CN107849280A - 聚合物树脂薄膜和具备该聚合物树脂薄膜的透气膜、透声膜、声阻体、透气膜构件、透声膜构件、声阻体构件和声学设备以及聚合物树脂薄膜的制造方法 - Google Patents

聚合物树脂薄膜和具备该聚合物树脂薄膜的透气膜、透声膜、声阻体、透气膜构件、透声膜构件、声阻体构件和声学设备以及聚合物树脂薄膜的制造方法 Download PDF

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Abstract

本公开的聚合物树脂薄膜具有沿厚度方向延伸的多个通孔。通孔贯穿树脂薄膜的基质结构。在薄膜的两个主面上形成有多个通孔的开口，通孔具有与该通孔延伸的方向垂直的截面的面积从薄膜的一个主面到另一个主面不变化或者从一个主面向另一个主面增大的形状。在上述一个主面上，开口的直径为3μm以上且80μm以下，该主面的基于开口的孔隙率的变动为10％以下，开口的密度(个数/cm2)的变动为1000个/cm2以下。本公开的聚合物树脂薄膜为在厚度方向上具有透气性的聚合物膜，透气性的变动小于现有的膜。

Description

聚合物树脂薄膜和具备该聚合物树脂薄膜的透气膜、透声膜、 声阻体、透气膜构件、透声膜构件、声阻体构件和声学设备以 及聚合物树脂薄膜的制造方法
技术领域
本发明涉及在厚度方向上具有透气性的聚合物树脂薄膜、和具备该聚合物树脂薄膜的透气膜、透声膜、声阻体、透气膜构件、透声膜构件、声阻体构件和声学设备。另外，本发明涉及这样的聚合物树脂薄膜的制造方法。
背景技术
在厚度方向上具有透气性的聚合物膜被用于透气膜和透声膜等各种用途中。在厚度方向上进一步不具有透水性(水透过性)的聚合物膜能够用于同时要求防水性的用途例如防水透气膜和/或防水透声膜。作为前者的聚合物膜，例如代表性地为无纺布。无纺布是使长纤维或短纤维缠结而不编织而得到的膜。对于无纺布而言，以沿着随机缠结的纤维间的空隙前进的方式空气沿其厚度方向流通。
作为在厚度方向上具有透气性的其它聚合物膜，存在具有通过拉伸而产生的无数的孔的分散结构的拉伸多孔膜。在专利文献1中，公开了包含聚四氟乙烯(PTFE)或超高分子量聚乙烯的拉伸多孔膜的防水透气膜。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-318557号公报
发明内容
发明所要解决的问题
对于在厚度方向上具有透气性的聚合物膜而言，期望该透气性的变动小。特别是对于收容在电子设备中使用的聚合物膜而言，这样使用时有时必须减小膜的尺寸，从提高电子设备的与该膜相关的特性以及提高电子设备的品质和生产率的观点出发，特别期望透气性的变动小。对于通过沿着随机缠结的纤维间的空隙前进而使空气流通的无纺布而言，其结构上透气性的变动大。对于具有通过拉伸而产生的无数的孔的分散结构的拉伸多孔膜而言，与无纺布相比透气性的变动减小，但是要求进一步降低。
本发明的目的之一在于提供一种聚合物膜，其为在厚度方向上具有透气性的聚合物膜，且透气性的变动小于现有的膜。
用于解决问题的手段
本发明的聚合物膜为具有沿厚度方向延伸的多个通孔的聚合物树脂薄膜。上述通孔贯穿上述树脂薄膜的基质结构。在上述薄膜的两个主面上形成有上述多个通孔的开口。上述通孔具有与该通孔延伸的方向垂直的截面的面积从上述薄膜的一个主面到另一个主面不变化或者从上述一个主面向另一个主面增大的形状。在上述一个主面上，上述开口的直径为3μm以上且80μm以下，的该主面基于上述开口的孔隙率的变动为10％以下，并且上述开口的密度(个数/cm2)的变动为1000个/cm2以下。
本发明的透气膜具备上述本发明的聚合物树脂薄膜。
本发明的透气膜构件具备上述本发明的透气膜和与上述透气膜接合的支撑体。
本发明的透声膜具备上述本发明的聚合物树脂薄膜。
本发明的透声膜构件具备上述本发明的透声膜和与上述透声膜接合的支撑体。
本发明的声阻体具备上述本发明的聚合物树脂薄膜。
本发明的声阻体构件具备上述本发明的声阻体和与上述声阻体接合的支撑体。
本发明的声学装置具备上述本发明的声阻体，其为耳机(earphone)、耳机单元(earphone unit)、头戴式耳机(headphone)、头戴式耳机单元(headphone unit)、耳麦(headset)、耳麦单元(headset unit)、听筒、助听器或可穿戴终端。
本发明的聚合物树脂薄膜的制造方法为上述本发明的聚合物树脂薄膜的制造方法，其包括通过对原始薄膜照射激光而在上述原始薄膜中形成上述多个通孔的工序。
发明效果
根据本发明，可以得到一种聚合物树脂薄膜，其为在厚度方向上具有透气性的聚合物膜，且透气性的变动小于现有的膜。
附图说明
图1是示意性地示出本发明的聚合物树脂薄膜的一例的俯视图。
图2是示意性地示出本发明的聚合物树脂薄膜所具有的通孔的一例的剖视图。
图3是示意性地示出本发明的聚合物树脂薄膜所具有的通孔的另一例的剖视图。
图4是示意性地示出本发明的聚合物薄膜的另一例的剖视图。
图5是示意性地示出本发明的透气膜构件的一例的透视图。
图6是示意性地示出本发明的透气膜构件的另一例的透视图。
图7是示意性地示出具备本发明的声阻体的声学设备的一例的分解透视图。
图8是示出实施例1中评价的本发明的树脂薄膜的一个主面的孔隙率与厚度方向的透气度的关系的图。
图9是用于说明在实施例中进行的树脂薄膜的透气性变动率的测定中样品的测定点的图。
图10A是示意性地示出实施例中用于评价树脂薄膜的插入损耗的模拟壳体和该壳体中的扬声器的配置的剖视图。
图10B是示意性地示出实施例中为了评价树脂薄膜的插入损耗而制作的试样和将该试样配置于模拟壳体的状态的剖视图。
图11是示出实施例3中评价的树脂薄膜(厚度25μm)的插入损耗的结果的图。
图12是示出实施例3中评价的树脂薄膜(厚度12μm)的插入损耗的结果的图。
具体实施方式
本公开的第1方式提供一种聚合物树脂薄膜，其为具有沿厚度方向延伸的多个通孔的聚合物树脂薄膜，其中，上述通孔贯穿上述树脂薄膜的基质结构；在上述薄膜的两个主面上形成有上述多个通孔的开口；上述通孔具有与该通孔延伸的方向垂直的截面的面积从上述薄膜的一个主面到另一个主面不变化或者从上述一个主面向另一个主面增大的形状；在上述一个主面上，上述开口的直径为3μm以上且80μm以下，的该主面的基于上述开口的孔隙率的变动为10％以下，并且上述开口的密度(个数/cm2)的变动为1000个/cm2以下。
本公开的第2方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式的基础上，上述开口相互间隔且独立地形成在上述两个主面上。
本公开的第3方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式或第2方式的基础上，上述聚合物树脂薄膜的基质结构为非多孔结构。
本公开的第4方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第3方式中的任一方式的基础上，以依据JIS L1096的规定测定的弗雷泽(Frazier)数表示，厚度方向的透气度为1cm3/(cm2·秒)以上且150cm3/(cm2·秒)以下。
本公开的第5方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第4方式中的任一方式的基础上，厚度方向的透气度的变动率为8％以下。
本公开的第6方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第5方式中的任一方式的基础上，有效面积为4.9mm2时，频率5kHz下的声压损失为5dB以下。
本公开的第7方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第6方式中的任一方式的基础上，上述一个主面的孔隙率为0.5％～50％。
本公开的第8方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第7方式中的任一方式的基础上，在上述两个主面上，上述多个通孔的开口形成于与在上述各主面上假想的网格的顶点对应的位置。
本公开的第9方式提供一种聚合物树脂薄膜，其中，在第1方式～第8方式中的任一方式的基础上，所述聚合物树脂薄膜进行了拒液处理。
本公开的第10方式提供一种透气膜，其具备第1方式～第9方式中的任一方式的聚合物树脂薄膜。
本公开的第11方式提供一种透气膜构件，其具备第10方式的透气膜和与上述透气膜接合的支撑体。
本公开的第12方式提供一种透声膜，其具备第1方式～第9方式中的任一方式的聚合物树脂薄膜。
本公开的第13方式提供一种透声膜构件，其具备第12方式的透声膜和与上述透声膜接合的支撑体。
本公开的第14方式提供一种声阻体，其具备第1方式～第9方式中的任一方式的聚合物树脂薄膜。
本公开的第15方式提供一种声阻体构件，其具备第14方式的声阻体和与上述声阻体接合的支撑体。
本公开的第16方式提供一种声学设备，其具备第14方式的声阻体，该声学设备为耳机、耳机单元、头戴式耳机、头戴式耳机单元、耳麦、耳麦单元、听筒、助听器或可穿戴终端。
本公开的第17方式提供一种聚合物树脂薄膜的制造方法，其为第1方式～第9方式中的任一方式的聚合物树脂薄膜的制造方法，其包括通过对原始薄膜照射激光而在上述原始薄膜中形成上述多个通孔的工序。
[聚合物树脂薄膜]
图1、图2中示出本发明的聚合物树脂薄膜的一例。图2示出图1所示的聚合物树脂薄膜1的包含通孔12的截面。如图1、图2所示，树脂薄膜1具有沿其厚度方向延伸的多个通孔12。通孔12以直线状延伸，与其延伸方向垂直的截面的面积从树脂薄膜1的一个主面2到另一个主面3大致恒定。在图1、图2所示的例子中，上述多个通孔12的开口13(13a、13b)相互间隔且独立地形成在树脂薄膜的两个主面2、3上。通孔12贯穿树脂薄膜1的基质结构。换言之，通孔12具有与树脂薄膜1的基质不同的结构。在图1、图2所示的例子中，树脂薄膜1为除了通孔12以外不具有在其厚度方向上可透气的通路的非多孔薄膜，典型地为除了通孔12以外无孔的(实心的)薄膜。即，图1、图2所示的树脂薄膜1的基质结构为非多孔结构，通孔12贯穿该非多孔结构。在树脂薄膜1的一个主面2上，通孔12的直径为3μm以上且80μm以下。关于基于通孔12的开口13a的一个主面2的孔隙率，其变动为10％以下。在一个主面2上，开口13a的密度(个数/cm3)的变动为1000个/cm2以下。
通孔12可以具有与其延伸方向垂直的截面的面积从树脂薄膜1的一个主面2向另一个主面3增大的形状(参见图3)。这样的通孔12是截面沿该通孔12延伸的方向变化的、在树脂薄膜1的厚度方向上具有不对称形状的通孔。此时，一个主面2上的通孔12的开口13a直径相对较小，另一个主面3上的通孔12的开口13b的直径相对较大。在这种情况下，在树脂薄膜1的一个主面2上，通孔12的直径也为3μm以上且80μm以下，孔隙率的变动也为10％以下，开口13a的密度的变动也为1000个/cm2以下。另外，此时，上述截面的面积既可以从一个主面2向另一个主面3连续地增大，也可以阶段性地增大(即，可以存在该面积恒定的区域)。在一个实施方式中，上述截面的面积连续地增大，其增大率大致恒定或恒定。根据后述的制造方法，能够形成具有截面的面积从一个主面2向另一个主面3连续地增大并且其增大率大致恒定或恒定的通孔12的树脂薄膜1。
这样的树脂薄膜1的结构与现有的聚合物膜完全不同。例如，对于无纺布而言，空气以沿着随机缠结的纤维间的空隙前进的方式沿其厚度方向流通。对于拉伸多孔膜而言，处于在整个膜中三维分散且相互连接的状态的无数的孔形成透气路径。另一方面，树脂薄膜1具有上述构成。因此，形成如下聚合物膜：其为在厚度方向上具有透气性的聚合物膜，且透气性的变动小于现有的膜。
另外，对于这样的树脂薄膜1而言，通孔12以贯穿树脂薄膜1的基质结构的方式形成，因此，能够更高精度且高均匀性地控制通孔12的形状(包括截面形状、截面的面积的变化的状态等)、通孔12的直径(开口13a、13b的直径)、主面2上的开口13a的密度等。这也有助于树脂薄膜1的透气性的变动小，还有助于与树脂薄膜1的用途对应的该薄膜的特性控制的自由度高、例如树脂薄膜1的特性的提高。对于现有的聚合物膜而言，其结构上不能进行如此高精度、均匀性高的控制，因此，不能得到像树脂薄膜1这样的特性控制的自由度高。特性控制的自由度高是指：例如，对于透气膜而言透气性的控制的自由度高、对于透声膜而言透声性的控制的自由度高、对于防水透气膜而言防水性和透气性的控制的自由度高、对于防水透声膜而言防水性和透声性的控制的自由度高、对于声阻体而言透过该声阻体的声音的特性的控制的自由度高。更具体的例子是实现高透气性、实现高透声性、以更高水平兼顾防水性和透气性、以更高水平兼顾防水性和透声性、防尘性和透过声阻体的声音的特性的控制性高。
关于通孔12，“上述截面的面积大致恒定(上述截面的面积不变化)”不一定要求该面积严格地恒定。允许树脂薄膜1的制造方法上无法避免的程度的面积的变动。
对于树脂薄膜1而言，一个主面2上的通孔12的开口13a的直径为3μm以上且80μm以下。在该范围内，与具有同等的平均孔径的现有的膜相比，能够减小树脂薄膜1的透气性的变动的效果提高。另外，在该范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度提高，作为更具体的例子，树脂薄膜1的特性提高。树脂薄膜1的特性是指例如选自上述的透气性、透声性(例如，由树脂薄膜1引起的声压的插入损耗)、防水性、防尘性和透过的声音的特性中的至少一种。未必这些所有特性同时提高。另外，在使用树脂薄膜1的用途中，未必要求这些所有特性或这些所有特性的提高。通孔12的开口13a的直径超过80μm时，例如，树脂薄膜1的防尘性降低。
一个主面2上的通孔12的开口13a的直径优选为10μm以上且50μm以下、更优选为15μm以上且30μm以下。该直径的优选的范围根据树脂薄膜1的用途而变化。例如，作为防水透气膜或防水透声膜使用时，从确保其防水性的观点出发，例如，该直径的上限可以为15μm以下、优选可以为14μm以下、更优选可以为10μm以下。在不要求防水性的情况下，从树脂薄膜1的生产率的观点出发，一个主面2上的通孔12的开口13a的直径的下限可以为10μm以上、进一步可以为20μm以上。
一个主面2上的通孔12的开口13a的直径与一个主面2的平均孔径的概念不同。对于树脂薄膜1而言，一个主面2上存在的全部通孔12的开口13a的直径、或者在树脂薄膜1的有效部分(能够作为该薄膜的用途使用的部分)中的一个主面2上存在的全部通孔12的开口13a的直径可以落入上述范围内。
通孔12的上述截面的形状和开口13的形状没有特别限定，例如为圆形或椭圆形。此时，这些形状无需为严格的圆形或椭圆形，例如，允许后述的制造方法中无法避免的稍微的形状的变形。需要说明的是，在这些形状为圆形或椭圆形、并且上述截面的面积从一个主面2向另一个主面3以大致恒定或恒定的增大率增大的情况下，通孔12的形状为圆锥或椭圆锥或它们的一部分。根据后述的制造方法，能够形成具备这样的通孔12的树脂薄膜1。
对于通孔12，将将开口13的形状视为圆形时的该圆形的直径、换言之具有与开口13的截面积(开口面积)相同面积的圆形的直径设为开口13的直径。对于树脂薄膜1的一个主面2上的通孔12的开口13a的直径而言，无需在该主面2上存在的全部开口13a一致，但是优选在树脂薄膜1的有效部分中能够实质上视为相同值的程度(例如，标准偏差为平均值的10％以下)地一致。根据后述的制造方法，能够形成如此开口13a的直径一致的树脂薄膜1。
根据树脂薄膜1的制造方法，有时在主面2和/或主面3上的开口13的周围形成“毛刺”。在判断开口13的直径等基于开口13的树脂薄膜1的各特征时，不考虑毛刺而仅根据开口13进行判断。
对于树脂薄膜1而言，基于开口13a的一个主面2的孔隙率的变动为10％以下。在该范围内，与现有的膜相比能够减小树脂薄膜1的透气性的变动的效果提高。另外，在该范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度提高，作为更具体的例子，树脂薄膜1的特性提高。树脂薄膜1的主面的孔隙率可以通过在该主面上存在的全部通孔12的开口13的面积的合计相对于主面的面积之比来求出。一个主面2上的该孔隙率的变动可以为8％以下、进一步可以为5％以下。
对于树脂薄膜1而言，一个主面2上的开口13a的密度的变动为1000个/cm2以下。在该范围内，与现有的膜相比能够减小树脂薄膜1的透气性的变动的效果提高。另外，在该范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度提高，作为更具体的例子，树脂薄膜1的特性提高。一个主面2上的该密度的变动可以为500个/cm2以下、200个/cm2以下、进一步可以为100个/cm2以下。
在树脂薄膜1中，规定了一个主面2上的这些开口13a的直径、孔隙率的变动以及开口13a的密度的变动，这是基于该主面2上的开口13a的直径与另一个主面3上的开口13b的直径相等或为其以下。更具体而言，这是基于树脂薄膜1的透气性和透气性的变动受到具有相对较小的直径的开口13a的强烈影响。
在图1、图2所示的例子中，多个通孔12的开口13相互间隔且独立地形成在树脂薄膜1的两个主面2、3上。换言之，在图1、图2所示的例子中，不同通孔12的开口13在树脂薄膜1的主面2、3上不重叠。至少在树脂薄膜1的有效部分中实现形成这样的开口13的情况下，能够更高精度、高均匀性地控制通孔12的形状、通孔12的直径(开口13a、13b的直径)、主面2上的开口13a的密度等。作为这种情况的更具体的例子，开口13形成于与在各主面2、3上假想的网格的顶点对应的位置。根据后述的制造方法，能够比较容易地在与假想的网格的顶点对应的位置形成通孔12和开口13。通过这样的开口13的配置，形成开口13间的间隔(间距)的变动小、透气性的变动更小的树脂薄膜1。
假想的网格没有特别限定，例如为斜方网格、六方网格、正方网格、矩形网格、菱形网格。各自的网格的网孔的形状为平行四边形、六边形、正方形、长方形、菱形(面心长方形)。在图1、图2所示的树脂薄膜中，在与在各主面2、3上假想的正方网格的顶点对应的位置形成通孔12的开口13。此时，在主面2、3上的相互正交的两个方向上(例如，在树脂薄膜的MD方向和TD方向上)，多个开口13以相等的间隔排列。
对于本发明的树脂薄膜而言，在树脂薄膜1的主面2和/或主面3上，不同通孔12的开口13也可以相互重叠地形成。这样的开口13例如有时在使通孔12间的间隔变窄的情况下形成。重叠例如为相邻的通孔12的端部彼此的重叠。
树脂薄膜1可以具有以依据JIS L1096的规定测定的弗雷泽数(以下，简称为“弗雷泽数”)表示为1cm3/(cm2·秒)以上且150cm3/(cm2·秒)以下的透气度作为其厚度方向的透气度。在这种情况下，树脂薄膜1的特性控制的自由度进一步提高，作为具体的一例，能够进一步提高树脂薄膜1的特性。
对于树脂薄膜1而言，厚度方向的透气度(以弗雷泽数表示的透气度)的变动率可以为8％以下，根据树脂薄膜1的构成，可以为7％以下、进一步可以为6％以下。通过厚度方向的透气度的变动率在这样的范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度进一步提高，作为具体的一例，能够进一步提高树脂薄膜1的特性。透气度的变动率通过在树脂薄膜1中的任选的5个点测定的弗雷泽透气度的标准偏差σ相对于平均值Av之比σ/Av而得到。
对于树脂薄膜1而言，一个主面2的孔隙率例如为0.5％～50％、优选为2％～40％、更优选为5％～35％。通过一个主面2的孔隙率在这样的范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度进一步提高，作为具体的一例，能够进一步提高树脂薄膜1的特性。
对于树脂薄膜1而言，一个主面2上的开口的密度例如为1×103(个/cm2)以上，更具体的例子为1×104(个/cm2)以上且5×105(个/cm2)以下、优选为1.2×104(个/cm2)以上且4×105(个/cm2)以下、更优选为1.4×104(个/cm2)以上且3×105(个/cm2)以下。通过一个主面2上的开口的密度在这样的范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度进一步提高，作为具体的一例，能够进一步提高树脂薄膜1的特性。
在通孔12具有与通孔12的延伸方向垂直的截面的面积从一个主面2向另一个主面3增大的形状的情况下，一个主面2上的开口13a的直径Ra与另一个主面3上的开口13b的直径Rb之比、即比Rb/Ra优选大于1且小于等于4、更优选大于1且小于等于3。通过比Rb/Ra在这样的范围内，树脂薄膜1的特性控制的自由度进一步提高，作为具体的一例，能够进一步提高树脂薄膜1的特性。另外，由于制造方法的关系(例如，由于通过后述的制造方法形成树脂薄膜1的情况下的激光的聚光性的极限)，不能在树脂薄膜1的整个厚度方向上均匀地减小通孔12的直径时，通过使比Rb/Ra大于1，例如也可以利用相对较小的开口13a的直径Ra来确保树脂薄膜1的防水性。
一个主面2上的开口13a的间隔的变动例如为5％以下，根据树脂薄膜1的构成，该变动可以为4％以下、进一步可以为3％以下。
树脂薄膜1的孔隙率、孔隙率的变动、开口的密度以及开口的密度的变动可以如下求出。首先，利用光学显微镜等放大观察手段来拍摄树脂薄膜1的表面(对主面的特征进行评价的情况下为该主面)。接着，对所拍摄的表面(主面)的图像中存在的任选的10个通孔12的开口13的直径进行评价。在开口13的直径的评价中，可以利用图像分析手段。接着，求出所评价的开口13的直径的平均值Av和标准偏差σ。该比σ/Av为开口13的直径的变动。接着，在上述图像中，对相邻的(最相邻的)通孔12间的间隔(间距)在不同的两个方向上(例如在薄膜的MD方向和TD方向上)分别评价10个位置。在评价中，可以利用图像分析手段。接着，对各个方向求出所评价的间隔的平均值Av和标准偏差σ。该比σ/Av为各方向上的通孔12间的间隔的变动。
树脂薄膜1的孔隙率通过公式[(由开口13的直径的平均值Av求出的该开口的平均面积)/{(某个方向的间隔的平均值)×(不同方向的间隔的平均值)}]×100(％)来求出。
在作为评价对象的表面(主面)的任选的5个点重复进行这样的孔隙率的评价，可以由其平均值Av和标准偏差σ之比σ/Av求出孔隙率的变动。
另外，开口的密度可以由对孔隙率进行评价时所使用的图像(5次)以其平均值Av的方式求出。开口的密度的变动可以由该平均值Av和由该5次的图像求出的开口的密度的标准偏差σ通过比σ/Av求出。
在图1～图3所示的例子中，通孔12沿与树脂薄膜1的主面2、3垂直的方向延伸。通孔12延伸的方向可以自与树脂薄膜1的主面2、3垂直的方向起倾斜，也可以混合存在沿垂直的方向延伸的通孔12和沿自垂直的方向起倾斜的方向延伸的通孔12。树脂薄膜1中的通孔12延伸的方向例如可以通过对树脂薄膜1的主面和截面进行利用SEM的观察来确认。
树脂薄膜1的厚度例如为5μm以上且50μm以下、优选为8μm以上且30μm以下。在这样的范围内，例如，树脂薄膜1的操作性显著提高，另外，其生产率也显著提高。
关于树脂薄膜1的表观比重，从该薄膜1的强度和操作性、以及作为透声膜使用时的透声性的观点出发，优选为0.1g/cm3～1.5g/cm3、更优选为0.2g/cm3～1.4g/cm3。
树脂薄膜1例如可以具有如下所示的特性。
对于树脂薄膜1而言，例如在有效面积为4.9mm2时频率5kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率5kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下，进一步可以为1dB以下。对于现有的聚合物膜而言，难以实现高音域中的这样的低声压损失。
另外，对于树脂薄膜1而言，例如在有效面积为4.9mm2时频率7kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率7kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下，进一步可以为1dB以下。
此外，对于树脂薄膜1而言，例如在有效面积为4.9mm2时频率10kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率10kHz下的声压损失可以为3dB以下。
树脂薄膜1的有效面积是指将树脂薄膜1用于其用途时要求该用途中所需的功能的部分(有效部分)的面积。例如，在使用树脂薄膜1作为透声膜的情况下，树脂薄膜1的有效面积为实际上声音输入至树脂薄膜1、在该薄膜中传播、并且声音从该薄膜输出的部分的面积。作为更具体的例子，不包括为了配置树脂薄膜1而在树脂薄膜1的周边部配置、形成的支撑体或胶粘部等的面积。对于有效面积而言，典型地，以覆盖壳体的开口部的方式配置树脂薄膜1的情况下可以为该开口部的面积，或者在树脂薄膜1的周边部配置支撑体的情况下可以为该支撑体的开口部的面积。
构成树脂薄膜1的材料没有特别限定。例如为在后述的制造方法中能够在作为聚合物树脂薄膜的原始薄膜中形成通孔12的材料。树脂薄膜1例如可以由聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚四氟乙烯(PTFE)等含氟树脂、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚醚酮、聚砜、聚丁二烯、环氧树脂、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、三乙酰纤维素、聚乙烯醇、聚氨酯、ABS树脂、乙烯-丙烯-二烯共聚物、硅橡胶构成。在通过后述的制造方法形成树脂薄膜1的情况下，从利用激光的穿孔性的观点出发，构成树脂薄膜1的材料优选由PET、聚丙烯、PTFE、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、三乙酰纤维素、聚氨酯、硅橡胶构成。关于构成原始薄膜的材料也同样。
在图1、图2所示的例子中，树脂薄膜1的基质结构为非多孔结构。树脂薄膜1的基质结构可以为非多孔结构以外的结构，例如可以采用多孔结构、具有独立的气泡的结构等作为基质结构。在这种情况下，除了构建基质结构的孔(例如多孔结构时)或者气泡(例如具有气泡的结构时)以外，树脂薄膜1还具有通孔12。
树脂薄膜1可以具有层叠结构。在这种情况下，只要不损害期望的特性，可以在层间配置胶粘剂和/或粘合剂。
树脂薄膜1的用途没有限定。根据其特性，可以在任意用途中使用。此时，可以不受其透气性限制地用在各种用途中。当然，可以是能够享受透气性的变动小的用途。具体的用途例如为透气膜、透声膜、防水透气膜、防水透声膜和声阻体。
在作为透气膜的用途中，基于树脂薄膜1的透气性的变动小，期待良好的透气性。另外，如上所述，透气性的控制的自由度提高。
在作为除透气性以外还具有防水性的防水透气膜的用途中，还期待良好的防水性。另外，如上所述，防水性的控制的自由度提高。
在作为透气膜的用途中，通孔12的开口13a的直径优选为5μm～50μm。在作为防水透气膜的用途中，通孔12的开口13a的直径优选为3μm～15μm。
在作为透声膜的用途中，基于树脂薄膜1的透气性的变动小，期待良好的透声性。另外，如上所述，透声性的控制的自由度提高。
在作为除透声性以外还具有防水性的防水透声膜的用途中，还期待良好的防水性。另外，如上所述，防水性的控制的自由度提高。
在作为透声膜的用途中，通孔12的开口13a的直径优选为5μm～50μm。在作为防水透声膜的用途中，通孔12的开口13a的直径优选为3μm～15μm。
在作为声阻体的用途中，基于树脂薄膜1的透气性的变动小，对于透过该声阻体的声音期待良好的特性。另外，如上所述，透过该声阻体的声音的特性控制的自由度提高。
使用树脂薄膜1时，可以组合两种以上的树脂薄膜1，也可以将树脂薄膜1与其它构件组合。
可以对树脂薄膜1实施着色处理。虽然也取决于构成树脂薄膜1的材料的种类，但是未实施着色处理的树脂薄膜1的颜色例如为透明或白色。在使用这样的树脂薄膜1的情况下，根据其用途和配置方法，有时树脂薄膜1引人注意。引人注意的膜刺激使用者的好奇心，有时由于利用针等的刺穿而损害作为树脂薄膜1的功能。对树脂薄膜1实施着色处理时，例如，制成具有与配置树脂薄膜1的部分的颜色相同颜色或近似颜色的树脂薄膜1，由此能够相对地抑制使用者的关注。另外，在配置树脂薄膜1的部分或所配置的物品的设计方面，有时要求着色的树脂薄膜1，通过着色处理能够应对这样的设计的要求。
着色处理可以通过例如对树脂薄膜1进行染色处理或者使树脂薄膜1含有着色剂来实施。可以实施着色处理以使得例如吸收波长380nm以上且500nm以下的波长范围中所含的光。即，树脂薄膜1可以实施吸收波长380nm以上且500nm以下的波长范围中所含的光的着色处理。为此，例如，树脂薄膜1含有具有吸收波长380nm以上且500nm以下的波长范围中所含的光的能力的着色剂、或者利用具有吸收波长380nm以上且500nm以下的波长范围中所含的光的能力的染料进行染色。在这种情况下，可以将树脂薄膜1着色为蓝色、灰色、褐色、粉红色、绿色、黄色等。树脂薄膜1可以着色处理为黑色、灰色、褐色或粉红色。
在通过后述的制造方法得到树脂薄膜1的情况下，可以通过在着色处理后的原始薄膜中形成通孔12来得到着色处理后的树脂薄膜1，也可以通过在原始薄膜中形成通孔12后实施着色处理而得到着色处理后的树脂薄膜1。
在将树脂薄膜1着色处理为黑色或灰色的情况下，其着色的程度优选以如下所示的白度W表示在15.0～70.0的范围内。白度W可以依据JIS L1015的规定(亨特(Hunter)法)利用色差计测定树脂薄膜1的主面的亮度L、色调a和彩度b并由测定的这些值通过式W＝100-sqr[(100-L)2+(a2+b2)]求出。白度W的值越小，则树脂薄膜1的颜色越为黑色。
树脂薄膜1可以实施拒液处理(拒水和/或拒油处理)。此时，在树脂薄膜1的至少一部分的表面上形成拒液层4(作为一例，参见图4)。拒液层4可以仅在树脂薄膜1的一个主面上形成，也可以在两个主面上形成。拒液层4也可以形成于通孔12的内部(内周面)。关于树脂薄膜1的通孔12，在与其延伸方向垂直的截面的面积从一个主面2向另一个主面3增大的情况下，可以在具有相对较小的开口的直径的一个主面2上形成拒液层4，也可以进一步在包含通孔12的内部和主面3的整个面上形成拒液层4。
拒液层4通常在与开口13(13a、13b)对应的位置具有开口。
拒液层4是具有拒水性的层，优选兼具拒油性。
拒液层4例如可以通过在树脂薄膜1上薄薄地涂布利用稀释剂将拒水剂或疏水性的拒油剂稀释而制备的处理液并使其干燥来形成。拒水剂和疏水性的拒油剂例如为丙烯酸全氟烷基酯、甲基丙烯酸全氟烷基酯等含氟化合物。
利用拒液层4赋予了防水性(拒液性)的树脂薄膜1的防水性例如可以通过依据JISL1092的耐水度试验B法(高水压法)的规定测定的耐水压来评价。耐水压例如为2kPa以上，根据树脂薄膜1的构成，耐水压可以为5kPa以上、进一步可以为10kPa以上。关于拒液处理和拒液层4以及关于耐水压及其具体的数值，在树脂薄膜1的各用途、例如透气膜、透声膜和声阻体中是一样的。
树脂薄膜1例如可以通过后述的树脂薄膜的制造方法来形成。
[透气膜和透气膜构件]
本发明的透气膜具备树脂薄膜1。该透气膜是树脂薄膜1作为透气膜的应用(的结果)。
透气膜例如是以覆盖电子设备等物品的壳体的开口的方式配置从而防止灰尘等异物从该开口进入到壳体的内部并且使气体(典型地为空气)在壳体的外部与内部之间透过的膜，其用于壳体内部的压力的调节等。
还具有防水性的透气膜、即防水透气膜例如是以覆盖电子设备等物品的壳体的开口的方式配置从而防止水从该开口进入到壳体的内部并且使气体(典型地为空气)在壳体的外部与内部之间透过的膜，其用于壳体内部的压力的调节等。
透气膜具备树脂薄膜1，由此能够表现出上述树脂薄膜1的各特征和各特性。
为了还具有防水性，透气膜可以进行拒液处理。此时，在透气膜的至少一部分的表面上形成拒液层4。拒液层4可以仅在透气膜的一个主面上形成，也可以在两个主面上形成。拒液层4也可以形成于树脂薄膜1的通孔12的内部(内周面)。关于树脂薄膜1的通孔12，在与其延伸方向垂直的截面的面积从一个主面2向另一个主面3增大的情况下，可以在具有相对较小的开口的直径的一个主面2侧的透气膜的主面上形成拒液层，也可以进一步在包括树脂薄膜1的通孔12的内部和另一个主面3侧的透气膜的主面的整个面上形成拒液层。
拒液处理后的透气膜例如可以用作防水透气膜。
透气膜可以具备两层以上的树脂薄膜1。
透气膜的形状没有限定。
透气膜可以根据需要具备除了树脂薄膜1和拒液层4以外的任意的构件和/或层。该构件例如为透气性支撑层。透气性支撑层例如配置在树脂薄膜1的至少一个主面上。通过配置透气性支撑层，作为透气膜的强度提高，另外，操作性也提高。透气性支撑层也可以配置在树脂薄膜1的两个主面2、3上。
透气性支撑层是与树脂薄膜1相比厚度方向的透气度更高的层。可以使用例如织布、无纺布、网状物、网作为透气性支撑层。构成透气性支撑层的材料例如为聚酯、聚乙烯、芳族聚酰胺树脂。在配置透气性支撑层的树脂薄膜1的主面上可以形成拒液层4。透气性支撑层的形状与树脂薄膜1的形状可以相同也可以不同。例如，可以为具有仅配置在树脂薄膜1的周边部的形状的(具体而言，在树脂薄膜1为圆形的情况下，仅配置在其周边部的环状的)透气性支撑层。透气性支撑层例如通过与树脂薄膜1的热焊接、利用胶粘剂进行胶粘等方法来配置。
与透气性支撑层不同的上述任意的构件的例子为支撑体。支撑体例如配置于透气膜的至少一个主面，作为更具体的例子，配置于树脂薄膜1的至少一个主面。通过配置支撑体，作为透气膜的强度提高，另外，操作性也提高。支撑体可以配置于透气膜的两个主面，作为更具体的例子，可以配置于树脂薄膜1的两个主面2、3。
支撑体可以不具有透气性，在这种情况下，具有确保树脂薄膜1的透气性的结构、例如开口部。支撑体例如具有仅配置在透气膜的周边部(树脂薄膜1的周边部)的形状。支撑体例如通过与透气膜(树脂薄膜1)的热焊接、超声波焊接、利用胶粘剂进行胶粘、利用双面胶带进行胶粘等方法来配置。
构成支撑体的材料没有限定，例如为树脂、金属以及它们的复合材料。树脂例如为聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；PET、聚碳酸酯等聚酯；聚酰亚胺或者它们的复合材料。金属例如为不锈钢、铝等耐腐蚀性优良的金属。
支撑体的厚度例如为5μm～500μm、优选为25μm～200μm。另外，着眼于作为安装部位的功能时，环宽度(框宽度：外径与内径之差)为约0.5mm～约2mm是适当的。可以使用包含树脂的发泡体作为支撑体。
关于配置有支撑体的透气膜，可以以具备透气膜和与该透气膜接合的支撑体的透气膜构件的形式操作和销售。将透气膜构件的一例示于图5和图6中。
图5所示的透气膜构件45具备从与主面垂直的方向观察的形状为圆形的透气膜46和作为与透气膜46的周边部接合的环状的片材的支撑体47。通过在透气膜46上接合有支撑体47的形态，透气膜46被增强，并且其操作性提高。另外，支撑体47成为将透气膜46(透气膜构件45)配置于壳体的开口时的安装部位，因此透气膜46的(透气膜构件45的)安装作业变得容易。
支撑体47的形状没有限定。例如，如图6所示，可以是作为与从与主面垂直的方向观察的形状为矩形的透气膜46的周边部接合的框状的片材的支撑体47。如图5、图6所示，通过将支撑体47的形状设定为透气膜46的周边部的形状，抑制了由于配置支撑体47而引起的透气膜46的特性的降低。另外，从透气膜46的操作性和在壳体上的配置性的观点出发，优选片状的支撑体47。
透气膜构件45可以具备两层以上的透气膜46和/或两层以上的支撑体47。
对于透气膜和透气膜构件可以实施上述的着色处理。为此，例如选自树脂薄膜1、透气性支撑层和支撑体中的至少一者可以进行着色处理。
透气膜和透气膜构件可以用于各种用途、例如透气构件、防水透气构件、电子设备、外壳、透气结构、防水透气结构中。这些构件、设备和结构的具体的构成只要具有具备本发明的树脂薄膜1的透气膜或透气膜构件就没有限定。作为除了透气膜和透气膜构件以外的构成，可以采用公知的构件、设备和结构的构成。
将透气膜和透气膜构件配置于壳体的开口时，可以以该透气膜所具备的树脂薄膜1的主面2一侧面向壳体的方式配置，也可以以主面3一侧面向壳体的方式配置。
透气膜和透气膜构件的制造方法没有特别限定。
[透声膜]
本发明的透声膜具备树脂薄膜1。该透声膜是树脂薄膜1作为透声膜的应用(的结果)。
透声膜例如以覆盖电子设备等物品的壳体的开口的方式配置从而防止灰尘等异物从该开口进入到壳体的内部并且在壳体的外部与内部之间传播声音。作为更具体的例子，在电子设备等物品具有扬声器等声发射部和/或麦克风等声接收部等声学部且在壳体上设置有能够将声音传播至该声学部的开口部的情况下，透声膜是以覆盖该开口部(透声口)的方式配置从而防止灰尘等异物从该开口部进入到电子设备的内部并且在电子设备的外部与声学部之间传播声音的膜。
还具有防水性的透声膜、即防水透声膜例如以覆盖电子设备等物品的壳体的开口的方式配置从而防止水从该开口进入到壳体的内部并且在壳体的外部与内部之间传播声音。作为更具体的例子，在电子设备等物品具有扬声器等声发射部和/或麦克风等声接收部等声学部且在壳体上设置有能够将声音传播至该声学部的开口部的情况下，透声膜是以覆盖该开口部(透声口)的方式配置从而防止水从该开口部进入到电子设备的内部并且在电子设备的外部与声学部之间传播声音的膜。
透声膜具备树脂薄膜1，由此可以具有上述树脂薄膜1的各特征和各特性。
为了还具有防水性，透声膜可以进行拒液处理。此时可以采用的形成拒液层4的状态除了透气膜为透声膜以外与拒液处理后的透气膜一样。拒液处理后的透声膜例如能够用作防水透声膜。
关于透声性，对于透声膜而言，从树脂薄膜1的透声性的控制的自由度高出发，例如，有效面积为4.9mm2时，频率5kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率5kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下、进一步可以为1dB以下。另外，例如，有效面积为4.9mm2时，频率7kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率7kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下、进一步可以为1dB以下。此外，例如，有效面积为4.9mm2时，频率10kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率10kHz下的声压损失可以为3dB以下。
透声膜的有效面积越大则透声膜的透声性越提高，但是本发明的透声膜即使在有效面积为4.9mm2这样非常小的条件下也可以实现这样良好的透声性。该有利的特征有助于例如具备透声膜的电子设备的小型化和/或薄型化等外观设计和设计的自由度的提高。
透声膜可以具备两层以上的树脂薄膜1。
透声膜的形状没有限定。
透声膜可以根据需要具备除树脂薄膜1和拒液层4以外的任意的构件和/或层。该构件例如为上述的透气性支撑层和/或支撑体。透气性支撑层和支撑体的具体构成以及在透声膜上的配置的状态可以与透气膜的说明中上述的构成和配置的状态一样。
关于配置有支撑体的透声膜，可以以具备透声膜和与该透声膜接合的支撑体的透声膜构件的形式操作和销售。透声膜构件的构成的例子除了透气膜46为透声膜以外可以与透气膜构件的构成的例子、例如图5、6所示的例子一样。另外，对于透声膜构件而言，可以得到在透气膜构件的说明中上述基于支撑体47的效果。
透声膜构件可以具备两层以上的透声膜和/或两层以上的支撑体47。
对于透声膜和透声膜构件可以实施上述的着色处理。为此，例如选自树脂薄膜1、透气性支撑层和支撑体中的至少一者可以进行着色处理。
透声膜和透声膜构件能够用于各种用途、例如透声构件、防水透声构件、电子设备、外壳、透声结构、防水透声结构中。这些构件、设备和结构的具体构成只要具有具备本发明的树脂薄膜1的透声膜或透声膜构件就没有限定。作为除透声膜和透声膜构件以外的构成，可以采用公知的构件、设备和结构的构成。
将透声膜和透声膜构件配置于壳体的开口时，可以以该透声膜所具备的树脂薄膜1的主面2一侧面向壳体的方式配置，也可以以主面3一侧面向壳体的方式配置。
透声膜和透声膜构件的制造方法没有特别限定。
[声阻体]
本发明的声阻体具备树脂薄膜1。该声阻体是树脂薄膜1作为声阻体的应用(的结果)。
声阻体是配置于声学设备并用于调节从声学设备输出和/或向声学设备输入的声音的特性的构件。更具体而言，声学设备具备：转换部，其具备将声音输出和/或输入的声学元件、并且对声音和电信号进行转换；和外壳，其收容转换部并且具有至少一个开口部。在声学设备中，在外壳内存在与上述至少一个开口部连通的气体的通路，声学元件配置于该通路中。而且，声阻体配置在该气体的通路中的上述至少一个开口与声学元件之间，并且包含在厚度方向上具有透气性的树脂薄膜。对于本发明的声阻体而言，该在厚度方向上具有透气性的树脂薄膜为本发明的树脂薄膜1。
为了进一步理解声阻体，将具备本发明的声阻体的声学设备的一例示于图7中。图7所示的声学设备是构成耳机的单侧(右侧或左侧)的耳机单元51。
耳机单元51具备：具有作为输出声音的声学元件的振动板71的转换部52、前外壳53a和后外壳53b。转换部52收容在作为单元51的外壳53而一体化的前外壳53a与后外壳53b之间。转换部52具备振动板71、磁铁72和框架73，它们一体化。振动板71为圆形的薄膜，在与图示的面(表面)相反侧的面(背面)上设置有圆筒状的线圈。磁铁72为圆板状，转换部52以一体化的状态位于在振动板71的背面设置的线圈的开口部和环状的框架73的开口部。振动板71的周边部与框架73接合，除周边部以外的部分(主要部分)处于能够对应于线圈的运动而自由振动的状态。向转换部71供给电信号(具有声音的信息的电信号；声音信号)时，对应于该信号的电流流经线圈，通过该电流与磁铁72的电磁相互作用，在振动板71中产生与声音信号对应的物理振动，该振动以声音的方式从振动板71输出。即，转换部52是将具有声音的信息的电信号与声音进行转换的转换器(变换器)。转换部52中的电信号从与单元51的后外壳53b侧连接的线缆54供给至振动板71的背面的线圈环。线缆54与线圈的电连接省略图示。
单元51的外壳53(53a、53b)具有开口(开口部)。开口部的一种为设置于前外壳53a的透声口55。从振动板71输出的声音从振动板71的表面经由透声口55传播至单元51的外部。开口部的另一种为设置于后外壳53b的开口部56。后外壳53b上设置有两个开口56a、56b。
在单元51的外壳53内存在与开口56a、56b连通的气体(在一般的使用环境下为空气)的通路57。通路57从各开口部56a、56b穿过设置于框架73的开口74而到达振动板71的背面。换言之，作为声学元件的振动板71配置在通路57的末端(与开口56a、56b相反侧的末端)。需要说明的是，图7中，为了便于理解，以直线状示出通路57，但是，既然通路57为气体的通路，在外壳53内从开口56a、56b起气体连通的部分就可以成为通路57。而且，在单元51中，声阻体58配置于通路57中的开口56a、56b与振动板71之间。更具体而言，与框架73的各开口74的形状对应的、具有为环的一部分的形状的声阻体58以覆盖各开口74的方式与框架73接合。在图7所示的单元51中，通路57必然穿过声阻体58。换言之，在单元51中，声阻体58以覆盖通路57的截面的方式配置。
声阻体58由在厚度方向上具有透气性的树脂薄膜1构成。
通过设置从声学元件起与开口部56连通的透气通路57而抑制例如作为声学元件的振动板71的运动(振动)的阻碍。特别是对于耳机单元51而言，外壳53内部的容积、特别是相对于振动板71位于与透声口55相反侧(背面侧；后外壳侧)的部分的容积小，因此该效果显著。并且，通过在通路57中配置作为流过该通路57的气体的流动的阻抗体的声阻体58，从作为声学设备的耳机单元51和具备该单元51的耳机输出的声音的特性、例如从耳机单元51和耳机输出的音质提高。音质提高的更具体的例子是：相对于向转换部52输入的声音信号更保真的声音的输出、不需要的共振的降低、对于输出的声音而言频率特性的平坦化或特定的频率区域的增强或衰减、以及指向性或无指向性的实现等。图7所示的例子为耳机单元，但是对于输出声音的其它声学设备而言也能够实现同样的特性提高。另外，对于输入声音的声学设备、例如麦克风而言也能够实现相应的特性提高。
与包含海绵等多孔体、无纺布、网等织布的现有的声阻体相比，包含树脂薄膜1的声阻体58的变动(特性和/或结构的变动、例如透气性的变动)更小。变动包括：一个声阻体中的面内的变动、在声学设备中配置的两个或两个以上的声阻体间的变动(除了有意地在各声阻体间使透气性等特性和/或结构变化的情况以外)、以及像耳机这样使用两个单元(左侧耳机单元和右侧耳机单元)的情况下各单元所具备的声阻体间的变动中的任一种。通过该小的变动，例如实现下述效果。
能够更可靠地实现通过设置通路57以及在通路57中配置声阻体58所带来的上述效果、更具体而言为声学设备的特性的提高。并且，用于调节特性和提高特性的声学设备的设计的自由度提高。
一个声阻体中的面内变动小和在声学设备中配置的两个以上声阻体间的变动小例如使声学设备特性、例如声压特性进一步提高。另外，例如，在制造声学设备时，能够简化或省略选择变动尽可能小的声阻体的工序、或者以在声阻体中存在一定程度大小的变动为前提而在该前提下以往为了尽可能地减小变动而实施的、声阻体的形状的调节、声学设备中的声阻体的配置状态的调节、声阻体与构成声学设备的构件的接合状态的调节、制造后的声学设备的详细的特性检查等工序。这导致声学设备的制造成品率的提高和制造成本的降低。对于耳机等组合两个以上单元而得到的声学设备而言，通过各单元所具备的声阻体间的变动小，例如能够减小各单元间的输出特性的变动。这导致例如在制造耳机时简化或省略选择并组合输出特性相近或相同的单元作为左侧和右侧的单元的工序。此外，以往由于存在输出特性的变动，因此不能以耳机单元单体销售，这是本领域技术人员的常识，但是，如果单元间的输出特性的变动小，则也可以考虑以制造部件或更换部件的形式以单元单体销售，其意义非常大。
除此以外，可以对包含树脂薄膜1的声阻体58赋予防尘性。赋予了防尘性的声阻体8除了表现出提高声学设备的特性的上述功能以外还表现出作为防尘构件的功能。通过在通路57中配置这样的声阻体58，例如能够抑制灰尘等异物从开口部5进入到声学设备的外壳53内，能够制成具有防尘功能的声学设备。声阻体58的防尘性的程度例如可以通过树脂薄膜1的通孔12的开口13的直径、特别是开口13a的直径来控制。
声阻体58可以进行拒液处理。由此，能够赋予防水性。赋予了防水性的声阻体58除了表现出提高声学设备的特性的上述功能以外还表现出作为防水构件的功能。通过在通路57中配置这样的声阻体58，例如能够抑制水从开口部56进入到声学设备的外壳53内，能够制成具有防水功能的声学设备。声阻体58的防水性的程度例如可以通过拒液层的构成和树脂薄膜1的通孔12的直径来控制。
通过拒液处理形成的拒液层4的状态除了透气膜为声阻体以外与拒液处理后的透气膜一样。
对于声阻体58能够赋予防尘性和防水性两者。
虽然也取决于其材质，但是与现有的声阻体相比，声阻体58能够提高经时稳定性。例如，有时使用由发泡聚氨酯构成的多孔体作为声阻体，但是聚氨酯树脂具有由大气中的湿度引起的水解性，不能说经时稳定性足够。与此相对，例如具备由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)构成的树脂薄膜1的声阻体58显示出良好得多的经时稳定性。
对于声学设备而言，除了像扬声器的一种这样的声学元件露出在外部的设备以外，为了在收容于外壳内的声学元件与设备的外部之间传播声音，在外壳上设置透声口。在图7所示的耳机单元51中，在前外壳53a上设置有透声口55。声阻体58可以配置于作为声学元件与透声口之间的声音的传播路径的气体的通路。
关于树脂薄膜1，在与通孔12延伸的方向垂直的截面的面积从一个主面2向另一个主面3增大的情况下，通过使用具备这样的树脂薄膜1的声阻体58，能够使通路57中的气体的流动的阻力更宽范围地、或者在与使用不具有这样的结构的声阻体的情况不同的范围中变化。由此，由声阻体58带来的声学设备的特性控制的自由度进一步提高。该自由度高有助于声学设备的特性和设计的自由度的提高。
关于透声性，对于声阻体58而言，从树脂薄膜1的透声性的控制的自由度高出发，例如，有效面积为4.9mm2时，频率5kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率5kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下、进一步可以为1dB以下。另外，例如，有效面积为4.9mm2时，频率7kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率7kHz下的声压损失可以为3dB以下、2dB以下、进一步可以为1dB以下。此外，例如，有效面积为4.9mm2时，频率10kHz下的声压损失(插入损耗)可以为5dB以下，根据树脂薄膜1的构成，频率10kHz下的声压损失可以为3dB以下。
声阻体58的有效面积越大，则声阻体58的透声性越提高，但是本发明的声阻体58即使在有效面积为4.9mm2这样非常小的条件下也可以实现这样良好的透声性。该有利的特征例如有助于具备声阻体58的声学设备的小型化和/或薄型化等的外观设计和设计的自由度的提高。声阻体的有效面积是指以覆盖开口部的方式配置声阻体时实际上声音输入声阻体、在声阻体中传播并从该声阻体输出声音的部分(有效部分)的面积，不包括例如为了配置声阻体而在该声阻体的周边部配置、形成的支撑体、胶粘部等的面积部分。有效面积典型地可以为配置有该声阻体的开口部的面积或者在声阻体的周边部配置有支撑体的情况下该支撑体的开口部的面积。
声阻体58可以具备两层以上的树脂薄膜1。
声阻体58可以根据需要具备除树脂薄膜1和拒液层4以外的任意的构件和/或层。该构件例如为上述透气性支撑层和/或支撑体。透气性支撑层和支撑体的具体构成以及在声阻体中的配置的状态可以与透气膜的说明中上述的构成和配置的状态一样。
关于配置有支撑体的声阻体，可以以具备声阻体和与该声阻体接合的支撑体的声阻体构件的形式操作和销售。声阻体构件的构成的例子除了透气膜46为声阻体以外可以与透气膜构件的构成的例子、例如图5、图6所示的例子一样。另外，对于声阻体构件而言，可以得到在透气膜构件的说明中上述基于支撑体47的效果。
声阻体构件可以具备两层以上的声阻体和/或两层以上的支撑体47。
对于声阻体58和声阻体构件可以实施上述着色处理。为此，例如选自树脂薄膜1、透气性支撑层和支撑体中的至少一者可以进行着色处理。
声阻体58(包括声阻体构件。以下相同)配置在与设置在声学设备的外壳上的开口部连通并且配置有声学元件的气体的通路57中的、该开口部与声学元件之间。“配置于开口部与声学元件之间”包括在开口部的配置、更具体而言以覆盖开口部的方式与外壳接合的状态下的配置。在这种情况下，既可以与外壳的内壁接合也可以与外壁接合。
通路57所连通的开口部既可以为透声口、也可以为透声口以外的开口部。在图7所示的耳机单元51中，配置有声阻体58的通路57与不同于透声口55的开口部56连通。在声学设备中，例如，在声学设备的外壳上设置有两个以上的开口部，该两个以上的开口部包括在声学元件与外壳的外部之间传播声音的透声口，可以至少在与不同于透声口的上述开口部连通的通路57中配置声阻体58。也可以在与透声口连通的通路57和与除透声口以外的开口连通的通路57两者中配置声阻体58。声学设备中配置的声阻体58可以为两个以上，一个通路57中配置的声阻体58也可以为两个以上。
从声学元件起的通路57可以与两个以上的开口部连通，此时可以是该两个以上的开口部中的至少一个为透声口。换言之，自声学元件起的通路57可以与透声口和除透声口以外的开口部连通。
通路57的设计、通路57中配置声阻体58的位置和数量、以及声阻体58的特性(通孔的开口的直径、透气度等)可以根据所要求的声学设备的特性自由设定。
声阻体58例如以覆盖配置有该声阻体58的通路57的方式配置。声阻体58也可以以部分地覆盖通路57的方式配置。
在声阻体58具有防尘性的情况下，根据其配置的状态，可以得到具有防尘性的声学设备。配置的状态例如为覆盖与通路57连通的开口部这样的配置。在声阻体58具有防水性的情况下，根据其配置的状态，可以得到具有防水性的声学设备。配置的状态例如为覆盖与通路57连通的开口部这样的配置。
声阻体58在通路57中的配置方法没有限定。在图7所示的耳机单元1中，在设置有构成通路57的开口74的框架73上以覆盖该开口74的方式接合有声阻体58。在通过将声阻体58与构成声学设备的构件接合而在通路57中配置该声阻体58的情况下，可以采用使用双面胶带的粘贴、热焊接、高频焊接、超声波焊接等方法。在使用双面胶带的粘贴中，也可以利用该双面胶带作为声阻体的支撑体，能够更可靠且准确地接合声阻体58。
声阻体58的形状没有限定。声阻体58的形状例如为圆盘状、圆筒状、环状和这些形状的一部分(例如，环的一部分、月牙状、半月状等)。可以根据配置声阻体58的通路57的形状或者通路57的截面的形状自由设定。
声学元件具有输出和/或输入声音的功能。声学元件例如为振动板(振动薄膜、振动膜、隔膜)。
在通路57中配置声学元件的位置没有限定，例如，可以在通路57的末端配置声学元件。
转换部(变换器)具备声学元件，对声音与电信号进行转换。在声学设备为像耳机等这样输出声音的设备的情况下，在转换部中，输出与所输入的电信号(声音信号)对应的声音。在声学设备为像麦克风等这样输入声音的设备的情况下，在转换部中，输出与所输入的声音对应的电信号(声音信号)。转换部的具体构成没有特别限定，包括声学元件在内，可以与公知的转换部一样。
转换部在外壳内的收容方法和收容位置没有限定。外壳例如由金属、树脂、玻璃和它们的复合材料形成。在外壳上设置的开口部(包括透声口)的位置和形状没有限定。
声学设备没有限定，例如为耳机、头戴式耳机、麦克风、耳麦、听筒、助听器和可穿戴终端。声学设备可以为噪音计等声学评价设备。声学设备可以为由两个以上单元构成的声学设备的各单元。该单元例如为耳机单元、头戴式耳机单元、麦克风单元、构成耳麦的各单元。
[聚合物树脂薄膜的制造方法]
树脂薄膜1可以通过以下说明的制造方法来制造。
在下述的制造方法中，通过对原始薄膜照射激光而在原始薄膜中形成多个通孔12，从而形成树脂薄膜1。具有通过照射激光的工序形成的多个通孔12的树脂薄膜可以直接作为树脂薄膜1使用，也可以根据需要经过形成拒液层4的工序、着色处理工序、或者层叠透气性支撑层和/或支撑体的工序后作为树脂薄膜1或具备树脂薄膜1的透声膜等构件使用。
对于照射激光的方法而言，容易控制例如树脂薄膜1所具有的通孔12的开口13的直径及其变动、通孔12的延伸方向、通孔12的截面形状和截面形状的变化、树脂薄膜1的主面上的开口13的配置、孔隙率以及开口13的密度等特征。
原始薄膜可以为在作为树脂薄膜1使用的区域中不具有能够沿其厚度方向透气的通路的非多孔的聚合物树脂薄膜。原始薄膜可以为无孔的薄膜。通过原始薄膜为非多孔的树脂薄膜，能够形成具有非多孔的基质结构的树脂薄膜1。
可以选择与构成想要得到的树脂薄膜1的材料相同的材料作为构成原始薄膜的材料。
在用于形成通孔12的激光照射中，通常薄膜的厚度不变化。因此，作为原始薄膜的厚度，可以选择想要得到的树脂薄膜1的厚度。
对原始薄膜例如照射聚焦脉冲激光。对于聚焦脉冲激光，可以使用公知的激光器和光学系统。激光例如为UV脉冲激光，其波长的例子为355nm、349nm或266nm(以Nd：YAG、Nd：YLF或者YVO4作为介质的固体激光器的高次谐波)、351nm、248nm、222nm、193nm或157nm(准分子激光)。只要能够在原始薄膜中形成通孔12，也可以使用UV以外的波长范围的激光。只要能够形成通孔12，则激光的脉冲宽度也没有限定，例如，可以使用脉冲宽度为飞秒级或皮秒级的脉冲激光。对于这些脉冲激光而言，通过基于多光子吸收过程的烧蚀来形成通孔12。激光束的空间强度分布可以是中心强度高的高斯分布、也可以是具有均匀分布的平顶分布。
光学系统包含例如电扫描器和Fθ透镜(聚光透镜)。Fθ透镜优选以远心度在5度以内的方式选择并配置在光学系统中。光学系统还可以包含多面镜扫描器。利用包含这些扫描器的光学系统，在原始薄膜中的目标位置形成通孔12变得更容易。
对原始薄膜照射激光时，为了抑制原始薄膜的分解物附着于光学系统和/或该薄膜，例如可以实施向加工部或其附近喷吹辅助气体、或者对加工部或其附近进行吸气等对策。可以使用氮气等惰性气体、空气、氧气等作为辅助气体。也可以将喷吹和抽吸组合。
从利用激光照射的通孔12的形成的观点出发，原始薄膜的厚度优选为5μm以上且50μm以下。原始薄膜的厚度在该范围内时，能够更有效地实施利用激光照射的通孔12的形成。
对原始薄膜的激光照射可以将切割成规定的尺寸的原始薄膜固定后实施或者一边使其移动一边实施，也可以一边使带状的原始薄膜移动一边实施。也可以将卷绕于辊上的带状的原始薄膜从该辊放出，一边使放出的带状的原始薄膜移动一边照射激光，并将激光照射后的薄膜卷绕于辊上。即，可以通过辊对辊的方式对带状的原始薄膜照射激光。
从能够有效地除去由于照射激光而产生的构成原始薄膜的材料的分解残渣的观点出发，对原始薄膜的激光照射可以以对处于中空状态的原始薄膜照射激光的方式实施。此时，在原始薄膜的背面侧(与照射激光的面相反侧的面一侧)可以适当配置用于有效地回收和除去分解物的抽吸机构。
对原始薄膜照射激光时，优选对原始薄膜的激光照射部分施加规定的张力。由此，能够抑制由于在原始薄膜中产生褶皱或松弛而引起的激光照射时的不良情况的产生。施加规定的张力例如可以通过夹着原始薄膜的两端部并保持来实施。
对原始薄膜照射激光而形成通孔12后，可以根据需要为了除去该薄膜上的附着物、例如构成原始薄膜的材料的分解残渣等而对薄膜进行清洗。清洗的方法没有限定，例如可以从在水中浸渍、喷淋和/或并用超声波的湿式清洗、或者利用等离子体、UV臭氧、超声波、刷子、粘合胶带等的干式清洗中选择。在选择湿式清洗的情况下，可以根据需要进一步实施干燥工序。
可以对原始薄膜实施上述着色处理。在这种情况下，形成着色处理后的树脂薄膜1。
本发明的树脂薄膜的制造方法可以包括除上述工序以外的任意工序。
本发明的树脂薄膜的制造方法也是作为其用途的构件的制造方法、例如包括通过对原始薄膜照射激光而在原始薄膜中形成多个通孔的工序的、透气膜的制造方法、透气膜构件的制造方法、透声膜的制造方法、透声膜构件的制造方法、声阻体的制造方法、或者声阻体构件的制造方法。
[实施例]
以下，通过实施例对本发明更详细地进行说明。本发明并不限定于以下所示的实施例。
(实施例1：树脂薄膜的孔隙率与厚度方向的透气度的关系的评价)
利用基于电扫描器的扫描和基于Fθ透镜(焦距100mm)的聚光对包含PET的无孔的原始薄膜(东丽制造、Lumirror、厚度12μm或25μm)照射脉冲激光(波长355nm、脉冲宽度20纳秒、输出功率7.6W、重复频率40kHz)而形成通孔12，从而得到树脂薄膜1。
在实施例1中，形成了具有与延伸方向垂直的截面的面积从薄膜的一个主面2向另一个主面3连续地增大的形状的通孔12以及具有与延伸方向垂直的截面的面积从膜的一个主面2到另一个主面3恒定的形状的通孔12，此时，通过控制原始薄膜的厚度和入射至电扫描器的激光的光束直径，使得具有相对较小的直径的一个主面2上的开口13a的直径和具有相对较大的直径的另一个主面3上的开口13b的直径如下述表1所示变化。具有与延伸方向垂直的截面的面积从薄膜的一个主面2到另一个主面3恒定的形状的通孔2的情况下，主面2上的开口13a的直径与主面3上的开口13b的直径相同。另外，通过控制电扫描器的扫描速度，使得相邻的通孔12间的间隔(孔的中心间的间隔)在薄膜的MD方向和TD方向上如下述表1所示变化。实施例1中，在MD方向的间隔与TD方向的间隔相同的情况下，通孔12的开口13形成于与在薄膜的主面上假想的正方网格的顶点对应的位置。在MD方向的间隔与TD方向的间隔不同的情况下，通孔12的开口13形成于与在薄膜的主面上假想的矩形网格的顶点对应的位置。
对于如此形成的树脂薄膜1，对各主面2、3上的通孔12的开口13的直径、一个主面2的孔隙率以及厚度方向的透气度进行评价。开口13的直径和一个主面2的孔隙率如上所述进行评价。厚度方向的透气度如下所述进行评价。
[透气度]
树脂薄膜的厚度方向的透气度通过将利用JIS L1096中规定的透气性测定法的B法(葛尔莱法)求出的葛尔莱数换算为弗雷泽数而求出。关于透气度，葛尔莱数G与弗雷泽数F的换算公式如下所述。
F＝1.57/G
将评价结果示于下述的表1和图8中。弗雷泽数的单位为cm3/(cm2·秒)。
[表1]
如表1和图8所示，主面2的孔隙率和树脂薄膜1的厚度方向的透气度表现出近似直线的关系而不依赖于原始薄膜的厚度(所形成的树脂薄膜的厚度)和开口13a的直径。
(实施例2：透气性变动率的评价)
对于与实施例1同样地制作的树脂薄膜(其中，一个主面2上的通孔12的开口13a的直径为8μm，另一个主面3上的通孔12的开口13b的直径为21μm，一个主面2的孔隙率为0.5％，一个主面2上的开口13a的密度为1×104个/cm2，原始薄膜和所制作的树脂薄膜的厚度为25μm)，通过透气度的变动率(透气性变动率)对其一个主面2的透气性的变动进行评价。透气性变动率如下求出。首先，如图9所示，从所得到的树脂薄膜切割出样品201，在切割出的该样品的主面中的正交的两个方向上分别设定3个测定点202、样品201整体上设定5个测定点202。接着，依照JIS L1096B的规定以葛尔莱数的形式测定各测定点202处的样品201的厚度方向的透气度，与实施例1同样地转换为弗雷泽数。对于一个树脂薄膜，对从该薄膜单独切割出的6个样品201实施上述测定，求出所测定的共30个点(5个点×6)的透气度(弗雷泽数)的平均值Av和标准偏差σ，并求出以标准偏差σ相对于平均值Av之比σ/Av表示的透气性变动率。实施例2中制作的树脂薄膜的透气性变动率为4.55％。
(实施例3：透声性的评价)
对于实施例1中制作的样品No.2、5、12、13、14的树脂薄膜(厚度均为25μm)以及对于样品No.1、4、8、9、16的树脂薄膜(厚度均为12μm)，以下述方式对其透声性(声压损失)进行评价。
[透声性(声压损失)]
首先，如图10A所示，准备模拟手机的壳体而得到的模拟壳体91(聚苯乙烯制造、外形60mm×50mm×28mm)。在模拟壳体91上除了设置一处作为使从扬声器输出的声音传播至壳体的外部的开口部的扬声器安装孔92(直径为2.5mm的圆形)和一处扬声器线缆的导通孔93以外没有开口部。接着，将扬声器95(Star精密制造、SCG-16A)埋入形成有直径为5mm的圆形的透声孔的聚氨酯海绵制造的填充材料94中，并收容在壳体91的内部。扬声器95的扬声器线缆96从导通孔93引出至壳体91的外部，然后，导通孔93用油灰堵塞。
接着，准备包含聚乙烯类发泡体的双面胶带97(日东电工制造、No.57120B、厚度0.2mm)、PET薄膜98(厚度0.1mm)和包含PET的双面胶带99(日东电工制造、No.5603、厚度0.03mm)，分别冲裁加工为内径2.5mm和外径5.8mm的环状。除此以外，将各样品No.的树脂薄膜1冲裁为直径5.8mm的圆形。接着，以使外形对齐的方式依次层叠内径2.5mm的环状的双面胶带97、圆形的树脂薄膜1、内径2.5mm的环状的双面胶带99和内径2.5mm的环状的PET薄膜98，制作出声学特性评价用的试样(树脂薄膜1的有效面积为4.9mm2)(参见图10B)。
接着，利用该试样所具备的聚乙烯类发泡体的双面胶带97将所制作的试样安装于模拟壳体91的外侧以使得树脂薄膜1完全覆盖开口部92。此时，以在树脂薄膜1与双面胶带97之间以及双面胶带97与模拟壳体91之间不形成间隙的方式进行。
接着，将扬声器线缆96和麦克风(Knowles Acoustic制造、Spm0405Hd4H-W8)与声学评价装置(B&K制造、Multi-analyzer System3560-B-030)连接，在与模拟壳体91的开口部92相隔21mm的位置配置麦克风。接着，选择SSR分析(试验信号20Hz～10kHz、扫描)作为评价方式并实施，对树脂薄膜1的声学特性(THD、声压损失)进行评价。声压损失由从声学评价装置输入至扬声器95的信号和经由麦克风检测出的信号自动求出。除此以外，在不配置树脂薄膜1的状态下，同样地求出空白的声压损失，将配置有树脂薄膜1时的声压损失减去空白的声压损失而得到的值设为作为该薄膜的特性的声压损失(插入损耗)。插入损耗越小，则可以判断越确保了在树脂薄膜1中传播的声音的特性。
将评价结果示于图11、图12中。
如图11所示，树脂薄膜1的厚度为25μm时，实现了频率5kHz下插入损耗为20dB以下。另外，对于弗雷泽数为1cm3/(cm2·秒)以上的样品2、12、5和14而言，实现了频率5kHz下插入损耗为10dB以下。并且，对于弗雷泽数为4cm3/(cm2·秒)以上的样品12、5和14而言，实现了频率5kHz下插入损耗为5dB以下。
如图12所示，树脂薄膜1的厚度为12μm时，对于全部样品而言，实现了频率5kHz和7kHz下的插入损耗为5dB以下。另外，对于弗雷泽数为10cm3/(cm2·秒)以上的样品4、9、16和8而言，实现了频率5kHz和7kHz下插入损耗为1dB以下。
(比较例1)
作为比较例1，准备市售的无纺布(旭化成纤维制造、Smash Y15250)。该无纺布是通过纺粘法形成的由聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维构成的无纺布，其表观密度为0.44g/cm3。
对于该无纺布，与实施例2同样地求出透气性变动率。各测定点202的位置与实施例2相同。比较例1的无纺布的透气性变动率为18.0％。
(实施例4：耐水压的评价)
将原始薄膜的厚度设定为25μm、将Fθ透镜的焦距设定为163mm，除此以外与实施例1同样地进行，得到了形成有通孔12的树脂薄膜。实施例3中，形成了具有与延伸方向垂直的截面的面积从薄膜的一个主面2向另一个主面3连续地增大的形状的通孔12，此时，通过控制入射至电扫描器的激光的光束直径，使得具有相对较小的直径的一个主面2上的开口13a的直径和具有相对较大的直径的另一个主面3上的开口13b的直径如下述表2所示变化。另外，通过控制电扫描器的扫描速度，使得相邻的通孔12间的间隔(孔的中心间的间隔)在薄膜的MD方向和TD方向上如下述表2所示变化。
接着，将形成的树脂薄膜在拒液处理液中浸渍5秒，然后在常温下放置30分钟而使其干燥，在该薄膜的表面和通孔12的内周面形成拒液层，从而得到拒液处理后的树脂薄膜1。作为拒液处理液，使用利用稀释剂(信越化学制造、FSThinner)将拒液剂(信越化学制造、X-70-043)稀释至浓度为1.0重量％而制备的液体。
对于如此形成的树脂薄膜1，与实施例1同样地对各主面2、3上的通孔12的开口13的直径、一个主面2的孔隙率以及厚度方向的透气度(弗雷泽数)进行评价。另外，与实施例2同样地对透气性变动率进行评价，并且分别如上所述对一个主面2上的开口a的密度的变动进行评价、如下所述对所形成的树脂薄膜1的耐水压进行评价。
[耐水压]
与透声性的评价同样地，准备包含聚乙烯类发泡体的双面胶带97(日东电工制造、No.57120B、厚度0.2mm)、PET薄膜98(厚度0.1mm)和包含PET的双面胶带99(日东电工制造、No.5603、厚度0.03mm)，分别冲裁加工为内径2.5mm和外径5.8mm的环状。除此以外，将各样品No.的树脂薄膜1冲裁为直径5.8mm的圆形。接着，以使外形对齐的方式依次层叠内径2.5mm的环状的双面胶带97、圆形的树脂薄膜1、内径2.5mm的环状的双面胶带99和内径2.5mm的环状的PET薄膜98，从而制作出耐水压评价用的试样(树脂薄膜1的有效面积为4.9mm2)。
接着，将制作的试样以使试样的中心与开口的中心一致的方式粘贴于在中心具有直径2.0mm的开口的固定夹具，然后将其安装于耐水度试验装置，依照JIS L1092的耐水度试验B法(高水压法)的规定，对各树脂薄膜1的耐水压进行评价。
将评价结果汇总于下述表2中。
[表2]
如表2所示，在一个主面2上的开口13a的直径为15μm以下的情况下实现了6kPa以上的良好的防水性，在一个主面2上的开口13a的直径为14μm以下的情况下实现了9kPa以上的良好的防水性。另外，对于实施例3中制作的样品No.18-21中的任一种树脂薄膜而言，一个主面2上的开口13a的密度的变动为100个/cm2以下，透气性变动率为8％以下。需要说明的是，与实施例1中制作的树脂薄膜同样地，对于实施例4中制作的树脂薄膜而言，主面2的孔隙率与树脂薄膜1的厚度方向的透气度表现出近似直线的关系而不依赖于开口13a的直径。
除此以外，除了未实施拒液处理以外与上述同样地制作具有与样品No.21相同的开口的直径、开口的间隔、主面2的孔隙率和弗雷泽数的树脂薄膜1，并对制作出的该薄膜的耐水压进行评价，结果为2kPa。
此外，与上述同样地，形成一个主面2上的开口13a的直径为18μm、开口的间隔在MD和TD方向上均为70μm的树脂薄膜1(实施拒液处理)，对形成的树脂薄膜的耐水压进行评价，结果为2kPa。
(实施例5)
将原始薄膜的厚度设定为12μm、将脉冲激光的输出功率设定为1.9W、将重复频率设定为10kHz，除此以外与实施例1同样地得到了形成有通孔12的树脂薄膜。实施例5中，形成了具有与延伸方向垂直的截面的面积从薄膜的一个主面2向另一个主面3连续地增大的形状的通孔12，此时，通过控制原始薄膜与Fθ透镜的相对的位置关系以及入射至电扫描器的激光的光束直径，使得具有相对较小的直径的一个主面2上的开口13a的直径和具有相对较大的直径的另一个主面3上的开口13b的直径如下述表3所示变化。另外，通过控制电扫描器的扫描速度，使得相邻的通孔12间的间隔(孔的中心间的间隔)在薄膜的MD方向和TD方向上如下述表3所示变化。
对于如此形成的树脂薄膜1，与实施例1同样地对各主面2、3上的通孔12的开口13的直径、一个主面2的孔隙率、一个主面2上的开口13a的密度以及厚度方向的透气度(弗雷泽数)进行评价。另外，与实施例2同样地对透气性变动率进行评价、与实施例3同样地对透声性进行评价，并且如上所述对一个主面2上的开口的密度的变动进行评价。
[表3]
对于样品No.22-24中的任一种树脂薄膜而言，一个主面2上的开口13a的密度的变动为100个/cm2以下、透气性变动率为7％以下，并且有效面积为4.9mm2时的频率5kHz下的声压损失(插入损耗)为5dB以下。需要说明的是，与实施例1中制作的树脂薄膜同样地，对于实施例5中制作的树脂薄膜而言，主面2的孔隙率与树脂薄膜1的厚度方向的透气度表现出近似直线的关系而不依赖于开口13a的直径。
本发明只要不偏离其意图和本质特征就可以应用于其它实施方式。本说明书中公开的实施方式在所有方面是说明性的内容并非限定于此。本发明的范围由所附的权利要求表示而不是上述说明，在与权利要求均等的意思和范围内的全部变更都包括在本发明中。
产业实用性
本发明的聚合物树脂薄膜能够用于以透气膜、透声膜和声阻体为代表的各种用途中。

Claims (17)

1.一种聚合物树脂薄膜，其具有沿厚度方向延伸的多个通孔，其中，
所述通孔贯穿所述树脂薄膜的基质结构，
在所述薄膜的两个主面上形成有所述多个通孔的开口，
所述通孔具有与该通孔延伸的方向垂直的截面的面积从所述薄膜的一个主面到另一个主面不变化或者从所述一个主面向另一个主面增大的形状，
在所述一个主面上，所述开口的直径为3μm以上且80μm以下，该主面的基于所述开口的孔隙率的变动为10％以下，并且所述开口的密度(个数/cm2)的变动为1000个/cm2以下。
2.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，所述开口相互间隔且独立地形成在所述两个主面上。
3.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，所述聚合物树脂薄膜的基质结构为非多孔结构。
4.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，以依据JIS L1096的规定测定的弗雷泽数表示，厚度方向的透气度为1cm3/(cm2·秒)以上且150cm3/(cm2·秒)以下。
5.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，厚度方向的透气度的变动率为8％以下。
6.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，有效面积为4.9mm2时，频率5kHz下的声压损失为5dB以下。
7.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，所述一个主面的孔隙率为0.5％～50％。
8.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，在所述两个主面上，所述多个通孔的开口形成于与在所述各主面上假想的网格的顶点对应的位置。
9.如权利要求1所述的聚合物树脂薄膜，其中，所述聚合物树脂薄膜进行了拒液处理。
10.一种透气膜，其具备权利要求1～9中任一项所述的聚合物树脂薄膜。
11.一种透气膜构件，其具备权利要求10所述的透气膜和与所述透气膜接合的支撑体。
12.一种透声膜，其具备权利要求1～9中任一项所述的聚合物树脂薄膜。
13.一种透声膜构件，其具备权利要求12所述的透声膜和与所述透声膜接合的支撑体。
14.一种声阻体，其具备权利要求1～9中任一项所述的聚合物树脂薄膜。
15.一种声阻体构件，其具备权利要求14所述的声阻体和与所述声阻体接合的支撑体。
16.一种声学设备，其具备权利要求14所述的声阻体，所述声学设备为耳机、耳机单元、头戴式耳机、头戴式耳机单元、耳麦、耳麦单元、听筒、助听器或可穿戴终端。
17.一种聚合物树脂薄膜的制造方法，其为权利要求1～9中任一项所述的聚合物树脂薄膜的制造方法，其中，
所述制造方法包括通过对原始薄膜照射激光而在所述原始薄膜中形成所述多个通孔的工序。
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