KR19980086825A - 본딩 하중의 보정방법 및 와이어 본딩장치 - Google Patents

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후지야마 겐지
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Abstract

기계적 요인이나 인적요인에 의한 교정차가 생기지 않음과 동시에, 본딩점이 어떤 높이 위치에 있어도, 설정된 본딩 하중과 동등한 실제본딩하중을 얻을 수가 있다.
컴퓨터(21)는 무부하시 및 추(43)를 지지프레임(3)에 장착하여 리니어모터(7)에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을 때의 각각의 상태에 있어서 본딩아암(2)의 높이위치의 위치어긋남을 보정하는 보정치와 상기 전력을 제한하는 리미트치를 기억하는 메모리(45)를 갖는다.

Description

본딩 하중의 보정방법 및 와이어 본딩장치
본 발명은 본딩아암이 상하방향으로 이동가능하게 지지되고, 또한 탄성부재에 의하여 가압되는 본딩하중의 보정방법 및 와이어 본딩장치에 관한 것이다.
본딩아암이 상하방향으로 이동가능하게 지지되고, 또한 탄성부재에 의하여 가압되는 와이어 본딩장치는, 도 2에 도시한 바와같은 구조로 되어 있다. 일단에 본딩툴(1)을 갖는 본딩아암(2)은 지지프레임(3)의 일단에 고정되어 있다. 지지프레임(3)은 십자형상으로 조립부착된 판스프링(4)을 통하여 이동테이블(5)에 상하방향으로 요동자유롭게 부착되고, 이동테이블(5)은 XY테이블(6)에 탑재되어 있다. 지지프레임(3)의 타단에는 리니어모터(7)의 코일(8)이 고정되고, 또 리니어모터(7)의 마그네트(9)는 이동테이블(5)에 고정되어 있다. 지지프레임(3)의 후단에는 리니어 스케일(10)이 고정되어 있고, 리니어 스케일(10)에 대향하여 이동테이블(5)에는 위치센서(11) 및 인코더(12)로 이루어지는 위치 검지부(13)의 위치센서(11)가 고정되어 있다. 또 와이어 본딩장치는 도시하지 않은 워크를 가열하는 히트블록(15)을 갖고, 히트블록(15)은 상하이동기구(16)로 상하이동된다. 또한, 이러한 종류의 와이어 본딩장치로서는 예컨대 일본특개소 58-184734호공보, 특개평 6-29343호공보, 특공평 6-80697호 공보를 들 수 있다.
따라서, 리니어모터(7)의 구동에 의하여 지지프레임(3)및 본딩아암(2)이 판스프링(4)을 중심으로하여 요동하고, 본딩툴(1)이 상하이동한다. 또, XY테이블(6)의 구동에 의하여 이동테이블(5), 지지프레임(3), 본딩아암(2) 및 본딩툴(1)이 XY방향으로 이동한다. 이 본딩툴(1)의 상하이동 및 XY방향 이동의 조합에 의하여, 도시하지 않은 워크상의 제 1본딩점과 제 2본딩점 사이에 본딩툴(1)에 삽통된 도시하지 않은 와이어를 접속한다. 여기서 제 1본딩점에는, 와이어의 선단에 형성된 볼이 본딩되고, 제 2본딩점에는 와이어의 타단이 본딩된다. 제 1본딩점 및 제 2본딩점에 와이어를 본딩할 때, 본딩툴(1)에 의하여 볼 또는 와이어를 워크상의 본딩점에 밀어붙여 접속하기 위해, 리니어모터(7)로부터 본딩하중이 걸리게 된다.
다음으로 각 블록의 동작 및 리니어모터(7)의 제어형태에 관하여 설명한다. 외부입출력수단(20)은 컴퓨터(21)에 대하여 동작에 필요한 각종정보의 입출력을 행한다. 이것은 수동조작이라도, 외부장치와의 온라인 통신에 의한 조작이라도 좋다. 컴퓨터(21)는 제어회로(22), 연산회로(23), 기준좌표 레지스터(24), 하중리미트치 레지스터(25) 및 높이위치 카운터(26)를 가지며, 제어회로(22)는 외부입출력수단(20), 연산회로(23), 기준좌표 레지스터(24), 하중리미트치 레지스터(25) 및 높이위치 카운터(26)를 제어한다.
기준좌표 레지스터(24)에는 본딩아암(2)의 높이위치가 격납된다. 이 값은 하나의 위치지령이 되어 위치제어부(30)의 위치제어회로(31)에 입력된다. 그러면 위치제어회로(31)는 전회의 위치지령과 새로운 위치지령을 비교하여, 그 차이로부터 이동량을 생성한다. 이 이동량은 드라이브신호(32)로서 위치제어부(30)의 모터드라이버(33)에 전달된다.
한편, 하중리미트치 레지스터(25)에는 본딩하중의 상한치를 나타내는 값이 격납되고, 리미트정보(27)로서 모터드라이버(33)에 전달된다. 모터드라이버(33)는 드라이브신호(32)에 의하여 본딩툴(1)을 지정한 높이 위치로 이동시키기 위한 전력을 생성함과 동시에 리미트정보(27)에 의하여 본딩하중의 상한치를 초과하지 않도록 전력을 제한하는 기능을 함께 가지고 있다. 또한 전력은 전압과 전류의 곱이므로, 실제의 리니어모터(7)의 제어는 전압 또는 전류의 어느 한쪽 또는 쌍방을 제어하면 된다. 따라서, 이후는 리니어모터(7)에 흐르는 드라이브전류(34)를 제어하고, 전압은 고정치로 하는 제어방식에 관하여 설명한다. 이 드라이브 전류(34)를 제어하는 회로로서는 예컨대 일본특공평 6-18222호 공보를 들 수 있다. 모터드라이버(33)에서 생성된 드라이브 전류(34)가 리니어모터(7)의 코일(8)에 인가되면 구동력이 발생한다. 이 구동력에 의하여, 지지프레임(3), 본딩아암(2) 및 본딩툴(1)이 판스프링(4)을 지점으로 하여 요동한다.
높이위치카운터(26)는 위치센서(11)로부터의 신호를 컴퓨터(21)에 입력하는데 적합한 신호형식으로 변환하는 인코더(12)로부터의 신호를 계수하여, 리니어 스케일(10)의 실제 높이위치를 생성한다. 컴퓨터(21)에는 미리 리니어 스케일(10)의 상하방향의 이동량에 대한, 본딩툴(1)의 상하방향의 이동량과의 비율과 양자화 게수가 부여되어 있으므로, 이것을 기초로하여, 높이위치 카운터(26)가 나타내는 값을 연산회로(23)에서 연산하므로써, 본딩툴(1)의 실제의 높이위치가 구해진다. 또한, 본딩툴(1)의 높이위치란, 본딩툴(1)이 하중을 인가해야할 물체에 접촉하고 있는 개소의 높이위치를 말한다.
다음으로 종래의 본딩 하중의 교정 방법에 관하여 설명한다. 우선, 본딩툴(1)의 선단부 바로아래에 로드셀(40)의 돌기부(41)(검출부)가 위치하도록 로드셀(40)을 히트블록(15)상에 둔다. 로드셀(40)은 하중계(42)에 접속되어 있고, 항상 로드셀(40)에 가해진 하중을 표시한다. 다음에 상하이동기구(16)를 작동시켜서 히트블록(15) 및 로드셀(40)을 상하이동시켜, 본딩아암(2)이 수평이 되도록 조정한다.
여기서, 본딩아암(2)을 수평으로 조정하는 것은 다음 이유에 따른다. 본딩툴(1)의 본딩점과 접촉하는 하면은 본딩시에 본딩면과 평행인 것이 바람직하다. 본딩툴(1)은 본딩아암(2)이 신장하는 방향에 대하여 바로 아래 방향에 직각으로 고정된다. 그런데, 본딩아암(2) 및 본딩툴(1)은 판스프링(4)을 중심으로 하여 요동한다. 따라서, 본딩점에 본딩툴(1)이 접촉했을때에 본딩툴(1)이 수직이 되는 위치, 즉 본딩아암(2)이 수평상태인 것이 바람직하다.
상기와 같이, 본딩아암(2)을 수평으로 조정한 상태로, 외부입출력수단(20)에 의하여 컴퓨터(21)에 본딩아암(2)을 수평으로 하도록 지시가 부여된다. 이 지시에 의하여, 제어회로(22)는 기준좌표 레지스터(24)를 통해 위치 제어회로(31)에 대하여, 그를 위한 제어정보를 송출한다. 또 모터드라이버(33)에 대하여는 드라이브 전류(34)를 제한하기 위한 리미트정보(27)를 송출한다. 위치제어회로(31)로 부터는 드라이브전류(34)를 생성하기 위한 드라이브신호(32)가 모터드라이버(33)로 이송된다. 모터드라이버(33)는 이 드라이브신호(32)를 토대로, 지정된 극성 및 전류량의 드라이브 전류(34)를 생성하고, 코일(8)에 대하여 출력한다. 단, 드라이브전류(34)가 컴퓨터(21)로부터 지시된 리미트치를 초과하는 경우에는 드라이브전류(34)의 전류량을 리미트치까지로 제한한다. 이후, 컴퓨터(21)로부터의 본딩아암(2)의 이동에 관한 지시는 이와같이 전달된다.
다음에, 외부 입출력수단(20)에서 본딩하중(예컨대 20g)이 설정되면, 상기 동작에 의하여 로드셀(40)에 하중이 인가된다. 이때, 로드셀(40)에 접속된 하중계(42)에 실제본딩하중의 값이 표시되므로, 이 값이, 설정된 본딩하중과 동등하게 되도록 드라이브 전류(34)를 조절할 필요가 있다. 때문에, 컴퓨터(21)로부터 지시된 리미트 정보(27)와 실제로 제한되는 본딩하중의 값과의 대응을 외부입출력수단(20)을 수동조작하여 변경하고 있다. 설정된 본딩하중과 하중계(42)에 표시된 실제본딩하중의 값이 일치하면, 본딩하중을 별도의 값(예컨대 200g)으로 설정하여 재차 상기 조작을 되풀이 한다. 이와같이하여 설정된 본딩하중과 실제본딩하중과의 오차가 거의 없도록 하고 있다.
지지프레임(3)을 판스프링(4)으로 상하방향에서 요동자유롭게 지지하는 방식에 있어서는 코일(8)에 드라이브 전류(34)가 흐르고 있지 않을 때, 즉 리니어 모터(7)에서 구동력이 발생하고 있지 않을 때에는 본딩아암(2)은 도 3(b)에 도시한 바와같이 판 스프링(4)으로 지지하는 본딩툴(1), 본딩아암(2), 지지프레임(3), 코일(8), 리니어스케일(10)등의 중량 밸런스와 판스프링(4)의 가압력과의 균형위치(B)에서 정지한다. 판 스프링(4)의 가압력은 본딩아암(2)을 균형위치(B)로 되돌리는 방향으로 움직인다. 즉, 도 3(a)에 도시한 바와같이, 본딩아암(2)이 균형위치(B)보다 상방위치(A)에 있을 때에는 균형위치(B)로 밀어내리려고 하는 가압력이 발생한다. 도 3(c)(d)에 도시한 바와같이 본딩아암(2)이 균형위치(B)보다 하방위치(C 및 D)에 있을 때에는 균형위치(B)로 밀어올리려고 하는 가압력이 발생한다. 또한, 균형위치(B)는 와이어 본딩장치의 기계적 요인에 따라 다르고, 균형위치(B)에 있어서의 본딩아암(2)은 도 3(c)에 도시하는 수평위치로 한정되지 않는다. 여기서 기계적 요인이란 본딩헤드부를 구성하는 부품의 가공정밀도나 조립·조정등에 따른 기계적 오차를 말한다.
균형위치(B)보다 위쪽의 상방위치(A)로 변위될 수록 판스프링(4)에 의하여 아래쪽으로 끌어내리는 힘이 커지고, 본래의 본딩하중에 판스프링(4)의 가압력이 더 해진다. 따라서, 그 만큼 실제본딩하중은 커진다. 또 하방위치(C 및 D)로 변위될 수록 판스프링(4)에 의하여 위쪽으로 끌어올리는 힘이 커지고, 본래의 본딩하중을 상쇄한다. 따라서, 그 만큼 실제본딩하중은 작아진다. 이와같이 본딩아암(2)의 높이위치가 판스프링(4)에 의한 균형위치(B)로부터 멀어질 수록, 설정 본딩하중과 실제본딩하중과의 오차가 커진다고 하는 문제가 있었다.
종래의 본딩하중 교정방법에 있어서는 본딩점의 높이위치를 본딩아암(2)의 수평위치(C)로하여 설정본딩 하중을 조정할 뿐이고, 판스프링(4)으로 지지된 본딩툴(1), 본딩아암(2), 지지프레임(3), 코일(8), 리니어 스케일(10)등의 중량 밸런스와 판스프링(4)의 가압력과의 관계에 관하여는 전혀 고려되고 있지 않았다. 그런데 본딩되는 워크의 종류 또는 같은 워크라도 제 1본딩점과 제 2본딩점에서 본딩점의 높이위치가 달라지는 경우가 있다. 따라서 균형위치(B)이외의 높이위치에서 본딩이 행해지는 경우에는 판스프링(4)의 가압력이 발생하여 본딩하중에 영향을 미치므로, 실제본딩하중은 설정된 본딩하중과 동등하게 되지 않았다.
또 상기 종래기술은 인적으로 하중계(42)를 읽고 설정한 본딩하중과 동등하게 되도록 맞추지 않으면 안되기 때문에 인적요인에 의한 교정차가 생긴다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 과제는 기계적 요인이나 인적요인에 의한 교정차가 생기지 않음과 동시에, 본딩점이 어느 높이 위치에 있어도, 설정된 본딩하중과 동등한 실제본딩하중을 얻을 수가 있는 본딩하중의 보정방법 및 본딩장치를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 방법은 일단부에 본딩툴을 가지며 탄성부재에 의하여 가압되는 지지프레임에 지지되어 상하방향으로 이동가능한 본딩아암과, 이 본딩아암을 상하구동하는 리니어 모터와, 상기 본딩아암의 높이위치를 검지하여 전기신호로 변환하는 위치검지부와, 이 위치검지부로부터의 신호를 처리하여 본딩아암의 높이위치와 상기 리니어 모터에 인가하는 전력의 리미트치를 산출하는 컴퓨터와, 상기 본딩아암의 높이위치의 유지 및 이동의 제어를 행하는 위치제어부를 구비한 와이어 본딩장치에 있어서, 무부하시 및 추를 상기 지지프레임에 장착하여 상기 리니어 모터에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을때의 각각의 상태에 있어서의 상기 본딩아암의 높이위치의 위치어긋남을 보정하는 보정치와 상기 전력을 제한하는 리미트치를 상기 컴퓨터에 기억해두고, 본딩시에는 상기 보정치와 상기 리미트치에 따라 상기 전력을 제어하여 상기 본딩하중을 보정하는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 장치는 일단부에 본딩툴을 가지며 탄성부재에 의하여 가압되는 지지프레임에 지지되어 상하방향으로 이동가능한 본딩아암과, 이 본딩아암을 상하구동하는 리니어모터와, 상기 본딩아암의 높이위치를 검지하여 전기신호로 변환하는 위치검지부와, 이 위치검지부로 부터의 신호를 처리하여 본딩아암의 높이위치와 상기 리니어 모터에 인가하는 전력의 리미트치를 산출하는 컴퓨터와, 상기 본딩아암의 높이 위치의 유지 및 이동의 제어를 행하는 위치제어부를 구비한 와이어 본딩장치에 있어서, 상기 컴퓨터는 무부하시 및 추를 상기 지지프레임에 장착하여 상기 리니어 모터에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을 때의 각각의 상태에 있어서의 상기 본딩아암의 높이위치의 위치어긋남을 보정하는 보정치와 상기 전력을 제한하는 리미트치를 기억하는 메모리를 가지는 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명의 와이어 본딩장치의 일실시예를 도시하는 설명도,
도 2는 종래의 와이어 본딩장치의 설명도,
도 3은 본딩 아암의 높이위치에 따른 가압력의 방향을 도시하는 설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 본딩툴 2 : 본딩아암
3 : 지지프레임 3a : 위치결정구멍
4 : 판스프링 7 : 리니어모터
13 : 위치검지부 21 : 컴퓨터
30 : 위치제어부 43 : 추
43a : 위치결정핀 45 : 메모리
본 발명의 실시예를 도 1 및 도 3에 의하여 설명한다. 또한 도 2와 같은 또는 상당부재에는 동일부호를 붙이고 그 상세한 설명은 생략한다. 도 1에 도시한 바와같이, 지지프레임(3)의 후단부에는 위치결정구멍(3a)이 1개 또는 복수개 형성되어 있고, 위치결정구멍(3a)에는 추(43)의 위치결정핀(43a)이 착탈가능하게 장착되어 있다. 여기서 추(43)는 후기하는 본딩하중의 교정동작중에 지지프레임(3)이 기울어도 위치어긋남이 없도록 위치결정구멍(3a)에 장착되도록 되어 있다. 또한 위치결정구멍(3a)과 위치결정핀(43a)은 자웅의 관계이므로 지지프레임(3)에 위치결정핀을 설치하고, 추(43)에 위치결정구멍을 형성해도 좋다.
컴퓨터(21)의 메모리(45)에는 본딩아암(2)의 도 3에 도시하는 각각의 위치 A…B…C…D에 따라 판스프링(4)의 가압력의 변화를 보정하기 위해 필요한 보정전류치(46)와 드라이브 전류(34)의 리미트치(47)와 기타의 정보(48)(상기 리니어 스케일(10)과 본딩툴(1)의 상하방향의 이동량과의 비율과, 위치센서(11)의 양자화계수와, 리니어모터(7)의 구동전압등)가 격납되어 있다. 이하, 보정전류(46) 및 리미트치(47)의 설정방법을 설명한다.
리니어모터(7)의 부하가 판스프링(4)의 스프링 하중뿐이고, 실제본딩하중이 0g이 되는 소위 무부하시의 상태(추(43)를 장착하지 않은 상태)에 있어서의 코일(8)의 위치와 드라이브전류(34)와의 관계를 조사하였다. 수순으로서는 우선, 본딩아암(2)을 도 3(a)에 도시하는 위치(A)로 이동시켜 정지시킨다. 이때의 판스프링(4)의 가압력은 본딩아암(2)을 아래쪽으로 밀어내리려는 방향으로 움직인다. 또 코일(8)로부터 발생하는 구동력은 판스프링(4)의 가압력을 상쇄할 수 있는 힘이다. 본딩하중의 리미트치(하중리미트치 레지스터(25)에 격납되어 있는 값)는 판스프링(4)의 가압력을 상쇄할 수 있는 드리이브 전류(34)를 코일(8)에 흐르게 하도록 어느 정도 상한치를 올려서 여유를 가진 값으로 해둔다.
다음에 드라이브 전류(34)의 리미트치(절대치)를 서서히 내린다. 그러면, 어떤 곳에서 드라이브 전류(34)가 감소하여 코일(8)에서 발생하는 구동력이 판스프링(4)의 가압력을 하회하고 본딩아암(2)의 높이위치가 하강하므로 그 직전의 높이 위치와, 드라이브전류(34)의 리미트치를 메모리(45)에 기억해 둔다. 이 상기 수순에서 기억한 리미트치가 판스프링(4)의 가압력을 상쇄하는 구동력을 발생시키는 드라이브 전류(34)의 전류량에 상당하는 값이다.
다음에 본딩아암(2)을 도 3(d)에 도시하는 위치(D)로 이동시켜서 정지시킨다. 그리고, 상기한 바와 마찬가지로, 드라이브전류(34)의 리미트치를 서서히 내린다. 그러면 어떤곳에서 본딩아암(2)의 높이위치가 상승하므로, 그 직전의 높이위치와 드라이브전류(34)의 리미트치를 메모리(45)에 기억해 둔다.
상기한 조사를 복수개소의 위치에 관하여 구하고, 각 위치 사이는 연산회로(23)로 선형보간하여 구한다. 이에 따라서, 설정된 본딩높이위치로부터 판스프링(4)의 가압력을 상쇄하기 위하여 필요한 기본전류량이 구해진다. 이 기본전류량에 설정한 본딩하중분에 상당하는 전류(실제하중전류)를 더한 전류량이 실제의 코일(8)에 인가되는 드라이브전류(34)의 양이 된다. 즉 설정된 높이위치에 대한 판스프링(4)의 가압력을 상쇄하므로, 높이위치가 어디에 있든 설정치와 동등한 실제본딩하중을 얻을 수 있다. 또 기계적 요인 및 인적요인에 의한 교정차가 생기지 않으므로, 신뢰성이 있는 교정을 할 수 있다. 여기서 점 A,B,C,D는 도 3(a),(b),(c),(d)의 각각의 위치를 나타낸다. 다음에 본딩시에 본딩점에 인가하는 본딩하중이 예컨대 60g의 경우에는 60g의 본딩하중이 본딩점에 인가되었을 때에 리니어모터(7)에 발생하는 부하와 동등한 부하가 되는 중량의 추(43)를 지지프레임(3)의 위치결정구멍(3a)에 장착한다. 지금 본딩아암(2)의 요동지점인 판스프링(4)으로부터 본딩툴(1)까지의 길이와, 추(43)를 지지프레임(3)에 장착한 경우에 있어서 판스프링(4)으로부터 추(43)의 중심까지의 길이와의 비가 예컨대 4:3의 경우에는 (4/3)×60g=80g의 중량의 추(43)를 장착한다.
추(43)를 장착하면 코일(8)이 하강되고, 그때의 리니어 스케일(10)의 상하방향의 이동량을 위치센서(11)가 판독하고, 인코더(12)를 통하여 입력된 높이위치 카운터(26)의 값이 변동된다. 그래서 외부입출력 수단(20)에 의하여 제어회로(22), 기준좌표 레지스터(24) 및 위치제어회로(31)를 통하여 모터드라이버(31)에 드라이브신호(32)를 입력하고, 모터드라이버(31)를 통하여 리니어모터(7)에 드리이브전류(34)를 공급하여 구동하고, 본딩아암(2)을 상하이동시켜, 높이위치 카운터(26)의 값을 무부하시의 값으로 한다. 이때의 드라이브전류(34)의 값을 무부하 보정치로서 메모리(45)에 기억시킨다. 그후, 추(43)를 지지프레임(3)에서 떼어낸다. 즉 본딩 하중을 인가할 때에는, 상기 드라이브전류(34)의 부하 보정치에 따라 무부하시의 보정전류치(46)를 보정한다.
그래서, 실제의 본딩동작시에는 본딩아암(2)의 높이위치에 따라서, 무부하시의 보정전류치(46)에 의한 드라이브전류에 상기 본딩 하중시(추(43)를 장착했을때)의 드라이브전류를 더한 드라이브전류(34)를 리니어모터(7)에 인가한다.
또한, 상기 실시예에 있어서는 판 스프링(4)으로 지지프레임(3)을 상하방향에서 요동자유롭게 지지한 구조에 적용한 경우에 관하여 설명한다. 그러나 본 발명은 이같은 구조에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 일본특개평 4-352336호 공보와 같이, 툴아암(본딩아암)이 아암홀더(지지프레임)에 고정되고, 아암홀더(지지프레임)가 지축을 지점으로 하여 상하이동하고, 스프링으로 아암홀더(지지프레임)를 가압한 구조에 있어서, 본딩헤드(이동테이블)에 고정된 모터를 리니어 모터에 대신한 경우에도 적용할 수 있다. 즉, 아암홀더(지지프레임)에 리니어 모터의 코일을 고정하고, 본딩헤드(이동테이블)에 마그네트를 고정한 경우에 있어서도, 스프링의 가압력으로 툴아암(본딩아암)의 정지위치가 어긋나므로, 이와같은 구조에도 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 무부하시 및 추를 지지프레임에 장착하여 리니어 모터에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을때의 각각의 상태에 있어서의 본딩아암의 높이위치의 위치어긋남을 보정하는 보정치와 전력을 제한하는 리미트치를 컴퓨터에 기억해두고, 본딩시에는 상기 보정치와 상기 리미트치에 따라 상기 전력을 제어하여 상기 본딩하중을 보정하므로 기계차나 인적요인에 의한 교정차가 생기지 않음과 동시에 본딩점이 어느 높이 위치에 있어도, 설정된 본딩하중과 동등한 실제본딩하중을 얻을 수가 있다.

Claims (3)

  1. 일단부에 본딩툴을 가지며 탄성부재에 의하여 가압되는 지지프레임에 지지되어 상하방향으로 이동가능한 본딩아암과, 이 본딩아암을 상하구동하는 리니어 모터와, 상기 본딩아암의 높이 위치를 검지하여 전기신호로 변환하는 위치검지부와, 이 위치검지부로 부터의 신호를 처리하여 본딩아암의 높이위치와 상기 리니어 모터에 인가하는 전력의 리미트치를 산출하는 컴퓨터와, 상기 본딩아암의 높이위치의 유지 및 이동의 제어를 행하는 위치 제어부를 구비한 와이어본딩장치에 있어서, 무부하시 및 추를 상기 지지프레임에 장착하여 상기 리니어 모터에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을때의 각각의 상태에 있어서의 상기 본딩아암의 높이위치의 위치 어긋남을 보정하는 보정치와 상기 전력을 제한하는 리미트치를 상기 컴퓨터에 기억해 두고, 본딩시에는 상기 보정치와 상기 리미트치에 따라 상기 전력을 제어하여 상기 본딩하중을 보정하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩장치의 본딩하중의 보정방법.
  2. 일단부에 본딩 툴을 가지며 탄성부재에 의하여 가압되는 지지프레임에 지지되어 상하방향으로 이동가능한 본딩아암과, 이 본딩아암을 상하구동하는 리니어 모터와, 상기 본딩아암의 높이 위치를 검지하여 전기신호로 변환하는 위치검지부와, 이 위치검지부로 부터의 신호를 처리하여 본딩아암의 높이위치와 상기 리니어 모터에 인가하는 전력의 리미트치를 산출하는 컴퓨터와, 상기 본딩아암의 높이위치의 유지 및 이동의 제어를 행하는 위치제어부를 구비한 와이어 본딩장치에 있어서, 상기 컴퓨터는 무부하시 및 추를 상기 지지프레임에 장착하여 상기 리니어모터에 본딩하중의 발생시와 동등한 부하를 걸었을때의 각각의 상태에 있어서의 상기 본딩아암의 높이위치의 위치 어긋남을 보정하는 보정치와 상기 전력을 제한하는 리미트치를 기억하는 메모리를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 추를 장착하는 부재는 상기 본딩아암을 지지하는 지지프레임이고, 상기 추 및 상기 지지프레임의 한쪽에 위치결정 구멍이 설치되고, 다른쪽에 상기 위치결정구멍에 장착하는 위치결정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩장치.
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