KR20010052047A - 연삭휠을 수용하기 위한 케이스 - Google Patents

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KR20010052047A
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세키야 겐이치
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Abstract

환상지지부재와 지지부재의 하단면에 배설된 연삭수단으로 구성된 연삭휠을 수용하기 위한 케이스. 케이스는 제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재를 포함하고, 그 제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재는 힌지부재를 통해서 상대적으로 선회가능하게 연결되어 있어서, 협동해서 닫힌 수용공간을 규정하는 폐상태와 수용공간을 개방하는 개상태로 선택적으로 설정하게 된다. 제 1 케이스부재에는 수용수단이 배설되어 있고 제 2 케이스부재에는 구속수단이 배설되어 있다. 제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재를 연삭수단에 접촉시키는 일 없이, 수용수단과 구속수단 사이에 지지부재를 파지해서 수용공간내로 연삭휠이 수용된다.

Description

연삭휠을 수용하기 위한 케이스{CASE FOR STORING A GRINDING WHEEL}
본 발명은 반도체 웨이퍼의 이면을 연삭하기 위해 바람직하게 사용되는 연삭휠을 수용하기 위한 케이스에 관한 것이다.
당업자에게는 주지된 바와 같이, 반도체 웨이퍼의 이면을 연삭하기 위한 공구로서 지지부재와 연삭수단(grinding means)으로 구성된 연삭휠이 적절하게 사용되고 있다. 알루미늄같은 적당한 금속으로 형성하는 것이 가능한 지지부재는 환상으로 상단면, 하단면, 외주면 및 내주면을 갖는다. 지지부재의 하단면에 고정된 연삭수단은 원주방향으로 간격을 두고 배치된 복수개의 원호상 연삭편, 또는 환상으로 연속해서 연장되어 있는 단일의 연삭편으로 형성하는 것이 가능하다. 연삭편은 다이아몬드 숫돌입자(diamond grains)를 레진본드(resin bond)와 같은 적당한 고착재료(bonding material)로 고착(bond)하는 것에 의해 적절하게 형성할 수 있다.
상술한 형태의 연삭휠은 통상 케이스에 수용되어 보관되고, 또는 유통되고 있다. 케이스의 전형적인 예는 상면이 개방된 장방형 형상의 박스부재와 이 박스부재에 조합되어 있는 덮개부재의 상면을 닫는 덮개부재를 포함하고 있다. 박스부재와 덮개부재는 각각 별개로 발포스티롤 같은 발포 합성수지로 형성되어 있다. 연삭휠을 필요에 따라 합성수지필름 같은 적당한 필름으로 감싸서 박스부재에 수용하고, 이어서 박스부재에 덮개부재를 조합한다.
그러나 상술한 형태인 종래의 케이스에는, (1) 반도체 웨이퍼의 이면 연삭은 소위 클린룸 내에서 수행되는 것이 적지 않지만, 발포 합성수지제의 박스부재 및/또는 덮개부재를 취급할 때의 마찰 등으로 인해서 박스부재 및/또는 덮개부재에서 분진, 결손편 등이 생성되어, 클린룸이 오염될 우려가 있고, (2) 발포 합성수지제의 박스부재 및 덮개부재의 강도를 충분하게 하기 위해서는 박스부재 및 덮개 부재의 두께를 상당히 두껍게 해야될 필요가 있고, 이것에 기인해서 케이스의 부피가 커지고, (3) 케이스 내에 연삭휠을 수용한 상태에서는 연삭휠을 볼 수 없고, (4) 박스부재 및/또는 덮개부재의 변형에 기인해서 박스부재 및/또는 덮개 부재의 내면이 연삭휠의 연삭수단에 접촉하고, 이것에 의해서 연삭수단이 손상될 우려가 있고, (5) 연삭휠을 수용한 케이스를 연직방향으로 복수개를 겹쳐 쌓아 놓는 경우, 비교적 작은 외력에 의해 케이스가 서로 어긋나게 겹쳐 쌓여 훼손될 우려가 있고, (6) 박스부재에 단지 덮개부재를 조합한 것만으로는 박스부재에서 덮개부재가 우발적으로 이탈될 우려가 있고, 그런 이유로 박스부재에 덮개부재를 조합한 후에 예를 들면 합성수지 테이프로 감싸는 것에 의해서 박스부재와 덮개부재를 일체적으로 보지하는 것이 필요한 등의 해결해야 할 문제가 있다.
본 발명의 주요한 목적은 연삭휠을 수용하기 위한 종래의 케이스에 존재하는 상술의 문제를 적어도 몇가지를 해결하는 신규하고 개량된 연삭휠을 수용하기 위한 케이스를 제공하는 것이다.
도 1은 케이스에 수용되는 연삭휠의 전형적인 예와 함께 본 발명에 따라 구성된 케이스의 바람직한 실시 형태를 개방상태로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 연삭휠의 단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 케이스를 폐상태에서 내부에 수용한 연삭휠과 함께 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 케이스의 폐상태를 제 2 케이스부재측에서 본 사시도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 케이스의 폐상태를 제 1 케이스부재측에서 본 사시도이다.
도 6은 도 1의 케이스에 사용되는 보조부재를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 1에 나타낸 케이스내에 보조부재를 사용해서 소형 연삭휠을 수용한 상태를 나타낸 부분사시도이다.
도 8은 도 1에 나타낸 케이스에 보조부재를 장착하는 양식을 나타낸 부분 단면도이다.
도 9는 도 1에 나타낸 케이스를 종배치한 상태로 나타낸 측면도이다.
도 10은 도 1에 나타낸 케이스를 복수개 병렬시킨 상태를 나타낸 정면도이다.
도 11은 도 1에 나타낸 케이스를 복수개 쌓아놓은 상태를 나타낸 정면도이다.
〈부호의 설명〉
2, 102 : 연삭휠 4, 104 : 지지부재
6 : 연삭수단 8, 108 : 상단면
10 : 하단면 12 : 외주면
14, 114 : 내주면 16, 116 : 경사면
18 : 연직면 20 : 연삭편
22 : 케이스 24 : 제 1 케이스부재
26 : 제 2 케이스부재 28 : 힌지부재
32, 64 : 주벽 32a, 34a, 64a, 66a : 전반부
32b, 64b : 후반부 34, 66 : 측벽
34b, 66b : 측부 34c, 66c : 후단부
36, 68 : 원형오목부 38a, 38b : 원호상 돌출림
40 : 수용편 42 : 수용홈
44, 74 : 돌출영역 46 : 침강영역
48, 52, 76 : 견면 50, 54, 60 : 몰입부
56 : 원호상편 58, 84 : 기둥
62 : 회동방지 돌기부 70 : 구속편
72, 74 : 경사연 73 : 접속벽
78 : 돌출편 80 : 슬릿
82 : 판상편 103 : 보조부재
105 : 주부 107 : 작용편
본 발명에 의하면 상기의 주요한 목적을 달성하는 연삭휠을 수용하기 위한 케이스로서 상단면, 하단면, 외주면 및 내주면을 갖는 환상 지지부재와 그 지지부재의 하단면에 배설된 연삭수단으로 구성된 연삭휠을 수용하기 위한 케이스에 있어서,
제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재를 포함하고, 그 제 1 케이스부재와 그 제 2 케이스부재는 힌지부재를 통해서 상대적으로 선회가능하게 연결되어 있어서, 협동작용에 의해 닫힌 수용공간을 규정하는 폐상태와 그 수용공간을 개방하는 개상태로 선택적으로 설정하게 되고,
그 제 1 케이스부재에는 수용수단이 배설되어 있고, 그 제 2 케이스부재에는 구속수단이 배설되어 있고,
그 제 1 케이스부재와 그 제 2 케이스부재를 개상태로 해서 그 제 1 케이스부재의 그 수용수단 위에 그 지지부재의 그 상단면을 위치시키고, 이어서 그 제 1 케이스부재와 그 제 2 케이스부재를 그 폐상태로 하게 하면 그 제 2 케이스부재의 그 구속수단이 그 지지부재의 그 내주면, 그 하단면 및 그 외주면의 어딘가에 접하고, 이에 의해 그 제 1 케이스부재와 그 제 2 케이스부재를 그 연삭수단에 접촉시키는 일 없이 그 수용수단과 그 구속수단의 사이에 그 지지부재를 파지해서 그 수용공간내로 그 연삭휠이 수용되는 것을 특징으로하는 케이스가 제공된다.
그 제 1 케이스부재, 그 제 2 케이스부재 및 그 힌지부재는 투명 내지 반투명의 합성수지로 일체로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 바람직한 실시형태에 있어서, 그 제 1 케이스부재는 주벽와 그 주벽의 외주연에서 돌출한 측벽을 갖고, 그 주벽의 내면에 원주방향으로 간격을 두고 복수개의 수용편이 배설되어 있고, 그 수용편의 각각의 상면이 그 수용수단을 구성한다. 그 지지부재의 그 내주면은 그 하단면에서 그 상단면을 향해서 반경반향 내방으로 경사진 경사면을 포함하고, 그 제 2 케이스부재의 그 구속수단은 선단을 향해서 반경방향 내방으로 경사지게 연장된 구속면을 갖고 있고, 그 구속면이 그 지지부재의 그 경사면에 접하게 된다. 그 제 2 케이스부재는 주벽과 그 주벽의 외주연에서 돌출한 측벽을 갖고, 그 구속수단은 그 주벽의 내면에 원주방향으로 간격을 두고 배설된 복수개의 구속편으로 구성되어 있다. 그 제 1 케이스부재에는 반경방향 두께가 비교적 큰 지지부재를 수용하기 위한 제 1 수용수단과, 반경방향 두께가 비교적 작은 지지부재를 수용하기 위한 제 2 수용수단이 배설되어 있고, 그 제 2 케이스부재에는 반경방향의 두께가 비교적 큰 지지부재의 내주면, 하단면 및 외주면의 어딘가에 접하는 제 1 구속수단이 배설됨과 동시에 반경방향 두께가 비교적 작은 지지부재의 내주면, 하단면 및 외주면의 어딘가에 접하는 제 2 구속수단을 구성하는 보조부재가 착탈가능하게 장착된다. 바람직하게는 그 제 1 케이스부재는 주벽과 그 주벽의 외주연에서 돌출한 측벽을 갖고, 그 주벽의 내면에는 원주방향으로 간격을 두고 복수개의 수용편이 배설되어 있고, 그 수용편의 각각의 상면 중앙부에는 수용홈이 형성되어 있고, 그 수용편의 각각의 상면이 그 제 1 수용수단을 구성하고, 그 수용편의 각각의 그 수용홈이 그 제 2 수용수단을 구성한다. 그 제 1 케이스부재는 반원형상의 전반부 및 그 전반부의 직선부위에 이어진 장방형 형상의 후반부를 갖는 주벽과 그 주벽의 외주연에서 돌출한 측벽을 갖고, 그 제 2 케이스부재도 그 제 1 케이스부재의 그 주벽에 대응해서 반원형상의 전반부 및 그 전반부의 직선부위에 이어진 장방형 형상의 후반부를 갖는 주벽과 그 주벽의 외주연에서 돌출한 측벽을 갖고, 그 힌지부재는 그 제 1 케이스부재의 그 측벽의 후단 상단부와 그 제 2 케이스부재의 그 측벽의 후단상단을 연결하고 있는 것이 바람직하다. 그 제 1 케이스부재의 그 측벽에서의 전단부와 그 제 2 케이스부재의 그 측벽에서의 전단부에는 상호 협동해서 그 제 1 케이스부재와 그 제 2 케이스부재를 그 폐상태로 해제가능하게 고정하는 고정수단을 배설할 수 있다. 그 수용공간내에 연삭휠을 수용해 그 제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재를 그 폐상태로 하면, 연삭휠을 수용한 케이스의 중심은 그 제 1 케이스부재의 그 주벽의 그 전반부 및 그 제 2 케이스부재의 그 주벽의 그 전반부의 반원형상의 기하학적 중심보다도 후방에 위치하는 것이 바람직하다. 그 제 1 케이스부재의 그 측벽에서의 양측 직선부의 외면 및/또는 그 제 2 케이스부재의 그 측벽의 양측 직선부의 외면에는 회동방지돌기부를 배설하는 것이 가능하다. 바람직한 실시형태에 있어서는, 그 제 1 케이스부재의 그 주벽의 외면과 그 제 2 케이스 부재의 그 주벽의 외면의 어딘가의 일방에는 양측연이 직선상인 돌출영역이 형성되어 있고, 타방에는 그 돌출영역에 대응해서 양측이 직선상인 동시에 전단연 및 후단연이 개방되어 있는 침강영역이 형성되어 있다.
이하 첨부도면을 참조해서 본 발명에 따라 구성된 케이스의 바람직한 실시형태에 대해서 더욱 상세하게 설명한다.
도 1에는 연삭휠의 전형적인 예와 그 연삭휠을 수용하기 위한 본 발명에 따라 구성된 케이스의 바람직한 실시형태가 도시되어 있다(연삭휠은 도립상태로 도시되어 있다).
먼저, 도 1과 함께 도 2를 참조하여 전체를 도면부호 2 로 나타낸 연삭휠에 대해서 설명하면, 도시된 연삭휠(2)은 환상지지부재(4)와 연삭수단(6)으로 구성되어 있다. 알루미늄같은 적당한 금속재료로 형성할 수 있는 지지부재(4)의 단면형상은 거의 사다리꼴형상이고, 지지부재(4)는 상단면(8), 하단면(10), 외주면(12) 및 내주면(14)을 갖고 있다. 상단면(8) 및 하단면(10)은 서로 평행하게 그리고 실질적으로 수평으로 연장된 평탄면이다. 외주면(12)은 실질적으로 연직으로 연장되어 있다. 내주면(14)은 하단면(10)에서 상단면(8)을 향해서 반경방향으로 경사지게 연장되어 있는 경사면(16)과 이 경사면(16)에 이어서 실질적으로 연직으로 연장된 연직면(18)을 포함하고 있다. 연삭수단(6)은 지지부재(4)의 하단면(10)에 원주방향으로 간격을 두고 고정된 복수개의 연삭편(20)으로 구성되어 있다. 연삭편(20)의 각각은 원호상으로 연장되어 있고, 장방형 형상의 단면형상을 갖는다. 연삭편(20)의 각각은 다이아몬드 숫돌입자를 적당한 고착재료, 예를 들면 레진본드로 고착하는 것에 의해 적절하게 형성할 수 있다. 이러한 연삭편(20)은 지지부재(4)와는 별개로 연삭편(20)을 형성해서 지지부재(4)의 하단면(10)에 접착하는 것이 가능하다. 필요한 경우 원호상으로 연장된 복수개의 연삭편(20)을 대신해서 환상으로 연속해서 연장된 단일의 연삭편을 지지부재(4)의 하단면(10)에 배설(配設)하는 것도 가능하다.
상술한 바와 같은 연삭휠(2)은 당업자에게는 주지된 바와 같이, 그 지지부재(4)를 실질적으로 연직으로 연장된 회전지지축(도시하지 않음)의 하단에 고정하고, 고속회전하게 하면서 그 연삭수단(6)을 반도체 웨이퍼(도시하지 않음)의 이면에 작용시켜 반도체 웨이퍼의 이면을 연삭한다.
도 1과 도 3을 참조해서 설명을 계속하면, 전체를 도면부호 22 로 나타낸 도시된 케이스는 제 1 케이스부재(24), 제 2 케이스부재(26) 및 힌지부재(28)를 포함하고 있다. 케이스(22)의 제 1 케이스부재(24), 제 2 케이스부재(26) 및 힌지부재(28)는 폴리프로필렌 또는 폴리에틸렌 같은 적당한 합성수지로 일체로 성형되어 있다. 기계적 강도 및 재활용면에서 폴리프로필렌이 특히 바람직하다. 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)는 힌지부재(28)를 통해서 서로 선회가능하게 연결되어 있어, 도 1에 실선으로 나타냄과 동시에 도 3에 이점쇄선으로 나타낸 개상태(開狀態)와 도 3에 실선으로 나타낸 폐상태(閉狀態)로 선택적으로 설정된다. 제 1 케이스부재(24), 제 2 케이스부재(26) 및 힌지부재(28)는 케이스(22) 내에 수용되어 있는 연삭휠(2)을 케이스(22)의 외부에서 볼 수 있도록 투명 내지 반투명인 것이 적절하다. 뒤에 다시 언급하는 바와 같이, 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)가 상기 폐상태로 되면 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)는 협동해서 연삭휠(2)을 수용하기 위한 닫힌 수용공간을 규정하고, 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)가 상기 개상태로 되면 상기 수용공간이 개방된다.
제 1 케이스부재(24)는 주벽(32)과 측벽(34)으로 구성되어 있다. 주벽(32)은 반원형상의 전반부(32a)와 이 전반부(32a)의 직선부위에 이어진 장방형 형상의 후반부(32b)를 갖는다. 주벽(32)의 중앙부에는 내측, 즉 도 1 및 도 3에 있어서 상방에 몰입(沒入)하는 원형오목부(36)가 형성되어 있다. 이 원형오목부(36)는 주벽(32)의 외면에 원형상의 오목부를 규정하지만(도 5 참조), 주벽(32)의 내면에는 원형상의 볼록부를 규정한다. 원형오목부(36)는 주벽(32)의 반원형상의 전반부(32a)와 실질적으로 동심상(同心狀)이다. 원형오목부(36)의 외주연부(外周緣部)에는 원호상으로 연장된 원호상 돌출림(38a 및 38b)이 형성되어 있다. 원호상 돌출림(38a 및 38b)의 사이에 있어서, 원형오목부(36)의 외주연부는 원형오목부(36)의 주부 상면과 동일 평면을 이루고 있다. 주벽(32)의 내면에는 원형오목부(36) 주위에 원주방향으로 간격을 두고 배치된 복수개(도시된 경우는 8개)의 수용편(40)이 형성되어 있다. 수용편(40)의 각각은 원형오목부(36)와 측벽(34)의 사이를 방사상으로 연장하는 판형상이고, 그 상단 중앙부에는 장방형으로 잘라낸 수용홈(42)이 형성되어 있다. 뒤의 설명에서 명확하게 이해되는 바와 같이, 수용편(40)의 상단(수용홈(42)의 부분을 제외)은 도 1에 도시한 연삭휠(2)의 지지부재(4)가 장착되는 제 1 수용수단을 구성한다. 또 수용편(40)의 각각의 상단에 형성되어 있는 수용홈(42)은 도 1에 도시한 연삭휠(2) 보다도 작은 연삭휠(102)(도7)을 케이스(22)내에 수용할 때에 연삭휠(102)의 지지부재(104)(도7)가 장착되는 제 2 수용수단을 구성한다. 도 5를 참조하여 명확히 알 수 있는 바와 같이, 주벽(32)의 양측 단부에는 외방으로 약간 변위된 돌출영역(44)이 형성되어 있고, 그런 돌출영역(44) 사이에 침강영역(46)이 규정되어 있다. 침감영역(46) 양측은 전후방향으로 직선상으로 연장되어 있고, 침강영역(46)의 전단부 및 후단부는 개방되어 있다(침강영역(46)의 기능에 대해서는 후술한다).
제 1 케이스부재(24)의 측벽(34)은 주벽(32)의 외주연(外周緣)에서 직립하게 되어 있고, 반원형상으로 연장된 전반부(34a), 이 전반부(34a)의 양단에서 후방으로 직선상으로 연장된 2개의 직선상 양측부(34b) 및 직선상 양측부(34b) 사이를 연장하는 후단부(34c)를 포함하고 있다. 그런 측벽(34)은 그 전반부(34a)의 중앙 전단부를 제외하고 선단부가 약간 얇은 두께로 되어있고, 측벽(34)의 내면은 기단에서 선단까지 실질적으로 연직으로 연장된 면이지만, 측벽(34)의 외면에는 그 전반부(34a)의 중앙 전단부를 제외하고 연속해서 연장된 견면(肩面)(48)이 형성되어 있다. 측벽(34) 전반부(34a)의 중앙 전단부에는 견면(48)보다도 하방에서 내벽으로 변위하게된 몰입부(沒入部)(50)가 형성되어 있고, 측벽(34) 전반부(34a)의 중앙 전단부에는 상방을 향한 실질적으로 수평인 견면(52)이 형성되어 있다. 몰입부(50)의 상방에 있어서는 원주방향으로 간격을 두고 2개의 작은 몰입부(沒入部)(54)가 형성되어 있고, 그런 몰입부(54)의 사이에 원호상편(56)이 규정되어 있다(뒤의 설명에서 명확해 지는 바와 같이, 이 원호상편(56)은 고정수단을 구성한다). 측벽(34)의 내면에는 전반부(34a)와 양측부(34b)의 경계영역에 있어서 연직으로 연장된 기둥(58)이 형성되어 있다. 그런 기둥(58)에는 그 상면에서 하방으로 연장된 막힌 구멍이 형성되어 있다. 도 1 및 도 3과 함께 도 5를 참조함으로써 명확히 이해되는 바와 같이, 측벽(34)의 후단부(34c)의 중앙하반부에는 내측으로 변위되어진 장방형 형상의 몰입부(沒入部)(60)가 형성되어 있다. 더욱이 도시된 실시형태에 있어서, 측벽(34)의 양측부(34b)의 각각의 외면으로 실질적으로 연직으로 연장된 회동 방지돌기부(62)가 각각 2개 형성되어 있다.
도 1 및 도 3을 참조해서 설명을 계속하면, 제 2 케이스부재(26)도 주벽(64)과 측벽(66)으로 구성되어 있다. 제 1 케이스부재(24)의 주벽(32)과 마찬가지로 주벽(64)은 반원형상의 전반부(64a)와 그 전반부(64a)의 직선상 부위에 이어진 장방형 형상의 후반부(64b)를 갖는다. 주벽(64)의 중앙부에는 내측 즉, 도 1에 있어서 상방, 도 3에 있어서 하방으로 몰입하는 원형오목부(68)가 형성되어 있다. 원형오목부(68)의 직경은 상술한 제 1 케이스부재(24)의 주벽(32)에 형성되어 있는 원형오목부(36)의 직경보다도 약간 크다. 원형오목부(68)는 주벽(64)의 외면에 원형상의 오목부를 규정하지만(도 4 참조), 주벽(64)의 내면에는 원형상의 볼록부를 규정한다. 원형오목부(68)는 주벽(64)의 반원형상의 전반부(64a)와 실질적으로 동심상이다. 원형오목부(68)의 내면 외주연부(外周緣部)에는 복수개의 구속편(70)이 형성되어 있다. 도시된 실시형태에 있어서는 원주방향에 비교적 큰 간격을 두고 6쌍의 구속편(70)이 형성되어 있다. 각 쌍을 구성하는 2개의 구속편(70)은 서로 근접해서 위치하게 되어 있다. 구속편(70)의 각각은 원형오목부(68)의 내면 외주연부에서 내측 즉, 도 1에 있어서는 상방, 도 3에 있어서는 하방으로 돌출되어 있는 판상이다. 그런 구속편(70)의 각각은 내측을 향해서 반경방향 내방으로 경사지게 연장된 경사연(72)를 갖고, 뒤에 설명에서 명확히 이해되는 대로, 그런 경사연(傾斜緣)(72)이 연삭휠(2)의 지지부재(4)에 작용하는 구속면을 구성한다. 도 1 및 도 3과 함께 도 8을 참조하여 이해되는 바와 같이, 서로 근접해서 위치하여 쌍을 구성하는 2개의 구속편(70)은 접속벽(73)에 의해서 서로 접속되어 있다. 도 4에 명확히 도시된 바와 같이, 주벽(64)은 상기 원형오목부(68)의 외측영역에 있어서 외방으로 약간 변위 되어 있고, 돌출영역(74)이 규정되어 있다. 이 돌출영역(74)은 주벽(64)의 외형과 서로 닮은 형상이고, 그 양측 후반부는 실질적으로 직선상으로 연장되어 있다. 그런 양측 후반부의 폭은 상기 제 1 케이스부재(24)의 외면에 형성되어 있는 침강영역(46)의 폭에 대응하게 되어 있다.
제 2 케이스부재(26)의 측벽(66)도 주벽(64)의 외주연(外周緣)에서 직립하게 되어 있고, 반원형상으로 연장된 전반부(66a), 이 전반부(66a)의 양단에서 후방으로 직선상으로 연장된 2개의 직선상 양측부(66b) 및 직선상 양측부(66b) 사이를 연장하는 후단부(66c)를 포함하고 있다. 그런 측벽(66)은 그 전반부(66a)의 중앙 전단부를 제외하고 선단부가 약간 얇은 두께로 되어 있고, 측벽(66)의 외면은 기단에서 선단까지 실질적으로 연직으로 연장된 면이 있지만, 측벽(66)의 내면에는 그 전반부(66a)의 중앙 전단부를 제외하고 연속해서 연장된 견면(76)이 형성되어 있다. 측벽(66)의 전반부(66a)의 중앙 전단부에는 도 1에 있어서 상방, 도 3에 있어서 하방으로 돌출한 돌출편(78)이 형성되어 있다. 이 돌출편(78)에는 원주방향으로 가늘고 길게 연장된 슬릿(80)이 형성되어 있다. 뒤에 다시 언급하는 바와 같이, 슬릿(80)은 제 1 케이스부재(24)에서의 상기 원호상편(56)에 대응하게 되고, 슬릿(80)과 원호상편(56)은 협동해서 고정수단을 구성한다. 측벽(66)은 전반부(66a)의 중앙 전단부의 내면에는 원주방향으로 간격을 두고 실질적으로 연직으로 연장되는 판상편(82)이 형성되어 있다. 측벽(66)의 내면에는 전반부(66a)와 양측부(66b)의 경계영역에 있어서 연직으로 연장되는 원통형상의 기둥(84)이 형성되어 있다. 그런 기둥(84)은 측벽(66)의 내면에 형성되어 있는 상기 견면(76)을 약간 넘어서 돌출하게 되어있다. 더욱이 측벽(66)의 양측부(66b)의 각각의 외면에는 실질적으로 연장되는 회동방지 돌기부(86)가 각각 2개 형성되어 있다.
힌지부재(28)는 제 1 케이스부재(24)에서의 측벽(34)의 후단부(34c)의 외면과 제 2 케이스부재(26)에서의 측벽(66) 후단부(66c)의 외면 사이를 접속하는 얇은 두께의 판상편으로 구성되어 있고, 힌지부재(28)가 그 길이방향으로 연장된 선회축선을 중심으로 휘는 것에 의해 제 1 케이스부재(24)와 제 2케이스부재(26)가 상호 선회하게 되고, 이것에 의해서 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)가 도 1에 실선으로 도시됨과 함께 도 3에서 이점쇄선으로 도시한 개상태와 도 3에 실선으로 도시한 폐상태로 선택적으로 설정된다.
도 1 내지 도 3을 참조해서 설명을 계속하면, 케이스(22)내에 연삭휠(2)을 수용할 때에는 연삭휠(2)은 도립상태, 즉 그 지지부재(4)의 상단면(8)을 하방으로 향하게 한 상태에서, 그 지지부재(4)의 상단면(8)을 제 1 케이스부재(24)의 수용편(40) 위에 위치시켜, 제 1 케이스부재(24) 내에 장착된다. 이어서 제 2 케이스부재(26)를 도 3에 이점쇄선으로 나타낸 개위치에서 도 3에 실선으로 나타낸 위치로 선회시켜 케이스(22)를 폐상태로 하게 한다. 제 2 케이스부재(26)를 폐위치로 선회시키면, 제 1 케이스부재(24)의 측벽(34)에서의 얇은 두께의 선단부와 제 2 케이스부재(26)의 측벽(66)에서의 얇은 두께의 선단부가 서로 겹쳐져, 제 2 케이스부재(26)의 측벽(34)의 선단연(先端緣)이 제 2 케이스부재(26)의 측벽(66)의 견면(76)에 접촉 또는 근접하게 되고, 제 2 케이스부재(26)의 측벽(66)의 선단연이 제 1 케이스부재(24)의 측벽(34)의 견면(48)에 접촉 또는 근접하게 된다. 제 2 케이스부재(26)에 형성되어 있는 돌출편(78)은 약간 외방으로 탄성 변형해서 그 선단부가 제 1 케이스부재(24)에 형성되어있는 원호상편(56)을 통과하고, 그리고 원호상편(56)이 돌출편(78)의 슬릿(80)내에 삽입되서 돌출편(80)이 탄성적으로 원래의 상태로 복원되고, 이렇게 해서 제 1 케이스부재(24)에 대해서 제 2 케이스부재(26)가 폐위치로 해제가능하게 고정된다. 더욱이 제 2 케이스부재(26)의 판상편(82)의 선단연(도 3에 있어서 하단연)이 제 1 케이스부재(24)의 몰입부(50)에 의해서 규정되어 있는 견면(52)에 접촉 내지 근접하게 된다. 또한 제 2 케이스부재(26)에 배설되어 있는 기둥(84)의 선단부가 제 1 케이스부재(24)에 배설되어 있는 기둥(58)의 막힌 구멍 내에 삽입된다. 이렇게 해서 제 1 케이스부(24)와 제 2 케이스부재(26)가 소요대로, 폐상태로 서로 충분히 정밀하게 위치잡게 된다.
도 1과 함께 도 3을 참조하여 이해되는 바와 같이, 제 2 케이스부재(26)가 폐위치로 선회하게 되면, 제 2 케이스부재(26)에 배설되어 있는 복수개의 구속편(70)의 경사연(72)이 제 1 케이스부재(24)의 수용편(40) 상에 장착되어 있는 연삭휠(2)의 지지부재(4)에서의 내주면(14)의 경사면(16)에 접촉하게 된다. 이렇게 해서 연삭휠(2)의 지지부재(4)가 제 1 케이스 부재(24)의 수용편(40)과 제 2 케이스부재(26)의 구속편(72)의 사이에 파지된다. 도 3을 참조하여 명확히 이해되는 바와 같이, 제 1 케이스부재(24) 및 제 2 케이스부재(26)의 어느 부위도 연삭휠(2)이 연삭수단(6)에 접촉되는 경우가 없고, 따라서 케이스(22)내에 연삭휠(2)을 수용할 때에 연삭수단(6)이 손상될 우려가 없다. 연삭휠(2)을 소요대로 수용해서 제 1 케이스부재(24)와 제 2 케이스부재(26)를 폐상태로 되게 할 때, 제 1 케이스부재(24)의 원형오목부(36)와 제 2 케이스(26)의 원형오목부(68)의 사이에는 약간의 간격이 잔류하게 되어 있다. 따라서 예를 들면 연삭휠(2)의 특성 등을 표시한 지편(紙片)을 원형오목부(36)와 원형오목부(68) 사이의 공간, 특히 원형오목부(36)에 형성되어 있는 원호상돌출림(38a 및 38b)의 내측에 규정되어 있는 공간에 수용할 수 있다.
도시된 실시형태에 있어서, 제 2 케이스부재(26)를 폐위치로 선회시키면, 제 2 케이스부재(26)의 구속편(72)이 연삭휠(2)의 지지부재(4)에서의 내주면(14)의 경사면(16)에 접하게 되지만, 필요한 경우 연삭휠(2)의 지지부재(4)에서의 내주면(14)의 다른 부분, 또는 지지부재(4)의 하단면(10) 혹은 외주면(12)에 접하는 구속편을 제 2 케이스부재(26)에 배설할 수 있다.
도시한 케이스(22)는 도 1 내지 도 3에 도시한 연삭휠(2)을 대신해서 도 1 내지 도 3에 도시한 연삭휠(2) 보다도 소형이고, 도 1 내지 도 3에 도시한 연삭휠(2)과 거의 서로 닮은 형상을 이루는 소형 연삭휠(102)(도7)을 선택적으로 수용하는 것도 가능하도록 구성되어 있다. 도 6은 소형 연삭휠(102)을 수용할 때에 보조적으로 사용되는 보조부재(103)를 도시하고 있다. 폴리프로필렌 또는 폴리에틸렌 같은 적당한 합성수지로 형성할 수 있는 보조부재(103)는 환상판형상인 주부(105)와 이 주부(105)에 원주방향으로 간격을 두고 배치된 복수개(도시된 실시형태는 6개)의 작용편(107)을 갖는다. 작용편(107)의 각각은 주부(105)의 편면측에 돌출한 편측부와 타면측에서 돌출한 타측부를 갖는다. 작용편(107)의 각각은 전체가 반원판형상이고, 그 내측연은 직선상이고, 그 외측연은 반원상이다. 소형 연삭휠(102)을 케이스(22)에 수용할 때에는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 보조부재(103)가 제 2 케이스부재(26)에 장착된다. 더욱 상술하면, 6개의 작용편(107)의 각각의 편측부를 제 2 케이스부재(26)에 배설되어 있는 6쌍의 구속편(70)의 각 쌍 사이에 삽입하는 것에 의해 제 2 케이스부재(103)에 보조부재(103)가 장착된다. 구속편(70) 각 쌍 사이의 간격은 작용편(107)의 각각의 두께보다 약간 작게 되어 있고, 작용편(107)의 각각을 구속편(70)의 각 쌍 사이에 강제적으로 삽입하면, 작용편(107)의 각각이 구속편(70)의 각 쌍 사이로 탄성적으로 보지된다.
도 7에 명확히 도시된 바와 같이, 소형 연삭휠(102)의 지지부재(104)는 연삭휠(2)의 지지부재(4) 보다도 작은 치수이고, 지지부재(104)의 반경방향 두께는 지지부재(4)의 반경방향 두께보다 작다. 이런 연삭휠(102)은 도립상태 즉, 지지부재(104)의 상단면(108)을 하방으로 향한 상태에서 그 지지부재(104)의 상단면(108)을 제 1 케이스부재(24)의 수용편(40)에 형성되어 있는 수용홈(42) 내에 위치시켜, 제 1 케이스부재(24) 내에 장착된다. 제 2 케이스부재(26)를 폐위치로 선회시키면, 보조부재(103)에 형성되어 있는 작용편(107)의 타측부의 4반원호 형상 연(緣)이 지지부재(104)의 내주면(114)의 경사면(116)에 접하게 된다. 이렇게 해서 소형 연삭휠(102)의 지지부재(104)가 수용홈(42)과 작용편(107)의 사이에 파지된다. 따라서 수용홈(42)은 소형 연삭휠(102)을 위한 수용수단을 구성하고, 작용편(107)을 갖는 보조부재(103)는 소형 연삭휠(102)을 위한 구속수단을 구성한다.
연삭휠(2 또는 102)을 수용한 케이스(22)는 도 3 또는 도 7에 도시한 횡배치상태, 즉 제 1 케이스부재(24)의 주벽(32) 및 제 2 케이스부재(26)의 주벽(64)이 수평으로 연장되어 있는 상태에서 소요장소에 장착할 수 있다. 이것 대신에 도 9에 도시한 종배치상태, 즉 제 1 케이스부재(24)의 주벽(32) 및 제 2 케이스부재(26)의 주벽(64)이 연직으로 연장된 상태에서 소요장소에 장착할 수 있다. 케이스(22)가 종배치상태에서 지지면상에 장착된 경우에는 제 1 케이스부재(24)의 측벽(34)에서의 편측부(34b)에 형성된 2개의 회동방지돌기부(62) 및 제 2 케이스부재(26)의 측벽(66)에서의 편측부(66b)에 형성된 2개의 회동방지돌기부(86)가 지지면에 접촉하게 된다. 제 1 케이스부재(24)의 주벽(32) 및 제 2 케이스부재(26)의 주벽(64)은 모두 반원형상의 전반부와 장방형 형상의 후반부를 갖는 형태 등에 기인해서 연삭휠(2 또는 102)을 수용한 상태에 있어서도 케이스(22)의 중심(G)은 주벽(32 및 64)의 반원형상의 전반부에 기하학적 중심(반원호의 중심)(X) 보다도 후방(도 9에서 우방)에 위치한다. 그런 이유로 예를 들면 도 9에 이점쇄선으로 도시한 바와 같이, 케이스(22)가 약간 전방으로 경사진 상태에서 지지면상에 장착되었다 하더라도 케이스(22)는 더욱 전방으로 경사져 이동하는 일 없이 도 9에 있어서 시계방향으로 회동하게되어 실선으로 나타낸 안정상태로 자동적으로 설정된다.
케이스(22)는 도 10에 도시한 대로 종배치상태로 해서 복수개를 병렬시킬 수 있다. 이 경우, 인접하는 2개의 케이스(22)는 일방의 케이스(22)의 제 1 케이스부재(24)에서의 주벽(32)의 외면에 형성되어 있는 침강영역(46) 내에, 타방의 케이스(22)의 제 2 케이스부재(26)에서의 주벽(64)의 외면에 형성되어 있는 돌출영역(74)을 위치시켜, 상호 밀접상태로 배치하게 할 수 있다. 침강영역(46)의 전단연 및 후단연은 개방되어 있기 때문에 병렬배치된 복수개의 케이스(22)에서 특정의 케이스(22)를 그 제 2 케이스부재(26)의 전단에 형성되어 있는 돌출편(78)에 핑거를 걸어 전방으로, 혹은 그 제 2 케이스부재(26)의 후단에 형성되어 있는 몰입부(60)에 핑거를 걸어 후방으로 끌어낼 수 있다.
케이스(22)는 도 11에 도시한 대로 횡배치상태로 해서 복수개를 겹쳐 쌓을 수 있다. 이 경우 상하방향으로 인접하는 일방의 케이스(22)의 제 1 케이스(24)에서의 주벽(32)의 외면에 형성되어 있는 침강영역(46) 내에, 타방의 케이스(22)의 제 2 케이스부재(26)에서의 주벽(64)의 외면에 형성되어 있는 돌출영역(74)을 위치시킬 수 있다. 이렇게 하면 케이스(22)가 서로 횡방향으로 변위하는 것이 방지되고, 따라서 복수개의 케이스(22)를 충분히 안정하게 겹치게 쌓을 수 있다.
이상 첨부도면을 참조해서 본 발명에 따라 구성된 케이스의 바람직한 실시형태에 대해서 상세히 설명하였는데, 본 발명은 이런 실시형태에 한정되는 것 뿐만 아니라 본 발명의 범위에서 이탈하지 않는 여러가지의 변형 내지 수정이 가능하다는 것이 이해되어야 할 것이다.
따라서, 본 발명은 앞에서 설명한 구성에 의하여 반도체 웨이퍼의 이면 연삭시에 클린룸이 오염될 우려가 전혀 없고, 케이스의 부피를 작게 할 수 있고, 케이스 내에 연삭휠을 수용한 상태에서 연삭휠을 볼 수 있고, 박스부재 및/또는 덮개부재의 내면이 연삭휠의 연삭수단에 접촉되어도 연삭수단이 손상될 우려가 없고, 연삭휠을 수용한 케이스를 연직방향으로 복수개를 겹쳐 쌓아 놓아도 훼손될 우려가 없는 등의 우수한 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 상단면, 하단면, 외주면 및 내주면을 갖는 환상 지지부재와 상기 지지부재의 상기 하단면에 배설된 연삭수단으로 구성된 연삭휠을 수용하기 위한 케이스에 있어서,
    상기 케이스는 제 1 케이스부재와 제 2 케이스부재를 포함하고, 상기 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재는 힌지부재를 통해서 상대적으로 선회가능하게 연결되어 있어 협동해서 닫힌 수용공간을 규정하는 폐상태와 상기 수용공간을 개방하는 개상태로 선택적으로 설정하게 되고,
    상기 제 1 케이스부재에는 수용수단이 배설되어 있고, 상기 제 2 케이스부재에는 구속수단이 배설되어 있고,
    상기 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재를 상기 개상태로 되게 하여, 상기 제 1 케이스부재의 수용수단 상에 상기 지지부재의 상기 상단면을 위치시키고, 이어서 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재를 폐상태로 하게되면 상기 제 2 케이스부재의 구속수단이 상기 지지부재의 상기 내주면, 상기 하단면 및 상기 외주면의 어딘가에 접하고, 이것에 의해 상기 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재를 상기 연삭수단에 접촉시키는 일 없이 상기 수용수단과 상기 구속수단의 사이에 상기 지지부재를 파지해서 상기 수용공간 내에 상기 연삭휠이 수용되는 것을 특징으로 하는 케이스.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 케이스부재, 상기 제 2 케이스부재 및 상기 힌지부재는 투명 내지 반투명의 합성수지로 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 케이스부재는 주벽과 상기 주벽의 외주연에서 돌출하는 측벽을 갖고, 상기 주벽의 내면에 원주방향으로 간격을 두고 복수개의 수용편이 배설되어 있고, 상기 수용편의 각각의 상면이 상기 수용수단을 구성하는 것을 특징으로 하는 케이스.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 지지부재의 상기 내주면은 상기 하단면에서 상기 상단면을 향해서 반경방향 내방으로 경사진 경사면을 포함하고, 상기 제 2 케이스부재의 상기 구속수단은 선단을 향해서 반경방향 내방으로 경사지게 연장된 구속면을 갖고 있고, 상기 구속면이 상기 지지부재의 상기 경사면에 접하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 케이스부재는 주벽과 상기 주벽의 외주연에서 돌출하는 측벽을 갖고, 상기 구속수단은 상기 주벽의 내면에 원주방향으로 간격을 두고 배설된 복수개의 구속편으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 케이스부재에는 반경방향 두께가 비교적 큰 지지부재를 수용하기 위한 제 1 수용수단과 반경방향 두께가 비교적 작은 지지부재를 수용하기 위한 제 2 수용수단이 배설되어 있고, 상기 제 2 케이스부재에는 반경방향 두께가 비교적 큰 지지부재의 내주면, 하단면 및 외주면의 어딘가에 접하는 제 1 구속수단이 배설됨과 함께 반경방향 두께가 비교적 작은 지지부재의 내주면, 하단면 및 외주면의 어딘가에 접하는 제 2 구속수단을 구성하는 보조부재가 탈착가능하게 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 케이스부재는 주벽과 상기 주벽의 외주연에서 돌출하는 측벽을 갖고, 상기 주벽의 내면에는 원주방향으로 간격을 두고 복수개의 수용편이 배설되어 있고, 상기 수용편의 각각의 상면 중앙부에는 수용홈이 형성되어 있고, 상기 수용편의 각각의 상면이 상기 제 1 수용수단을 구성하고, 상기 수용편의 각각의 상기 수용홈이 상기 제 2 수용수단을 구성하는 것을 특징으로 하는 케이스.
  8. 제 1 항에 있어서, 제 1 케이스부재는 반원형상의 전반부 및 상기 전반부의 직선부위에 이어진 장방형 형상의 후반부를 갖는 주벽과 상기 주벽의 외주연에서 돌출하는 측벽을 갖고, 상기 제 2 케이스부재도 상기 제 1 케이스부재의 상기 주벽에 대응해서 반원형상의 전반부 및 상기 전반부의 직선부위에 이어진 장방형 형상의 후반부를 갖는 주벽과 상기 주벽의 외주연에서 돌출하는 측벽을 갖고, 상기 힌지부재는 상기 제 1 케이스부재의 측벽에서의 후단 상단부와 상기 제 2 케이스부재의 상기 측벽에서의 후단 상단부를 연결하고 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  9. 제 8 항에 있어서, 제 1 케이스부재의 측벽의 전단부와 제 2 케이스부재의 측벽의 전단부에는 서로 협동작용하여 상기 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재를 폐상태로 해제가능하게 고정하는 고정수단이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 수용공간내에 연삭휠을 수용하여 상기 제 1 케이스부재와 상기 제 2 케이스부재를 폐상태로 하게 되면, 연삭휠을 수용한 케이스의 중심은 상기 제 1 케이스부재의 상기 주벽의 상기 전반부 및 상기 제 2 케이스부재의 상기 주벽의 상기 전반부의 반원형상의 기하학적 중심보다도 후방으로 위치하는 것을 특징으로 하는 케이스.
  11. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 케이스 부재의 상기 측벽에서의 양측 직선부의 외면 및/또는 상기 제 2 케이스부재의 상기 측벽에서의 양측 직선부의 외면에는 회동방지돌기부가 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
  12. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 케이스부재의 주벽의 외면과 상기 제 2 케이스부재의 주벽의 외면의 어딘가의 일방에는 양측연이 직선상인 돌출영역이 형성되어 있고, 타방에는 상기 돌출영역에 대응해서 양측이 직선상인 것과 동시에 전단연 및 후단연이 개방되어 있는 침강영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 케이스.
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