KR20010021746A

KR20010021746A - 진공 처리 장치용 두 부품의 슬릿 밸브 삽입부재

Info

Publication number: KR20010021746A
Application number: KR1020007000309A
Authority: KR
Inventors: 애비 테프만; 로버트 비. 로렌스
Original assignee: 조셉 제이. 스위니; 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 1997-07-11
Filing date: 1998-07-09
Publication date: 2001-03-15
Also published as: JP2001509647A; US6045620A; WO1999003136A1; JP4371572B2; EP1002332A1

Abstract

진공 처리 장치는 처리 챔버에 부착되며 처리 챔버와 정합시키기 위하여 슬릿 밸브에 배치된 슬릿 밸브 삽입부재를 구비한 슬릿 밸브를 구비한 이송 챔버를 갖는다. 슬릿 밸브는 2개의 부품, 즉 이송 챔버의 외부로부터 이송 챔버의 슬릿 밸브 개구내로 슬라이드되는 외측부, 및 이송 챔버의 내부로부터 외측부내로 슬라이드되는 내측부로 제작될 수 있다. 삽입부재의 부분은 임의의 처리 챔버가 임의의 슬릿 밸브 개구에 부착되는 것이 허용된다. 외측부는 처리 챔버가 이송 챔버에 부착될 때 슬릿 밸브 개구로부터 제거되지 않을 수 있지만, 내측부는 처리 챔버의 부착에 관계없이 수리를 위하여 용이하게 제거될 수 있다.

Description

진공 처리 장치용 두 부품의 슬릿 밸브 삽입부재{TWO-PIECE SLIT VALVE INSERT FOR VACUUM PROCESSING SYSTEM}

웨이퍼 상에 집적 회로를 제조하기 위한 진공 장치는 공지되어 있다. 다수의 진공 챔버들은 통상적으로 단일 진공 장치를 포함한다. 진공 처리 장치는 일반적으로 본체의 부품일 수 있는 이송 챔버라 명명된 중앙 진공 챔버를 갖출 수 있다. 상기 명칭이 암시하는 바와 같이, 이송 챔버의 주요 목적은 다른 챔버들 사이에서 웨이퍼를 이송하는 것이다. 다른 챔버들은 여러 챔버중에서 처리 챔버, 냉각 챔버, 완충 챔버, 및 로드 록 챔버(load lock chambers)를 포함할 수도 있다. 진공 처리 장치는 또한 웨이퍼가 추가의 공정을 위해 후속하는 장치로 이동할 수 있도록 웨이퍼를 로드 록 챔버로 이송하고 웨이퍼를 로드 록 챔버로부터 제거하기 위한 소형 환경부(mini-environment)와 같은 일종의 부 장치를 포함할 수도 있다. 상기 이송 챔버와 주변 챔버들의 조합 및 집합 영역(staging areas)을 때때로 클러스터 기구(clustor tool)로서 명명한다.

챔버들 사이의 출입은 슬릿 밸브를 통해 제공된다. 슬릿 밸브는 다른 챔버의 슬릿 밸브 개구가 부착되는 챔버의 개구를 포함하는데, 이들 개구는 웨이퍼 또는 기판이 두 챔버들 사이에서 통과되도록 한다. 일반적으로, 슬릿 밸브 개구는 기판이 통과할 수 있는 기다란 직사각형 형상을 갖는다. 두 챔버의 슬릿 밸브들 사이의 정합(match)은 장치 내의 진공을 유지하기 위하여 기밀되어야 한다.

통상적인 이송 챔버는 다른 챔버들 사이에서 웨이퍼를 통과시키므로 6 개의 슬릿 밸브를 갖추고 있다. 처리 챔버는 통상적으로 단지 한 개의 슬릿 밸브만을 갖추고 있다.

이송 챔버와 같은 임의의 챔버의 측면에서의 실제적인 슬릿 밸브용 개구는 통상적으로 임의의 챔버의 슬릿 밸브와 실제로 정합되지 않는 일반적인 직사각형 개구이다. 따라서, 슬릿 밸브 삽입부재는 통상적으로 이송 챔버의 개구를 처리 챔버의 특정한 개구와 정합시키기 위해 이송 챔버의 일반적인 개구 내로 삽입된다. 삽입부재는 처리 챔버에 부착되는 처리 챔버를 정합시키는 개구를 갖추고 있다. 즉, 슬릿 밸브 삽입부재는 챔버들 사이의 어댑터(adapter)이다.

추가로, 상이한 처리 챔버들은 상이한 형태 및 크기의 개구를 갖추고 있다. 따라서, 상이한 슬릿 밸브 삽입부재은 동일한 이송 챔버의 슬릿 밸브 개구에서 이용될 수도 있다.

도 1은 이송 챔버(12)의 슬릿 밸브 개구(26)내로 삽입되기 바로 직전 또는 슬릿 밸브 개구(26)로부터 제거된 후의 슬릿 밸브 삽입부재(2)의 일 예를 도시한다. 삽입부재(2)는 웨이퍼가 통과하는 개구(4) 및 처리 챔버에 대하여 가압하기 위한 전방면(5)을 갖추고 있다. 처리 챔버는 웨이퍼-출입 개구, 슬릿 밸브 개구 또는 정합 개구(4)를 갖추고 있으며, 보통 전방면(5)과 정합되는 웨이퍼-출입 개구 둘레의 표면과 함께 기밀을 형성한다. 삽입부재(2)는 또한 개구(4) 둘레에 채널(6)을 갖추고 있다. 채널(6)은 처리 챔버 상의 결합면과 정렬하며, 처리 챔버와 밀폐를 이루기 위한 오링(O-ring)을 고정한다.

슬릿 밸브 삽입부재는 도 1에 도시된 바와 같이 챔버의 외측으로부터 이송 챔버의 개구 내로 삽입된다. 그때, 처리 챔버는 삽입부재에 부착되고, 삽입부재를 정위치에 견고하게 고정한다. 슬릿 밸브는 챔버들 사이에 출입을 제공한다. 이송 챔버의 플로어(floor)를 통해 배치된 작동 실린더는 슬릿 밸브 개구 둘레의 표면 상에 장착된 슬릿 밸브 도어로 슬릿 밸브를 폐쇄시킨다. 도어를 위한 시트는 이송 챔버내에 배치된다. 슬릿 밸브 개구, 삽입부재, 도어, 및 작동 실린더는 슬릿 밸브를 형성한다.

슬릿 밸브의 개폐 사이클은 도어 및 삽입부재를 마모시키거나 더럽게 하거나 오염시킬 것이다. 마모되고 또는 더러워진 도어 또는 삽입부재는 이송 챔버와 처리 챔버 사이의 누출이 발생할 수 있으며, 유독성 가스가 처리 챔버로부터 이송 챔버로 배출되거나 또는 가스가 이송 챔버로부터 처리 챔버로 유입되어 처리 챔버의 진공 능력을 감소시킬 것이다. 슬릿 밸브 삽입부재가 더러워지거나 세척될 필요가 있는 경우 또는 마모되어 교체될 필요가 있는 경우에 문제점이 발생한다. 삽입부재는 이송 챔버의 외부로부터 이송 챔버와 처리 챔버 사이에 장착되므로, 처리 챔버는 삽입부재를 교체하기 위해 완전히 제거되어야 한다. 처리 챔버의 제거 및 재 장착은 매우 많은 시간을 소모하는 일이 될 수 있다.

하나의 해결 방법은 웨이퍼의 출입을 제공하고 삽입부재가 처리 챔버와 적절한 기밀을 계속적으로 형성하는 것을 보장하기 위하여 챔버 개구가 재구성되어야 하기 때문에, 이송 챔버의 내부로부터 삽입된 삽입부재를 갖는 것이다. 챔버의 내측으로부터 삽입부재가 삽입되는 것을 수용하기 위하여 재구성하는데 있어서의 하나의 난점은 삽입부재가 이송 챔버의 내측으로부터 가공된 개구 내로 슬라이드된 후에 삽입부재를 정지시키기 위한 돌출부(shoulder)를 요구한다는 것으로, 이는 매우 어려운 공정이다.

그러므로, 임의의 처리 챔버에도 부착되도록 선택될 수 있는 슬릿 밸브 삽입부재를 갖추며 챔버를 재구성하지 않으면서 이송 챔버의 내측으로부터 수리될 수 있는 이송 챔버를 갖는 진공 제조 장치를 요구하게 되었다.

본 발명은 일반적으로 진공 챔버용 슬릿 밸브 삽입부재에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 기판 웨이퍼를 처리하기 위한 이송 챔버용 슬릿 밸브 삽입부재, 이송 챔버와 처리 챔버와 같은 다른 챔버 사이의 연결, 및 슬릿 밸브 삽입부재내의 부품의 수리에 관한 것이다.

도 1은 종래 기술의 슬릿 밸브로부터 분리된 슬릿 밸브 삽입부재를 뚜껑 없이 도시한 이송 챔버의 절단부를 도시한 사시도이며,

도 2는 진공 제조 장치의 개략도이며,

도 3은 이송 챔버에 도시되며 이송 챔버로 부터 분리된 뚜껑이 제거된 이송 챔버 및 슬릿 밸브 삽입부재의 사시도이며,

도 4는 두 부품의 슬릿 밸브 삽입부재의 절단 부분의 사시도이며,

도 5는 작동 위치에서 두 부품의 슬릿 밸브 삽입부재를 도시한 이송 챔버의 절단 부분의 단면도이며,

도 6은 작동 위치에서 두 부품의 슬릿 밸브 삽입부재를 도시한 이송 챔버의 절단 부분의 사시도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 처리 챔버를 이송 챔버에 연결하는 방법은 처리 챔버와 정합시키기 위하여 어댑터 또는 슬릿 밸브 삽입부재를 선택하는 단계와, 어댑터를 이송 챔버의 슬릿 밸브 내로 삽입하는 단계와, 그리고 처리 챔버를 이송 챔버에 부착하는 단계를 포함한다. 어댑터는 챔버의 외측으로부터 이송 챔버 내로 삽입되는 외측부와, 챔버의 내측으로부터 외측부로 삽입되며 밸브 시트가 형성된 내측부를 포함할 수도 있다. 상기 두 부품의 슬릿 밸브 구조는 내부의 슬릿 밸브 삽입부재 부분을 용이하게 제거 및 교체할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버 상의 처리 챔버를 교체하는 방법은 제 1 처리 챔버를 위한 정합 어댑터를 선택하는 단계와, 제 1 챔버를 부착하기 전에 어댑터를 이송 챔버내로 삽입하는 단계와, 제 1 챔버를 분리하는 단계와, 어댑터를 제거하는 단계와, 다른 처리 챔버를 위한 정합 어댑터를 선택하는 단계와, 그리고 전술된 바와 같이 어댑터와 챔버를 부착하는 단계를 포함한다. 어댑터는 처리 챔버에 정합될 내부 및 외부 삽입부재를 갖출 수도 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 장치는 웨이퍼가 통과할 수 있도록 그 사이에 통로 또는 슬릿 밸브를 갖춘 둘 이상의 챔버와, 각각의 챔버의 통로를 정합시키기 위해 챔버의 하나 이상의 통로 내에 배치된 어댑터 또는 슬릿 밸브 삽입부재를 포함한다. 어댑터 또는 슬릿 밸브는 두 개의 부품으로 이루어질 수도 있으며, 각각의 부품은 개별적으로 통로의 일부를 포함한다.

진공 챔버의 일 실시예는 진공 챔버가 부착되어야 할 챔버 상의 부착 경계면의 형태에 따라 선택된 두 개의 삽입부재를 갖는 슬릿 밸브를 갖추고 있다.

이송 챔버의 일 실시예는 제거될 수 있고 다른 어댑터로 교체될 수 있으며 슬릿 밸브 개구 내에 배치된 어댑터를 갖추고 있다. 어댑터는 상이한 정합 처리 챔버에 부착되고, 내측부 및 외측부를 갖추고 있다. 처리 챔버가 부착될 때 외측부는 이송 챔버로부터 제거되지 않을 수도 있으며, 처리 챔버가 부착될 때 내측부는 제거될 수 있다.

처리 챔버를 이송 챔버에 연결하기 위한 어댑터의 일 실시예는 이송 챔버 내로 삽입되는 외측부와, 외측부로 삽입되는 내측부를 갖추고 있다. 내측부는 외측부 내로 부분적으로 슬라이드될 수도 있으며, 처리 챔버와 정합되는 통로를 갖추고 있고, 밀폐를 형성하기 위한 장착 표면을 갖추고 있다.

처리 챔버와 이송 챔버 사이에 기밀을 형성하는 방법의 일 실시예는 외부 어댑터를 이송 챔버 내로 삽입하는 단계와, 외부 어댑터와 접촉 하도록 처리 챔버를 부착하는 단계와, 내부 어댑터를 이송 챔버의 내측으로부터 외부 어댑터 내로 삽입하는 단계와, 그리고 내부 어댑터를 외부 어댑터로 편향시키기 위해 압력을 가하는 단계를 포함한다.

부착된 처리 챔버를 제거하지 않으면서 이송 챔버를 수리하는 방법의 일 실시예는 이송 챔버를 개방시키는 단계와, 이송 챔버와 처리 챔버 사이의 개구로부터 내부 어댑터를 개봉하여 제거하는 단계와, 그리고 어댑터를 세척 또는 교체하는 단계를 포함한다.

본 발명의 전술된 특징, 장점 및 목적은 얻어지며 상세하게 이해될 수 있도록, 상기에서 간단히 요약된 본 발명의 더욱 특별한 상세한 설명은 첨부된 도면에 도시된 실시예에 의하여 제시된다.

그러나, 첨부된 도면은 본 발명의 통상적인 실시예만을 도시하며, 그러므로 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 고려되지 않으며 본 발명에 대해 다른 동등한 효과적인 실시예를 인정할 수 있다.

도 2는 중앙 진공 이송 챔버(12)에 부착된 일련의 진공 챔버(14)를 일반적으로 도시한 진공 처리 장치(10)의 개략적인 평면도이다. 한 쌍의 진공 로드 락 챔버(16)는 소형 환경부(18)로 통로를 제공한다. 포드 로더(pod loader;20)는 소형 환경 장치(18)에 부착된다. 이 장치는 클러스터 도구의 일 예이다.

이 장치에서, 진공 챔버(14)는 챔버(12,14,16)에서 진공상태를 손실하지 않고 두 개의 챔버(12,14,16) 사이에 웨이퍼를 통과시키는 것을 허용하는 기밀에서 이송 챔버(12)에 연결될 수 있다.

포드 로더(20)는 소형 환경부(18)에 부착되며 진공 처리 장치(10)를 수용하는 플랜트 또는 빌딩을 제조하는 완전 자동화된 제조 장치의 부품인 자동화된 기계 또는 수동에 의하여 웨이퍼 카세트로 로드될 수 있다. 소형 환경부(18)내의 로보트(도시안됨)는 포드 로더(20)로부터 로드 락 챔버(16)로 웨이퍼를 이동시킬 수 있으며 다시 역으로 이동시킬 수 있다. 이송 챔버(12)내로 웨이퍼를 이동시키기 위한 암 및 블레이드를 갖춘 로보트(도시안됨)는 로드 락 챔버(16)중 하나로부터 처리 챔버(14)로 웨이퍼를 이동시키며 로드 락 챔버(16)중 하나로 역 이동시킨다.

진공 챔버(14)는 웨이퍼에 집적 회로를 제조하기 위한 일련의 많은 공정에서 임의의 유형의 공정을 웨이퍼에 수행하기 위하여 화학적 증기 침전(CVD) 챔버, 물리적 증기 침전(PVD) 챔버, 부식 챔버, 등과 같이 임의의 수 개의 유형의 처리 챔버일 수 있다. 각각 임의의 통상적인 특징을 가지지만 웨이퍼상에 상이한 처리를 수행하기 위한 20 개 이상의 다른 유형의 이 같은 처리 챔버를 갖는 진공 챔버의 제조자에게는 일반적인 것이 아니다.

도 3은 이송 챔버(12)의 내부가 보일 수 있도록 뚜껑이 제거된 이송 챔버(12)의 일 예의 사시도이다. 개구(24,26)를 갖춘 수 개의 슬릿 밸브와 슬릿 밸브 삽입부재(28,30)의 예들이 도시된다. 슬릿 밸브 개구(24,26) 및 슬릿 밸브 삽입부재(28,30)는 슬릿 밸브를 형성한다. 슬릿 밸브 삽입부재(28,30)는 처리 챔버(14)를 그 사이에 형성된 웨이퍼용 통로로 이송 챔버(12)에 부착하기 위한 어댑터이다. 처리 챔버(14)는 챔버 대 챔버 연결에서 진공 장치로 대기가 유입되는 것을 방지하기 위하여 이송 챔버(12)에 기밀로 부착된다. 상이한 슬릿 밸브 삽입부재(28,30)는 상이한 유형의 처리 챔버(14)와 정합시키기 위하여 적용된다. 이송 챔버(12)의 플로어(37)내의 원형 개구(36)는 보통 이송 챔버(12)내로 웨이퍼를 이동시키며 웨이퍼를 이송 챔버(12)에 연결된 다른 챔버(14,16)내로 및 다른 챔버(14,16)로부터 이동시키기 위한 암을 갖춘 로보트를 지지한다. 로보트는 이송 챔버 내부가 상세하게 도시되도록 이 도면에서 도시되지 않는다. 직사각형 개구(38)는 슬릿 밸브 도어를 개방 또는 폐쇄하는 편향된 압력을 가하기 위하여 슬릿 밸브 도어를 조종하는 작동 실린더용 출입을 제공한다. 각각의 슬릿 밸브를 위한 하나의 개구(38)가 있다. 작동 실린더 및 슬릿 밸브 도어는 도시되지 않음으로써 이송 챔버(12)에서의 다른 특징이 도시된다. 작동 실린더 및 슬릿 밸브 도어의 일 예는 후술되는 바와 같이 본 명세서에 인용참증으로 첨부되며 1993년 7월 13일에 발행된 미국 특허 제5,226,632에서 참조할 수 있다.

두 부품의 슬릿 밸브(28)는 이송 챔버(12)의 외부 및 내부의 슬릿 밸브 개구(24)로부터 분리된 상태를 보여준다. 외측부(29)는 이송 챔버(12)의 외부로부터 개구(24)내로 슬라이드되며, 내측부(31)는 이송 챔버(12)의 내부로부터 외측부(29)내로 슬라이드된다. 나사와 같은 임의의 적절한 수단에 의하여 외측부(29)는 이송 챔버(12)에 부착되며 내측부는 외측부(31)에 부착된다. 이 방식에서, 처리 챔버(14)는 슬릿 밸브 개구(24)에서 이송 챔버(12)의 외측에 결합될 수 있으며, 그럼으로써 적소에 끼워진 외측부(29)를 유지할 수 있다. 그러나 내측부(31)는 처리 챔버(14)가 부착되었을 때 조차 이송 챔버(12)의 내부를 통하여 여전히 제거될 수 있다. 내측부(31)를 제거하기 위하여, 요구되는 모든 것은 작동 실린더 당기는 것이며 뚜껑(22)이 개방된 내측부(31)로부터 역으로 슬릿 밸브 도어는 내측부(31)와 분리되며 내측부(31)가 뽑혀 진다는 것이다. 그러므로 슬릿 밸브 삽입부재(28)의 내부는 이송 챔버로부터 처리 챔버(14)를 분리하지 않고 수리, 청소 또는 교체될 수 있다.

도 4는 슬릿 밸브 삽입부재(28)의 일 예를 도시한 절단도이다. 슬릿 밸브 삽입부재(28)의 우측 단부는 확대 목적을 위하여 내측 부분을 절단하여 도시한다. 외측부(29)의 후부면(52)은 이송 챔버(12)의 내부에 직면한다. 내측부(31)의 후부 각진 표면(54)은 이송 챔버(12)의 내부를 향하여 하향 각도로 직면하며, 슬릿 밸브 도어가 이송 챔버의 플로어로부터 각도로 밀어 올려지며 슬릿 밸브를 폐쇄하는 표면(54)과 기밀을 형성할 수 있도록 슬릿 밸브 도어 시트를 형성한다. 개구(56)는 슬릿 밸브 도어가 역으로 당겨질 때 이송 챔버(12)와 처리 챔버(14) 사이의 실제적인 개구이다. 개구(56)는 예를 들면, 600mm, 300mm, 200mm, 등 다양한 기판 크기로 제작된다. 후부 각진 표면(55)은 슬릿 밸브 도어가 장착 표면(54)과 접촉하기 위하여 하방으로 경사진다. 선택적인 도어/시트 조합물(도시안됨)은 시트로부터 거의 수평으로 도어를 이동시킴으로써 도어를 작동시키며 그때 도어를 낮춘다. 그리하여, 선택은 2 단계 이동이며, 슬릿 밸브 도어 시트를 위하여 거의 수직 후부면을 갖는 슬릿 밸브 삽입부재를 갖는다.

외측부(29)는 구멍(59)을 통하여 나사로 이송 챔버(12)에 부착된다. 내측부(31)는 외측부(29)의 상부벽(64)의 하부면(62), 외측부(29)의 하부벽(68)의 상부면(66) 및 외측부(29)의 전방벽(72)의 상부면(72)을 따라 외측부(29)로 슬라이드된다. 내측부(31)는 전방면(58)이 외측부(29)의 전방면(60)과 거의 동일 높이가 될 때까지 외측부(29)의 거의 사각 개구내로 슬라이드된다. 내측부(31)는 구멍(61)내에 나사로 외측부(29)에 부착되며, 나사는 내측부(31)의 전방면(58)이 부착된 처리 챔버의 외부면에 닿을 때까지 죄여진다. 그러므로, 비록 내측부(31)가 외측부의 내부면(62,66,70,74,76)에 대응하는 외측면을 가지고 있지만, 내측 및 외측부 사이에 매우 작은 갭이 형성될 수 있도록 2개의 부분(29,31)은 상기 각각의 표면을 따라 접촉할 필요가 없다. 그러나, 슬릿 밸브 도어가 표면(54)에 대하여 편향될 때, 내측부(31)는 전방 및 상방으로 힘이 작용하며, 그래서 내측부(31)는 부착된 처리 챔버의 외측면에 대하여 강하게 가압될 뿐만 아니라 표면(62)에서 외측부(29)에 대하여도 가압된다. 표면(62)에서의 접촉은 작은 양의 가스를 포착할 수 있다. 이 접촉에서 포착된 가스의 양 및 접촉 표면을 최소화하기 위하여, 공간(78)은 접촉의 길이를 따라 형성되며 이송 챔버(12)로 구멍이 형성된다.

도 5는 밸브 개구(24)에서 이송 챔버(12)의 내부 부품 및 삽입부재(28)의 위치를 보여주는 뚜껑이 없는 이송 챔버(12)의 절단 단면도이다. 외측부(29)는 이송 챔버(12)의 외부 및 돌출부(80)에서의 스톱으로부터 밸브 개구(24)로 슬라이드된다. 내측부(31)는 이송 챔버(12)의 내부로부터 외측부(29)내로 슬라이드된다. 작동 실린더는 개구(38)에 장착되며 개구(56)를 폐쇄하는 표면(54)에 대하여 화살표 A 방향으로 밸브 도어를 민다. 그러므로 내측부(31)는 홈(82)내에 배치된 오링(도시안됨)이 처리 챔버의 표면과 함께 밀폐를 형성하도록 부착된 처리 챔버의 외측면에 대하여 가압된다. 개구(56)상으로 밸브 도어에 의하여 밀폐부재와 결합된 이 밀폐부재는 이송 챔버(12)와 처리 챔버(14) 사이의 차압을 위하여 기밀을 형성한다. 처리 챔버는 개구를 통하여 자체의 통로를 가지며, 각각의 유형의 챔버는 이송 챔버(12)의 외부에 부착되며 홈(83)내에 배치된 오링(도시안됨)과 정합시키기 위하여 약간 상이한 크기의 개구 및 약간 상이한 경계면을 갖을 수 있다. 이송 챔버(12)와 처리 챔버(14) 사이의 전술된 기밀을 형성하는 것은 상기 오링이다.

도 6은 도 5와 매우 동일한 특징이 도시되지만 추가적인 명확성을 위하여 도 5와 각도가 상이한 이송 챔버(12)의 부품의 절단 사시도이다.

공정 챔버(14)와 정합시키기 위하여 적절한 내측부(31) 및 외측부(29)를 선택함으로써, 슬릿 밸브(24,28)는 임의의 처리 챔버에 부착가능하다. 그러므로, 이 실시예에서, 이용자는 챔버(14)를 정합시키기 위하여 적절한 내측부(31) 및 외측부(29)를 선택하며, 밸브 개구(24)로 선택된 외측부(29)를 슬라이드시키며, 이송 챔버(12)로 외측부(29)를 부착하며, 이송 챔버(12)로 처리 챔버(14)를 부착하며, 선택된 내측부(31)를 외측부(29)로 슬라이드시키며, 그때 내측부(31)를 외측부(29)로 연결한다. 게다가, 용이하게 부착된 처리 챔버(14)가 교체되었을 때, 이용자는 다른 내측부(31) 및 외측부(29)를 선택하는 것만이 필요하다. 또한, 내측부(31)가 청소 또는 교체되는 것이 필요할 때, 처리 챔버(14) 및 외측부(29)를 제거할 것이 필요가 없으며, 그래서 수리작업이 내측부(31)를 위하여 매우 신속하고 용이하며, 그러나 외측부(29)는 처리 챔버(14)를 분리하지 않고 제거되지 않아도 된다.

이송 챔버(12)의 각각의 밸브 개구(24,26)는 동일한 유형의 두 부품의 삽입부재(28)를 요구하는 부착된 동일한 유형의 처리 챔버(14)를 가질 수 있으며, 또는 밸브 개구는 각각의 밸브 개구(24,26)을 위한 상이한 두 부품의 삽입부재(28)가 요구되는 다른 유형의 처리 챔버(14)를 가질 수 있다.

전술된 것이 본 발명의 바람직한 실시예에 관한 것인 반면, 본 발명의 다른 추가 실시예는 기본적 범위로부터 벗어남이 없이 고안될 수 있으며, 상기 범위는 후술되는 청구항에 의하여 결정된다.

Claims

처리 챔버를 이송 챔버로 연결하는 방법으로서,

처리 챔버와 정합하는 어댑터를 선택하는 단계;

상기 이송 챔버내로 상기 어댑터를 삽입하는 단계; 및

상기 어댑터가 상기 이송 챔버와 처리 챔버에 정합을 제공하도록 상기 이송 챔버에 상기 처리 챔버를 부착하는 단계를 포함하는 처리 챔버를 이송 챔버로 연결하는 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 어댑터는 외측 삽입부재를 포함하며 상기 이송 챔버의 외벽으로 삽입되며,

상기 방법은:

상기 처리 챔버와 정합하는 내부 삽입부재를 선택하는 단계; 및

상기 내측 삽입부재를 상기 이송 챔버의 내부로부터 상기 외측 삽입부재로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계를 더 포함하는 방법.
부착된 처리 챔버를 슬릿 밸브를 갖는 상기 이송 챔버로 교체하는 방법으로서,

(a) 제 1 처리 챔버를 제공하는 단계;

(b) 상기 제 1 처리 챔버와 정합하는 제 1 어댑터를 선택하는 단계;

(c) 상기 제 1 어댑터를 상기 슬릿 밸브로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계;

(d) 상기 제 1 어댑터가 상기 이송 챔버 및 상기 제 1 처리 챔버로 정합을 제공하도록 상기 이송 챔버에 상기 제 1 처리 챔버를 부착하는 단계;

(e) 상기 이송 챔버로부터 상기 제 1 처리 챔버를 분리하는 단계;

(f) 상기 제 1 어댑터를 제거하는 단계;

(g) 상기 제 2 처리 챔버에 정합하는 제 2 어댑터를 선택하는 단계;

(h) 상기 제 2 어댑터를 상기 슬릿 밸브로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계; 및

(i) 상기 제 2 어댑터가 상기 이송 챔버 및 상기 제 2 처리 챔버로 정합을 제공하도록 상기 이송 챔버에 상기 제 2 처리 챔버를 부착하는 단계를 포함하는 부착된 처리 챔버를 슬릿 밸브를 갖는 상기 이송 챔버로 교체하는 방법.
제 3 항에 있어서, 상기 제 1 어댑터는 상기 제 2 처리 챔버와 정합되지 않는 방법.
제 3 항에 있어서,

상기 제 1 어댑터 및 제 2 어댑터는 제 1 외측 삽입부재 및 제 2 외측 삽입부재를 각각 포함하며, 상기 이송 챔버의 외벽으로 삽입되며,

상기 방법은:

상기 제 1 처리 챔버와 정합하는 제 1 내측 삽입부재를 선택하는 단계;

단계 (c) 후 상기 제 1 내측 삽입부재를 상기 이송 챔버의 내부로부터 상기 제 1 외측 삽입부재로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계; 및

상기 제 2 처리 챔버와 정합하는 제 2 내측 삽입부재를 선택하는 단계;

단계 (h) 후 상기 제 2 내측 삽입부재를 상기 이송 챔버의 내부로부터 상기 제 2 외측 삽입부재로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계를 포함하는 방법.
웨이퍼를 조작 및 처리하기 위한 두 개 이상의 진공 챔버를 갖는 진공 장치로서,

웨이퍼가 통과하는 복수의 제 1 통로를 갖는 제 1 진공 챔버;

웨이퍼가 통과하는 상이한 제 2 통로를 각각 갖는 복수의 제 2 진공 챔버; 및

복수의 제 1 통로와 정합하며, 상기 제 1 진공 챔버와 복수의 제 2 진공 챔버 사이로 웨이퍼가 통과하기 위한 복수의 통로를 형성하는 복수의 제 2 진공 챔버중 하나와 정합하는 제 2 통로와 정합하기 위한 각각의 복수의 제거가능한 어댑터를 포함하며;

상기 각각의 복수의 제 2 진공 챔버는 상기 복수의 제거가능한 어댑터중 하나와 정합하는 상기 제 1 진공 챔버의 복수의 제 1 통로중 임의의 하나에 부착되는 진공 장치.
제 6 항에 있어서,

각각의 복수의 제거가능한 어댑터는 외측 삽입부재를 포함하며,

상기 진공 장치는:

정합하는 외측 삽입부재로 적어도 부분적으로 삽입하기 위한 복수의 내측 삽입부재를 더 포함하며,

상기 각각의 복수의 내측 삽입부재및 정합하는 외측 삽입부재는 복수의 통로중 하나를 포함하는 두 부품의 삽입부재를 형성하는 진공 장치.
진공 장치로서,

슬릿 밸브 및 하나 이상의 슬릿 밸브 삽입부재를 갖는 제 1 진공 챔버;

상기 슬릿 밸브에서 제 1 진공 챔버에 부착되는 슬릿 밸브 부착 경계면을 갖는 하나 이상의 제 2 진공 챔버; 및

상기 하나 이상의 슬릿 밸브 삽입부재중 다른 하나와 정합하기 위한 다른 슬릿 밸브 부착 경계면을 갖는 각각의 하나 이상의 제 2 진공 챔버를 포함하며,

상기 각각의 하나 이상의 제 2 진공 챔버는 상기 슬릿 밸브내로 정합하는 하나 이상의 슬릿 밸브 삽입부재중 하나를 삽입함으로써 슬릿 밸브에 부착될 수 있는 진공 장치.
제 8 항에 있어서, 상기 각각의 하나 이상의 슬릿 밸브 삽입부재는 외측 삽입부재 및 내측 삽입부재를 포함하는 진공 장치.
각각 다른 슬릿 밸브 경계면을 갖는 복수의 다른 진공 챔버에 부착하기 위한 슬릿 밸브 위치를 갖는 진공 챔버로서,

상기 진공 챔버의 외부로부터 상기 슬릿 밸브내로 적어도 부분적으로 삽입되는 제 1 슬릿 밸브 삽입부재; 및

상기 진공 챔버의 내부로부터 상기 제 1 슬릿 밸브 삽입부재내로 적어도 부분적으로 삽입되는 제 2 슬릿 밸브 삽입부재를 포함하는 진공 챔버.
제 10 항에 있어서, 상기 제 1 슬릿 밸브 삽입부재의 선택은 상기 진공 챔버에 부착되는 다른 슬릿 밸브 경계면에 따르는 진공 챔버.
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 슬릿 밸브 삽입부재의 선택은 상기 제 1 슬릿 밸브 삽입부재의 선택에 따르는 진공 챔버.
제 10 항에 있어서, 상기 제 2 슬릿 밸브 삽입부재의 선택은 상기 진공 챔버에 부착되는 다른 슬릿 밸브 부착 경계면에 따르는 진공 챔버.
처리 챔버를 수용하기 위한 개구를 갖는 이송 챔버로서,

상기 개구로 삽입되며 제 1 정합 처리 챔버에 연결하기 위한 제거가능한 어댑터를 포함하며,

상기 제거가능한 어댑터는 상기 제 1 정합 처리 챔버와 다른 제 2 조화 처리 챔버에 연결하기 위하여 제 2 제거가능한 어댑터에 의하여 제거 및 교체될 수 있는 이송 챔버.
제 14 항에 있어서, 상기 제거가능한 어댑터는 상기 개구로 적어도 부분적으로 삽입되는 외측 삽입부 및 상기 외측 삽입부로 적어도 부분적으로 삽입되는 내측 삽입부를 포함하는 이송 챔버.
제 15 항에 있어서, 상기 외측 삽입부는 정합 처리 챔버가 상기 이송 챔버에 연결될 때 상기 개구로부터 제거되지 않는 이송 챔버.
제 15 항에 있어서, 상기 내측 삽입부는 정합 처리 챔버가 상기 이송 챔버에 연결될 때 상기 외측 삽입부로부터 제거될 수 있는 이송 챔버.
처리 챔버 개구를 갖는 이송 챔버 개구를 정합시키기 위한 어댑터로서,

상기 이송 챔버 개구로 삽입하기 위한 외측부;

상기 외측부로 삽입하기 위한 내측부를 포함하는 처리 챔버 개구를 갖는 이송 챔버 개구를 정합시키기 위한 어댑터.
제 18 항에 있어서,

상기 외측부 및 상기 내측부는 실질적으로 합치되며 대응하는 슬라이딩 표면을 가지며,

상기 내측부는 상기 외측부로 슬라이드되는 어댑터.
제 18 항에 있어서, 상기 내측부는 상기 처리 챔버 개구와 정합하기 위한 개구를 포함하는 어댑터.
제 18 항에 있어서,

상기 내측부는 기밀을 형성하기 위한 편향 압력을 수용하기 위한 각진 후부면을 포함하는 어댑터.
제 18 항에 있어서,

상기 외측부는 실질적으로 사각형상의 블록이며,

상기 외측부는;

실질적으로 평면형 전방면;

실질적으로 평면평 후부면;

상기 후방면으로부터 상기 전방면으로 연장되는 실질적인 직사각형 구멍;

실질적인 직사각형 구멍의 하부벽을 형성하는 상부면을 갖는 하부벽;

상기 하부벽으로부터 상방으로 상기 전방면을 따라 부분적으로 연장되며 상부면 및 내부 후부면을 갖는 전방벽; 및

상기 후부면으로부터 전방으로 연장되며 상부벽의 내부 후부면을 형성하는 실질적인 직사각형 절단부 및 하부면을 갖는 상부벽을 포함하며,

내측부는;

상기 외측부의 전방면과 실질적으로 동일한 높이를 가지는 실질적인 평면형 전방면,

상부 각진 후부면;

상기 상부 각진 후부면으로부터 상기 내측부의 전방면으로 연장되는 실질적인 직사각형 구멍;

상기 상부 각진 후부면과 내부 각에서 연결되는 하부 각진 후부면; 및

상기 하부면 및 상기 외측부의 상부면의 내부 후부면, 상기 외측부의 하부벽의 상부면, 그리고 상부면 및 상기 외측부의 전방벽의 내부 후부면에 실질적으로 일치하는 다중 평면형 외측면을 포함하며,

상기 내측부는 상기 내측부의 다중 평면형 외측면의 외측면에 대응 일치하는 상기 외측부의 상부벽의 하부면, 상기 외측부의 하부벽의 상부면 및 상기 외측부의 전방벽의 상부면을 따라 상기 외측부로 슬라이드되는 어댑터.
처리 챔버 및 이송 챔버 사이의 기밀을 형성하는 방법으로서,

상기 이송 챔버로 외측 어댑터를 삽입하는 단계;

상기 이송 챔버 내부로부터 상기 외측 어댑터로 내부 어댑터를 삽입하는 단계;

상기 처리 챔버를 상기 내부 어댑터와 접촉하는 상기 이송 챔버로 부착하는 단계; 및

상기 내부 어댑터 및 처리 챔버를 기밀시키기 위하여 편향 압력을 상기 내부 어댑터에 적용하는 단계를 포함하는 처리 챔버 및 이송 챔버 사이의 기밀을 형성하는 방법.
상기 처리 챔버를 제거하지 않고 처리 챔버에 부착된 이송 챔버를 수리하는 방법으로서,

상기 이송 챔버의 뚜껑을 개방하는 단계;

상기 이송 챔버와 상기 처리 챔버 사이에 적어도 개구 부분을 형성하는 내부 어댑터로부터 편향 밀폐를 상기 이송 챔버 내부로부터 제거하는 단계; 및

상기 이송 챔버로부터 상기 내부 어댑터를 제거하는 단계를 포함하며,

상기 내부 어댑터는 다른 내부 어댑터로 제거되며 또는 세척하며 상기 이송 챔버로 복귀될 수 있는 방법.