KR102191724B1 - 도포 장치 및 도포 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은, 도포 대상물에 형성된 투공의 단면이나 외주연 단면에, 신속하고 효율 좋게 막 형성액을 도포할 수 있는 도포 장치로서,
상기 도포 대상물을 재치(載置)하는 하형과, 상기 도포 대상물을 복설(覆設)하는 상형과, 상기 도포 대상물에 의해, 상기 공단면에 접촉하는 막 형성액 유로를 형성하고,
상기 상형이, 상기 막 형성액 유로에 상기 막 형성액을 도입하는 도입로와, 상기 막 형성액 유로로부터 상기 막 형성액을 배출하는 배출로와, 상기 막 형성액 유로 간을 연결하는 접속 유로를 구비하고,
상기 도입로로부터 도입된 막 형성액이, 상기 막 형성액 유로, 및 상기 접속 유로를, 일련의 흐름으로 흘러, 상기 배출로로부터 배출되도록, 상기 접속 유로를 형성한다.

Description

도포 장치 및 도포 방법

본 발명은, 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 인쇄 배선 기판 등의 기판, 판상(板狀)의 수지 성형품, 유리 성형품 등의 도포 대상물에 형성된 투공(透孔)의 단면이나 외주연 단면에, 막 형성액을 도포하기 위한 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.

전자부품의 실장용 기판으로서 유리 에폭시재, 콤퍼짓재, 종이 페놀재 등을 사용한 인쇄 배선 기판이 일반적으로 사용되고 있다. 유리 에폭시재는, 유리 섬유포를 적층시킨 것에 에폭시 수지를 함침시킨 것이다. 콤퍼짓재는, 표면에 유리포, 심재(芯材)에 셀룰로오스지나 부직포를 이용한 것이다. 종이 페놀재는, 크라프트지에 페놀 수지를 함침시킨 것이다.

이러한 유리 에폭시재, 콤퍼짓재, 종이 페놀재에 대해 절단 가공을 하면, 절단부에, 에폭시 수지 또는 유리 섬유 등으로 이루어진 미세 진애(塵埃)가 발생한다. 이러한 미세 진애는 기판 회로의 접촉 불량이나 품질 저하 등을 유발하는 원인이 된다. 따라서, 기판을 절단할 때 발생한 진애는 인쇄 배선 기판의 제조 시에는 제거하는 것이 바람직하다.

또한, 인쇄 배선 기판의 절단부 단면으로부터 일단 진애를 제거하였다 하더라도, 인쇄 배선 기판의 단면 부분은 취약하기 때문에, 그 후 사용 중에 붕괴되어 새로운 진애가 발생할 우려가 있었다.

그래서 본 출원인은, 기판의 단면을 포함한 주연부에 막 형성액을 도포하여 막을 형성함으로써, 단면 부분의 붕괴를 방지할 수 있는 도포 장치 및 도포 방법을 앞서 제안하였다(특허 문헌 1).

특허 문헌 1에 기재된 도포 장치에 있어서는, 기판의 단부를 협지 가능하게 대향 배치된 한 쌍의 도포 롤러를 기판 주연(周緣)을 따라 이동시킴으로써, 기판의 단면을 포함한 주연부에 막 형성액이 도포된다.

더욱이 본건 출원인은, 잉크젯 방식에 의해, 기판 주연의 단면 이외에, 기판 내에 형성된 공단면(孔端面)에도 막 형성액을 도포할 수 있는 도포 장치 및 도포 방법을 제안하였다(특허 문헌2).

기타 판상(板狀)의 수지 성형품, 유리 성형품 등 도포 대상물의 공단면, 외주연 단면에 도막을 형성하는 것도 요구되고 있다.

그러나, 상기한 도포 롤러를 이용하는 방식의 경우도, 잉크젯 방식의 경우도, 상기 도포 롤러 또는 잉크젯부를 도포 대상물의 주연을 따라 이동시키는 데 시간을 필요로 하고, 그렇기 때문에 처리해야 할 도포 대상물의 대량화에 충분히 대응할 수 없는 상황이 발생하여 왔다.

특개 2015-3303호 공보 특개 2018-008210호 공보

본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 도포 대상물에 형성된 투공(透孔)의 단면이나 외주연 단면에, 신속하고 효율 좋게 막 형성액을 도포할 수 있는 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 도포 장치(1)는,

도포 대상물에 형성된 공단면(孔端面)에 막 형성액을 도포하는 도포 장치로서,

상기 도포 대상물을 재치(載置)하는 하형과, 상기 도포 대상물을 복설(覆設)하는 상형과, 상기 도포 대상물에 의해, 상기 공단면에 접촉하는 막 형성액 유로가 형성되고,

상기 상형이, 상기 막 형성액 유로에 상기 막 형성액을 도입하는 도입로와, 상기 막 형성액 유로로부터 상기 막 형성액을 배출하는 배출로와, 상기 막 형성액 유로 간을 연결하는 접속 유로를 구비하고,

상기 도입로로부터 도입된 막 형성액이, 상기 막 형성액 유로, 및 상기 접속 유로를, 일련의 흐름으로 흘러, 상기 배출로로부터 배출되도록, 상기 접속 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(1)에 의하면, 상기 도입로로부터 도입된 상기 막 형성액이, 상기 접속 유로를 경유하여, 모든 막 형성액 유로를 통과하고, 상기 배출로로부터 배출되게 되어, 상기 도포 대상물의 공단면에, 막 형성액의 일련의 흐름에 의해, 신속하고 확실하게 막 형성액을 도포할 수 있다.

또한, 상기 도포 대상물의 상면이 상기 상형, 하면이 상기 하형으로 복설되기 때문에, 상기 투공 주연의 상면 및 하면에 막 형성액이 도포되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 판상의 수지 성형품, 유리 성형품 등의 대형 도포 대상물의 공단면에도 신속하고 확실하게 막 형성액을 도포할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(2)는, 상기 도포 장치(1)에 있어서,

더욱이, 상기 도포 대상물의 외주연 단면을 위요(圍繞)하는 틀체를 구비하고,

상기 하형과, 상기 틀체와, 상기 상형에 의해, 상기 도포 대상물의 외주연 단면에 접촉하는 막 형성액 유로가 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(2)에 의하면, 구조가 간소하고, 제조 비용이 저렴한 장치에 의해, 도포 대상물의 공단면뿐만 아니라, 도포 대상물의 외주연 단면에도, 막 형성액을 신속하고 확실하게 도포할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(3)는, 상기 도포 장치(1) 또는 도포 장치(2)에 있어서,

상기 상형이, 내부에, 상기 도입로, 상기 배출로, 및 상기 접속 유로인 터널형 접속 유로를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(3)에 의하면, 상기 도입로로부터 도입된 상기 막 형성액이, 상기 터널형 접속 유로를 경유하여, 모든 막 형성액 유로를 통과하고, 상기 배출로로부터 배출되게 되어, 상기 도포 대상물의 공단면, 혹은 상기 도포 대상물의 공단면 및 외주연 단면에, 막 형성액의 일련의 흐름에 의해, 신속하고 확실하게 막 형성액을 도포할 수 있다.

또한, 상기 상형의 내부에, 상기 도입로, 상기 배출로, 및 상기 터널형 접속 유로가 배설되어 있기 때문에, 상기 상형의 취급을 용이하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(4)는, 상기 도포 장치(1) 또는 도포 장치(2)에 있어서,

상기 상형이, 상기 도포 대상물을 복설하는 상형 기판, 당해 상형 기판에 접속된 상기 도입로인 파이프형 도입로, 상기 배출로인 파이프형 배출로, 및 상기 접속 유로인 파이프형 접속 유로를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(4)에 의하면, 막 형성액이 상기 파이프형 도입로, 상기 파이프형 배출로, 및 상기 파이프형 접속 유로 안을 흐르게 되어, 상기 상형 내에 있어서의 막 형성액의 흐름이 좋아진다. 또한, 상기 상형은, 상기 상형 기판의 투공 부분에 파이프를 삽입하는 방법, 상기 상형 기판에 파이프를 접착, 또는 납땜하는 방법 등에 의해 용이하게 제조할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(5)는, 상기 도포 장치(1) 또는 도포 장치(2)에 있어서,

상기 상형이, 내부에 상기 도입로 및 상기 배출로를 구비하고, 더욱이 상기 도포 대상물에 대향하는 하면에 상기 접속 유로인 구형(溝型) 접속 유로를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(5)에 의하면, 상기 상형의 접속 유로가, 상기 구형 접속 유로에 의해 구성되어 있어, 당해 구형 접속 유로의 형성은, 상기 상형의 하면에 홈을 형성하면 좋고, 상기 상형을 용이하게 제조할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(6)는, 상기 도포 장치(1)~(5) 중 어느 하나에 있어서,

상기 하형 또는 상기 상형이, 상기 도포 대상물의 투공에 대응하는 위치에 도상부(島狀部)를 구비하고, 상기 공단면과 상기 도상부와의 사이에, 상기 막 형성액 유로가 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(6)에 의하면, 상기 투공의 폭이 넓은 경우일지라도, 상기 공단면을 따라 적절한 폭을 구비하는 막 형성액의 유로가 형성되기 때문에, 상기 도포 대상물의 상기 공단면에, 신속하고 확실하게 막 형성액을 도포할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(7)는, 상기 도포 장치(1)~(6) 중 어느 하나에 있어서,

상기 상형과 상기 도포 대상물과의 사이, 및 상기 도포 대상물과 상기 하형과의 사이에, 상기 도포 대상물의 상면 및 하면으로의 상기 막 형성액의 침윤을 방지하는 가스켓을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(7)에 의하면, 상기 도포 대상물의 하면 및 상면으로의 막 형성액의 침윤을 확실하게 방지할 수 있다. 그렇기 때문에, 기판 등의 상기 도포 대상물의 투공 주연부, 외주연부에 있어서의 불필요한 도막의 형성을, 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(8)는, 상기 도포 장치(3), (6), (7) 중 어느 하나에 있어서,

상기 터널형 접속 유로를 포함한 상기 상형이, 3D프린터를 사용하여 제작된 것임을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(8)에 의하면, 상기 터널형 접속 유로를 포함한 복잡한 구조의 상형을, 3D프린터를 사용하여 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 상기 터널형 접속 유로의 위치, 수량, 형태 등이 다른 경우에도, 용이하게 대응할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치(9)는, 상기 도포 장치(3), (6), (7) 중 어느 하나에 있어서,

상기 터널형 접속 유로를 포함한 상기 상형이, 상기 터널형 접속 유로의 상측 절반이 형성된 상부판과, 상기 터널형 접속 유로의 하측 절반이 형성된 하부판이 접합되어 형성된 것임을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 장치(9)에 의하면, 상기 터널형 접속 유로를 포함한 복잡한 구조의 상형을, 범용의 전동 공구 등을 사용하고, 고도의 기술을 필요로 하는 일없이, 용이하게 제조하는 것이 가능해진다. 설계 변경에도 용이하게 대응할 수 있으며, 도포 장치의 제조 비용을 삭감할 수 있다.

본 발명에 따른 도포 방법(1)은,

상기 도포 장치(1)~(9) 중 어느 하나를 사용하여, 상기 도포 대상물에 막 형성액을 도포하는 도포 방법으로서,

상기 도입로로부터 도입되는 상기 막 형성액을 상기 배출로 측에서 흡인함으로써, 상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 방법(1)에 의하면, 도포 장치 내에, 막 형성액이 감압 상태로 도입되기 때문에, 상기 막 형성액 유로로부터 상기 도포 대상물 상면 및 하면으로의 막 형성액의 침윤을 효과적으로 방지할 수 있다. 그렇기 때문에, 상기 도포 대상물의 투공 주연부, 외주연부에 있어서의 불필요한 도막의 형성을, 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 일련의 막 형성액의 흐름에 의해, 상기 도포 대상물의 각 단면에 막 형성액을 도포할 수 있기 때문에, 막 형성액의 도포를 신속하고 확실하게 실행할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 도포 방법(2)은,

상기 도포 장치(1)~(9) 중 어느 하나를 사용하여, 상기 도포 대상물에 막 형성액을 도포하는 도포 방법으로서,

상기 도입로로부터 상기 막 형성액을 압입하여, 상기 배출로로부터 상기 막 형성액을 배출시킴으로써, 상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 방법(2)에 의하면, 막 형성액이 도포 장치에 압입 상태로 이송되기 때문에, 상기 막 형성액의 상기 도포 대상물의 단면으로의 도포가 확실하게 실행되게 된다.

또한, 본 발명에 따른 도포 방법(3)은, 상기 도포 방법(1) 또는 도포 방법(2)에 있어서,

상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하고, 당해 막 형성액을 배출한 후, 더욱이 막 형성액 건조용의 공기를 상기 막 형성액 유로에 도입하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포 방법(3)에 의하면, 막 형성액의 도포·배출 후, 상기 막 형성액 유로 내의 상기 막 형성액의 제거·건조를, 신속하고, 게다가 효과적으로 실행할 수 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 도포 장치가 도포 대상으로 하는 도포 대상물의 일례인 전자부품 실장용의 인쇄 배선 기판을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 실시예에 따른 도포 장치의 기본적 구성을 나타내는 사시도이며, 인쇄 배선 기판의 공단면에 막 형성액을 도포하는 경우를 나타내고 있다.
도 3은, 실시예에 따른 도포 장치의 기본적 구성을 나타내는 사시도이며, 인쇄 배선 기판의 공단면, 및 외주연 단면에 막 형성액을 도포하는 경우를 나타내고 있다.
도 4는, 실시예에 따른 도포 장치에 있어서의 상형 및 하형을 나누어 나타낸 사시도이며, (a)는 상형, (b)는 하형을 나타내고 있다.
도 5는, 실시예에 따른 도 4에 나타낸 도포 장치에, 도 1에 나타낸 인쇄 배선 기판을 설치하고, 도 3에 나타낸 상태에서, 인쇄 배선 기판의 공단면 및 외주연 단면에 막 형성액을 도포할 때의 막 형성액의 흐름을 나타내는 사시도이다.
도 6은, 도 3에 있어서의 X-X선 단면도이다.
도 7은, 도 3에 있어서의 Y-Y선 단면도이다.
도 8은, 실시예에 따른 도포 장치의 상형을 기계 가공에 의해 제조하는 방법을 나타낸 사시도이며, (a)는 상형의 상측 절반을 아래쪽에서 본 도이고, (b)는 하측 절반을 위쪽에서 본 도이다.
도 9는, 실시예에 따른 도포 장치에 있어서의 파이프형 접속 유로를 구비한 상형을 나타내는 사시도이다.
도 10은, 실시예에 따른 도포 장치에 있어서의 구형(溝型) 접속 유로를 구비한 상형을 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 11은, 실시예에 따른 도포 장치에 사용되는 가스켓의 예를 나타내는 사시도이며, (a)는 상형과 기판과의 사이, (b)는 기판과 하형과의 사이에 사용되는 가스켓을 나타내고 있다.
도 12는, 실시예에 따른 도포 장치를 사용한 흡인식 도포 시스템의 일례를 나타내는 시스템 구성도이다.
도 13은, 실시예에 따른 도포 장치를 사용한 압입식 도포 시스템의 다른 일례를 나타내는 시스템 구성도이다.
도 14는, 실시예에 따른 도포 장치에 설치된 기판에, 연속적으로 막 형성액을 도포하는 예를 나타낸 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 도포 장치 및 도포 방법을 도면에 의거하여 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 도포 장치가 도포 대상으로 하는 도포 대상물의 일례인 전자부품 실장용의 인쇄 배선 기판(이하, 기판이라 함)을 나타내는 사시도이다.

기판(10)에는 4개의 투공(11), (12), (13), (14)이 형성되어 있으며, 이들 투공(11), (12), (13), (14)의 각각의 단면(11a), (12a), (13a), (14a)에 막 형성액이 도포된다. 또한, 기판(10)의 외주연부(15)의 단면(15a)에 막 형성액이 도포되는 경우도 있다.

도 2는, 실시예에 따른 도포 장치(1)의 기본적 구성을 나타내는 사시도이며, 기판(10)의 투공 단면에 막 형성액을 도포하는 경우를 나타내고 있다.

도포 장치(1)는, 기판(10)을 복설하는 상형(21)과, 기판(10)을 재치(載置)하는 하형(22)을 포함하고, 상형(21)과, 기판(10)과, 하형(22)에 의해, 기판(10)의 공단면(11a), (12a), (13a), (14a)(도 1)에 막 형성액을 흐르게 하기 위한 막 형성액 유로(F), (H~J), (L~O), (Q~T)(도 5)가 형성되도록 구성되어 있다.

또한, 상형(21)은, 그 내부 구조를 알기 쉽게 도시하기 위해, 투명체로 가정하여 표시하고 있다.

상형(21)은, 막 형성액 유로(F), (H~J), (L~O), (Q~T)에 막 형성액을 도입하는 도입로(23), 및 막 형성액을 배출하는 배출로(24), 막 형성액 유로(F), (H~J), (L~O), (Q~T) 간을 연결하는 접속 유로인 터널형 접속 유로(25b), (25c), (25d)를 구비하고, 도입로(23)로부터 도입된 막 형성액이, 막 형성액 유로(F), (H~J), (L~O), (Q~T) 및 터널형 접속 유로(25b), (25c), (25d)를 통과하여, 일련의 흐름으로, 배출로(24)로부터 배출되도록 구성되어 있다.

또한, 도입로(23), 배출로(24)로 이어지는 외부에는, 막 형성액을 도입 또는 배출하기 위한 호스 등을 접속하기 위한 접속관(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

도 3은, 실시예에 따른 도포 장치(2)의 기본적 구성을 나타내는 사시도이다.

도포 장치(2)는, 기판(10)의 공단면(11a~14a)(도 1), 및 외주연 단면(15a)(도 1)에 막 형성액을 도포하는 경우에 사용된다. 도포 장치(2)는, 도포 장치(1)와 비교하면, 기판(10)의 외주연 단면(15a)을 위요(圍繞)하는 기판(10)과 동일한 두께의 틀체(28)가, 하형(22)의 상면에 추가하여 형성되어 있다. 그렇기 때문에, 도포 장치(2)는, 상형(21)과, 하형(22)과, 기판(10)에 의해, 기판(10)의 외주연 단면(15a)에 막 형성액을 흐르게 하기 위한 막 형성액 유로(A~D)(도 5)가 형성되도록 구성되어 있다.

도 2, 도 3에 나타낸 사시도에서는, 상형(21)과, 하형(22)과, 기판(10)의 투공(11), (12), (13), (14)에 의해 형성되는 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T)는, 상형(21)의 하부에 위치하기 때문에, 도시되지 않았다.

도포 장치(2)를 대상으로, 실시예에 따른 막 형성액의 도포의 기구(機構)에 대해 설명한다.

도포 장치(2)에서는, 기판(10)의 단면 중, 막 형성액을 도포하는 단면, 즉 외주연부(15)의 단면(15a), 및 투공(11), (12), (13), (14)의 단면(11a), (12a), (13a), (14a)을 따라 막 형성액이 흐르는 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T)(도 5)가 형성된다. 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T)에 막 형성액을 흘려보냄으로써, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포할 수 있다. 기판(10)은, 상면이 상형(21), 하면이 하형(22)에 의해 복설되기 때문에, 기판(10)의 상면 및 하면에는 막 형성액이 도포되는 일은 없다.

또한, 막 형성액의 흐름은, 막 형성액이 도입로(23)로부터 도입된 후, 각각의 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T) 및 접속 유로(E), (G), (K), (P)(도 5)를 흘러, 배출로(24)로부터 배출될 때까지, 일련의 흐름이 된다. 바꿔 말하면, 도입로(23)로부터 배출로(24)까지, 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T)와 접속 유로(E), (G), (K), (P)에 의해 일필휘지로 그릴 수 있는 유로가 형성된다.

도 4는, 도포 장치(2)를, 상형(21) 및 하형(22)으로 나누어 나타낸 사시도이며, (a)는 상형(21), (b)는 하형(22)을 나타내고 있다.

하형(22)에는, 기판(10)의 외주연 단면(15a)에 막 형성액을 도포하기 위한 막 형성액 유로(A~D)(도 5)를 형성하기 위한 틀체(28)가 형성되어 있다.

또한, 하형(22)에는, 폭이 넓은 투공(12), (13), (14)의 공단면(12a), (13a), (14a)에, 확실하게 막 형성액을 도포하기 위한 도상부(31a), (31b), (31c)가 형성되고, 이들 도상부(31a), (31b), (31c)에는, 각각 막 형성액의 흐름을 제어하는 보(31ab), (31bb), (31cb)가 배설되어 있다.

도상부(31a), (31b), (31c)와, 이들 도상부(31a), (31b), (31c)에 대응하는 투공(12), (13), (14)의 공단면(12a), (13a), (14a)과의 사이에는 간극이 형성되어, 이들 간극에 의해 막 형성액 유로(H~J), (L~O), (Q~T)(도 5)가 형성되도록 되어 있다.

도포 장치(2)에서는, 하형(22)에 틀체(28)가 형성되어 있고, 틀체(28)의 내측에, 기판(10)이 설치되게 된다. 기판(10)이 하형(22)에 설치된 상태에서, 도 4(a)에 나타낸 상형(21)이, 기판(10) 위에 재치되고, 기판(10)은, 하형(22)의 상면과 상형(21)의 하면과의 사이에 끼워져 고정된다.

또한, 도 4에서는, 도상부(31a), (31b), (31c)가 하형(22)에 형성된 예를 나타냈지만, 도상부(31a), (31b), (31c)는, 상형(21)에 형성되어도 좋다.

상형(21), 하형(22)을 구성하는 재료로는, ABS 수지, 아크릴 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리프로필렌 수지 등을 들 수 있지만, ABS 수지가 가장 적합하다. ABS 수지는, 내약품성, 기계적 성질, 내열성, 가공성, 성형성 등이 뛰어나다는 특장이 있다. 또한, 상형(21)의 제조 시에, 3D프린터를 이용하는 경우의 소재로도 적합하다.

도 5는, 도포 장치(2)에, 기판(10)을 설치하고, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포할 때 형성되는 일련의 유로를 나타내는 사시도이다. 도포 장치(2)의 경우에는, 막 형성액이 도입로(23)(도 4)로부터 도입되어, 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T), 및 접속 유로(E), (G), (K), (P)를 부호(A), (B), (C), (????), (T) 순서로 흘러, 배출로(24)(도 4)로부터 배출되게 된다.

점선으로 표시되어 있는 4개의 접속 유로(E), (G), (K), (P)는, 상형(21)에 배설된 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)(도 4)에 의해 형성된다.

터널형 접속 유로(25a)(접속 유로(E))에 의해 도입로(23)와 막 형성액 유로(F)가 접속되고, 터널형 접속 유로(25b)(접속 유로(G))에 의해 막 형성액 유로(F)와 막 형성액 유로(H)가 접속되고, 터널형 접속 유로(25c)(접속 유로(K))에 의해 막 형성액 유로(J)와 막 형성액 유로(L)가 접속되고, 터널형 접속 유로(25d)(접속 유로(P))에 의해 막 형성액 유로(O)와 막 형성액 유로(Q)가 접속된다.

이들 접속 유로(E), (G), (K), (P)의 형성에 의해, 상형(21)과, 하형(22)과, 기판(10)의 투공(12), (13), (14) 및 틀체(28)로 구성된 막 형성액 유로(A~D), (F), (H~J), (L~O), (Q~T), 및 접속 유로(E), (G), (K), (P)에 일련의 막 형성액의 흐름이 발생하여, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액이 도포되게 된다.

기판(10)의 경우, 투공(11)은 폭이 좁은 것에 비해서, 투공(12), (13), (14)은 폭이 넓다. 투공(11)과 같이, 그 폭이 좁은 경우에는, 길이 방향의 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 막 형성액을 흘려보냄으로써, 공단면(11a)에 막 형성액을 도포하는 것은 용이하다. 그렇지만, 투공(12), (13), (14)과 같이, 그 폭이 넓은 경우에는, 길이 방향의 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 막 형성액을 흘려보낸 경우, 중심부의 흐름에 비해서 양측 부분에서는 흐름이 체류하기 쉬워, 양측 단면에 막 형성액이 확실하게 도포되지 않을 우려가 있다.

그렇기 때문에, 폭이 넓은 투공(12), (13), (14)에 대해서는, 각각의 단면(12a), (13a), (14a)을 따라 막 형성액이 흐르도록, 도포 장치(2)의 하형(22)에, 도상부(31a), (31b), (31c)(도 4(b)) 및 보(31ab), (31bb), (31cb)가 형성되어 있다. 보(31ab), (31bb), (31cb)는 기판(10)의 각각의 투공(12), (13), (14)의 단면(12a), (13a), (14a)에 접촉되어 있어, 막 형성액의 흐름을 차단하도록 되어 있다.

이와 같이, 도상부(31a), (31b), (31c) 및 보(31ab), (31bb), (31cb)를 형성해 둠으로써, 각각의 투공(12), (13), (14)의 단면(12a), (13a), (14a)과, 도상부(31a), (31b), (31c)와의 사이에, 막 형성액 유로(H~J), (L~O), (Q~T)가 형성된다.

그렇기 때문에, 각 투공(12), (13), (14)에서는, 막 형성액은, 각 도상부(31a), (31b), (31c)와 단면(12b), (13b), (14b)과의 사이를, 도상부(31a), (31b), (31c)를 한 바퀴 돌듯이 매끄럽게 흘러, 각 투공(12), (13), (14)의 단면(12a), (13a), (14a)에는, 막 형성액이 확실하게 공급되게 된다.

이렇게, 막 형성액 유로(A~D)에 의해 기판(10)의 외주연 단면(15a)에, 막 형성액 유로(F)에 의해 투공(11)의 단면(11a)에, 막 형성액 유로(H), (I), (J)에 의해 투공(12)의 단면(12a)에, 막 형성액 유로(L), (M), (N), (O)에 의해 투공(１３)의 단면(１３ａ)에, 막 형성액 유로(Ｑ), (Ｒ), (Ｓ), (Ｔ)에 의해 투공(１４)의 단면(１４ａ)에 확실하게 막 형성액이 공급되게 된다.

또한, 도상부(31a), (31b), (31c)는, 상기한 바와 같이 하형(22) 또는 상형(21)에 일체적으로 형성할 뿐만 아니라, 각각의 형상으로 성형한 부재를, 하형(22) 또는 상형(21)의 소정 개소에 접착함으로써 형성하여도 좋다.

또한, 보(31ab), (31bb), (31cb)도, 상기한 바와 같이 도상부(31a), (31b), (31c)의 일부로 도상부(31a), (31b), (31c)에 일체적으로 형성하는 것이 아니라, 블록 형상의 별체(別體)의 것을 보(31ab), (31bb), (31cb)로 형성하여도 좋다.

기판에 따라서는, 외주연부(15)의 단면(15a)에, 막 형성액을 도포할 필요가 없는 경우가 있다. 그런 경우에는, 막 형성액 유로(A~D)를 생략할 수 있으며, 틀체(28)는 필요없게 되어, 도포 장치(1)를 사용할 수 있다.

도 6은, 도 3에 있어서의 X-X선 단면도, 도 7은, 도 3에 있어서의 Y-Y선 단면도를 나타내고 있다. 단, 도 6, 도 7에서는, 후술하는 가스켓(32), (33)(도 11)을 사용하는 경우를 나타내고 있다.

도 6에서는, 상기한 상형(21)의 터널형 접속 유로(25a)(접속 유로(E))에 의해, 막 형성액 유로(D)와 막 형성액 유로(F)가 접속되는 것을 나타내고 있다.

도 7에서는, 기판(10)의 외주연 단면(15a)과 틀체(28)와의 사이에 간극이 형성되어 막 형성액 유로(B)가 형성되는 것을 나타내고 있으며, 더욱이 도상부(31a)와 기판(10)의 공단면(12a)과의 사이에 간극이 형성되어 막 형성액 유로(H), (J)가 형성되는 것을 나타내고 있다.

터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)를 구비한 상형(21)을 제조하는 방법으로는, 상기한 바와 같이, 3D프린터를 이용하는 방법이 있다. 3D프린터를 이용하여 상형(21)을 제조할 경우에는, 상형(21)의 3차원 CAD 데이터를 준비하고, 3D프린터로 읽어들여, ABS 수지 등을 소재로 공급하여 조형하면 좋다. 따라서, 3D프린터를 이용할 경우에는, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)를 구비한 상형(21)이어도, 비교적 용이하게 제조할 수 있다.

단, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)는, 직경이 1mm 정도로 작은 경우가 있기 때문에, 막 형성액의 흐름을 원활하게 하려면, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)의 내면을 최대한 매끄럽게 마무리하는 것이 바람직하다. 그렇게 하기 위해서는, 적층에 의한 단차(段差)를 작게 한 고정세한 조건으로 조형하는 것이 바람직하다.

또한, 다른 실시예에서는, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)를 구비한 상형(21)에 대해서는, 기계 가공에 의해 제조할 수도 있다.

도 8은, 실시예에 따른 도포 장치의 상형(21)을 기계 가공에 의해 제조하는 경우를 나타내는 사시도이며, (a)는 상형의 상측 절반을, (b)는 상형의 하측 절반을 나타내고 있다.

도 8에는, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)의 수평부의 중심선이며, 상하로 절단한 면을 나타내고 있고, (a)는 상형(21)의 상측 절반인 상부판(21a)을 아래쪽에서 본 도이며, (b)는 상형의 하측 절반인 하부판(21b)을 위쪽에서 본 도이다. 도 8(a)에 나타낸 상부판(21a)을 뒤집어서, 하부판(21b)에 적층시킴으로써, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)가 형성된다.

상부판(21a), 하부판(21b)은, 상형(21)의 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)의 수평부의 중심선이고, 상하로 절단되어 있다. 그렇기 때문에, 상부판(21a), 하부판(21b)의 표면에서는, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)의 수평부는, 단면이 반원형, 각형 등의 요형(凹形)으로 되어 있다. 즉, 요형의 구상(溝狀)이다.

이러한 반원형 등의 요형의 구상부(溝狀部)는, 고도의 기계 장치를 이용할 필요도 없고, 라우터, 트리머 등의 전동공구에 의해 용이하게 형성할 수 있다.

또한, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d) 중 세로 방향의 유로, 및 도입로(23), 배출로(24)에 대해서는, 드릴에 의한 구멍파기로 형성할 수 있다.

이와 같이, 상부판(21a), 하부판(21b)은, 범용의 전동공구 등으로 기계 가공함으로써 용이하게 제조할 수 있다. 제조된 상부판(21a)과 하부판(21b)을 대향시켜 접착함으로써, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)를 구비한 상형(21)을 용이하게 제조할 수 있다.

터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)를 구비한 상형(21)은, 3D프린터를 이용하는 방법 이외에, 이와 같이, 기계 가공에 의한 방법으로도 용이하게 제조할 수 있다.

도 9는, 실시예에 따른 도포 장치에 있어서의 다른 상형(21A)을 나타내는 사시도이다. 상형(21A)은, 기판(10)을 복설하는 상형 기판(21Aa), 상형 기판(21Aa) 위에 배설된 도입로인 파이프형 도입로(23a), 배출로인 파이프형 배출로(24a), 및 접속 유로인 파이프형 접속 유로(26a), (26b), (26c), (26d)를 포함하여 구성되어 있다.

이들 파이프형 도입로(23a), 파이프형 배출로(24a), 및 파이프형 접속 유로(26a), (26b), (26c), (26d)는, 알루미늄, 동, 스테인리스강 등의 금속, ABS 수지, 아크릴 수지 등의 수지 파이프로 형성되어 있다. 이들 파이프형 도입로(23a), 파이프형 배출로(24a), 및 파이프형 접속 유로(26a), (26b), (26c), (26d)와, 상형 기판(21Aa)은, 양자가 금속인 경우는 납땜, 양자가 수지인 경우는 접착제에 의한 접착으로 접합된다. 상형 기판(21Aa)과, 파이프형 도입로(23a), 파이프형 배출로(24a), 및 파이프형 접속 유로(26a), (26b), (26c), (26d)와 접합할 때에는, 상형 기판(21Aa)에 형성된 투공에, 파이프형 도입로(23a), 파이프형 배출로(24a), 및 파이프형 접속 유로(26a), (26b), (26c), (26d)를 삽입하여 접합하는 것이 바람직하다.

도 10은, 실시예에 따른 도포 장치에 있어서, 상기 이외의 다른 상형(21B)을 나타내는 사시도이다. 도 10에는, 상형(21B)을 하면에서 본 사시도가 도시되어 있다.

상형(21B)은, 내부에 도입로(23b), 배출로(24b)를 구비하고, 상형(21B)의 기판(10)에 대향하는 하면에 접속 유로인 구형(溝型) 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)가 형성되어 구성되어 있다. 접속 유로는, 상형(21)의 터널형 접속 유로, 상형(21A)의 파이프형 접속 유로와는 다르고, 상형(21B)의 하면에 배설된 구형 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)로 되어 있다. 구형 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)의 단면 형상은, 반원형, 각형(角形) 등, 막 형성액의 흐름에 적합한 형태로 되어 있다.

상형(21B)의 경우에는, 접속 유로는, 구형 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)와 기판(10)의 상면과의 사이에서 형성된다. 또한, 가스켓(도 11)이 이용되는 경우에는, 구형 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)와 가스켓의 상면과의 사이에서 형성된다.

상형(21B)과 같이, 상형(21B)에 형성되는 접속 유로가 구형 접속 유로(27a), (27b), (27c), (27d)인 경우에는, 단면 형상이 반원형, 각형 등의 홈을 상형(21B)의 하면에 형성하기만 하면 된다. 홈은, 밀링머신 등으로 용이하게 가공할 수 있기 때문에, 상형(21B)의 제조는 용이해진다.

도 11(a), (b)는, 실시예에 따른 도포 장치에 사용되는 가스켓의 예를 나타내는 사시도이며, (a)는 상형과 기판과의 사이, (b)는 기판과 하형과의 사이에 사용되는 가스켓을 나타내고 있다.

도 11(a)에 나타낸 바와 같이, 상형(21)의 하면에 사용되는 가스켓(32)에는, 도입로(23)로의 접속공(23c), 배출로(24)로의 접속공(24c) 이외에도, 터널형 접속 유로(25a), (25b), (25c), (25d)에 대응하는 접속공(25aa), (25ab), (25ba), (25bb), (25ca), (25cb), (25da), (25db)이 형성되어 있다.

또한, 도 11(b)에 나타낸 바와 같이, 하형(22)의 상면에 사용되는 가스켓(32A)에는, 도 4(b)에 나타낸 도상부(31a), (31b), (31c)에 대응하는 도상부공(33a), (33b), (33c)이 형성되어 있다. 도상부공(33a), (33b), (33c)은, 각각 하형(22)의 도상부(31a), (31b), (31c)와 같은 크기, 같은 형상으로 형성되어 있다. 다시 말하면, 하형(22)의 도상부(31a), (31b), (31c)가, 가스켓(32A)의 도상부공(33a), (33b), (33c)에 정확히 감합하는 관계이다. 가스켓(32A)의 도상부공(33a), (33b), (33c)에는, 보(31ab), (31bb), (31cb)(도 4(b))에 대응하는 요부(凹部)(33aa), (33ba), (33ca)도 형성되어 있다.

가스켓(32)에 대해, 도 3, 도 4 등에 나타낸 상형(21)과의 관계를 나타냈지만, 가스켓(32)과, 도 9에 나타낸 상형(21A), 및 도 10에 나타낸 상형(21B)과의 관계도, 상형(21)의 경우와 동일하다. 즉, 상형(21A), 및 상형(21B)에 대해서도, 가스켓(32)을 동일하게 사용할 수 있다.

또한, 하형(22)의 상면에 이용되는 가스켓(32A)도, 다른 상형(21), (21A), (21B) 모두 공통적으로 이용할 수 있다.

가스켓(32), (32A)은, 천연 고무, 수지계 합성 고무 등의 시트재를 사용하여 형성할 수 있다.

기판(10)의 외주연 단면(15a)에 막 형성액을 도포하지 않는 도포 장치(1)의 경우, 기판(10)의 외주연 단면(15a)에 막 형성액을 도포하는 도포 장치(2)의 경우 모두에 있어서도, 기판(10)과 상형(21)과의 사이, 하형(22)과 기판(10)과의 사이에, 가스켓(32), (32A)을 배치하는 것이 바람직하다.

가스켓(32), (32A)은, 막 형성액이 기판(10)의 상면 또는 하면에 침윤하는 것을 방지해 준다.

도포 장치(1), 혹은 도포 장치(2)에 기판(10)을 설치할 경우, 하형(22), 가스켓(32A), 기판(10) 및 가스켓(32), 상형(21)의 순으로 설치한 후, 각각의 사이에 벌어짐이 없도록, 상형(21)과 하형(22)과의 사이를 단단히 고정한다. 이 고정에는, 외주부를 볼트로 고정하는 방법, 스프링 클립이나 핸드 바이스로 고정하는 방법 등이 있으며, 그 이외의 방법도 포함하여, 적당하게 선택하는 것이 바람직하다.

도 12는, 도포 장치(2)를 이용하여 구성된 도포 시스템의 일례를 나타내는 시스템 구성도이다.

도포 시스템(40)에서는, 흡인 방식이 채용되어 있고, 도포 시스템(40)은, 도포 장치(2), 막 형성액 탱크(41), 흡기부(42), 삼방 코크(43), 트랩 탱크(44), 흡인 장치(45) 등을 포함하여 구성되어 있다.

막 형성액 탱크(41)와 삼방 코크(43)와의 사이는 호스(46a)에 의해 접속되어 있고, 흡기부(42)와 삼방 코크(4)와의 사이, 삼방 코크(43)와 도포 장치(2)와의 사이, 도포 장치(2)와 트랩 탱크(44)와의 사이, 트랩 탱크(44)와 흡인 장치(45)와의 사이는, 동일하게 각각의 호스(46b), (46c), (46d), (46e)에 의해 접속되어 있다.

흡인 장치(45)는, 진공 펌프로 구성되어 있다.

도포 장치(2)의 도입로(23)로부터 도입되는 막 형성액은, 흡인 장치(45)에 의해 흡인되어 도포 장치(2) 내로 도입되고, 도포 장치(2) 내에 수납된 기판(10)의 각 단면에 막 형성액이 도포되게 된다.

막 형성액 탱크(41)에는, 막 형성액이 저장되어 있다. 흡기부(42)는, 대기의 흡입부이며, 공기 청정화용 필터(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 삼방 코크(43)는, 도포 장치(2)로 보내는 막 형성액과 공기를 전환하기 위한 것이고, 트랩 탱크(44)는, 기액 분리 기능을 구비하여, 흡인 장치(45)에 막 형성액이 유입되지 않도록, 막 형성액을 저류하기 위한 것이다.

도포 장치(2)에 수납된 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포할 때에는, 흡인 장치(45)를 가동시켜, 삼방 코크(43)를 흡기부(42) 쪽에 설치함으로써, 계내(系內)의 진애 등을 빨아낸다. 이어서, 삼방 코크(43)를 막 형성액 탱크(41) 쪽으로 전환하고, 흡인 장치(45)에 의해 흡인되는 막 형성액을 도포 장치(2) 내로 도입하여, 도포 장치(2) 내의 각 유로로 흘려보냄으로써, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포한다.

필요에 따라, 기판(10)의 각 단면에 대해, 충분히 막 형성액을 공급하기 위해, 일정 시간 막 형성액이 흐르는 상태를 유지한다. 막 형성액이 흐르는 상태를 유지하는 것을 대신하여, 삼방 코크(43)를 닫아, 막 형성액이 각 유로에 체류되어 있는 상태를 유지하도록 하여도 좋다.

기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 고루 도포한 후, 삼방 코크(43)를 흡기 쪽으로 전환함으로써, 계내의 막 형성액을 흡인하고, 트랩 탱크(44)에서 저류한다. 더욱이, 흡인 장치(45)에 의해 진공흡인을 계속함으로써, 잔류해 있을 가능성이 있는 불필요한 막 형성액을 도포 장치(2) 내로부터 배출시킴과 동시에, 기판(10)의 각 단면에 형성된 도막의 건조를 촉진시킨다. 단, 기판(10)의 각 단면에 형성된 도막의 각 단면의로의 밀착에 어느 정도의 시간을 필요로 할 경우에는, 막 형성액을 배출한 후, 시간을 두고 진공흡인을 재개하는 것이 좋다.

이와 같이, 도포 시스템(40)을 가동시킴으로써, 도입로(23)로부터 도입된 막 형성액을 배출로(24) 쪽에서 배출시킴으로써, 도 1에 나타낸 기판(10)의 외주연 단면(15a), 공단면(11a), (12a), (13a), (14a)에 막 형성액을 도포할 수 있다.

또한, 막 형성액을 도포하고, 막 형성액을 배출한 후, 더욱이 막 형성액 건조용의 공기를 흡기부(42)로부터 도입함으로써, 도포된 막 형성액의 건조를 앞당길 수 있다.

도 12에는, 도포 장치(2)가 하나 접속된 경우를 나타냈지만, 복수의 도포 장치(2)를 직렬적으로 접속하여, 1회 처리함으로써, 복수 기판(10)으로의 막 형성액의 도포를 실행하게 하여도 좋다.

도 13은, 도포 장치(2)를 이용하여 구성된 도포 시스템의 다른 일례를 나타내는 시스템 구성도이다.

도포 시스템(50)에서는, 압입 방식이 채용되어 있고, 도포 시스템(50)은, 도포 장치(2), 막 형성액 탱크(51), 가압 장치(52), 삼방 코크(53), 배액(排液) 탱크(54), 송기부(送氣部)(55) 등을 포함하여 구성되어 있다.

가압 장치(52)와 삼방 코크(53)와의 사이는 호스(56a)에 의해 접속되어 있고, 삼방 코크(53)와 막 형성액 탱크(51)와의 사이, 삼방 코크(53)와 송기부 (55)와의 사이, 막 형성액 탱크(51)와 도포 장치(2)와의 사이, 송기부(55)와 도포 장치(2)와의 사이, 도포 장치(2)와 배액 탱크(54)와의 사이는, 동일하게 각각의 호스(56b), (56c), (56d), (56e), (56f)에 의해 접속되어 있다.

도포 장치(2)의 도입로(23)로부터 도입되는 막 형성액은, 가압 장치(52)에 의해 압입되어 도포 장치(2) 내로 유입되고, 도포 장치(2)내에 수납된 기판(10)의 각 단면에는 막 형성액이 도포되게 된다.

막 형성액 탱크(51)에는, 막 형성액이 저장되어 있다. 가압 장치(52)는, 막 형성액 탱크(51) 내를 가압하는 장치이고, 막 형성액을 도포 장치(2)에 보낼 수 있을 정도로 가압할 수 있는 컴프레서로 구성되어 있다.

가압 장치(52)는, 공기 청정화용 필터(도시하지 않음)를 장비한 송기부(55)를 경유하여, 도포 장치(2)에 공기를 보내는 기능도 담당하는 것이다. 삼방 코크(53)는, 도포 장치(2)로의 막 형성액의 도입과, 공기의 도입을 전환하기 위한 것이며, 배액 탱크(54)는, 도포 장치(2)로부터 배출된 막 형성액을 저류시켜 두기 위한 것이다.

도포 장치(2)에 수납된 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포할 때에는, 가압 장치(52)를 가동시켜, 삼방 코크(53)를 송기부(55) 쪽에 설치함으로써, 계내의 진애 등을 송출한다. 이어서, 삼방 코크(53)를 막 형성액 탱크(51) 쪽으로 전환하고, 막 형성액 탱크(51) 내를 가압한다. 가압에 의해 흘러나온 막 형성액을 도포 장치(2) 내로 도입하고, 도포 장치(2) 내의 각 유로에 막 형성액을 공급함으로써, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포한다.

필요에 따라, 기판(10)의 각 단면에 대해, 충분히 막 형성액을 도포하기 위해, 일정 시간 막 형성액이 흐르는 상태를 유지한다. 막 형성액이 흐르는 상태를 유지하는 대신에, 삼방 코크(53)를 닫아, 막 형성액이 각 유로에 체류되어 있는 상태를 유지하도록 하여도 좋다.

기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 고루 도포한 후, 삼방 코크를 송기부(55) 쪽으로 전환하고, 도포 장치(2) 내의 각 유로에 공기를 보내, 유로 내의 막 형성액을 배출한다. 더욱이 공기를 계속 보냄으로써, 기판(10)의 각 단면에 형성된 도막의 건조를 촉진시킨다.

도포 장치(2)에, 압력을 가해 막 형성액을 도입하는 방법으로는, 컴프레서를 이용하지 않고 튜브펌프를 이용할 수도 있다. 튜브펌프의 상류 쪽에서 막 형성액을 공급하고, 하류 쪽에 도포 장치(2)의 도입로(23)를 접속하여, 도포 장치(2)의 각 유로를 흐른 막 형성액을 배출로(24) 쪽으로부터 배출시킴으로써, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포할 수 있다.

상기한 바와 같이, 도포 장치(2)를 이용하여, 기판(10)의 각 단면에 막 형성액을 도포하는 방법은 몇 가지 있다. 기판(10)의 크기, 도포 장치(2) 내의 유로의 길이, 처리하는 기판(10)의 수량 등의 조건을 고려하여, 적절히 선택하는 것이 바람직하다.

도 14는, 다수의 도포 장치(2)에 설치된 기판(10)을, 연속적으로 처리할 경우의 예를 나타내는 측면도이다. 위치 P1에서는, 기판(10)이 설치된 도포 장치(2)를, 컨베이어 등의 반송 장치 위에 재치한다. 이어서, 위치 P2에 도포 장치(2)를 반송한다. 위치 P2에서는, 도포 헤드(47)의 공급측(47a)과 도포 장치(2)의 접속관(23d), 도포 헤드(47)의 배출측(47b)과 도포 장치(2)의 접속관(24d)을 접속한다. 도포 헤드(47)의 공급측(47a)에는, 막 형성액 공급측의 호스(46c)(도 12), 또는 호스(56d)(도 13)가 접속된다. 또한, 도포 헤드(47)의 배출측(47b)에는, 막 형성액 배출측의 호스(46d)(도 12), 또는 호스(56f)(도 13)가 접속된다.

이 상태에서 기판(10)의 각 단면으로의 막 형성액의 도포를 실행한 후, 도포 장치(2)를 위치 P3으로 이동하여, 막 형성액의 도포를 완료한다.

이 조작을 반복함으로써, 많은 도포 장치(2)에 설치된 기판(10)의 단면에 막 형성액을 도포하는 처리를 연속적으로 실행해 나갈 수 있다.

이와 같이, 도포 장치(2)를 이동시켜 막 형성액을 도포해 나가는 것 이외에, 도포 장치(2)의 세트의 조립 및 막 형성액의 도포를 1개소에서 실시하는 등, 도포 장치(2)에 의한 막 형성액의 도포 방법에 대해서는, 처리 매수, 도포 대상물의 형상, 크기, 기타 다양한 조건에 맞춰, 적절히 선택하는 것이 바람직하다.

도 14에는, 도포 장치(2)의 접속관(23d), (24d)이, 상형(21)(도 3)의 상면에 돌출되어 형성되어 있는 경우를 나타냈다. 도입로(23)(도 3), 배출로(24)(도 3)의 유로의 직경은 1mm 정도로 작은 경우가 있기 때문에, 접속관(23d), (24d)은 어느 정도의 강도를 구비시키는 것이 바람직하다.

접속관(23d), (24d)에 대해서는, 예를 들어, 파이프를 상형(21)에 형성된 투공에 삽입하여 고정하는 것이 바람직하다. 상형(21)에 접속관(23d)을 고정시켜 둠으로써, 호스(46c), (56d)를 확실하게 접속할 수 있다. 상형(21)에 접속관(24d)을 고정시켜 둠으로써, 호스(46d), (56f)를 확실하게 접속할 수 있다.

도 12~도 14에서는, 도포 장치(2)를 이용하여 도포 시스템(40), (50)을 구성할 경우를 예로 들어 설명하였지만, 도 12~도 14에 있어서의 도포 장치(2)를 도포 장치(1)로 대체하면, 도포 장치(1)를 이용한 도포 시스템을 동일하게 구성할 수 있다.

이상, 도 1에 나타낸 기판(10)을 도포 대상물로서, 실시예에 따른 도포 장치 및 도포 방법을 설명하였다. 도포 대상물에 대해서는, 크기, 형상, 투공의 수 등 다양하다. 또한, 본 발명이 대상이 되는 도포 대상물에는, 유리 에폭시재, 콤퍼짓재, 종이 페놀재 등을 재료로 하여 형성된 인쇄 배선 기판 이외에도, 수지제, 유리제, 금속제의 판상 성형품 등도 포함된다.

또한, 소형의 도포 대상물인 경우에는, 1쌍의 상형과 하형과의 사이에 가스켓을 끼워 복수의 도포 대상물을 설치하고, 복수의 도포 대상물에 대해, 동시에 막 형성액을 도포하는 것도 가능하다.

접속 유로가 형성된 상형을 이용한 도포 장치의 경우에는, 도포 대상물의 단면에 신속하고, 확실하며, 게다가 용이하게 막 형성액을 도포할 수 있다. 상기한 도포 장치는, 접속 유로를 구비한 상형을 포함하여, 도포 장치의 구조가 단순하기 때문에 저렴하게 제조할 수 있다. 그렇기 때문에, 도포 대상물의 종류가 많을 경우에도 용이하게 적응시킬 수 있다.

또한, 흡인 방식에 의한 도포 시스템의 경우는, 도포 장치의 각 유로 내가 감압 상태가 된다. 그렇기 때문에, 막 형성액을 도포할 때, 유로로부터 도포 대상물 상면, 하면으로의 막 형성액의 침윤이 발생하기 어렵고, 또한 막 형성액의 도포·배출 후에 유로 내에 공기를 도입함으로써, 유로 내의 막 형성액의 제거·건조를, 신속하며, 게다가 효과적으로 실행할 수가 있다.

본 발명은, 인쇄 배선 기판, 금속 기판, 패키지 기판, 유리 기판 등의 각종 기판을 취급하는 전자 기기 산업 등의 분야에 있어서 폭넓은 이용이 가능하다.

1, 2 도포 장치
10 기판
11, 12, 13, 14 투공
11a, 12a, 13a, 14a 공단면
15 외주연부
15a 외주연 단면
21, 21A, 21B 상형
21Aa 상형 기판
21a 상부판
21b 하부판
22 하형
23, 23b 도입로
23a 파이프형 도입로
23c 접속공
24, 24b 배출로
24a 파이프형 배출로
25a, 25b, 25c, 25d 터널형 접속 유로
25ab, 25bb, 25cb, 25db 접속공
26a, 26b, 26c, 26d 파이프형 접속 유로
27a, 27b, 27c, 27d 구형 접속 유로
28 틀체
28a, 31ab, 31bb, 31cb 보
31a, 31b, 31c 도상부
32, 32A 가스켓
33a, 33b, 33c 도상부공
33aa, 33ba, 33ca 요부
40, 50 도포 시스템
41, 51 막 형성액 탱크
42 흡기부
43, 53 삼방 코크
44 트랩 탱크
45 흡인 장치
46a, 46b, 46c, 46d, 46e 호스
47 도포 헤드
47a 도입측
47b 배출측
52 가압 장치
54 배액 탱크
55 송기부
56a, 56b, 56c, 56d, 56e, 56f 호스
A~D, F, H~J, L~O, Q~T 막 형성액 유로
E, G, K, P 접속 유로
P1, P2, P3 위치

Claims (13)

1. 도포 대상물에 형성된 공단면에 막 형성액을 도포하는 도포 장치로서,
   상기 도포 대상물을 재치(載置)하는 하형과, 상기 도포 대상물을 복설(覆設)하는 상형과, 상기 도포 대상물에 의해, 상기 공 단면에 접촉하는 막 형성액 유로가 형성되고,
   상기 상형이, 상기 막 형성액 유로에 상기 막 형성액을 도입하는 도입로와, 상기 막 형성액 유로로부터 상기 막 형성액을 배출하는 배출로와, 상기 막 형성액 유로 간을 연결하는 접속 유로를 구비하고,
   상기 도입로로부터 도입된 막 형성액이, 상기 막 형성액 유로, 및 상기 접속 유로를, 일련의 흐름으로 흘러, 상기 배출로로부터 배출되도록, 상기 접속 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
2. 제 1항에 있어서,
   더욱이, 상기 도포 대상물의 외주연 단면을 위요(圍繞)하는 틀체를 구비하고,
   상기 하형과, 상기 틀체와, 상기 상형에 의해, 상기 도포 대상물의 외주연 단면에 접촉하는 막 형성액 유로가 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 상형이, 내부에, 상기 도입로, 상기 배출로, 및 상기 접속 유로인 터널형 접속 유로를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 상형이, 상기 도포 대상물을 복설하는 상형 기판, 당해 상형 기판에 접속된 상기 도입로인 파이프형 도입로, 상기 배출로인 파이프형 배출로, 및 상기 접속 유로인 파이프형 접속 유로를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 상형이, 내부에 상기 도입로 및 상기 배출로를 구비하고, 더욱이 상기 도포 대상물에 대향하는 하면에 상기 접속 유로인 구형(溝型) 접속 유로를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 하형 또는 상기 상형이, 상기 도포 대상물의 투공에 대응하는 위치에 도상부를 구비하고, 상기 공단면과 상기 도상부와의 사이에, 상기 막 형성액 유로가 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 상형과 상기 도포 대상물과의 사이, 및 상기 도포 대상물과 상기 하형과의 사이에, 상기 도포 대상물의 상면 및 하면으로의 상기 막 형성액의 침윤을 방지하는 가스켓을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
8. 제 3항에 있어서,
   상기 터널형 접속 유로를 포함한 상기 상형이, 3D프린터를 이용하여 제작된 것임을 특징으로 하는 도포 장치.
9. 제 3항에 있어서,
   상기 터널형 접속 유로를 포함한 상기 상형이, 상기 터널형 접속 유로의 상측 절반이 형성된 상부판과, 상기 터널형 접속 유로의 하측 절반이 형성된 하부판이 접합되어 형성된 것임을 특징으로 하는 도포 장치.
10. 청구항 1 또는 청구항 2 기재의 도포 장치를 사용하여, 도포 대상물에 막 형성액을 도포하는 도포 방법으로서,
    상기 도입로부터 도입되는 상기 막 형성액을 상기 배출로 쪽에서 흡인함으로써, 상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
11. 청구항 1 또는 청구항 2 기재의 도포 장치를 사용하여, 도포 대상물에 막 형성액을 도포하는 도포 방법으로서,
    상기 도입로로부터 상기 막 형성액을 압입하여, 상기 배출로로부터 상기 막 형성액을 배출시킴으로써, 상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
12. 제 10항에 있어서,
    상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하고, 당해 막 형성액을 배출한 후, 더욱이 막 형성액 건조용의 공기를 상기 막 형성액 유로에 도입하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
13. 제 11항에 있어서,
    상기 도포 대상물의 단면에 막 형성액을 도포하고, 당해 막 형성액을 배출한 후, 더욱이 막 형성액 건조용의 공기를 상기 막 형성액 유로에 도입하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
    

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