JPH10128736A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH10128736A JPH10128736A JP28420296A JP28420296A JPH10128736A JP H10128736 A JPH10128736 A JP H10128736A JP 28420296 A JP28420296 A JP 28420296A JP 28420296 A JP28420296 A JP 28420296A JP H10128736 A JPH10128736 A JP H10128736A
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- JP
- Japan
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- work
- ingot
- wire saw
- wire
- feed table
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被加工物の取付作業を容易に行うことができる
ワイヤソーの提供。 【解決手段】ワイヤソー１０に一対のテレスコープ型シ
リンダ３６、３６を設け、該テレスコープ型シリンダ３
６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａを伸張させることによ
り、搬送台車５８で搬送されてきたインゴット３２を受
け取り、その受け取ったインゴット３２を前記ロッド３
６Ａ、３６Ａを収縮させることにより、ワークフィード
テーブル２８のワーク保持部４８に受け渡す。
ワイヤソーの提供。 【解決手段】ワイヤソー１０に一対のテレスコープ型シ
リンダ３６、３６を設け、該テレスコープ型シリンダ３
６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａを伸張させることによ
り、搬送台車５８で搬送されてきたインゴット３２を受
け取り、その受け取ったインゴット３２を前記ロッド３
６Ａ、３６Ａを収縮させることにより、ワークフィード
テーブル２８のワーク保持部４８に受け渡す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーに係り、
特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆性材料を切
断するワイヤソーに関する。
特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆性材料を切
断するワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のワイヤソーでは、ワーク
のワークフィードテーブルへの取りつけ作業は、作業者
が手作業で行っていた。すなわち、搬送台車で搬送され
てきたワークを、作業者がワークフィードテーブルまで
手で持ち運び、所定の位置に位置決めしたのち、固定手
段で固定していた。
のワークフィードテーブルへの取りつけ作業は、作業者
が手作業で行っていた。すなわち、搬送台車で搬送され
てきたワークを、作業者がワークフィードテーブルまで
手で持ち運び、所定の位置に位置決めしたのち、固定手
段で固定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワーク
は重量物であるため、前記のごとく作業者が手で取り付
ける方式では、取付作業に多大な労力を要し、取り付け
に時間がかかるという欠点があった。本発明は、このよ
うな事情を鑑みてなされたもので、ワークの取付作業を
容易に行うことができるワイヤソーを提供することを目
的とする。
は重量物であるため、前記のごとく作業者が手で取り付
ける方式では、取付作業に多大な労力を要し、取り付け
に時間がかかるという欠点があった。本発明は、このよ
うな事情を鑑みてなされたもので、ワークの取付作業を
容易に行うことができるワイヤソーを提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを加工室内に設けられたワークフ
ィードテーブルに取り付け、該ワークフィードテーブル
を走行するワイヤ列に向けて送り出すことにより、前記
ワークを前記ワイヤ列に押し当てて該ワークを多数のウ
ェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを外
部搬送手段から受け取り、そのワークをワークフィード
テーブルのワーク保持部まで移送するとともに、切断終
了したワークをワークフィードテーブルから取り外して
前記外部搬送手段まで移送する移送手段を設けたことを
特徴とする。
成するために、ワークを加工室内に設けられたワークフ
ィードテーブルに取り付け、該ワークフィードテーブル
を走行するワイヤ列に向けて送り出すことにより、前記
ワークを前記ワイヤ列に押し当てて該ワークを多数のウ
ェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを外
部搬送手段から受け取り、そのワークをワークフィード
テーブルのワーク保持部まで移送するとともに、切断終
了したワークをワークフィードテーブルから取り外して
前記外部搬送手段まで移送する移送手段を設けたことを
特徴とする。
【０００５】本発明によれば、外部搬送手段で搬送され
てきたワークは、ワイヤソーに備えられた移送手段によ
り、ワークフィードテーブルに取り付けられる。そし
て、切断が終了したワークは、再び移送手段により、ワ
ークフィードテーブルから搬送手段に移送される。
てきたワークは、ワイヤソーに備えられた移送手段によ
り、ワークフィードテーブルに取り付けられる。そし
て、切断が終了したワークは、再び移送手段により、ワ
ークフィードテーブルから搬送手段に移送される。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係るワイヤソー１０の実施の形態の透
視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２から
繰り出されたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、
１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付
きローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられる。この３本の
溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には、多数の溝が一定
ピッチで形成されており、この溝に前記ワイヤ１４を順
次巻き掛けてゆくことにより、その上部に水平なワイヤ
列２０が形成される。
るワイヤソーの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係るワイヤソー１０の実施の形態の透
視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２から
繰り出されたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、
１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って３本の溝付
きローラ１８Ａ〜１８Ｃに巻き掛けられる。この３本の
溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの外周には、多数の溝が一定
ピッチで形成されており、この溝に前記ワイヤ１４を順
次巻き掛けてゆくことにより、その上部に水平なワイヤ
列２０が形成される。
【０００７】前記ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４
は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しない他方側のワイヤリー
ルに巻き取られる。前記ワイヤ列２０の両側に形成され
るワイヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダ
ンサローラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されてい
る（一方側のみ図示）。ワイヤ案内装置２２は、ワイヤ
リール１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドし、ま
た、ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一定の
張力を付与する。また、ワイヤ洗浄装置２６は、ワイヤ
１４に洗浄液を噴射して、その表面に付着したスラリを
除去する。
は、ワイヤ列２０を挟んで左右対称に形成された他方側
のワイヤ走行路を通って図示しない他方側のワイヤリー
ルに巻き取られる。前記ワイヤ列２０の両側に形成され
るワイヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダ
ンサローラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されてい
る（一方側のみ図示）。ワイヤ案内装置２２は、ワイヤ
リール１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドし、ま
た、ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一定の
張力を付与する。また、ワイヤ洗浄装置２６は、ワイヤ
１４に洗浄液を噴射して、その表面に付着したスラリを
除去する。
【０００８】前記一対のワイヤリール１２及び溝付ロー
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されている。ワイヤ１４は、この３つのモー
タを同期させて駆動することにより、前記一対のワイヤ
リール１２間を高速で往復走行する。前記３本の溝付ロ
ーラ１８Ａ〜１８Ｃで形成されたワイヤ列２０の上方に
は、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフ
ィードテーブル２８が設置されている。このワークフィ
ードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えられて
おり、ワークであるインゴット３２は、このチルチング
装置３０の下部に形成されたワーク保持部４８に取り付
けられる。このインゴット３２の取り付けは、ワイヤソ
ー１０に備えられたローディング装置３４により行わ
れ、該ローディング装置３４は、次のように構成され
る。
ラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図示せ
ず）が連結されている。ワイヤ１４は、この３つのモー
タを同期させて駆動することにより、前記一対のワイヤ
リール１２間を高速で往復走行する。前記３本の溝付ロ
ーラ１８Ａ〜１８Ｃで形成されたワイヤ列２０の上方に
は、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフ
ィードテーブル２８が設置されている。このワークフィ
ードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えられて
おり、ワークであるインゴット３２は、このチルチング
装置３０の下部に形成されたワーク保持部４８に取り付
けられる。このインゴット３２の取り付けは、ワイヤソ
ー１０に備えられたローディング装置３４により行わ
れ、該ローディング装置３４は、次のように構成され
る。
【０００９】図１に示すように、前記ワークフィードテ
ーブル２８の後方には、該ワークフィードテーブル２８
を挟んで一対のテレスコープ型シリンダ３６、３６が水
平に配設されている。この一対のテレスコープ型シリン
ダ３６、３６は、それぞれ前記ワイヤソー１０の本体フ
レームに図示しないベアリングを介して回動自在に支持
されており、前記ワークフィードテーブル２８側に向か
ってそのロッド３６Ａ、３６Ａを伸縮する。
ーブル２８の後方には、該ワークフィードテーブル２８
を挟んで一対のテレスコープ型シリンダ３６、３６が水
平に配設されている。この一対のテレスコープ型シリン
ダ３６、３６は、それぞれ前記ワイヤソー１０の本体フ
レームに図示しないベアリングを介して回動自在に支持
されており、前記ワークフィードテーブル２８側に向か
ってそのロッド３６Ａ、３６Ａを伸縮する。
【００１０】図２に示すように、前記テレスコープ型シ
リンダ３６には、揺動レバー３８が固着されている。こ
こで、前記テレスコープ型シリンダ３６は、図示しない
ベアリングにより回動自在に支持されているので、この
揺動レバー３８を揺動させることにより回動する。な
お、このテレスコープ型シリンダ３６は、図示しないス
トッパー部材により、その回動範囲が規制されており、
９０°の範囲でのみ回動する。したがって、前記揺動レ
バー３８も９０°の範囲でのみ揺動する。
リンダ３６には、揺動レバー３８が固着されている。こ
こで、前記テレスコープ型シリンダ３６は、図示しない
ベアリングにより回動自在に支持されているので、この
揺動レバー３８を揺動させることにより回動する。な
お、このテレスコープ型シリンダ３６は、図示しないス
トッパー部材により、その回動範囲が規制されており、
９０°の範囲でのみ回動する。したがって、前記揺動レ
バー３８も９０°の範囲でのみ揺動する。
【００１１】前記揺動レバー３８は、図２に示すよう
に、油圧シリンダ４０によって駆動される。この油圧シ
リンダ４０は、その基端部を図示しないワイヤソーの本
体フレームに揺動自在に支持されており、前記揺動レバ
ー３８とそのロッド先端部でピン結合されている。前記
揺動レバー３８は、この油圧シリンダを駆動することに
より揺動し、この結果、前記テレスコープ型シリンダ３
６が回動する。
に、油圧シリンダ４０によって駆動される。この油圧シ
リンダ４０は、その基端部を図示しないワイヤソーの本
体フレームに揺動自在に支持されており、前記揺動レバ
ー３８とそのロッド先端部でピン結合されている。前記
揺動レバー３８は、この油圧シリンダを駆動することに
より揺動し、この結果、前記テレスコープ型シリンダ３
６が回動する。
【００１２】前記テレスコープ型シリンダ３６のロッド
３６Ａ先端部には、前記インゴット３２を保持するため
の爪４２が固着されている。この爪４２は、後述するマ
ウンティングプレート４６の幅とほぼ同一の幅で形成さ
れており、その先端部に前記インゴット３２を載置する
ためのテーパ状の突起部４２Ａが形成されている。な
お、前記テレスコープ型シリンダ３６は、その回動範囲
を９０°に限定されているので、前記爪４２は、互いに
垂直下向きの状態から内側に向かって９０°回転するこ
とにより、水平になるように設定する（図２中二点破線
の状態）。前記インゴット３２は、この水平状態にある
爪４２に、そのマウンティングプレート４６の両端部を
保持される。
３６Ａ先端部には、前記インゴット３２を保持するため
の爪４２が固着されている。この爪４２は、後述するマ
ウンティングプレート４６の幅とほぼ同一の幅で形成さ
れており、その先端部に前記インゴット３２を載置する
ためのテーパ状の突起部４２Ａが形成されている。な
お、前記テレスコープ型シリンダ３６は、その回動範囲
を９０°に限定されているので、前記爪４２は、互いに
垂直下向きの状態から内側に向かって９０°回転するこ
とにより、水平になるように設定する（図２中二点破線
の状態）。前記インゴット３２は、この水平状態にある
爪４２に、そのマウンティングプレート４６の両端部を
保持される。
【００１３】ここで、前記爪４２に保持されるインゴッ
ト３２について説明すると、インゴット３２は、図２に
示すように、その上部にスライスベース４４を介してマ
ウンティングプレート４６が接着されている。このマウ
ンティングプレート４６は、前記チルチング装置３０の
下部に形成されたワーク保持部４８に嵌合するように形
成されており、このワーク保持部４８に嵌入されると、
その上面部を前記ワーク保持部４８に設けられた油圧シ
リンダ５０、５０に押圧されて固定される。前記ローデ
ィング装置３４は、後述する搬送台車５８からインゴッ
ト３２を受け取り、そのマウンティングプレート４６を
前記ワーク保持部４８に嵌入させる。
ト３２について説明すると、インゴット３２は、図２に
示すように、その上部にスライスベース４４を介してマ
ウンティングプレート４６が接着されている。このマウ
ンティングプレート４６は、前記チルチング装置３０の
下部に形成されたワーク保持部４８に嵌合するように形
成されており、このワーク保持部４８に嵌入されると、
その上面部を前記ワーク保持部４８に設けられた油圧シ
リンダ５０、５０に押圧されて固定される。前記ローデ
ィング装置３４は、後述する搬送台車５８からインゴッ
ト３２を受け取り、そのマウンティングプレート４６を
前記ワーク保持部４８に嵌入させる。
【００１４】本発明に係るワイヤソー１０は前記のごと
く構成されるが、その切断に際して、周囲にスラリが飛
散するため、これを防止するために、前記溝付ローラ１
８Ａ〜１８Ｃの周囲はカバー５２で覆われている（図は
カバー５２を上げた状態）。このカバー５２は、図３及
び図４に示すように、上下方向にスライド自在に支持さ
れており、図示しない駆動機構により、自動的に開閉で
きるように構成されている。また、同様にスラリはワイ
ヤソー１０の装置内にも飛散するので、これを防止する
ために、前記溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの後方は、仕切
板５４で仕切られ、筐体５５で囲われている。このた
め、切断は別個独立した空間（以下、加工室という）内
で行われることになる。
く構成されるが、その切断に際して、周囲にスラリが飛
散するため、これを防止するために、前記溝付ローラ１
８Ａ〜１８Ｃの周囲はカバー５２で覆われている（図は
カバー５２を上げた状態）。このカバー５２は、図３及
び図４に示すように、上下方向にスライド自在に支持さ
れており、図示しない駆動機構により、自動的に開閉で
きるように構成されている。また、同様にスラリはワイ
ヤソー１０の装置内にも飛散するので、これを防止する
ために、前記溝付ローラ１８Ａ〜１８Ｃの後方は、仕切
板５４で仕切られ、筐体５５で囲われている。このた
め、切断は別個独立した空間（以下、加工室という）内
で行われることになる。
【００１５】ここで、前記テレスコープ型シリンダ３
６、３６は、前記仕切板５４の後方に配置されているの
で、このテレスコープ型シリンダ３６、３６のロッド３
６Ａ、３６Ａを伸張させた際、該ロッド３６Ａ、３６Ａ
が前記加工室内に挿通できるように、前記仕切板５４に
は開口部５４Ａ、５４Ａが形成されている。この開口部
５４Ａ、５４Ａは、図３に示すように、横方向にスライ
ド自在に支持されたシャッタ５６、５６によって開閉自
在に設けられており、該シャッタ５６、５６は、図示し
ない駆動機構により、前記テレスコープ型シリンダ３
６、３６の伸張時のみ前記開口部５４Ａ、５４Ａを開口
する。
６、３６は、前記仕切板５４の後方に配置されているの
で、このテレスコープ型シリンダ３６、３６のロッド３
６Ａ、３６Ａを伸張させた際、該ロッド３６Ａ、３６Ａ
が前記加工室内に挿通できるように、前記仕切板５４に
は開口部５４Ａ、５４Ａが形成されている。この開口部
５４Ａ、５４Ａは、図３に示すように、横方向にスライ
ド自在に支持されたシャッタ５６、５６によって開閉自
在に設けられており、該シャッタ５６、５６は、図示し
ない駆動機構により、前記テレスコープ型シリンダ３
６、３６の伸張時のみ前記開口部５４Ａ、５４Ａを開口
する。
【００１６】また、図４に示すように、インゴット３２
の搬送は、搬送台車５８により行われ、前記インゴット
３２は、この搬送台車５８によりワイヤソー１０近傍の
所定位置まで搬送される。前記のごとく構成された本発
明に係るワイヤソーの実施の形態の作用は次の通りであ
る。
の搬送は、搬送台車５８により行われ、前記インゴット
３２は、この搬送台車５８によりワイヤソー１０近傍の
所定位置まで搬送される。前記のごとく構成された本発
明に係るワイヤソーの実施の形態の作用は次の通りであ
る。
【００１７】図４に示すように、まず、格納庫からイン
ゴット３２が搬送台車５８によって、ワイヤソー１０の
正面の所定位置に搬送されてくる。これと同時に、ワイ
ヤソー１０のカバー５２が上昇する。なお、この格納庫
から搬送されてくるインゴット３２には、既にマウンテ
ィングプレート４６が接着されており、該マウンティン
グプレート４６が水平な状態で搬送されてくる。
ゴット３２が搬送台車５８によって、ワイヤソー１０の
正面の所定位置に搬送されてくる。これと同時に、ワイ
ヤソー１０のカバー５２が上昇する。なお、この格納庫
から搬送されてくるインゴット３２には、既にマウンテ
ィングプレート４６が接着されており、該マウンティン
グプレート４６が水平な状態で搬送されてくる。
【００１８】前記インゴット３２が所定位置まで搬送さ
れてくると、搬送台車５８に備えられたパンタグラフ式
の昇降装置が駆動されて、インゴット３２が所定の高さ
まで上昇する。この位置がインゴット３２の受け渡し位
置となる。一方、前記インゴット３２が受け渡し位置ま
で搬送されると、仕切板５４に設けられたシャッタ５
６、５６が開き、テレスコープ型シリンダ３６、３６の
ロッド３６Ａ、３６Ａが伸張してくる。このテレスコー
プ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａは、そ
の先端部に固着された爪４２、４２が、ちょうどインゴ
ット３２のマウンティングプレート４６の両脇に位置す
るように伸張する。
れてくると、搬送台車５８に備えられたパンタグラフ式
の昇降装置が駆動されて、インゴット３２が所定の高さ
まで上昇する。この位置がインゴット３２の受け渡し位
置となる。一方、前記インゴット３２が受け渡し位置ま
で搬送されると、仕切板５４に設けられたシャッタ５
６、５６が開き、テレスコープ型シリンダ３６、３６の
ロッド３６Ａ、３６Ａが伸張してくる。このテレスコー
プ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａは、そ
の先端部に固着された爪４２、４２が、ちょうどインゴ
ット３２のマウンティングプレート４６の両脇に位置す
るように伸張する。
【００１９】そして、爪４２、４２が、ちょうどインゴ
ット３２のマウンティングプレート４６の両脇まで伸張
すると、テレスコープ型シリンダ３６、３６は、図２に
示すように、油圧シリンダ４０、４０に駆動されて、互
いに内向きに９０°回転する。前記テレスコープ型シリ
ンダ３６、３６が回転することによって、爪４２、４２
も互いに内側に向かって９０°回転するので、この結
果、この爪４２、４２の先端突起部４２Ａ、４２Ａ上に
前記マウンティングプレート４６の両端部が載置され
る。
ット３２のマウンティングプレート４６の両脇まで伸張
すると、テレスコープ型シリンダ３６、３６は、図２に
示すように、油圧シリンダ４０、４０に駆動されて、互
いに内向きに９０°回転する。前記テレスコープ型シリ
ンダ３６、３６が回転することによって、爪４２、４２
も互いに内側に向かって９０°回転するので、この結
果、この爪４２、４２の先端突起部４２Ａ、４２Ａ上に
前記マウンティングプレート４６の両端部が載置され
る。
【００２０】前記マウンティングプレート４６の両端部
が、前記爪４２、４２の先端突起部４２、４２上に載置
されると、前記搬送台車５８に備えられたパンタグラフ
式の昇降装置が駆動され下降する。これと同時に、前記
テレスコープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３
６Ａが収縮し、インゴット３２は加工室内に向かって搬
送される。
が、前記爪４２、４２の先端突起部４２、４２上に載置
されると、前記搬送台車５８に備えられたパンタグラフ
式の昇降装置が駆動され下降する。これと同時に、前記
テレスコープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３
６Ａが収縮し、インゴット３２は加工室内に向かって搬
送される。
【００２１】ここで、前記テレスコープ型シリンダ３
６、３６は、互いに水平に配設されているため、インゴ
ット３２は水平に搬送される。一方、このインゴット３
２の搬送先には、インゴット３２が装着されるワーク保
持部４８が予め位置しており、インゴット３２が水平に
搬送されてくると、そのマウンティングプレート４６が
自動的に、前記ワーク保持部４８に嵌入される。なお、
この時、マウンティングプレート４６は、その下部に所
定の隙間をもってワーク保持部４８内に嵌入される。
６、３６は、互いに水平に配設されているため、インゴ
ット３２は水平に搬送される。一方、このインゴット３
２の搬送先には、インゴット３２が装着されるワーク保
持部４８が予め位置しており、インゴット３２が水平に
搬送されてくると、そのマウンティングプレート４６が
自動的に、前記ワーク保持部４８に嵌入される。なお、
この時、マウンティングプレート４６は、その下部に所
定の隙間をもってワーク保持部４８内に嵌入される。
【００２２】マウンティングプレート４６がワーク保持
部４８に嵌入されると、テレスコープ型シリンダ３６、
３６の駆動は一時停止する。このテレスコープ型シリン
ダ３６、３６の一時停止と同時に、テレスコープ型シリ
ンダ３６を回動駆動する油圧シリンダ４０、４０が駆動
され、互いの爪４２、４２が下側に向かって回転する。
これにより、マウンティングプレート４６は、爪４２、
４２による保持が解け、微少量下降してワーク保持部４
８に保持される。
部４８に嵌入されると、テレスコープ型シリンダ３６、
３６の駆動は一時停止する。このテレスコープ型シリン
ダ３６、３６の一時停止と同時に、テレスコープ型シリ
ンダ３６を回動駆動する油圧シリンダ４０、４０が駆動
され、互いの爪４２、４２が下側に向かって回転する。
これにより、マウンティングプレート４６は、爪４２、
４２による保持が解け、微少量下降してワーク保持部４
８に保持される。
【００２３】爪４２、４２が回転し終わると、再びテレ
スコープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａ
は収縮を再開し、完全に収縮されると、仕切板５４に設
けられたシャッタ５６、５６が閉じ、その開口部５４
Ａ、５４Ａが閉鎖される。一方、前記ワーク保持部４８
に保持されたインゴット３２は、そのワーク保持部４８
に設けられた油圧シリンダ５０、５０に上面部を押圧さ
れて固定される。
スコープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａ
は収縮を再開し、完全に収縮されると、仕切板５４に設
けられたシャッタ５６、５６が閉じ、その開口部５４
Ａ、５４Ａが閉鎖される。一方、前記ワーク保持部４８
に保持されたインゴット３２は、そのワーク保持部４８
に設けられた油圧シリンダ５０、５０に上面部を押圧さ
れて固定される。
【００２４】これにより、インゴット３２の装着が終了
し、これと同時に、カバー５２が下降してきて、切断部
の周囲がカバー５２で覆われる。そして、カバー５２が
完全に下降したところで切断が開始される。インゴット
３２の切断は、図１に示すように、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３３から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
し、これと同時に、カバー５２が下降してきて、切断部
の周囲がカバー５２で覆われる。そして、カバー５２が
完全に下降したところで切断が開始される。インゴット
３２の切断は、図１に示すように、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３３から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。
【００２５】なお、前記インゴット３２の加工に供した
スラリは、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイル
パン３９を介して前記スラリタンク３３に回収される。
そして、回収されたスラリは、不足分を補給されながら
循環再利用される。切断が終了すると、前記ワークフィ
ードテーブル２８は、前記インゴット３２を受け取った
位置まで上昇する。これと同時に、カバー５２が上昇
し、加工室が開く。
スラリは、前記ワイヤ列２０の下方に設置されたオイル
パン３９を介して前記スラリタンク３３に回収される。
そして、回収されたスラリは、不足分を補給されながら
循環再利用される。切断が終了すると、前記ワークフィ
ードテーブル２８は、前記インゴット３２を受け取った
位置まで上昇する。これと同時に、カバー５２が上昇
し、加工室が開く。
【００２６】前記ワークフィードテーブル２８が、前記
インゴット３２を受け取った位置まで上昇すると、仕切
板５４に設けられたシャッタ５６、５６が開き、テレス
コープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａが
伸張してくる。そして、そのロッド３６Ａ、３６Ａ先端
部に設けられた爪４２、４２が前記ワーク保持部４８の
下方位置まで伸張すると、前記テレスコープ型シリンダ
３６、３６の駆動は一時停止される。
インゴット３２を受け取った位置まで上昇すると、仕切
板５４に設けられたシャッタ５６、５６が開き、テレス
コープ型シリンダ３６、３６のロッド３６Ａ、３６Ａが
伸張してくる。そして、そのロッド３６Ａ、３６Ａ先端
部に設けられた爪４２、４２が前記ワーク保持部４８の
下方位置まで伸張すると、前記テレスコープ型シリンダ
３６、３６の駆動は一時停止される。
【００２７】一方、前記ワークフィードテーブル２８
が、前記インゴット３２を受け取った位置まで上昇する
と、マウンティングプレート４６を押圧していた油圧シ
リンダ５０、５０のロッドが上昇し、固定が解除され
る。この状態で、前記ワーク保持部４８の下方位置に位
置していた爪４２、４２が回転し、該爪４２、４２にマ
ウンティングプレート４６が保持される。
が、前記インゴット３２を受け取った位置まで上昇する
と、マウンティングプレート４６を押圧していた油圧シ
リンダ５０、５０のロッドが上昇し、固定が解除され
る。この状態で、前記ワーク保持部４８の下方位置に位
置していた爪４２、４２が回転し、該爪４２、４２にマ
ウンティングプレート４６が保持される。
【００２８】マウンティングプレート４２が爪４２、４
２に保持されると、再びテレスコープ型シリンダ３６、
３６が駆動される。そして、そのロッド３６Ａ、３６Ａ
が伸張して、インゴット３２が前方に搬送される。イン
ゴット３２の搬送先には、切断前に前記テレスコープ型
シリンダ３６、３６にインゴット３２を受け渡した搬送
台車５８が位置しているので、この搬送台車５８まで前
記インゴット３２が搬送されると、テレスコープ型シリ
ンダ３６、３６の駆動は停止される。そして、前記イン
ゴット３２が、この搬送台車５８まで搬送されると、搬
送台車５８に設けられたパンタグラフ式の昇降装置が昇
降するとともに、前記爪４２、４２が回転し、インゴッ
ト３２が搬送台車５８に受け渡される。
２に保持されると、再びテレスコープ型シリンダ３６、
３６が駆動される。そして、そのロッド３６Ａ、３６Ａ
が伸張して、インゴット３２が前方に搬送される。イン
ゴット３２の搬送先には、切断前に前記テレスコープ型
シリンダ３６、３６にインゴット３２を受け渡した搬送
台車５８が位置しているので、この搬送台車５８まで前
記インゴット３２が搬送されると、テレスコープ型シリ
ンダ３６、３６の駆動は停止される。そして、前記イン
ゴット３２が、この搬送台車５８まで搬送されると、搬
送台車５８に設けられたパンタグラフ式の昇降装置が昇
降するとともに、前記爪４２、４２が回転し、インゴッ
ト３２が搬送台車５８に受け渡される。
【００２９】インゴット３２を受け取った搬送台車５８
は、次工程である洗浄装置にインゴット３２を搬送す
る。一方、インゴット３２を受け渡したテレスコープ型
シリンダ３６、３６は、そのまま収縮する。また、次切
断のインゴット３２が既に搬送されてきている場合は、
そのまま、前記同様の工程でインゴット３２を受け取
り、切断を行う。
は、次工程である洗浄装置にインゴット３２を搬送す
る。一方、インゴット３２を受け渡したテレスコープ型
シリンダ３６、３６は、そのまま収縮する。また、次切
断のインゴット３２が既に搬送されてきている場合は、
そのまま、前記同様の工程でインゴット３２を受け取
り、切断を行う。
【００３０】このように、本実施の形態のワイヤソー１
０によれば、インゴット３２の受け取り、受け渡しを全
て自動的に行うことができる。これにより、生産ライン
の全自動化を図ることができ、生産効率が向上する。ま
た、ローディング装置３４は備え付けではあるが、伸縮
することにより極めてコンパクトな構成となっている。
０によれば、インゴット３２の受け取り、受け渡しを全
て自動的に行うことができる。これにより、生産ライン
の全自動化を図ることができ、生産効率が向上する。ま
た、ローディング装置３４は備え付けではあるが、伸縮
することにより極めてコンパクトな構成となっている。
【００３１】さらに、通常は加工室外に位置しており、
必要時のみ加工室内に伸張してくるため、加工室内の点
検作業やワイヤ巻きかけ作業時に邪魔となることはな
く、また、加工室外がスラリで汚染されることもない。
なお、本実施の形態のワイヤソー１０では、爪４２、４
２を９０°回転させることにより、インゴット３２の受
け取り、受け渡しを行っていたが、次のように、爪６
０、６０を上下動させてインゴット３２の受け取り、受
け渡しを行ってもよい。
必要時のみ加工室内に伸張してくるため、加工室内の点
検作業やワイヤ巻きかけ作業時に邪魔となることはな
く、また、加工室外がスラリで汚染されることもない。
なお、本実施の形態のワイヤソー１０では、爪４２、４
２を９０°回転させることにより、インゴット３２の受
け取り、受け渡しを行っていたが、次のように、爪６
０、６０を上下動させてインゴット３２の受け取り、受
け渡しを行ってもよい。
【００３２】図５に示すように、テレスコープ型シリン
ダ３６、３６は、それぞれ軸受ユニット６２、６２に回
動自在に支持されている。この軸受ユニット６２、６２
は、ワイヤソーの本体フレーム１０Ｆに配設されたガイ
ドレール６４、６４にスライダ６６、６６を介してスラ
イド移動自在に支持されている。そして、その下部に連
結された油圧シリンダ６８、６８に駆動され、前記ガイ
ドレール６４、６４に沿って上下動する。
ダ３６、３６は、それぞれ軸受ユニット６２、６２に回
動自在に支持されている。この軸受ユニット６２、６２
は、ワイヤソーの本体フレーム１０Ｆに配設されたガイ
ドレール６４、６４にスライダ６６、６６を介してスラ
イド移動自在に支持されている。そして、その下部に連
結された油圧シリンダ６８、６８に駆動され、前記ガイ
ドレール６４、６４に沿って上下動する。
【００３３】前記テレスコープ型シリンダ３６、３６の
ロッド３６Ａ、３６Ａ先端部には、それぞれ爪６０、６
０が固着されており、前記油圧シリンダ６８、６８を駆
動することにより、この爪６０、６０が上下動し、イン
ゴット３２の受け取り、受け渡しが行われれる。
ロッド３６Ａ、３６Ａ先端部には、それぞれ爪６０、６
０が固着されており、前記油圧シリンダ６８、６８を駆
動することにより、この爪６０、６０が上下動し、イン
ゴット３２の受け取り、受け渡しが行われれる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークの受け取り、受け渡しを全て自動的に行うことが
できる。これにより、生産ラインの全自動化を図ること
ができ、生産効率が向上する。
ワークの受け取り、受け渡しを全て自動的に行うことが
できる。これにより、生産ラインの全自動化を図ること
ができ、生産効率が向上する。
【図１】ワイヤソーの構成を示す透視図
【図２】ワイヤソーの要部拡大図
【図３】ワイヤソーの正面図
【図４】ワイヤソーの側面図
【図５】他の実施の形態のワイヤソーの要部拡大図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２８…ワークフィードテーブル ３２…インゴット ３６…テレスコープ型シリンダ ３６Ａ…ロッド ４２…爪 ４６…マウンティングプレート ４８…ワーク保持部 ５２…カバー ５４…仕切板 ５４Ａ…開口部 ５６…シャッタ
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを加工室内に設けられたワークフ
ィードテーブルに取り付け、該ワークフィードテーブル
を走行するワイヤ列に向けて送り出すことにより、前記
ワークを前記ワイヤ列に押し当てて該ワークを多数のウ
ェーハに切断するワイヤソーにおいて、 前記ワークを外部搬送手段から受け取り、そのワークを
ワークフィードテーブルのワーク保持部まで移送すると
ともに、切断終了したワークをワークフィードテーブル
から取り外して前記外部搬送手段まで移送する移送手段
を設けたことを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】 前記移送手段は、伸縮自在な一対のアー
ムであり、該アームは、前記搬送手段まで伸張して該搬
送手段から前記ワークを受け取るとともに、収縮してそ
の受け取ったワークを前記ワークフィードテーブルに取
り付けることを特徴とする請求項１記載のワイヤソー。 - 【請求項３】 前記アームを、前記加工室の後方の筐体
内に設置するとともに、その加工室の壁面に前記アーム
が挿通する開口部を設け、該開口部を開閉自在なシャッ
タで覆ったことを特徴とする請求項２記載のワイヤソ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28420296A JP3178653B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28420296A JP3178653B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ワイヤソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10128736A true JPH10128736A (ja) | 1998-05-19 |
| JP3178653B2 JP3178653B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=17675489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28420296A Expired - Fee Related JP3178653B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178653B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010149248A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー及びワイヤソーシステム |
| WO2012031900A1 (en) * | 2010-09-06 | 2012-03-15 | Meyer Burger Ag | Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine |
| CN105835246A (zh) * | 2016-05-14 | 2016-08-10 | 洛阳金诺机械工程有限公司 | 一种晶体硅棒的切割装置及其切割方法 |
| CN106827268A (zh) * | 2017-01-25 | 2017-06-13 | 上海日进机床有限公司 | 晶体硅工件截断机及晶体硅工件截断方法 |
| CN111745220A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线锯机 |
| JP2021049590A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 |
| JP2021049589A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 |
| CN114523156A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-05-24 | 南通宏耀锅炉辅机有限公司 | 一种锅炉温度测量用热电偶套管切割机 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5769896B1 (ja) | 2014-10-10 | 2015-08-26 | ユニ・チャーム株式会社 | 吸収性物品 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP28420296A patent/JP3178653B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010149248A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー及びワイヤソーシステム |
| TWI481489B (zh) * | 2008-12-25 | 2015-04-21 | Komatsu Ntc Ltd | Wire sawing system |
| WO2012031900A1 (en) * | 2010-09-06 | 2012-03-15 | Meyer Burger Ag | Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine |
| CN105835246A (zh) * | 2016-05-14 | 2016-08-10 | 洛阳金诺机械工程有限公司 | 一种晶体硅棒的切割装置及其切割方法 |
| CN106827268A (zh) * | 2017-01-25 | 2017-06-13 | 上海日进机床有限公司 | 晶体硅工件截断机及晶体硅工件截断方法 |
| CN111745220A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线锯机 |
| JP2021049590A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 |
| JP2021049589A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 |
| CN114523156A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-05-24 | 南通宏耀锅炉辅机有限公司 | 一种锅炉温度测量用热电偶套管切割机 |
| CN114523156B (zh) * | 2022-04-21 | 2022-07-22 | 南通宏耀锅炉辅机有限公司 | 一种锅炉温度测量用热电偶套管切割机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3178653B2 (ja) | 2001-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |