KR102265101B1 - Flexible micro contact pin and test apparatus including the same - Google Patents

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KR102265101B1
KR102265101B1 KR1020200013043A KR20200013043A KR102265101B1 KR 102265101 B1 KR102265101 B1 KR 102265101B1 KR 1020200013043 A KR1020200013043 A KR 1020200013043A KR 20200013043 A KR20200013043 A KR 20200013043A KR 102265101 B1 KR102265101 B1 KR 102265101B1
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longitudinal direction
contact pin
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micro contact
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박종군
김경호
윤기상
구황섭
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(주)위드멤스
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Abstract

According to the present invention, a flexible micro pin electrically connects a terminal of a subject and a terminal of a test device to each other. The flexible micro pin includes: a first elastic body extending in a longitudinal direction so that both ends can contact the terminals, respectively, and made of an elastically deformable material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction; and a second elastic body formed to surround the first elastic body and extending to a length shorter than that of the second elastic body in the longitudinal direction so that both ends protrude. Thus, the assembly or replacement of the flexible micro contact pin is facilitated.

Description

플렉서블 마이크로 접촉 핀 및 이를 구비하는 테스트 장치{FLEXIBLE MICRO CONTACT PIN AND TEST APPARATUS INCLUDING THE SAME}FLEXIBLE MICRO CONTACT PIN AND TEST APPARATUS INCLUDING THE SAME

본 발명은 전기 소자의 전기적 특성 측정에 사용되는 플렉서블 마이크로 접촉 핀 및 이를 구비하는 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible micro contact pin used for measuring electrical characteristics of an electric device and a test device having the same.

반도체 소자에 대한 성능 검사 시에는 테스트 장치의 단자 또는 패드와 반도체 소자의 단자를 전기적으로 연결하는 테스트용 소켓이 사용된다.When performing a performance test on a semiconductor device, a test socket electrically connecting a terminal or pad of a test device and a terminal of the semiconductor device is used.

이러한 테스트용 소켓을 구성하는 부품으로, 포고 핀(Pogo pin)이 사용될 수 있다. 일반적으로, 포고 핀은 속이 빈 파이프와, 파이프 내에 위치되는 스프링과, 스프링 및 파이프에 지지되면서 이동 가능한 적어도 하나의 단자를 포함한다. 이러한 구성에 의해, 포고 핀은 탄성력에 의해 반도체 소자의 단자와의 접촉을 보장하면서 전기적으로 검사 신호를 전달할 수 있다.As a component constituting the test socket, a pogo pin may be used. In general, a pogo pin includes a hollow pipe, a spring positioned within the pipe, and at least one terminal movable while supported by the spring and the pipe. With this configuration, the pogo pin can electrically transmit the inspection signal while ensuring contact with the terminal of the semiconductor element by the elastic force.

다만, 포고 핀은 동작 시 구성요소 간의 구조적인 끼임 현상이 일어날 수 있고, 반복 사용 시 구성요소의 물리적인 손상 가능성이 있다. 아울러, 피검사체인 반도체 소자의 단자 간 피치(pitch)가 소형화되는 추세에 따라, 포고 핀 또한 소형화하여 제조할 필요성이 있고, 이러한 소형화 추세에 따라 구성요소 간의 끼임이나 손상 가능성 등을 방지하는 구조적인 제약 조건이 설계 및 제조에 있어 더욱 중요한 요소가 될 수 있다.However, when the pogo pin is operated, structural jamming between the components may occur, and there is a possibility of physical damage to the components during repeated use. In addition, as the pitch between terminals of the semiconductor device under test becomes smaller, there is a need to manufacture a smaller pogo pin, and according to this trend of miniaturization, there is a structural structure that prevents the possibility of jamming or damage between components. Constraints can become more important factors in design and manufacturing.

KR 20-2009-0006326 U (2009.06.25. 공개)KR 20-2009-0006326 U (published on June 25, 2009)

본 발명의 일 목적은 스프링 부품의 가공과 조립에 의해 제조되는 종래 포고 핀과 같은 접촉 핀을 대체할 수 있는, 제조 과정이 간단하고 제조 비용이 저렴한 플렉서블 마이크로 접촉 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a flexible micro contact pin with a simple manufacturing process and low manufacturing cost, which can replace a contact pin such as a conventional pogo pin manufactured by processing and assembling a spring component.

본 발명의 다른 일 목적은 종래 포고 핀과 같은 경질의 접촉 핀들이 검사 시 피검사체 단자에 가할 수 있는 손상을 최소화할 수 있는 플렉서블 마이크로 접촉 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a flexible micro contact pin capable of minimizing damage that hard contact pins such as conventional pogo pins may inflict to a terminal under test during inspection.

본 발명의 또 다른 일 목적은 연질의 마이크로 접촉 핀이 요구되는 간격으로 정렬되어 있는 상태를 유지하면서도 연질의 마이크로 접촉 핀의 조립 또는 교체가 용이한 지지 구조를 갖는 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a test apparatus having a support structure that facilitates assembly or replacement of the soft micro contact pins while maintaining a state in which the soft micro contact pins are aligned at a required interval. .

다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다. However, the technical problems to be achieved by the present embodiment are not limited to the technical problems described above, and other technical problems may exist.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 핀은, 피검사체의 단자와 테스트 장치의 단자를 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 양 단부가 상기 단자들에 각각 접촉 가능하도록 길이 방향으로 연장되고, 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 탄성 변형 가능한 재질로 이루어지는 제1 탄성체; 및 상기 제1 탄성체를 감싸도록 형성되고, 상기 양 단부가 돌출되도록 상기 길이 방향으로 상기 제1 탄성체보다 짧은 길이로 연장되는 제2 탄성체를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention, the flexible micro pin according to the present invention electrically connects a terminal of an object to be inspected and a terminal of a test device to each other, and both ends extend in the longitudinal direction so that both ends can contact the terminals, respectively. , a first elastic body made of an elastically deformable material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction; and a second elastic body formed to surround the first elastic body and extending in a length shorter than that of the first elastic body in the longitudinal direction so that the both ends protrude.

상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체보다 경도가 높은 탄성 변형 가능한 재질로 이루어질 수 있다.The second elastic body may be made of an elastically deformable material having a hardness higher than that of the first elastic body.

상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체보다 경도가 높은 금속으로 이루어질 수 있다.The second elastic body may be made of a metal having a hardness higher than that of the first elastic body.

상기 제2 탄성체는 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 재질로 이루어질 수 있다.The second elastic body may be made of a material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction.

상기 길이 방향으로, 상기 제2 탄성체의 길이는 상기 제1 탄성체의 길이의 0.5 내지 0.91 배일 수 있다.In the longitudinal direction, the length of the second elastic body may be 0.5 to 0.91 times the length of the first elastic body.

상기 길이 방향과 교차하는 방향으로, 상기 제2 탄성체의 폭은 상기 제1 탄성체의 폭의 1.11 내지 2.5 배일 수 있다.In a direction crossing the longitudinal direction, the width of the second elastic body may be 1.11 to 2.5 times the width of the first elastic body.

상기 제1 탄성체 및 제2 탄성체 중 적어도 하나는, 길이 방향으로 압축되는 상기 제1 탄성체를 복원시키는 방향으로 탄성력을 제공하도록 형성되는 스프링을 구비할 수 있다.At least one of the first elastic body and the second elastic body may include a spring formed to provide an elastic force in a direction to restore the first elastic body compressed in the longitudinal direction.

상기 스프링은 상기 길이 방향의 중심축을 따라 나선형으로 연장되는 코일 스프링일 수 있다.The spring may be a coil spring extending helically along a central axis in the longitudinal direction.

상기 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면보다 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면을 가지고 연장될 수 있다.The spring may extend to have a rectangular cross section having a second moment of cross section smaller than a circular cross section having the same cross section area.

상기 제1 탄성체는, 상기 제2 탄성체의 내부에 위치되는 제1 부재; 및 상기 제1 부재와 서로 다른 재질로 이루어져 상기 제1 부재와 연결되고, 적어도 일부가 상기 제2 탄성체의 단부에서 상기 길이 방향으로 돌출되도록 배치되는 제2 부재를 구비할 수 있다.The first elastic body may include: a first member positioned inside the second elastic body; and a second member made of a material different from that of the first member and connected to the first member, at least a portion of which is disposed to protrude from an end of the second elastic body in the longitudinal direction.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 테스트 장치는, 피검사체의 단자와 전기적으로 접속하여 상기 피검사체를 검사하는 것으로서, 패드를 구비하는 기판; 상기 피검사체의 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 플렉서블 마이크로 핀; 및 상기 플렉서블 마이크로 핀과 결합되는 지지 블록을 포함하며, 상기 플렉서블 마이크로 접촉 핀은, 양 단부가 각각 상기 단자 및 상기 패드에 접촉 가능하도록 길이 방향으로 연장되고, 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 탄성 변형 가능한 재질로 이루어지는 제1 탄성체; 및 상기 제1 탄성체를 감싸도록 형성되고, 상기 양 단부가 돌출되도록 상기 길이 방향으로 상기 제1 탄성체보다 짧은 길이로 연장되는 제2 탄성체를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention, a test apparatus according to the present invention is electrically connected to a terminal of the subject to test the subject, and includes: a substrate including a pad; a flexible micro pin electrically connecting the terminal of the subject and the pad to each other; and a support block coupled to the flexible micro pin, wherein the flexible micro contact pin extends in a longitudinal direction so that both ends can contact the terminal and the pad, respectively, and contains conductive particles aligned in the longitudinal direction. a first elastic body made of an elastically deformable material; and a second elastic body formed to surround the first elastic body and extending in a length shorter than that of the first elastic body in the longitudinal direction so that the both ends protrude.

상기 지지 블록은, 상기 제2 탄성체를 상기 길이 방향으로 지지하도록 상기 플렉서블 마이크로 접촉 핀을 수용하는 수용부를 구비할 수 있다.The support block may include a receiving part accommodating the flexible micro contact pin to support the second elastic body in the longitudinal direction.

본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀은, 종래 포고 핀 구성에 비하여 구조가 간단하고 제조가 용이하다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀은 일체형으로 구성된다는 점에서, 가공 및 조립 공차에 의한 불량을 개선할 수 있고, 사용 시 구성요소 간의 끼임 또는 손상에 의하여 접촉 저항이 증가되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀은 연질의 접촉 구성을 가지므로, 피검사체에 가해지는 손상이 최소화될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀은 소형화가 유리하고, 고속 측정에 대응할 수 있다.The flexible micro contact pin according to the present invention has a simple structure and is easy to manufacture compared to a conventional pogo pin configuration. In addition, since the flexible micro contact pin according to the present invention is integrally configured, defects due to processing and assembly tolerances can be improved, and contact resistance can be prevented from increasing due to pinching or damage between components during use. have. In addition, since the flexible micro contact pin according to the present invention has a soft contact configuration, damage applied to the subject can be minimized. In addition, the flexible micro contact pin according to the present invention is advantageous in miniaturization and can respond to high-speed measurement.

또한, 본 발명에 따른 테스트 장치는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀을 길이 방향으로 변형을 허용하면서 정렬된 상태로 지지할 수 있는 지지 블록 구성을 가짐으로써, 내구성 및 신뢰성을 확보할 수 있다. 나아가, 이러한 구성을 가지면서도 플렉서블 마이크로 접촉 핀의 조립 또는 교체가 용이하여, 제조 및 유지 관리가 용이하다.In addition, the test apparatus according to the present invention has a support block configuration that can support the flexible micro contact pins in an aligned state while allowing deformation in the longitudinal direction, thereby ensuring durability and reliability. Furthermore, it is easy to assemble or replace the flexible micro contact pin while having such a configuration, so that it is easy to manufacture and maintain.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 플렉서블 마이크로 접촉 핀의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제1 탄성체에 스프링이 구비되는 플렉서블 마이크로 접촉 핀의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 이종 재질로 구성되는 제1 탄성체를 구비하는 플렉서블 마이크로 접촉 핀의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 지지 블록을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a test apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the flexible micro contact pin shown in FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view of a flexible micro contact pin provided with a spring on a first elastic body according to another embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a flexible micro contact pin having a first elastic body made of a dissimilar material according to another embodiment of the present invention.
5 is a view showing a support block according to another embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement them. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification. Also, in the drawings, the width, length, thickness, etc. of the components may be exaggerated for convenience.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Throughout the specification, when a part is "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected" but also the case of being "electrically connected" with another element interposed therebetween. . In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary. It should be understood that it does not preclude the possibility of addition or presence of features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 장치(100)를 나타내는 도면이다. 본 발명에 따른 테스트 장치(100)는 피검사체(1)의 단자(2)와 전기적으로 접속하여 상기 피검사체(1)의 성능 또는 불량 여부를 검사할 수 있는 장치이다.1 is a view showing a test apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. The test apparatus 100 according to the present invention is a device capable of inspecting the performance or failure of the subject 1 by electrically connecting to the terminal 2 of the subject 1 .

본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 장치(100)는, 기판(10), 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20) 및 지지 블록(50)을 포함한다. 기판(10)은 패드(11)를 구비하며, 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 기판(10)의 패드(11)와 피검사체(1)의 단자(2)를 서로 전기적으로 접속시키는 역할을 한다. 또한, 지지 블록(50)은 복수의 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)을 결합하여 지지하는 역할을 한다.The test apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a substrate 10 , a flexible micro contact pin 20 , and a support block 50 . The substrate 10 includes a pad 11 , and the flexible micro contact pin 20 serves to electrically connect the pad 11 of the substrate 10 and the terminal 2 of the subject 1 to each other. . In addition, the support block 50 serves to couple and support the plurality of flexible micro contact pins 20 .

도 2는 도 1에 도시된 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the flexible micro contact pin 20 shown in FIG. 1 .

도 2를 더 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 제1 탄성체(21) 및 제2 탄성체(22)를 포함한다. 제1 탄성체(21)는 피검사체(1)의 단자와 테스트 장치(100)의 단자(기판(10)에 구비되는 패드(11))를 서로 전기적으로 접속시키는 역할을 한다.2 , the flexible micro contact pin 20 according to an embodiment of the present invention includes a first elastic body 21 and a second elastic body 22 . The first elastic body 21 serves to electrically connect the terminal of the subject 1 and the terminal of the test apparatus 100 (the pad 11 provided on the substrate 10) to each other.

제1 탄성체(21)는 양 단부가 단자들에 각각 접촉 가능하도록 길이 방향으로 연장되는 기둥 형태일 수 있다. 예를 들어, 제1 탄성체(21)는 원기둥이나 다각 기둥 형태일 수 있다. 또한, 제1 탄성체(21)는 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자(23)를 함유하는 탄성 변형 가능한 재질로 이루어질 수 있다.The first elastic body 21 may be in the form of a column extending in the longitudinal direction so that both ends can contact the terminals, respectively. For example, the first elastic body 21 may have a cylindrical or polygonal column shape. In addition, the first elastic body 21 may be made of an elastically deformable material containing the conductive particles 23 aligned in the longitudinal direction.

구체적으로, 제1 탄성체(21)는 전도성 입자(23)들을 함유하여 지지하고, 양 단부에 각각 단자들(도 1에서는 단자(2) 및 패드(11))과 접촉 시, 가압 및 탄성 변형되면서 단자들(2, 11)에 가해지는 압력을 감소시키면서 밀착될 수 있다.Specifically, the first elastic body 21 contains the conductive particles 23 and is supported, and when in contact with terminals (the terminal 2 and the pad 11 in FIG. 1 ) at both ends, respectively, while being pressed and elastically deformed, The terminals 2 and 11 may be closely adhered while reducing the pressure applied thereto.

제1 탄성체(21)는 다양한 종류의 고분자 물질로 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 탄성체(21)는 실리콘, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, SBR, NBR 등 및 그들의 수소화합물과 같은 디엔형 고무로 이루어질 수 있다. 또는, 제1 탄성체(21)는 스티렌부타디엔 블럭코폴리머, 스티렌이소프렌 블럭코폴리머 등 및 그들의 수소 화합물과 같은 블럭코폴리머로 형성될 수도 있고, 또는, 클로로프렌, 우레탄 고무, 폴리에틸렌형 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 코폴리머, 에틸렌프로필렌디엔 코폴리머 등으로 이루어질 수도 있다. 제1 탄성체(21)는 액상 수지를 경화하여 얻을 수 있다.The first elastic body 21 may be formed of various types of polymer materials. For example, the first elastic body 21 may be made of a diene rubber such as silicone, polybutadiene, polyisoprene, SBR, NBR, and the like and hydrogen compounds thereof. Alternatively, the first elastic body 21 may be formed of a block copolymer such as a styrene-butadiene block copolymer, a styrene-isoprene block copolymer, and the like and a hydrogen compound thereof, or, chloroprene, urethane rubber, polyethylene-type rubber, epichlorohydrin It may be made of dry rubber, ethylene-propylene copolymer, ethylenepropylenediene copolymer, or the like. The first elastic body 21 may be obtained by curing a liquid resin.

전도성 입자(23)들은 제1 탄성체(21)의 길이 방향으로 배열될 수 있다. 전도성 입자(23)들은 서로 접촉하여 제1 탄성체(21)에 길이 방향으로 전도성을 부여한다. 전기 소자인 피검사체(1)의 검사를 위해 제1 탄성체(21)가 길이 방향(도 2의 상하 방향)으로 압력이 가해져 압축되면, 전도성 입자(23)들이 서로 더욱 가까워지면서 제1 탄성체(21)의 길이 방향 전기 전도도가 더 높아질 수 있다.The conductive particles 23 may be arranged in the longitudinal direction of the first elastic body 21 . The conductive particles 23 are in contact with each other to impart conductivity to the first elastic body 21 in the longitudinal direction. When the first elastic body 21 is compressed by applying pressure in the longitudinal direction (up and down direction in FIG. 2 ) for the inspection of the object 1, which is an electrical element, the conductive particles 23 become closer to each other and the first elastic body 21 ) may have a higher longitudinal electrical conductivity.

전도성 입자(23)들은 철, 구리, 아연, 크롬, 니켈, 은, 코발트, 알루미늄 등과 같은 단일 도전성 금속재 또는 이들 금속재료 둘 이상의 합금재로 이루어질 수 있다. 또한, 전도성 입자(23)들은 코어 금속의 표면을 전도성이 뛰어난 금, 은, 로듐, 파라듐, 백금 또는 은과 금, 음과 로듐, 은과 파라듐 등과 같은 금속으로 코팅하는 방법으로 제조될 수도 있다. 나아가, 전도성 입자(23)는, 전도성 향상을 위하여, MEMS 팁(tip). 플레이크(flake), 선재, 탄소나노튜브(CNT, carbon nanotube), 그래핀(graphene) 등을 더 포함할 수 있다.The conductive particles 23 may be made of a single conductive metal material such as iron, copper, zinc, chromium, nickel, silver, cobalt, aluminum, or the like, or an alloy material of two or more of these metal materials. In addition, the conductive particles 23 may be manufactured by coating the surface of the core metal with a metal having excellent conductivity, such as gold, silver, rhodium, palladium, platinum, or silver and gold, yin and rhodium, silver and palladium, etc. have. Furthermore, the conductive particles 23 are, in order to improve conductivity, a MEMS tip. It may further include flakes, wires, carbon nanotubes (CNTs), graphene, and the like.

한편, 제2 탄성체(22)는 중공(22a)이 형성되는 통 형태일 수 있다. 예를 들어, 제2 탄성체(22)는 원통이나 다각형 통 형태일 수 있다. 제2 탄성체(22)의 중공(22a)에는 제1 탄성체(21)가 삽입될 수 있고, 제2 탄성체(22)는 제1 탄성체(21)의 측면(21a)의 적어도 일부를 감싸도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 탄성체(21)의 측면(21a)은 제2 탄성체(22)의 중공(22a)의 내면에 접촉할 수 있고, 제1 탄성체(21)는 제2 탄성체(22)의 중공(22a) 내에서 유동하는 것이 억제되도록 제2 탄성체(22)에 지지될 수 있다. 제2 탄성체(22)가 제1 탄성체(21)와 결합하면, 제1 탄성체(21)의 외주면에서 반경 방향으로 제2 탄성체(22)가 돌출되어 있는 형상이 될 수 있다.On the other hand, the second elastic body 22 may have a cylindrical shape in which the hollow 22a is formed. For example, the second elastic body 22 may have a cylindrical or polygonal cylindrical shape. The first elastic body 21 may be inserted into the hollow 22a of the second elastic body 22 , and the second elastic body 22 may be formed to surround at least a portion of the side surface 21a of the first elastic body 21 . can Specifically, the side surface 21a of the first elastic body 21 may contact the inner surface of the hollow 22a of the second elastic body 22, and the first elastic body 21 may be in contact with the hollow (22a) of the second elastic body 22. 22a) may be supported by the second elastic body 22 so as to be inhibited from flowing within. When the second elastic body 22 is coupled to the first elastic body 21 , the second elastic body 22 may protrude from the outer circumferential surface of the first elastic body 21 in a radial direction.

제2 탄성체(22)는, 제1 탄성체(21)가 압축되었을 때 제1 탄성체(21) 내부의 전도성 입자(23)들이 서로 접촉하면서 제1 탄성체(21)의 중심부에서 측면 방향으로 밀려나 제1 탄성체(21)의 측면(27)을 뚫고 나오는 것을 방지하는 역할을 한다.The second elastic body 22 is pushed in the lateral direction from the center of the first elastic body 21 while the conductive particles 23 inside the first elastic body 21 are in contact with each other when the first elastic body 21 is compressed to form the first It serves to prevent the side 27 of the elastic body 21 from coming out.

제2 탄성체(22)는 제1 탄성체(21)와 마찬가지로 다양한 종류의 고분자 물질로 형성할 수 있다. 예를 들어, 제2 탄성체(22)는, 제1 탄성체(21)와 마찬가지로, 실리콘, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, SBR, NBR 등 및 그들의 수소화합물과 같은 디엔형 고무로 구현될 수 있다. 또한, 제2 탄성체(22)는 스티렌부타디엔 블럭코폴리머, 스티렌이소프렌 블럭코폴리머 등 및 그들의 수소 화합물과 같은 블럭코폴리머로 구현될 수도 있다. 또한, 제2 탄성체(22)는 클로로프렌, 우레탄 고무, 폴리에틸렌형 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 코폴리머, 에틸렌프로필렌디엔 코폴리머 등으로 구현될 수도 있다. 제2 탄성체(22)도 액상 수지를 경화하여 얻을 수 있다.Like the first elastic body 21 , the second elastic body 22 may be formed of various types of polymer materials. For example, the second elastic body 22, like the first elastic body 21, may be implemented with a diene rubber such as silicone, polybutadiene, polyisoprene, SBR, NBR, and their hydrogen compounds. In addition, the second elastic body 22 may be implemented as a block copolymer such as a styrene-butadiene block copolymer, a styrene-isoprene block copolymer, or a hydrogen compound thereof. In addition, the second elastic body 22 may be implemented with chloroprene, urethane rubber, polyethylene rubber, epichlorohydrin rubber, ethylene-propylene copolymer, ethylenepropylenediene copolymer, or the like. The second elastic body 22 can also be obtained by curing a liquid resin.

이러한 제2 탄성체(22)는 제1 탄성체(21)보다는 경도가 높은 탄성 변형 가능한 재질로 이루어질 수 있고, 또는, 제1 탄성체(21)보다 경도가 높은 금속으로 이루어질 수 있다. 나아가, 제1 탄성체(21)와 마찬가지로, 제2 탄성체(22)는 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자(23)를 함유할 수 있다.The second elastic body 22 may be made of an elastically deformable material having a hardness higher than that of the first elastic body 21 , or may be made of a metal having a hardness higher than that of the first elastic body 21 . Furthermore, like the first elastic body 21 , the second elastic body 22 may contain conductive particles 23 aligned in the longitudinal direction.

또한, 제2 탄성체(22)는 길이 방향으로 제1 탄성체(21)보다 짧은 길이를 가질 수 있다. 이는 제2 탄성체(22)가 이웃한 피검사체(1)에 불필요하게 접촉하는 것을 방지하기 위한 것으로, 도 2를 참조하여, 제2 탄성체(22)의 길이(L1)는 제1 탄성체(21)의 길이(L2)의 0.5 내지 0.91 배인 것이 바람직하다.In addition, the second elastic body 22 may have a shorter length than the first elastic body 21 in the longitudinal direction. This is to prevent the second elastic body 22 from unnecessarily contacting the neighboring object 1, and referring to FIG. 2 , the length L1 of the second elastic body 22 is the first elastic body 21 . It is preferably 0.5 to 0.91 times the length (L2) of

또한, 길이 방향과 교차하는 방향(예를 들면, 반경 방향)으로, 제2 탄성체(22)의 폭(A2)은 제1 탄성체(21)의 폭(A1)의 1.1 내지 2.5 배인 것이 바람직하다. 이는 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20) 전체가 압축에 의한 반동으로 외부로 이탈되지 않도록 후술하는 지지 블록(50)에 걸려 지지될 수 있도록 하기 위한 것이다.Further, in a direction crossing the longitudinal direction (eg, radial direction), the width A2 of the second elastic body 22 is preferably 1.1 to 2.5 times the width A1 of the first elastic body 21 . This is to allow the entire flexible micro contact pin 20 to be caught and supported by the support block 50 to be described later so that the entire flexible micro contact pin 20 does not escape to the outside due to recoil due to compression.

본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은, 종래 포고 핀 구성에 비하여 구조가 간단하고 조립이 용이하다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 일체형으로 구성된다는 점에서, 가공 및 조립 공차에 의한 불량을 개선할 수 있고, 사용 시 구성요소 간의 끼임 또는 손상에 의하여 접촉 저항이 증가되는 것이 방지될 수 있다.The flexible micro contact pin 20 according to the present invention has a simple structure and easy assembly compared to a conventional pogo pin configuration. In addition, since the flexible micro contact pin 20 according to the present invention is integrally configured, it is possible to improve defects due to processing and assembly tolerances, and to increase the contact resistance due to pinching or damage between components during use. can be prevented.

또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 연질의 접촉 구성을 가지므로, 검사 중에 피검사체(1)에 가해지는 손상이 최소화될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 종래의 핀보다 소형화에 유리하고, 고속 측정에 대응할 수 있는 이점이 있다.In addition, since the flexible micro contact pin 20 according to the present invention has a soft contact configuration, damage applied to the object 1 during inspection can be minimized. In addition, the flexible micro-contact pin 20 according to the present invention is advantageous in miniaturization than a conventional pin, and has the advantage of being able to respond to high-speed measurement.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제1 탄성체(21)에 스프링(24)이 구비되는 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 단면도이다. 이하에서는 도 2 및 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예에 따라 스프링(24)을 더 구비하는 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20) 구성에 대해 설명한다.3 is a cross-sectional view of the flexible micro contact pin 20 in which the spring 24 is provided on the first elastic body 21 according to another embodiment of the present invention. Hereinafter, a configuration of the flexible micro contact pin 20 further including a spring 24 according to an embodiment and another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3 .

본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)에서, 제1 탄성체(21) 및 제2 탄성체(22) 중 적어도 하나는, 길이 방향으로 압축되는 제1 탄성체(21)를 복원시키는 방향으로 탄성력을 제공하도록 형성되는 스프링(24)을 구비할 수 있다.In the flexible micro contact pin 20 according to the present invention, at least one of the first elastic body 21 and the second elastic body 22 provides an elastic force in the direction of restoring the first elastic body 21 compressed in the longitudinal direction. It may be provided with a spring 24 that is formed to do so.

도 2를 참조하면, 스프링(24)은 제2 탄성체(22)에 내장될 수 있다. 스프링(24)은 스테인리스 스틸, 알루미늄, 청동, 인동, 니켈, 금, 은, 팔라듐 등 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 탄성 계수가 큰 피아노 강선에 전도성이 높은 도금층을 형성한 스프링(24)일 수 있다. 스프링(24)은 선재를 길이 방향의 중심축에 대하여 나선형으로 감기는 원통형의 코일 스프링 형태일 수 있고, 원통형 코일 스프링의 내부에 제1 탄성체(21)가 배치될 수 있다. 스프링(24)의 길이는 제2 탄성체(22)의 길이와 같거나, 약간 짧을 수 있다.Referring to FIG. 2 , the spring 24 may be embedded in the second elastic body 22 . The spring 24 may be made of stainless steel, aluminum, bronze, phosphorus, nickel, gold, silver, palladium, or the like, or an alloy thereof. In addition, it may be a spring 24 in which a highly conductive plating layer is formed on a piano steel wire having a large elastic modulus. The spring 24 may be in the form of a cylindrical coil spring in which the wire rod is spirally wound with respect to a central axis in the longitudinal direction, and the first elastic body 21 may be disposed inside the cylindrical coil spring. The length of the spring 24 may be equal to or slightly shorter than the length of the second elastic body 22 .

스프링(24)은 제1 탄성체(21)가 길이 방향으로 압축되었을 때 제1 탄성체(21)를 복원(인장)시키는 방향으로 탄성력을 제공하는 역할을 한다. 검사 과정에서 제1 탄성체(21)의 양 단부가 가압되면, 제1 탄성체(21)가 압축되고, 제1 탄성체(21)와 결합되는 제2 탄성체(22)도 압축될 수 있다. 이때, 제2 탄성체(22)에 내장된 스프링(24)도 압축될 수 있다. 검사가 완료되어 제1 탄성체(21)의 양 단부에 가해진 압력이 제거되면, 제1 탄성체(21)와 제2 탄성체(22)는 길이 방향으로 팽창(인장)하여 회복된다. 즉, 스프링(24)은 제1 탄성체(21)와 제2 탄성체(22)가 인장되는 방향으로 탄성력을 제공하여, 제1 탄성체(21)와 제2 탄성체(22)가 더욱 빠르게 복원되도록 보조하는 역할을 한다.The spring 24 serves to provide an elastic force in a direction to restore (tension) the first elastic body 21 when the first elastic body 21 is compressed in the longitudinal direction. When both ends of the first elastic body 21 are pressed during the inspection process, the first elastic body 21 may be compressed, and the second elastic body 22 coupled to the first elastic body 21 may also be compressed. At this time, the spring 24 built into the second elastic body 22 may also be compressed. When the test is completed and the pressure applied to both ends of the first elastic body 21 is removed, the first elastic body 21 and the second elastic body 22 expand (tension) in the longitudinal direction to recover. That is, the spring 24 provides an elastic force in a direction in which the first elastic body 21 and the second elastic body 22 are tensioned, thereby assisting the first elastic body 21 and the second elastic body 22 to be restored more quickly. plays a role

한편, 도 2 및 3에는 스프링(24)의 선재의 단면이 원형인 것으로 도시되어 있으나, 스프링(24)의 선재의 단면은 사각형일 수도 있다. 특히, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)이 인터포저에 사용되는 경우, 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재가 연장되어 형성되는 스프링(24)을 사용하는 것이 바람직하다. 다수의 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)이 사용되는 인터포저의 경우, 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 스프링 힘(spring force)이 상대적으로 작고, 압력이 가해졌을 때 더 많이 압축될 수 있는 스프링을 사용하는 것이 바람직하기 때문이다.Meanwhile, although the cross-section of the wire of the spring 24 is shown to be circular in FIGS. 2 and 3 , the cross-section of the wire of the spring 24 may be rectangular. In particular, when the flexible micro contact pin 20 according to the present invention is used for an interposer, a rectangular cross-section having a smaller secondary moment of cross-section compared to a wire having a circular cross-section of the same cross-sectional area (a rectangular cross-section with a vertical value smaller than a horizontal value) It is preferable to use a spring 24 formed by extending a wire having a In the case of an interposer in which a plurality of flexible micro contact pins 20 are used, the spring force of the flexible micro contact pins 20 is relatively small, and a spring that can be compressed more when pressure is applied is used. because it is preferable to

2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재로 형성되는 스프링은 동일한 스프링 높이(자유장)와 동일한 스프링 피치의 원형 단면 선재 스프링(동일 단면적)보다 더 긴 스트로크(stroke)를 가질 수 있어서 안정적인 낮은 힘(low force) 접촉 핀을 구현할 수 있다.A spring formed from a wire rod with a rectangular cross-section with a small secondary moment (a rectangular cross-section whose longitudinal value is less than its transverse value) has a longer stroke than a circular-section wire spring (same cross-sectional area) with the same spring height (free field) and the same spring pitch. (Stroke) can have a stable low force (low force) contact pin can be implemented.

도 3을 참조하면, 본 발명에 구비되는 제1 탄성체(21)에도 스프링이 내장될 수 있다. 도시된 것과 같이, 제1 탄성체(21) 및 제2 탄성체(22) 모두에 스프링(24a, 24b, 24c)이 내장될 수 있다. 이때, 제1 탄성체(21)에는 부분적으로 스프링(24b, 24c)이 내장될 수 있는데, 예를 들면, 길이 방향 양 단부에 스프링(24b, 24c)이 각각 내장될 수 있다. 제1 탄성체(21)에 내장되는 스프링(24b, 24c)은, 제2 탄성체(22)에 내장되는 스프링(24a)과는 측면 방향에서 바라볼 때 적어도 일부 영역이 중첩되도록 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3 , a spring may be embedded in the first elastic body 21 provided in the present invention. As shown, springs 24a, 24b, and 24c may be embedded in both the first elastic body 21 and the second elastic body 22 . At this time, the springs 24b and 24c may be partially embedded in the first elastic body 21 . For example, springs 24b and 24c may be embedded in both ends in the longitudinal direction, respectively. The springs 24b and 24c embedded in the first elastic body 21 may be arranged such that at least a partial region overlaps with the spring 24a embedded in the second elastic body 22 when viewed from the side.

다른 한편으로, 도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 이종 재질로 구성되는 제1 탄성체(21)를 구비하는 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 단면도이다. 도 4의 또 다른 실시예를 참조하면, 제1 탄성체는 제1 부재(21x) 및 제2 부재(21y, 21z)를 포함할 수 있다.On the other hand, FIG. 4 is a cross-sectional view of a flexible micro contact pin 20 having a first elastic body 21 made of a dissimilar material according to another embodiment of the present invention. 4 , the first elastic body may include a first member 21x and second members 21y and 21z.

예를 들면, 제1 부재(21x)는 제2 탄성체(22)의 내부에 배치될 수 있다. 즉, 제2 탄성체(22)의 중공(22a)에 완전히 수용되는 부분이 제1 부재(21x)에 해당할 수 있다. 그리고, 제2 부재(21y, 21z)는 제1 부재(21x)와 서로 다른 재질로 이루어져 제1 부재(21x)와 각각 연결될 수 있다. 또한, 제2 부재(21y, 21z)는 적어도 일부가 제2 탄성체(22)의 단부에서 길이 방향으로 돌출되는 영역에 배치될 수 있다. 도시된 것과 같이, 제2 부재(21y, 21z)는 제1 탄성체(21)의 양 단부 영역을 구성할 수 있고, 제1 부재(21x)는 제2 부재(21y, 21z) 사이에 개재되는 영역을 구성할 수 있다. 경우에 따라, 제2 부재는 일 단부(21y)와 타 단부(21z)는 서로 다른 재질로 이루어질 수 있다.For example, the first member 21x may be disposed inside the second elastic body 22 . That is, the portion completely accommodated in the hollow 22a of the second elastic body 22 may correspond to the first member 21x. In addition, the second members 21y and 21z may be made of a material different from that of the first member 21x and may be respectively connected to the first member 21x. Also, at least a portion of the second members 21y and 21z may be disposed in a region in which at least a portion protrudes from the end of the second elastic body 22 in the longitudinal direction. As illustrated, the second members 21y and 21z may constitute both end regions of the first elastic body 21 , and the first member 21x is a region interposed between the second members 21y and 21z. can be configured. In some cases, one end 21y and the other end 21z of the second member may be made of different materials.

도 3 및 4의 실시예들에 의하면, 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)을 적용하는 상황에 따라, 다양하게 탄성력, 내구성, 연질의 물질에 대한 수직도 등을 설계할 수 있다.According to the embodiments of FIGS. 3 and 4 , depending on the situation in which the flexible micro contact pin 20 according to the present invention is applied, elasticity, durability, perpendicularity to a soft material, etc. can be designed in various ways.

이하에서는 본 발명에 따른 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)을 지지하기 위하여 본 발명에 따른 테스트 장치(100)에 구비되는 지지 블록(50)에 대하여 설명한다.Hereinafter, the support block 50 provided in the test apparatus 100 according to the present invention in order to support the flexible micro contact pin 20 according to the present invention will be described.

지지 블록(50)은 마이크로 접촉 핀(20)들을 지지하는 역할을 한다. 지지 블록(50)은 탄성체에 비해서 열팽창 계수가 낮고, 경도가 높은 재질로 이루어질 수 있다. 지지 블록(50)은, 예를 들어, 폴리이미드(Polyimides, PI) 수지, 폴리에테르에테르케톤(Polyether ether ketone, PEEK) 수지, 폴리에테르이미드(PolyEtherlmide, PEI, ULTEMTM) 수지 등으로 이루어질 수 있다.The support block 50 serves to support the micro contact pins 20 . The support block 50 may be made of a material having a lower coefficient of thermal expansion and higher hardness than an elastic body. The support block 50 may be made of, for example, a polyimide (PI) resin, a polyether ether ketone (PEEK) resin, a polyEtherlmide (PEI, ULTEM™) resin, or the like.

도 1에 도시된 것과 같이, 지지 블록(50)은 제1 블록(51) 및 제1 블록(51)과 결합하는 제2 블록(52)을 구비할 수 있다. 제1 블록(51)과 제2 블록(52)은 서로 나사 결합될 수 있다. 제1 블록(51)에는 제1 탄성체(21)의 일 측이 삽입되는 제1 관통구멍(53)이 형성되고, 제2 블록(52)에는 제1 탄성체(21)의 타 측이 삽입되는 제2 관통구멍(54)이 형성될 수 있다. 지지 블록(50)의 제1 관통구멍(53)과 제2 관통구멍(54)의 사이에는 제2 탄성체(22)에 의해서 둘러싸인 제1 탄성체(21)가 수용되는 수용부(55)가 형성될 수 있다. 제1 관통구멍(53)과 제2 관통구멍(54)의 내경은 제2 탄성체(22)의 외경에 비해서 작기 때문에, 제1 관통구멍(53) 및 제2 관통구멍(54)과 수용부(55)가 연결되는 부분에는 단차(57, 58)가 각각 형성될 수 있고, 제2 탄성체(22)는 길이 방향으로 단차(57, 58)에 지지됨으로써, 제1 관통구멍(53)과 제2 관통구멍(54)을 통과하지 못하게 된다.1 , the support block 50 may include a first block 51 and a second block 52 coupled to the first block 51 . The first block 51 and the second block 52 may be screwed to each other. A first through hole 53 into which one side of the first elastic body 21 is inserted is formed in the first block 51 , and a second through hole 53 into which the other side of the first elastic body 21 is inserted is formed in the second block 52 . Two through-holes 54 may be formed. Between the first through hole 53 and the second through hole 54 of the support block 50, the receiving portion 55 in which the first elastic body 21 surrounded by the second elastic body 22 is accommodated is formed. can Since the inner diameters of the first through hole 53 and the second through hole 54 are smaller than the outer diameter of the second elastic body 22, the first through hole 53 and the second through hole 54 and the receiving portion ( Steps 57 and 58 may be formed in the portion where 55 is connected, respectively, and the second elastic body 22 is supported by the steps 57 and 58 in the longitudinal direction, whereby the first through hole 53 and the second It cannot pass through the through hole 54 .

제2 블록(52)의 제2 관통구멍(54)들에 제1 탄성체(21)들의 일 단부를 삽입하고, 제1 블록(51)의 제1 관통구멍(53)들에 제1 탄성체(21)들의 타 단부를 삽입한 후, 제1 블록(51)과 제2 블록(52)을 서로 나사 결합하는 방법으로 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)들을 지지 블록(50)에 조립할 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 제1 탄성체(21)의 양 단부는 지지 블록(50)의 외부로 노출되며, 제2 탄성체(22)가 제1 관통구멍(53)과 제2 관통구멍(54)을 통과할 수 없으므로, 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)은 지지 블록(50)의 위나 아래로 이탈되지 않는다.One end of the first elastic bodies 21 is inserted into the second through holes 54 of the second block 52 , and the first elastic bodies 21 are inserted into the first through holes 53 of the first block 51 . ), the flexible micro contact pins 20 may be assembled to the support block 50 by screwing the first block 51 and the second block 52 to each other after inserting the other end. Accordingly, both ends of the first elastic body 21 of the flexible micro contact pin 20 are exposed to the outside of the support block 50 , and the second elastic body 22 passes through the first through hole 53 and the second through hole 53 . Since it cannot pass through the hole 54 , the flexible micro contact pins 20 do not disengage above or below the support block 50 .

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 지지 블록(50)을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a support block 50 according to another embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 지지 블록(50)의 제1 블록(51)과 제2 블록(52) 중 적어도 하나는 복수의 필름이 적층되는 구성을 가질 수 있다. 제1 블록(51)은 제1 관통구멍(53)에 대응하는 관통구멍이 형성된 두 장의 필름(51a, 51b)과 제1 관통구멍(153)에 비해서 지름이 큰 관통구멍이 형성된 두 장의 필름(51c, 51d)으로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 블록(52)은 제2 관통구멍(54)에 대응하는 관통구멍이 형성된 두 장의 필름(52a, 52b)과 제2 관통구멍(54)에 비해서 지름이 큰 관통구멍이 형성된 두 장의 필름(52c, 52d)이 적층되는 구성을 가질 수 있다. 필름으로는 폴리이미드 필름을 사용할 수 있으며, 필름들은 접착제를 이용하여 결합시킬 수 있다.5 , at least one of the first block 51 and the second block 52 of the support block 50 may have a configuration in which a plurality of films are stacked. The first block 51 includes two films 51a and 51b having through-holes corresponding to the first through-hole 53 and two films having through-holes having a larger diameter than the first through-hole 153 ( 51c and 51d). In addition, the second block 52 includes two sheets of films 52a and 52b having through-holes corresponding to the second through-holes 54 and two sheets of through-holes having a larger diameter than the second through-holes 54 . The films 52c and 52d may be stacked. A polyimide film may be used as the film, and the films may be bonded using an adhesive.

본 발명에 따른 테스트 장치(100)는, 연질로 구성되는 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)을 길이 방향으로 변형을 허용하면서 정렬된 상태로 지지할 수 있는 구성을 가짐으로써, 검사의 신뢰도를 확보할 수 있다. 나아가, 이러한 구성을 가지면서도 플렉서블 마이크로 접촉 핀(20)의 조립 또는 교체가 용이하여, 제조 및 유지 관리가 용이하다. 전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The test apparatus 100 according to the present invention has a configuration that can support the flexible micro-contact pin 20 made of softness in an aligned state while allowing deformation in the longitudinal direction, thereby securing the reliability of the test. have. Furthermore, it is easy to assemble or replace the flexible micro contact pin 20 while having such a configuration, so that manufacturing and maintenance are easy. The above description of the present invention is for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 기판
11: 패드
20: 플렉서블 마이크로 접촉 핀
21: 제1 탄성체
22: 제2 탄성체
23: 전도성 입자
24: 스프링
50: 지지 블록
100: 테스트 장치10: substrate
11: pad
20: flexible micro contact pin
21: first elastic body
22: second elastic body
23: conductive particles
24: spring
50: support block
100: test device

Claims (12)

피검사체의 단자와 테스트 장치의 단자를 서로 전기적으로 접속시키는 플렉서블 마이크로 접촉 핀으로서,
양 단부가 상기 단자들에 각각 접촉 가능하도록 길이 방향으로 연장되고, 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 탄성 변형 가능한 재질로 이루어지는 제1 탄성체; 및
상기 제1 탄성체를 감싸도록 형성되고, 상기 양 단부가 돌출되도록 상기 길이 방향으로 상기 제1 탄성체보다 짧은 길이로 연장되는 제2 탄성체를 포함하고,
상기 제1 탄성체 및 제2 탄성체 중 적어도 하나는, 길이 방향으로 압축되는 상기 제1 탄성체를 복원시키는 방향으로 탄성력을 제공하도록 상기 길이 방향의 중심축을 따라 나선형으로 연장되는 코일 스프링을 구비하고,
상기 코일 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면보다 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면을 가지고 연장되는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
A flexible micro contact pin for electrically connecting a terminal of a subject and a terminal of a test device to each other,
a first elastic body extending in the longitudinal direction so that both ends can contact the terminals, respectively, and made of an elastically deformable material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction; and
a second elastic body formed to surround the first elastic body and extending in a length shorter than that of the first elastic body in the longitudinal direction so that both ends protrude;
At least one of the first elastic body and the second elastic body includes a coil spring extending helically along the central axis in the longitudinal direction to provide an elastic force in a direction to restore the first elastic body compressed in the longitudinal direction,
The coil spring is a flexible micro contact pin, characterized in that it extends with a rectangular cross-section having a cross-sectional secondary moment smaller than a circular cross-section of the same cross-sectional area.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체보다 경도가 높은 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
According to claim 1,
The second elastic body is a flexible micro contact pin, characterized in that made of a metal having a higher hardness than the first elastic body.
 제1항에 있어서,
상기 제2 탄성체는 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
According to claim 1,
The second elastic body is a flexible micro contact pin, characterized in that made of a material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction.
 제1항에 있어서,
상기 길이 방향으로, 상기 제2 탄성체의 길이는 상기 제1 탄성체의 길이의 0.5 내지 0.91 배인 것을 특징으로 하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
According to claim 1,
In the longitudinal direction, the length of the second elastic body is 0.5 to 0.91 times the length of the first elastic body, characterized in that the flexible micro contact pin.
 제1항에 있어서,
상기 길이 방향과 교차하는 방향으로, 상기 제2 탄성체의 폭은 상기 제1 탄성체의 폭의 1.11 내지 2.5 배인 것을 특징으로 하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
According to claim 1,
In a direction crossing the longitudinal direction, the width of the second elastic body is 1.11 to 2.5 times the width of the first elastic body, a flexible micro contact pin.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 탄성체는,
상기 제2 탄성체의 내부에 위치되는 제1 부재; 및
상기 제1 부재와 서로 다른 재질로 이루어져 상기 제1 부재와 연결되고, 적어도 일부가 상기 제2 탄성체의 단부에서 상기 길이 방향으로 돌출되도록 배치되는 제2 부재를 구비하는, 플렉서블 마이크로 접촉 핀.
According to claim 1,
The first elastic body,
a first member positioned inside the second elastic body; and
A flexible micro contact pin comprising a second member made of a material different from that of the first member and connected to the first member, at least a portion of which is disposed to protrude from an end of the second elastic body in the longitudinal direction.
 피검사체의 단자와 전기적으로 접속하여 상기 피검사체를 검사하는 테스트 장치로서,
패드를 구비하는 기판;
상기 피검사체의 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 플렉서블 마이크로 접촉 핀; 및
상기 플렉서블 마이크로 접촉 핀과 결합되는 지지 블록을 포함하며,
상기 플렉서블 마이크로 접촉 핀은,
양 단부가 각각 상기 단자 및 상기 패드에 접촉 가능하도록 길이 방향으로 연장되고, 상기 길이 방향으로 정렬되는 전도성 입자를 함유하는 탄성 변형 가능한 재질로 이루어지는 제1 탄성체; 및
상기 제1 탄성체를 감싸도록 형성되고, 상기 양 단부가 돌출되도록 상기 길이 방향으로 상기 제1 탄성체보다 짧은 길이로 연장되는 제2 탄성체를 포함하고,
상기 제1 탄성체 및 제2 탄성체 중 적어도 하나는, 길이 방향으로 압축되는 상기 제1 탄성체를 복원시키는 방향으로 탄성력을 제공하도록 상기 길이 방향의 중심축을 따라 나선형으로 연장되는 코일 스프링을 구비하고,
상기 코일 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면보다 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면을 가지고 연장되는 것을 특징으로 하는, 테스트 장치.
A test device electrically connected to a terminal of the subject to inspect the subject,
a substrate having a pad;
a flexible micro contact pin electrically connecting the terminal of the subject and the pad to each other; and
and a support block coupled to the flexible micro contact pin;
The flexible micro contact pin,
a first elastic body having both ends extending in the longitudinal direction so as to be in contact with the terminal and the pad, respectively, and made of an elastically deformable material containing conductive particles aligned in the longitudinal direction; and
a second elastic body formed to surround the first elastic body and extending in a length shorter than that of the first elastic body in the longitudinal direction so that both ends protrude;
At least one of the first elastic body and the second elastic body includes a coil spring extending helically along the central axis in the longitudinal direction to provide an elastic force in a direction to restore the first elastic body compressed in the longitudinal direction,
The coil spring is characterized in that it extends with a rectangular cross-section having a cross-sectional secondary moment smaller than a circular cross-section of the same cross-sectional area.
 제11항에 있어서,
상기 지지 블록은, 상기 제2 탄성체를 상기 길이 방향으로 지지하도록 상기 플렉서블 마이크로 접촉 핀을 수용하는 수용부를 구비하는, 테스트 장치.12. The method of claim 11,
The support block includes a receiving part for accommodating the flexible micro contact pin to support the second elastic body in the longitudinal direction.
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