KR102541943B1 - 봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 - Google Patents
봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102541943B1 KR102541943B1 KR1020190180181A KR20190180181A KR102541943B1 KR 102541943 B1 KR102541943 B1 KR 102541943B1 KR 1020190180181 A KR1020190180181 A KR 1020190180181A KR 20190180181 A KR20190180181 A KR 20190180181A KR 102541943 B1 KR102541943 B1 KR 102541943B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- touch
- layer
- electrode
- pad
- routing
- Prior art date
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 35
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 12
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 34
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 357
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 34
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 22
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 14
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 11
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 5
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- -1 aluminum (Al) Chemical class 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/04164—Connections between sensors and controllers, e.g. routing lines between electrodes and connection pads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/15—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components having potential barriers, specially adapted for light emission
- H01L27/153—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components having potential barriers, specially adapted for light emission in a repetitive configuration, e.g. LED bars
- H01L27/156—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components having potential barriers, specially adapted for light emission in a repetitive configuration, e.g. LED bars two-dimensional arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/54—Encapsulations having a particular shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
- H10K50/865—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. light-blocking layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/40—OLEDs integrated with touch screens
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/873—Encapsulations
- H10K59/8731—Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/8791—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
- H10K59/8792—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. black layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
본 발명은 봉지 부재와 이격되는 패드를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다. 상기 패드는 패드 전극층과 패드 커버층의 적층 구조일 수 있다. 상기 패드 전극층의 측면은 상기 패드 커버층에 의해 덮일 수 있다. 이에 따라, 상기 디스플레이 장치에서는 후속 공정에 의한 상기 패드 전극층의 손상이 방지될 수 있다. 따라서, 상기 디스플레이 장치에서는 상기 패드를 통해 전달되는 외부 신호에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
Description
본 발명은 봉지 부재 상에 위치하는 블랙 매트릭스를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다.
일반적으로 모니터, TV, 노트북, 디지털 카메라와 같은 전자 기기는 이미지의 구현을 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 예를 들어, 상기 디스플레이 장치는 발광 소자를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자는 특정한 색을 나타내는 빛을 방출할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광 소자는 제 1 발광 전극과 제 2 발광 전극 사이에 위치하는 발광층을 포함할 수 있다.
상기 디스플레이 장치는 외부 수분 및 충격에 의한 상기 발광 소자의 손상을 방지하기 위하여 상기 발광 소자를 덮는 봉지 부재를 포함할 수 있다. 상기 디스플레이 장치는 외부로부터 신호를 전달받기 위한 패드를 포함할 수 있다. 상기 패드는 상기 봉지 부재의 외측에 위치할 수 있다. 상기 봉지 부재 상에는 블랙 매트릭스 및/또는 컬러 필터들이 형성될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스의 형성 공정 및/또는 상기 컬러 필터의 형성 공정은 식각 공정을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 디스플레이 장치에서는 상기 블랙 매트릭스 및/또는 상기 컬러 필터들의 형성 공정에 의해 상기 패드가 손상될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 패드의 형성 이후에 수행되는 식각 공정에 의한 상기 패드의 손상을 방지할 수 있는 디스플레이 장치를 제공하는 것이다
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 앞서 언급한 과제들로 한정되지 않는다. 여기서 언급되지 않은 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 것이다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 디스플레이 장치는 소자 기판을 포함한다. 소자 기판은 표시 영역 및 비표시 영역을 포함한다. 소자 기판의 표시 영역 상에는 발광 소자가 위치한다. 소자 기판의 비표시 영역 상에는 패드가 위치한다. 패드는 패드 전극층과 패드 커버층의 적층 구조이다. 패드는 발광 소자를 덮는 봉지 부재와 이격된다. 패드 커버층은 상기 패드 전극층의 측면 상으로 연장한다.
봉지 부재 상에는 블랙 매트릭스가 위치할 수 있다. 패드 커버층은 블랙 매트릭스와 식각 선택비를 가질 수 있다.
봉지 부재 상에는 컬러 필터들이 위치할 수 있다. 패드 커버층은 컬러 필터들과 식각 선택비를 가질 수 있다.
패드 커버층은 티타늄(Ti)을 포함할 수 있다.
소자 기판의 표시 영역과 발광 소자 사이에는 박막 트랜지스터가 위치할 수 있다. 박막 트랜지스터의 소스 전극은 제 1 전극 커버층에 의해 덮일 수 있다. 박막 트랜지스터의 드레인 전극은 제 2 전극 커버층에 의해 덮일 수 있다.
제 1 전극 커버층은 소스 전극의 측면 상으로 연장할 수 있다. 제 2 전극 커버층은 드레인 전극의 측면 상으로 연장할 수 있다.
제 2 전극 커버층은 제 1 전극 커버층과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
제 1 전극 커버층은 패드 커버층과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
패드 전극층은 소스 전극 및 드레인 전극과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
패드 전극층은 다중층 구조일 수 있다.
봉지 부재 상에는 터치 버퍼막이 위치할 수 있다. 터치 버퍼막 상에는 터치 구조물이 위치할 수 있다. 터치 구조물은 터치 라우팅 라인에 의해 패드와 전기적으로 연결될 수 있다. 터치 라우팅 라인은 라우팅 전극층 및 라우팅 커버층을 포함할 수 있다. 라우팅 커버층은 라우팅 전극층 상에 위치할 수 있다.
라우팅 커버층은 라우팅 전극층의 측면 상으로 연장할 수 있다.
라우팅 커버층은 패드 커버층과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
패드 전극층은 라우팅 전극층과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
소자 기판의 비표시 영역 내에는 벤딩 영역이 위치할 수 있다. 연결 라인은 벤딩 영역을 가로지를 수 있다. 연결 라인 상에는 크랙 방지층이 위치할 수 있다. 크랙 방지층은 벤딩 영역과 중첩할 수 있다. 터치 라우팅 라인은 연결 라인을 통해 패드와 연결될 수 있다. 터치 라우팅 라인 및 패드는 크랙 방지층 상에 위치하는 단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따른 디스플레이 장치는 소자 기판의 표시 영역 상에 위치하는 발광 소자 및 봉지 부재를 포함하고, 상기 소자 기판의 비표시 영역 상에 적층된 패드 전극층 및 패드 커버층을 포함하되, 상기 패드 커버층이 상기 패드 전극층의 측면을 덮을 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 기술적 사상에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 패드의 형성 이후 수행되는 블랙 매트릭스의 형성 공정 및/또는 컬러 필터들의 형성 공정에 의한 상기 패드 전극층의 손상이 방지될 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 패드를 통해 전달되는 신호에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 상면을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 K 영역을 확대한 도면이다.
도 5a 내지 5f는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치를 나타낸 도면이다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 상면을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 K 영역을 확대한 도면이다.
도 5a 내지 5f는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치를 나타낸 도면이다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 이에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 여기서, 본 발명의 실시 예들은 당업자에게 본 발명의 기술적 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위하여 제공되는 것이므로, 본 발명은 이하 설명되는 실시 예들에 한정되지 않도록 다른 형태로 구체화될 수 있다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호로 표시된 부분들은 동일한 구성 요소들을 의미하며, 도면들에 있어서 층 또는 영역의 길이와 두께는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 덧붙여, 제 1 구성 요소가 제 2 구성 요소 "상"에 있다고 기재되는 경우, 상기 제 1 구성 요소가 상기 제 2 구성 요소와 직접 접촉하는 상측에 위치하는 것뿐만 아니라, 상기 제 1 구성 요소와 상기 제 2 구성 요소 사이에 제 3 구성 요소가 위치하는 경우도 포함한다.
여기서, 상기 제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소를 설명하기 위한 것으로, 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 다만, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서는 제 1 구성 요소와 제 2 구성 요소는 당업자의 편의에 따라 임의로 명명될 수 있다.
본 발명의 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용되는 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 예를 들어, 단수로 표현된 구성 요소는 문맥상 명백하게 단수만을 의미하지 않는다면 복수의 구성 요소를 포함한다. 또한, 본 발명의 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다"등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
덧붙여, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
(실시 예)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 상면을 나타낸 도면이다. 도 3은 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 소자 기판(110)을 포함할 수 있다. 상기 소자 기판(110)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(110)은 유리 또는 플라스틱을 포함할 수 있다.
상기 소자 기판(110)은 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NA)을 포함할 수 있다. 상기 소자 기판(110)의 상기 표시 영역(AA) 상에는 신호 배선들(GL, DL, VDD)이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 신호 배선들(GL, DL, VDD)은 게이트 신호를 전달하는 게이트 라인(GL), 데이터 신호를 전달하는 데이터 라인(DL) 및 전원전압을 공급하는 전원전압 공급라인(VDD)을 포함할 수 있다. 상기 신호 배선들(GL, DL, VDD)은 화소 영역들(PA)을 정의할 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(110)의 상기 표시 영역(AA) 상에는 상기 신호 배선들(GL, DL, VDD)에 의해 정의된 다수의 화소 영역(PA)이 위치할 수 있다. 각 화소 영역(PA)은 상기 신호 배선들(GL, DL, VDD)을 통해 인가된 신호를 이용하여 빛을 방출할 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)은 구동 회로 및 발광 소자(130)를 포함할 수 있다.
상기 구동 회로는 상기 게이트 신호에 따라 상기 데이터 신호에 대응하는 구동 전류를 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 구동 회로는 제 1 박막 트랜지스터(T1), 제 2 박막 트랜지스터(T2) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 박막 트랜지스터(T1)는 상기 게이트 신호에 따라 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)를 턴-온/오프할 수 있다. 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)는 상기 데이터 신호에 대응하는 구동 전류를 생성할 수 있다. 상기 스토리지 커패시터(Cst)는 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 동작을 한 프레임 동안 유지할 수 있다.
상기 제 1 박막 트랜지스터(T1) 및 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)는 반도체 패턴(121), 게이트 절연막(122), 게이트 전극(123), 층간 절연막(124), 소스 전극(125) 및 드레인 전극(126)을 포함할 수 있다.
상기 반도체 패턴(121)은 반도체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(121)은 실리콘을 포함할 수 있다. 상기 반도체 패턴(121)은 산화물 반도체일 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(121)은 IGZO와 같은 금속 산화물을 포함할 수 있다. 상기 반도체 패턴(121)은 소스 영역, 채널 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있다. 상기 채널 영역은 상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 위치할 수 있다. 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역은 상기 채널 영역보다 높은 전기 전도도를 가질 수 있다.
상기 게이트 절연막(122)은 상기 반도체 패턴(121) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(121)은 상기 소자 기판(110)과 상기 게이트 절연막(122) 사이에 위치할 수 있다. 상기 게이트 절연막(122)은 상기 반도체 패턴(121)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(121)의 측면은 상기 게이트 절연막(122)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 게이트 절연막(122)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(122)은 실리콘 산화물(SiO) 및/또는 실리콘 질화물(SiN)을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(122)은 고유전율을 갖는 물질(High-K material)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(122)은 하프늄 산화물(HfO)을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(122)은 다중층 구조일 수 있다.
상기 게이트 전극(123)은 상기 게이트 절연막(122) 상에 위치할 수 있다. 상기 게이트 전극(123)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 채널 영역과 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(121)의 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역은 상기 게이트 전극(123)의 외측에 위치할 수 있다. 상기 게이트 전극(123)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(123)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 및 구리(Cu)와 같은 금속을 포함할 수 있다.
상기 층간 절연막(124)은 상기 게이트 전극(123) 상에 위치할 수 있다. 상기 층간 절연막(124)은 상기 반도체 패턴(121)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(123)의 측면은 상기 층간 절연막(124)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 층간 절연막(124)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 층간 절연막(124)은 실리콘 산화물(SiO)을 포함할 수 있다.
상기 소스 전극(125)은 상기 층간 절연막(124) 상에 위치할 수 있다. 상기 소스 전극(125)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 소스 영역과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(122) 및 상기 층간 절연막(124)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 소스 영역을 부분적으로 노출하는 소스 컨택홀을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(125)은 상기 소스 컨택홀을 통해 상기 반도체 패턴(121)의 상기 소스 영역과 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(125)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 소스 영역과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(125)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(125)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(125)은 상기 게이트 전극(123)과 다른 물질을 포함할 수 있다.
상기 드레인 전극(126)은 상기 층간 절연막(124) 상에 위치할 수 있다. 상기 드레인 전극(126)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 드레인 영역과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 드레인 전극(126)은 상기 소스 전극(125)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(122) 및 상기 층간 절연막(124)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 드레인 영역을 부분적으로 노출하는 드레인 컨택홀을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(126)은 상기 드레인 컨택홀을 통해 상기 반도체 패턴(121)의 상기 드레인 영역과 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(126)은 상기 반도체 패턴(121)의 상기 드레인 영역과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(126)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(126)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(126)은 상기 소스 전극(125)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(126)은 상기 게이트 전극(123)과 다른 물질을 포함할 수 있다.
상기 제 1 박막 트랜지스터(T1)의 게이트 전극은 상기 게이트 라인(GL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 게이트 전극(123)은 상기 제 1 박막 트랜지스터(T1)의 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제 1 박막 트랜지스터(T1)의 소스 전극은 상기 데이터 라인(DL)과 연결될 수 있다. 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 소스 전극(125)은 상기 전원전압 공급라인(VDD)과 연결될 수 있다. 상기 스토리지 커패시터(Cst)는 상기 제 1 박막 트랜지스터(T1)의 상기 드레인 전극과 연결되는 제 1 커패시터 전극 및 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 드레인 전극(126)과 연결되는 제 2 커패시터 전극을 포함할 수 있다.
상기 소자 기판(110)과 상기 구동 회로 사이에는 소자 버퍼층(111)이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 박막 트랜지스터(T1), 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2) 및 상기 스토리지 커패시터(Cst)는 상기 소자 버퍼층(111) 상에 위치할 수 있다. 상기 소자 버퍼층(111)은 상기 구동 회로의 형성 공정에서 상기 소자 기판(110)에 의한 오염을 방지할 수 있다. 상기 소자 버퍼층(111)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 버퍼층(111)은 실리콘 산화물(SiO) 및/또는 실리콘 질화물(SiN)을 포함할 수 있다. 상기 소자 버퍼층(111)은 다중층 구조일 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 버퍼층(111)은 실리콘 산화물(SiO)로 이루어진 절연막과 실리콘 질화물(SiN)로 이루어진 절연막의 적층 구조일 수 있다.
상기 구동 회로 상에는 오버 코트층(112)이 위치할 수 있다. 상기 오버 코트층(112)은 상기 구동 회로에 의한 단차를 제거할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)에 의한 단차는 상기 오버 코트층(112)에 의해 제거될 수 있다. 상기 소자 기판(110)과 대향하는 상기 오버 코트층(112)의 표면은 평평한 평면(flat surface)일 수 있다. 상기 오버 코트층(112)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 상기 오버 코트층(112)은 상대적으로 유동성이 큰 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 오버 코트층(112)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.
상기 발광 소자(130)는 상기 오버 코트층(112) 상에 위치할 수 있다. 상기 발광 소자(130)는 특정한 색을 나타내는 빛을 방출할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광 소자(130)는 상기 오버 코트층(112) 상에 순서대로 적층된 제 1 발광 전극(131), 발광층(132) 및 제 2 발광 전극(133)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 발광 전극(131)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 1 발광 전극(131)은 상대적으로 반사율이 높은 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 발광 전극(131)은 알루미늄(Al) 및 은(Ag)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 제 1 발광 전극(131)은 다중층 구조일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 발광 전극(131)은 ITO 및 IZO와 같은 투명한 도전성 물질로 형성된 투명 전극들 사이에 금속으로 형성된 반사 전극이 위치하는 구조일 수 있다.
상기 발광층(132)은 상기 제 1 발광 전극(131)과 상기 제 2 발광 전극(133) 사이의 전압 차에 대응하는 휘도의 빛을 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광층(132)은 발광 물질을 포함하는 발광 물질층(Emission Material Layer; EML)일 수 있다. 상기 발광 물질은 유기 물질, 무기 물질 또는 하이브리드 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 유기 물질의 발광층(132)을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치일 수 있다.
상기 제 2 발광 전극(133)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 발광 전극(133)은 상기 제 1 발광 전극(131)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 발광 전극(133)은 ITO 및 IZO와 같은 투명한 도전성 물질로 형성된 투명 전극일 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 발광층(132)에 의해 생성된 빛이 상기 제 2 발광 전극(133)을 통해 방출될 수 있다.
상기 발광 소자(130)는 상기 제 1 발광 전극(131)과 상기 발광층(132) 사이 및/또는 상기 발광층(132)과 상기 제 2 발광 전극(133) 사이에 위치하는 발광 기능층을 더 포함할 수 있다. 상기 발광 기능층은 정공 주입층(Hole Injection Layer; HIL), 정공 수송층(Hole Transmitting Layer; HTL), 전자 수송층(Electron Transmitting Layer; ETL) 및 전자 주입층(Electron Injection Layer; EIL) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 발광 소자(130)의 발광 효율이 향상될 수 있다.
각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)는 해당 화소 영역(PA)의 상기 구동 회로와 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 오버 코트층(112)은 각 구동 회로의 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)를 부분적으로 노출하는 전극 컨택홀들을 포함할 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 제 1 발광 전극(131)은 해당 전극 컨택홀을 통해 해당 화소 영역(PA)의 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(130)의 상기 제 1 발광 전극(131)은 해당 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 드레인 전극(126)과 전기적으로 연결될 수 있다.
각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)는 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)와 독립적으로 제어될 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 제 1 발광 전극(131)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 1 발광 전극(131)과 절연될 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 제 1 발광 전극(131)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 1 발광 전극(131)과 이격될 수 있다. 인접한 제 1 발광 전극들(131) 사이의 공간에는 뱅크 절연막(113)이 위치할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(113)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 뱅크 절연막(113)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(113)은 상기 오버 코트층(112) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 뱅크 절연막(113)은 인접한 제 1 발광 전극들(131) 사이에서 상기 오버 코트층(112)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(113)은 상기 오버 코트층(112)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(113)은 각 제 1 발광 전극(131)의 가장 자리를 덮을 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132) 및 상기 제 2 발광 전극(133)은 상기 뱅크 절연막(113)에 의해 노출된 해당 제 1 발광 전극(131)의 일부 영역 상에 적층될 수 있다.
각 화소 영역(PA)은 인접한 화소 영역(PA)과 다른 색을 구현할 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)은 상기 뱅크 절연막(113) 상에 위치하는 단부를 포함할 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)과 다른 공정을 통해 형성될 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 발광층(132)은 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask; FMM)를 이용한 증착 공정에 의해 형성될 수 있다.
각 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)에는 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)과 동일한 전압이 인가될 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)과 전기적으로 연결될 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)과 접촉할 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 제 2 발광 전극(133)은 상기 뱅크 절연막(113) 상으로 연장할 수 있다.
각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)는 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)와 동일한 적층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)는 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)와 동일한 발광 기능층을 포함할 수 있다. 각 화소 영역(PA)의 상기 발광 기능층은 인접한 화소 영역(PA)의 상기 발광 기능층과 연결될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 전자 수송층 및 상기 전자 주입층 중 적어도 하나가 상기 뱅크 절연막(113) 상으로 연장할 수 있다.
각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130) 상에는 봉지 부재(140)가 위치할 수 있다. 상기 봉지 부재(140)는 외부 수분 및 충격에 의한 상기 발광 소자들(130)의 손상을 방지할 수 있다. 상기 봉지 부재(140)는 상기 제 2 전극(133)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 봉지 부재(140)는 상기 오버 코트층(112), 상기 뱅크 절연막(113) 및 상기 발광 소자들(130)을 덮을 수 있다.
상기 봉지 부재(140)는 다중층 구조일 수 있다. 예를 들어, 상기 봉지 부재(140)는 상기 제 2 발광 전극(133) 상에 순서대로 적층된 제 1 봉지층(141), 제 2 봉지층(142) 및 제 3 봉지층(143)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 봉지층(141), 상기 제 2 봉지층(142) 및 상기 제 3 봉지층(143)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 봉지층(142)은 상기 제 1 봉지층(141) 및 상기 제 3 봉지층(143)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 봉지층(141) 및 상기 제 3 봉지층(143)은 무기 절연 물질을 포함하고, 상기 제 2 봉지층(142)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 외부 수분 및 충격에 의한 상기 발광 소자들(130)의 손상이 효과적으로 방지될 수 있다. 상기 발광 소자(130)에 의한 단차는 상기 제 2 봉지층(142)에 의해 제거될 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(110)과 대향하는 상기 봉지 부재(140)의 상부면은 상기 소자 기판(110)의 표면과 평행할 수 있다.
상기 봉지 부재(140) 상에는 터치 구조물들(310, 320)이 위치할 수 있다. 상기 터치 구조물들(310, 320)은 사용자 또는 도구의 터치를 감지할 수 있다. 예를 들어, 각 터치 구조물(310, 320)은 터치 전극들(311, 321) 및 브릿지 전극들(312, 322)을 포함할 수 있다. 각 브릿지 전극(312, 322)은 인접한 터치 전극들(311, 321) 사이를 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 봉지 부재(140)와 상기 터치 구조물들(310, 320) 사이에는 터치 버퍼막(200)이 위치할 수 있다. 상기 터치 버퍼막(200)은 상기 터치 구조물들(310, 320)의 형성 공정에 의한 상기 발광 소자들(130) 및 상기 봉지 부재(140)의 손상을 방지할 수 있다. 상기 터치 버퍼막(200)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 버퍼막(200)은 실리콘 질화물(SiN) 및/또는 실리콘 산화물(SiO)을 포함할 수 있다.
상기 터치 전극들(311, 321)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 터치 전극들(311, 321)은 상대적으로 저항이 낮은 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 전극들(311, 321)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다.
상기 브릿지 전극들(312, 322)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 상대적으로 저항이 낮은 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 및 구리(Cu)와 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 상기 터치 전극들(311, 321)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 터치 전극들(311, 321) 및 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 상기 발광 소자(130)의 외측에 위치할 수 있다. 상기 터치 전극들(311, 321) 및 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 상기 발광 소자(130)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 전극들(311, 321) 및 상기 브릿지 전극들(312, 322)은 상기 뱅크 절연막(113)과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 발광 소자들(130)로부터 상기 소자 기판(110)의 표면에 수직한 방향으로 방출된 빛이 상기 터치 전극들(311, 321) 및 상기 브릿지 전극들(312, 322)에 의해 차단되지 않을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 각 화소 영역(PA)의 상기 발광 소자(130)로부터 인접한 화소 영역(PA) 방향으로 방출된 빛이 상기 터치 전극들(311, 321) 및 상기 브릿지 전극들(312, 322)에 의해 차단될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 인접 화소 영역(PA)에서 방출된 빛의 섞임에 의한 이미지의 품질 저하가 방지될 수 있다.
상기 터치 구조물들(310, 320)은 제 1 터치 구조물들(310) 및 제 2 터치 구조물들(320)로 구성될 수 있다. 각 제 1 터치 구조물(310)은 제 1 터치 전극들(311) 및 적어도 하나의 제 1 브릿지 전극(312)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 터치 전극들(311)은 상기 제 1 브릿지 전극(312)에 의해 제 1 방향으로 연결될 수 있다. 각 제 2 터치 구조물(320)은 제 2 터치 전극들(321) 및 적어도 하나의 제 2 브릿지 전극(322)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 터치 전극들(321)은 상기 제 2 브릿지 전극(322)에 의해 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 연결될 수 있다. 상기 제 2 터치 전극들(321)은 상기 제 1 터치 전극들(311)과 나란히 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 터치 전극들(321)은 상기 제 1 터치 전극들(311)과 동일한 층 상에 위치할 수 있다. 상기 제 2 브릿지 전극(322)은 상기 제 1 브릿지 전극(312)과 교차할 수 있다. 상기 제 2 브릿지 전극(322)은 상기 제 1 브릿지 전극(312)과 절연될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 브릿지 전극(322)은 상기 제 1 브릿지 전극(312)과 다른 층 상에 위치할 수 있다.
상기 제 1 브릿지 전극(312)과 상기 제 2 브릿지 전극(322) 사이에는 터치 절연막(340)이 위치할 수 있다. 상기 터치 절연막(340)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 절연막(340)은 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함할 수 있다. 상기 제 2 브릿지 전극(322)은 상기 터치 버퍼막(200)과 상기 터치 절연막(340) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 터치 전극들(321)은 상기 터치 절연막(340) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 브릿지 전극(312)은 상기 제 2 터치 전극들(321)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 브릿지 전극(322)은 상기 제 1 브릿지 전극(312)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 터치 절연막(340)은 상기 제 2 브릿지 전극(322)의 일부 영역을 노출하는 터치 컨택홀들을 포함할 수 있다. 상기 제 2 터치 전극들(321)은 상기 터치 컨택홀을 통해 상기 제 2 브릿지 전극(322)과 연결될 수 있다.
상기 터치 절연막(340) 상에는 상기 제 1 터치 전극들(311), 상기 제 2 터치 전극들(321) 및 상기 제 1 브릿지 전극(312)을 덮는 터치 커버층들(360)이 위치할 수 있다. 각 터치 커버층(360)은 상기 제 1 터치 전극들(311), 상기 제 2 터치 전극들(321) 및 상기 제 1 브릿지 전극(312) 중 하나를 덮을 수 있다. 예를 들어, 각 제 1 터치 전극(311)의 측면은 상기 터치 커버층들(360) 중 하나와 직접 접촉할 수 있다. 상기 터치 커버층(360)은 상기 제 1 터치 전극들(311), 상기 제 2 터치 전극들(321) 및 상기 제 1 브릿지 전극(312)과 비교하여 상대적으로 높은 내식성(corrosion resistance)을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 커버층(360)은 티타늄(Ti)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 후속 공정에 의한 상기 제 1 터치 전극들(311), 상기 제 2 터치 전극들(321) 및 상기 제 1 브릿지 전극(312)의 손상이 방지될 수 있다.
상기 터치 구조물들(310, 320) 상에는 블랙 매트릭스(410)가 위치할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 발광 소자(130)의 외측에 위치할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 터치 구조물들(310, 320)과 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 화소 영역들(PA) 사이에 위치할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 뱅크 절연막(113)과 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 구조물들(310, 320)은 상기 터치 버퍼막(200)과 상기 블랙 매트릭스(410) 사이에 위치할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 터치 구조물들(310, 320)을 덮을 수 있다.
상기 블랙 매트릭스(410) 사이에는 컬러 필터들(420)이 위치할 수 있다. 각 컬러 필터(420)는 상기 발광 소자들(130) 중 하나와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 컬러 필터들(420)은 상기 화소 영역들(PA)과 중첩할 수 있다. 각 컬러 필터(420)는 해당 발광 소자(130)와 동일한 색을 구현할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 각 화소 영역(PA)에 의해 구현되는 색의 순도가 향상될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410) 및 상기 컬러 필터들(420) 상에는 커버 보호막(500) 및 커버 기판(600)이 순서대로 적층될 수 있다.
상기 봉지 부재(140)는 상기 소자 기판(110)의 상기 비표시 영역(NA) 상으로 연장할 수 있다. 상기 소자 기판(110)의 상기 비표시 영역(NA) 상에는 패드들(104, 304)이 위치할 수 있다. 상기 패드들(104, 304)은 상기 봉지 부재(140)와 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 패드들(104, 304)은 상기 봉지 부재(140)의 외측에 위치할 수 있다. 상기 봉지 부재(140)와 상기 패드들(104, 304) 사이에는 적어도 하나의 댐(106)이 위치할 수 있다. 상기 댐(106)은 상대적으로 높은 유동성을 갖는 상기 제 2 봉지층(142)의 흐름을 차단할 수 있다. 예를 들어, 상기 댐(106)은 상기 제 2 봉지층(142)에 의해 덮이는 영역을 정의할 수 있다. 상기 댐(106)은 상기 소자 기판(110)의 가장 자리를 따라 연장할 수 있다. 상기 댐(106)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 상기 댐(106)은 상기 소자 기판(110)과 상기 발광 소자들(130) 사이에 형성되는 절연막들 중 하나와 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 댐(106)은 상기 오버 코트층(112)과 동시에 형성될 수 있다.
상기 패드들(104, 304)은 표시 패드들(104) 및 터치 패드들(304)로 구성될 수 있다. 각 표시 패드(104)는 상기 신호 배선들(GL, DL, VDD) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 표시 패드들(104)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 표시 패드들(104)은 상기 구동 회로를 구성하는 전극들 중 하나와 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 표시 패드(104)는 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 소스 전극(125) 및 상기 드레인 전극(126)과 동시에 형성될 수 있다.
각 터치 패드(304)는 상기 터치 구조물들(310, 320) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 각 터치 구조물(310, 320)은 상기 봉지 부재(140)의 표면을 따라 연장하는 터치 라우팅 라인들(330) 중 하나를 통해 해당 터치 패드(304)와 전기적으로 연결될 수 있다. 각 터치 라우팅 라인(330)은 다중층 구조일 수 있다. 예를 들어, 상기 각 터치 라우팅 라인(330)는 하부 라우팅 라극층(331), 상부 라우팅 전극층(332) 및 라우팅 커버층(333)을 포함할 수 있다.
상기 하부 라우팅 전극층(331)은 상기 제 2 브릿지 전극(322)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 라우팅 전극층(331)은 상기 터치 버퍼막(200)과 상기 터치 절연막(340) 사이에 위치할 수 있다. 상기 상부 라우팅 전극층(332)은 상기 제 2 터치 전극들(321)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 라우팅 전극층(332)은 상기 터치 절연막(340) 상에 위치할 수 있다. 상기 상부 라우팅 전극층(332)은 상기 하부 라우팅 전극층(331)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 절연막(340)은 상기 하부 라우팅 전극층(331)을 부분적으로 노출하는 적어도 하나의 라우팅 컨택홀(340h)을 포함할 수 있다. 상기 상부 라우팅 전극층(332)은 상기 라우팅 컨택홀(340h) 내에서 상기 하부 라우팅 전극층(331)과 직접 접촉할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 외부 충격에 의한 상기 터치 라우팅 라인들(330)의 단선이 방지될 수 있다.
상기 라우팅 커버층(333)은 상기 상부 라우팅 전극층(332) 상에 위치할 수 있다. 상기 라우팅 커버층(333)은 상기 상부 라우팅 전극층(332)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 라우팅 전극층(332)은 상기 라우팅 커버층(333)에 의해 덮일 수 있다. 상기 라우팅 커버층(333)은 상기 터치 커버층(360)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 라우팅 커버층(333)은 티타늄(Ti)과 같은 상대적으로 내식성(corrosion resistance)이 높은 금속을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 후속 공정에 의한 상기 터치 라우팅 라인들(330)의 손상이 방지될 수 있다.
각 터치 패드(304)는 다중층 구조일 수 있다. 예를 들어, 각 터치 패드(304)는 패드 전극층(304p) 및 패드 커버층(304t)의 적층 구조일 수 있다. 상기 패드 전극층(304p)은 상기 터치 구조물(310, 320)과 동시에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 전극층(304p)은 상기 제 2 터치 전극들(321)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 패드 전극층(304p)은 상기 상부 라우팅 전극층(332)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 패드 커버층(304t)은 상기 패드 전극층(304p) 상에 위치할 수 있다. 상기 패드 커버층(304t)은 상기 패드 전극층(304p)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 전극층(304p)은 상기 패드 커버층(304t)에 의해 덮일 수 있다. 상기 패드 커버층(304t)은 상대적으로 내식성(corrosion resistance)이 높은 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 커버층(304t)은 티타늄(Ti)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 패드 커버층(304t)은 상기 라우팅 커버층(333)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 후속 공정에 의한 상기 패드 전극층(304p)의 손상이 방지될 수 있다.
상기 터치 라우팅 라인들(330)과 상기 패드들(104, 304) 사이에는 벤딩 영역(BA)이 위치할 수 있다. 상기 벤딩 영역(BA) 상에는 연결 라인들(112) 및 크랙 방지층(108)이 적층될 수 있다. 각 연결 라인(112)은 상기 벤딩 영역(BA)을 가로지를 수 있다. 예를 들어, 각 터치 라우팅 라인(330)은 상기 연결 라인들(112) 중 하나를 통해 해당 터치 패드(304)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 크랙 방지층(108)은 각 연결 라인(112)의 양측 단부를 노출할 수 있다. 상기 터치 라우팅 라인들(330) 및 상기 터치 패드들(304)은 상기 크랙 방지층(108)에 의해 노출된 상기 연결 라인들(112)의 단부를 통해 서로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 라우팅 라인들(330) 및 상기 터치 패드들(304)은 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 단부를 포함할 수 있다. 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 각 터치 라우팅 라인(330)의 단부는 해당 터치 라우팅 라인(330)의 상기 라우팅 커버층(333)에 의해 덮일 수 있다. 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 각 터치 패드(304)의 단부는 해당 터치 패드(304)의 상기 패드 커버층(304t)에 의해 덮일 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 연결 라인들(330)을 통해 전기적으로 연결되는 상기 터치 라우팅 라인들(330) 및 상기 터치 패드들(304)이 후속 공정에 의해 손상되지 않을 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 패드 전극층(304p)가 단일층인 것으로 설명된다. 그러나, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 다중층 구조의 패드 전극층(304p)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 패드 전극층(304p)이 제 1 패드층(304a), 제 2 패드층(304b) 및 제 3 패드층(304c)의 적층 구조일 수 있다. 상기 패드 전극층(304p)의 단부 측면(EA)은 패드 커버층(304t)에 의해 덮일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 패드층(304a)의 단부 측면, 상기 제 2 패드층(304b)의 단부 측면 및 상기 제 3 패드층(304c)의 단부 측면은 상기 패드 커버층(304t)과 접촉할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 제 1 패드층(304a)의 물질, 상기 제 2 패드층(304b)의 물질 및/또는 상기 제 3 패드층(304c)의 물질이 후속 공정과 무관하게 선택될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 패드 전극층(304p)의 적층 구조 및 물질에 대한 자유도가 향상될 수 있다.
도 5a 내지 5f는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
도 1 내지 3 및 5a 내지 5f를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명한다. 먼저, 도 2 및 5a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 소자 기판(110) 상에 제 2 박막 트랜지스터(T2)를 포함하는 구동 회로들 및 각 구동 회로와 전기적으로 연결되는 발광 소자들(130)을 형성하는 단계, 상기 발광 소자들(130)을 덮는 봉지 부재(140)를 형성하는 단계, 상기 봉지 부재(140)의 외측에 연결 라인들(112)을 형성하는 단계, 상기 연결 라인들(112) 상에 크랙 방지층(108)을 형성하는 단계, 상기 봉지 부재(140) 상에 터치 버퍼막(200)을 형성하는 단계 및 상기 터치 버퍼막(200) 상에 적어도 하나의 제 2 브릿지 전극(322) 및 하부 라우팅 전극층들(331)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 봉지 부재(140)를 형성하는 단계는 표시 영역(AA)을 둘러싸는 적어도 하나의 댐(106)을 형성하는 단계, 상기 댐(106)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 제 1 봉지층(141), 제 2 봉지층(142) 및 제 3 봉지층(143)을 순서대로 적층하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 터치 버퍼막(200)을 형성하는 단계는 각 연결 라인(112)의 가장 자리를 상기 터치 버퍼막(200)으로 덮는 단계를 포함할 수 있다. 상기 터치 버퍼막(200)은 상기 크랙 방지층(108)과 이격될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법에서는 후속 공정을 통해 각 연결 라인(112)이 해당 터치 라우팅 라인(330) 및 해당 터치 패드(304)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 크랙 방지층(108)은 벤딩 영역(BA)과 중첩하도록 형성될 수 있다.
도 2 및 5b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 제 2 브릿지 전극(322) 및 상기 하부 라우팅 전극층들(331)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 터치 절연막(340)을 형성하는 단계 및 상기 터치 절연막(340)을 부분 식각하여 상기 제 2 브릿지 전극(322)의 일부 영역, 각 하부 라우팅 전극층(331)의 일부 영역 및 각 연결 라인(112)의 일부 영역을 노출하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제 2 브릿지 전극(322)의 일부 영역을 노출하는 단계는 상기 제 2 브릿지 전극(322)의 대향하는 두 단부를 부분적으로 노출하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 하부 라우팅 전극층(331)의 일부 영역을 노출하는 단계는 상기 터치 절연막(340)에 적어도 하나의 라우팅 컨택홀(340h)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 연결 라인(112)의 일부 영역을 노출하는 단계는 상기 터치 버퍼막(200) 상에 상기 터치 절연막(340)의 단부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
도 2 및 5c를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 터치 절연막(340) 상에 제 1 터치 전극들(311), 제 2 터치 전극들(321), 제 1 브릿지 전극(312), 상부 라우팅 전극층들(332) 및 패드 전극층들(304p)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제 2 터치 전극들(321)을 형성하는 단계는 상기 터치 절연막(340)에 의해 노출된 상기 제 2 브릿지 전극(322)의 일부 영역을 통해 각 제 2 터치 전극(321)을 해당 제 2 브릿지 전극(322)과 연결하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 상부 라우팅 전극층(332)을 형성하는 단계는 상기 라우팅 컨택홀(340h)을 통해 각 상부 라우팅 전극층(332)을 해당 하부 라우팅 전극층(331)과 전기적으로 연결하는 단계 및 각 상부 라우팅 전극층(332)을 해당 연결 라인(112)과 연결하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 패드 전극층들(304p)을 형성하는 단계는 각 패드 전극층(304p)을 해당 연결 라인(112)과 연결하는 단계를 포함할 수 있다. 각 상부 라우팅 전극층(332)의 단부 및 각 패드 전극층(304p)의 단부는 상기 크랙 방지층(108) 상에 형성될 수 있다.
도 2 및 5d를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 각 제 1 터치 전극(311), 상기 제 1 브릿지 전극(312), 각 제 2 터치 전극층(321)을 덮는 터치 커버층들(360), 각 상부 라우팅 전극층(332)을 덮는 라우팅 커버층들(333) 및 각 패드 전극층(304p)을 덮는 패드 커버층들(304t)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
각 터치 커버층(360)은 해당 제 1 터치 전극(311)의 측면, 상기 제 1 브릿지 전극(312)의 측면 또는 해당 제 2 터치 전극(321)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 터치 전극들(311), 상기 제 1 브릿지 전극(312) 및 상기 제 2 터치 전극들(321)은 각각 해당 터치 커버층(360)에 의해 덮인 측면을 포함할 수 있다.
각 라우팅 커버층(333)은 해당 상부 라우팅 전극층(332)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 각 상부 라우팅 전극층(332)의 단부는 해당 라우팅 커버층(333)에 의해 덮일 수 있다. 각 하부 라우팅 전극층(331), 각 상부 라우팅 전극층(332) 및 각 라우팅 커버층(333)은 터치 라우팅 라인(330)을 구성할 수 있다.
각 패드 커버층(304t)은 해당 패드 전극층(304p)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 각 패드 전극층(304p)의 단부는 해당 패드 커버층(304t)에 의해 덮일 수 있다. 각 패드 전극층(304p) 및 각 패드 커버층(304t)은 터치 패드(304)를 구성할 수 있다.
도 2 및 5e를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 터치 커버층들(360), 상기 라우팅 커버층들(333) 및 상기 패드 커버층들(304t)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 블랙 매트릭스(410)를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 블랙 매트릭스(410)는 뱅크 절연막(113)과 중첩할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(410)는 상기 크랙 방지층(108)을 노출할 수 있다. 예를 들어, 상기 크랙 방지층(108) 상에 위치하는 각 터치 라우팅 라인(330)의 단부 및 각 터치 패드(304)의 단부는 상기 블랙 매트릭스(410)에 의해 노출될 수 있다.
상기 블랙 매트릭스(410)를 형성하는 단계는 상기 터치 커버층들(360), 상기 라우팅 커버층들(333) 및 상기 패드 커버층들(304t)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 블랙 매트릭스(410)의 형성을 위한 염료층을 형성하는 단계 및 상기 염료층을 패터닝하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 염료층의 패터닝 공정은 습식 식각 공정일 수 있다. 예를 들어, 상기 블랙 매트릭스(410)에 의해 노출되는 각 터치 라우팅 라인(330)의 단부 및 각 터치 패드(304)의 단부는 상기 습식 식각 공정에 사용되는 식각액에 노출될 수 있다.
각 터치 라우팅 라인(330)의 상기 라우팅 커버층(333) 및 각 터치 패드(304)의 상기 패드 커버층(304t)은 상기 블랙 매트릭스(410)와 식각 선택비를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 라우팅 커버층(333) 및 상기 패드 커버층(304t)은 상기 블랙 매트릭스(410)의 식각 공정에 사용되는 식각액과 반응하지 않는 물질로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법에서는 상부 라우팅 전극층들(332) 및 상기 패드 전극층들(304p)이 후속 공정인 상기 블랙 매트릭스(410)의 식각 공정에 의해 손상되지 않을 수 있다.
도 2 및 5f를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 블랙 매트릭스(410) 사이에 컬러 필터들(420)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 컬러 필터들(420)을 형성하는 단계는 상기 블랙 매트릭스(410)가 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 상기 컬러 필터들(420)의 형성을 위한 염료층을 형성하는 단계 및 상기 염료층을 패터닝하는 공정을 포함할 수 있다. 각 터치 라우팅 라인(330)의 상기 라우팅 커버층(333) 및 각 터치 패드(304)의 상기 패드 커버층(304t)은 각각 상기 컬러 필터들(420)과 식각 선택비를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 라우팅 커버층(333) 및 상기 패드 커버층(304t)은 상기 컬러 필터들(420)의 식각 공정에 사용되는 식각액과 반응하지 않는 물질로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법에서는 상부 라우팅 전극층들(332) 및 상기 패드 전극층들(304p)이 후속 공정인 상기 컬러 필터들(420)의 식각 공정에 의해 손상되지 않을 수 있다.
도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 블랙 매트릭스(410) 및 상기 컬러 필터들(420)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 윈도우 보호막(500) 및 윈도우 커버(600)를 순서대로 적층하는 단계를 포함할 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법은 각 상부 라우팅 전극층(332)의 측면을 덮는 라우팅 커버층(333) 및 각 패드 전극층(304p)의 측면을 덮는 패드 커버층(304t)을 형성하여, 봉지 부재(140) 상에 블랙 매트릭스(410) 및/또는 컬러 필터(420)를 형성하기 위한 식각 공정에 의한 상기 상부 라우팅 전극층들(332) 및 상기 패드 전극층들(304p)의 손상을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법에서는 터치 패드들(304)을 통해 전달되는 신호의 신뢰성이 향상될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 봉지 부재(140) 상에 터치 구조물들(310, 320)이 위치하고, 터치 패드(304)가 패드 전극층(304p) 및 패드 커버층(304t)의 적층 구조인 것으로 설명된다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치는 블랙 매트릭스(410) 및/또는 컬러 필터들(420)이 봉지 부재(140)와 직접 접촉할 수 있다. 상기 봉지 부재(140)의 외측에는 표시 패드(115)가 위치할 수 있다. 상기 표시 패드(115)는 크랙 방지층(108)과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 표시 패드(115)는 층간 절연막(124)과 상기 크랙 방지층(108) 사이로 연장할 수 있다.
상기 표시 패드(115)는 패드 도전층(115a) 및 패드 커버층(115b)을 포함할 수 있다. 상기 패드 커버층(115b)은 상기 패드 도전층(115a)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 커버층(115b)은 상기 크랙 방지층(108)에 의해 노출된 상기 패드 도전층(115a)의 단부를 덮을 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 블랙 매트릭스(410)의 형성 공정 및/또는 상기 컬러 터들(420)의 형성 공정에 의한 상기 표시 패드(115)의 손상이 방지될 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 커버층(115b)은 상기 블랙 매트릭스(410) 및 상기 컬러 필터들(420)과 각각 다른 식각 선택비를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 크랙 방지층(108)에 의해 노출된 상기 패드 도전층(115a)의 단부는 상기 블랙 매트릭스(410)의 형성 공정 및 상기 컬러 필터들(420)의 형성 공정에 의해 손상되지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치에서는 상기 표시 패드(115)를 통한 외부 신호의 전달이 효과적으로 수행될 수 있다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 순서대로 나타낸 도면들이다.
도 6, 7a 및 7b를 참조하여 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명한다. 먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 소자 기판(110) 상에 제 2 박막 트랜지스터(T2)를 형성하는 단계 및 상기 소자 기판(110) 상에 패드 전극층(115a)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
도 7b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2) 및 상기 패드 전극층(115a)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 제 1 전극 커버층(161), 제 2 전극 커버층(162) 및 패드 커버층(115b)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제 1 전극 커버층(161), 상기 제 2 전극 커버층(162) 및 상기 패드 커버층(115b)을 형성하는 단계는 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2) 및 상기 패드 전극층(115a)이 형성된 상기 소자 기판(110) 상에 커버 전극 물질층을 형성하고, 상기 커버 전극 물질층을 패터닝하는 공정을 포함할 수 있다. 상기 제 1 전극 커버층(161)은 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 소스 전극(125)을 덮을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 전극 커버층(161)은 상기 소스 전극(125)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 상기 제 2 전극 커버층(162)은 상기 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 상기 소스 전극(126)을 덮을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 전극 커버층(162)은 상기 드레인 전극(126)의 측면 상으로 연장할 수 있다. 상기 패드 커버층(115b)은 상기 패드 전극층(115a)을 덮을 수 있다. 예를 들어, 상기 패드 커버층(115b)은 상기 패드 전극층(115a)의 측면 상으로 연장할 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법에서는 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극(125) 및 드레인 전극(126)과 동시에 패드 전극층(115a)을 형성하고, 상기 패드 전극층(115a)을 덮는 패드 커버층(115b)과 동시에 상기 소스 전극(125)을 덮는 제 1 전극 커버층(161) 및 상기 드레인 전극(126)을 덮는 제 2 전극 커버층(162)을 형성함으로써, 후속되는 식각 공정에 의한 상기 패드 전극층(115a), 상기 소스 전극(125) 및 상기 드레인 전극(126)의 손상이 방지될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법에서는 구동 회로의 신뢰성이 향상되고, 패드의 후속 공정에 대한 자유도가 향상될 수 있다.
110: 소자 기판 130: 발광 소자
140: 봉지 부재 200: 터치 버퍼막
304: 터치 패드 304p: 패드 전극층
304t: 패드 커버층 310: 제 1 터치 구조물
320: 제 2 터치 구조물 330: 터치 라우팅 라인
333: 라우팅 커버층
140: 봉지 부재 200: 터치 버퍼막
304: 터치 패드 304p: 패드 전극층
304t: 패드 커버층 310: 제 1 터치 구조물
320: 제 2 터치 구조물 330: 터치 라우팅 라인
333: 라우팅 커버층
Claims (15)
- 표시 영역 및 비표시 영역을 포함하는 소자 기판;
상기 소자 기판의 상기 표시 영역 상에 위치하는 발광 소자;
상기 소자 기판의 상기 비표시 영역 상에 위치하고, 패드 전극층과 패드 커버층의 적층 구조를 갖는 터치 패드;
상기 발광 소자를 덮으며, 상기 터치 패드와 이격되는 봉지 부재;
상기 봉지 부재 상에 위치하고, 상기 발광 소자의 외측에 위치하는 터치 전극들 및 브릿지 전극들을 포함하는 터치 구조물;
상기 터치 구조물 상에 위치하고, 상기 터치 전극들 및 상기 브릿지 전극들 중 적어도 일부를 덮는 터치 커버층들;
상기 봉지 부재의 표면을 따라 연장하여 상기 터치 구조물을 상기 터치 패드와 전기적으로 연결하고, 상부 라우팅 전극층과 라우팅 커버층의 적층 구조를 갖는 터치 라우팅 라인; 및
상기 터치 구조물 상에 위치하고, 상기 터치 전극들, 상기 브릿지 전극들 및 상기 터치 라우팅 라인의 일부 영역을 덮으며, 상기 터치 커버층들 및 상기 라우팅 커버층의 일부 영역과 접촉하는 블랙 매트릭스; 및
상기 블랙 매트릭스와 동일층 상에 나란히 위치하고, 상기 발광 소자와 중첩하는 컬러 필터를 포함하되,
상기 패드 커버층은 상기 패드 전극층의 측면 상으로 연장하고,
상기 상부 라우팅 전극층의 측면은 상기 라우팅 커버층에 의해 덮이며,
상기 패드 커버층 및 상기 라우팅 커버층은 상기 블랙 매트릭스 및 상기 컬러 필터와 식각 선택비를 갖는 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 패드 전극층의 측면은 상기 패드 커버층과 직접 접촉하고,
상기 상부 라우팅 전극층의 측면은 상기 라우팅 커버층과 직접 접촉하는 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 소자 기판과 상기 봉지 부재 사이에 위치하는 뱅크 절연막을 더 포함하되,
상기 발광 소자는 상기 뱅크 절연막에 의해 가장 자리가 덮이는 제 1 발광 전극, 상기 뱅크 절연막에 의해 노출된 상기 제 1 발광 전극의 일부 영역 상에 위치하는 발광층 및 상기 발광층 상에 위치하는 제 2 발광 전극을 포함하고,
상기 터치 전극들 및 상기 브릿지 전극들은 상기 뱅크 절연막과 중첩하는 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 패드 커버층은 티타늄(Ti)을 포함하는 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 봉지 부재 상에 위치하는 터치 절연막을 더 포함하되,
상기 터치 전극들은 상기 터치 절연막 상에 위치하는 제 1 터치 전극들 및 상기 제 1 터치 전극들 사이에 위치하는 제 2 터치 전극들을 포함하고,
상기 브릿지 전극들은 상기 제 1 터치 전극들을 제 1 방향으로 연결하는 적어도 하나의 제 1 브릿지 전극 및 상기 제 2 터치 전극들을 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 연결하는 적어도 하나의 제 2 브릿지 전극을 포함하고,
상기 제 2 브릿지 전극은 상기 봉지 부재와 상기 터치 절연막 사이에 위치하며,
상기 제 1 브릿지 전극은 상기 제 1 터치 전극들 및 상기 제 2 터치 전극들과 동일한 층 상에 위치하는 디스플레이 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 터치 라우팅 라인은 상기 터치 절연막의 라우팅 컨택홀에 의해 부분적으로 노출되는 하부 라우팅 전극층을 더 포함하되,
상기 상부 라우팅 전극층은 상기 라우팅 컨택홀을 통해 상기 하부 라우팅 전극층과 전기적으로 연결되는 디스플레이 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 패드 전극층 및 상기 상부 라우팅 전극층은 상기 제 1 브릿지 전극과 동일한 물질을 포함하고,
상기 하부 라우팅 전극층은 상기 제 2 브릿지 전극과 동일한 물질을 포함하는 디스플레이 장치. - 제 5 항에 있어서,
각 터치 커버층은 상기 제 1 터치 전극들, 상기 제 1 브릿지 전극 및 상기 제 2 터치 전극들 중 하나의 측면 상으로 연장하는 디스플레이 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 터치 커버층은 상기 패드 커버층 및 상기 라우팅 커버층과 동일한 물질을 포함하는 디스플레이 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 터치 전극들, 상기 제 1 브릿지 전극 및 상기 제 2 터치 전극들은 해당 터치 커버층과 접촉하는 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 봉지 부재와 상기 터치 구조물 사이에 위치하는 터치 버퍼막을 더 포함하되,
상기 터치 버퍼막은 상기 봉지 부재의 표면을 따라 연장하고,
상기 터치 라우팅 라인은 상기 터치 버퍼막 상에 위치하는 디스플레이 장치. - 제 11 항에 있어서,
상기 패드 전극층은 다중층 구조를 갖는 디스플레이 장치. - 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 소자 기판의 상기 비표시 영역 내에 위치하는 벤딩 영역을 가로지르는 연결 라인; 및
상기 연결 라인 상에 위치하고, 상기 벤딩 영역과 중첩하는 크랙 방지층을 더 포함하되,
상기 터치 라우팅 라인은 상기 연결 라인을 통해 상기 터치 패드와 연결되고,
상기 터치 라우팅 라인 및 상기 터치 패드는 상기 크랙 방지층 상에 위치하는 단부를 포함하는 디스플레이 장치.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190180181A KR102541943B1 (ko) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 |
US17/119,284 US11894506B2 (en) | 2019-12-31 | 2020-12-11 | Display apparatus having a pad spaced away from an encapsulating element and a black matrix on the encapsulating element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190180181A KR102541943B1 (ko) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210086340A KR20210086340A (ko) | 2021-07-08 |
KR102541943B1 true KR102541943B1 (ko) | 2023-06-09 |
Family
ID=76546716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190180181A KR102541943B1 (ko) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11894506B2 (ko) |
KR (1) | KR102541943B1 (ko) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11846965B2 (en) * | 2020-12-31 | 2023-12-19 | Lg Display Co., Ltd. | Touch display apparatus and method of manufacturing the same |
KR20220166400A (ko) * | 2021-06-09 | 2022-12-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
WO2024130659A1 (zh) * | 2022-12-22 | 2024-06-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种触控基板、触控显示面板及触控显示装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150063220A (ko) | 2013-11-29 | 2015-06-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
EP2966705B1 (en) * | 2014-07-11 | 2018-09-19 | LG Display Co., Ltd. | Organic light-emitting diode display device and method of fabricating the same |
KR102653947B1 (ko) * | 2014-07-11 | 2024-04-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 그 제조방법 |
KR20160033571A (ko) * | 2014-09-17 | 2016-03-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법 |
KR102664048B1 (ko) | 2016-08-30 | 2024-05-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR101834792B1 (ko) * | 2016-08-31 | 2018-03-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR102089340B1 (ko) * | 2016-08-31 | 2020-03-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR20180070218A (ko) * | 2016-12-16 | 2018-06-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR102330864B1 (ko) * | 2017-05-12 | 2021-11-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR102330863B1 (ko) * | 2017-05-12 | 2021-11-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR102333396B1 (ko) * | 2017-06-01 | 2021-11-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 디스플레이 장치 및 터치 디스플레이 패널 |
KR20190023866A (ko) * | 2017-08-30 | 2019-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
KR102482494B1 (ko) * | 2017-12-22 | 2022-12-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 |
KR102507830B1 (ko) * | 2017-12-29 | 2023-03-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
KR102570978B1 (ko) * | 2018-04-18 | 2023-08-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 |
-
2019
- 2019-12-31 KR KR1020190180181A patent/KR102541943B1/ko active IP Right Grant
-
2020
- 2020-12-11 US US17/119,284 patent/US11894506B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210202812A1 (en) | 2021-07-01 |
US11894506B2 (en) | 2024-02-06 |
KR20210086340A (ko) | 2021-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102541943B1 (ko) | 봉지 부재와 이격된 패드를 포함하는 디스플레이 장치 | |
US12114548B2 (en) | Display apparatus having a connecting electrode which crosses a bending area | |
TWI755961B (zh) | 具有發光裝置及觸控結構的觸控顯示設備 | |
KR20210001676A (ko) | 봉지 부재 상에 위치하는 터치 전극을 포함하는 디스플레이 장치 | |
CN112310117B (zh) | 具有基板孔的显示设备 | |
JP7289903B2 (ja) | 透明タッチディスプレイ装置 | |
KR20220096764A (ko) | 터치 디스플레이 장치 | |
CN113130579A (zh) | 具有基板孔的显示设备及其形成方法 | |
JP7324830B2 (ja) | タッチディスプレイ装置 | |
US20220149319A1 (en) | Display Apparatus Having a Light-Emitting Device and a Touch Electrode | |
CN113130555B (zh) | 具有基板孔的显示设备 | |
JP6831438B2 (ja) | カラーフィルター及び遮光部材を含むディスプレイ装置 | |
KR102634180B1 (ko) | 오버 코트층 상에 위치하는 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법 | |
KR102555412B1 (ko) | 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20220087826A (ko) | 협시야각을 구현하는 디스플레이 장치 | |
KR20220075611A (ko) | 발광 소자 및 뱅크 절연막을 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20210086344A (ko) | 금속 산화물로 이루어진 반도체 패턴을 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20210086345A (ko) | 산화물 반도체 패턴을 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR102598753B1 (ko) | 산화물 반도체 패턴을 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20210086472A (ko) | 벤딩 영역을 가로지르는 연결 전극을 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20240112377A (ko) | 스토리지 커패시터 및 박막 트랜지스터를 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20220071515A (ko) | 구동 회로 및 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20230091546A (ko) | 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20230097420A (ko) | 화소 구동 회로 및 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 | |
KR20220049086A (ko) | 표시 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |