KR102620086B1 - 잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법 - Google Patents

잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법 Download PDF

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Abstract

셀의 열방향(X)의 치수가 짧아진 경우여도, 셀로부터 비어져 나오지 않고 지정 액적수를 착탄시킬 수 있는 잉크 도포 장치를 제공하는 것이다.
복수의 노즐로부터 잉크를 토출하는 헤드와, 도포 대상물을 유지하는 스테이지와, 기준인 토출 타이밍을 출력하는 토출 타이밍 유지부와, 불토출 노즐의 위치를 기억하는 불토출 노즐 데이터부와, 상기 도포 화상에 의거하여 노즐 방향 토출수 정보를 유지하는 노즐 방향 토출수 정보부와, 상기 셀에 상기 잉크를 토출하는 상기 노즐이 부족한 경우에, 상기 불토출 노즐과 동일한 상기 셀에 도포 가능한 상기 노즐로부터 다른 상기 토출 노즐의 토출 타이밍의 전후에 복수회 상기 잉크를 토출하도록 상기 헤드를 구동하는 제어부를 가지는 잉크 도포 장치를 이용한다.

Description

잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법{APPARATUS FOR APPLYING INK AND METHOD THEREFOR}
본 발명은 잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법에 관한 것이다. 특히, 유기 EL(Electro Luminescence) 등의 표시 디바이스용의 디스플레이 패널의 발광층이나 그 외의 도포 공정에 이용하는 잉크젯 헤드를 구비한 잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 패널의 유기 발광층의 형성 방법으로서, 저분자 유기 재료 혹은, 고분자 유기 재료를 용매와 함께 도포하여 형성하는 방법이 있다. 용매의 도포에 의해 유기 발광층을 형성하는 대표적인 수단의 하나로, 잉크 도포 장치를 이용하여, 유기 발광 재료를 포함하는 잉크의 액적을, 디스플레이 기판의 셀에 토출하는 방법이 있다. 이 때, 토출되는 잉크의 액적에는, 유기 발광 재료와 용매가 포함된다.
일반적인 잉크 도포 장치는, 복수의 노즐을 가지는 잉크젯 헤드를 가진다. 잉크 도포 장치에서는, 잉크젯 헤드의 노즐과 인쇄 대상의 위치 관계를 제어하면서, 노즐로부터 잉크를 토출한다. 결과, 인쇄 대상에 잉크를 도포한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에는, 기판에 착적(着滴)한 액적이 셀로 불리는 오목부 안을 등방향으로 퍼져 소정의 선폭을 가지는 화소를 형성하는 것이 개시되어 있다.
잉크젯 헤드의 복수의 노즐을 이용하여, 선폭을 가지는 화소를 복수 형성하는 경우, 제조 효율의 관점으로부터, 열(列) 형상으로 늘어선 복수의 노즐을 이용한다. 디스플레이의 고해상도화, 대형화에 수반하여 이용하는 노즐의 수는 수만에서 10만개 초과가 된다. 이 노즐에, 건조한 잉크나 이물 등이 부착된 경우에는, 잉크의 도포 위치나 도포량이 설계치보다 크게 어긋난다. 결과, 이 노즐은, 불량 노즐이 된다.
노즐이 액적을 토출하는 시간이 조금이라도 정지(예를 들면, 60초 간의 토출 정지)하는 것 만으로, 잉크를 토출할 수 없게 되는 불토출 노즐이 발생한다. 연속 토출 상태여도, 잉크를 토출할 수 없게 되는 불토출 노즐이 발생하는 경우가 있다. 그 때문에, 일반적으로는, 불토출 노즐로부터 잉크를 흡인하는 회복 작업 등이 행해지고 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).
이 회복 작업을 생략하기 위해, 불량 노즐이나 불토출 노즐이 발생한 경우는, 불량 노즐이나 불토출 노즐로부터는 잉크의 토출을 행하지 않고, 대신에 근접하는 다른 노즐로 잉크의 도포량을 보완하는 방법이 이용된다(예를 들면, 특허 문헌 3 참조).
도 1은, 특허 문헌 3에 개시되어 있는 잉크젯 헤드와 도포 대상에서의 기판으로의 토출 결과의 관계를 나타내는 도이다. 도 1에 있어서, 잉크젯 헤드(51)에는, 기판(52)에 도포하기 위해, 복수의 노즐이 설치되어 있다. 복수의 노즐은, 주사 동작에 있어서, 격자 형상의 벽에 의해 둘러싸인 각각의 셀(53a, 53b, 53c) 내가 잉크의 착적 위치(이른바, 착탄 지점)가 되도록 배치되어 있다. 열방향(X)으로 나타내는 방향이 잉크젯 헤드(51) 혹은 기판(52)의 주사 방향(스캔 방향)이다. 이후, 열방향(X)으로 한다. 노즐의 배열 방향을 행방향(Y)으로 한다.
예로서 3개의 셀을 기재한다. 각각의 셀(53a, 53b, 53c)에 8적(滴) 토출시키는 예이다. 셀(53a)은 모두가 정상적인 토출 노즐 1번~8번에 의해 도포하는 경우의 토출 상태를 나타낸다. 셀(53a)에 나타내는 바와 같이, 모든 노즐로부터 잉크가 정상적으로 토출되고 있다. 셀(53b)은, 동일 셀 내에 불토출 노즐 12번이 단독으로 발생한 경우의 토출 상태를 나타내고 있다. 셀(53b)에 나타내는 바와 같이, 불토출 노즐이 단독으로 발생한 경우에는, 1회의 주사에 있어서, 불토출 노즐이 도포하여야 할 셀 내에 있어서의 토출 노즐 13번으로부터 2배의 액적량, 즉 2회의 액적에 의해 잉크를 도포하여 보완하는 도포 데이터가 작성된다. 이 때, 토출 주파수를 통상의 2배로 하고 있다. 셀(53c)은, 동일 셀 내에 불토출 노즐이 2개 연속으로 발생한 경우의 토출 상태를 나타내고 있다. 셀(53c)에 나타내는 바와 같이, 동일 셀 내에 불토출 노즐 25번, 26번 2개 발생한 경우에는, 1회의 주사에 있어서, 2개의 불토출 노즐이 도포하여야 할 셀 내에 있어서의 다른 2의 토출 노즐(24번, 27번)의 각각으로부터 2회의 액적에 의해 잉크를 도포하여 보완하는 도포 데이터가 작성된다. 또한, 각각의 셀(53a, 53b, 53c) 중의 검은 동그라미는 토출 액적, 흰 동그라미는 해당 노즐에서는 토출시키지 않는 모습을 나타내고 있다.
일본국 특허공개 2003-266669호 공보 일본국 특허공개 2004-142422호 공보 일본국 특허공개 2011-018632호 공보
표시 패널의 고해상도화가 진행됨으로써, 동일한 도포 영역에 대해 각 노즐이 토출할 수 있는 회수는 제한되는 방향으로 진행되고 있다. 또, 제조의 효율을 낮추지 않도록, 불토출 노즐 발생 시에 토출 노즐로 보완하기 위해 필요로 하는 준비 시간은 최대한 단시간으로 할 필요가 있다.
고해상도화가 진행되면, 도 1의 셀(53a)의 열방향(X)의 길이를 짧게 할 필요가 있어, 열방향(X)으로 2적 이상 토출시킬 수 없게 되고 있다. 이렇게 되면, 셀(53b, 53c)에서 불토출 노즐이 발생한 경우, 2적을 토출하면, 셀 밖으로 도포할 가능성이 나오거나, 셀 내로 지정량의 액적이 착탄하지 않거나, 다른 셀에 혼입되는 등, 결함 셀이나 혼합색 발광을 초래한다는 문제가 있다.
본 발명은, 상기 종래의 과제를 해결하는 것으로, 고해상도가 되어, 셀의 열방향(X)의 치수가 짧아진 경우여도, 셀로부터 비어져 나오지 않고 지정 액적수를 착탄시켜 불토출 노즐의 액적수를 보완할 수 있는 잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 복수의 직선 형상으로 배열된 노즐로부터 잉크를 토출하는 헤드와, 상기 헤드에 대해 상대적으로 스캔 방향으로 이동하여, 도포 대상물을 유지하는 스테이지와, 상기 노즐마다의 목표 도포 패턴을 나타내는 도포 화상에 의거하여, 상기 도포 대상물의 셀에 도포하는 기준인 토출 타이밍을 출력하는 토출 타이밍 유지부와, 상기 복수의 노즐 중의 불토출 노즐의 위치를 기억하는 불토출 노즐 데이터부와, 상기 도포 화상에 의거하여, 상기 도포 대상물의 상기 노즐 배열 방향의 상기 셀의 수와, 상기 노즐 배열 방향의 상기 셀마다 도포 시점(始点) 노즐 번호, 도포 종점 노즐 번호, 도포수를 나타내는 노즐 방향 토출수 정보를 유지하는 노즐 방향 토출수 정보부와, 상기 토출 타이밍과, 상기 불토출 노즐의 위치와, 노즐 방향 토출수 정보로부터, 상기 셀에 상기 잉크를 토출하는 상기 노즐이 부족한 경우, 상기 불토출 노즐과 동일한 상기 셀에 도포 가능한 상기 노즐로부터, 다른 상기 토출 노즐의 토출 타이밍에는, 토출하지 않고, 전후의 상기 타이밍에 복수회, 상기 잉크를 토출하여, 상기 불토출 노즐 분의 부족 액적을 보완하도록 상기 헤드를 구동하는 제어부를 가지는 잉크 도포 장치를 이용한다.
또, 행방향과 열방향으로 분리된 복수의 셀을 가지는 도포 대상물에 대해, 상기 행방향으로 배열된 복수의 노즐을 가지는 헤드를, 상기 열방향으로 상대적으로 스캔하여, 상기 셀에 상기 노즐로부터 잉크를 토출하여 도포하는 방법이며, 목표 도포 패턴을 나타내는 상기 노즐마다의 도포 화상에 의거하여, 상기 행방향의 셀마다 도포 시점 노즐 번호와 도포 종점 노즐 번호와 도포수를 나타내는 노즐 방향의 토출수 정보를 얻는 공정과, 상기 노즐 방향의 토출수 정보와, 복수의 상기 노즐 중의 불토출 노즐을 특정한 불토출 노즐 위치 정보로부터, 상기 셀에, 상기 불토출 노즐을 사용하지 않고 토출 가능 노즐에 의해 토출하기 위해 필요한 상기 토출 가능 노즐을 결정하는 결정 공정과, 상기 결정 공정에서, 상기 셀에 상기 잉크를 토출하는 상기 토출 가능 노즐이 부족한 경우, 상기 불토출 노즐과 동일한 상기 셀에 토출 가능한 노즐로부터, 다른 상기 토출 노즐의 토출 타이밍과는 상이한 열방향의 위치에 복수회 토출하여 불토출 분의 부족 액적을 보완하도록 상기 헤드를 구동하는 보완 공정을 포함하는 잉크 도포 방법을 이용한다.
본 발명에 의하면, 불토출 노즐의 불토출수 분의 액적을 토출하는 특정 노즐이, 토출 할당의 근방 노즐의 열방향의 토출 타이밍의 전후의 타이밍에 복수회 토출하여 불토출 분의 부족 액적을 보완하므로, 고해상도가 되어 셀의 열방향(X)의 치수가 짧아진 경우여도, 셀로부터 비어져 나오지 않고 지정 액적수를 착탄시켜 불토출 노즐의 액적수를 보완할 수 있다.
또, 노즐 토출수 데이터와 불토출 노즐 위치 데이터와 타이밍 데이터에 의거하여 원래의 데이터의 일부를 수정하는 것 만으로 불토출 노즐의 발생의 변화에 대응할 수 있으므로, 보완 전의 도포 데이터의 소프트웨어에 의한 재작성, 도포 데이터의 메모리 등 하드웨어로의 재전송(기입)을 불요로 하고, 불토출 발생 시의 도포 데이터의 교체를 필요로 하지 않아, 인쇄 준비 시간을 늘리지 않고, 제조 효율을 유지할 수 있다.
도 1은 특허 문헌 3에 개시된 잉크젯 헤드의 불토출 노즐에 대한 보완 방법을 설명하는 모식도이다.
도 2는 (a) 종래의 디스플레이 패널용 기판의 확대 평면도, (b) (a)의 A-A선분으로 잘라낸 단면도와, (c) (a)의 B-B선분으로 잘라낸 단면도, (d) (a)의 C-C선분으로 잘라낸 단면도이다.
도 3은 (a) 종래의 디스플레이 패널의 셀의 치수와 각 화소의 화소 피치(P)를 나타내는 확대도, (b) 종래의 디스플레이 패널의 화소 피치에 대한 치수와 토출 가능 회수의 설명도이다.
도 4는 (a) 종래의 디스플레이 패널의 100ppi 셀로, 50mm/s의 속도로, 토출 주파수 15kHz로 액적을 토출하는 경우의 토출 상태를 나타내는 도, (b) 종래의 디스플레이 패널의 400ppi 셀로, 50mm/s의 속도로, 토출 주파수 15kHz로 액적을 토출하는 경우의 토출 상태를 나타내는 도이다.
도 5는 (a) 도 3(b)에 있어서의 N3부분의 셀 배치와 착탄 격자를 도시한 것, (b) (a)의 도포 데이터의 배치를 나타내는 도, (c) (a)에서 불토출 노즐이 발생한 경우의 셀 배치와 착탄 격자를 도시한 것, (d) (c)의 도포 데이터의 배치를 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 잉크 도포 장치의 개념도이다.
도 7은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 목표의 도포 화상과 불토출 노즐 정보의 설명도이다.
도 8은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 노즐 토출수 데이터 생성 방법의 플로차트이다.
도 9는 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 토출 구동 파형 신호의 파형도이다.
도 10은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 토출 지시 데이터 연산기와 노즐 구동 제어기의 회로도이다.
도 11은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 노즐 구동 제어기의 입출력 상태도이다.
도 12는 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 토출 추이 마다의 셀 내 착탄 퍼짐의 설명도이다.
도 13은 (a)~(c) 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 불토출 노즐 번호가 2번, 3번, 6번 상태로부터 2번, 3번, 6번, 8번, 9번, 12번 상태로 변화한 경우의 각 정보와 착탄 위치의 설명도이다.
도 14는 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 행방향(Y)으로 배열된 복수의 노즐이 열방향(X)으로 기운 방향으로 배열되어 있는 경우의 헤드의 설명도이다.
도 15는 (a) 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 도포하는 기판의 평면도, (b) 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 도포하는 기판의 셀과 잉크의 토출의 위치의 관계를 나타내는 평면도, (c) 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 도포하는 기판의 대표 셀과 잉크의 토출의 위치의 관계를 나타내는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 잉크 도포 장치의 개념도이다.
도 17은 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 목표의 도포 화상과 불토출 노즐 정보의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
<과제의 상세한 서술>
우선, 본 발명의 실시의 형태 1을 설명하기 전에, 디스플레이 패널의 고해상도화의 모습과, 거기에 추종하기 위해, 종래 방법에서의 실현의 모습을 서술하고, 본 발명이 해결하려고 하는 과제에 대해서 상세히 서술한다.
도 2(a)는, 실시의 형태 1에 있어서의 디스플레이 패널용 기판의 확대 평면도이다. 기판(1)에는, 복수의 셀(1c)이 열방향(X)(스캔 방향)과 행방향(Y)(노즐 배열 방향)을 따라 설치되어 있다. 셀(1c)은, 행방향(Y)으로 신장하고 있는 뱅크(1b)(벽)에 의해 그 위치의 발광색마다 칸막이되어 있다.
도 2(b)는, 디스플레이 패널의 A-A선분으로 잘라낸 단면도, 도 2(c)는 디스플레이 패널의 B-B선분으로 잘라낸 단면도, 도 2(d)는 디스플레이 패널의 C-C선분으로 잘라낸 단면도이다.
뱅크(1b)는, 기판(1) 상에 형성된 발액막(1a) 상에 형성되어 있다. 발액막(1a)은 셀(1c)에는 형성되어 있지 않다. 행방향(Y)으로 인접한 셀(1c)의 사이에는 발액막(1a)이 형성되어 있다.
도 3(a)는, 실시의 형태 1에 있어서의 셀(1c)과 인접하는 셀(1c)의 치수 관계를 나타내고 있다. 디스플레이 패널의 1화소는 R셀, G셀, B셀의 각 1개의 셀(1c)로 이루어지며, 합계 3개의 셀(1c)로 이루어진다. 도 3(a)는, 각 화소의 화소 피치(P), 각 색 셀폭(H), 액적 착탄 가능 범위(L)를 도시한 것이다. 이 경우, 3개의 셀(1c)로 1개의 화소 피치(P)가 된다.
도 3(b)는 화소 피치에 대한 치수와 토출 가능 회수의 일람이다. 여기에서는 화소의 해상도를 100~400ppi까지 50ppi마다 변화시켜, 대응하는 치수 조건과 인쇄 동작 조건 마다의 토출 가능 회수를 표로 한 것이다.
토출 화소 피치(P), 각 색 셀폭(H)을 계산하여, 토출 액적이 1.0pl(피코 리터)로, 액적직경 12.5μm인 경우에, 액적 착탄 가능 범위(L)를 산출했다.
토출 가능 회수는, 인쇄 속도(노즐과 기판(1)의 상대 이동 속도)를 50mm/s, 100mm/s, 200mm/s로 변화시켜, 각각의 속도에서의 토출 주파수(잉크의 토출 간격)를 15kHz, 30kHz로 했을 때의 셀(1c) 내로부터 흘러넘치지 않고 토출할 수 있는 토출 가능 회수를 기재한 것이다.
예를 들어, 해상도가 100ppi인 경우는, 토출 화소 피치(P)가 254μm, 각 색 셀폭(H)이 64μm, 액적 착탄 가능 범위(L)가, 51μm가 된다. 인쇄 속도가 50mm/s로, 토출 주파수 15kHz인 경우, 토출 가능 회수는, 16.3회가 된다(N1부분).
마찬가지로, 해상도가 400ppi인 경우는, 토출 화소 피치(P)가 64μm, 각 색 셀폭(H)이 16μm, 액적 착탄 가능 범위(L)가, 3μm가 된다. 인쇄 속도가 50mm/s로, 토출 주파수 15kHz인 경우, 토출 가능 회수는 2.0회가 된다(N2부분).
도 4(a)는, 도 3(b)에 있어서의 N1부분을 나타낸다. 즉, 해상도가 100ppi로, 인쇄 속도가 50mm/s로, 토출 주파수 15kHz인 경우에, 토출 가능 회수 16.3회 상당을 도시한 것이다.
도 4(b)는, 도 3(b)에 있어서의 N2부분을 나타낸다. 즉, 해상도가 400ppi로, 인쇄 속도가 50mm/s로, 토출 주파수 15kHz인 경우의 토출 가능 회수 2.0회 상당을 도시한 것이다.
이와 같이, 초고해상도가 약, 400ppi가 되면, 셀(1c) 내로의 토출 가능 회수가 토출 액적의 착탄 어긋남이 0.0μm로서, 2회 정도가 된다. 또한, 토출 액적의 착탄 어긋남을 3.0μm로 하면, 셀(1c) 내로의 토출 가능 회수는 1회 정도가 된다. 결과, X방향(스캔 방향)으로 1회 도포로, Y방향으로 직선 형상으로, 도포하는 것이 불가피하다.
도 5(a)는, 도 3(b)에 있어서의 N3부분의 셀 배치와 착탄 격자를 도시한 것이다. 여기에서는 12개의 잉크 노즐 헤드가 행방향(Y)으로 일정 간격으로 배열된 헤드와 기판(1)을 상대적으로 열방향(X)으로 이동시켜, 셀(1c)에 잉크를 착탄시키는 상태를 나타내고 있다.
즉, 해상도가 300ppi로, 인쇄 속도가 200mm/s(Vx)로, 액적 토출 주파수가 30kHz(Fn)로, 토출 가능 회수가 2.3회 상당인 경우, 착탄 격자는, 노즐간 피치가 21.2μm(Py)로, 스캔 방향 피치(토출 간격)가 6.7μm(Px)인 파선의 격자가 되어 있다.
착탄 격자의 교점에 있는, 검은 동그라미는 잉크의 토출점(2a), 흰 동그라미는 잉크의 비토출점(2b)을 나타내고 있다. 도 5(a)에서는, 착탄 어긋남을 가미하면, 셀(1c) 내로의 토출 가능 회수는 1회 정도가 된다. 결과, 직선 형상의 토출 배치가 된다.
이 예에서는, 각각의 셀(1c)에, 3점의 토출점을 배치하고 있다. 하부의 1, 5, 9의 숫자는 대응하는 노즐의 번호를 나타낸다. 즉, 1, 5, 9는, 각각, 1번, 5번, 9번의 노즐을 기재한 것이다.
도 5(b)는, 도 5(a)의 도포 데이터의 배치를 나타낸다. 토출을 1, 비토출을 0으로 표기했다.
도 5(c)는, 도 5(a)의 노즐 배분으로, 노즐 번호 2번, 3번, 6번 노즐이 불토출점(2c)이 되어, 비토출 노즐인 4번, 8번 노즐을 대체 토출 노즐로서 이용한 모습이다. 대체 토출 노즐의 토출 격자(2d)를 표시하고 있다.
도 5(d)는, 도 5(c)의 도포 데이터의 배치를 나타낸다. 검정틀(J)로 각각을 둘러싼 수치 부분은, 도 5(a)의 불토출이 없는 도포 화상과, 불토출이 있는 도 4(c)에서 토출 상태가 상이한 도포 데이터 부분을 나타내고 있다. 토출 상태에 의해 데이터를 변경할 필요가 있다. 불토출 노즐 위치와 준비된 대체 노즐의 배치 위치에 따라, 데이터 치환 부분이 도포 데이터 내의 불특정의 불연속 영역에서 발생한다. 이 때문에, 도포 데이터 전체의 재구축(다시 만들기)이 필요하다.
<과제:불토출 보완 시의 셀 내 토출적수의 부족>
도 5(a)와 도 5(c)의 셀 내의 토출적수를 비교해 알 수 있는 대로, 도 5(c)의 불토출 노즐이 있는 경우에, 5번~8번 노즐이 담당하는 셀에서는, 보완이 작용하여 요구 적수 3적에 대해 3적이 된다. 그러나, 1번~4번 노즐이 담당하는 셀에서는, 보완이 작용해도 요구 적수 3적에 대해 2적이 되어, 적수가 부족하다.
(실시의 형태 1)
다음에, 본 발명의 실시의 형태 1을 설명한다.
도 6은, 실시의 형태 1에 있어서의 잉크 도포 장치의 개념도이다. 도 7은, 그 잉크 도포 장치에서 인쇄하는 경우에, 잉크 토출 위치를 2차원적으로 표기한 도포 화상(3)과, 사용하는 노즐의 불토출 노즐 정보를 나타낸다.
셀(1c)이, 본 예에서는 9개 있으며, 각각의 셀(1c)은 3적의 토출로 필요량의 잉크가 만족되는 것으로 한다. 검은 동그라미는 토출 위치, 흰 동그라미는 비토출 위치이다.
도 7의 도포 화상(3)은, 노즐의 배열 방향(행방향(Y))과 노즐의 스캔 방향(열방향(X))의 2차원 좌표계로 이루어진다. 도포 화상(3)에서, 노즐로부터 잉크를 토출해야 할 점을, 파선으로 격자 형상으로 연결했다. 교점은, 액적이 토출되는 점이 된다. 본 예에서는, 셀(1c) 내에 좌단으로부터 3적 토출점을 할당한 것이다. 도포 화상(3)의 상부의 1열, 2열, 3열의 표시는, 셀(1c)의 배열을 왼쪽에서 순서대로 열 번호로 기재한 것이다. 도포 화상(3)의 좌부의 1행, 2행, 3행의 표시는, 셀(1c)의 배열을 위로부터 순서대로 행 번호로 기재한 것이다.
스캔 방향 토출 위치 정보(4a)는, 도포 화상(3)을 기판(11)의 행방향(Y)으로 투영한 위치 정보이다. 검은 동그라미는 토출하는 기판 상의 위치, 흰 동그라미는 토출하지 않는 위치이다. 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)의 왼쪽에 기재한 수치는, 기판(1) 상에 토출되는 열방향(X)의 토출 위치 번호이다.
도 7에 있어서, 도포 화상(3)의 더 위에 기재한 노즐 방향의 토출수 정보(7a)는, 도포 화상(3)의 기초로 되는 정보로, 노즐이 담당하는 셀수와, 셀열 번호 마다의 사용 가능 시점의 노즐 번호와, 종점의 노즐 번호와, 착탄수의 정보로 이루어진다. 구체적으로는, 셀수는 제1열~제3열의 3개, 제1열의 셀은 시점 노즐이 노즐 번호 1번, 종점 노즐이 노즐 번호 4번, 제1열의 셀(1c)로의 착탄수가 3개이기 때문에, 제1열의 셀에 대한 정보는, (1, 4, 3)으로 표시된다.
마찬가지로, 제2열의 셀에 대한 정보는, (5, 8, 3)으로 표시된다. 제3열의 셀에 대한 정보는, (9, 12, 3)으로 표시되어 있다. 이 모습을, 검은 동그라미를 토출하는 노즐, 흰 동그라미를 토출하지 않는 노즐로 하고, 위에 기재한 수치는 노즐 시점을 1번으로 하고 종점을 12번으로 한 노즐 번호로 모식적으로 표기했다.
노즐 방향의 토출수 정보(7a) 위에 기재한 불토출 노즐 위치 정보(8a)는, 노즐 방향의 토출수 정보(7a)의 노즐 번호에 대해, 토출 가능한 노즐인지, 토출 불가능한 불토출 노즐인지의 정보이다. 흰 동그라미는 토출 가능한 노즐, ×은 불토출 노즐이며, 위에 기재한 수치는 노즐 시점을 1번으로 하고 종점을 12번으로 한 노즐 번호이다. 이 정보는, 사전에 노즐에 의해 인쇄한 결과에 의거하여 미리 구해져 있다.
<전체의 구성>
도 6에 있어서, 도포 대상물인 기판(11)은, 이동 스테이지(12)에 장착되어 있다. 잉크젯 헤드(18)와 기판(11)은 상대적으로 X방향(스캔 방향) 이동하여, 잉크젯 헤드(18)의 노즐로부터 잉크 액적이 기판(11)으로 토출된다.
기판(11)은, 행방향(Y)(노즐의 배치 방향)과 열방향(X)(스캔 방향)으로 분리된 복수의 셀(1c)을 가진다. 노즐 토출 주파수(Fn)(잉크 토출의 주기)와, 열방향(X)의 토출 위치의 간격(Px)은, 미리 지정된다. 이동 스테이지(12)는, 노즐 토출 주파수(Fn)와, 열방향(X)의 토출 위치의 간격(Px)으로부터 산출된 스테이지 스캔 속도(Vx)로, 스테이지 스캔 방향(X방향, 잉크젯 헤드(18)와 이동 스테이지(12)가 상대적으로 이동하는 방향)으로 이동한다.
이 잉크 도포 장치는, 행방향(Y)으로 배열된 복수의 노즐을 가지는 잉크젯 헤드(18)를 가진다. 잉크젯 헤드(18)는, 셀(1c)에, 그 노즐로부터 잉크를 토출하는 헤드이다. 또한, 노즐의 배치는 일직선에 한정되지 않는다. 지그재그로 배치되어 있어도 된다. 토출의 타이밍의 조정으로 보정할 수 있다.
토출 타이밍 유지부(21)는, 도포 화상(3)과 스테이지 스캔 속도로부터, 목표 도포 패턴으로 도포하는 기준의 타이밍을 유지한다.
또, 잉크 도포 장치는, 복수의 노즐 중의 불토출 노즐을 특정한 불토출 노즐 위치를 나타내는 불토출 노즐 위치 정보(8a)를 기억하는 불토출 노즐 데이터부(8)를 가진다.
또, 잉크 도포 장치는, 도포 화상(3)에 의거하여, 행방향(Y)의 셀수와, 행방향(Y)의 셀마다 도포 시점 노즐 번호, 도포 종점 노즐 번호, 도포수를 나타내는 노즐 방향의 토출수 정보(7a)를 유지하는 노즐 방향 토출수 정보부(7)를 가진다.
노즐 방향 토출수 정보부(7)의 출력과, 불토출 노즐 데이터부(8)의 출력과, 토출 타이밍 유지부(21)로부터, 셀(1c)에 잉크를 토출하는 노즐수가 부족한 경우, 불토출 노즐과 동일 셀에 도포하는 다른 특정 노즐로부터, 다른 토출 노즐의 토출 타이밍과는 상이한 열방향(X)의 위치에 복수회 토출하여 불토출 분의 부족 액적을 보완하도록 잉크젯 헤드(18)를 구동하는 제어부(22)를 가지고 있다.
도 6에 있어서, 이동 스테이지(12)에 세트된 기판(11)의 각 셀(1c)에, 잉크젯 헤드(18)에 의해, 잉크를 인쇄한다. 잉크젯 헤드(18)는 다음과 같이 구동된다.
토출 타이밍 유지부(21)는, 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)와, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)와, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)를 가지고 있다.
스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)는, 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)를 유지한다.
스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)는, 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)로부터 받은 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)를, 미리 지정되어 있는 열방향(X)의 토출 위치의 간격(Px)으로 정규화하고, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)로서 출력한다.
스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)는, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)로부터의 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)를 받아 유지한다.
스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)는, 각 타이밍에서의 토출 유무를 1/0으로 표기한 것이다.
제어부(22)는, 노즐 토출수 데이터 생성기(9)와, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)와, 위치 검출기(13)와, 토출 타이밍 발생기(14)와, 구동 신호 발생기(15)와, 토출 지시 데이터 연산기(16)와, 노즐 구동 제어기(17)를 가지고 있다.
노즐 토출수 데이터 생성기(9)는, 노즐 방향 토출수 정보부(7)로부터의 노즐 방향의 토출수 정보(7a)와, 불토출 노즐 데이터부(8)로부터의 불토출 노즐 위치 정보(8a)를 받아, 각 노즐로의 토출 방법을 판별하고, 노즐 토출수 데이터(10a)로서 출력하는 데이터 생성기이다.
노즐 토출수 데이터 유지기(10)는, 노즐 토출수 데이터 생성기(9)로부터의 노즐 토출수 데이터(10a)를 받아 유지한다. 노즐 토출수 데이터(10a)는, 각 노즐의 토출수를 2개, 1개, 0개의 수치로 표기한 것이다.
위치 검출기(13)는, 이동 스테이지(12)의 위치 정보를 펄스 신호로 변환하여, 위치 정보 펄스를 발생시킨다.
토출 타이밍 발생기(14)는, 미리 설정된 열방향(X)의 토출 위치의 간격(Px)에 의거하여, 위치 검출기(13)로부터 출력되는 위치 정보 펄스 신호를 분주하여, 토출 타이밍 신호를 생성, 출력한다.
구동 신호 발생기(15)는, 토출 타이밍 발생기(14)로부터의 토출 타이밍 신호에 의거하여 잉크젯 헤드의 노즐로부터 잉크를 토출 시키기 위한 3종류의 구동 파형 신호를 출력한다.
토출 지시 데이터 연산기(16)는, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)로부터의 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)의 데이터와, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)로부터의 노즐 토출수 데이터(10a)의 데이터를 도입하여 논리 연산하고, 토출 타이밍 발생기(14)로부터의 토출 타이밍 신호로 성형하여, 파형 선별 신호를 출력한다.
노즐 구동 제어기(17)는, 토출 지시 데이터 연산기(16)로부터의 파형 선별 신호에 따라, 구동 신호 발생기(15)로부터의 3종류의 구동 파형 신호 중으로부터 구동 파형을 선택하여, 잉크젯 헤드(18)의 노즐로 출력한다. 잉크젯 헤드(18)는, 노즐 구동 제어기(17)로부터의 노즐 마다의 구동 파형에 따라, 헤드 내부의 노즐로부터 액적을 토출한다.
<도포 방법>
다음에, 열방향(X)으로 1적 토출 시에 불토출 노즐이 발생해도, 지정수의 액적을 착탄할 수 있는 예를, 도 6, 도 7을 이용하여 설명한다.
우선, 인쇄에 앞서, 인쇄 조작을 행하여, 잉크젯 헤드(18)에서의 불토출 노즐의 발생 상황을 얻어 둔다. 본 예에서는, 도 7의 불토출 노즐 위치 정보(8a)와 같이, 노즐 2, 3, 6이 불토출이다라는 결과를 얻은 것으로 한다.
기판(11)에 도 5(a)의 해상도가 300ppi의 화소 피치로 셀 내 토출 액적수를 3적으로 도포한다. 이 때의 인쇄 패턴이 도포 화상(3)이다. 인쇄 패턴이란, 토출 위치와 비토출 위치와 셀(1c)의 위치의 관계를 나타내는 평면도이다. 먼저, 불토출 노즐 위치 정보(8a)를 가지는 잉크젯 헤드(18)에서 기판(11)에 도포 화상(3)에 따라, 인쇄하는 모습을 설명한다.
도포 화상(3)을 행방향(Y)으로 투영하여, 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)를 얻는다. 이것에 의해 스캔 위치 번호 1번, 5번, 9번에서 토출하고, 그 외 번호에서는 토출하지 않는 것을 알 수 있다.
다음에, 도포 화상(3)을 열방향(X)으로 투영하여, 노즐 방향의 토출수 정보(7a)를 얻는다. 이것에 의해, 셀(1c)의 총수가 3개, 셀 1(사용 가능 시점 노즐 번호가 1, 종점 노즐 번호가 4, 착탄수가 3개), 셀 2(사용 가능 시점 노즐 번호가 5, 종점 노즐 번호가 8, 착탄수가 3개), 셀 3(사용 가능 시점 노즐 번호가 9, 종점 노즐 번호가 12, 착탄수가 3개)이 된다.
먼저 서술한 대로, 본 예에서는 화소 피치가 300ppi로 고해상도이기 때문에, 셀(1c) 내로는 열방향(X)으로 일직선 형상으로 도포하게 된다. 동일 노즐로부터 2주기분, 2액적의 도포는, 셀(1c)로부터 비어져 나오므로, 불가능하다. 즉, 도포 화상(3)은 셀(1c) 내가 일직선 형상의 토출점 혹은 비토출점으로부터 구성되게 된다.
또한, 열방향(X)에서는, 동일 노즐은, 셀(1c) 내의 일직선 토출 지정점은 반드시 토출 또는 비토출된다. 예를 들면, 도 6의 셀 1열(1, 4, 3)은, 1행 1열의 셀과, 2행 1열의 셀과, 3행 1열의 셀의 3개의 셀에 대한 것이다. 3개의 셀 간에서, 노즐의 토출과 비토출의 운용은 동일하게 한다. 이와 같이 하면, 도포 화상(3)을 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)와 노즐 방향의 토출수 정보(7a)로부터, 정확하게 기술할 수 있다. 이 특성을 이용하면, 도포 화상(3)의 전체의 토출과 비토출의 정보(12노즐과 9위치의 곱으로 108점)는 필요 없고, 열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)(9위치)와 노즐 방향의 토출수 정보(7a)(12노즐)의 정보(9와 12의 합으로 21점)가 있으면 된다.
종래와 비교하여, 약 5분의 1의 데이터량이 되어, 변경 데이터의 통신 시간이 단시간이 된다. 이 때문에, 이 실시의 형태의 방법, 장치는, 생산 효율이 높다.
열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)를 열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)에 저장하고, 노즐 방향의 토출수 정보(7a)를 노즐 방향 토출수 정보부(7)에 저장한다. 먼저 얻은, 불토출 노즐 위치 정보(8a)(2번, 3번, 6번 노즐이 불토출 노즐)를 불토출 노즐 데이터부(8)에 저장한다.
열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)에 유지된 열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)는, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)에 입력되어, 데이터 변환된다. 열방향(X)의 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)는, 앞의 도 4(a)에서 설명한 열방향(X) 피치(토출 간격) 6.7μm(Px)로, 토출/비토출이 기술되어 있으므로, 이 피치와 토출 타이밍 발생기(14)가 발생시키는 토출 타이밍 신호가 정합하도록 데이터를 변환한다. 본 예에서는, 1대 1로 데이터 변환한다. 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)로 변환되어 출력된 데이터는, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)에 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)로서 저장된다.
한편, 노즐 방향 토출수 정보부(7)에 저장된 노즐 방향의 토출수 정보(7a)와, 불토출 노즐 데이터부(8)에 저장된 불토출 노즐 위치 정보(8a)는, 노즐 토출수 데이터 생성기(9)에 입력되어, 각 노즐으로의 토출 방법을 판별하여, 노즐 토출수 데이터로서 출력된다.
<노즐 토출수 데이터의 생성>
노즐 토출수 데이터 생성기(9)에서는, 도 8의 플로차트에 의거하여 토출 방법이 판별된다.
단계 S1의 「현재 셀에 불토출 노즐이 있는가?」에서는, 노즐 방향의 토출수 정보(7a)에 대해서, 셀 1열(사용 가능 시점 노즐 번호가 1, 종점 노즐 번호가 4, 착탄수가 3개)을 읽어, 사용 노즐 번호가 1, 2, 3, 4번인 것을 얻는다. 다음에, 불토출 노즐 위치 정보(8a) 내의 사용 노즐 번호의 유무를 조사한다. 셀 1열의 경우, 사용하는 노즐 번호 2, 3이 불토출 노즐인 것을 알 수 있다. 결과, 「있음」으로 분기하여 단계 S2를 실행한다.
단계 S2의 「착탄수(셀 내의 필요수)+불토출 노즐(셀 내)이 전체 노즐수(셀 내) 이하인가?」에서는, 셀 1열의 경우, 이하의 식 1이기 때문에, 「초과」로 분기하여 단계 S3을 실행한다.
착탄수+불토출 노즐=3+2=5>전체 노즐수=4···(식 1)
단계 S3의 「토출 가능 노즐에서 2적과 1적으로의 토출 데이터를 만든다」에서는, 셀 1열의 경우, 노즐 번호 1에서 2적 토출(2), 노즐 번호 4에서 1적 토출(1), 노즐 번호 2, 3은 비토출(0)로 하고 셀 1열에서의 노즐수 할당은 마친다. 다음에, 단계 S4를 실행한다.
단계 S4의 「전체 셀 완료인가?」에서는, 셀 2열이 있으므로, 미완료로 분기하여, 단계 S5의 「다음 셀로」에서 셀 2열에 대한 노즐 토출수 데이터 생성으로 옮기기 위해 단계 S1로 되돌아온다.
셀 2열의 경우에는, 셀 2열(5, 8, 3), 불토출 노즐이 6이다. 식 1에 적용시켜 판단하고, 단계 S2에서는, 「이하」로 분기하여 단계 S6을 실행한다.
단계 S6의 「토출 가능 노즐에서 1적으로의 토출 데이터를 만든다」에서는, 셀 2열의 경우, 노즐 번호 5, 7, 8에서 1적 토출(1), 노즐 번호 6은 비토출(0)로 하고 셀 2열에서의 노즐수 할당은 마친다.
다음에, 단계 S4를 실행한다. 단계 S4에서는, 셀 2열의 경우, 미완료로 분기하여, 단계 S5의 「다음 셀로」에서 셀 3열에 대한 노즐 토출수 데이터 생성으로 옮기기 위해 단계 S1로 되돌아온다.
셀 3열의 경우에는, 셀 3열(9, 12, 3), 불토출 노즐=없음이므로, 단계 S1에서는, 「없음」으로 분기하여 단계 S7을 실행한다.
단계 S7의 「통상 토출수 데이터를 만든다」에서는, 노즐 번호 9, 10, 11에서 1적 토출(1), 노즐 번호 12는 비토출(0)로 하고, 셀 3에서의 노즐수 할당은 마친다. 다음에, 단계 S4를 실행한다.
단계 S4에서는, 셀 3열의 경우, 전체 3셀을 마쳤음으므로 「완료」로 분기하고, 노즐 토출수 데이터 생성기(9)에서의 노즐 토출수 데이터의 생성을 종료한다.
노즐 토출수 데이터 생성기(9)에서의 노즐 토출수 데이터의 생성을 종료에 의해, 노즐 번호 1~12의 토출수 할당 정보가 노즐 토출수 데이터로서 출력되고, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)에 노즐 토출수 데이터(10a)로서 저장된다.
이상으로, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)에 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)가, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)에 노즐 토출수 데이터(10a)가, 각각 저장되었으므로, 이들 데이터를 이용하여 인쇄를 행한다.
<인쇄 개시>
도 3(b)에 있어서의 N3부분의 조건인, 300ppi로, 200mm/s로 도포하는 인쇄를 설명한다.
기판(11)을 장착한 이동 스테이지(12)가, 200mm/s로 인쇄 동작하는데 앞서, 먼저 설명한, 이 300ppi 인쇄에 대응한 도포 화상(3)의 실시예의 인쇄 데이터 상당이, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)와, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)에 유지되어 있다.
기판(11)이 장착된 이동 스테이지(12)가, 스테이지 스캔 속도 200mm/s(Vx)로 열방향(X)으로 이동을 개시하면, 이동 스테이지(12)는 정현파 신호로 이루어지는 위치 정보를 시계열로 발생시킨다.
이 위치 정보는 위치 검출기(13)에 입력되어 위치 정보 펄스로 정돈되어, 토출 타이밍 발생기(14)에 입력된다.
토출 타이밍 발생기(14)에서는, 미리 설정된 스캔 방향 토출 위치의 간격 6.7μm(Px)에 의거하여, 입력된 위치 정보 펄스를 분주하여, 인쇄용의 토출 신호로서, 데이터 클리어 신호(*CLR), 로드 클럭 신호(LD), 노즐마다 클럭 신호(CLKn)를 출력한다. 토출 타이밍의 기본 주기인 로드 클럭 신호(LD)는 시간 간격으로 하면, 30kHz(Fn)=0.033ms(Tn)가 된다. 구동 신호 발생기(15)는 토출 타이밍 발생기(14)로부터의, 로드 클럭 신호(LD)에 의거하여, 3종류의 토출 구동 신호를 발생시킨다.
<토출 구동 파형>
구동 신호 발생기(15)의 동작을, 도 9를 이용하여 설명한다.
도 9는, 구동 신호 발생기(15)에 입력되는 로드 클럭 신호(LD)와, 출력되는 3종의 토출 구동 신호 0, 1, 2(WB:2~0)를 나타내고 있다. 토출 구동 신호 0(WB:0)은 토출을 행하지 않는 경우에 이용되는 신호로, 로드 클럭 신호(LD)의 상승 타이밍부터, 다음 동신호의 상승 타이밍까지, 일정한 직류 전위를 계속 유지하는 파형이다.
또한, 로드 클럭 신호(LD)란, 토출 타이밍의 기본 주기인 신호이다.
토출 구동 신호 1(WB:1)은 1적의 토출을 행하는 경우에 이용되는 신호로, 로드 클럭 신호(LD)의 상승 타이밍부터, 일정한 직류 전위로 유지한 후, 규정의 시간 후에 전위를 낮추고, 그 후에 급준하게 전위를 올려, 일정한 직류 전위로 되돌아오는 파형이다.
토출 구동 신호 2(WB:2)는 2적의 토출을 행하는 경우에 이용되는 신호로, 로드 클럭 신호(LD)의 상승 타이밍부터, 로드 클럭 주기(Tn)의 1/2의 시간이 경과 후, 토출 구동 신호 1과 동일한 신호가 되는 파형이다.
이번 로드 클럭 주기(Tn)의 1/2를 사용하지만, 1주기 이내이면 된다. 단, 셀(1c) 내에 도포할 수 있는 범위까지이다.
이들 3종의 토출 구동 신호 0, 1, 2는 로드 클럭 신호(LD)가 올 때마다, 각각 반복해서 발생된다. 이 신호는 노즐 구동 제어기(17)에 입력된다.
액적수에 따라, 토출 구동 신호 1, 토출 구동 신호 2가 사용된다.
<토출 지시 데이터 연산기(16)와 노즐 구동 제어기(17)의 동작>
도 10, 도 11을 이용하여, 토출 지시 데이터 연산기(16), 노즐 구동 제어기(17)를 거쳐, 잉크젯 헤드(18)에 노즐 마다의 구동 파형이 출력될 때까지를 설명한다.
도 10은, 토출 지시 데이터 연산기(16)와 노즐 구동 제어기(17)의 1노즐 분의 전기 회로이다. 토출 지시 데이터 연산기(16)는, AND게이트(30a, 30b)와, D플립 플랍(30c, 30e, 30f)과, OR게이트(30d)를 가지고 있다. 노즐 구동 제어기(17)는, NOR 게이트(30g)와, 구동 파형의 전환 스위치(30h)를 가지고 있다. 본 예는 잉크젯 헤드(18)가 12노즐 구성이므로, 도 10의 회로는 전부 12개가 된다.
여기서, AND게이트(30a, 30b)는, 입력 2신호가 모두 높은 레벨(H)일 때에 출력이 높아지는 논리곱 소자이다.
OR게이트(30d)는, 입력 2신호의 한쪽 혹은 양쪽이 높은 레벨(H)일 때에 출력이 높아지는 논리합 소자이다.
NOR 게이트(30g)는, 입력 2신호의 한쪽 혹은 양쪽이 낮은 레벨(L)일 때에 출력이 높아지는 음논리의 논리합 소자이다.
D플립 플랍(30c, 30e, 30f)은, 입력 신호(D0)가 높은 레벨(H), 낮은 레벨(L)을 클럭 신호(CK)가 L에서 H로 상승하는 타이밍에 D플립 플랍 내에 유지하고, 출력(Q0)으로 출력한다. 입력 신호 D1의 H레벨치, L레벨치를 클럭 신호(CK)가 L에서 H로 상승하는 타이밍에 D플립 플랍 내에 유지하고, 출력(Q1)으로 출력하는 데이터 유지 소자이다.
유지는 다음 클럭 신호(CK)의 상승까지 지속된다. 단, 음논리 클리어/CLR 신호가 L레벨이 되면, 유지치는 L레벨이 되고, 출력(Q0, Q1)도 L레벨이 된다.
전체 12개에 공통으로 입력되는 신호는, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)로부터 2비트의 토출수 신호(TC:1~0), 토출 타이밍 발생기(14)로부터의 로드 클럭 신호(LD)와 데이터 클리어 신호(*CLR:음논리), 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6)로부터의 토출 타이밍 신호(TT), 구동 신호 발생기(15)로부터의 토출 구동 신호 0, 1, 2(WB:2~0)이다.
각 노즐마다 입출력되는 신호는, 토출 타이밍 발생기(14)로부터 입력되는 노즐마다 클럭 신호(CLKn:n=노즐 번호), 잉크젯 헤드의 각 노즐에 출력하는 노즐 구동 파형(WV)의 n신호(WVn:n=노즐 번호)이다.
도 11은 노즐 구동 제어기(17)의 입력:TD치와 출력:노즐 구동 파형(WV)의 관계를 나타내고, 노즐 구동 제어기(17)의 제어 입력(Cn)의 값에 의해, 어느 파형 입력(WB)이 선택되고, 파형 출력(WVn)이 되는지를 나타내고 있다.
TT, TC, CLKn, LD, *CLR는 토출 지시 데이터 연산기(16)로의 입력 신호이며, Cn은 토출 지시 데이터 연산기(16)로부터의 출력 신호이며, 또한, 노즐 구동 제어기(17)로의 입력 신호이다. WB는 노즐 구동 제어기(17)로의 입력 신호이며, 노즐 구동 파형(WV)는 출력 신호이다.
토출 지시 데이터 연산기(16)와 노즐 구동 제어기(17)의 상기 기구를 이용하여, 각 노즐에 잉크 토출의 신호를 보내고, 각 셀(1c)에 잉크를 도포한다.
본 예에서는, 보완처 노즐이 1적으로의 보완인 경우는 토출 노즐과 동일 파형으로 1적을 토출시킨다. 보완처 노즐이 2적으로의 보완인 경우는, 토출 노즐과 동일 파형을 로드 클럭 주기(Tn)의 1/2를 어긋나게 하여 2적 토출시킨다. 2적의 스캔 방향의 평균 위치가 토출 노즐의 1적의 토출 위치가 되도록 했지만, 셀(1c) 내에 도포할 수 있는 범위가 3적 이상인 경우에도, 3적 이상의 스캔 방향의 평균 위치가 토출 노즐의 1적의 토출 위치가 되도록 하는 것이 바람직하다.
<셀 내로의 토출 액적의 퍼짐>
도 12는, 열방향(X)의 토출 위치 1에서 노즐 번호 1~12로부터 3개의 셀 내에 착탄하는 모습을 기재한 것이다.
도 12(a)는 열방향(X)의 토출 위치 1에서 노즐 번호 1~12로부터 3개의 셀 내에 착탄시킬 예정 위치를 기재한 것으로, 검은 동그라미는 착탄 있음, 흰 동그라미는 착탄 없음을 나타내고 있다.
도 12(b) 내지 도 12(i)는 셀 내로의 착탄의 모습을, 일정시간 간격으로 기록한 모식도이다. 노즐 번호 1에서 2적 연속시킨 경우에, 액적들이 큰 액적 상당의 착탄이 되어, 셀 내에 퍼져 가는 모습을 도 12(e)~(g)에서 알 수 있다.
<불토출 노즐 변화 시의 데이터 변경의 예시>
도 13(a)~도 13(c)는, 불토출 노즐이 도 13(b)와 같이, 노즐 번호 2, 3, 6 상태로부터, 도 13(c)와 같이 노즐 번호 2, 3, 6, 8, 9, 12의 상태로 변화하여, 노즐 토출수 데이터(10a)가 변경되고, 토출 지시 데이터 연산기(16)(도 6 참조)에서 노즐 구동 파형이 2적/1적/비토출용으로 선택되어, 기판(11) 상에 도포되는 모습을 기재한 것이다.
도 13(a)는, 도 6, 도 7에서의 인쇄예에서 기재한 것과 마찬가지로, 3×3개의 셀로 이루어지는 기판(11)에, 전체 12개의 노즐을 이용하고, 행방향(Y)의 셀은, 셀 총수=3, 셀 1(사용 가능 시점 노즐 번호가 1, 종점 노즐 번호가 4, 착탄수가 3개, 이하, 셀 2(5, 8, 3), 셀 3(9, 12, 3)으로 하고, 인쇄 스캔 위치는 1, 5, 9의 위치에서 토출시키는 지정을 행방향(Y)의 수와 열방향(X)의 토출 타이밍으로 표기한 것이다.
도 13(b)는 불토출 노즐이 노즐 번호 2, 3, 6인 경우의 노즐 토출수 데이터의 모습과 기판 상으로의 착탄의 모습을 나타낸 것이다. 불토출 노즐 2, 3을 노즐 번호 1이 2적 찍음으로써, 셀 내 3적으로 보완하고, 불토출 노즐 6을 비토출 노즐로 하여 셀 내 3적으로 하고 있다.
도 13(c)는 도 13(b)의 불토출 노즐에 더하여 노즐 번호 8, 9가 증가하여, 전체 불토출이, 2, 3, 6, 8, 9, 12인 경우의 노즐 토출수 데이터의 모습과 기판 상으로의 착탄의 모습을 나타낸 것이다. 불토출 노즐 2, 3을 노즐 번호 1이 2적 찍음으로써 셀 내 3적으로 보완하고, 불토출 노즐 6, 8을 노즐 번호 7이 2적 찍음으로써 셀 내 3적으로 보완하고, 불토출 노즐 9, 12를 노즐 번호 11이 2적 찍음으로써 셀 내 3적으로 보완하고 있다.
이상과 같이, 셀 내에 필요한 착탄 액적수와, 셀 내에 배치되는 노즐 중의 불토출 노즐수의 합계가, 셀 내에 배치되는 노즐을 넘은 경우에도, 토출 가능한 노즐로부터 잉크를 2적 토출시켜, 셀 내에 필요한 착탄 액적수를 확보할 수 있다. 또, 불토출 노즐수 또는 발생 노즐이 변화한 경우에도, 도포 화상 데이터 전체를 갱신할 필요없고, 스캔 방향 토출 위치 정보(4a)와 노즐 방향의 토출수 정보(7a)의 소규모의 데이터 만을 갱신하면 된다. 이 때문에, 불토출 노즐의 발생수가 많은 경우에도, 데이터의 준비 시간을 필요로 하지 않고, 셀로부터 잉크가 비어져 나오지 않고 지정 액적수를 착탄시킬 수 있어, 휘도 불균일이 없는 고해상도 고품질 디스플레이를 가지는 전자기기를, 불토출 발생의 유무에 관계없이, 제조 효율을 유지하여 제공할 수 있다.
또한, 상기의 각 예에서는, 잉크젯 헤드(18)의 복수의 노즐은, 행방향(Y)으로 일렬로 배열된 경우를 설명했지만, 도 14에 나타낸 바와 같이 행방향(Y)으로 배열된 복수의 노즐이, 열방향(X)으로 기울어져 경사 방향으로 배열되어 있는 경우에도, 상기 방법, 장치는 이용할 수 있다. 또, 노즐은, 행방향(Y)으로 일직선이 아니어도, 개략, 행방향(Y)으로 직선 형상이면 된다. 양경우 모두, 토출 타이밍을 노즐이 행방향(Y)으로 일직선으로 늘어서 있는 것으로서 토출 타이밍을 계산하고, 이것을 각 노즐의 위치에 따라 토출 타이밍을 열방향(X)으로 옮김으로써 적정한 위치에 잉크를 착탄할 수 있다.
(실시의 형태 2)
실시의 형태 2에서는, 상이한 종류의 패널에 토출하는 경우를 설명한다. 설명하지 않는 사항은 실시의 형태 1과 동일하다.
도 15(a)는, 실시의 형태 2의 대상이 되는, 2종 디스플레이 패널 혼재의 기판(40)의 평면도이다. 기판(40)에는, 소형 디스플레이 패널(41a~41c)이 3개 왼쪽에 배치되고, 대형 디스플레이 패널(42)이 오른쪽에 배치된다. 소형 디스플레이 패널(41a~41c)에는, 300ppi의 2k 패널이 배치된다. 대형 디스플레이 패널(42)에는, 200ppi의 4k 패널이 배치된다. 결과, 각각의 패널 에리어 내에는 300ppi와 200ppi의 셀(1c)이 놓여진다.
도 15(b)는, 소형 디스플레이 패널(41a~41c)의 각각의 선두의 셀(1c)과 대형 디스플레이 패널(42)의 셀(1c)의 상하 방향(스캔 방향, X방향)의 잉크의 토출의 위치 관계를 기재하고 있다.
소형 디스플레이 패널(41a)의 셀(1c)에서는, 대형 디스플레이 패널(42)의 셀(1c)에 대해, 1토출 주기 전에, 잉크가 토출된다.
소형 디스플레이 패널(41b)의 셀(1c)에서는, 대형 디스플레이 패널(42)의 셀(1c)과 동일 토출 주기로 잉크가 토출된다.
소형 디스플레이 패널(41c)의 셀(1c)에서는, 대형 디스플레이 패널(42)의 셀(1c)에 대해, 1토출 주기 후에 토출된다.
실시의 형태 1과 상이하게, 패널이 바뀌면, 그 동안에, 셀로의 토출 조건을 설정할 필요가 있다.
도 15(c)는 실시의 형태 2에서 설명을 용이하게 하도록, 2종 디스플레이 패널 혼재의 기판(40)으로부터, 열방향(X)으로 어긋남이 있는 2종의 디스플레이 패널의 대표 셀 배치를 잘라낸 2종 셀 혼재의 기판(43)의 평면도이다. 소형 디스플레이 패널(41a)의 선두의 셀(1c)로부터 3개의 셀과, 대형 디스플레이 패널(42)의 셀(1c)로부터 3개의 셀을 잘라내어, 12개의 노즐에 할당하도록 배치한 것이다.
도 16은, 실시의 형태 2에 있어서의 잉크 도포 장치의 개념도이다. 도 17은, 그 잉크 도포 장치에서 인쇄하는 것을 목표로 하고 있는 잉크 토출, 즉, 인쇄를 행하는 토출 위치를 2차원적으로 표기한 목표의 도포 화상(3)과, 사용하는 노즐의 불토출 노즐 위치 정보(8a), 노즐 방향의 토출수 정보(7a), 그리고, 토출 타이밍 맵 데이터(46a)이다.
도 16, 17은, 각각, 실시의 형태 1의 도 6, 7에 상당하는 도이다.
토출 타이밍 맵 데이터(46a)는, 실시의 형태 1과 상이하다. 실시의 형태 1의 도 6의 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)에서는, 1차원 데이터였다. 한편, 실시의 형태 2에서는, 2차원의 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로 하고 있다. 이것은, 도포 대상물의 패널의 종류가 복수 있으며 토출 타이밍의 종류가 상이한 것이 있기 때문이다. 각각의 토출 타이밍을 어느 위치에서 사용하는지를 규정하기 위해, 2차원으로 되어 있다.
토출 타이밍 맵 데이터(46a)는, 도 15(c)에서 규정한 열방향(X)으로, 어긋남이 있는 2종의 디스플레이 패널의 대표 셀 배치를 잘라낸 셀 1과 셀 2의 토출 후보 위치를 검은 동그라미로 기재한 것이다.
셀 1은 전부 3개의 토출 타이밍이 있으며, 열방향(X)의 1, 5, 9의 타이밍에, 또한, 행방향(Y)의 1, 2, 3, 4번의 교차하는 좌표가 토출 후보 위치가 된다. 셀 2는, 전부 3개의 토출 타이밍 있으며 열방향(X)의 2, 8, 14의 타이밍에, 또한, 행방향(Y)의 7, 8, 9, 10, 11, 12번의 교차하는 좌표가 토출 후보 위치가 된다.
도포 화상(3)은, 노즐의 배열 방향(행방향(Y))과 스캔 방향(열방향(X))의 2차원 좌표계로 이루어진다. 노즐의 배치 위치와 토출 위치가 교차하는 격자를 파선으로 나타낸다. 그 교점에, 잉크가 토출된다.
본 예에서는, 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로부터의 토출 후보 위치와, 노즐 방향의 토출수 정보(7a)(노즐이 담당하는 셀수, 셀열 번호 마다의 사용 가능 시점 노즐 번호, 종점 노즐 번호, 착탄수의 정보)로부터 도포 화상(3)을 규정한다.
본 예에서는, 셀 1은 시점 노즐이 노즐 번호 1, 종점 노즐이 노즐 번호 4, 셀 내로의 착탄수가 3적이다. 이 때문에, 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로부터의 노즐 번호 1에서 4가 토출 후보열이 되는 열 1, 5, 9에서는 노즐 번호 1, 2, 3번이 토출 위치가 된다. 마찬가지로, 셀 2에서는, 열 2, 8, 14에서는 노즐 번호 7, 8, 9, 10, 11이 토출 위치가 된다.
노즐 방향의 토출수 정보(7a) 상에 기재한 불토출 노즐 위치 정보(8a)는, 본 예에서는, 노즐 번호 2, 3, 6, 8, 9, 12가 불토출 노즐로 했다.
<전체의 구성>
도 16에서, 실시의 형태 1과 상이한 것은, 열방향(X)의 타이밍 데이터를 1차원의 데이터로부터 2차원의 데이터로 바꾼 것이다. 토출 타이밍 유지부(21)에 있어서, 도 6의 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기(4)를, 스캔 방향 토출 맵 정보 유지기(44)로 바꾸고, 도 6의 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기(5)를, 토출 타이밍 맵 데이터 생성기(45)로 바꾸고, 그리고, 도 6의 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기(6) 및, 스캔 방향 토출 타이밍 데이터(6a)를, 토출 타이밍 맵 데이터 유지기(46) 및, 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로 바꾸었다.
스캔 방향 토출 맵 정보 유지기(44)는, 셀 마다의 열방향 토출 타이밍을 전체 스캔수(행수), 전체 셀수, 셀 마다의 토출 위치 정보로서 유지한다. 본 예에서는, 전체 스캔수는 14회(14행), 전체 셀은 2개, 셀 1은 열방향 1, 5, 9의 위치, 행방향 1~4에서 토출, 셀 2는, 열방향 2, 8, 14, 행방향 7~12의 위치에서 토출의 정보를 유지한다.
토출 타이밍 맵 데이터 생성기(45)는, 열방향(X)의 스캔 방향 토출 맵 정보 유지기(44)로부터의 셀 마다의 스캔 위치와, 노즐 방향(행방향(Y))의 노즐 방향 토출수 정보부(7)로부터의 셀 마다의 토출 후보 노즐 위치를, 열(스캔 위치)과 행(노즐 위치)에서 AND하여, 토출 후보 화소를 맵 정보로서 출력한다.
토출 타이밍 맵 데이터 유지기(46)는, 토출 타이밍 맵 데이터 생성기(45)로부터의 토출 후보 화소를 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로서 유지한다.
정보를 스캔 방향 토출 맵 정보 유지기(44)로부터의 셀 마다의 스캔 위치와 노즐 방향의 노즐 방향 토출수 정보부(7)로부터의 셀 마다의 토출 후보 노즐 위치를, 열과 행에서 AND하여, 토출 후보 화소를 맵 정보로서 출력한다.
<도포 방법>
실시의 형태 1과 마찬가지로 동작시킨다. 인쇄에 앞서, 노즐 방향의 노즐 방향 토출수 정보부(7), 스캔 방향 토출 맵 정보 유지기(44)에, 도포 화상(3)에 대응하는 데이터를 설정한다. 그리고, 불토출 노즐 데이터부(8)에 불토출 노즐 위치를 설정한다.
토출 타이밍 맵 데이터 생성기(45)가 토출 타이밍 맵 데이터 유지기(46)에 토출 후보 화소를 토출 타이밍 맵 데이터(46a)로서 저장한다. 이 저장은 도포 화상(3)이 변경될 때까지, 한 번만 행해지면 된다.
본 예에서는, 불토출 노즐이 도 17의 불토출 노즐 위치 정보(8a)와 같이 노즐 번호 2, 3, 6, 8, 9, 12인 경우, 불토출 보완이 행해진다. 도 16의 노즐 토출수 데이터(10a)와 같이, 노즐 번호 1, 7, 10이 각각 2적, 노즐 번호 4, 11이 각각 1적, 타노즐은 토출 없음으로 산출된다.
인쇄 실행 시는, 토출 지시 데이터 연산기(16)에 토출 타이밍 맵 데이터 유지기(46)로부터의 노즐 마다의 토출 후보 스캔 위치와, 노즐 토출수 데이터 유지기(10)로부터 노즐 마다의 토출수가 보내져, 노즐마다 상이한 타이밍에 토출수의 선택이 행해진다. 이 결과, 소형 디스플레이 패널의 대표의 셀 1, 대형 디스플레이 패널의 대표의 셀 2는 각각 불토출 보완이 행해지고, 소정 적수인, 셀 1은 3적, 셀 2는 5적이 토출된다.
불토출 노즐이 변화한 경우, 불토출 노즐 데이터부(8)로의 불토출 노즐 위치 정보(8a) 만을 변경하면 되어, 재기록에 시간을 필요로 하는 토출 타이밍 맵 데이터(46a)는 변경할 필요가 없다.
이상과 같이, 셀 내에 필요한 착탄 액적수와, 셀 내에 배치되는 노즐 중의 불토출 노즐수의 합계가, 셀 내에 배치되는 노즐을 넘은 경우에도, 토출 가능한 노즐로부터 2적 토출시켜, 셀 내에 필요한 착탄 액적수를 확보할 수 있다. 또, 불토출 노즐수 또는 발생 노즐이 변화한 경우에도, 도포 화상 데이터 전체(토출 타이밍 맵 데이터(46a))를 갱신할 필요 없이, 노즐 방향 토출 정보의 소규모의 데이터 만을 갱신하면 된다. 이 때문에, 불토출 노즐의 발생수가 많은 경우에도, 데이터의 준비 시간을 필요로 하지 않고, 토출 영역로부터 비어져 나오지 않고 지정 액적수를 착탄시킬 수 있어, 휘도 불균일이 없는 고해상도 고품질 디스플레이를 가지는 전자기기를, 불토출 발생의 유무에 관계없이, 제조 효율을 유지하여 제공할 수 있다.
(전체적으로)
실시의 형태 1, 2와는 조합할 수 있다.
본 발명은, 각종의 고해상도 고품질 디스플레이 등의 제조 효율의 향상에 기여할 수 있다.
X: 열방향 Y: 행방향
1: 기판 1a: 발액막
1b: 뱅크 1c: 셀
2: 착탄액적 2a: 잉크의 토출점
2b: 잉크의 비토출점 2c: 불토출점
2d: 토출 격자 3: 도포 화상
4: 스캔 방향 토출 위치 정보 유지기 4a: 스캔 방향 토출 위치 정보
5: 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 생성기
6: 스캔 방향 토출 타이밍 데이터 유지기
6a: 스캔 방향 토출 타이밍 데이터
7: 노즐 방향 토출수 정보부 7a: 노즐 방향의 토출수 정보
8: 불토출 노즐 데이터부 8a: 불토출 노즐 위치 정보
9: 노즐 토출수 데이터 생성기 10: 노즐 토출수 데이터 유지기
10a: 노즐 토출수 데이터 11: 기판
12: 이동 스테이지 13: 위치 검출기
14: 토출 타이밍 발생기 15: 구동 신호 발생기
16: 토출 지시 데이터 연산기 17: 노즐 구동 제어기
18: 잉크젯 헤드 21: 토출 타이밍 유지부
22: 제어부 25: 불토출 노즐
30a: AND게이트 30c: D플립 플랍
30d: OR 게이트 30h: 전환 스위치
40: 기판 41a: 소형 디스플레이 패널
41b: 소형 디스플레이 패널 41c: 소형 디스플레이 패널
42: 대형 디스플레이 패널 43: 기판
44: 스캔 방향 토출 맵 정보 유지기 45: 토출 타이밍 맵 데이터 생성기
46: 토출 타이밍 맵 데이터 유지기 46a: 토출 타이밍 맵 데이터
51: 잉크젯 헤드 52: 기판
53a: 셀 53b: 셀
53c: 셀 CK: 클럭 신호
Cn: 제어 입력 D0: 입력 신호
D1: 입력 신호 EL: 유기
Q0: 출력 Q1: 출력
WB: 파형 입력 WV: 노즐 구동 파형
WVn: 파형 출력

Claims (7)

  1. 복수의 직선 형상으로 배열된 노즐로부터 잉크를 토출하는 헤드와,
    상기 헤드에 대해 상대적으로 스캔 방향으로 이동하여, 도포 대상물을 유지하는 스테이지와,
    상기 노즐마다의 목표 도포 패턴을 나타내는 도포 화상에 의거하여, 상기 도포 대상물의 셀에 도포하는 기준인 토출 타이밍을 출력하는 토출 타이밍 유지부와,
    상기 복수의 노즐 중의 불토출 노즐의 위치를 기억하는 불토출 노즐 데이터부와,
    상기 도포 화상에 의거하여, 상기 도포 대상물의 상기 노즐의 배열 방향의 상기 셀의 수와, 상기 노즐의 배열 방향의 상기 셀 마다, 도포 시점(始点) 노즐 번호와, 도포 종점 노즐 번호와, 도포수를 포함하는 노즐 방향 토출수 정보를 유지하는 노즐 방향 토출수 정보부와,
    상기 토출 타이밍과, 상기 불토출 노즐의 위치와, 노즐 방향 토출수 정보로부터, 상기 셀에 상기 잉크를 토출하는 상기 노즐이 부족한 경우, 상기 불토출 노즐이 위치한 셀과 동일한 셀에 도포 가능한 노즐로부터, 다른 토출 노즐의 토출 타이밍에는 토출하지 않고, 전후의 상기 타이밍에 복수회 상기 잉크를 토출하여, 상기 불토출 노즐 분의 부족 액적을 보완하도록 상기 헤드를 구동하는 제어부를 가지는, 잉크 도포 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 셀에 있어서, 상기 노즐이 부족하지 않은 경우에는, 상기 토출 타이밍에 1회만 잉크를 도포하도록 지시하는, 잉크 도포 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 전후의 타이밍이란, 상기 토출 타이밍의 1주기 이내에서 옮기는 것인, 잉크 도포 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 전후의 타이밍이란, 상기 토출 타이밍의 반주기에서 옮기는 것인, 잉크 도포 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 토출 타이밍 유지부에 있어서,
    상기 기준인 토출 타이밍이 복수 종류인, 잉크 도포 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 복수 종류의 기준인 토출 타이밍은, 상이한 종류의 도포 대상물에 대응하는 것인, 잉크 도포 장치.
  7. 행방향과 열방향으로 분리된 복수의 셀을 가지는 도포 대상물에 대해, 상기 행방향으로 배열된 복수의 노즐을 가지는 헤드를, 상기 열방향으로 상대적으로 스캔하여, 상기 셀에 상기 노즐로부터 잉크를 토출해 도포하는 방법으로서,
    목표 도포 패턴을 나타내는 상기 노즐마다의 도포 화상에 의거하여, 상기 행방향의 셀마다 도포 시점 노즐 번호와 도포 종점 노즐 번호와 도포수를 나타내는 노즐 방향의 토출수 정보를 얻는 공정과,
    상기 노즐 방향의 토출수 정보와, 복수의 상기 노즐 중의 불토출 노즐을 특정한 불토출 노즐 위치 정보로부터, 상기 셀에, 상기 불토출 노즐을 사용하지 않고 토출 가능 노즐에 의해 토출하기 위해 필요한 상기 토출 가능 노즐을 결정하는 결정 공정과,
    상기 결정 공정에서, 상기 셀에 상기 잉크를 토출하는 상기 토출 가능 노즐이 부족한 경우, 상기 불토출 노즐이 위치한 셀과 동일한 셀에 토출 가능한 노즐로부터, 다른 토출 노즐의 토출 타이밍과는 상이한 열방향의 위치에 복수회 토출하여 불토출 분의 부족 액적을 보완하도록 상기 헤드를 구동하는 보완 공정을 포함하는, 잉크 도포 방법.
KR1020160174385A 2015-12-28 2016-12-20 잉크 도포 장치와 잉크 도포 방법 KR102620086B1 (ko)

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