JP2017125945A - 液滴吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】一部の大きさが異なる膜形成領域を含む複数の膜形成領域のそれぞれに、所定量の液状体を液滴として好適に配置可能な液滴吐出方法を提供すること。【解決手段】本実施形態の液滴吐出方法は、走査を行いながら、Ｙ軸方向と交差する方向に配列されている複数のノズル５２から、吐出対象物に設けられ、且つＹ軸方向に配列されている開口部１０５ａｇと開口部１０５ａｒのそれぞれに液滴Ｄを吐出する吐出工程を有し、Ｙ軸方向において、開口部１０５ａｒの幅は、開口部１０５ａｇの幅よりも小さく、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向において、開口部１０５ａｒの幅は、開口部１０５ａｇの幅よりも大きく、走査において、開口部１０５ａｇに掛かるノズル５２の数より、開口部１０５ａｒに掛かるノズル５２の数の方が多いことを特徴とする。【選択図】図９

Description

本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出方法に関する。

機能層形成材料を含む液状体をインクジェットヘッドのノズルから液滴として所定の領域に塗布して固化することにより、機能層を形成する液滴吐出法が知られている。液滴吐出法を用いて形成される機能層としては、例えば、液晶表示装置などに用いられるカラーフィルターの着色層や、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置の発光層などの有機半導体層、各種配線層などが挙げられる。

例えば、特許文献１には、基板上を複数の表示用ドット領域に区分けする区分け要素（バンク）を形成する工程と、液状のフィルター材料を複数の表示用ドット領域へ液滴吐出部から液滴として吐出して供給する材料吐出工程とを有し、材料吐出工程では、フィルター材料の液滴の中心が、表示用ドット領域の中心から最も近い表示用ドット領域の縁までの距離の略３０％以内の範囲に着弾するように、液滴を吐出するカラーフィルター基板の製造方法が開示されている。これによれば、着弾した液滴がバンクを越えて隣の領域へ侵入し難くなり、フィルター要素間において混色が発生することを防止できるとしている。

また、例えば、特許文献２には、基材に向けて機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、基材とを相対的に移動させ、基材上にパターン膜を形成するにあたり、液滴の着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向側の第１着弾禁止領域と、該着弾許可領域に対して液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第２着弾禁止領域とを設定すると共に、第１着弾禁止領域を第２着弾禁止領域よりも広く設定するパターン膜形成部材の製造方法が開示されている。これによれば、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を液滴として吐出したときに、液滴の主滴に追随して尾引き部やサテライトと呼ばれる微小液滴などが発生しても、上記移動方向に遅れて着弾する尾引き部やサテライトなどの着弾領域を確保できるとしている。つまり、パターン膜形成領域を区画する区画部に尾引き部やサテライトが乗り上がって付着することがないので、隣接するパターン膜同士の接触を防止することができるとしている。

特開２００４−３６１４９１号公報 特開２０１１−１８９２６７号公報

しかしながら、上記特許文献１の表示用ドット領域や、上記特許文献２のパターン膜形成領域の面積が小さくなると、液滴を着弾させることが可能な領域も小さくなることから所定の膜形成領域に液滴を確実に着弾させることが難しくなる。

また、膜形成領域の形状が例えば長方形である場合、膜形成領域の面積が小さくなっても、膜形成領域の長手方向に沿って液滴を着弾させればよいが、液滴吐出ヘッドの相対移動において膜形成領域に掛かるノズルが少ない（例えばノズル数が１つ）場合、複数のノズル間における液滴の吐出量ばらつきの影響を受け易くなり、膜形成領域に形成されるパターン膜の膜厚ばらつきが大きくなるおそれがある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例］本適用例に係る液滴吐出方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを第１の方向に相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、前記走査を行いながら、前記第１の方向と交差する方向に配列されている前記複数のノズルから、前記吐出対象物に設けられ、且つ前記第１の方向に配列されている第１領域と第２領域のそれぞれに液滴を吐出する吐出工程を有し、前記第１の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅よりも小さく、前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅よりも大きく、前記吐出工程では、前記走査において、前記第１領域に掛かる前記ノズルの数より、前記第２領域に掛かる前記ノズルの数の方が多いことを特徴とする。

本適用例によれば、吐出ヘッドと吐出対象物との第１の方向における相対的な走査において、第１の方向における第２領域の幅が第１領域の幅より小さくとも、第２領域に掛かるノズルの数は第１領域に掛かるノズルの数よりも多いので、少なくとも２つ以上のノズルから液滴を吐出して、第２領域に配置することができる。つまり、１つのノズルから液滴を吐出して第２領域に配置する場合に比べて、ノズル間の吐出量ばらつきの影響を受け難くして、所定量の液状体を液滴として第１領域と第２領域とに配置することが可能な液滴吐出方法を提供できる。換言すれば、第１領域に比べて第２領域の面積が小さくとも、走査方向（第１の方向）に直交する第２の方向の幅を大きくすることで、第１領域に比べて走査において掛かるノズルの数を増やすことができるため、面積が小さい第２領域に対しても所定量の液状体を液滴として安定的に吐出して配置することができる。本明細書では、１つの領域に複数のノズルを使って液滴を吐出することにより、ノズル間の吐出量ばらつきの影響を受け難くすることを、以降、吐出量のノズル分散性を向上させると言う。

上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記第１領域の前記第２の方向の中心を通る前記第１の方向に延びる直線上に、前記第２領域の前記第２の方向の中心があることを特徴とする。
この方法によれば、例えば、第１領域及び第２領域のそれぞれに、液滴吐出方法を用いて機能層を形成するとき、第２の方向における機能層の中心位置がずれることなく、安定した膜厚を有する機能層を吐出量のノズル分散性を向上させて第１領域と第２領域とに形成することができる。例えば、機能層が、カラーフィルターの着色層や有機ＥＬ素子の発光層である場合、光学的な中心位置を確保して安定した光学特性が得られる着色層や発光層を第１領域と第２領域とに形成することができる。

上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記第１領域の前記第２の方向の中心を通る前記第１の方向に延びる直線上からずれた位置に、前記第２領域の前記第２の方向の中心があるとしてもよい。
この方法によれば、例えば、第１領域及び第２領域のそれぞれに、液滴吐出方法を用いて機能層を形成するとき、第２の方向における機能層の中心位置に関わらず、安定した膜厚を有する機能層を吐出量のノズル分散性を向上させて第１領域と第２領域とに形成することができる。例えば、機能層が、有機半導体層や各種配線層である場合、第１領域と第２領域との相対的な位置関係に関わらず、所定の特性が得られる有機半導体層や各種配線層を第１領域と第２領域とに形成することができる。

上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記第２の方向において、前記第１領域に隣り合う第３領域を有し、前記第２の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅に前記第３領域の幅を加えた長さよりも大きいことを特徴とする。
この方法によれば、第２の方向における第２領域の幅が大きくなるので、走査において掛かるノズルの数をさらに多くすることができる。つまり、より吐出量のノズル分散性を向上させて液滴を配置することができる。

上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出工程では、前記第１領域、前記第２領域、前記第３領域のそれぞれに、同種の前記液状体を液滴として吐出することを特徴とする。
この方法によれば、より吐出量のノズル分散性を向上させて同種の液状体を液滴として第１領域、第２領域、第３領域のそれぞれに配置することができる。

上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出工程では、前記第１領域、前記第２領域、前記第３領域のそれぞれに、異種の前記液状体を液滴として吐出することを特徴とする。
この方法によれば、より吐出量のノズル分散性を向上させて異種の液状体を液滴として対応する第１領域、第２領域、第３領域に配置することができる。

液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 インクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図。 インクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。 ヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図。 液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図。 有機ＥＬ装置の構成例を示す概略平面図。 有機ＥＬ素子の構成例を示す概略断面図。 有機ＥＬ装置のサブ画素の配置における従来例と液滴の配置状態とを示す概略平面図。 第１実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図。 第２実施形態の有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図。 第２実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図。 第３実施形態の有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図。 第３実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図。 変形例の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。

（第１実施形態）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出方法を適用可能な液滴吐出装置の一例について、図１〜図５を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示す液滴吐出装置１０は、吐出対象物に対して、吐出ヘッドのノズルから機能層形成材料を含む液状体を液滴として吐出する装置である。吐出された液状体を乾燥・焼成して固化することにより、吐出対象物の所定の領域に機能層を形成する。このような機能層の形成方法は、液相プロセスのうち液滴吐出法と呼ばれている。液滴吐出法を用いて形成される機能層の一例として、カラーフィルターの着色層や、有機ＥＬ素子の発光機能を有する機能層が挙げられる。本実施形態の液滴吐出方法は、このような機能層を液滴吐出装置１０を用いて形成する場合に好適に用いることができる。なお、液滴吐出装置１０では、吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを備えており、インクジェットヘッドを用いた液滴吐出法はインクジェット法とも呼ばれる。

図１に示すように、液滴吐出装置１０は、吐出対象物（ワーク）である例えば平板状の基板Ｗを主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、インクジェットヘッドが搭載されたヘッドユニット９を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０と、を備えている。また、図１には図示されていない機構（構成）を含めて、これらの機構（構成）を統括的に制御する制御部４０を備えている。以降、主走査方向をＹ軸方向と称し、副走査方向をＸ軸方向と称して説明することもある。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設され基板Ｗが載置されるステージ５とを備えている。
ステージ５は基板Ｗを吸着固定可能であると共に、回転機構６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、基板Ｗ上において液状体（インク）が吐出される膜形成領域の配置に応じて、基板Ｗを例えば９０度旋回させることも可能である。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。

液滴吐出装置１０には、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数のインクジェットヘッド５０に液状体（インク）を供給するためのインク供給機構や、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのメンテナンス機構などが配設されている。

図２はインクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図、図３はインクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図である。

図２に示すように、吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体（インク）の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体（インク）のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述したインク供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体（インク）をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。

ヘッド本体５６は、駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。

図３に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（例えば１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂによって構成されたノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。

インクジェットヘッド５０は、ヘッドドライバー６３から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体（インク）が加圧され、ノズル５２から液状体（インク）を液滴として吐出することができる。

インクジェットヘッド５０においてノズル５２ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）は、圧電素子に限定されない。アクチュエーターは、振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体（インク）を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。

このようなインクジェットヘッド５０では、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量は、複数のノズル５２ごとに必ずしも一定であるとは言えず、ばらつきを有している。このようなノズル間の吐出量ばらつきの要因としては、ノズル５２ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）の特性のばらつきや、各ノズル５２におけるキャビティに繋がる液状体（インク）の流路形状の違いなどが挙げられる。

図４はヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｗに対向する側から見た図である。

図４に示すように、ヘッドユニット９は、複数のインクジェットヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個のインクジェットヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（インクジェットヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（インクジェットヘッド５０）とは同種の液状体（インク）を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体（インク）を吐出可能な構成となっている。

１つのインクジェットヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ₀とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。ノズル列５２ｃは、３６０個のノズル５２から構成されるものである。

ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体（インク）を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌｄは、描画幅Ｌ₀の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。

なお、インクジェットヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９におけるインクジェットヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。

次に、液滴吐出装置１０の電気的及び機械的な構成とその機能について、図５を参照して説明する。図５は液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図である。

図５に示すように、液滴吐出装置１０は、ヘッド移動機構３０、ワーク移動機構２０、インクジェットヘッド５０、メンテナンス機構７０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部６０と、駆動部６０を含め液滴吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。

駆動部６０は、ヘッド移動機構３０のリニアモーターを駆動制御するヘッド移動用ドライバー６１と、同じく、ワーク移動機構２０のリニアモーターを駆動制御するワーク移動用ドライバー６２と、インクジェットヘッド５０を駆動制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３と、メンテナンス機構７０を駆動制御するメンテナンス用ドライバー６４と、を備えている。

なお、図５には図示を省略したが、液滴吐出装置１０は、ワーク移動機構２０において移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。ヘッド移動機構３０もまた、移動台３２の副走査方向（Ｘ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。これらのエンコーダーから周期的に発生されるエンコーダーパルスを利用して、移動台２２、移動台３２のそれぞれの移動制御が行われる構成となっている。

メンテナンス機構７０は、インクジェットヘッド５０のノズル５２から試験的に吐出された液滴を受けて重量を計測する例えば電子天秤などの重量測定機構７１と、インクジェットヘッド５０のノズル面５１ａ（図２参照）を密封して、ノズル５２から液状体（インク）を吸引し、目詰まりが生じているノズル５２などを回復させるキャップ機構７２と、ノズル面５１ａに付着した液状体（インク）や異物をワイピング部材でふき取って清浄化するワイピング機構７３とを含んで構成されている。

重量測定機構７１を用い、ノズル５２ごとに一定の駆動条件下で液滴を吐出させて得られる液状体（インク）の重量を測定することで、１滴あたりの液滴の吐出量を求めることができる。つまり、複数のノズル間における液滴の吐出量ばらつきを調べることができる。

メンテナンス用ドライバー６４は、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのこれらの機構をそれぞれ駆動するドライバーを含んで構成されている。なお、メンテナンス機構７０の構成は、これに限定されず、インクジェットヘッド５０のノズル５２から吐出された液滴をシートなどの被吐出物で受けて、液滴の着弾状態を撮像することで、液滴の着弾位置精度や目詰まりなどを検出する撮像機構などを備えていてもよい。

制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ（プログラムコントローラー）４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作やインクジェットヘッド５０の機能を回復させるメンテナンス処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、基板Ｗに対して液滴を吐出してどのように配置するかを示す吐出位置データを記憶する吐出位置データ記憶部、基板Ｗ及びインクジェットヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部６０の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインターフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部６０に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部６０などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、インクジェットヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｗとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｗ（ステージ５）との相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各インクジェットヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状体（インク）を液滴として吐出するようにヘッドドライバー６３に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状体（インク）を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体（インク）を基板Ｗに吐出することができる。主走査は、インクジェットヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。

ワーク移動機構２０に設けられたエンコーダーは、主走査に伴ってエンコーダーパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダーパルスが周期的に発生する。

例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、インクジェットヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダーパルスをカウントして生成される吐出制御データに基づいている。このような主走査における基板Ｗ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。

上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板Ｗ上に液状体（インク）を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データ、液滴の配置数を示す吐出データ（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択などの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。

基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データは、主走査における基板Ｗとノズル５２との相対的な位置を示すものである。前述したように、基板Ｗはステージ５に載置されて、移動台２２により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。基板Ｗの主走査方向における位置、すなわち、ステージ５の主走査方向の位置は、主走査においてワーク移動機構２０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。基板Ｗに対するインクジェットヘッド５０すなわちノズル５２の副走査方向（Ｘ軸方向）の位置は、ヘッド移動機構３０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。これにより、吐出位置データに基づいて、液滴が吐出されるノズル５２と基板Ｗとが相対的に配置され、ノズル５２から液滴が基板Ｗに向けて吐出される。

次に、本実施形態の液滴吐出方法について、有機ＥＬ装置の製造方法に適用した例を挙げ、図６〜図９を参照して説明する。図６は有機ＥＬ装置の構成例を示す概略平面図、図７は有機ＥＬ素子の構成例を示す概略断面図である。まず、図６及び図７を参照して有機ＥＬ装置の構成例について説明する。

＜有機ＥＬ装置＞
図６に示すように、有機ＥＬ装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが配置された素子基板１０１を有している。各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂは略長方形であり、素子基板１０１の表示領域Ｅにおいてマトリックス状に配置されている。以降、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂを総称してサブ画素１１０と呼ぶこともある。同じ発光色のサブ画素１１０が図面上において垂直方向（列方向あるいはサブ画素１１０の長手方向）に配列し、異なる発光色のサブ画素１１０が図面上において水平方向（行方向あるいはサブ画素１１０の短手方向）にＲ，Ｇ，Ｂの順で配列している。すなわち、異なる発光色のサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが所謂ストライプ方式で配置されている。なお、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの平面形状と配置は、これに限定されるものではない。また、略長方形とは、長方形に加えて、角部が丸くなった四角形、対向する２辺部が円弧状となった四角形を含むものである。

サブ画素１１０Ｒには、赤（Ｒ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。同じく、サブ画素１１０Ｇには、緑（Ｇ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられ、サブ画素１１０Ｂには、青（Ｂ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。

このような有機ＥＬ装置１００は、異なる発光色が得られる３つのサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂを１つの表示画素単位として、それぞれのサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂは電気的に制御される。これによりフルカラー表示が可能となっている。なお、本実施形態では、赤（Ｒ）の発光が得られるサブ画素１１０Ｒの面積が、他のサブ画素１１０Ｇ，１１０Ｂよりも小さくなっている。

各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂには、図７に示す有機ＥＬ素子１３０が設けられている。図７に示すように、有機ＥＬ素子１３０は、素子基板１０１上に設けられた絶縁膜１０２と、一対の電極としての画素電極１０３及び対向電極１０４と、画素電極１０３と対向電極１０４との間に設けられた、発光層１３３を含む機能層１３６とを有している。

画素電極１０３は、陽極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとに設けられ、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜を用いて形成されている。

絶縁膜１０２は、例えば酸化シリコンや窒化シリコンあるいは酸窒化シリコンなどを用いて形成される。

機能層１３６は、画素電極１０３側から、正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３、電子輸送層１３４、電子注入層１３５が順に積層されたものである。特に、発光層１３３は発光色に応じて構成材料が選ばれるが、ここでは発光色に関わらず総称して発光層１３３と呼ぶ。なお、機能層１３６の構成は、これに限定されるものではなく、これらの層以外に、電荷（キャリア；正孔や電子）の移動を制御する中間層などを備えていてもよい。

対向電極１０４は、陰極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂに共通した共通電極として設けられ、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やＡｇ（銀）とＭｇ（マグネシウム）の合金などを用いて形成されている。

陽極としての画素電極１０３側から発光層１３３にキャリアとしての正孔が注入され、陰極としての対向電極１０４側から発光層１３３にキャリアとしての電子が注入される。発光層１３３において注入された正孔と電子とにより、励起子（エキシトン；正孔と電子とがクーロン力にて互いに束縛された状態）が形成され、励起子（エキシトン）が消滅する際（正孔と電子とが再結合する際）にエネルギーの一部が蛍光や燐光となって放出される。

有機ＥＬ装置１００において、光反射性を有するように対向電極１０４を構成すれば、発光層１３３からの発光を素子基板１０１側から取り出すボトムエミッション方式とすることができる。また、画素電極１０３と素子基板１０１との間に反射層を設ける、または光反射性を有するように画素電極１０３を構成し、光透過性を有するように対向電極１０４を構成すれば、発光層１３３からの発光を対向電極１０４側から取り出すトップエミッション方式とすることもできる。本実施形態では、有機ＥＬ装置１００がボトムエミッション方式であるとして、以降の説明を行う。なお、有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの有機ＥＬ素子１３０をそれぞれ独立して駆動することができる画素回路を素子基板１０１に備えたアクティブ駆動型である。画素回路は公知の構成を採用することができるので、図７では画素回路の図示を省略している。

有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの有機ＥＬ素子１３０における画素電極１０３の外縁と重なると共に、画素電極１０３上に開口部１０５ａを構成する隔壁１０５を有している。
有機ＥＬ素子１３０は、機能層１３６を構成する正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３が液滴吐出法で形成されたものである。それぞれの層を構成する成分と溶媒とを含んだ液状体（インク）を隔壁１０５で囲まれた膜形成領域としての開口部１０５ａに塗布して乾燥・焼成することにより、それぞれの層が形成されている。それぞれの層を所望の膜厚で形成するためには、所定量の液状体（インク）を量的にも位置的にも精度よく開口部１０５ａに塗布する必要がある。

本実施形態のようにサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂに異なる発光色の有機ＥＬ素子１３０が配置される場合、異なる発光色の有機ＥＬ素子１３０ごとの発光特性が必ずしも同じであるとは限らない。例えば、一定の駆動条件下で得られる発光輝度が有機ＥＬ素子間で異なることがある。サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの明るさは発光面積に依存するため、有機ＥＬ素子１３０の発光輝度に応じてサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの発光面積を異ならせ、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの明るさがほぼ同等となるように調整することがある。

また、例えば、一定の発光輝度で発光させたときの発光寿命が有機ＥＬ素子間で異なることがある。発光寿命は、有機ＥＬ素子１３０を流れる電流量に依存する。したがって、ある発光色の有機ＥＬ素子１３０の発光寿命が他の発光色の有機ＥＬ素子１３０に比べて短い場合、ある発光色の有機ＥＬ素子１３０の発光面積を他に比べて大きくし、明るさが同等となるように電流量を低下させることにより発光寿命を延ばすことがある。

サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの発光面積は、有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６が形成される隔壁１０５で囲まれた膜形成領域としての開口部１０５ａの大きさによって規定される。

本実施形態では、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのうち少なくとも１つサブ画素１１０の発光面積、すなわち開口部１０５ａの大きさが異なる設定となっていたとしても、各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの有機ＥＬ素子１３０における機能層１３６を好適に形成可能な液滴吐出方法について、以降、説明する。

＜液滴吐出方法＞
まず、従来の液滴吐出方法の一例について、図８を参照して説明する。図８は有機ＥＬ装置のサブ画素の配置における従来例と液滴の配置状態とを示す概略平面図、図９は第１実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図である。なお、図８及び図９は吐出対象物である基板Ｗ上における各色のサブ画素１１０に対応した開口部１０５ａの配置すなわち隔壁パターンを示すものである。また、前述した液滴吐出装置１０のステージ５に基板Ｗが載置された状態を示すものである。なお、液滴の配置状態は、着弾した状態を示すものではなく、開口部１０５ａにおける配置位置を示すものである。

図８及び図９に示すように、基板Ｗ上において、同色のサブ画素１１０が副走査方向（Ｘ軸方向）に配列し、異なる色のサブ画素１１０が主走査方向（Ｙ軸方向）に配列している。各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂ（開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂ）の平面形状は、略長方形であって、長手方向がＸ軸方向に沿うように配置されている。複数のノズル５２からなるノズル列５２ｃもまたＸ軸方向に沿うように配置されている。なお、図８及び図９では、便宜上、ノズル列５２ｃを１列で表している。

本実施形態において、Ｙ軸方向が本発明の第１の方向の一例であり、Ｘ軸方向が本発明の第２の方向の一例である。また、本実施形態において、Ｘ軸方向に沿って配置された複数のノズル５２のノズルピッチは、前述したように、およそ７０．５μｍであるが、Ｙ軸方向（主走査方向）に対して斜めに交差するようにノズル列５２ｃを配置すれば、Ｙ軸方向（主走査方向）から見たときの実質的なノズルピッチを７０．５μｍよりも小さくすることができる。すなわち、図８及び図９に示す複数のノズル５２のノズルピッチは、７０．５μｍに限定されるものではない。

（液滴吐出方法の従来例）
図８に示すように、従来例では、サブ画素１１０Ｇの開口部１０５ａｇ及びサブ画素１１０Ｂの開口部１０５ａｂに対して、サブ画素１１０Ｒにおける開口部１０５ａｒの大きさが小さくなっている。具体的には、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｒ、開口部１０５ａｇ及び開口部１０５ａｂの幅は、共に同じＬ３である。Ｙ軸方向における、開口部１０５ａｇ及び開口部１０５ａｂの幅Ｌ１に対して、開口部１０５ａｒの幅Ｌ２は小さい（狭い）。すなわち、サブ画素１１０Ｒの発光面積は、サブ画素１１０Ｇ及びサブ画素１１０Ｂに比べて小さくなっている。言い換えれば、サブ画素１１０Ｇ及びサブ画素１１０Ｂの発光面積は、サブ画素１１０Ｒよりも大きくなっている。従来例における開口部１０５ａｒと開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）との面積比は例えば１：２である。

液滴Ｄの吐出工程では、このような隔壁パターンを有する従来例の基板Ｗに対して、複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）を有するインクジェットヘッド５０を配置して主走査を行い、主走査において各開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂに掛かるノズル５２から液滴Ｄを吐出して配置する。なお、このようにインクジェットヘッド５０と基板Ｗとを配置して液滴Ｄを吐出することを、複数のノズル５２の配列方向と開口部１０５ａの長手方向とが合致していることから横描画と言う。横描画では、主走査方向（Ｙ軸方向）における開口部１０５ａｒの幅が狭くても、各ノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出タイミングを制御することによって、開口部１０５ａｒにおいてＹ軸方向に少なくとも１滴の液滴Ｄを配置することが可能である。

図８に示すように、従来例では、主走査において、Ｘ軸方向における幅がＬ３の各開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂには、例えば２つのノズル５２が掛かる。２つのノズル５２のそれぞれから上述した吐出分解能に基づいた吐出タイミングで液滴Ｄを吐出すると、Ｙ軸方向の幅がＬ１の開口部１０５ａｇ及び開口部１０５ａｂには、合計６個の液滴Ｄを配置することができるが、Ｙ軸方向の幅がＬ１よりも狭いＬ２の開口部１０５ａｒには、合計２個の液滴Ｄしか配置できないことがある。

つまり、１回の主走査で開口部１０５ａの面積比に応じて、好適な数の液滴Ｄをそれぞれの開口部１０５ａに配置したいが、従来例では、開口部１０５ａｒと開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）とにおける配置可能な液滴数の比は、１：３となっている。したがって、開口部１０５ａｒにおいて不足する液滴Ｄを補充するための主走査を行う必要がある。

なお、本実施形態において、主走査で開口部に掛かるノズル５２とは、ノズル５２から液滴Ｄを吐出したときに、開口部内に液滴Ｄを収めることが可能なノズル５２であって、吐出された液滴Ｄの大部分が開口部内に位置し、液滴Ｄの一部が隔壁１０５に掛かっていても、当該ノズル５２を開口部に掛かるノズル５２として選択することができる。

有機ＥＬ装置１００において表示画素単位の大きさは任意に設定される。表示領域Ｅにおける表示画素単位の数を増やして高精細な表示を実現しようとすると、表示画素単位を構成するサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれの大きさをさらに小さくする必要が生ずる。そうすると、主走査時に掛かるノズル５２の数がさらに減って、１つのノズル５２から液滴Ｄを吐出して各開口部１０５ａに配置せざるを得ないケースも想定される。それゆえに、ノズル間における液滴Ｄの吐出量ばらつきの影響を受け易くなる。また、１回の主走査によって配置可能な液滴Ｄの数が制限されるので、所定量の液状体を液滴Ｄとして効率的に各開口部１０５ａに吐出することが難しくなる。

これに対して、本実施形態の液滴吐出方法における吐出工程では、主走査方向（Ｙ軸方向）における幅Ｌ２が狭い開口部１０５ａｒにおいて、主走査時に掛かるノズル５２の数が開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）に掛かるノズル５２の数よりも多い。言い換えれば、本実施形態の液滴吐出方法は、主走査方向（Ｙ軸方向）における幅が開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）よりも狭い開口部１０５ａｒにおいて、主走査時に掛かるノズル５２の数が開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）よりも多くなるように、隔壁パターンを形成する隔壁形成工程を備える。

具体的には、図９に示すように、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の幅をＬ３よりも大きなＬ４とする。これにより、主走査により開口部１０５ａｒには３つのノズル５２が掛かることになり、３つのノズル５２から液滴Ｄを吐出することによって開口部１０５ａｒに３滴の液滴Ｄを配置することができる。つまり、開口部１０５ａｒと開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）とにおける配置可能な液滴数の比は、１：２となって面積比に応じた液滴Ｄの配置を実現することが可能となる。なお、従来例と同じ面積比を維持する場合、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の幅を大きくした分、Ｙ軸方向の幅を狭くすることになる。

また、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の中心は、開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）のＸ軸方向の中心を通りＹ軸方向に延びる直線上にある。つまり、開口部１０５ａｒは、開口部１０５ａｇ（開口部１０５ａｂ）に対して、複数のノズル５２が配列する方向に均等に拡張されている。つまり、従来例に比べて開口部１０５ａｒのＸ軸方向の幅を大きくしても、従来例と同様に、各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂにおける光学的な中心がＸ軸方向において互いにずれることなく配置された状態となっている。

本実施形態では、有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６のうち正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３を液滴吐出法を用いて形成する。前述したように、発光層１３３は、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの発光色に対応して異なる発光材料が用いられる。したがって、正孔注入層形成材料または正孔輸送層形成材料を含む液状体は、開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂのそれぞれに液滴Ｄとして吐出される。一方で発光層形成材料を含む液状体は、発光色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に応じて３種類用意され、Ｒの液状体は開口部１０５ａｒに液滴Ｄとして配置され、Ｇの液状体は開口部１０５ａｇに液滴Ｄとして配置され、Ｂの液状体は開口部１０５ａｂに液滴Ｄとして配置される。

本実施形態の液滴吐出方法を用いて、上記各種の液状体を吐出すれば、開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂのうち、サブ画素１１０Ｒに対応する開口部１０５ａｒの主走査方向における幅を他の開口部１０５ａｇ，１０５ａｂに比べて狭くしても、同種または異種の液状体を液滴Ｄとして開口部１０５ａの面積比に応じて好適に配置することができる。

また、従来例に比べて主走査において開口部１０５ａｒに掛かるノズル５２の数が増えたことにより、液滴Ｄの吐出量のノズル分散性が向上し、複数の開口部１０５ａｒ間において、所定量の液状体を安定して塗布することができる。

本実施形態において、膜形成領域としての開口部１０５ａｇ（または開口部１０５ａｂ）が本発明の第１領域の一例であり、膜形成領域としての開口部１０５ａｒが本発明の第２領域の一例である。

なお、他の開口部に比べて主走査方向（Ｙ軸方向）における幅が狭く、副走査方向（Ｘ軸方向）の幅が大きい開口部は、赤色（Ｒ）のサブ画素１１０に対応するものであることに限定されず、緑（Ｇ）や青（Ｂ）のサブ画素１１０であってもよい。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態の液滴吐出方法について、第１実施形態と同じく有機ＥＬ装置の製造方法に適用した例を挙げ、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は第２実施形態の有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図、図１１は第２実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図である。第２実施形態の有機ＥＬ装置は、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００に対してサブ画素の配置を異ならせたものである。

＜有機ＥＬ装置＞
図１０に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置２００は、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００と同様にアクティブ駆動型であり、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂが配置された素子基板２０１を有している。各サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂは略長方形である。表示領域Ｅにおいて、サブ画素２１０Ｒは、列方向に長手方向が沿うように配列している。一方で、サブ画素２１０Ｇ及びサブ画素２１０Ｂは、行方向に長手方向が沿うように配列している。つまり、列方向にストライプ状に配列するサブ画素２１０Ｒと、行方向にストライプ状に配列するサブ画素２１０Ｇ及びサブ画素２１０Ｂとを組み合わせた構成となっている。

このようなサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂによれば、上記第１実施形態のサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのように同一方向にストライプ状に配置される場合に比べて、表示におけるモアレの発生を低減することができる。

＜液滴吐出方法＞
次に、有機ＥＬ装置２００の製造方法に適用される本実施形態の液滴吐出方法について、図１１を参照して説明する。

図１１に示すように、Ｙ軸方向における、サブ画素２１０Ｇの開口部１０５ａｇの幅及びサブ画素２１０Ｂの開口部１０５ａｂの幅は共にＬ５であり、サブ画素２１０Ｒの開口部１０５ａｒの幅はＬ５よりも小さい（狭い）Ｌ６である。一方で、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｒの幅Ｌ９は、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｇの幅Ｌ７と開口部１０５ａｂの幅Ｌ８とを加えた値よりも大きい。つまり、隔壁形成工程では、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の幅Ｌ９が、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｇの幅Ｌ７と開口部１０５ａｂの幅Ｌ８とを加えた値よりも大きくなり、開口部１０５ａｒのＹ軸方向の幅Ｌ６が、Ｙ軸方向における開口部１０５ａｇの幅Ｌ５よりも小さくなるように隔壁パターンを形成する。

液滴Ｄの吐出工程では、上記のような隔壁パターンを有する基板Ｗに対して、複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）を有するインクジェットヘッド５０を配置して主走査を行い、主走査において各開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂに掛かるノズル５２から液滴Ｄを吐出して配置する。

主走査では、開口部１０５ａｇと開口部１０５ａｂとにはそれぞれ２つのノズル５２が掛かり、開口部１０５ａｒには４つのノズル５２が掛かる。主走査において掛かるノズル５２から液滴Ｄを吐出することにより、開口部１０５ａｇと開口部１０５ａｂとにはそれぞれ１０滴の液滴Ｄが配置され、開口部１０５ａｒには４滴の液滴Ｄを配置することができる。

本実施形態の液滴吐出方法によれば、略長方形の開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂの大きさや配置が異なっていても、開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂの面積比に応じて液滴Ｄを好適に配置することができる。

本実施形態において、膜形成領域としての開口部１０５ａｇが本発明の第１領域の一例であり、膜形成領域としての開口部１０５ａｒが本発明の第２領域の一例であり、膜形成領域としての開口部１０５ａｂが本発明の第３領域の一例である。

（第３実施形態）
次に、第３実施形態の液滴吐出方法について、第１実施形態と同じく有機ＥＬ装置の製造方法に適用した例を挙げ、図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は第３実施形態の有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図、図１３は第３実施形態の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図である。第３実施形態の有機ＥＬ装置は、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００に対してサブ画素の配置を異ならせたものである。

＜有機ＥＬ装置＞
図１２に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置３００は、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００と同様にアクティブ駆動型であり、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素３１０Ｒ，３１０Ｇ，３１０Ｂが配置された素子基板３０１を有している。各サブ画素３１０Ｒ，３１０Ｇ，３１０Ｂは略長方形であり、サブ画素３１０Ｇの発光面積は、サブ画素３１０Ｒ（あるいはサブ画素３１０Ｂ）の発光面積よりも小さい。表示領域Ｅにおいて、サブ画素３１０Ｇは、列方向に長手方向が沿うように配列している。一方で、サブ画素３１０Ｒ及びサブ画素３１０Ｂは、列方向に長手方向が沿うと共に、Ｒ、Ｂの順に交互に配列している。有機ＥＬ装置３００における表示は、行方向に配列するサブ画素３１０Ｇとサブ画素３１０Ｒとを一組とする表示画素単位と、サブ画素３１０Ｇとサブ画素３１０Ｂとを一組とする表示画素単位とにより行われる構成となっている。このようなサブ画素３１０Ｒ，３１０Ｇ，３１０Ｂの配置は、ペンタイル（Pentile）方式と呼ばれている。

本実施形態の有機ＥＬ装置３００によれば、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００に比べて、表示画素単位におけるサブ画素数を減らしてカラー表示を実現できる。また、上記第１実施形態の有機ＥＬ装置１００の表示画素単位の大きさと、本実施形態の有機ＥＬ装置３００の表示画素単位の大きさとを同じとした場合には、より明るい表示が可能となる。

＜液滴吐出方法＞
次に、有機ＥＬ装置３００の製造方法に適用される本実施形態の液滴吐出方法について、図１３を参照して説明する。

図１３に示すように、Ｙ軸方向における、サブ画素３１０Ｒの開口部１０５ａｒの幅及びサブ画素３１０Ｂの開口部１０５ａｂの幅は共にＬ１１であり、サブ画素３１０Ｇに対応する開口部１０５ａｇの幅はＬ１１よりも小さい（狭い）Ｌ１２である。一方で、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｇの幅Ｌ１５は、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｒの幅Ｌ１３と開口部１０５ａｂの幅Ｌ１４とを加えた値よりも大きい。開口部１０５ａｇは、２つのサブ画素３１０Ｇに跨るように形成されている。

つまり、隔壁形成工程では、開口部１０５ａｇのＸ軸方向の幅Ｌ１５が、Ｘ軸方向における開口部１０５ａｒの幅Ｌ１３と開口部１０５ａｂの幅Ｌ１４とを加えた値よりも大きくなり、２つのサブ画素３１０Ｇに跨るように開口部１０５ａｇが形成され、開口部１０５ａｇのＹ軸方向の幅Ｌ１２が、Ｙ軸方向における開口部１０５ａｒの幅Ｌ１１よりも小さくなるように隔壁パターンを形成する。

液滴Ｄの吐出工程では、上記のような隔壁パターンを有する基板Ｗに対して、複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）を有するインクジェットヘッド５０を配置して主走査を行い、主走査において各開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂに掛かるノズル５２から液滴Ｄを吐出して配置する。

主走査では、開口部１０５ａｒと開口部１０５ａｂとにはそれぞれ２つのノズル５２が掛かり、開口部１０５ａｇには４つのノズル５２が掛かる。主走査において掛かるノズル５２から液滴Ｄを吐出することにより、開口部１０５ａｒと開口部１０５ａｂとにはそれぞれ８滴の液滴Ｄが配置され、開口部１０５ａｇには４滴の液滴Ｄを配置することができる。

本実施形態の液滴吐出方法によれば、略長方形の開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂの大きさや配置が異なっていても、開口部１０５ａｒ，１０５ａｇ，１０５ａｂの面積比に応じて液滴Ｄを好適に配置することができる。また、主走査において開口部１０５ａｇに掛かるノズル５２の数が４つとなることから、液滴Ｄの吐出量におけるノズル分散性をさらに向上させることができる。

本実施形態において、膜形成領域としての開口部１０５ａｒが本発明の第１領域の一例であり、膜形成領域としての開口部１０５ａｇが本発明の第２領域の一例であり、膜形成領域としての開口部１０５ａｂが本発明の第３領域の一例である。

なお、本実施形態において開口部１０５ａｇは、２つのサブ画素３１０Ｇに跨るように形成されることに限定されず、３つ以上のサブ画素３１０Ｇに跨るように形成されていてもよい。

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う液滴吐出方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記第１実施形態の液滴吐出方法において、第２領域としての開口部１０５ａｒの配置は、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の中心が第１領域としての開口部１０５ａｇのＸ軸方向の中心を通りＹ軸方向に延びる直線上にあることに限定されない。図１４は変形例の有機ＥＬ装置のサブ画素の配置例と液滴の配置状態とを示す概略平面図である。例えば、図１４に示すように、変形例１における開口部１０５ａｒのＸ軸方向の幅は、開口部１０５ａｇのＸ軸方向の幅Ｌ３よりも大きなＬ４’である。開口部１０５ａｒの配置は、開口部１０５ａｒのＸ軸方向の中心が開口部１０５ａｇのＸ軸方向の中心を通りＹ軸方向に延びる直線上にはなく、Ｘ軸方向において、開口部１０５ａｒ及び開口部１０５ａｇ並びに開口部１０５ａｂの一方の端部が共に揃った位置となるように、隔壁パターンが形成されていてもよい。

このような変形例１の隔壁パターンによれば、例えば、開口部１０５ａｇ及び開口部１０５ａｒのそれぞれに、液滴吐出法を用いて機能層を形成するとき、Ｘ軸方向における機能層の中心位置に関わらず、安定した膜厚を有する機能層を吐出量のノズル分散性を向上させて開口部１０５ａｇと開口部１０５ａｒとに形成することができる。

（変形例２）上記第１実施形態の液滴吐出方法が適用される有機ＥＬ装置１００において、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂに備えられる有機ＥＬ素子１３０は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光が得られるものに限定されない。例えば、白色発光が得られる有機ＥＬ素子１３０とカラーフィルターと組み合わせることでカラー表示を行う構成としてもよい。

（変形例３）上記実施形態の液滴吐出方法を適用可能な機能層は、有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６に限定されない。例えば、カラーフィルターの着色層、有機半導体層、各種配線層などにも適用することができる。

５０…吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド、５２…ノズル、１００…有機ＥＬ装置、１０５…隔壁、１０５ａｂ…開口部、１０５ａｇ…開口部、１０５ａｒ…開口部、１１０，１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂ…サブ画素、Ｄ…液滴。

Claims (6)

1. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを第１の方向に相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、
   前記走査を行いながら、前記第１の方向と交差する方向に配列されている前記複数のノズルから、前記吐出対象物に設けられ、且つ前記第１の方向に配列されている第１領域と第２領域のそれぞれに液滴を吐出する吐出工程を有し、
   前記第１の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅よりも小さく、
   前記第１の方向と直交する第２の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅よりも大きく、
   前記吐出工程では、前記走査において、前記第１領域に掛かる前記ノズルの数より、前記第２領域に掛かる前記ノズルの数の方が多いことを特徴とする液滴吐出方法。
2. 前記第１領域の前記第２の方向の中心を通る前記第１の方向に延びる直線上に、前記第２領域の前記第２の方向の中心があることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
3. 前記第１領域の前記第２の方向の中心を通る前記第１の方向に延びる直線上からずれた位置に、前記第２領域の前記第２の方向の中心があることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
4. 前記第２の方向において、前記第１領域に隣り合う第３領域を有し、
   前記第２の方向において、前記第２領域の幅は、前記第１領域の幅に前記第３領域の幅を加えた長さよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
5. 前記吐出工程では、前記第１領域、前記第２領域、前記第３領域のそれぞれに、同種の前記液状体を液滴として吐出することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。
6. 前記吐出工程では、前記第１領域、前記第２領域、前記第３領域のそれぞれに、異種の前記液状体を液滴として吐出することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。

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