KR20000013958A - 가스실린더 이동용 카트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 식각설비 등에 설치되는 가스실린더(1)를 이동하기 위한 카트에 관한 것으로, 그 구성은 손잡이(11) 및 전후 주행용 로울러(12)를 구비한 중공형의 프레임(10)과, 이 프레임(10)의 소정 위치에 형성된 가스실린더 안착부(13)와, 상기 프레임(10)의 내측에 구비된 동력발생부(20)와, 이 동력발생부(20)로부터 동력을 전달받아 상기 프레임(10)을 따라 승강 가능하도록 결합된 승강적재판(30)을 포함하는 것으로서, 각종 설비 내에 새로운 가스실린더(1)를 교체하거나 카트 내에 가스실린더(1)를 적재하고자 할 때 승강적재판(30)을 하강시킬 수 있게 되어 있다.

따라서, 가스실린더(1)의 적재 및 반출 작업이 용이하고, 콘트롤박스(15)의 버튼을 조작함에 따라 승강작동판(30)의 높이가 자동 조절되므로 사용이 간편하며, 가스실린더(1)의 이동시 무리한 힘을 가하지 않아도 되므로 안정성을 확보할 수 있다는 효과가 있다.

Description

가스실린더 이동용 카트

본 발명은 식각설비 등에 설치되는 가스실린더를 이동하기 위한 카트에 관한 것으로, 특히, 가스실린더의 적재 및 반출이 용이하고, 설비 내에 가스실린더의 교체시 조작이 간편하며, 가스실린더의 이동시 안정성을 확보할 수 있게 한 가스실린더 이동용 카트에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정 중에는 식각공정이 포함되며, 상기 식각공정(Etch Process)은 포토레지스트 현상 후 감광액 밑에 성장, 침적, 층착된 박막을 가스나 화공약품(Chemical)을 이용하여 선택적으로 제거하기 위한 단계로서, 플라즈마 등의 가스를 이용한 건식식각(Dry Etch)과, 케미컬을 이용한 습식식각(Wet Etch) 등의 방법이 주로 사용되고 있다.

상기의 식각공정 중에서 건식식각 공정을 수행하기 위해서는 반드시 가스가 공급되어야 한다.

그러나, 상기의 제반 공정에 필요한 유틸리티(Utility)의 하나로서 가스를 식각설비 내에 직접 충전하여 사용할 수 있다면 편리하겠지만, 사전 예방정비(Preventive Maintenance)가 필요한 주기에 이르렀을 때 대부분의 경우에는 외부 업체에서 실린더 내에 가스를 충전한 후, 카트 등과 같은 운반도구를 사용하여 이를 식각설비가 구비된 위치까지 운반하고, 상기 식각설비 내의 소모된 실린더를 제거한 후, 새로운 실린더로 교체하여야 하는 번거로움이 있었다.

또한, 종래의 가스실린더 이동용 카트는 가스실린더를 교체하기 위해 상기 카트로부터 가스실린더를 꺼내고자 할 때, 상기 가스실린더를 수용하고 있는 캐비닛의 하단부 및 실린더 저울의 설치 위치가 높아서 가스실린더를 들어내기가 어렵고, 따라서 가스실린더의 윗부분을 잡고 회전시켜 식각설비 내에 밀어넣는 조작 과정에서 손이 미끄러져 안전 사고를 유발할 수 있는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 가스실린더의 적재 및 반출이 용이하고, 설비 내에 가스실린더의 교체시 조작이 간편하며, 가스실린더의 이동시 안정성을 확보할 수 있도록 개선된 가스실린더 이동용 카트를 제공하는데 그 목적이 있다.

도1은 본 발명에 따른 가스실린더 이동용 카트의 일 실시예를 도시한 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 승강적재판을 승하강시킬 수 있도록 프레임 내에 적용된 동력발생부의 일 예를 도시한 종단면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 ; 가스실린더 10 ; 프레임

11 ; 손잡이 12 ; 주행용 로울러

13 ; 가스실린더 14 ; 가이드슬롯

15 ; 콘트롤박스 16 ; 실린더커버

20 ; 동력발생부 21 ; 모우터기어박스

22 ; 모우터 23 ; 감속기어

24 ; 권취풀리 25 ; 도르레

26 ; 와이어 30 ; 승강적재판

31 ; 가이드로울러

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 가스실린더 이동용 카트는 손잡이 및 전후 주행용 로울러를 구비한 중공형의 프레임과, 이 프레임의 소정 위치에 형성된 가스실린더 안착부와, 상기 프레임의 내측에 구비된 동력발생부와, 이 동력발생부로부터 동력을 전달받아 상기 프레임을 따라 승강 가능하도록 결합된 승강적재판을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

또한, 상기 프레임은 가스실린더가 안착되는 안착부의 외측으로 개폐 가능한 실린더커버가 결합됨을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도1 및 도2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스실린더 이동용 카트는 손잡이(11) 및 전후 주행용 로울러(12)를 구비한 중공형의 프레임(10)과, 이 프레임(10)의 소정 위치에 형성된 가스실린더 안착부(13)와, 상기 프레임(10)의 내측에 구비된 동력발생부(20)와, 이 동력발생부(20)로부터 동력을 전달받아 상기 프레임(10)을 따라 승강 가능하도록 결합된 승강적재판(30)을 포함하는 구성으로 이루어진다.

상기 프레임(10)은 가스실린더(1)가 안착되는 안착부(30)의 외측으로 개폐 가능한 실린더커버(16)가 결합되어 있으며, 상기 실린더커버(16)는 프레임(10)의 양측에 힌지 결합되어 각각 개방될 수 있도록 좌우 양측으로 분할 형성되어 있다.

이러한 구조에 있어서, 상기 안착부(13)는 상기 프레임(10)의 전면 내측으로 오목한 원호 형상을 이루며 상기 프레임(10)에 일체로 보강 형성되는 것이다.

또한, 상기 프레임(10)은 상기 승강적재판(30)의 승강 이동을 안내할 수 있도록 상기 승강적재판(30)의 양측부와 각각 인접하는 내측에 그 길이방향을 따라 소정 길이만큼의 가이드슬롯(14)이 절개 형성되어 있으며, 손잡이(11)의 일측에는 상기 동력발생부(20)의 구동 제어를 위한 콘트롤박스(15)가 구비되어 있다.

한편, 상기 동력발생부(20)는 적정 속도의 정/역방향 회전력을 발생하는 모우터기어박스(21)와, 상기 프레임(10)의 내측을 따라 배치되어 상기 모우터기어박스(21) 및 승강적재판(30) 간을 연결하는 와이어(26)와, 이 와이어(26)가 상기 프레임(10)의 내부에서 양방향으로 슬라이딩될 수 있도록 안내하기 위한 도르레(25)로 구성되어 있다.

상기 모우터기어박스(21)는 동력을 발생하는 모우터(22)와, 이 모우터(22)로부터 전달되는 회전력을 감속시켜주는 감속기어(23)와, 이 감속기어(23)와 동축 상에 설치되어 상기 모우터(22)의 회전방향에 따라 상기 와이어(26)를 감거나 풀어 주는 권취풀리(24)로 구성되어 있다.

상기 승강적재판(30)은 상기 프레임(10)과 인접하는 양측 모서리부에 상기 프레임(10)의 내주면을 따라 회전 이동할 수 있는 가이드로울러(31)가 각각 구비되어 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 카트의 작동을 설명하면 다음과 같다.

설비의 사전 예방정비가 필요한 주기에 이르렀을 때 가스실린더(1) 내에 가스를 충전한 후, 본 발명의 카트를 사용하여 이를 설비의 위치까지 운반하고, 상기 설비 내의 소모된 가스실린더(1)를 제거한 후, 새로운 가스실린더(1)로 교체하게 된다.

즉, 작업자가 상기 카트의 손잡이(11)를 잡고 전방으로 밀게 되면 주행용 로울러(12)가 회전하면서 설비의 위치까지 도달하게 되고, 이때, 콘트롤박스(15)의 버튼을 조작하면 동력발생부(20)의 모우터(22)가 정방향으로 감속 회전할 때 상기 권취풀리(24)는 역방향으로 회전하면서 와이어(26)를 풀어주게 된다.

이때, 도르레(25)는 고정된 위치에서 회전하여 상기 와이어(26)를 풀림 방향으로 안내하게 되고, 상기 와이어(26)가 신장될 때 프레임(10)의 내측면에 접촉된 상태로 가이드로울러(31)가 회전하면서 내려감과 동시에 상기 승강적재판(30)도 가스실린더(1)를 적재한 상태로 함께 하강하게 된다.

이러한 상태에서 가스실린더(1)를 반출함으로써 보다 안전하고 용이하게 작업을 진행할 수 있게 되는 것이다.

한편, 상기 가스실린더(1)를 운반하기 위하여 상기 프레임(10)의 안착부(13) 및 승강적재판(30)의 상면에 가스실린더(1)를 적재하게 되는 경우에는, 콘트롤박스(15)의 버튼을 조작하여 동력발생부(20)의 모우터(22)가 역방향으로 감속 회전할 때 상기 권취풀리(24)는 정방향으로 회전하면서 와이어(26)를 감아주게 되고, 이때 상기 도르레(25)는 고정된 위치에서 회전하여 상기 와이어(26)를 권취 방향으로 안내하게 되며, 또한, 상기 와이어(26)가 권취될 때 프레임(10)의 내측면에 접촉된 상태로 가이드로울러(31)가 회전하면서 올라감과 동시에 상기 승강적재판(30)도 가스실린더(1)를 적재한 채로 함께 상승하여 운반이 용이한 상태로 전환되는 것이다.

상기 가스실린더(1)를 운반할 때에는 상기 가스실린더(1)의 외측에 실린더커버(16)를 덮은 후 체결함으로써 상기 가스실린더(1)의 이탈을 방지하여 안전 사고에 대비할 수 있다.

본 발명에 따른 가스실린더 이동용 카트는 각종 설비 내에 새로운 가스실린더(1)를 교체하거나 카트 내에 가스실린더(1)를 적재하고자 할 때 승강적재판(30)을 하강시킬 수 있게 됨으로써 가스실린더(1)의 적재 및 반출 작업이 용이하고, 콘트롤박스(15)의 버튼을 조작함에 따라 승강작동판(30)의 높이가 자동 조절되므로 사용이 간편하며, 가스실린더(1)의 이동시 무리한 힘을 가하지 않아도 되므로 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명은 하나의 바람직한 구체예에 대해서만 기술하였으나, 상기의 구체예를 바탕으로 한 본 발명의 기술사상 범위 내에서의 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 또한, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (8)

1. 손잡이 및 전후 주행용 로울러를 구비한 중공형의 프레임;

   상기 프레임의 소정 위치에 형성된 가스실린더 안착부;

   상기 프레임의 내측에 구비된 동력발생부; 및

   상기 동력발생부로부터 동력을 전달받아 상기 프레임을 따라 승강 가능하도록 결합된 승강적재판;

   을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 가스실린더 이동용 카트.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 프레임은 가스실린더가 안착되는 안착부의 외측으로 개폐 가능한 실린더커버가 결합됨을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 실린더커버는 상기 프레임의 양측에 힌지 결합되어 각각 개방될 수 있도록 좌우 양측으로 분할 형성된 것을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 안착부는 상기 프레임의 전면 내측으로 오목한 원호 형상을 이루며 상기 프레임에 일체로 보강 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 프레임은 상기 승강적재판의 승강 이동을 안내할 수 있도록 상기 승강적재판의 양측부와 각각 인접하는 내측에 그 길이방향을 따라 소정 길이만큼의 가이드슬롯이 절개 형성된 것을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 동력발생부는,

   적정 속도의 정/역방향 회전력을 발생하는 모우터기어박스;

   상기 프레임의 내측을 따라 배치되어 상기 모우터기어박스와 승강적재판 간을 연결하는 와이어; 및

   상기 와이어가 상기 프레임의 내부에서 양방향으로 슬라이딩될 수 있도록 안내하기 위한 도르레;

   로 구성된 것을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.
7. 제 6 항에 있어서,

   모우터기어박스는,

   동력을 발생하는 모우터;

   상기 모우터로부터 전달되는 회전속도를 감속시켜주는 감속기어; 및

   상기 감속기어와 동축 상에 설치되어 상기 모우터의 회전방향에 따라 상기 와이어를 감거나 풀어 주는 권취풀리;

   로 구성됨을 특징으로 하는 상기 가스실린더의 이동용 카트.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 승강적재판은 상기 프레임과 인접하는 양측 모서리부에 상기 프레임의 내주면을 따라 회전 이동할 수 있는 가이드로울러가 각각 구비된 것을 특징으로 하는 상기 가스실린더 이동용 카트.