KR102441428B1 - 디몰더 장치 및 이를 이용한 패턴 기판 생산 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디몰더 장치에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판을 지지할 수 있는 제1 플레이트; 몰드를 지지할 수 있으며, 일측에 소정의 회전축을 가지는 제2 플레이트; 및 상기 제2 플레이트에 지지된 몰드를 상기 제1 플레이트에 지지된 기판으로부터 분리하기 위하여 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 소정 각도 기울일 수 있는 각도 조정부를 포함하고, 상기 각도 조정부는, 상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

Description

디몰더 장치 및 이를 이용한 패턴 기판 생산 방법{APPARATUS FOR DEMOLDING AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN WAFER USING THE SAME}

본 발명은 디몰더 장치 및 이를 이용한 패턴 기판 생산 방법에 대한 발명이다.

일반적으로 반도체 공정에서는 기판(예를 들어, 웨이퍼(Wafer)) 표면에 패턴(예를 들어, 식각 또는 증착을 위한 마스크 패턴)을 형성하기 위하여 나노 임프린트(Nano Imprint) 공정이 이용되고 있다.

나노 임프린트 공정은 경제적이고, 효과적으로 나노 구조물(nano-structure)을 제작할 수 있는 기술이다. 구체적으로 나노 임프린트 공정은 전사 장치(Transfer Apparatus)를 이용하여 나노 스케일(nano-scale)의 패턴이 형성된 몰드(Mold)와 레진(Resin)이 형성된 기판을 서로 가압함으로써 패턴을 기판 표면에 전사하는 공정이다. 이러한 나노 임프린트 공정에 사용되는 전사 장치는 몰드의 패턴을 기판에 압착하여 몰드의 패턴을 기판에 전사한다. 또한, 나노 임프린트 공정은 디몰더 장치를 이용하여 몰드의 패턴이 전사된 기판과 몰드를 분리시킨다.

그러나, 몰드가 기판에 압착된 상태에서 몰드를 기판으로부터 분리시킬 때, 기판에 소정의 충격이 가해지면 기판이 손상될 가능성이 있다. 또한, 기판에 가해지는 충격은 기판의 품질 저하의 원인이 될 수 있는바, 기판의 손상을 방지하면서 몰드와 기판을 분리시킬 필요가 있다.

또한, 기판은 목적에 따라 다양한 종류로 생산될 수 있으며, 다양한 종류의 기판은 서로 상이한 크기를 가진다. 그러나, 기판과 몰드를 분리시키기 위한 디몰더 장치가 단일 크기의 기판만 몰드로부터 분리시킬 수 있다면, 장치의 효율성이 낮아지게 된다. 따라서, 복수 개의 기판이 서로 다른 크기를 가지더라도, 이에 대응하여 기판과 몰드를 분리할 수 있는 장치의 필요가 있다.

본 발명의 일 실시예는 상기와 같은 배경에 착안하여 발명된 것으로서, 기판의 손상을 방지하면서 몰드와 기판을 분리시킬 수 있는 디몰더 장치를 제공하고자 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예는 다양한 크기의 기판에 대응하여 몰드와 기판을 분리시킴으로써 장치의 효율성을 증대시킬 수 있는 디몰더 장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 지지하는 제1 플레이트; 몰드를 지지하며, 일측에 소정의 회전축을 가지는 제2 플레이트; 및 상기 제2 플레이트에 지지된 몰드를 상기 제1 플레이트에 지지된 기판으로부터 분리하기 위하여 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 소정 각도 기울일 수 있는 각도 조정부를 포함하고, 상기 각도 조정부는, 상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이고, 상기 각도 조정부는, 일 방향으로 연장 형성되는 레일; 상기 레일 상에서 상기 레일을 따라 이동 가능하게 구비되는 이동부재; 및일측이 수평방향으로 연장되는 제1 피봇축을 중심으로 회전 가능하게 상기 제2 플레이트에 연결되고, 타측이 수평방향으로 연장되는 제2 피봇축을 중심으로 회전 가능하게 상기 이동부재에 연결되는 링크부재를 포함하고, 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 기울이기 위해 상기 링크부재가 상기 이동부재에 대해 회전되도록 구성되며, 상기 제2 플레이트는 상기 회전축의 위치가 유지된 채로 상기 링크부재의 회전에 의해 상기 링크부재와 연결된 상기 타측이 상기 회전축을 중심으로 회전되도록 구성되며, 상기 각도 조정부는, 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 기울이기 위해 상기 링크부재가 상기 제1 피봇축 및 상기 제2 피봇축에 대해 회전되도록 구성되고, 상기 링크부재는 상기 이동부재의 이동에 대응하여 상기 제2 피봇축을 중심으로 회전하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

삭제

삭제

또한, 상기 각도 조정부는, 상기 링크부재가 상기 레일에 접근하는 방향으로 회전됨으로써 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이의 각도가 커지도록 상기 제2 플레이트를 기울이는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 하강하여 기판을 지지하는 제1 플레이트; 몰드를 지지하며, 일측에 소정의 회전축을 가지는 제2 플레이트; 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 소정 거리 이하로 가까워지는 것을 방지하는 복수 개의 스토퍼; 및 상기 제2 플레이트에 지지된 몰드를 상기 제1 플레이트에 지지된 기판으로부터 분리하기 위하여 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 소정 각도 기울일 수 있는 각도 조정부를 포함하고, 상기 복수 개의 스토퍼는, 상기 제1 플레이트가 상기 기판을 지지하기 위하여 상기 제2 플레이트를 향하여 하강할 때, 상기 제1 플레이트가 상기 제2 플레이트에 대하여 소정 범위 이하로 접근하는 것을 방지하기 위해서 상기 제1 플레이트의 하강을 제한하도록 상기 제1 플레이트를 지지하고, 상기 각도 조정부는, 상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 제2 플레이트 및 상기 각도 조정부를 상기 제1 플레이트에 대하여 승하강시키는 제1 구동 유닛; 및 상기 제1 플레이트를 상기 제2 플레이트에 대하여 승하강시키는 제2 구동 유닛을 더 포함하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판과 상기 몰드의 사이에 선택적으로 삽입되도록 구동되는 분리 유닛을 더 포함하고, 상기 각도 조정부는, 상기 분리 유닛이 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되면, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 분리 유닛은 복수 개의 칼날을 포함하고, 상기 복수 개의 칼날은, 상기 기판과 상기 몰드 사이를 향하여 진퇴하는 메인 칼날; 및 상기 메인 칼날과 인접한 위치에 배치되는 하나 이상의 보조 칼날을 포함하고, 상기 메인 칼날과 상기 하나 이상의 보조 칼날은, 서로 이격된 채 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되도록 구동되는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 메인 칼날은, 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되며, 상기 메인 칼날이 진퇴하는 방향과 어긋나는 제1 칼날 방향으로 연장되는 메인 엣지를 구비하고, 상기 보조 칼날은 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되며, 상기 제1 칼날 방향과 어긋나는 방향인 제2 칼날 방향으로 연장되는 보조 엣지를 구비하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 분리 유닛의 제1 정지 위치, 제2 정지 위치 및 감속 위치를 감지하는 감지부를 더 포함하고, 상기 감속 위치는 상기 제1 정지 위치 및 상기 제2 정지 위치 사이에 놓이며, 상기 분리 유닛은, 상기 제1 정지 위치로부터 상기 제2 정지 위치로 이동하는 동안 상기 감속 위치에 도달하면 감속하도록 구동되며, 상기 분리 유닛은, 상기 감속 위치에 놓였을 때 상기 복수 개의 칼날이 상기 기판과 상기 몰드에 인접한 위치에 놓이고, 상기 제2 정지 위치에 놓였을 때, 상기 분리 유닛의 일부는 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 제1 플레이트는 상기 기판을 흡착하여 지지하는 기판 지지부를 포함하고, 상기 기판 지지부는, 상기 기판 지지부의 중심부에 놓인 메인 영역 및 상기 메인 영역과 인접하되 상기 메인 영역의 둘레 방향을 따라 연장된 하나 이상의 보조 영역 그룹을 가지며, 상기 기판 지지부에는, 상기 메인 영역 및 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹과 각각 연통하는 복수 개의 공기 통로가 형성된, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

삭제

또한, 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 메인 영역을 중심으로 양측에 이격 배치된 복수 개의 보조 영역을 포함하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판 지지부에는, 상기 복수 개의 보조 영역의 사이에서 상기 메인 영역보다 외측에 배치되는 윈도우가 형성되고, 상기 메인 영역은 상기 윈도우와 상기 복수 개의 공기 통로 사이에 배치된, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 제1 플레이트는, 상기 기판 지지부를 회전 가능하게 지지하는 플레이트 홀더를 더 포함하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 둘레 방향 길이가 상기 기판 지지부의 외측에서 내측으로 갈수록 좁아지는 형상을 가지는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 공기 통로 중 내측에 배치되는 어느 하나의 공기 통로의 길이는 외측에 배치되는 다른 하나의 공기 통로의 길이보다 길게 형성되고, 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹 중 상기 어느 하나의 공기 통로와 연통되는 어느 하나의 보조 영역 그룹의 일단은 상기 다른 하나의 공기 통로와 연통되는 다른 하나의 보조 영역 그룹의 일단과 수평방향으로 이격되며, 상기 어느 하나의 공기 통로는 상기 어느 하나의 보조 영역 그룹의 일단과 상기 다른 하나의 보조 영역 그룹의 일단 사이로 연장되는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 메인 영역 및 상기 복수 개의 보조 영역은 상기 기판 지지부의 일면으로부터 요입되는 그루브 형상에 의해 제공되며, 상기 메인 영역 및 상기 복수 개의 보조 영역 내에는 상기 기판을 흡착하기 위한 복수 개의 관통홀이 형성된, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 관통홀은, 상기 기판 지지부의 두께 방향 일측에서 타측으로 연장되는 동안 폭이 커지는 형상을 가지는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 복수 개의 공기 통로 중 하나 이상을 선택적으로 개폐하는 개폐부; 상기 개폐부의 작동을 제어할 수 있는 제어부; 및 상기 복수 개의 공기 통로과 연결되어 상기 메인 영역과 복수 개의 보조 영역에 진공을 형성하는 진공펌프를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 하나 이상의 공기 통로를 통하여 상기 복수 개의 보조 영역 중 하나 이상에 진공을 형성하도록 상기 진공펌프 및 상기 개폐부를 제어하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판의 크기를 감지하기 위한 기판감지부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 기판감지부에서 감지된 상기 기판의 크기에 기초하여 상기 복수 개의 공기 통로의 선택적 개폐를 제어하는, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판 지지부는, 상기 기판 지지부의 하부에 지지된 기판이 상기 기판 지지부의 상부에 위치하도록 상기 기판을 지지한 채로 상기 플레이트 홀더에 대하여 회전 가능하게 구성된, 디몰더 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판의 적어도 일부를 상기 몰드로부터 분리시키는 분리 단계를 포함하고, 상기 분리 단계는, 상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는 틸팅 단계를 포함하는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 제1 플레이트가 상기 기판을 흡착하여 지지하고, 상기 제2 플레이트가 상기 몰드를 지지하는 흡착 단계; 및 상기 기판과 상기 몰드 사이에 분리 유닛을 삽입하는 삽입 단계를 더 포함하고, 상기 삽입 단계는, 상기 분리 단계 이전에 수행되는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 분리 단계는, 상기 몰드가 상기 기판으로부터 분리되도록 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 하강시키는 하강 단계를 포함하는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

또한, 공기 통로 개폐 단계를 더 포함하고, 상기 제1 플레이트는, 상기 제1 플레이트의 중심부에 놓인 메인 영역 및 상기 메인 영역과 인접하되 상기 메인 영역의 둘레 방향을 따라 연장된 하나 이상의 보조 영역 그룹을 가지며, 상기 제1 플레이트에는, 상기 메인 영역 및 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹과 각각 연통하는 복수 개의 공기 통로가 형성되고, 상기 공기 통로 개폐 단계에서는, 상기 기판의 크기에 기초하여 상기 복수 개의 공기 통로 중 개방되는 하나 이상의 공기 통로를 결정하는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 메인 영역을 중심으로 양측에 이격 배치된 복수 개의 보조 영역을 포함하고, 상기 공기 통로 개폐 단계에서는, 상기 결정된 하나 이상의 공기 통로를 개방하고, 상기 흡착 단계에서는, 상기 개방된 하나 이상의 공기 통로를 통하여 상기 복수 개의 보조 영역 중 하나 이상에 진공을 형성함으로써 상기 기판을 흡착 지지하는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 분리 단계가 종료된 후에 상기 제1 플레이트로부터 상기 기판을 제거하는 기판 제거 단계를 더 포함하고, 상기 제1 플레이트는, 상기 기판을 지지하는 기판 지지부 및 상기 기판 지지부가 회전 가능하게 지지되는 플레이트 홀더를 포함하며, 상기 기판 제거 단계에서는, 상기 기판 지지부가 상기 기판을 지지한 채로 상기 플레이트 홀더에 대하여 회전되어, 상기 기판이 상기 기판 지지부의 상부에 위치하였을 때, 상기 기판을 제거하는, 기판 디몰더 방법이 제공될 수 있다.

본 발명의 일 실시예는 기판의 손상을 방지하면서 몰드와 기판을 분리시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예는 다양한 크기의 기판에 대응하여 몰드와 기판을 분리시킴으로써 장치의 효율성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치의 정면도이다.
도 2는 도 1의 디몰더 장치에 몰드가 지지된 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 제1 플레이트가 제2 플레이트를 향하여 하강한 모습을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지부, 개폐부, 진공펌프 및 제어부가 서로 연결된 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치의 일부 사시도이다.
도 6은 도 5의 분리 유닛이 기판과 몰드 사이에 삽입된 모습을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 제2 플레이트가 기울어진 모습을 나타낸 정면도이다.
도 8은 도 7의 제2 플레이트, 각도 조정부 및 분리 유닛이 하강한 모습을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8의 제2 플레이트가 다시 기울어지고, 분리 유닛이 후퇴한 모습을 나타낸 도면이다.
도 10의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지부가 기판을 지지한 채로 플레이트 홀더에 대하여 회전한 모습을 나타낸 도면이고, 도 10의 (b)는 도 10의 (a)에서 기판이 제거된 모습을 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 플레이트의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지부의 사시도이다.
도 13은 도 12의 저면 사시도이다.
도 14는 도 12의 저면도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치를 이용하여 패턴 기판을 생산하는 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다.

이하에서는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '지지', '유동'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 지지, 유동될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.

또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 한편 본 명세서의, 상하 방향 및 좌우 방향은 도 1 내지 도 3, 도 7 내지 도 9의 상하 방향 및 좌우 방향을 의미한다. 또한, 두께 방향은, 도 12의 기판 지지부(220)의 두께(t)가 연장되는 방향일 수 있으며, 둘레 방향(c)은 도 14의 보조 영역 그룹(222)의 외측 둘레가 연장되는 방향일 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치(1)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.

이하, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치(1)는 기판(2)과 몰드(3)를 분리할 수 있다. 예를 들어, 기판(2)과 몰드(3)는 디몰더 장치(1)에 제공되기 전에 전사 장치(미도시)에 의해 서로 압착될 수 있으며, 기판(2)과 몰드(3)는 서로 압착된 채로 디몰더 장치(1)에 제공될 수 있다. 이러한 디몰더 장치(1)는 프레임(100), 제1 플레이트(200), 제2 플레이트(300), 각도 조정부(400), 분리 유닛(500), 구동부(600), 감지부(700), 개폐부(800), 진공펌프(900) 및 제어부(1000)를 포함할 수 있다.

한편, 본 명세서에서 기판(2)은 일 예로 웨이퍼(Wafer)일 수 있으며, 원형으로 제공될 수 있다. 또한, 기판(2)이 몰드(3)의 상측에 배치된 것으로 설명하지만, 이로 인해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.

프레임(100)은 제1 플레이트(200), 제2 플레이트(300), 각도 조정부(400) 및 분리 유닛(500)을 지지한다. 이러한 프레임(100)은 제1 프레임(110) 및 제2 프레임(120)을 포함할 수 있다.

제1 프레임(110)은 제2 플레이트(300), 각도 조정부(400) 및 분리 유닛(500)을 지지한다. 이러한 제1 프레임(110)은 후술할 제1 구동 유닛(610)에 의해 승하강되며, 제2 프레임(120)에 대하여 상대적으로 승하강할 수 있다.

제2 프레임(120)은 제1 플레이트(200)를 지지할 수 있으며, 후술할 제2 구동 유닛(620)을 지지한다. 이러한 제2 프레임(120)에는 스토퍼(121)가 형성될 수 있다.

도 3을 다시 참조하면, 스토퍼(121)는 제1 플레이트(200)가 제2 플레이트(300)를 향하여 하강할 때, 제1 플레이트(200)가 과도하게 하강하는 것을 방지할 수 있다. 다시 말해, 스토퍼(121)는 제1 플레이트(200)가 제2 플레이트(300)에 대하여 소정 범위 이하로 접근하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 스토퍼(121)는 제2 프레임(120)으로부터 상방으로 돌출 형성될 수 있으며, 복수 개로 제공될 수 있다. 또한, 복수 개의 스토퍼(121)는 제1 플레이트(200)의 서로 다른 지점에서 제1 플레이트(200)를 지지할 수 있다. 이러한 복수 개의 스토퍼(121)는 제1 프레임(110)과 제2 플레이트(300)가 평행하도록 제1 플레이트(200)를 정렬할 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 스토퍼(121)는 제1 플레이트(200)와 제2 플레이트(300)가 서로 평행하도록 제1 플레이트(200)를 지지할 수 있다.

이로 인해, 제1 플레이트(200)가 제2 플레이트(300)를 향하여 하강하였을 때, 제1 플레이트(200)는 제2 플레이트(300)에 지지된 기판(2)과 면접촉할 수 있다. 또한, 제1 플레이트(200)가 기판(2)을 흡착할 때, 안정적으로 기판(2)을 흡착할 수 있는 효과가 있다.

구동부(600)는 프레임(100)을 승하강시킬 수 있다. 예를 들어, 구동부(600)는 모터, 실린더 등의 주지의 구동 수단이 사용될 수 있다. 이러한 구동부(600)는 제1 구동 유닛(610) 및 제2 구동 유닛(620)을 포함할 수 있다.

도 8을 참조하면, 제1 구동 유닛(610)은 제1 프레임(110)을 승하강시킬 수 있다. 이러한 제1 구동 유닛(610)에 의해 제2 플레이트(300), 각도 조정부(400) 및 분리 유닛(500)은 제1 플레이트(200)에 대하여 승하강할 수 있다.

도 2 및 도 3을 다시 참조하면, 제2 구동 유닛(620)은 제1 플레이트(200)를 승하강시킬 수 있다. 이러한 제2 구동 유닛(620)에 의해 제1 플레이트(200)는 제2 플레이트(300)에 대하여 승하강할 수 있다.

제1 플레이트(200)는 기판(2)을 지지할 수 있다. 예를 들어, 진공펌프(900)가 작동할 때, 제1 플레이트(200)의 주위에는 진공이 형성될 수 있으며, 제1 플레이트(200)는 진공을 통하여 기판(2)을 흡착하여 지지할 수 있다. 이러한 제1 플레이트(200)는 플레이트 홀더(210), 기판 지지부(220) 및 커버부(230)를 포함할 수 있다.

도 2, 도 3 및 도 11을 참조하면, 플레이트 홀더(210)는 기판 지지부(220)를 지지하며, 제2 구동 유닛(620)에 지지된다. 또한, 플레이트 홀더(210)는 제2 구동 유닛(620)에 의해 승하강할 수 있다.

도 4, 도 10 및 도 11을 참조하면, 기판 지지부(220)는 기판(2)을 흡착하여 지지할 수 있다. 이러한 기판 지지부(220)는 다양한 크기의 기판(2)을 흡착하여 지지할 수 있다. 예를 들어, 기판 지지부(220) 주위에 진공이 형성되는 영역은 기판(2)의 크기에 대응하여 변경될 수 있다. 또한, 기판 지지부(220)는 플레이트 홀더(210)에 지지된 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 기판 지지부(220)가 회전하였을 때, 기판 지지부(220)에 지지된 기판(2)은 외부에 노출될 수 있다. 즉, 기판 지지부(220)는 기판 지지부(220) 하부에 지지된 기판(2)이 기판 지지부(220) 상부에 위치하도록 회전할 수 있다. 이러한 기판 지지부(220)는 기판 지지부(220)의 중심부에 놓인 메인 영역(221) 및 메인 영역(221)의 주위에 놓인 보조 영역 그룹(222)을 가질 수 있다.

도 13 및 도 14를 참조하면, 메인 영역(221)은 기판 지지부(220)의 중심으로부터 소정 거리 이내의 영역을 의미한다. 예를 들어, 메인 영역(221)은 기판 지지부(220)의 일면으로부터 요입되는 그루브 형상에 의해 제공될 수 있다. 또한, 기판 지지부(220)와 수직인 방향에서 바라보았을 때, 메인 영역(221)은 원형일 수 있다.

보조 영역 그룹(222)은 메인 영역(221)과 인접하되 메인 영역(221)의 둘레 방향(c)을 따라 연장된 영역을 의미한다. 이러한 보조 영역 그룹(222)은 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)을 포함할 수 있다.

하나의 보조 영역 그룹(222) 내에서 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)은 둘레 방향(c)을 따라 소정 거리 이격될 수 있다. 이러한 하나의 보조 영역 그룹(222) 내에서 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)의 둘레 방향(c) 간격은 기판 지지부(220)의 외측에서 내측으로 갈수록 짧아질 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 제2 보조 영역(222b) 사이의 둘레 방향(c) 간격은 복수 개의 제1 보조 영역(222a) 사이의 둘레 방향(c) 간격보다 길다.

이로 인해, 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c) 각각에 연결되는 복수 개의 공기 통로(225)는 서로 평행하게 배열되더라도 간섭되지 않고 기판 지지부(220)에 형성될 수 있다. 또한, 복수 개의 공기 통로(225)의 배열이 단순화되어 기판 지지부(220)에 복수 개의 공기 통로(225)를 용이하게 형성할 수 있는 효과가 있다.

복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)은 기판 지지부(220)의 일면으로부터 요입되는 그루브 형상에 의해 제공될 수 있다. 이러한 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)은 제1 보조 영역(222a), 제2 보조 영역(222b) 및 제3 보조 영역(222c)을 포함할 수 있다.

제1 보조 영역(222a)은 메인 영역(221)과 인접하되 메인 영역(221)보다 기판 지지부(220)의 외측 영역을 의미한다. 이러한 제1 보조 영역(222a)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 제1 보조 영역(222a)은 메인 영역(221)을 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

제2 보조 영역(222b)은 제1 보조 영역(222a)과 인접하되 제1 보조 영역(222a)보다 기판 지지부(220)의 외측 영역을 의미한다. 이러한 제2 보조 영역(222b)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 제2 보조 영역(222b)은 메인 영역(221)을 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

제3 보조 영역(222c)은 제2 보조 영역(222b)과 인접하되 제2 보조 영역(222b)보다 기판 지지부(220)의 외측 영역을 의미한다. 이러한 제3 보조 영역(222c)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 제3 보조 영역(222c)은 메인 영역(221)을 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

이러한 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)은 둘레 방향(c) 길이가 기판 지지부(220)의 외측에서 내측으로 갈수록 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 보조 영역(222b)은 제1 보조 영역(222a)의 둘레 방향(c) 길이보다 더 긴 둘레 방향(c) 길이를 가진다.

한편, 기판 지지부(220)에는 관통홀(223), 윈도우(224), 공기 통로(225) 및 삽입부(226)가 형성될 수 있다.

관통홀(223)은 기판 지지부(220) 주위에 진공을 형성하여 기판(2)을 흡착하기 위해 기판 지지부(220)에 형성될 수 있다. 이러한 관통홀(223)을 통하여 기판 지지부(220)의 두께 방향 일측(예를 들어, 도 9의 상측)에 형성된 진공은 타측(예를 들어, 도 9의 하측)으로 전달될 수 있다. 또한, 관통홀(223)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 관통홀(223)은 메인 영역(221) 및 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c) 내에 형성될 수 있다. 이러한 관통홀(223)은 일 예로, 기판 지지부(220)를 관통하여 형성된 홀일 수 있다. 또한, 관통홀(223)은 기판 지지부(220)의 두께 방향 일측(예를 들어, 도 12의 상측)에서 타측(예를 들어, 도 12의 하측)으로 연장되는 동안 폭이 커지는 형상을 가질 수 있다. 다시 말해, 관통홀(223)은 기판 지지부(220) 중 기판(2)이 지지되는 측의 폭이 반대측 폭보다 더 작게 형성될 수 있다.

이로 인해, 관통홀(223) 내에 진공이 형성될 때 기판(2)이 보다 잘 기판 지지부(220)에 흡착될 수 있는 효과가 있다.

윈도우(224)는 분리 유닛(500)이 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입될 때, 후술할 칼날(520)이 외부에 노출되도록 기판 지지부(220)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 윈도우(224)는 기판 지지부(220)에 형성된 개구일 수 있으며, 윈도우(224)는 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c)의 사이에서 메인 영역(221)보다 외측에 배치될 수 있다. 이러한 윈도우(224)에 의해 사용자는 칼날(520)의 이동을 확인할 수 있다.

도 4를 다시 참조하면, 공기 통로(225)는 공기가 유동하기 위한 통로를 제공할 수 있다. 이러한 공기 통로(225)는 기판 지지부(220)를 관통하여 형성될 수 있다. 또한, 공기 통로(225)의 일측은 호스 등과 같은 연결부재를 통하여 진공펌프(900)와 연결되며, 타측은 메인 영역(221) 및 보조 영역 그룹(222)과 연통할 수 있다. 이러한 공기 통로(225)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 공기 통로(225)는 메인 통로(225a) 및 보조 통로 그룹(225b)을 포함할 수 있다.

메인 통로(225a)는 메인 영역(221)과 연통할 수 있다. 이러한 메인통로(225a)는 기판 지지부(220)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 메인 통로(225a)에 진공이 형성되면 메인 영역(221)에 진공이 형성될 수 있다. 이러한 메인 통로(225a)는 기판 지지부(220)의 중심부를 따라서 연장될 수 있다. 또한, 메인 통로(225a)는 보조 통로 그룹(225b)과 평행하도록 연장될 수 있다.

보조 통로 그룹(225b)은 보조 영역 그룹(222)과 연통할 수 있다. 이러한 보조 통로 그룹(225b)은 기판 지지부(220)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 보조 통로 그룹(225b)에 진공이 형성되면 보조 영역 그룹(222)에 진공이 형성될 수 있다. 이러한 보조 통로 그룹(225b)은 복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3)를 포함할 수 있다.

복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3)는 제1 보조 통로(225b-1), 제2 보조 통로(225b-2) 및 제3 보조 통로(225b-3)를 포함할 수 있다.

제1 보조 통로(225b-1)는 제1 보조 영역(222a)과 연통할 수 있다. 이러한 제1 보조 통로(225b-1)는 메인 통로(225a)와 인접하되 메인 통로(225a)보다 기판 지지부(220)의 외측에 배치될 수 있다. 또한, 제1 보조 통로(225b-1)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 제1 보조 통로(225b-1)는 메인 통로(225a)를 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

제2 보조 통로(225b-2)는 제2 보조 영역(222b)과 연통할 수 있다. 이러한 제2 보조 통로(225b-2)는 제1 보조 통로(225b-1)와 인접하되 제1 보조 통로(225b-1)보다 기판 지지부(220)의 외측에 배치될 수 있다. 또한, 제2 보조 통로(225b-2)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 제2 보조 통로(225b-2)는 메인 통로(225a)를 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

제3 보조 통로(225b-3)는 제3 보조 영역(222c)과 연통할 수 있다. 이러한 제3 보조 통로(225b-3)는 제2 보조 통로(225b-2)와 인접하되 제2 보조 통로(225b-2)보다 기판 지지부(220)의 외측에 배치될 수 있다. 또한, 제3 보조 통로(225b-3)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 제3 보조 통로(225b-3)는 메인 통로(225a)를 중심으로 양측에 이격 배치될 수 있다.

한편, 제1 보조 통로(225b-1), 제2 보조 통로(225b-2) 및 제3 보조 통로(225b-3)는 서로 평행할 수 있다. 또한, 제1 보조 통로(225b-1), 제2 보조 통로(225b-2) 및 제3 보조 통로(225b-3)는 개폐부(800)에 선택적으로 개폐된다.

도 10 및 도 12를 참조하면, 삽입부(226)는 기판 지지부(220)에 흡착된 기판(2)을 회수하기 위하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 삽입부(226)는 기판 지지부(220)의 내측으로 인입 형성된 홀일 수 있다. 또한, 삽입부(226)에는 기판(2)을 회수하기 위한 석션(미도시)이 삽입될 수 있다.

도 10 및 도 11를 참조하면, 커버부(230)는 기판 지지부(220)의 상측을 커버하도록 기판 지지부(220)에 지지될 수 있다. 또한, 커버부(230)는 메인 영역(221) 및 보조 영역 그룹(222)이 외부에 대하여 밀폐될 수 있도록 메인 영역(221) 및 보조 영역 그룹(222)을 커버할 수 있다. 이러한 커버부(230)의 적어도 일부는 윈도우(224)에 대한 가시성 확보를 위하여 빛이 투과할 수 있는 재질로 형성될 수 있다.

제2 플레이트(300)는 몰드(3)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 제2 플레이트(300)는 진공펌프(900)와 연결될 수 있으며, 제2 플레이트(300) 상에 몰드(3)가 안착되면 진공을 통하여 몰드(3)를 흡착할 수 있다. 다만, 이는 예시에 불과하고 제2 플레이트(300)는 기계적 또는 전기적으로 몰드(3)를 지지하도록 제공될 수 있다. 또한, 몰드(3)는 지그에 결합되어 제2 플레이트(300) 상에 안착될 수 있다. 한편, 제2 플레이트(300)는 일측에 소정의 회전축을 가지며, 회전축을 중심으로 회전할 수 있다.

도 7을 참조하면, 각도 조정부(400)는 몰드(3)를 기판(2)으로부터 분리하기 위하여 제2 플레이트(300)를 제1 플레이트(200)에 대하여 기울일 수 있다. 다시 말해, 각도 조정부(400)는 제2 플레이트(300)를 회전축을 중심으로 회전시켜 기울일 수 있다. 예를 들어, 각도 조정부(400)는 제1 플레이트(200)와 제2 플레이트(300) 사이의 각도가 커지도록 제2 플레이트(300)를 기울일 수 있다. 이 경우 제2 플레이트(300)는 일측(예를 들어, 도 7의 좌측)이 타측(예를 들어, 도 7의 우측)보다 제1 플레이트(200)로부터 이격되도록 기울어질 수 있다. 이러한 각도 조정부(400)는 링크부재(410), 조정 액츄에이터(420) 및 이동부재(430)를 포함할 수 있다.

링크부재(410)는 제2 플레이트(300)와 이동부재(430)를 연결할 수 있다. 또한, 링크부재(410)는 일측에 수평방향으로 연장되는 제1 피봇축(411)을 가지고, 타측에 수평방향으로 연장되는 제2 피봇축(412)을 가진다. 여기서 수평방향으로 연장되는 제1 피봇축(411) 및 제2 피봇축(412)은 지면에 대하여 평행하게 연장되는 소정의 회전축을 의미한다. 이러한 링크부재(410)는 일측이 제1 피봇축(411)을 중심으로 회전 가능하게 제2 플레이트(300)에 연결되며, 타측이 제2 피봇축(412)을 중심으로 회전 가능하게 이동부재(430)에 연결된다. 따라서, 링크부재(410)는 이동부재(430)의 이동에 대응하여 회전할 수 있다. 예를 들어, 도 7에 나타난 바와 같이, 이동부재(430)가 우측으로 이동하면 링크부재(410)의 양측은 각각 제1 피봇축(411) 및 제2 피봇축(412)을 중심으로 반시계 방향으로 회전한다. 이 경우 링크부재(410)의 회전에 의해 제2 플레이트(300)는 레일(421)을 향하여 기울어진다.

조정 액츄에이터(420)는 이동부재(430)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 조정 액츄에이터(420)는 볼 스크류 모터일 수 있다. 다만, 이는 예시에 불과하고 조정 액츄에이터(420)는 모터, 실린더 등 이동부재(430)를 이동시킬 수 있는 주지의 수단이 사용될 수 있다. 이러한 조정 액츄에이터(420)는 레일(421) 및 구동 수단(422)을 포함할 수 있다.

레일(421)은 제1 프레임(110) 상에 지지되어 일 방향으로 연장 형성될 수 있다. 이러한 레일(421)은 조정 액츄에이터(420)에 의해 레일(421)이 연장되는 방향(예를 들어, 도 7의 좌우방향)과 나란한 방향으로 연장되는 가상의 회전축을 중심으로 회전할 수 있다.

구동 수단(422)은 이동부재(430)를 이동시키기 위한 동력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 조정 액츄에이터(420)가 볼 스크류 모터일 경우 구동 수단(422)은 레일(421)을 회전시키는 모터일 수 있다.

이동부재(430)는 레일(421)에 지지된 채로 레일(421)을 따라 이동 가능하게 구비될 수 있다. 이러한 이동부재(430)는 레일(421)의 회전에 의해 레일(421)을 따라 양방향(예를 들어, 도 7의 좌우방향)으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 조정 액츄에이터(420)가 볼 스크류 모터일 경우 이동부재(430)는 LM가이드 일 수 있다.

이후, 분리 유닛(500)에 관해 상세히 설명하고자 한다.

도 5 내지 도 7, 도 9를 참조하면, 분리 유닛(500)은 기판(2)과 몰드(3)를 분리하기 위하여 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입될 수 있다. 이러한 분리 유닛(500)은 지지체(510), 칼날(520) 및 분리 액츄에이터(530)를 포함할 수 있다.

지지체(510)는 칼날(520)을 지지하며, 가이드 부재(531)를 따라서 이동할 수 있다. 예를 들어, 지지체(510)는 분리 액츄에이터(530)의 구동에 의해 기판(2)과 몰드(3)를 향하여 진퇴할 수 있다. 더 자세한 예시로, 지지체(510)는 도 6에 나타난 바와 같이, 기판(2)과 몰드(3) 사이를 향하여 전진할 수 있다. 또한, 지지체(510)는 도 9에 나타난 바와 같이, 기판(2)과 몰드(3)로부터 멀어지는 방향으로 후퇴할 수 있다.

칼날(520)은 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입되어 몰드(3)와 기판(2)을 분리시킬 수 있다. 이러한 칼날(520)은 두께가 기판(2)과 몰드(3)를 향하는 측으로 갈수록 얇아질 수 있다. 예를 들어, 칼날(520)은 양측 중 지지체(510)에 지지되는 일측(예를 들어, 도 7의 좌측)보다 기판(2)과 몰드(3)를 향하는 타측(예를 들어, 도 7의 우측)이 더 얇은 두께를 가질 수 있다. 한편, 칼날(520)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 칼날(520)은 지지체(510)의 일단부에 지지된다. 또한, 복수 개의 칼날(520)은 교체 가능하도록 지지체(510)에 지지된다. 이러한 복수 개의 칼날(520)은 메인 칼날(521)과 보조 칼날(522)을 포함할 수 있다.

메인 칼날(521)은 기판(2)과 몰드(3) 사이를 향하여 진퇴할 수 있다. 이러한 메인 칼날(521)은 제1 칼날 방향(C1)으로 연장되는 메인 엣지(521a)를 구비할 수 있다. 여기서 제1 칼날 방향(C1)은 메인 칼날(521)이 진퇴하는 방향과 어긋나는 방향을 의미하며, 일 예로 메인 칼날(521)이 진퇴하는 방향과 수직인 방향 사이의 방향일 수 있다. 이러한 메인 엣지(521a)의 적어도 일부는 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이에 삽입될 수 있다.

보조 칼날(522)은 하나 이상으로 제공되며, 기판(2)과 몰드(3) 사이를 향하여 진퇴할 수 있다. 이러한 보조 칼날(522)은 제2 칼날 방향(C2)으로 연장되는 보조 엣지(522a)를 구비할 수 있다. 여기서 제2 칼날 방향(C2)은 제1 칼날 방향(C1)과 어긋나는 방향을 의미한다. 이러한 보조 칼날(522)의 적어도 일부는 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이에 삽입될 수 있다. 또한, 보조 칼날(522)은 기판(2)과 몰드(3)가 분리된 후에는 메인 칼날(521)과 함께 후퇴할 수 있다(도 9 참조).

한편, 보조 칼날(522)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 보조 칼날(522)은 메인 칼날(521)과 인접한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 보조 칼날(522)은 메인 칼날(521)의 양 측방에 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 복수 개의 보조 칼날(522)이 구비하는 보조 엣지(522a)는 각각 서로 어긋나는 방향으로 연장되되 기판(2)과 몰드(3) 사이와 대향하도록 연장될 수 있다.

이러한 보조 칼날(522)은 기판(2)의 크기 및 형상에 대응하여 교체될 수 있다. 예를 들어, 보조 칼날(522)은 메인 칼날(521)과 보조 칼날(522) 사이의 이격된 거리가 작거나 큰 보조 칼날(522)로 교체될 수 있다. 또한, 보조 칼날(522)은 제1 칼날 방향(C1)과 제2 칼날 방향(C2) 사이의 각도가 작거나 큰 보조 칼날(522)로 교체될 수 있다. 또한, 보조 칼날(522)은 보조 엣지(522a)의 폭이 좁거나 넓은 보조 칼날(522)로 교체될 수 있다. 이처럼, 보조 칼날(522)은 복수 개로 제공되되 교체 가능하게 구비됨으로써 기판(2)의 크기가 작아지거나 커지더라도 보조 칼날(522)의 교체만으로 기판(2)의 크기에 대응하여 기판(2)의 가장자리와 몰드(3)를 분리할 수 있는 효과가 있다.

또한, 기판(2)과 몰드(3)를 분리하기 위하여 복수 개의 칼날(520)이 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입될 때, 메인 엣지(521a)는 기판(2)의 가장자리부로부터 소정 깊이 삽입된 위치에 놓일 수 있다. 여기서 소정 깊이는 기판(2)이 깨지지 않으면서도, 기판(2)에 작용하는 응력 분포를 변경시킬 수 있을 정도의 미세한 깊이일 수 있다. 따라서, 메인 엣지(521a)가 기판(2)과 몰드(3) 사이에 소정 깊이 삽입되었을 때, 기판(2)의 응력 분포는 불균일해지며, 기판(2)과 몰드(3)는 손쉽게 분리되는 효과가 있다. 또한, 메인 엣지(521a)가 기판(2)과 몰드(3) 사이에 소정 깊이 삽입되었을 때, 보조 엣지(522a)도 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입될 수 있다. 이처럼, 분리 유닛(500)은 메인 엣지(521a)뿐만 아니라 보조 엣지(522a)도 함께 구비함으로써 기판(2)의 응력 분포가 불균일해지는 범위를 보다 넓게 형성할 수 있으며 이를 통해 보다 효과적으로 기판(2)과 몰드(3)를 분리할 수 있는 효과가 있다.

분리 액츄에이터(530)는 지지체(510)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 분리 액츄에이터(530)는 모터, 실린더 등의 구동 수단을 포함할 수 있다. 이러한 분리 액츄에이터(530)는 가이드 부재(531) 및 구동기(532)를 포함할 수 있다.

가이드 부재(531)는 지지체(510)의 이동을 안내할 수 있다. 이러한 가이드 부재(531)는 일 방향(예를 들어, 도 7의 좌우 방향)으로 연장 형성될 수 있다.

구동기(532)는 지지체(510)를 이동시키기 위한 동력을 제공할 수 있다.

도 5 및 도 6을 다시 참조하면, 감지부(700)는 분리 유닛(500)의 위치를 감지할 수 있다. 예를 들어, 감지부(700)는 가이드 부재(531) 상에서 진퇴하는 지지체(510)의 위치를 감지할 수 있다. 또한, 감지부(700)는 일 예로, 지지체(510)의 위치를 감지할 수 있는 복수 개의 포토 센서를 포함할 수 있다. 이러한 감지부(700)는 지지체(510)의 제1 정지 위치, 제2 정지 위치 및 감속 위치를 감지할 수 있으며, 감지된 지지체(510)의 위치 정보를 제어부(1000)로 전달할 수 있다. 이러한 감지부(700)는 제1 감지 유닛(710), 제2 감지 유닛(720) 및 제3 감지 유닛(730)을 포함할 수 있다.

제1 감지 유닛(710)은 지지체(510)의 제1 정지 위치를 감지할 수 있다. 여기서 제1 정지 위치는 지지체(510)가 기판(2)과 몰드(3)를 향하여 전진하기 전의 위치, 즉, 지지체(510)의 이동시작 위치를 의미한다. 예를 들어, 지지체(510)가 이동시작 위치에 놓일 때, 복수 개의 칼날(520)은 기판(2)과 몰드(3)와 이격된 위치에 놓인다.

제2 감지 유닛(720)은 지지체(510)의 제2 정지 위치를 감지할 수 있다. 여기서 제2 정지 위치는 지지체(510)가 기판(2)과 몰드(3)를 향하여 전진하였을 때의 위치, 즉, 지지체(510)의 이동종료 위치를 의미한다. 예를 들어, 지지체(510)가 이동종료 위치에 놓일 때, 복수 개의 칼날(520)은 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이에 삽입된다.

제3 감지 유닛(730)은 지지체(510)의 감속 위치를 감지할 수 있다. 여기서 감속 위치는 지지체(510)가 제1 정지 위치로부터 제2 정지 위치로 이동하는 도중 지지체(510)가 감속을 시작하는 위치를 의미한다. 또한, 감속 위치는 제1 정지 위치와 제2 정지 위치 사이에 놓일 수 있다. 예를 들어, 지지체(510)가 감속 위치에 놓일 때, 복수 개의 칼날(520)은 기판(2)의 가장자리와 몰드(3) 사이에 삽입되지 않고, 기판(2)의 가장자리부 및 몰드(3)와 인접한 위치에 놓인다.

도 4를 참조하면, 개폐부(800)는 공기 통로(225)와 연결되며, 공기 통로(225)를 선택적으로 개폐할 수 있다. 이러한 개폐부(800)는 복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3)를 개별적으로 개폐할 수 있다. 또한, 개폐부(800)의 작동은 제어부(1000)에 의해 제어될 수 있다.

진공펌프(900)는 기판 지지부(220) 주위에 진공을 형성하기 위하여 제공될 수 있다. 예를 들어, 진공펌프(900)가 작동되면 개폐부(800)에 의해 개방된 공기 통로(225) 내측에는 진공이 형성되며, 진공이 형성된 공기 통로(225)와 연통하는 메인 영역(221) 및 보조 영역 그룹(222)에는 진공이 형성된다. 또한, 관통홀(223)을 통하여 기판 지지부(220) 주위에는 진공이 형성될 수 있다.

제어부(1000)는 각도 조정부(400)의 작동을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(1000)는 이동부재(430)가 레일(421)을 따라 이동하도록 조정 액츄에이터(420)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1000)가 조정 액츄에이터(420)를 제어하면 이동부재(430)에 대응하여 링크부재(410)는 회전하게 된다. 또한, 링크부재(410)의 회전에 대응하여 제2 플레이트(300)는 기울어진다. 이처럼, 제어부(1000)는 각도 조정부(400)를 통하여 제1 플레이트(200)에 대한 상대적인 제2 플레이트(300)의 기울기를 조정할 수 있다.

또한, 제어부(1000)는 분리 유닛(500)의 작동을 제어할 수 있다. 이러한 제어부(1000)는 칼날(520)이 지지된 지지체(510)가 가이드 부재(531)를 따라 이동하도록 분리 액츄에이터(530)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1000)가 분리 액츄에이터(530)를 제어하면 지지체(510)의 이동에 의해 칼날(520)은 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이를 향하여 진퇴하게 된다. 이처럼, 제어부(1000)는 분리 유닛(500)을 통하여 기판(2)과 몰드(3)를 분리할 수 있다.

이러한 제어부(1000)는 감지부(700)에서 감지된 분리 유닛(500)의 위치에 기초하여 분리 유닛(500)의 작동을 제어할 수 있다. 더 자세한 예시로, 제어부(1000)는 지지체(510)가 제1 정지 위치에 놓여있을 때, 지지체(510)가 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이를 향하여 전진하도록 분리 액츄에이터(530)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(1000)는 지지체(510)가 감속 위치에 놓일 때, 지지체(510)가 감속하도록 분리 액츄에이터(530)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(1000)는 지지체(510)가 제2 정지 위치에 놓일 때, 지지체(510)가 정지하도록 분리 액츄에이터(530)를 제어할 수 있다.

이로 인해, 복수 개의 칼날(520)은 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입되기 전까지는 빠른 속도로 이동할 수 있으며, 기판(2)과 몰드(3) 사이에 삽입될 때는 감속하여 기판(2)과 몰드(3)를 분리할 수 있다. 또한, 기판(2)과 몰드(3)를 분리하기 위하여 칼날(520)이 기판(2)의 가장자리부로 접근하는 시간을 단축시킴으로써 공정 시간이 단축되는 효과가 있다. 게다가, 칼날(520)이 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이에 삽입될 때, 칼날(520)이 삽입되는 속도를 감소시킴으로써 기판(2)에 가해지는 충격을 저감시키는 효과가 있다. 즉, 기판(2)의 손상이 최소화될 수 있다.

한편, 제어부(1000)는 구동부(600)의 구동을 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1000)는 기판(2)이 압착된 몰드(3)를 제2 플레이트(300)에 안착시키기 위하여 제1 플레이트(200)가 상승하도록 제2 구동 유닛(620)을 제어할 수 있다. 또한, 제어부(1000)는 기판(2)과 몰드(3)가 제2 플레이트(300)에 안착되었을 때, 제1 플레이트(200)가 기판(2)을 향하여 하강하도록 제2 구동 유닛(620)을 제어할 수 있다. 다른 예시로, 제어부(1000)는 제2 플레이트(300)를 제1 플레이트(200)에 대하여 하강시키기 위하여 제1 구동 유닛(610)을 제어할 수 있다.

제어부(1000)는 기판(2)을 압착하기 위하여 개폐부(800) 및 진공펌프(900)를 제어할 수 있다. 이러한 제어부(1000)는 공기 통로(225)를 통하여 메인 영역(221)에 진공을 형성하고, 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c) 중 하나 이상에 진공을 형성하도록 개폐부(800) 및 진공펌프(900)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1000)에 의해 메인 통로(225a)가 개방되고 진공펌프(900)가 작동되면, 메인 통로(225a)에 진공이 형성된다. 또한, 메인 통로(225a)와 연통된 메인 영역(221)에도 진공이 형성되며, 메인 영역(221) 내에 놓인 복수 개의 관통홀(223)에도 진공이 형성된다. 이처럼, 복수 개의 관통홀(223)을 통하여 기판 지지부(220)의 일측(예를 들어, 도 7의 하측)에는 진공이 형성되어 기판(2)이 기판 지지부(220)에 흡착될 수 있다.

또한, 제어부(1000)는 기판(2)의 크기에 따라 기판 지지부(220) 주위에 진공이 형성되는 영역을 변경할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1000)는 기판(2)의 크기에 따라 복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3) 중 하나 이상을 선택적으로 개방할 수 있다. 더 자세한 예시로, 기판(2)의 크기가 메인 영역(221) 보다 크고 기판(2)의 가장자리가 제1 보조 영역(222a)에 놓이는 경우에 제어부(1000)는 메인 통로(225a) 및 제1 보조 통로(225b-1)를 개방하고, 제2 보조 통로(225b-2) 및 제3 보조 통로(225b-3)를 폐쇄할 수 있다.

한편, 제어부(1000)는 기판(2) 크기를 사용자로부터 입력 받고, 입력된 기판(2)의 크기에 기초하여 개폐부(800)를 제어할 수도 있지만, 이로 인해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 따라서, 디몰더 장치(1)는 기판(2)의 크기를 감지할 수 있는 기판감지부(미도시)를 더 포함할 수 있으며, 제어부(1000)는 기판감지부에서 감지된 기판(2)의 크기에 기초하여 공기 통로(225)를 개폐하도록 개폐부(800)를 제어할 수 있다. 여기서 기판감지부는 기판(2)의 크기를 측정하는 센서 또는 기판(2)을 촬영하는 촬영 장치 등 주지의 수단이 사용될 수 있다.

이처럼, 제어부(1000)가 기판(2)의 크기에 기초하여 공기 통로(225)를 선택적으로 개폐함으로써 기판 지지부(220)는 다양한 크기의 기판(2)을 흡착할 수 있다. 다시 말해, 기판 지지부(220)는 소형의 기판(2)부터 대형의 기판(2)까지 다양한 기판(2)의 크기에 대응하여 흡착할 수 있는 효과가 있다.

한편, 제어부(1000)는 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치, 메모리 등에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.

이하에서는, 도 15를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 디몰더 장치(1)를 이용하여 패턴이 전사된 기판(2)을 생산하는 패턴 기판 생산 방법(S10)에 대하여 설명한다.

패턴 기판 생산 방법(S10)에서는 패턴이 전사된 기판(2)과 몰드(3)를 분리하여 패턴 기판을 생산할 수 있다. 이러한 패턴 기판 생산 방법(S10)은 기판 및 몰드 제공 단계(S100), 공기 통로 개폐 단계(S200), 흡착 단계(S300), 삽입 단계(S400), 분리 단계(S500) 및 제거 단계(S600)를 포함할 수 있다.

기판 및 몰드 제공 단계(S100)에서는 전사 장치에 의해 서로 압착된 기판(2) 및 몰드(3)를 제공할 수 있다. 제공된 기판(2) 및 몰드(3)는 제2 플레이트(300)에 지지될 수 있다.

공기 통로 개폐 단계(S200)에서는 기판(2)의 크기에 기초하여 복수 개의 공기 통로(225) 중 개방되는 하나 이상의 공기 통로(225)를 결정할 수 있다. 또한, 개방될 공기 통로(225)가 결정되면, 메인 통로(225a) 및 필요에 따라 복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3) 중 하나 이상을 개방하고 메인 통로(225a)를 개방할 수 있다.

흡착 단계(S300)에서는 제1 플레이트(200)가 기판(2)을 흡착하여 지지하고, 제2 플레이트(300)가 몰드(3)를 지지할 수 있다. 이러한 흡착 단계(S300)에서는 제1 플레이트(200)가 기판(2)을 흡착하기 위하여 공기 통로 개폐 단계(S200)에서 개방된 메인 통로(225a) 및 복수 개의 보조 통로(225b-1, 225b-2, 225b-3) 중 하나 이상에 대응하여 메인 영역(221) 및 필요에 따라 복수 개의 보조 영역(222a, 222b, 222c) 중 하나 이상에 진공을 형성할 수 있다.

삽입 단계(S400)에서는 기판(2)과 몰드(3) 사이에 분리 유닛(500)을 삽입시킬 수 있다. 다시 말해, 삽입 단계(S400)에서는 기판(2)의 가장자리부와 몰드(3) 사이에 복수 개의 칼날(520)을 소정 깊이 삽입시킬 수 있다.

분리 단계(S500)에서는 기판(2)의 적어도 일부를 몰드(3)로부터 분리시킬 수 있다. 또한, 분리 단계(S500)는 삽입 단계(S400) 이후에 수행될 수 있다. 이러한 분리 단계(S500)는 틸팅 단계(S510) 및 하강 단계(S520)를 포함할 수 있다.

틸팅 단계(S510)에서는 제1 플레이트(200)에 지지된 기판(2)으로부터 제2 플레이트(300)에 지지된 몰드(3)가 분리되도록 제2 플레이트(300)를 기울일 수 있다. 예를 들어, 제2 플레이트(300)의 일측보다 타측이 제1 플레이트(200)로부터 이격되도록 제2 플레이트(300)를 회전축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 이러한 틸팅 단계(S510)는 삽입 단계(S400) 이후에 수행될 수 있다. 이처럼, 삽입 단계(S400)에 의해 기판(2)의 일부가 몰드(3)로부터 분리되었을 때, 제2 플레이트(300)를 기울임으로써 용이하게 기판(2)과 몰드(3)를 분리할 수 있다. 이 경우 제2 플레이트(300) 중 제1 플레이트(200)로부터 이격되는 부분은 분리 유닛(500)이 배치된 일측일 수 있다.

하강 단계(S520)에서는 제1 플레이트(200)에 지지된 기판(2)으로부터 제2 플레이트(300)에 지지된 몰드(3)가 분리되도록 제2 플레이트(300)를 하강시킬 수 있다. 이러한 하강 단계(S520)는 틸팅 단계(S510) 이후에 수행된다. 다만, 이는 예시에 불과하고 분리 단계(S500)는 하강 단계(S520) 없이 틸팅 단계(S510)만으로 수행될 수 있다. 또한, 삽입 단계(S400), 틸팅 단계(S510) 및 하강 단계(S520)는 순차적으로 수행되어 기판(2)과 몰드(3)를 분리하는 것도 가능하다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 제거 단계(S600)에서는 분리 단계(S500)에서 분리된 기판(2)과 몰드(3)를 각각 제1 플레이트(200)와 제2 플레이트(300)로부터 제거할 수 있다. 이러한 제거 단계(S600)는 기판 제거 단계(S610) 및 몰드 제거 단계(S620)를 포함할 수 있다.

기판 제거 단계(S610)에서는 기판 지지부(220)로부터 기판(2)을 제거할 수 있다. 예를 들어, 기판 지지부(220) 하부에 지지된 기판(2)이 기판 지지부(220)의 상부에 위치하도록 기판 지지부(220)가 플레이트 홀더(210)에 대하여 회전되었을 때, 기판(2)은 제거될 수 있다. 이러한 기판 제거 단계(S610)는 하강 단계(S520) 이후에 수행된다.

몰드 제거 단계(S620)에서는 제2 플레이트(300)로부터 몰드(3)를 제거할 수 있다. 이러한 몰드 제거 단계(S620)는 기판 제거 단계(S610) 이후 수행된다.

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기술적 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.

1: 디몰더 장치 2: 기판
3: 몰드 100: 프레임
110: 제1 프레임 120: 제2 프레임
121: 스토퍼 200: 제1 플레이트
210: 플레이트 홀더 220: 기판 지지부
221: 메인 영역 222: 보조 영역 그룹
222a: 제1 보조 영역 222b: 제2 보조 영역
222c: 제3 보조 영역 223: 관통홀
224: 윈도우 225: 공기 통로
225a: 메인 통로 225b: 보조 통로 그룹
225b-1: 제1 보조 통로 225b-2: 제2 보조 통로
225b-3: 제3 보조 통로 226: 삽입부
300: 제2 플레이트 400: 각도 조정부
410: 링크부재 411: 제1 피봇축
412: 제2 피봇축 420: 조정 액츄에이터
421: 레일 422: 구동 수단
430: 이동부재 500: 분리 유닛
510: 지지체 520: 칼날
521: 메인 칼날 521a: 메인 엣지
522: 보조 칼날 522a: 보조 엣지
530: 분리 액츄에이터 531: 가이드 부재
532: 구동기 600: 구동부
610: 제1 구동 유닛 620: 제2 구동 유닛
700: 감지부 710: 제1 감지 유닛
720: 제2 감지 유닛 730: 제3 감지 유닛
800: 개폐부 900: 진공 펌프
1000: 제어부

Claims (27)

1. 기판을 지지하는 제1 플레이트;
   몰드를 지지하며, 일측에 소정의 회전축을 가지는 제2 플레이트; 및
   상기 제2 플레이트에 지지된 몰드를 상기 제1 플레이트에 지지된 기판으로부터 분리하기 위하여 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 소정 각도 기울일 수 있는 각도 조정부를 포함하고,
   상기 각도 조정부는,
   상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이고,
   상기 각도 조정부는,
   일 방향으로 연장 형성되는 레일;
   상기 레일 상에서 상기 레일을 따라 이동 가능하게 구비되는 이동부재; 및
   일측이 수평방향으로 연장되는 제1 피봇축을 중심으로 회전 가능하게 상기 제2 플레이트에 연결되고, 타측이 수평방향으로 연장되는 제2 피봇축을 중심으로 회전 가능하게 상기 이동부재에 연결되는 링크부재를 포함하고,
   상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 기울이기 위해 상기 링크부재가 상기 이동부재에 대해 회전되도록 구성되며,
   상기 제2 플레이트는 상기 회전축의 위치가 유지된 채로 상기 링크부재의 회전에 의해 상기 링크부재와 연결된 상기 타측이 상기 회전축을 중심으로 회전되도록 구성되며,
   상기 각도 조정부는,
   상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 기울이기 위해 상기 링크부재가 상기 제1 피봇축 및 상기 제2 피봇축에 대해 회전되도록 구성되고,
   상기 링크부재는 상기 이동부재의 이동에 대응하여 상기 제2 피봇축을 중심으로 회전하는,
   디몰더 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 각도 조정부는, 상기 링크부재가 상기 레일에 접근하는 방향으로 회전됨으로써 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이의 각도가 커지도록 상기 제2 플레이트를 기울이는,
   디몰더 장치.
5. 하강하여 기판을 지지하는 제1 플레이트;
   몰드를 지지하며, 일측에 소정의 회전축을 가지는 제2 플레이트;
   상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 소정 거리 이하로 가까워지는 것을 방지하는 복수 개의 스토퍼; 및
   상기 제2 플레이트에 지지된 몰드를 상기 제1 플레이트에 지지된 기판으로부터 분리하기 위하여 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 소정 각도 기울일 수 있는 각도 조정부를 포함하고,
   상기 복수 개의 스토퍼는,
   상기 제1 플레이트가 상기 기판을 지지하기 위하여 상기 제2 플레이트를 향하여 하강할 때, 상기 제1 플레이트가 상기 제2 플레이트에 대하여 소정 범위 이하로 접근하는 것을 방지하기 위해서 상기 제1 플레이트의 하강을 제한하도록 상기 제1 플레이트를 지지하고, 서로 이격 배치되어 서로 다른 지점에서 상기 제1 플레이트를 지지하며, 상기 제2 플레이트에 대한 상대적인 위치가 유지되도록 구성되며,
   상기 각도 조정부는,
   상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는,
   디몰더 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 제2 플레이트 및 상기 각도 조정부를 상기 제1 플레이트에 대하여 승하강시키는 제1 구동 유닛; 및
   상기 제1 플레이트를 상기 제2 플레이트에 대하여 승하강시키는 제2 구동 유닛을 더 포함하는,
   디몰더 장치.
7. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
   상기 기판과 상기 몰드의 사이에 선택적으로 삽입되도록 구동되는 분리 유닛을 더 포함하고,
   상기 각도 조정부는, 상기 분리 유닛이 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되면, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는,
   디몰더 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 분리 유닛은 복수 개의 칼날을 포함하고,
   상기 복수 개의 칼날은,
   상기 기판과 상기 몰드 사이를 향하여 진퇴하는 메인 칼날; 및
   상기 메인 칼날과 인접한 위치에 배치되는 하나 이상의 보조 칼날을 포함하고,
   상기 메인 칼날과 상기 하나 이상의 보조 칼날은, 서로 이격된 채 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되도록 구동되는,
   디몰더 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 메인 칼날은, 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되며, 상기 메인 칼날이 진퇴하는 방향과 어긋나는 제1 칼날 방향으로 연장되는 메인 엣지를 구비하고,
   상기 보조 칼날은 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되며, 상기 제1 칼날 방향과 어긋나는 방향인 제2 칼날 방향으로 연장되는 보조 엣지를 구비하는,
   디몰더 장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 분리 유닛의 제1 정지 위치, 제2 정지 위치 및 감속 위치를 감지하는 감지부를 더 포함하고,
    상기 감속 위치는 상기 제1 정지 위치 및 상기 제2 정지 위치 사이에 놓이며,
    상기 분리 유닛은, 상기 제1 정지 위치로부터 상기 제2 정지 위치로 이동하는 동안 상기 감속 위치에 도달하면 감속하도록 구동되며,
    상기 분리 유닛은,
    상기 감속 위치에 놓였을 때 상기 복수 개의 칼날이 상기 기판과 상기 몰드에 인접한 위치에 놓이고, 상기 제2 정지 위치에 놓였을 때, 상기 분리 유닛의 일부는 상기 기판과 상기 몰드 사이에 삽입되는,
    디몰더 장치.
11. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 플레이트는 상기 기판을 흡착하여 지지하는 기판 지지부를 포함하고,
    상기 기판 지지부는, 상기 기판 지지부의 중심부에 놓인 메인 영역 및 상기 메인 영역과 인접하되 상기 메인 영역의 둘레 방향을 따라 연장된 하나 이상의 보조 영역 그룹을 가지며,
    상기 기판 지지부에는, 상기 메인 영역 및 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹과 각각 연통하는 복수 개의 공기 통로가 형성된,
    디몰더 장치.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 메인 영역을 중심으로 양측에 이격 배치된 복수 개의 보조 영역을 포함하는,
    디몰더 장치.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판 지지부에는, 상기 복수 개의 보조 영역의 사이에서 상기 메인 영역보다 외측에 배치되는 윈도우가 형성되고,
    상기 메인 영역은 상기 윈도우와 상기 복수 개의 공기 통로 사이에 배치된,
    디몰더 장치.
14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 플레이트는,
    상기 기판 지지부를 회전 가능하게 지지하는 플레이트 홀더를 더 포함하는,
    디몰더 장치.
15. 제 11 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 둘레 방향으로의 길이가 상기 기판 지지부의 외측에서 내측으로 갈수록 좁아지는 형상을 가지는,
    디몰더 장치.
16. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수 개의 공기 통로는 수평방향으로 연장되며,
    상기 복수 개의 공기 통로 중 내측에 배치되는 어느 하나의 공기 통로의 길이는 외측에 배치되는 다른 하나의 공기 통로의 길이보다 길게 형성되고,
    상기 하나 이상의 보조 영역 그룹 중 상기 어느 하나의 공기 통로와 연통되는 어느 하나의 보조 영역 그룹의 일단은 상기 다른 하나의 공기 통로와 연통되는 다른 하나의 보조 영역 그룹의 일단과 수평방향으로 이격되며,
    상기 어느 하나의 공기 통로는 상기 어느 하나의 보조 영역 그룹의 일단과 상기 다른 하나의 보조 영역 그룹의 일단 사이로 연장되는,
    디몰더 장치.
17. 제 12 항에 있어서,
    상기 메인 영역 및 상기 복수 개의 보조 영역은 상기 기판 지지부의 일면으로부터 요입되는 그루브 형상에 의해 제공되며,
    상기 메인 영역 및 상기 복수 개의 보조 영역 내에는 상기 기판을 흡착하기 위한 복수 개의 관통홀이 형성된,
    디몰더 장치.
18. 제 17 항에 있어서,
    상기 관통홀은, 상기 기판 지지부의 두께 방향 일측에서 타측으로 연장되는 동안 폭이 커지는 형상을 가지는,
    디몰더 장치.
19. 제 12 항에 있어서,
    복수 개의 공기 통로 중 하나 이상을 선택적으로 개폐하는 개폐부;
    상기 개폐부의 작동을 제어할 수 있는 제어부; 및
    상기 복수 개의 공기 통로과 연결되어 상기 메인 영역과 복수 개의 보조 영역에 진공을 형성하는 진공펌프를 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 하나 이상의 공기 통로를 통하여 상기 복수 개의 보조 영역 중 하나 이상에 진공을 형성하도록 상기 진공펌프 및 상기 개폐부를 제어하는,
    디몰더 장치.
20. 제 19 항에 있어서,
    상기 기판의 크기를 감지하기 위한 기판감지부를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 기판감지부에서 감지된 상기 기판의 크기에 기초하여 상기 복수 개의 공기 통로의 선택적 개폐를 제어하는,
    디몰더 장치.
21. 제 14 항에 있어서,
    상기 기판 지지부는,
    상기 기판 지지부의 하부에 지지된 기판이 상기 기판 지지부의 상부에 위치하도록 상기 기판을 지지한 채로 상기 플레이트 홀더에 대하여 회전 가능하게 구성된,
    디몰더 장치.
22. 제 1 항 또는 제 5 항의 디몰더 장치를 이용하여 패턴이 전사된 상기 기판을 디몰딩하는 기판 디몰더 방법에 있어서,
    상기 기판의 적어도 일부를 상기 몰드로부터 분리시키는 분리 단계를 포함하고,
    상기 분리 단계는,
    상기 제2 플레이트의 상기 일측보다 상기 제2 플레이트의 상기 일측의 반대측인 타측이 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록, 상기 제2 플레이트를 상기 회전축을 중심으로 회전시켜서 기울이는 틸팅 단계를 포함하는,
    기판 디몰더 방법.
23. 제 22 항에 있어서,
    상기 제1 플레이트가 상기 기판을 흡착하여 지지하고, 상기 제2 플레이트가 상기 몰드를 지지하는 흡착 단계; 및
    상기 기판과 상기 몰드 사이에 분리 유닛을 삽입하는 삽입 단계를 더 포함하고,
    상기 삽입 단계는, 상기 분리 단계 이전에 수행되는,
    기판 디몰더 방법.
24. 제 22 항에 있어서,
    상기 분리 단계는,
    상기 몰드가 상기 기판으로부터 분리되도록 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대하여 하강시키는 하강 단계를 더 포함하는,
    기판 디몰더 방법.
25. 제 23 항에 있어서,
    공기 통로 개폐 단계를 더 포함하고,
    상기 제1 플레이트는, 상기 제1 플레이트의 중심부에 놓인 메인 영역 및 상기 메인 영역과 인접하되 상기 메인 영역의 둘레 방향을 따라 연장된 하나 이상의 보조 영역 그룹을 가지며,
    상기 제1 플레이트에는, 상기 메인 영역 및 상기 하나 이상의 보조 영역 그룹과 각각 연통하는 복수 개의 공기 통로가 형성되고,
    상기 공기 통로 개폐 단계에서는,
    상기 기판의 크기에 기초하여 상기 복수 개의 공기 통로 중 개방되는 하나 이상의 공기 통로를 결정하는,
    기판 디몰더 방법.
26. 제 25 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 보조 영역 그룹은, 상기 메인 영역을 중심으로 양측에 이격 배치된 복수 개의 보조 영역을 포함하고,
    상기 공기 통로 개폐 단계에서는, 상기 결정된 하나 이상의 공기 통로를 개방하고,
    상기 흡착 단계에서는,
    상기 개방된 하나 이상의 공기 통로를 통하여 상기 복수 개의 보조 영역 중 하나 이상에 진공을 형성함으로써 상기 기판을 흡착 지지하는,
    기판 디몰더 방법.
27. 제 22 항에 있어서,
    상기 분리 단계가 종료된 후에 상기 제1 플레이트로부터 상기 기판을 제거하는 기판 제거 단계를 더 포함하고,
    상기 제1 플레이트는, 상기 기판을 지지하는 기판 지지부 및 상기 기판 지지부가 회전 가능하게 지지되는 플레이트 홀더를 포함하며,
    상기 기판 제거 단계에서는,
    상기 기판 지지부가 상기 기판을 지지한 채로 상기 플레이트 홀더에 대하여 회전되어, 상기 기판이 상기 기판 지지부의 상부에 위치하였을 때, 상기 기판을 제거하는,
    기판 디몰더 방법.

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