JP2556550Y2 - 表面形状測定機 - Google Patents
表面形状測定機Info
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- JP2556550Y2 JP2556550Y2 JP1993030860U JP3086093U JP2556550Y2 JP 2556550 Y2 JP2556550 Y2 JP 2556550Y2 JP 1993030860 U JP1993030860 U JP 1993030860U JP 3086093 U JP3086093 U JP 3086093U JP 2556550 Y2 JP2556550 Y2 JP 2556550Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は表面形状測定機に係
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に示す表面形状測定機１０のアーム
１２は、支点１４を介して揺動自在に支持されている。
アーム１２の先端部には触針１８が設けられていて、ア
ーム１２の中央部には鉄芯２０が設けられている。鉄芯
２０はコイル２２内に配置されている。鉄芯２０及びコ
イル２２はＺ軸検出器２３を構成する。すなわち、鉄芯
２０がＺ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動すると
コイル２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出
される。
１２は、支点１４を介して揺動自在に支持されている。
アーム１２の先端部には触針１８が設けられていて、ア
ーム１２の中央部には鉄芯２０が設けられている。鉄芯
２０はコイル２２内に配置されている。鉄芯２０及びコ
イル２２はＺ軸検出器２３を構成する。すなわち、鉄芯
２０がＺ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動すると
コイル２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出
される。
【０００３】アーム１２の後端部にはバランスウエイト
２４が移動自在に支持されている。バランスウエイト２
４はＺ軸検出器２３が「０」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト２４にはロッド２６が固定さ
れていて、ロッド２６には測定力ウエイト２８が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト２８は触針１８が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
２４が移動自在に支持されている。バランスウエイト２
４はＺ軸検出器２３が「０」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト２４にはロッド２６が固定さ
れていて、ロッド２６には測定力ウエイト２８が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト２８は触針１８が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
【０００４】このように構成された表面形状測定機１０
でワーク３０を測定する場合、触針１８はワーク３０に
対応させて最適な触針１８が選択される。そして、ワー
ク３０に対応させて選択された触針１８はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針１８を変更する場合アーム１２
のバランスを保つためにバランスウエイト２４を最適位
置に移動する。
でワーク３０を測定する場合、触針１８はワーク３０に
対応させて最適な触針１８が選択される。そして、ワー
ク３０に対応させて選択された触針１８はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針１８を変更する場合アーム１２
のバランスを保つためにバランスウエイト２４を最適位
置に移動する。
【０００５】しかしながら、バランスウエイト２４は作
業者が人手で移動するので、バランスウエイト２４の位
置決めが作業者の感覚をたよりに行われる。従って、バ
ランスウエイト２４の位置決めに時間がかかりすぎると
いう問題点がある。本件出願人は上記問題点を解消する
ために、特願平5-43764 号公報において、駆動モータを
制御部で制御してバランスウエイトを移動し、アームの
釣合いがとれ、かつ触針の変位量が０になる位置にバラ
ンスウエイトを位置決めする表面形状測定機を提案して
いる。この表面形状測定機によれば、触針を変更する場
合のバランスウエイトの最適位置への位置決めを自動的
に行うことができる。
業者が人手で移動するので、バランスウエイト２４の位
置決めが作業者の感覚をたよりに行われる。従って、バ
ランスウエイト２４の位置決めに時間がかかりすぎると
いう問題点がある。本件出願人は上記問題点を解消する
ために、特願平5-43764 号公報において、駆動モータを
制御部で制御してバランスウエイトを移動し、アームの
釣合いがとれ、かつ触針の変位量が０になる位置にバラ
ンスウエイトを位置決めする表面形状測定機を提案して
いる。この表面形状測定機によれば、触針を変更する場
合のバランスウエイトの最適位置への位置決めを自動的
に行うことができる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、測定力
ウエイトは作業者が人手で移動して触針に所望の測定力
を与えているので調整誤差が生じやすく、また測定力ウ
エイトを測定機本体の外部に出しておく必要があるので
デザインの自由度が小さいという問題がある。本考案は
このような事情に鑑みてなされたもので、バランスウエ
イト及び測定力ウエイトを駆動モータで移動して調整誤
差の発生を防止し、かつバランスウエイト及び測定力ウ
エイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度を大
きくすることができる表面形状測定機を提供することを
目的とする。
ウエイトは作業者が人手で移動して触針に所望の測定力
を与えているので調整誤差が生じやすく、また測定力ウ
エイトを測定機本体の外部に出しておく必要があるので
デザインの自由度が小さいという問題がある。本考案は
このような事情に鑑みてなされたもので、バランスウエ
イト及び測定力ウエイトを駆動モータで移動して調整誤
差の発生を防止し、かつバランスウエイト及び測定力ウ
エイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度を大
きくすることができる表面形状測定機を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案は、前記目的を達
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自在
に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材の
釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の測
定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面に
沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機において、前記バ
ランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動手段
と、前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アー
ム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを
位置決め停止させるバランス制御部と、測定力ウエイト
を移動する測定力ウエイト駆動手段と、前記アーム部材
の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置決
め停止させた状態で、測定力ウエイト駆動手段を制御し
て前記触針に所定の測定力を付与する位置に前記測定力
ウエイトを位置決め停止させる測定力制御部とを備えた
ことを特徴とする。
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自在
に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材の
釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の測
定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面に
沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機において、前記バ
ランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動手段
と、前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アー
ム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを
位置決め停止させるバランス制御部と、測定力ウエイト
を移動する測定力ウエイト駆動手段と、前記アーム部材
の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置決
め停止させた状態で、測定力ウエイト駆動手段を制御し
て前記触針に所定の測定力を付与する位置に前記測定力
ウエイトを位置決め停止させる測定力制御部とを備えた
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本考案によれば、バランスウエイトはバランス
ウエイト駆動手段で移動され、バランス制御部はバラン
スウエイト駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがと
れた位置にバランスウエイトを位置決めする。また、測
定力ウエイトは測定力ウエイト駆動手段で移動され、測
定力ウエイト駆動手段は測定力制御部で制御される。そ
して、アーム部材の釣合いがとれた位置にバランスウエ
イトが位置決めされた状態で、測定力制御部は測定力ウ
エイト駆動手段を制御して測定力ウエイトを移動して触
針に所定の測定力を付与する。
ウエイト駆動手段で移動され、バランス制御部はバラン
スウエイト駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがと
れた位置にバランスウエイトを位置決めする。また、測
定力ウエイトは測定力ウエイト駆動手段で移動され、測
定力ウエイト駆動手段は測定力制御部で制御される。そ
して、アーム部材の釣合いがとれた位置にバランスウエ
イトが位置決めされた状態で、測定力制御部は測定力ウ
エイト駆動手段を制御して測定力ウエイトを移動して触
針に所定の測定力を付与する。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本考案に係る表面形状
測定機について詳説する。図１には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機２８の
本体３０には、支点３２を介してアーム３４が揺動自在
に支持されている。アーム３４は支点３２の近傍に鉄芯
３６が設けられている。鉄芯３６はコイル３８内に配置
されていて、鉄芯３６及びコイル３８はＺ軸検出器４０
を構成している。すなわち、鉄芯３６がＺ軸方向（コイ
ル３８の軸線方向）に移動すると、コイル３８の電圧が
変化して鉄芯３６の変位量が検出される。Ｚ軸検出器４
０の変位量は後述する検出器信号回路４２に入力され
る。
測定機について詳説する。図１には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機２８の
本体３０には、支点３２を介してアーム３４が揺動自在
に支持されている。アーム３４は支点３２の近傍に鉄芯
３６が設けられている。鉄芯３６はコイル３８内に配置
されていて、鉄芯３６及びコイル３８はＺ軸検出器４０
を構成している。すなわち、鉄芯３６がＺ軸方向（コイ
ル３８の軸線方向）に移動すると、コイル３８の電圧が
変化して鉄芯３６の変位量が検出される。Ｚ軸検出器４
０の変位量は後述する検出器信号回路４２に入力され
る。
【００１０】アーム３４の後方の垂直壁部にはバランス
ウエイトモータ４４が固定されていて、バランスウエイ
トモータ４４の駆動シャフトにはねじシャフト４６が回
転力を伝達可能に連結されている。ねじシャフト４６に
はバランスウエイト４８がねじ結合されている。バラン
スウエイト４８はロッド５０に摺動自在に支持されてい
て、ロッド５０はアーム３４の後端部に固定されてい
る。従って、バランスウエイトモータ４４を駆動してね
じシャフト４６を回動するとバランスウエイト４８はロ
ッド５０に沿って左右方向に移動する。
ウエイトモータ４４が固定されていて、バランスウエイ
トモータ４４の駆動シャフトにはねじシャフト４６が回
転力を伝達可能に連結されている。ねじシャフト４６に
はバランスウエイト４８がねじ結合されている。バラン
スウエイト４８はロッド５０に摺動自在に支持されてい
て、ロッド５０はアーム３４の後端部に固定されてい
る。従って、バランスウエイトモータ４４を駆動してね
じシャフト４６を回動するとバランスウエイト４８はロ
ッド５０に沿って左右方向に移動する。
【００１１】また、アーム３４の後端部には測定力ウエ
イトモータ５２が固定されていて、測定力ウエイトモー
タ５２の駆動シャフトにはねじシャフト５２Ａが回転力
を伝達可能に連結されている。ねじシャフト５２Ａには
測定力ウエイト５４がねじ結合されている。測定力ウエ
イト５４はロッド５４Ａに摺動自在に支持されていて、
ロッド５４Ａはアーム３４の後端部に固定されている。
従って、測定力ウエイトモータ５２を駆動してねじシャ
フト５２Ａを回動すると測定力ウエイト５４はロッド５
４Ａに沿って左右方向に移動する。これにより、測定力
ウエイト５４は、アーム３４の先端に設けられている触
針６２がワーク６４の表面に所望の測定力で当接する位
置に位置決めされる。
イトモータ５２が固定されていて、測定力ウエイトモー
タ５２の駆動シャフトにはねじシャフト５２Ａが回転力
を伝達可能に連結されている。ねじシャフト５２Ａには
測定力ウエイト５４がねじ結合されている。測定力ウエ
イト５４はロッド５４Ａに摺動自在に支持されていて、
ロッド５４Ａはアーム３４の後端部に固定されている。
従って、測定力ウエイトモータ５２を駆動してねじシャ
フト５２Ａを回動すると測定力ウエイト５４はロッド５
４Ａに沿って左右方向に移動する。これにより、測定力
ウエイト５４は、アーム３４の先端に設けられている触
針６２がワーク６４の表面に所望の測定力で当接する位
置に位置決めされる。
【００１２】図１に示すように表面形状測定機は前述し
た検出器信号回路４２、バランス制御回路５６、測定力
制御回路７０、測定ボタン５８及び調整ボタン６０を備
えている。そして、測定ボタン５８を押すと測定モード
になり、調整ボタン６０を押すと調整モードになる。検
出器信号回路４２はＺ軸検出器４０から入力された変位
量を表示し、さらにＺ軸検出器４０から入力された変位
量をバランス制御回路５６及び測定力制御回路７０に入
力する。
た検出器信号回路４２、バランス制御回路５６、測定力
制御回路７０、測定ボタン５８及び調整ボタン６０を備
えている。そして、測定ボタン５８を押すと測定モード
になり、調整ボタン６０を押すと調整モードになる。検
出器信号回路４２はＺ軸検出器４０から入力された変位
量を表示し、さらにＺ軸検出器４０から入力された変位
量をバランス制御回路５６及び測定力制御回路７０に入
力する。
【００１３】バランス制御回路５６は調整モード時に、
検出器信号回路４２から入力された変位量が０になるよ
うにバランスウエイトモータ４４を制御する信号を出力
する。また、測定力制御回路７０は調整モード時に、検
出器信号回路４２から入力された変位量が０になると測
定力ウエイトモータ５２を制御する信号を出力する。こ
の場合、測定力制御回路７０には個別の測定力と測定力
ウエイト５４の位置関係を示すデータが予め記憶されて
いる。すなわち、検出器信号回路４２から入力された変
位量が０の時の測定力ウエイト５４の位置を基準位置と
して、前記個別の測定力を得るために測定力ウエイト５
４が移動する各々の移動量を示すデータが予め測定力制
御回路７０に記憶されている。
検出器信号回路４２から入力された変位量が０になるよ
うにバランスウエイトモータ４４を制御する信号を出力
する。また、測定力制御回路７０は調整モード時に、検
出器信号回路４２から入力された変位量が０になると測
定力ウエイトモータ５２を制御する信号を出力する。こ
の場合、測定力制御回路７０には個別の測定力と測定力
ウエイト５４の位置関係を示すデータが予め記憶されて
いる。すなわち、検出器信号回路４２から入力された変
位量が０の時の測定力ウエイト５４の位置を基準位置と
して、前記個別の測定力を得るために測定力ウエイト５
４が移動する各々の移動量を示すデータが予め測定力制
御回路７０に記憶されている。
【００１４】従って、入力キー（入力部）７２から前記
個別の測定力（例えば、0.3 ｇｆ）を測定力制御回路７
０に入力すると、測定力制御回路７０は予め記憶されて
いる測定力0.3 ｇｆに対応する測定力ウエイト５４の移
動量3.0 ｍｍに基づいて、測定力ウエイトモータ５２を
制御する信号を出力する。これにより、測定力ウエイト
５４が3.0 ｍｍ移動して、触針６２がワーク６４の表面
に0.3 ｇｆの測定力で押圧される。
個別の測定力（例えば、0.3 ｇｆ）を測定力制御回路７
０に入力すると、測定力制御回路７０は予め記憶されて
いる測定力0.3 ｇｆに対応する測定力ウエイト５４の移
動量3.0 ｍｍに基づいて、測定力ウエイトモータ５２を
制御する信号を出力する。これにより、測定力ウエイト
５４が3.0 ｍｍ移動して、触針６２がワーク６４の表面
に0.3 ｇｆの測定力で押圧される。
【００１５】前記の如く構成された本考案に係る表面形
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、調整ボタン６０を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー７２から測定力0.3 ｇｆ
を測定力制御回路７０に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム３４のバランスがくずれると
Ｚ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４２を介して
バランス制御回路５６に入力される。
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、調整ボタン６０を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー７２から測定力0.3 ｇｆ
を測定力制御回路７０に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム３４のバランスがくずれると
Ｚ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４２を介して
バランス制御回路５６に入力される。
【００１６】バランス制御回路５６に変位量が入力され
ると、バランス制御回路５６はバランスウエイトモータ
４４に駆動信号を出力する。これにより、バランスウエ
イトモータ４４が駆動してバランスウエイト４８がロッ
ド５０に沿って左右方向に移動する。バランスウエイト
４８がロッド５０に沿って左右方向に移動すると、アー
ム３４が揺動するのでＺ軸検出器４０の検出値が変位す
る。そして、Ｚ軸検出器４０の検出値が０になった時点
でバランス制御回路５６から出力されていた駆動信号の
出力を停止する。これにより、バランスウエイト４８の
調整が完了する。
ると、バランス制御回路５６はバランスウエイトモータ
４４に駆動信号を出力する。これにより、バランスウエ
イトモータ４４が駆動してバランスウエイト４８がロッ
ド５０に沿って左右方向に移動する。バランスウエイト
４８がロッド５０に沿って左右方向に移動すると、アー
ム３４が揺動するのでＺ軸検出器４０の検出値が変位す
る。そして、Ｚ軸検出器４０の検出値が０になった時点
でバランス制御回路５６から出力されていた駆動信号の
出力を停止する。これにより、バランスウエイト４８の
調整が完了する。
【００１７】また、検出器信号回路４２から出力された
検出値０の信号が測定力制御回路７０に入力されると、
測定力制御回路７０は予め記憶されている測定力0.3 ｇ
ｆに対応する測定力ウエイト５４の移動量3.0 ｍｍに基
づいて、測定力ウエイトモータ５２を制御する信号を出
力する。これにより、測定力ウエイト５４が3.0 ｍｍ移
動して触針６２がワーク６４の表面に0.3 ｇｆの測定力
で押圧され、測定力ウエイト５４の調整が完了する。
検出値０の信号が測定力制御回路７０に入力されると、
測定力制御回路７０は予め記憶されている測定力0.3 ｇ
ｆに対応する測定力ウエイト５４の移動量3.0 ｍｍに基
づいて、測定力ウエイトモータ５２を制御する信号を出
力する。これにより、測定力ウエイト５４が3.0 ｍｍ移
動して触針６２がワーク６４の表面に0.3 ｇｆの測定力
で押圧され、測定力ウエイト５４の調整が完了する。
【００１８】前記実施例ではバランスウエイト４８と測
定力ウエイト５４を個別に設けた場合について説明した
が、これに限らず、１個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成してもよい。以
下、図２に基づいて１個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成された表面形状測
定機について説明する。尚、図２上において前記実施例
と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略す
る。
定力ウエイト５４を個別に設けた場合について説明した
が、これに限らず、１個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成してもよい。以
下、図２に基づいて１個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成された表面形状測
定機について説明する。尚、図２上において前記実施例
と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略す
る。
【００１９】アーム８０の後端部にはモータ８２が固定
されていて、モータ８２の駆動シャフトにはねじシャフ
ト８４が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト８４にはウエイト８６がねじ結合されている。ウエ
イト８６はロッド８８に摺動自在に支持されていて、ロ
ッド８８はアーム８０の後端部に固定されている。従っ
て、モータ８２を駆動してねじシャフト８４を回動する
とウエイト８６はロッド８８に沿って左右方向に移動す
る。
されていて、モータ８２の駆動シャフトにはねじシャフ
ト８４が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト８４にはウエイト８６がねじ結合されている。ウエ
イト８６はロッド８８に摺動自在に支持されていて、ロ
ッド８８はアーム８０の後端部に固定されている。従っ
て、モータ８２を駆動してねじシャフト８４を回動する
とウエイト８６はロッド８８に沿って左右方向に移動す
る。
【００２０】そして、モータ８２はバランス制御回路５
６及び測定力制御回路７０からの駆動信号に基づいて駆
動する。すなわち、バランス制御回路５６は検出器信号
回路４２から入力された変位量が０になるようにモータ
８２を制御する信号を出力し、測定力制御回路７０は検
出器信号回路４２から入力された変位量が０になるとモ
ータ８２を制御する信号を出力する。この場合、測定力
制御回路７０には個別の測定力とウエイト８６の位置関
係を示すデータが予め記憶されている。このデータに
は、検出器信号回路４２から入力された変位量が０の時
のウエイト８６の位置を基準位置として、前記個別の測
定力を得るためにウエイト８６が移動する各々の移動量
が示されている。
６及び測定力制御回路７０からの駆動信号に基づいて駆
動する。すなわち、バランス制御回路５６は検出器信号
回路４２から入力された変位量が０になるようにモータ
８２を制御する信号を出力し、測定力制御回路７０は検
出器信号回路４２から入力された変位量が０になるとモ
ータ８２を制御する信号を出力する。この場合、測定力
制御回路７０には個別の測定力とウエイト８６の位置関
係を示すデータが予め記憶されている。このデータに
は、検出器信号回路４２から入力された変位量が０の時
のウエイト８６の位置を基準位置として、前記個別の測
定力を得るためにウエイト８６が移動する各々の移動量
が示されている。
【００２１】従って、入力キー（入力部）７２から前記
個別の測定力（例えば、0.3 ｇｆ）を測定力制御回路７
０に入力すると、測定力制御回路７０は予め記憶されて
いる測定力0.3 ｇｆに対応するウエイト８６の移動量3.
0 ｍｍに基づいて、モータ８２を制御する信号を出力す
る。これにより、ウエイト８６が3.0 ｍｍ移動して、触
針６２がワーク６４の表面に0.3 ｇｆの測定力で押圧さ
れる。
個別の測定力（例えば、0.3 ｇｆ）を測定力制御回路７
０に入力すると、測定力制御回路７０は予め記憶されて
いる測定力0.3 ｇｆに対応するウエイト８６の移動量3.
0 ｍｍに基づいて、モータ８２を制御する信号を出力す
る。これにより、ウエイト８６が3.0 ｍｍ移動して、触
針６２がワーク６４の表面に0.3 ｇｆの測定力で押圧さ
れる。
【００２２】前記の如く構成された第２実施例の表面形
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、調整ボタン６０を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー７２から測定力0.3 ｇｆ
を測定力制御回路７０に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム３４のバランスがくずれると
Ｚ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４２を介して
バランス制御回路５６に入力される。
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、調整ボタン６０を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー７２から測定力0.3 ｇｆ
を測定力制御回路７０に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム３４のバランスがくずれると
Ｚ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４２を介して
バランス制御回路５６に入力される。
【００２３】バランス制御回路５６に変位量が入力され
ると、バランス制御回路５６はモータ８２に駆動信号を
出力する。これにより、モータ８２が駆動してウエイト
８６がロッド８８に沿って左右方向に移動する。ウエイ
ト８６がロッド８８に沿って左右方向に移動すると、ア
ーム８０が揺動するのでＺ軸検出器４０の検出値が変位
する。そして、Ｚ軸検出器４０の検出値が０になった時
点でバランス制御回路５６からモータ８２に出力されて
いた駆動信号の出力を停止する。これにより、ウエイト
８６によるバランスの調整が完了する。
ると、バランス制御回路５６はモータ８２に駆動信号を
出力する。これにより、モータ８２が駆動してウエイト
８６がロッド８８に沿って左右方向に移動する。ウエイ
ト８６がロッド８８に沿って左右方向に移動すると、ア
ーム８０が揺動するのでＺ軸検出器４０の検出値が変位
する。そして、Ｚ軸検出器４０の検出値が０になった時
点でバランス制御回路５６からモータ８２に出力されて
いた駆動信号の出力を停止する。これにより、ウエイト
８６によるバランスの調整が完了する。
【００２４】また、検出器信号回路４２から出力された
検出値０の信号が測定力制御回路７０に入力されると、
測定力制御回路７０は予め記憶されている測定力0.3 ｇ
ｆに対応するウエイト８６の移動量3.0 ｍｍに基づい
て、モータ８２を制御する信号を出力する。これによ
り、ウエイト８６が3.0 ｍｍ移動して触針６２がワーク
６４の表面に0.3 ｇｆの測定力で押圧され、ウエイト８
６による測定力の調整が完了する。
検出値０の信号が測定力制御回路７０に入力されると、
測定力制御回路７０は予め記憶されている測定力0.3 ｇ
ｆに対応するウエイト８６の移動量3.0 ｍｍに基づい
て、モータ８２を制御する信号を出力する。これによ
り、ウエイト８６が3.0 ｍｍ移動して触針６２がワーク
６４の表面に0.3 ｇｆの測定力で押圧され、ウエイト８
６による測定力の調整が完了する。
【００２５】
【考案の効果】以上説明したように本考案に係る表面形
状測定機によれば、バランス制御部はバランスウエイト
駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがとれた位置に
バランスウエイトを位置決めする。また、アーム部材の
釣合いがとれた位置にバランスウエイトが位置決めされ
た状態で、測定力制御部は測定力ウエイト駆動手段を制
御して測定力ウエイトを移動して触針に所定の測定力を
付与する。
状測定機によれば、バランス制御部はバランスウエイト
駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがとれた位置に
バランスウエイトを位置決めする。また、アーム部材の
釣合いがとれた位置にバランスウエイトが位置決めされ
た状態で、測定力制御部は測定力ウエイト駆動手段を制
御して測定力ウエイトを移動して触針に所定の測定力を
付与する。
【００２６】従って、バランスウエイト及び測定力ウエ
イトを駆動手段で移動して調整誤差の発生を防止し、か
つバランスウエイト及び測定力ウエイトを作業者が人手
で移動する必要がないので、バランスウエイト及び測定
力ウエイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度
を大きくすることができる。
イトを駆動手段で移動して調整誤差の発生を防止し、か
つバランスウエイト及び測定力ウエイトを作業者が人手
で移動する必要がないので、バランスウエイト及び測定
力ウエイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度
を大きくすることができる。
【図１】本考案に係る表面形状測定機の全体図
【図２】本考案に係る表面形状測定機のその他の実施例
の全体図
の全体図
【図３】従来の表面形状測定機の全体図
２８…表面形状測定機 ３２…支点 ３４、８０…アーム（アーム部材） ４０…Ｚ軸検出器 ４４…バランスウエイトモータ（バランスウエイト駆動
手段） ４８…バランスウエイト ５２…測定力ウエイトモータ（測定力ウエイト駆動手
段） ５４…測定力ウエイト ５６…バランス制御回路（バランス制御部） ６２…触針 ６４…ワーク（被測定物） ７０…測定力制御回路（測定力制御部） ８２…駆動手段 ８６…ウエイト
手段） ４８…バランスウエイト ５２…測定力ウエイトモータ（測定力ウエイト駆動手
段） ５４…測定力ウエイト ５６…バランス制御回路（バランス制御部） ６２…触針 ６４…ワーク（被測定物） ７０…測定力制御回路（測定力制御部） ８２…駆動手段 ８６…ウエイト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−258004（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−155310（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−26305（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 支点を介して揺動自在に支持されたアー
ム部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材
の他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自
在に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材
の釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の
測定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面
に沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定
物の表面形状を測定する表面形状測定機において、 前記バランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動
手段と、 前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アーム部
材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置
決め停止させるバランス制御部と、 測定力ウエイトを移動する測定力ウエイト駆動手段と、 前記アーム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウ
エイトを位置決め停止させた状態で、測定力ウエイト駆
動手段を制御して前記触針に所定の測定力を付与する位
置に前記測定力ウエイトを位置決め停止させる測定力制
御部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機。 - 【請求項２】 支点を介して揺動自在に支持されたアー
ム部材の一端に設けられた触針に所望の測定力を付与し
た状態で、前記触針を被測定物の測定面に沿って移動さ
せて前記触針の変位量に基づいて被測定物の表面形状を
測定する表面形状測定機において、 前記アーム部材の他端に移動自在に設けられたウエイト
と、 前記ウエイトを移動する駆動手段と、 前記駆動手段を制御して前記アーム部材の釣合いがとれ
た位置に前記ウエイトを位置決め停止させるバランス制
御部と、 前記アーム部材の釣合いがとれた位置に前記ウエイトを
位置決め停止させた状態で、前記駆動手段を制御して前
記触針に所定の測定力が生じる位置に前記ウエイトを位
置決め停止させる測定力制御部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993030860U JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993030860U JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH072906U JPH072906U (ja) | 1995-01-17 |
| JP2556550Y2 true JP2556550Y2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=12315484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993030860U Expired - Fee Related JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2556550Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6874243B2 (en) | 2003-02-27 | 2005-04-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring instrument |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4659529B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2011-03-30 | 株式会社アルバック | 表面形状測定用触針式段差計及びその自動較正方法 |
| JP7121895B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-08-19 | 株式会社東京精密 | 形状測定機 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6113922Y2 (ja) * | 1980-04-18 | 1986-04-30 | ||
| JPH081442Y2 (ja) * | 1990-06-25 | 1996-01-17 | 株式会社東京精密 | 真円度測定機 |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP1993030860U patent/JP2556550Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6874243B2 (en) | 2003-02-27 | 2005-04-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring instrument |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH072906U (ja) | 1995-01-17 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |