KR102675445B1

KR102675445B1 - 마스크

Info

Publication number: KR102675445B1
Application number: KR1020217039359A
Authority: KR
Inventors: 즈위안 장
Original assignee: 쿤산 고-비젼녹스 옵토-일렉트로닉스 씨오., 엘티디.
Priority date: 2019-10-31
Filing date: 2020-07-24
Publication date: 2024-06-13
Also published as: EP3967787A1; KR20220002638A; JP7297944B2; JP2022535910A; CN110629158B; CN110629158A; WO2021082549A1; US20220033953A1; EP3967787A4

Abstract

본 출원 실시예는 마스크를 개시한다. 프레임(101) 및 상기 프레임(101)으로 둘러싸인 개구(102); 상기 개구(102) 내에 설치된 차폐부(103) 및 상기 차폐부(103)와 상기 프레임(101)을 연결하는 적어도 하나의 연결부(104); 를 포함하며, 상기 연결부(104)는 상기 마스크에 수직되는 방향을 따라, 증착될 기판(201)에 가깝게 설치된 제1 부분(1041)과 상기 증착될 기판(201)으로부터 멀리 설치된 제2 부분(1042)을 포함하고, 상기 제2 부분(1042)의 수직 투영은 상기 제1 부분(1041)의 수직 투영을 커버하고, 상기 마스크의 단면에 평행되는 상기 제1 부분(1041)의 면적은 상기 제2 부분(1042)에서 멀어지는 방향을 따라 점차 감소된다.

Description

마스크

본 출원은 2019년 10월 31일에 중국특허청에 제출된 출원번호가 201911053494.9인 중국특허출원의 우선권을 주장하는 바, 해당 출원의 전부 내용은 참조로서 본 출원에 포함된다.

본 출원은 마스크 기술에 관한 것으로서, 예를 들면, 마스크에 관한 것이다.

디스플레이 기술의 발전과 생활 수준이 향상됨에 따라, 디스플레이 패널의 작용 및 종류는 갈수록 광범위해지며, 디스플레이 패널의 디스플레이 영역에는 천공 스크린 등 다양한 디스플레이 효과가 나타나 새로운 방향을 제시하고 있다.

그러나 천공 스크린은 전체 디스플레이 패널에 쉽게 손상을 주어 디스플레이 패널의 전체 디스플레이 효과가 떨어진다.

본 출원은 디스플레이 영역에서 다양한 디스플레이 효과를 갖는 디스플레이 패널을 간단하고 효율적으로 제조할 수 있는 마스크를 제공한다.

본 출원 실시예는 마스크를 제공하며, 이는, 프레임 및 상기 프레임으로 둘러싸인 개구; 상기 개구 내에 설치된 차폐부 및 상기 차폐부와 상기 프레임을 연결하는 적어도 하나의 연결부; 를 포함하며, 상기 연결부는 상기 마스크에 수직되는 방향을 따라, 증착될 기판에 가깝게 설치된 제1 부분과 상기 증착될 기판으로부터 멀리 설치된 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부분의 수직 투영은 상기 제1 부분의 수직 투영을 커버하고, 상기 마스크의 단면에 평행되는 상기 제1 부분의 면적은 상기 제2 부분에서 멀어지는 방향을 따라 점차 감소된다.

본 발명에서 채택한 마스크는 프레임 및 프레임으로 둘러싸인 개구; 개구 내에 설치된 차폐부 및 차폐부와 프레임을 연결하는 적어도 하나의 연결부; 를 포함하며, 연결부는 마스크에 수직인 방향을 따라, 증착될 기판에 가깝게 설치된 제1 부분과 증착될 기판으로부터 멀리 설치된 제2 부분을 포함하고, 제2 부분의 수직 투영은 제1 부분의 수직 투영을 커버하고, 마스크의 단면에 평행되는 제1 부분의 단면의 면적은 증착될 기판에 가까워지는 방향을 따라 점차 감소된다. 마스크를 사용하여 디스플레이 패널의 필름층을 증착할 때, 연결부를 이용하여 차폐부의 안정적인 지지를 효과적으로 구현하고, 디스플레이 패널에서 연결부에 대응하는 위치는 사선 방향의 증착에 의해 상응한 필름층 구조를 형성할 수 있으므로, 디스플레이 패널에서 연결부에 대응하는 위치에 재료가 증착되지 않아 디스플레이 패널의 디스플레이 효과에 영향을 미치는 문제를 방지하고, 디스플레이 영역에서 다양한 디스플레이 효과를 갖는 디스플레이 패널을 간단하고 효율적으로 제조하는데 유리하다.

도 1은 본 출원의 실시예에서 제공하는 마스크의 구조 개략도이다.
도 2는 도 1의 A1-A2 방향으로의 단면도이다.
도 3은 본 출원의 실시예에서 제공하는 증착 프로세스의 개략도이다.
도 4는 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 여기서, 연결부는 도 2에서의 연결부와 상이한 단면 형상을 가진다.
도 5는 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 증착 프로세스의 개략도이다.
도 6은 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 여기서, 연결부는 도 2에서의 연결부와 상이한 단면 형상을 가진다.
도 7은 도 1의 A3-A4 방향으로의 단면도이다.
도 8은 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 여기서, 연결부는 도 2에서의 연결부와 상이한 단면 형상을 가진다.
도 9는 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 여기서, 연결부는 도 2에서의 연결부와 상이한 단면 형상을 가진다.
도 10은 도 1의 A5-A6 방향으로의 단면도이다.
도 11은 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 여기서, 하나의 차폐부는 3 개의 연결부에 대응하고, 3 개의 연결부 중의 2 개의 연결부의 연장 방향은 서로 수직되며, 다른 하나의 연결부의 연장 방향은 서로 수직되는 2 개의 연결부 사이에 위치한다.
도 12는 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 여기서, 하나의 차폐부는 4개의 연결부에 대응하고, 4개의 연결부 중의 2 개의 연결부의 연장 방향은 제1 방향에 평행되고, 다른 2 개의 연결부의 연장 방향은 제2 방향에 평행되며, 제1 방향과 제2 방향은 서로 수직된다.
도 13은 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 여기서, 하나의 차폐부는 3 개의 연결부에 대응하고, 3 개의 연결부 중의 2 개의 연결부의 연장 방향은 일치하며, 동일한 직선상에 위치하고, 다른 하나의 연결부의 연장 방향은 해당 직선과 서로 수직된다.

이하, 첨부된 도면 및 실시예를 결합하여 본 출원에 대해 설명한다. 여기서 서술하는 구체적 실시예는 단지 본 출원을 설명하기 위함일 뿐, 본 출원에 대한 한정이 아니다. 이밖에 서술의 편의를 위해 첨부된 도면에는 전체 구조가 아닌 본 출원과 관련된 부분만 도시하였다.

배경기술에서 언급한 천공 스크린이 디스플레이 패널 전체가 쉽게 파손되는 문제가 있는 것처럼, 이러한 기술적 문제의 원인은 면밀한 연구 끝에 다음과 같이 발견되었다: 관련기술에서, 천공 스크린을 제조할 때 먼저 마스크를 사용하여 필름층 구조의 전체 층을 제작한 다음 레이저 드릴링을 통해 필름층 구조에 홀 형상의 구조를 형성한다. 그러나 레이저 드릴링 기술은 난이도가 높고, 디스플레이 패널의 필름층 구조가 손상되기 쉽다.

도 1은 본 출원의 실시예에서 제공하는 마스크의 구조 개략도이고, 도 2는 도 1의 A1-A2 방향으로의 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크는, 프레임(101) 및 프레임(101)으로 둘러싸인 개구(102); 개구(102) 내에 설치된 차폐부(103) 및 차폐부(103)와 프레임(101)을 연결하는 적어도 하나의 연결부(104); 를 포함하며, 연결부(104)는 마스크에 수직인 방향을 따라, 증착될 기판에 가깝게 설치된 제1 부분(1041)과 증착될 기판으로부터 멀리 설치된 제2 부분(1042)을 포함하고, 제2 부분(1042)의 수직 투영은 제1 부분(1041)의 수직 투영을 커버하고, 마스크의 단면에 평행되는 제1 부분(1041)의 면적은 제2 부분(1042)에서 멀어지는 방향을 따라 점차 감소된다.

일 실시예에서, 도 1 및 도 2를 결합하면, 마스크는 디스플레이 패널을 제조하는데 사용할 수 있으며, 하나의 마스크는 복수의 개구(102)를 포함하고, 각 개구(102)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하며, 개구(102) 내의 차폐부(103)는, 디스플레이 패널의 필름층(예: 음극층 또는 캡슐화층)을 증착할 때, 디스플레이 패널에서 특정 재료의 필름층이 형성될 필요가 없는 영역, 예를 들어 다른 디스플레이 영역과 구별되는 지정된 영역(예: 천공 영역)에 해당 재료가 증착되는 것을 방지하도록 설치되어, 먼저 전체 필름층을 만든 다음 레이저 드릴링을 함으로 인해 필름층이 파손되고, 나아가 디스플레이 패널의 디스플레이 품질에 영향을 미치는 것을 방지한다.

본 실시예에서, 마스크에 평행되는 제1 부분(1041)의 단면의 면적은 제2 부분(1042)으로부터 멀어지는 방향에 따라 점차적으로 감소되는데, 이는 제1 부분(1041)의 단면의 폭이 점차 감소되는 것을 의미할 수 있다. 도 2는 연결부(104)의 좌우측이 대칭 구조인 것을 예시적으로 도시하고 있다. 일 실시예에서, 연결부(104)는 또한 비대칭 구조로 제공될 수 있다. 도 3은 본 출원의 실시예에서 제공하는 증착 프로세스의 개략도이며, 도 2 및 도 3을 결합하면, 마스크를 이용하여 디스플레이 패널의 필름층을 증착하는 경우, 증착될 기판(201)은 마스크의 상부에 배치되고, 연결부(104)의 제1 부분(1041)은 증착될 기판(201)에 가까우며, 연결부(104)의 제2 부분(1042)은 증착될 기판(201)으로부터 멀리 떨어져 있으며, 증착될 기판(201)은 연결부(104)에 의해 차폐되는 차폐 영역(2011) 및 연결부(104)에 의해 차폐되지 않는 비차폐 영역(2012)을 포함한다. 예를 들어, 본 출원의 실시예에서 제공하는 마스크를 이용하여 디스플레이 패널의 음극층을 증착시키는 경우, 천공 영역, 즉 증착될 기판에서 차폐부(103)에 대응하는 영역만이 해당 영역에 음극재가 형성되는 것을 방지하기 위해 차폐부(103)에 의해 차폐되어야 하고, 나머지 영역에는 모두 음극재가 형성되어야 하며, 즉 차폐 영역(2011) 및 비차폐 영역(2012)에는 모두 대응하는 필름층 구조가 증착되어야 한다. 증착할 때 아래에서 위로 증착 재료를 증착될 기판(201)에 증착하므로 비차폐 영역(2012)에는 수직 방향으로 필름층 구조가 증착될 수 있고, 마스크에 평행되는 제1 부분(1041)의 단면의 면적은 증착될 기판(201)에 가까운 방향에 따라 점차 감소되므로, 차폐 영역(2011)에도 사선 방향으로 필름층 구조가 증착될 수 있어, 디스플레이 패널에서 연결부(104)에 대응하는 위치에 재료가 증착되지 않아 디스플레이 패널의 디스플레이 효과에 영향을 미치는 것을 방지한다.

마스크에 수직되는 방향에서 상기 연결부(104)의 제1 부분(1041)과 제2 부분(1042) 사이의 경계는 본 출원의 실시예에서 한정되지 않으며, 마스크에 평행되는 제1 부분(1041)의 단면의 면적이 제2 부분(1042)으로부터 멀어지는 방향에 따라 점차 감소되도록 보장하면 된다.

본 발명에서 채택한 마스크는 프레임 및 상기 프레임으로 둘러싸인 개구; 개구 내에 설치된 차폐부 및 차폐부와 프레임을 연결하는 적어도 하나의 연결부; 를 포함하며, 마스크에 수직되는 방향을 따라, 연결부는 증착될 기판에 가깝게 설치된 제1 부분과 증착될 기판으로부터 멀리 설치된 제2 부분을 포함하고, 제2 부분의 수직 투영은 제1 부분의 수직 투영을 커버하고, 마스크의 단면에 평행되는 제1 부분의 단면의 면적은 제2 부분으로부터 멀어지는 방향을 따라 점차 감소된다. 마스크를 사용하여 디스플레이 패널의 필름층을 증착할 때, 연결부를 이용하여 차폐부에 대한 안정적인 지지를 효과적으로 구현하고, 디스플레이 패널에서 차폐부에 대응하는 영역에는 필름층 구조가 증착되지 않도록 하고, 디스플레이 패널에서 연결부에 대응하는 위치는 사선 방향의 증착에 의해 대응하는 필름층 구조를 형성할 수 있도록 하여, 디스플레이 패널에서 연결부에 대응하는 위치에 재료가 증착되지 않아 디스플레이 패널의 디스플레이 효과에 영향을 미치는 문제를 방지하고, 디스플레이 영역에서 다양한 디스플레이 효과를 갖는 디스플레이 패널을 간단하고 효율적으로 제조하는데 유리하다.

일 실시예에서, 도 4는 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 도 4를 참조하면, 마스크에 수직되는 방향에 따라, 마스크의 단면에 평행되는 제2 부분(1042)의 단면의 면적은 제1 부분(1041)의 방향을 따라 점차 감소된다.

일 실시예에서, 도 5는 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 증착 프로세스의 개략도이며, 도 4 및 도 5를 결합하면, 차폐 영역(2011) 및 비차폐 영역(2012)에는 모두 필름층 구조가 증착되어야 하고, 증착할 때 아래에서 위로 증착 재료를 증착될 기판(201)에 증착하며, 차폐 영역(2011)에 멀리 떨어진 비차폐 영역(2012)에는 수직 방향으로 필름층 구조가 증착될 수 있고, 또한 사선 방향으로 일부 필름층 구조가 증착될 수 있으며, 차폐 영역(2011)에 가까운 비차폐 영역(2012)은 연결부(104)에 의해 차폐되어 수직 방향으로만 필름층 구조가 증착될 수 있다. 즉 차폐 영역(2011)에 가까운 비차폐 영역(2012)의 필름층 두께는 차폐 영역(2011)에 멀리 떨어진 영역의 필름층의 두께보다 작을 수 있으며, 이로 인해 디스플레이 패널의 필름층의 두께가 균일하지 못하고 디스플레이 효과에 영향을 미친다. 마스크에 평행되는 제2 부분(1042)의 단면의 면적이 제1 부분(1041)으로부터 멀어지는 방향에 따라 감소되게 설치함으로써, 연결부(104)에 대응하는 영역에서 차폐 영역(2011)에 가까운 비차폐 영역(2012)에 대해 사선 방향으로 증착되는 증착 재료에 대한 제2 부분(1042)의 차폐를 보다 적게 하여, 차폐 영역(2011)에 가까운 비차폐 영역(2012)에 필름층 구조가 사선 방향을 통해 어느 정도 증착될 수 있어, 차폐 영역(2011)으로부터 멀리 떨어진 영역의 필름층 구조의 두께 차이를 줄이고, 디스플레이 패널 상의 필름층 두께를 균일하게 하며 디스플레이 균일성을 향상시키고, 나아가 디스플레이 효과를 향상시킨다.

일 실시예에서, 도 2 및 도 4에 도시된 단면도는 하나의 예시일 뿐, 기타 실시형태에서는 다른 형상일 수 있다. 선택적으로, 마스크에 평행되는 제1 부분(1041)의 단면의 면적은 제2 부분(1042)으로부터 멀어지는 방향을 따라 비선형적으로 감소될 수 있고, 마스크에 평행되는 제2 부분의 단면의 면적은 제1 부분(1041)으로부터 멀어지는 방향을 따라 비선형적으로 감소될 수 있다. 예시적으로, 도 6은 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 부분(1041) 및 제2 부분(1042)의 측면이 모두 아크형 구조를 가질 수 있어, 연결부의 제조 난이도를 줄이고 제조 비용을 절감할 수 있다.

일 실시예에서, 도 7은 도 1의 A3-A4 방향으로의 단면도이며, 도 1 및 도 7을 결합하면, 차폐부(103)는 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 마련되거나 및/또는 차폐부(103)는 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 마련되도록 설치된다. 도 7은 예시적으로 차폐부(103)가, 증착될 기판에 가까운 표면에 하나의 제1 홈(1031)이 마련되는 것으로, 즉 차폐부(103)의 상면에 하나의 제1 홈(1031)이 마련되도록 설치한 것이다. 본 출원의 실시예는 차폐부(103)의 일면에 마련되는 제1 홈(1031)의 수 및 제1 홈(1031)이 마련되는 차폐부(103)의 표면의 수를 한정하지 않는다.

일 실시예에서, 차폐부(103)는 천공해야 할 디스플레이 패널 상의 영역에 대응하며, 천공해야 할 디스플레이 패널 영역에는 대응하는 필름층 구조(예: 음극층 및 필름 캡슐화층)를 증착 형성할 필요가 없다. 차폐부(103)의 무게가 너무 무거우면 차폐부(103)의 중력에 의해 차폐부(103)가 쉽게 변형되어, 차폐부에 대응하는 디스플레이 패널의 일부 영역에 필름층 구조가 증착될 수 있어 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 필름층 구조에 영향을 미치고 디스플레이 패널의 수율을 저하시킨다. 또한, 차폐부(103)의 과도한 중량은 차폐부(103)를 지지하는 연결부(104)의 변형을 쉽게 초래하여 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 증착 효과에 영향을 미친다. 본 출원 실시예에서 차폐부(103)는 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 마련되거나 및/또는 차폐부(103)는 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 마련되도록 설치됨으로써 차폐부(103)의 중량이 감소되고, 차폐부(103) 및 연결부(104)가 변형될 확률이 감소되며, 차폐부(103) 및 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 증착 효과를 개선하며 나아가 디스플레이 패널의 디스플레이 효과를 향상시킨다.

일 실시예에서, 계속하여 도 7을 참조하면, 차폐부(103)는 중간 영역(1032) 및 중간 영역(1032)을 둘러싸는 에지 영역(1033)을 포함하고, 제1 홈(1031)은 중간 영역(1032)에 위치된다. 일 실시예에서, 차폐부(103)의 형상은 원형일 수 있고, 에지 영역(1033)은 원환형일 수 있다. 에지 영역(1033)의 두께가 너무 얇으면, 증착시 너무 많은 증착 재료가 사선 방향으로 차폐부에 대응하는 디스플레이 패널 위치에 도달하므로, 필름층이 형성될 필요가 없는 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 해당 증착 재료가 증착되어 디스플레이 패널의 수율이 감소된다. 본 출원의 실시예에서, 제1 홈(1031)은 중간 영역(1032)에 설치되어, 에지 영역(1033)의 두께는 중간 영역(1032)의 두께보다 두껍고, 에지 영역(1033)의 두께는 너무 얇지 않으므로, 증착시 증착 재료가 사선 방향으로 차폐부에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 증착될 확률이 감소되고, 디스플레이 패널의 수율을 더욱 향상시킨다.

일 실시예에서, 도 8은 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 도 8을 참조하면, 연결부(104)는 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 마련되거나 및/또는 연결부(104)는 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 마련되도록 설치된다. 도 8은 예시적으로 연결부(104)가, 증착될 기판에 가까운 표면에 하나의 제2 홈(1043)이 마련되는 것으로, 즉 연결부(104)의 상면에 하나의 제2 홈(1043)이 마련되도록 설치한 것이다. 본 출원의 실시예는 연결부(104)의 일면에 마련되는 제2 홈(1043)의 수 및 제2 홈(1043)이 마련되는 연결부(1043)의 표면의 수를 한정하지 않는다.

일 실시예에서, 연결부(104)의 무게가 너무 무거우면 연결부(104)의 중력에 의해 연결부(104)가 쉽게 변형되어, 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 필름층 구조에 영향을 미치고 디스플레이 패널의 수율을 저하시킨다. 또한, 연결부(104)는 차폐부(103)를 고정하고 지지하는 작용을 하므로 연결부(104)의 변형은 차폐부(103)에 대한 연결부(104)의 지지능력이 저하되게 하고, 차폐부(103)의 위치 변화를 초래할 수 있어 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 증착 효과에 영향을 미친다. 본 출원 실시예에서 연결부(104)는 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 마련되거나 및/또는 연결부(104)는 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 마련되도록 설치됨으로써 연결부(104)의 중량이 감소되고, 연결부(104)가 변형될 확률이 감소되며, 연결부(104)의 과도한 중량으로 인해 연결부(104)가 처지고 나아가 차폐부(103)가 과도하게 처지는 현상을 방지하며, 더 나아가 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착되지 않도록 확보하여 디스플레이 패널 상의 차폐부(103) 및 연결부(104)에 대응하는 영역의 증착 효과를 개선하며 나아가 디스플레이 패널의 디스플레이 효과를 향상시킨다.

도 9는 도 1의 A1-A2 방향으로의 또 다른 단면도이며, 도 9를 참조하면, 연결부(104)는 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈(1043)이 마련되고, 제2 홈(1043) 내에는 복수의 돌기 구조(1044)가 마련되도록 설치된다.

일 실시예에서, 디스플레이 패널을 증착할 경우, 마스크의 처짐을 방지하기 위해 마스크로부터 멀리 떨어진 증착할 기판의 일측에 자성체 재료를 설치하여 마스크를 흡착하여야 한다. 그러나, 자성체 재료는 마스크를 증착할 기판에 흡착시킬 수 있으므로 연결부(104)와 증착될 기판 사이에 틈새가 없을 수 있다. 따라서 증착시 증착 재료가 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 위치에 증착될 수 없어 필름층 두께가 균일하지 않고 디스플레이 효과에 영향을 미친다. 복수의 돌기 구조(1044)를 설치함으로써, 연결부(104)가 흡인되어 증착될 기판의 표면에 부착될 때, 돌기 구조(1044)는 연결부(104)가 증착될 기판의 표면에 완전히 부착되는 것을 방지하도록 연결부(104)를 지지할 수 있다. 복수의 돌기 구조(1044)의 틈새에 대응하는 디스플레이 패널 영역에는 필름층 구조가 증착될 수 있어, 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착되지 않아 디스플레이가 균일하지 못한 현상을 방지하고, 디스플레이 효과를 향상시킨다.

일 실시에에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 돌기 구조(1044)는 연결부(103)의 연장 방향에 수직되는 방향에 따라 배열될 수 있고, 도 10에 도시된 바와 같이 배열될 수도 있으며, 도 10은 도 1의 A5-A6 방향으로의 단면도이다. 도 10은 복수의 돌기 구조(1044)가 연결부(103)의 연장 방향을 따라 배열된 도면을 나타낸다. 일 실시예에서, 복수의 돌기 구조(1044)는 연결부(103)의 연장 방향을 따라 배열될 수도 있고, 또는 복수의 돌기 구조(1044)가 연결부(103)의 연장 방향에 수직되는 방향에 따라 배열되면서 연결부(103)의 연장 방향을 따라 배열되도록 설치할 수도 있다. 예를 들어, 도 10에서는 복수의 돌기 구조(1044) 중의 일부 돌기 구조(1044)는 연결부(103)의 연장 방향에 수직되는 방향에 따라 배열되고, 나머지 돌기 구조(1044)는 연결부(103)의 연장 방향에 따라 배열된다. 예시적으로, 복수의 돌기 구조(1044)는 도트매트릭스(dot-matrix)로 배열될 수 있으며, 즉 각각의 돌기 구조(1044)는 고립된 섬 형태의 구조이며, 예를 들어, 도 10에서 돌기 구조(1044)는 사다리꼴 테이블 구조로 설치될 수 있으며, 즉 돌기 구조(1044)의 상면과 하면의 형상이 모두 원형일 수 있으며, 돌기 구조(1044)의 설치를 통해 증착될 기판에 가까운 일면이 증착될 기판에 평행될 수 있고, 연결부(104)가 증착될 기판의 표면에 부착될 때 돌기 구조(1044)는 연결부(104)를 지지할 수 있어, 연결부(104)가 증착될 기판의 표면에 완전히 부착되는 것을 방지한다. 일 실시예에서, 도 10은 예시적으로 돌기 구조(1044)의 단면을 정사다리꼴로 설치하고, 돌기 구조(1044)의 단면을 직사각형 또는 역다리꼴로 설치할 수도 있다. 본 출원 실시예는 돌기 구조(1044)의 단면의 형상에 대해 한정하지 않으며, 증착될 기판을 향한 돌기 구조(1044)의 일측에 지지 플랫폼을 가지도록 보장하기만 하면 된다.

일 실시예에서, 계속해서 도 9 및 도 10을 참조하면, 마스크의 방향에 수직되게 설치될 수 있고, 복수의 돌기 구조(1044)의 높이는 동일하며, 및/또는 복수의 돌기 구조(1044)는 균일하게 분포된다.

일 실시예에서, 복수의 돌기 구조(1044)의 높이는 동일하여 마스크가 증착될 기판에 부착될 경우, 복수의 돌기 구조(1044)가 마스크를 지지하게 되고 또한 지지하는 높이가 동일하므로, 연결부(104)의 연장 방향이 증착될 기판에 평행되고, 나아가 차폐부(103)도 방향이 증착될 기판에 평행되도록 보장하여, 차폐부(104)의 기울림으로 인해 차폐부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착되는 것을 방지한다. 또한, 복수의 돌기 구조(1044)를 균일하게 분포하도록 배치할 수 있고, 복수의 돌기 구조(1044)가 제2 홈에 균일게 배치되어 연결부(104)의 중량 분포가 보다 균일할 수 있어, 연결부(104)의 일부분의 중량이 너무 무거워 해당 부분이 처짐으로 인해 차폐부(103)가 기울어지는 현상을 초래하는 것을 방지할 수 있으며, 나아가 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착되는 것을 방지한다.

일 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 연결부(104)는 선형으로 설치될 수 있다. 연결부(104)를 선형 구조로 설치하고 선형의 연결부(104)를 이용하여 차폐부(103)를 지지하는 동시에, 마스크의 구조가 간단하여 마스크의 제조 공정의 난이도를 줄이는데 유리하다. 또한, 연결부(104)를 선형으로 설치하고, 연결부의 최단 구조를 이용하여 차폐부(103)와 마스크 프레임(101) 사이의 연결을 실현함으로써 연결부(104)의 중량을 줄이는데 유리하고, 연결부(104)의 면적을 줄이는데 유리하며, 나아가 연결부(104)의 설치에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 면적이 감소되어, 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착될 수 있도록 보장하는데 유리하다.

실시예에서, 계속해서 도 1을 참조하면, 차폐부(103)는 복수의 연결부(104)를 통해 프레임(101)에 연결되고, 적어도 2 개의 연결부(104)의 연장 방향은 상이하다. 도 1은 예시적으로 차폐부(103)가 2 개의 연결부(104)를 통해 프레임(101)에 연결되고, 2 개의 연결부(104)의 연장 방향이 서로 수직되게 설치하였다. 일 실시예에서, 차폐부(103)는 또한 더 많은 연결부(104)를 통해 프레임(101)에 연결될 수 있고, 복수의 연결부(104)의 연장 방향은 모두 상이하게 설치할 수 있다.

일 실시예에서, 복수의 연결부(104)를 이용하여 차폐부(103)와 프레임(101)을 고정 연결하여 차폐부(103)를 더 잘 지지할 수 있으며, 또한 적어도 2 개의 연결부(104)의 연장 방향은 상이하므로, 연결부(104)가 여러 방향을 따라 차폐부(103)에 지지력을 제공하여 각각의 연결부(104)에 대한 응력을 감소시키고, 연결부(104)의 변형되어 나아가 차폐부(103)가 기울어지는 확률을 감소시키는데 유리하며, 차폐부(103) 및 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 영역의 증착 효과를 개선하는데 유리하다.

일 실시예에서, 도 1에 도시된 연결부와 차폐부의 위치 관계는 예시일 뿐이며, 도 11에 도시된 바와 같이, 도 11은 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 하나의 차폐부(103)는 3 개의 연결부(104)에 대응할 수 있고, 3 개의 연결부(104)의 위치관계는 도 11에 도시된 바와 같이, 3 개의 연결부(104) 중 2 개의 연장 방향은 서로 수직되고, 다른 하나의 연결부(104)의 연장 방향은 서로 수직되는 2 개의 연결부 사이에 위치하며, 또는 도 12에 도시된 바와 같이, 도 12는 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 하나의 차폐부(103)는 4개의 연결부(104)에 대응할 수 있고, 4 개의 연결부(104)의 위치관계는 도 12에 도시된 바와 같이, 4 개의 연결부(104) 중의 2 개의 연결부(104)의 연장 방향은 제1 방향에 평행되고, 다른 2 개의 연결부(104)의 연장 방향은 제2 방향에 평행되며, 제1 방향과 제2 방향은 서로 수직되며, 또는 도 13에 도시된 바와 같이, 도 13은 본 출원의 실시예에서 제공하는 또 다른 마스크의 구조 개략도이며, 하나의 차폐부(103)는 3 개의 연결부(104)에 대응할 수 있고, 3 개의 연결부(104)의 위치관계는 도 13에 도시된 바와 같이, 3 개의 연결부(104) 중의 2 개의 연결부(104)의 연장 방향은 일치하고, 동일한 직선에 위치하며, 다른 하나의 연결부(104)의 연장 방향은 해당 직선과 서로 수직된다.

일 실시예에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 연결부(104)의 연장 방향에 수직되는 방향을 따라, 연결부(104)의 최대 폭(d)은 150㎛ 이상이고 300㎛ 이하이다.

일 실시예에서, 연결부(104)의 최대 폭이 너무 작으면 차폐부(103)에 충분한 지지력을 제공할 수 없고 차폐부(104)가 심하게 처져 많은 양의 증착 재료가 차폐부에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 증착되어 디스플레이 패널의 수율이 심각하게 감소되며; 연결부(104)의 폭이 너무 크면 연결부(104)에 의해 차폐되는 영역이 너무 커서, 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널의 모든 영역에 대해 사선 방향으로 증착 물질을 증착할 수 없으며, 나아가 디스플레이 패널의 여러 부분의 필름층 두께가 균일하지 않아 디스플레이 효과에 영향을 준다. 연결부(104)의 최대 폭을 150㎛ 이상 300㎛ 이하로 설정함으로써, 연결부(104)가 차폐부(103)에 대해 충분한 지지력을 제공하는 것을 보장할 수 있으며, 차폐부(103)에 대응하는 디스플레이 패널 영역에 필름층 구조가 증착되지 않도록 보장할 수 있고, 연결부(104)에 대응하는 디스플레이 패널 위치에 필름층 구조와 증착될 수 있도록 보장할 수 있어, 디스플레이 패널의 디스플레이 균일성을 향상시킨다.

Claims

마스크로서,
프레임 및 상기 프레임으로 둘러싸인 개구;
상기 개구 내에 설치된 차폐부; 및
상기 차폐부와 상기 프레임을 연결하는 적어도 하나의 연결부; 를 포함하되,
상기 연결부는 상기 마스크에 수직되는 방향을 따라, 증착될 기판에 가깝게 설치된 제1 부분과 상기 증착될 기판으로부터 멀리 설치된 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부분의 수직 투영은 상기 제1 부분의 수직 투영을 커버하고, 상기 마스크의 단면에 평행되는 상기 제1 부분의 면적은 상기 제2 부분에서 멀어지는 방향을 따라 점차 감소되고,
상기 연결부는 상기 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 설치되거나;
또는, 상기 연결부는 상기 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 설치되거나;
또는, 상기 연결부는 상기 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 설치되고, 상기 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 1 항에 있어서,
상기 마스크에 수직되는 방향을 따라, 상기 마스크의 단면에 평행되는 상기 제2 부분의 면적은 상기 제1 부분에서 멀어지는 방향을 따라 점차 감소되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 1 항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 설치되거나;
또는, 상기 차폐부는 상기 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 설치되거나;
또는, 상기 차폐부는 상기 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 설치되고, 상기 증착될 기판으로부터 멀어지는 표면에 적어도 하나의 제1 홈이 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 3 항에 있어서,
상기 차폐부는 중간 영역 및 상기 중간 영역을 둘러싸는 에지 영역을 포함하며, 상기 제1 홈은 상기 중간 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 1 항에 있어서,
상기 연결부는 상기 증착될 기판에 가까운 표면에 적어도 하나의 제2 홈이 설치되고, 상기 제2 홈 내부에는 복수의 돌기 구조가 설치되며,
상기 마스크에 수직되는 방향에 따라 상기 복수의 돌기 구조의 높이는 동일하거나;
또는, 상기 복수의 돌기 구조는 균일하게 분포되거나;
또는, 상기 마스크에 수직되는 방향에 따라 상기 복수의 돌기 구조의 높이는 동일하고, 상기 복수의 돌기 구조는 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 1 항에 있어서,
상기 연결부는 선형이고,
상기 차폐부는 복수의 연결부를 통해 상기 프레임에 연결되고, 적어도 2 개의 연결부의 연장 방향은 상이한 것을 특징으로 하는 마스크.
제 5 항에 있어서,
상기 복수의 돌기 구조는 상기 연결부의 연장 방향에 수직되는 방향에 따라 배열되고, 또는
상기 복수의 돌기 구조는 상기 연결부의 연장 방향에 따라 배열되고, 또는
상기 복수의 돌기 구조 중 일부 돌기 구조는 연결부의 연장 방향에 수직되는 방향에 따라 배열되고, 나머지 돌기 구조는 연결부의 연장 방향에 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 6 항에 있어서,
상기 차폐부는 3 개의 연결부를 통해 상기 프레임에 연결되고,
상기 3 개의 연결부 중 2 개의 연결부의 연장 방향은 서로 수직되고, 나머지 하나의 연결부는 상기 2 개의 연결부 사이에 위치하거나;
또는, 상기 3 개의 연결부 중의 2 개의 연결부의 연장 방향은 일치하고, 상기 2 개의 연결부는 동일한 직선에 위치하며, 나머지 하나의 연결부의 연장 방향은 상기 직선과 서로 수직되는 것을 특징으로 하는 마스크.
제 6 항에 있어서,
상기 차폐부는 4 개의 연결부를 통해 상기 프레임에 연결되고,
상기 4개의 연결부 중의 2 개의 연결부의 연장 방향은 제1 방향에 평행되고, 나머지 2 개의 연결부의 연장 방향은 제2 방향에 평행되며, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 수직되는 것을 특징으로 하는 마스크.
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