CN107251572A - 音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备 - Google Patents

音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备 Download PDF

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Abstract

本公开的音响声阻是使用于音响设备的音响声阻，包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜，该树脂膜是形成有在厚度方向上贯通的呈直线状延伸的多个贯通孔的非多孔质的膜。音响设备具备：变换部，将声音与电信号进行变换且具备音响元件；及壳体，收容变换部且具有至少一个开口，与该开口连通且配置有音响元件的气体的路径存在于壳体内，该音响声阻在该音响设备中配置在上述气体的路径中的该开口与音响元件之间。根据本公开的音响声阻，与以往的音响声阻相比能够减小不均。

Description

音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备
技术领域
本发明涉及对音响设备的声音的特性发挥作用的音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备。
背景技术
麦克风、扬声器、耳机、头戴式耳机等音响设备具备：将声音与电信号相互变换的变换部；及收容有变换部的壳体。变换部具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，例如振动板。音响元件可以如一般的扬声器那样向壳体的外部露出，也可以如耳机及麦克风那样收容在壳体的内部。在音响元件收容于壳体的内部的情况下，在该壳体设有通音口，该通音口是在音响元件与壳体的外部之间传递声音的开口。
在音响设备的壳体上，除了有意设计成不设置的情况之外，通常设有通音口以外的开口。在虽然音响元件向外部露出，但是壳体自身密闭的情况下，或者虽然音响元件的通音口侧的空间经由通音口而向外部开放，但是位于壳体内的相反侧的空间密闭的情况下，伴随音响元件的动作而在密闭空间侧产生压力变动。因此，除非进行周密的设计，否则由于压力变动而音响元件的振动被阻碍，音响设备的声音的输出特性及/或输入特性(以下，也简称为“音响设备的特性”)下降。在耳机等相对于音响元件的密闭空间侧的容积特别小的情况下，压力变动的影响大。通过在壳体设置通音口以外的开口能消除上述密闭，能够提高音响元件的振动特性，即音响设备的特性。
在音响设备中，还有在包含通音口的壳体的开口与音响元件之间的空气的路径上配置音响声阻的情况。音响声阻是虽然具有通气性、但是与未配置的状态相比阻碍上述路径中的空气的流动的通气阻力体。通过音响声阻的配置，能够控制上述路径中的空气的流动。声音是空气的振动，因此通过在音响元件与通音口之间配置音响声阻，能够控制从音响元件输出的声音及/或向音响元件输入的声音的特性，即音响设备的特性。而且，通过在通音口以外的开口与音响元件之间配置音响声阻，能够控制在音响元件的该开口侧产生的空气的流动，由此，控制音响元件的振动，能够控制从音响元件输出的声音及/或向音响元件输入的声音的特性。
专利文献1～3公开了配置有音响声阻的音响设备。这些文献公开的音响声阻由海绵等多孔质体、无纺布、网眼织物等织布构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平8-205289号公报
专利文献2：日本特开2004-200947号公报
专利文献3：日本特开2006-50174号公报
发明内容
发明要解决的课题
音响声阻要求其不均例如通气性的不均小。在不均大的情况下，配置有音响声阻的音响设备的特性例如声压特性不稳定。这在仅具备一个变换部及壳体的音响设备中在制品间的特性的不均的点上当然会成为问题，尤其是在耳机及头戴式耳机等具备左侧及右侧的多个单元的音响设备(各单元分别具备变换部及壳体)中特别成为问题。这是因为，在单元间如果输出特性例如声压特性之差增大，则无法作为将一对单元组合的耳机及头戴式耳机来使用。
本发明的目的之一在于提供一种与以往的音响声阻相比能够减小不均的音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备。
用于解决课题的方案
本公开的音响声阻是使用于音响设备的音响声阻。所述音响设备具备：变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口。在所述音响设备中，与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，所述音响元件配置于所述路径。所述音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并且包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜。所述树脂膜是形成有在厚度方向上贯通的呈直线状延伸的多个贯通孔的非多孔质的膜。
本公开的音响声阻构件具备：上述本公开的音响声阻；及接合于该音响声阻的支承体。
本公开的音响设备具备：变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口，与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，所述音响元件配置于所述路径，所述音响设备还具备音响声阻，所述音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜。所述音响声阻是上述本公开的音响声阻。
发明效果
根据本发明，实现与以往的音响声阻相比能够减小不均的音响声阻、具备该音响声阻的音响声阻构件及音响设备。
附图说明
图1是示意性地表示具备本发明的音响声阻的音响设备的一例的分解立体图。
图2是示意性地表示本发明的音响声阻的一例的剖视图。
图3是示意性地表示本发明的音响声阻的另一例的剖视图。
图4是示意性地表示在本发明的音响声阻中贯通孔所延伸的方向上的该贯通孔间的关系的一例的俯视图。
图5是示意性地表示在本发明的音响声阻中贯通孔所延伸的方向上的该贯通孔间的关系的另一例的俯视图。
图6是示意性地表示在本发明的音响声阻中贯通孔所延伸的方向上的该贯通孔间的关系的又一例的剖视图。
图7是示意性地表示本发明的音响声阻的又一例的剖视图。
图8是示意性地表示本发明的音响声阻的与上述不同的一例的剖视图。
图9是示意性地表示本发明的音响声阻的与上述不同的一例的剖视图。
图10是形成构成本发明的音响声阻的树脂膜的方法，是用于说明使用离子束照射及之后的化学蚀刻的方法中的离子束照射的概略的示意图。
图11是形成构成本发明的音响声阻的树脂膜的方法，是用于说明使用离子束照射及之后的化学蚀刻的方法中的离子束照射的一例的示意图。
图12是示意性地表示本发明的音响声阻构件的一例的立体图。
图13是示意性地表示本发明的音响声阻构件的另一例的俯视图。
图14是用于说明在实施例中进行的音响声阻的通气性变动率的测定中的样品的测定点的图。
具体实施方式
本公开的第一形态提供一种音响声阻，使用于音响设备，其中，
所述音响设备具备：变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口，
与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，所述音响元件配置于所述路径，所述音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并且包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜，所述树脂膜是形成有在厚度方向上贯通的呈直线状延伸的多个贯通孔的非多孔质的膜。
本公开的第二形态提供一种音响声阻，以第一形态为基础，其中，所述贯通孔的直径为3.0μm以上且13.0μm以下。
本公开的第三形态提供一种音响声阻，以第一或第二形态为基础，其中，以覆盖所述路径的截面的方式配置。
本公开的第四形态提供一种音响声阻，以第一至第三形态中任一形态为基础，其中，还包括疏液层。
本公开的第五形态提供一种音响声阻构件，具备：第一至第四形态中任一形态的音响声阻；及接合于所述音响声阻的支承体。
本公开的第六形态提供一种音响设备，所述音响设备具备：变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口，与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，所述音响元件配置于所述路径，所述音响设备还具备音响声阻，该音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜，所述音响声阻是第一至第四形态中任一形态的音响声阻。
本公开的第七形态提供一种音响设备，以第六形态为基础，其中，在所述壳体设有两个以上的所述开口，所述两个以上的开口包括在所述音响元件与所述壳体的外部之间传递所述声音的通音口，至少在与不同于所述通音口的所述开口连通的所述路径上配置所述音响声阻。
本公开的第八形态提供一种音响设备，以第六或第七形态为基础，其中，所述音响设备是耳机、耳机单元、头戴式耳机、头戴式耳机单元、头戴式带麦克风耳机、头戴式带麦克风耳机单元、听筒、助听器或可穿戴终端。
[音响声阻]
图1示出具备本发明的音响声阻的音响设备的一例。图1所示的音响设备是构成耳机的单侧(右侧或左侧)的耳机单元1。耳机单元1也是本发明的音响设备的一例。
耳机单元1具备：变换部2，具备输出声音的音响元件即振动板21；前壳体3a及后壳体3b。变换部2收容在作为单元1的壳体3而一体化的前壳体3a及后壳体3b之间。变换部2具备振动板21、磁铁22及框架23，并将它们一体化。振动板21是圆形的膜，在与图示的面(表面)相反的一侧的面(背面)设有圆筒状的线圈。磁铁22为圆板状，在变换部2被一体化的状态下，位于在振动板21的背面设置的线圈的开口部及环状的框架23的开口部。振动板21的周缘部与框架23接合，除了周缘部之外的部分(主部)成为能够对应于线圈的动作而自由振动的状态。当向变换部21供给电信号(具有声音的信息的电气性的信号；声音信号)时，与该信号对应的电流流过线圈，通过该电流与磁铁22的电磁性的相互作用而在振动板21产生与声音信号对应的物理性的振动，该振动作为声音从振动板21输出。即变换部2是将具有声音的信息的电信号与声音进行变换的变换器(transducer)。向变换部2的电信号从与单元1的后壳体3b侧连接的线缆4向振动板21的背面的线圈环供给。线缆4与线圈的电连接省略图示。
单元1的壳体3(3a、3b)具有开口。开口的一种是设于前壳体3a的通音口5。从振动板21输出的声音从振动板21的表面经由通音口5向单元1的外部传递。开口的另一种是设于后壳体3b的开口6。在后壳体3b设有2个开口6a、6b。
与开口6a、6b连通的气体(如果是一般性的使用环境下，则是空气)的路径7存在于单元1的壳体3内。路径7从各开口6a、6b通过设于框架23的开口24而达到振动板21的背面。换言之，作为音响元件的振动板21配置于路径7的末端(与开口6a、6b相反的一侧的末端)。需要说明的是，在图1中，为了便于理解而直线性地表示路径7，但既然路径7是气体的路径，在壳体3内气体从开口6a、6b连通的部分就可以成为路径7。并且，在单元1中，音响声阻8配置在路径7上的开口6a、6b与振动板21之间。更具体而言，与框架23的各开口24的形状对应的、具有作为环的一部分的形状的音响声阻8以闭塞各个开口24的方式接合于框架23。在图1所示的单元1中，路径7必然通过音响声阻8。换言之，在单元1中，音响声阻8以覆盖路径7的截面的方式配置。
音响声阻8由在厚度方向上具有通气性的树脂膜81构成。树脂膜81是形成有在厚度方向上贯通的呈直线状地延伸的多个贯通孔的非多孔质的膜。
通过设置从音响元件通向开口6的通气路径7，可抑制例如作为音响元件的振动板21的动作(振动)的阻碍。尤其是在耳机单元1中，壳体3内部的容积，尤其是相对于振动板21而位于与通音口5相反的一侧(背面侧；后壳体侧)的部分的容积小，因此其效果显著。并且，通过在路径7配置成为在该路径7中流通的气体的流动的阻力体的音响声阻8，由此从作为音响设备的耳机单元1及具备该单元1的耳机输出的声音的特性，例如，从耳机单元1及耳机输出的音质提高。音质的提高的更具体的例子是相对于向变换部2输入的声音信号而言更忠实的声音的输出、不需要的共鸣的减少、关于输出的声音的频率特性的平坦化或特定的频率区域的增强或减衰、及指向性或无指向性的实现等。图1所示的例子是耳机单元，但是在输出声音的其他的音响设备中也能够实现同样的特性提高。而且，在输入声音的音响设备例如麦克风中，也能够实现对应的特性提高。
包含树脂膜81的音响声阻8与由海绵等多孔质体、无纺布、网眼织物等织布构成的以往的音响声阻相比，不均(特性及/或构造的不均，例如通气性的不均)小。不均包括一个音响声阻中的面内的不均、配置于音响设备的2个或2个以上的音响声阻间的不均(除了有意在各音响声阻间使通气性等特性及/或构造变化的情况之外)、及如耳机那样使用多个单元(在耳机中为左侧耳机单元及右侧耳机单元)时各单元具备的音响声阻间的不均。通过该不均减小而能实现例如以下的效果。
能够更可靠地实现由设置路径7的情况及在路径7配置音响声阻8的情况产生的上述的效果，更具体而言音响设备的特性的提高。并且，特性的调整及特性的提高用的音响设备的设计的自由度提高。
一个音响声阻中的面内不均的减小及配置于音响设备的2个以上的音响声阻间的不均的减小还可提高例如音响设备特性(更具体的例子是声压特性)。而且例如在音响设备的制造时，能够简化或省略挑选不均尽可能小的音响声阻的工序，或者以音响声阻存在某种程度的大小的不均为前提，在该前提下为了尽可能地减小不均而以往实施的音响声阻的形状的调整、音响设备中的音响声阻的配置状态的调整、音响声阻向构成音响设备的构件的接合状态的调整、制造后的音响设备的周密的特性检査这样的工序。这会带来音响设备的制造成品率的提高及制造成本的减少。在耳机等将2个以上的单元组合的音响设备中，通过各单元具备的音响声阻间的不均的减小，能够减小例如各单元间的输出特性的不均。这在例如耳机的制造时，能简化或省略挑选输出特性近似或相同的单元作为左侧及右侧的单元并组合的工序。此外，以往正因为输出特性的不均的存在，所以不能进行耳机单元单体的流通的情况是本领域技术人员的常识，但是如果单元间的输出特性的不均小，则作为制造部件或更换部件而单元单体的流通也可能会进入视野，其意义非常大。
除此之外，能够对包含形成有在厚度方向上贯通的呈直线状延伸的多个贯通孔的非多孔质的树脂膜81的音响声阻8赋予防尘性。被赋予了防尘性的音响声阻8除了使音响设备的特性提高的上述的功能以外，还表现出作为防尘构件的功能。通过这样的音响声阻8向路径7的配置，例如，能够抑制灰尘等异物从开口6侵入到音响设备的壳体3内的情况，能够成为具有防尘功能的音响设备。音响声阻8的防尘性的程度例如能够通过树脂膜81的贯通孔的直径来控制。
对音响声阻8，例如能够通过在树脂膜81设置疏液层来赋予防水性。被赋予了防水性的音响声阻8除了使音响设备的特性提高的上述的功能以外，还表现出作为防水构件的功能。通过这样的音响声阻8的向路径7的配置，例如，能够抑制水从开口6浸入到音响设备的壳体3内的情况，能够成为具有防水功能的音响设备。音响声阻8的防水性的程度例如能够通过疏液层的结构及树脂膜81的贯通孔的直径来控制。
能够对音响声阻8赋予防尘性和防水性的双方。
音响声阻8由于其材质而与以往的音响声阻相比能够提高时效稳定性。例如，有时使用由发泡聚氨酯构成的多孔质体作为音响声阻，但是聚氨酯树脂具有受大气中的湿度影响的加水分解性，时效稳定性不能说是充分。相对于此，例如，包含由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)构成的树脂膜81的音响声阻8表现出远为良好的时效稳定性。
图2示出音响声阻8的一例。图2所示的音响声阻8由树脂膜81构成。在树脂膜81形成有在其厚度方向上贯通的多个贯通孔83。贯通孔83从树脂膜81的一主面84a向另一主面84b延伸。树脂膜81是非多孔质的树脂膜，除了贯通孔83以外不具有沿其厚度方向能够通气的路径。树脂膜81典型的是除了贯通孔83之外为无孔的(实心的)树脂膜。贯通孔83在树脂膜81的双方的主面具有开口。通过这样的树脂膜81的构造，能实现音响声阻8中的不均，例如通气性的不均的减小。
贯通孔83是该贯通孔的中心轴(轴线)86呈直线状延伸的笔直孔。作为笔直孔的贯通孔83可以通过例如向树脂膜的原膜的离子束照射及之后的化学蚀刻来形成。在离子束照射及蚀刻中，在树脂膜81能够形成直径(开口径)一致的该直径的均匀度高的多个贯通孔83。树脂膜81可以是通过向原膜的离子束照射及化学蚀刻而得到的膜。音响声阻8中的贯通孔83的直径的均匀度高的情况有助于音响声阻8中的不均例如通气性的不均的减小。需要说明的是，在图2及表示音响声阻的构造的图2以后的图中，为了便于理解贯通孔的形状而夸张地描绘了其直径。
在图2所示的例子中，贯通孔83所延伸的方向是与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向。贯通孔83只要在树脂膜81的厚度方向上贯通即可，贯通孔83所延伸的方向可以从与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向倾斜。此时，可以是存在于树脂膜81的全部的贯通孔83所延伸的方向相同(可以是中心轴86的方向一致)，也可以如图3所示，树脂膜81具有在相对于与该膜的主面84a、84b垂直的方向而倾斜的方向上延伸的贯通孔83(83a～83g)，该倾斜延伸的方向不同的贯通孔83a～83g混存于树脂膜81。
在图3所示的例子中，贯通孔83相对于与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向而倾斜延伸(贯通树脂膜81)，存在延伸方向互不相同的贯通孔83的组合。此时，在树脂膜81也可以存在延伸方向相同的贯通孔83的组合(在图3所示的例子中，贯通孔83a、83d、83g的延伸方向相同)。树脂膜81可以具有在与该膜的主面84a、84b垂直的方向上延伸的贯通孔83和在相对于该方向倾斜的方向上延伸的贯通孔83这双方。以下，将“组合”也简称为“组”。“组”并不局限于1个贯通孔与1个贯通孔的关系(成对(对))而是指1个或2个以上的贯通孔彼此的关系。存在具有相同特征的贯通孔的组是指具有该特征的贯通孔存在多个。
在图3所示那样的由倾斜延伸的方向不同的贯通孔83混存的树脂膜81构成的音响声阻8中，能够使其倾斜程度及沿某方向延伸的贯通孔83的比例变化，因此能够使路径7中的气体的流动的阻力更宽幅地变化，或者在不具有这样的构造的与音响声阻8不同的区域变化，由该阻力体8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。该自由度的高度有助于音响设备的特性及设计的自由度的提高。
关于图3所示的贯通孔83，其倾斜延伸的方向(中心轴86延伸的方向)D1相对于与树脂膜81的主面垂直的方向D2所成的角度θ1为例如45°以下，可以为30°以下。在角度θ1处于上述的范围时，由音响声阻8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。角度θ1的下限并没有特别限定，但是为例如10°以上，也可以为20°以上。如果角度θ1过大，则音响声阻8的机械强度存在减弱的倾向。在图3所示的贯通孔83中，存在角度θ1互不相同的组。
在图3所示那样的由倾斜延伸的方向不同的贯通孔83混存的树脂膜81构成的音响声阻8中，从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时(将贯通孔83延伸的方向向该主面投影时)，贯通孔83延伸的方向可以相互平行，树脂膜81也可以具有该延伸方向互不相同的组(该延伸方向互不相同的贯通孔83存在于树脂膜81)。在后者的情况下，能够使路径7中的气体的流动的阻力更宽幅地变化，或者在不具有这样的构造的与音响声阻8不同的区域变化，由音响声阻8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。
图4示出从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，贯通孔83所延伸的方向相互平行的例子。在图4所示的例子中，能观察到3个贯通孔83(83h、83i、83j)，但是在与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，各贯通孔83延伸的方向(从纸面近前侧的主面中的贯通孔83的开口88a朝向相反侧的主面中的贯通孔83的开口88b的方向)D3、D4、D5相互平行(后述的θ2为0°)。但是，各贯通孔83h、83i、83j的角度θ1互不相同，贯通孔83j的角度θ1最小，贯通孔83h的角度θ1最大。因此，各贯通孔83h、83i、83j延伸的方向立体性地不同。
图5示出从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，贯通孔83延伸的方向互不相同的例子。在图5所示的例子中，能观察到3个贯通孔83(83k、83l、83m)，但是从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，各贯通孔83延伸的方向D6、D7、D8互不相同。在此，从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，贯通孔83k与83l成小于90°的角度θ2，从该主面向互不相同的方向延伸。另一方面，从与树脂膜81的主面垂直的方向观察时，贯通孔83k与83m成90°以上的角度θ2，从该主面向互不相同的方向延伸。如后者那样，树脂膜81具有从与该膜的主面垂直的方向观察时成90°以上的角度θ2而从该主面向互不相同的方向延伸的贯通孔83的组。换言之，树脂膜81具有从与该膜的主面垂直的方向观察时从该主面向一定的方向D6延伸的贯通孔83k和从该主面向与该一定的方向D6成90°以上的角度θ2的方向D8延伸的贯通孔83m的组。此时，由音响声阻8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。角度θ2为例如90°以上180°以下，即可以为180°。
在图4所示那样的由倾斜延伸的方向不同的贯通孔83混存的树脂膜81构成的音响声阻8中，可以是2个以上的贯通孔83在树脂膜81内相互交叉。即，树脂膜81可以具有在该膜81内相互交叉的贯通孔83的组。此时，能够使路径7中的气体的流动的阻力更宽幅地变化，或者在与不具有这样的构造的音响声阻8不同的区域内变化，由音响声阻8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。这样的例子如图6所示。在图6所示的例子中，贯通孔83p与83q在树脂膜81内相互交叉。
树脂膜81中的(音响声阻8中的)贯通孔83的延伸方向(贯通孔83的中心线86延伸的方向)例如能够通过对该膜81的主面及截面进行基于扫描型电子显微镜(SEM)的观察来确认。
树脂膜81的主面84a、84b中的贯通孔83的开口的形状不受限定，但是典型的是圆形(中心线86延伸的方向与树脂膜81的主面84a、84b垂直的情况)或者椭圆形(中心线86的延伸方向从与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向倾斜的情况)。贯通孔83的开口的形状不需要为严格的圆或椭圆，例如，容许与在后述的制造方法中实施的蚀刻的不均相伴的些许的形状的紊乱。关于贯通孔83的截面的形状也同样。
在图2～6所示的例子中，贯通孔83的直径从树脂膜81的一方的主面84a至另一方的主面84b几乎不变化。即，贯通孔83的截面的形状从主面84a至主面84b几乎不变化。音响声阻8具有的贯通孔83可以具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积沿树脂膜81的厚度方向不变化的形状，作为更具体的例子，贯通孔83可以具有截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加及/或减少的形状。如图7所示，贯通孔83可以具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形状。此时，能够使路径7中的气体的流动的阻力更宽幅地变化，或者在与不具有这样的构造的音响声阻8不同的区域变化，由该阻力体8产生的音响设备的特性控制的自由度进一步提高。图7所示的贯通孔83是截面87的形状沿着中心线86延伸的方向变化的、在音响声阻8及树脂膜81的膜厚方向上具有非对称的形状的贯通孔。
在贯通孔83具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形状的情况下，贯通孔83也可以具有截面87的面积从主面84a至主面84b连续地以大致恒定或恒定的增加率增加且为圆或椭圆的截面87的形状，此时，贯通孔83的形状成为以轴线86为中心线的圆锥或椭圆锥或者它们的一部分。根据使用了离子束照射及蚀刻的后述的制造方法，能够形成包含具有截面87的形状为圆或椭圆的贯通孔83的树脂膜81的音响声阻8。
在贯通孔83具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形状的情况下，主面84a中的相对小的贯通孔83的直径(直径a)与主面84b中的相对大的贯通孔的直径(直径b)之比a/b为例如80％以下，可以为75％以下，甚至70％以下。比a/b的下限没有特别限定，为例如10％。
截面87的面积的增加可以从主面84a朝向主面84b连续增加，也可以逐级增加(即，可以存在截面87的面积恒定的区域)。截面87的面积的增加优选如图7所示的例子那样从主面84a朝向主面84b连续，更优选其增加率为大致恒定或恒定。根据使用了离子束照射及蚀刻的后述的制造方法，能够形成包含具有截面87的面积从主面84a朝向主面84b连续增加的贯通孔83的树脂膜81的音响声阻8、及该面积的增加率大致恒定或恒定的音响声阻8。
树脂膜81中的这些贯通孔83的特征可任意组合。例如，可以是具有与中心线86所延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形状，并且该方向从与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向倾斜的的贯通孔83。
贯通孔83的直径为例如3.0μm以上且13.0μm以下。在贯通孔83的直径处于该范围的情况下，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。如图7所示，贯通孔83具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形状的情况下，相对小的直径(在图7所示的例子中，为主面84a的贯通孔83的直径)可以为3.0μm以上且13.0μm以下。
关于贯通孔83，将其开口的形状看作圆时的该圆的直径，换言之，具有与开口的截面积(开口面积)相同的面积的圆的直径设为贯通孔83的直径(开口径)。贯通孔83的直径通过例如对于利用显微镜观察音响声阻8或树脂膜81的表面的图像进行解析来求出。树脂膜81中的贯通孔83的直径关于各主面，不需要在存在于该主面的全部的贯通孔83的开口处一致，但是优选一致为在树脂膜81的有效部分(作为音响声阻8能够使用的部分)实质上可看作相同值的程度(例如，标准偏差为平均值的10％以下)。根据使用了离子束照射及蚀刻的后述的制造方法，能够形成这样的直径一致的树脂膜81及音响声阻8。
需要说明的是，在从与树脂膜81的主面84a、84b垂直的方向倾斜的方向上延伸的贯通孔83的开口的形状可以为椭圆。然而，即使在这样的情况下，膜81内的贯通孔83的截面87的形状也可看作圆，该圆的直径与开口的形状即椭圆的最小径相等。因此，关于在上述倾斜的方向上延伸的贯通孔83且开口的形状为椭圆的情况，可以将该最小径作为贯通孔的开口径。
音响声阻8以遵照JIS L1096B的规定而测定的格利(Gurley)数表示，可以在厚度方向上具有0.01(秒/100cm3)以上且1.0(秒/100cm3)以下的通气度。在通气度处于该范围时，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。
如图7所示，在包含具有截面87的面积从一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的贯通孔83的树脂膜81的音响声阻8的情况下，从贯通孔83的直径相对大的另一方的主面84b向贯通孔83的直径相对小的一方的主面84a的该阻力体8的通气度由格利数表示而可以处于上述范围。
音响声阻8的通气性的不均小。例如，标准偏差σ相对于在音响声阻8中的任意的40点测定的通气度的平均值Av之比σ/Av(通气性变动率σ/Av)为0.3以下。该变动率可以为0.2以下，甚至0.1以下。
音响声阻8中的(树脂膜81中的)贯通孔83的密度(孔密度)没有特别限定，例如为1×103个/cm2以上且1×109个/cm2以下。在孔密度处于该范围的情况下，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。孔密度不需要在音响声阻8及树脂膜81的整体上恒定，但是优选在其有效部分，恒定为最大的孔密度成为最小的孔密度的1.5倍以下的程度。孔密度可通过例如对于利用显微镜观察音响声阻8或树脂膜81的表面的图像进行解析来求出。
音响声阻8的(树脂膜81的)开口率(主面中的贯通孔83的开口面积相对于该主面的面积的比例)为例如50％以下，可以为10％以上且45％以下，或者20％以上且40％以下。在开口率处于上述的范围时，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。开口率可通过例如对于利用显微镜观察音响声阻8或树脂膜81的表面的图像进行解析来求出。
如图7所示，在包含具有截面87的面积从一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的贯通孔83的树脂膜81的音响声阻8的情况下，贯通孔的直径相对小的主面54a中的开口率可以处于上述范围。
音响声阻8的(树脂膜81的)气孔率为例如25％以上且45％以下，可以为30％以上且40％以下。在气孔率处于上述的范围的情况下，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。需要说明的是，如图2所示，在具有截面87的面积在树脂膜81内恒定的贯通孔83的树脂膜81的情况下，其开口率与气孔率相同。如图7所示，在具有截面87的面积从一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的贯通孔83的树脂膜81的情况下，气孔率例如可以根据双方的主面84a、84b中的开口率和通过观察树脂膜81的截面而掌握的贯通孔83的形状利用计算来求出。
音响声阻8的(树脂膜81的)表观密度为例如0.7g/cm3以上且1.3g/cm3以下，可以为0.8g/cm3以上且1.2g/cm3以下。在表观密度处于上述的范围的情况下，由音响声阻8产生的路径7中的气体的流动的阻力成为特别适度的状态，通过该阻力体8的配置而得到的上述的效果变得特别显著。表观密度可以将切断成任意的尺寸的音响声阻的重量W(g)除以体积V(cm3)来求出。
在音响设备中，除了如扬声器的一种那样音响元件向外部露出的设备之外，为了在收容于壳体内的音响元件与设备的外部之间传递声音而在壳体设置通音口。在图1所示的耳机单元1中，在前壳体3a设置通音口5。音响声阻8可配置于成为音响元件与通音口之间的声音的传递路径的气体的路径。
在音响元件与通音口之间配置音响声阻的情况下，能够提高包含具有上述那样的结构的树脂膜81的音响声阻8的通音特性的情况非常有利。例如，在音响声阻8中，通过将树脂膜81的贯通孔的直径设为5.0μm以上且13.0μm以下，能够使频率100Hz以上且5kHz以下的音域中的该阻力体的插入损失为5dB以下、3dB以下、2dB以下、甚至1dB以下。而且，可以使频率100Hz以上且3kHz以下的音域中的该阻力体的插入损失为5dB以下、3dB以下、2dB以下、甚至1dB以下。100Hz以上且5kHz以下的音域是人类通常的发声、交谈使用的音域，并且相当于在音乐等的重放时能够最敏感地感觉到的音域。该音域中的插入损失小的情况使具备音响声阻8的音响设备的市场中的吸引力提高。而且例如，考虑人的声音域的中央值的频率1kHz下的该阻力体的插入损失可以设为5dB以下、3dB以下、2dB以下、甚至1dB以下。
树脂膜81的厚度及音响声阻8的厚度为例如5μm以上且100μm以下，优选为15μm以上且50μm以下。
构成树脂膜81的材料是例如在后述的制造方法中能够在非多孔质的树脂膜即原膜上形成贯通孔83的材料。树脂膜81由例如通过碱性溶液、酸性溶液、或者添加了从氧化剂、有机溶剂及界面活性剂中选择的至少1种的碱性溶液或酸性溶液分解的树脂构成。在该情况下，后述的制造方法中的基于离子束照射及化学蚀刻的向原膜的贯通孔83的形成变得更加容易。需要说明的是，上述的溶液是典型的蚀刻处理液。从另一方面来看，树脂膜81由能够进行基于例如加水分解或氧化分解的蚀刻的树脂构成。原膜可以使用市售的膜。
树脂膜81由例如从聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚偏二氟乙烯中选择的至少1种树脂构成。
音响声阻8可以具备2层以上的树脂膜81。这样的音响声阻8例如可以对具有2层以上的原膜的层叠体进行离子束照射及化学蚀刻而形成。
音响声阻8根据需要，也可以具备树脂膜81以外的任意的构件及/或层。
音响声阻8可以还具备例如疏液层82。还具备疏液层82的音响声阻8具有防水性。疏液层82例如可以对树脂膜81进行疏液处理来形成。在图8所示的例子中，疏液层82形成于树脂膜81的双方的主面84a、84b上和贯通孔83的表面。图8所示的音响声阻8除了形成疏液层82以外，具有与不具有疏液层的音响声阻即图2所示的音响声阻8同样的结构。
疏液层82可以仅形成于树脂膜81的一方的主面上，也可以仅形成于一方的主面上和贯通孔83的表面。在形成疏液层82的情况下，优选至少形成于在配置于音响设备时水接触的主面。
疏液层82是具有疏水性的层，优选一并具有疏油性。而且，疏液层82在与树脂膜81的贯通孔83对应的位置具有开口85。疏液层82可以通过例如将疏水剂或疏水性的疏油剂利用稀释剂稀释而调制的处理液较薄地涂布在树脂膜81上并干燥而形成。疏水剂及疏水性的疏油剂是例如全氟烷基丙烯酸酯、全氟烷基甲基丙烯酸酯那样的氟化物。疏液层82的厚度优选小于贯通孔83的直径的1/2。
在树脂膜81上较薄地涂布处理液而形成疏液层82的情况下，虽然也受贯通孔83的直径的影响，但是该贯通孔的表面(内周面)也可以与树脂膜81的主面上连续地由疏液层82包覆。
通过疏液层82赋予了防水性的音响声阻8的防水性可以通过例如遵照JIS L1092的耐水度试验B法(高水压法)的规定而测定的耐水压来评价。耐水压为例如2kPa以上。
音响声阻8可以还具备例如通气性支承层89。在图9所示的音响声阻8中，在图7所示的音响声阻8的树脂膜81中的主面84b配置通气性支承层89。通过通气性支承层89的配置，作为音响声阻8的强度提高，而且，处理性也提高。通气性支承层89可以配置于树脂膜81的一方的主面，也可以配置于双方的主面。
通气性支承层89是厚度方向的通气度比树脂膜81高的层。通气性支承层89可以使用例如织布、无纺布、网、网眼织物。构成通气性支承层89的材料是例如聚酯、聚乙烯、芳族聚酰胺树脂。通气性支承层89的形状可以与树脂膜81的形状相同，也可以不同。例如，可以是具有仅配置于树脂膜81的周缘部的形状的(具体而言，在树脂膜81为圆形的情况下，仅配置于其周缘部的环状的)通气性支承层89。通气性支承层89例如通过与树脂膜81的基于热熔敷、粘结剂的粘结等手法配置。
音响声阻8的面密度从该膜的强度、包含生产成品率及安装精度的处理性、以及通音性的观点出发而优选为5～100g/m2，更优选为10～50g/m2。
可以对音响声阻8实施着色处理。虽然也受构成树脂膜81的材料的种类的影响，但是未实施着色处理的音响声阻8的延伸为例如透明或白色。在将这样的音响声阻8配置于壳体3的开口6的附近的情况下，该阻力体8有时引人注目。引人注目膜会刺激使用者的好奇心，由于针等的扎刺而作为音响声阻的功能有时会受损。当对音响声阻8实施着色处理时，例如，通过成为与壳体的颜色同色或近似的颜色的音响声阻8，相对地能够抑制使用者的注目。而且，在音响设备的设计及构思上，有时要求着色后的音响声阻，通过着色处理，能够满足这样的要求。
着色处理例如能够通过对树脂膜81进行染色处理或者使树脂膜81包含着色剂而能够实施。着色处理可以是例如以将包含于波长380nm以上且500nm以下的波长域的光吸收的方式实施。即，可以对音响声阻8实施将包含于波长380nm以上且500nm以下的波长域的光吸收的着色处理。为此，例如，树脂膜81含有具有将包含于波长380nm以上且500nm以下的波长域的光吸收的能力的着色剂，或者通过具有将包含于波长380nm以上且500nm以下的波长域的光吸收的能力的染料来染色。在该情况下，能够将音响声阻8着色成蓝色、灰色、茶色、桃色、绿色、黄色等。音响声阻8也可以被着色处理成黑色、灰色、茶色或桃色。
在音响声阻8被着色处理成黑色或灰色的情况下，其着色的程度由以下所示的白色度W表示而优选处于15.0～40.0的范围。遵照JIS L1015的规定(追踪法)使用色差计来测定音响声阻8的主面的明度L、色泽a及彩度b，根据测定的这些值通过式W＝100-sqr[(100-L)2+(a2+b2)]能够求出白色度W。白色度W的值越小，则音响声阻8的颜色越成为黑色。
[音响声阻的制造方法]
音响声阻8的制造方法没有特别限定，例如，可以通过以下说明的制造方法来制造。
在以下的制造方法中，通过对于原膜的离子束的照射和之后的蚀刻(化学蚀刻)来形成树脂膜81。通过离子束照射及蚀刻而形成的树脂膜81可以直接作为音响声阻8，也可以根据需要，经过形成疏液层82的工序、着色处理工序、或者层叠通气性支承层89的工序等进一步的工序而作为音响声阻8。
在使用离子束照射及之后的蚀刻的方法中，例如，树脂膜81具有的贯通孔83的直径及其均匀度、以及中心线86的延伸方向、孔密度、开口率、气孔率这样的特性的控制容易，即，由音响声阻8的配置产生的路径7中的气体的流动的阻力的控制的自由度升高。
原膜是在离子束照射及蚀刻后作为音响声阻8而使用的区域中不具有沿其厚度方向能够通气的路径的非多孔质的树脂膜。原膜可以是无孔的膜。原膜为非多孔质的树脂膜的情况是指，通过离子束照射及蚀刻而在原膜上形成贯通孔83并作为树脂膜81时，与例如网眼织物等织物构造或无纺布构造等相比能够减小该膜81的不均。
当向原膜照射离子束时，在该膜中的离子通过的部分，构成树脂膜的聚合物链会产生与离子的碰撞引起的损伤。产生损伤的聚合物链与离子未碰撞的其他的部分的聚合物链相比容易化学蚀刻。因此，通过对照射了离子束的原膜进行化学蚀刻，能得到形成有沿着离子的碰撞的轨跡延伸的细孔(贯通孔)的树脂膜。即，贯通孔83的中心线86延伸的方向是在离子束照射时离子通过原膜的方向。在原膜中的离子未通过的部分通常不形成细孔。
由原膜形成树脂膜81的该方法可包括：向非多孔质的原膜照射离子束的工序(I)；及对照射了离子束的原膜进行化学蚀刻的工序(II)。在工序(I)中，在原膜形成有沿该膜的厚度方向贯通的呈直线状延伸的离子的碰撞的轨跡(离子轨道)。在工序(II)中，通过化学蚀刻，在原膜上形成与通过工序(I)形成的离子轨道对应的贯通孔83，从而形成在厚度方向上具有通气性的树脂膜81。
在该方法中，能够形成图2所示那样的、具有截面(与中心线86延伸的方向垂直的截面)87的面积从一方的主面84a朝向另一方的主面84b恒定或大致恒定的贯通孔83的树脂膜81，也能够形成具有该面积从一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的贯通孔83的树脂膜81。前者的树脂膜81例如可以将离子照射后的原膜直接进行化学蚀刻来形成。由于在原膜上形成的相当于离子轨道的区域通过蚀刻而除去，因此通过充分地取得化学蚀刻的时间而形成截面87的面积恒定或大致恒定的贯通孔83。
后者的树脂膜81例如在工序(II)中，执行从一方的主面开始的上述部分的蚀刻的程度比从另一方的主面开始的上述部分的蚀刻的程度大的化学蚀刻而能够形成。作为更具体的例子，能够通过在离子照射后的原膜中的一方的主面配置有掩模层的状态下执行化学蚀刻而形成。在该化学蚀刻中，与从配置有掩模层的上述一方的主面开始的蚀刻相比，从上述另一方的主面开始的蚀刻的程度变大。通过实施这样的非对称蚀刻，更具体而言，离子照射后的原膜中的从一方的主面与从另一方的主面之间的进展速度不同的蚀刻，能够形成具有与中心线86延伸的方向垂直的截面87的面积从树脂膜81的一方的主面朝向另一方的主面变化的形状的贯通孔83。需要说明的是，在形成未配置掩模层的前者的树脂膜81时的蚀刻中，对于离子束照射后的原膜，均等的蚀刻从该原膜的双方的主面进展。
以下，更具体地说明工序(I)及(II)。
[工序(I)]
在工序(I)中，向原膜照射离子束。离子束由加速后的离子构成。通过离子束的照射，形成该射束中的离子发生了碰撞的原膜。
当向原膜照射离子束时，如图10所示，射束中的离子101与原膜102碰撞，碰撞后的离子101在该膜102的内部残留轨跡(离子轨道)103。以作为被照射物的原膜102的尺寸刻度来看，通常，离子101大致呈直线状地与原膜102碰撞，因此在该膜102上形成呈直线状地延伸的轨跡103。离子101通常贯通原膜102。
向原膜102照射离子束的方法不受限定。例如，将原膜102收容于腔室，在降低了腔室内的压力之后(例如，为了抑制照射的离子101的能量的减衰而形成为高真空气氛之后)，从射束线将离子101向原膜102照射。也可以向腔室内施加特定的气体，还可以虽然将原膜102收容于腔室但是不使该腔室内的压力减压而以例如大气压实施离子束的照射。
可以准备卷绕有带状的原膜102的辊，一边从该辊送出原膜102，一边连续地向原膜102照射离子束。由此，能够有效地形成树脂膜81。也可以在上述的腔室内配置上述辊(送出辊)和卷绕离子束照射后的原膜102的卷绕辊，在形成为减压、高真空等任意的气氛的腔室内，一边从送出辊送出带状的原膜102，一边连续地向该膜照射离子束，将射束照射后的原膜102卷绕于卷绕辊。
构成原膜102的树脂与构成树脂膜81的树脂相同，例如，是从PET、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚偏二氟乙烯中选择的至少1种。由上述的树脂构成的原膜102具有离子101发生了碰撞的部分的化学蚀刻顺畅地进展且其他的部分的化学蚀刻难以进展的特征，原膜102中的与轨跡103对应的部分的化学蚀刻的控制变得容易。因此，通过这样的原膜102的使用，例如，树脂膜81的贯通孔83的形状的控制变得更加容易。
原膜102的厚度为例如5～100μm。在工序(I)中的离子束照射的前后，通常，原膜102的厚度不变化。
照射离子束的原膜102例如是无孔的膜。在该情况下，只要除了工序(I)及(II)以外不实施在该膜设置孔的进一步的工序，就能够形成通过工序(I)及(II)形成的贯通孔83以外的部分无孔的树脂膜81。在实施了该进一步的工序时，形成具有通过工序(I)及(II)形成的贯通孔83和通过该进一步的工序形成的孔的树脂膜81。
向原膜102照射、碰撞的离子101的种类不受限定，但是从抑制与构成原膜102的树脂的化学反应的情况出发，优选质量数比氖大的离子，具体而言从氩离子、氪离子及氙离子中选择的至少1种离子。
离子101的能量(加速能量)典型的是100～1000MeV。在使用厚度5～100μm左右的聚酯膜作为原膜102的情况下，离子种类为氩离子时的离子101的能量优选为100～600MeV。向原膜102照射的离子101的能量根据离子种类及构成原膜102的树脂的种类可以调整。
向原膜102照射的离子101的离子源不受限定。从离子源放出的离子101例如由离子加速器加速之后经由射束线向原膜102照射。离子加速器是例如回旋加速器，更具体的例子是AVF回旋加速器。
成为离子101的路径的射束线的压力从抑制射束线中的离子101的能量减衰的观点出发而优选为10-5～10-3Pa左右的高真空。在收容照射离子101的原膜102的腔室的压力未达到高真空的情况下，可以通过使离子101透过的隔壁来保持射束线与腔室的压力差。隔壁例如由钛膜或铝膜构成。
离子101例如从与原膜102的主面垂直的方向照射于该膜。在图10所示的例子中，进行这样的照射。在该情况下，轨跡103与原膜102的主面垂直地延伸，因此通过之后的化学蚀刻，能得到形成有中心线86在与主面垂直的方向上延伸的贯通孔83的树脂膜81。离子101可以从相对于原膜102的主面倾斜的方向照射于该膜。在该情况下，通过之后的化学蚀刻，能得到形成有中心线86在从与主面垂直的方向倾斜的方向上延伸的贯通孔83的树脂膜81。对于原膜102照射离子101的方向能够通过公知的手段来控制。图3的角度θ1例如能够通过离子束相对于原膜102的入射角来控制。
离子101例如以使多个离子101的飞跃成为相互平行的方式向原膜102照射。在图10所示的例子中，进行这样的照射。在该情况下，通过之后的化学蚀刻，得到形成有相互平行地延伸的多个贯通孔83的树脂膜81。
离子101可以是以使多个离子101的飞跃成为相互不平行(例如相互随机)的方式向原膜102照射。由此，例如，形成图3～6所示的树脂膜81。更具体而言，为了形成图3～6所示的树脂膜81，例如，可以将离子束从与原膜102的主面垂直的方向倾斜照射，并连续地或逐级地使该倾斜的方向变化。需要说明的是，离子束是多个离子相互平行地飞翔的射束，因此在树脂膜81上通常存在沿相同方向延伸的贯通孔83的组(在树脂膜81上通常存在沿相同方向延伸的多个贯通孔83)。
连续地或逐级地使该倾斜的方向变化的方法的例子如图11所示。在图11所示的例子中，从送出辊105送出带状的原膜102并使其通过具有规定的曲率的照射辊106，在通过该辊106期间照射离子束104，将照射后的原膜102卷绕于卷绕辊107。此时，离子束104中的离子101接连不断地相互平行飞翔，因此原膜102在照射辊106上移动并且离子束对于原膜102的主面碰撞的角度(入射角θ1)变化。并且，如果连续地照射离子束104，则上述倾斜的方向连续地变化，如果断续地照射离子束104，则上述倾斜的方向逐级地变化。这也可以说是利用离子束的照射定时的控制。而且，通过离子束104的截面形状及对于原膜102的照射面的离子束104的射束线的截面积，能够控制形成于原膜102的轨跡103的状态(例如角度θ1)。
树脂膜81的孔密度能够通过向原膜102的离子束的照射条件(离子种类、离子的能量、离子的碰撞密度(照射密度)等)来控制。
离子101可以从2条以上的射束线向原膜102照射。
工序(I)可以在原膜102的主面例如上述一方的主面配置有掩模层的状态下实施。在该情况下，例如，能够将该掩模层利用于工序(II)中的掩模层。
[工序(II)]
在工序(II)中，对于工序(I)中照射了离子束之后的原膜102中的离子101发生了碰撞的部分的至少一部分进行化学蚀刻，在该膜上形成沿着离子101的碰撞的轨跡103延伸的贯通孔83。这样得到的树脂膜81中的贯通孔83以外的部分只要不进一步实施使膜的状态变化的工序，就基本上与离子束照射前的原膜102相同。
具体的蚀刻的手法只要遵照公知的手法即可。例如，只要将离子束照射后的原膜102在蚀刻处理液中以规定的温度浸渍规定的时间即可。通过蚀刻温度、蚀刻时间、蚀刻处理液的组成等蚀刻条件，例如，能够控制贯通孔83的直径。
蚀刻的温度为例如40～150℃，蚀刻的时间为例如10秒～60分钟。
化学蚀刻使用的蚀刻处理液没有特别限定。蚀刻处理液是例如碱性溶液、酸性溶液、或者添加了从氧化剂、有机溶剂及界面活性剂中选择的至少1种的碱性溶液或酸性溶液。碱性溶液是例如氢氧化钠、氢氧化钾那样的含碱的溶液(典型的是水溶液)。酸性溶液是例如硝酸、硫酸那样的含酸的溶液(典型的是水溶液)。氧化剂是例如重铬酸钾、过锰酸钾、次氯酸钠。有机溶剂是例如甲醇、乙醇、2-丙醇、乙二醇、氨基醇、N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺。界面活性剂是例如烷基苯磺酸盐、烷基硫酸盐。
在工序(II)中，可以在离子束照射后的原膜102的一方的主面上配置有掩模层的状态下实施上述化学蚀刻。在该化学蚀刻中，关于原膜102中的离子101发生了碰撞的部分的蚀刻，与从配置有掩模层的上述一方的主面开始的蚀刻相比，从另一方的主面开始的蚀刻的程度变大。即，关于原膜102中的离子101发生了碰撞的部分的蚀刻，实施从该膜的双方的主面开始的蚀刻非对称地进展的化学蚀刻(非对称蚀刻)。需要说明的是，“蚀刻的程度大”更具体而言是指例如关于上述部分的每单位时间的蚀刻量大，即关于上述部分的蚀刻速度大。
在工序(II)中，可以通过向原膜102的一方的主面的、与原膜102中的离子101发生了碰撞的部分相比难以化学蚀刻的掩模层的配置，来实施抑制从该一方的主面开始的上述部分的蚀刻并使从原膜102的另一方的主面开始的上述部分的蚀刻进展的化学蚀刻。这样的蚀刻例如能够通过掩模层的种类及厚度的选择、掩模层的配置、蚀刻条件的选择等来实施。
掩模层的种类没有特别限定，但是优选由与原膜102中的离子101发生了碰撞的部分相比难以化学蚀刻的材料构成的层。“难以蚀刻”更具体而言是指例如每单位时间蚀刻的量小，即，被蚀刻速度小。是否难以化学蚀刻能够基于在工序(II)中实际实施的非对称蚀刻的条件(蚀刻处理液的种类、蚀刻温度、蚀刻时间等)来判断。在工序(II)中一边改变掩模层的种类及/或配置面一边实施多次的非对称蚀刻的情况下，只要基于各蚀刻的条件而对于各个蚀刻进行判断即可。
掩模层在与原膜102中的离子101未碰撞的部分的对比中，既可以比该部分容易化学蚀刻，也可以比该部分难以化学蚀刻，但是优选比该部分难以化学蚀刻。在比该部分难以化学蚀刻的情况下，例如，能够减薄非对称蚀刻的实施所需的掩模层的厚度。
在工序(I)中，在向配置有掩模层的原膜102照射离子束的情况下，在该掩模层上也形成离子轨道。考虑到这一点，构成掩模层的材料优选为即使由于离子束的照射而其聚合物链也难以受到损伤的材料。
掩模层例如由从聚烯烃、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚乙烯醇及金属箔中选择的至少1种构成。这些材料难以化学蚀刻，并且即使通过离子束的照射也难以受到损伤。
在配置掩模层而实施非对称蚀刻的情况下，只要配置在相当于实施该蚀刻的区域的、原膜102的一方的主面的至少一部分即可。根据需要，可以配置于原膜102的一方的主面的整体。
在原膜102的主面配置掩模层的方法只要是在实施非对称蚀刻期间，掩模层不会从该主面剥离即可，并不受限定。掩模层例如通过粘着剂而配置于原膜102的主面。即在工序(II)中，可以在掩模层通过粘着剂而贴合于上述一方的主面的状态下，实施上述化学蚀刻(非对称蚀刻)。基于粘着剂的掩模层的配置能够比较容易地进行。而且，通过选择粘着剂的种类，从非对称蚀刻后的原膜102的掩模层的剥离变得容易。
在工序(II)中实施非对称蚀刻的情况下，可以实施多次该蚀刻。而且，可以与非对称蚀刻一并实施从原膜102的双方的主面均等地使轨跡103的蚀刻进展的对称蚀刻。例如，可以在蚀刻的中途将掩模层从原膜102剥离，由此从非对称蚀刻切换为对称蚀刻的进展。或者，可以在实施了对称蚀刻之后在原膜102配置掩模层，来实施非对称蚀刻。
在工序(II)中实施使用了掩模层的非对称蚀刻的情况下，该蚀刻后的掩模层根据需要可以使其一部分或全部残留于树脂膜81。残留的掩模层例如可以使用作为区分树脂膜81中的上述一方的主面(配置有掩模层的主面)与上述另一方的主面的标记。
在工序(II)中实施多次的蚀刻的情况下，在各次的蚀刻中可以使蚀刻条件变化。
树脂膜81的制造方法也可以包含工序(I)、(II)以外的任意的工序。
[音响声阻构件]
本发明的音响声阻构件的一例如图12所示。图12所示的音响声阻构件91具备：从与主面垂直的方向观察的形状为圆形的音响声阻8；及接合于该阻力体8的周缘部的环状的片即支承体92。通过在音响声阻8接合有支承体92的方式，音响声阻8被加强，并且其处理性提高。而且，支承体92成为将音响声阻构件91向音响设备配置时的安装余量，因此音响声阻8的安装作业变得容易。
支承体92的形状不受限定。例如图13所示，可以是接合于从与主面垂直的方向观察的形状为矩形的音响声阻8的周缘部的、框状的片即支承体92。如图12、13所示，通过使支承体92的形状成为音响声阻8的周缘部的形状，能抑制由支承体92的配置引起的音响声阻8的特性的下降。而且，片状的支承体92从音响声阻8的处理性及向音响设备的配置性的观点出发而优选。
构成支承体92的材料是例如树脂、金属及它们的复合材料。树脂是例如聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；PET、聚碳酸酯等聚酯；聚酰亚胺或者它们的复合材料。金属是例如不锈钢或铝那样的耐蚀性优异的金属。
支承体92的厚度为例如5～500μm，优选为25～200μm。而且，着眼于作为安装余量的功能，环宽(框宽：外形与内径之差)为0.5～2mm左右比较适当。支承体92可以使用由上述树脂构成的发泡体。
音响声阻8与支承体92的接合方法没有特别限定，例如，可以采用加热熔敷、超声波熔敷、基于粘结剂的粘结、基于双面胶带的粘结等方法。
音响声阻构件91可以具备2层以上的音响声阻8及/或2层以上的支承体92。
[音响设备]
本发明的音响设备的一例是图1所示的耳机单元1。耳机单元1的具体的结构如音响声阻的说明中的上述那样。
如图1所示，在本发明的音响设备中，音响声阻8配置在与该设备的壳体上设置的开口连通且配置有音响元件的气体的路径7中的、该开口及音响元件之间。“配置在开口及音响元件之间”包括向开口的配置，更具体而言，以闭塞开口的方式接合于壳体的状态下的配置。在该情况下，既可以接合于壳体的内壁，也可以接合于外壁。
路径7所连通的开口可以是通音口，也可以是通音口以外的开口。在图1所示的耳机单元1中，在与通音口5不同的开口6上连通配置有音响声阻8的路径7。在本发明的音响设备中，例如，可以在音响设备的壳体设置2个以上的开口，这2个以上的开口包括在音响元件与壳体的外部之间传递声音的通音口，至少在与不同于通音口的上述开口连通的路径7上配置音响声阻8。也可以在与通音口连通的路径7和与通音口以外的开口连通的路径7这双方配置音响声阻8。配置于音响设备的音响声阻8可以为2个以上，配置于1条路径7的音响声阻8也可以为2个以上。
来自音响元件的路径7可以与2个以上的开口连通，此时该2个以上的开口中的至少1个可以为通音口。换言之，来自音响元件的路径7可以与通音口和通音口以外的开口连通。
路径7的设计、路径7中的配置音响声阻8的位置及个数、以及音响声阻8的特性(贯通孔径、通气度等)可以根据要求的音响设备的特性而自由设定。
音响声阻8例如以将配置该阻力体8的路径7闭塞的方式配置。音响声阻8可以是以局部性地覆盖路径7的方式配置。
在音响声阻8具有防尘性的情况下，通过其配置的状态，能得到具有防尘性的音响设备。配置的状态例如是将与路径7连通的开口覆盖那样的配置。在音响声阻8具有防水性的情况下，通过其配置的状态，能得到具有防水性的音响设备。配置的状态例如是将与路径7连通的开口覆盖那样的配置。
音响声阻8向路径7的配置方法不受限定。在图1所示的耳机单元1中，在设有构成路径7的开口24的框架23上，以闭塞该开口24的方式接合音响声阻8。通过在构成音响设备的构件上接合音响声阻8而在路径7配置该阻力体8的情况下，可以采用使用了双面胶带的粘贴、热熔敷、高频熔敷、超声波熔敷等手法。在使用了双面胶带的粘贴中，也可以将该双面胶带利用作为支承体92，能够更可靠且准确地接合音响声阻8。
音响声阻8的形状不受限定。音响声阻8的形状例如为盘状、圆筒状、环状及这些形状的一部分(例如，环的一部分、月牙状、半月状等)。根据配置音响声阻8的路径7的形状或路径7的截面的形状可以自由设定。
音响元件具有对于声音进行输出及/或输入的功能。音响元件例如是振动板(振动薄膜、振动膜、隔膜)。
路径7中的配置音响元件的位置不受限定，例如，音响元件可以配置在路径7的末端。
变换部(transducer)具备音响元件，将声音与电信号进行变换。在音响设备是如耳机等那样输出声音的设备的情况下，在变换部，输出与输入的电信号(声音信号)对应的声音。在音响设备是如麦克风等那样输入声音的设备的情况下，在变换部，输出与输入的声音对应的电信号(声音信号)。变换部的具体的结构没有特别限定，可以包括音响元件在内与公知的变换部相同。
变换部向壳体内的收容方法及收容位置不受限定。壳体例如通过金属、树脂、玻璃及它们的复合材料形成。设置于壳体的开口(包括通音口)的位置及形状不受限定。
本发明的音响设备不受限定，例如是耳机、头戴式耳机、麦克风、头戴式带麦克风耳机、听筒、助听器及可穿戴终端。本发明的音响设备可以是噪音计等音响评价设备。本发明的音响设备可以是由2个以上的单元构成的音响设备的各单元。该单元例如是构成耳机单元、头戴式耳机单元、麦克风单元、头戴式带麦克风耳机的各单元。
实施例
本发明没有限定为以下所示的实施例。
(实施例1)
准备了形成有在厚度方向上贯通的多个贯通孔的非多孔质的市售的PET膜(it4ip制，Track etched membrane，厚度45μm)。该膜的贯通孔的直径为3.0μm，孔密度为2.0×106个/cm2。
接下来，将准备的PET膜在保持为80℃的蚀刻处理液(氢氧化钾浓度20质量％的水溶液)中浸渍30分钟。在蚀刻结束后，从处理液中取出膜，浸渍在RO水(反渗透膜过滤水)中进行了清洗之后，利用50℃的干燥烤炉进行干燥，得到了形成有在厚度方向上贯通的多个贯通孔的非多孔质的树脂膜。得到的树脂膜的贯通孔的直径为5.9μm，与该中心轴延伸的方向垂直的截面的面积在该膜的厚度方向上恒定。孔密度在蚀刻前后相同。
接下来，使用分散染料将干燥后的树脂膜染色。染色后的膜在肉眼观察下为黑色。
接下来，将制作的黑色膜在疏液处理液中浸渍3秒之后，在常温下放置30分钟使其干燥，在该膜的表面及贯通孔的内周面形成了疏液层。疏液处理液利用稀释剂(信越化学制，FS thinner)进行稀释而调制成疏液剂(信越化学制，X-70-029C)成为浓度0.7重量％。
这样得到的树脂膜(音响声阻)的表观密度为0.70g/cm3。
另外，通过通气性变动率而评价了这样得到的树脂膜(音响声阻)中的厚度方向的通气性的不均。通气性变动率如以下那样求出。首先，如图14所示，将得到的树脂膜作为样品201，沿着该样品的主面中的正交的2个方向分别设定了20点，在样品201整体上设定了40点的测定点202。接下来，遵照JIS L1096B的规定，测定了各测定点202的样品201的厚度方向的通气度作为格利数。接下来，求出测定的40点的通气度的平均值Av及标准偏差σ，求出由标准偏差σ相对于平均值Av之比σ/Av表示的通气性变动率。通过实施例1制作的音响声阻的通气性变动率为0.081。
(比较例1)
作为比较例1的音响声阻，准备了市售的无纺布(旭化成纤维制，Smash Y15250)。该无纺布是通过纺粘法而形成的由聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维构成的无纺布，其表观密度为0.44g/cm3。
以该音响声阻为样品，与实施例1同样地求出了通气性变动率。各测定点202的位置与实施例1相同。比较例1的音响声阻的通气性变动率为0.150。
实施例1的音响声阻的通气性的不均小于比较例1的音响声阻的通气性的不均。
本发明只要不脱离其意图及本质的特征，就可以适用于其他的实施方式。本说明书公开的实施方式在所有点上是说明性的方式，并不限定于此。本发明的范围不是由上述说明而是由附加的权利要求书公开，处于与权利要求书等同的意思及范围内的全部变更包含于此。
产业上的可利用性
本发明的音响声阻能够使用于与以往的音响声阻同样的任意的用途。

Claims (8)

1.一种音响声阻，使用于音响设备，其中，
所述音响设备具备：
变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及
壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口，
与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，
所述音响元件配置于所述路径，
所述音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并且包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜，
所述树脂膜是形成有在厚度方向上贯通的呈直线状延伸的多个贯通孔的非多孔质的膜。
2.根据权利要求1所述的音响声阻，其中，
所述贯通孔的直径为3.0μm以上且13.0μm以下。
3.根据权利要求1所述的音响声阻，其中，
所述音响声阻以覆盖所述路径的截面的方式配置。
4.根据权利要求1所述的音响声阻，其中，
所述音响声阻还包括疏液层。
5.一种音响声阻构件，具备：
权利要求1～4中任一项所述的音响声阻；及
接合于所述音响声阻的支承体。
6.一种音响设备，具备：
变换部，具备对声音进行输出及/或输入的音响元件，并将声音与电信号进行变换；及
壳体，收容所述变换部且具有至少一个开口，
与所述至少一个开口连通的气体的路径存在于所述壳体内，
所述音响元件配置于所述路径，
所述音响设备还具备音响声阻，所述音响声阻配置在所述路径中的所述至少一个开口与所述音响元件之间，并包含在厚度方向上具有通气性的树脂膜，
所述音响声阻是权利要求1～4中任一项所述的音响声阻。
7.根据权利要求6所述的音响设备，其中，
在所述壳体设有两个以上的所述开口，
所述两个以上的开口包括在所述音响元件与所述壳体的外部之间传递所述声音的通音口，
至少在与不同于所述通音口的所述开口相连通的所述路径上配置有所述音响声阻。
8.根据权利要求6所述的音响设备，其中，
所述音响设备是耳机、耳机单元、头戴式耳机、头戴式耳机单元、头戴式带麦克风耳机、头戴式带麦克风耳机单元、听筒、助听器或可穿戴终端。
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