JP4556205B2 - 金属ガスケット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や原子力装置などで使われる超高真空機器において、流体の漏れを防止するために用いられる金属ガスケットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置等では高い気密性を得る目的で各種の金属ガスケットが使用されている。
このうち、金属中空Oリングガスケットは一般にステンレス鋼やインコネルなどの金属パイプを曲げ加工等でリング状に成形し、その両端を相互に溶接することによって製造している。この構造の金属中空Oリングガスケットは、強い締付圧力を与えることによって金属リングが変形して良好なシールが得られるようになっている。
【0003】
ところが、このような金属中空Oリングガスケットは、前述したようにリング状に曲げ加工した金属パイプの両端を相互に溶接することによって製造するため、通常溶接の際のバリがパイプの内外部に残り、外側のバリを切削・研磨等によって削除処理するため、パイプの肉厚が多少薄くなることから、締め付けた時に溶接部分とその他の部分の圧縮強度が不均一になることがあり、超高真空を要求される用途に用いられる場合は肉厚が薄くなった溶接部分から漏れが発生することがある。
【0004】
また、ガスケットの径サイズが例えば10mm程度の極小の場合は曲げ加工や溶接が困難であるという問題があり、かつ強い締付圧力を与えることのできる高強度のボルトが要求されるという不具合もある。
【0005】
そのため、図11に示すように、金属板あるいは金属チューブを折り曲げ加工して製造するために溶接部分がなく、小さい径サイズの成形も容易な断面が略C字形状の金属CリングガスケットG6が使用されている。
【0006】
また、前記金属Cリングガスケットの中にコイルスプリング等を入れて復元量を大きくしたものや、図12に示すように、金属チューブを切削加工して製造する断面が略Kの字形状の金属リングガスケットG7が使用されている。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−235854号公報
【特許文献2】
特公平6−56211号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記に挙げた金属リングガスケットは、特に半導体製造装置内のガス供給ラインの中で用いられてきたが、現在このガス供給ラインをコンパクト化するために集積化ガスシステムとして標準化する動きがSEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)の中で進められている。
この集積化ガスシステムに用いられるガスケットの特性としては、1×10−11Pa・m3/secHe以下の超高真空度を維持できることに加えて、同一フランジで20回以上ガスケットを交換してもシール可能なことが要求されている。この集積化ガスシステムではガス流路を構成するフランジとバルブ、フィルター等の各部品の間にガスケットを入れてボルトで固定するが、ボルトの径が細いため、ボルトに大きな力を加えることができないため、金属ガスケットにはシールに必要な締め付け力の低減が望まれている。
【0009】
これに対して、特公平6−56211号では、図13に示したように、金属被覆1,2の内部に金属バネ3を内包し、金属被覆のシール面となる支持面の周方向に突起部分4を設けたバネ入り突起付き金属CリングガスケットG8を、また本件出願人の特願2001−401880号では、図6に示したように、金属Cリングガスケットの表面に環状の突起部分a1を設けた金属ガスケットG5を用いることにより、シールに必要な締め付け力の低減を図ることが行われている。
【0010】
しかしながら、これら突起付き金属Cリングガスケットは使用時に小さな突起部分で集中荷重を発生させることでシール性を確保しているため、突起部分が最適な大きさよりも大きい場合には、フランジのシール面を傷付けシール性が低下することがあり、逆に突起部分が最適な形状よりも小さい場合にはフランジのシール面に対してガスケットが全面で接触することでシールに必要な面圧を維持できないという問題があるが、微小な突起部分の形状を管理することは製造上、非常に困難である。
【0011】
本発明は、以上のような従来の金属ガスケットの問題点を解消するためになされたものであって、シールに必要な締め付け力が低く、1×10−11Pa・m3/secHe以下の超高真空度を維持して、同一フランジで繰り返しガスケットを交換してもシール可能なガスケットを提供することを主たる目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明による金属ガスケットは、断面が外周側に開口部を持つ横U字またはコの字形状となる環状の金属ガスケットにおいて、相手面と接触する平坦な相対する2つのシール面の各々の内周側にガスケット中央の肉厚t0の40%以上の幅、かつガスケットの高さHの5%以上の高さを持つ環状の空間を設け、断面を音叉形状としたことを要旨とする。
【0013】
また、請求項2の発明による金属ガスケットは、締め付けにより相手面と接する部分の肉厚t1の外周側に向けて肉厚t1の50%まで徐々に薄くしたことを要旨とする。
【0014】
ここで、本発明の金属ガスケットに使用する金属材料としては、一般にステンレス鋼やインコネル等の金属材料あるいは、それらの表面にニッケル等の軟質金属をメッキあるいは蒸着させたものを使用できるが、半導体産業で使用する場合は、耐食性に優れているSUS316Lおよびその真空2重溶解材、真空3重溶解材(汚染の原因となる各種の化学成分を低減するために2回〜3回と真空中で溶解/精錬を行った材料)のようなオーステナイト系ステンレス鋼の単一材料が好ましい。
【0015】
また、本発明の金属ガスケットの加工方法としては、金属丸棒または金属チューブを切削加工により断面が外周側に開口部を持つ横U字またはコの字形状に製作した後に段差部分を形成するが、この段差部分は、丸削り、フライス削り、研削またはローレット削り等の材料を切除する周知の機械加工法によるか、または何ら材料を切除しない型鍛造等の方法によって形成することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態としては、図1に示すように、切削加工によって作製した断面が外周側に開口部を持つコの字形状となる環状のガスケットG1において、内径をD1、外径をD2、高さH、中央肉厚をt0=0.4〜0.6mm、相手面と接する部分の肉厚をt1=0.3〜0.5mmとし、周方向最内部に1つの環状の台形断面の空間Vを設け、空間Vの相手面と接する側の底面の幅w1=0.2〜0.7mm、空間Vの高さh1=0.1〜0.30mmに構成する。さらに、前記相手面と接する部分の肉厚を周方向最外部に向けて50%まで徐々に薄くしたものにしてもよい。
ここで、図5に示すように、内外径D1,D2は図1と同じで、突起がない従来の金属CリングガスケットG4、そして図6に示すように、内外径D1,D2と高さHは図1と同じで、台形断面の突起a1を設けた金属ガスケットG5について、締め付け時のFEM解析を行い、そのガスケットの面圧分布および圧縮曲線を求めた。
【0017】
図1、図5、図6の形状のガスケットのフランジ接触部分近傍での面圧分布をそれぞれ図7〜図9に、また圧縮復元曲線を図10に示す。図7〜図9において、斜線部分はガスケットが締め付けられたときの断面形状を表わし、曲線部分はその状態での面圧分布を示している。金属CリングガスケットG4はガスケットを締め切った状態において全面で接触し、接触部分の最高面圧は低くなっている。これに対し、断面音叉形状の金属CリングガスケットG1は、突起付き金属CリングガスケットG5と同様に接触面積が狭く、接触部分の面圧も高いため良好なシール性が維持され、締付時の圧縮荷重も低いことから、低い締め付け力で締め付け可能であると予想される。
このとき、音叉形状はガスケットG1の変形の際に接触部分近傍の体積が内周側の空間に徐々に移動することにより、締付時の圧縮荷重が極端に高くなることなく、高い面圧を維持できるものと考えられる。
【0018】
また、突起付きのガスケットG5は圧縮の初期では接触部分の面積が極端に狭く、非常に高い面圧となるため、フランジ面を傷める恐れがあったが、音叉形状では圧縮初期の接触面積が突起付きのものに比べて広いため、フランジを傷める恐れもない。
さらに、製造性に関しては突起付きのガスケットG5は凸部の形状を安定して加工することが難しいが、音叉形状では内周側を削る加工のみであるため、加工や特性の管理が容易である。
【0019】
ここで、前記音叉形状において相手面と接する部分の肉厚は外周側に向かって徐々に薄くすることにより接触部分の面積が少なくなり、面圧を高くすることができるが、相手面と接する部分の肉厚t1から50%以上に薄くなると接触部分の寸法の変化に対する接触初期の面圧分布の変化が大きくなりすぎるため、安定したシール性能を維持することが難しくなる。
【0020】
【実施例】
以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
実施例1
実施例1は、SUS316L製金属からなる外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.7mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.60mm、中央の肉厚t0=0.56mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.33mmを持った断面コの字形状とし、フランジと接する2つのシール面の周方向最内部に幅w1=0.33mm、高さh1=0.11mm、面積S=0.03mm2の台形断面の空間Vを図1に示すような金属ガスケットG1を得る。その後、この金属ガスケットG1に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0021】
実施例2
実施例2は、実施例1と同じ方法で作製し、外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.7mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.60mm、中央の肉厚t0=0.56mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.33mmを持った断面Uの字形状とし、フランジと接する2つのシール面の周方向最内部に幅w1=0.33mm、高さh1=0.11mm、面積S=0.03mm2の台形断面の空間Vを設け、さらにフランジと接する2つのシール面の周方向外部に向かって幅w2=0.90mm、高さh2=0.12mm、面積S=0.05mm2の三角形断面の空間V1を設け、図2に示すような金属ガスケットG2を得る。その後、この金属ガスケットG2に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0022】
実施例3
実施例3は、実施例1と同じ方法で作製し、外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.7mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.60mm、中央の肉厚t0=0.56mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.33mmを持った断面Uの字形状とし、フランジと接する2つのシール面の周方向最内部に幅w1=0.33mm、高さh1=0.11mm、面積S=0.03mm2の台形断面の空間Vを設け、図3に示すような金属ガスケットG3を得る。その後、この金属ガスケットG3に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0023】
実施例4
実施例4は、実施例1と同じ方法で作製し、外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.7mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.60mm、中央の肉厚t0=0.56mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.33mmを持った断面横U字形状とし、フランジと接する2つのシール面の周方向最内部に幅w1=0.33mm、高さh1=0.11mm、面積S=0.03mm2の台形断面の空間Vを設け、図4に示すような金属ガスケットG'1を得る。その後、この金属ガスケットG'1に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0024】
比較例1
比較例1は、実施例1と同じ方法で作製し、外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.9mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.78mm、中央の肉厚t0=0.56mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.46mmを持った断面横U字形状とし、図5に示すような金属ガスケットG4を得る。その後、この金属ガスケットG4に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0025】
比較例2
比較例2は、実施例1と同じ方法で作製し、外径φ8.0mmの丸棒を長さ1.7mmに切断し、切削加工によって、外径D2=φ7.2mm、内径D1=4.6mm、高さH=1.60mm、中央の肉厚t0=0.40mm、相手面と接する部分の肉厚t1=0.33mmで断面U字形状のガスケット本体を作り、相手面と接する面に1つの環状の台形断面の突起a1を設け、突起a1の頂部中央をφ5.0mmの位置とし、前記突起のガスケット本体側の底面の幅を0.4mm、反対側の幅を0.1mm、突起高さhを0.1mmとした図6に示すような金属ガスケットG5を得る。その後、この金属ガスケットG5に焼鈍、電解研磨を行って、表面硬度200Hvの金属ガスケットを得る。
【0026】
上記実施例1〜4および比較例1〜2の金属ガスケットのシール性を比較するため、ヘリウムリークディテクターを用いてシール試験を行った。
この試験では、図14に示すように正方形の板状フランジF1,F2間に供試体となるガスケットGを1個装着し、フランジの角隅部に挿入した4本のボルトBの締付トルクを0.1Nm/本ずつ対角に段階的に締め付け、ヘリウムの漏れ試験を実施し、漏れが1×10−11Pa・m3/secHe以下となる締付トルク(シール可能トルク)を求めた。
【0027】
次に、これらのガスケットの圧縮復元試験を行い、ガスケットの締め切り時の荷重(圧縮荷重)を求めた。その結果を下記表1に示す。なお、実施例4は実施例1の外周部の溝にRを付け、断面コの字形状を断面横U字形状にしたことを除いて、上述の実施例1とほぼ同一である。特性についても実施例1とほぼ同一であったため、ここでは詳細に説明することを省略する。また、実施例および比較例の金属ガスケットはいずれも20回ガスケットを交換しても漏れが発生しないことを確認している。
【0028】
【表1】
【0029】
表1から明らかなように、断面が音叉形状を持つ本発明の実施例は、突起がないものに比べてシール可能トルクが低く、かつ圧縮荷重も小さくなり、突起を持つものと比べても遜色がないが、フランジ面との接触部分にさらに空間を設けることにより、さらに低荷重とすることができることが確認された。
【0030】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明による金属ガスケットは、断面を音叉形状とし相手面と接する面に空間を設けることにより、シールに必要な締め付け力を小さくすることができる。また、突起を設ける場合に要求される微細な加工が必要ないため、製造性や特性の管理が容易になるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す金属ガスケットの縦断面図である。
【図2】本発明の他の実施例を示す金属ガスケットの縦断面図である。
【図3】本発明のさらに他の実施例を示す金属ガスケットの縦断面図である。
【図4】本発明のさらに他の実施例を示す金属ガスケットの縦断面図である。
【図5】従来の金属ガスケットの縦断面図である。
【図6】従来の金属ガスケットの縦断面図である。
【図7】本発明の一実施例を示す金属ガスケットの締付時の面圧分布図である。
【図8】従来の金属ガスケットの締付時の面圧分布図である。
【図9】従来の金属ガスケットの締付時の面圧分布図である。
【図10】本発明の金属ガスケットおよび従来の金属ガスケットの圧縮曲線である。
【図11】従来の金属ガスケットの縦断面図である。
【図12】従来の金属ガスケットの縦断面図である。
【図13】従来の金属ガスケットの縦断面図である。
【図14】ガスケットのシール試験の概略図である。
【符号の説明】
G 金属ガスケット
G1,G'1,G2,G3 本発明による金属ガスケット
F1,F2 フランジ
B ボルト
D1 ガスケット本体の内径
D2 ガスケット本体の外径
H ガスケット本体の高さ
t0 ガスケット本体の中央部分の肉厚
t1 ガスケットの相手面と接する部分の肉厚
w1,w2 設けた空間の相手面と接する部分の幅
h1,h2 設けた空間の高さ
a1 ガスケットの相手面と接する部分の肉厚
1 金属バネ
2 内側覆い
3 外側覆い
4 三角形断面の突起
Claims (2)
- 断面が外周側に開口部を持つ横U字またはコの字形状となる環状の金属ガスケットにおいて、相手面と接触する平坦な相対する2つのシール面の各々の内周側にガスケット中央の肉厚t0の40%以上の幅、かつガスケットの高さHの5%以上の高さを持つ環状の空間を設け、断面を音叉形状としたことを特徴とする金属ガスケット。
- 締め付けにより相手面と接する部分の肉厚t1の外周側に向けて肉厚t1の50%まで徐々に薄くしたことを特徴とする請求項1に記載の金属ガスケット。」
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003091937A JP4556205B2 (ja) | 2003-03-28 | 2003-03-28 | 金属ガスケット |
US10/805,951 US6905125B2 (en) | 2003-03-28 | 2004-03-22 | Metal gasket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003091937A JP4556205B2 (ja) | 2003-03-28 | 2003-03-28 | 金属ガスケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004301159A JP2004301159A (ja) | 2004-10-28 |
JP4556205B2 true JP4556205B2 (ja) | 2010-10-06 |
Family
ID=32985332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003091937A Expired - Lifetime JP4556205B2 (ja) | 2003-03-28 | 2003-03-28 | 金属ガスケット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6905125B2 (ja) |
JP (1) | JP4556205B2 (ja) |
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US6905125B2 (en) | 2005-06-14 |
JP2004301159A (ja) | 2004-10-28 |
US20040188956A1 (en) | 2004-09-30 |
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