KR102459797B1 - 음향 저항체와, 그것을 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기 - Google Patents

음향 저항체와, 그것을 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기 Download PDF

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Abstract

본 개시의 음향 저항체는 음향 기기에 사용하는 음향 저항체이며, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하고, 당해 수지 필름은 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 필름이다. 이 음향 저항체는 소리와 전기 신호를 변환하는 음향자를 구비한 변환부와, 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고, 당해 개구에 통함과 함께 음향자가 배치된 기체의 경로가 하우징 내에 존재하는 음향 기기에 있어서, 상기 기체의 경로에 있어서의 당해 개구와 음향자 사이에 배치된다. 본 개시의 음향 저항체에 의하면, 종래의 음향 저항체보다도 변동을 작게 할 수 있다.

Description

음향 저항체와, 그것을 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기
본 발명은 음향 기기의 소리의 특성에 작용하는 음향 저항체와, 당해 음향 저항체를 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기에 관한 것이다.
마이크로폰, 스피커, 이어폰, 헤드폰 등의 음향 기기는 소리와 전기 신호를 서로 변환하는 변환부와, 변환부가 수용된 하우징을 구비하고 있다. 변환부는 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자, 예를 들어 진동판을 구비한다. 음향자는 일반적인 스피커와 같이 하우징의 외부에 노출되어 있어도 되고, 이어폰 및 마이크로폰과 같이 하우징의 내부에 수용되어 있어도 된다. 음향자가 하우징의 내부에 수용되어 있는 경우, 당해 하우징에는 음향자와 하우징의 외부 사이에서 소리를 전달하는 개구인 통음구가 마련된다.
음향 기기의 하우징에는 마련하지 않도록 의도적으로 설계한 경우를 제외하고, 통상, 통음구 이외의 개구가 마련된다. 음향자는 외부에 노출되어 있지만 하우징 자체가 밀폐되어 있는 경우, 혹은 음향자의 통음구측의 공간은 통음구를 통해 외부에 개방되어 있지만, 하우징 내에 위치하는 반대측의 공간이 밀폐되어 있는 경우, 음향자의 움직임에 수반하여 밀폐 공간측에 압력 변동이 발생한다. 이로 인해, 면밀한 설계를 행하지 않는 한, 압력 변동에 의해 음향자의 진동이 저해되어, 음향 기기의 소리 출력 특성 및/또는 입력 특성(이하, 간단히 「음향 기기의 특성」이라고도 함)이 저하된다. 압력 변동의 영향은 이어폰 등, 음향자에 대한 밀폐 공간측의 용적이 특히 작은 경우에 크다. 하우징에 통음구 이외의 개구를 마련함으로써 상기 밀폐가 해소되고, 음향자의 진동 특성, 즉 음향 기기의 특성을 향상시킬 수 있다.
음향 기기에서는, 또한, 통음구를 포함하는 하우징의 개구와 음향자 사이의 공기 경로에, 음향 저항체가 배치되는 경우가 있다. 음향 저항체는 통기성을 갖지만, 배치하지 않는 상태에 비하면 상기 경로에서의 공기의 움직임을 저해하는 통기 저항체이다. 음향 저항체의 배치에 의해, 상기 경로에서의 공기의 움직임을 제어할 수 있다. 소리는 공기의 진동이기 때문에, 음향자와 통음구 사이에 음향 저항체를 배치함으로써, 음향자로부터 출력되는 소리 및/또는 음향자에 입력되는 소리의 특성, 즉 음향 기기의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 통음구 이외의 개구와 음향자 사이에 음향 저항체를 배치함으로써, 음향자의 당해 개구측에 발생하는 공기의 움직임을 제어할 수 있고, 이에 의해, 음향자의 진동이 제어되고, 음향자로부터 출력되는 소리 및/또는 음향자에 입력되는 소리의 특성을 제어할 수 있다.
특허문헌 1 내지 3에는 음향 저항체를 배치한 음향 기기가 개시되어 있다. 이것들의 문헌에 개시되어 있는 음향 저항체는 스펀지 등의 다공질체, 부직포, 메쉬 등의 직포로 이루어진다.
일본 특허 공개 평8-205289호 공보 일본 특허 공개 제2004-200947호 공보 일본 특허 공개 제2006-50174호 공보
음향 저항체에는 그 변동, 예를 들어 통기성의 변동이 작은 것이 요구된다. 변동이 큰 경우, 음향 저항체를 배치한 음향 기기의 특성, 예를 들어 음압 특성이 부정이 된다. 이것은 변환부 및 하우징을 하나만 구비하는 음향 기기에 있어서도 제품간의 특성의 변동의 점에서 당연히 문제가 되지만, 특히, 이어폰 및 헤드폰 등, 좌측 및 우측의 복수의 유닛을 구비하는 음향 기기(각 유닛이 각각 변환부 및 하우징을 구비함)에 있어서 특히 문제가 된다. 유닛 사이에서 출력 특성, 예를 들어 음압 특성의 차가 커지면, 한 쌍의 유닛을 조합한 이어폰 및 헤드폰으로서 사용할 수 없기 때문이다.
본 발명의 목적의 하나는 종래의 음향 저항체보다도 변동을 작게 할 수 있는 음향 저항체와, 당해 음향 저항체를 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기의 제공을 목적으로 한다.
본 개시의 음향 저항체는, 음향 기기에 사용하는 음향 저항체이다. 상기 음향 기기는, 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와, 상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비한다. 상기 음향 기기에 있어서, 상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고, 상기 음향자는 상기 경로에 배치된다. 상기 음향 저항체는 상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치됨과 함께, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함한다. 상기 수지 필름은 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 필름이다.
본 개시의 음향 저항체 부재는, 상기 본 개시의 음향 저항체와, 당해 음향 저항체에 접합된 지지체를 구비한다.
본 개시의 음향 기기는, 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와, 상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고, 상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고, 상기 음향자는 상기 경로에 배치되고, 상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치된, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하는 음향 저항체를 더 구비한다. 상기 음향 저항체는, 상기 본 개시의 음향 저항체이다.
본 발명에 따르면, 종래의 음향 저항체보다도 변동을 작게 할 수 있는 음향 저항체와, 당해 음향 저항체를 구비하는 음향 저항체 부재 및 음향 기기가 달성된다.
도 1은 본 발명의 음향 저항체를 구비하는 음향 기기의 일례를 모식적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 음향 저항체의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 음향 저항체의 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 음향 저항체에 있어서 관통 구멍이 연장되는 방향의 당해 관통 구멍간의 관계의 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 음향 저항체에 있어서 관통 구멍이 연장되는 방향의 당해 관통 구멍간의 관계의 다른 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 음향 저항체에 있어서 관통 구멍이 연장되는 방향의 당해 관통 구멍간의 관계의 또 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 음향 저항체의 또 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 음향 저항체의 상기와는 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 음향 저항체의 상기와는 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 음향 저항체를 구성하는 수지 필름을 형성하는 방법이며, 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭을 사용하는 방법에 있어서의, 이온빔 조사의 개략을 설명하기 위한 모식도이다.
도 11은 본 발명의 음향 저항체를 구성하는 수지 필름을 형성하는 방법이며, 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭을 사용하는 방법에 있어서의, 이온빔 조사의 일례를 설명하기 위한 모식도이다.
도 12는 본 발명의 음향 저항체 부재의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 음향 저항체 부재의 다른 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 14는 실시예에 있어서 행한 음향 저항체의 통기성 변동률의 측정에 있어서, 샘플의 측정 포인트를 설명하기 위한 도면이다.
본 개시의 제1 형태는, 음향 기기에 사용하는 음향 저항체이며,
상기 음향 기기는: 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와; 상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고,
상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고, 상기 음향자는 상기 경로에 배치되고, 상기 음향 저항체는 상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치됨과 함께, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하고, 상기 수지 필름은 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 필름인 음향 저항체를 제공한다.
본 개시의 제2 형태는, 제1 형태에 더하여, 상기 관통 구멍의 직경이 3.0㎛ 이상 13.0㎛ 이하인 음향 저항체를 제공한다.
본 개시의 제3 형태는, 제1 또는 제2 형태에 더하여, 상기 경로의 단면을 덮도록 배치되는 음향 저항체를 제공한다.
본 개시의 제4 형태는, 제1 내지 제3의 어느 형태에 더하여, 발액층을 더 포함하는 음향 저항체를 제공한다.
본 개시의 제5 형태는, 제1 내지 제4의 어느 형태의 음향 저항체와, 상기 음향 저항체에 접합된 지지체를 구비하는 음향 저항체 부재를 제공한다.
본 개시의 제6 형태는, 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와, 상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고, 상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고, 상기 음향자는 상기 경로에 배치되고, 상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치된, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하는 음향 저항체를 더 구비하고, 상기 음향 저항체가, 제1 내지 제4의 어느 형태의 음향 저항체인 음향 기기를 제공한다.
본 개시의 제7 형태는, 제6 형태에 더하여, 상기 하우징에 2 이상의 상기 개구가 마련되어 있고, 상기 2 이상의 개구는 상기 음향자와 상기 하우징의 외부 사이에서 상기 소리를 전달하는 통음구를 포함하고, 적어도, 상기 통음구와는 다른 상기 개구에 통하는 상기 경로에, 상기 음향 저항체가 배치되어 있는 음향 기기를 제공한다.
본 개시의 제8 형태는, 제6 또는 제7 형태에 더하여, 상기 음향 기기가 이어폰, 이어폰 유닛, 헤드폰, 헤드폰 유닛, 헤드셋, 헤드셋 유닛, 수화기, 보청기 또는 웨어러블 단말기인 음향 기기를 제공한다.
[음향 저항체]
도 1에 본 발명의 음향 저항체를 구비하는 음향 기기의 일례를 도시한다. 도 1에 도시하는 음향 기기는 이어폰의 편측(우측 또는 좌측)을 구성하는 이어폰 유닛(1)이다. 이어폰 유닛(1)은 본 발명의 음향 기기의 일례이기도 하다.
이어폰 유닛(1)은 소리를 출력하는 음향자인 진동판(21)을 구비한 변환부(2)와, 프론트 하우징(3a) 및 리어 하우징(3b)을 구비한다. 변환부(2)는 유닛(1)의 하우징(3)으로서 일체화된 프론트 하우징(3a) 및 리어 하우징(3b) 사이에 수용되어 있다. 변환부(2)는 진동판(21), 마그네트(22) 및 프레임(23)을 구비하고, 이들은 일체화되어 있다. 진동판(21)은 원형의 필름이고, 도시되어 있는 면(표면)과는 반대측의 면(이면)에 원통상의 코일이 설치되어 있다. 마그네트(22)는 원판상이고, 변환부(2)가 일체화된 상태로, 진동판(21)의 이면에 설치된 코일의 개구부 및 링상의 프레임(23)의 개구부에 위치한다. 진동판(21)은 그 주연부가 프레임(23)에 접합되어 있고, 주연부를 제외한 부분(주부)은 코일의 움직임에 맞추어 자유롭게 진동할 수 있는 상태에 있다. 변환부(21)에 전기 신호(소리의 정보를 갖는 전기적인 신호; 소리 신호)가 공급되면, 당해 신호에 대응하는 전류가 코일에 흐르고, 당해 전류와 마그네트(22)의 전자적인 상호 작용에 의해, 소리 신호에 대응하는 물리적인 진동이 진동판(21)에 발생하고, 이 진동이 소리로서 진동판(21)으로부터 출력된다. 즉, 변환부(2)는 소리의 정보를 갖는 전기 신호와 소리를 변환하는 변환기(트랜스듀서)이다. 변환부(2)로의 전기 신호는 유닛(1)의 리어 하우징(3b)측에 접속된 케이블(4)로부터, 진동판(21)의 이면의 코일 링에 공급된다. 케이블(4)과 코일의 전기적인 접속은 도시를 생략한다.
유닛(1)의 하우징[3(3a, 3b)]은 개구를 갖는다. 개구의 1종은 프론트 하우징(3a)에 형성된 통음구(5)이다. 진동판(21)으로부터 출력된 소리는 진동판(21)의 표면으로부터 통음구(5)를 통해 유닛(1)의 외부로 전달된다. 개구의 다른 1종은 리어 하우징(3b)에 마련된 개구(6)이다. 리어 하우징(3b)에는 2개의 개구(6a, 6b)가 마련되어 있다.
유닛(1)의 하우징(3) 내에는 개구(6a, 6b)에 통하는 기체(일반적인 사용 환경 하라면 공기)의 경로(7)가 존재한다. 경로(7)는 각 개구(6a, 6b)로부터 프레임(23)에 형성된 개구(24)를 통해 진동판(21)의 이면에 이른다. 바꾸어 말하면, 음향자인 진동판(21)은 경로(7)의 말단[개구(6a, 6b)와는 반대측의 말단]에 배치되어 있다. 또한, 도 1에서는 이해하기 쉽게 하기 위해 직선적으로 경로(7)를 도시하고 있지만, 경로(7)가 기체의 경로인 이상, 하우징(3) 내에 있어서 개구(6a, 6b)로부터 기체가 연통되어 있는 부분은 경로(7)가 될 수 있다. 그리고, 유닛(1)에서는 음향 저항체(8)가, 경로(7)에 있어서의 개구(6a, 6b)와 진동판(21) 사이에 배치되어 있다. 보다 구체적으로, 프레임(23)의 각 개구(24)의 형상에 대응하는, 링의 일부인 형상을 갖는 음향 저항체(8)가, 각각의 개구(24)를 막도록 프레임(23)에 접합되어 있다. 도 1에 도시하는 유닛(1)에서는, 경로(7)는 반드시 음향 저항체(8)를 통과한다. 바꾸어 말하면, 유닛(1)에 있어서 음향 저항체(8)는 경로(7)의 단면을 덮도록 배치되어 있다.
음향 저항체(8)는 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름(81)으로 구성된다. 수지 필름(81)은 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 필름이다.
음향자로부터 개구(6)에 통하는 통기 경로(7)를 설치함으로써, 예를 들어 음향자인 진동판(21)의 움직임(진동)의 저해가 억제된다. 특히 이어폰 유닛(1)에서는 하우징(3) 내부의 용적, 특히 진동판(21)에 대하여 통음구(5)와는 반대측(이면측; 리어 하우징측)에 위치하는 부분의 용적이 작기 때문에, 이 효과는 현저하다. 그리고, 경로(7)에, 당해 경로(7)를 유통하는 기체의 흐름의 저항체가 되는 음향 저항체(8)를 배치함으로써, 음향 기기인 이어폰 유닛(1) 및 당해 유닛(1)을 구비하는 이어폰으로부터 출력되는 소리의 특성, 예를 들어 이어폰 유닛(1) 및 이어폰으로부터 출력되는 음질이 향상된다. 음질의 향상의 보다 구체적인 예는, 변환부(2)에 입력되는 소리 신호에 대하여 보다 충실한 소리의 출력, 불필요한 공명의 저감, 출력되는 소리에 대하여 주파수 특성의 플랫화 또는 특정한 주파수 영역의 강조 혹은 감쇠 및 지향성 또는 무지향성의 실현 등이다. 도 1에 도시하는 예는 이어폰 유닛이지만, 소리를 출력하는 다른 음향 기기에 있어서도 동일한 특성 향상을 실현할 수 있다. 또한, 소리를 입력하는 음향 기기, 예를 들어 마이크로폰에 있어서도, 대응하는 특성 향상을 실현할 수 있다.
수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)는 스펀지 등의 다공질체, 부직포, 메쉬 등의 직포로 이루어지는 종래의 음향 저항체에 비해 변동(특성 및/또는 구조의 변동, 예를 들어 통기성의 변동)이 작다. 변동에는 하나의 음향 저항체에 있어서의 면 내의 변동, 음향 기기에 배치된 2 또는 그 이상의 음향 저항체간의 변동(의도적으로 각 음향 저항체간에 있어서 통기성 등의 특성 및/또는 구조를 변화시키고 있는 경우를 제외함) 및 이어폰과 같이 복수의 유닛(이어폰에서는 좌측 이어폰 유닛 및 우측 이어폰 유닛)이 사용되는 경우, 각 유닛이 구비하는 음향 저항체간의 변동의 전부가 포함된다. 이 작은 변동에 의해, 예를 들어 이하의 효과가 달성된다.
경로(7)를 설치하는 것 및 경로(7)에 음향 저항체(8)를 배치하는 것에 의한 상술한 효과, 보다 구체적으로는 음향 기기의 특성의 향상을, 보다 확실하게 달성할 수 있다. 그리고, 특성의 조정 및 특성의 향상을 위한 음향 기기의 설계의 자유도가 향상된다.
하나의 음향 저항체에 있어서의 면 내 변동의 작음 및 음향 기기에 배치된 2 이상의 음향 저항체간의 변동의 작음은, 예를 들어 음향 기기 특성(보다 구체적인 예는 음압 특성)을 더욱 향상시킨다. 또한 예를 들어, 음향 기기의 제조 시에, 가능한 한 변동이 작은 음향 저항체를 선별하는 공정, 혹은 음향 저항체에 어느 정도의 크기의 변동이 있는 것을 전제로 하고, 이 전제 중에서 가능한 한 변동을 작게 하기 위해 종래 실시되어 있던, 음향 저항체의 형상의 조정, 음향 기기에 있어서의 음향 저항체의 배치 상태의 조정, 음향 기기를 구성하는 부재로의 음향 저항체의 접합 상태의 조정, 제조 후에 있어서의 음향 기기의 면밀한 특성 검사 등의 공정을 간략화 또는 생략할 수 있다. 이것은, 음향 기기의 제조 수율의 향상 및 제조 비용의 저감으로 연결된다. 이어폰 등, 2 이상의 유닛을 조합하는 음향 기기에서는 각 유닛이 구비하는 음향 저항체간의 변동의 작음에 의해, 예를 들어 각 유닛간의 출력 특성의 변동을 작게 할 수 있다. 이것은, 예를 들어 이어폰의 제조 시에, 좌측 및 우측의 유닛으로서 출력 특성이 근사 또는 동일한 유닛을 선별하고, 조합하는 공정을 간략화 또는 생략하는 것으로 연결된다. 또한, 종래는 출력 특성의 변동이 있기 때문에 이어폰 유닛 단체에서의 유통을 할 수 없는 것이 당업자의 상식이었지만, 유닛간의 출력 특성의 변동이 작아지면, 제조 부품 혹은 교환 부품으로서 유닛 단체에서의 유통을 시야에 넣는 것도 가능해지고, 그 의의는 매우 크다.
이것과는 별도로, 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)에는 방진성을 부여할 수 있다. 방진성이 부여된 음향 저항체(8)는 음향 기기의 특성을 향상시키는 상술한 기능 이외에, 또한 방진 부재로서의 기능을 나타낸다. 이와 같은 음향 저항체(8)의 경로(7)로의 배치에 의해, 예를 들어 음향 기기의 하우징(3) 내에 개구(6)로부터 티끌 등의 이물이 침입하는 것을 억제할 수 있고, 방진 기능을 갖는 음향 기기로 할 수 있다. 음향 저항체(8)의 방진성의 정도는, 예를 들어 수지 필름(81)의 관통 구멍의 직경에 의해 제어할 수 있다.
음향 저항체(8)에는, 예를 들어 수지 필름(81)에 발액층을 형성함으로써, 방수성을 부여할 수 있다. 방수성이 부여된 음향 저항체(8)는 음향 기기의 특성을 향상시키는 상술한 기능 이외에, 또한 방수 부재로서의 기능을 나타낸다. 이와 같은 음향 저항체(8)의 경로(7)로의 배치에 의해, 예를 들어 음향 기기의 하우징(3) 내에 개구(6)로부터 물이 침입하는 것을 억제할 수 있어, 방수 기능을 갖는 음향 기기로 할 수 있다. 음향 저항체(8)의 방수성의 정도는, 예를 들어 발액층의 구성 및 수지 필름(81)의 관통 구멍의 직경에 의해 제어할 수 있다.
음향 저항체(8)에는 방진성과 방수성의 양쪽을 부여할 수 있다.
음향 저항체(8)는, 그 재질에 따라서는 종래의 음향 저항체보다도 경년 안정성을 높게 할 수 있다. 예를 들어, 발포 우레탄으로 구성되는 다공질체가 음향 저항체로서 사용되는 경우가 있지만, 우레탄 수지는 대기 중의 습도에 의한 가수분해성을 갖고, 경년 안정성이 충분하다고는 할 수 없다. 이에 대해, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 구성되는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)는 훨씬 양호한 경년 안정성을 나타낸다.
도 2에 음향 저항체(8)의 일례를 도시한다. 도 2에 도시하는 음향 저항체(8)는 수지 필름(81)으로 구성된다. 수지 필름(81)에는 그 두께 방향으로 관통하는 복수의 관통 구멍(83)이 형성되어 있다. 관통 구멍(83)은 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)으로 연장된다. 수지 필름(81)은 비다공질의 수지 필름이고, 그 두께 방향으로 통기 가능해지는 경로를 관통 구멍(83) 이외에 갖지 않는다. 수지 필름(81)은, 전형적으로는 관통 구멍(83)을 제외하고 무공의(중실의) 수지 필름이다. 관통 구멍(83)은 수지 필름(81)의 양쪽의 주면에 개구를 갖는다. 이와 같은 수지 필름(81)의 구조에 의해, 음향 저항체(8)에 있어서의 변동, 예를 들어 통기성의 변동의 작음이 실현된다.
관통 구멍(83)은 당해 관통 구멍의 중심축(축선)(86)이 직선상으로 연장되는 스트레이트 구멍이다. 스트레이트 구멍인 관통 구멍(83)은, 예를 들어 수지 필름의 원필름으로의 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭에 의해 형성할 수 있다. 이온빔 조사 및 에칭에서는 직경(개구 직경)이 정렬된 당해 직경의 균일도가 높은 다수의 관통 구멍(83)을 수지 필름(81)에 형성할 수 있다. 수지 필름(81)은 원필름으로의 이온빔 조사 및 화학 에칭에 의해 얻은 필름일 수 있다. 음향 저항체(8)에 있어서 관통 구멍(83)의 직경의 균일도가 높은 것은, 음향 저항체(8)에 있어서의 변동, 예를 들어 통기성의 변동이 작은 것에 기여한다. 또한, 도 2 및 음향 저항체의 구조를 도시하는 이것 이후의 도면에서는, 관통 구멍의 형상을 이해하기 쉽게 하기 위해, 그 직경이 과장되게 그려져 있다.
도 2에 도시하는 예에 있어서 관통 구멍(83)이 연장되는 방향은 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향이다. 관통 구멍(83)이 수지 필름(81)의 두께 방향으로 관통하고 있는 한, 관통 구멍(83)이 연장되는 방향은 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향으로부터 기울어져 있어도 된다. 이때, 수지 필름(81)에 존재하는 모든 관통 구멍(83)이 연장되는 방향이 동일해도 되고[중심축(86)의 방향이 정렬되어 있어도 되고], 도 3에 도시한 바와 같이 수지 필름(81)이 당해 필름의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향에 대하여 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍[83(83a 내지 83g)]을 갖고 있고, 당해 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(83a 내지 83g)이 수지 필름(81)에 혼재하고 있어도 된다.
도 3에 도시하는 예에서는, 관통 구멍(83)이 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향에 대하여 기울어져 연장되어 있고[수지 필름(81)을 관통하고 있고], 연장되는 방향이 서로 다른 관통 구멍(83)의 조합이 있다. 이때, 수지 필름(81)에는 연장되는 방향이 동일한 관통 구멍(83)의 조합이 있어도 된다[도 3에 도시하는 예에서는 관통 구멍(83a, 83d, 83g)이 연장되는 방향이 동일함]. 수지 필름(81)은 당해 필름의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향으로 연장되는 관통 구멍(83)과, 당해 방향에 대하여 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(83)의 양쪽을 갖고 있어도 된다. 이하, 「조합」을 간단히 「조」라고도 한다. 「조」는 1의 관통 구멍과 1의 관통 구멍의 관계[페어(쌍)]에 한정되지 않고, 1 또는 2 이상의 관통 구멍끼리의 관계를 의미한다. 동일한 특징을 갖는 관통 구멍의 조가 있다는 것은, 당해 특징을 갖는 관통 구멍이 복수 존재하는 것을 의미한다.
도 3에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(83)이 혼재하는 수지 필름(81)으로 구성되는 음향 저항체(8)에서는, 그 기울어지는 정도 및 어느 방향으로 신장되는 관통 구멍(83)의 비율을 변화시킬 수 있기 때문에, 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항을 보다 폭넓게, 혹은 이와 같은 구조를 갖지 않는 음향 저항체(8)와는 다른 영역에서 변화시킬 수 있고, 당해 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 보다 향상된다. 이 자유도의 높이는 음향 기기의 특성 및 설계의 자유도의 향상에 기여한다.
도 3에 도시하는 관통 구멍(83)에 대하여, 그 기울어져 연장되는 방향[중심축(86)이 연장되는 방향] D1이 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향 D2에 대하여 이루는 각도 θ1은, 예를 들어 45° 이하이고, 30° 이하일 수 있다. 각도 θ1이 이것들의 범위에 있을 때에, 음향 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 보다 향상된다. 각도 θ1의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 10° 이상이고, 20° 이상일 수 있다. 각도 θ1이 과도하게 커지면, 음향 저항체(8)의 기계적 강도가 약해지는 경향이 있다. 도 3에 도시하는 관통 구멍(83)에서는 각도 θ1이 서로 다른 조가 존재하고 있다.
도 3에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(83)이 혼재하는 수지 필름(81)으로 구성되는 음향 저항체(8)에 있어서, 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에[관통 구멍(83)이 연장되는 방향을 당해 주면에 투영했을 때에], 관통 구멍(83)이 연장되는 방향이 서로 평행이어도 되고, 당해 연장되는 방향이 서로 다른 조를 수지 필름(81)이 갖고 있어도[당해 연장되는 방향이 서로 다른 관통 구멍(83)이 수지 필름(81)에 존재하고 있어도] 된다. 후자의 경우, 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항을 보다 폭넓게, 혹은 이와 같은 구조를 갖지 않는 음향 저항체(8)와는 다른 영역에서 변화시킬 수 있고, 음향 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 보다 향상된다.
도 4에 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 관통 구멍(83)이 연장되는 방향이 서로 평행인 예를 도시한다. 도 4에 도시하는 예에서는 3개의 관통 구멍[83(83h, 83i, 83j)]이 보이고 있지만, 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 각 관통 구멍(83)이 연장되는 방향[지면 전방측의 주면에 있어서의 관통 구멍(83)의 개구(88a)로부터, 반대측의 주면에 있어서의 관통 구멍(83)의 개구(88b)를 향하는 방향] D3, D4, D5는 서로 평행이다(후술하는 θ2가 0°임). 단, 각 관통 구멍(83h, 83i, 83j)의 각도 θ1은 서로 다르고, 관통 구멍(83j)의 각도 θ1이 가장 작고, 관통 구멍(83h)의 각도 θ1이 가장 크다. 이로 인해, 각 관통 구멍(83h, 83i, 83j)이 연장되는 방향은 입체적으로 다르다.
도 5에, 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 관통 구멍(83)이 연장되는 방향이 서로 다른 예를 나타낸다. 도 5에 도시하는 예에서는, 3개의 관통 구멍[83(83k, 83l, 83m)]이 보이고 있지만, 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 각 관통 구멍(83)이 연장되는 방향 D6, D7, D8은 서로 다르다. 여기서, 관통 구멍(83k와 83l)은 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 미만의 각도 θ2를 이루고, 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되어 있다. 한편, 관통 구멍(83k와 83m)은, 수지 필름(81)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 이상의 각도 θ2를 이루고, 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되어 있다. 수지 필름(81)은 후자와 같이, 당해 필름의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 이상의 각도 θ2를 이루고 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되는 관통 구멍(83)의 조를 가질 수 있다. 바꾸어 말하면, 수지 필름(81)은 당해 필름의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 당해 주면으로부터 일정한 방향 D6으로 연장되는 관통 구멍(83k)과, 당해 일정한 방향 D6에 대하여 90° 이상의 각도 θ2를 이루는 방향 D8에 당해 주면으로부터 연장되는 관통 구멍(83m)의 조를 가질 수 있다. 이때, 음향 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 더 향상된다. 각도 θ2는, 예를 들어 90° 이상 180° 이하이고, 즉 180°일 수 있다.
도 4에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(83)이 혼재하는 수지 필름(81)으로 구성되는 음향 저항체(8)에 있어서, 2 이상의 관통 구멍(83)이 수지 필름(81) 내에서 서로 교차하고 있어도 된다. 즉, 수지 필름(81)은 당해 필름(81) 내에서 서로 교차하는 관통 구멍(83)의 조를 갖고 있어도 된다. 이때, 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항을 보다 폭넓고, 혹은 이와 같은 구조를 갖지 않는 음향 저항체(8)와는 다른 영역에서 변화시킬 수 있고, 음향 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 보다 향상된다. 이와 같은 예를 도 6에 도시한다. 도 6에 도시하는 예에서는, 관통 구멍(83p와 83q)이 수지 필름(81) 내에서 서로 교차하고 있다.
수지 필름(81)에 있어서의[음향 저항체(8)에 있어서의] 관통 구멍(83)이 연장되는 방향[관통 구멍(83)의 중심선(86)이 연장되는 방향]은, 예를 들어 당해 필름(81)의 주면 및 단면에 대하여 주사형 전자 현미경(SEM)에 의한 관찰을 행함으로써 확인할 수 있다.
수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 있어서의 관통 구멍(83)의 개구의 형상은 한정되지 않지만, 전형적으로는 원형[중심선(86)이 연장되는 방향이 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 경우] 또는 타원형[중심선(86)이 연장되는 방향이 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향으로부터 기울어져 있는 경우]이다. 관통 구멍(83)의 개구의 형상은 엄밀한 원 또는 타원일 필요는 없고, 예를 들어 후술하는 제조 방법으로 실시하는 에칭의 불균일에 수반하는 다소의 형상의 흐트러짐은 허용할 수 있다. 관통 구멍(83)의 단면의 형상에 대해서도 마찬가지이다.
도 2 내지 도 6에 도시하는 예에서는, 관통 구멍(83)의 직경은 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)에 이르기까지 거의 변화되어 있지 않다. 즉, 관통 구멍(83)의 단면의 형상은 주면(84a)으로부터 주면(84b)에 이르기까지 거의 변화되어 있지 않다. 음향 저항체(8)가 갖는 관통 구멍(83)은 중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 두께 방향으로 변화되는 형상을 갖고 있어도 되고, 보다 구체적인 예로서, 관통 구멍(83)은 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해, 증가 및/또는 감소하는 형상을 갖고 있어도 된다. 관통 구멍(83)은, 도 7에 도시한 바와 같이 중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 형상을 가질 수 있다. 이때, 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항을 보다 폭넓고, 혹은 이와 같은 구조를 갖지 않는 음향 저항체(8)와는 다른 영역에서 변화시킬 수 있고, 당해 저항체(8)에 의한 음향 기기의 특성 제어의 자유도가 보다 향상된다. 도 7에 도시하는 관통 구멍(83)은 중심선(86)이 연장되는 방향으로 단면(87)의 형상이 변화되는, 음향 저항체(8) 및 수지 필름(81)의 막 두께 방향에 비대칭인 형상을 갖는 관통 구멍이다.
중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 형상을 관통 구멍(83)이 갖는 경우, 관통 구멍(83)은 단면(87)의 면적이 주면(84a)으로부터 주면(84b)까지 연속적으로, 또한 거의 일정 또는 일정한 증가율로 증가함과 함께, 원 또는 타원인 단면(87)의 형상을 갖고 있어도 되고, 이때 관통 구멍(83)의 형상은 축선(86)을 중심선으로 하는 원추 혹은 타원추 또는 이것들의 일부가 된다. 이온빔 조사 및 에칭을 사용한 후술하는 제조 방법에 의하면, 단면(87)의 형상이 원 또는 타원인 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)를 형성할 수 있다.
중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 형상을 관통 구멍(83)이 갖는 경우, 주면(84a)에 있어서의 상대적으로 작은 관통 구멍(83)의 직경(직경 a)과, 주면(84b)에 있어서의 상대적으로 큰 관통 구멍의 직경(직경 b)의 비 a/b는, 예를 들어 80% 이하이고, 75% 이하, 더욱이 70% 이하일 수 있다. 비 a/b의 하한은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 10%이다.
단면(87)의 면적의 증가는 주면(84a)으로부터 주면(84b)을 향해 연속적이어도 되고, 단계적이어도[즉, 단면(87)의 면적이 일정한 영역이 존재하고 있어도] 된다. 단면(87)의 면적의 증가는, 도 7에 도시한 예와 같이, 주면(84a)으로부터 주면(84b)을 향해 연속적인 것이 바람직하고, 그 증가율이 거의 일정 또는 일정한 것이 더 바람직하다. 이온빔 조사 및 에칭을 사용한 후술하는 제조 방법에 의하면, 단면(87)의 면적이 주면(84a)으로부터 주면(84b)을 향해 연속적으로 증가하는 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8) 및 또한 당해 면적의 증가율이 거의 일정 또는 일정한 음향 저항체(8)를 형성할 수 있다.
수지 필름(81)에 있어서의 이것들의 관통 구멍(83)의 특징은 임의로 조합할 수 있다. 예를 들어, 중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 형상을 가짐과 함께, 당해 방향이 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향으로부터 기울어진 관통 구멍(83)일 수 있다.
관통 구멍(83)의 직경은, 예를 들어 3.0㎛ 이상 13.0㎛ 이하이다. 관통 구멍(83)의 직경이 이 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다. 관통 구멍(83)이, 도 7에 도시한 바와 같이 중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 형상을 갖는 경우, 상대적으로 작은 직경[도 7에 도시한 예에서는 주면(84a)에 있어서의 관통 구멍(83)의 직경]이 3.0㎛ 이상 13.0㎛ 이하일 수 있다.
관통 구멍(83)에 대하여, 그 개구의 형상을 원으로 간주했을 때의 당해 원의 직경, 바꾸어 말하면, 개구의 단면적(개구 면적)과 동일한 면적을 갖는 원의 직경을, 관통 구멍(83)의 직경(개구 직경)으로 한다. 관통 구멍(83)의 직경은, 예를 들어 음향 저항체(8) 또는 수지 필름(81)의 표면을 현미경으로 관찰한 상을 해석함으로써 구할 수 있다. 수지 필름(81)에 있어서의 관통 구멍(83)의 직경은 각 주면에 대하여, 당해 주면에 존재하는 모든 관통 구멍(83)의 개구에서 일치할 필요는 없지만, 수지 필름(81)의 유효 부분[음향 저항체(8)로서 사용 가능한 부분]에서는 실질적으로 동일한 값이라고 간주할 수 있을 정도(예를 들어, 표준 편차가 평균값의 10% 이하)로 일치하고 있는 것이 바람직하다. 이온빔 조사 및 에칭을 사용한 후술하는 제조 방법에 의하면, 이와 같은 직경이 정렬된 수지 필름(81) 및 음향 저항체(8)를 형성할 수 있다.
또한, 수지 필름(81)의 주면(84a, 84b)에 수직인 방향으로부터 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(83)의 개구의 형상은 타원이 될 수 있다. 그러나, 이와 같은 경우에 있어서도, 필름(81) 내에 있어서의 관통 구멍(83)의 단면(87)의 형상은 원이라고 간주할 수 있고, 이 원의 직경은 개구의 형상인 타원의 최소 직경과 동등해진다. 이로 인해, 상기 기울어진 방향으로 연신되는 관통 구멍(83)이며 개구의 형상이 타원인 것에 대해서는, 당해 최소 직경을 관통 구멍의 개구 직경으로 할 수 있다.
음향 저항체(8)는 JIS L1096B의 규정에 준거하여 측정한 걸리수로 나타내고, 0.01(초/100㎤) 이상 1.0(초/100㎤) 이하의 통기도를 두께 방향으로 가질 수 있다. 통기도가 이 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다.
도 7에 도시한 바와 같이, 단면(87)의 면적이 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)인 경우, 상대적으로 관통 구멍(83)의 직경이 큰 다른 쪽의 주면(84b)으로부터, 상대적으로 관통 구멍(83)의 직경이 작은 쪽의 주면(84a)으로의 당해 저항체(8)의 통기도가, 걸리수로 나타내고 상기 범위에 있을 수 있다.
음향 저항체(8)의 통기성의 변동은 작다. 예를 들어, 음향 저항체(8)에 있어서의 임의의 40점에서 측정한 통기도의 평균값 Av에 대한 표준 편차 σ의 비 σ/Av(통기성 변동률 σ/Av)가 0.3 이하이다. 당해 변동률은 0.2 이하, 더욱이 0.1 이하일 수 있다.
음향 저항체(8)에 있어서의[수지 필름(81)에 있어서의] 관통 구멍(83)의 밀도(구멍 밀도)는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 1×103개/㎠ 이상 1×109개/㎠ 이하이다. 구멍 밀도가 이 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다. 구멍 밀도는 음향 저항체(8) 및 수지 필름(81)의 전체에 걸쳐서 일정할 필요는 없지만, 그 유효 부분에서는 최대의 구멍 밀도가 최소의 구멍 밀도의 1.5배 이하가 될 정도로 일정한 것이 바람직하다. 구멍 밀도는, 예를 들어 음향 저항체(8) 또는 수지 필름(81)의 표면을 현미경으로 관찰한 상을 해석함으로써 구할 수 있다.
음향 저항체(8)의[수지 필름(81)의] 개구율[주면의 면적에 대한, 당해 주면에 있어서의 관통 구멍(83)의 개구 면적의 비율]은, 예를 들어 50% 이하이고, 10% 이상 45% 이하, 혹은 20% 이상 40% 이하일 수 있다. 개구율이 이것들의 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다. 개구율은, 예를 들어 음향 저항체(8) 또는 수지 필름(81)의 표면을 현미경으로 관찰한 상을 해석함으로써 구할 수 있다.
도 7에 도시한 바와 같이, 단면(87)의 면적이 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)의 경우, 상대적으로 관통 구멍의 직경이 작은 주면(54a)에 있어서의 개구율이 상기 범위에 있을 수 있다.
음향 저항체(8)의[수지 필름(81)의] 기공률은, 예를 들어 25% 이상 45% 이하이고, 30% 이상 40% 이하일 수 있다. 기공률이 이것들의 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 단면(87)의 면적이 수지 필름(81) 내에서 일정한 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)의 경우, 그 개구율과 기공률은 동일하다. 도 7에 도시한 바와 같이, 단면(87)의 면적이 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)의 경우, 기공률은, 예를 들어 양쪽의 주면(84a, 84b)에 있어서의 개구율과, 수지 필름(81)의 단면을 관찰함으로써 파악한 관통 구멍(83)의 형상으로부터 계산에 의해 구할 수 있다.
음향 저항체(8)의[수지 필름(81)의] 겉보기 밀도는, 예를 들어 0.7g/㎤ 이상 1.3g/㎤ 이하이고, 0.8g/㎤ 이상 1.2g/㎤ 이하일 수 있다. 겉보기 밀도가 이것들의 범위에 있는 경우, 음향 저항체(8)에 의한 경로(7)에 있어서의 기체의 흐름의 저항이 특히 적당한 상태가 되고, 당해 저항체(8)의 배치에 의해 얻어지는 상술한 효과가 특히 현저해진다. 겉보기 밀도는 임의의 크기로 절단한 음향 저항체의 중량 W(g)를 체적 V(㎤)로 나누어 구할 수 있다.
음향 기기에서는 스피커의 1종과 같이 음향자가 외부에 노출되어 있는 기기를 제외하고, 하우징 내에 수용된 음향자와 기기의 외부 사이에서 소리를 전달하기 위해, 하우징에 통음구가 마련된다. 도 1에 도시하는 이어폰 유닛(1)에서는, 프론트 하우징(3a)에 통음구(5)가 마련되어 있다. 음향 저항체(8)는 음향자와 통음구 사이의 소리의 전달 경로가 되는 기체의 경로에 배치할 수 있다.
음향자와 통음구 사이에 음향 저항체를 배치하는 경우, 상기와 같은 구성을 갖는 수지 필름(81)을 포함하는 음향 저항체(8)의 통음 특성을 높게 할 수 있는 것이 매우 유리해진다. 예를 들어, 음향 저항체(8)에서는 수지 필름(81)의 관통 구멍의 직경을 5.0㎛ 이상 13.0㎛ 이하로 함으로써, 주파수 100㎐ 이상 5㎑ 이하의 음역에 있어서의 당해 저항체의 삽입 손실을 5㏈ 이하, 3㏈ 이하, 2㏈ 이하, 더욱이 1㏈ 이하로 하는 것도 가능하다. 또한, 주파수 100㎐ 이상 3㎑ 이하의 음역에 있어서의 당해 저항체의 삽입 손실을 5㏈ 이하, 3㏈ 이하, 2㏈ 이하, 더욱이 1㏈ 이하로 할 수 있다. 100㎐ 이상 5㎑ 이하의 음역은 인간이 통상의 발성, 회화에 사용하고 있는 음역임과 함께, 음악 등의 재생 시에도 가장 민감하게 느낄 수 있는 음역에 상당한다. 이 음역에 있어서의 삽입 손실이 작은 것은 음향 저항체(8)를 구비하는 음향 기기의 시장에 있어서의 소구력을 향상시킨다. 또한 예를 들어, 사람의 음성 영역의 중앙값이라고 생각되는 주파수 1㎑에 있어서의 당해 저항체의 삽입 손실을 5㏈ 이하, 3㏈ 이하, 2㏈ 이하, 더욱이 1㏈ 이하로 할 수 있다.
수지 필름(81)의 두께 및 음향 저항체(8)의 두께는, 예를 들어 5㎛ 이상 100㎛ 이하이고, 15㎛ 이상 50㎛ 이하가 바람직하다.
수지 필름(81)을 구성하는 재료는, 예를 들어 후술하는 제조 방법에 있어서, 비다공질의 수지 필름인 원필름에 관통 구멍(83)을 형성할 수 있는 재료이다. 수지 필름(81)은, 예를 들어 알칼리성 용액, 산성 용액, 또는 산화제, 유기 용제 및 계면 활성제에서 선택되는 적어도 1종을 첨가한 알칼리성 용액 혹은 산성 용액에 의해 분해하는 수지로 구성된다. 이 경우, 후술하는 제조 방법에 있어서의 이온빔 조사 및 화학 에칭에 의한 원필름으로의 관통 구멍(83)의 형성이 보다 용이해진다. 또한, 이것들의 용액은 전형적인 에칭 처리액이다. 다른 측면에서 보면, 수지 필름(81)은, 예를 들어 가수분해 또는 산화 분해에 의한 에칭 가능한 수지로 구성된다. 원필름에는 시판의 필름을 사용할 수 있다.
수지 필름(81)은, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종의 수지로 구성된다.
음향 저항체(8)는 2층 이상의 수지 필름(81)을 구비하고 있어도 된다. 이와 같은 음향 저항체(8)는, 예를 들어 2층 이상의 원필름을 갖는 적층체에 이온빔 조사 및 화학 에칭하여 형성할 수 있다.
음향 저항체(8)는 필요에 따라, 수지 필름(81) 이외의 임의의 부재 및/또는 층을 구비하고 있어도 된다.
음향 저항체(8)는, 예를 들어 발액층(82)을 더 구비할 수 있다. 발액층(82)을 더 구비하는 음향 저항체(8)는 방수성을 가질 수 있다. 발액층(82)은, 예를 들어 수지 필름(81)을 발액 처리하여 형성할 수 있다. 도 8에 도시하는 예에서는, 발액층(82)이 수지 필름(81)의 양쪽의 주면(84a, 84b) 상과 관통 구멍(83)의 표면에 형성되어 있다. 도 8에 도시하는 음향 저항체(8)는 발액층(82)이 형성되어 있는 것 이외는, 발액층을 갖지 않는 음향 저항체인 도 2에 도시하는 음향 저항체(8)와 동일한 구성을 갖는다.
발액층(82)은 수지 필름(81)의 한쪽의 주면 상에만 형성되어 있어도 되고, 한쪽의 주면 상과 관통 구멍(83)의 표면에만 형성되어 있어도 된다. 발액층(82)을 형성하는 경우, 적어도, 음향 기기에 배치했을 때에 물이 접촉할 수 있는 주면에 형성하는 것이 바람직하다.
발액층(82)은 발수성을 갖는 층이고, 발유성을 더불어 갖는 것이 바람직하다. 또한, 발액층(82)은 수지 필름(81)의 관통 구멍(83)과 대응하는 위치에 개구(85)를 갖는다.
발액층(82)은, 예를 들어 발수제 또는 소수성의 발유제를 희석제로 희석하여 제조한 처리액을, 수지 필름(81) 상에 얇게 도포하여 건조시킴으로써 형성할 수 있다. 발수제 및 소수성의 발유제는, 예를 들어 퍼플루오로알킬아크릴레이트, 퍼플루오로알킬메타크릴레이트와 같은 불소 화합물이다. 발액층(82)의 두께는 관통 구멍(83)의 직경의 1/2 미만이 바람직하다.
수지 필름(81) 상에 처리액을 얇게 도포하여 발액층(82)을 형성하는 경우, 관통 구멍(83)의 직경에도 의하지만, 당해 관통 구멍의 표면(내주면)도, 수지 필름(81)의 주면 상과 연속해서 발액층(82)에 의해 피복하는 것이 가능하다.
발액층(82)에 의해 방수성이 부여된 음향 저항체(8)의 방수성은, 예를 들어 JIS L1092의 내수도 시험 B법(고수압법)의 규정에 준거하여 측정한 내수압에 의해 평가할 수 있다. 내수압은, 예를 들어 2㎪ 이상이다.
음향 저항체(8)는, 예를 들어 통기성 지지층(89)을 더 구비할 수 있다. 도 9에 도시하는 음향 저항체(8)에서는, 도 7에 도시하는 음향 저항체(8)의 수지 필름(81)에 있어서의 주면(84b)에 통기성 지지층(89)이 배치되어 있다. 통기성 지지층(89)의 배치에 의해, 음향 저항체(8)로서의 강도가 향상되고, 또한 취급성도 향상된다. 통기성 지지층(89)은 수지 필름(81)의 한쪽의 주면에 배치되어 있어도 되고, 양쪽의 주면에 배치되어 있어도 된다.
통기성 지지층(89)은 수지 필름(81)에 비해, 두께 방향의 통기도가 높은 층이다. 통기성 지지층(89)에는, 예를 들어 직포, 부직포, 네트, 메쉬를 사용할 수 있다. 통기성 지지층(89)을 구성하는 재료는, 예를 들어 폴리에스테르, 폴리에틸렌, 아라미드 수지이다. 통기성 지지층(89)의 형상은 수지 필름(81)의 형상과 동일해도 되고, 달라도 된다. 예를 들어, 수지 필름(81)의 주연부에만 배치되는 형상을 갖는 [구체적으로, 수지 필름(81)이 원형인 경우에는, 그 주연부에만 배치되는 링상의] 통기성 지지층(89)일 수 있다. 통기성 지지층(89)은, 예를 들어 수지 필름(81)과의 열 용착, 접착제에 의한 접착 등의 방법에 의해 배치된다.
음향 저항체(8)의 면 밀도는 당해 막의 강도, 생산 수율 및 설치 정밀도를 포함하는 취급성, 그리고 통음성의 관점에서, 5 내지 100g/㎡가 바람직하고, 10 내지 50g/㎡가 보다 바람직하다.
음향 저항체(8)에는 착색 처리가 실시되어 있어도 된다. 수지 필름(81)을 구성하는 재료의 종류에 의하지만, 착색 처리를 실시하지 않은 음향 저항체(8)의 색은, 예를 들어 투명 또는 백색이다. 이와 같은 음향 저항체(8)가 하우징(3)의 개구(6)의 근방에 배치된 경우, 당해 저항체(8)가 눈에 띄는 경우가 있다. 눈에 띄는 막은 유저의 호기심을 자극하고, 침 등에 의한 천공에 의해 음향 저항체로서의 기능이 손상되는 경우가 있다. 음향 저항체(8)에 착색 처리가 실시되어 있으면, 예를 들어 하우징의 색과 동색 또는 근사의 색을 갖는 음향 저항체(8)로 함으로써, 상대적으로 유저의 주목을 억제할 수 있다. 또한, 음향 기기의 설계 및 디자인상, 착색된 음향 저항체가 요구되는 경우가 있고, 착색 처리에 의해, 이와 같은 요구에 따를 수 있다.
착색 처리는, 예를 들어 수지 필름(81)을 염색 처리하거나, 수지 필름(81)에 착색제를 포함시키거나 함으로써 실시할 수 있다. 착색 처리는, 예를 들어 파장 380㎚ 이상 500㎚ 이하의 파장 영역에 포함되는 광이 흡수되도록 실시해도 된다. 즉, 음향 저항체(8)에는 파장 380㎚ 이상 500㎚ 이하의 파장 영역에 포함되는 광을 흡수하는 착색 처리가 실시되어 있어도 된다. 그것을 위해서는, 예를 들어 수지 필름(81)이, 파장 380㎚ 이상 500㎚ 이하의 파장 영역에 포함되는 광을 흡수하는 능력을 갖는 착색제를 포함하거나, 혹은 파장 380㎚ 이상 500㎚ 이하의 파장 영역에 포함되는 광을 흡수하는 능력을 갖는 염료에 의해 염색되어 있다. 이 경우, 음향 저항체(8)를, 청색, 회색, 갈색, 분홍색, 녹색, 황색 등으로 착색할 수 있다. 음향 저항체(8)는 흑색, 회색, 갈색 또는 분홍색으로 착색 처리되어 있어도 된다.
음향 저항체(8)가 흑색 또는 회색으로 착색 처리되어 있는 경우, 그 착색의 정도가, 이하에 나타내는 백색도 W로 나타내고 15.0 내지 40.0의 범위에 있는 것이 바람직하다. 백색도 W는 음향 저항체(8)의 주면의 명도 L, 색상 a 및 채도 b를, JIS L1015의 규정(헌터법)에 준거하여 색차계를 사용하여 측정하고, 측정한 이것들의 값으로부터 식 W=100-sqr[(100-L)2+(a2+b2)]에 의해 구할 수 있다. 백색도 W의 값이 작을수록, 음향 저항체(8)의 색이 흑색이 된다.
[음향 저항체의 제조 방법]
음향 저항체(8)의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 이하에 설명하는 제조 방법에 의해 제조할 수 있다.
이하의 제조 방법에서는, 원필름에 대한 이온빔의 조사와 그 후의 에칭(화학 에칭)에 의해 수지 필름(81)을 형성한다. 이온빔 조사 및 에칭에 의해 형성한 수지 필름(81)은 그대로 음향 저항체(8)로 해도 되고, 필요에 따라, 발액층(82)을 형성하는 공정, 착색 처리 공정, 혹은 통기성 지지층(89)을 적층하는 공정 등의 새로운 공정을 거쳐서 음향 저항체(8)로 해도 된다.
이온빔 조사 및 그 후의 에칭을 사용하는 방법에서는, 예를 들어 수지 필름(81)이 갖는 관통 구멍(83)의 직경 및 그 균일도, 및 중심선(86)의 연장되는 방향, 구멍 밀도, 개구율, 기공률 등의 특성의 제어가 용이하고, 즉, 음향 저항체(8)의 배치에 의한 경로(7)에 있어서의 기체 흐름의 저항 제어의 자유도가 높아진다.
원필름은 이온빔 조사 및 에칭 후에 음향 저항체(8)로서 사용하는 영역에 있어서, 그 두께 방향으로 통기 가능한 경로를 갖지 않는 비다공질의 수지 필름이다. 원필름은 무공의 필름이어도 된다. 원필름이 비다공질의 수지 필름인 것은 이온빔 조사 및 에칭에 의해 원필름에 관통 구멍(83)을 형성하고, 수지 필름(81)으로 했을 때에, 당해 필름(81)의 변동을, 예를 들어 메쉬 등의 직물 구조 혹은 부직포 구조 등에 비해 작게 할 수 있는 것을 의미한다.
원필름에 이온빔을 조사하면, 당해 필름에 있어서의 이온이 통과한 부분에 있어서, 수지 필름을 구성하는 중합체쇄에 이온과의 충돌에 의한 손상이 발생한다. 손상이 발생한 중합체쇄는 이온이 충돌하고 있지 않은 다른 부분의 중합체쇄보다도 화학 에칭되기 쉽다. 이로 인해, 이온빔을 조사한 원필름을 화학 에칭함으로써, 이온의 충돌의 궤적을 따라 연장되는 세공(관통 구멍)이 형성된 수지 필름이 얻어진다. 즉, 관통 구멍(83)의 중심선(86)의 연장되는 방향은 이온빔 조사 시에 원필름을 이온이 통과한 방향이다. 원필름에 있어서의 이온이 통과하고 있지 않은 부분에는 통상, 세공은 형성되지 않는다.
원필름으로 수지 필름(81)을 형성하는 이 방법은 비다공질의 원필름에 이온빔을 조사하는 공정 (I)과, 이온빔을 조사한 원필름을 화학 에칭하는 공정 (II)를 포함할 수 있다. 공정 (I)에서는 원필름에, 당해 필름의 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 이온의 충돌의 궤적(이온 트랙)이 형성된다. 공정 (II)에서는 화학 에칭에 의해, 공정 (I)에서 형성된 이온 트랙에 대응하는 관통 구멍(83)을 원필름에 형성하고, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름(81)을 형성한다.
이 방법에서는, 도 2에 도시한 바와 같은 단면[중심선(86)의 연장되는 방향에 수직인 단면](87)의 면적이 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 일정하거나 또는 거의 일정한 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)도, 당해 면적이 한쪽의 주면(84a)으로부터 다른 쪽의 주면(84b)을 향해 증가하는 관통 구멍(83)을 갖는 수지 필름(81)도 형성할 수 있다. 전자의 수지 필름(81)은, 예를 들어 이온 조사 후의 원필름을 그대로 화학 에칭하여 형성할 수 있다. 원필름에 형성된 이온 트랙에 상당하는 영역이 에칭에 의해 제거되는 점에서, 화학 에칭의 시간을 충분히 취함으로써, 단면(87)의 면적이 일정 또는 거의 일정한 관통 구멍(83)이 형성된다.
후자의 수지 필름(81)은, 예를 들어 공정 (II)에 있어서, 한쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭의 정도가, 다른 쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭의 정도보다도 큰 화학 에칭을 실행하여 형성할 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 이온 조사 후의 원필름에 있어서의 한쪽의 주면에 마스킹층을 배치한 상태로 화학 에칭을 실행하여 형성할 수 있다. 이 화학 에칭에서는 마스킹층이 배치된 상기 한쪽의 주면으로부터의 에칭에 비해, 상기 다른 쪽의 주면으로부터의 에칭의 정도가 커진다. 이와 같은 비대칭 에칭, 보다 구체적으로는 이온 조사 후의 원필름에 있어서의 한쪽의 주면으로부터와 다른 쪽의 주면으로부터의 사이에서 진행 속도가 다른 에칭을 실시함으로써, 중심선(86)이 연장되는 방향에 수직인 단면(87)의 면적이 수지 필름(81)의 한쪽의 주면으로부터 다른 쪽의 주면을 향해 변화되는 형상을 갖는 관통 구멍(83)을 형성할 수 있다. 또한, 마스킹층을 배치하지 않은 전자의 수지 필름(81)을 형성할 때의 에칭에서는 이온빔 조사 후의 원필름에 대하여, 당해 원필름의 양쪽의 주면으로부터 균등한 에칭이 진행된다.
이하, 공정 (I) 및 (II)를 더 구체적으로 설명한다.
[공정 (I)]
공정 (I)에서는 이온빔을 원필름에 조사한다. 이온빔은 가속된 이온에 의해 구성된다. 이온빔의 조사에 의해, 당해 빔 중의 이온이 충돌한 원필름이 형성된다.
이온빔을 원필름에 조사하면, 도 10에 도시한 바와 같이, 빔 중의 이온(101)이 원필름(102)에 충돌하고, 충돌한 이온(101)은 당해 필름(102)의 내부에 궤적(이온 트랙)(103)을 남긴다. 피조사물인 원필름(102)의 사이즈 스케일에서 보면, 통상, 이온(101)은 대략 직선상으로 원필름(102)과 충돌하기 때문에, 직선상으로 연장된 궤적(103)이 당해 필름(102)에 형성된다. 이온(101)은 통상, 원필름(102)을 관통한다.
원필름(102)에 이온빔을 조사하는 방법은 한정되지 않는다. 예를 들어, 원필름(102)을 챔버에 수용하고, 챔버 내의 압력을 낮게 한 후[예를 들어, 조사하는 이온(101)의 에너지의 감쇠를 억제하기 위해 고진공 분위기로 한 후], 빔 라인으로부터 이온(101)을 원필름(102)에 조사한다. 챔버 내에 특정한 기체를 가해도 되고, 원필름(102)을 챔버에 수용하지만 당해 챔버 내의 압력을 감압하지 않고, 예를 들어 대기압으로 이온빔의 조사를 실시해도 된다.
띠상의 원필름(102)이 권회된 롤을 준비하고, 당해 롤로부터 원필름(102)을 송출하면서, 연속적으로 원필름(102)에 이온빔을 조사해도 된다. 이에 의해, 수지 필름(81)을 효율적으로 형성할 수 있다. 상술한 챔버 내에 상기 롤(송출 롤)과, 이온빔 조사 후의 원필름(102)을 권취하는 권취 롤을 배치하고, 감압, 고진공 등의 임의의 분위기로 한 챔버 내에 있어서 송출 롤로부터 띠상의 원필름(102)을 송출하면서 연속적으로 당해 필름에 이온빔을 조사하고, 빔 조사 후의 원필름(102)을 권취 롤에 권취해도 된다.
원필름(102)을 구성하는 수지는 수지 필름(81)을 구성하는 수지와 동일하고, 예를 들어 PET, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종이다. 이것들의 수지로 구성되는 원필름(102)은 이온(101)이 충돌한 부분의 화학 에칭이 원활하게 진행되면서도, 그 밖의 부분의 화학 에칭이 진행되기 어려운 특징을 갖고 있고, 원필름(102)에 있어서의 궤적(103)에 대응하는 부분의 화학 에칭의 제어가 용이해진다. 이로 인해, 이와 같은 원필름(102)의 사용에 의해, 예를 들어 수지 필름(81)의 관통 구멍(83)의 형상의 제어가 더 용이해진다.
원필름(102)의 두께는, 예를 들어 5 내지 100㎛이다. 공정 (I)에서의 이온빔 조사의 전후에 의해, 통상, 원필름(102)의 두께는 변화되지 않는다.
이온빔을 조사하는 원필름(102)은, 예를 들어 무공의 필름이다. 이 경우, 공정 (I) 및 (II) 이외에 당해 필름에 구멍을 형성하는 가일층의 공정을 실시하지 않는 한, 공정 (I) 및 (II)에 의해 형성된 관통 구멍(83) 이외의 부분이 무공인 수지 필름(81)을 형성할 수 있다. 당해 가일층의 공정을 실시한 경우, 공정 (I) 및 (II)에 의해 형성된 관통 구멍(83)과, 당해 가일층의 공정에 의해 형성된 구멍을 갖는 수지 필름(81)이 형성된다.
원필름(102)에 조사, 충돌시키는 이온(101)의 종류는 한정되지 않지만, 원필름(102)을 구성하는 수지와의 화학적인 반응이 억제되는 점에서, 네온보다 질량수가 큰 이온, 구체적으로는 아르곤 이온, 크립톤 이온 및 크세논 이온에서 선택되는 적어도 1종의 이온이 바람직하다.
이온(101)의 에너지(가속 에너지)는, 전형적으로는 100 내지 1000MeV이다. 두께 5 내지 100㎛ 정도의 폴리에스테르 필름을 원필름(102)으로서 사용하는 경우, 이온종이 아르곤 이온일 때의 이온(101)의 에너지는 100 내지 600MeV가 바람직하다. 원필름(102)에 조사하는 이온(101)의 에너지는 이온종 및 원필름(102)을 구성하는 수지의 종류에 따라 조정할 수 있다.
원필름(102)에 조사하는 이온(101)의 이온원은 한정되지 않는다. 이온원으로부터 방출된 이온(101)은, 예를 들어 이온 가속기에 의해 가속된 후에 빔 라인을 거쳐서 원필름(102)에 조사된다. 이온 가속기는, 예를 들어 사이클로트론, 보다 구체적인 예는 AVF 사이클로트론이다.
이온(101)의 경로가 되는 빔 라인의 압력은 빔 라인에 있어서의 이온(101)의 에너지 감쇠를 억제하는 관점에서, 10-5 내지 10-3㎩ 정도의 고진공이 바람직하다. 이온(101)을 조사하는 원필름(102)이 수용되는 챔버의 압력이 고진공에 도달하지 않는 경우는, 이온(101)을 투과하는 격벽에 의해, 빔 라인과 챔버의 압력차를 유지해도 된다. 격벽은, 예를 들어 티타늄막 혹은 알루미늄막으로 구성된다.
이온(101)은, 예를 들어 원필름(102)의 주면에 수직인 방향으로부터 당해 필름에 조사된다. 도 10에 도시하는 예에서는, 이와 같은 조사가 행해지고 있다. 이 경우, 궤적(103)이 원필름(102)의 주면에 수직으로 연장되기 때문에, 나중의 화학 에칭에 의해, 주면에 수직인 방향으로 중심선(86)이 연장되는 관통 구멍(83)이 형성된 수지 필름(81)이 얻어진다. 이온(101)은 원필름(102)의 주면에 대하여 경사의 방향으로부터 당해 필름에 조사해도 된다. 이 경우, 나중의 화학 에칭에 의해, 주면에 수직인 방향으로부터 기울어진 방향으로 중심선(86)이 연장되는 관통 구멍(83)이 형성된 수지 필름(81)이 얻어진다. 원필름(102)에 대하여 이온(101)을 조사하는 방향은 공지의 수단에 의해 제어할 수 있다. 도 3의 각도 θ1은, 예를 들어 원필름(102)에 대한 이온빔의 입사각에 의해 제어할 수 있다.
이온(101)은, 예를 들어 복수의 이온(101)의 비적이 서로 평행이 되도록 원필름(102)에 조사된다. 도 10에 도시하는 예에서는, 이와 같은 조사가 행해지고 있다. 이 경우, 나중의 화학 에칭에 의해, 서로 평행하게 연장되는 복수의 관통 구멍(83)이 형성된 수지 필름(81)이 형성된다.
이온(101)은 복수의 이온(101)의 비적이 서로 비평행(예를 들어, 서로 랜덤)이 되도록 원필름(102)에 조사해도 된다. 이에 의해, 예를 들어 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같은 수지 필름(81)이 형성된다. 보다 구체적으로는, 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같은 수지 필름(81)을 형성하기 위해, 예를 들어 이온빔을 원필름(102)의 주면에 수직인 방향으로부터 기울여 조사함과 함께, 연속적 혹은 단계적으로 당해 기울어지는 방향을 변화시켜도 된다. 또한, 이온빔은 복수의 이온이 서로 평행하게 비상하는 빔이기 때문에, 동일한 방향으로 연장되는 관통 구멍(83)의 조가 수지 필름(81)에 통상 존재하게[동일한 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍(83)이 수지 필름(81)에 통상 존재하게] 된다.
연속적 또는 단계적으로 당해 기울어지는 방향을 변화시키는 방법의 예를 도 11에 도시한다. 도 11에 도시하는 예에서는, 띠상의 원필름(102)을 송출 롤(105)로부터 송출하여 소정의 곡률을 갖는 조사 롤(106)을 통과시키고, 당해 롤(106)을 통과하는 동안에 이온빔(104)을 조사하고, 조사 후의 원필름(102)을 권취 롤(107)에 권취한다. 이때, 이온빔(104) 중의 이온(101)은 차례로 서로 평행하게 비상해 오기 때문에, 조사 롤(106) 상을 원필름(102)이 이동함과 함께 원필름(102)의 주면에 대하여 이온빔이 충돌하는 각도(입사각 θ1)가 변화되게 된다. 그리고, 이온빔(104)을 연속적으로 조사하면 상기 기울어지는 방향은 연속적으로 변화되고, 이온빔(104)을 단속적으로 조사하면 상기 기울어지는 방향은 단계적으로 변화된다. 이것은, 이온빔의 조사 타이밍에 의한 제어라고도 할 수 있다. 또한, 이온빔(104)의 단면의 형상 및 원필름(102)의 조사면에 대한 이온빔(104)의 빔 라인의 단면적에 의해서도, 원필름(102)에 형성되는 궤적(103)의 상태(예를 들어, 각도 θ1)를 제어할 수 있다.
수지 필름(81)의 구멍 밀도는 원필름(102)으로의 이온빔의 조사 조건[이온종, 이온의 에너지, 이온의 충돌 밀도(조사 밀도) 등]에 의해 제어할 수 있다.
이온(101)은 2 이상의 빔 라인으로부터 원필름(102)에 조사해도 된다.
공정 (I)은 원필름(102)의 주면, 예를 들어 상기 한쪽의 주면에 마스킹층이 배치된 상태로 실시해도 된다. 이 경우, 예를 들어 당해 마스킹층을 공정 (II)에 있어서의 마스킹층에 이용할 수 있다.
[공정 (II)]
공정 (II)에서는 공정 (I)에 있어서 이온빔을 조사한 후의 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분의 적어도 일부를 화학 에칭하고, 이온(101)의 충돌의 궤적(103)을 따라 연장되는 관통 구멍(83)을 당해 필름에 형성한다. 이와 같이 하여 얻은 수지 필름(81)에 있어서의 관통 구멍(83) 이외의 부분은, 필름의 상태를 변화시키는 공정을 더 실시하지 않는 한, 기본적으로, 이온빔 조사 전의 원필름(102)과 동일하다.
구체적인 에칭의 방법은 공지의 방법을 따르면 된다. 예를 들어, 에칭 처리액에, 이온빔 조사 후의 원필름(102)을 소정의 온도이고 또한 소정의 시간, 침지하면 된다. 에칭 온도, 에칭 시간, 에칭 처리액의 조성 등의 에칭 조건에 의해, 예를 들어 관통 구멍(83)의 직경을 제어할 수 있다.
에칭의 온도는, 예를 들어 40 내지 150℃이고, 에칭의 시간은, 예를 들어 10초 내지 60분이다.
화학 에칭에 사용하는 에칭 처리액은 특별히 한정되지 않는다. 에칭 처리액은, 예를 들어 알칼리성 용액, 산성 용액 또는 산화제, 유기 용제 및 계면 활성제에서 선택되는 적어도 1종을 첨가한 알칼리성 용액 혹은 산성 용액이다. 알칼리성 용액은, 예를 들어 수산화나트륨, 수산화칼륨과 같은 염기를 포함하는 용액(전형적으로는 수용액)이다. 산성 용액은, 예를 들어 질산, 황산과 같은 산을 포함하는 용액(전형적으로는 수용액)이다. 산화제는, 예를 들어 중크롬산칼륨, 과망간산칼륨, 차아염소산나트륨이다. 유기 용제는, 예를 들어 메탄올, 에탄올, 2-프로판올, 에틸렌글리콜, 아미노알코올, N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드이다. 계면 활성제는, 예를 들어 알킬벤젠술폰산염, 알킬황산염이다.
공정 (II)에서는 이온빔 조사 후의 원필름(102)의 한쪽의 주면에 마스킹층을 배치한 상태로 상기 화학 에칭을 실시해도 된다. 이 화학 에칭에서는, 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분의 에칭에 대하여, 마스킹층을 배치한 상기 한쪽의 주면으로부터의 에칭에 비해, 다른 쪽의 주면으로부터의 에칭의 정도가 커진다. 즉, 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분의 에칭에 대하여, 당해 필름의 양쪽의 주면으로부터의 에칭이 비대칭적으로 진행되는 화학 에칭(비대칭 에칭)이 실시된다. 또한, 「에칭의 정도가 크다」란, 보다 구체적으로는, 예를 들어 상기 부분에 대하여 단위 시간당의 에칭량이 큰 것, 즉 상기 부분에 대하여 에칭 속도가 큰 것을 의미한다.
공정 (II)에서는 원필름(102)의 한쪽의 주면으로의, 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분에 비해 화학 에칭되기 어려운 마스킹층의 배치에 의해, 당해 한쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭을 억제하면서, 원필름(102)의 다른 쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭을 진행시키는 화학 에칭을 실시해도 된다. 이와 같은 에칭은, 예를 들어 마스킹층의 종류 및 두께의 선택, 마스킹층의 배치, 에칭 조건의 선택 등에 의해 실시할 수 있다.
마스킹층의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분에 비해 화학 에칭되기 어려운 재료로 구성되는 층인 것이 바람직하다. 「에칭되기 어렵다」란, 보다 구체적으로는, 예를 들어 단위 시간당으로 에칭되는 양이 작은 것, 즉, 피에칭 속도가 작은 것을 의미한다. 화학 에칭되기 어려운지 여부는, 공정 (II)에 있어서 실제로 실시하는 비대칭 에칭의 조건(에칭 처리액의 종류, 에칭 온도, 에칭 시간 등)에 기초하여 판단할 수 있다. 공정 (II)에 있어서 복수회의 비대칭 에칭을, 마스킹층의 종류 및/또는 배치면을 바꾸면서 실시하는 경우, 각 에칭의 조건에 기초하여 각각의 에칭에 대하여 판단하면 된다.
마스킹층은 원필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌하고 있지 않은 부분과의 대비에서는, 당해 부분보다도 화학 에칭되기 쉬워도 되고, 에칭되기 어려워도 되고, 어느 것이어도 되지만, 에칭되기 어려운 것이 바람직하다. 에칭되기 어려운 경우, 예를 들어 비대칭 에칭의 실시에 필요한 마스킹층의 두께를 얇게 할 수 있다.
공정 (I)에 있어서, 마스킹층을 배치한 원필름(102)에 이온빔을 조사한 경우, 당해 마스킹층에도 이온 트랙이 형성된다. 이것을 고려하면, 마스킹층을 구성하는 재료는 이온빔의 조사에 의해서도 그 중합체쇄가 손상을 받기 어려운 재료인 것이 바람직하다.
마스킹층은, 예를 들어 폴리올레핀, 폴리스티렌, 폴리염화비닐, 폴리비닐알코올 및 금속박에서 선택되는 적어도 1종으로 구성된다. 이것들의 재료는 화학 에칭되기 어려움과 함께, 이온빔의 조사에 의해서도 손상을 받기 어렵다.
마스킹층을 배치하여 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭을 실시하는 영역에 상당하는, 원필름(102)의 한쪽의 주면의 적어도 일부에 배치하면 된다. 필요에 따라, 원필름(102)의 한쪽의 주면의 전체에 배치할 수 있다.
원필름(102)의 주면에 마스킹층을 배치하는 방법은, 비대칭 에칭을 실시하는 동안, 마스킹층이 당해 주면으로부터 박리되지 않는 한 한정되지 않는다. 마스킹층은, 예를 들어 점착제에 의해 원필름(102)의 주면에 배치된다. 즉, 공정 (II)에 있어서, 마스킹층이 점착제에 의해 상기 한쪽의 주면에 접합된 상태에서, 상기 화학 에칭을(비대칭 에칭을) 실시해도 된다. 점착제에 의한 마스킹층의 배치는 비교적 용이하게 행할 수 있다. 또한, 점착제의 종류를 선택함으로써, 비대칭 에칭 후의 원필름(102)으로부터의 마스킹층의 박리가 용이해진다.
공정 (II)에서 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭을 복수회 실시해도 된다. 또한, 비대칭 에칭과 함께, 원필름(102)의 양쪽의 주면으로부터 균등하게 궤적(103)의 에칭을 진행시키는 대칭 에칭을 더불어 실시해도 된다. 예를 들어, 에칭의 도중에 마스킹층을 원필름(102)으로부터 박리함으로써, 비대칭 에칭으로부터 대칭 에칭의 진행으로 전환해도 된다. 혹은, 대칭 에칭을 실시한 후에 원필름(102)에 마스킹층을 배치하고, 비대칭 에칭을 실시해도 된다.
공정 (II)에서 마스킹층을 사용한 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭 후의 마스킹층은 필요에 따라 그 일부 또는 전부를 수지 필름(81)에 잔류시킬 수 있다. 잔류시킨 마스킹층은, 예를 들어 수지 필름(81)에 있어서의 상기 한쪽의 주면(마스킹층을 배치한 주면)과 상기 다른 쪽의 주면을 구별하는 표시로서 사용할 수 있다.
공정 (II)에 있어서 복수회의 에칭을 실시하는 경우, 각 회의 에칭에 있어서 에칭 조건을 변화시켜도 된다.
수지 필름(81)의 제조 방법은 공정 (I), (II) 이외의 임의의 공정을 포함하고 있어도 된다.
[음향 저항체 부재]
본 발명의 음향 저항체 부재의 일례를, 도 12에 도시한다. 도 12에 도시하는 음향 저항체 부재(91)는 주면에 수직인 방향에서 본 형상이 원형인 음향 저항체(8)와, 당해 저항체(8)의 주연부에 접합된 링상의 시트인 지지체(92)를 구비한다. 음향 저항체(8)에 지지체(92)가 접합된 형태에 의해, 음향 저항체(8)가 보강됨과 함께, 그 취급성이 향상된다. 또한, 지지체(92)가, 음향 저항체 부재(91)를 음향 기기에 배치할 때의 설치 여백이 되기 때문에, 음향 저항체(8)의 설치 작업이 용이해진다.
지지체(92)의 형상은 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 13에 도시한 바와 같이, 주면에 수직인 방향에서 본 형상이 직사각형인 음향 저항체(8)의 주연부에 접합된, 프레임상의 시트인 지지체(92)여도 된다. 도 12, 도 13에 도시한 바와 같이, 지지체(92)의 형상을 음향 저항체(8)의 주연부의 형상으로 함으로써, 지지체(92)의 배치에 의한 음향 저항체(8)의 특성의 저하가 억제된다. 또한, 시트상의 지지체(92)가, 음향 저항체(8)의 취급성 및 음향 기기로의 배치성의 관점에서 바람직하다.
지지체(92)를 구성하는 재료는, 예를 들어 수지, 금속 및 이것들의 복합 재료이다. 수지는, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀; PET, 폴리카르보네이트 등의 폴리에스테르; 폴리이미드 혹은 이것들의 복합재이다. 금속은, 예를 들어 스테인리스나 알루미늄과 같은 내식성이 우수한 금속이다.
지지체(92)의 두께는, 예를 들어 5 내지 500㎛이고, 25 내지 200㎛가 바람직하다. 또한, 설치 여백으로서의 기능에 착안하면, 링 폭(프레임 폭: 외형과 내경의 차)은 0.5 내지 2㎜ 정도가 적당하다. 지지체(92)에는 상기 수지로 이루어지는 발포체를 사용해도 된다.
음향 저항체(8)와 지지체(92)의 접합 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 가열 용착, 초음파 용착, 접착제에 의한 접착, 양면 테이프에 의한 접착 등의 방법을 채용할 수 있다.
음향 저항체 부재(91)는 2층 이상의 음향 저항체(8) 및/또는 2층 이상의 지지체(92)를 구비하고 있어도 된다.
[음향 기기]
본 발명의 음향 기기의 일례는, 도 1에 도시하는 이어폰 유닛(1)이다. 이어폰 유닛(1)의 구체적인 구성은 음향 저항체의 설명에 있어서 전술한 바와 같다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 음향 기기에서는 음향 저항체(8)가, 당해 기기의 하우징에 형성된 개구에 통함과 함께 음향자가 배치되어 있는 기체의 경로(7)에 있어서의, 당해 개구 및 음향자 사이에 배치되어 있다. 「개구 및 음향자 사이에 배치된다」란, 개구로의 배치, 보다 구체적으로는, 개구를 막도록 하우징에 접합한 상태에서의 배치를 포함한다. 이 경우, 하우징의 내벽에 접합해도 되고 외벽에 접합해도 된다.
경로(7)가 통하는 개구는 통음구여도 되고, 통음구 이외의 개구여도 된다. 도 1에 도시하는 이어폰 유닛(1)에서는 통음구(5)와는 다른 개구(6)에, 음향 저항체(8)가 배치된 경로(7)가 통하고 있다. 본 발명의 음향 기기에서는, 예를 들어 음향 기기의 하우징에 2 이상의 개구가 마련되어 있고, 이 2 이상의 개구는 음향자와 하우징의 외부 사이에서 소리를 전달하는 통음구를 포함하고 있고, 적어도, 통음구와는 다른 상기 개구에 통하는 경로(7)에 음향 저항체(8)가 배치되어 있어도 된다. 통음구에 통하는 경로(7)와, 통음구 이외의 개구에 통하는 경로(7)의 양쪽에 음향 저항체(8)가 배치되어 있어도 된다. 음향 기기에 배치되는 음향 저항체(8)는 2 이상이어도 되고, 하나의 경로(7)에 배치되는 음향 저항체(8)가 2 이상이어도 된다.
음향자로부터의 경로(7)는 2 이상의 개구에 통하고 있어도 되고, 이때 당해 2 이상의 개구의 적어도 하나가 통음구여도 된다. 바꾸어 말하면, 음향자로부터의 경로(7)는 통음구와, 통음구 이외의 개구에 통하고 있어도 된다.
경로(7)의 설계, 경로(7)에 있어서의 음향 저항체(8)를 배치하는 위치 및 수, 그리고 음향 저항체(8)의 특성(관통 구멍의 직경, 통기도 등)은 요구되는 음향 기기의 특성에 따라 자유롭게 설정할 수 있다.
음향 저항체(8)는, 예를 들어 당해 저항체(8)가 배치되어 있는 경로(7)를 막도록 배치된다. 음향 저항체(8)는 경로(7)를 부분적으로 덮도록 배치해도 된다.
음향 저항체(8)가 방진성을 갖는 경우, 그 배치의 상태에 따라서는, 방진성을 갖는 음향 기기가 얻어진다. 배치의 상태는, 예를 들어 경로(7)에 통하는 개구를 덮는 배치이다. 음향 저항체(8)가 방수성을 갖는 경우, 그 배치의 상태에 따라서는, 방수성을 갖는 음향 기기가 얻어진다. 배치의 상태는, 예를 들어 경로(7)에 통하는 개구를 덮는 배치이다.
경로(7)로의 음향 저항체(8)의 배치 방법은 한정되지 않는다. 도 1에 도시하는 이어폰 유닛(1)에서는 경로(7)를 구성하는 개구(24)가 형성된 프레임(23)에, 당해 개구(24)를 막도록 음향 저항체(8)가 접합되어 있다. 음향 기기를 구성하는 부재에 음향 저항체(8)를 접합함으로써 경로(7)에 당해 저항체(8)를 배치하는 경우, 양면 테이프를 사용한 부착, 열 용착, 고주파 용착, 초음파 용착 등의 방법을 채용할 수 있다. 양면 테이프를 사용한 부착에서는, 당해 양면 테이프를 지지체(92)로서 이용하는 것도 가능하고, 음향 저항체(8)를 보다 확실하고 또한 정확하게 접합할 수 있다.
음향 저항체(8)의 형상은 한정되지 않는다. 음향 저항체(8)의 형상은, 예를 들어 디스크상, 원통상, 링상 및 이것들의 형상의 일부(예를 들어, 링의 일부, 초승달상, 반달상 등)이다. 음향 저항체(8)를 배치하는 경로(7)의 형상 혹은 경로(7)의 단면의 형상에 따라 자유롭게 설정할 수 있다.
음향자는 소리를 출력 및/또는 입력하는 기능을 갖는다. 음향자는, 예를 들어 진동판(진동 필름, 진동막, 다이어프램)이다.
경로(7)에 있어서 음향자가 배치되는 위치는 한정되지 않고, 예를 들어 음향자가 경로(7)의 말단에 배치되어 있어도 된다.
변환부(변환기)는 음향자를 구비하고, 소리와 전기 신호를 변환한다. 음향 기기가 이어폰 등과 같이 소리를 출력하는 기기인 경우, 변환부에서는 입력된 전기 신호(소리 신호)에 대응하는 소리를 출력한다. 음향 기기가 마이크로폰 등과 같이 소리를 입력하는 기기인 경우, 변환부에서는 입력된 소리에 대응하는 전기 신호(소리 신호)를 출력한다. 변환부의 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않고, 음향자를 포함하고, 공지의 변환부와 마찬가지일 수 있다.
하우징 내로의 변환부의 수용 방법 및 수용 위치는 한정되지 않는다. 하우징은, 예를 들어 금속, 수지, 유리 및 이것들의 복합 재료에 의해 형성된다. 하우징에 형성하는 개구(통음구를 포함함)의 위치 및 형상은 한정되지 않는다.
본 발명의 음향 기기는 한정되지 않고, 예를 들어 이어폰, 헤드폰, 마이크로폰, 헤드셋, 수화기, 보청기 및 웨어러블 단말기이다. 본 발명의 음향 기기는 소음계 등의 음향 평가 기기일 수 있다. 본 발명의 음향 기기는 2 이상의 유닛으로 구성되는 음향 기기의 각 유닛일 수 있다. 당해 유닛은, 예를 들어 이어폰 유닛, 헤드폰 유닛, 마이크로폰 유닛, 헤드셋을 구성하는 각 유닛이다.
실시예
본 발명은 이하에 나타내는 실시예에 한정되지 않는다.
(실시예 1)
두께 방향으로 관통하는 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 시판의 PET 필름(it4ip제, Track etched membrane, 두께 45㎛)을 준비했다. 당해 필름의 관통 구멍의 직경은 3.0㎛, 구멍 밀도는 2.0×106개/㎠였다.
이어서, 준비한 PET 필름을, 80℃로 유지한 에칭 처리액(수산화칼륨 농도 20질량%의 수용액)에 30분 침지했다. 에칭 종료 후, 처리액으로부터 필름을 취출하고, RO수(역침투막 여과수)에 침지하여 세정한 후, 50℃의 건조 오븐에서 건조하고, 두께 방향으로 관통하는 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 수지 필름을 얻었다. 얻어진 수지 필름의 관통 구멍의 직경은 5.9㎛이고, 그 중심축의 연장되는 방향에 수직인 단면의 면적은, 당해 필름의 두께 방향으로 일정했다. 구멍 밀도는 에칭 전후에서 동일했다.
이어서, 건조 후의 수지 필름을 분산 염료를 사용하여 염색했다. 염색 후의 필름은 육안으로는 흑색이었다.
이어서, 제작한 흑색 필름을 발액 처리액 중에 3초 침지한 후, 상온에서 30분간 방치하여 건조시키고, 당해 필름의 표면 및 관통 구멍의 내주면에 발액층을 형성했다. 발액 처리액은 발액제(신에쓰 가가쿠제, X-70-029C)를 농도 0.7중량%가 되도록 희석제(신에쓰 가가쿠제, FS 시너)로 희석하여 조제했다.
이와 같이 하여 얻은 수지 필름(음향 저항체)의 겉보기 밀도는 0.70g/㎤였다.
또한, 이와 같이 하여 얻은 수지 필름(음향 저항체)에 있어서의 두께 방향의 통기성의 변동을, 통기성 변동률에 의해 평가했다. 통기성 변동률은 이하와 같이 구했다. 최초에, 도 14에 도시한 바와 같이, 얻어진 수지 필름을 샘플 201로 하고, 당해 샘플의 주면에 있어서의 직교하는 2개의 방향으로 각각 20점, 샘플 201 전체에서 40점의 측정 포인트 202를 설정했다. 이어서, 각 측정 포인트 202에 있어서의 샘플 201의 두께 방향의 통기도를, JIS L1096B의 규정에 준거하여 걸리수로서 측정했다. 이어서, 측정한 40점의 통기도의 평균값 Av 및 표준 편차 σ를 구하고, 평균값 Av에 대한 표준 편차 σ의 비 σ/Av로 표시되는 통기성 변동률을 구했다. 실시예 1에서 제작한 음향 저항체의 통기성 변동률은 0.081이었다.
(비교예 1)
비교예 1의 음향 저항체로서, 시판의 부직포(아사히 가세이 센이제, 스매쉬 Y15250)를 준비했다. 이 부직포는 스펀 본드법에 의해 형성된 폴리에틸렌테레프탈레이트 섬유로 구성되는 부직포이고, 그 겉보기 밀도는 0.44g/㎤였다.
이 음향 저항체를 샘플로 하고, 실시예 1도 마찬가지로 통기성 변동률을 구했다. 각 측정 포인트 202의 위치는 실시예 1과 동일하게 했다. 비교예 1의 음향 저항체의 통기성 변동률은 0.150이었다.
실시예 1의 음향 저항체의 통기성의 변동은 비교예 1의 음향 저항체보다도 작았다.
본 발명은 그 의도 및 본질적인 특징으로부터 일탈하지 않는 한, 다른 실시 형태에 적용할 수 있다. 이 명세서에 개시되어 있는 실시 형태는 모든 점에서 설명적인 것이며 이것에 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는 상기 설명이 아니라 첨부한 클레임에 의해 나타나 있고, 클레임과 균등한 의미 및 범위에 있는 모든 변경은 그것에 포함된다.
본 발명의 음향 저항체는 종래의 음향 저항체와 동일한 임의의 용도로 사용할 수 있다.

Claims (8)

  1. 음향 기기에 사용하는 음향 저항체이며,
    상기 음향 기기는,
    소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와,
    상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고,
    상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고,
    상기 음향자는 상기 경로에 배치되고,
    상기 음향 저항체는 상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치됨과 함께, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하고,
    상기 수지 필름은 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 복수의 관통 구멍이 형성된 비다공질의 필름이며,
    상기 관통 구멍은, 상기 관통 구멍의 중심선이 연장되는 방향에 수직인 단면의 면적이 상기 수지 필름의 두께 방향으로 변화되는 형상을 갖는, 음향 저항체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 관통 구멍의 직경이 3.0㎛ 이상 13.0㎛ 이하인, 음향 저항체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 경로의 단면을 덮도록 배치되는, 음향 저항체.
  4. 제1항에 있어서, 발액층을 더 포함하는, 음향 저항체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 음향 저항체와,
    상기 음향 저항체에 접합된 지지체를 구비하는 음향 저항체 부재.
  6. 소리를 출력 및/또는 입력하는 음향자를 구비한, 소리와 전기 신호를 변환하는 변환부와, 상기 변환부가 수용된, 적어도 하나의 개구를 갖는 하우징을 구비하고,
    상기 적어도 하나의 개구에 통하는 기체의 경로가 상기 하우징 내에 존재하고,
    상기 음향자는 상기 경로에 배치되고,
    상기 경로에 있어서의, 상기 적어도 하나의 개구와 상기 음향자 사이에 배치된, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 포함하는 음향 저항체를 더 구비하고,
    상기 음향 저항체가, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 음향 저항체인, 음향 기기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 하우징에 2 이상의 상기 개구가 마련되어 있고,
    상기 2 이상의 개구는 상기 음향자와 상기 하우징의 외부 사이에서 상기 소리를 전달하는 통음구를 포함하고,
    적어도, 상기 통음구와는 다른 상기 개구에 통하는 상기 경로에, 상기 음향 저항체가 배치되어 있는, 음향 기기.
  8. 제6항에 있어서, 상기 음향 기기가 이어폰, 이어폰 유닛, 헤드폰, 헤드폰 유닛, 헤드셋, 헤드셋 유닛, 수화기, 보청기 또는 웨어러블 단말기인, 음향 기기.
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