TW202003116A - 塗布裝置及塗布方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之目的在於提供一種能夠效率高且快速地於產品上所形成之穿透孔之端面、外周邊緣端面塗布膜形成液之塗布裝置;所述塗布裝置藉由載置前述產品之下模、覆蓋前述產品之上模和前述產品形成與前述孔端面相接之膜形成液流路;前述上模具備將前述膜形成液導入至前述膜形成液流路之導入路、從前述膜形成液流路排出前述膜形成液之排出路、連接前述膜形成液流路之間之連接流路;使從前述導入路導入之膜形成液不間斷地流經前述膜形成液流路以及前述連接流路,從前述排出路排出而形成前述連接流路。

Description

塗布裝置及塗布方法
本發明係關於塗布裝置以及塗布方法,更具體地係關於用以在印刷配線基板等基板、板狀樹脂成型品、玻璃成形品等產品上形成之穿透孔的端面、外周邊緣端面上塗布膜形成液之塗布裝置以及塗布方法。
一般地,使用利用了玻璃環氧材料、合成材料、紙苯酚材料等的印刷配線基板作為電子部件之安裝用基板。玻璃環氧材料係於層疊了玻璃纖維布之材料上含浸環氧樹脂之材料。合成材料係於表面使用玻璃布、芯材使用纖維素紙、無紡布之材料。紙苯酚材料係於牛皮紙上含浸了苯酚樹脂之材料。
對這些環氧玻璃材料、合成材料、紙苯酚材料施以切斷加工時,會在切斷部產生由環氧樹脂或者玻璃纖維等構成之細小塵埃。這些細小塵埃成為引起基板線路接觸不良、品質低下等原因。因此較佳為在製造印刷配線基板時除去基板切斷時所產生之塵埃。
另外,即使暫時從印刷配線基板之切斷部端面去掉了塵埃,由於印刷配線基板之端面部分很脆,故仍然有於除去後之使用中崩壞而產生更多塵埃的可能。
於是本發明之申請人提案了藉由於包含基板端面之周向邊緣部塗布膜形成液,形成膜,從而能夠防止端面部分崩壞之塗布裝置以及塗布方法(專利文獻1)。
於專利文獻1記載之塗布裝置中,藉由使能夠夾著基板端部之對向配置的一對塗布滾輪沿著基板周向邊緣移動,從而於包含基板端面之周向邊緣部塗布膜形成液。
進一步本發明之申請人還提案了一種藉由噴墨方式除了為基板周向邊緣部端面外,還能夠為基板內形成之孔的端面也塗布膜形成液之塗布裝置以及塗布方法,(專利文獻2)。
此外也有對板狀樹脂成型品、玻璃成型品等產品之孔端面、外周邊緣端面形成塗膜之需求。
然而利用上述塗布滾輪之方式以及噴墨方式之情形時,使前述塗布滾輪或者噴墨部沿著產品周向邊緣移動需要時間,故發生不能充分應對大量需要處理之產品的狀況。
專利文獻1 特開2015-3303號公報
專利文獻2 特開2018-008210號公報
(解決課題之手段及發明之功效)
有鑒於上述課題,本發明之目的在於提供一種塗布裝置以及塗布方法,其能夠效率良好且快速地於產品上形成之穿透孔之端面、外周邊緣端面塗布膜形成液。
為了實現上述目的,本發明涉及之塗布裝置(1)係於產品上形成之孔端面塗布膜形成液之塗布裝置,其中,藉由載置前述產品之下模、覆蓋前述產品之上模以及前述產品,形成與前述孔端面相接之膜形成液流路;前述上模具備將前述膜形成液導入至前述膜形成液流路之導入路、將前述膜形成液從前述膜形成液流路排出之排出路以及連接前述膜形成液流路之間之連接流路;以使從前述導入路導入之膜形成液不間斷地流經前述膜形成液流路以及前述連接流路,從前述排出路排出的方式形成前述連接流路。
根據上述塗布裝置(1),從前述導入路導入之前述膜形成液藉由前述連接流路,通過全部膜形成液流路,從前述排出路排出,故藉由膜形成液於前述產品之孔端面上不間斷地流動,能夠確實地、快速地塗布膜形成液。
另外,由於於前述產品上表面覆蓋前述上模、下表面覆蓋前述下模,故能夠防止於前述穿透孔之周向邊緣之上表面以及下表面塗布膜形成液。
此外,還能夠確實地、快速地於板狀樹脂成型品、玻璃成型品等大型產品之孔端面塗布膜形成液。
另外本發明涉及之塗布裝置(2),其中,於上述塗布裝置(1)中,還具備包圍前述產品之外周邊緣端面之殼體,藉由前述下模、前述殼體、前述上模,以形成與前述產品之外周邊緣端面相接之膜形成液流路的方式構成。
根據前述塗布裝置(2),藉由構造簡單、製造成本低廉之裝置,不僅能夠於產品之孔端面,還能夠於產品之外周邊緣端面確實地、快速地塗布膜形成液。
另外,本發明涉及之塗布裝置(3),其中,於上述塗布裝置(1)或者(2)中,前述上模、於內部具備作為前述導入路、前述排出路以及作為前述連接流路之隧道型連接流路而構成。
根據上述塗布裝置(3),由前述導入路所導入之前述膜形成液形成為藉由前述隧道型連接流路,通過全部膜形成液流路,從前述排出路排出,從而藉由膜形成液之不間斷的流動,能夠確實地、快速地於前述產品之孔端面或者前述產品之孔端面以及外周邊緣端面上塗布膜形成液。
另外,由於前述上模內部設置有前述導入路、前述排出路以及前述隧道型連接流路,故能夠容易地操作前述上模。
另外,本發明涉及之塗布裝置(4),其中,於前述塗布裝置(1)或者(2)中,前述上模具備覆蓋前述產品之上模基板、與該上模基板連接的作為前述導入路之管型導入路、作為前述排出路之管型排出路以及作為前述連接流路之管型連接流路而構成。
根據上述塗布裝置(4),膜形成液流經前述管型導入路、前述管型排出路以及前述管型連接流路中,故前述上模內之膜形成液之流動平滑。另外, 藉由於前述上模基板之穿透孔部分插入管之方法、於前述上模基板上黏結或者銅焊管之方法等能夠容易地製造前述上模。
另外本發明涉及之塗布裝置(5),其中,於上述塗布裝置(1)或者(2)中,前述上模、於內部具有前述導入路以及前述排出路,進而於與前述產品相向之下表面具備作為前述連接流路之溝型連接流路。
根據上述塗布裝置(5),前述上模之連接流路由前述溝型連接流路構成,該溝型連接流路之形成可以係於前述上模之下表面形成溝即可,從而能夠容易地製造前述上模。
另外,本發明涉及之塗布裝置(6),其中,於上述塗布裝置(1)至(5)之任一項中,前述下模或者前述上模於與前述產品穿透孔相對應之位置具備島狀部,於前述孔端面與前述島狀部之間形成前述膜形成液流路而構成。
根據上述塗布裝置(6),即使前述穿透孔之寬度很寬,由於沿著前述孔端面形成有具有合適寬度之膜形成液流路,故能夠於前述產品之前述孔端面上確實地、快速地塗布膜形成液。
另外本發明涉及之塗布裝置(7),其中,於上述塗布裝置(1)至(6)之任一項中,於前述上模與前述產品之間、以及前述產品與前述下模之間具備墊圈,以防止前述膜形成液浸入前述產品之上表面以及下表面。
根據上述塗布裝置(7),能夠確實地防止膜形成液浸入前述產品之下表面以及上表面。故能夠有效地防止於基板等前述產品之穿透孔周向邊緣部、外周邊緣部形成不要之塗膜。
另外,本發明涉及之塗布裝置(8),其中,於上述塗布裝置(3)、(6)、(7)之任一項中,包括前述隧道型連接流路之前述上模係利用3D印表機而製作者。
根據上述塗布裝置(8),能夠利用3D印表機簡單地製造包括前述隧道型連接流路之複雜構造之上模。另外,即使前述隧道型連接流路之位置、數量、形態等不同,也能夠容易地進行對應。
另外,本發明涉及之塗布裝置(9),其中,於上述塗布裝置(3)、(6)、(7)之任一項中,包括前述隧道型連接流路之前述上模係由形成有前述隧道型連接流路之上側一半部分之上部板、與形成有前述隧道型連接流路之下側一半部分之下部板黏著在一起而形成者。
根據上述塗布裝置(9),不需要高端技術,而利用身邊有的電動工具,就可以容易地製造包括前述隧道型連接流路之複雜構造的上模。
本發明涉及之塗布方法(1),係使用上述(1)至(9)中任一項塗布裝置,對前述產品塗布膜形成液之塗布方法,其中,藉由於前述排出路一側吸引由前述導入路所導入之前述膜形成液,在前述產品之端面塗布膜形成液。
根據上述塗布方法(1),由於於塗布裝置內,膜形成液係以減壓狀態被導入的、故能夠有效地防止膜形成液從前述膜形成液流路浸入前述產品上表面以及下表面。故能夠有效地防止於前述產品之穿透孔周向邊緣部、外周邊緣部形成不要的塗膜。
另外,藉由膜形成液之不間斷之流動,能夠於前述產品之各端面塗布膜形成液,故能夠確實地快速地塗布膜形成液。
另外,本發明涉及之塗布方法(2),係使用上述(1)至(9)中任一項塗布裝置,對前述產品塗布膜形成液之塗布方法,其中,藉由從前述導入路壓入前述膜形成液、從前述排出路排出前述膜形成液,在前述產品之端面塗布膜形成液。
根據上述塗布方法(2),由於膜形成液係以壓入狀態被送入塗布裝置,故能夠確實地為前述產品之端面塗布前述膜形成液。
另外,本發明涉及之塗布方法(3),其中,於上述塗布方法(1)或者(2)中,於前述產品之端面塗布膜形成液,排出該膜形成液後,還向前述膜形成液流路中導入用以乾燥膜形成液之空氣。
根據上述塗布方法(3),於塗布/排出膜形成液後,能夠快速有效地進行前述膜形成液流路內之前述膜形成液之除去/乾燥。
1、2‧‧‧塗布裝置
10‧‧‧基板
11、12、13、14‧‧‧穿透孔
11a、12a、13a、14a‧‧‧孔端面
15‧‧‧外周邊緣部
15a‧‧‧外周邊緣端面
21、21A、21B‧‧‧上模
21Aa‧‧‧上模基板
21a‧‧‧上部板
21b‧‧‧下部板
22‧‧‧下模
23、23b‧‧‧導入路
23a‧‧‧管型導入路
23c‧‧‧連接孔
24、24b‧‧‧排出路
24a‧‧‧管型排出路
25a、25b、25c、25d‧‧‧隧道型連接流路
25ab、25bb、25cb、25db‧‧‧連接孔
26a、26b、26c、26d‧‧‧管型連接流路
27a、27b、27c、27d‧‧‧溝型連接流路
28‧‧‧殼體
28a、31ab、31bb、31cb‧‧‧堤壩
31a、31b、31c‧‧‧島狀部
32、32A‧‧‧墊圈
33a、33b、33c‧‧‧島狀部孔
33aa、33ba、33ca‧‧‧凹部
40、50‧‧‧塗布系統
41、51‧‧‧膜形成液罐
42‧‧‧吸氣部
43、53‧‧‧三通旋塞
44‧‧‧捕集罐
45‧‧‧吸引裝置
46a、46b、46c、46d、46e‧‧‧軟管
47‧‧‧塗布頭
47a‧‧‧導入測
47b‧‧‧排出測
52‧‧‧加壓裝置
54‧‧‧排液罐
55‧‧‧送氣部
56a、56b、56c、56d、56e、56f‧‧‧軟管
A至D、F、H至J、L至O、Q至T‧‧‧膜形成液流路
E、G、K、P‧‧‧連接流路
P1、P2、P3‧‧‧位置
第1圖係顯示本發明涉及之作為塗布對象之產品之一例的電子部件安裝用之印刷配線基板的側視圖。
第2圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置之基本構成的側視圖,顯示了於印刷配線基板之孔端面塗布膜形成液之情形。
第3圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置之基本構成的側視圖,顯示了於印刷配線基板之孔端面以及外周邊緣端面塗布膜形成液之情形。
第4圖係分開顯示實施方式涉及之塗布裝置之上模以及下模的側視圖,(a)表示上模、(b)表示下模。
第5圖係顯示於實施方式涉及之第4圖所示之塗布裝置上配置第1圖所示之印刷配線基板,以第3圖所示之狀態,於印刷配線基板之孔端面以及外周邊緣端面塗布膜形成液時之膜形成液之流動的側視圖。
第6圖係於第3圖之X-X線的剖面圖。
第7圖係於第3圖之Y-Y線的剖面圖。
第8圖係顯示藉由機械加工製造實施方式涉及之塗布裝置之上模的方法的側視圖,(a)表示上模上半部分之仰視圖,(b)表示看下半部分之俯視圖。
第9圖係顯示具備實施方式涉及之塗布裝置之管型連接流路之上模的側視圖。
第10圖係從下方看具備實施方式涉及之塗布裝置之溝型連接流路之上模的側視圖。
第11圖係顯示於實施方式涉及之塗布裝置上使用墊圈之實例的側視圖,(a)表示於上模和基板之間使用之墊圈、(b)表示於基板和下模之間使用之墊圈。
第12圖係顯示利用了實施方式涉及之塗布裝置之吸引式塗布系統之一實例的系統構成圖。
第13圖係顯示利用了實施方式涉及之塗布裝置之壓入式塗布系統之一實例的系統構成圖。
第14圖係顯示於實施方式涉及之塗布裝置上所配置之基板上連續塗布膜形成液之實例的側面圖。
以下基於圖示說明本發明實施方式涉及之塗布裝置以及塗布方法。
第1圖係顯示本發明涉及之作為塗布對象之產品之一例的電子部件安裝用之印刷配線基板(以下記為基板)的側視圖。
基板10上形成有4個穿透孔11、12、13、14,於這些穿透孔11、12、13、14的各自端面11a、12a、13a、14a上塗布膜形成液。另外,也有於基板10之外部周向邊緣部15之端面15a塗布膜形成液的情形。
第2圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置1之基本構成的側視圖,顯示了於基板10之穿透孔端面塗布膜形成液的情形。
塗布裝置1包括覆蓋基板10之上模21和載置基板10之下模22,藉由上模21、基板10以及下模22,形成用以於基板10之孔端面11a、12a、13a、14a(第1圖)上流動膜形成液之膜形成液流路F,H至J、L至O、Q至T(第5圖)而構成。
另外關於上模21,為了便於理解其內部構造地進行圖示,而假定為透明體予以顯示。
上模21具備將膜形成液導入膜形成液流路F、H至J、L至O、Q至T之導入路23、以及排出膜形成液之排出路24、作為連接膜形成液流路F、H至J、L至O、Q至T間之連接流路之隧道型連接流路25b、25c、25d,從導入路23導入之膜形成液通過膜形成液流路F、H至J、L至O,Q至T以及隧道型連接流路25b、25c、25d,作為一連續流動,從排出路24排出而構成。
另外於與導入路23、排出路24連接之外部,安裝有用以連接導入或者排出膜形成液之管等的連接管(未圖示)。
第3圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置2之基本構成的側視圖。
塗布裝置2用於於基板10之孔端面11a至14a(第1圖)以及外周邊緣端面15a(第1圖)上塗布膜形成液之情形。與塗布裝置1相比,塗布裝置2之下模22上表面還形成有與包圍基板10外周邊緣端面15a之基板10相同厚度之殼體28。故塗布裝置2為藉由上模21、下模22、基板10,形成用以於基板10之外周邊緣端面15a上流動膜形成液之膜形成液流路A至D(第5圖)而構成。
於第2圖、第3圖所示之側視圖中,因藉由上模21、下模22、基板10之穿透孔11、12、13、14所形成之膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T位於上模21之下部,故未圖示。
以塗布裝置2為對象,就實施方式涉及之膜形成液之塗布結構進行說明。
塗布裝置2中形成有膜形成液沿基板10之端面中塗布膜形成液之端面、即外周邊緣部15之端面15a以及穿透孔11、12、13、14之端面11a、12a、13a、14a流動之膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T(第5圖)。藉由於膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T上流動膜形成液,能夠於基板10之各端面塗布膜形成液。由於基板10之上表面由上模21覆蓋,下表面由下模22覆蓋,故基板10之上表面以及下表面不會被塗布膜形成液。
另外膜形成液由導入路23導入後,膜形成液之流體分別流經膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T以及連接流路E、G、K、P(第5圖),直至由排出路24排出,形成不間斷流動。換言之,自導入路23起至排出路24止,藉由膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T以及連接流路E、G、K、P,形成為一筆就可以畫出之流路。
第4圖係將塗布裝置2分為上模21以及下模22進行顯示之側視圖,(a)表示上模21、(b)表示下模22。
下模22上形成有用以形成膜形成液流路A至D(第5圖)之殼體28,所述膜形成液流路A至D用以為基板10之外周邊緣端面15a塗布膜形成液。
另外,下模22上形成有島狀部31a、31b、31c,所述島狀部31a、31b、31c用以在寬度為寬的穿透孔12、13、14之孔端面12a、13a、14a確實地塗布膜形成液;於這些島狀部31a、31b、31c上設有分別控制膜形成液流動之堤壩31ab、31bb、31cb。
於島狀部31a、31b、31c以及和這些島狀部31a、31b、31c相對應之穿透孔12、13、14之孔端面12a、13a、14a之間形成有間隙,藉由這些間隙形成膜形成液流路H至J、L至O、Q至T(第5圖)。
塗布裝置2中,於下模22上形成有殼體28,於殼體28之內側設置有基板10。基板10置於下模22之狀態時,第4圖(a)所示之上模21載置於基板10之上表面,基板10夾在下模22上表面和上模21下表面之間被固定。
另外,第4圖顯示了島狀部31a、31b、31c形成於下模22之實例,但島狀部31a、31b、31c還可以形成於上模21。
作為上模21、下模22之構成材料,可以例舉如ABS樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯、聚丙烯樹脂等,其中最佳為ABS樹脂。ABS樹脂具有耐藥性、機械性能、耐熱性、加工性、成形性等優異的優點。另外製造上模21時,作為利用3D印表機時的素材也係較佳的。
第5圖係顯示於塗布裝置2上設置基板10、於基板10之各端面塗布膜形成液時所形成之不間斷流路的側視圖。塗布裝置2之情形下,膜形成液由導入路23(第4圖)導入,按照符號A、B、C、…、T之順序流經膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T以及連接流路E、G、K、P,從排出路24(第4圖)排出。
以虛線表示之4支連接流路E、G、K、P由設於上模21之隧道型連接流路25a、25b、25c、25d(第4圖)形成。
藉由隧道型連接流路25a(連接流路E),導入路23與膜形成液流路F連接,藉由隧道型連接流路25b(連接流路G),膜形成液流路F與膜形成液流路H連接,藉由隧道型連接流路25c(連接流路K),膜形成液流路J與膜形成液流路L連接,藉由隧道型連接流路25d(連接流路P),膜形成液流路O與膜形成液流路Q連接。
藉由這些連接流路E、G、K、P之形成,由上模21、下模22與基板10的穿透孔12、13、14以及殼體28構成之膜形成液流路A至D、F、H至J、L至O、Q至T以及連接流路E、G、K、P上生成不間斷之膜形成液之流動,從而於基板10各端面塗布膜形成液。
基板10之情形,穿透孔11寬度窄,與此相對穿透孔12、13、14寬度為寬。如穿透孔11那樣,在其寬度為窄之情形,膜形成液從長度方向之一方向另一方流動,從而能夠容易地於孔端面11a上塗布膜形成液。但如穿透孔12、13、14那樣寬度為寬之情形,在使膜形成液從長度方向之一方向另一方流動時,相對於中心部之流動,兩側部分之流動容易滯留,從而有不能確實地於兩側之端面塗布膜形成液之可能。
故關於寬度為寬之穿透孔12、13、14,為了使膜形成液沿各端面12a、13a、14a流動,而於塗布裝置2之下模22上形成島狀部31a、31b、31c(第4圖(b))以及堤壩31ab、31bb、31cb。堤壩31ab、31bb、31cb與基板10各穿透孔12、13、14之端面12a、13a、14a相接,遮斷膜形成液之流動而構成。
如此,藉由形成島狀部31a、31b、31c以及堤壩部31ab、31bb、31cb,能夠於各穿透孔12、13、14之端面12a、13a、14a與島狀部31a、31b、31c之間,形成膜形成液流路H至J、L至O、Q至T。
故於各穿透孔12、13、14,膜形成液於各島狀部31a、31b、31c和端面12b、13b、14b之間,繞島狀部31a、31b、31c一周順暢流動,為各穿透孔12、13、14之端面12a、13a、14a,確實地提供膜形成液。
如此,藉由膜形成液流路A至D,能夠確實地為基板10之外周邊緣端面15a提供膜形成液,藉由膜形成液流路F,能夠確實地為透孔11之端面11a提供膜形成液,藉由膜形成液流路H、I、J能夠確實地為透孔12之端面12a提供膜形成液,藉由膜形成液流路L、M、N、O能夠 確實地為透孔13之端面13a提供膜形成液,藉由流路Q、R、S、T能夠確實地為透孔14之端面14a提供膜形成液。
另外,島狀部31a、31b、31c除了如上所述於下模22或者上模21上一體地形成之外,還可以係將成形為各自形狀之部件黏著在下模22或者上模21之指定位置而形成。
另外,堤壩31ab、31bb、31cb也可以如上所述不是一體地作為島狀部31a、31b、31c之一部分形成於島狀部31a、31b、31c上,而係將塊狀之非一體部件作為堤壩31ab、31bb、31cb而形成。
根據基板不同有不需要於外周邊緣部15之端面15a塗布膜形成液之情形。在這種情形下,可以省略流路A至D,不需要殼體28,而能夠利用塗布裝置1。
第6圖顯示於第3圖X-X線之剖面圖,第7圖顯示於第3圖Y-Y線之剖面圖。第6圖、第7圖中顯示了利用後述之墊圈32、33(第11圖)之情形。
第6圖顯示了藉由上述上模21之隧道型連接流路25a(連接流路E)。膜形成液流路D與膜形成液流路F相連接之情形。
第7圖顯示了於基板10之外周邊緣端面15a與殼體28之間形成間隙,形成膜形成液流路B之情形,還顯示了於島狀部31a與基板10之孔端面12a之間形成間隙、形成膜形成液流路H、J之情形。
作為具備隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之上模21之製造方法,有如上所述利用3D印表機之方法。利用3D印表機製造上模21時,準備上模21之三維CAD資料,使3D印表機讀入,提供ABS樹脂等 作為素材進行造型。故利用3D印表機之情形時,即使為具備隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之上模21,也能夠容易製造。
只是隧道型連接流路25a、25b、25c、25d有直徑為1mm左右很小的情形,故為了使膜形成液之流動順暢,較佳為盡可能平滑地加工隧道型連接流路25a、25b、25c、25之內面。為此較佳為於由層壓引起的高低差異小的高精細條件下進行造型。
另外,在其他實施方式中,關於具備隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之上模21,還可以由機械加工進行製造。
第8圖係顯示通過機械加工製造實施方式涉及之塗布裝置之上模21的側視圖,(a)表示上模之上半部分,(b)表示上模之下半部分。
第8圖中顯示了於隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之水準部之中心線,將上下切斷之平面,(a)係上模21之上半部分之上部板21a的仰視圖,(b)係上模下半部分之下部板21b的俯視圖。將第8圖(a)所示之上部板21a顛倒過來,與下部板21b重合形成隧道型連接流路25a、25b、25c、25d。
上部板21a、下部板21b於上模21之隧道型連接流路25a、25b、25c、25之水準部中心線,被上下切斷。故於上部板21a、下部板21b之表面上,隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之水準部之剖面成為半圓形、角形等凹形。即凹形的溝狀。
像這種半圓形等凹形溝狀部,不必利用高度機械裝置,藉由利用木板加工機、滾邊機等電動工具就可以容易地形成。
另外關於隧道型連接流路25a、25b、25c、25d中縱方向之流路以及導入路23、排出路24,可以由鑽孔機開孔而形成。
由此,上部板21a、下部板21b可以藉由身邊有的電動工具等機械加工而容易地製造。藉由使所製造之上部板21a和下部板21b面對面黏著,可以容易地製造具備隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之上模21。
具備隧道型連接流路25a、25b、25c、25d之上模21除了利用3D印表機之方法外,還可以像這樣藉由機械加工之方法容易地製造。
第9圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置之另外的上模21A的側視圖。上模21A包括覆蓋基板10之上模基板21Aa、作為設置於上模基板21Aa上之導入路之管型導入路23a、作為排出路之管型排出路24a以及作為連接流路之管型連接流路26a、26b、26c、26d而構成。
這些管型導入路23a、管型排出路24a以及管型連接流路26a、26b、26c、26d由鋁、鋼、不銹鋼等金屬、ABS樹脂、丙烯酸樹脂等樹脂的管形成。這些管型導入路23a、管型排出路24a以及管型連接流路26a、26b、26c、26d與上模基板21Aa,當兩者為金屬時藉由銅焊接合、當兩者為樹脂時,藉由黏著劑黏著接合。上模基板21Aa和管型導入路23a、管型排出路24a以及管型連接流路26a、26b、26c、26d接合時,較佳為於上模基板21Aa形成之穿透孔上插入管型導入路23a、管型排出路24a以及管型連接流路26a、26b、26c、26d而接合。
第10圖係顯示實施方式涉及之塗布裝置上的、另外之上模21B的側視圖。第10圖中,顯示了從下表面看上模21B的側視圖。
上模21B於內部具備導入路23b,排出路24b,在與上模21B之基板10相向之下表面形成有作為連接流路之溝型連接流路27a、27b、27c、27d而構成。連接流路與上模21之隧道型連接流路、上模21A之管型連接流路不同,為設置於上模21B下表面之溝型連接流路27a、27b、27c、27d。溝型連接流路27a、27b、27c、27c之剖面形狀為半圓形、角形等與膜形成液之流動相對應之形狀。
上模21B之情形時,連接流路形成於溝型連接流路27a、27b、27c、27d與基板10的上表面之間。另外,使用墊圈(第11圖)時,形成於溝型連接流路27a、27b、27c、27d與墊圈的上表面之間。
如上模21B那樣,於上模21B上形成之連接流路為溝型連接流路27a、27b、27c、27d時,只要於上模21B下表面形成剖面形狀為半圓形、角形等的溝即可。由於溝可以藉由銑床等容易地加工,故上模21B的製造很容易。
第11圖(a)(b)係顯示實施方式涉及之塗布裝置中使用之墊圈之實例的側視圖,(a)表示上模與基板之間使用之墊圈,(b)表示基板與下模之間使用之墊圈。
如第11圖(a)所示,於上模21之下表面所使用之墊圈32上除了通向導入路23之連接孔23c、通向排出路24之連接孔24c外,還形成有與隧道型連接流路25a、25b、25c、25d相對應之連接孔25aa、25ab、25ba、25bb、25ca、25cb、25da、25db。
另外,如第11圖(b)所示,於下模22上表面使用之墊圈32A上形成有與第4圖(b)所示之島狀部31a、31b、31c相對應之島狀部孔33a、 33b、33c。島狀部孔33a、33b、33c形成為分別與下模22之島狀部31a、31b、31c相同尺寸、相同形狀。換言之,下模22之島狀部31a、31b、31c與墊圈32A之島狀部孔33a、33b、33c為恰好相嵌關係。墊圈32A之島狀部孔33a、33b、33c上還形成有與堤壩31ab、31bb、31cb(第4圖(b))相對應之凹部33aa、33ba、33ca。
關於墊圈32,顯示了與第3、4圖等所示之上模21之關係,墊圈32與第9圖所示之上模21A以及第10圖所示之上模21B之關係與上模21之情形相同。即、關於上模21A以及上模21B也可以同樣地使用墊圈32。
另外於下模22上表面所使用之墊圈32A也可以與不同上模21、21A、21B中任一種共通使用。
墊圈32、32A可以採用天然橡膠、樹脂系合成樹脂等片材而形成。
於基板10之外周邊緣端面15a上不塗布膜形成液之塗布裝置1之情形、以及於基板10之外周邊緣端面15a上塗布膜形成液之塗布裝置2之情形的任一種情形下,都較佳為於基板10與上模21之間,下模22與基板10之間配置墊圈32、32A。
墊圈32、32A可以防止膜形成液浸入基板10的上表面或者下表面。
將基板10置於塗布裝置1或者塗布裝置2時,按照下模22、墊圈32A、基板10以及墊圈32、上模21之順序放置後,使各自之間不產生錯位而緊緊地固定上模21與下模22之間。該固定有用螺栓固定外周部之方法、以彈簧夾子、手鉗固定之方法等,包括其他方法可以適宜地進行選擇。
第12圖顯示利用塗布裝置2構成塗布系統之一個實例的系統構成圖。
塗布系統40採用吸引方式,塗布系統40包括塗布裝置2、膜形成液罐41、吸氣部42、三通旋塞43、捕集罐44、吸引裝置45等而構成。
膜形成液罐41與三通旋塞43之間由軟管46a連接,吸氣部42與三通旋塞43之間,三通旋塞43與塗布裝置2之間,塗布裝置2與捕集罐44之間,捕集罐44與吸引裝置45之間同樣地,分別由軟管46b、46c、46d、46e連接。
吸引裝置45由真空泵構成。
由塗布裝置2之導入路23導入之膜形成液被吸引裝置45吸引而導入塗布裝置2內,對塗布裝置2內收納之基板10之各端面塗布膜形成液。
膜形成液罐41中保存有膜形成液。吸氣部42為大氣吸入部,具備淨化空氣用之濾膜(未圖示)。三通旋塞43用以切換輸送給塗布裝置2之膜形成液和空氣,捕集罐44具備氣液分離功能,用以使膜形成液流入吸引裝置45而吸收膜形成液。
為塗布裝置2中收納之基板10各端面塗布膜形成液時,吸引裝置45運轉,將三通旋塞43置於吸氣部42一側,從而吸出系內塵埃等。接著,將三通旋塞43切換到膜形成液罐41一側,將被吸引裝置45吸引之膜形成液導入塗布裝置2內,使其流過塗布裝置2內各流路,由此為基板10之各端面塗布膜形成液。
為了根據需要,對基板10各端面提供充分膜形成液而使膜形成液保持一定時間內流動之狀態。還可以代替使膜形成液保持流動之狀態,關閉三通旋塞43,保持膜形成液滯留於各流路之狀態。
在使膜形成液遍及基板10各端面後,藉由將三通旋塞43切換到吸氣一側,吸引系統內之膜形成液,吸收於捕集罐44中。進而,藉由吸引裝置45持續吸真空,能夠將有可能殘留之不要的膜形成液從塗布裝置2內排出,同時促進基板10之各端面上形成之塗膜的乾燥。但在基板10之各端面上形成之塗膜黏附到各端面需要一定程度時間之情況時,在排出膜形成液後,最好隔一段時間後才再次抽真空。
由此藉由使塗布系統40動作,能夠將由導入路23導入之膜形成液從排出路24一側排出,從而可以於第1圖所示之基板10的外周邊緣端面15a、孔端面11a、12a、13a、14a塗布膜形成液。
另外,塗布膜形成液,排出膜形成液後,進一步藉由從吸氣部42導入膜形成液乾燥用空氣,能夠加快所塗布之膜形成液的乾燥。
第12圖中,僅顯示了連接一個塗布裝置2之情形,但還可以串聯連接多個塗布裝置2,藉由一次處理,可以對多個基板10塗布膜形成液。
第13圖係顯示利用塗布裝置2構成之塗布系統之另一個實例的系統構成圖。
塗布系統50採用壓入方式,塗布系統50包括塗布裝置2、膜形成液罐51、加壓裝置52、三通旋塞53、排液罐54、送氣部55等而構成。
加壓裝置52與三通旋塞53之間藉由軟管56a連接,三通旋塞53與膜形成液罐51之間、三通旋塞53與送氣部55之間、膜形成液罐51與塗 布裝置2之間、送氣部55與塗布裝置2之間、塗布裝置2與排液罐54之間同樣地分別由軟管56b、56c、56d、56e、56f連接。
從塗布裝置2之導入路23導入之膜形成液被加壓裝置52壓入而導入塗布裝置2內,對塗布裝置2內收納之基板10之各端面塗布膜形成液。
膜形成液罐51中保存有膜形成液。加壓裝置52為對膜形成液罐51內進行加壓之裝置,由壓縮機構成,能夠加壓到將膜形成液輸入塗布裝置2之程度。
加壓裝置52還起到藉由具備空氣淨化用濾膜(未圖示)之送氣部55,將空氣送入塗布裝置2的作用。三通旋塞53用以切換向塗布裝置2導入膜形成液和導入空氣,排液罐54用以儲存從塗布裝置2排出之膜形成液。
對塗布裝置2中收納之基板10之各端面塗布膜形成液時,加壓裝置52運轉,將三通旋塞53置於送氣部55一側,從而排出系統內之塵埃等。接著將三通旋塞53切換至膜形成液罐51一側,對膜形成液罐51內加壓。將由加壓而被壓出之膜形成液導入塗布裝置2內,通過為塗布裝置2內各流路提供膜形成液而為基板10之各端面塗布膜形成液。
為了根據需要對基板10各端面充分塗布膜形成液而使膜形成液保持一定時間內流動之狀態。還可以代替使膜形成液保持流動之狀態,關閉三通旋塞53,保持膜形成液滯留於各流路之狀態。
在膜形成液遍及基板10各端面後,藉由將三通旋塞切換到送氣部55一側,向塗布裝置2內各流路送入空氣,排出流路內之膜形成液。進而藉由持續送氣,促進於基板10之各端面上形成之塗膜的乾燥。
作為加壓將膜形成液導入塗布裝置2之方法可以不使用壓縮機而利用管泵。從管泵之上遊一側提供膜形成液,於下游一側與塗布裝置2之導入路23連接,藉由使流經塗布裝置2之各流路之膜形成液從排出路24一側排出,能夠為基板10之各端面塗布膜形成液。
如上所述,利用塗布裝置2,為基板10之各端面塗布膜形成液之方法有多種。較佳為考慮基板10大小、塗布裝置2內流路長度、所處理基板10數量等條件,進行適當地選擇。
第14圖係顯示對設置於多個塗布裝置2之基板10進行連續處理之實例的側面圖。於位置P1,將設有基板10之塗布裝置2載置到輸送機等的搬運裝置上。接著,將塗布裝置2搬運至位置P2。於位置P2,將塗布頭47之供給側47a與塗布裝置2之連接管23d連接,將塗布頭47之排出測47b與塗布裝置2之連接管24d連接。於塗布頭47之供給測47a上連接膜形成液供給側之軟管46c(第12圖)或者軟管56d(第13圖)。另外,於塗布頭47之排出測47b上連接膜形成液排出測之軟管46d(第12圖)或者軟管56f(第13圖)。
以該狀態為基板10各端面塗布膜形成液後,將塗布裝置2移至位置P3,結束膜形成液之塗布。
藉由重複該操作能夠連續地實施為設於多個塗布裝置2上之基板10端面塗布膜形成液的處理。
由此除了移動塗布裝置2,塗布膜形成液之外,關於於一個位置進行塗布裝置2組之組裝以及膜形成液之塗布等,藉由塗布裝置2進行塗布膜 形成液之方法,較佳為與處理數量、產品形狀、大小、其他的各種條件相配合進行適當的選擇。
第14圖顯示了塗布裝置2之連接管23d、24d自上模21(第3圖)上表面突出而形成之情形。因為有導入路23(第3圖)、排出路24(第3圖)之流路的徑小到1mm左右之情形,故較佳為連接管23d、24d具有一定程度之強度。
關於連接管23d、24d,較佳為將管插入形成於上模21之穿透孔而固定。藉由將連接管23d固定於上模21,能夠確實地連接軟管46c、56d。藉由將連接管24d固定於上模21,能夠確實地連接軟管46d,56f。
第12圖至第14圖對利用塗布裝置2構成塗布系統40、50之情形進行了舉例說明,但將第12圖至第14圖中塗布裝置2置換為塗布裝置1,則同樣地可以構成利用了塗布裝置1之塗布系統。
以上將第1圖所示之基板10作為產品,對實施方式涉及之塗布裝置以及塗布方法進行了說明。關於產品,其大小、形狀、穿透孔數量、形狀等各種各樣。另外,作為本發明對象之產品上,除了以玻璃環氧材料、合成材料、紙苯酚材料等作為材料而形成之印刷配線基板外,還包括樹脂製、玻璃製、金屬製之板狀成形品等。
另外,小型產品之情況,可以於一組上模與下模之間,藉由墊圈,設置多個產品,針對多個產品,同時塗布膜形成液。
在利用形成有連接流路之上模的塗布裝置之情形下,能夠快速地確實且容易地為產品之端面塗布膜形成液。上述塗布裝置包括具有連 接流路之上模、由於塗布裝置之構造簡單故可以廉價地製造。因此即使產品種類多也可以容易地對應。
另外,吸引方式之塗布系統之情況,塗布裝置之各流路內為減壓狀態。故塗布膜形成液時,膜形成液難以從流路向產品上表面、下表面浸入,另外於塗布/排出膜形成液後,向流路內導入空氣,能夠快速且有效地進行流路內之膜形成液之除去、乾燥。
[產業上之利用可能性]
本發明可以廣泛應用於使用印刷配線基板、金屬基板、包裝基板、玻璃基板等各種基板之電子器械產業等領域。
1‧‧‧塗布裝置
10‧‧‧基板
21‧‧‧上模
22‧‧‧下模
23‧‧‧導入路
24‧‧‧排出路
25b、25c、25d‧‧‧隧道型連接流路

Claims (13)

  1. 一種塗布裝置,係對產品上所形成之孔端面塗布膜形成液之塗布裝置,其中,藉由載置前述產品之下模、覆蓋前述產品之上模以及前述產品,形成與前述孔端面相接之膜形成液流路;前述上模具備將前述膜形成液導入至前述膜形成液流路之導入路、從前述膜形成液流路排出前述膜形成液之排出路以及連接前述膜形成液流路之間之連接流路;以使從前述導入路導入之膜形成液不間斷地流經前述膜形成液流路以及前述連接流路,從前述排出路排出的方式,形成前述連接流路。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之塗布裝置,還具備包圍前述產品之外周邊緣端面之殼體,藉由前述下模、前述殼體和前述上模,以形成與前述產品之外周邊緣端面相接之膜形成液流路的方式構成。
  3. 如申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,其中,前述上模於內部包含前述導入路、前述排出路以及作為前述連接流路之隧道型連接流路而構成。
  4. 如申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,其中,前述上模包含覆蓋前述產品之上模基板、與前述上模基板連接的作為前述導入路之管型導入路、作為前述排出路之管型排出路以及作為前述連接流路之管型連接流路而構成。
  5. 如申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,其中,前述上模於內部具備前述導入路以及前述排出路,進而包含於與前述產品相向之下表面具備作為前述連接流路之溝型連接流路而構成。
  6. 如申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,其中,前述下模或者前述上模,於與前述產品之穿透孔相對應之位置具備島狀部,以於前述孔端面與前述島狀部之間形成前述膜形成液流路的方式而構成。
  7. 如申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,其中,於前述上模與前述產品之間以及前述產品與前述下模之間,具備墊圈,以防止前述膜形成液浸入前述產品的上表面以及下表面。
  8. 如申請專利範圍第3項所述之塗布裝置,其中,具備前述隧道型連接流路之前述上模係利用3D印表機製造者。
  9. 如申請專利範圍第3項所述之塗布裝置,其中,具備前述隧道型連接流路之前述上模係將形成有前述隧道型連接流路之上側一半部分之上部板、與形成有前述隧道型連接流路之下側一半部分之下部板黏在一起而形成者。
  10. 一種塗布方法,係使用申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,對產品塗布膜形成液之塗布方法,其中,藉由於前述排出路一側吸引由前述導入路所導入之前述膜形成液,在前述產品之端面塗布膜形成液。
  11. 一種塗布方法,係使用申請專利範圍第1項或者第2項所述之塗布裝置,對產品塗布膜形成液之塗布方法,其中,藉由從前述導入 路壓入前述膜形成液,從前述排出路排出前述膜形成液,在前述產品之端面塗布膜形成液。
  12. 如申請專利範圍第10項所述之塗布方法,其中,於前述產品之端面塗布膜形成液、排出所述膜形成液後,還向前述膜形成液流路導入用以乾燥膜形成液之空氣。
  13. 如申請專利範圍第11項所述之塗布方法,其中,於前述產品之端面塗布膜形成液、排出所述膜形成液後,還向前述膜形成液流路導入用以乾燥膜形成液之空氣。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113210220B (zh) * 2020-12-28 2022-07-08 飞旭电子(苏州)有限公司 一种三防胶涂覆防护保护装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5993679U (ja) * 1982-12-08 1984-06-25 本田技研工業株式会社 グリス塗布装置
US4740346A (en) * 1986-02-26 1988-04-26 The Budd Company Perimeter resin feeding of composite structures
US4724115A (en) * 1986-04-21 1988-02-09 The Budd Company Method of forming composite structures having sections extending in different diections
JP2551210Y2 (ja) * 1992-10-30 1997-10-22 トリニティ工業株式会社 塗装装置
JP3410154B2 (ja) * 1993-05-20 2003-05-26 大日本塗料株式会社 型内部分塗装方法
JPH07116579A (ja) * 1993-10-25 1995-05-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板への塗布液塗布装置
EP0767010A1 (en) * 1995-10-05 1997-04-09 Ryobi Ltd. System and method for cleaning liuid passage by negative pressure
KR101151966B1 (ko) * 2004-02-17 2012-06-01 도레이 카부시키가이샤 Rtm 성형방법 및 장치
KR100986727B1 (ko) 2010-06-22 2010-10-08 주식회사 엠티마스타 섬유보강재 진공함침장치 및 방법
JP5735047B2 (ja) * 2013-06-21 2015-06-17 株式会社エナテック 塗布装置及び塗布方法
JP6656102B2 (ja) * 2016-07-13 2020-03-04 株式会社エナテック 塗布装置及び塗布方法

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