JP4116366B2 - フィルター組立体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造ガスの濾過などに用いうる精密濾過用として好適に採用しうるフィルター組立体に関する。
【0002】
【従来の技術】
フィルター装置は、被処理流体が流入する導入口と、流出する導出口とを有し、かつ内部に被処理流体の濾過のためのフィルター部材を配置して全体をハウジング部材で囲んでおり、被処理流体の種類、特性、濾材条件、設置スペースなどに応じて最適の形状、大きさ、構造などの具体的仕様が決定される。
【0003】
例えば半導体製造ガス用のような超高純度の濾過を必要とする濾過装置では、フィルター部材は、例えば0.01μm以上の微細粒子を単位体積(1cf)当たり10 − 10 個以下にする程度の精度で捕捉する必要があり、従ってフィルター部材を組込む場合には、取付部分からのリークの発生なく、しかも確実かつ生産性に優れることが不可欠となる。
【0004】
このため、本発明者は、フィルター部材の取付け方法として、シート状の濾材をハウジング内の取付け面間での押圧によって機械的に押圧しシールする例えば特許2813274号の方法、ロウ付け法や拡散接合法など両者を直接加熱する特許3215501号の方法、特開平8−132226号公報などの方法を提案している。またフィルター部材を2つの容器片の向き合う対向面間に配置し、しかも前記容器片の前記接合を加熱結合により行うことによる冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記対向面間で強圧してフィルター部材を取付けるフィルター装置を特願2002−141922号により提案している。
【0005】
一方、例えば前記半導体製造工程では配管回路も複雑となり、また種々配管にはバルブ、フィルターなどの多種類き構成機器、部品が接続されることから、ラインを形成するにあたり作業を円滑としかつスペースを低減するために、近年では、フィルター組立体を含む他の必要な前記構成機器、部品を予め配管しユニットとして組み込んだ一枚のパネルとする、いわゆる集積パネル方式のものが多用されている。
【0006】
この方式によれば、フィルター組立体などの配管に必要な各機器、部品が予めパネル基盤上に整然と配置されたユニットを形成でき、しかも部材の交換なども容易となるなどのため、近年その需要が増し、またこのようなユニット体を構成するのに用いられているフィルター組立体は、配管に介在させる場合と異なり、例えば図6に示すように、被処理流体が流入する導入口aと、濾過した被処理流体が流出する導出口bとを、例えば矩形ブロック状のベース部材cの一面にともに開口させ、パネルとしての組立を容易としている。
【0007】
このフィルター組立体では、前記導入口aからの被処理流体を濾過するためのフィルター部材dは、例えば前記した特許3215501号、特開平8−132226号公報などが提案するロウ付け法や拡散接合法などにより、直接ベース部材cに溶着するか、又はリング体eを介してベース部材cに固定し、かつこのフィルター部材dを囲むハウジング部材fは、フィルター部材dとはその全周囲面と間隙を有して取り付けている。なお前記ベース部材cには例えば4隅に透孔を設けて前記パネルに固定可能としている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ロウ付け法や拡散接合法などによりフィルター部材dをベース部材cに取付ける場合には、両者を直接加熱するため、熱処理炉内に配置し結合処理することとなるが、この方法では各部材が直接熱影響を受け、それにより変形、耐食性低下、着色などが生じる他、ベース部材cの導入口aなどの接続部では軟化によって必要硬さが維持できず、機能低下を招く原因ととなるなどの課題がある。また前記リング体eを介在させ、このリング体eとフィルター部材dとをろう付けした上、ベース部材cに溶接することにより前記課題を解決しようとすることも試みられているが、係る組立はロウ付け処理と溶接処理の2工程を行なうことが必要となり、製造コストの上昇となる。また前記リング体eを採用することは、部品点数の増加、在庫管理を煩雑とするとともに、溶接接合部で生じる微小隙間内での処理流体の滞留、溶接時に発生する酸化不純物の除去の為の後加工を必要とするなどによりコストアップの原因ともなりやすい。
【0009】
さらに、従来構造において、フィルター部材dを、ベース部材c、又はリング体eに溶着すること自体、多孔質であるフィルター部材dへの熱影響による耐食性低下、ロウ材の毛細管現象による空孔閉塞、有効濾過面積の減少など、品質面で大きな問題が伴う。また、多孔質金属の熱膨張は通常の金属材料に比して大きく、ときにフィルター部材dを損傷するなどの因となりやすい。
【0010】
本発明は、係る課題を解決し、能率良くかつ正確に組立でき、しかも高品質のフィルター組立体の提供を目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願請求項1に係る発明は、フィルター組立体であって、ベース部材、該ベース部材に固定され、かつ被処理流体を濾過するフィルター部材、及び該フィルター部材を囲んで前記ベース部材に結合されるカップ状のハウジング部材を具え、
前記ベース部材は、基部に前記フィルター部材が取り付くフィルター取付面を形成したブロック状体であって、かつ該ベース部材は、その底面から、前記フィルター取付面まで貫通する導入口と、該導入口の外方で開口する導出口とを有し、
前記フィルター部材は、一端を閉蓋した有底カップ状をなしかつその開口端面は前記導入口を囲んで前記基部の前記フィルター取付面に当接され、
前記ハウジング部材は、前記フィルター部材を囲んでしかも該ハウジング部材とフィルター部材との間に前記導出口を導通させて配するとともに、
フィルター部材は、ハウジング部材とベース部材との加熱結合に伴う熱収縮によって、該フィルター部材が、前記ハウジング部材の内向面により、直接又は間接的に前記フィルター取付面に押圧されることにより、前記フィルター取付面に強圧され固定されることを特徴とする。
【0012】
また請求項2に係る発明は、前記ベース部材が、基部上面中央の円柱部を介して形成した膨出部の上面の、外周縁の小高さの周壁部の内部に前記フィルター取付面を形成したことを特徴とし、かつ請求項3に係る発明は、前記フィルター部材が、その端面とフィルター取付面との間に、前記強圧によって押圧変形するガスケット部材が介在されていることを特徴とする。
【0013】
さらに請求項4に係る発明は、前記フィルター部材が、単体では濾過圧に耐え得ない濾過層と、該濾過層を支持する支持体との複合構造によって形成されていることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1(A)は、本発明に係るフィルター組立体1の一形態を例示する長さ方向断面図、図1(B)はその底面図であり、フィルター組立体1は、ブロック状のベース部材2と、フィルター部材4と、ハウジング部材6とを具え、本形態では、前記ベース部材2とフィルター部材4との間にガスケット8を配置している。
【0015】
前記ベース部材2は、本形態では底面正方形の基部2aがその上面(底面側を下、反対側を上という)中央の円柱部2bを介して後方に径を増すテーパ面を有する膨出部2cを有するブロック体であり、この膨出部2cの上面は、外周縁の小高さの周壁部2dの内部にリング状のフィルター取付面2eを形成している。なお、フィルター取付面2eは本形態では平面からなるが、テーパー面状にも形成でき、また前記円柱部2bには、その上端周囲を切欠き、ハウジング部材6の端面6a1と当接する段差面2g1を有して、該ハウジング部材6を取付けるための段差2gを形成している。
【0016】
又前記ベース部材2には、その中心に前記膨出部2cを貫通する導入口2Aを穿設するとともに、その外方に、前記段差2gの内方を通り円柱部2bの後面で開口する導出口2Bを形成し、かつ基部2aの4隅にはボルト取り付け用の取付穴2hを穿孔している。
【0017】
前記フィルター部材4は、筒状部4aの一端を上板部4bにより閉蓋した有底カップ状をなし、かつその開口端面4cは前記周壁部2d内のフィルター取付面2eに当接させる。この当接により図1から自明のように、前記開口端面4cは前記導入口2Aを囲んで前記基部の前記フィルター取付面2eに当接している。さらにフィルター部材4は、図2に示すように、前記有底カップ状の比較的強固な多孔質の例えば金属焼結体からなる支持体4Aの外周面に、微細孔を有する濾過層4Bを設けた積層体としている。なおこのように積層体とすることにより、単体では濾過圧に耐え得ない濾過層4Bを前記支持体4Aに担持させうることとなり、その全体を1層の濾過材として同じ濾過精度としたときに比して、流過抵抗を著減でき、全体としての濾過特性を向上できる。
【0018】
さらに本形態においては、フィルター部材4は、外周面が軸方向に沿って伸びる峰と谷を周方向に交互に繰り返すウエーブ状の凹凸部4dを具えることによって、濾過層4Bの濾過面積を増大しかつ装置組立て時の耐圧強度特性を高めている。なお凹凸部4dは、例えば半球などの突起状とすることもできる。
【0019】
前記凹凸部4d、濾過層4Bは前記支持体4Aの内外周面の一方又は双方に形成することもできる。特に、内周面側にのみ設けた場合は、微細層の有効径が小さくなることから濾過面積が減少することとなる反面、このフィルター部材4を押圧するハウジング部材6の底板6bの内向面6b1との間に比較的粗い空孔の支持体4Aが存在することとなり、フィルター部材4の底板4bをも濾過面として活用できる利点がある。
【0020】
なおフィルター部材4が例えば半導体プロセスガス濾過用のものであるときには、前記支持体4Aとしては、例えばステンレス鋼、ニッケル、ニッケル合金などの金属粉末(例えば、10〜100μm程度の金属アトマイズ粉末)からなる、例えば外径10〜30mm,長さ10〜100mm程度の多孔体に焼結成形した厚さ1.0〜15mm(好ましくは、1.0〜5.5mm、さらに好ましくは1.0〜2.5mm)のカップ状の前記金属焼結体としている。
【0021】
かかる金属焼結体からなる支持体4Aを用いることにより、濾過層4Bに作用する高い圧力に耐え得る十分な強度と、比較的大きな空孔(例えば10〜30μm)、かつ高空隙率(30〜80%)を具え、被処理流体の流れ抵抗に影響させない空孔特性とを具備することができる。さらに前記凹凸部4dとしては、幅2〜10mm、高さ1〜10mm程度とするが、具体的な用途、性能に応じてその寸法等の仕様は変化しうる。
【0022】
また前記濾過層4Bは、実質的に濾過精度を保証する部分であって、前記支持体4Aよりも極めて微細な空孔を有し、例えば前記半導体プロセスガスの濾過用に用いるものでは、例えば0.01μm程度(好ましくは0.003μm)の超微細パーティクルを10 − 10 個、乃至より高精度に除去し得る特性を発揮させる。このため粉状体として、例えば超微粒子状の金属粒子、金属短繊維、あるいはそれらの混合粉状体などを用いて成形でき、かつ厚さは例えば0.1〜1mm程度(好ましくは0.3〜0.6mm)に形成され、前記支持体4Aに一体成形されることにより濾過圧に対抗しうる。
【0023】
なお前記金属粒子として、例えば粒径5μm以下、好ましくは3〜0.05μm程度の、特にSUS316Lなどの耐食ステンレス鋼、前記ニッケル、あるいはニッケル合金からなる粉状体が好適に採用できる。また、短繊維としては、アスペクト比を2〜20程度、繊維径3〜0.1μm程度とし、特にアスペクト比を前記範囲とすることにより、得られる空孔が三次元的な立体空孔となって、微細空孔でありながらも大きな空隙を有する(特公昭63−63645号公報)。
【0024】
このような、複層構造のフィルター部材4は、例えば特許第3177512号公報が開示する支持体4Aへの吸引成形方法により形成でき、このような方法により濾過層が形成された積層体を、温度1050℃程度の焼結炉内で焼結することによりフィルター部材2となる。なおフィルター部材2は、カップ型以外に、例えば棒状、円錐形、非円筒形状など種々な形状のものも採用でき、又積層数を増した多層構造にするなど必要に応じて種々変更しうる。
【0025】
前記ハウジング部材6は、前記ベース部材2の前記段差2gに嵌合する筒部6aと、その後端を閉じる上板部6bとを有するカップ状をなし、前記筒部6aの端部が前記段差2gと嵌合してその端面6a1が前記段差面2g1と当接して取り付けられることにより、この筒部6aは前記フィルター部材4の筒状部4aを間隙Gを有して囲み、その結果、前記導入口2Aからフィルター部材4の濾過層4Bを通り、前記間隙Gから導出口2Bに導通し、この導出口2Bを経て流出する濾過流路を形成できる。なお、フィルター組立体1は、図に示す導出口2Bから被処理流体を流入して図の導入口2Aから流出させることもできる。
【0026】
又ハウジング部材6は、ベース部材2の前記段差2gに嵌合し、その合わせ部を例えば溶接などの熱溶着によって加熱結合されるが、その際の冷却に伴なう熱収縮によって、前記フィルター部材4は、ハウジング部材6の上板部6bの内向面6b1と、ベース部材2の前記フィルター取付面2eとの間で強く挟圧され、外フィルター取付面2eと密接することとなり、被処理流体のリークを防止できる。
【0027】
なお本形態では、前記フィルター取付面2eと、フィルター部材4の開口端面4cとの間にはリーク防止をより確実にする為に、押圧によって変形するガスケット部材8を介在させている。このガスケット8は、例えば濾過層4Bよりも微細な空孔の焼結多孔体、押圧によって延性変形する軟質金属材料によって構成された中抜き円盤状のものを用いうる。又ガスケット8として、図4に示すように、前記フィルター部材4の開口端面4cまで濾過層4Bを延長させこの開口端面4cを覆う覆層4Cを用いることもできる。さらに、図5に示すように、フィルター取付面2eをテーパ状に傾斜させ、押圧したときにはこの傾斜している部分の前記濾過層4Bがテーパに合わせて縮径することにより、前記濾過層4Bが緻密化するその緻密部分をガスケット8として用いることもできる。
【0028】
さらに、図1(A)、及び図2に一点鎖線で示すように、前記フィルター部材4の底板4bとハウジング部材6の底板6bとの間に空孔の大きい焼結体などの通気性部材10を介在させることもでき、この通気性部材10を前記ガスケット部材8と組み合わせることによってフィルター部材4に作用する圧力を緩和させる緩衝材として機能させうる。
【0029】
またフィルター部材4は、前記のように、フィルター部材4を前記ベース部材2のフィルター取付面2e上にセットし、前記ハウジング部材6とベース部材2との加熱溶着後の熱収縮を利用して、押し付けることにより形成するものであり、また前記フィルター取付面2eとフィルター部材4の開口端面4cとは直接的に接することも、ガスケット部材8を介在させることもできる。
【0030】
なお前記ハウジング部材6は、フィルター部材4,必要により採用されるガスケット部材8、通気性部材10などを含む押圧長さに合わせて、フィルター部材4を、リーク、損傷のない適正な圧力で押圧できるように、熱収縮量を見込んでその長さL(ハウジング部材6の端面6cと、その上板部6bの内面との間の長さ)を予め設定する。
【0031】
又前記ハウジング部材6自体を前記段差2gによる位置決めして取付けることにより,精度よくベース部材2に結合でき、偏心、変形を防ぐとともに、熱収縮後のベース部材2との間に隙間等が生じない構造となる。なお、このため、フィルター組立体1の組立に際して、押圧程度、熱収縮率を予備テストによって確認しておくことが好ましい。さらに、本発明のフィルター組立体を例えば、ステンレス鋼、チタンなどを用いて構成したものでは、耐食性、機械的特性に優れるとともに、熱膨張係数が大きいことから、ハウジング部材の加熱結合にさいしてより大きな力で精度よくフィルター部材4を押圧できることとなる。
【0032】
【発明の効果】
このように、本発明のフィルター組立体は、ハウジング部材をベース部材に固着する際の冷却による熱収縮によってフィルター部材を直接加熱することなく、ベース部材に密接できるため、熱影響によるフィルター部材の変形や破壊などの他、着色や耐食性低下を抑えることができる
【0033】
さらに、多孔質のフィルター部材には何ら加熱処理がなされないことから、ロウ付けなどで生じていたロウ材による空孔の閉塞や変形を防ぐとともに、耐食性低下を抑えることができ、しかも部品点数を少なくして部品管理や作業性低下などの問題も低減でき、コストを削減しうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1(A)は本発明のフィルター組立体の長さ方向の断面図、(B)はその底面図である。
【図2】フィルター部材を例示する縦断面図である。
【図3】図2と直交する面での横断面図である。
【図4】フィルター部材の他の例を示する部分断面図である。
【図5】フィルター部材の他の例を示する断面図である。
【図6】図6(A)は従来のフィルター組立体を例示する長さ方向の断面図、(B)はその底面図である。
【符号の説明】
2 ベース部材
2A 導入口
2B 導出口
2a 基部
2b 円柱部
2c 膨出部
2d 周縁部
2e フィルター取付面
2g 段差
2g1 段差面
4 フィルター部材
4A 支持体
4B 濾過層
4a 筒状部
4b 上板部
4c 開口端面
6 ハウジング部材
6a 筒部
6b 上板部
6b1 内向面
6c 端面
L 長さ
Claims (4)
- ベース部材、該ベース部材に固定され、かつ被処理流体を濾過するフィルター部材、及び該フィルター部材を囲んで前記ベース部材に結合されるカップ状のハウジング部材を具え、
前記ベース部材は、基部に前記フィルター部材が取り付くフィルター取付面を形成したブロック状体であって、かつ該ベース部材は、その底面から、前記フィルター取付面まで貫通する導入口と、該導入口の外方で開口する導出口とを有し、
前記フィルター部材は、一端を閉蓋した有底カップ状をなしかつその開口端面は前記導入口を囲んで前記基部の前記フィルター取付面に当接され、
前記ハウジング部材は、前記フィルター部材を囲んでしかも該ハウジング部材とフィルター部材との間に前記導出口を導通させて配するとともに、
フィルター部材は、ハウジング部材とベース部材との加熱結合に伴う熱収縮によって、該フィルター部材が、前記ハウジング部材の内向面により、直接又は間接的に前記フィルター取付面に押圧されることにより、前記フィルター取付面に強圧され固定されることを特徴とするフィルター組立体。 - 前記ベース部材は、基部上面中央の円柱部を介して形成した膨出部の上面の、外周縁の小高さの周壁部の内部に前記フィルター取付面を形成したことを特徴とする請求項1記載のフィルター組立体。
- 前記フィルター部材は、その端面とフィルター取付面との間に、前記強圧によって押圧変形するガスケット部材が介在されていることを特徴とする請求項2記載のフィルター組立体。
- 前記フィルター部材は、単体では濾過圧に耐え得ない濾過層と、該濾過層を支持する支持体との複合構造によって形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフィルター組立体。
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