성면에서, 제 1 절연성 접착제층 (2) 을 이미다졸계 잠재성 경화제를 사용한 열경화성 에폭시계 접착제로 형성하고, 제 2 절연성 접착제층 (3) 을 페록사이드계 경화제를 사용한 열경화성 아크릴레이트계 접착제로 형성하는 것이 바람직하다. 이 경우, 열경화성 에폭시계 접착제는 비스페놀 A 형 에폭시수지, 비스페놀 F 형 에폭시수지 및 테트라브로모비스페놀 A 형 에폭시수지 등의 일반적인 에폭시수지로 구성할 수 있다. 또, 열경화성 아크릴레이트계 접착제는 반응성 이중결합하는 우레탄아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트 및 에폭시아크릴레이트 등으로 구성할 수 있다.
제 1 절연성 접착제층 (2) 의 두께 t1과 제 2 절연성 접착제층 (3) 의 두께 t2의 비 t1/t2는 0.15 이상 7 이하로 하는 것이 바람직하다. 이 두께 비 t1/t2가 0.15 미만이면 제 1 절연성 접착제층 (2) 의 형성 효과가 충분히 나타나지 않고, 도통신뢰성이 저하된다. 반대로, 두께 비 t1/t2가 7 을 초과하면 제 2 절연성 접착제층 (3) 의 형성 효과가 충분히 나타나지 않고, 접착성이 저하된다.
제 1 절연성 접착제층 (2) 두께 t1과 제 2 절연성 접착제층 (3) 두께 t2를 결합한 두께는, 종래의 단층 이방도전성 접착필름과 동일하게 할 수 있고, 통상 10 ∼ 100 ㎛ 으로 하는 것이 바람직하다.
한편, 도전입자 (4) 로서는, 예컨대 Ni, Ag, Cu 또는 이들의 합금 등으로 이루어진 금속 가루, 구형 수지입자의 표면에 금속도금을 실시한 것 및 전기적으로 우수한 도체로 이루어진 입자의 표면에 절연성 수지피막을 형성한 것 등의 종래부터 이방도전성 접착체에 사용되고 있는 다양한 도전성입자를 사용할 수 있다. 도전성입자의 입경은 0.2 ∼ 20 ㎛ 으로 하는 것이 바람직하다. 또, 제 1 절연성 접착제층 (2) 내에 분산시키는 도전입자 (4) 와 제 2 절연성 접착제층 (3) 내에 분산시키는 도전입자 (4) 는 동일한 것을 사용해도 되고 상이한 것을 사용해도 된다.
이방도전성 접착필름 (1A) 의 제조방법으로서는, 제 1 절연성 접착제층 형성용 조성물과 제 2 절연성 접착제층 형성용 조성물 내부에 각각 도전입자 (4) 를 통상적인 방법에 의해 분산시켜 필름화하고, 얻어진 2 장의 필름을 중첩하여 압착함으로써 제조할 수 있다. 또한, 도전입자 (4) 를 분산시킨 제 1 절연성 접착제층 (2) 또는 제 2 절연성 접착제층 (3) 중에서 일방을 형성한 후, 그 위에 다른 일방의 도전입자 (4) 를 분산시킨 절연성 접착제층 형성용 조성물을 도포하고, 필름화함으로써 형성해도 된다. 생산성 면에서는 각각의 필름을 중첩하는 방법이 바람직하다.
본 발명의 이방도전성 접착필름은, 경화 후의 탄성율이 다른 2 층의 절연성 접착제층을 형성하는 한 다양한 양태를 취할 수 있다. 예컨대, 상술한 도 1 의 이방도전성 접착필름 (1A) 에서는 도전입자 (4) 가 제 1 절연성 접착제층 (2) 과 제 2 절연성 접착제층 (3) 양측에 분산되어 있지만, 도 2 의 이방도전성 접착필름 (1B) 과 같이, 도전입자 (4) 를 제 1 절연성 접착제층 (2) 내에는 분산시키지 않고 제 2 절연성 접착제층 (3) 내에만 분산시켜도 된다. 이로 인해, 범프 면적이 작은 미세 패턴인 경우, 패턴이 보다 많은 도전입자를 포착할 수 있게 되어 바람직하다.
또한, 도 3 에 도시된 바와 같이, 도전입자 (4) 를 제 2 절연성 접착제층 (3) 으로는 분산시키지 않고, 제 1 절연성 접착제층 (2) 으로만 분산시켜도 된다.
본 발명의 이방도전성 접착필름에서는, 경화 후의 탄성율이 다른 2 층의 절연성 접착제층 외에도 필요에 따라 다른 절연성 접착제층을 제 1 절연성 접착제층 (2) 과 제 2 절연성 접착제층 (3) 사이에 형성한 3 층 이상의 다층구조로 할 수도 있다.
본 발명의 이방도전성 접착필름은 다양한 전자부품과 회로기판의 접속이나회로기판끼리의 접속 등에 사용할 수 있다. 이 경우, 접속대상으로 하는 회로기판으로서는 폴리에스테르계의 회로기판, 폴리이미드계의 회로기판 등을 들 수 있다.
특히, IC 칩 등의 반도체칩을 폴리에스테르계의 회로기판에 플립칩 실장하는 경우, 본 발명의 이방도전성 접착필름의 제 1 절연성 접착제층을 반도체칩측에 배치하고, 제 2 절연성 접착제층을 회로기판측에 배치하여 접속함으로써, 종래의 이방도전성 접착필름을 사용한 경우에 비해 접착성이나 도통신뢰성을 현저하게 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명은 이러한 접속방법이나 이러한 접속방법에 의해 접속된 접속구조체도 포함한다.
(실시예)
이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 구체적으로 설명한다.
실시예 1 ∼ 10, 비교예 1 ∼ 3
표 1 의 배합조성을 갖는 필름 1 ∼ 필름 5 를 표 2 또는 표 3 에 나타낸 두께로 제작하고, 얻어진 필름을 표 2 또는 표 3 에 나타낸 조합으로 중첩하고, 압착함으로써 이층구조의 이방도전성 접착필름을 제작하였다. 또, 각 필름 1 ∼ 5 을 열프레스에 의해 두께 50 ㎛ 의 필름형상으로 경화시키고, 경화 후의 탄성율 (℃) 을 동적 점탄성 측정장치 (오리엔테크사) 로 측정했다. 결과를 표 1 에 나타내었다.
평가
PET계의 기재필름 상에 점착제층을 통하여 알루미늄의 배선패턴이 형성되어있는 플렉시블 회로기판과 IC 칩 (4 ×4 ㎜□, IC 칩의 두께 t = 0.15 ㎜) 을 각 실시예 및 비교예의 이방도전성 접착필름을 통하여 가열가압 (200 ℃, 1N/범프, 10 초) 함으로써 접속하였다.
얻어진 접속구조체의 (1) 접착강도, (2) 도통신뢰성, (3) 내충격성을 다음과 같이 평가하였다. 결과를 표 2 및 표 3 에 나타낸다.
(1) 접착강도
IC 칩을 유리 상에 고정하고, 플렉시블 회로기판을 90。 방향으로 50 ㎜/min 의 인장속도로 박리하고, 이때의 박리강도를 측정하였다. 또, 박리강도가 4 N/㎝ 이상이면 충분한 접속신뢰성이 있고, 2 N/㎝ 이상이면 신뢰성은 다소 저하되지만 실용성이 있고, 2 N/㎝ 미만이면 불량인 것으로 평가하였다.
(2) 도통신뢰성
60 ℃ 의 온도 및 95 % 상대습도에서 500 시간 동안 에이징한 후의 저항치가 에이징 전의 초기 저항치의 2 배 미만인 경우를 O, 2 배 이상 5 배 미만인 경우를 △, 5 배 이상인 경우를 ×로 평가하였다.
(3) 내충격성
접속구조체의 IC 칩 주변에, 플라스틱제의 봉으로 1 N 정도의 가벼운 충격을 가한 후의 저항치가 가벼운 충격을 가하기 전의 초기 저항치의 2 배 미만인 경우를 ○, 2 배 이상 5 배 미만인 경우를 △, 5 배 이상인 경우를 ×로 평가하였다.
(단위 : 중량부)
성분 필름1 필름2 필름3 필름4 필름4
고형에폭시수지 (*1) 35
열잠재성 경화제 (*2) 65
아크릴 고무 (*3) 55
우레탄아크릴레이트 (*4) 30 40 15
다관능아크릴레이트 (*5) 10 25 40
페록사이드 화합물 (*6) 5
도전입자 (*7) 15
경화 후의 탄성율 (30℃)[GPa] 2 2×10-2 5×10-2 1×10-1 3×10-1
(*1) 유카쉘에폭시사, EP1009
(*2) 아사히치바사, HX3941HP
(*3) 테이코쿠카가쿠사, WS-023
(*4) 아라카와카가쿠코교사, 빔세트504H
(*5) 토아고세사, 아로닉스M315
(*6) 니혼유시사, 퍼큐어WO
(*7) Ni 입자, 입경 5㎛ 이하
실시예1 실시예2 실시예3 실시예4 실시예5 실시예6 실시예7
필름1 칩측25㎛ 칩측20㎛ 칩측15㎛ 칩측10㎛ 칩측5㎛ 칩측15㎛ 칩측15㎛
필름2 기판측5㎛ 기판측10㎛ 기판측15㎛ 기판측20㎛ 기판측25㎛ 기판측 기판측
필름3 기판측15㎛
필름4 기판측15㎛
필름5
필름 두께의 비(칩측/기판측)필름경화물 탄성율비(칩측/기판측) 5100 2100 1100 0.5100 0.2100 140 120
접착강도(N/cm)도통신뢰성내충격성 4.200 5.800 8.000 8.200 8.500 8.900 8.400
실시예8 실시예9 실시예10 비교예1 비교예2 비교예3
필름1 칩측27㎛ 칩측3㎛ 칩측15㎛ 기판측15㎛ 30㎛
필름2 기판측3㎛ 기판측27㎛ 칩측15㎛ 30㎛
필름3
필름4
필름5 기판측15㎛
필름 두께의 비(칩측/기판측)필름경화물 탄성율비(칩측/기판측) 9100 0.11100 16.7 10.01 -- --
접착강도(N/cm)도통신뢰성내충격성 3.2OO 8.7△△ 2.9OO 2.5×× 1.2OO 7.8××
표 2 및 표 3 의 결과로부터, 에폭시계의 필름 1 (탄성율 : 2 GPa) 을 단층으로 사용한 비교예 2 에서는 접착성이 낮고, 아크릴레이트계 필름 2 (탄성율 : 2×10-2GPa) 을 단독으로 사용한 비교예 3 에서는 도통신뢰성과 내충격성이 저하됨을 알 수 있다. 또, 필름 1 과 필름 2 의 이층구조로 한 경우에서도, 필름 1 을 기판측에 배치하고 필름 2 를 칩측에 배치하여 접속한 비교예 1 에서는, 접착강도가 비교적 낮고 도통신뢰성이나 내충격성도 저하됨을 알 수 있다.
이에 대해, 에폭시계의 필름 1 (탄성율 : 2 GPa) 을 칩측에 배치하고 아크릴레이트계의 필름 2 ∼ 5 (탄성율 : 2 ×10-2∼ 3 ×10-1GPa) 를 기판측에 배치하여 접속한 실시예 1 ∼ 10 에서는, 접착강도, 도통신뢰성 및 내충격성 모두 우수함을 알 수 있다. 특히, 탄성율의 비가 10 이상이며 두께 비가 0.15 이상 7 이하인 필름 1 과 필름 2 ∼ 5 로 접속한 실시예 1 ∼ 7 에서는, 접착강도, 도통신뢰성 및 내충격성이 좀더 우수함을 알 수 있다.
본 발명의 이방도전성 접착필름에 의하면, 폴리에스테르계의 플렉시블 회로기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우에서도, 높은 접착성이나 도통신뢰성을 얻는 것이 가능해진다.

Claims (9)

  1. 제 1 절연성 접착제층;
    경화 후의 탄성율이 상기 제 1 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율보다도 낮은 제 2 절연성 접착제층; 및
    상기 제 1 절연성 접착제층과 상기 제 2 절연성 접착제층 중 적어도 일방에 분산되어 있는 도전입자를 구비하는 것을 특징으로 하는 이방도전성 접착필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율 c1과 상기 제 2 절연성 접착제층의 경화 후의 탄성율 c2의 비 c1/c2가 10 이상인 것을 특징으로 하는 이방도전성 접착필름.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1절연성 접착제층의 두께 t1과 상기 제 2 절연성 접착제층의 두께 t2의 비 t1/t2가 0.15 이상 7 이하인 것을 특징으로 하는 이방도전성 접착필름.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 절연성 접착제층이 이미다졸계 잠재성 경화제를 사용한 열경화성에폭시계 접착제로 이루어지고,
    상기 제 2 절연성 접착제층이 페록사이드계 경화제를 사용한 열경화성 아크릴레이트계 접착제로 이루어진 것을 특징으로 하는 이방도전성 접착필름.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전입자가 상기 제 2 절연성 접착제층에 분산되어 있는 것을 특징으로 하는 이방도전성 접착필름.
  6. 반도체칩과 회로기판을 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 이방도전성 접착필름을 사용하여 전기적 기계적으로 접속하는 방법으로서,
    상기 이방도전성 접착필름의 제 1 절연성 접착제층을 상기 반도체칩측에 배치하고, 제 2 절연성 접착제층을 상기 회로기판측에 배치하는 것을 특징으로 하는 접속방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 회로기판이 폴리에스테르계의 회로기판인 것을 특징으로 하는 접속방법.
  8. 반도체칩과 회로기판을 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 이방도전성 접착필름을 사용하여 전기적 기계적으로 접속한 접속구조체로서,
    상기 이방도전성 접착필름의 제 1 절연성 접착제층의 경화물이 상기 반도체칩과 접착되고, 제 2 절연성 접착제층의 경화물이 상기 회로기판과 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 접속구조체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 회로기판이 폴리에스테르계의 회로기판인 것을 특징으로 하는 접속구조체.
KR1020010008613A 2000-02-25 2001-02-21 이방도전성 접착필름 KR100639083B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000050180A JP3491595B2 (ja) 2000-02-25 2000-02-25 異方導電性接着フィルム
JP2000-50180 2000-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010085434A true KR20010085434A (ko) 2001-09-07
KR100639083B1 KR100639083B1 (ko) 2006-10-27

Family

ID=18571998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010008613A KR100639083B1 (ko) 2000-02-25 2001-02-21 이방도전성 접착필름

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6592783B2 (ko)
JP (1) JP3491595B2 (ko)
KR (1) KR100639083B1 (ko)
CN (1) CN1190801C (ko)
TW (1) TWI244497B (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100754241B1 (ko) * 2006-02-24 2007-09-05 (주)에이치제이 도전성 시트 및 그의 제조방법
KR20140064651A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름, 접속 방법, 및 접합체
WO2014083875A1 (ja) * 2012-11-30 2014-06-05 三井金属鉱業株式会社 導電性フィルム及び電子部品パッケージ
KR20170053212A (ko) * 2015-11-05 2017-05-16 삼성디스플레이 주식회사 도전성 접착 필름 및 이를 이용한 전자기기의 접착 방법

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002226807A (ja) * 2001-01-31 2002-08-14 Hitachi Chem Co Ltd 回路接続用接着剤及びそれを用いた回路接続方法、接続構造体
JP2003049152A (ja) * 2001-08-02 2003-02-21 Hitachi Chem Co Ltd 回路接続用接着剤及びそれを用いた接続方法、接続構造体
TW557237B (en) * 2001-09-14 2003-10-11 Sekisui Chemical Co Ltd Coated conductive particle, coated conductive particle manufacturing method, anisotropic conductive material, and conductive connection structure
US7109588B2 (en) * 2002-04-04 2006-09-19 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for attaching microelectronic substrates and support members
CN1685388A (zh) * 2002-09-25 2005-10-19 西铁城时计株式会社 显示设备
JP3871634B2 (ja) * 2002-10-04 2007-01-24 シャープ株式会社 Cof半導体装置の製造方法
JP3755824B2 (ja) * 2003-03-04 2006-03-15 株式会社らいふ 複数電極接着用の電子部品とその実装方法
JP2005019393A (ja) * 2003-06-05 2005-01-20 Sharp Corp 異方性導電物、表示装置、表示装置の製造方法および導電部材
JP4282417B2 (ja) * 2003-09-12 2009-06-24 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 接続構造体
JP4191567B2 (ja) * 2003-09-18 2008-12-03 株式会社リコー 導電性接着剤による接続構造体及びその製造方法
TWI299502B (en) * 2004-01-05 2008-08-01 Au Optronics Corp Conductive material with a laminated structure
JP2005194393A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Hitachi Chem Co Ltd 回路接続用接着フィルム及び回路接続構造体
KR100601341B1 (ko) * 2004-06-23 2006-07-14 엘에스전선 주식회사 이방 도전성 접착제 및 이를 이용한 접착필름
EP1810334B1 (en) * 2004-11-11 2011-12-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for Manufacturing a Semiconductor Device
US8278751B2 (en) * 2005-02-08 2012-10-02 Micron Technology, Inc. Methods of adhering microfeature workpieces, including a chip, to a support member
US7605056B2 (en) 2005-05-31 2009-10-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing a semiconductor device including separation by physical force
US7452217B2 (en) * 2006-06-22 2008-11-18 Sankyo Kasei Co., Ltd. Connecting member for surface mounting circuit
WO2008012886A1 (fr) * 2006-07-26 2008-01-31 Panasonic Corporation Structure de connexion de cartes à circuits imprimés, procédé de connexion de cartes à circuits imprimés et appareil électronique
WO2008102476A1 (ja) * 2007-02-22 2008-08-28 Sharp Kabushiki Kaisha 電子回路装置、その製造方法及び表示装置
KR100844383B1 (ko) * 2007-03-13 2008-07-07 도레이새한 주식회사 반도체 칩 적층용 접착 필름
US8510935B2 (en) * 2007-07-10 2013-08-20 Joseph C Fjelstad Electronic assemblies without solder and methods for their manufacture
EP2180026A4 (en) * 2007-08-08 2012-05-30 Hitachi Chemical Co Ltd ADHESIVE COMPOSITION, FILM-TYPE LUBRICANT AND CONNECTING STRUCTURE FOR A SWITCHING ELEMENT
KR100929593B1 (ko) * 2007-09-20 2009-12-03 제일모직주식회사 이방 도전성 접착 조성물 및 그를 포함하는 이방 도전성 필름
US8017873B2 (en) * 2008-03-03 2011-09-13 Himax Technologies Limited Built-in method of thermal dissipation layer for driver IC substrate and structure thereof
JP5422921B2 (ja) * 2008-05-28 2014-02-19 デクセリアルズ株式会社 接着フィルム
JP5499448B2 (ja) * 2008-07-16 2014-05-21 デクセリアルズ株式会社 異方性導電接着剤
JP2011198779A (ja) * 2008-07-22 2011-10-06 Sharp Corp 電子回路装置、その製造方法及び表示装置
JP5402109B2 (ja) * 2009-02-27 2014-01-29 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及び発光装置
US8384121B2 (en) * 2010-06-29 2013-02-26 Cooledge Lighting Inc. Electronic devices with yielding substrates
KR101553436B1 (ko) * 2010-01-15 2015-09-15 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 접착제
DE102010011127A1 (de) 2010-03-11 2011-09-15 Bundesdruckerei Gmbh Klebstoffzusammensetzung für ein Sicherheits-und/oder Wertdokument mit einem Schaltkreis
US10141084B2 (en) * 2010-10-08 2018-11-27 Cheil Industries, Inc. Electronic device
EP2634818B1 (en) * 2010-10-26 2017-02-08 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Method for producing solar cell module
JP5695881B2 (ja) * 2010-10-28 2015-04-08 デクセリアルズ株式会社 電子部品の接続方法及び接続構造体
KR101332436B1 (ko) * 2010-12-06 2013-11-22 제일모직주식회사 이방 전도성 필름
WO2013036561A2 (en) * 2011-09-07 2013-03-14 Cooledge Lighting, Inc. Broad-area lighting systems
US9475963B2 (en) 2011-09-15 2016-10-25 Trillion Science, Inc. Fixed array ACFs with multi-tier partially embedded particle morphology and their manufacturing processes
KR20130091521A (ko) * 2012-02-08 2013-08-19 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전층을 포함하는 미세 전자 소자 및 미세 전자 소자 형성 방법
JP6064399B2 (ja) * 2012-07-12 2017-01-25 日立化成株式会社 回路接続部材、それを用いた回路接続方法及び回路接続構造体
TWI810551B (zh) 2012-08-24 2023-08-01 日商迪睿合股份有限公司 中間產物膜、異向性導電膜、連接構造體、及連接構造體之製造方法
KR20210064433A (ko) 2012-08-24 2021-06-02 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
KR102090456B1 (ko) 2012-11-30 2020-03-18 엘지디스플레이 주식회사 비 전도성 타입 접착수단과 이를 구비한 표시장치
US9365749B2 (en) 2013-05-31 2016-06-14 Sunray Scientific, Llc Anisotropic conductive adhesive with reduced migration
US9777197B2 (en) 2013-10-23 2017-10-03 Sunray Scientific, Llc UV-curable anisotropic conductive adhesive
JP6307308B2 (ja) * 2014-03-06 2018-04-04 デクセリアルズ株式会社 接続構造体の製造方法、及び回路接続材料
JP6432416B2 (ja) * 2014-04-14 2018-12-05 日亜化学工業株式会社 半導体装置
JP6398416B2 (ja) * 2014-07-22 2018-10-03 日立化成株式会社 接続構造体の製造方法及び接続構造体
JP6535989B2 (ja) * 2014-07-30 2019-07-03 日立化成株式会社 異方導電性フィルムの製造方法及び接続構造体
JP6394613B2 (ja) * 2015-01-13 2018-09-26 デクセリアルズ株式会社 異方導電性フィルム
JP5925928B1 (ja) * 2015-02-26 2016-05-25 日本航空電子工業株式会社 電気接続構造および電気接続部材
JP6750197B2 (ja) * 2015-07-13 2020-09-02 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及び接続構造体
EP3371855A1 (en) * 2015-11-04 2018-09-12 Google LLC Connectors for connecting electronics embedded in garments to external devices
JP2017157724A (ja) * 2016-03-02 2017-09-07 デクセリアルズ株式会社 表示装置及びその製造方法、並びに発光装置及びその製造方法
KR102559841B1 (ko) 2016-08-18 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법
CN114221146A (zh) * 2016-11-30 2022-03-22 迪睿合株式会社 导电粒子配置膜、其制造方法、检查探头单元、导通检查方法
US9929484B1 (en) * 2016-12-20 2018-03-27 General Electric Company Electrical connector design for isolating electrical contacts in medical devices
CN108913057B (zh) 2017-03-27 2023-11-10 昆山雅森电子材料科技有限公司 一种多层异向型导电布胶及其制作方法
WO2018225191A1 (ja) * 2017-06-07 2018-12-13 日立化成株式会社 半導体用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法及び半導体装置
US10795452B2 (en) * 2018-02-07 2020-10-06 Microsoft Technology Licensing, Llc Multi-stage cure bare die light emitting diode
WO2021213815A1 (en) * 2020-04-24 2021-10-28 Henkel Ag & Co. Kgaa Heat separable two-layer adhesive system and process of adhesive debonding using the same
EP4212949A1 (en) 2022-01-17 2023-07-19 Freshape SA Light driven electrochromic display

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI235759B (en) * 1996-07-15 2005-07-11 Hitachi Chemical Co Ltd Multi-layered adhesive for connecting circuit and circuit board
JP3179503B2 (ja) * 1996-08-08 2001-06-25 日東電工株式会社 異方導電性フィルムおよびその製造方法
JP3944795B2 (ja) * 1997-06-20 2007-07-18 日立化成工業株式会社 多層配線板
US6352775B1 (en) * 2000-08-01 2002-03-05 Takeda Chemical Industries, Ltd. Conductive, multilayer-structured resin particles and anisotropic conductive adhesives using the same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100754241B1 (ko) * 2006-02-24 2007-09-05 (주)에이치제이 도전성 시트 및 그의 제조방법
KR20140064651A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름, 접속 방법, 및 접합체
WO2014083875A1 (ja) * 2012-11-30 2014-06-05 三井金属鉱業株式会社 導電性フィルム及び電子部品パッケージ
KR20170053212A (ko) * 2015-11-05 2017-05-16 삼성디스플레이 주식회사 도전성 접착 필름 및 이를 이용한 전자기기의 접착 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN1190801C (zh) 2005-02-23
CN1311511A (zh) 2001-09-05
JP3491595B2 (ja) 2004-01-26
JP2001240816A (ja) 2001-09-04
TWI244497B (en) 2005-12-01
US20030102466A1 (en) 2003-06-05
KR100639083B1 (ko) 2006-10-27
US6592783B2 (en) 2003-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100639083B1 (ko) 이방도전성 접착필름
JP3530980B2 (ja) 接着構造、液晶装置、及び電子機器
KR20080046133A (ko) 플렉서블 프린트배선판 및 그 제조방법
JPH11329069A (ja) 異方導電性接着フィルム
JPH08148213A (ja) 接続部材、該接続部材を用いた電極の接続構造及び接続方法
JPH07157720A (ja) 異方導電フィルム
JP3622792B2 (ja) 接続部材及び該接続部材を用いた電極の接続構造・接続方法
JP3876993B2 (ja) 接着構造、液晶装置、及び電子機器
JP5082296B2 (ja) 配線付き接着剤及び回路接続構造
JP2008124029A (ja) 接続部材
JPH09147928A (ja) 接続部材
JP4155470B2 (ja) 接続部材を用いた電極の接続法
JPS63110506A (ja) 異方性導電シ−ト
JP3783791B2 (ja) 接続部材および該接続部材を用いた電極の接続構造・接続方法
JP2008112732A (ja) 電極の接続方法
JP4181239B2 (ja) 接続部材
JP4572929B2 (ja) 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JP4670859B2 (ja) 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JPH08148210A (ja) 接続部材
JP6286473B2 (ja) 接合体
JP4760992B2 (ja) 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JP4760993B2 (ja) 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JP5924896B2 (ja) 接合体の製造方法
JP4670858B2 (ja) リペア性の付与方法及び接続部材
JP4670857B2 (ja) リペア性の付与方法及び接続部材

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121002

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131001

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141007

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150918

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160921

Year of fee payment: 11

LAPS Lapse due to unpaid annual fee