JP2853795B2 - 表面形状測定機 - Google Patents
表面形状測定機Info
- Publication number
- JP2853795B2 JP2853795B2 JP4376493A JP4376493A JP2853795B2 JP 2853795 B2 JP2853795 B2 JP 2853795B2 JP 4376493 A JP4376493 A JP 4376493A JP 4376493 A JP4376493 A JP 4376493A JP 2853795 B2 JP2853795 B2 JP 2853795B2
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- Japan
- Prior art keywords
- balance weight
- stylus
- balance
- surface profile
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は表面形状測定機に係
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
り、特に触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧し
た状態でワークの表面に沿って移動してワークの表面形
状を測定する表面形状測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に示す表面形状測定機１０のアーム
１２は、支点１４を介して揺動自在に支持されている。
アーム１２の先端部には触針１８が設けられていて、ア
ーム１２の中央部には鉄芯２０が設けられている。鉄芯
２０はコイル２２内に配置されている。鉄芯２０及びコ
イル２２はＺ軸検出器２３を構成する。すなわち、鉄芯
２０がＺ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動すると
コイル２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出
される。
１２は、支点１４を介して揺動自在に支持されている。
アーム１２の先端部には触針１８が設けられていて、ア
ーム１２の中央部には鉄芯２０が設けられている。鉄芯
２０はコイル２２内に配置されている。鉄芯２０及びコ
イル２２はＺ軸検出器２３を構成する。すなわち、鉄芯
２０がＺ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動すると
コイル２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出
される。
【０００３】アーム１２の後端部にはバランスウエイト
２４が移動自在に支持されている。バランスウエイト２
４はＺ軸検出器２３が「０」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト２４にはロッド２６が固定さ
れていて、ロッド２６には測定力ウエイト２８が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト２８は触針１８が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
２４が移動自在に支持されている。バランスウエイト２
４はＺ軸検出器２３が「０」になるように位置決めされ
ている。バランスウエイト２４にはロッド２６が固定さ
れていて、ロッド２６には測定力ウエイト２８が摺動自
在に支持されている。測定力ウエイト２８は触針１８が
所望の測定力が得られる位置に位置決めされている。
【０００４】このように構成された表面形状測定機１０
でワーク３０を測定する場合、触針１８はワーク３０に
対応させて最適な触針１８が選択される。そして、ワー
ク３０に対応させて選択された触針１８はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針１８を変更する場合アーム１２
のバランスを保つためにバランスウエイト２４を最適位
置に移動する。
でワーク３０を測定する場合、触針１８はワーク３０に
対応させて最適な触針１８が選択される。そして、ワー
ク３０に対応させて選択された触針１８はそれぞれ重量
が異なる。従って、触針１８を変更する場合アーム１２
のバランスを保つためにバランスウエイト２４を最適位
置に移動する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バラン
スウエイト２４は作業者が人手で移動するので、バラン
スウエイト２４の位置決めが作業者の感覚をたよりに行
われる。従って、バランスウエイト２４を同一位置に位
置決めすることが困難であり、測定圧を同一に再現する
ことができない場合があるという問題がある。
スウエイト２４は作業者が人手で移動するので、バラン
スウエイト２４の位置決めが作業者の感覚をたよりに行
われる。従って、バランスウエイト２４を同一位置に位
置決めすることが困難であり、測定圧を同一に再現する
ことができない場合があるという問題がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、バランスウエイトの位置決め短時間で行うこと
ができ、また、バランスウエイトを正確に再現性良く同
一位置に位置決めすることにより測定圧の再現性の向上
を図ることができる表面形状測定機を提供することを目
的とする。
もので、バランスウエイトの位置決め短時間で行うこと
ができ、また、バランスウエイトを正確に再現性良く同
一位置に位置決めすることにより測定圧の再現性の向上
を図ることができる表面形状測定機を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイトが移動自在に設けられ、前記触
針の変位量を検出手段で検出して被測定物の表面形状を
測定する表面形状測定機において、前記バランスウエイ
トを移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御して前記
バランスウエイトを移動し、前記検出手段で検出された
前記触針の変位量が、前記アーム部材の釣合いがとれた
位置に対応した変位量となった時に前記バランスウエイ
トを位置決め停止させる制御部と、を備えたことを特徴
とする。
成する為に、支点を介して揺動自在に支持されたアーム
部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の
他端にバランスウエイトが移動自在に設けられ、前記触
針の変位量を検出手段で検出して被測定物の表面形状を
測定する表面形状測定機において、前記バランスウエイ
トを移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御して前記
バランスウエイトを移動し、前記検出手段で検出された
前記触針の変位量が、前記アーム部材の釣合いがとれた
位置に対応した変位量となった時に前記バランスウエイ
トを位置決め停止させる制御部と、を備えたことを特徴
とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、駆動手段でバランスウエイト
を移動し、駆動手段は制御部で制御される。さらに、制
御部は駆動手段を制御して、アーム部材の釣合いがとれ
た位置であって、検出手段が検出した触針の変位量が０
になる位置にバランスウエイトを位置決めする。従っ
て、触針を変更する場合のバランスウエイトの最適位置
への位置決めを自動的に行うことができる。
を移動し、駆動手段は制御部で制御される。さらに、制
御部は駆動手段を制御して、アーム部材の釣合いがとれ
た位置であって、検出手段が検出した触針の変位量が０
になる位置にバランスウエイトを位置決めする。従っ
て、触針を変更する場合のバランスウエイトの最適位置
への位置決めを自動的に行うことができる。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る表面形状
測定機について詳説する。図１には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機２８の
本体３０には、支点３２を介してアーム３４が揺動自在
に支持されている。アーム３４は支点３２の近傍に鉄芯
３６が設けられている。鉄芯３６はコイル３８内に配置
されていて、鉄芯３６及びコイル３８はＺ軸検出器４０
を構成している。すなわち、鉄芯３６がＺ軸方向（コイ
ル３８の軸線方向）に移動すると、コイル３８の電圧が
変化して鉄芯３６の変位量が検出される。Ｚ軸検出器４
０の変位量は後述する検出器信号回路４２に入力され
る。
測定機について詳説する。図１には表面形状測定機の全
体図が示されている。同図に示す表面形状測定機２８の
本体３０には、支点３２を介してアーム３４が揺動自在
に支持されている。アーム３４は支点３２の近傍に鉄芯
３６が設けられている。鉄芯３６はコイル３８内に配置
されていて、鉄芯３６及びコイル３８はＺ軸検出器４０
を構成している。すなわち、鉄芯３６がＺ軸方向（コイ
ル３８の軸線方向）に移動すると、コイル３８の電圧が
変化して鉄芯３６の変位量が検出される。Ｚ軸検出器４
０の変位量は後述する検出器信号回路４２に入力され
る。
【００１０】アーム３４の後端部にはモータ４４が固定
されていて、モータ４４の駆動シャフトにはねじシャフ
ト４６が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト４６にはバランスウエイト４８がねじ結合されてい
る。バランスウエイト４８はロッド５０に摺動自在に支
持されていて、ロッド５０はアーム３４の後端部に固定
されている。従って、モータ４４を駆動してねじシャフ
ト４６を回動するとバランスウエイト４８はロッド５０
に沿って左右方向に移動する。
されていて、モータ４４の駆動シャフトにはねじシャフ
ト４６が回転力を伝達可能に連結されている。ねじシャ
フト４６にはバランスウエイト４８がねじ結合されてい
る。バランスウエイト４８はロッド５０に摺動自在に支
持されていて、ロッド５０はアーム３４の後端部に固定
されている。従って、モータ４４を駆動してねじシャフ
ト４６を回動するとバランスウエイト４８はロッド５０
に沿って左右方向に移動する。
【００１１】バランスウエイト４８にはロッド５２が固
定されていて、ロッド５２には測定力ウエイト５４が摺
動自在に支持されている。従って、測定力ウエイト５４
はロッド５２に沿って左右方向に移動する。この場合、
測定力ウエイト５４は、アーム３４の先端に設けられて
いる触針６２がワーク６４の表面に所望の測定力で当接
するように位置決めされる。
定されていて、ロッド５２には測定力ウエイト５４が摺
動自在に支持されている。従って、測定力ウエイト５４
はロッド５２に沿って左右方向に移動する。この場合、
測定力ウエイト５４は、アーム３４の先端に設けられて
いる触針６２がワーク６４の表面に所望の測定力で当接
するように位置決めされる。
【００１２】また、前述した検出器信号回路４２はＺ軸
検出器４０から入力された変位量を表示する。さらに、
検出器信号回路４２はＺ軸検出器４０から入力された変
位量をバランス制御回路５６に入力する。バランス制御
回路５６はバランス設定モード時に、検出器信号回路４
２から入力された変位量が０になるようにモータ４４を
制御する。尚、図１上で５８は測定ボタン、６０はバラ
ンス設定ボタンであり、測定ボタン５８を押すと測定モ
ードになり、バランス設定ボタン６０を押すとバランス
設定モードになる。
検出器４０から入力された変位量を表示する。さらに、
検出器信号回路４２はＺ軸検出器４０から入力された変
位量をバランス制御回路５６に入力する。バランス制御
回路５６はバランス設定モード時に、検出器信号回路４
２から入力された変位量が０になるようにモータ４４を
制御する。尚、図１上で５８は測定ボタン、６０はバラ
ンス設定ボタンであり、測定ボタン５８を押すと測定モ
ードになり、バランス設定ボタン６０を押すとバランス
設定モードになる。
【００１３】前記の如く構成された本発明に係る表面形
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、バランス設定ボタン６０を押して
バランス設定モードに設定する。これにより、触針の自
重の変化でＺ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４
２を介してバランス制御回路５６に入力される。バラン
ス制御回路５６に変位量が入力されると、バランス制御
回路５６はモータ４４に駆動信号を出力する。
状測定機の作用を説明する。先ず、触針を新たな触針６
２と交換する。次に、バランス設定ボタン６０を押して
バランス設定モードに設定する。これにより、触針の自
重の変化でＺ軸検出器４０の変位量が検出器信号回路４
２を介してバランス制御回路５６に入力される。バラン
ス制御回路５６に変位量が入力されると、バランス制御
回路５６はモータ４４に駆動信号を出力する。
【００１４】これにより、モータ４４が駆動してバラン
スウエイト４８がロッド５０に沿って左右方向に移動す
る。バランスウエイト４８がロッド５０に沿って左右方
向に移動すると、アーム３４が揺動するのでＺ軸検出器
４０の検出値が変位する。そして、Ｚ軸検出器４０の検
出値が０になった時点でバランス設定が完了する。次い
で、測定力ウエイト５４を手動で移動して、触針６２に
所望の測定力が生じる位置に測定力ウエイト２８を位置
決めする。
スウエイト４８がロッド５０に沿って左右方向に移動す
る。バランスウエイト４８がロッド５０に沿って左右方
向に移動すると、アーム３４が揺動するのでＺ軸検出器
４０の検出値が変位する。そして、Ｚ軸検出器４０の検
出値が０になった時点でバランス設定が完了する。次い
で、測定力ウエイト５４を手動で移動して、触針６２に
所望の測定力が生じる位置に測定力ウエイト２８を位置
決めする。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る表面形
状測定機によれば、駆動手段でバランスウエイトを移動
し、駆動手段は制御部で制御される。さらに、制御部は
駆動手段を制御して、アーム部材の釣合いがとれた位置
であって、検出手段が検出した触針の変位量が０になる
位置にバランスウエイトを位置決めする。
状測定機によれば、駆動手段でバランスウエイトを移動
し、駆動手段は制御部で制御される。さらに、制御部は
駆動手段を制御して、アーム部材の釣合いがとれた位置
であって、検出手段が検出した触針の変位量が０になる
位置にバランスウエイトを位置決めする。
【００１６】従って、触針を変更する場合のバランスウ
エイトの最適位置への位置決めを自動的に行うことがで
きる。これにより、バランスウエイトの位置決めを短時
間で行うことができ、また、バランスウエイトを正確に
再現性良く同一位置に位置決めすることができるので、
測定圧の再現性が向上する。
エイトの最適位置への位置決めを自動的に行うことがで
きる。これにより、バランスウエイトの位置決めを短時
間で行うことができ、また、バランスウエイトを正確に
再現性良く同一位置に位置決めすることができるので、
測定圧の再現性が向上する。
【図１】本発明に係る表面形状測定機の測定力調整手段
の全体図
の全体図
【図２】従来の表面形状測定機の全体図
２８…表面形状測定機 ３４…アーム ４０…Ｚ軸検出器（検出手段） ４４…モータ（駆動手段） ４８…バランスウエイト ５６…バランス制御回路（制御部） ６２…触針 ６４…ワーク
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 5/00 - 5/30 G01B 21/00 - 21/32
Claims (1)
- 【請求項１】 支点を介して揺動自在に支持されたアー
ム部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材
の他端にバランスウエイトが移動自在に設けられ、前記
触針の変位量を検出手段で検出して被測定物の表面形状
を測定する表面形状測定機において、 前記バランスウエイトを移動する駆動手段と、 前記駆動手段を制御して前記バランスウエイトを移動
し、前記検出手段で検出された前記触針の変位量が、前
記アーム部材の釣合いがとれた位置に対応した変位量と
なった時に前記バランスウエイトを位置決め停止させる
制御部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4376493A JP2853795B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4376493A JP2853795B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258004A JPH06258004A (ja) | 1994-09-16 |
| JP2853795B2 true JP2853795B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=12672829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4376493A Expired - Fee Related JP2853795B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2853795B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4659529B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2011-03-30 | 株式会社アルバック | 表面形状測定用触針式段差計及びその自動較正方法 |
| JP7121895B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-08-19 | 株式会社東京精密 | 形状測定機 |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP4376493A patent/JP2853795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06258004A (ja) | 1994-09-16 |
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Legal Events
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