WO2016136233A1 - 防水通音構造と、それを備える電子機器および電子機器用ケース - Google Patents

防水通音構造と、それを備える電子機器および電子機器用ケース Download PDF

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waterproof sound
waterproof
space
permeable
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文太 平井
了 古山
将明 森
山本　元
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a waterproof sound transmission structure having both waterproofness and sound transmission characteristics, and an electronic device and an electronic device case having the structure.
  • An acoustic component such as a speaker and / or a microphone is accommodated as an acoustic unit (more specifically, a sound generation unit and / or a sound receiving unit) in a housing of an electronic device having an audio function.
  • a sound passage is usually provided at a position corresponding to the acoustic part in the casing of the electronic device, and sound is transmitted between the outside of the electronic device and the acoustic part via the sound passage.
  • a waterproof sound-permeable structure is formed in a housing by closing the sound-permeable port using a waterproof sound-permeable film that transmits sound but does not transmit water.
  • the waterproof sound-transmitting structure prevents water from entering the housing from the outside through the sound passage, while ensuring sound transmission between the acoustic unit and the outside of the housing.
  • the waterproof sound-transmitting structure is not limited to the housing of an electronic device, and can be applied to a place where both sound-transmitting properties through a sound-transmitting port and waterproofness at the sound-transmitting port are required.
  • An example of a waterproof sound-permeable membrane is a non-porous resin film in which a plurality of through holes penetrating in the thickness direction are formed (see Patent Document 1).
  • the waterproof sound-permeable membrane of Patent Document 1 is formed by chemically etching the irradiated film after irradiating a non-porous resin film with an ion beam.
  • One of the objects of the present invention is to provide a waterproof sound transmission structure that achieves a higher level of waterproofness and sound transmission performance than conventional waterproof sound transmission structures, and an electronic device and electronic device case provided with the structure. Is an offer.
  • the waterproof sound-transmitting structure of the present disclosure separates two spaces, and is provided with a wall provided with a sound-transmitting port for transmitting sound between the two spaces, and disposed so as to close the sound-transmitting port.
  • a waterproof sound-permeable membrane that transmits sound between the two spaces and prevents water from entering the other space through the sound passage from one space where water can exist
  • the other space is configured to be a sealed space having a volume of 300 mm 3 or less when the one space is filled with water.
  • the waterproof sound-permeable membrane is a non-porous resin film having a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction, and a position corresponding to the plurality of through-holes formed on the main surface of the resin film. And a liquid-repellent layer having an opening, and the diameter of the through hole is 5.0 ⁇ m or more and 13.0 ⁇ m or less.
  • the electronic device of the present disclosure is an electronic device having an acoustic unit, and includes the waterproof sound-transmitting structure of the present disclosure.
  • the wall is a casing of the electronic device, the one space is a space outside the casing, and the other space is the acoustic unit inside the casing.
  • the sound passage opening is a sound passage opening for transmitting sound from and / or to the sound section.
  • the electronic device case according to the present disclosure is an electronic device case that houses an electronic device having an acoustic part, and includes the waterproof sound-transmitting structure according to the present disclosure.
  • the wall is a housing of the case, the one space is a space outside the housing, and the other space is the electronic device inside the housing. It is a space to be accommodated, and the sound passage opening is a sound passage opening for transmitting sound from and / or to the sound section of the electronic device housed in the case.
  • the waterproof sound-permeable structure which made waterproof and sound-permeable property compatible at a higher level, and an electronic device and electronic device case provided with the said structure are achieved.
  • FIG. 1 It is sectional drawing which shows typically an example of the waterproof sound-permeable structure of this invention.
  • FIG. 1 it is sectional drawing which shows typically the state of a waterproof sound-permeable membrane when one space is filled with water.
  • FIG. 1 it is sectional drawing which shows typically an example of the waterproof sound-permeable membrane with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided.
  • FIG. 1 shows typically another example of the waterproof sound-permeable membrane with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided.
  • the waterproof sound-permeable membrane with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided, it is a top view which shows typically an example of the relationship between the said through-holes of the direction where a through-hole extends.
  • the waterproof sound-permeable membrane with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided, it is a top view which shows typically another example of the relationship between the said through-holes of the direction where a through-hole extends.
  • the waterproof sound-permeable membrane provided in the waterproof sound-permeable structure of the present invention it is a cross-sectional view schematically showing still another example of the relationship between the through holes in the direction in which the through holes extend.
  • FIG. It is a perspective view which shows typically an example of the waterproof sound-permeable membrane (waterproof sound-permeable member containing a support body) with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided. It is a top view which shows typically another example of the waterproof sound-permeable membrane (waterproof sound-permeable member containing a support body) with which the waterproof sound-permeable structure of this invention is provided.
  • FIG. 14A It is a perspective view which shows typically an example of the electronic device of this invention. It is sectional drawing which shows typically an example of arrangement
  • the first aspect of the present disclosure separates two spaces, and is provided with a wall provided with a sound passage that transmits sound between the two spaces, and disposed so as to close the sound passage.
  • a waterproof sound-permeable membrane that transmits sound between the two spaces and prevents water from entering the other space through the sound passage from one space where water can exist
  • a sound transmission structure, The other space is configured to be a sealed space having a volume of 300 mm 3 or less when the one space is filled with water.
  • the waterproof sound-permeable membrane corresponds to: a non-porous resin film in which a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction are formed, and the plurality of through-holes formed on the main surface of the resin film A water-repellent layer having an opening at a position; and a waterproof sound-permeable structure, wherein the through-hole has a diameter of 5.0 ⁇ m or more and 13.0 ⁇ m or less.
  • the waterproof pressure of the waterproof sound-permeable structure is the waterproof pressure of the waterproof sound-permeable film disposed at the sound-permeable port, and the water resistance of JIS L1092 Provided is a waterproof sound-permeable structure exceeding the water pressure measured in accordance with the test B method (high water pressure method).
  • the third aspect of the present disclosure provides a waterproof sound-permeable structure that satisfies the protection class 7 against water ingress specified in JIS C0920 in addition to the first or second aspect.
  • the waterproof sound-permeable structure is configured such that the waterproof pressure of the waterproof sound-permeable membrane is 3.0 kPa or more and less than 9.8 kPa, and the volume is 10 mm 3 or less. provide.
  • the waterproof sound-permeable structure is configured such that the waterproof pressure of the waterproof sound-permeable membrane is 2.0 kPa or more and less than 3.0 kPa, and the volume is 5 mm 3 or less. provide.
  • a waterproof sound-permeable structure in which an effective area of the waterproof sound-permeable membrane is 4.9 mm 2 or less is provided.
  • the waterproof sound-permeable membrane is indicated by a fragile number measured in accordance with JIS L1096, 2.0 cm 3 /
  • a waterproof sound-permeable structure having an air permeability of (cm 2 ⁇ sec) to 120 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) in the thickness direction.
  • the eighth aspect of the present disclosure provides a waterproof sound transmission structure in which an insertion loss of the waterproof sound transmission structure in a sound range of 100 Hz to 5 kHz is 2 dB or less, in addition to any of the first to seventh aspects.
  • the waterproof sound-permeable membrane is subjected to a coloring treatment that absorbs light included in a wavelength range of 380 nm to 500 nm. Provides a waterproof sound-permeable structure.
  • the tenth aspect of the present disclosure provides a waterproof sound-permeable structure in which the waterproof sound-permeable film is colored black, gray, brown, or pink in addition to any of the first to eighth aspects.
  • An eleventh aspect of the present disclosure is an electronic apparatus having an acoustic unit, including the waterproof sound-permeable structure according to any one of the first to tenth aspects, wherein the wall is the electronic device A housing of the device; the one space is a space outside the housing; the other space is a space including the acoustic part inside the housing; Provided is an electronic device which is a sound passage for transmitting sound from and / or to the acoustic unit.
  • a twelfth aspect of the present disclosure is a case for an electronic device that houses an electronic device having an acoustic unit, and includes the waterproof sound-permeable structure according to any one of the first to tenth aspects.
  • the wall is a housing of the case; the one space is a space outside the housing; the other space is a space in the housing that houses the electronic device. Yes;
  • the sound passage opening provides a case for an electronic device that is a sound passage opening for transmitting sound from and / or to the sound portion of the electronic device housed in the case.
  • a waterproof sound-permeable structure 1 shown in FIG. 1 includes a wall 2 provided with a sound passage 11 and a waterproof sound-permeable membrane 3 arranged so as to close the sound passage 11.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is a membrane that transmits sound but prevents water from passing therethrough.
  • the wall 2 separates the two spaces 12 and 13, and the sound passage 11 is an opening that transmits sound between the two spaces.
  • One space 12 may contain water. Although water may be present in the other space 13, the space 13 is typically a space where water does not exist or a space where water should be avoided, such as a space inside the housing of the electronic device.
  • water means liquid water.
  • the wall 2 prevents water from moving between the two spaces 12 and 13 and restricts the transmission of sound.
  • the sound-transmitting port 11 and the sound-transmitting port provided on the wall 2 are used.
  • the sound 21 and 22 can be transmitted between the spaces 12 and 13 through the waterproof sound-permeable membrane 3 disposed in the space 11, and the waterproof sound-permeable membrane 3 allows the water to exist from one space 12 to the other space 13. Intrusion of water is prevented.
  • the sound 21 is a space.
  • 12 is a sound transmitted from the acoustic unit 4 to the acoustic unit 4
  • the sound 22 is a sound emitted from the acoustic unit 4 and transmitted to the space 12.
  • the other space 13 is configured to be a sealed space having a volume of 300 mm 3 or less when the one space 12 is filled with water.
  • the water pressure 31 is applied to the waterproof sound-permeable membrane 3, so that the membrane 3 is deformed to the other space 13 side, and more specifically, deforms so as to bend (see FIG. 2).
  • the internal pressure of the space 13 increases because the volume of the other space 13 that has become a sealed space decreases by the amount of deformation of the membrane 3.
  • a pressure 32 from the other space 13 to the one space 12 is applied to the waterproof sound-permeable membrane 3, and a part of the water pressure 31 is offset by the pressure 32.
  • the same water pressure 31 is applied to the same membrane 3, that is, when the amount of deformation of the membrane 3 due to the water pressure 31 is the same, the smaller the volume of the sealed space, the greater the increase in the internal pressure and the more the water pressure 31 is offset.
  • the water pressure substantially applied to the sound-permeable membrane 3 becomes small.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 has a waterproof property (intrinsic waterproof property) inherent to the membrane according to its configuration, but in the waterproof sound-permeable structure 1, the water pressure substantially applied to the membrane 3 is small as described above.
  • the waterproof sound-permeable structure 3 that achieves the required waterproof property is also realized by the waterproof sound-permeable membrane 3 having the inherent waterproof property lower than the waterproof property required for the structure 1.
  • the sound permeability of the waterproof sound-permeable membrane (characteristics of sound transmitted through the waterproof sound-permeable membrane) becomes lower as the inherent waterproof property becomes higher.
  • the waterproof sound transmission structure 1 that can achieve the required waterproof property by the waterproof sound-permeable membrane having an inherent waterproof property that is lower than the required waterproof property is more waterproof than the conventional waterproof sound transmission structure. The sound can be balanced at a higher level.
  • the volume of the other space 13 that becomes a sealed space when one space 12 is filled with water is 300 mm 3 or less.
  • the volume when the other space 13 is sealed is 300 mm 3 or less.
  • the degree to which the water pressure 31 is offset in the waterproof sound-permeable membrane 3 is not sufficient, and it becomes impossible to achieve both waterproofness and sound permeability at a higher level than before.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 with which the waterproof sound-permeable structure 1 is provided is the non-porous resin film in which the several through-hole penetrated in the thickness direction was formed, and the said film formed on the main surface of the resin film, And a liquid repellent layer having openings at positions corresponding to the plurality of through holes.
  • a waterproof sound-permeable membrane 3 can control the waterproofness and sound permeability of the membrane by the diameter of the through hole, and has a high degree of freedom in control. This contributes to both a high level of waterproofness and sound permeability in the waterproof sound-permeable structure 1.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is based on a non-porous resin film (base material), so that the mechanical properties such as strength are highly uniform, and the diameter of the uniform through hole is also high. And / or a waterproof sound-permeable membrane in which through holes are uniformly distributed. For this reason, the permeation
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 having such a structure has a high sound-transmitting property in the first place, and the high sound-transmitting property is particularly low in a frequency range of 100 Hz to 5 kHz which is important as a waterproof sound-transmitting structure. Prominent in insertion loss.
  • the diameter of the through hole in the waterproof sound-permeable membrane 3 is not less than 5.0 ⁇ m and not more than 13.0 ⁇ m.
  • the diameter of the through hole exceeds 13.0 ⁇ m, the inherent waterproofness of the membrane 3 itself is low, and it is difficult to achieve both waterproofness and sound permeability at a high level in the waterproof sound-permeable structure 1.
  • the diameter of the through-hole is less than 5 ⁇ m, the waterproof property is ensured even if the sealed volume becomes a predetermined value or more because the inherent waterproof property of the membrane 3 itself is very high. There is a tendency that the sound permeability of No. 1 is lowered.
  • the sealed volume of the other space 13 is preferably 200 mm 3 or less, 150 mm 3 or less, and 100 mm 3 or less.
  • the level of sound transmission compatibility can be further increased.
  • the sealed volume of the other space 13 may be a smaller volume, for example, 50 mm 3 or less, 30 mm 3 or less, 10 mm 3 or less, or 5 mm 3 or less.
  • the sealed volume of the other space 13 is a volume occupied by the air that leads to the waterproof sound-permeable membrane 3 and the sound-permeable port 11 in the space, and does not include the volume of articles existing in the space. This is because the volume of the article does not contribute to the generation of the pressure 32 due to the deformation of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the sealed volume of the other space 13 is a volume in a state where the one space 12 is not filled with water (the state where the waterproof sound-permeable membrane 3 is not deformed by the water pressure 31).
  • a typical index of waterproofness is water pressure resistance.
  • the water pressure resistance is the water pressure resistance (specific water pressure resistance) of the waterproof sound-permeable membrane 3 itself disposed in the sound hole 11, and the water resistance test B method (high water pressure method) of JIS L1092. ) The water pressure measured in accordance with the provisions of) may be exceeded.
  • the waterproofness of the waterproof sound-permeable structure can be evaluated by the protection grade against water ingress specified in JIS C0920.
  • this protection class it is basically the protection class 7 (IPX7) that assumes a state in which one space 12 is filled with water.
  • IPX7 the protection class 7
  • IPX7 the water pressure measured by the water resistance test B method of the structure 1 is measured by IPX7, which evaluates the presence or absence of water when the waterproof structure is submerged at a depth of 1 m. In principle, it is 9.8 kPa or more.
  • the waterproof sound-transmitting structure 1 can satisfy the protection grade (IPX7) against water ingress specified in JIS C0920. Even if the electronic device in which the waterproof sound-permeable structure 1 satisfying IPX7 is formed is accidentally dropped into the water, it is possible to avoid inundation into the device within a predetermined depth and time.
  • IPX7 protection grade
  • the following relationship can be established for the relationship between the sealed volume of the other space 13 and the inherent water pressure resistance of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • One of the relationships when the waterproof sound-permeable structure 1 satisfies IPX7 is that the water-proof pressure of the waterproof sound-permeable membrane 3 measured by the water resistance test B method is 3.0 kPa or more and less than 9.8 kPa, and the other space 13 Is 10 mm 3 or less.
  • Another of the relations is that the waterproof sound-permeable membrane 3 measured by the water resistance test B method has a water pressure resistance of 2.0 kPa or more and less than 3.0 kPa, and the volume of the other space 13 when sealed is 5 mm 3 or less. It is.
  • the configuration of the other space 13 is not limited as long as one space 12 becomes a sealed space when filled with water.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 does not transmit water, when one space 12 in contact with the membrane 3 is filled with water, the sound passage 11 where the membrane 3 is disposed seals the space 13. Is preserved.
  • the time when one space 12 is filled with water is when, for example, the entire sound passage 11 of the waterproof sound-permeable structure 1 is submerged.
  • the other space 13 is, for example, a space surrounded by the wall 2 having no opening other than the sound passage 11.
  • the other space 13 is, for example, a space surrounded by the wall 2 having an opening in addition to the sound passage opening 11, and a waterproof film is disposed in the latter opening so as to close the opening. This is a space that is kept hermetically sealed even in the latter opening when filled with water.
  • the waterproof membrane disposed in the latter opening can be the waterproof sound-permeable membrane 3 or other waterproof membrane (waterproof breathable membrane, waterproof sound-permeable membrane). A known membrane may be used for other waterproof membranes.
  • the other space 13 is, for example, a space inside the casing of the electronic device in which the waterproof sound-permeable structure 1 is constructed, and may be the inner space itself of the casing.
  • the one space 12 is a space outside the housing of the electronic device, which is located on the opposite side of the wall 2 with the sound passage 11 interposed therebetween.
  • the other space 13 is, for example, a space inside the housing of the component in an acoustic component such as a speaker, a microphone, or a transducer in which the waterproof sound-permeable structure 1 is constructed. Good.
  • the one space 12 is a space outside the housing of the acoustic component, which is located on the opposite side of the wall 2 with the sound passage 11 interposed therebetween.
  • the wall 2 forming the waterproof sound-permeable structure 1 is not limited.
  • the waterproof sound-transmitting structure 1 has a space 13 from the space 12 while transmitting sound between the spaces 12 and 13 if a space for forming and arranging the sound-transmitting port 11 and the waterproof sound-transmitting membrane 3 that closes the sound-transmitting port 11 can be secured. It is applicable to any place that prevents water from penetrating into the water. For this reason, the specific acoustic part 4 in the other space 13 is various.
  • the acoustic unit 4 is an acoustic component such as a speaker, a microphone, or a transducer housed inside the casing of the electronic device, for example.
  • the acoustic unit 4 is, for example, an acoustic element such as a diaphragm housed in the housing of the acoustic component.
  • the sealed volume of the other space 13 is a volume occupied by the air that leads to the waterproof sound-permeable membrane 3 and the sound-permeable port 11 in the space, and does not include the volume of articles existing in the space.
  • the volume of each part such as an acoustic part in the space 13 is not included in the sealed volume
  • the volume of each part such as an acoustic element in the space 13 is included in the sealed volume. I can't.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 will be described.
  • FIG. 3 shows an example of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 shown in FIG. 3 includes a resin film 51 and a liquid repellent layer 52 formed on the main surface of the resin film 51.
  • the resin film 51 is formed with a plurality of through holes 53 penetrating in the thickness direction.
  • the through hole 53 extends from one main surface 54a of the resin film 51 to the other main surface 54b.
  • the liquid repellent layer 52 has an opening 55 at a position corresponding to the through hole 53 of the resin film 51.
  • the resin film 51 is a non-porous resin film and does not have a path other than the through-hole 53 that allows ventilation in the thickness direction.
  • the resin film 51 is typically a non-porous (solid) resin film except for the through holes 53.
  • the through hole 53 has openings on both main surfaces of the resin film 51.
  • the through hole 53 is a straight hole in which the central axis (axis line) 56 of the through hole extends linearly.
  • the through-hole 53 which is a straight hole can be formed by, for example, ion beam irradiation to the original film of the resin film and subsequent chemical etching. By ion beam irradiation and etching, a large number of through holes 53 having a uniform diameter (opening diameter) and high uniformity in the diameter can be formed in the resin film 51.
  • the resin film 51 may be a film obtained by ion beam irradiation and etching on the original film.
  • the high uniformity of the diameters of the through holes 53 in the waterproof sound-permeable membrane 3 contributes to the waterproof sound-transmitting structure 1 that can achieve both waterproof and sound-permeable properties at a higher level.
  • the diameter is exaggerated for easy understanding of the shape of the through hole.
  • the direction in which the through hole 53 extends is a direction perpendicular to the main surfaces 54 a and 54 b of the resin film 51.
  • the direction in which the through hole 53 extends may be inclined from a direction perpendicular to the main surfaces 54 a and 54 b of the resin film 51.
  • the direction in which all the through holes 53 existing in the resin film 51 extend may be the same (the direction of the central axis 56 may be aligned), or as shown in FIG.
  • Has through holes 53 (53a to 53g) extending in a direction inclined with respect to a direction perpendicular to the main surfaces 54a and 54b of the film, and the through holes 53a to 53g having different directions extending in an inclined direction are resin films. 51 may be mixed. In the example shown in FIG. 4, the through holes 53 are inclined and extend with respect to a direction perpendicular to the main surfaces 54 a and 54 b of the resin film 51 (through the resin film 51), and the extending directions are different from each other. There are 53 combinations. At this time, the resin film 51 may have a combination of through holes 53 extending in the same direction (in the example shown in FIG. 4, the extending directions of the through holes 53a, 53d, and 53g are the same).
  • the resin film 51 may have both a through hole 53 extending in a direction perpendicular to the main surfaces 54a and 54b of the film and a through hole 53 extending in a direction inclined in the direction.
  • “combination” is also simply referred to as “combination”.
  • the “set” is not limited to the relationship (pair) between one through hole and one through hole, and means a relationship between one or two or more through holes. Having a set of through holes having the same characteristics means that there are a plurality of through holes having the characteristics.
  • the liquid repellent layer is not shown (the same applies to FIGS. 7 and 8).
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 composed of the resin film 51 in which through-holes 53 having different directions extending at an inclination are mixed, the inclination degree and the ratio of the through-holes 53 extending in a certain direction are changed. Therefore, the sound permeability as the waterproof sound-permeable membrane 3 and the degree of freedom in controlling the waterproof property are further increased. This high degree of freedom contributes to the compatibility of waterproofness and sound permeability at a higher level in the waterproof sound-permeable structure 1.
  • the angle ⁇ 1 formed by the inclined extending direction D1 (direction in which the central axis 56 extends) with respect to the direction D2 perpendicular to the main surface of the resin film 51 is preferably 45 ° or less, and 30 °. The following is more preferable.
  • the angle ⁇ 1 is within these ranges, the sound permeability as the waterproof sound-permeable membrane 3 and the degree of freedom in controlling the waterproof property are further increased.
  • the minimum of angle (theta) 1 is not specifically limited, For example, it is 10 degrees or more, and 20 degrees or more are preferable. If the angle ⁇ 1 is excessively large, the mechanical strength of the waterproof sound-permeable membrane 1 tends to be weakened. In the through hole 53 shown in FIG. 4, there are sets having different angles ⁇ 1.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 composed of the resin film 51 in which through-holes 53 having different directions extending at an inclination are mixed, when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the resin film 51 (through When the direction in which the holes 53 extend is projected onto the main surface), the directions in which the through holes 53 extend may be parallel to each other, but the resin film 51 has a set in which the extending directions are different from each other (the extending direction is It is preferable that different through holes 53 exist in the resin film 51). In the latter case, the sound permeability as the waterproof sound-permeable membrane 3 and the degree of freedom in controlling the waterproof property are higher.
  • FIG. 5 shows an example in which the directions in which the through holes 53 extend are parallel to each other when viewed from the direction perpendicular to the main surface of the resin film 51.
  • three through holes 53 53 h, 53 i, 53 j
  • D3, D4, and D5 are parallel to each other (the direction from the opening 58a of the through hole 53 in the main surface on the side to the opening 58b of the through hole 53 in the main surface on the opposite side) ( ⁇ 2 described later is 0 °).
  • the angles ⁇ 1 of the through holes 53h, 53i, and 53j are different from each other, the angle ⁇ 1 of the through hole 53j is the smallest, and the angle ⁇ 1 of the through hole 53h is the largest. For this reason, the direction in which each through-hole 53h, 53i, 53j extends is three-dimensionally different.
  • FIG. 6 shows an example in which the through-holes 53 extend in different directions when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the resin film 51.
  • three through holes 53 53 k, 53 l, 53 m
  • D ⁇ b> 6 D ⁇ b> 7 in which each through hole 53 extends when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the resin film 51.
  • D8 are different from each other.
  • the through holes 53k and 53l form an angle ⁇ 2 of less than 90 ° when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the resin film 51, and extend from the main surface in different directions.
  • the through holes 53k and 53m form an angle ⁇ 2 of 90 ° or more when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the resin film 51, and extend from the main surface in different directions.
  • the resin film 51 has a set of through-holes 53 that form an angle ⁇ 2 of 90 ° or more when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the film and extend from the main surface in different directions. It is preferable.
  • the resin film 51 when the resin film 51 is viewed from a direction perpendicular to the main surface of the film, the resin film 51 has a through-hole 53k extending in a certain direction D6 from the main surface and 90 ° or more with respect to the certain direction D6.
  • the angle ⁇ 2 is preferably 90 ° or more and 180 ° or less, that is, may be 180 °.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 including the resin film 51 in which through-holes 53 having different directions extending at an inclination are mixed, two or more through-holes 53 intersect each other in the resin film 51. Also good. That is, the resin film 51 may have a set of through holes 53 that intersect with each other in the film 51. At this time, the freedom of control of the sound permeability and waterproofness as the waterproof sound-permeable membrane 3 is further increased. Such an example is shown in FIG. In the example shown in FIG. 7, the through holes 53 p and 53 q intersect with each other in the resin film 51.
  • the direction in which the through-hole 53 extends (in the direction in which the center line 56 of the through-hole 53 extends) in the resin film 51 (in the waterproof sound-permeable membrane 3) is, for example, a scanning electron microscope (with respect to the main surface and cross section of the film 51). This can be confirmed by observation by SEM.
  • the shape of the opening of the through-hole 53 in the main surfaces 54a and 54b of the resin film 51 is not limited, but is typically circular (when the direction in which the center line 56 extends is perpendicular to the main surfaces 54a and 54b of the resin film 51) or It is elliptical (when the direction in which the center line 56 extends is inclined from the direction perpendicular to the main surfaces 54a and 54b of the resin film 51).
  • the shape of the opening of the through-hole 53 does not need to be a strict circle or ellipse. For example, some irregularities due to unevenness of etching performed by the manufacturing method described later can be allowed. The same applies to the cross-sectional shape of the through hole 53.
  • the diameter of the through hole 53 is not substantially changed from one main surface 54a of the resin film 51 to the other main surface 54b. That is, the shape of the cross section of the through hole 53 is not substantially changed from the main surface 54a to the main surface 54b.
  • the through-hole 53 of the waterproof sound-permeable membrane 3 has an area of a cross section 57 perpendicular to the direction in which the center line 56 extends from one main surface 54a of the resin film 51 to the other main surface 54b. It may have an increasing shape.
  • the waterproofness and sound permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3 waterproof sound-permeable structure 1 can be achieved at a higher level.
  • the main surface 54 a having a relatively small diameter of the through hole 53 faces one space 12 where water can exist, and the main surface 54 b having a relatively large diameter of the through hole 53 is formed in the other space 13.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is disposed in the sound-permeable port 11 of the wall 2 so as to face.
  • the through hole 53 shown in FIG. 8 is a through hole having an asymmetric shape in the film thickness direction of the waterproof sound-permeable membrane 3 in which the shape of the cross section 57 changes in the direction in which the center line 56 extends.
  • the through hole 53 has a shape in which the area of the cross section 57 perpendicular to the direction in which the center line 56 extends increases from one main surface 54 a to the other main surface 54 b of the resin film 51, the through hole 53 has a cross section 57.
  • the surface area of the main surface 54a may increase continuously from the main surface 54a to the main surface 54b at a substantially constant or constant increase rate, and may have the shape of the cross section 57 that is a circle or an ellipse. Is a cone or elliptical cone centered on the axis 56 or a part thereof.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 including the resin film 51 having the through hole 53 whose cross section 57 has a circular or elliptical shape.
  • the ratio a / b between the diameter (diameter a) of the small through-hole 53 and the diameter (diameter b) of the relatively large through-hole in the main surface 54b is, for example, 80% or less, and is waterproof and sound-permeable. 75% or less is preferable and 70% or less is more preferable because the degree of freedom of control can be further increased.
  • the lower limit of the ratio a / b is not particularly limited and is, for example, 10%.
  • the increase in the area of the cross section 57 may be continuous or stepwise from the main surface 54a to the main surface 54b (that is, a region having a constant area of the cross section 57 may exist). .
  • the increase in the area of the cross section 57 is preferably continuous from the main surface 54a to the main surface 54b as in the example shown in FIG. 8, and the increase rate is more preferably substantially constant or constant.
  • a waterproof sound-transmitting sound including the resin film 51 having the through-hole 53 in which the area of the cross section 57 continuously increases from the main surface 54a toward the main surface 54b. It is possible to form the membrane 3 and the waterproof sound-permeable membrane 3 in which the area increase rate is substantially constant or constant.
  • the characteristics of these through holes 53 in the waterproof sound-permeable membrane 3 can be arbitrarily combined.
  • the area of the cross section 57 perpendicular to the direction in which the center line 56 extends has a shape that increases from one main surface 54 a of the resin film 51 toward the other main surface 54 b, and the direction is the main surface of the resin film 51.
  • the through-hole 53 may be inclined from a direction perpendicular to 54a and 54b.
  • the diameter of the through hole 53 is not less than 5.0 ⁇ m and not more than 13.0 ⁇ m.
  • the relatively small diameter in the example shown in FIG. 8, the diameter of the through hole 53 in the main surface 54a is 5.0 ⁇ m or more and 13.0 ⁇ m or less.
  • the diameter of the circle when the shape of the opening is regarded as a circle in other words, the diameter of a circle having the same area as the cross-sectional area (opening area) of the opening is set as the diameter of the through hole 53 ( Opening diameter).
  • the diameter of the through-hole 53 can be calculated
  • the diameter of the through-hole 53 in the resin film 51 does not need to correspond with each main surface by opening of all the through-holes 53 which exist in the said main surface, the effective part (waterproof sound-permeable membrane of the resin film 51) 3), it is preferable to match a level that can be regarded as substantially the same value (for example, the standard deviation is 10% or less of the average value). According to the manufacturing method described later using ion beam irradiation and etching, the waterproof sound-permeable membrane 3 having such a uniform diameter can be formed.
  • the shape of the opening of the through hole 53 extending in a direction inclined from the direction perpendicular to the main surfaces 54a and 54b of the resin film 51 can be an ellipse.
  • the shape of the cross section 57 of the through hole 53 in the film 51 can be regarded as a circle, and the diameter of this circle is equal to the minimum diameter of the ellipse that is the shape of the opening.
  • the minimum diameter can be set as the opening diameter of the through hole.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 has an air permeability of 2.0 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) or more and 120 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) or less, expressed in terms of the number of fragiles measured in accordance with JIS L1096. It is preferable to have it in the vertical direction.
  • the air permeability is within this range, coupled with the above-described diameter range of the through-hole 53, the sound-transmitting property of the waterproof sound-permeable membrane 3 and the waterproof sound-transmitting structure 1 including the membrane is improved. The sound can be balanced at a higher level.
  • the air permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3 is expressed in terms of the number of fragile and is preferably 10.0 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) or more and 120 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) or less, and the lower limit is 50.0 cm 3 / ( cm 2 ⁇ sec) or more, or 90 cm 3 / (cm 2 ⁇ sec) or more.
  • the diameter of the through hole 53 is preferably in the above-described preferable range.
  • the diameter of the through hole 53 is relatively large.
  • the air permeability of the membrane 3 from the other large main surface 54b to the one main surface 54a having a relatively small diameter of the through-hole 53 is preferably in the above-mentioned range in terms of Frazier number.
  • the liquid repellent layer 52 does not substantially affect the air permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3, it can be said that the air permeability of the resin film 51 is preferably in the above range regarding the air permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3. .
  • the density (hole density) of the through-holes 53 (in the resin film 51) in the waterproof sound-permeable membrane 3 is not particularly limited, and is, for example, 1 ⁇ 10 3 pieces / cm 2 or more and 1 ⁇ 10 9 pieces / cm 2 or less.
  • the pore density is in this range, waterproofness and sound permeability can be controlled within a preferable range for the waterproof sound-permeable membrane 3, and both characteristics can be achieved at a higher level. Pore density, 1 ⁇ 10 5 / cm 2 or more 1 ⁇ 10 8 / cm 2 or less being more preferred.
  • the pore density does not have to be constant throughout the waterproof sound-permeable membrane 3, but in its effective portion, it is preferably constant so that the maximum pore density is not more than 1.5 times the minimum pore density. .
  • the pore density can be obtained, for example, by analyzing an image obtained by observing the surface of the waterproof sound-permeable membrane 3 or the resin film 51 with a microscope.
  • the opening ratio (of the resin film 51) of the waterproof sound-permeable membrane 3 is preferably 50% or less, and preferably 10% or more and 45% or less. 20% or more and 40% or less is more preferable.
  • waterproofness and sound permeability can be controlled within a preferable range for the waterproof sound-permeable membrane 3, and both characteristics can be achieved at a higher level.
  • the aperture ratio can be obtained, for example, by analyzing an image obtained by observing the surface of the waterproof sound-permeable membrane 3 or the resin film 51 with a microscope.
  • the diameter of the through hole is relatively small.
  • the aperture ratio in the main surface 54a is preferably in the above range.
  • the porosity of the waterproof sound-permeable membrane 3 is preferably 25% or more and 45% or less, and more preferably 30% or more and 40% or less.
  • waterproofness and sound permeability can be controlled within a preferable range for the waterproof sound-permeable membrane 3, and both characteristics can be achieved at a higher level.
  • the diameter of the through-hole 53 is in the above range and the air permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3 is in the above range, for example, when the effective area of the waterproof sound-permeable membrane 3 is reduced, for example. Better sound transmission can be ensured. As shown in FIG.
  • the aperture ratio and the porosity are the same.
  • the porosity can be obtained by calculation from the aperture ratio at, and the shape of the through-hole 53 obtained by observing the cross section (of the resin film 51) of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the waterproof property of the waterproof sound-permeable membrane 3 can be evaluated by, for example, the water pressure resistance of the membrane 3 measured by the water resistance test B method.
  • the water pressure resistance of the membrane 3 measured by the water resistance test B method.
  • FIG. 8 in the case of the waterproof sound-permeable membrane 3 having the through-hole 53 in which the area of the cross section 57 increases from one main surface 54a toward the other main surface 54b, The water pressure resistance on the main surface facing the one space 12 may be evaluated.
  • the water pressure resistance of the membrane 3 when the main surface 54a having a relatively small diameter of the through hole 53 is in contact with water is the same as that of the film 3 when the main surface 54b having a relatively large diameter of the through hole 53 is in contact with water.
  • the membrane 3 can be arranged so that the main surface 54a faces the one space 12 side where water can exist. .
  • the insertion loss in the sound range of a frequency of 100 Hz to 5 kHz can be 5 dB or less, 3 dB or less, 2 dB or less, or 1 dB or less. Further, the insertion loss in the sound range of the frequency of 100 Hz to 3 kHz can be set to 5 dB or less, 3 dB or less, 2 dB or less, or 1 dB or less.
  • the sound range of 100 Hz to 5 kHz corresponds to the sound range that humans use for normal utterances and conversations, and that can be felt most sensitively during reproduction of music and the like.
  • the small insertion loss in this sound range improves the appealing power in the market for electronic devices including the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the insertion loss at a frequency of 1 kHz considered to be the median value of the human voice range can be 5 dB or less, 3 dB or less, and further 1 dB or less.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 has a liquid repellent layer 52.
  • the liquid repellent layer 52 can be formed, for example, by subjecting the resin film 51 to a liquid repellent treatment. In the example shown in FIG. 3, the liquid repellent layer 52 is formed on both main surfaces 54 a and 54 b of the resin film 51 and the surface of the through hole 53.
  • the liquid repellent layer 52 may be formed only on one main surface of the resin film 51, or may be formed only on one main surface and the surface of the through hole 53. It is preferable that the liquid repellent layer 52 is formed on at least the main surface facing the one main surface 12 where water can be present when arranged in the waterproof sound-permeable structure 1. As shown in FIG.
  • the liquid repellent layer 52 is formed on the main surface 54a where the diameter of the through hole 53 is relatively small.
  • the liquid repellent layer 52 is a layer having water repellency, and preferably also has oil repellency.
  • the liquid repellent layer 52 has an opening at a position corresponding to the through hole 53 of the resin film 51.
  • the liquid repellent layer 52 can be formed, for example, by thinly applying a treatment liquid prepared by diluting a water repellent or a hydrophobic oil repellent with a diluent onto the resin film 51 and drying it.
  • the water repellent and the hydrophobic oil repellent are, for example, fluorine compounds such as perfluoroalkyl acrylate and perfluoroalkyl methacrylate.
  • the thickness of the liquid repellent layer 52 is preferably less than 1 ⁇ 2 of the diameter of the through hole 53.
  • the surface (inner peripheral surface) of the through hole is also on the main surface of the resin film 51, depending on the diameter of the through hole 53. Can be continuously covered with the liquid repellent layer 52 (in the example shown in FIG. 3, this is the case).
  • the thickness of the resin film 51 and the thickness of the waterproof sound-permeable membrane 3 are, for example, 5 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less, and preferably 15 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • the material which comprises the resin film 51 is a material which can form the through-hole 53 in the original film which is a non-porous resin film, for example in the below-mentioned manufacturing method.
  • the resin film 51 is made of, for example, an alkaline solution, an acidic solution, or a resin that decomposes with an alkaline solution or an acidic solution to which at least one selected from an oxidizing agent, an organic solvent, and a surfactant is added. In this case, it becomes easier to form the through-hole 53 in the original film by ion beam irradiation and chemical etching in the manufacturing method described later. These solutions are typical etching processing solutions.
  • the resin film 51 is made of, for example, a resin that can be etched by hydrolysis or oxidative decomposition. A commercially available film can be used for the original film.
  • the resin film 51 is made of at least one resin selected from, for example, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, polyimide, polyethylene naphthalate, and polyvinylidene fluoride.
  • PET polyethylene terephthalate
  • polycarbonate polycarbonate
  • polyimide polyimide
  • polyethylene naphthalate polyvinylidene fluoride
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may include two or more resin films 51.
  • Such a waterproof sound-permeable membrane 3 can be formed by, for example, ion beam irradiation and chemical etching on a laminate having two or more original films.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may include any member and / or layer other than the resin film 51 and the liquid repellent layer 52 as necessary.
  • the member is, for example, a breathable support layer 59 shown in FIG.
  • a breathable support layer 59 is disposed on the main surface 54b of the resin film 51 of the waterproof sound-permeable membrane 3 shown in FIG.
  • the breathable support layer 59 may be disposed on the main surface 54a of the resin film 51 or may be disposed on both main surfaces 54a and 54b.
  • the air-permeable support layer 59 is a layer having a higher air permeability in the thickness direction than the resin film 51.
  • a woven fabric, a nonwoven fabric, a net, or a mesh can be used.
  • the material constituting the air-permeable support layer 59 is, for example, polyester, polyethylene, or aramid resin.
  • the liquid repellent layer 52 may or may not be formed on the main surface of the resin film 51 on which the air-permeable support layer 59 is disposed.
  • the shape of the breathable support layer 59 may be the same as or different from the shape of the resin film 51.
  • the breathable support layer 59 has a shape that is disposed only at the peripheral portion of the resin film 51 (specifically, when the resin film is circular, it is a ring-shaped support layer that is disposed only at the peripheral portion). sell.
  • the air-permeable support layer 59 is disposed by a technique such as thermal welding with the resin film 51 or adhesion with an adhesive.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may be colored. Depending on the type of material constituting the resin film 51, the color of the waterproof sound-permeable membrane 3 that has not been colored is, for example, transparent or white. When such a waterproof sound-permeable membrane 3 is arranged so as to close the sound-permeable port of the housing, the membrane 3 may be conspicuous. The conspicuous membrane stimulates the user's curiosity, and the function as a waterproof sound-permeable membrane may be impaired by piercing with a needle or the like. If the waterproof sound-permeable membrane 3 is colored, for example, the membrane 3 having the same color as the case or a color similar to that of the housing can be used to relatively restrain the user's attention. In addition, a colored waterproof sound-permeable membrane may be required in designing a housing of an electronic device or the like, and such a design requirement can be met by a coloring process.
  • the coloring treatment can be performed by, for example, dyeing the resin film 51 or adding a colorant to the resin film 51.
  • the coloring treatment may be performed so that light included in a wavelength range of 380 nm to 500 nm is absorbed.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may be subjected to a coloring process that absorbs light included in a wavelength range of 380 nm to 500 nm.
  • the resin film 51 includes a colorant having an ability to absorb light included in the wavelength range of 380 nm to 500 nm, or absorbs light included in the wavelength range of 380 nm to 500 nm. It is dyed by a dye having ability.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 can be colored blue, gray, brown, pink, green, yellow, or the like.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may be colored in black, gray, brown or pink.
  • the degree of coloring is preferably in the range of 10.0 to 70.0 as indicated by the whiteness W shown below.
  • the manufacturing method of the waterproof sound-permeable membrane 3 is not particularly limited, and can be manufactured by, for example, a manufacturing method described below.
  • the resin film 51 is formed by ion beam irradiation and subsequent etching (chemical etching) on the original film.
  • the resin film 51 formed by ion beam irradiation and etching is subjected to further steps such as a step of forming the liquid repellent layer 52 and a step of laminating a coloring treatment or a breathable support layer 59 as necessary. It can be.
  • the method using ion beam irradiation and subsequent etching for example, it is easy to control the diameter and the uniformity of the through-hole 53 of the resin film 51 and the characteristics such as the direction in which the center line 56 extends, the hole density, the aperture ratio, and the porosity. That is, the waterproofness and sound permeability of the waterproof sound-permeable membrane 3 can be easily controlled.
  • the original film is a non-porous resin film that does not have a path that can be vented in the thickness direction in the region used as the waterproof sound-permeable membrane 3 after ion beam irradiation and etching.
  • the original film may be a non-porous film.
  • the fact that the original film is a non-porous resin film means that when the through-hole 53 is formed in the original film by ion beam irradiation and etching to form the resin film 51, the uniformity of the film 51 and the smoothness of the surface are improved.
  • a through-hole whose cross-section (cross-section perpendicular to the direction in which the center line 56 extends) 57 is constant or substantially constant from one main surface 54a to the other main surface 54b.
  • the resin film 51 having 53 can also be formed as the resin film 51 having the through-hole 53 whose area increases from one main surface 54a toward the other main surface 54b.
  • the former resin film 51 can be formed, for example, by directly etching the original film after ion irradiation. Since the region corresponding to the ion track formed in the original film is removed by etching, the through-hole 53 having a constant or substantially constant area of the cross section 57 is formed by taking sufficient chemical etching time.
  • the latter resin film 51 is subjected to chemical etching in which the degree of etching of the part from one main surface is larger than the degree of etching of the part from the other main surface.
  • chemical etching in which the degree of etching of the part from one main surface is larger than the degree of etching of the part from the other main surface.
  • it can be formed by performing chemical etching in a state where a masking layer is disposed on one main surface of the original film after ion irradiation. In this chemical etching, the degree of etching from the other main surface is larger than that from the one main surface on which the masking layer is disposed.
  • the center line 56 becomes A through-hole 53 having a shape in which the area of the cross section 57 perpendicular to the extending direction increases from one main surface of the resin film 51 toward the other main surface can be formed.
  • uniform etching proceeds from both main surfaces of the original film after the ion beam irradiation.
  • step (I) the original film is irradiated with an ion beam.
  • the ion beam is composed of accelerated ions.
  • an original film in which ions in the beam collide is formed.
  • the ions 61 in the beam collide with the original film 62, and the colliding ions 61 leave a locus (ion track) 63 inside the film 62.
  • the ions 61 When viewed on the size scale of the original film 62 that is an object to be irradiated, the ions 61 usually collide with the original film 62 in a substantially straight line, and therefore a linearly extending locus 63 is formed in the film 62.
  • the ions 61 usually penetrate the original film 62.
  • the method of irradiating the original film 62 with an ion beam is not limited.
  • the ions 61 are generated from the beam line.
  • the film 62 is irradiated.
  • a specific gas may be added into the chamber, or the original film 62 may be accommodated in the chamber, but the pressure in the chamber may not be reduced, and for example, ion beam irradiation may be performed at atmospheric pressure.
  • a roll around which the belt-like original film 62 is wound may be prepared, and the original film 62 may be continuously irradiated with the ion beam while the original film 62 is fed from the roll. Thereby, the resin film 51 can be formed efficiently.
  • the above roll (sending roll) and a winding roll for winding the original film 62 after irradiation with the ion beam are disposed in the above-described chamber, and the strip is formed from the sending roll in an arbitrary atmosphere such as reduced pressure or high vacuum. While the original film 62 is being sent out, the film may be continuously irradiated with an ion beam, and the original film 62 after the beam irradiation may be wound around a take-up roll.
  • the resin constituting the original film 62 is the same as the resin constituting the resin film 51, and is at least one selected from, for example, PET, polycarbonate, polyimide, polyethylene naphthalate, and polyvinylidene fluoride.
  • the original film 62 composed of these resins has a feature that the chemical etching of the portion where the ions 61 collide smoothly proceeds, but the chemical etching of the other portions hardly proceeds. Control of the chemical etching of the portion corresponding to the locus 63 is facilitated. For this reason, use of such an original film 62 makes it easier to control the shape of the through hole 53 of the resin film 51, for example.
  • the original film 62 may be composed of two or more kinds of resins, and may contain materials other than the resin as long as the resin film 51 is formed through the steps (I) and (II).
  • the material include additives such as a light stabilizer and an antioxidant, an oligomer component derived from a resin raw material, and a metal oxide (for example, white pigment: alumina, titanium oxide, and the like).
  • the thickness of the original film 62 is, for example, 5 to 100 ⁇ m. Usually, the thickness of the original film 62 does not change depending on before and after the ion beam irradiation in the step (I).
  • the original film 62 that is irradiated with the ion beam is, for example, a non-porous film.
  • a resin other than the through-holes 53 formed by the steps (I) and (II) is non-porous unless a further step of providing holes in the film is performed.
  • a film 51 can be formed.
  • the type of ions 61 irradiated and collided with the original film 62 is not limited. However, since the chemical reaction with the resin constituting the original film 62 is suppressed, ions having a mass number larger than neon, specifically argon. At least one ion selected from ions, krypton ions and xenon ions is preferred.
  • the energy (acceleration energy) of the ions 61 is typically 100 to 1000 MeV.
  • the energy of the ions 61 when the ion species is argon ions is preferably 100 to 600 MeV.
  • the energy of the ions 61 irradiated to the original film 62 can be adjusted according to the ion species and the type of resin constituting the original film 62.
  • the ion source of the ions 61 irradiated to the original film 62 is not limited.
  • the ions 61 emitted from the ion source are accelerated by an ion accelerator and then irradiated to the original film 62 through a beam line.
  • the ion accelerator is, for example, a cyclotron, and a more specific example is an AVF cyclotron.
  • the pressure of the beam line serving as the path of the ions 61 is preferably a high vacuum of about 10 ⁇ 5 to 10 ⁇ 3 Pa from the viewpoint of suppressing energy attenuation of the ions 61 in the beam line.
  • the pressure difference between the beam line and the chamber may be maintained by a partition wall that transmits the ions 61.
  • the partition is made of, for example, a titanium film or an aluminum film.
  • the ions 61 are irradiated to the film from a direction perpendicular to the main surface of the original film 62, for example. In the example shown in FIG. 10, such irradiation is performed. In this case, since the trajectory 63 extends perpendicularly to the main surface of the original film 62, the resin film 51 in which the through hole 53 extending the center line 56 in the direction perpendicular to the main surface is formed by subsequent chemical etching. The ions 61 may irradiate the film from a direction oblique to the main surface of the original film 62.
  • the resin film 51 in which the through-hole 53 in which the center line 56 extends in the direction inclined from the direction perpendicular to the main surface is obtained by subsequent chemical etching.
  • the direction in which the original film 62 is irradiated with the ions 61 can be controlled by a known means. 4 can be controlled by, for example, the incident angle of the ion beam with respect to the original film 62.
  • the ions 61 are irradiated on the original film 62 so that the tracks of the plurality of ions 61 are parallel to each other, for example. In the example shown in FIG. 10, such irradiation is performed.
  • a resin film 51 in which a plurality of through holes 53 extending in parallel with each other is formed by subsequent chemical etching.
  • the ions 61 may irradiate the original film 62 so that the tracks of the plurality of ions 61 are not parallel to each other (for example, are random to each other). Thereby, for example, a resin film 51 as shown in FIGS. 4 to 7 is formed. More specifically, in order to form the resin film 51 as shown in FIGS. 4 to 7, for example, the ion beam is irradiated while being tilted from a direction perpendicular to the main surface of the original film 62, and continuously or stepwise. The tilt direction may be changed.
  • the ion beam is a beam in which a plurality of ions fly in parallel with each other, a set of through holes 53 extending in the same direction usually exists in the resin film 51 (a plurality of through holes 53 extending in the same direction are resin films). 51).
  • FIG. 11 shows an example of a method for changing the tilt direction continuously or stepwise.
  • a strip-shaped original film 62 is sent out from a delivery roll 71, passed through an irradiation roll 72 having a predetermined curvature, and irradiated with an ion beam 64 while passing through the roll 72.
  • the film 62 is taken up on a take-up roll 73.
  • the ions 61 in the ion beam 64 fly in parallel with each other one after another, the angle at which the ion film collides with the main surface of the original film 62 while the original film 62 moves on the irradiation roll 72 ( The incident angle ⁇ 1) will change.
  • the tilt direction changes continuously, and if the ion beam 64 is intermittently irradiated, the tilt direction changes stepwise. This can be said to be control by the irradiation timing of the ion beam.
  • the state of the locus 63 formed on the original film 62 (for example, the angle ⁇ 1) can also be controlled by the cross-sectional shape of the ion beam 64 and the cross-sectional area of the beam line of the ion beam 64 with respect to the irradiation surface of the original film 62.
  • the hole density of the resin film 51 can be controlled by the ion beam irradiation conditions (ion species, ion energy, ion collision density (irradiation density), etc.) on the original film 62.
  • ion beam irradiation conditions ion species, ion energy, ion collision density (irradiation density), etc.
  • the ions 61 may be irradiated to the original film 62 from two or more beam lines.
  • Process (I) may be performed in a state where the masking layer is disposed on the main surface of the original film 62, for example, the one main surface.
  • the masking layer can be used as a masking layer in the step (II).
  • step (II) at least a portion of the portion of the original film 62 that has been irradiated with the ion beam in step (I) is subjected to chemical etching to penetrate along the locus 61 of the collision of ions 61. Holes 53 are formed in the film.
  • the portions other than the through-holes 53 in the resin film 51 thus obtained are basically the same as the original film 62 before ion beam irradiation unless a step of changing the state of the film is further performed.
  • the specific etching method may follow a known method.
  • the original film 62 after the ion beam irradiation may be immersed in the etching treatment liquid at a predetermined temperature and for a predetermined time.
  • the diameter of the through hole 53 can be controlled by the etching conditions such as the etching temperature, the etching time, and the composition of the etching treatment liquid.
  • Etching temperature is, for example, 40 to 150 ° C.
  • etching time is, for example, 10 seconds to 60 minutes.
  • Etching solution used for chemical etching is not particularly limited.
  • the etching solution is, for example, an alkaline solution, an acidic solution, or an alkaline solution or an acidic solution to which at least one selected from an oxidizing agent, an organic solvent, and a surfactant is added.
  • the alkaline solution is, for example, a solution (typically an aqueous solution) containing a base such as sodium hydroxide or potassium hydroxide.
  • the acidic solution is, for example, a solution (typically an aqueous solution) containing an acid such as nitric acid or sulfuric acid.
  • the oxidizing agent include potassium dichromate, potassium permanganate, and sodium hypochlorite.
  • the organic solvent is, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, ethylene glycol, amino alcohol, N-methylpyrrolidone, or N, N-dimethylformamide.
  • the surfactant is, for example, an alkyl benzene sulfonate or an alkyl sulfate.
  • the chemical etching may be performed in a state where a masking layer is disposed on one main surface of the original film 62 after ion beam irradiation.
  • the etching of the portion of the original film 62 where the ions 61 collide increases the degree of etching from the other main surface as compared with the etching from the one main surface where the masking layer is disposed. That is, chemical etching (asymmetric etching) in which etching from both main surfaces of the film proceeds asymmetrically is performed on the portion of the original film 62 where the ions 61 collide.
  • “the degree of etching is large” means, for example, that the etching amount per unit time is large for the part, that is, the etching rate is high for the part.
  • the above-mentioned portion from the one main surface is arranged on the one main surface of the original film 62 by disposing a masking layer that is hard to be chemically etched compared to the portion where the ions 61 collide with the original film 62.
  • Such etching can be performed, for example, by selecting the type and thickness of the masking layer, disposing the masking layer, selecting etching conditions, and the like.
  • the type of the masking layer is not particularly limited, but is preferably a layer made of a material that is difficult to chemically etch compared to the portion of the original film 62 where the ions 61 collide. More specifically, “not easily etched” means, for example, that the amount etched per unit time is small, that is, the etching rate is small. Whether or not chemical etching is difficult can be determined based on the conditions of the asymmetric etching actually performed in the step (II) (the type of etching solution, etching temperature, etching time, etc.). In the case of performing a plurality of asymmetric etchings in the step (II) while changing the type and / or arrangement surface of the masking layer, each etching may be determined based on the etching conditions.
  • the masking layer may be easy to be chemically etched or hard to be etched than the portion of the original film 62 where the ions 61 do not collide, but it is preferable that the masking layer is hard to be formed. If it is difficult to do so, for example, the thickness of the masking layer required to perform asymmetric etching can be reduced.
  • step (I) when the original film 62 on which the masking layer is arranged is irradiated with an ion beam, an ion track is also formed on the masking layer.
  • the material constituting the masking layer is a material in which the polymer chain is hardly damaged even by irradiation with an ion beam.
  • the masking layer is composed of at least one selected from, for example, polyolefin, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, and metal foil. These materials are difficult to be chemically etched and are not easily damaged by ion beam irradiation.
  • the masking layer When the masking layer is disposed and asymmetric etching is performed, the masking layer may be disposed on at least a part of one main surface of the original film 62 corresponding to a region where the etching is performed. Of course, it can be disposed on the entire main surface of the original film 62 as necessary.
  • the method of disposing the masking layer on the main surface of the original film 62 is not limited as long as the masking layer does not peel off from the main surface during the asymmetric etching.
  • the masking layer is disposed on the main surface of the original film 62 with an adhesive, for example. That is, in the step (II), the chemical etching (asymmetric etching) may be performed in a state where the masking layer is bonded to the one main surface with an adhesive.
  • the arrangement of the masking layer with the pressure-sensitive adhesive can be performed relatively easily. Further, by selecting the type of the pressure-sensitive adhesive, the masking layer can be easily peeled off from the original film 62 after the asymmetric etching.
  • the etching may be performed a plurality of times.
  • symmetrical etching in which the etching of the locus 63 progresses equally from both main surfaces of the original film 62 may be performed together.
  • the masking layer may be peeled off from the original film 62 in the middle of etching to switch from asymmetric etching to symmetric etching.
  • the asymmetric etching may be performed by arranging a masking layer on the original film 62 after performing the symmetric etching.
  • a part or all of the masking layer after the etching can be left on the resin film 51 as necessary.
  • the remaining masking layer can be used, for example, as a mark for distinguishing the one main surface (the main surface on which the masking layer is disposed) and the other main surface of the resin film 51.
  • the etching conditions may be changed in each etching.
  • the manufacturing method of the resin film 51 may include arbitrary steps other than the steps (I) and (II).
  • the arrangement method of the waterproof sound-permeable membrane 3 on the wall 2 is not particularly limited as long as the waterproof sound-permeable membrane 3 is disposed so as to cover the sound passage opening 11 of the wall 2.
  • a method such as sticking using a double-sided tape, heat welding, high-frequency welding, or ultrasonic welding can be adopted.
  • the sticking using the double-sided tape waterproofs the double-sided tape. It is preferable for reasons such as being able to be a support for the sound-permeable membrane 3 and being able to arrange the waterproof sound-permeable membrane 3 more accurately and reliably.
  • the support of the waterproof sound-permeable membrane 3 is a member that reinforces the membrane 3 and improves its handleability, for example, a member that is disposed at the peripheral edge of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the support is, for example, a ring-shaped sheet joined to the peripheral edge of the membrane 3.
  • the support body can be an allowance for attaching the waterproof sound-permeable membrane 3 to the wall 2, thereby enabling more accurate and reliable placement on the wall 2.
  • the shape of the support is not limited.
  • it may be a support 81 that is a ring-shaped sheet bonded to the peripheral edge of the waterproof sound-permeable membrane 3 having a circular shape when viewed from a direction perpendicular to the main surface.
  • it may be a support body 81 that is a frame-like sheet joined to the peripheral edge portion of the waterproof sound-permeable membrane 3 whose shape viewed from the direction perpendicular to the main surface is rectangular. .
  • the sheet-like support body 81 is preferable from the viewpoint of improving the handleability and arrangement of the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the material which comprises the support body 81 is resin, a metal, and these composite materials, for example.
  • the resin is, for example, a polyolefin such as polyethylene or polypropylene; a polyester such as PET or polycarbonate; a polyimide or a composite material thereof.
  • the metal is a metal having excellent corrosion resistance, such as stainless steel or aluminum.
  • the thickness of the support 81 is, for example, 5 to 500 ⁇ m, and preferably 25 to 200 ⁇ m.
  • the ring width (frame width: difference between the outer shape and the inner diameter) is suitably about 0.5 to 2 mm.
  • a foam made of the above resin may be used for the support 81.
  • the method for joining the waterproof sound-permeable membrane 3 and the support 81 is not particularly limited, and for example, methods such as heat welding, ultrasonic welding, adhesion with an adhesive, and adhesion with a double-sided tape can be employed. As described above, the double-sided tape itself can be used as a support.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is disposed on the other space 13 side of the wall 2, but in the waterproof sound-permeable structure 1, the waterproof sound-permeable membrane 3 is disposed on the one space 12 side.
  • the wall 2 is, for example, a housing of an electronic device. At this time, the other space 13 is a space located inside the housing, and the one space 12 is a space outside the electronic device.
  • the wall 2 is, for example, a housing of an electronic device case. At this time, the other space 13 is a space inside the case that houses the electronic device, and the one space 12 is a space outside the electronic device case. It is.
  • the wall 2 is made of, for example, resin, metal, glass, and a composite material thereof.
  • the air-permeable support layer 59 does not exist in the region corresponding to the sound hole 11 in the waterproof sound-permeable membrane 3 (region ⁇ in the example shown in FIG. 1), and the resin film 51 and / or the repellent material The liquid layer 52 may be exposed.
  • the resin film 51 and / or the liquid repellent layer 52 may be exposed only on one main surface of the waterproof sound-permeable membrane 3, or may be exposed on both main surfaces. In this case, the waterproofness and sound permeability of the waterproof sound-permeable structure 1 can be achieved at a higher level.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is joined to the wall 2 in a region other than the region corresponding to the sound-transmitting port 11 in the waterproof sound-permeable membrane 3 (region ⁇ in the example shown in FIG. Bonding to the wall 2 may be via a support 81, and an example of the support 81 is a double-sided tape.
  • the insertion loss in the sound range with a frequency of 100 Hz to 5 kHz can be 5 dB or less, 3 dB or less, 2 dB or less, or 1 dB or less. Further, the insertion loss in the sound range of the frequency of 100 Hz to 3 kHz can be set to 5 dB or less, 3 dB or less, 2 dB or less, or 1 dB or less.
  • the insertion loss at a frequency of 1 kHz considered to be the median value of the human voice range can be 5 dB or less, 3 dB or less, or 1 dB or less.
  • the effective area of the waterproof sound-permeable membrane 3 is reduced by selecting the configuration of the waterproof sound-permeable membrane 3, for example, by selecting the diameter and shape of the through-hole 53. In some cases, good sound transmission can be ensured.
  • the effective area of the waterproof sound-permeable membrane 3 in the waterproof sound-permeable structure 1 may be 4.9 mm 2 or less.
  • An advantageous feature that the effective area can be reduced is, for example, space saving of the waterproof sound-permeable structure 1 and improvement in design and design flexibility such as downsizing and / or thinning of an electronic device including the structure. Contribute.
  • the effective area of the waterproof sound-permeable membrane 3 is that when the membrane is arranged so as to close the sound passage opening of the housing, sound is actually input to the membrane, transmitted through the membrane, and the sound is transmitted from the membrane.
  • the area of the output portion (effective portion) does not include the area of the support or the joint portion arranged and formed on the peripheral portion of the membrane in order to arrange the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • the effective area is typically the area of the sound passage where the membrane is disposed, or in the case of a waterproof sound passage member in which a support is disposed at the periphery of the waterproof sound passage, the opening of the support. It can be an area.
  • the waterproof sound-transmitting structure 1 for example, when the effective area of the waterproof sound-transmitting membrane 3 included in the structure 1 is 4.9 mm 2 (for example, when it is a circle having a diameter of 2.5 mm), the above-described insertion loss The value of can be satisfied.
  • the waterproof sound-permeable structure 1 is particularly advantageous when it must be made small.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is a membrane having a through hole 53 in which the area of the cross section 57 increases from one main surface 54a toward the other main surface 54b as shown in FIG.
  • the sound permeability from the other main surface 54b side having a relatively large diameter is better than the sound permeability from the one main surface 54a side having a relatively small diameter. At this time, better sound transmission from the other main surface 54b side can satisfy the above range as insertion loss.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is a membrane having a through-hole 53 in which the area of the cross section 57 increases from one main surface 54a to the other main surface 54b
  • the waterproof sound-permeable structure 1 The direction of the waterproof sound-permeable membrane 3 is not limited.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 may be disposed in one space 12 so that the main surface 54a of the resin film 51 (the main surface 54a having a relatively small diameter of the through hole 53) faces. In this case, higher waterproofness and higher sound transmission from the other space 13 side can be realized.
  • the waterproof sound-transmitting structure 1 can be formed at an arbitrary sound-passing opening 11 in an arbitrary wall 2 that should be both waterproof and sound-permeable.
  • a specific article provided with the waterproof sound-permeable structure 1 is not limited.
  • the waterproof sound-transmitting structure 12 can be applied to various uses like the conventional waterproof sound-transmitting structure.
  • FIG. 14A An example of the electronic device of the present invention is shown in FIG. 14A.
  • the electronic device illustrated in FIG. 14A is a smartphone that is a type of mobile phone.
  • the housing 102 of the smartphone 101 has a sound passage 103a provided in the vicinity of a transducer that is a kind of sound generation part and sound receiving part, and a sound passage provided in the vicinity of a microphone that is a kind of sound receiving part. It has a mouth 103b and a sound passage 103c provided in the vicinity of a speaker which is a kind of sound generation unit.
  • Sound is transmitted between the outside of the smartphone 101 and acoustic components (transducers, microphones, and speakers), which are acoustic units housed in the housing 102, through the sound passages 103a to 103c.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is attached to the housing 102 from the inside via the support body 81 so as to close these sound-permeable ports 103a to 103c.
  • a waterproof sound transmission structure 1 is formed at the mouth.
  • the wall 2 is the housing 102 of the smartphone 101, and one space 12 where water can exist is outside the smartphone 101 (outside the housing 102).
  • the space for example, the space where the owner of the smartphone 101 lives, the other space 13 is a space including the acoustic part in the inside 104 of the housing 102 of the smartphone 101, and the sound passage 11 is an acoustic Sound passages 103a to 103c for transmitting sound from and / or to each acoustic component.
  • the space including the acoustic unit is a space located inside the housing 102 of the smartphone 101, and from the sealed volume of the space that is the other space 13 The volume occupied by each component arranged in the space is excluded.
  • FIGS. 15A and 15B show another example of the electronic device of the present invention.
  • the electronic device illustrated in FIGS. 15A and 15B is a smartphone 111, similar to the electronic device illustrated in FIGS. 14A and 14B.
  • a smartphone 111 shown in FIGS. 15A and 15B is arranged except that the acoustic component 112 housed in the interior 104 of the housing 102 is disposed so as to be in close contact with the sound passages 103a to 103c through the waterproof sound-permeable membrane 3.
  • 14A and 14B have the same structure as the smartphone 101 shown in FIGS. In the electronic device shown in FIGS.
  • the wall 2 is the housing 102 of the smartphone 111, and one space 12 where water can exist is outside the smartphone 111 (outside the housing 102).
  • the other space 13 is a space in the housing 113 of each acoustic component 112 housed in the interior 104 of the housing 102 of the smartphone 111, and the sound passage 11 is in the housing 113 which is an acoustic part. Sound passages 103a to 103c for transmitting sound from and / or to the acoustic element.
  • the space including the acoustic part is a space in the housing 113 of each acoustic component 112, and is arranged in the space such as a diaphragm from the sealed volume of the space that is the other space 13. The volume occupied by each acoustic element is removed.
  • the waterproof sound transmission structure 1 achieves compatibility at a higher level of waterproofness and sound transmission at the sound opening.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 for example, it is possible to ensure good sound permeability even when the effective area of the membrane 3 is small, and design such as downsizing and / or thinning of electronic devices such as smartphones. In addition, improvement in design flexibility can be achieved.
  • the place where the waterproof sound-permeable structure 1 is formed is not limited as long as sound can be transmitted between the acoustic unit in the electronic device and the outside of the electronic device.
  • the housing 102 is made of resin, metal, glass, and a composite material thereof.
  • a display unit of an electronic device for example, a surface glass layer of a liquid crystal display unit
  • a surface glass layer of a liquid crystal display unit may constitute a part of the housing 102.
  • the electronic device of the present invention is not limited to a smartphone.
  • the housing is provided with a sound passage for transmitting sound between the outside and the sound portion, and it is necessary to prevent water from entering through the sound passage. All types of electronic equipment that can form the waterproof sound-permeable structure 1 by arranging the sound membrane 3 so as to close the sound-transmitting opening correspond to this.
  • the electronic apparatus of the present invention is, for example, a mobile phone such as a feature phone and a smartphone, a tablet computer, a wearable device, a PDA, a game machine, a mobile computer such as a notebook computer, an electronic notebook, a digital camera, a video camera, and an electronic book reader. is there.
  • FIG. 16A An example of the electronic device case of the present invention is shown in FIG. 16A.
  • a case 201 shown in FIG. 16A is provided with sound openings 202 a to 202 c for transmitting sound between the acoustic part of the electronic device housed in the case 201 and the outside of the case 201.
  • a case 201 illustrated in FIG. 16A is a case of a smartphone of a type different from the smartphone 101 illustrated in FIG. 14A.
  • the sound passage 202c is provided for transmitting sound from the speaker of the smartphone to the outside. Sound is transmitted between the outside of the case 201 and each acoustic unit of the smartphone accommodated in the case 201 via the sound openings 202a to 202c.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 is attached to the case 201 from the inside via the support body 81 so as to close these sound-permeable ports 202a to 202c.
  • the waterproof sound-permeable structure 1 is formed.
  • the wall 2 is the casing 204 of the case 201, and one space 12 in which water can exist is the casing 201 (of the casing 204).
  • the external space for example, the space where the owner of the case 201 lives, and the other space 13 is a space in which the electronic device in the interior 203 (of the housing 204) of the case 201 is accommodated.
  • the sound port 11 is a sound passage port 202a to 202c that transmits sound from and / or to the sound unit of the electronic device housed in the case 201. In the example illustrated in FIGS.
  • the space including the acoustic unit is a space inside the housing 204 of the case 201 in which the electronic device including the acoustic unit is accommodated, and is the other space 13.
  • the sealed volume From the sealed volume, the volume occupied by articles existing inside the case 201 including the electronic devices housed in the case 201 is excluded.
  • the sealed volume of the other space 13 has the capacity of the casing of the electronic device.
  • the volume of the internal space that can communicate with the inside of the case 201 is included.
  • the sealed volume of the other space 13 is a volume occupied by the air that leads to the waterproof sound-permeable membrane 3 and the sound-permeable port 11.
  • the formation of the waterproof sound transmission structure 1 makes it possible to achieve compatibility at a higher level of waterproofness and sound transmission at the sound opening.
  • the waterproof sound-permeable membrane 3 for example, good sound permeability can be secured even when the effective area of the membrane 3 is small, and the design and design freedom in which downsizing and / or thinning are achieved are achieved. It can be set as the case 201 for electronic devices corresponding to a high degree electronic device. Also. It can also be set as the case 201 for electronic devices with the small area of opening 202a (202b, 202c), and the design of case 201 itself and the freedom degree of design can be improved.
  • the place where the waterproof sound-permeable structure 1 is formed is not limited as long as sound can be transmitted between the acoustic part of the electronic device housed in the case and the outside of the case.
  • the electronic device case 201 is made of resin, metal, glass and a composite material thereof.
  • the electronic device case 201 can have any configuration as long as the effects of the present invention can be obtained.
  • a case 201 illustrated in FIG. 16A is a case for a smartphone, and includes a film 205 that can operate a touch panel of a smartphone accommodated therein from the outside.
  • the opening diameter of through hole The main surface of the resin film is observed with a scanning electron microscope (SEM), the opening diameter of 10 through holes arbitrarily selected from the obtained SEM image is obtained from the image, and the average value of the through holes in the resin film is obtained. The opening diameter was used.
  • SEM scanning electron microscope
  • the air permeability in the thickness direction of the waterproof sound-permeable membrane was determined in accordance with the provisions of JIS L1096 (Breathability measurement method A: Frazier type method).
  • the water pressure resistance of the waterproof sound-permeable membrane was determined in accordance with the provisions of the water resistance test method B (high water pressure method) of JIS L1092. However, since the membrane is significantly deformed in the area of the test piece indicated in this regulation, a stainless steel mesh (opening diameter 2 mm) is placed on the opposite side of the pressure surface of the membrane, and measurement is performed with the membrane deformed to some extent. did.
  • acoustic characteristics As the sound permeability of the produced waterproof sound-permeable membrane, acoustic characteristics (sound pressure loss) were evaluated as follows.
  • a simulated case 91 (made of polystyrene, outer dimensions 60 mm ⁇ 50 mm ⁇ 28 mm) imitating the case of a mobile phone was prepared.
  • the simulated housing 91 has 1 speaker mounting hole 92 (circular with a diameter of 2.5 mm) serving as a sound transmission port for transmitting sound output from the speaker to the outside of the housing, and 1 speaker cable conduction hole 93. There is no opening except where it is provided.
  • a speaker 95 (Star Precision Co., Ltd., SCG-16A) was embedded in a urethane sponge filler 94 in which a circular sound passage having a diameter of 5 mm was formed, and was accommodated in the housing 91.
  • the speaker cable 96 of the speaker 95 is led out of the housing 91 from the conduction hole 93, and then the conduction hole 93 is closed with putty.
  • a double-sided tape 97 made of polyethylene foam (Nitto Denko, No. 57120B, thickness 0.2 mm), a PET film 98 (thickness 0.1 mm), and a double-sided tape 99 made of PET (Nitto Denko) No. 5603, thickness 0.03 mm) was prepared, and each was punched into a ring shape having an inner diameter of 2.5 mm and an outer diameter of 5.8 mm.
  • the waterproof sound-permeable membrane 300 produced in each example and comparative example was punched into a circle having a diameter of 5.8 mm.
  • the outer shapes were aligned and laminated to produce a waterproof sound-permeable member A (effective area of the waterproof sound-permeable membrane is 4.9 mm 2 ) for acoustic characteristics evaluation (see FIG. 17B).
  • the waterproof sound-permeable membrane 300 is completely covered with the sound-permeable port 92 on the outer side of the simulated casing 91 by using the polyethylene foam double-sided tape 97 provided in the member.
  • a waterproof sound-permeable structure 301 was formed by attaching to the structure. At that time, gaps were prevented from being formed between the waterproof sound-permeable membrane 300 and the double-sided tape 97 and between the double-sided tape 97 and the simulated casing 91.
  • the speaker cable 96 and the microphone are connected to the sound evaluation device (B & K, Multi-analyzer System 3560-B-030), and the sound passage 92 of the simulated housing 91 is connected.
  • a microphone was placed at a position 21 mm away.
  • SSR analysis test signal 20 Hz to 10 kHz, sweep
  • TDD sound pressure loss
  • the sound pressure loss of the blank was calculated in the same manner without placing the waterproof sound-permeable membrane, and the sound pressure loss when the waterproof sound-permeable membrane was placed was subtracted from the sound pressure loss of the blank.
  • the sound pressure loss (insertion loss), which is the sound permeability of the waterproof sound-permeable membrane. It can be determined that the smaller the insertion loss, the better the characteristics of the sound transmitted through the waterproof sound-permeable membrane. This was implemented about the waterproof sound-permeable membrane produced in the Example and the comparative example.
  • Table 1 below shows the insertion loss at a frequency of 5 kHz.
  • the insertion loss of the waterproof sound-permeable membrane usually increases as the frequency increases in the sound range of 20 Hz to 10 kHz. For this reason, the insertion loss at a frequency of 5 kHz corresponds to the maximum value of the insertion loss in the sound range of 10 Hz to 5 kHz.
  • waterproof sound-permeable membranes 300 produced in Examples and Comparative Examples were incorporated into jigs 302 and 303 for IPX7 evaluation.
  • the waterproof sound-permeable membrane 300 is attached to a plate 304 made of polycarbonate provided with an opening 305 having a diameter of 2.0 mm with a ring-shaped double-sided tape 306 so as to close the opening, and then the whole plate 304.
  • the jigs 302 and 303 and the O-ring 307 were fixed.
  • the opening diameter of the double-sided tape 306 was 2.5 mm, that is, the effective area of the waterproof sound-permeable membrane 300 was 4.9 mm 2 .
  • a space 308 surrounded by the jig 302, the plate 304, the O-ring 307 and the waterproof sound-permeable membrane 300 corresponds to the other space 13.
  • the volume of the space 308 is changed with respect to the same waterproof sound-permeable membrane 300 by changing the volume of the space by using a plurality of jigs 302 having different heights h and widths w.
  • Whether or not the waterproof sound-permeable structure using the membrane 300 satisfies IPX7 was evaluated by immersing in a water depth of 1 m for 30 minutes in accordance with JIS C0920. As a result of this immersion, the waterproof sound-permeable structure satisfies IPX7 unless water enters the space 308 side.
  • the water pressure added to the waterproof sound-permeable membrane 300 is 9.8 kPa during evaluation.
  • waterproof sound-permeable membranes 300 produced in Examples and Comparative Examples were incorporated into jigs 302 and 303 for IPX7 evaluation.
  • the waterproof sound-permeable membrane 300 is opened on the polycarbonate plate 304 provided with the opening 305 having a diameter of 2.0 mm.
  • a space 308 surrounded by the plates 304 and 309 and the waterproof sound-permeable membrane 300 corresponds to the other space 13.
  • Example 1 A non-porous commercially available PET film (it4ip, Track etched membrane, thickness 50 ⁇ m) in which a plurality of through holes penetrating in the thickness direction was formed was prepared.
  • the film had a through hole diameter of 10.6 ⁇ m and a hole density of 3.0 ⁇ 10 5 holes / cm 2 .
  • the prepared PET film was immersed in an etching treatment liquid (aqueous solution having a potassium hydroxide concentration of 20% by mass) maintained at 80 ° C. for 30 minutes.
  • an etching treatment liquid aqueous solution having a potassium hydroxide concentration of 20% by mass
  • the film is taken out from the treatment liquid, immersed in RO water (reverse osmosis membrane filtered water), washed, dried in a drying oven at 50 ° C., and a plurality of through holes penetrating in the thickness direction.
  • a formed non-porous resin film was obtained.
  • the diameter of the through-hole of the obtained resin film was 13.0 ⁇ m, and the area of the cross section perpendicular to the direction in which the central axis extends was constant in the thickness direction of the film.
  • the hole density was the same before and after etching.
  • the liquid repellent treatment solution was prepared by diluting a liquid repellent (X-70-029C, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) with a diluent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., FS thinner) to a concentration of 0.7% by weight.
  • Example 2 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Example 1 except that the time for immersing the prepared PET film in the etching treatment solution was changed to 20 minutes. By changing the immersion time in the etching treatment liquid, the diameter of the through hole of the produced resin film changes.
  • Example 3 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Example 1 except that the prepared PET film was not etched.
  • the properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • Example 4 A non-porous commercial PET film (it4ip, Track etched membrane, thickness 45 ⁇ m) in which a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction was formed was prepared.
  • the film had a through hole diameter of 3.0 ⁇ m and a hole density of 2.0 ⁇ 10 6 holes / cm 2 .
  • the prepared PET film was immersed in an etching treatment liquid (aqueous solution having a potassium hydroxide concentration of 20% by mass) maintained at 80 ° C. for 30 minutes.
  • an etching treatment liquid aqueous solution having a potassium hydroxide concentration of 20% by mass
  • the film is taken out from the treatment liquid, immersed in RO water (reverse osmosis membrane filtered water), washed, dried in a drying oven at 50 ° C., and a plurality of through holes penetrating in the thickness direction.
  • a formed non-porous resin film was obtained.
  • the diameter of the through hole of the obtained resin film was 5.9 ⁇ m, and the area of the cross section perpendicular to the extending direction of the central axis was constant in the thickness direction of the film.
  • the hole density was the same before and after etching.
  • the dried resin film was dyed with a disperse dye.
  • the film after dyeing was black with the naked eye.
  • Example 2 After the produced black film was immersed in the same liquid repellent treatment solution used in Example 1 for 3 seconds, it was left to dry at room temperature for 30 minutes, and the surface of the film and the inner peripheral surface of the through hole A liquid-repellent layer was formed on the film to obtain a waterproof sound-permeable membrane.
  • Example 1 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Example 1 except that the time for immersing the prepared PET film in the etching treatment solution was changed to 40 minutes.
  • the properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • Example 2 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Example 4 except that the time for immersing the prepared PET film in the etching solution was changed to 20 minutes.
  • the properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • Example 3 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Example 4 except that the prepared PET film was not etched and dyed with disperse dye.
  • the properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • Example 4 Comparative Example 4 Except that the prepared PET film was a non-porous commercially available PET film (it4ip, Track etched membrane, thickness 30 ⁇ m) in which a plurality of through holes penetrating in the thickness direction were formed, the same procedure as in Example 2 was performed. A waterproof sound-permeable membrane was obtained. The properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below. In addition, the diameter of the through hole of the prepared PET film was 1.0 ⁇ m, and the hole density was 3.0 ⁇ 10 7 holes / cm 2 .
  • Comparative Example 5 A waterproof sound-permeable membrane was obtained in the same manner as in Comparative Example 4 except that the prepared PET film was not etched.
  • the properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • Example 6 A commercially available mesh film (manufactured by Nittoku, Smartmesh-P 180 / 460-27, thickness 43 ⁇ m) was prepared. The opening diameter of the film was 40 ⁇ m. The prepared mesh was subjected to a liquid repellent treatment in the same manner as in Example 1 to obtain a waterproof sound-permeable membrane. The properties of the waterproof sound-permeable membrane thus obtained and the waterproof sound-permeable structure formed using the membrane are shown in Table 1 below.
  • the waterproof sound-permeable membrane is composed of a non-porous resin film in which a plurality of through holes penetrating in the thickness direction is formed, and the diameter of the through holes is 5.0 ⁇ m or more and 13.0 ⁇ m or less.
  • the inherent water pressure resistance of the waterproof sound-permeable film used in the structure is lower than 9.8 kPa, which is the water pressure applied to the film during the IPX7 evaluation. Regardless, the IPX7 is realized when the volume of the other space (space 308) becomes a predetermined value or less.
  • the volume of the waterproof sound-permeable membrane is 5 mm 3 or less in Example 1 where the water pressure resistance of the waterproof sound-permeable membrane is 2.4 kPa, 10 mm 3 or less in Example 2 of 4.0 kPa, 200 mm 3 or less in Example 3 of 6.5 kPa, 8 In Example 4 of 0.5 kPa, it was 300 mm 3 or less.
  • Comparative Example 1 using a waterproof sound-permeable membrane that is composed of a non-porous resin film in which a plurality of through holes penetrating in the thickness direction is formed, the diameter of the through hole is 15.0 ⁇ m. IPX7 was not realized when the volume of the space was 5 mm 3 . Further, Comparative Examples 2 to 5 using a waterproof sound-permeable membrane composed of a non-porous resin film having a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction but having a through-hole diameter of less than 5.0 ⁇ m.
  • the waterproof sound-permeable structure of the present invention can be used for any article that is required to prevent water permeation while ensuring sound permeability.

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Abstract

　本開示の防水通音構造は、２つの空間を隔てるとともに、当該２つの空間の間で音を伝達する通音口が設けられた壁と、通音口を塞ぐように配置された、上記２つの空間の間で音を伝達するとともに、水が存在しうる一方の空間から通音口を介して他方の空間に水が浸入することを防ぐ防水通音膜と、を備える。他方の空間は、一方の空間が水で満たされたときに、容積が３００ｍｍ3以下の密閉空間となるように構成される。防水通音膜は、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムと、樹脂フィルムの主面上に形成された、上記複数の貫通孔と対応する位置に開口を有する撥液層とを備える。貫通孔の径は５．０μｍ以上１３．０μｍ以下である。本開示の防水通音構造では、従来の防水通音構造に比べて、より高いレベルで防水性および通音性が両立する。

Description

防水通音構造と、それを備える電子機器および電子機器用ケース
　本発明は、防水性と通音性とを併せ持つ防水通音構造、ならびに当該構造を備える電子機器および電子機器ケースに関する。
　近年、携帯電話、タブレットコンピュータ、デジタルカメラ、ゲーム機器といった電子機器が音声機能を備えることが一般的である。音声機能を備える電子機器の筐体内には、スピーカーおよび／またはマイクロフォンといった音響部品が音響部（より具体的には、発音部および／または受音部）として収容されている。電子機器の筐体におけるこれら音響部に対応する位置には、通常、通音口が設けられており、この通音口を介して、電子機器の外部と音響部との間で音が伝達される。
　電子機器の性質上、筐体内への水の浸入は防がなければならないが、音を伝達するための上記通音口は、容易に水が浸入する経路となりうる。特に、携帯用電子機器では、雨や生活上の水に晒される機会が多いとともに、水を避けうる一定の方向（例えば、雨が吹き込みにくい下方向）に通音口の開口の方向を固定できないことから、水が浸入する危険が増す。このため、音を伝達するが水を透過しない防水通音膜を用いて上記通音口を塞ぎ、筐体に防水通音構造を形成することが行われている。防水通音構造によって、音響部と筐体の外部との間で音の伝達が確保されながら、上記通音口を介した外部から筐体内への水の浸入が防がれる。防水通音構造は、電子機器の筐体に限られず、通音口を介した通音性と、当該通音口における防水性との両立が求められる箇所に適用できる。
　防水通音膜の一例は、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムである（特許文献１を参照）。特許文献１の防水通音膜は、非多孔質の樹脂フィルムにイオンビームを照射した後、照射後のフィルムを化学エッチングすることにより形成される。
特開2012-195928号公報
　本発明の目的の一つは、従来の防水通音構造に比べて、防水性および通音性をより高いレベルで両立させた防水通音構造と、当該構造を備える電子機器および電子機器用ケースの提供である。
　本開示の防水通音構造は、２つの空間を隔てるとともに、当該２つの空間の間で音を伝達する通音口が設けられた壁と、前記通音口を塞ぐように配置された、前記２つの空間の間で音を伝達するとともに、水が存在しうる一方の前記空間から前記通音口を介して他方の前記空間に水が浸入することを防ぐ防水通音膜と、を備える防水通音構造であって、前記他方の空間は、前記一方の空間が水で満たされたときに、容積が３００ｍｍ3以下の密閉空間となるように構成されている。前記防水通音膜は、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの主面上に形成された、前記複数の貫通孔と対応する位置に開口を有する撥液層とを備え、前記貫通孔の径が５．０μｍ以上１３．０μｍ以下の防水通音膜である。
　本開示の電子機器は、音響部を有する電子機器であって、上記本開示の防水通音構造を備える。前記防水通音構造において、前記壁は前記電子機器の筐体であり、前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり、前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記音響部を含む空間であり、前記通音口は、前記音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である。
　本開示の電子機器用ケースは、音響部を有する電子機器を収容する電子機器用ケースであって、上記本開示の防水通音構造を備える。前記防水通音構造において、前記壁は前記ケースの筐体であり、前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり、前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記電子機器が収容される空間であり、前記通音口は、前記ケースに収容された前記電子機器の音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である。
　本発明によれば、従来の防水通音構造に比べて、防水性および通音性をより高いレベルで両立させた防水通音構造と、当該構造を備える電子機器および電子機器用ケースが達成される。
本発明の防水通音構造の一例を模式的に示す断面図である。 図１に示す防水通音構造において、一方の空間に水が満たされたときの防水通音膜の状態を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜の別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜において、貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係の一例を模式的に示す平面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜において、貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係の別の一例を模式的に示す平面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜において、貫通孔が延びる方向の当該貫通孔間の関係のまた別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜のまた別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜の上記とは別の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜を構成する樹脂フィルムを形成する方法であって、イオンビーム照射およびその後の化学エッチングを用いる方法における、イオンビーム照射の概略を説明するための模式図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜を構成する樹脂フィルムを形成する方法であって、イオンビーム照射およびその後の化学エッチングを用いる方法における、イオンビーム照射の一例を説明するための模式図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜（支持体を含む防水通音部材）の一例を模式的に示す斜視図である。 本発明の防水通音構造が備える防水通音膜（支持体を含む防水通音部材）の別の一例を模式的に示す平面図である。 本発明の電子機器の一例を模式的に示す斜視図である。 図１４Ａに示す電子機器における防水通音膜の配置の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の電子機器の別の一例を模式的に示す斜視図である。 図１５Ａに示す電子機器における防水通音膜の配置の一例を模式的に示す断面図である。 本発明の電子機器用ケースの一例を模式的に示す斜視図である。 図１６Ａに示す電子機器用ケースにおける防水通音膜の配置の一例を模式的に示す断面図である。 実施例において防水通音膜の音圧損失（挿入損失）を評価するために用いた模擬筐体および当該筐体中のスピーカーの配置を模式的に示す断面図である。 実施例において防水通音膜の音圧損失（挿入損失）を評価するために作製した部材と、当該部材を模擬筐体に配置した状態を模式的に示す断面図である。 実施例で行った、防水通音構造の防水性の評価方法を説明するための図である。 実施例で行った、防水通音構造の防水性の評価方法を説明するための図である。
　本開示の第１の態様は、２つの空間を隔てるとともに、当該２つの空間の間で音を伝達する通音口が設けられた壁と、前記通音口を塞ぐように配置された、前記２つの空間の間で音を伝達するとともに、水が存在しうる一方の前記空間から前記通音口を介して他方の前記空間に水が浸入することを防ぐ防水通音膜と、を備える防水通音構造であって、
　前記他方の空間は、前記一方の空間が水で満たされたときに、容積が３００ｍｍ3以下の密閉空間となるように構成され、
　前記防水通音膜が：厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、非多孔質の樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの主面上に形成された、前記複数の貫通孔と対応する位置に開口を有する撥液層と、を備え；前記貫通孔の径が５．０μｍ以上１３．０μｍ以下の防水通音膜である、防水通音構造を提供する。
　本開示の第２の態様は、第１の態様に加え、前記防水通音構造の耐水圧が、前記通音口に配置された前記防水通音膜の耐水圧であってＪＩＳ　Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して測定した耐水圧を超える防水通音構造を提供する。
　本開示の第３の態様は、第１または第２の態様に加え、ＪＩＳ　Ｃ０９２０に規定されている水の浸入に対する保護等級７級を満たす防水通音構造を提供する。
　本開示の第４の態様は、第３の態様に加え、前記防水通音膜の前記耐水圧が３．０ｋＰａ以上９．８ｋＰａ未満であり、前記容積が１０ｍｍ3以下である防水通音構造を提供する。
　本開示の第５の態様は、第３の態様に加え、前記防水通音膜の前記耐水圧が２．０ｋＰａ以上３．０ｋＰａ未満であり、前記容積が５ｍｍ3以下である防水通音構造を提供する。
　本開示の第６の態様は、第１から第５のいずれかの態様に加え、前記防水通音膜の有効面積が４．９ｍｍ2以下である防水通音構造を提供する。
　本開示の第７の態様は、第１から第６のいずれかの態様に加え、前記防水通音膜が、ＪＩＳ　Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数で示して、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１２０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下の通気度を厚さ方向に有する防水通音構造を提供する。
　本開示の第８の態様は、第１から第７のいずれかの態様に加え、１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における前記防水通音構造の挿入損失が２ｄＢ以下である防水通音構造を提供する。
　本開示の第９の態様は、第１から第８のいずれかの態様に加え、前記防水通音膜に、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する着色処理が施されている防水通音構造を提供する。
　本開示の第１０の態様は、第１から第８のいずれかの態様に加え、前記防水通音膜が、黒色、灰色、茶色または桃色に着色されている防水通音構造を提供する。
　本開示の第１１の態様は、音響部を有する電子機器であって、第１から第１０のいずれかの態様の防水通音構造を備え、前記防水通音構造において：前記壁は、前記電子機器の筐体であり；前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり；前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記音響部を含む空間であり；前記通音口は、前記音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である、電子機器を提供する。
　本開示の第１２の態様は、音響部を有する電子機器を収容する電子機器用ケースであって、第１から第１０のいずれかの態様の防水通音構造を備え、前記防水通音構造において：前記壁は、前記ケースの筐体であり；前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり；前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記電子機器が収容される空間であり；前記通音口は、前記ケースに収容された前記電子機器の音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である、電子機器用ケースを提供する。
　［防水通音構造］
　図１に、本発明の防水通音構造の一例を示す。図１に示す防水通音構造１は、通音口１１が設けられた壁２と、通音口１１を塞ぐように配置された防水通音膜３とを備える。防水通音膜３は、音を伝達するが水の透過を防ぐ膜である。壁２は、２つの空間１２および空間１３を隔てており、通音口１１は、この２つの空間の間で音を伝達する開口である。一方の空間１２には水が存在しうる。他方の空間１３には水が存在してもよいが、空間１３は、典型的には、電子機器の筐体内部の空間など、水が存在しない空間または水の存在を避けるべき空間である。本明細書では、特に記載がない限り、「水」は液体の水を意味する。
　壁２により、双方の空間１２，１３間の水の移動が防がれるとともに音の伝達が制限されるが、防水通音構造１では、壁２に設けられた通音口１１および通音口１１に配置された防水通音膜３を介して空間１２，１３間で音２１，２２を伝達できるとともに、防水通音膜３により、水の存在しうる一方の空間１２から他方の空間１３への水の浸入が防がれる。図１に示す例のように、音を発するおよび／または音を受ける音響部４が空間１３にある場合（他方の空間１３が、音響部４を含む空間である場合）、音２１は、空間１２から音響部４へと伝達される音であり、音２２は、音響部４から発せられて空間１２へと伝達される音である。
　防水通音構造１において他方の空間１３は、一方の空間１２が水で満たされたときに、容積が３００ｍｍ3以下の密閉空間となるように構成されている。ここで、空間１２が水で満たされると、防水通音膜３に水圧３１が加わることで当該膜３が他方の空間１３側に変形、より具体的には撓むように変形する（図２参照）。すると、密閉空間となった他方の空間１３の容積が膜３が変形した分だけ減少することで、空間１３の内圧が上昇する。この内圧の上昇により、他方の空間１３から一方の空間１２への圧力３２が防水通音膜３に加わり、水圧３１の一部が圧力３２によって相殺される。等しい水圧３１が同じ膜３に加わった場合、すなわち水圧３１による膜３の変形量が同じ場合、密閉空間の容積が小さいほど内圧の上昇が大きくなって水圧３１が相殺される程度が増し、防水通音膜３に実質的に加わる水圧が小さくなる。防水通音膜３は、その構成に応じた当該膜固有の防水性（固有防水性）を有しているが、防水通音構造１では上述のように膜３に実質的に加わる水圧が小さくなるため、当該構造１に要求される防水性よりも低い固有防水性の防水通音膜３によっても、当該要求される防水性を達成した防水通音構造が実現する。ここで、防水通音膜の通音性（防水通音膜を伝達する音の特性）は、その固有防水性が高くなるほど低くなり、いわば防水通音膜３において防水性と通音性とはトレードオフの関係にある。このため、要求される防水性よりも低い固有防水性の防水通音膜によって当該要求される防水性を達成できる防水通音構造１では、従来の防水通音構造に比べて、防水性および通音性をより高いレベルで両立できる。
　一方の空間１２が水で満たされたときに密閉空間となる他方の空間１３の容積、すなわち他方の空間１３の密閉時の容積（密閉容積）は３００ｍｍ3以下である。当該容積が３００ｍｍ3を超えると、防水通音膜３において水圧３１が相殺される程度が十分ではなく、防水性および通音性を従来よりも高いレベルで両立できなくなる。
　そして、防水通音構造１が備える防水通音膜３は、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムと、樹脂フィルムの主面上に形成された、上記複数の貫通孔と対応する位置に開口を有する撥液層とを備える。このような防水通音膜３は、貫通孔の径によって当該膜の防水性および通音性を制御でき、その制御の自由度が高い。このことは、防水通音構造１における高いレベルでの防水性および通音性の両立に寄与する。これに加えて防水通音膜３は、非多孔質の樹脂フィルムがベース（母材）になっていることから、強度などの機械的特性の均一性が高く、また、均一な貫通孔の径とすること、および／または貫通孔が均一に分布した防水通音膜とすることが可能である。このため、膜の不均一性を原因とする水の透過が抑制され、図２に示す水圧３１を相殺する効果を十分に得ることができる。このことも、防水通音構造１における高いレベルでの防水性および通音性の両立に寄与する。そして、このような構造を有する防水通音膜３は、そもそもの通音性が高く、この通音性の高さは、とりわけ、防水通音構造として重要な周波数１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における低い挿入損失に顕著に現れる。
　ただし、防水通音膜３における貫通孔の径は５．０μｍ以上１３．０μｍ以下である。貫通孔の径が１３．０μｍを超える場合、膜３自身が有する固有防水性が低く、防水通音構造１における高いレベルでの防水性および通音性の両立が難しい。一方、貫通孔の径が５μｍ未満の場合、膜３自身が有する固有防水性が非常に高いことから、密閉容積が所定の値以上になっても防水性は確保されるが、防水通音構造１の通音性が低下する傾向にある。
　防水通音構造１として要求される防水性の程度によるが、他方の空間１３の密閉容積は、２００ｍｍ3以下、１５０ｍｍ3以下、１００ｍｍ3以下の順に好ましい。他方の空間１３の密閉容積が小さいほど、防水通音構造１として要求される防水性に比べてより低い固有防水性の防水通音膜３を使用できるため、防水通音構造１における防水性および通音性の両立のレベルをさらに高くできる。他方の空間１３の密閉容積は、さらに小さい容積、例えば、５０ｍｍ3以下、３０ｍｍ3以下、１０ｍｍ3以下、さらには５ｍｍ3以下とすることもできる。
　他方の空間１３の密閉容積は、当該空間における、防水通音膜３および通音口１１に通じる空気が占める容積であり、当該空間内に存在する物品の容積を含まない。物品の容積は、防水通音膜３の変形による圧力３２の発生に寄与しないからである。また、他方の空間１３の密閉容積は、一方の空間１２に水が満たされていない状態（防水通音膜３が水圧３１によって変形していない状態）での容積である。
　防水性の典型的な指標は耐水圧である。防水通音構造１では、その耐水圧が、通音口１１に配置された防水通音膜３自身の耐水圧（固有耐水圧）であって、ＪＩＳ　Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して測定した耐水圧を超えうる。
　防水通音構造の防水性は、ＪＩＳ　Ｃ０９２０に規定されている水の浸入に対する保護等級により評価することもできる。ただし、この保護等級において、一方の空間１２が水で満たされた状態を想定しているのは、基本的に保護等級７級（ＩＰＸ７）である。防水通音構造１がＩＰＸ７を満たす場合、当該構造１の上記耐水度試験Ｂ法により測定した耐水圧は、防水構造を水深１ｍに水没させたときの水の浸入の有無を評価するＩＰＸ７の測定原理上、９．８ｋＰａ以上となる。
　防水通音構造１は、ＪＩＳ　Ｃ０９２０に規定されている水の浸入に対する保護等級（ＩＰＸ７）を満たしうる。ＩＰＸ７を満たす防水通音構造１が形成された電子機器は、誤って水中に落とされた場合にも、所定の水深および時間内であれば、機器内部への浸水を避けることができる。
　防水通音構造１では、他方の空間１３の密閉容積と防水通音膜３の固有耐水圧との関係について、例えば、以下の関係を成立させうる。防水通音構造１がＩＰＸ７を満たす場合の関係の一つは、上記耐水度試験Ｂ法により測定した防水通音膜３の耐水圧が３．０ｋＰａ以上９．８ｋＰａ未満であり、他方の空間１３の密閉容積が１０ｍｍ3以下である。当該関係のもう一つは、上記耐水度試験Ｂ法により測定した防水通音膜３の耐水圧が２．０ｋＰａ以上３．０ｋＰａ未満であり、他方の空間１３の密閉時の容積が５ｍｍ3以下である。これらの関係は、明らかに、防水通音構造の耐水圧が、当該構造の通音口に配置された防水通音膜の固有耐水圧を超える関係である。
　他方の空間１３の構成は、一方の空間１２が水で満たされたときに密閉空間となる限り限定されない。なお、防水通音膜３は水を透過しないため、当該膜３に接している一方の空間１２が水で満たされたときに、当該膜３が配置された通音口１１では空間１３の密閉が保たれる。一方の空間１２が水で満たされたときとは、例えば、防水通音構造１の通音口１１の全部が水没したときである。
　他方の空間１３は、例えば、通音口１１以外の開口を有さない壁２により囲まれた空間である。他方の空間１３は、例えば、通音口１１以外にも開口を有する壁２により囲まれた空間であって、後者の開口にも当該開口を塞ぐように防水膜が配置され、一方の空間１２が水で満たされたときに後者の開口においても密閉が保たれる空間である。後者の開口に配置する防水膜は、防水通音膜３でありうるし、その他の防水膜（防水通気膜、防水通音膜）でありうる。その他の防水膜に公知の膜を使用してもよい。
　他方の空間１３は、例えば、防水通音構造１が構築された電子機器の筐体の内部にある空間であり、当該筐体の内部空間そのものであってもよい。このとき一方の空間１２は、空間１３とは通音口１１を挟んで壁２の反対側に位置する、電子機器の筐体外部の空間である。他方の空間１３は、例えば、防水通音構造１が構築されたスピーカー、マイクロフォンまたはトランスデューサーといった音響部品において、当該部品のハウジングの内部にある空間であり、当該ハウジングの内部空間そのものであってもよい。このとき、一方の空間１２は、空間１３とは通音口１１を挟んで壁２の反対側に位置する、音響部品のハウジング外部の空間である。
　これらの例から理解できるように、防水通音構造１を形成する壁２は限定されない。防水通音構造１は、通音口１１および当該通音口１１を塞ぐ防水通音膜３の形成、配置スペースが確保できれば、空間１２，１３間で音を伝達しながらも空間１２から空間１３への水の透過を防ぐ任意の場所に適用可能である。このため、他方の空間１３にある具体的な音響部４は様々である。前者の例では、音響部４は、例えば、電子機器の筐体の内部に収容されたスピーカー、マイクロフォンまたはトランスデューサーといった音響部品である。後者の例では、音響部４は、例えば、音響部品のハウジングの内部に収容された振動板といった音響素子である。上述のように、他方の空間１３の密閉容積は、当該空間における、防水通音膜３および通音口１１に通じる空気が占める容積であり、当該空間内に存在する物品の容積を含まない。このため、前者の例では、空間１３内にある音響部品などの各部品の体積は密閉容積に含まれず、後者の例では、空間１３内にある音響素子などの各部の体積は密閉容積に含まれない。
　防水通音膜３を説明する。
　図３に、防水通音膜３の一例を示す。図３に示す防水通音膜３は、樹脂フィルム５１と、樹脂フィルム５１の主面上に形成された撥液層５２とを備える。樹脂フィルム５１には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔５３が形成されている。貫通孔５３は、樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂへと延びる。撥液層５２は、樹脂フィルム５１の貫通孔５３に対応する位置に開口５５を有する。樹脂フィルム５１は、非多孔質の樹脂フィルムであり、その厚さ方向に通気可能となる経路を貫通孔５３以外に有さない。樹脂フィルム５１は、典型的には、貫通孔５３を除いて無孔の（中実の）樹脂フィルムである。貫通孔５３は、樹脂フィルム５１の双方の主面に開口を有する。
　貫通孔５３は、当該貫通孔の中心軸（軸線）５６が直線状に延びるストレート孔である。ストレート孔である貫通孔５３は、例えば、樹脂フィルムの原フィルムへのイオンビーム照射およびその後の化学エッチングにより形成できる。イオンビーム照射およびエッチングでは、径（開口径）が揃った当該径の均一度が高い多数の貫通孔５３を樹脂フィルム５１に形成できる。樹脂フィルム５１は、原フィルムへのイオンビーム照射およびエッチングにより得たフィルムでありうる。防水通音膜３において貫通孔５３の径の均一度が高いことは、防水通音構造１において防水性および通音性をより高いレベルで両立できることに寄与する。なお、図３および防水通音膜の構造を示すこれ以降の図では、貫通孔の形状をわかりやすくするために、その径が誇張して描かれている。
　図３に示す例において貫通孔５３が延びる方向は、樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向である。貫通孔５３が樹脂フィルム５１の厚さ方向に貫通している限り、貫通孔５３が延びる方向は樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向から傾いていてもよい。このとき、樹脂フィルム５１に存在する全ての貫通孔５３が延びる方向が同一であってもよいし（中心軸５６の方向が揃っていてもよいし）、図４に示すように、樹脂フィルム５１が当該フィルムの主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向に対して傾いた方向に延びる貫通孔５３（５３ａ～５３ｇ）を有しており、当該傾いて延びる方向が異なる貫通孔５３ａ～５３ｇが樹脂フィルム５１に混在していてもよい。図４に示す例では、貫通孔５３が樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向に対して傾いて延びており（樹脂フィルム５１を貫通しており）、延びる方向が互いに異なる貫通孔５３の組み合わせがある。このとき、樹脂フィルム５１には、延びる方向が同一の貫通孔５３の組み合わせがあってもよい（図４に示す例では、貫通孔５３ａ，５３ｄ，５３ｇの延びる方向が同一である）。樹脂フィルム５１は、当該フィルムの主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向に延びる貫通孔５３と、当該方向に傾いた方向に延びる貫通孔５３との双方を有していてもよい。以下、「組み合わせ」を単に「組」ともいう。「組」は、１の貫通孔と１の貫通孔との関係（ペア（対））に限られず、１または２以上の貫通孔同士の関係を意味する。同じ特徴を有する貫通孔の組があるということは、当該特徴を有する貫通孔が複数存在することを意味する。なお、図４では撥液層の図示を省略する（図７，８も同様である）。
　図４に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔５３が混在する樹脂フィルム５１から構成される防水通音膜３では、その傾く程度、およびある方向に伸びる貫通孔５３の割合を変化させることができるため、防水通音膜３としての通音性および防水性の制御の自由度がより高くなる。この自由度の高さは、防水通音構造１において防水性および通音性をより高いレベルで両立できることに寄与する。
　図４に示す貫通孔５３について、その傾いて延びる方向（中心軸５６の延びる方向）Ｄ１が樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向Ｄ２に対して成す角度θ１は４５°以下が好ましく、３０°以下がより好ましい。角度θ１がこれらの範囲にあるときに、防水通音膜３としての通音性および防水性の制御の自由度がより高くなる。角度θ１の下限は特に限定されないが、例えば、１０°以上であり、２０°以上が好ましい。角度θ１が過度に大きくなると、防水通音膜１の機械的強度が弱くなる傾向がある。図４に示す貫通孔５３では、角度θ１が互いに異なる組が存在している。
　図４に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔５３が混在する樹脂フィルム５１から構成される防水通音膜３において、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに（貫通孔５３が延びる方向を当該主面に投影したときに）、貫通孔５３が延びる方向が互いに平行であってもよいが、当該延びる方向が互いに異なる組を樹脂フィルム５１が有する（当該延びる方向が互いに異なる貫通孔５３が樹脂フィルム５１に存在する）ことが好ましい。後者の場合、防水通音膜３としての通音性および防水性の制御の自由度がより高くなる。
　図５に、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに、貫通孔５３が延びる方向が互いに平行である例を示す。図５に示す例では、３つの貫通孔５３（５３ｈ，５３ｉ，５３ｊ）が見えているが、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに各貫通孔５３が延びる方向（紙面手前側の主面における貫通孔５３の開口５８ａから、反対側の主面における貫通孔５３の開口５８ｂに向かう方向）Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５は互いに平行である（後述のθ２が０°である）。ただし、各貫通孔５３ｈ，５３ｉ，５３ｊの角度θ１は互いに異なり、貫通孔５３ｊの角度θ１が最も小さく、貫通孔５３ｈの角度θ１が最も大きい。このため、各貫通孔５３ｈ，５３ｉ，５３ｊが延びる方向は立体的に異なっている。
　図６に、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに、貫通孔５３が延びる方向が互いに異なっている例を示す。図６に示す例では、３つの貫通孔５３（５３ｋ，５３ｌ，５３ｍ）が見えているが、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに各貫通孔５３が延びる方向Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８は互いに異なる。ここで、貫通孔５３ｋと５３ｌとは、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに９０°未満の角度θ２を成して、当該主面から互いに異なる方向に延びている。一方、貫通孔５３ｋと５３ｍとは、樹脂フィルム５１の主面に垂直な方向から見たときに９０°以上の角度θ２を成して、当該主面から互いに異なる方向に延びている。樹脂フィルム５１は、後者のように、当該フィルムの主面に垂直な方向から見たときに９０°以上の角度θ２を成して当該主面から互いに異なる方向に延びる貫通孔５３の組を有することが好ましい。換言すれば、樹脂フィルム５１は、当該フィルムの主面に垂直な方向から見たときに、当該主面から一定の方向Ｄ６に延びる貫通孔５３ｋと、当該一定の方向Ｄ６に対して９０°以上の角度θ２を成す方向Ｄ８に当該主面から延びる貫通孔５３ｍとの組を有することが好ましい。このとき、防水通音膜３としての通音性および防水性の制御の自由度がさらに高くなる。角度θ２は９０°以上１８０°以下が好ましく、すなわち１８０°であってもよい。
　図５に示すような、傾いて延びる方向が異なる貫通孔５３が混在する樹脂フィルム５１から構成される防水通音膜３において、２以上の貫通孔５３が樹脂フィルム５１内で互いに交差していてもよい。すなわち、樹脂フィルム５１は、当該フィルム５１内で互いに交差する貫通孔５３の組を有していてもよい。このとき、防水通音膜３としての通音性および防水性の制御の自由度がより高くなる。このような例を図７に示す。図７に示す例では、貫通孔５３ｐと５３ｑとが樹脂フィルム５１内で互いに交差している。
　樹脂フィルム５１における（防水通音膜３における）貫通孔５３の延びる方向（貫通孔５３の中心線５６が延びる方向）は、例えば、当該フィルム５１の主面および断面に対して走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察を行うことで確認できる。
　樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂにおける貫通孔５３の開口の形状は限定されないが、典型的には円形（中心線５６の延びる方向が樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な場合）または楕円形（中心線５６の延びる方向が樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向から傾いている場合）である。貫通孔５３の開口の形状は厳密な円または楕円である必要はなく、例えば、後述の製造方法で実施するエッチングのムラに伴う多少の形状の乱れは許容しうる。貫通孔５３の断面の形状についても同様である。
　図３～７に示す例では、貫通孔５３の径は、樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに至るまでほぼ変化していない。すなわち、貫通孔５３の断面の形状は、主面５４ａから主面５４ｂに至るまでほぼ変化していない。防水通音膜３が有する貫通孔５３は、図８に示すように、中心線５６が延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する形状を有していてもよい。このとき、防水通音膜３（防水通音構造１）の防水性および通音性をさらに高いレベルで両立できる。ここで、相対的に貫通孔５３の径が小さい主面５４ａが、水が存在しうる一方の空間１２に面し、相対的に貫通孔５３の径が大きい主面５４ｂが他方の空間１３に面するように、防水通音膜３が壁２の通音口１１に配置されることが好ましい。図８に示す貫通孔５３は、中心線５６が延びる方向に断面５７の形状が変化する、防水通音膜３の膜厚方向に非対称な形状を有する貫通孔である。
　中心線５６の延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する形状を貫通孔５３が有する場合、貫通孔５３は、断面５７の面積が主面５４ａから主面５４ｂまで連続的に、かつほぼ一定または一定の増加率で増加するとともに、円または楕円である断面５７の形状を有していてもよく、このとき貫通孔５３の形状は、軸線５６を中心線とする円錐もしくは楕円錐またはこれらの一部となる。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、断面５７の形状が円または楕円である貫通孔５３を有する樹脂フィルム５１を備えた防水通音膜３を形成できる。
　中心線５６の延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する形状を貫通孔５３が有する場合、主面５４ａにおける相対的に小さな貫通孔５３の径（径ａ）と、主面５４ｂにおける相対的に大きな貫通孔の径（径ｂ）との比ａ／ｂは、例えば８０％以下であり、防水性および通音性の制御の自由度をより高くできることから、７５％以下が好ましく、７０％以下がより好ましい。比ａ／ｂの下限は特に限定されず、例えば１０％である。
　断面５７の面積の増加は、主面５４ａから主面５４ｂに向けて連続的であっても、段階的であっても（すなわち、断面５７の面積が一定の領域が存在していても）よい。断面５７の面積の増加は、図８に示す例のように、主面５４ａから主面５４ｂに向けて連続的であることが好ましく、その増加率がほぼ一定または一定であることがより好ましい。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、断面５７の面積が主面５４ａから主面５４ｂに向けて連続的に増加する貫通孔５３を有する樹脂フィルム５１を備えた防水通音膜３、および、さらに当該面積の増加率がほぼ一定または一定である防水通音膜３を形成できる。
　防水通音膜３におけるこれらの貫通孔５３の特徴は、任意に組み合わせうる。例えば、中心線５６が延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する形状を有するとともに、当該方向が樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向から傾いた貫通孔５３でありうる。
　貫通孔５３の径は５．０μｍ以上１３．０μｍ以下である。貫通孔５３が、図８に示すように、中心線５６が延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する形状を有する場合、相対的に小さな径（図８に示す例では、主面５４ａにおける貫通孔５３の径）が５．０μｍ以上１３．０μｍ以下である。
　貫通孔５３について、その開口の形状を円とみなしたときの当該円の直径、換言すれば、開口の断面積（開口面積）と同一の面積を有する円の直径を、貫通孔５３の径（開口径）とする。貫通孔５３の径は、例えば、防水通音膜３または樹脂フィルム５１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。樹脂フィルム５１における貫通孔５３の径は、各主面について、当該主面に存在する全ての貫通孔５３の開口で一致している必要はないが、樹脂フィルム５１の有効部分（防水通音膜３として使用可能な部分）では実質的に同じ値とみなすことができる程度（例えば、標準偏差が平均値の１０％以下）に一致していることが好ましい。イオンビーム照射およびエッチングを用いた後述の製造方法によれば、このような径が揃った防水通音膜３を形成できる。
　なお、樹脂フィルム５１の主面５４ａ，５４ｂに垂直な方向から傾いた方向に延びる貫通孔５３の開口の形状は楕円となりうる。しかし、このような場合においても、フィルム５１内における貫通孔５３の断面５７の形状は円とみなすことができ、この円の直径は、開口の形状である楕円の最小径と等しくなる。このため、上記傾いた方向に伸びる貫通孔５３であって開口の形状が楕円であるものについては、当該最小径を貫通孔の開口径とすることができる。
　防水通音膜３は、ＪＩＳ　Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数で示して、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１２０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下の通気度を厚さ方向に有することが好ましい。通気度がこの範囲にある場合、上述した貫通孔５３の径の範囲と相まって、防水通音膜３および当該膜を備える防水通音構造１の通音性が向上し、これらの防水性および通音性をさらに高いレベルで両立できる。防水通音膜３の通気度は、フラジール数で示して、１０．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１２０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下が好ましく、その下限は５０．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、あるいは９０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上とすることもできる。通気度がこれらの範囲にあるとき、貫通孔５３の径は、上述した好ましい範囲にあることが好ましい。
　図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、相対的に貫通孔５３の径が大きい他方の主面５４ｂから、相対的に貫通孔５３の径が小さい一方の主面５４ａへの当該膜３の通気度が、フラジール数で示して上記範囲にあることが好ましい。
　撥液層５２が防水通音膜３の通気度にほぼ影響を与えないことを考慮すると、樹脂フィルム５１の通気度が、防水通音膜３の通気度に関する上記範囲であることが好ましいといえる。
　防水通音膜３における（樹脂フィルム５１における）貫通孔５３の密度（孔密度）は特に限定されず、例えば、１×１０3個／ｃｍ2以上１×１０9個／ｃｍ2以下である。孔密度がこの範囲にあることによって、防水通音膜３として好ましい範囲で防水性および通音性が制御でき、双方の特性をさらに高いレベルで両立できる。孔密度は、１×１０5個／ｃｍ2以上１×１０8個／ｃｍ2以下がより好ましい。孔密度は、防水通音膜３の全体にわたって一定である必要はないが、その有効部分では、最大の孔密度が最小の孔密度の１．５倍以下となる程度に一定であることが好ましい。孔密度は、例えば、防水通音膜３または樹脂フィルム５１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。
　防水通音膜３の（樹脂フィルム５１の）開口率（主面の面積に対する、当該主面における貫通孔５３の開口面積の割合）は、５０％以下が好ましく、１０％以上４５％以下が好ましく、２０％以上４０％以下がより好ましい。開口率がこれらの範囲にあることによって、防水通音膜３として好ましい範囲で防水性および通音性を制御でき、双方の特性をさらに高いレベルで両立できる。また、貫通孔５３の径が上記範囲にあることも相まって、例えば、防水通音膜３の有効面積を減少させた場合にもより良好な通音性を確保できる。開口率は、例えば、防水通音膜３または樹脂フィルム５１の表面を顕微鏡で観察した像を解析することによって求めうる。
　図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、相対的に貫通孔の径が小さい主面５４ａにおける開口率が、上記範囲にあることが好ましい。
　防水通音膜３の（樹脂フィルム５１の）気孔率は、２５％以上４５％以下が好ましく、３０％以上４０％以下がより好ましい。気孔率がこれらの範囲にあることによって、防水通音膜３として好ましい範囲で防水性および通音性を制御でき、双方の特性をさらに高いレベルで両立できる。また、貫通孔５３の径が上記範囲にあることによって、そして防水通音膜３の通気度が上記範囲にある場合はさらに、例えば、防水通音膜３の有効面積を減少させた場合にもより良好な通音性を確保できる。なお、図３に示すように、断面５７の面積が樹脂フィルム５１内で一定である貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、その開口率と気孔率とは同一である。図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、例えば、双方の主面５４ａ，５４ｂにおける開口率と、防水通音膜３の（樹脂フィルム５１の）断面を観察することにより把握した貫通孔５３の形状とから、計算により気孔率を求めることができる。
　上述のように、防水通音膜３の防水性は、例えば、耐水度試験Ｂ法により測定した当該膜３の耐水圧により評価できる。図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、防水通音構造１に配置したときに一方の空間１２側に面する主面における耐水圧を評価すればよい。なお、相対的に貫通孔５３の径が小さい主面５４ａが水に接するときの膜３の耐水圧が、相対的に貫通孔５３の径が大きい主面５４ｂが水に接するときの膜３の耐水圧よりも大きいことを考慮すると、防水通音構造１に膜３を配置する際には、水の存在しうる一方の空間１２側に主面５４ａが面するように膜３を配置しうる。
　通音性に関して防水通音膜３では、例えば、周波数１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。また、周波数１００Ｈｚ以上３ｋＨｚ以下の音域における挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域は、人間が通常の発声、会話に使用している音域であるとともに、音楽などの再生時にも最も敏感に感じとることができる音域に相当する。この音域における挿入損失が小さいことは、防水通音膜３を備える電子機器の市場における訴求力を向上させる。また、防水通音膜３では、例えば、人の音声域の中央値と考えられる周波数１ｋＨｚにおける挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。
　防水通音膜３は撥液層５２を有する。撥液層５２は、例えば、樹脂フィルム５１を撥液処理して形成できる。図３に示す例では、撥液層５２が樹脂フィルム５１の双方の主面５４ａ，５４ｂ上と貫通孔５３の表面とに形成されている。撥液層５２は、樹脂フィルム５１の一方の主面上のみに形成されていてもよいし、一方の主面上と貫通孔５３の表面とのみに形成されていてもよい。防水通音構造１に配置したときに、少なくとも、水が存在しうる一方の主面１２に面する主面に撥液層５２が形成されていることが好ましい。図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する防水通音膜３の場合、上述した各主面における耐水圧の相違から、貫通孔５３の径が相対的に小さい主面５４ａに撥液層５２が形成されていることが好ましい。
　撥液層５２は、撥水性を有する層であり、撥油性を併せて有することが好ましい。また、撥液層５２は、樹脂フィルム５１の貫通孔５３と対応する位置に開口を有する。
　撥液層５２は、例えば、撥水剤、または疎水性の撥油剤を希釈剤で希釈して調製した処理液を、樹脂フィルム５１上に薄く塗布して乾燥させることにより形成できる。撥水剤および疎水性の撥油剤は、例えば、パーフルオロアルキルアクリレート、パーフルオロアルキルメタクリレートのようなフッ素化合物である。撥液層５２の厚さは、貫通孔５３の径の１／２未満が好ましい。
　樹脂フィルム５１上に処理液を薄く塗布して撥液層５２を形成する場合、貫通孔５３の径にもよるが、当該貫通孔の表面（内周面）も、樹脂フィルム５１の主面上と連続して撥液層５２により被覆することが可能である（図３に示す例では、このようになっている）。
　樹脂フィルム５１の厚さおよび防水通音膜３の厚さは、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下であり、１５μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。
　樹脂フィルム５１を構成する材料は、例えば、後述の製造方法において、非多孔質の樹脂フィルムである原フィルムに貫通孔５３を形成できる材料である。樹脂フィルム５１は、例えば、アルカリ性溶液、酸性溶液、または酸化剤、有機溶剤および界面活性剤から選ばれる少なくとも１種を添加したアルカリ性溶液もしくは酸性溶液により分解する樹脂から構成される。この場合、後述の製造方法におけるイオンビーム照射および化学エッチングによる原フィルムへの貫通孔５３の形成がより容易となる。なお、これらの溶液は、典型的なエッチング処理液である。別の側面から見ると、樹脂フィルム５１は、例えば、加水分解または酸化分解によるエッチング可能な樹脂から構成される。原フィルムには、市販のフィルムを使用することができる。
　樹脂フィルム５１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される。
　防水通音膜３は、２層以上の樹脂フィルム５１を備えていてもよい。このような防水通音膜３は、例えば、２層以上の原フィルムを有する積層体にイオンビーム照射および化学エッチングして形成できる。
　防水通音膜３は、必要に応じて、樹脂フィルム５１および撥液層５２以外の任意の部材および／または層を備えていてもよい。当該部材は、例えば、図９に示す通気性支持層５９である。図９に示す防水通音膜３では、図８に示す防水通音膜３の樹脂フィルム５１における主面５４ｂに通気性支持層５９が配置されている。通気性支持層５９の配置により、防水通音膜３としての強度が向上し、また、取扱性も向上する。通気性支持層５９は、樹脂フィルム５１の主面５４ａに配置されていても、双方の主面５４ａ，５４ｂに配置されていてもよい。
　通気性支持層５９は、樹脂フィルム５１に比べて、厚さ方向の通気度が高い層である。通気性支持層５９には、例えば、織布、不織布、ネット、メッシュを用いることができる。通気性支持層５９を構成する材料は、例えば、ポリエステル、ポリエチレン、アラミド樹脂である。通気性支持層５９が配置される樹脂フィルム５１の主面には、撥液層５２が形成されていてもいなくてもよい。通気性支持層５９の形状は、樹脂フィルム５１の形状と同一であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、樹脂フィルム５１の周縁部のみに配置される形状を有する（具体的に、樹脂フィルムが円形である場合には、その周縁部のみに配置されるリング状の）通気性支持層５９でありうる。通気性支持層５９は、例えば、樹脂フィルム５１との熱溶着、接着剤による接着などの手法により配置される。
　防水通音膜３の面密度は、当該膜の強度、生産歩留まりおよび取付精度を含む取扱性、ならびに通音性の観点から、５～１００ｇ／ｍ2が好ましく、１０～５０ｇ／ｍ2がより好ましい。
　防水通音膜３には、着色処理が施されていてもよい。樹脂フィルム５１を構成する材料の種類によるが、着色処理を施していない防水通音膜３の色は、例えば、透明または白色である。このような防水通音膜３が筐体の通音口を塞ぐように配置された場合、当該膜３が目立つことがある。目立つ膜はユーザーの好奇心を刺激し、針などによる突き刺しによって防水通音膜としての機能が損なわれることがある。防水通音膜３に着色処理が施されていると、例えば、筐体の色と同色または近似の色を有する膜３とすることにより、相対的にユーザーの注目を抑えることができる。また、電子機器などの筐体のデザイン上、着色された防水通音膜が求められることがあり、着色処理により、このようなデザインの要求に応えることができる。
　着色処理は、例えば、樹脂フィルム５１を染色処理したり、樹脂フィルム５１に着色剤を含ませたりすることで実施できる。着色処理は、例えば、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光が吸収されるように実施してもよい。すなわち、防水通音膜３は、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム５１が、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する着色剤を含む、あるいは波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する染料によって染色されている。この場合、防水通音膜３を、青色、灰色、茶色、桃色、緑色、黄色などに着色できる。防水通音膜３は、黒色、灰色、茶色または桃色に着色処理されていてもよい。
　その着色の程度は、以下に示す白色度Ｗで示して１０．０～７０．０の範囲にあることが好ましい。白色度Ｗは、防水通音膜３の主面の明度Ｌ、色相ａおよび彩度ｂを、ＪＩＳ　Ｌ１０１５の規定（ハンター法）に準拠して色差計を用いて測定し、式Ｗ＝１００－ｓｑｒ［（１００－Ｌ）2＋（ａ2＋ｂ2）］により求めることができる。白色度Ｗの値が小さいほど、防水通音膜３の色が黒色になる。
　防水通音膜３の製造方法は特に限定されず、例えば、以下に説明する製造方法により製造できる。
　　（防水通音膜の製造方法）
　以下の製造方法では、原フィルムに対するイオンビームの照射とその後のエッチング（化学エッチング）とにより、樹脂フィルム５１を形成する。イオンビーム照射およびエッチングにより形成した樹脂フィルム５１は、撥液層５２を形成する工程、および必要に応じて着色処理あるいは通気性支持層５９を積層する工程などのさらなる工程を経て防水通音膜３とすることができる。
　イオンビーム照射およびその後のエッチングを用いる方法では、例えば、樹脂フィルム５１の貫通孔５３の径およびその均一度、ならびに中心線５６の延びる方向、孔密度、開口率、気孔率といった特性の制御が容易であり、すなわち、防水通音膜３の防水性および通音性の制御が容易となる。
　原フィルムは、イオンビーム照射およびエッチング後に防水通音膜３として使用する領域において、その厚さ方向に通気可能である経路を有さない非多孔質の樹脂フィルムである。原フィルムは、無孔のフィルムであってもよい。原フィルムが非多孔質の樹脂フィルムであることは、イオンビーム照射およびエッチングによって原フィルムに貫通孔５３を形成し、樹脂フィルム５１としたときに、当該フィルム５１の均一性および表面の平滑性を、例えば、メッシュなどの織物構造あるいは不織布構造などに比べて高くできることを意味し、これは、防水通音膜３および防水通音構造１の防水性および通音性の向上に寄与する。
　原フィルムにイオンビームを照射すると、当該フィルムにおけるイオンが通過した部分において、樹脂フィルムを構成するポリマー鎖にイオンとの衝突による損傷が生じる。損傷が生じたポリマー鎖は、イオンが衝突していない他の部分のポリマー鎖よりも化学エッチングされやすい。このため、イオンビームを照射した原フィルムを化学エッチングすることにより、イオンの衝突の軌跡に沿って延びる細孔（貫通孔）が形成された樹脂フィルムが得られる。すなわち、貫通孔５３の中心線５６の延びる方向は、イオンビーム照射時に原フィルムをイオンが通過した方向である。原フィルムにおけるイオンが通過していない部分には、通常、細孔は形成されない。
　原フィルムから樹脂フィルム５１を形成するこの方法は、イオンビームを原フィルムに照射する工程（Ｉ）と、イオンビーム照射後の原フィルムにおけるイオンが衝突した部分の少なくとも一部を化学エッチングして、イオンの衝突の軌跡（イオントラック）に沿って延びる貫通孔５３を当該フィルムに形成する工程（II）と、を含みうる。この方法では、図３に示すような、断面（中心線５６の延びる方向に垂直な断面）５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて一定またはほぼ一定である貫通孔５３を有する樹脂フィルム５１も、当該面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する樹脂フィルム５１も形成できる。前者の樹脂フィルム５１は、例えば、イオン照射後の原フィルムをそのまま化学エッチングして形成できる。原フィルムに形成されたイオントラックに相当する領域がエッチングにより除去されることから、化学エッチングの時間を十分にとることにより、断面５７の面積が一定またはほぼ一定の貫通孔５３が形成される。
　後者の樹脂フィルム５１は、例えば、工程（II）において、一方の主面からの上記部分のエッチングの程度が、他方の主面からの上記部分のエッチングの程度よりも大きい化学エッチングを実行して形成できる。より具体的な例として、イオン照射後の原フィルムにおける一方の主面にマスキング層を配置した状態で化学エッチングを実行して形成できる。この化学エッチングでは、マスキング層が配置された上記一方の主面からのエッチングに比べて、上記他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。このような非対称エッチング、より具体的には、イオン照射後の原フィルムにおける一方の主面からと他方の主面からとの間で進行速度が異なるエッチング、を実施することにより、中心線５６が延びる方向に垂直な断面５７の面積が樹脂フィルム５１の一方の主面から他方の主面に向けて増加する形状を有する貫通孔５３を形成できる。なお、マスキング層を配置しない前者の樹脂フィルム５１を形成する際のエッチングでは、イオンビーム照射後の原フィルムに対して、当該原フィルムの双方の主面から均等なエッチングが進行する。
　以下、工程（Ｉ）および（II）をより具体的に説明する。
　［工程（Ｉ）］
　工程（Ｉ）では、イオンビームを原フィルムに照射する。イオンビームは、加速されたイオンにより構成される。イオンビームの照射により、当該ビーム中のイオンが衝突した原フィルムが形成される。
　イオンビームを原フィルムに照射すると、図１０に示すように、ビーム中のイオン６１が原フィルム６２に衝突し、衝突したイオン６１は当該フィルム６２の内部に軌跡（イオントラック）６３を残す。被照射物である原フィルム６２のサイズスケールで見ると、通常、イオン６１はほぼ直線状に原フィルム６２と衝突するため、直線状に延びた軌跡６３が当該フィルム６２に形成される。イオン６１は、通常、原フィルム６２を貫通する。
　原フィルム６２にイオンビームを照射する方法は限定されない。例えば、原フィルム６２をチャンバーに収容し、チャンバー内の圧力を低くした後（例えば、照射するイオン６１のエネルギーの減衰を抑制するために高真空雰囲気とした後）、ビームラインからイオン６１を原フィルム６２に照射する。チャンバー内に特定の気体を加えてもよいし、原フィルム６２をチャンバーに収容するが当該チャンバー内の圧力を減圧せず、例えば大気圧でイオンビームの照射を実施してもよい。
　帯状の原フィルム６２が巻回されたロールを準備し、当該ロールから原フィルム６２を送り出しながら、連続的に原フィルム６２にイオンビームを照射してもよい。これにより、樹脂フィルム５１を効率的に形成できる。上述したチャンバー内に上記ロール（送出ロール）と、イオンビーム照射後の原フィルム６２を巻き取る巻取ロールとを配置し、減圧、高真空などの任意の雰囲気としたチャンバー内において送出ロールから帯状の原フィルム６２を送り出しながら連続的に当該フィルムにイオンビームを照射し、ビーム照射後の原フィルム６２を巻取ロールに巻き取ってもよい。
　原フィルム６２を構成する樹脂は、樹脂フィルム５１を構成する樹脂と同じであり、例えば、ＰＥＴ、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエチレンナフタレートおよびポリフッ化ビニリデンから選ばれる少なくとも１種である。これらの樹脂から構成される原フィルム６２は、イオン６１が衝突した部分の化学エッチングがスムーズに進行しながらも、その他の部分の化学エッチングが進行し難い特徴を有しており、原フィルム６２における軌跡６３に対応する部分の化学エッチングの制御が容易となる。このため、このような原フィルム６２の使用により、例えば、樹脂フィルム５１の貫通孔５３の形状の制御がより容易となる。
　原フィルム６２は２種以上の樹脂から構成されていてもよく、工程（Ｉ）および（II）を経て樹脂フィルム５１が形成される限り、樹脂以外の材料を含んでいてもよい。当該材料は、例えば、光安定剤、酸化防止剤などの添加剤、樹脂原料に由来するオリゴマー成分、金属酸化物（例えば白色顔料：アルミナ、酸化チタンなど）である。
　原フィルム６２の厚さは、例えば５～１００μｍである。工程（Ｉ）でのイオンビーム照射の前後によって、通常、原フィルム６２の厚さは変化しない。
　イオンビームを照射する原フィルム６２は、例えば、無孔のフィルムである。この場合、工程（Ｉ）および（II）以外に当該フィルムに孔を設けるさらなる工程を実施しない限り、工程（Ｉ）および（II）により形成された貫通孔５３以外の部分が無孔である樹脂フィルム５１を形成できる。当該さらなる工程を実施した場合、工程（Ｉ）および（II）により形成された貫通孔５３と、当該さらなる工程により形成された孔とを有する樹脂フィルム５１が形成される。
　原フィルム６２に照射、衝突させるイオン６１の種類は限定されないが、原フィルム６２を構成する樹脂との化学的な反応が抑制されることから、ネオンより質量数が大きいイオン、具体的にはアルゴンイオン、クリプトンイオンおよびキセノンイオンから選ばれる少なくとも１種のイオンが好ましい。
　イオン６１のエネルギー（加速エネルギー）は、典型的には１００～１０００ＭｅＶである。厚さ５～１００μｍ程度のポリエステルフィルムを原フィルム６２として使用する場合、イオン種がアルゴンイオンのときのイオン６１のエネルギーは１００～６００ＭｅＶが好ましい。原フィルム６２に照射するイオン６１のエネルギーは、イオン種および原フィルム６２を構成する樹脂の種類に応じて調整しうる。
　原フィルム６２に照射するイオン６１のイオン源は限定されない。イオン源から放出されたイオン６１は、例えば、イオン加速器により加速された後にビームラインを経て原フィルム６２に照射される。イオン加速器は、例えばサイクロトロン、より具体的な例はＡＶＦサイクロトロンである。
　イオン６１の経路となるビームラインの圧力は、ビームラインにおけるイオン６１のエネルギー減衰を抑制する観点から、１０-5～１０-3Ｐａ程度の高真空が好ましい。イオン６１を照射する原フィルム６２が収容されるチャンバーの圧力が高真空に達していない場合は、イオン６１を透過する隔壁によって、ビームラインとチャンバーとの圧力差を保持してもよい。隔壁は、例えば、チタン膜あるいはアルミニウム膜から構成される。
　イオン６１は、例えば、原フィルム６２の主面に垂直な方向から当該フィルムに照射される。図１０に示す例では、このような照射が行われている。この場合、軌跡６３が原フィルム６２の主面に垂直に延びるため、後の化学エッチングにより、主面に垂直な方向に中心線５６が延びる貫通孔５３が形成された樹脂フィルム５１が得られる。イオン６１は、原フィルム６２の主面に対して斜めの方向から当該フィルムに照射してもよい。この場合、後の化学エッチングにより、主面に垂直な方向から傾いた方向に中心線５６が延びる貫通孔５３が形成された樹脂フィルム５１が得られる。原フィルム６２に対してイオン６１を照射する方向は、公知の手段により制御できる。図４の角度θ１は、例えば、原フィルム６２に対するイオンビームの入射角により制御できる。
　イオン６１は、例えば、複数のイオン６１の飛跡が互いに平行となるように原フィルム６２に照射される。図１０に示す例では、このような照射が行われている。この場合、後の化学エッチングにより、互いに平行に延びる複数の貫通孔５３が形成された樹脂フィルム５１が形成される。
　イオン６１は、複数のイオン６１の飛跡が互いに非平行（例えば互いにランダム）となるように原フィルム６２に照射してもよい。これにより、例えば、図４～７に示すような樹脂フィルム５１が形成される。より具体的には、図４～７に示すような樹脂フィルム５１を形成するために、例えば、イオンビームを原フィルム６２の主面に垂直な方向から傾けて照射するとともに、連続的あるいは段階的に当該傾ける方向を変化させてもよい。なお、イオンビームは、複数のイオンが互いに平行に飛翔するビームであるため、同じ方向に延びる貫通孔５３の組が樹脂フィルム５１に通常存在する（同じ方向に延びる複数の貫通孔５３が樹脂フィルム５１に通常存在する）ことになる。
　連続的または段階的に当該傾ける方向を変化させる方法の例を図１１に示す。図１１に示す例では、帯状の原フィルム６２を送出ロール７１から送り出して所定の曲率を有する照射ロール７２を通過させ、当該ロール７２を通過する間にイオンビーム６４を照射し、照射後の原フィルム６２を巻取ロール７３に巻き取る。このとき、イオンビーム６４中のイオン６１は次々と互いに平行に飛翔してくるため、照射ロール７２上を原フィルム６２が移動するとともに原フィルム６２の主面に対してイオンビームが衝突する角度（入射角θ１）が変化することになる。そして、イオンビーム６４を連続的に照射すれば上記傾ける方向は連続的に変化し、イオンビーム６４を断続的に照射すれば上記傾ける方向は段階的に変化する。これは、イオンビームの照射タイミングによる制御ともいえる。また、イオンビーム６４の断面形状および原フィルム６２の照射面に対するイオンビーム６４のビームラインの断面積によっても、原フィルム６２に形成される軌跡６３の状態（例えば角度θ１）を制御できる。
　樹脂フィルム５１の孔密度は、原フィルム６２へのイオンビームの照射条件（イオン種、イオンのエネルギー、イオンの衝突密度（照射密度）など）により制御できる。
　イオン６１は、２以上のビームラインから原フィルム６２に照射してもよい。
　工程（Ｉ）は、原フィルム６２の主面、例えば上記一方の主面、にマスキング層が配置された状態で実施してもよい。この場合、例えば、当該マスキング層を工程（II）におけるマスキング層に利用できる。
　［工程（II）］
　工程（II）では、工程（Ｉ）においてイオンビームを照射した後の原フィルム６２におけるイオン６１が衝突した部分の少なくとも一部を化学エッチングして、イオン６１の衝突の軌跡６３に沿って延びる貫通孔５３を当該フィルムに形成する。このようにして得た樹脂フィルム５１における貫通孔５３以外の部分は、フィルムの状態を変化させる工程をさらに実施しない限り、基本的に、イオンビーム照射前の原フィルム６２と同じである。
　具体的なエッチングの手法は公知の手法に従えばよい。例えば、エッチング処理液に、イオンビーム照射後の原フィルム６２を所定の温度かつ所定の時間、浸漬すればよい。エッチング温度、エッチング時間、エッチング処理液の組成などのエッチング条件によって、例えば、貫通孔５３の径を制御できる。
　エッチングの温度は、例えば４０～１５０℃であり、エッチングの時間は、例えば１０秒～６０分である。
　化学エッチングに使用するエッチング処理液は特に限定されない。エッチング処理液は、例えば、アルカリ性溶液、酸性溶液、または酸化剤、有機溶剤および界面活性剤から選ばれる少なくとも１種を添加したアルカリ性溶液もしくは酸性溶液である。アルカリ性溶液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのような塩基を含む溶液（典型的には水溶液）である。酸性溶液は、例えば、硝酸、硫酸のような酸を含む溶液（典型的には水溶液）である。酸化剤は、例えば、重クロム酸カリウム、過マンガン酸カリウム、次亜塩素酸ナトリウムである。有機溶剤は、例えば、メタノール、エタノール、２－プロパノール、エチレングリコール、アミノアルコール、Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミドである。界面活性剤は、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキル硫酸塩である。
　工程（II）では、イオンビーム照射後の原フィルム６２の一方の主面にマスキング層を配置した状態で上記化学エッチングを実施してもよい。この化学エッチングでは、原フィルム６２におけるイオン６１が衝突した部分のエッチングについて、マスキング層を配置した上記一方の主面からのエッチングに比べて、他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。すなわち、原フィルム６２におけるイオン６１が衝突した部分のエッチングについて、当該フィルムの双方の主面からのエッチングが非対称的に進行する化学エッチング（非対称エッチング）が実施される。なお、「エッチングの程度が大きい」とは、より具体的には、例えば、上記部分について単位時間あたりのエッチング量が大きいこと、すなわち上記部分についてエッチング速度が大きいことを意味する。
　工程（II）では、原フィルム６２の一方の主面への、原フィルム６２におけるイオン６１が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難いマスキング層の配置により、当該一方の主面からの上記部分のエッチングを抑止しながら、原フィルム６２の他方の主面からの上記部分のエッチングを進行させる化学エッチングを実施してもよい。このようなエッチングは、例えば、マスキング層の種類および厚さの選択、マスキング層の配置、エッチング条件の選択などにより、実施できる。
　マスキング層の種類は特に限定されないが、原フィルム６２におけるイオン６１が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難い材料から構成される層であることが好ましい。「エッチングされ難い」とは、より具体的には、例えば、単位時間あたりにエッチングされる量が小さいこと、すなわち、被エッチング速度が小さいことを意味する。化学エッチングされ難いか否かは、工程（II）において実際に実施する非対称エッチングの条件（エッチング処理液の種類、エッチング温度、エッチング時間など）に基づいて判断できる。工程（II）において複数回の非対称エッチングを、マスキング層の種類および／または配置面を変えながら実施する場合、各エッチングの条件に基づいてそれぞれのエッチングについて判断すればよい。
　マスキング層は、原フィルム６２におけるイオン６１が衝突していない部分との対比では、当該部分よりも化学エッチングされ易くても、され難くても、いずれでもよいが、され難いことが好ましい。され難い場合、例えば、非対称エッチングの実施に必要なマスキング層の厚さを薄くすることができる。
　工程（Ｉ）において、マスキング層を配置した原フィルム６２にイオンビームを照射した場合、当該マスキング層にもイオントラックが形成される。これを考慮すると、マスキング層を構成する材料は、イオンビームの照射によってもそのポリマー鎖が損傷を受け難い材料であることが好ましい。
　マスキング層は、例えば、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコールおよび金属箔から選ばれる少なくとも１種から構成される。これらの材料は、化学エッチングされ難いとともに、イオンビームの照射によっても損傷を受け難い。
　マスキング層を配置して非対称エッチングを実施する場合、当該エッチングを実施する領域に相当する、原フィルム６２の一方の主面の少なくとも一部に配置すればよい。もちろん必要に応じて、原フィルム６２の一方の主面の全体に配置できる。
　原フィルム６２の主面にマスキング層を配置する方法は、非対称エッチングを実施する間、マスキング層が当該主面から剥離しない限り限定されない。マスキング層は、例えば、粘着剤により原フィルム６２の主面に配置される。すなわち工程（II）において、マスキング層が粘着剤によって上記一方の主面に貼り合わされた状態で、上記化学エッチングを（非対称エッチングを）実施してもよい。粘着剤によるマスキング層の配置は、比較的容易に行うことができる。また、粘着剤の種類を選択することにより、非対称エッチング後の原フィルム６２からのマスキング層の剥離が容易となる。
　工程（II）で非対称エッチングを実施する場合、当該エッチングを複数回実施してもよい。また、非対称エッチングとともに、原フィルム６２の双方の主面から均等に軌跡６３のエッチングを進行させる対称エッチングを併せて実施してもよい。例えば、エッチングの途中でマスキング層を原フィルム６２から剥離することにより、非対称エッチングから対称エッチングの進行に切り替えてもよい。あるいは、対称エッチングを実施した後に原フィルム６２にマスキング層を配置して、非対称エッチングを実施してもよい。
　工程（II）でマスキング層を用いた非対称エッチングを実施する場合、当該エッチング後のマスキング層は、必要に応じてその一部または全部を樹脂フィルム５１に残留させることができる。残留させたマスキング層は、例えば、樹脂フィルム５１における上記一方の主面（マスキング層を配置した主面）と上記他方の主面とを区別する目印として用いることができる。
　工程（II）において複数回のエッチングを実施する場合、各回のエッチングにおいてエッチング条件を変化させてもよい。
　樹脂フィルム５１の製造方法は、工程（Ｉ）、（II）以外の任意の工程を含んでいてもよい。
　防水通音構造１において、壁２への防水通音膜３の配置方法は、壁２の通音口１１を覆うように防水通音膜３が配置される限り、特に限定されない。壁２への防水通音膜３の配置には、両面テープを用いた貼付、熱溶着、高周波溶着、超音波溶着などの手法を採用でき、両面テープを用いた貼付が、当該両面テープを防水通音膜３の支持体にできること、防水通音膜３をより正確かつ確実に配置できること、などの理由から好ましい。
　防水通音膜３の支持体とは、当該膜３を補強するとともに、その取扱性を向上させる部材であり、例えば、防水通音膜３の周縁部に配置される部材である。防水通音膜３が当該膜３の主面に垂直な方向から見て円形である場合、支持体は、例えば、当該膜３の周縁部に接合されたリング状のシートである。支持体は、防水通音膜３の壁２への取り付けしろとすることができ、これにより、壁２へのより正確かつ確実な配置が可能となる。
　支持体の形状は限定されない。例えば、図１２に示すように、主面に垂直な方向から見た形状が円形である防水通音膜３の周縁部に接合された、リング状のシートである支持体８１であってもよいし、図１３に示すように、主面に垂直な方向から見た形状が矩形である防水通音膜３の周縁部に接合された、額縁状のシートである支持体８１であってもよい。
　図１２，１３に示すように、支持体８１の形状を防水通音膜３の周縁部の形状とすることによって、支持体８１の配置による防水通音膜３の通音性の低下が抑制される。また、シート状の支持体８１が、防水通音膜３の取扱性および配置性が向上する観点から好ましい。
　支持体８１を構成する材料は、例えば、樹脂、金属およびこれらの複合材料である。樹脂は、例えばポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＰＥＴ、ポリカーボネートなどのポリエステル；ポリイミドあるいはこれらの複合材である。金属は、例えばステンレスやアルミニウムのような耐蝕性に優れる金属である。
　支持体８１の厚さは、例えば５～５００μｍであり、２５～２００μｍが好ましい。また、取り付けしろとしての機能に着目すると、リング幅（額縁幅：外形と内径との差）は０．５～２ｍｍ程度が適当である。支持体８１には、上記樹脂からなる発泡体を使用してもよい。
　防水通音膜３と支持体８１との接合方法は特に限定されず、例えば、加熱溶着、超音波溶着、接着剤による接着、両面テープによる接着などの方法を採用できる。両面テープ自体を支持体にできることは、上述のとおりである。
　図１に示す例では、壁２における他方の空間１３側に防水通音膜３が配置されているが、防水通音構造１では一方の空間１２側に防水通音膜３が配置されていてもよい。壁２は、例えば電子機器の筐体であり、このとき、他方の空間１３は当該筐体の内部に位置する空間、一方の空間１２は電子機器の外部の空間である。壁２は、例えば、電子機器用ケースの筐体であり、このとき、他方の空間１３は電子機器を収容する当該ケース内の空間であり、一方の空間１２は電子機器用ケースの外部の空間である。
　壁２は、例えば、樹脂、金属、ガラスおよびこれらの複合材料により構成される。
　防水通音構造１では、防水通音膜３における通音口１１に対応する領域（図１に示す例では領域α）において、通気性支持層５９が存在せず、樹脂フィルム５１および／または撥液層５２が露出していてもよい。このとき、樹脂フィルム５１および／または撥液層５２は、防水通音膜３における一方の主面のみにおいて露出していても、双方の主面において露出していてもよい。この場合、防水通音構造１の防水性および通音性をさらに高いレベルで両立できる。防水通音膜３における、通音口１１に対応する領域以外の領域（図１に示す例では領域β）では、例えば、防水通音膜３が壁２に接合されている。壁２への接合は、支持体８１を介していてもよく、支持体８１の例は両面テープである。
　防水通音構造１では、例えば、周波数１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。また、周波数１００Ｈｚ以上３ｋＨｚ以下の音域における挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。防水通音構造１では、例えば、人の音声域の中央値と考えられる周波数１ｋＨｚにおける挿入損失を５ｄＢ以下、３ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下とすることができる。
　防水通音構造１では、例えば防水通音膜３の構成の選択、より具体的な例としては貫通孔５３の径、形状などの選択、によって、防水通音膜３の有効面積を減少させた場合においても良好な通音性を確保しうる。例えば、防水通音構造１における防水通音膜３の有効面積が４．９ｍｍ2以下であってもよい。有効面積を小さくしうるという有利な特徴は、例えば、防水通音構造１の省スペース化、および当該構造を備える電子機器の小型化および／または薄型化などのデザインおよび設計の自由度の向上に寄与する。防水通音膜３の有効面積とは、筐体の通音口を塞ぐように当該膜が配置された際に、実際に音が当該膜に入力し、当該膜を伝わって当該膜から音が出力される部分（有効部分）の面積であり、例えば、防水通音膜３を配置するために当該膜の周縁部に配置、形成された支持体や接合部などの面積分を含まない。有効面積は、典型的には、当該膜が配置された通音口の面積、あるいは、防水通音膜の周縁部に支持体が配置された防水通音部材では、当該支持体の開口部の面積でありうる。
　防水通音構造１では、例えば、当該構造１が備える防水通音膜３の有効面積が４．９ｍｍ2のとき（一例として、直径２．５ｍｍの円形であるとき）にも、上述した挿入損失の値を満たすことができる。もちろん、防水通音膜３の有効面積が小さい場合だけではなく大きい場合においても、より高いレベルでの防水性および通音性の両立を達成できるが、防水通音膜３の有効面積が小さい場合、あるいは小さくせざるを得ない場合に、防水通音構造１は特に有利となる。
　防水通音膜３が、図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する膜である場合、通常、貫通孔５３の径が相対的に大きな他方の主面５４ｂ側からの通音性が、当該径が相対的に小さな一方の主面５４ａ側からの通音性に比べて良好である。このとき、より良好である他方の主面５４ｂ側からの通音性が、挿入損失として上記範囲を満たしうる。
　防水通音膜３が、図８に示すように、断面５７の面積が一方の主面５４ａから他方の主面５４ｂに向けて増加する貫通孔５３を有する膜である場合、防水通音構造１における防水通音膜３の向きは限定されない。例えば、一方の空間１２に樹脂フィルム５１の主面５４ａ（貫通孔５３の径が相対的に小さな主面５４ａ）が向くように防水通音膜３が配置されていてもよい。この場合、より高い防水性と、他方の空間１３側からのより高い通音性とを実現できる。
　防水通音構造１は、防水性と通音性とを両立すべき任意の壁２における任意の通音口１１に形成できる。防水通音構造１を備える具体的な物品は限定されない。
　防水通音構造１２は、従来の防水通音構造と同様、様々な用途に適用可能である。
　［電子機器］
　本発明の電子機器の一例を図１４Ａに示す。図１４Ａに示す電子機器は、携帯電話の一種であるスマートフォンである。スマートフォン１０１の筐体１０２は、発音部および受音部の一種であるトランスデューサ―に近接して設けられた通音口１０３ａと、受音部の一種であるマイクに近接して設けられた通音口１０３ｂと、発音部の一種であるスピーカーに近接して設けられた通音口１０３ｃとを有する。各通音口１０３ａ～１０３ｃを介して、スマートフォン１０１の外部と、筐体１０２内に収容された音響部である音響部品（トランスデューサ―、マイクおよびスピーカー）との間で音が伝達される。図１４Ｂに示すように、スマートフォン１０１では、これらの通音口１０３ａ～１０３ｃを塞ぐように、防水通音膜３が支持体８１を介して内側から筐体１０２に取り付けられており、各通音口において防水通音構造１が形成されている。これにより、スマートフォン１０１の外部と各音響部との間で音を伝達できるとともに、外部から各通音口を介して筐体１０２の内部１０４に水が浸入することを防ぐことができる。
　図１４Ａ，Ｂに示す電子機器では、防水通音構造１において、壁２はスマートフォン１０１の筐体１０２であり、水が存在しうる一方の空間１２はスマートフォン１０１の（筐体１０２の）外部の空間、例えばスマートフォン１０１の所持者が生活を送っている空間、であり、他方の空間１３は、スマートフォン１０１の筐体１０２の内部１０４における音響部を含む空間であり、通音口１１は、音響部である各音響部品から、および／または当該音響部品へと音を伝達する通音口１０３ａ～１０３ｃである。図１４Ａ，Ｂに示す例において、音響部を含む空間は、スマートフォン１０１の筐体１０２の内部に位置する空間であり、他方の空間１３である当該空間の密閉容積からは、音響部品をはじめとする当該空間に配置された各部品が占める体積が除かれる。
　本発明の電子機器の別の一例を図１５Ａ，Ｂに示す。図１５Ａ，Ｂに示す電子機器は、図１４Ａ，Ｂに示す電子機器と同じくスマートフォン１１１である。図１５Ａ，Ｂに示すスマートフォン１１１は、筐体１０２の内部１０４に収容された音響部品１１２が、防水通音膜３を介して通音口１０３ａ～１０３ｃと密着するように配置されている以外は、図１４Ａ，Ｂに示すスマートフォン１０１と同様の構造を有する。図１５Ａ，Ｂに示す電子機器では、防水通音構造１において、壁２はスマートフォン１１１の筐体１０２であり、水が存在しうる一方の空間１２はスマートフォン１１１の（筐体１０２の）外部の空間であり、他方の空間１３は、スマートフォン１１１の筐体１０２の内部１０４に収容された各音響部品１１２のハウジング１１３内の空間であり、通音口１１は、音響部であるハウジング１１３内の音響素子から、および／または当該音響素子へと音を伝達する通音口１０３ａ～１０３ｃである。図１５Ａ，Ｂに示す例において、音響部を含む空間は、各音響部品１１２のハウジング１１３内の空間であり、他方の空間１３である当該空間の密閉容積からは、振動板といった当該空間に配置された各音響素子が占める体積が除かれる。
　防水通音構造１により、通音口における防水性および通音性のより高いレベルでの両立が達成される。また、防水通音膜３の選択により、例えば、当該膜３の有効面積が小さい場合にも良好な通音性を確保でき、スマートフォンをはじめとする電子機器の小型化および／または薄型化といった設計およびデザインの自由度の向上を達成できる。
　本発明の電子機器において、防水通音構造１を形成する場所は、電子機器内の音響部と電子機器の外部との間で音を伝達できる限り限定されない。
　筐体１０２は、樹脂、金属、ガラスおよびこれらの複合材料により構成される。スマートフォンおよびタブレットコンピューターのように、電子機器の表示部（例えば、液晶表示部の表面ガラス層）が筐体１０２の一部を構成していてもよい。
　本発明の電子機器は、スマートフォンに限られない。音響部を備え、外部と音響部との間で音を伝達する通音口が筐体に設けられ、当該通音口を介した水の内部への浸入を防ぐことが必要であり、防水通音膜３を当該通音口を塞ぐように配置して防水通音構造１を形成できる全ての種類の電子機器がこれに該当する。本発明の電子機器は、例えば、フィーチャーフォンおよびスマートフォンなどの携帯電話、タブレットコンピューター、ウェアラブルデバイス、ＰＤＡ、ゲーム機器、ノート型コンピューターなどのモバイルコンピューター、電子手帳、デジタルカメラ、ビデオカメラ、電子ブックリーダーである。
　［電子機器用ケース］
　本発明の電子機器用ケースの一例を図１６Ａに示す。図１６Ａに示すケース２０１には、当該ケース２０１に収容する電子機器の音響部と、ケース２０１の外部との間で音を伝達する通音口２０２ａ～２０２ｃが設けられている。図１６Ａに示すケース２０１は、図１４Ａに示すスマートフォン１０１とは異なるタイプのスマートフォンのケースであり、通音口２０２ａはスマートフォンの受話部に音を伝達するために、通音口２０２ｂはスマートフォンの送話部に音を伝達するために、通音口２０２ｃはスマートフォンのスピーカーから音を外部に伝達するために、それぞれ設けられている。各通音口２０２ａ～２０２ｃを介して、ケース２０１の外部と、ケース２０１内に収容されたスマートフォンの各音響部との間で音が伝達される。図１６Ｂに示すように、ケース２０１では、これらの通音口２０２ａ～２０２ｃを塞ぐように、防水通音膜３が支持体８１を介して内側からケース２０１に取り付けられており、各通音口において防水通音構造１が形成されている。これにより、ケース２０１の外部と各音響部との間で音を伝達できるとともに、外部から各通音口を介してケース２０１の内部２０３、ひいてはケース２０１に収容した電子機器の内部に水が浸入することを防ぐことができる。
　図１６Ａ，Ｂに示す電子機器用ケースでは、防水通音構造１において、壁２はケース２０１の筐体２０４であり、水が存在しうる一方の空間１２はケース２０１の（筐体２０４の）外部の空間、例えばケース２０１の所持者が生活を送っている空間、であり、他方の空間１３は、ケース２０１の（筐体２０４の）内部２０３における電子機器が収容される空間であり、通音口１１は、ケース２０１に収容された電子機器の音響部から、および／または音響部へと音を伝達する通音口２０２ａ～２０２ｃである。図１６Ａ，Ｂに示す例において、音響部を含む空間は、音響部を有する電子機器が収容される、ケース２０１の筐体２０４の内部２０３の空間であり、他方の空間１３である当該空間の密閉容積からは、ケース２０１に収容した電子機器を含め、ケース２０１の内部に存在する物品の占める体積が除かれる。ただし、ケース２０１に収容した状態で、電子機器の外部と当該機器の筐体の内部との間で空気が透過可能であるときは、他方の空間１３の密閉容積に、電子機器の筐体の内部の空間であって、ケース２０１内と連通可能な部分の容積が含まれることになる。他方の空間１３の密閉容積は、防水通音膜３および通音口１１に通じる空気が占める容積である。
　防水通音構造１の形成により、通音口における防水性および通音性のより高いレベルでの両立が達成できる。また、防水通音膜３の選択により、例えば、当該膜３の有効面積が小さい場合にも良好な通音性を確保でき、小型化および／または薄型化などが達成された設計およびデザインの自由度が高い電子機器に対応した電子機器用ケース２０１とすることができる。また。開口２０２ａ（２０２ｂ，２０２ｃ）の面積が小さい電子機器用ケース２０１とすることもでき、ケース２０１自体の設計およびデザインの自由度を向上できる。
　本発明の電子機器用ケースにおいて、防水通音構造１を形成する場所は、ケース内に収容された電子機器の音響部とケースの外部との間で音を伝達できる限り限定されない。
　電子機器用ケース２０１は、樹脂、金属、ガラスおよびこれらの複合材料により構成される。電子機器用ケース２０１は、本発明の効果が得られる限り、任意の構成を有することができる。例えば、図１６Ａに示すケース２０１は、スマートフォン用のケースであり、内部に収容するスマートフォンのタッチパネルを外部から操作できるフィルム２０５を備える。
　以下、実施例により、本発明をさらに具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
　最初に、実施例および比較例で作製した樹脂フィルム、防水通音膜および防水通音構造の評価方法を説明する。
　［貫通孔の開口径］
　樹脂フィルムの主面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し、得られたＳＥＭ像から任意に選択した１０の貫通孔の開口径を当該像から求め、その平均値を樹脂フィルムにおける貫通孔の開口径とした。
　［通気度］
　防水通音膜の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ　Ｌ１０９６の規定（通気性測定Ａ法：フラジール形法）に準拠して求めた。
　［耐水圧］
　防水通音膜の耐水圧は、ＪＩＳ　Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して求めた。ただし、この規定に示された試験片の面積では膜が著しく変形するため、ステンレスメッシュ（開口径２ｍｍ）を膜の加圧面の反対側に設置し、当該膜の変形をある程度抑制した状態で測定した。
　［白色度］
　防水通音膜の白色度Ｗは、その主面の明度Ｌ、色相ａおよび彩度ｂを、ＪＩＳ　Ｌ１０１５の規定に準拠した色差計（日本電色工業製、分光色差計ＳＥ６０００）により求め、得られた明度Ｌ、色相ａおよび彩度ｂから、式Ｗ＝１００－ｓｑｒ［（１００－Ｌ）2＋（ａ2＋ｂ2）］により求めた。
　［音響特性］
　作製した防水通音膜の通音性として、音響特性（音圧損失）を以下のように評価した。
　最初に、図１７Ａに示すように、携帯電話の筐体を模した模擬筐体９１（ポリスチレン製、外形６０ｍｍ×５０ｍｍ×２８ｍｍ）を準備した。模擬筐体９１には、スピーカーから出力した音を筐体の外部へと伝える通音口となるスピーカー取付穴９２（径が２．５ｍｍの円形）と、スピーカーケーブルの導通孔９３とが各々１箇所設けられている以外は開口がない。次に、径が５ｍｍの円形である通音口が形成されたウレタンスポンジ製の充填材９４にスピーカー９５（スター精密製、SCG-16A）を埋め込んで、筐体９１の内部に収容した。スピーカー９５のスピーカーケーブル９６は導通孔９３から筐体９１の外部に導き出し、その後、導通孔９３はパテで塞いだ。
　次に、ポリエチレン系の発泡体からなる両面テープ９７（日東電工製、No.57120B、厚さ０．２ｍｍ）、ＰＥＴフィルム９８（厚さ０．１ｍｍ）およびＰＥＴからなる両面テープ９９（日東電工製、No.5603、厚さ０．０３ｍｍ）を準備し、それぞれ、内径２．５ｍｍおよび外径５．８ｍｍのリング状に打ち抜き加工した。これとは別に、各実施例および比較例で作製した防水通音膜３００を直径５．８ｍｍの円形に打ち抜いた。次に、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９７、円形の防水通音膜３００、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９９、および内径２．５ｍｍのリング状のＰＥＴフィルム９８を、この順に、外形を揃えて積層し、音響特性評価用の防水通音部材Ａ（防水通音膜の有効面積が４．９ｍｍ2）を作製した（図１７Ｂを参照）。
　次に、作製した防水通音部材を、当該部材が備えるポリエチレン系発泡体の両面テープ９７を用いて、模擬筐体９１の外側に、通音口９２を防水通音膜３００が完全に覆うように取り付けて防水通音構造３０１を形成した。その際、防水通音膜３００と両面テープ９７との間、および両面テープ９７と模擬筐体９１との間に隙間ができないようにした。
　次に、スピーカケーブル９６とマイク（Knowles Acoustic製、Spm0405Hd4H-W8）とを音響評価装置（Ｂ＆Ｋ製、Multi-analyzer System　3560-B-030）に接続し、模擬筐体９１の通音口９２から２１ｍｍ離れた位置にマイクを配置した。次に、評価方式としてＳＳＲ分析（試験信号２０Ｈｚ～１０ｋＨｚ、sweep）を選択、実行し、防水通音膜３００の音響特性（ＴＨＤ、音圧損失）を評価した。音圧損失は、音響評価装置からスピーカー９５に入力した信号と、マイクロフォンを介して検出された信号とから、自動的に求められる。これとは別に、防水通音膜を配置しない状態で、同様にしてブランクの音圧損失を求めておき、防水通音膜を配置した際の音圧損失からブランクの音圧損失を引いたものを、当該防水通音膜の通音性である音圧損失（挿入損失）とした。挿入損失が小さいほど、防水通音膜を伝達される音の特性が確保されていると判断できる。これを、実施例および比較例で作製した防水通音膜について実施した。以下の表１には、周波数５ｋＨｚの挿入損失を示す。防水通音膜の挿入損失は、音域２０Ｈｚ～１０ｋＨｚでは、通常、周波数が高くなるほど大きくなる。このため、周波数５ｋＨｚの挿入損失は、１０Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における挿入損失の最大値に相当する。
　［防水通音構造］
　作製した防水通音膜を用いて防水通音構造を構築し、他の空間の密閉時の容積を変化させたときに当該構造が水に対する保護等級７級（ＩＰＸ７）を満たすか否かを評価した。評価方法は、以下のとおりである。
　（他方の空間の密閉容積が３００ｍｍ3以上の場合）
　図１８Ａに示すように、ＩＰＸ７評価用の治具３０２，３０３に、実施例および比較例で作製した防水通音膜３００を組み込んだ。具体的に、防水通音膜３００は、径２．０ｍｍの開口３０５が設けられたポリカーボネート製のプレート３０４に、当該開口を塞ぐようにリング状の両面テープ３０６で貼付された後、プレート３０４ごと、治具３０２，３０３およびＯリング３０７により固定された。両面テープ３０６の開口径は２．５ｍｍであり、すなわち、防水通音膜３００の有効面積は４．９ｍｍ2であった。治具３０２、プレート３０４、Ｏリング３０７および防水通音膜３００により囲まれた空間３０８が他の空間１３に相当する。当該空間の容積を、高さｈおよび幅ｗが異なる複数の治具３０２を用いることにより変化させて、同じ防水通音膜３００に対して、空間３０８の密閉時の容積を変化させたときに当該膜３００を用いた防水通音構造がＩＰＸ７を満たすか否かを、ＪＩＳ　Ｃ０９２０の規定に従い水深１ｍに３０分間浸漬させて評価した。この浸漬により、空間３０８側に水の浸入がなければ防水通音構造はＩＰＸ７を満たす。なお、水深１ｍの浸漬であることから、評価中、防水通音膜３００に加わる水圧は９．８ｋＰａである。
　（他方の空間の密閉容積が３００ｍｍ3未満の場合）
　図１８Ｂに示すように、ＩＰＸ７評価用の治具３０２，３０３に、実施例および比較例で作製した防水通音膜３００を組み込んだ。ただし、他方の空間の密閉容積が３００ｍｍ3以上の場合（図１８Ａの場合）とは異なり、防水通音膜３００を、径２．０ｍｍの開口３０５が設けられたポリカーボネート製のプレート３０４に当該開口を塞ぐようにリング状の両面テープ３０６で貼付した後、プレート３０４の防水通音膜３００を貼付した面に、所定の凹部（典型的には溝部）を一方の主面に有するポリカーボネート製のプレート３０９を、当該凹部に防水通音膜３００が収容されるように接合させた。そして、内部に防水通音膜３００が収容された一対のプレート３０４，３０９を、治具３０２，３０３およびＯリング３０７により固定した。両面テープ３０６の開口径は２．５ｍｍであり、すなわち、防水通音膜３００の有効面積は４．９ｍｍ2であった。プレート３０４，３０９および防水通音膜３００により囲まれた空間３０８が他の空間１３に相当する。当該空間の容積を、プレート３０９の凹部のサイズにより変化させて、同じ防水通音膜３００に対して、空間３０８の密閉時の容積を変化させたときに当該膜３００を用いた防水通音構造がＩＰＸ７を満たすか否かを、ＪＩＳ　Ｃ０９２０の規定に従い水深１ｍに３０分間浸漬させて評価した。この浸漬により、空間３０８側に水の浸入がなければ防水通音構造はＩＰＸ７を満たす。
　（実施例１）
　厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の市販のＰＥＴフィルム（it4ip製、Track etched membrane、厚さ５０μｍ）を準備した。当該フィルムの貫通孔の径は１０．６μｍ、孔密度は３．０×１０5個/ｃｍ2であった。
　次に、準備したＰＥＴフィルムを、８０℃に保持したエッチング処理液（水酸化カリウム濃度２０質量％の水溶液）に３０分浸漬した。エッチング終了後、処理液からフィルムを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜濾過水）に浸漬して洗浄した後、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥して、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムを得た。得られた樹脂フィルムの貫通孔の径は１３．０μｍであり、その中心軸の延びる方向に垂直な断面の面積は、当該フィルムの厚さ方向に一定であった。孔密度は、エッチング前後で同一であった。
　次に、作製した樹脂フィルムを撥液処理液に３秒浸漬した後、常温で３０分間放置して乾燥させ、当該フィルムの表面および貫通孔の内周面に撥液層を形成して、防水通音膜を得た。撥液処理液は、撥液剤（信越化学製、Ｘ－７０－０２９Ｃ）を濃度０．７重量％となるように希釈剤（信越化学製、ＦＳシンナー）で希釈して調製した。
　このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（実施例２）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理液に浸漬する時間を２０分に変更した以外は実施例１と同様にして防水通音膜を得た。エッチング処理液への浸漬時間を変更することにより、作製した樹脂フィルムが有する貫通孔の径が変化する。
　このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（実施例３）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理しなかった以外は実施例１と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（実施例４）
　厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の市販のＰＥＴフィルム（it4ip製、Track etched membrane、厚さ４５μｍ）を準備した。当該フィルムの貫通孔の径は３．０μｍ、孔密度は２．０×１０6個/ｃｍ2であった。
　次に、準備したＰＥＴフィルムを、８０℃に保持したエッチング処理液（水酸化カリウム濃度２０質量％の水溶液）に３０分浸漬した。エッチング終了後、処理液からフィルムを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜濾過水）に浸漬して洗浄した後、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥して、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムを得た。得られた樹脂フィルムの貫通孔の径は５．９μｍであり、その中心軸の延びる方向に垂直な断面の面積は、当該フィルムの厚さ方向に一定であった。孔密度は、エッチング前後で同一であった。
　次に、乾燥後の樹脂フィルムを分散染料を用いて染色した。染色後のフィルムは、肉眼では黒色であった。
　次に、作製した黒色フィルムを、実施例１で使用したものと同じ撥液処理液に３秒浸漬した後、常温で３０分間放置して乾燥させ、当該フィルムの表面および貫通孔の内周面に撥液層を形成して、防水通音膜を得た。
　このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（比較例１）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理液に浸漬する時間を４０分に変更した以外は実施例１と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（比較例２）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理液に浸漬する時間を２０分に変更した以外は実施例４と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（比較例３）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理せず、分散染料による染色も行わなかった以外は実施例４と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（比較例４）
　準備したＰＥＴフィルムを、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の市販のＰＥＴフィルム（it4ip製、Track etched membrane、厚さ３０μｍ）とした以外は実施例２と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。なお、準備したＰＥＴフィルムの貫通孔の径は１．０μｍ、孔密度は３．０×１０7個/ｃｍ2であった。
　（比較例５）
　準備したＰＥＴフィルムをエッチング処理しなかった以外は比較例４と同様にして防水通音膜を得た。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
　（比較例６）
　市販のメッシュフィルム（Nittoku製、Smartmesh-P　１８０/４６０－２７、厚さ４３μｍ）を準備した。当該フィルムの開口径は４０μｍであった。準備したメッシュに対して実施例１と同様に撥液処理を実施して防水通音膜とした。このようにして得た防水通音膜および当該膜を用いて形成した防水通音構造の特性を以下の表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムから構成され、貫通孔の径が５．０μｍ以上１３．０μｍ以下である防水通音膜を用いた実施例１～４の防水通音構造では、当該構造に用いた防水通音膜の固有耐水圧が、ＩＰＸ７の評価中に当該膜に加わる水圧である９．８ｋＰａよりも低いにもかかわらず、他の空間（空間３０８）の容積が所定の値以下になることによりＩＰＸ７が実現した。その容積は、防水通音膜の固有耐水圧が２．４ｋＰａの実施例１で５ｍｍ3以下、４．０ｋＰａの実施例２で１０ｍｍ3以下、６．５ｋＰａの実施例３で２００ｍｍ3以下、８．５ｋＰａの実施例４で３００ｍｍ3以下であった。
　一方、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムから構成されるが貫通孔の径が１５．０μｍである防水通音膜を用いた比較例１では、他の空間の容積を５ｍｍ3としたときもＩＰＸ７は実現しなかった。また、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂フィルムから構成されるが貫通孔の径が５．０μｍ未満である防水通音膜を用いた比較例２～５では、他の空間の容積にかかわらずＩＰＸ７が実現したが、そもそもこれらの防水通音膜の固有耐水圧は９．８ｋＰａを超えていた。そして、比較例２～５の防水通音膜では、実施例１～４に比べて挿入損失が大きく増加した。また、メッシュ構造を有する防水通音膜を用いた比較例６では、挿入損失が１７．８ｄＢと非常に大きかった。
　本発明は、その意図および本質的な特徴から逸脱しない限り、他の実施形態に適用しうる。この明細書に開示されている実施形態は、あらゆる点で説明的なものであってこれに限定されない。本発明の範囲は、上記説明ではなく添付したクレームによって示されており、クレームと均等な意味および範囲にあるすべての変更はそれに含まれる。
　本発明の防水通音構造は、通音性を確保しながら水の透過を防ぐことが要求される任意の物品に使用できる。

Claims (12)

  1. 　２つの空間を隔てるとともに、当該２つの空間の間で音を伝達する通音口が設けられた壁と、
    　前記通音口を塞ぐように配置された、前記２つの空間の間で音を伝達するとともに、水が存在しうる一方の前記空間から前記通音口を介して他方の前記空間に水が浸入することを防ぐ防水通音膜と、を備える防水通音構造であって、
    　前記他方の空間は、前記一方の空間が水で満たされたときに、容積が３００ｍｍ3以下の密閉空間となるように構成され、
    　前記防水通音膜が、
    　　厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、非多孔質の樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの主面上に形成された、前記複数の貫通孔と対応する位置に開口を有する撥液層と、を備え、
    　　前記貫通孔の径が５．０μｍ以上１３．０μｍ以下の防水通音膜である、
    　防水通音構造。
  2. 　前記防水通音構造の耐水圧が、前記通音口に配置された前記防水通音膜の耐水圧であってＪＩＳ　Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して測定した耐水圧を超える請求項１に記載の防水通音構造。
  3. 　ＪＩＳ　Ｃ０９２０に規定されている水の浸入に対する保護等級７級を満たす請求項１に記載の防水通音構造。
  4. 　前記防水通音膜の前記耐水圧が３．０ｋＰａ以上９．８ｋＰａ未満であり、
    　前記容積が１０ｍｍ3以下である請求項３に記載の防水通音構造。
  5. 　前記防水通音膜の前記耐水圧が２．０ｋＰａ以上３．０ｋＰａ未満であり、
    　前記容積が５ｍｍ3以下である請求項３に記載の防水通音構造。
  6. 　前記防水通音膜の有効面積が４．９ｍｍ2以下である請求項１に記載の防水通音構造。
  7. 　前記防水通音膜が、ＪＩＳ　Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数で示して、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１２０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下の通気度を厚さ方向に有する請求項１に記載の防水通音構造。
  8. 　１００Ｈｚ以上５ｋＨｚ以下の音域における前記防水通音構造の挿入損失が２ｄＢ以下である請求項１に記載の防水通音構造。
  9. 　前記防水通音膜に、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する着色処理が施されている請求項１に記載の防水通音構造。
  10. 　前記防水通音膜が、黒色、灰色、茶色または桃色に着色されている請求項１に記載の防水通音構造。
  11. 　音響部を有する電子機器であって、
    　請求項１～１０のいずれかに記載の防水通音構造を備え、
    　前記防水通音構造において、
    　　前記壁は、前記電子機器の筐体であり、
    　　前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり、
    　　前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記音響部を含む空間であり、
    　　前記通音口は、前記音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である、電子機器。
  12. 　音響部を有する電子機器を収容する電子機器用ケースであって、
    　請求項１～１０のいずれかに記載の防水通音構造を備え、
    　前記防水通音構造において、
    　　前記壁は、前記ケースの筐体であり、
    　　前記一方の空間は、前記筐体の外部の空間であり、
    　　前記他方の空間は、前記筐体の内部における前記電子機器が収容される空間であり、
    　　前記通音口は、前記ケースに収容された前記電子機器の音響部からおよび／または前記音響部へと音を伝達する通音口である、電子機器用ケース。
     
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