JP2016165104A - 音響抵抗体と、それを備える音響抵抗体部材および音響機器 - Google Patents

音響抵抗体と、それを備える音響抵抗体部材および音響機器 Download PDF

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Abstract

【課題】音響機器に使用する音響抵抗体であって、従来の音響抵抗体よりもバラツキを小さくできる音響抵抗体と、当該抵抗体を備える音響機器とを提供する。
【解決手段】厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含み、当該樹脂フィルムが、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質のフィルムである音響抵抗体とする。この音響抵抗体は、音と電気信号とを変換する音響子を備えた変換部と、変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングとを備え、当該開口に通じるとともに音響子が配置された気体の経路がハウジング内に存在する音響機器において、上記気体の経路における当該開口と音響子との間に配置される。
【選択図】図１

Description

本発明は、音響機器の音の特性に作用する音響抵抗体と、当該音響抵抗体を備える音響抵抗体部材および音響機器に関する。
マイクロフォン、スピーカー、イヤホン、ヘッドホンなどの音響機器は、音と電気信号とを互いに変換する変換部と、変換部が収容されたハウジングとを備えている。変換部は、音を出力および／または入力する音響子、例えば振動板、を備える。音響子は、一般的なスピーカーのようにハウジングの外部に露出していても、イヤホンおよびマイクロフォンのようにハウジングの内部に収容されていてもよい。音響子がハウジングの内部に収容されている場合、当該ハウジングには、音響子とハウジングの外部との間で音を伝達する開口である通音口が設けられる。
音響機器のハウジングには、設けないように意図的に設計した場合を除き、通常、通音口以外の開口が設けられる。音響子は外部に露出しているがハウジング自体が密閉されている場合、あるいは音響子の通音口側の空間は通音口を介して外部に開放されているが、ハウジング内に位置する反対側の空間が密閉されている場合、音響子の動きに伴って密閉空間側に圧力変動が生じる。このため、綿密な設計を行わない限り、圧力変動によって音響子の振動が阻害され、音響機器の音の出力特性および／または入力特性（以下、単に「音響機器の特性」ともいう）が低下する。圧力変動の影響は、イヤホンなど、音響子に対する密閉空間側の容積が特に小さい場合に大きい。ハウジングに通音口以外の開口を設けることによって上記密閉が解消され、音響子の振動特性、すなわち音響機器の特性を向上できる。
音響機器では、さらに、通音口を含むハウジングの開口と音響子との間の空気の経路に、音響抵抗体が配置されることがある。音響抵抗体は、通気性を有するが、配置しない状態に比べると上記経路での空気の動きを阻害する通気抵抗体である。音響抵抗体の配置により、上記経路での空気の動きを制御できる。音は空気の振動であるため、音響子と通音口との間に音響抵抗体を配置することにより、音響子から出力される音および／または音響子に入力される音の特性、すなわち音響機器の特性を制御できる。また、通音口以外の開口と音響子との間に音響抵抗体を配置することにより、音響子の当該開口側に生じる空気の動きを制御でき、これにより、音響子の振動が制御され、音響子から出力される音および／または音響子に入力される音の特性を制御できる。
特許文献１〜３には、音響抵抗体を配置した音響機器が開示されている。これらの文献に開示されている音響抵抗体は、スポンジなどの多孔質体、不織布、メッシュなどの織布からなる。
特開平8-205289号公報 特開2004-200947号公報 特開2006-50174号公報
音響抵抗体には、そのバラツキ、例えば通気性のバラツキ、が小さいことが求められる。バラツキが大きい場合、音響抵抗体を配置した音響機器の特性、例えば音圧特性、が不定となる。これは、変換部およびハウジングを一つのみ備える音響機器においても製品間の特性のバラツキの点で当然に問題となるが、とりわけ、イヤホンおよびヘッドホンなど、左側および右側の複数のユニットを備える音響機器（各ユニットがそれぞれ変換部およびハウジングを備える）において特に問題となる。ユニット間で出力特性、例えば音圧特性、の差が大きくなれば、一対のユニットを組み合わせたイヤホンおよびヘッドホンとして使用できないためである。
本発明の目的の一つは、従来の音響抵抗体よりもバラツキを小さくできる音響抵抗体と、当該音響抵抗体を備える音響抵抗体部材および音響機器と、の提供を目的とする。
本開示の音響抵抗体は、音響機器に使用する音響抵抗体である。前記音響機器は、音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングとを備える。前記音響機器において、前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、前記音響子は前記経路に配置される。前記音響抵抗体は、前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置されるとともに、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含む。前記樹脂フィルムは、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質のフィルムである。
本開示の音響抵抗体部材は、上記本開示の音響抵抗体と、当該音響抵抗体に接合された支持体とを備える。
本開示の音響機器は、音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングと、を備え、前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、前記音響子は前記経路に配置され、前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置された、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含む音響抵抗体をさらに備える。前記音響抵抗体は、上記本開示の音響抵抗体である。
本発明によれば、従来の音響抵抗体よりもバラツキを小さくできる音響抵抗体と、当該音響抵抗体を備える音響抵抗体部材および音響機器が達成される。
本発明の音響抵抗体を備える音響機器の一例を模式的に示す分解斜視図である。 本発明の音響抵抗体の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体の別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体において貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係の一例を模式的に示す平面図である。 本発明の音響抵抗体において貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係の別の一例を模式的に示す平面図である。 本発明の音響抵抗体において貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係のまた別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体のまた別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体の上記とは別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体の上記とは別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の音響抵抗体を構成する樹脂フィルムを形成する方法であって、イオンビーム照射およびその後の化学エッチングを用いる方法における、イオンビーム照射の概略を説明するための模式図である。 本発明の音響抵抗体を構成する樹脂フィルムを形成する方法であって、イオンビーム照射およびその後の化学エッチングを用いる方法における、イオンビーム照射の一例を説明するための模式図である。 本発明の音響抵抗体部材の一例を模式的に示す斜視図である。 本発明の音響抵抗体部材の別の一例を模式的に示す平面図である。 実施例において行った音響抵抗体の通気性変動率の測定において、サンプルの測定ポイントを説明するための図である。
本開示の第１の態様は、音響機器に使用する音響抵抗体であって、
前記音響機器は：音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と；前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングと、を備え、
前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、前記音響子は前記経路に配置され、前記音響抵抗体は、前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置されるとともに、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含み、前記樹脂フィルムは、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質のフィルムである音響抵抗体を提供する。
本開示の第２の態様は、第１の態様に加え、前記貫通孔の径が３．０μｍ以上１３．０μｍ以下である音響抵抗体を提供する。
本開示の第３の態様は、第１または第２の態様に加え、前記経路の断面を覆うように配置される音響抵抗体を提供する。
本開示の第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様に加え、撥液層をさらに含む音響抵抗体を提供する。
本開示の第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様の音響抵抗体と、前記音響抵抗体に接合された支持体と、を備える音響抵抗体部材を提供する。
本開示の第６の態様は、音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングと、を備え、前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、前記音響子は前記経路に配置され、前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置された、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含む音響抵抗体をさらに備え、前記音響抵抗体が、第１から第４のいずれかの態様の音響抵抗体である音響機器を提供する。
本開示の第７の態様は、第６の態様に加え、前記ハウジングに２以上の前記開口が設けられており、前記２以上の開口は、前記音響子と前記ハウジングの外部との間で前記音を伝達する通音口を含み、少なくとも、前記通音口とは異なる前記開口に通じる前記経路に、前記音響抵抗体が配置されている音響機器を提供する。
本開示の第８の態様は、第６または第７の態様に加え、前記音響機器が、イヤホン、イヤホンユニット、ヘッドホン、ヘッドホンユニット、ヘッドセット、ヘッドセットユニット、受話器、補聴器またはウェアラブル端末である音響機器を提供する。
［音響抵抗体］
図１に、本発明の音響抵抗体を備える音響機器の一例を示す。図１に示す音響機器は、イヤホンの片側（右側または左側）を構成するイヤホンユニット１である。イヤホンユニット１は、本発明の音響機器の一例でもある。
イヤホンユニット１は、音を出力する音響子である振動板２１を備えた変換部２と、フロントハウジング３ａおよびリアハウジング３ｂとを備える。変換部２は、ユニット１のハウジング３として一体化されたフロントハウジング３ａおよびリアハウジング３ｂの間に収容されている。変換部２は、振動板２１、マグネット２２およびフレーム２３を備え、これらは一体化されている。振動板２１は円形のフィルムであり、図示されている面（表面）とは反対側の面（裏面）に円筒状のコイルが設けられている。マグネット２２は円板状であり、変換部２が一体化された状態で、振動板２１の裏面に設けられたコイルの開口部、およびリング状のフレーム２３の開口部に位置する。振動板２１は、その周縁部がフレーム２３に接合されており、周縁部を除く部分（主部）はコイルの動きに合わせて自由に振動できる状態にある。変換部２１に電気信号（音の情報を有する電気的な信号；音信号）が供給されると、当該信号に対応する電流がコイルに流れ、当該電流とマグネット２２との電磁的な相互作用により、音信号に対応する物理的な振動が振動板２１に発生し、この振動が音として振動板２１から出力される。すなわち変換部２は、音の情報を有する電気信号と音とを変換する変換器（トランスデューサー）である。変換部２への電気信号は、ユニット１のリアハウジング３ｂ側に接続されたケーブル４から、振動板２１の裏面のコイルリングに供給される。ケーブル４とコイルとの電気的な接続は、図示を省略する。
ユニット１のハウジング３（３ａ，３ｂ）は、開口を有する。開口の一種は、フロントハウジング３ａに設けられた通音口５である。振動板２１から出力された音は、振動板２１の表面から通音口５を介してユニット１の外部に伝達される。開口のもう一種は、リアハウジング３ｂに設けられた開口６である。リアハウジング３ｂには、２つの開口６ａ，６ｂが設けられている。
ユニット１のハウジング３内には、開口６ａ，６ｂに通じる気体（一般的な使用環境下であれば空気）の経路７が存在する。経路７は、各開口６ａ，６ｂからフレーム２３に設けられた開口２４を通って振動板２１の裏面に至る。換言すれば、音響子である振動板２１は経路７の末端（開口６ａ，６ｂとは反対側の末端）に配置されている。なお、図１では、理解しやすくするために直線的に経路７を示しているが、経路７が気体の経路である以上、ハウジング３内において開口６ａ，６ｂから気体が連通している部分は経路７となりうる。そしてユニット１では、音響抵抗体８が、経路７における開口６ａ，６ｂと振動板２１との間に配置されている。より具体的に、フレーム２３の各開口２４の形状に対応する、リングの一部である形状を有する音響抵抗体８が、各々の開口２４を塞ぐようにフレーム２３に接合されている。図１に示すユニット１では、経路７は必ず音響抵抗体８を通過する。換言すれば、ユニット１において音響抵抗体８は、経路７の断面を覆うように配置されている。
音響抵抗体８は、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルム８１から構成される。樹脂フィルム８１は、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質のフィルムである。
音響子から開口６に通じる通気経路７を設けることにより、例えば、音響子である振動板２１の動き（振動）の阻害が抑制される。特にイヤホンユニット１では、ハウジング３内部の容積、とりわけ振動板２１に対して通音口５とは反対側（裏面側；リアハウジング側）に位置する部分の容積が小さいため、この効果は顕著である。そして、経路７に、当該経路７を流通する気体の流れの抵抗体となる音響抵抗体８を配置することにより、音響機器であるイヤホンユニット１および当該ユニット１を備えるイヤホンから出力される音の特性、例えば、イヤホンユニット１およびイヤホンから出力される音質、が向上する。音質の向上のより具体的な例は、変換部２に入力される音信号に対してより忠実な音の出力、不要な共鳴の低減、出力される音について周波数特性のフラット化または特定の周波数領域の強調もしくは減衰、および指向性または無指向性の実現などである。図１に示す例はイヤホンユニットであるが、音を出力する他の音響機器においても同様の特性向上を実現できる。また、音を入力する音響機器、例えばマイクロフォン、においても、対応する特性向上を実現できる。
樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８は、スポンジなどの多孔質体、不織布、メッシュなどの織布からなる従来の音響抵抗体に比べてバラツキ（特性および／または構造のバラツキ、例えば通気性のバラツキ）が小さい。バラツキには、一つの音響抵抗体における面内のバラツキ、音響機器に配置された２またはそれ以上の音響抵抗体間のバラツキ（意図的に各音響抵抗体間において通気性などの特性および／または構造を変化させている場合を除く）、およびイヤホンのように複数のユニット（イヤホンでは左側イヤホンユニットおよび右側イヤホンユニット）が使用される場合、各ユニットが備える音響抵抗体間のバラツキのいずれもが含まれる。この小さいバラツキにより、例えば、以下の効果が達成される。
経路７を設けること、および経路７に音響抵抗体８を配置することによる上述した効果、より具体的には音響機器の特性の向上を、より確実に達成できる。そして、特性の調整および特性の向上のための音響機器の設計の自由度が向上する。
一つの音響抵抗体における面内バラツキの小ささ、および音響機器に配置された２以上の音響抵抗体間のバラツキの小ささは、例えば、音響機器特性（より具体的な例は、音圧特性）をさらに向上させる。また例えば、音響機器の製造時に、できるだけバラツキの小さい音響抵抗体を選別する工程、あるいは音響抵抗体にある程度の大きさのバラツキがあることを前提とし、この前提のなかでできるだけバラツキを小さくするために従来実施されていた、音響抵抗体の形状の調整、音響機器における音響抵抗体の配置状態の調整、音響機器を構成する部材への音響抵抗体の接合状態の調整、製造後における音響機器の綿密な特性検査といった工程、を簡略化または省略できる。これは、音響機器の製造歩留まりの向上および製造コストの低減につながる。イヤホンなど、２以上のユニットを組み合わせる音響機器では、各ユニットが備える音響抵抗体間のバラツキの小ささによって、例えば、各ユニット間の出力特性のバラツキを小さくできる。これは、例えばイヤホンの製造時に、左側および右側のユニットとして出力特性が近似または同一のユニットを選別し、組み合わせる工程を簡略化または省略することにつながる。さらに、従来は出力特性のバラツキがあるが故にイヤホンユニット単体での流通ができないことが当業者の常識であったが、ユニット間の出力特性のバラツキが小さくなれば、製造部品あるいは交換部品としてユニット単体での流通を視野に入れることも可能となり、その意義は非常に大きい。
これとは別に、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８には防塵性を付与できる。防塵性が付与された音響抵抗体８は、音響機器の特性を向上させる上述した機能以外に、さらに防塵部材としての機能を示す。このような音響抵抗体８の経路７への配置により、例えば、音響機器のハウジング３内に開口６から塵などの異物が侵入することを抑制でき、防塵機能を有する音響機器とすることができる。音響抵抗体８の防塵性の程度は、例えば、樹脂フィルム８１の貫通孔の径により制御できる。
音響抵抗体８には、例えば、樹脂フィルム８１に撥液層を設けることにより、防水性を付与できる。防水性が付与された音響抵抗体８は、音響機器の特性を向上させる上述した機能以外に、さらに防水部材としての機能を示す。このような音響抵抗体８の経路７への配置により、例えば、音響機器のハウジング３内に開口６から水が浸入することを抑制でき、防水機能を有する音響機器とすることができる。音響抵抗体８の防水性の程度は、例えば、撥液層の構成、および樹脂フィルム８１の貫通孔の径により制御できる。
音響抵抗体８には、防塵性と防水性との双方を付与できる。
音響抵抗体８は、その材質によっては、従来の音響抵抗体よりも経年安定性を高くできる。例えば、発泡ウレタンから構成される多孔質体が音響抵抗体として使用されることがあるが、ウレタン樹脂は大気中の湿度による加水分解性を有し、経年安定性が十分とはいえない。これに対して、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から構成される樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８は、はるかに良好な経年安定性を示す。
図２に、音響抵抗体８の一例を示す。図２に示す音響抵抗体８は、樹脂フィルム８１から構成される。樹脂フィルム８１には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔８３が形成されている。貫通孔８３は、樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂへと延びる。樹脂フィルム８１は非多孔質の樹脂フィルムであり、その厚さ方向に通気可能となる経路を貫通孔８３以外に有さない。樹脂フィルム８１は、典型的には、貫通孔８３を除いて無孔の（中実の）樹脂フィルムである。貫通孔８３は、樹脂フィルム８１の双方の主面に開口を有する。このような樹脂フィルム８１の構造により、音響抵抗体８におけるバラツキ、例えば通気性のバラツキ、の小ささが実現する。
貫通孔８３は、当該貫通孔の中心軸（軸線）８６が直線状に延びるストレート孔である。ストレート孔である貫通孔８３は、例えば、樹脂フィルムの原フィルムへのイオンビーム照射およびその後の化学エッチングにより形成できる。イオンビーム照射およびエッチングでは、径（開口径）が揃った当該径の均一度が高い多数の貫通孔８３を樹脂フィルム８１に形成できる。樹脂フィルム８１は、原フィルムへのイオンビーム照射および化学エッチングにより得たフィルムでありうる。音響抵抗体８において貫通孔８３の径の均一度が高いことは、音響抵抗体８におけるバラツキ、例えば通気性のバラツキ、が小さいことに寄与する。なお、図２および音響抵抗体の構造を示すこれ以降の図では、貫通孔の形状をわかりやすくするために、その径が誇張して描かれている。
図２に示す例において貫通孔８３が延びる方向は、樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向である。貫通孔８３が樹脂フィルム８１の厚さ方向に貫通している限り、貫通孔８３が延びる方向は樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向から傾いていてもよい。このとき、樹脂フィルム８１に存在する全ての貫通孔８３が延びる方向が同一であってもよいし（中心軸８６の方向が揃っていてもよいし）、図３に示すように、樹脂フィルム８１が当該フィルムの主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向に対して傾いた方向に延びる貫通孔８３（８３ａ〜８３ｇ）を有しており、当該傾いて延びる方向が異なる貫通孔８３ａ〜８３ｇが樹脂フィルム８１に混在していてもよい。
図３に示す例では、貫通孔８３が樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向に対して傾いて延びており（樹脂フィルム８１を貫通しており）、延びる方向が互いに異なる貫通孔８３の組み合わせがある。このとき、樹脂フィルム８１には、延びる方向が同一の貫通孔８３の組み合わせがあってもよい（図３に示す例では、貫通孔８３ａ，８３ｄ，８３ｇの延びる方向が同一である）。樹脂フィルム８１は、当該フィルムの主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向に延びる貫通孔８３と、当該方向に対して傾いた方向に延びる貫通孔８３との双方を有していてもよい。以下、「組み合わせ」を単に「組」ともいう。「組」は、１の貫通孔と１の貫通孔との関係（ペア（対））に限られず、１または２以上の貫通孔同士の関係を意味する。同じ特徴を有する貫通孔の組があるということは、当該特徴を有する貫通孔が複数存在することを意味する。
図３に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔８３が混在する樹脂フィルム８１から構成される音響抵抗体８では、その傾く程度、およびある方向に伸びる貫通孔８３の割合を変化させることができるため、経路７における気体の流れの抵抗をより幅広く、あるいはこのような構造を有さない音響抵抗体８とは異なる領域で変化させることができ、当該抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。この自由度の高さは、音響機器の特性および設計の自由度の向上に寄与する。
図３に示す貫通孔８３について、その傾いて延びる方向（中心軸８６の延びる方向）Ｄ１が樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向Ｄ２に対して成す角度θ１は、例えば４５°以下であり、３０°以下でありうる。角度θ１がこれらの範囲にあるときに、音響抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。角度θ１の下限は特に限定されないが、例えば１０°以上であり、２０°以上でありうる。角度θ１が過度に大きくなると、音響抵抗体８の機械的強度が弱くなる傾向がある。図３に示す貫通孔８３では、角度θ１が互いに異なる組が存在している。
図３に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔８３が混在する樹脂フィルム８１から構成される音響抵抗体８において、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに（貫通孔８３が延びる方向を当該主面に投影したときに）、貫通孔８３が延びる方向が互いに平行であってもよいし、当該延びる方向が互いに異なる組を樹脂フィルム８１が有していても（当該延びる方向が互いに異なる貫通孔８３が樹脂フィルム８１に存在していても）よい。後者の場合、経路７における気体の流れの抵抗をより幅広く、あるいはこのような構造を有さない音響抵抗体８とは異なる領域で変化させることができ、音響抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。
図４に、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに、貫通孔８３が延びる方向が互いに平行である例を示す。図４に示す例では、３つの貫通孔８３（８３ｈ，８３ｉ，８３ｊ）が見えているが、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに各貫通孔８３が延びる方向（紙面手前側の主面における貫通孔８３の開口８８ａから、反対側の主面における貫通孔８３の開口８８ｂに向かう方向）Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５は互いに平行である（後述のθ２が０°である）。ただし、各貫通孔８３ｈ，８３ｉ，８３ｊの角度θ１は互いに異なり、貫通孔８３ｊの角度θ１が最も小さく、貫通孔８３ｈの角度θ１が最も大きい。このため、各貫通孔８３ｈ，８３ｉ，８３ｊが延びる方向は立体的に異なっている。
図５に、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに、貫通孔８３が延びる方向が互いに異なっている例を示す。図５に示す例では、３つの貫通孔８３（８３ｋ，８３ｌ，８３ｍ）が見えているが、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに各貫通孔８３が延びる方向Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８は互いに異なる。ここで、貫通孔８３ｋと８３ｌとは、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに９０°未満の角度θ２を成して、当該主面から互いに異なる方向に延びている。一方、貫通孔８３ｋと８３ｍとは、樹脂フィルム８１の主面に垂直な方向から見たときに９０°以上の角度θ２を成して、当該主面から互いに異なる方向に延びている。樹脂フィルム８１は、後者のように、当該フィルムの主面に垂直な方向から見たときに９０°以上の角度θ２を成して当該主面から互いに異なる方向に延びる貫通孔８３の組を有しうる。換言すれば、樹脂フィルム８１は、当該フィルムの主面に垂直な方向から見たときに、当該主面から一定の方向Ｄ６に延びる貫通孔８３ｋと、当該一定の方向Ｄ６に対して９０°以上の角度θ２を成す方向Ｄ８に当該主面から延びる貫通孔８３ｍとの組を有しうる。このとき、音響抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。角度θ２は、例えば９０°以上１８０°以下であり、すなわち１８０°でありうる。
図４に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔８３が混在する樹脂フィルム８１から構成される音響抵抗体８において、２以上の貫通孔８３が樹脂フィルム８１内で互いに交差していてもよい。すなわち、樹脂フィルム８１は、当該フィルム８１内で互いに交差する貫通孔８３の組を有していてもよい。このとき、経路７における気体の流れの抵抗をより幅広く、あるいはこのような構造を有さない音響抵抗体８とは異なる領域で変化させることができ、音響抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。このような例を図６に示す。図６に示す例では、貫通孔８３ｐと８３ｑとが樹脂フィルム８１内で互いに交差している。
樹脂フィルム８１における（音響抵抗体８における）貫通孔８３の延びる方向（貫通孔８３の中心線８６が延びる方向）は、例えば、当該フィルム８１の主面および断面に対して走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察を行うことで確認できる。
樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂにおける貫通孔８３の開口の形状は限定されないが、典型的には円形（中心線８６の延びる方向が樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な場合）または楕円形（中心線８６の延びる方向が樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向から傾いている場合）である。貫通孔８３の開口の形状は厳密な円または楕円である必要はなく、例えば、後述の製造方法で実施するエッチングのムラに伴う多少の形状の乱れは許容しうる。貫通孔８３の断面の形状についても同様である。
図２〜６に示す例では、貫通孔８３の径は、樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに至るまでほぼ変化していない。すなわち、貫通孔８３の断面の形状は、主面８４ａから主面８４ｂに至るまでほぼ変化していない。音響抵抗体８が有する貫通孔８３は、中心線８６が延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の厚さ方向に変化する形状を有していてもよく、より具体的な例として、貫通孔８３は、断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて、増加および／または減少する形状を有していてもよい。貫通孔８３は、図７に示すように、中心線８６が延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する形状を有しうる。このとき、経路７における気体の流れの抵抗をより幅広く、あるいはこのような構造を有さない音響抵抗体８とは異なる領域で変化させることができ、当該抵抗体８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。図７に示す貫通孔８３は、中心線８６が延びる方向に断面８７の形状が変化する、音響抵抗体８および樹脂フィルム８１の膜厚方向に非対称な形状を有する貫通孔である。
中心線８６の延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する形状を貫通孔８３が有する場合、貫通孔８３は、断面８７の面積が主面８４ａから主面８４ｂまで連続的に、かつほぼ一定または一定の増加率で増加するとともに、円または楕円である断面８７の形状を有していてもよく、このとき貫通孔８３の形状は、軸線８６を中心線とする円錐もしくは楕円錐またはこれらの一部となる。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、断面８７の形状が円または楕円である貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８を形成できる。
中心線８６の延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する形状を貫通孔８３が有する場合、主面８４ａにおける相対的に小さな貫通孔８３の径（径ａ）と、主面８４ｂにおける相対的に大きな貫通孔の径（径ｂ）との比ａ／ｂは、例えば８０％以下であり、７５％以下、さらには７０％以下でありうる。比ａ／ｂの下限は特に限定されず、例えば１０％である。
断面８７の面積の増加は、主面８４ａから主面８４ｂに向けて連続的であっても、段階的であっても（すなわち、断面８７の面積が一定の領域が存在していても）よい。断面８７の面積の増加は、図７に示す例のように、主面８４ａから主面８４ｂに向けて連続的であることが好ましく、その増加率がほぼ一定または一定であることがより好ましい。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、断面８７の面積が主面８４ａから主面８４ｂに向けて連続的に増加する貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８、および、さらに当該面積の増加率がほぼ一定または一定である音響抵抗体８を形成できる。
樹脂フィルム８１におけるこれらの貫通孔８３の特徴は、任意に組み合わせうる。例えば、中心線８６が延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する形状を有するとともに、当該方向が樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向から傾いた貫通孔８３でありうる。
貫通孔８３の径は、例えば３．０μｍ以上１３．０μｍ以下である。貫通孔８３の径がこの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。貫通孔８３が、図７に示すように、中心線８６が延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する形状を有する場合、相対的に小さな径（図７に示す例では、主面８４ａにおける貫通孔８３の径）が３．０μｍ以上１３．０μｍ以下でありうる。
貫通孔８３について、その開口の形状を円とみなしたときの当該円の直径、換言すれば、開口の断面積（開口面積）と同一の面積を有する円の直径を、貫通孔８３の径（開口径）とする。貫通孔８３の径は、例えば、音響抵抗体８または樹脂フィルム８１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。樹脂フィルム８１における貫通孔８３の径は、各主面について、当該主面に存在する全ての貫通孔８３の開口で一致している必要はないが、樹脂フィルム８１の有効部分（音響抵抗体８として使用可能な部分）では実質的に同じ値とみなすことができる程度（例えば、標準偏差が平均値の１０％以下）に一致していることが好ましい。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、このような径が揃った樹脂フィルム８１および音響抵抗体８を形成できる。
なお、樹脂フィルム８１の主面８４ａ，８４ｂに垂直な方向から傾いた方向に延びる貫通孔８３の開口の形状は楕円となりうる。しかし、このような場合においても、フィルム８１内における貫通孔８３の断面８７の形状は円とみなすことができ、この円の直径は、開口の形状である楕円の最小径と等しくなる。このため、上記傾いた方向に伸びる貫通孔８３であって開口の形状が楕円であるものについては、当該最小径を貫通孔の開口径とすることができる。
音響抵抗体８は、ＪＩＳ Ｌ１０９６Ｂの規定に準拠して測定したガーレー数で示して、０．０１（秒／１００ｃｍ3）以上１．０（秒／１００ｃｍ3）以下の通気度を厚さ方向に有しうる。通気度がこの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。
図７に示すように、断面８７の面積が一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８の場合、相対的に貫通孔８３の径が大きい他方の主面８４ｂから、相対的に貫通孔８３の径が小さい一方の主面８４ａへの当該抵抗体８の通気度が、ガーレー数で示して上記範囲にありうる。
音響抵抗体８の通気性のバラツキは小さい。例えば、音響抵抗体８における任意の４０点で測定した通気度の平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖ（通気性変動率σ／Ａｖ）が０．３以下である。当該変動率は０．２以下、さらには０．１以下でありうる。
音響抵抗体８における（樹脂フィルム８１における）貫通孔８３の密度（孔密度）は特に限定されず、例えば１×１０3個／ｃｍ2以上１×１０9個／ｃｍ2以下である。孔密度がこの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。孔密度は、音響抵抗体８および樹脂フィルム８１の全体にわたって一定である必要はないが、その有効部分では、最大の孔密度が最小の孔密度の１．５倍以下となる程度に一定であることが好ましい。孔密度は、例えば、音響抵抗体８または樹脂フィルム８１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。
音響抵抗体８の（樹脂フィルム８１の）開口率（主面の面積に対する、当該主面における貫通孔８３の開口面積の割合）は、例えば５０％以下であり、１０％以上４５％以下、あるいは２０％以上４０％以下でありうる。開口率がこれらの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。開口率は、例えば、音響抵抗体８または樹脂フィルム８１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。
図７に示すように、断面８７の面積が一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８の場合、相対的に貫通孔の径が小さい主面５４ａにおける開口率が上記範囲にありうる。
音響抵抗体８の（樹脂フィルム８１の）気孔率は、例えば２５％以上４５％以下であり、３０％以上４０％以下でありうる。気孔率がこれらの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。なお、図２に示すように、断面８７の面積が樹脂フィルム８１内で一定である貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１の場合、その開口率と気孔率とは同一である。図７に示すように、断面８７の面積が一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１の場合、気孔率は、例えば、双方の主面８４ａ，８４ｂにおける開口率と、樹脂フィルム８１の断面を観察することにより把握した貫通孔８３の形状とから計算により求めることができる。
音響抵抗体８の（樹脂フィルム８１の）見かけ密度は、例えば０．７ｇ／ｃｍ3以上１．３ｇ／ｃｍ3以下であり、０．８ｇ／ｃｍ3以上１．２ｇ／ｃｍ3以下でありうる。見かけ密度がこれらの範囲にある場合、音響抵抗体８による経路７における気体の流れの抵抗が特に適度な状態となり、当該抵抗体８の配置により得られる上述した効果が特に顕著となる。見かけ密度は、任意のサイズに切断した音響抵抗体の重量Ｗ（ｇ）を体積Ｖ（ｃｍ3）で除して求めることができる。
音響機器では、スピーカーの一種のように音響子が外部に露出している機器を除き、ハウジング内に収容された音響子と機器の外部との間で音を伝達するために、ハウジングに通音口が設けられる。図１に示すイヤホンユニット１では、フロントハウジング３ａに通音口５が設けられている。音響抵抗体８は、音響子と通音口との間の音の伝達経路となる気体の経路に配置しうる。
音響子と通音口との間に音響抵抗体を配置する場合、上記のような構成を有する樹脂フィルム８１を含む音響抵抗体８の通音特性を高くできることが非常に有利となる。例えば、音響抵抗体８では、樹脂フィルム８１の貫通孔の径を５．０μｍ以上１３．０μｍ以下とすることによって、周波数１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における当該抵抗体の挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることも可能である。また、周波数１００Ｈｚ以上３ｋＨｚ以下の音域における当該抵抗体の挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域は、人間が通常の発声、会話に使用している音域であるとともに、音楽などの再生時にも最も敏感に感じとることができる音域に相当する。この音域における挿入損失が小さいことは、音響抵抗体８を備える音響機器の市場における訴求力を向上させる。また例えば、人の音声域の中央値と考えられる周波数１ｋＨｚにおける当該抵抗体の挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。
樹脂フィルム８１の厚さおよび音響抵抗体８の厚さは、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下であり、１５μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。
樹脂フィルム８１を構成する材料は、例えば、後述の製造方法において、非多孔質の樹脂フィルムである原フィルムに貫通孔８３を形成できる材料である。樹脂フィルム８１は、例えば、アルカリ性溶液、酸性溶液、または酸化剤、有機溶剤および界面活性剤から選ばれる少なくとも１種を添加したアルカリ性溶液もしくは酸性溶液により分解する樹脂から構成される。この場合、後述の製造方法におけるイオンビーム照射および化学エッチングによる原フィルムへの貫通孔８３の形成がより容易となる。なお、これらの溶液は、典型的なエッチング処理液である。別の側面から見ると、樹脂フィルム８１は、例えば加水分解または酸化分解によるエッチング可能な樹脂から構成される。原フィルムには、市販のフィルムを使用することができる。
樹脂フィルム８１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される。
音響抵抗体８は、２層以上の樹脂フィルム８１を備えていてもよい。このような音響抵抗体８は、例えば、２層以上の原フィルムを有する積層体にイオンビーム照射および化学エッチングして形成できる。
音響抵抗体８は、必要に応じて、樹脂フィルム８１以外の任意の部材および／または層を備えていてもよい。
音響抵抗体８は、例えば撥液層８２をさらに備えうる。撥液層８２をさらに備える音響抵抗体８は、防水性を有しうる。撥液層８２は、例えば、樹脂フィルム８１を撥液処理して形成できる。図８に示す例では、撥液層８２が樹脂フィルム８１の双方の主面８４ａ，８４ｂ上と貫通孔８３の表面とに形成されている。図８に示す音響抵抗体８は、撥液層８２が形成されている以外は、撥液層を有さない音響抵抗体である図２に示す音響抵抗体８と同様の構成を有する。
撥液層８２は、樹脂フィルム８１の一方の主面上のみに形成されていてもよいし、一方の主面上と貫通孔８３の表面とのみに形成されていてもよい。撥液層８２を形成する場合、少なくとも、音響機器に配置したときに水が接触しうる主面に形成することが好ましい。
撥液層８２は、撥水性を有する層であり、撥油性を併せて有することが好ましい。また、撥液層８２は、樹脂フィルム８１の貫通孔８３と対応する位置に開口８５を有する。
撥液層８２は、例えば、撥水剤、または疎水性の撥油剤を希釈剤で希釈して調製した処理液を、樹脂フィルム８１上に薄く塗布して乾燥させることにより形成できる。撥水剤および疎水性の撥油剤は、例えば、パーフルオロアルキルアクリレート、パーフルオロアルキルメタクリレートのようなフッ素化合物である。撥液層８２の厚さは、貫通孔８３の径の１／２未満が好ましい。
樹脂フィルム８１上に処理液を薄く塗布して撥液層８２を形成する場合、貫通孔８３の径にもよるが、当該貫通孔の表面（内周面）も、樹脂フィルム８１の主面上と連続して撥液層８２により被覆することが可能である。
撥液層８２により防水性を付与された音響抵抗体８の防水性は、例えば、ＪＩＳ Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して測定した耐水圧により評価できる。耐水圧は、例えば２ｋＰａ以上である。
音響抵抗体８は、例えば通気性支持層８９をさらに備えうる。図９に示す音響抵抗体８では、図７に示す音響抵抗体８の樹脂フィルム８１における主面８４ｂに通気性支持層８９が配置されている。通気性支持層８９の配置により、音響抵抗体８としての強度が向上し、また、取扱性も向上する。通気性支持層８９は、樹脂フィルム８１の一方の主面に配置されていても、双方の主面に配置されていてもよい。
通気性支持層８９は、樹脂フィルム８１に比べて、厚さ方向の通気度が高い層である。通気性支持層８９には、例えば、織布、不織布、ネット、メッシュを用いることができる。通気性支持層８９を構成する材料は、例えば、ポリエステル、ポリエチレン、アラミド樹脂である。通気性支持層８９の形状は、樹脂フィルム８１の形状と同一であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、樹脂フィルム８１の周縁部のみに配置される形状を有する（具体的に、樹脂フィルム８１が円形である場合には、その周縁部のみに配置されるリング状の）通気性支持層８９でありうる。通気性支持層８９は、例えば、樹脂フィルム８１との熱溶着、接着剤による接着などの手法により配置される。
音響抵抗体８の面密度は、当該膜の強度、生産歩留まりおよび取付精度を含む取扱性、ならびに通音性の観点から、５〜１００ｇ／ｍ2が好ましく、１０〜５０ｇ／ｍ2がより好ましい。
音響抵抗体８には、着色処理が施されていてもよい。樹脂フィルム８１を構成する材料の種類によるが、着色処理を施していない音響抵抗体８の色は、例えば、透明または白色である。このような音響抵抗体８がハウジング３の開口６の近傍に配置された場合、当該抵抗体８が目立つことがある。目立つ膜はユーザーの好奇心を刺激し、針などによる突き刺しによって音響抵抗体としての機能が損なわれることがある。音響抵抗体８に着色処理が施されていると、例えば、ハウジングの色と同色または近似の色を有する音響抵抗体８とすることにより、相対的にユーザーの注目を抑えることができる。また、音響機器の設計およびデザイン上、着色された音響抵抗体が求められることがあり、着色処理により、このような要求に応えることができる。
着色処理は、例えば、樹脂フィルム８１を染色処理したり、樹脂フィルム８１に着色剤を含ませたりすることで実施できる。着色処理は、例えば、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光が吸収されるように実施してもよい。すなわち、音響抵抗体８には、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム８１が、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する着色剤を含む、あるいは波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する染料によって染色されている。この場合、音響抵抗体８を、青色、灰色、茶色、桃色、緑色、黄色などに着色できる。音響抵抗体８は、黒色、灰色、茶色または桃色に着色処理されていてもよい。
音響抵抗体８が黒色または灰色に着色処理されている場合、その着色の程度が、以下に示す白色度Ｗで示して１５．０〜４０．０の範囲にあることが好ましい。白色度Ｗは、音響抵抗体８の主面の明度Ｌ、色相ａおよび彩度ｂを、ＪＩＳ Ｌ１０１５の規定（ハンター法）に準拠して色差計を用いて測定し、測定したこれらの値から式Ｗ＝１００−ｓｑｒ［（１００−Ｌ）2＋（ａ2＋ｂ2）］により求めることができる。白色度Ｗの値が小さいほど、音響抵抗体８の色が黒色になる。
［音響抵抗体の製造方法］
音響抵抗体８の製造方法は特に限定されず、例えば、以下に説明する製造方法により製造できる。
以下の製造方法では、原フィルムに対するイオンビームの照射とその後のエッチング（化学エッチング）とにより、樹脂フィルム８１を形成する。イオンビーム照射およびエッチングにより形成した樹脂フィルム８１は、そのまま音響抵抗体８としてもよいし、必要に応じて、撥液層８２を形成する工程、着色処理工程、あるいは通気性支持層８９を積層する工程などのさらなる工程を経て音響抵抗体８としてもよい。
イオンビーム照射およびその後のエッチングを用いる方法では、例えば、樹脂フィルム８１が有する貫通孔８３の径およびその均一度、ならびに中心線８６の延びる方向、孔密度、開口率、気孔率といった特性の制御が容易であり、すなわち、音響抵抗体８の配置による経路７における気体の流れの抵抗の制御の自由度が高くなる。
原フィルムは、イオンビーム照射およびエッチング後に音響抵抗体８として使用する領域において、その厚さ方向に通気可能である経路を有さない非多孔質の樹脂フィルムである。原フィルムは、無孔のフィルムであってもよい。原フィルムが非多孔質の樹脂フィルムであることは、イオンビーム照射およびエッチングによって原フィルムに貫通孔８３を形成し、樹脂フィルム８１としたときに、当該フィルム８１のバラツキを、例えば、メッシュなどの織物構造あるいは不織布構造などに比べて小さくできることを意味する。
原フィルムにイオンビームを照射すると、当該フィルムにおけるイオンが通過した部分において、樹脂フィルムを構成するポリマー鎖にイオンとの衝突による損傷が生じる。損傷が生じたポリマー鎖は、イオンが衝突していない他の部分のポリマー鎖よりも化学エッチングされやすい。このため、イオンビームを照射した原フィルムを化学エッチングすることにより、イオンの衝突の軌跡に沿って延びる細孔（貫通孔）が形成された樹脂フィルムが得られる。すなわち、貫通孔８３の中心線８６の延びる方向は、イオンビーム照射時に原フィルムをイオンが通過した方向である。原フィルムにおけるイオンが通過していない部分には、通常、細孔は形成されない。
原フィルムから樹脂フィルム８１を形成するこの方法は、非多孔質の原フィルムにイオンビームを照射する工程（Ｉ）と、イオンビームを照射した原フィルムを化学エッチングする工程（II）とを含みうる。工程（Ｉ）では、原フィルムに、当該フィルムの厚さ方向に貫通する直線状に延びたイオンの衝突の軌跡（イオントラック）が形成される。工程（II）では、化学エッチングにより、工程（Ｉ）で形成されたイオントラックに対応する貫通孔８３を原フィルムに形成して、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルム８１を形成する。
この方法では、図２に示すような、断面（中心線８６の延びる方向に垂直な断面）８７の面積が一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて一定またはほぼ一定である貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１も、当該面積が一方の主面８４ａから他方の主面８４ｂに向けて増加する貫通孔８３を有する樹脂フィルム８１も形成できる。前者の樹脂フィルム８１は、例えば、イオン照射後の原フィルムをそのまま化学エッチングして形成できる。原フィルムに形成されたイオントラックに相当する領域がエッチングにより除去されることから、化学エッチングの時間を十分にとることにより、断面８７の面積が一定またはほぼ一定の貫通孔８３が形成される。
後者の樹脂フィルム８１は、例えば、工程（II）において、一方の主面からの上記部分のエッチングの程度が、他方の主面からの上記部分のエッチングの程度よりも大きい化学エッチングを実行して形成できる。より具体的な例として、イオン照射後の原フィルムにおける一方の主面にマスキング層を配置した状態で化学エッチングを実行して形成できる。この化学エッチングでは、マスキング層が配置された上記一方の主面からのエッチングに比べて、上記他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。このような非対称エッチング、より具体的には、イオン照射後の原フィルムにおける一方の主面からと他方の主面からとの間で進行速度が異なるエッチング、を実施することにより、中心線８６が延びる方向に垂直な断面８７の面積が樹脂フィルム８１の一方の主面から他方の主面に向けて変化する形状を有する貫通孔８３を形成できる。なお、マスキング層を配置しない前者の樹脂フィルム８１を形成する際のエッチングでは、イオンビーム照射後の原フィルムに対して、当該原フィルムの双方の主面から均等なエッチングが進行する。
以下、工程（Ｉ）および（II）を、より具体的に説明する。
［工程（Ｉ）］
工程（Ｉ）では、イオンビームを原フィルムに照射する。イオンビームは、加速されたイオンにより構成される。イオンビームの照射により、当該ビーム中のイオンが衝突した原フィルムが形成される。
イオンビームを原フィルムに照射すると、図１０に示すように、ビーム中のイオン１０１が原フィルム１０２に衝突し、衝突したイオン１０１は当該フィルム１０２の内部に軌跡（イオントラック）１０３を残す。被照射物である原フィルム１０２のサイズスケールで見ると、通常、イオン１０１はほぼ直線状に原フィルム１０２と衝突するため、直線状に延びた軌跡１０３が当該フィルム１０２に形成される。イオン１０１は、通常、原フィルム１０２を貫通する。
原フィルム１０２にイオンビームを照射する方法は限定されない。例えば、原フィルム１０２をチャンバーに収容し、チャンバー内の圧力を低くした後（例えば、照射するイオン１０１のエネルギーの減衰を抑制するために高真空雰囲気とした後）、ビームラインからイオン１０１を原フィルム１０２に照射する。チャンバー内に特定の気体を加えてもよいし、原フィルム１０２をチャンバーに収容するが当該チャンバー内の圧力を減圧せず、例えば大気圧でイオンビームの照射を実施してもよい。
帯状の原フィルム１０２が巻回されたロールを準備し、当該ロールから原フィルム１０２を送り出しながら、連続的に原フィルム１０２にイオンビームを照射してもよい。これにより、樹脂フィルム８１を効率的に形成できる。上述したチャンバー内に上記ロール（送出ロール）と、イオンビーム照射後の原フィルム１０２を巻き取る巻取ロールとを配置し、減圧、高真空などの任意の雰囲気としたチャンバー内において送出ロールから帯状の原フィルム１０２を送り出しながら連続的に当該フィルムにイオンビームを照射し、ビーム照射後の原フィルム１０２を巻取ロールに巻き取ってもよい。
原フィルム１０２を構成する樹脂は、樹脂フィルム８１を構成する樹脂と同じであり、例えば、ＰＥＴ、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種である。これらの樹脂から構成される原フィルム１０２は、イオン１０１が衝突した部分の化学エッチングがスムーズに進行しながらも、その他の部分の化学エッチングが進行し難い特徴を有しており、原フィルム１０２における軌跡１０３に対応する部分の化学エッチングの制御が容易となる。このため、このような原フィルム１０２の使用により、例えば、樹脂フィルム８１の貫通孔８３の形状の制御がより容易となる。
原フィルム１０２の厚さは、例えば５〜１００μｍである。工程（Ｉ）でのイオンビーム照射の前後によって、通常、原フィルム１０２の厚さは変化しない。
イオンビームを照射する原フィルム１０２は、例えば、無孔のフィルムである。この場合、工程（Ｉ）および（II）以外に当該フィルムに孔を設けるさらなる工程を実施しない限り、工程（Ｉ）および（II）により形成された貫通孔８３以外の部分が無孔である樹脂フィルム８１を形成できる。当該さらなる工程を実施した場合、工程（Ｉ）および（II）により形成された貫通孔８３と、当該さらなる工程により形成された孔とを有する樹脂フィルム８１が形成される。
原フィルム１０２に照射、衝突させるイオン１０１の種類は限定されないが、原フィルム１０２を構成する樹脂との化学的な反応が抑制されることから、ネオンより質量数が大きいイオン、具体的にはアルゴンイオン、クリプトンイオンおよびキセノンイオンから選ばれる少なくとも１種のイオンが好ましい。
イオン１０１のエネルギー（加速エネルギー）は、典型的には１００〜１０００ＭｅＶである。厚さ５〜１００μｍ程度のポリエステルフィルムを原フィルム１０２として使用する場合、イオン種がアルゴンイオンのときのイオン１０１のエネルギーは１００〜６００ＭｅＶが好ましい。原フィルム１０２に照射するイオン１０１のエネルギーは、イオン種および原フィルム１０２を構成する樹脂の種類に応じて調整しうる。
原フィルム１０２に照射するイオン１０１のイオン源は限定されない。イオン源から放出されたイオン１０１は、例えば、イオン加速器により加速された後にビームラインを経て原フィルム１０２に照射される。イオン加速器は、例えばサイクロトロン、より具体的な例はＡＶＦサイクロトロンである。
イオン１０１の経路となるビームラインの圧力は、ビームラインにおけるイオン１０１のエネルギー減衰を抑制する観点から、１０-5〜１０-3Ｐａ程度の高真空が好ましい。イオン１０１を照射する原フィルム１０２が収容されるチャンバーの圧力が高真空に達していない場合は、イオン１０１を透過する隔壁によって、ビームラインとチャンバーとの圧力差を保持してもよい。隔壁は、例えば、チタン膜あるいはアルミニウム膜から構成される。
イオン１０１は、例えば、原フィルム１０２の主面に垂直な方向から当該フィルムに照射される。図１０に示す例では、このような照射が行われている。この場合、軌跡１０３が原フィルム１０２の主面に垂直に延びるため、後の化学エッチングにより、主面に垂直な方向に中心線８６が延びる貫通孔８３が形成された樹脂フィルム８１が得られる。イオン１０１は、原フィルム１０２の主面に対して斜めの方向から当該フィルムに照射してもよい。この場合、後の化学エッチングにより、主面に垂直な方向から傾いた方向に中心線８６が延びる貫通孔８３が形成された樹脂フィルム８１が得られる。原フィルム１０２に対してイオン１０１を照射する方向は、公知の手段により制御できる。図３の角度θ１は、例えば、原フィルム１０２に対するイオンビームの入射角により制御できる。
イオン１０１は、例えば、複数のイオン１０１の飛跡が互いに平行となるように原フィルム１０２に照射される。図１０に示す例では、このような照射が行われている。この場合、後の化学エッチングにより、互いに平行に延びる複数の貫通孔８３が形成された樹脂フィルム８１が形成される。
イオン１０１は、複数のイオン１０１の飛跡が互いに非平行（例えば互いにランダム）となるように原フィルム１０２に照射してもよい。これにより、例えば、図３〜６に示すような樹脂フィルム８１が形成される。より具体的には、図３〜６に示すような樹脂フィルム８１を形成するために、例えば、イオンビームを原フィルム１０２の主面に垂直な方向から傾けて照射するとともに、連続的あるいは段階的に当該傾ける方向を変化させてもよい。なお、イオンビームは、複数のイオンが互いに平行に飛翔するビームであるため、同じ方向に延びる貫通孔８３の組が樹脂フィルム８１に通常存在する（同じ方向に延びる複数の貫通孔８３が樹脂フィルム８１に通常存在する）ことになる。
連続的または段階的に当該傾ける方向を変化させる方法の例を図１１に示す。図１１に示す例では、帯状の原フィルム１０２を送出ロール１０５から送り出して所定の曲率を有する照射ロール１０６を通過させ、当該ロール１０６を通過する間にイオンビーム１０４を照射し、照射後の原フィルム１０２を巻取ロール１０７に巻き取る。このとき、イオンビーム１０４中のイオン１０１は次々と互いに平行に飛翔してくるため、照射ロール１０６上を原フィルム１０２が移動するとともに原フィルム１０２の主面に対してイオンビームが衝突する角度（入射角θ１）が変化することになる。そして、イオンビーム１０４を連続的に照射すれば上記傾ける方向は連続的に変化し、イオンビーム１０４を断続的に照射すれば上記傾ける方向は段階的に変化する。これは、イオンビームの照射タイミングによる制御ともいえる。また、イオンビーム１０４の断面形状および原フィルム１０２の照射面に対するイオンビーム１０４のビームラインの断面積によっても、原フィルム１０２に形成される軌跡１０３の状態（例えば角度θ１）を制御できる。
樹脂フィルム８１の孔密度は、原フィルム１０２へのイオンビームの照射条件（イオン種、イオンのエネルギー、イオンの衝突密度（照射密度）など）により制御できる。
イオン１０１は、２以上のビームラインから原フィルム１０２に照射してもよい。
工程（Ｉ）は、原フィルム１０２の主面、例えば上記一方の主面、にマスキング層が配置された状態で実施してもよい。この場合、例えば、当該マスキング層を工程（II）におけるマスキング層に利用できる。
［工程（II）］
工程（II）では、工程（Ｉ）においてイオンビームを照射した後の原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突した部分の少なくとも一部を化学エッチングして、イオン１０１の衝突の軌跡１０３に沿って延びる貫通孔８３を当該フィルムに形成する。このようにして得た樹脂フィルム８１における貫通孔８３以外の部分は、フィルムの状態を変化させる工程をさらに実施しない限り、基本的に、イオンビーム照射前の原フィルム１０２と同じである。
具体的なエッチングの手法は公知の手法に従えばよい。例えば、エッチング処理液に、イオンビーム照射後の原フィルム１０２を所定の温度かつ所定の時間、浸漬すればよい。エッチング温度、エッチング時間、エッチング処理液の組成などのエッチング条件によって、例えば、貫通孔８３の径を制御できる。
エッチングの温度は、例えば４０〜１５０℃であり、エッチングの時間は、例えば１０秒〜６０分である。
化学エッチングに使用するエッチング処理液は特に限定されない。エッチング処理液は、例えば、アルカリ性溶液、酸性溶液、または酸化剤、有機溶剤および界面活性剤から選ばれる少なくとも１種を添加したアルカリ性溶液もしくは酸性溶液である。アルカリ性溶液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのような塩基を含む溶液（典型的には水溶液）である。酸性溶液は、例えば、硝酸、硫酸のような酸を含む溶液（典型的には水溶液）である。酸化剤は、例えば、重クロム酸カリウム、過マンガン酸カリウム、次亜塩素酸ナトリウムである。有機溶剤は、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、エチレングリコール、アミノアルコール、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドである。界面活性剤は、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキル硫酸塩である。
工程（II）では、イオンビーム照射後の原フィルム１０２の一方の主面にマスキング層を配置した状態で上記化学エッチングを実施してもよい。この化学エッチングでは、原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突した部分のエッチングについて、マスキング層を配置した上記一方の主面からのエッチングに比べて、他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。すなわち、原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突した部分のエッチングについて、当該フィルムの双方の主面からのエッチングが非対称的に進行する化学エッチング（非対称エッチング）が実施される。なお、「エッチングの程度が大きい」とは、より具体的には、例えば、上記部分について単位時間あたりのエッチング量が大きいこと、すなわち上記部分についてエッチング速度が大きいことを意味する。
工程（II）では、原フィルム１０２の一方の主面への、原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難いマスキング層の配置により、当該一方の主面からの上記部分のエッチングを抑止しながら、原フィルム１０２の他方の主面からの上記部分のエッチングを進行させる化学エッチングを実施してもよい。このようなエッチングは、例えば、マスキング層の種類および厚さの選択、マスキング層の配置、エッチング条件の選択などにより、実施できる。
マスキング層の種類は特に限定されないが、原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難い材料から構成される層であることが好ましい。「エッチングされ難い」とは、より具体的には、例えば、単位時間あたりにエッチングされる量が小さいこと、すなわち、被エッチング速度が小さいことを意味する。化学エッチングされ難いか否かは、工程（II）において実際に実施する非対称エッチングの条件（エッチング処理液の種類、エッチング温度、エッチング時間など）に基づいて判断できる。工程（II）において複数回の非対称エッチングを、マスキング層の種類および／または配置面を変えながら実施する場合、各エッチングの条件に基づいてそれぞれのエッチングについて判断すればよい。
マスキング層は、原フィルム１０２におけるイオン１０１が衝突していない部分との対比では、当該部分よりも化学エッチングされ易くても、され難くても、いずれでもよいが、され難いことが好ましい。され難い場合、例えば、非対称エッチングの実施に必要なマスキング層の厚さを薄くすることができる。
工程（Ｉ）において、マスキング層を配置した原フィルム１０２にイオンビームを照射した場合、当該マスキング層にもイオントラックが形成される。これを考慮すると、マスキング層を構成する材料は、イオンビームの照射によってもそのポリマー鎖が損傷を受け難い材料であることが好ましい。
マスキング層は、例えば、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコールおよび金属箔から選ばれる少なくとも１種から構成される。これらの材料は、化学エッチングされ難いとともに、イオンビームの照射によっても損傷を受け難い。
マスキング層を配置して非対称エッチングを実施する場合、当該エッチングを実施する領域に相当する、原フィルム１０２の一方の主面の少なくとも一部に配置すればよい。必要に応じて、原フィルム１０２の一方の主面の全体に配置できる。
原フィルム１０２の主面にマスキング層を配置する方法は、非対称エッチングを実施する間、マスキング層が当該主面から剥離しない限り限定されない。マスキング層は、例えば、粘着剤により原フィルム１０２の主面に配置される。すなわち工程（II）において、マスキング層が粘着剤によって上記一方の主面に貼り合わされた状態で、上記化学エッチングを（非対称エッチングを）実施してもよい。粘着剤によるマスキング層の配置は、比較的容易に行うことができる。また、粘着剤の種類を選択することにより、非対称エッチング後の原フィルム１０２からのマスキング層の剥離が容易となる。
工程（II）で非対称エッチングを実施する場合、当該エッチングを複数回実施してもよい。また、非対称エッチングとともに、原フィルム１０２の双方の主面から均等に軌跡１０３のエッチングを進行させる対称エッチングを併せて実施してもよい。例えば、エッチングの途中でマスキング層を原フィルム１０２から剥離することにより、非対称エッチングから対称エッチングの進行に切り替えてもよい。あるいは、対称エッチングを実施した後に原フィルム１０２にマスキング層を配置して、非対称エッチングを実施してもよい。
工程（II）でマスキング層を用いた非対称エッチングを実施する場合、当該エッチング後のマスキング層は、必要に応じてその一部または全部を樹脂フィルム８１に残留させることができる。残留させたマスキング層は、例えば、樹脂フィルム８１における上記一方の主面（マスキング層を配置した主面）と上記他方の主面とを区別する目印として用いることができる。
工程（II）において複数回のエッチングを実施する場合、各回のエッチングにおいてエッチング条件を変化させてもよい。
樹脂フィルム８１の製造方法は、工程（Ｉ）、（II）以外の任意の工程を含んでいてもよい。
［音響抵抗体部材］
本発明の音響抵抗体部材の一例を、図１２に示す。図１２に示す音響抵抗体部材９１は、主面に垂直な方向から見た形状が円形である音響抵抗体８と、当該抵抗体８の周縁部に接合されたリング状のシートである支持体９２とを備える。音響抵抗体８に支持体９２が接合された形態により、音響抵抗体８が補強されるとともに、その取扱性が向上する。また、支持体９２が、音響抵抗体部材９１を音響機器に配置する際の取り付けしろとなるため、音響抵抗体８の取り付け作業が容易となる。
支持体９２の形状は限定されない。例えば、図１３に示すように、主面に垂直な方向から見た形状が矩形である音響抵抗体８の周縁部に接合された、額縁状のシートである支持体９２であってもよい。図１２，１３に示すように、支持体９２の形状を音響抵抗体８の周縁部の形状とすることによって、支持体９２の配置による音響抵抗体８の特性の低下が抑制される。また、シート状の支持体９２が、音響抵抗体８の取扱性および音響機器への配置性の観点から、好ましい。
支持体９２を構成する材料は、例えば、樹脂、金属およびこれらの複合材料である。樹脂は、例えばポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＰＥＴ、ポリカーボネートなどのポリエステル；ポリイミドあるいはこれらの複合材である。金属は、例えばステンレスやアルミニウムのような耐蝕性に優れる金属である。
支持体９２の厚さは、例えば５〜５００μｍであり、２５〜２００μｍが好ましい。また、取り付けしろとしての機能に着目すると、リング幅（額縁幅：外形と内径との差）は０．５〜２ｍｍ程度が適当である。支持体９２には、上記樹脂からなる発泡体を使用してもよい。
音響抵抗体８と支持体９２との接合方法は特に限定されず、例えば、加熱溶着、超音波溶着、接着剤による接着、両面テープによる接着などの方法を採用できる。
音響抵抗体部材９１は、２層以上の音響抵抗体８および／または２層以上の支持体９２を備えていてもよい。
［音響機器］
本発明の音響機器の一例は、図１に示すイヤホンユニット１である。イヤホンユニット１の具体的な構成は、音響抵抗体の説明において上述したとおりである。
図１に示すように本発明の音響機器では、音響抵抗体８が、当該機器のハウジングに設けられた開口に通じるとともに音響子が配置されている気体の経路７における、当該開口および音響子の間に配置されている。「開口および音響子の間に配置される」とは、開口への配置、より具体的には、開口を塞ぐようにハウジングに接合した状態での配置、を含む。この場合、ハウジングの内壁に接合しても外壁に接合してもよい。
経路７が通じる開口は、通音口であっても、通音口以外の開口であってもよい。図１に示すイヤホンユニット１では、通音口５とは異なる開口６に、音響抵抗体８が配置された経路７が通じている。本発明の音響機器では、例えば、音響機器のハウジングに２以上の開口が設けられており、この２以上の開口は、音響子とハウジングの外部との間で音を伝達する通音口を含んでおり、少なくとも、通音口とは異なる上記開口に通じる経路７に音響抵抗体８が配置されていてもよい。通音口に通じる経路７と、通音口以外の開口に通じる経路７との双方に音響抵抗体８が配置されていてもよい。音響機器に配置される音響抵抗体８は２以上であってもよいし、１つの経路７に配置される音響抵抗体８が２以上であってもよい。
音響子からの経路７は２以上の開口に通じていてもよいし、このとき当該２以上の開口の少なくとも１つが通音口であってもよい。換言すれば、音響子からの経路７は、通音口と、通音口以外の開口に通じていてもよい。
経路７の設計、経路７における音響抵抗体８を配置する位置および数、ならびに音響抵抗体８の特性（貫通孔径、通気度など）は、求められる音響機器の特性に応じて自由に設定できる。
音響抵抗体８は、例えば、当該抵抗体８が配置されている経路７を塞ぐように配置される。音響抵抗体８は、経路７を部分的に覆うように配置してもよい。
音響抵抗体８が防塵性を有する場合、その配置の状態によっては、防塵性を有する音響機器が得られる。配置の状態は、例えば、経路７に通じる開口を覆うような配置である。音響抵抗体８が防水性を有する場合、その配置の状態によっては、防水性を有する音響機器が得られる。配置の状態は、例えば、経路７に通じる開口を覆うような配置である。
経路７への音響抵抗体８の配置方法は限定されない。図１に示すイヤホンユニット１では、経路７を構成する開口２４が設けられたフレーム２３に、当該開口２４を塞ぐように音響抵抗体８が接合されている。音響機器を構成する部材に音響抵抗体８を接合することにより経路７に当該抵抗体８を配置する場合、両面テープを用いた貼付、熱溶着、高周波溶着、超音波溶着などの手法を採用できる。両面テープを用いた貼付では、当該両面テープを支持体９２として利用することも可能であり、音響抵抗体８をより確実かつ正確に接合できる。
音響抵抗体８の形状は限定されない。音響抵抗体８の形状は、例えば、ディスク状、円筒状、リング状、およびこれらの形状の一部（例えば、リングの一部、三日月状、半月状など）である。音響抵抗体８を配置する経路７の形状あるいは経路７の断面の形状に応じて自由に設定できる。
音響子は、音を出力および／または入力する機能を有する。音響子は、例えば、振動板（振動フィルム、振動膜、ダイヤフラム）である。
経路７において音響子が配置される位置は限定されず、例えば、音響子が経路７の末端に配置されていてもよい。
変換部（トランスデューサー）は、音響子を備え、音と電気信号とを変換する。音響機器がイヤホンなどのように音を出力する機器である場合、変換部では、入力された電気信号（音信号）に対応する音を出力する。音響機器がマイクロフォンなどのように音を入力する機器である場合、変換部では、入力された音に対応する電気信号（音信号）を出力する。変換部の具体的な構成は特に限定されず、音響子を含め、公知の変換部と同様でありうる。
ハウジング内への変換部の収容方法および収容位置は限定されない。ハウジングは、例えば、金属、樹脂、ガラスおよびこれらの複合材料により形成される。ハウジングに設ける開口（通音口を含む）の位置および形状は限定されない。
本発明の音響機器は限定されず、例えば、イヤホン、ヘッドホン、マイクロフォン、ヘッドセット、受話器、補聴器、およびウェアラブル端末である。本発明の音響機器は、騒音計などの音響評価機器でありうる。本発明の音響機器は、２以上のユニットから構成される音響機器の各ユニットでありうる。当該ユニットは、例えば、イヤホンユニット、ヘッドホンユニット、マイクロフォンユニット、ヘッドセットを構成する各ユニットである。
本発明は、以下に示す実施例に限定されない。
（実施例１）
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の市販のＰＥＴフィルム（it4ip製、Track etched membrane、厚さ４５μｍ）を準備した。当該フィルムの貫通孔の径は３．０μｍ、孔密度は２．０×１０6個／ｃｍ2であった。
次に、準備したＰＥＴフィルムを、８０℃に保持したエッチング処理液（水酸化カリウム濃度２０質量％の水溶液）に３０分浸漬した。エッチング終了後、処理液からフィルムを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜濾過水）に浸漬して洗浄した後、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥して、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムを得た。得られた樹脂フィルムの貫通孔の径は５．９μｍであり、その中心軸の延びる方向に垂直な断面の面積は、当該フィルムの厚さ方向に一定であった。孔密度は、エッチング前後で同一であった。
次に、乾燥後の樹脂フィルムを分散染料を用いて染色した。染色後のフィルムは、肉眼では黒色であった。
次に、作製した黒色フィルムを撥液処理液中に３秒浸漬した後、常温で３０分間放置して乾燥させ、当該フィルムの表面および貫通孔の内周面に撥液層を形成した。撥液処理液は、撥液剤（信越化学製、Ｘ−７０−０２９Ｃ）を濃度０．７重量％となるように希釈剤（信越化学製、ＦＳシンナー）で希釈して調製した。
このようにして得た樹脂フィルム（音響抵抗体）の見かけ密度は、０．７０ｇ／ｃｍ3であった。
また、このようにして得た樹脂フィルム（音響抵抗体）における厚さ方向の通気性のバラツキを、通気性変動率により評価した。通気性変動率は、以下のように求めた。最初に、図１４に示すように、得られた樹脂フィルムをサンプル２０１として、当該サンプルの主面における直交する２つの方向にそれぞれ２０点、サンプル２０１全体で４０点の測定ポイント２０２を設定した。次に、各測定ポイント２０２におけるサンプル２０１の厚さ方向の通気度を、ＪＩＳ Ｌ１０９６Ｂの規定に準拠してガーレー数として測定した。次に、測定した４０点の通気度の平均値Ａｖおよび標準偏差σを求め、平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖで表される通気性変動率を求めた。実施例１で作製した音響抵抗体の通気性変動率は、０．０８１であった。
（比較例１）
比較例１の音響抵抗体として、市販の不織布（旭化成せんい製、スマッシュＹ１５２５０）を準備した。この不織布は、スパンボンド法により形成されたポリエチレンテレフタレート繊維から構成される不織布であり、その見かけ密度は０．４４ｇ／ｃｍ3であった。
この音響抵抗体をサンプルとして、実施例１ど同様に通気性変動率を求めた。各測定ポイント２０２の位置は、実施例１と同一とした。比較例１の音響抵抗体の通気性変動率は、０．１５０であった。
実施例１の音響抵抗体の通気性のバラツキは、比較例１の音響抵抗体よりも小さかった。
本発明は、その意図および本質的な特徴から逸脱しない限り、他の実施形態に適用しうる。この明細書に開示されている実施形態は、あらゆる点で説明的なものであってこれに限定されない。本発明の範囲は、上記説明ではなく添付したクレームによって示されており、クレームと均等な意味および範囲にあるすべての変更はそれに含まれる。
本発明の音響抵抗体は、従来の音響抵抗体と同様の任意の用途に使用できる。
１ イヤホンユニット
２ 変換部
２１ 音響子（振動板）
２２ マグネット
２３ フレーム
２４ （フレーム２３の）開口
３ （イヤホンユニット１の）ハウジング
３ａ フロントハウジング
３ｂ リアハウジング
４ ケーブル
５ 通音口
６，６ａ，６ｂ 開口
７ 気体の経路
８ 音響抵抗体
８１ 樹脂フィルム
８２ 撥液層
８３ 貫通孔
８４ａ，８４ｂ （樹脂フィルム８１の）主面
８５ 開口
８６ （貫通孔８３の）中心軸
８７ （貫通孔８３の中心軸８６が延びる方向に垂直な）断面
８８ａ （主面８４ａにおける貫通孔８３の）開口
８８ｂ （主面８４ｂにおける貫通孔８３の）開口
８９ 通気性支持層
９１ 音響抵抗体部材
９２ 支持体
１０１ イオン
１０２ 原フィルム
１０３ 軌跡（イオントラック）
１０４ イオンビーム
１０５ 送出ロール
１０６ 照射ロール
１０７ 巻取ロール
２０１ サンプル
２０２ 測定ポイント

Claims (8)

  1. 音響機器に使用する音響抵抗体であって、
    前記音響機器は、
    音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、
    前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングと、を備え、
    前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、
    前記音響子は前記経路に配置され、
    前記音響抵抗体は、前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置されるとともに、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含み、
    前記樹脂フィルムは、厚さ方向に貫通する直線状に延びた複数の貫通孔が形成された非多孔質のフィルムである、音響抵抗体。
  2. 前記貫通孔の径が３．０μｍ以上１３．０μｍ以下である、請求項１に記載の音響抵抗体。
  3. 前記経路の断面を覆うように配置される、請求項１または２に記載の音響抵抗体。
  4. 撥液層をさらに含む、請求項１〜３のいずれかに記載の音響抵抗体。
  5. 請求項１〜４のいずれかに記載の音響抵抗体と、
    前記音響抵抗体に接合された支持体と、を備える音響抵抗体部材。
  6. 音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、前記変換部が収容された、少なくとも１つの開口を有するハウジングと、を備え、
    前記少なくとも１つの開口に通じる気体の経路が前記ハウジング内に存在し、
    前記音響子は前記経路に配置され、
    前記経路における、前記少なくとも１つの開口と前記音響子との間に配置された、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含む音響抵抗体をさらに備え、
    前記音響抵抗体が、請求項１〜４のいずれかに記載の音響抵抗体である、音響機器。
  7. 前記ハウジングに２以上の前記開口が設けられており、
    前記２以上の開口は、前記音響子と前記ハウジングの外部との間で前記音を伝達する通音口を含み、
    少なくとも、前記通音口とは異なる前記開口に通じる前記経路に、前記音響抵抗体が配置されている、請求項６に記載の音響機器。
  8. 前記音響機器が、イヤホン、イヤホンユニット、ヘッドホン、ヘッドホンユニット、ヘッドセット、ヘッドセットユニット、受話器、補聴器またはウェアラブル端末である、請求項６または７に記載の音響機器。
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