KR102459119B1 - 펠리클용 지지 프레임, 펠리클 및 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 펠리클을 사용한 노광 원판 및 노광 장치 - Google Patents

Abstract

통기 구멍에 용이하게 착탈 가능한 필터가 마련되고, 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련할 수 있는 지지 프레임, 당해 지지 프레임에 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련한 펠리클, 및 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 이것들을 사용한 노광 원판 및 노광 장치를 제공한다. 제1 지지 프레임부와, 제2 지지 프레임부와, 필터를 갖는 펠리클용 지지 프레임이며, 상기 필터는 평판형의 프레임 형상을 갖고, 상기 제1 지지 프레임부와 상기 제2 지지 프레임부에 협지되고, 상기 제1 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부와, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖고, 상기 제2 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부와, 상기 제2 본체부의 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 상기 제1 걸림 결합부와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 갖는 펠리클용 지지 프레임이 제공된다.

Description

펠리클용 지지 프레임, 펠리클 및 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 펠리클을 사용한 노광 원판 및 노광 장치

본 발명은 반도체 디바이스 등을 리소그래피 기술에 의해 제조할 때 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 이것들을 총칭하여 「포토마스크」라고도 함), 및 진애가 부착되는 것을 방지하는 포토마스크용 방진 커버인 펠리클 등에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 극단 자외광(Extreme Ultraviolet: EUV) 리소그래피용의 펠리클용 지지 프레임, 펠리클 및 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 펠리클을 사용한 노광 원판 및 노광 장치에 관한 것이다.

반도체 소자는, 리소그래피라고 칭해지는 공정을 거쳐 제조된다. 리소그래피에서는, 스캐너나 스테퍼라고 불리는 노광 장치를 사용하여, 회로 패턴이 묘화된 마스크에 노광광을 조사하여, 포토레지스트가 도포된 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 전사한다. 현재까지, 리소그래피의 파장은 단파장화가 진행되어, 차세대의 리소그래피 기술로서, EUV 리소그래피의 개발이 진행되고 있다. EUV광은, 연X선 영역 또는 진공 자외선 영역의 파장의 광을 가리키며, 13.5nm±0.3nm 정도의 광선을 가리킨다. EUV광은, 모든 물질에 대하여 흡수되기 쉬우며, 따라서, EUV 리소그래피에서는, 노광 장치 내를 진공으로 하여 노광할 필요가 있다. EUV광은, 모든 물질에 대하여 흡수되기 쉽기 때문에, 펠리클에 배치하는 펠리클막도 종래에 없는 나노미터 오더의 막일 필요가 있다.

노광 장치 내를 진공으로 하여 행하는 EUV 리소그래피에 있어서는, 당초, 포토마스크에 대한 펠리클의 장착은 필수는 아니라고 생각되었기 때문에, 현재 개발되어 있는 EUV 노광 장치에는, 포토마스크에 펠리클을 장착하기 위한 공간이 3.0mm 정도밖에 존재하지 않았다. 그러나, 5mm 이상의 높이를 갖는 종래의 펠리클을 장착하기 위한 공간을 노광 장치 내에 확보하기 위해서는, 광학계의 설계 변경이 필요하게 되어, EUV 리소그래피의 개발에 지연을 초래하게 된다. 따라서, 종래의 펠리클의 절반 이하 정도의 높이로 하는 펠리클을 새롭게 설계할 필요가 있다.

노광 장치 내를 진공으로 하면, 포토마스크와 펠리클에 의해 형성되는 폐공간(펠리클의 내측)과, 그 외측의 압력차가 생겨, 펠리클막이 늘어지거나, 혹은 부풀어 오르거나 할 수 있다. 이 해결 수단으로서, 통기 구멍을 마련하는 것이 고려된다. 그러나, 펠리클의 설치 공간이 대폭 제한되기 때문에, 나노미터 오더의 펠리클막의 손상을 방지하기 위해서는, 펠리클의 프레임체에 배치한 통기 구멍을 통한 충분한 통기를 확보할 필요가 있다. 통기 구멍에는 펠리클의 내측에의 이물 혼입을 방지하기 위해 그 도중에 필터를 배치할 필요가 있지만, 펠리클의 설치 공간이 대폭 제한되고, 게다가 프레임체에 허용되는 높이도 대폭 제한되기 때문에, 프레임체에의 필터의 배치도 종래에 없는 설계가 요구된다.

예를 들어, 특허문헌 1에는, 내열성이나 통기 스피드(감압 시간), 이물 포집 효율의 관점에서, 금속제 또는 세라믹스제임과 함께, 펠리클 프레임과 용접에 의해 연속적으로 일체화된 필터로 통기 구멍을 덮은 EUV 노광용 펠리클이 기재되어 있다.

일본 특허 공개 제2017-116697호 공보

통기 구멍을 덮는 필터는, EUV광의 노광에 의해 열화되기 때문에, 교환할 필요가 있다. 펠리클 프레임과 일체화된 필터를 교환하는 것은 용이하지 않아, 간편하게 필터를 교환 가능한 펠리클이 요망된다.

본 발명은 상술한 문제를 해결하는 것으로, 통기 구멍에 용이하게 착탈 가능한 필터가 마련되고, 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련할 수 있는 지지 프레임, 당해 지지 프레임에 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련한 펠리클, 및 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 이들 지지 프레임을 사용한 노광 원판 및 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임은, 제1 지지 프레임부와, 제2 지지 프레임부와, 필터를 갖는 펠리클용 지지 프레임이며, 상기 필터는 평판형의 프레임 형상을 갖고, 상기 제1 지지 프레임부와 상기 제2 지지 프레임부에 협지되고, 상기 제1 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부와, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖고, 상기 제2 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부와, 상기 제2 본체부의 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 상기 제1 걸림 결합부와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 갖는다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제1 걸림 결합부는, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 연장되는 제1 연장부와, 상기 제1 연장부의 상기 제1 본체부와는 반대측의 단부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 연장부를 갖고, 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 지지 프레임부측에 위치하는 상기 제2 지지 프레임부의 제1 면으로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 연장되는 제1 홈부와, 상기 제1 홈부의 저부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 홈부를 갖고, 상기 제2 연장부의 적어도 일부는, 상기 제2 홈부에 수용되어도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 필터는, 상기 제1 걸림 결합부 및 상기 제2 걸림 결합부에 대응하는 위치에 개구를 갖고, 상기 제1 걸림 결합부는, 상기 개구를 관통하여, 상기 제2 걸림 결합부와 걸림 결합해도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제2 홈부의 저부로부터 상기 제1 면의 방향으로 이격하여 배치되는 고정구를 갖고, 상기 제2 홈부는, 상기 제1 홈부의 저부와 상기 고정구에 의해 구성되어도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 고정구는, 지그와 걸림 결합 가능한 제3 걸림 결합부를 가져도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 펠리클용 지지 프레임의 내연부와 외연부를 접속하고, 상기 필터가 배치된 통기 구멍을 더 가져도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 통기 구멍은, 상기 필터가 배치되고, 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 대략 평행인 제1 방향으로 연장되는 제1 구멍과, 상기 제1 구멍의 제1 단부에 접속하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연신되고, 상기 내연부 또는 상기 외연부에 개구를 갖는 제2 구멍을 가져도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 통기 구멍은, 상기 제1 구멍의 제2 단부에 접속하고, 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향에 마련된 제3 구멍을 더 가져도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 복수의 상기 제1 걸림 결합부와, 복수의 상기 제2 걸림 결합부와, 복수의 상기 통기 구멍을 구비해도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제1 지지 프레임부는, 상기 제1 본체부를 구성하는 프레임 형상을 갖는 박판과, 상기 제1 연장부를 구성하는 박판과, 상기 제2 연장부를 구성하는 박판을 포함하는 적층체여도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제2 지지 프레임부는, 상기 제1 홈부를 구성하는 박판과, 상기 제2 홈부를 구성하는 박판을 포함하는 적층체여도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 필터의 상기 프레임 형상의 내측에 배치된 벽을 더 가져도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 어느 것에 기재된 펠리클용 지지 프레임과, 펠리클막을 갖는 펠리클이 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 펠리클과, 원판을 갖는 노광 원판이 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 노광 원판과, 광학계를 갖는 노광 장치가 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부와, 상기 제1 본체부로부터 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖는 제1 지지 프레임부를 준비하고, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부와, 상기 제2 본체부의 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 상기 제1 걸림 결합부와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 갖는 제2 지지 프레임부를 준비하고, 평판형의 프레임 형상을 갖는 필터를 준비하고, 상기 필터를 상기 제1 지지 프레임부와 상기 제2 지지 프레임부에 협지하고, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부를 걸림 결합시키는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법이 제공된다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제1 본체부를 구성하는 박판과, 제1 연장부를 구성하는 박판과, 제2 연장부를 구성하는 박판을 접속하여, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖는 상기 제1 지지 프레임부를 준비하고, 제1 홈부를 구성하는 박판과, 제2 홈부를 구성하는 박판과, 상기 제2 본체부를 구성하는 박판을 접속하여, 상기 제2 걸림 결합부를 갖는 상기 제2 지지 프레임부를 준비하고, 상기 제2 연장부의 적어도 일부를 상기 제2 홈부에 수용하여, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부를 걸림 결합시켜도 된다.

본 발명에 따르면, 용이하게 착탈 가능한 필터가 통기 구멍에 마련되고, 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련할 수 있는 지지 프레임, 당해 지지 프레임에 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막을 마련한 펠리클, 및 지지 프레임의 제조 방법, 그리고 이것들을 사용한 노광 원판 및 노광 장치가 제공된다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터의 고정에 접착제가 불필요하기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.

도 1은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111)의 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111)의 단면도이다.
도 2는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c) 및 (d)는, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 3의 (a) 내지 (c)는, 제1 걸림 결합부(11b)를 제2 걸림 결합부(16b)와 걸림 결합시키는 방법을, 펠리클용 지지 프레임(111)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111)이 배치되는 원판의 면 방향으로, 제1 지지 프레임부(11)측에 위치하는 제2 지지 프레임부(16)의 제1 면(a)에서 본 모식도이다.
도 4는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111A)의 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111A)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111A)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111A)의 단면도이다.
도 5는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111A)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11A)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16A)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c) 및 (d)는, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 6은, 일 실시 형태에 관한 박판(12A)의 모식도이며, (a)는 박판(12A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(12A)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(12A)의 단면도이다.
도 7은, 일 실시 형태에 관한 박판(13A)의 모식도이며, (a)는 박판(13A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13A)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13A)의 단면도이다.
도 8은, 일 실시 형태에 관한 박판(14A)의 모식도이며, (a)는 박판(14A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(14A)의 단면도이다.
도 9는, 일 실시 형태에 관한 박판(15A)의 모식도이다. (a)는 박판(15A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(15A)의 단면도이다.
도 10은, 일 실시 형태에 관한 필터(30)의 모식도이며, (a)는 필터(30)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30)의 단면도이다.
도 11은, 일 실시 형태에 관한 박판(17A)의 모식도이며, (a)는 박판(17A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(17A)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(17A)의 단면도이다.
도 12는, 일 실시 형태에 관한 박판(18A)의 모식도이며, (a)는 박판(18A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(18A)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(18A)의 단면도이다.
도 13은, 일 실시 형태에 관한 박판(19A)의 모식도이며, (a)는 박판(19A)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(19A)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(19A)의 단면도이다.
도 14는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111B)의 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111B)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111B)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111B)의 단면도이다.
도 15는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111B)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11B)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16B)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c) 및 (d)는, 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 16의 (a) 내지 (d)는, 제1 걸림 결합부(11b)를 제2 걸림 결합부(16b)와 걸림 결합시키는 방법을, 펠리클용 지지 프레임(111B)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)이 배치되는 원판의 면 방향으로, 제1 지지 프레임부(11B)측에 위치하는 제2 지지 프레임부(16B)의 제1 면(a)에서 본 모식도이다.
도 17은, 변형예에 관한 펠리클용 지지 프레임(111C)의 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111C)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111C)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111C)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111C)의 단면도이다.
도 18은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111C)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11C)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16C)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c) 및 (d)는, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 19는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111D)의 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111D)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111D)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111D)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111D)의 단면도이다.
도 20은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111D)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11C)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16D)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c) 및 (d)는, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 21은, 일 실시 형태에 관한 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 모식도이며, (a)는 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 상면도이고, (b)는 고정구(23D)의 상면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(21D)의 단면도이고, (d)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 단면도이다.
도 22는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111E)을 도시하는 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111E)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111E)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111E)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111E)의 단면도이다.
도 23은, 일 실시 형태에 관한 천장판(25E)의 모식도이며, (a)는 천장판(25E)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 천장판(25E)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 천장판(25E)의 단면도이다.
도 24는, 일 실시 형태에 관한 펠리클(100)을 도시하는 모식도이며, (a)는 펠리클(100)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 펠리클(100)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클(100)의 단면도이다.
도 25는, 일 실시 형태에 관한 노광 원판(181)의 단면의 구성을 도시하는 모식도이다.
도 26은, 일 실시 형태에 관한 노광 장치(180)를 도시하는 모식도이다.
도 27은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111F)을 도시하는 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111F)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111F)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111F)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111F)의 단면도이다.
도 28은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111F)의 벽(17F)의 모식도이며, (a)는 벽(17F)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 벽(17F)의 단면도이다.
도 29는, 일 실시 형태에 관한 박판(13F)의 모식도이며, (a)는 박판(13F)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13F)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13F)의 단면도이다.
도 30은, 일 실시 형태에 관한 필터(30F)의 모식도이며, (a)는 필터(30F)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30F)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30F)의 단면도이다.
도 31은, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111G)을 도시하는 모식도이며, (a)는 펠리클용 지지 프레임(111G)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111G)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이고, (b)는 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111G)의 단면도이고, (c)는 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111G)의 단면도이다.
도 32는, 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111G)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)의 상세를 설명하는 모식도이며, (a)는 제1 지지 프레임부(11G)의 상세를 설명하는 모식도이고, (b)는 제2 지지 프레임부(16G)의 상세를 설명하는 모식도이고, (c)는 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)에 의해, 필터(30G)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이고, (d)는 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)를 분리하는 방법을 설명하는 모식도이다.
도 33은, 일 실시 형태에 관한 박판(12G)의 모식도이며, (a)는 박판(12G)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(12G)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(12G)의 단면도이다.
도 34는, 일 실시 형태에 관한 박판(13G)의 모식도이며, (a)는 박판(13G)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13G)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13G)의 단면도이다.
도 35는, 일 실시 형태에 관한 필터(30G)의 모식도이며, (a)는 필터(30G)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30G)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30G)의 단면도이다.
도 36은, 일 실시 형태에 관한 박판(17G)의 모식도이며, (a)는 박판(17G)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(17G)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(17G)의 단면도이다.
도 37은, 일 실시 형태에 관한 박판(18G)의 모식도이며, (a)는 박판(18G)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(18G)의 단면도이고, (c)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(18G)의 단면도이다.
도 38은, 일 실시 형태에 관한 평판형 부재(19G-1)의 모식도이며, (a)는 평판형 부재(19G-1)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 평판형 부재(19G-1)의 단면도이다.
도 39는, 일 실시 형태에 관한 벽형 부재(19G-2)의 모식도이며, (a)는 벽형 부재(19G-2)의 상면도이고, (b)는 (a)에 도시한 선분 CD에서의 벽형 부재(19G-2)의 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를, 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 많은 다른 양태로 실시하는 것이 가능하며, 이하에 예시하는 실시 형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 도면은 설명을 보다 명확히 하기 위해, 실제의 양태에 비하여, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표시되는 경우가 있지만, 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본 명세서와 각 도면에 있어서, 기출된 도면에 관하여 전술한 것과 동일한 요소에는, 동일한 부호를 붙여, 상세한 설명을 적절하게 생략하는 경우가 있다.

[정의]

본 명세서에 있어서, 어떤 부재 또는 영역이, 다른 부재 또는 영역의 「상에(또는 하에)」 있다고 하는 경우, 특별한 한정이 없는 한, 이것은 다른 부재 또는 영역의 바로 위(또는 바로 밑)에 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재 또는 영역의 상방(또는 하방)에 있는 경우를 포함하며, 즉 다른 부재 또는 영역의 상방(또는 하방)에 있어서 사이에 다른 구성 요소가 포함되어 있는 경우도 포함한다.

본 명세서에 있어서, 극단 자외광(EUV광)이란, 파장 5nm 이상 30nm 이하의 광을 가리킨다. EUV광의 파장은, 5nm 이상 14nm 이하가 바람직하다.

본 명세서에 있어서, 펠리클이란, 펠리클막과, 펠리클막의 한쪽 면에 마련된 펠리클막을 지지함과 함께 원판에 접속되는 지지부를 갖는 것을 의미한다. 펠리클막이란 펠리클에 사용되는 박막을 의미한다. 지지부는, 적어도 원판에 접속되는 지지 프레임을 포함한다. 지지 프레임은 통기 구멍을 구비한다. 펠리클이 원판에 배치되었을 때, 통기 구멍은, 펠리클과 원판에 의해 형성되는 폐쇄 공간의 내측과 외측의 통기를 가능하게 하는 구멍이다. 통기 구멍 내부에는 필터가 배치된다. 지지 프레임은, 통기 구멍 내부에 필터가 배치된 프레임체이다. 지지부는, 지지 프레임에서 펠리클막을 매달아 걸쳐 놓는 것이어도 되고, 펠리클막 및 지지 프레임에 접속되는 다른 프레임체를 더 가져도 된다. 펠리클막을 프레임체에 매달아 걸쳐 놓은 구조물을 펠리클 프레임체라고 칭한다. 따라서, 펠리클이란, 펠리클막과 지지부가 접속한 구조체로 정의할 수도 있고, 펠리클 프레임체와 지지 프레임이 접속한 구조체로 정의할 수도 있다.

본 명세서에 있어서, 「면」이란, 평면에 한정되는 것은 아니고, 곡면을 포함한다.

[본 발명에 있어서 찾아낸 종래 기술의 문제점]

EUV 펠리클을 사용한 리소그래피 장치 내를 진공으로 할 때, 해당 펠리클의 지지부에 마련된 필터의 면적이 작으면, 공기가 필터를 지나기 어려워, 펠리클의 내부까지 진공으로 하는 데 비교적 시간이 걸린다. 특허문헌 1에 기재된 EUV 노광용 펠리클은, 금속제 또는 세라믹스제 필터를 펠리클 프레임과 용접에 의해 연속적으로 일체화하여 통기 구멍을 덮기 때문에, 이 문제를 해결하고 있다. 한편, 통기 구멍을 덮는 필터는, EUV광의 노광에 의해 열화되기 때문에, 교환할 필요가 있는데, 펠리클 프레임과 일체화된 필터를 교환하기는 곤란하다. 또한, 종래의 비EUV 노광용 펠리클과 같이, 유기계 접착제를 사용하여 필터를 펠리클 프레임에 고정한 경우, 필터를 펠리클 프레임으로부터 박리하는 것은 가능하지만, 진공화로 노광하는 EUV 노광용 펠리클에서는, 접착제로부터 아웃 가스가 발생하는 경우가 있다. 아웃 가스는, 포토마스크의 표면에 퇴적물을 발생시키거나, 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나 하여, 노광 불량이나 광량 부족을 발생시킨다. 또한, 1개의 통기 구멍을 1개의 필터로 덮는 종래의 펠리클에서는, 필터의 교환 작업이 번잡하였다.

[실시 형태 1]

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111)의 모식도이다. 도 1의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111)이 배치되는 원판(마스크)의 면 방향으로 본 모식도이다. 또한, 「원판의 면 방향」이란, 원판의 면과 교차하는 방향이며, 본 실시 형태에 있어서는, 원판의 면에 대략 직교하는 방향이다. 도 1의 (b)는, 도 1의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111)의 단면도이고, 도 1의 (c)는, 도 1의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111)의 단면도이다. 도 2는, 펠리클용 지지 프레임(111)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 2의 (a)는 제1 지지 프레임부(11)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 2의 (b)는 제2 지지 프레임부(16)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 2의 (c) 및 도 2의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다. 또한, 도 3의 (a) 내지 도 3의 (c)는, 제1 걸림 결합부(11b)를 제2 걸림 결합부(16b)와 걸림 결합시키는 방법을, 펠리클용 지지 프레임(111)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111)이 배치되는 원판의 면 방향으로, 제1 지지 프레임부(11)측에 위치하는 제2 지지 프레임부(16)의 제1 면(a)에서 본 모식도이다.

펠리클용 지지 프레임(111)은, 제1 지지 프레임부(11)와, 제2 지지 프레임부(16)와, 필터(30)를 갖는다. 필터(30)는 평판형의 프레임 형상을 갖는다. 또한, 필터(30)는 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 협지된다. 펠리클용 지지 프레임(111)에 있어서, 통기 구멍(1)은, 펠리클용 지지 프레임(111)의 내측(펠리클을 원판에 장착한 경우에 폐공간이 형성되는 측임. 또한, 펠리클을 원판에 장착한 경우의 폐공간 부분에 대하여, 화살표 P로 나타내었음)에서는 펠리클용 지지 프레임(111)의 두께 방향 L1(펠리클막의 면 방향과 교차하는 방향이며, 본 실시 형태에 있어서는 펠리클막의 면 방향에 대략 직교하는 방향임. 이하, 제1 방향이라고도 칭함)로 연신되는 구멍(3)(제1 구멍이라고도 칭함)과, 구멍(3)에 접속하고, 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2(펠리클막의 면 방향과 대략 평행인 방향)로 연신되는 구멍(5)(제2 구멍이라고도 칭함)을 갖는다. 구멍(3)은 펠리클용 지지 프레임(111)의 내연부에 개구를 갖고, 구멍(5)은 폐공간 부분(P)의 외부로 연신되고, 펠리클용 지지 프레임(111)의 외연부에 개구를 갖는다.

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 필터(30)를 배치하기 위해, 일 실시 형태로서, 제1 지지 프레임부(11)는, 상면의 일부를 절결한 계단형 구조를 갖는 절결부(N)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 의해 필터(30)를 협지함으로써 펠리클용 지지 프레임(111)에 고정하기 때문에, 제1 지지 프레임부(11)에 절결부(N)를 배치함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111)의 내연부에 구멍(3)을 배치할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 펠리클막 또는 펠리클 프레임체를 펠리클용 지지 프레임(111)의 상면에 배치함으로써, 펠리클을 얻을 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클에 있어서는, 필터(30)가 펠리클막으로부터 이격하여 배치된다.

제1 지지 프레임부(11)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부(11a)와, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 두께 방향 L1로 돌출된 제1 걸림 결합부(11b)를 갖는다. 제2 지지 프레임부(16)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부(16a)와, 제2 본체부(16a)의 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1에 마련된 오목부에 배치되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부(16b)를 갖는다.

제1 걸림 결합부(11b)는, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 연장부(11c)와, 제1 연장부(11c)의 제1 본체부(11a)와는 반대측의 단부로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 연장되는 제2 연장부(11d)를 갖는다. 제2 걸림 결합부(16b)는, 제1 지지 프레임부(11)측에 위치하는 제2 지지 프레임부(16)의 제1 면(a)으로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 홈부(16c)와, 제1 홈부(16c)의 저부로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 연장되는 제2 홈부(16d)를 갖는다. 제2 연장부(11d)의 적어도 일부는, 제2 홈부(16d)에 수용된다.

본 실시 형태에 관한 제1 지지 프레임부(11) 및 제2 지지 프레임부(16)는, 예를 들어 주조나 사출 성형에 의해 형성할 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 본체부(11a)에 제1 걸림 결합부(11b)를 접속하여, 제1 지지 프레임부(11)를 형성해도 된다. 또한, 평판형의 프레임 형상의 부재를 에칭함으로써 제2 지지 프레임부(16)를 형성해도 된다. 제1 지지 프레임부(11) 및 제2 지지 프레임부(16)의 재료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지 등을 들 수 있다.

필터(30)는, 제1 걸림 결합부(11b) 및 제2 걸림 결합부(16b)에 대응하는 위치에 개구(b)를 갖고, 제1 걸림 결합부(11b)는, 개구(b)를 관통하여, 제2 걸림 결합부(16b)와 걸림 결합한다. 이러한 걸림 결합은, 제1 지지 프레임부(11)의 제1 걸림 결합부(11b)를, 필터(30)의 개구(b)에 통과시키고, 또한 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1을 향하여 제2 지지 프레임부(16)의 제1 홈부(16c)에 삽입하고, 제2 지지 프레임부(16)의 저부에 제1 걸림 결합부(11b)가 도달한 시점에서 제1 지지 프레임부(11)를 펠리클용 지지 프레임(111)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써 행할 수 있다. 이때, 제1 본체부(11a), 필터(30) 및 제2 본체부(16a)는, 동일 또는 개략적으로 동일한 폭을 갖는 프레임 형상이기 때문에, 일체화하여 펠리클용 지지 프레임(111)을 구성할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111)에 간편하게 설치할 수 있다. 이와 같이 하여, 펠리클용 지지 프레임(111)의 내연부와 외연부를 접속하고, 필터(30)가 배치된 통기 구멍(1)이 구성된다.

필터(30)는 HEPA, ULPA 등의 멤브레인 필터, 부직포 필터, 카본 나노튜브나 셀룰로오스 등 파이버를 적층한 필터, 세라믹스 필터, 유리 필터, 금속 소결 필터, 중공지 필터 등을 이용할 수 있다. 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111)은, 필터(30)의 통기 저항이 높은 경우라도, 통기 구멍의 면적을 크게 취할 수 있기 때문에, 진공화를 행하는 시간을 저감하는 것이 가능하며, 바람직하게는, 필터(30)는, 초기 압력 손실이 100Pa 이상 550Pa 이하이고, 입경이 0.15㎛ 이상 0.3㎛ 이하인 입자에 대하여 입자 포집률이 99.7％ 이상 100％ 이하의 특성을 갖는 필터이다. 또한, 통기 구멍(1)이 복수 마련되는 경우에 있어서는, 복수의 통기 구멍(1)에 위치하는 필터(30)의 합계 면적, 즉 펠리클의 내측과 외측의 환기에 유효한 필터(30)의 합계 면적이 100㎟ 이상 2000㎟ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 이 필터에 관한 설명은, 각 실시 형태에서 공통되기 때문에, 이하에서는 설명을 생략한다.

펠리클용 지지 프레임(111)에 있어서는, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 의해 필터(30)를 협지하고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킴으로써, 필터(30)를 고정하고 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)에 의해 걸림 결합하고 있는 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)를 분리함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111)으로부터 필터(30)를 간편하게 분리할 수 있다. 즉, 제1 지지 프레임부(11)를 제2 방향 L2와는 반대측 방향으로 슬라이드시키거나, 또는 제2 지지 프레임부(16)를 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)의 걸림 결합을 해제한다. 그 후, 제1 지지 프레임부(11)를 제1 방향 L1과는 반대측 방향으로 들어올리거나, 또는 제2 지지 프레임부(16)를 제1 방향 L1로 내림으로써, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)를 분리할 수 있다.

종래의 펠리클에 있어서는, 통기 구멍마다 필터를 배치하고 있었기 때문에, 각각의 필터를 분리할 필요가 있었다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)를 분리하면, 펠리클용 지지 프레임(111)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터(30)로서 새로운 필터를 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 의해 다시 협지함으로써, 필터(30)를 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.

펠리클용 지지 프레임(111)은, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부(11a)와, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111)의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부(11b)를 갖는 제1 지지 프레임부(11)를 준비하고, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부(16a)와, 제2 본체부(16a)의 펠리클용 지지 프레임(111)의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부(16b)를 갖는 제2 지지 프레임부(16)를 준비하고, 평판형의 프레임 형상을 갖는 필터(30)를 준비하고, 필터(30)를 제1 지지 프레임부(11)와 제2 지지 프레임부(16)에 협지하고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킴으로써 제조할 수 있다.

[실시 형태 2]

상술한 실시 형태 1에 있어서는, 제1 본체부(11a)와 제1 걸림 결합부(11b)를 일체 성형, 또는 제1 본체부(11a)에 제1 걸림 결합부(11b)를 접속한 제1 지지 프레임부(11)를 사용하는 예를 나타내었지만, 본 발명에 관한 펠리클용 지지 프레임 및 펠리클은 이들에 한정되는 것은 아니다. 복수의 판형 부재를 적층하여 제1 지지 프레임부 및 제2 지지 프레임부를 구성하는 예에 대하여, 실시 형태 2로서 설명한다. 이하에 있어서는, 실시 형태 1과는 다른 구성에 대하여, 특히 설명하고, 실시 형태 1과 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.

도 4는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111A)의 모식도이다. 도 4의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111A)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 4의 (b)는, 도 4의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111A)의 단면도이고, 도 4의 (c)는, 도 4의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111A)의 단면도이다. 도 5는, 펠리클용 지지 프레임(111A)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 5의 (a)는 제1 지지 프레임부(11A)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 5의 (b)는 제2 지지 프레임부(16A)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 5의 (c) 및 도 5의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.

펠리클용 지지 프레임(111A)은, 제1 지지 프레임부(11A)와, 제2 지지 프레임부(16A)와, 필터(30)를 갖는다. 필터(30)는 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)에 의해 협지된다. 제1 지지 프레임부(11A)는, 예를 들어 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(12A)과, 박판(12A)의 하면에 배치된 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(13A)이 적층되어 구성된 제1 본체부(11a)를 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 지지 프레임부(11A)의 절결부(N)는, 박판(13A)의 상면에 박판(12A)을 배치함으로써 구성되고, 제1 방향 L1로 연신되는 구멍(3)을 펠리클용 지지 프레임(111A)의 내연부에 배치할 수 있다.

제1 지지 프레임부(11A)는, 박판(13A)의 하면으로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1로 연장되는 박판(14A)과, 박판(14A)의 하면에 배치되고, 박판(14A)으로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15A)이 적층되어 구성된 제1 걸림 결합부(11b)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 연장부(11c)는, 박판(14A)에 의해 구성된다. 또한, 제1 연장부(11c)의 제1 본체부(11a)와는 반대측의 단부로부터 제2 방향 L2로 연장되는 제2 연장부(11d)는, 박판(15A)에 의해 구성된다.

제2 지지 프레임부(16A)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(19A)의 상면에 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(18A) 및 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(17A)이 순차적으로 적층되어 구성된 제2 본체부(16a)를 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 후술하는 바와 같이, 박판(18A)의 외연부에는 오목부가 배치되고, 이 오목부를 박판(17A)과 박판(19A)에 의해 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)을 배치할 수 있다.

박판(17A)에는 제1 홈부(16c)가 배치되고, 박판(18A)에는 제2 홈부(16d)가 배치된다. 박판(19A)의 상면에 박판(18A) 및 박판(17A)을 순차적으로 적층함으로써, 제1 방향 L1로 연장되는 제1 홈부(16c)와 제2 방향 L2로 연장되는 제2 홈부(16d)가 중첩되고, 제2 지지 프레임부(16A)에 오목부를 형성한다. 이 오목부는, 제1 걸림 결합부(11b)와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부(16b)로서 기능한다. 제2 연장부(11d)의 적어도 일부는, 제2 홈부(16d)에 수용되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)가 걸림 결합한다.

여기서, 제1 지지 프레임부(11A) 및 제2 지지 프레임부(16A)를 구성하는 각 박판에 대하여, 더 설명한다. 도 6은, 박판(12A)의 모식도이다. 도 6의 (a)는 박판(12A)의 상면도이고, 도 6의 (b)는 도 6의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(12A)의 단면도이고, 도 6의 (c)는 도 6의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(12A)의 단면도이다. 박판(12A)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 내연부(펠리클막이 매달려 걸쳐 놓아지는 측이며, 펠리클로서 사용하였을 때 폐공간을 형성하는 측임)에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(12a)를 갖는다. 오목부(12a)의 수에 특별히 한정은 없으며, 펠리클의 폐공간과 외부의 환기에 충분한 필터(30)를 위해 복수의 오목부(12a)를 마련할 수 있다. 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 오목부(12a)에 인접하는 영역은, 제1 본체부(11a)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제1 지지 프레임부(11A)에 필요한 강도를 부여한다. 박판(12A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다. 본 실시 형태에서는, 오목부(12a)가 형성하는 개구가, 제1 방향 L1의 구멍에 상당한다.

도 7은, 박판(13A)의 모식도이다. 도 7의 (a)는 박판(13A)의 상면도이고, 도 7의 (b)는 도 7의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13A)의 단면도이고, 도 7의 (c)는 도 7의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13A)의 단면도이다. 박판(13A)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 제1 방향 L1에 개구된 개구부(13a)를 갖는다. 오목부(12a)와 개구부(13a)는, 적어도 일부가 중첩되고, 제1 방향 L1로 연신되는 구멍(3)을 구성한다. 개구부(13a)의 수에 특별히 한정은 없으며, 오목부(12a)에 대응하는 수를 마련할 수 있다. 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이, 개구부(13a)에 인접하는 영역은, 제1 본체부(11a)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제1 지지 프레임부(11A)에 필요한 강도를 부여한다. 박판(13A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 8은, 박판(14A)의 모식도이다. 도 8의 (a)는 박판(14A)의 상면도이고, 도 8의 (b)는 도 8의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(14A)의 단면도이다. 박판(14A)은, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 박판(13A)의 하면에 접속하고, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 연장부(11c)를 구성한다. 박판(14A)은, 개구부(13a)가 배치되는 박판(13A)의 영역에 인접하는 영역에 배치된다. 박판(14A)의 수에 특별히 한정은 없으며, 개구부(13a)의 양옆에 위치하는 박판(13A)의 영역에 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)가 통기 구멍(1)의 양측에 배치됨으로써, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)가 걸림 결합하는 강도를 높일 수 있어, 필터를 통하여 통기할 때의 공기 누설이 적어진다. 박판(14A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 9는, 박판(15A)의 모식도이다. 도 9의 (a)는 박판(15A)의 상면도이고, 도 9의 (b)는 도 9의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(15A)의 단면도이다. 박판(15A)은, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 박판(14A)의 하면에 접속하고, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제2 방향 L2로 연장되는 제2 연장부(11d)를 구성한다. 이 때문에, 박판(15A)은, 박판(14A)보다 제2 방향 L2로 소정의 길이로 연장된다. 박판(14A)으로부터 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15A)의 부분은, 제2 걸림 결합부(16b)와의 걸림 결합에 관여한다. 여기서, 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15A)의 부분의 길이는, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)가 걸림 결합하는 강도가 얻어지는 범위에서 임의로 설정 가능하다. 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15A)의 부분을 길게 하면, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)의 걸림 결합의 확실성이 높아진다. 한편, 필터(30)를 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A) 사이에 끼워서 고정할 때의, 제1 지지 프레임부(11A)가 필터(30)에 접하여 제2 방향 L2로 이동하는 거리가 길어지면, 제1 지지 프레임부(11A)와 필터(30)의 마찰에 의해 필터(30)로부터의 진애가 발생할 우려가 있다. 박판(15A)은, 박판(15A)의 수에 특별히 한정은 없으며, 박판(14A)의 수에 따른 수로 배치된다. 박판(15A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 10은, 필터(30)의 모식도이다. 도 10의 (a)는 필터(30)의 상면도이고, 도 10의 (b)는 도 10의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30)의 단면도이고, 도 10의 (c)는 도 10의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30)의 단면도이다. 필터(30)는, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 제1 걸림 결합부(11b) 및 제2 걸림 결합부(16b)에 대응하는 위치에 개구(b)를 갖는다. 즉, 개구(b)는, 박판(13A)의 개구부(13a)가 배치되는 영역에 인접하는 영역에 대응하는 필터(30)의 위치에 배치된다. 필터(30)에 있어서, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 필터로서 기능하는 것은, 통기 구멍(1)에 대응하는 부분이다. 그 밖의 필터(30)의 구성은 실시 형태 1에서 설명한 구성과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 11은, 박판(17A)의 모식도이다. 도 11의 (a)는 박판(17A)의 상면도이고, 도 11의 (b)는 도 11의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(17A)의 단면도이고, 도 11의 (c)는 도 11의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(17A)의 단면도이다. 박판(17A)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 제1 방향 L1에 개구된 개구부(17a)와, 개구부(17a)에 인접하여 배치되는 개구부(17b)를 갖는다. 개구부(17a)는, 박판(13A)의 개구부(13a)에 대응하는 위치에 배치되고, 개구부(13a)와 함께 제1 방향 L1로 연신되는 구멍(3)을 구성한다. 또한, 개구부(17b)는, 제1 방향 L1로 연장되는 제1 홈부(16c)에 대응하고, 제2 걸림 결합부(16b)를 구성한다. 개구부(17a)의 수에 특별히 한정은 없으며, 제1 지지 프레임부(11A)에 배치된 제1 걸림 결합부(11b)에 대응하는 위치에 배치할 수 있다. 박판(17A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 12는, 박판(18A)의 모식도이다. 도 12의 (a)는 박판(18A)의 상면도이고, 도 12의 (b)는 도 12의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(18A)의 단면도이고, 도 12의 (c)는 도 12의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(18A)의 단면도이다. 박판(18A)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 외연부(펠리클로서 사용하였을 때 폐공간을 형성하지 않는 측임)에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(18a)를 갖는다. 오목부(18a)의 수에 특별히 한정은 없으며, 펠리클의 폐공간과 외부의 환기에 충분한 필터(30)를 위해 복수의 개구를 마련할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 박판(17A)과 박판(19A)에 의해 협지되는 오목부(18a)가 형성하는 구멍이, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 외연부(펠리클용 지지 프레임(111A)의 내측과는 반대측이며, 펠리클로서 사용하였을 때 폐공간을 형성하지 않는 측임)에 접속하고, 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)에 상당한다. 또한, 박판(18A)은, 개구부(17a)보다 제2 방향 L2로 큰 소정의 폭으로 개구된 개구부(18b)를 갖는다. 개구부(18b)는, 박판(17A)과 박판(19A)에 의해 협지됨으로써, 제2 방향 L2로 연신되는 제2 홈부(16d)를 구성한다. 제1 홈부(16c)와 제2 홈부(16d)가 접속하여, 제2 걸림 결합부(16b)를 구성한다. 또한, 박판(18A) 자체의 형상도, 원하는 프레임체의 형상에 따라 형상을 적절하게 설정 가능하다. 개구부(17a)로부터 제2 방향 L2로 연장되는 개구부(18b)의 부분은, 제1 걸림 결합부(11b)와의 걸림 결합에 관여한다. 여기서, 제2 방향 L2로 연장되는 개구부(18b)의 부분의 폭은, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)가 걸림 결합하는 강도가 얻어지는 범위에서 임의로 설정 가능하다. 제2 방향 L2로 연장되는 개구부(18b)의 부분의 폭을 길게 하면, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)의 걸림 결합의 확실성이 높아진다. 한편, 필터(30)를 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A) 사이에 끼워서 고정할 때의, 제1 지지 프레임부(11A)가 필터(30)에 접하여 제2 방향 L2로 이동하는 거리가 길어지면, 제1 지지 프레임부(11A)와 필터(30)의 마찰에 의해 필터(30)로부터의 진애가 발생한다. 박판(18A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 13은, 박판(19A)의 모식도이다. 도 13의 (a)는 박판(19A)의 상면도이고, 도 13의 (b)는 도 13의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(19A)의 단면도이고, 도 13의 (c)는 도 13의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(19A)의 단면도이다. 박판(19A)은 펠리클용 지지 프레임(111A)에 있어서는 저판으로서 기능하며, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이지만, 원하는 프레임체의 형상에 따라 형상을 적절하게 설정 가능하다. 박판(19A)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다. 또한, 상술한 각 박판은, 각각 동종의 재질로 형성된 박판을 조합해도 되고, 각각 다른 재질로 형성된 박판을 조합해도 되고, 일부 공통된 재질로 형성된 박판을 조합해도 된다.

본 실시 형태에서는, 각 박판의 고정은, 고정되면 되며, 특별히 제한되지 않는다. 고정 방법으로서는, 예를 들어 점착 시트, 접착제, 접합제, 상온 접합, 다이렉트 접합, 원자 확산 접합, 금속 접합, 용착, 땜납 접합, 열 압착, 핫 멜트, 플럭스 접합, 면 패스너, 나사ㆍ핀ㆍ클립ㆍ코오킹 등의 기계적 고정, 자기를 사용하여 끼워 넣어서 고정하는 방법 등을 들 수 있다.

펠리클용 지지 프레임(111A)에 대한 필터(30)의 착탈은, 실시 형태 1에서 설명한 방법에 의해 행할 수 있다. 제1 지지 프레임부(11A)의 제1 걸림 결합부(11b)를, 필터(30)의 개구(b)에 통과시키고, 또한 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1을 향하여 제2 지지 프레임부(16A)의 제1 홈부(16c)에 삽입하고, 제2 지지 프레임부(16A)의 저부에 제1 걸림 결합부(11b)가 도달한 시점에서 제1 지지 프레임부(11A)를 펠리클용 지지 프레임(111A)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킬 수 있다. 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)에 의해 필터(30)를 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 내연부와 외연부를 접속하고, 필터(30)가 배치된 통기 구멍(1)이 구성된다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111A)에 간편하게 설치할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)에 의해 걸림 결합하고 있는 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)를 분리함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111A)으로부터 필터(30)를 간편하게 분리할 수 있다. 종래의 펠리클에 있어서는, 통기 구멍마다 필터를 배치하고 있었기 때문에, 각각의 필터를 분리할 필요가 있었다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)를 분리하면, 펠리클용 지지 프레임(111A)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터(30)로서 새로운 필터를 제1 지지 프레임부(11A)와 제2 지지 프레임부(16A)에 의해 다시 협지함으로써, 필터(30)를 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태는, 이것에 한정되지 않고, 제2 방향 L2에 대하여, 제1 지지 프레임부(11A)의 제1 걸림 결합부(11b)를 배치하는 방향과, 제2 걸림 결합부(16b)를 배치하는 방향을 역방향으로 배치해도 된다. 즉, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킬 때의 제2 방향 L2의 슬라이드 방향과, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)의 걸림 결합을 해제할 때의 제2 방향 L2의 슬라이드 방향을, 실시 형태 2와는 제2 방향 L2에 대하여 역방향으로 설정해도 된다. 또한, 필터(30)를 협지할 때, 제1 지지 프레임부(11A)를 제2 지지 프레임부(16A)에 대하여 슬라이드시키는 방향을, 제1 방향 L1로 설정해도 된다.

[실시 형태 3]

상술한 실시 형태에 있어서는, 제1 지지 프레임부(11)를 한 방향으로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시키고, 제1 지지 프레임부(11)를 역방향으로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)의 걸림 결합을 해제하였다. 본 실시 형태에 있어서는, 제1 지지 프레임부(11)를 2개의 방향으로 순차적으로 슬라이드함으로써 로크하는 방법에 대하여 설명한다.

도 14는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111B)의 모식도이다. 도 14의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111B)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 14의 (b)는, 도 14의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111B)의 단면도이고, 도 14의 (c)는, 도 14의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111B)의 단면도이다. 도 15는, 펠리클용 지지 프레임(111B)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 15의 (a)는 제1 지지 프레임부(11B)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 15의 (b)는 제2 지지 프레임부(16B)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 15의 (c) 및 도 15의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다. 또한, 도 16의 (a) 내지 도 16의 (d)는, 제1 걸림 결합부(11b)를 제2 걸림 결합부(16b)와 걸림 결합시키는 방법을, 펠리클용 지지 프레임(111B)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)이 배치되는 원판의 면 방향으로, 제1 지지 프레임부(11B)측에 위치하는 제2 지지 프레임부(16B)의 제1 면(a)에서 본 모식도이다.

본 실시 형태에 있어서는, L자형의 개구부를 갖는 박판(17B)으로 제1 홈부(16e)를 구성하고, L자형의 개구부를 갖는 박판(18B)으로 제2 홈부(16f)를 구성한다. 제1 홈부(16e)에 제2 홈부(16f)가 접속함으로써, 제2 걸림 결합부(16b)가 구성된다. 펠리클용 지지 프레임(111B)은, 제1 지지 프레임부(11B)와, 제2 지지 프레임부(16B)와, 필터(30)를 갖는다. 필터(30)는 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)에 협지된다. 제1 지지 프레임부(11B)는, 예를 들어 상술한 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(12A)과, 박판(12A)의 하면에 배치된 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(13A)이 적층되어 구성된 제1 본체부(11a)를 갖는다. 또한, 제1 지지 프레임부(11B)의 절결부의 구성은, 상술한 실시 형태와 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

제1 지지 프레임부(11B)는, 박판(13A)의 하면으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1로 연장되는 박판(14B)과, 박판(14B)의 하면에 배치되고, 박판(14B)으로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15B)이 적층되어 구성된 제1 걸림 결합부(11b)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 연장부(11e)는, 박판(14B)에 의해 구성된다. 또한, 제1 연장부(11e)의 제1 본체부(11a)와는 반대측의 단부로부터 제2 방향 L2로 연장되는 제2 연장부(11f)는, 박판(15B)에 의해 구성된다.

제2 지지 프레임부(16B)는, 상술한 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(19A)의 상면에 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(18B) 및 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(17B)이 순차적으로 적층되어 구성된 제2 본체부(16a)를 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 박판(18B)의 외연부에는 오목부가 배치되고, 이 오목부를 박판(17B)과 박판(19A)에 의해 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)을 배치할 수 있다.

박판(17B)에는 제1 홈부(16e)가 배치되고, 박판(18B)에는 제2 홈부(16f)가 배치된다. 박판(19A)의 상면에 박판(18B) 및 박판(17B)을 순차적으로 적층함으로써, 제2 지지 프레임부(16B)의 두께 방향인 제1 방향 L1로 연장되고, 또한 제1 방향 L1에 교차(또는 직교)하는 제2 방향 L2(펠리클막이 배치되는 면 방향)로 연장되고, 그 일부가 제2 방향 L2에 교차(또는 직교)하는 제4 방향 L4(본 실시 형태에 있어서는 제3 방향이지만, 상술한 실시 형태와의 관계로부터, 본 명세서에 있어서는 제4 방향이라고 칭함)로 연장되는 제1 홈부(16e)와, 제1 홈부(16e)보다 제2 방향 L2로 더 연장되는 제2 홈부(16f)가 중첩하고, 제2 지지 프레임부(16B)에 오목부를 형성한다. 이 오목부는, 제1 걸림 결합부(11b)와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부(16b)로서 기능한다. 제2 연장부(11f)의 적어도 일부는, 제2 홈부(16f)에 수용되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)가 걸림 결합한다. 본 실시 형태에 있어서는, 제4 방향 L4로 연장되는 제1 홈부(16e)가 로크 기구(16l)를 구성한다. 로크 기구(16l)에 있어서의 제1 홈부(16e)의 제2 방향 L2의 폭은, 제1 연장부(11e)를 구성하는 박판(14B)의 폭과 개략 동등하기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)가 제3 방향(제2 방향 L2와는 반대 방향)으로 되돌아감으로써 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)의 걸림 결합이 해제되는 것을 방지할 수 있다.

여기서, 제1 지지 프레임부(11B) 및 제2 지지 프레임부(16B)를 구성하는 각 박판에 대하여, 더 설명한다. 박판(12A)에 대해서는 실시 형태 2에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 박판(13A)에 대해서도 실시 형태 2에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 박판(14B)은, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 박판(13A)의 하면에 접속하고, 제1 본체부(11a)로부터 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1로 연장되는 제1 연장부(11e)를 구성한다. 박판(14B)은, 개구부(16e)가 배치되는 박판(13A)의 영역에 인접하는 영역에 배치된다. 박판(14B)의 수에 특별히 한정은 없으며, 개구부(16e)의 양옆에 위치하는 박판(13A)의 영역에 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)가 통기 구멍(1)의 양측에 배치됨으로써, 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)가 걸림 결합하는 강도를 높일 수 있다.

박판(15B)은, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 박판(14B)의 하면에 접속하고, 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제2 방향 L2로 연장되는 제2 연장부(11f)를 구성한다. 이 때문에, 박판(15B)은, 박판(14B)보다 제2 방향 L2로 소정의 길이로 연장되는 점에서, 박판(15A)과는 다르다. 그 밖의 박판(15B)의 구성은 박판(15A)의 구성과 동일해도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 16에 도시한 바와 같이, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 박판(17B)은, 제2 방향 L2로 연장되는 개구부의 일부가 제4 방향 L4로 연장되는 L자형의 제1 홈부(16e)를 갖는다. 제1 홈부(16e)의 제4 방향 L4로 연장되는 개구부는, 로크 기구(16l)를 구성한다. 로크 기구(16l)에 있어서, 제1 홈부(16e)의 제2 방향 L2의 폭은, 박판(14B)의 제2 방향 L2의 폭과 개략 동등하다.

박판(18B)은, 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 외연부에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)를 갖는다. 오목부의 수에 특별히 한정은 없으며, 펠리클의 폐공간과 외부의 환기에 충분한 필터(30)를 위해 복수의 개구를 마련할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 박판(17B)과 박판(19A)에 의해 협지되는 오목부가 형성하는 구멍이, 펠리클용 지지 프레임(111B)의 외연부에 접속하고, 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)에 상당한다. 또한, 박판(18B)은, 제2 방향 L2로 연장되는 개구부의 일부가 제4 방향 L4로 연장되는 L자형의 제2 홈부(16f)를 갖는다. 제2 홈부(16f)는, 제1 홈부(16e)를 구성하는 박판(17B)의 개구부보다 제2 방향 L2로 큰 소정의 폭으로 개구된 개구부를 갖는다. 박판(18B)의 개구부는, 박판(17B)과 박판(19A)에 의해 협지됨으로써, 제2 방향 L2로 연신되는 제2 홈부(16f)를 구성한다. 제1 홈부(16e)와 제2 홈부(16f)가 접속하여, 제2 걸림 결합부(16b)를 구성한다. 또한, 박판(18B) 자체의 형상도, 원하는 프레임체의 형상에 따라 형상을 적절하게 설정 가능하다. 그 밖의 박판(18B)의 구성은 박판(18A)의 구성과 동일해도 되며, 상세한 설명은 생략한다. 박판(19A)에 대해서는 실시 형태 2에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.

펠리클용 지지 프레임(111B)에 대한 필터(30)의 착탈은, 제1 지지 프레임부(11B)의 제1 걸림 결합부(11b)를, 필터(30)의 개구(b)에 통과시키고, 또한 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1을 향하여 제2 지지 프레임부(16B)의 제1 홈부(16e)에 삽입하고, 제2 지지 프레임부(16B)의 저부에 제1 걸림 결합부(11b)가 도달한 시점에서 제1 지지 프레임부(11B)를 펠리클용 지지 프레임(111B)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킨다. 그 후, 제1 지지 프레임부(11B)를 제4 방향 L4로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부(11b)가 로크 기구(16l)에 위치하고, 제1 걸림 결합부(11b)가 제3 방향으로 되돌아갈 수 없게 되어, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)가 걸림 결합 상태로 로크된다.

제1 본체부(11a), 필터(30) 및 제2 본체부(16a)는, 동일 또는 개략적으로 동일한 폭을 갖는 프레임 형상이기 때문에, 일체화하여 펠리클용 지지 프레임(111B)을 구성할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111B)에 간편하게 설치할 수 있다. 이와 같이 하여, 펠리클용 지지 프레임(111B)의 내연부와 외연부를 접속하여, 필터(30)가 배치된 통기 구멍(1)이 구성된다.

도 16에 있어서는, 제1 홈부(16e)의 제2 방향 L2로 연장되는 개구부의 폭은, 박판(14B)의 제2 방향 L2의 폭의 2배의 폭보다 약간 크고, 제1 홈부(16e)의 제4 방향 L4로 연장되는 개구부의 길이는, 박판(14B)의 제4 방향 L4의 길이의 2배의 길이보다 약간 크지만, 본 실시 형태의 제1 홈부(16e)의 형상은, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 홈부(16e)의 제2 방향 L2로 연장되는 개구부의 폭은, 제1 걸림 결합부(11b)를 구성하는 박판(15A)을 제1 방향 L1로 삽입 가능한 폭이면 된다. 또한, 제1 홈부(16e)의 제4 방향 L4의 길이는, 제1 걸림 결합부(11b)를 구성하는 박판(14B)이 제3 방향으로 되돌아가지 않도록, 로크 기구(16l)로 이동할 수 있는 길이여도 된다. 즉, 제1 홈부(16e)의 제2 방향 L2의 폭이 박판(14B)의 제2 방향 L2의 폭과 개략 동등해도 되며, 제1 걸림 결합부(11b)의 일부가 수용되면 된다.

본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111B)에 간편하게 설치할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)에 의해 걸림 결합하고 있는 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)를 분리함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111B)으로부터 필터(30)를 간편하게 분리할 수 있다. 종래의 펠리클에 있어서는, 통기 구멍마다 필터를 배치하고 있었기 때문에, 각각의 필터를 분리할 필요가 있었다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)를 분리하면, 펠리클용 지지 프레임(111B)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터(30)로서 새로운 필터를 제1 지지 프레임부(11B)와 제2 지지 프레임부(16B)에 의해 다시 협지함으로써, 필터(30)를 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시 형태는, 실시 형태 1 내지 2 및 이들의 변형예에도 적용할 수 있다.

[실시 형태 2 및 3의 변형예]

상술한 실시 형태 2 및 3의 변형예에 대하여 설명한다. 도 17은, 본 발명의 변형예에 관한 펠리클용 지지 프레임(111C)의 모식도이다. 도 17의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111C)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111C)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 17의 (b)는, 도 17의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111C)의 단면도이고, 도 17의 (c)는, 도 17의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111C)의 단면도이다. 도 18은, 펠리클용 지지 프레임(111C)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 18의 (a)는 제1 지지 프레임부(11C)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 18의 (b)는 제2 지지 프레임부(16C)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 18의 (c) 및 도 18의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다.

제1 지지 프레임부(11C)는, 박판(12C-1)의 하면에 박판(12C-2)과 박판(13C)이 적층된 제1 본체부(11a)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 박판(12C-1) 및 박판(12C-2)은, 상술한 박판(12A)과 동일하게, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 내연부에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)를 갖는다. 오목부의 수에 특별히 한정은 없으며, 펠리클의 폐공간과 외부의 환기에 충분한 필터(30)를 위해 복수의 오목부를 마련할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 박판(12C-1)과 박판(12C-2)을 적층하여 사용하기 때문에, 박판(12C-1)과 박판(12C-2)은 박판(12A)보다 얇은 부재여도 된다. 박판(12C-1) 및 박판(12C-2)의 그 밖의 구성은, 박판(12A)과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다. 본 실시 형태에서는, 박판(12C-1) 및 박판(12C-2)의 오목부가 형성하는 개구가, 제1 방향 L1의 구멍에 상당한다. 제1 지지 프레임부(11C)는, 박판(13C)의 하면으로부터 펠리클용 지지 프레임(111C)의 제1 방향 L1로 연장되는 박판(14C-1), 박판(14C-2) 및 박판(14C-3)이 적층된 제1 연장부(11g)와, 박판(14C-3)의 하면에 배치되고, 박판(14C-3)으로부터 펠리클용 지지 프레임(111C)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 연장되는 박판(15C)에 의해 구성되는 제2 연장부(11h)가 적층되어 구성된 제1 걸림 결합부(11b)를 갖는다.

제2 지지 프레임부(16C)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(19C)의 상면에 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(18C)과, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(17C-1) 및 박판(17C-2)이 순차적으로 적층되어 구성된 제2 본체부(16a)를 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 후술하는 바와 같이, 박판(17C-2) 및 박판(18C)의 외연부에는 오목부가 배치되고, 이 오목부를 박판(17C-1)과 박판(19C)에 의해 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111C)의 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)을 배치할 수 있다.

펠리클용 지지 프레임(111C)은, 제1 본체부(11a)를 구성하는 박판(12A)에 대응하는 박판을 복수의 박판(도 17에 있어서는 박판(12C-1) 및 박판(12C-2))으로 구성하는 점, 제1 걸림 결합부(11b)를 구성하는 박판(14A)을 복수의 박판(도 17에 있어서는 박판(14C-1), 박판(14C-2) 및 박판(14C-3))으로 구성하는 점에서 실시 형태 2와는 다르다. 또한, 펠리클용 지지 프레임(111C)은, 제2 걸림 결합부(16b)를 구성하는 박판(17A)을 복수의 박판(도 17에 있어서는 박판(17C-1) 및 박판(17C-2))으로 구성하는 점에서 실시 형태 2와는 다르다. 즉, 본 변형예에 있어서는, 상술한 실시 형태 2 내지 3 및 그것들의 변형예에 있어서, 임의의 박판을 복수의 박판을 사용하여 구성하는 것이 가능하다. 또한, 본 변형예에 있어서는, 박판(17C-1)과 박판(17C-2)과 같이, 그 일부가 다른 박판을 조합해도 되는 일례로서, 도 17의 (b)에 있어서, 박판(18C)과 동일하게, 박판(17C-2)은 프레임의 외연부에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부를 갖는 점에서 박판(17C-1)과는 다르다.

본 변형예에 있어서는, 제2 걸림 결합부(16b)에 위치하는 박판(17C-1)과 박판(17C-2)의 형상을 동일한 형상으로 함으로써, 제2 걸림 결합부(16b)의 제1 방향 L1의 강도를 높일 수 있다. 한편, 박판(17C-2)은 프레임의 외연부에 접속하는 오목부를 가짐으로써, 박판(18C)과 적층하여 구성되는 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)의 제1 방향 L1에 대한 높이를 크게 하여, 환기 능력을 높일 수 있다. 또한, 본 변형예는 이들에 한정되는 것은 아니며, 임의의 박판의 형상을 인접하는 다른 박판으로 실현해도 된다. 설명한 이들 구성 이외는, 실시 형태 2 및 3과 그의 변형예에 있어서 상술한 구성과 동일한 구성을 사용해도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

펠리클용 지지 프레임(111C)에 대한 필터(30)의 착탈은, 실시 형태 1에서 설명한 방법에 의해 행할 수 있다. 제1 지지 프레임부(11C)의 제1 걸림 결합부(11b)를, 필터(30)의 개구(b)에 통과시키고, 또한 펠리클용 지지 프레임(111C)의 제1 방향 L1을 향하여 제2 지지 프레임부(16C)의 제1 홈부(16g)에 삽입하고, 제2 지지 프레임부(16C)의 저부에 제1 걸림 결합부(11b)가 도달한 시점에서 제1 지지 프레임부(11C)를 펠리클용 지지 프레임(111C)의 제1 방향 L1과 교차하는 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써, 박판(15C)에 의해 구성되는 제2 연장부(11h)가 제2 홈부(16h)에 수용되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킬 수 있다. 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)에 의해 필터(30)를 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111C)의 내연부와 외연부를 접속하고, 필터(30)가 배치된 통기 구멍(1)이 구성된다.

본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111C)에 간편하게 설치할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)에 의해 걸림 결합하고 있는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)를 분리함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111C)으로부터 필터(30)를 간편하게 분리할 수 있다. 종래의 펠리클에 있어서는, 통기 구멍마다 필터를 배치하고 있었기 때문에, 각각의 필터를 분리할 필요가 있었다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)를 분리하면, 펠리클용 지지 프레임(111C)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터(30)로서 새로운 필터를 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16C)에 의해 다시 협지함으로써, 필터(30)를 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.

[실시 형태 4]

상술한 실시 형태에 있어서는, 제2 지지 프레임부를 구성하는 박판이 적층됨으로써 제2 걸림 결합부(16b)를 구성하는 예를 나타내었지만, 본 발명에 관한 펠리클용 지지 프레임(111)은 이것에 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에 있어서는, 빗장과 같은 고정구를 제2 지지 프레임부에 배치함으로써 제2 걸림 결합부(16b)를 구성하고, 제1 걸림 결합부(11b)와 걸림 결합하는 예에 대하여 설명한다.

도 19는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111D)의 모식도이다. 도 19의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111D)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111D)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 19의 (b)는, 도 19의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111D)의 단면도이고, 도 19의 (c)는, 도 19의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111D)의 단면도이다. 도 20은, 펠리클용 지지 프레임(111D)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 20의 (a)는 제1 지지 프레임부(11C)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 20의 (b)는 제2 지지 프레임부(16D)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 20의 (c) 및 도 20의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)에 의해, 필터(30)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다. 또한, 도 21은, 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 모식도이다. 도 21의 (a)는 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 상면도이고, 도 21의 (b)는 고정구(23D)의 상면도이고, 도 21의 (c)는 도 21의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(21D)의 단면도이고, 도 21의 (d)는 도 21의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 고정구(23D)를 배치한 박판(21D)의 단면도이다.

제1 지지 프레임부(11C)는, 실시 형태 2 및 3의 변형예에서 설명한 구성과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다. 제2 지지 프레임부(16D)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(19D)의 상면에 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(18D) 상에, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(21D)과 박판(17D)이 순차적으로 적층되어 구성된 제2 본체부(16a)를 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 후술하는 바와 같이, 박판(17D) 및 박판(18D)의 외연부에는 오목부가 배치되고, 이 오목부를 박판(17D)과 박판(19D)에 의해 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111D)의 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)을 배치할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 박판(17D)이란, 제2 걸림 결합부(16b)의 위치에 있어서 박판(18D)과 동일한 형상을 갖는다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30D)도 제2 걸림 결합부(16b)의 위치에 있어서 박판(18D)과 동일한 형상을 갖는다. 즉, 박판(17D), 박판(18D) 및 필터(30D)는, 제2 걸림 결합부(16b)의 위치에 있어서, 제2 홈부(16h)를 구성하는 개구부를 갖고, 개구부의 형상은, 평면으로 보아 제2 연장부(11h)와 개략 동일한 형상이다.

박판(21D)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 외연부에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(21a)를 갖는다. 오목부(21a)의 수에 특별히 한정은 없으며, 펠리클의 폐공간과 외부의 환기에 충분한 필터(30D)를 위해 복수의 개구를 마련할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 박판(18C)과 적층되고, 박판(17D)과 박판(19D)에 의해 협지되는 오목부(21a)가 형성하는 구멍이, 펠리클용 지지 프레임(111D)의 외연부에 접속하고, 제2 방향 L2로 연신되는 구멍(5)에 상당한다. 또한, 박판(21D)은, 오목부(21a)에 인접하고, 제2 홈부(16h)가 배치되는 위치에 상당하는 위치에, 외연부에 접속하고, 고정구(23D)를 배치하였을 때 제1 홈부(16g)를 구성하는 개구부(21b)가 배치된다. 제1 홈부(16g)는, 평면으로 보아 제1 연장부(11g)와 개략 동일한 형상이다. 박판(21D)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

고정구(23D)는, 개구부(21b)의 외연부에 배치함으로써, 개구부(21b)와 함께 제1 홈부(16g)를 구성하는 부재이다. 도 21의 (b)에 있어서는, 고정구(23D)는 직사각형의 평판형 부재이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 고정구(23D)의 외연부측에는, L자형의 지그와 걸림 결합 가능한 제3 걸림 결합부(24D)를 갖는다. 제3 걸림 결합부(24D)는, 평면으로 보아 L자형의 홈부를 갖는다. 이에 의해 L자형의 지그를 사용하여 용이하게 고정구(23D)의 착탈(발출 삽입)이 가능하게 된다. 고정구(23D)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 제2 걸림 결합부(16b)는, 제2 홈부(16h)의 저부로부터 제1 방향 L1에 이격하여 배치되는 고정구(23D)를 갖고, 제2 홈부(16h)는, 제1 홈부(16g)의 저부와 고정구(23D)에 의해 구성된다. 제1 지지 프레임부(11C)의 제1 걸림 결합부(11b)를, 필터(30D)의 개구에 통과시키고, 또한 펠리클용 지지 프레임(111D)의 제1 방향 L1을 향하여 제2 지지 프레임부(16D)의 제1 홈부(16g)에 삽입한다. 고정구(23D)를 제2 지지 프레임부(16D)의 제3 방향으로 슬라이드시킴으로써, 박판(15C)에 의해 구성되는 제2 연장부(11h)가 제2 홈부(16h)에 수용되고, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)를 걸림 결합시킬 수 있다. 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)에 의해 필터(30D)를 협지함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111D)의 내연부와 외연부를 접속하고, 필터(30D)가 배치된 통기 구멍(1)이 구성된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 고정구(23D)를 제2 지지 프레임부(16D)로부터 떼어냄으로써, 제1 걸림 결합부(11b)와의 걸림 결합 상태가 해제된다.

본 실시 형태에 있어서는, 필터(30D)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 통기 구멍마다 필터를 배치할 필요는 없고, 펠리클용 지지 프레임(111D)에 간편하게 설치할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30D)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 제1 걸림 결합부(11b)와 제2 걸림 결합부(16b)에 의해 걸림 결합하고 있는 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)를 분리함으로써, 펠리클용 지지 프레임(111D)으로부터 필터(30D)를 간편하게 분리할 수 있다. 종래의 펠리클에 있어서는, 통기 구멍마다 필터를 배치하고 있었기 때문에, 각각의 필터를 분리할 필요가 있었다. 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30D)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 1개의 부재이기 때문에, 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)를 분리하면, 펠리클용 지지 프레임(111D)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.

또한, 일 실시 형태에 있어서, 필터(30D)로서 새로운 필터를 제1 지지 프레임부(11C)와 제2 지지 프레임부(16D)에 의해 다시 협지함으로써, 필터(30D)를 간편하게 교환할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 필터(30D)를 고정하기 위해 접착제를 사용하고 있지 않기 때문에, 접착제로부터의 아웃 가스의 발생이 저감되고, 원판과 펠리클에 의해 형성되는 공간 내의 EUV광이 조사되는 영역에 있어서의 콘타미네이션이 억제된다. 또한, 접착제로부터의 아웃 가스에 의한 노광 장치의 광학계 렌즈에 흐림을 발생시키거나, 노광 불량이나 광량 부족이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.

[실시 형태 5]

도 22는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111E)을 도시하는 모식도이다. 도 22의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111E)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111E)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 22의 (b)는, 도 22의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111E)의 단면도이고, 도 22의 (c)는, 도 22의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111E)의 단면도이다. 도 22에 있어서는, 일례로서, 실시 형태 2에서 설명한 펠리클용 지지 프레임(111A)에 천장판(25E)을 배치한 예를 도시하지만, 본 실시 형태는 이것에 한정되지 않고, 상기 실시 형태 및 변형예에서 설명한 어느 펠리클용 지지 프레임에도 적용 가능하다.

도 23은, 천장판(25E)의 모식도이다. 도 23의 (a)는 천장판(25E)의 상면도이고, 도 23의 (b)는 도 23의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 천장판(25E)의 단면도이고, 도 23의 (c)는 도 23의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 천장판(25E)의 단면도이다. 천장판(25E)은, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판이며, 박판(19A)과 개략 동일한 형상을 갖는다. 천장판(25E)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다. 도 22의 (a)에서는, 천장판(25E)이 존재하기 때문에, 상면으로부터 필터(30)를 관찰할 수는 없지만, 하층에서 필터(30)가 배치되는 장소에 대하여, 점선을 사용하여 도시하고 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 천장판(25E)은, 박판(12A) 상에 접속되고, 구멍(3)의 상부는 천장판(25E)에 의해 덮인다. 본 실시 형태에 있어서는, 박판(13A), 박판(12A) 및 천장판(25E)이 순차적으로 적층됨으로써, 구멍(3)의 제2 단부에 접속하고, 제2 방향 L2에 마련된 구멍(7)(제3 구멍)을 갖는 통기 구멍(1)을 구성한다. 천장판(25E)은, 펠리클막 또는 펠리클막체와 접속된다. 실시 형태 5에서는, 펠리클막 또는 펠리클막체와의 접속을 천장판 전체에서 행할 수 있기 때문에, 접속 강도를 높일 수 있다. 또한, 필터(30)가 천장판(25E)으로 덮이기 때문에, 노광광이 필터(30)에 닿기 어려워, 필터(30)의 열화를 보다 억제할 수 있다.

[실시 형태 6]

도 27은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111F)을 도시하는 모식도이다. 도 27의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111F)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111F)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 27의 (b)는, 도 27의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111F)의 단면도이고, 도 27의 (c)는, 도 27의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111F)의 단면도이다. 펠리클용 지지 프레임(111F)은, 실시 형태 2에서 설명한 펠리클용 지지 프레임(111A)과 유사한 구성을 갖는다. 따라서, 펠리클용 지지 프레임(111A)과 동일 또는 유사한 구성에 대한 설명은 생략한다. 펠리클용 지지 프레임(111F)은, 노광광을 차광하는 벽(17F)이, 필터보다 내측(도 1에 있어서, 화살표 P로 나타낸 펠리클을 원판에 장착한 경우의 폐공간 부분측)에 배치되는 점에서, 실시 형태 2에 나타낸 펠리클용 지지 프레임(111A)과는 다르다.

펠리클막을 통하여 원판에 조사된 EUV광은, 원판의 표면에서 산란ㆍ회절하여, 일부의 EUV광은 펠리클용 지지 프레임의 내벽에도 조사된다. 여기서, 도 4의 (b) 및 도 4의 (c)를 참조하면, 필터(30)는 단부면이 노출되는 구조로 되어 있다. 이 때문에, 펠리클용 지지 프레임(111A)의 내측(단면 방향 B 및 D측)에서는, 필터(30)의 단부면의 노출 면적이 작기는 하지만, 산란ㆍ회절된 EUV광에 폭로되어, 광 열화를 일으킬 가능성도 있다. 광 열화에 의해 생긴 아웃 가스는, 원판의 표면에 콘타미네이션을 퇴적시킬 우려가 있다.

펠리클용 지지 프레임(111F)에 있어서는, 노광광을 차광하는 벽(17F)이, 필터(30F)보다 내측에 배치되기 때문에, 필터(30F)가 노광광에 폭로되는 일이 없어, 필터(30F)를 보호할 수 있다. 도 28의 (a)는 벽(17F)의 상면도이고, 도 28의 (b)는 도 28의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 벽(17F)의 단면도이다. 벽(17F)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이다. 벽(17F)의 선분 AB의 폭은, EUV광을 차광 가능한 폭이면 되며, 벽(17F)의 원료의 EUV광의 투과율로부터 결정할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 벽(17F)은, EUV광을 90％ 이상, 95％ 이상, 98％ 이상 또는 99％ 이상 차광할 수 있다. 벽(17F)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있지만, EUV광을 반사 또는 산란하지 않고, 흡수하는 재료인 것이 바람직하다.

벽(17F)의 높이는, 필터(30F)가 산란ㆍ회절된 EUV광에 폭로되는 것을 방지하는 목적으로부터, 필터(30F)의 두께보다 큰 것이 바람직하며, 필터(30F)의 두께와 박판(13F)의 두께의 합계값 이하이다. 벽(17F)의 높이가 필터(30F)의 두께와 박판(13F)의 두께의 합계값과 동등하면, 벽(17F)은 박판(12F)과 박판(17A)에 의해 협지되어, 절결부(N) 이외의 부분에서는, 필터(30F)가 EUV광에 의해 폭로되는 것을 완전히 방지할 수 있다. 또한, 절결부(N)에 있어서도, 벽(17F)은, 필터(30F)가 EUV광에 의해 폭로되는 것을 실질적으로 방지할 수 있다. 또한, 벽(17F)은, 박판(17A)과 일체로 구성되어 있어도 된다.

도 29는, 박판(13F)의 모식도이다. 도 29의 (a)는 박판(13F)의 상면도이고, 도 29의 (b)는 도 29의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13F)의 단면도이고, 도 29의 (c)는 도 29의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13F)의 단면도이다. 박판(12F)과 박판(17A)의 사이에 벽(17F)을 배치하기 때문에, 박판(13F)의 폭은, 박판(17A)의 폭보다 폐공간 부분측의 폭이 좁아지도록 설정된다. 이 이외의 구성에 대해서는, 박판(13F)은, 박판(13A)과 동일한 구성을 가져도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 30은, 필터(30F)의 모식도이다. 도 30의 (a)는 필터(30F)의 상면도이고, 도 30의 (b)는 도 30의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30F)의 단면도이고, 도 30의 (c)는 도 30의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30F)의 단면도이다. 박판(12F)과 박판(17A)의 사이에 벽(17F)을 배치하기 때문에, 필터(30F)의 폭은, 박판(17A)의 폭보다 폐공간 부분측의 폭이 좁아지도록 설정된다. 이 이외의 구성에 대해서는, 필터(30F)는, 필터(30)와 동일한 구성을 가져도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

펠리클용 지지 프레임(111F)에 있어서는, 제1 지지 프레임부는, 박판(12A), 박판(13F), 박판(14A) 및 박판(15A)으로 구성된다. 또한, 제2 지지 프레임부는, 벽(17F), 박판(17A), 박판(18A) 및 박판(19A)으로 구성된다. 펠리클용 지지 프레임(111F)에 있어서는, 펠리클용 지지 프레임(111A)과 동일하게, 제1 지지 프레임부와 제2 지지 프레임부에 의해 필터(30F)를 협지한다. 도 5의 (d)에 도시한 바와 같이, 제2 방향 L2로 슬라이드시킴으로써, 제1 걸림 결합부와 제2 걸림 결합부를 걸림 결합시키기 때문에, 도 27의 (b) 및 도 27의 (c)에 있어서는, 벽(17F)과, 박판(13F) 및 필터(30F)의 사이에 약간의 간극을 마련함으로써, 박판(13F) 및 필터(30F)가 벽(17F)에 충돌하여 발진하는 것을 방지하는 것이 바람직하다. 또한, 필터(30F)가 EUV광에 의해 폭로되는 것을 방지하는 관점에서, 발진하지 않을 정도의 거리로 벽(17F)과, 박판(13F) 및 필터(30F)를 근접시켜도 된다.

펠리클용 지지 프레임(111F)에 있어서는, 벽(17F)을 배치함으로써, 필터(30F)의 열화, 및 콘타미네이션의 퇴적을 억제할 수 있다. 또한, 도 27에 있어서는, 일례로서, 실시 형태 2에서 설명한 펠리클용 지지 프레임(111A)과 유사한 구성을 도시하지만, 본 실시 형태는 이것에 한정되지 않고, 상기 실시 형태 및 변형예에서 설명한 어느 펠리클용 지지 프레임에도 적용 가능하다. 또한, 실시 형태 5에 있어서 설명한 천장판(25E)을 펠리클용 지지 프레임(111F)에 배치할 수 있다.

[실시 형태 7]

상술한 실시 형태에 있어서는, 제1 지지 프레임부와 제2 지지 프레임부를 슬라이드시키는 것, 또는 고정구를 사용함으로써, 필터를 협지하여 고정하였다. 실시 형태 7에 있어서는, 제3 고정 방법에 대하여 설명한다. 도 31은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클용 지지 프레임(111G)을 도시하는 모식도이다. 도 31의 (a)는, 펠리클용 지지 프레임(111G)을 펠리클막이 배치되는 측으로부터 펠리클용 지지 프레임(111G)이 배치되는 원판의 면 방향으로 본 모식도이다. 도 31의 (b)는, 도 31의 (a)의 선분 AB에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111G)의 단면도이고, 도 31의 (c)는, 도 31의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클용 지지 프레임(111G)의 단면도이다. 펠리클용 지지 프레임(111G)은, 걸침부(19G)를 사용하여 제1 지지 프레임부와 제2 지지 프레임부를 고정하는 점에서, 상술한 실시 형태와는 다르다.

도 32는, 펠리클용 지지 프레임(111G)을 구성하는 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)의 상세를 설명하는 모식도이다. 도 32의 (a)는, 제1 지지 프레임부(11G)의 상세를 설명하는 모식도이고, 도 32의 (b)는, 제2 지지 프레임부(16G)의 상세를 설명하는 모식도이다. 또한, 도 32의 (c)는, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)에 의해, 필터(30G)를 협지하여 고정하는 방법을 설명하는 모식도이고, 도 32의 (d)는, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)를 분리하는 방법을 설명하는 모식도이다.

펠리클용 지지 프레임(111G)은, 제1 지지 프레임부(11G)와, 제2 지지 프레임부(16G)와, 필터(30G)를 갖는다. 필터(30G)는 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)에 의해 협지된다. 제1 지지 프레임부(11G)는, 예를 들어 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(12G)과, 박판(12G)의 하면에 배치된 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(13G)이 적층된 구조를 갖는다. 또한, 제1 지지 프레임부(11G)는, 제2 지지 프레임부(16G)에 배치된 걸림부(19G)와 걸림 결합하기 위한 제1 걸림 결합부(11m)를 갖는다. 걸림부(19G)는, 제1 걸림 결합부(11m)와 걸림 결합하기 위한 제2 걸림 결합부(16m)를 갖는다. 펠리클용 지지 프레임(111G)은, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)를 걸림 결합시킴으로써, 필터(30G)를 협지하여 고정한다. 또한, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)의 걸림 결합을 해제함으로써, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)를 분리하여, 필터(30G)를 교환하는 것이 가능하다.

제1 지지 프레임부(11G)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(12G)과 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(13G)이 적층된 구조를 갖는다. 도 32의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 걸림 결합부(11m)(선분 CD)에 있어서는, 박판(12G)의 제2 방향 L2의 폭은, 박판(13G)의 제2 방향 L2의 폭보다 짧다. 제1 걸림 결합부(11m)에서의 박판(12G)의 폭과 박판(13G)의 폭의 차는, 제2 걸림 결합부(16m)와 걸림 결합 가능한 범위에서 임의로 설정 가능하다.

제2 지지 프레임부(16G)는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(19A)의 상면에 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(18G) 및 평판형의 프레임 형상을 갖는 박판(17G)이 순차적으로 적층되어 구성된 제2 걸림 결합부(16m)를 갖는다. 또한, 제2 지지 프레임부(16G)는 걸림부(19G)를 갖는다. 걸림부(19G)는, 소정의 길이를 갖는 벽형 부재(19G-2)와 소정의 길이를 갖는 평판형 부재(19G-1)로 구성된다. 걸림부(19G)는, 박판(19A)의 상면에 벽형 부재(19G-2)와 평판형 부재(19G-1)가 순차적으로 적층되어 구성되고, 일 실시 형태에 있어서, 2개의 걸림부(19G)가 박판(19A)의 상면에 대향하여 배치된다. 바꾸어 말하면, 2개의 걸림부(19G)는, 박판(17G) 및 박판(18G)을 사이에 두고 배치된다. 도 32의 (b)에 도시한 바와 같이, 제2 걸림 결합부(16m)(선분 CD)에 있어서는, 평판형 부재(19G-1)의 제2 방향 L2의 폭은, 벽형 부재(19G-2)의 제2 방향 L2의 폭보다 길다. 제2 걸림 결합부(16m)에서의 평판형 부재(19G-1)의 폭과 벽형 부재(19G-2)의 폭의 차는, 제1 걸림 결합부(11m)와 걸림 결합 가능한 범위에서 임의로 설정 가능하다. 또한, 걸림부(19G)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 2개의 걸림부(19G)를 한 쌍으로 하여, 제2 지지 프레임부(16G)는 두 쌍 이상, 바람직하게는 네 쌍 이상의 걸림부(19G)를 갖는다.

여기서, 제1 지지 프레임부(11G) 및 제2 지지 프레임부(16G)를 구성하는 각 박판에 대하여, 더 설명한다. 또한, 박판(19A)의 구성에 대해서는 상술한 실시 형태에 있어서 설명하였기 때문에, 추가적인 설명은 생략한다. 도 33은, 박판(12G)의 모식도이다. 도 33의 (a)는 박판(12G)의 상면도이고, 도 33의 (b)는 도 33의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(12G)의 단면도이고, 도 33의 (c)는 도 33의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(12G)의 단면도이다. 박판(12G)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 프레임의 내연부(펠리클막이 매달려 걸쳐 놓아지는 측이며, 펠리클로서 사용하였을 때 폐공간을 형성하는 측임)에 접속하고, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(12a)를 갖는다. 오목부(12a)에 대해서는, 상술한 실시 형태에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 도 33의 (a)에 도시한 바와 같이, 오목부(12a)에 인접하는 영역은, 박판(19A)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제1 지지 프레임부(11G)에 필요한 강도를 부여한다. 또한, 선분 CD에서의 제1 걸림 결합부(11m)를 구성하는 프레임의 양측 부분에는, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(12c)를 갖는다. 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 평판형 부재(19G-1)가 인접하여 배치되기 때문에, 오목부(12a)에 인접하는 영역보다, 오목부(12c)를 2개 배치한 폭만큼, 제2 방향 L2의 폭이 좁게 설정된다. 도 31의 (c)에 있어서, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 박판(12G)과 평판형 부재(19G-1)의 사이에는 약간의 간극이 배치되어도 된다. 그 밖의 박판(12G)의 구성은, 박판(12A)과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 34는, 박판(13G)의 모식도이다. 도 34의 (a)는 박판(13G)의 상면도이고, 도 34의 (b)는 도 34의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(13G)의 단면도이고, 도 34의 (c)는 도 34의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(13G)의 단면도이다. 박판(13G)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 제1 방향 L1에 개구된 개구부(13a)를 갖는다. 개구부(13a)에 대해서는, 상술한 실시 형태에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 개구부(13a)에 인접하는 영역은, 박판(19A)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제1 지지 프레임부(11G)에 필요한 강도를 부여한다. 또한, 선분 CD에서의 제1 걸림 결합부(11m)를 구성하는 프레임의 양측 부분에는, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(13c)를 갖는다. 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 벽형 부재(19G-2)가 인접하여 배치되기 때문에, 개구부(13a)에 인접하는 영역보다, 오목부(13c)를 2개 배치한 폭만큼, 제2 방향 L2의 폭이 좁게 설정된다. 도 31의 (c)에 있어서, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 박판(13G)과 벽형 부재(19G-2)의 사이에는 약간의 간극이 배치되어도 된다. 그 밖의 박판(13G)의 구성은, 박판(13A)과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 35는, 필터(30G)의 모식도이다. 도 35의 (a)는 필터(30G)의 상면도이고, 도 35의 (b)는 도 35의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 필터(30G)의 단면도이고, 도 35의 (c)는 도 35의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 필터(30G)의 단면도이다. 필터(30G)는, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 제1 걸림 결합부(11m) 및 제2 걸림 결합부(16m)에 대응하는 위치에 2개의 오목부(30c)를 갖는다. 즉, 오목부(30c)는, 박판(13G)의 개구부(13a)가 배치되는 영역에 인접하는 영역에 대응하는 필터(30G)의 위치에 배치된다. 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 벽형 부재(19G-2)가 인접하여 배치되기 때문에, 개구부(13a)가 배치되는 영역보다, 오목부(30c)를 2개 배치한 폭만큼, 제2 방향 L2의 폭이 좁게 설정된다. 도 31의 (c)에 있어서, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 필터(30G)와 벽형 부재(19G-2)의 사이에는 약간의 간극이 배치되어도 된다. 필터(30G)의 그 밖의 구성은, 필터(30)와 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 36은, 박판(17G)의 모식도이다. 도 36의 (a)는 박판(17G)의 상면도이고, 도 36의 (b)는 도 36의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(17G)의 단면도이고, 도 36의 (c)는 도 36의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(17G)의 단면도이다. 박판(17G)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 제1 방향 L1에 개구된 개구부(17a)를 갖는다. 개구부(17a)에 대해서는, 상술한 실시 형태에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 개구부(17a)에 인접하는 영역은, 박판(19A)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제2 지지 프레임부(16G)에 필요한 강도를 부여한다. 또한, 선분 CD에서 제2 지지 프레임부(16G)를 구성하는 프레임의 양측 부분에는, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(17c)를 갖는다. 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 벽형 부재(19G-2)가 인접하여 배치되기 때문에, 개구부(17a)에 인접하는 영역보다, 오목부(17c)를 2개 배치한 폭만큼, 제2 방향 L2의 폭이 좁게 설정된다. 도 31의 (c)에 있어서, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 박판(17G)과 벽형 부재(19G-2)의 사이에는 약간의 간극이 배치되어도 된다. 그 밖의 박판(17G)의 구성은, 박판(17A)과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 37은, 박판(18G)의 모식도이다. 도 37의 (a)는 박판(18G)의 상면도이고, 도 37의 (b)는 도 37의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 박판(18G)의 단면도이고, 도 37의 (c)는 도 37의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 박판(18G)의 단면도이다. 박판(18G)은, 예를 들어 직사각형의 프레임 형상이며, 제1 방향 L1에 개구된 개구부(18a)를 갖는다. 개구부(18a)에 대해서는, 상술한 실시 형태에 있어서 설명하였기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 개구부(18a)에 인접하는 영역은, 박판(19A)의 폭에 상당하는 폭을 갖고, 제2 지지 프레임부(16G)에 필요한 강도를 부여한다. 또한, 선분 CD에서 제2 지지 프레임부(16G)를 구성하는 프레임의 양측 부분에는, 제2 방향으로 오목한 오목부(패임 형상)(18c)를 갖는다. 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 벽형 부재(19G-2)가 인접하여 배치되기 때문에, 오목부(18a)에 인접하는 영역보다, 오목부(18c)를 2개 배치한 폭만큼, 제2 방향 L2의 폭이 좁게 설정된다. 도 31의 (c)에 있어서, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 걸림 결합할 때, 박판(18G)과 벽형 부재(19G-2)의 사이에는 약간의 간극이 배치되어도 된다. 그 밖의 박판(18G)의 구성은, 박판(18A)과 동일한 구성이어도 되며, 상세한 설명은 생략한다.

도 38은, 평판형 부재(19G-1)의 모식도이다. 도 38의 (a)는 평판형 부재(19G-1)의 상면도이고, 도 38의 (b)는 도 38의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 평판형 부재(19G-1)의 단면도이다. 평판형 부재(19G-1)는, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 벽형 부재(19G-2)를 통하여, 박판(19A)의 상면에 접속하고, 제2 방향 L2로 연장되는 걸림부(19G)의 제2 걸림 결합부(16m)를 구성한다. 평판형 부재(19G-1)는, 벽형 부재(19G-2)보다 제2 방향 L2로 소정의 길이로 연장된다. 벽형 부재(19G-2)로부터 제2 방향 L2로 연장되는 평판형 부재(19G-1)의 부분은, 제1 걸림 결합부(11m)와의 걸림 결합에 관여한다. 여기서, 제2 방향 L2로 연장되는 평판형 부재(19G-1)의 부분의 길이는, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)가 걸림 결합하는 강도가 얻어지는 범위에서 임의로 설정 가능하다. 이 때문에, 제2 방향 L2로 연장되는 평판형 부재(19G-1)의 부분을 길게 하면, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)의 걸림 결합의 확실성이 높아진다. 평판형 부재(19G-1)는, 개구부(12a)가 배치되는 박판(12G)의 영역에 인접하는 영역에 배치된다. 평판형 부재(19G-1)의 수에 특별히 한정은 없으며, 개구부(12a)의 양옆에 위치하는 박판(12G)의 영역에 한 쌍씩 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 통기 구멍(1)의 양측에 배치됨으로써, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)가 걸림 결합하는 강도를 높일 수 있어, 필터를 통하여 통기할 때의 공기 누설이 적어진다. 평판형 부재(19G-1)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 39는, 벽형 부재(19G-2)의 모식도이다. 도 39의 (a)는 벽형 부재(19G-2)의 상면도이고, 도 39의 (b)는 도 39의 (a)에 도시한 선분 CD에서의 벽형 부재(19G-2)의 단면도이다. 벽형 부재(19G-2)는, 예를 들어 직사각형의 형상이며, 박판(19A)의 상면에 접속하고, 펠리클용 지지 프레임(111G)의 제1 방향 L1로 연장된다. 벽형 부재(19G-2)는, 제2 방향 L2로 연장되는 평판형 부재(19G-1)에 접속하여, 걸림부(19G)의 제2 걸림 결합부(16m)를 구성한다. 벽형 부재(19G-2)는, 개구부(13a)가 배치되는 박판(13G)의 영역에 인접하는 영역에 배치된다. 벽형 부재(19G-2)의 수에 특별히 한정은 없으며, 개구부(13a)의 양옆에 위치하는 박판(13G)의 영역에 한 쌍씩 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)가 통기 구멍(1)의 양측에 배치됨으로써, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)가 걸림 결합하는 강도를 높일 수 있어, 필터를 통하여 통기할 때의 공기 누설이 적어진다. 벽형 부재(19G-2)의 원료로서는 금속, 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹스, 수지를 들 수 있다.

도 32의 (c) 및 도 32의 (d)를 참조하여, 펠리클용 지지 프레임(111G)에 대한 필터(30G)의 착탈 방법에 대하여 설명한다. 도 32의 (c)는, 펠리클용 지지 프레임(111G)에 필터(30G)를 고정하는 방법을 설명하는 모식도이다. 제2 지지 프레임부(16G)의 박판(17G)의 상면에 필터(30G)를 배치한다. 이때, 필터(30G)의 오목부(30c)는, 벽형 부재(19G-2)에 대응하는 위치에 배치된다. 따라서, 오목부(30c)가 배치된 위치에 있어서, 필터(30G)는, 한 쌍의 벽형 부재(19G-2)에 의해 협지된다. 그 후, 제1 지지 프레임부(11G)를, 제1 방향 L1을 향하여 필터(30G) 상에 배치한다. 이에 의해, 제1 지지 프레임부(11G)의 오목부(13c)가 한 쌍의 평판형 부재(19G-1)의 사이를 통과하고, 박판(13G)과 필터(30G)가 밀착된다. 펠리클용 지지 프레임(111G)에 있어서는, 벽형 부재(19G-2)가 가요성을 가짐으로써, 박판(13G)의 오목부(13c)가 한 쌍의 평판형 부재(19G-1)의 사이를 통과할 때, 벽형 부재(19G-2)가 제2 방향 L2(박판(13G)의 외측)를 향하여 휨으로써, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)를 걸림 결합시킬 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 다른 실시 게제에서 설명한 슬라이드나 고정구를 사용하는 방식에 비하여, 프레임의 구조가 간이해짐과 함께, 미끄럼 이동 동작이 없는 고정 방식이기 때문에, 발진의 리스크가 저감된다.

도 32의 (d)는, 펠리클용 지지 프레임(111G)에 필터(30G)를 분리하는 방법을 설명하는 모식도이다. 예를 들어, 제2 걸림 결합부(16m)를 제2 방향 L2(박판(13G)의 외측)를 향하여 인장하면서, 제1 지지 프레임부(11G)를 제1 방향 L1을 향하여 들어올린다. 이에 의해, 제1 걸림 결합부(11m)와 제2 걸림 결합부(16m)의 걸림 결합이 해제되고, 제1 지지 프레임부(11G)와 제2 지지 프레임부(16G)를 분리시킨다. 펠리클용 지지 프레임(111G)으로부터 제1 지지 프레임부(11G)를 분리함으로써, 필터(30G)를 제2 지지 프레임부(16G)로부터 분리하여, 교환할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서 설명한 필터의 협지 및 고정 방법은, 상술한 다른 실시 형태의 층 구성에 대해서도 적용 가능하다.

[펠리클]

상술한 각 실시 형태에 나타낸 지지 프레임에 펠리클막(102) 또는 펠리클 프레임체를 배치함으로써, 펠리클을 구성할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 본 발명의 실시 형태에 관한 펠리클막(102)은 매우 얇은 막이기 때문에, 핸들링의 면에서, 펠리클막(102)의 한쪽 면에 제1 프레임체를 마련한 펠리클 프레임체로 하고, 펠리클 프레임체를 지지 프레임에 배치하는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 펠리클막(102) 또는 펠리클 프레임체와, 지지 프레임의 접속 방법은 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어 점착 시트, 접착제, 접합제, 상온 접합, 다이렉트 접합, 원자 확산 접합, 금속 접합, 용착, 땜납 접합, 열 압착, 핫 멜트, 플럭스 접합, 면 패스너, 반데르발스 힘, 정전력, 자력, 나사ㆍ핀ㆍ클립ㆍ코오킹 등의 기계력으로 접속할 수 있다.

도 24는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 펠리클(100)을 도시하는 모식도이다. 도 24의 (a)는 펠리클(100)의 상면도이고, 도 24의 (b)는 도 24의 (a)에 도시한 선분 AB에서의 펠리클(100)의 단면도이고, 도 24의 (c)는 도 24의 (a)의 선분 CD에 있어서의 펠리클(100)의 단면도이다. 도 24에 있어서는, 일례로서, 실시 형태 5에서 설명한 펠리클용 지지 프레임(111E)에 제1 프레임체(104)에 배치된 펠리클막(102)을 배치한 예를 도시하지만, 본 실시 형태는 이것에 한정되지 않고, 상기 실시 형태 및 변형예에서 설명한 어느 펠리클용 지지 프레임에도 적용 가능하다.

제1 프레임체(104)는, 대략 직사각형의 프레임 형상이며, 금속, 유리, 실리콘, 세라믹스, 그래파이트, 수지 등으로부터 선택되는 재료로 구성된다. 펠리클막(102)은, 제1 프레임체(104)에 매달려 걸쳐 놓아지고, 제1 프레임체(104)는, 펠리클막(102)을 지지한다. 제1 프레임체(104) 상에 펠리클막(102)을 배치한 구조체를 펠리클 프레임체(106)라고 칭한다. 펠리클(100)에 있어서, 펠리클 프레임체(106)는, 접착층(39)을 기재시켜, 펠리클용 지지 프레임(111E)의 천장판(25E)의 상면에 첩부된다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 펠리클막(102)의 한쪽 면에 마련된 제1 프레임체(104)를 통하여, 펠리클용 지지 프레임(111E)에 펠리클막(102)이 마련된 구성으로 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 지지부가 펠리클막(102)을 지지하는 제1 프레임체(104)와, 펠리클용 지지 프레임(111C)을 구성하는 제2 프레임체를 갖는 예를 나타내었지만, 본 실시 형태는 이것에 한정되지 않고, 제1 프레임체(104)를 통하지 않고, 펠리클용 지지 프레임(111E)에 펠리클막(102)을 배치해도 된다.

접착층(39)은, 펠리클막 또는 제1 프레임체와, 지지 프레임을 접착하는 층이다. 접착층(39)은, 예를 들어 양면 점착 테이프, 실리콘 수지 점착제, 아크릴계 점착제, 폴리올레핀계 점착제, 무기계 접착제 등이다. EUV 노광 시의 진공도를 유지하는 관점에서, 접착층(39)은 아웃 가스가 적은 것이 바람직하다. 아웃 가스의 평가 방법으로서, 예를 들어 승온 탈리 가스 분석 장치를 사용할 수 있다. 접착층(39)은, 펠리클막 또는 제1 프레임체와, 지지 프레임의 접속 전에, 미리 지지 프레임에 형성되어 있어도 된다. 접착층(39)은, 지지 프레임 중, 가장 펠리클막측에 배치된 층 상에 형성하면 된다.

[펠리클막]

펠리클막의 두께(2층 이상으로 구성되는 경우에는 총 두께)는, 예를 들어 10nm 내지 200nm로 할 수 있으며, 10nm 내지 100nm가 바람직하고, 10nm 내지 70nm가 보다 바람직하고, 10nm 내지 50nm가 특히 바람직하다.

펠리클막은 EUV광의 투과율이 높은 것이 바람직하며, EUV 리소그래피에 사용하는 광(예를 들어, 파장 13.5nm의 광이나 파장 6.75nm의 광)의 투과율이 50％ 이상인 것이 바람직하고, 80％ 이상인 것이 보다 바람직하고, 90％ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 펠리클막이 보호층과 적층되는 경우에는, 이것들을 포함하는 막의 광의 투과율이 50％ 이상인 것이 바람직하다.

펠리클막의 재료는, 공지된 EUV용 펠리클막의 재료를 사용하면 된다. 펠리클막의 재료로서는, 예를 들어 카본 나노튜브, 다이아몬드 라이크 카본, 아몰퍼스 카본, 그래파이트, 탄화규소 등의 탄소계 재료, 단결정 실리콘, 다결정 실리콘, 비정질 실리콘, 메탈 실리사이드 등의 실리콘계 재료, 방향족 폴리이미드, 지방족 폴리이미드, 가교 폴리에틸렌, 가교 폴리스티렌, 폴리에테르이미드, 폴리페닐렌술폰, 폴리페닐렌에테르, 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 방향족 폴리아미드, 파릴렌 등의 고분자계 재료를 들 수 있다.

[노광 원판]

도 25는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 노광 원판(181)의 단면의 구성을 도시하는 모식도이다. 일례로서, 노광 원판(181)은, 펠리클막(102) 및 펠리클용 지지 프레임(111)을 포함하는 펠리클(100)과, 원판(184)을 구비한다. 본 발명에 관한 노광 원판(181)은, 원판(184)에 장착된 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막(102)이 마련된 펠리클(100)에 있어서, 펠리클용 지지 프레임(111)의 통기 구멍에 마련된 필터(30)의 착탈을 가능하게 하여, 원판(184)에 대한 콘타미네이션을 저감할 수 있다. 도 25에 있어서는, 펠리클막(102) 및 펠리클용 지지 프레임(111)을 포함하는 펠리클(100)을 패턴이 형성된 원판(184)의 면에 배치하는 예를 도시하였지만, 본 발명에 관한 노광 원판은 이것에 한정되는 것은 아니며, 상술한 각 실시 형태에 있어서 설명한 지지 프레임을 갖는 펠리클을 배치해도 된다.

본 발명에 관한 펠리클을 원판에 장착하는 방법은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 원판에 지지 프레임을 직접 첩부해도 되고, 지지 프레임의 한쪽 단부면에 있는 원판용 접착제층을 개재시켜도 되고, 기계적으로 고정하는 방법이나 자석 등의 인력을 이용하여 원판과 지지 프레임을 고정해도 된다. 원판용 접착제층은, 접착층(39)과 동일한 것을 사용할 수 있기 때문에 상세한 기재는 생략한다.

[펠리클의 용도]

본 발명의 펠리클은, EUV 노광 장치 내에서, 원판에 이물이 부착되는 것을 억제하기 위한 보호 부재로서 뿐만 아니라, 원판의 보관 시나, 원판의 운반 시에 원판을 보호하기 위한 보호 부재로 해도 된다. 예를 들어, 원판에 펠리클을 장착한 상태(노광 원판)로 해 두면, EUV 노광 장치로부터 분리한 후, 그대로 보관하는 것 등이 가능하게 된다. 펠리클을 원판에 장착하는 방법에는, 접착제로 첩부하는 방법, 기계적으로 고정하는 방법 등이 있다.

[노광 장치]

도 26은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 노광 장치(180)를 도시하는 모식도이다. 도 26에 있어서, 노광 원판(181)은 단면도로 도시한다.

일례로서, EUV 노광 장치(180)는, EUV광을 방출하는 광원(182)과, 본 실시 형태의 노광 원판의 일례인 노광 원판(181)과, 광원(182)으로부터 방출된 EUV광을 노광 원판(181)으로 유도하는 조명 광학계(183)를 구비한다.

EUV 노광 장치(180)에서는, 광원(182)으로부터 방출된 EUV광이 조명 광학계(183)에서 집광되어 조도가 균일화되어, 노광 원판(181)에 조사된다. 노광 원판(181)에 조사된 EUV광은, 원판(184)에 의해 패턴형으로 반사된다.

이 노광 원판(181)은, 본 실시 형태의 노광 원판의 일례이다. 광원(182)으로부터 방출된 EUV광이 펠리클막(102)을 투과하여 원판(184)에 조사되도록 배치되어 있다. 원판(184)은, 조사된 EUV광을 패턴형으로 반사하는 것이다.

조명 광학계(183)에는, EUV광의 광로를 조정하기 위한 복수매의 다층막 미러(189)와 광 결합기(옵티컬 인터그레이터) 등이 포함된다.

광원(182) 및 조명 광학계(183)는, 공지된 광원 및 조명 광학계를 사용할 수 있다.

EUV 노광 장치(180)에 있어서, 광원(182)과 조명 광학계(183)의 사이, 및 조명 광학계(183)와 원판(184)의 사이에는, 필터ㆍ윈도우(185 및 186)가 각각 설치되어 있다. 필터ㆍ윈도우(185 및 186)는, 비산 입자(파편)를 포착할 수 있는 것이다. 또한, EUV 노광 장치(180)는, 원판(184)이 반사시킨 EUV광을 감응 기판(187)으로 유도하는 투영 광학계(188)를 구비하고 있다. 투영 광학계(188)는, 원판(184)이 반사시킨 EUV광을 감응 기판(187)으로 유도하기 위해, 복수의 다층막 미러(190) 및 다층막 미러(191)를 구비해도 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 노광 장치는, 통기 구멍에 필터가 착탈 가능하게 마련되고, 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막이 마련된 펠리클이 노광 원판에 접속되어 있기 때문에, 노광 장치의 광학계에 대한 영향을 저감할 수 있다.

본 실시 형태의 노광 장치는, 노광광(바람직하게는 EUV광 등, 보다 바람직하게는 EUV광. 이하 동일함)을 방출하는 광원과, 본 실시 형태의 노광 원판과, 광원으로부터 방출된 노광광을 노광 원판으로 유도하는 광학계를 구비하고, 노광 원판은, 광원으로부터 방출된 노광광이 펠리클막을 투과하여 원판에 조사되도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이 양태에 따르면, EUV광 등에 의해 미세화된 패턴(예를 들어 선폭 32nm 이하)을 형성할 수 있는 것에 추가하여, 이물에 의한 해상 불량이 문제로 되기 쉬운 EUV광을 사용한 경우라도, 이물에 의한 해상 불량이 저감된 패턴 노광을 행할 수 있다.

[반도체 장치의 제조 방법]

본 실시 형태의 반도체 장치의 제조 방법은, 광원으로부터 방출된 노광광을, 본 실시 형태의 노광 원판의 펠리클막을 투과시켜 원판에 조사하여, 원판에서 반사시키는 스텝과, 원판에 의해 반사된 노광광을, 펠리클막을 투과시켜 감응 기판에 조사함으로써, 감응 기판을 패턴형으로 노광하는 스텝을 갖는다.

본 실시 형태의 반도체 장치의 제조 방법에 따르면, 이물에 의한 해상 불량이 문제로 되기 쉬운 EUV광을 사용한 경우라도, 이물에 의한 해상 불량이 저감된 반도체 장치를 제조할 수 있다. 예를 들어 본 발명에 관한 노광 장치를 사용함으로써, 본 실시 형태의 반도체 장치의 제조 방법을 행할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 반도체 장치의 제조 방법에 따르면, 통기 구멍에 필터가 착탈 가능하게 마련되고, 극단 자외광 리소그래피용 펠리클막이 마련된 펠리클이 노광 원판에 접속되어 있기 때문에, 극단 자외광 리소그래피에 있어서, 고정밀의 노광을 행할 수 있다.

1: 통기 구멍
3: 구멍
5: 구멍
7: 구멍
11: 제1 지지 프레임부
11a: 제1 본체부
11A: 제1 지지 프레임부
11B: 제1 지지 프레임부
11C: 제1 지지 프레임부
11E: 제1 지지 프레임부
11G: 제1 지지 프레임부
11b: 제1 걸림 결합부
11c: 제1 연장부
11d: 제2 연장부
11e: 제1 연장부
11f: 제2 연장부
11g: 제1 연장부
11h: 제2 연장부
12A: 박판
12C-1: 박판
12C-2: 박판
12F: 박판
12G: 박판
12a: 오목부(패임 형상)
13A: 박판
13C: 박판
13F: 박판
13G: 박판
13a: 개구부
14A: 박판
14B: 박판
14C-1: 박판
14C-2: 박판
14C-3: 박판
15A: 박판
15B: 박판
15C: 박판
16: 제2 지지 프레임부
16A: 제2 지지 프레임부
16B: 제2 지지 프레임부
16C: 제2 지지 프레임부
16D: 제2 지지 프레임부
16G: 제2 지지 프레임부
16a: 제2 본체부
16b: 제2 걸림 결합부
16c: 제1 홈부
16d: 제2 홈부
16e: 제1 홈부
16f: 제2 홈부
16g: 제1 홈부
16h: 제2 홈부
16l: 로크 기구
17A: 박판
17B: 박판
17C-1: 박판
17C-2: 박판
17D: 박판
17F: 벽
17G: 박판
17a: 개구부
17b: 개구부
18: 박판
18A: 박판
18B: 박판
18C: 박판
18D: 박판
18G: 박판
18a: 오목부(패임 형상)
18b: 개구부
19A: 박판
19D: 박판
19G: 걸림부
19G-1: 평판형 부재
19G-2: 벽형 부재
21D: 박판
23D: 고정구
21a: 오목부(패임 형상)
21b: 개구부
24D: 제3 걸림 결합부
25E: 천장판
30: 필터
30D: 필터
30G: 필터
39: 접착층
100: 펠리클
102: 펠리클막
104: 제1 프레임체
106: 펠리클 프레임체
111: 펠리클용 지지 프레임
111A: 펠리클용 지지 프레임
111B: 펠리클용 지지 프레임
111C: 펠리클용 지지 프레임
111D: 펠리클용 지지 프레임
111E: 펠리클용 지지 프레임
180: 노광 장치
181: 노광 원판
182: 광원
183: 조명 광학계
184: 원판
185: 필터ㆍ윈도우
187: 감응 기판
188: 투영 광학계
189: 다층막 미러
190: 다층막 미러
191: 다층막 미러

Claims (17)

1. 제1 지지 프레임부와, 제2 지지 프레임부와, 필터를 갖는 펠리클용 지지 프레임이며,
   상기 필터는 평판형의 프레임 형상을 갖고, 상기 제1 지지 프레임부와 상기 제2 지지 프레임부에 협지되고,
   상기 제1 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부와, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖고,
   상기 제2 지지 프레임부는, 평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부와, 상기 제2 본체부의 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 상기 제1 걸림 결합부와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 걸림 결합부는, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 연장되는 제1 연장부와, 상기 제1 연장부의 상기 제1 본체부와는 반대측의 단부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 연장부를 갖고,
   상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 지지 프레임부측에 위치하는 상기 제2 지지 프레임부의 제1 면으로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 연장되는 제1 홈부와, 상기 제1 홈부의 저부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 홈부를 갖고,
   상기 제2 연장부의 적어도 일부는, 상기 제2 홈부에 수용되는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
3. 제1항에 있어서,
   상기 필터는, 상기 제1 걸림 결합부 및 상기 제2 걸림 결합부에 대응하는 위치에 개구를 갖고,
   상기 제1 걸림 결합부는, 상기 개구를 관통하여, 상기 제2 걸림 결합부와 걸림 결합하는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
4. 제2항에 있어서,
   상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제2 홈부의 저부로부터 상기 제1 면의 방향으로 이격하여 배치되는 고정구를 갖고,
   상기 제2 홈부는, 상기 제1 홈부의 저부와 상기 고정구에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
5. 제4항에 있어서,
   상기 고정구는, 지그와 걸림 결합 가능한 제3 걸림 결합부를 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
6. 제1항에 있어서,
   상기 펠리클용 지지 프레임의 내연부와 외연부를 접속하고, 상기 필터가 배치된 통기 구멍을 더 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
7. 제6항에 있어서,
   상기 통기 구멍은, 상기 필터가 배치되고, 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 대략 평행인 제1 방향으로 연장되는 제1 구멍과,
   상기 제1 구멍의 제1 단부에 접속하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연신되고, 상기 내연부 또는 상기 외연부에 개구를 갖는 제2 구멍
   을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
8. 제7항에 있어서,
   상기 통기 구멍은, 상기 제1 구멍의 제2 단부에 접속하고, 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향과 교차하는 방향에 마련된 제3 구멍을 더 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
9. 제8항에 있어서,
   복수의 상기 제1 걸림 결합부와, 복수의 상기 제2 걸림 결합부와, 복수의 상기 통기 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
10. 제2항에 있어서,
    상기 제1 지지 프레임부는, 상기 제1 본체부를 구성하는 프레임 형상을 갖는 박판과, 상기 제1 연장부를 구성하는 박판과, 상기 제2 연장부를 구성하는 박판을 포함하는 적층체인 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
11. 제2항에 있어서,
    상기 제2 지지 프레임부는, 상기 제1 홈부를 구성하는 박판과, 상기 제2 홈부를 구성하는 박판을 포함하는 적층체인 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
12. 제1항에 있어서,
    상기 필터의 상기 프레임 형상의 내측에 배치된 벽을 더 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클용 지지 프레임과, 펠리클막을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클.
14. 제13항에 기재된 펠리클과, 원판을 갖는 것을 특징으로 하는 노광 원판.
15. 제14항에 기재된 노광 원판과, 광학계를 갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
16. 평판형의 프레임 형상을 갖는 제1 본체부와, 상기 제1 본체부로부터 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖는 제1 지지 프레임부를 준비하고,
    평판형의 프레임 형상을 갖는 제2 본체부와, 상기 제2 본체부의 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향에 마련된 오목부에 배치되고, 상기 제1 걸림 결합부와 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 갖는 제2 지지 프레임부를 준비하고,
    평판형의 프레임 형상을 갖는 필터를 준비하고,
    상기 필터를 상기 제1 지지 프레임부와 상기 제2 지지 프레임부에 협지하고, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부를 걸림 결합시키는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법.
17. 제16항에 있어서,
    상기 제1 본체부를 구성하는 박판과, 제1 연장부를 구성하는 박판과, 제2 연장부를 구성하는 박판을 접속하여, 상기 제1 본체부로부터 상기 펠리클용 지지 프레임의 두께 방향으로 돌출된 제1 걸림 결합부를 갖는 상기 제1 지지 프레임부를 준비하고,
    제1 홈부를 구성하는 박판과, 제2 홈부를 구성하는 박판과, 상기 제2 본체부를 구성하는 박판을 접속하여, 상기 제2 걸림 결합부를 갖는 상기 제2 지지 프레임부를 준비하고,
    상기 제2 연장부의 적어도 일부를 상기 제2 홈부에 수용하여, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부를 걸림 결합시키는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법.

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