JP2556550Y2 - 表面形状測定機 - Google Patents
表面形状測定機Info
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- JP2556550Y2 JP2556550Y2 JP1993030860U JP3086093U JP2556550Y2 JP 2556550 Y2 JP2556550 Y2 JP 2556550Y2 JP 1993030860 U JP1993030860 U JP 1993030860U JP 3086093 U JP3086093 U JP 3086093U JP 2556550 Y2 JP2556550 Y2 JP 2556550Y2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は表面形状測定機に係
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
【0002】
【従来の技術】図3に示す表面形状測定機10のアーム
12は、支点14を介して揺動自在に支持されている。
アーム12の先端部には触針18が設けられていて、ア
ーム12の中央部には鉄芯20が設けられている。鉄芯
20はコイル22内に配置されている。鉄芯20及びコ
イル22はZ軸検出器23を構成する。すなわち、鉄芯
20がZ軸方向(コイル22の軸心方向)に移動すると
コイル22の電圧が変化して、鉄芯20の移動量が検出
される。
12は、支点14を介して揺動自在に支持されている。
アーム12の先端部には触針18が設けられていて、ア
ーム12の中央部には鉄芯20が設けられている。鉄芯
20はコイル22内に配置されている。鉄芯20及びコ
イル22はZ軸検出器23を構成する。すなわち、鉄芯
20がZ軸方向(コイル22の軸心方向)に移動すると
コイル22の電圧が変化して、鉄芯20の移動量が検出
される。
【0003】アーム12の後端部にはバランスウエイト
24が移動自在に支持されている。バランスウエイト2
4はZ軸検出器23が「0」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト24にはロッド26が固定さ
れていて、ロッド26には測定力ウエイト28が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト28は触針18が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
24が移動自在に支持されている。バランスウエイト2
4はZ軸検出器23が「0」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト24にはロッド26が固定さ
れていて、ロッド26には測定力ウエイト28が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト28は触針18が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
【0004】このように構成された表面形状測定機10
でワーク30を測定する場合、触針18はワーク30に
対応させて最適な触針18が選択される。そして、ワー
ク30に対応させて選択された触針18はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針18を変更する場合アーム12
のバランスを保つためにバランスウエイト24を最適位
置に移動する。
でワーク30を測定する場合、触針18はワーク30に
対応させて最適な触針18が選択される。そして、ワー
ク30に対応させて選択された触針18はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針18を変更する場合アーム12
のバランスを保つためにバランスウエイト24を最適位
置に移動する。
【0005】しかしながら、バランスウエイト24は作
業者が人手で移動するので、バランスウエイト24の位
置決めが作業者の感覚をたよりに行われる。従って、バ
ランスウエイト24の位置決めに時間がかかりすぎると
いう問題点がある。本件出願人は上記問題点を解消する
ために、特願平5-43764 号公報において、駆動モータを
制御部で制御してバランスウエイトを移動し、アームの
釣合いがとれ、かつ触針の変位量が0になる位置にバラ
ンスウエイトを位置決めする表面形状測定機を提案して
いる。この表面形状測定機によれば、触針を変更する場
合のバランスウエイトの最適位置への位置決めを自動的
に行うことができる。
業者が人手で移動するので、バランスウエイト24の位
置決めが作業者の感覚をたよりに行われる。従って、バ
ランスウエイト24の位置決めに時間がかかりすぎると
いう問題点がある。本件出願人は上記問題点を解消する
ために、特願平5-43764 号公報において、駆動モータを
制御部で制御してバランスウエイトを移動し、アームの
釣合いがとれ、かつ触針の変位量が0になる位置にバラ
ンスウエイトを位置決めする表面形状測定機を提案して
いる。この表面形状測定機によれば、触針を変更する場
合のバランスウエイトの最適位置への位置決めを自動的
に行うことができる。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、測定力
ウエイトは作業者が人手で移動して触針に所望の測定力
を与えているので調整誤差が生じやすく、また測定力ウ
エイトを測定機本体の外部に出しておく必要があるので
デザインの自由度が小さいという問題がある。本考案は
このような事情に鑑みてなされたもので、バランスウエ
イト及び測定力ウエイトを駆動モータで移動して調整誤
差の発生を防止し、かつバランスウエイト及び測定力ウ
エイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度を大
きくすることができる表面形状測定機を提供することを
目的とする。
ウエイトは作業者が人手で移動して触針に所望の測定力
を与えているので調整誤差が生じやすく、また測定力ウ
エイトを測定機本体の外部に出しておく必要があるので
デザインの自由度が小さいという問題がある。本考案は
このような事情に鑑みてなされたもので、バランスウエ
イト及び測定力ウエイトを駆動モータで移動して調整誤
差の発生を防止し、かつバランスウエイト及び測定力ウ
エイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度を大
きくすることができる表面形状測定機を提供することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本考案は、前記目的を達
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自在
に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材の
釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の測
定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面に
沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機において、前記バ
ランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動手段
と、前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アー
ム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを
位置決め停止させるバランス制御部と、測定力ウエイト
を移動する測定力ウエイト駆動手段と、前記アーム部材
の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置決
め停止させた状態で、測定力ウエイト駆動手段を制御し
て前記触針に所定の測定力を付与する位置に前記測定力
ウエイトを位置決め停止させる測定力制御部とを備えた
ことを特徴とする。
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自在
に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材の
釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の測
定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面に
沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機において、前記バ
ランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動手段
と、前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アー
ム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを
位置決め停止させるバランス制御部と、測定力ウエイト
を移動する測定力ウエイト駆動手段と、前記アーム部材
の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置決
め停止させた状態で、測定力ウエイト駆動手段を制御し
て前記触針に所定の測定力を付与する位置に前記測定力
ウエイトを位置決め停止させる測定力制御部とを備えた
ことを特徴とする。
【0008】
【作用】本考案によれば、バランスウエイトはバランス
ウエイト駆動手段で移動され、バランス制御部はバラン
スウエイト駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがと
れた位置にバランスウエイトを位置決めする。また、測
定力ウエイトは測定力ウエイト駆動手段で移動され、測
定力ウエイト駆動手段は測定力制御部で制御される。そ
して、アーム部材の釣合いがとれた位置にバランスウエ
イトが位置決めされた状態で、測定力制御部は測定力ウ
エイト駆動手段を制御して測定力ウエイトを移動して触
針に所定の測定力を付与する。
ウエイト駆動手段で移動され、バランス制御部はバラン
スウエイト駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがと
れた位置にバランスウエイトを位置決めする。また、測
定力ウエイトは測定力ウエイト駆動手段で移動され、測
定力ウエイト駆動手段は測定力制御部で制御される。そ
して、アーム部材の釣合いがとれた位置にバランスウエ
イトが位置決めされた状態で、測定力制御部は測定力ウ
エイト駆動手段を制御して測定力ウエイトを移動して触
針に所定の測定力を付与する。
【0009】
【実施例】以下添付図面に従って本考案に係る表面形状
測定機について詳説する。図1には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機28の
本体30には、支点32を介してアーム34が揺動自在
に支持されている。アーム34は支点32の近傍に鉄芯
36が設けられている。鉄芯36はコイル38内に配置
されていて、鉄芯36及びコイル38はZ軸検出器40
を構成している。すなわち、鉄芯36がZ軸方向(コイ
ル38の軸線方向)に移動すると、コイル38の電圧が
変化して鉄芯36の変位量が検出される。Z軸検出器4
0の変位量は後述する検出器信号回路42に入力され
る。
測定機について詳説する。図1には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機28の
本体30には、支点32を介してアーム34が揺動自在
に支持されている。アーム34は支点32の近傍に鉄芯
36が設けられている。鉄芯36はコイル38内に配置
されていて、鉄芯36及びコイル38はZ軸検出器40
を構成している。すなわち、鉄芯36がZ軸方向(コイ
ル38の軸線方向)に移動すると、コイル38の電圧が
変化して鉄芯36の変位量が検出される。Z軸検出器4
0の変位量は後述する検出器信号回路42に入力され
る。
【0010】アーム34の後方の垂直壁部にはバランス
ウエイトモータ44が固定されていて、バランスウエイ
トモータ44の駆動シャフトにはねじシャフト46が回
転力を伝達可能に連結されている。ねじシャフト46に
はバランスウエイト48がねじ結合されている。バラン
スウエイト48はロッド50に摺動自在に支持されてい
て、ロッド50はアーム34の後端部に固定されてい
る。従って、バランスウエイトモータ44を駆動してね
じシャフト46を回動するとバランスウエイト48はロ
ッド50に沿って左右方向に移動する。
ウエイトモータ44が固定されていて、バランスウエイ
トモータ44の駆動シャフトにはねじシャフト46が回
転力を伝達可能に連結されている。ねじシャフト46に
はバランスウエイト48がねじ結合されている。バラン
スウエイト48はロッド50に摺動自在に支持されてい
て、ロッド50はアーム34の後端部に固定されてい
る。従って、バランスウエイトモータ44を駆動してね
じシャフト46を回動するとバランスウエイト48はロ
ッド50に沿って左右方向に移動する。
【0011】また、アーム34の後端部には測定力ウエ
イトモータ52が固定されていて、測定力ウエイトモー
タ52の駆動シャフトにはねじシャフト52Aが回転力
を伝達可能に連結されている。ねじシャフト52Aには
測定力ウエイト54がねじ結合されている。測定力ウエ
イト54はロッド54Aに摺動自在に支持されていて、
ロッド54Aはアーム34の後端部に固定されている。
従って、測定力ウエイトモータ52を駆動してねじシャ
フト52Aを回動すると測定力ウエイト54はロッド5
4Aに沿って左右方向に移動する。これにより、測定力
ウエイト54は、アーム34の先端に設けられている触
針62がワーク64の表面に所望の測定力で当接する位
置に位置決めされる。
イトモータ52が固定されていて、測定力ウエイトモー
タ52の駆動シャフトにはねじシャフト52Aが回転力
を伝達可能に連結されている。ねじシャフト52Aには
測定力ウエイト54がねじ結合されている。測定力ウエ
イト54はロッド54Aに摺動自在に支持されていて、
ロッド54Aはアーム34の後端部に固定されている。
従って、測定力ウエイトモータ52を駆動してねじシャ
フト52Aを回動すると測定力ウエイト54はロッド5
4Aに沿って左右方向に移動する。これにより、測定力
ウエイト54は、アーム34の先端に設けられている触
針62がワーク64の表面に所望の測定力で当接する位
置に位置決めされる。
【0012】図1に示すように表面形状測定機は前述し
た検出器信号回路42、バランス制御回路56、測定力
制御回路70、測定ボタン58及び調整ボタン60を備
えている。そして、測定ボタン58を押すと測定モード
になり、調整ボタン60を押すと調整モードになる。検
出器信号回路42はZ軸検出器40から入力された変位
量を表示し、さらにZ軸検出器40から入力された変位
量をバランス制御回路56及び測定力制御回路70に入
力する。
た検出器信号回路42、バランス制御回路56、測定力
制御回路70、測定ボタン58及び調整ボタン60を備
えている。そして、測定ボタン58を押すと測定モード
になり、調整ボタン60を押すと調整モードになる。検
出器信号回路42はZ軸検出器40から入力された変位
量を表示し、さらにZ軸検出器40から入力された変位
量をバランス制御回路56及び測定力制御回路70に入
力する。
【0013】バランス制御回路56は調整モード時に、
検出器信号回路42から入力された変位量が0になるよ
うにバランスウエイトモータ44を制御する信号を出力
する。また、測定力制御回路70は調整モード時に、検
出器信号回路42から入力された変位量が0になると測
定力ウエイトモータ52を制御する信号を出力する。こ
の場合、測定力制御回路70には個別の測定力と測定力
ウエイト54の位置関係を示すデータが予め記憶されて
いる。すなわち、検出器信号回路42から入力された変
位量が0の時の測定力ウエイト54の位置を基準位置と
して、前記個別の測定力を得るために測定力ウエイト5
4が移動する各々の移動量を示すデータが予め測定力制
御回路70に記憶されている。
検出器信号回路42から入力された変位量が0になるよ
うにバランスウエイトモータ44を制御する信号を出力
する。また、測定力制御回路70は調整モード時に、検
出器信号回路42から入力された変位量が0になると測
定力ウエイトモータ52を制御する信号を出力する。こ
の場合、測定力制御回路70には個別の測定力と測定力
ウエイト54の位置関係を示すデータが予め記憶されて
いる。すなわち、検出器信号回路42から入力された変
位量が0の時の測定力ウエイト54の位置を基準位置と
して、前記個別の測定力を得るために測定力ウエイト5
4が移動する各々の移動量を示すデータが予め測定力制
御回路70に記憶されている。
【0014】従って、入力キー(入力部)72から前記
個別の測定力(例えば、0.3 gf)を測定力制御回路7
0に入力すると、測定力制御回路70は予め記憶されて
いる測定力0.3 gfに対応する測定力ウエイト54の移
動量3.0 mmに基づいて、測定力ウエイトモータ52を
制御する信号を出力する。これにより、測定力ウエイト
54が3.0 mm移動して、触針62がワーク64の表面
に0.3 gfの測定力で押圧される。
個別の測定力(例えば、0.3 gf)を測定力制御回路7
0に入力すると、測定力制御回路70は予め記憶されて
いる測定力0.3 gfに対応する測定力ウエイト54の移
動量3.0 mmに基づいて、測定力ウエイトモータ52を
制御する信号を出力する。これにより、測定力ウエイト
54が3.0 mm移動して、触針62がワーク64の表面
に0.3 gfの測定力で押圧される。
【0015】前記の如く構成された本考案に係る表面形
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針6
2と交換する。次に、調整ボタン60を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー72から測定力0.3 gf
を測定力制御回路70に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム34のバランスがくずれると
Z軸検出器40の変位量が検出器信号回路42を介して
バランス制御回路56に入力される。
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針6
2と交換する。次に、調整ボタン60を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー72から測定力0.3 gf
を測定力制御回路70に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム34のバランスがくずれると
Z軸検出器40の変位量が検出器信号回路42を介して
バランス制御回路56に入力される。
【0016】バランス制御回路56に変位量が入力され
ると、バランス制御回路56はバランスウエイトモータ
44に駆動信号を出力する。これにより、バランスウエ
イトモータ44が駆動してバランスウエイト48がロッ
ド50に沿って左右方向に移動する。バランスウエイト
48がロッド50に沿って左右方向に移動すると、アー
ム34が揺動するのでZ軸検出器40の検出値が変位す
る。そして、Z軸検出器40の検出値が0になった時点
でバランス制御回路56から出力されていた駆動信号の
出力を停止する。これにより、バランスウエイト48の
調整が完了する。
ると、バランス制御回路56はバランスウエイトモータ
44に駆動信号を出力する。これにより、バランスウエ
イトモータ44が駆動してバランスウエイト48がロッ
ド50に沿って左右方向に移動する。バランスウエイト
48がロッド50に沿って左右方向に移動すると、アー
ム34が揺動するのでZ軸検出器40の検出値が変位す
る。そして、Z軸検出器40の検出値が0になった時点
でバランス制御回路56から出力されていた駆動信号の
出力を停止する。これにより、バランスウエイト48の
調整が完了する。
【0017】また、検出器信号回路42から出力された
検出値0の信号が測定力制御回路70に入力されると、
測定力制御回路70は予め記憶されている測定力0.3 g
fに対応する測定力ウエイト54の移動量3.0 mmに基
づいて、測定力ウエイトモータ52を制御する信号を出
力する。これにより、測定力ウエイト54が3.0 mm移
動して触針62がワーク64の表面に0.3 gfの測定力
で押圧され、測定力ウエイト54の調整が完了する。
検出値0の信号が測定力制御回路70に入力されると、
測定力制御回路70は予め記憶されている測定力0.3 g
fに対応する測定力ウエイト54の移動量3.0 mmに基
づいて、測定力ウエイトモータ52を制御する信号を出
力する。これにより、測定力ウエイト54が3.0 mm移
動して触針62がワーク64の表面に0.3 gfの測定力
で押圧され、測定力ウエイト54の調整が完了する。
【0018】前記実施例ではバランスウエイト48と測
定力ウエイト54を個別に設けた場合について説明した
が、これに限らず、1個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成してもよい。以
下、図2に基づいて1個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成された表面形状測
定機について説明する。尚、図2上において前記実施例
と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略す
る。
定力ウエイト54を個別に設けた場合について説明した
が、これに限らず、1個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成してもよい。以
下、図2に基づいて1個のウエイトでバランスウエイト
と測定力ウエイトを兼ねるように構成された表面形状測
定機について説明する。尚、図2上において前記実施例
と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略す
る。
【0019】アーム80の後端部にはモータ82が固定
されていて、モータ82の駆動シャフトにはねじシャフ
ト84が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト84にはウエイト86がねじ結合されている。ウエ
イト86はロッド88に摺動自在に支持されていて、ロ
ッド88はアーム80の後端部に固定されている。従っ
て、モータ82を駆動してねじシャフト84を回動する
とウエイト86はロッド88に沿って左右方向に移動す
る。
されていて、モータ82の駆動シャフトにはねじシャフ
ト84が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト84にはウエイト86がねじ結合されている。ウエ
イト86はロッド88に摺動自在に支持されていて、ロ
ッド88はアーム80の後端部に固定されている。従っ
て、モータ82を駆動してねじシャフト84を回動する
とウエイト86はロッド88に沿って左右方向に移動す
る。
【0020】そして、モータ82はバランス制御回路5
6及び測定力制御回路70からの駆動信号に基づいて駆
動する。すなわち、バランス制御回路56は検出器信号
回路42から入力された変位量が0になるようにモータ
82を制御する信号を出力し、測定力制御回路70は検
出器信号回路42から入力された変位量が0になるとモ
ータ82を制御する信号を出力する。この場合、測定力
制御回路70には個別の測定力とウエイト86の位置関
係を示すデータが予め記憶されている。このデータに
は、検出器信号回路42から入力された変位量が0の時
のウエイト86の位置を基準位置として、前記個別の測
定力を得るためにウエイト86が移動する各々の移動量
が示されている。
6及び測定力制御回路70からの駆動信号に基づいて駆
動する。すなわち、バランス制御回路56は検出器信号
回路42から入力された変位量が0になるようにモータ
82を制御する信号を出力し、測定力制御回路70は検
出器信号回路42から入力された変位量が0になるとモ
ータ82を制御する信号を出力する。この場合、測定力
制御回路70には個別の測定力とウエイト86の位置関
係を示すデータが予め記憶されている。このデータに
は、検出器信号回路42から入力された変位量が0の時
のウエイト86の位置を基準位置として、前記個別の測
定力を得るためにウエイト86が移動する各々の移動量
が示されている。
【0021】従って、入力キー(入力部)72から前記
個別の測定力(例えば、0.3 gf)を測定力制御回路7
0に入力すると、測定力制御回路70は予め記憶されて
いる測定力0.3 gfに対応するウエイト86の移動量3.
0 mmに基づいて、モータ82を制御する信号を出力す
る。これにより、ウエイト86が3.0 mm移動して、触
針62がワーク64の表面に0.3 gfの測定力で押圧さ
れる。
個別の測定力(例えば、0.3 gf)を測定力制御回路7
0に入力すると、測定力制御回路70は予め記憶されて
いる測定力0.3 gfに対応するウエイト86の移動量3.
0 mmに基づいて、モータ82を制御する信号を出力す
る。これにより、ウエイト86が3.0 mm移動して、触
針62がワーク64の表面に0.3 gfの測定力で押圧さ
れる。
【0022】前記の如く構成された第2実施例の表面形
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針6
2と交換する。次に、調整ボタン60を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー72から測定力0.3 gf
を測定力制御回路70に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム34のバランスがくずれると
Z軸検出器40の変位量が検出器信号回路42を介して
バランス制御回路56に入力される。
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針6
2と交換する。次に、調整ボタン60を押して調整モー
ドに設定して、さらに入力キー72から測定力0.3 gf
を測定力制御回路70に入力する。従って、触針の交換
による自重の変化でアーム34のバランスがくずれると
Z軸検出器40の変位量が検出器信号回路42を介して
バランス制御回路56に入力される。
【0023】バランス制御回路56に変位量が入力され
ると、バランス制御回路56はモータ82に駆動信号を
出力する。これにより、モータ82が駆動してウエイト
86がロッド88に沿って左右方向に移動する。ウエイ
ト86がロッド88に沿って左右方向に移動すると、ア
ーム80が揺動するのでZ軸検出器40の検出値が変位
する。そして、Z軸検出器40の検出値が0になった時
点でバランス制御回路56からモータ82に出力されて
いた駆動信号の出力を停止する。これにより、ウエイト
86によるバランスの調整が完了する。
ると、バランス制御回路56はモータ82に駆動信号を
出力する。これにより、モータ82が駆動してウエイト
86がロッド88に沿って左右方向に移動する。ウエイ
ト86がロッド88に沿って左右方向に移動すると、ア
ーム80が揺動するのでZ軸検出器40の検出値が変位
する。そして、Z軸検出器40の検出値が0になった時
点でバランス制御回路56からモータ82に出力されて
いた駆動信号の出力を停止する。これにより、ウエイト
86によるバランスの調整が完了する。
【0024】また、検出器信号回路42から出力された
検出値0の信号が測定力制御回路70に入力されると、
測定力制御回路70は予め記憶されている測定力0.3 g
fに対応するウエイト86の移動量3.0 mmに基づい
て、モータ82を制御する信号を出力する。これによ
り、ウエイト86が3.0 mm移動して触針62がワーク
64の表面に0.3 gfの測定力で押圧され、ウエイト8
6による測定力の調整が完了する。
検出値0の信号が測定力制御回路70に入力されると、
測定力制御回路70は予め記憶されている測定力0.3 g
fに対応するウエイト86の移動量3.0 mmに基づい
て、モータ82を制御する信号を出力する。これによ
り、ウエイト86が3.0 mm移動して触針62がワーク
64の表面に0.3 gfの測定力で押圧され、ウエイト8
6による測定力の調整が完了する。
【0025】
【考案の効果】以上説明したように本考案に係る表面形
状測定機によれば、バランス制御部はバランスウエイト
駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがとれた位置に
バランスウエイトを位置決めする。また、アーム部材の
釣合いがとれた位置にバランスウエイトが位置決めされ
た状態で、測定力制御部は測定力ウエイト駆動手段を制
御して測定力ウエイトを移動して触針に所定の測定力を
付与する。
状測定機によれば、バランス制御部はバランスウエイト
駆動手段を制御してアーム部材の釣合いがとれた位置に
バランスウエイトを位置決めする。また、アーム部材の
釣合いがとれた位置にバランスウエイトが位置決めされ
た状態で、測定力制御部は測定力ウエイト駆動手段を制
御して測定力ウエイトを移動して触針に所定の測定力を
付与する。
【0026】従って、バランスウエイト及び測定力ウエ
イトを駆動手段で移動して調整誤差の発生を防止し、か
つバランスウエイト及び測定力ウエイトを作業者が人手
で移動する必要がないので、バランスウエイト及び測定
力ウエイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度
を大きくすることができる。
イトを駆動手段で移動して調整誤差の発生を防止し、か
つバランスウエイト及び測定力ウエイトを作業者が人手
で移動する必要がないので、バランスウエイト及び測定
力ウエイトを測定機本体内に収納してデザインの自由度
を大きくすることができる。
【図1】本考案に係る表面形状測定機の全体図
【図2】本考案に係る表面形状測定機のその他の実施例
の全体図
の全体図
【図3】従来の表面形状測定機の全体図
28…表面形状測定機 32…支点 34、80…アーム(アーム部材) 40…Z軸検出器 44…バランスウエイトモータ(バランスウエイト駆動
手段) 48…バランスウエイト 52…測定力ウエイトモータ(測定力ウエイト駆動手
段) 54…測定力ウエイト 56…バランス制御回路(バランス制御部) 62…触針 64…ワーク(被測定物) 70…測定力制御回路(測定力制御部) 82…駆動手段 86…ウエイト
手段) 48…バランスウエイト 52…測定力ウエイトモータ(測定力ウエイト駆動手
段) 54…測定力ウエイト 56…バランス制御回路(バランス制御部) 62…触針 64…ワーク(被測定物) 70…測定力制御回路(測定力制御部) 82…駆動手段 86…ウエイト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−258004(JP,A) 実開 昭56−155310(JP,U) 実開 平4−26305(JP,U)
Claims (2)
- 【請求項1】 支点を介して揺動自在に支持されたアー
ム部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材
の他端にバランスウエイト及び測定力ウエイトが移動自
在に設けられ、前記バランスウエイトで前記アーム部材
の釣合いをとり前記測定力ウエイトで前記触針に所望の
測定力を付与した状態で、前記触針を被測定物の測定面
に沿って移動させて前記触針の変位量に基づいて被測定
物の表面形状を測定する表面形状測定機において、 前記バランスウエイトを移動するバランスウエイト駆動
手段と、 前記バランスウエイト駆動手段を制御して前記アーム部
材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置
決め停止させるバランス制御部と、 測定力ウエイトを移動する測定力ウエイト駆動手段と、 前記アーム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウ
エイトを位置決め停止させた状態で、測定力ウエイト駆
動手段を制御して前記触針に所定の測定力を付与する位
置に前記測定力ウエイトを位置決め停止させる測定力制
御部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機。 - 【請求項2】 支点を介して揺動自在に支持されたアー
ム部材の一端に設けられた触針に所望の測定力を付与し
た状態で、前記触針を被測定物の測定面に沿って移動さ
せて前記触針の変位量に基づいて被測定物の表面形状を
測定する表面形状測定機において、 前記アーム部材の他端に移動自在に設けられたウエイト
と、 前記ウエイトを移動する駆動手段と、 前記駆動手段を制御して前記アーム部材の釣合いがとれ
た位置に前記ウエイトを位置決め停止させるバランス制
御部と、 前記アーム部材の釣合いがとれた位置に前記ウエイトを
位置決め停止させた状態で、前記駆動手段を制御して前
記触針に所定の測定力が生じる位置に前記ウエイトを位
置決め停止させる測定力制御部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993030860U JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993030860U JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH072906U JPH072906U (ja) | 1995-01-17 |
JP2556550Y2 true JP2556550Y2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=12315484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993030860U Expired - Fee Related JP2556550Y2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 表面形状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2556550Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6874243B2 (en) | 2003-02-27 | 2005-04-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring instrument |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4659529B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2011-03-30 | 株式会社アルバック | 表面形状測定用触針式段差計及びその自動較正方法 |
JP7121895B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-08-19 | 株式会社東京精密 | 形状測定機 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6113922Y2 (ja) * | 1980-04-18 | 1986-04-30 | ||
JPH081442Y2 (ja) * | 1990-06-25 | 1996-01-17 | 株式会社東京精密 | 真円度測定機 |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP1993030860U patent/JP2556550Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6874243B2 (en) | 2003-02-27 | 2005-04-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring instrument |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH072906U (ja) | 1995-01-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |