KR102207243B1 - 고압 필터 - Google Patents

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마셜 랜돌프
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

상보적인 테이퍼면들을 갖는 제1 및 제2 하우징과, 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷과, 하우징 내에 중심에 배치된 필터 요소와, 제2 하우징 위에 끼워맞춤되고 제1 하우징 상에 나사 결합되는 압축 칼라를 구비하는 고압 필터가 제공된다. 고압 필터를 제조하고 사용하는 방법도 제공된다.

Description

고압 필터
관련 출원
본 출원은 2015년 7월 8일자로 출원된 미국 가출원 제62/190,100호의 이익을 주장한다. 상기 출원의 전체 교시는 본 명세서에 참고로 인용되어 있다.
반도체 제조 동작에는 주석과 같은 고순도 금속과, 공정을 방해하고 생산될 제품에 결함을 일으킬 수 있는 불순물, 오염물 및 미립자가 없는 브롬화 수소와 같은 고순도 가스가 필요하다. 용융 금속의 여과는 특히 고온 및 고압에서 해당 여과가 수행되는 것을 필요로 한다. 용융 금속 여과용 필터는 고온, 예로서 200℃를 초과한 온도와 예로서 최고 8000 psig까지의 고압에서 누설 방지 밀봉을 제공하여야 한다.
종래 기술에서 교시된 디바이스 및 방법은 반도체 산업의 오늘날의 고객의 요구를 반드시 충족하는 것은 아니다. 용융 금속 및 가스의 여과를 위해 고온 및 고압에서 누설 방지 성능을 제공하는 필터가 계속 요구되고 있다.
본 발명은 용융 금속 또는 가스에 존재할 수 있는 불순물, 오염물 및 미립자를 제거하기 위한 고압 필터 및 고압 필터의 제조 및 사용 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 형태에서, 고압 필터는 제1 하우징 및 제2 하우징을 포함하며, 각각의 하우징은 제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅(fluid fitting)을 갖는다. 제2 하우징의 테이퍼면은 제1 하우징의 테이퍼면과 상보적으로 테이퍼지며, 개스킷은 제1 하우징과 제2 하우징의 테이퍼면 사이에 위치한다. 필터 요소는 제1 및 제2 하우징 내에 중심에 배치된다. 제2 하우징의 외부 표면의 적어도 일부는 나사형이고, 압축 칼라는 제1 하우징 위에 끼워맞춤되고 제2 하우징 상에 나사 결합된다.
본 발명의 특정 형태에서, 제1 및 제2 하우징은 몰리브덴을 포함한다. 대안적으로, 제1 및 제2 하우징은 알루미나, 실리콘 카바이드, 스테인리스 강, 니켈 또는 니켈 합금을 포함한다. 압축 칼라는 몰리브덴, 스테인리스 강, 니켈 또는 니켈 합금을 포함할 수 있다. 개스킷은 탄탈, 티타늄, 스테인리스 강, 니켈 또는 니켈 합금을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 형태에서, 제1 하우징의 테이퍼면은 제2 하우징의 테이퍼면과 상이한 각도로 테이퍼져서 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷의 압축을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 형태에서, 고압 필터는 약 200 내지 약 400℃ 또는 약 250 내지 약 300℃의 온도에서 누설 방지된다. 본 발명의 고압 필터는 약 8000 psig까지의 압력에서의 동작 중에 누설 방지될 수 있다.
본 발명의 다른 형태에서, 개스킷은 하우징의 테이퍼면들 사이의 개스킷의 미끄러짐 또는 이동을 방지할 수 있는 플랜지를 포함한다. 하우징 내에 중심에 배치된 필터 요소는 소결 분말 다공성 필터 요소일 수 있다. 유체 피팅은 VCR(Vacuum Coupling Radius) 밀봉 피팅 또는 압축 피팅일 수 있다.
본 발명의 또 다른 형태에서, 액체 또는 가스 공급물을 여과하는 방법은 고압 필터를 제공하는 단계, 오염물을 함유하는 공급물을 고압 필터로 도입하는 단계 및 오염물로부터 정화된 공급물을 고압 필터로부터 회수하는 단계를 포함한다. 공급물은 제1 하우징의 유체 피팅으로부터 제2 하우징의 유체 피팅으로 필터 요소를 통해 흐름 경로를 따라 이동하며, 오염물은 필터 요소 내에 남겨진다. 공급물은 액체 금속 또는 가스일 수 있다.
본 발명의 다른 형태에서, 고압 필터를 제조하는 방법은 고압 필터의 제1 하우징을 가열하는 단계, 소결 분말 다공성 필터 요소를 제1 몰리브덴 하우징에 끼워맞춤하는 단계, 제1 하우징의 테이퍼면 위에 개스킷을 배치하는 단계, 개스킷 및 제1 하우징과 밀봉 접촉하는 상보적인 테이퍼면을 갖는 제2 하우징을 배치하는 단계와, 제2 하우징 위로 그리고 제1 하우징의 적어도 일부분에 압축 칼라를 나사 결합시킴으로써, 제1 및 제2 하우징 사이의 누설 방지 밀봉을 제공하는 단계를 포함한다.
전술한 내용은 첨부된 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예에 대한 다음의 보다 상세한 설명으로부터 명백해질 것이며, 첨부 도면에서 동일한 도면 부호는 상이한 도면 전반에 걸쳐 동일한 부분을 나타낸다. 도면들은 반드시 비율비에 따라 도시된 것은 아니며, 대신에 본 발명의 실시예를 도시할 때 강조가 부여된다.
도 1a는 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다.
도 1b는 도 1a의 고압 필터의 구성요소들의 분해도이다.
도 1c는 유체 흐름 경로 화살표가 표시된 도 1a의 고압 필터의 단면 사시도이다.
도 2a는 흐름 경로가 화살표로 도시되어 있는 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다.
도 2b는 다른 형태의 개스킷을 갖는 도 2a의 고압 필터의 단면도이다
도 3은 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 밀봉 표면의 상세도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 형태에 따른 개스킷의 사시도이다.
본 발명은 예시적인 형태를 참조하여 특정하게 도시되고 설명되지만, 첨부된 청구항에 포함되는 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 형태 및 세부 사항의 다양한 변경이 이루어질 수 있음이 본 기술 분야의 숙련자에 의해 이해될 것이다.
다양한 조성 및 방법이 기술되어 있지만, 이들은 변할 수 있으므로, 본 발명은 기재된 특정 조성, 디자인, 방법 또는 프로토콜에 제한되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 또한, 설명에서 사용된 용어는 특정 형태 또는 형태들만을 설명하기 위한 것이며, 첨부된 청구범위에 의해서만 제한되는 본 발명의 범위를 제한하려는 것이 아님을 알아야 한다.
본 명세서 및 첨부된 청구의 범위에서 사용되는 단수 형태는 문맥 상 명확하게 다르게 지시되지 않는 한 복수 참조를 포함한다는 것을 또한 주목해야 한다. 따라서, 예로서, "필터 요소"에 대한 참조는 본 기술 분야의 숙련자에게 공지된 하나 이상의 필터 요소 및 그 등가물에 대한 참조이다. 다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 기술 및 과학 용어는 본 기술 분야의 숙련자가 일반적으로 이해하는 것과 동일한 의미를 갖는다. 본 명세서에 기재된 것과 유사한 또는 동등한 방법 및 재료가 본 발명의 형태들의 실시 또는 테스트에 사용될 수 있다. 본 명세서에 언급된 모든 간행물은 그 전체가 참조로 포함된다. 여기에 설명된 것 중 어떠한 것도 본 발명이 이전 발명으로서의 이런 개시내용에 선행하지 못한다는 것을 인정하는 것으로서 해석되지 않는다. "선택적" 또는 "선택적으로"는 추후에 설명된 사건 또는 상황이 발생할 수도 있고 발생하지 않을 수도 있음을 의미하며, 이러한 설명은 사건이 발생하는 경우와 사건이 발생하지 않는 경우를 포함한다. 본 명세서의 모든 수치값은 명시적으로 표시되었는지 여부에 관계없이 "약"이라는 용어로 수식될 수 있다. 용어 "약"은 일반적으로 본 기술 분야의 숙련자가 열거된 값(즉, 동일한 기능 또는 결과를 가짐)과 동등하다고 생각하는 수치 범위를 지칭한다. 일부 형태에서 "약"이라는 용어는 명시된 값의 ± 10 %를 말하며 다른 형태에서는 "약"이라는 용어는 명시된 값의 ± 2 %를 나타낸다. 조성 및 방법은 다양한 구성요소 또는 단계를 "포함하는"("포함하지만 이에 한정되지는 않는"의 의미로서 해석됨)의 용어로 기술되어 있지만, 조성 및 방법은 또한 다양한 구성요소 및 단계로 "본질적으로 이루어"지거나 "이루어"질 수 있으며, 이런 용어는 본질적으로 폐쇄적 구성원의 그룹을 정의하는 것으로서 해석되어야 한다.
본 발명의 예시적인 실시예의 설명이 이어진다.
도 1은 본 발명의 일 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다. 고압 필터(100)는 제1 하우징(105)과 제2 하우징(110)을 포함한다. 제1 하우징(105)은 수형 테이퍼형 영역(140)을 갖고, 제2 하우징(110)은 상보적 암형 테이퍼형 영역(145)을 갖는다. 테이퍼형 영역(140, 145)은 대안적으로 밀봉 표면으로 지칭될 수 있다. 수형 테이퍼형 영역(140)과 암형 테이퍼형 영역(145) 사이에는 테이퍼형 개스킷(150)이 있다. 나사 압축 칼라(115)는 제1 하우징(105)과 맞물리는 단차 에지(155) 및 제2 하우징(110)의 외부 표면 주변에 위치한 나사산(120)과 결합하는 나사 영역을 갖는다. 압축 칼라(115)를 제2 하우징(110)에 나사 결합시키는 것은 제1 하우징(105)과 제2 하우징(110) 사이에서 개스킷(150)을 압축하고 두 하우징 사이에서 액체 및/또는 가스 밀폐 밀봉을 제공할 수 있다.
필터 요소(125)는 제1 하우징(105) 및 제2 하우징(110) 내에 배치된다. 일 단부에서, 필터 요소(125)는 제1 하우징(105)의 유체 피팅(160)과 유체 연통하고 다른 단부에서 제2 하우징(110)의 유체 피팅(165)과 유체 연통한다. 유체 피팅(165)은 고압 필터(100)에 입구 포트(135)를 제공하고 유체 피팅(160)은 고압 필터(100)로부터 출구 포트(130)를 제공한다. 유체 피팅(160, 165)은 고압 필터(100)를 유체 흐름 회로에 연결할 수 있게 한다. 유체 피팅(160, 165)이 도 1a 내지 도 1c에 수형 피팅으로서 도시되어 있지만 암형 피팅 또는 다른 구성으로 구성할 수도 있다. 유체 피팅(160, 165)은 용례와 필터가 삽입되는 유체 흐름 회로에 따라, 진공 커플링 반경 밀봉 피팅(VCR® 피팅, Swagelok, Solon, Ohio)(도 1에 도시된 바와 같음), 압축 피팅 또는 다른 피팅 타입일 수 있다.
제1 및 제2 하우징(105, 110)은 액체 주석과 같은 용융 금속의 여과를 수반하는 용례에 적합한 몰리브덴 하우징일 수 있다. 압축 칼라(115)는 몰리브덴 또는 몰리브덴과 동일하거나 유사한 열팽창 계수(CTE)를 갖는 다른 재료로 형성될 수 있다. 개스킷(150)은 탄탈 개스킷일 수 있다.
대안적으로, 예로서, 용례가 몰리브덴의 사용을 필요로 하지 않는 가스 또는 액체의 여과를 수반하는 경우 제1 하우징(105) 및 제2 하우징(110)은 알루미나, 실리콘 카바이드, 니켈, 니켈 합금 또는 스테인리스 강으로 형성될 수 있다. 압축 칼라(115)는 니켈, 니켈 합금 또는 스테인리스 강, 또는 스테인리스 강, 니켈 또는 니켈 합금과 동일하거나 유사한 CTE를 갖는 다른 재료로 형성될 수 있다. 개스킷(150)은 티타늄, 스테인리스 강, 니켈 또는 니켈 합금 개스킷일 수 있다.
고압 필터(100)의 구성요소 부분의 분해도가 도 1b에 도시되어 있다. 고압 필터(100)의 제조 방법은 제1 하우징(105) 내로의 필터 요소(125)의 압입 또는 간섭 끼워맞춤을 포함한다. 유도 코일 또는 노에 의해, 제1 하우징(105)은 하우징 및 필터 요소 재료의 CTE에 따라 하우징 재료를 예로서 약 400 ℉ 내지 약 800 ℉로 팽창시키기 위해 불활성 환경에서 상승된 온도로 가열될 수 있다. 차갑거나, 가열된 제2 하우징(110) 보다 차가울 수 있는 필터 요소(125)의 제1 단부는 그후 원추형 필터 요소(125)가 제1 하우징(105)의 내부의 적어도 일부와 견고하게 결합하기에 충분한 관성으로 제1 하우징(105)의 공동 내로 삽입될 수 있다. 하우징이 냉각된 후에, 필터 요소(125)는 수축 끼워맞춤 공정으로 인해 제1 하우징(105)으로부터 미끄러져 나오는 것이 방지된다. 테이퍼형 개스킷(150)은 수형 테이퍼형 영역(140)과 동일 높이가 되도록 필터 요소(125)의 돌출 단부 위에 및 그 둘레에 배치된다. 그 다음, 제2 하우징(110)은 그 암형 테이퍼형 영역(145)이 개스킷(150)에 대하여 동일 높이가 되도록 필터 요소(125)의 돌출 단부 위에 배치된다. 대안적으로, 필터 요소(125)는 제2 하우징(110) 내로의 가압, 간섭, 또는 수축 끼워맞춤될 수 있다. 압축 칼라(115)는 단차 에지(155)가 제1 하우징(105)과 맞물리도록 제1 하우징(105) 위에 배치되고 제2 하우징(110) 상에 나사 결합된다. 압축 칼라(115)가 제2 하우징(110) 상에 나사 결합됨에 따라, 개스킷은 2개의 하우징(105, 110) 사이에서 압축된다.
고압 필터(100)의 사용 방법은 용융 금속과 같은 액체(또는 가스) 공급물이 입구 포트(135)를 통해 도입되는 유체(또는 가스) 흐름 회로에 고압 필터(100)를 배치하는 것을 포함한다. 도 1c는 고압 필터(100)를 통한 액체 공급물의 화살표로 표시된 흐름 경로를 도시한다. 입구 포트(135)로부터, 액체 공급물은 제2 하우징(110) 내의 흐름 경로를 통해 필터 요소(125)를 둘러싸는 중공 영역(175)(제2 하우징(110) 내의 공동의 내벽에 의해 형성됨)으로 이동한다. 액체 공급물은 필터 요소(125)를 통해 여과되고 필터 요소(125) 내의 중공 영역(170)에 도달하며, 그 곳에서 출구 포트(130)를 통해 고압 필터(100)를 빠져 나올 수 있다.
도 2a는 본 발명의 다른 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다. 고압 필터의 제1 및 제2 하우징의 밀봉 표면은 대안적 구성을 가질 수 있다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 고압 필터(200)는 암형 테이퍼형 영역(240)을 갖는 제1 하우징(205) 및 수형 테이퍼형 영역(245)을 갖는 제2 하우징(210)을 갖는다. 입구 포트(235)로부터 필터(200)로 들어가는 액체 공급물이 필터 요소(225)를 통해 여과되기 이전에 중공 영역(275)(또는 제1 하우징(205) 및/또는 제2 하우징(210) 내의 공동 또는 공동들의 내벽에 의해 형성됨)에 도달하도록 필터 요소(225)의 배향은 필터 요소(125) 배향(도 1)으로부터 반전된다. 화살표는 입구 포트(235)로부터 필터 요소(225)를 통해 중공 영역(270)으로, 그리고 출구 포트(230)로의 흐름 경로를 나타낸다.
도 2b는 플랜지(252)를 포함하는 다른 개스킷(250')을 구비하는 도 2a의 고압 필터의 단면도이다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 플랜지(252)는 테이퍼형 영역(240, 245)의 밀봉 표면을 넘어 연장되고, 제1 하우징(205)과 제2 하우징(210) 사이의 공간을 점유한다. 플랜지(252)는 테이퍼형 영역(240, 245)의 밀봉 표면 사이의 개스킷(250')의 이동을 방지할 수 있다. 예로서, 압축 칼라(215)를 제1 및 제2 하우징(205, 210) 상에 적용(예로서 나사 결합)하는 동안, 개스킷(250)은 테이퍼형 영역(240, 245)에 맞닿아 미끄러져서 제1 하우징(205)으로부터 멀어지고 나사 영역(220)(도 2a)을 향하는 방향으로 이동한다. 플랜지(252)는 제2 하우징(210) 내의 립(256)과 접촉하여, 테이퍼형 영역(240, 245)(도 2b)의 밀봉 표면 사이의 개스킷(250')의 위치를 유지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다. 고압 필터(300)는 입구 포트(330) 및 출구 포트(335)를 각각 제공하는 유체 흐름 회로 내의 다른 구성요소에 연결하기 위한 압축 피팅(360, 365)을 갖는다. 압축 피팅은 최대 약 8000 psig의 고압 용례에 사용할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 형태에 따른 고압 필터의 단면도이다. 고압 필터(400)는 도 1 내지 도 3에 도시된 원추형 테이퍼형 필터 요소(125, 225, 325) 대신에 두꺼운 디스크 필터 요소(425)와 함께 도시되어 있다. 압축 칼라(415)에 의해 연결된 제1 하우징(405) 및 제2 하우징(410)은 개스킷(450)과 함께 밀봉부를 형성한다. 액체 공급물은 제1 하우징(405)의 입구 포트(430)를 통해 들어가고 제2 하우징(410) 내의 중공 영역(475)을 통해 이동한다. 제2 하우징(410)의 내부의 적어도 일부는 공급물이 중공 영역(475)을 통과할 때 액체 공급물을 여과하는 두꺼운 디스크 필터 요소(425)에 의해 점유된다. 그 다음, 여과된 액체 공급물은 출구 포트(435)를 통해 고압 필터(400) 밖으로 이동될 수 있다. 대안적 형태의 필터 요소가 사용될 수 있다.
필터 요소(125, 225, 325, 425)는 액체 금속 및 가스의 여과를 위한 소결 다공성 필터 요소일 수 있다. 다공성 필터 요소 및 그러한 필터 요소를 제조하는 방법은 1961년 2월 21일에 출원된 미국 특허 제3,090,094호; 1977년 7월 21일자로 출원된 미국 특허 제4,024,056호; 1980년 3월 26일자로 출원된 미국 특허 제4,278,544호; 1983년 6월 6일자로 출원된 미국 특허 제4,528,099호; 1985년 2월 13일자로 출원된 미국 특허 제4,713,180호; 1998년 8월 18일자로 출원된 미국 특허 제5,998,322호; 2011년 10월 20일자로 출원된 미국 특허 제8,802,003호; 및 2011년 4월 14일에 출원된 미국 특허 제8,869,993호에 개시되어 있으며, 그 교시는 참조로 통합된다. 다공성 필터 요소 및 이런 필터 요소를 제조하는 방법은 Sleptsov V.M. 및 Kubli S.A.의 Sintered Filters From Refractory Compounds, Powder Metallurgy and Metal Ceramics(Volume 2, Issue 6, pages 470-472 (1963)); Brockmeyer, J.W. 및 Aubrey, L.S.의 Application of Ceramic Foam Filters in Molten Metal Filtration, in Application of Refractories: Ceramic Engineering and Science Proceedings(Volume 8, Issue 1/2 (W. J. Smothers, ed. 1987), John Wiley & Sons, Inc., Hoboken, NJ); Reed, E.L.의 Stability of Refractories in Liquid Metals, Journal of the American Ceramic Society(37: 146-152 (1954)); 및 Soskov D.A. 등의 Use of Refractory Filters to Refine Steels and Alloys in a Vacuum, Metallurgist(Volume 33, Issue 5, page 95 (1989))에 추가로 개시되어 있고, 그 교시는 참조로 통합된다. 필터 요소의 재료는 상업적으로 입수할 수 있으며, Ultramet(Pacoima, CA)의 세라믹 및 금속 발포체; CoorsTek(Golden, CO)의 알루미나 및 STC(St. Albans, VT)의 세라믹을 포함한다.
필터 요소(125, 225, 325, 425)는 ASTM E128에 따라 버블 포인트(bubble point)에 의해 측정될 때 약 0.1 내지 약 5 미크론 또는 약 0.5 내지 약 1.5 미크론의 공극 크기의 범위를 가질 수 있다. 필터 요소(125, 225, 325, 425)는 다음의 재료를 포함할 수 있다: 티타늄, 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 니오븀, 알루미나, 티타늄 산화물, 티타늄 니트라이드 및 실리콘 카바이드. 필터 요소는 여과될 용융 금속 또는 가스의 존재 하에서 부식되지 않는 임의의 금속 산화물을 포함할 수 있다.
본 발명의 필터 요소는 다양한 액체 금속 및 가스의 여과에 사용될 수 있다. 예로서, 본 발명의 필터 요소는 아르곤과 같은 불활성 가스로부터 브롬화 수소와 같은 부식성 가스까지의 가스를 여과하는데 사용될 수 있다. 여과될 수 있는 가스는 예로서 아르곤, 질소, 이산화탄소, 브롬화 수소 및 염화 수소, 및 수소화물을 포함한다. 본 발명의 필터 요소는 또한 초 임계 상태의 이산화탄소와 같은 초 임계 유체를 여과하는데 사용될 수 있다.
본 발명의 필터 요소는 용융 금속을 포함하는 액체를 여과하는데 사용될 수 있다. 여과될 수 있는 금속은 주석, 납, 나트륨, 카드뮴, 셀레늄, 수은 및 일반적으로 약 400℃ 이하에서 용융되는 물질을 포함한다.
대응하는 예시적 하우징 및 개스킷 재료를 갖는 액체 및 가스의 목록이 표 1에 제시되어 있다.
표 1. 액체 또는 가스 공급물 및 대응하는 필터 재료
Figure 112018012282839-pct00001
Figure 112018012282839-pct00002
Figure 112018012282839-pct00003
제1 및 제2 하우징의 테이퍼형 밀봉 표면은 일부 실시예에서 실질적으로 동일하게 경사지고 평행할 수 있다. 대안적으로, 밀봉 표면은 이들이 평행하지 않도록 필터의 중심을 따르는 축선에 대해 약간 다른 각도로 테이퍼질 수 있다. 개스킷의 측면은 또한 하나 또는 양 밀봉 표면의 각도와 다른 각도를 가질 수 있다. 제1 밀봉 표면과 제2 밀봉 표면(및/또는 개스킷)의 각도 사이의 차이는 1도 미만 또는 약 1도만큼 상이할 수 있다. 예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 수형 테이퍼형 영역(545)의 각도(570)는 암형 테이퍼형 영역(540)의 각도(572) 보다 약간 작아서 더 작은 개스킷(550)의 직경에서 보다 많은 압축 및 더 높은 밀봉 압력을 유발한다. 밀봉 표면들 사이의 각도의 차이는 개스킷의 압축을 향상시킬 수 있고, 그에 의해 압축 칼라(515)가 적용된 제1 및 제2 하우징(505, 510) 사이의 밀봉을 개선한다.
또한, 도 6a 및 도 6b는 고압 필터의 다른 구성요소와 별개로 개스킷(650a 및 650b)을 도시한다. 개스킷(650a, 650b)은 한쪽 단부가 나머지보다 작은 개구 둘레를 갖도록 원추형으로 형성된다. 개스킷(650b)은 더 좁은 에지를 가지며, 개스킷(650a)은 더 넓은 에지를 갖는다. 도 6b에 도시된 플랜지(652)는 개스킷(650b)의 원추형 영역(654)의 일 단부로부터 연장된다. 플랜지(652)는 하우징(예로서, 도 5에 도시된 바와 같은 제2 하우징(520))을 수용하고 하우징 내의 립(예로서, 도 5에 도시된 립(556))에 맞닿는 원주를 갖는 원통형 형상을 갖는다.
본 발명의 실시예는 바람직하게는 높은 공차의 가공 공정을 피하는 것이 바람직하거나, 바람직하지 않을 수 있는 다른 재료와의 용접, 본딩 또는 브레이징을 수반하는 고압 필터에 관한 것이다.
예로서, 몰리브덴의 용접은 용접부에서 약 50 %까지의 강도 손실을 가져오고, 용접된 몰리브덴 필터는 고압 용례에서 문제가 된다. 또한, 몰리브덴은 고압에서 누설 방지 밀봉에 요구되는 매우 엄격한 공차로 가공하기가 어려울 수 있다. 그러나, 몰리브덴(Mo)은 열 및 화학적 내성 때문에 주석과 같은 용융 금속용 필터에 사용하기에 바람직한 재료이다. 몰리브덴은 상당한 팽창이나 연화없이 고온(예로서, 주석의 빙점(freezing point)을 초과한 고온)을 견딜 수 있다. 탄탈(Ta)은 또한 용융 금속의 여과에 열 및 화학적 내성을 제공하며 몰리브덴 보다 연성의 소재이다. 이와 같이, 몰리브덴 하우징 및 탄탈 개스킷을 포함하는 것과 같은 본 발명의 고압 필터는 유리하게도 고온 및 고압 용인성을 제공하면서 용접 또는 본딩 공정을 피한다.
본 발명의 고압 필터의 장점은 또한 스테인리스 강 및 알루미나와 같은 다른 재료로 형성된 하우징 및 가스의 여과를 수반하는 용례에 바람직할 수 있는 티타늄과 같은 다른 재료로 형성된 개스킷을 갖는 필터에 적용될 수 있다.
본 발명에 따른 고압 필터는 약 200 ℃ 내지 약 400 ℃, 또는 약 250 ℃ 내지 약 300 ℃의 온도에서 용융 금속의 누설 방지 여과를 제공할 수 있다. 또한, 누설 방지 성능은 약 8000 psig까지의 동작 압력에서 달성될 수 있다.
본 발명은 하나 이상의 구현예와 관련하여 도시되고 설명되었지만, 본 명세서 및 첨부된 도면을 읽고 이해함으로써 본 기술 분야의 숙련자는 균등한 변경 및 수정을 안출할 수 있다. 본 발명은 이런 모든 수정 및 변형을 포함하며, 하기 청구범위의 범위에 의해서만 제한된다. 또한, 본 발명의 특정 특징 또는 양태가 몇몇 구현예들 중 단지 하나와 관련하여 개시되었을 수도 있지만, 이런 특징 또는 양태는 임의의 주어진 또는 특정 용례에 바람직하고 유리할 수 있는 다른 구현예들의 하나 이상의 다른 특징들 또는 양태들과 결합될 수 있다. 또한, 상세한 설명 또는 청구범위 어디에서든 용어 "포함하다", "갖는", "갖는다", "함께" 또는 그의 변형이 사용되면, 그러한 용어는 용어 "포함하는"과 유사한 방식의 포괄적인 것으로 의도된다. 또한, 용어 "예시적"은 최선이 아니라 예를 의미할 뿐이다. 본 명세서에 도시된 특징들 및/또는 요소들은 단순화 및 이해의 용이함을 위해 서로에 대한 특정 치수 및/또는 배향으로 도시된 것이며, 실제 치수 및/또는 배향은 실질적으로 본 명세서에 도시된 것과는 상이할 수 있다는 것을 이해해야 한다.
본 발명은 특정 형태를 참조하여 상당히 상세하게 설명되었지만, 다른 형태도 가능하다. 그러므로, 첨부된 청구범위의 사상 및 범위는 본 명세서에 포함된 설명 및 형태에 한정되지 않아야 한다.
본 명세서에 인용된 모든 특허, 공개된 출원 및 참고 문헌의 교시는 그 전체가 참조로 포함된다.

Claims (21)

  1. 고압 필터이며,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제1 하우징,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제2 하우징으로서, 제2 하우징의 테이퍼면은 제1 하우징의 테이퍼면과 상보적으로 테이퍼지고, 제2 하우징의 외부 표면의 적어도 일부분은 나사형인, 제2 하우징,
    제1 및 제2 하우징 내의 중심에 배치된 소결 분말 다공성 필터 요소,
    제1 하우징과 제2 하우징의 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷, 및
    제1 하우징 위에 끼워맞춤되고 제2 하우징 상에 나사 결합되는 압축 칼라를 포함하고,
    제1 및 제2 하우징은 몰리브덴을 포함하는, 고압 필터.
  2. 액체 또는 가스 공급물을 여과하는 방법이며,
    고압 필터를 제공하는 단계로서, 고압 필터는
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제1 하우징,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제2 하우징으로서, 제2 하우징의 테이퍼면은 제1 하우징의 테이퍼면에 상보적으로 테이퍼지고, 제2 하우징의 외부 표면의 적어도 일부분은 나사형인, 제2 하우징,
    제1 및 제2 하우징 내의 중심에 배치된 소결 분말 다공성 필터 요소;
    제1 및 제2 하우징의 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷,
    제1 하우징 위에 끼워맞춤되고 제2 하우징 상에 나사 결합되는 압축 칼라를 포함하고,
    제1 및 제2 하우징은 몰리브덴을 포함하는, 단계,
    고압 필터 내로 오염물을 함유하는 공급물을 도입하는 단계로서, 공급물은 제1 하우징의 유체 피팅으로부터 필터 요소를 통해 그리고 제2 하우징의 유체 피팅까지 흐름 경로를 통해 이동하고, 오염물은 필터 요소 내에 남겨지는, 단계, 및
    오염물로부터 정화된 공급물을 고압 필터로부터 회수하는 단계
    를 포함하는, 방법.
  3. 고압 필터이며,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제1 하우징,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제2 하우징으로서, 제2 하우징의 테이퍼면은 제1 하우징의 테이퍼면과 상보적으로 테이퍼지고, 제2 하우징의 외부 표면의 적어도 일부분은 나사형인, 제2 하우징,
    제1 및 제2 하우징 내의 중심에 배치된 소결 분말 다공성 필터 요소,
    제1 하우징과 제2 하우징의 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷, 및
    제1 하우징 위에 끼워맞춤되고 제2 하우징 상에 나사 결합되는 압축 칼라를 포함하고,
    제1 하우징의 테이퍼면은 제2 하우징의 테이퍼면과 상이한 각도로 테이퍼지는, 고압 필터.
  4. 액체 또는 가스 공급물을 여과하는 방법이며,
    고압 필터를 제공하는 단계로서, 고압 필터는
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제1 하우징,
    제1 단부 상의 테이퍼면 및 제2 단부 상의 유체 피팅을 갖는 제2 하우징으로서, 제2 하우징의 테이퍼면은 제1 하우징의 테이퍼면에 상보적으로 테이퍼지고, 제2 하우징의 외부 표면의 적어도 일부분은 나사형인, 제2 하우징,
    제1 및 제2 하우징 내의 중심에 배치된 소결 분말 다공성 필터 요소;
    제1 및 제2 하우징의 테이퍼면 사이에 위치된 개스킷,
    제1 하우징 위에 끼워맞춤되고 제2 하우징 상에 나사 결합되는 압축 칼라를 포함하고,
    제1 하우징의 테이퍼면은 제2 하우징의 테이퍼면과 상이한 각도로 테이퍼지는, 단계,
    고압 필터 내로 오염물을 함유하는 공급물을 도입하는 단계로서, 공급물은 제1 하우징의 유체 피팅으로부터 필터 요소를 통해 그리고 제2 하우징의 유체 피팅까지 흐름 경로를 통해 이동하고, 오염물은 필터 요소 내에 남겨지는, 단계, 및
    오염물로부터 정화된 공급물을 고압 필터로부터 회수하는 단계
    를 포함하는, 방법.
  5. 제2항 또는 제4항에 있어서, 공급물이 액체 금속인, 방법.
  6. 제2항 또는 제4항에 있어서, 공급물이 가스인, 방법.
  7. 고압 필터를 제조하는 방법이며,
    제1항 또는 제3항의 고압 필터의 제1 하우징을 가열하는 단계,
    소결 분말 다공성 필터 요소를 제1 몰리브덴 하우징에 끼워맞춤하는 단계,
    제1 하우징의 테이퍼면 위에 개스킷을 배치하는 단계,
    개스킷 및 제1 하우징과 밀봉 접촉하는 상보적인 테이퍼면을 갖는 제2 하우징을 배치하는 단계, 및
    압축 칼라를 제2 하우징 위로 그리고 제1 하우징의 적어도 일부분 상에 나사 결합시켜 제1 하우징과 제2 하우징 사이에 누설 방지 밀봉을 제공하는 단계를 포함하는, 방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019005649A1 (en) * 2017-06-30 2019-01-03 Mott Corporation FILTER NOT WELDED
JP7078706B2 (ja) * 2017-07-06 2022-05-31 インテグリス・インコーポレーテッド 炭化ケイ素フィルター膜および使用方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013070040A (ja) * 2011-09-23 2013-04-18 Asml Netherlands Bv 放射源
JP2014531705A (ja) * 2011-09-02 2014-11-27 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 放射源、リソグラフィ装置のための方法、およびデバイス製造方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2005556A (en) * 1928-11-21 1935-06-18 Lubrication Corp Coupling means for lubricating systems
US2073442A (en) * 1935-01-02 1937-03-09 Southwick W Briggs Method and means for purifying lubricating oil
US2418247A (en) * 1941-03-17 1947-04-01 Cherry Burrell Corp Tubular detachable filter
US2985470A (en) * 1957-11-26 1961-05-23 Charles K Hirsch Pipe coupling for sanitary pipe lines
US3090094A (en) 1961-02-21 1963-05-21 Gen Motors Corp Method of making porous ceramic articles
US3240342A (en) * 1961-11-06 1966-03-15 Nuclear Products Company In-line removable filter assembly
US3521910A (en) * 1968-11-12 1970-07-28 Cajon Co Tube coupling
US3794360A (en) * 1971-11-01 1974-02-26 Philco Ford Corp External swage end fitting
US4024056A (en) 1975-07-21 1977-05-17 Swiss Aluminium Ltd. Filtering of molten metal
JPS51142715A (en) * 1975-06-03 1976-12-08 Masakimi Mimura Pipe joint
US4278544A (en) 1980-03-26 1981-07-14 Aikoh, Co., Ltd. Filter medium for fluid
DE3222162C2 (de) 1982-06-10 1985-07-11 Schweizerische Aluminium Ag, Chippis Filter zur Filtration von schmelzflüssigen Metallen
CH655328A5 (de) 1984-02-15 1986-04-15 Fischer Ag Georg Keramikfilter.
JPH02254285A (ja) * 1989-03-28 1990-10-15 Tokyo Tungsten Co Ltd モリブデンルツボとそのモリブデンルツボ用素材の製造方法
DE9206268U1 (de) 1992-05-09 1993-09-09 Bosch Gmbh Robert Kraftstoffzuleitungseinrichtung für eine Einspritzdüse
JPH07257629A (ja) * 1994-03-16 1995-10-09 Nippon Doriru Tec:Kk 管と管端保護具の連結構造
US5474586A (en) * 1994-05-11 1995-12-12 Minnesota Mining And Manufacturing Company Candle filter assembly and filtration system
KR19990023636A (ko) 1997-08-18 1999-03-25 미야무라 신페이 금속 용탕용 여재
GB9816264D0 (en) * 1998-07-24 1998-09-23 Lucas Ind Plc Connector
US6346192B2 (en) * 1999-05-14 2002-02-12 Therox, Inc. Apparatus for high pressure fluid filtration
JP4405102B2 (ja) 2001-04-11 2010-01-27 臼井国際産業株式会社 ディーゼルエンジン用コモンレール
JP4116366B2 (ja) * 2002-08-21 2008-07-09 日本精線株式会社 フィルター組立体
ATE527444T1 (de) 2007-11-13 2011-10-15 Delphi Tech Holding Sarl Brennstofflanze
RU2515744C1 (ru) 2010-03-19 2014-05-20 Фосеко Интернэшнл Лимитед Способ получения огнеупорного фильтра
CN101810973B (zh) 2010-04-15 2012-05-23 济南圣泉倍进陶瓷过滤器有限公司 一种用于过滤熔融金属的过滤器及其制造方法
DE102010043366A1 (de) * 2010-11-04 2012-05-10 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur mediendichten Verbindung von zwei Hochdruckbauteilen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014531705A (ja) * 2011-09-02 2014-11-27 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 放射源、リソグラフィ装置のための方法、およびデバイス製造方法
JP2013070040A (ja) * 2011-09-23 2013-04-18 Asml Netherlands Bv 放射源

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018526198A (ja) 2018-09-13
CN116196689A (zh) 2023-06-02
WO2017007709A1 (en) 2017-01-12
US20180193785A1 (en) 2018-07-12
KR20180027545A (ko) 2018-03-14
EP3319706A1 (en) 2018-05-16
JP6776324B2 (ja) 2020-10-28
US11433338B2 (en) 2022-09-06
EP3319706B1 (en) 2020-12-09
CN107921334A (zh) 2018-04-17

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