KR102027664B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR102027664B1
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히토시 나카이
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치의 확인부 (67) 는, 검사 관로 (671) 와, 도전율 취득부 (672) 와, 판단부 (673) 를 구비한다. 검사 관로 (671) 는, 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장됨과 함께 둘레 방향으로 교대로 배치되는 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 를 갖는다. 도전율 취득부 (672) 는, 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율을 취득한다. 판단부 (673) 는, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액 (71) 의 존재 여부, 또는, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 종류를 판단한다. 확인부 (67) 에서는, 처리액 (71) 의 존재 여부 또는 처리액 (71) 의 종류를, 비교적 긴 검사 관로 (671) 의 전체 길이에 걸쳐 판단할 수 있다. 따라서, 처리액 (71) 의 존재 여부 또는 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS}
본 발명은, 기판에 처리액을 공급하여 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 기판 (이하, 간단히 「기판」이라고 한다) 의 제조 공정에서는, 기판에 대해 여러가지 처리가 실시된다. 예를 들어, 표면 상에 레지스트의 패턴이 형성된 기판 상에, 노즐로부터 약액을 토출함으로써, 기판의 표면에 대해 에칭 등의 약액 처리가 실시된다.
일본 특허 제5030767호 (문헌 1) 의 기판 처리 장치에서는, 처리액을 토출하는 노즐에 처리액 공급관이 접속되고, 처리액 공급관에, 노즐에 대한 처리액의 공급 및 정지를 전환하는 처리액 밸브가 형성된다. 또, 처리액 공급관 상의 분기 위치로부터 처리액 흡인관이 분기되고, 흡인 수단에 접속된다. 그리고, 처리액 밸브가 닫힌 후에 흡인 수단이 작동함으로써, 처리액 공급관 내의 처리액이 흡인되어 배제된다. 당해 기판 처리 장치에서는, 상기 서술한 분기 위치와 노즐 사이에 설정된 액면 검출 위치에 있어서 처리액 공급관 내의 처리액 선단면 (先端面) 을 검출하는 액면 센서가 형성된다. 흡인 수단에 의한 처리액의 흡인이 실시된 후에, 액면 검출 위치에 있어서 처리액 선단면이 검출되면, 처리액 밸브에 리크 고장이 발생한 것으로 판단된다. 액면 센서로는, 처리액을 광학적으로 검출하는 광학 센서, 초음파를 사용하여 처리액을 검출하는 초음파 센서, 또는, 액면 검출 위치 근방에서의 정전 용량의 변화를 검출하는 정전 용량 센서가 이용된다.
일본 공개특허공보 2004-20231호 (문헌 2) 의 약액 농도 측정 장치에서는, 반도체 세정 라인에 있어서 세정 약액이 흐르는 배관에 1 쌍의 전극이 형성된다. 1 쌍의 전극은, 당해 배관의 외벽에 형성된 관통공으로부터 배관 내에 삽입되고, 배관에 용착된 스루 조인트를 사용하여 배관에 장착된다. 당해 약액 농도 측정 장치에서는, 전극 간의 도전율이 측정되고, 도전율과 세정 약액 중의 불산 농도의 상관 관계로부터, 세정 약액 중의 불산 농도가 구해진다.
그런데, 문헌 1 의 기판 처리 장치에서는, 액면 검출 위치에 있어서 처리액 공급관의 내면에 미량의 액적이 부착되어 남아 있는 경우, 당해 액적을 처리액 선단면으로서 오검출하여, 실제로는 발생하고 있지 않는 리크 고장이 발생하고 있는 것으로서 잘못 판단할 가능성이 있다. 반대로, 리크 고장이 발생하고 있는 경우에도, 처리액 선단면이 액면 검출 위치의 바로 앞에 위치하는 경우에는, 리크 고장의 발생을 검출할 수 없을 가능성이 있다.
당해 기판 처리 장치에서는, 광학 센서가 액면 센서로서 이용되는 경우, 발광 소자로부터 출사된 광은, 반투명의 처리액 공급관 내를 투과하여 수광 소자에서 수광된다. 이 경우, 처리액 공급관 내에 고온의 처리액으로부터의 수증기나 처리액 중의 기포가 존재하면, 처리액의 존재 여부를 양호한 정밀도로 식별하는 것은 용이하지 않다. 또, 처리액 공급관이 시간 경과적 변화 등에 의해 변색된 경우, 검출 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 한편, 초음파 센서나 정전 용량 센서가 액면 센서로서 이용되는 경우, 액면 센서가 처리액 공급관에 직접적으로 장착되게 된다. 이 때문에, 센서의 내열 온도 (예를 들어, 약 70 도) 보다 고온의 처리액이 이용되는 경우 등, 액면 센서를 처리액 공급관에 장착할 수 없을 가능성이 있다.
문헌 2 의 약액 농도 측정 장치에서는, 배관 중에 1 쌍의 전극이 삽입되기 때문에, 배관 내의 세정 약액의 흐름이 저해될 우려가 있다. 또, 배관의 외벽에 관통공을 형성하여 전극을 장착할 필요가 있기 때문에, 배관 및 그 주위의 구조가 복잡화된다. 또한, 1 쌍의 전극이 장착되는 약액 농도의 측정 위치는 용이하게 변경할 수 없으므로, 당해 측정 위치에 세정 약액이 도달하지 않는 한, 약액 농도를 측정할 수는 없다.
본 발명은, 기판에 처리액을 공급하여 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부 또는 처리액의 종류 확인의 정밀도를 향상시키는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 관련된 기판 처리 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 처리액이 통과 가능하고, 처리액의 존재 여부 또는 처리액의 종류를 확인하는 확인부가 형성된 관로를 구비하고, 상기 확인부가, 상기 관로의 적어도 일부이고, 내주면에 있어서 길이 방향 또는 둘레 방향으로 교대로 배치되는 복수의 도전부와 복수의 절연부를 갖는 검사 관로와, 상기 복수의 도전부 중 적어도 2 개의 도전부에 전기적으로 접속되고, 상기 적어도 2 개의 도전부 간의 도전율을 취득하는 도전율 취득부와, 상기 도전율 취득부에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 상기 검사 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부, 또는, 상기 검사 관로 내의 처리액의 종류를 판단하는 판단부를 구비한다. 당해 기판 처리 장치에 의하면, 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부 또는 처리액의 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 하나의 바람직한 실시형태에서는, 상기 검사 관로를 형성하는 주요 재료가 수지이고, 상기 복수의 도전부가 도전성 수지이다.
보다 바람직하게는, 상기 복수의 절연부가, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성되고, 상기 복수의 도전부가, 카본이 첨가된 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성된다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 복수의 도전부 및 상기 복수의 절연부는, 둘레 방향으로 배치되고, 상기 검사 관로의 상기 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장된다.
보다 바람직하게는, 상기 복수의 도전부 및 상기 복수의 절연부의 각각의 둘레 방향의 폭이 동일하고, 상기 적어도 2 개의 도전부가, 상기 검사 관로의 중심축을 사이에 두고 서로 대향하는 2 개의 도전부이다.
혹은, 상기 적어도 2 개의 도전부가, 3 개 이상의 도전부이고, 상기 도전율 취득부에 의해, 상기 3 개 이상의 도전부에 있어서 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 도전부 간의 도전율이 취득된다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 관로에 접속되고, 상기 기판 을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 상기 관로 상에 형성되어 처리액 공급원으로부터 상기 노즐에 대한 처리액의 공급 및 정지를 전환하는 공급 제어부와, 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이의 분기점에서 상기 관로로부터 분기되는 분기 관로와, 상기 분기 관로에 접속되어 상기 관로 내의 처리액을 흡인하는 흡인부를 추가로 구비하고, 상기 검사 관로가, 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이에서 상기 관로 상에 형성되고, 상기 판단부가, 상기 검사 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부를 판단한다.
보다 바람직하게는, 상기 검사 관로가 중력 방향을 따라 연장된다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 검사 관로가, 상기 관로의 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이의 전체 길이에 걸쳐 형성된다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 분기 관로 상에 형성되어 상기 흡인부에 의한 처리액의 흡인 및 정지를 전환하는 흡인 제어부를 추가로 구비하고, 상기 확인부와 동일한 구조를 갖는 또 하나의 확인부가, 상기 분기 관로 상에 있어서 상기 흡인 제어부와 상기 분기점 사이에 형성되어 처리액의 존재 여부를 확인한다.
상기 서술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 실시하는 본 발명의 상세한 설명에 의해 분명해진다.
도 1 은, 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 처리액 공급부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 검사 관로의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 확인부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5 는, 기판의 처리 흐름을 나타내는 도면이다.
도 6 은, 처리액 공급부의 구성의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 7 은, 확인부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 8 은, 확인부의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 9 는, 다른 처리액 공급부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10 은, 다른 처리액 공급부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 11 은, 검사 관로의 일부를 나타내는 종단면도이다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 구성을 나타내는 도면이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 반도체 기판 (9) (이하, 간단히 「기판 (9)」이라고 한다) 을 1 장씩 처리하는 매엽식의 장치이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (9) 에 처리액을 공급하여 처리를 실시한다. 도 1 에서는, 기판 처리 장치 (1) 의 구성의 일부를 단면 (斷面) 으로 나타낸다. 처리액은, 예를 들어, 기판 (9) 의 약액 처리에 사용되는 약액 (폴리머 제거액이나 에칭액 등), 혹은, 기판 (9) 의 세정 처리에 사용되는 세정액 (순수에 탄산을 용해시킨 탄산수 등) 이다.
기판 처리 장치 (1) 는, 하우징 (11) 과, 기판 유지부 (31) 와, 기판 회전 기구 (35) 와, 컵부 (4) 와, 처리액 공급부 (6) 를 구비한다. 하우징 (11) 은, 기판 유지부 (31) 및 컵부 (4) 등을 수용한다. 도 1 에서는, 하우징 (11) 을 파선으로 나타낸다.
기판 유지부 (31) 는, 상하 방향을 향하는 중심축 (J1) 을 중심으로 하는 대략 원판상의 부재로, 수평 상태의 기판 (9) 의 하방에 배치된다. 기판 유지부 (31) 는 기판 (9) 을 유지한다. 기판 회전 기구 (35) 는, 기판 유지부 (31) 의 하방에 배치된다. 기판 회전 기구 (35) 는, 중심축 (J1) 을 중심으로 하여 기판 (9) 을 기판 유지부 (31) 와 함께 회전시킨다.
컵부 (4) 는, 중심축 (J1) 을 중심으로 하는 환상의 부재이고, 기판 (9) 및 기판 유지부 (31) 의 직경 방향 외측에 배치된다. 컵부 (4) 는, 기판 (9) 및 기판 유지부 (31) 의 주위를 전체 둘레에 걸쳐 덮어, 기판 (9) 으로부터 주위를 향해 비산하는 처리액 등을 수용한다. 컵부 (4) 의 바닥부에는, 도시 생략된 배출 포트가 형성된다. 컵부 (4) 에 의해 수용된 처리액 등은, 당해 배출 포트를 개재하여 컵부 (4) 및 하우징 (11) 의 외부로 배출된다.
도 2 는, 처리액 공급부 (6) 의 구성을 나타내는 도면이다. 처리액 공급부 (6) 는, 노즐 (61) 과, 처리액 관로 (62) 와, 공급 밸브 (63) 와, 분기 관로 (64) 와, 흡인부 (65) 와, 흡인 밸브 (66) 를 구비한다. 처리액 관로 (62) 는, 내부를 처리액이 통과 가능한 관로이다. 처리액 관로 (62) 는, 후술하는 검사 관로 (671) 를 제외하고, 수지 등의 절연체에 의해 형성된다. 처리액 관로 (62) 는 처리액 공급원 (60) 에 접속된다. 노즐 (61) 은, 기판 (9) 의 중앙부의 상방에 위치한다. 노즐 (61) 은, 처리액 관로 (62) 에 접속된다. 도 2 에 나타내는 예에서는, 처리액 관로 (62) 는, 노즐 (61) 로부터 상방으로 중력 방향을 따라 연장되고, 노즐 (61) 의 상방에서 꺾여 하방으로 연장되며, 다시 수평 방향으로 연장되어 공급 밸브 (63) 에 접속된다. 노즐 (61) 은, 처리액 공급원 (60) 으로부터 처리액 관로 (62) 를 개재하여 공급되는 처리액을 기판 (9) 의 상면 (91) 을 향하여 토출한다. 노즐 (61) 은, 예를 들어, 수지에 의해 형성된다.
공급 밸브 (63) 는, 노즐 (61) 과 처리액 공급원 (60) 사이에 있어서 처리액 관로 (62) 상에 형성된다. 공급 밸브 (63) 는, 처리액 공급원 (60) 으로부터 노즐 (61) 로의 처리액의 공급 및 정지 (즉, 처리액의 공급의 정지) 를 전환하는 공급 제어부이다. 공급 밸브 (63) 는, 처리액 공급원 (60) 으로부터 노즐 (61) 에 공급되는 처리액의 유량도 제어 가능하다. 구체적으로는, 공급 밸브 (63) 가 닫힘으로써, 노즐 (61) 로부터의 처리액의 토출이 정지되고, 공급 밸브 (63) 가 열림으로써, 노즐 (61) 로부터 처리액이 토출된다. 또, 공급 밸브 (63) 의 개도가 조정됨으로써, 노즐 (61) 로부터의 처리액의 토출량 (즉, 처리액 관로 (62) 를 흐르는 처리액의 유량) 이 조정된다. 공급 밸브 (63) 는, 예를 들어 수지에 의해 형성된다. 처리액 관로 (62) 를 흐르는 처리액의 유량은, 처리액 관로 (62) 상에 형성된 유량계 (621) 에 의해 측정된다.
분기 관로 (64) 는, 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이의 분기점 (640) 에서 처리액 관로 (62) 로부터 분기된다. 분기 관로 (64) 는, 처리액 관로 (62) 의 검사 관로 (671) 이외의 부위와 마찬가지로, 수지 등의 절연체에 의해 형성된다. 분기 관로 (64) 에는 흡인부 (65) 가 접속된다. 흡인부 (65) 는, 분기 관로 (64) 를 개재하여, 처리액 관로 (62) 내의 처리액을 흡인한다. 흡인 밸브 (66) 는, 분기점 (640) 과 흡인부 (65) 사이에 있어서 분기 관로 (64) 상에 형성된다. 흡인 밸브 (66) 는, 흡인부 (65) 에 의한 처리액의 흡인 및 정지 (즉, 처리액의 흡인의 정지) 를 전환하는 흡인 제어부이다. 흡인 밸브 (66) 는, 예를 들어 수지에 의해 형성된다.
처리액 관로 (62) 에는, 확인부 (67) 가 형성된다. 확인부 (67) 는, 처리액 관로 (62) 에 있어서의 처리액의 존재 여부, 또는, 처리액 관로 (62) 내의 처리액의 종류를 확인한다. 확인부 (67) 는, 검사 관로 (671) 와, 도전율 취득부 (672) 와, 판단부 (673) 를 구비한다. 검사 관로 (671) 는, 처리액 공급원 (60) 과 노즐 (61) 을 접속하는 처리액 관로 (62) 의 적어도 일부이다. 도 2 에서는, 검사 관로 (671) 를 굵은 실선으로 나타낸다. 도 2 에 나타내는 예에서는, 검사 관로 (671) 는 처리액 관로 (62) 의 일부이고, 중력 방향을 따라 연장된다. 구체적으로는, 검사 관로 (671) 는, 노즐 (61) 과 공급 밸브 (63) 사이에서 처리액 관로 (62) 상에 형성되고, 노즐 (61) 로부터 공급 밸브 (63) 를 향해 상방으로 연장된다. 보다 상세하게는, 검사 관로 (671) 는, 노즐 (61) 과 처리액 관로 (62) 의 상기 서술한 꺾임점 사이에 형성되고, 노즐 (61) 로부터 당해 꺾임점을 향해 상방으로 연장된다.
도 3 은, 검사 관로 (671) 의 일부를 나타내는 사시도이다. 도 4 는, 확인부 (67) 의 구성을 나타내는 도면이다. 도 4 에서는, 검사 관로 (671) 를 길이 방향으로 수직으로 절단한 단면을 나타낸다. 검사 관로 (671) 는, 대략 원통상의 도전성 튜브이다. 검사 관로 (671) 의 내경 및 외경은 각각, 예를 들어, 4 ㎜ 및 6 ㎜ 이다.
검사 관로 (671) 는, 둘레 방향 (즉, 검사 관로 (671) 의 중심축 (J2) 을 중심으로 하는 둘레 방향) 에 교대로 배치되는 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 를 갖는다. 도 3 에서는, 도면의 이해를 용이하게 하기 위해서, 도전부 (675) 에 평행 사선을 부여한다. 복수의 도전부 (675) 는, 사이에 절연부 (676) 를 두고 서로 이간하여 배치된다. 바꾸어 말하면, 복수의 도전부 (675) 는 각각, 검사 관로 (671) 의 둘레 방향 (이하, 간단히 「둘레 방향」이라고도 한다) 의 양측에 위치하는 2 개의 절연부 (676) 에 직접적으로 접속되고, 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 에 의해, 대략 원통상의 검사 관로 (671) 가 구성된다. 도 3 및 도 4 에 나타내는 예에서는, 검사 관로 (671) 는, 4 개의 도전부 (675) 와 4 개의 절연부 (676) 를 갖는다. 각 절연부 (676) 는, 대략 원통상의 부재를 복수 (예를 들어, 4 개) 로 대략 등분할한 부재이다.
복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) 는, 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 각각 연장된다. 각 도전부 (675) 는, 내측 도전부 (677) 와, 외측 도전부 (678) 와, 도전 연결부 (679) 를 갖는다. 내측 도전부 (677) 및 외측 도전부 (678) 는 각각, 검사 관로 (671) 의 두께 (즉, 육후 (肉厚)) 에 비해 얇은 대략 판상이다. 내측 도전부 (677) 는, 검사 관로 (671) 의 내주면의 일부를 구성하고, 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 연장된다. 외측 도전부 (678) 는, 검사 관로 (671) 의 외주면의 일부를 구성하고, 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 연장된다.
도전 연결부 (679) 는, 내측 도전부 (677) 와 외측 도전부 (678) 를 연결하는 대략 판상의 부위이다. 도전 연결부 (679) 는, 내측 도전부 (677) 와 외측 도전부 (678) 사이에 있어서 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 연장됨과 함께, 도 4 에 나타내는 단면에 있어서, 중심축 (J2) 을 중심으로 하는 대략 직경 방향으로 확장된다. 도전 연결부 (679) 의 직경 방향 내측의 단부 (端部) 는, 내측 도전부 (677) 의 둘레 방향의 대략 중앙부에 연속된다. 도전 연결부 (679) 의 직경 방향 외측의 단부는, 외측 도전부 (678) 의 둘레 방향의 대략 중앙부에 연속된다. 도전 연결부 (679) 는, 둘레 방향에서 인접하는 2 개의 절연부 (676) 사이에 위치한다. 바꾸어 말하면, 복수의 도전 연결부 (679) 에 의해, 대략 원통상의 절연 관이 복수의 절연부 (676) 로 분할된다.
검사 관로 (671) 에서는, 복수의 내측 도전부 (677) 가, 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장된다. 또, 검사 관로 (671) 의 내주면에서는, 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 내측 도전부 (677) 의 사이에, 절연부 (676) 의 내면이 노출된다. 검사 관로 (671) 의 내주면에서는, 복수의 내측 도전부 (677) 와, 복수의 절연부 (676) 의 내면이 둘레 방향으로 교대로 배치된다. 바꾸어 말하면, 복수의 절연부 (676) 는, 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서 복수의 도전부 (675) 의 내측 도전부 (677) 의 사이에 위치하고, 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 각각 연장된다.
복수의 외측 도전부 (678) 는, 검사 관로 (671) 의 외주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장된다. 또, 검사 관로 (671) 의 외주면에서는, 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 외측 도전부 (678) 의 사이에, 절연부 (676) 의 외면이 노출된다. 검사 관로 (671) 의 외주면에서는, 복수의 외측 도전부 (678) 와, 복수의 절연부 (676) 의 외면이 둘레 방향으로 교대로 배치된다. 바꾸어 말하면, 복수의 절연부 (676) 는, 검사 관로 (671) 의 외주면에 있어서 복수의 도전부 (675) 의 외측 도전부 (678) 의 사이에 위치하고, 검사 관로 (671) 의 길이 방향으로 각각 연장된다.
검사 관로 (671) 를 형성하는 주요 재료는, 예를 들어 수지이고, 복수의 도전부 (675) 는, 예를 들어 도전성 수지이다. 복수의 도전부 (675) 는, 예를 들어, 카본이 첨가된 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체 (PFA), 이른바, 도전성 PFA 이다. 복수의 절연부 (676) 는, 예를 들어, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체 (PFA) 이다. 도전부 (675) 의 체적 저항률은, 예를 들어, 약 5 × 102 Ω·㎝ 이고, 절연부 (676) 의 체적 저항률은, 예를 들어, 1 × 1018 Ω·㎝ 보다 크다. 검사 관로 (671) 의 내열 온도는, 예를 들어, 약 260 도이다.
도 3 및 도 4 에 나타내는 예에서는, 복수의 내측 도전부 (677) 의 둘레 방향의 폭 (즉, 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서의 복수의 도전부 (675) 의 둘레 방향의 폭) 은 대략 동일하다. 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서의 복수의 절연부 (676) 의 둘레 방향의 폭도 대략 동일하다. 또, 검사 관로 (671) 의 내주면에서는, 복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) 의 각각의 둘레 방향의 폭도 대략 동일하다. 또한, 복수의 외측 도전부 (678) 의 둘레 방향의 폭 (즉, 검사 관로 (671) 의 외주면에 있어서의 복수의 도전부 (675) 의 둘레 방향의 폭) 도 대략 동일하다. 검사 관로 (671) 의 외주면에 있어서의 복수의 절연부 (676) 의 둘레 방향의 폭도 대략 동일하다. 또, 검사 관로 (671) 의 외주면에서는, 복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) 의 각각의 둘레 방향의 폭도 대략 동일하다.
도 4 에 나타내는 도전율 취득부 (672) 는, 검사 관로 (671) 의 복수의 도전부 (675) 중 적어도 2 개의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속된다. 도전율 취득부 (672) 는, 당해 적어도 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율을 취득한다. 도 4 에 나타내는 예에서는, 당해 적어도 2 개의 도전부 (675) 는, 검사 관로 (671) 의 중심축 (J2) 을 사이에 두고 서로 대향하는 2 개의 도전부 (675) 이다. 바꾸어 말하면, 도전율 취득부 (672) 는, 중심축 (J2) 을 사이에 두고 서로 반대측에 위치하는 2 개의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 도전율 취득부 (672) 에 접속되는 2 개의 도전부 (675) 가, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 에 접하고 있는 경우, 도전율 취득부 (672) 에 의해, 사이에 처리액 (71) 이 존재하는 (즉, 처리액 (71) 에 의해 전기적으로 접속되는) 당해 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이 취득된다. 한편, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하지 않는 경우, 도전율 취득부 (672) 에 의해, 사이에 공기 등의 가스가 존재하는 당해 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이 취득된다. 공기 등의 가스의 도전율은, 처리액 (71) 의 도전율보다 일반적으로 낮다. 따라서, 당해 2 개의 도전부 (675) 가 처리액 (71) 에 접하고 있는 경우에 비해, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득되는 도전율은 낮다. 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하는 경우에도, 처리액 (71) 이 액적상과 같이 미량이고, 당해 2 개의 도전부 (675) 의 적어도 일방이 처리액 (71) 에 접하고 있지 않은 경우에는, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하지 않는 경우와 마찬가지로, 도전율 취득부 (672) 에 의해, 사이에 공기 등의 가스가 존재하는 당해 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이 취득된다.
또한, 도전율 취득부 (672) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속되는 도전부 (675) 간의 도전율이 실질적으로 취득되는 것이라면, 당해 도전부 (675) 간의 전기 저항이나 전위차, 도전부 (675) 사이에 흐르는 전류 등, 다른 측정치가 측정되어도 된다.
도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율은, 판단부 (673) 로 보내진다. 판단부 (673) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액 (71) 의 존재 여부, 또는, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 종류가 판단된다. 이하의 설명에서는, 판단부 (673) 에 의해, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 존재 여부가 판단되는 것으로 하여 설명한다.
도 5 는, 도 1 에 나타내는 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 기판 (9) 의 처리 흐름을 나타내는 도면이다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 먼저, 기판 (9) 이 하우징 (11) 내에 반입되어, 기판 유지부 (31) 에 의해 유지된다. 계속해서, 기판 회전 기구 (35) 에 의한 기판 (9) 의 회전이 개시된다. 다음으로, 도 2 에 나타내는 공급 밸브 (63) 가 열리고, 회전 중인 기판 (9) 의 상면 (91) 중앙부에 노즐 (61) 로부터의 처리액 (71) (도 4 참조) 의 공급이 개시된다 (스텝 S11). 이 때, 흡인 밸브 (66) 는 닫혀져 있어, 흡인부 (65) 에 의한 처리액 (71) 의 흡인은 실시되지 않는다.
도 4 에 나타내는 확인부 (67) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 접속된 2 개의 도전부 (675) 가, 검사 관로 (671) 내를 흐르는 처리액 (71) 에 접한다. 바꾸어 말하면, 당해 2 개의 도전부 (675) 가, 검사 관로 (671) 내를 흐르는 처리액 (71) 을 개재하여 도통한다. 이로써, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득되는 당해 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 흐르고 있지 않은 경우에 비해 높아진다. 그리고, 판단부 (673) 에 의해, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하는 것으로 판단된다.
도 1 에 나타내는 노즐 (61) 로부터 회전 중인 기판 (9) 의 상면 (91) 위에 공급된 처리액은, 원심력에 의해 상면 (91) 위를 직경 방향 외방으로 이동하여, 기판 (9) 의 외측 가장자리로부터 컵부 (4) 로 비산한다. 컵부 (4) 에 의해 수용된 처리액은, 컵부 (4) 의 바닥부에 형성된 도시 생략된 배출 포트를 개재하여 컵부 (4) 및 하우징 (11) 의 외부로 배출된다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 기판 (9) 의 상면 (91) 에 소정의 시간만큼 처리액이 공급됨으로써, 기판 (9) 의 상면 (91) 에 대한 액 처리가 실시된다. 당해 소정의 시간이 경과하면, 기판 (9) 으로의 처리액의 공급이 정지되어, 기판 (9) 에 대한 액 처리가 종료된다 (스텝 S12).
스텝 S12 에 있어서 처리액의 공급이 정지될 때에는, 도 2 에 나타내는 공급 밸브 (63) 가 닫히고, 처리액 공급원 (60) 으로부터 노즐 (61) 로의 처리액의 공급이 정지된다. 또, 흡인 밸브 (66) 가 열려, 노즐 (61) 과 공급 밸브 (63) 사이에 있어서의 처리액 관로 (62) 내의 처리액 (71) 이, 흡인부 (65) 에 의해 분기 관로 (64) 를 개재하여 흡인된다. 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 은, 상기 서술한 꺾임점을 넘어 공급 밸브 (63) 측으로 이동한다. 이로써, 검사 관로 (671) 내는, 처리액 (71) 이 거의 존재하지 않는 상태가 된다.
확인부 (67) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 접속된 2 개의 도전부 (675) 가, 처리액 (71) 을 개재하여 도통하는 경우가 없기 때문에, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득되는 당해 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 흐르고 있는 경우에 비해 낮아진다. 그리고, 판단부 (673) 에 의해, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 은 존재하지 않는 것으로 판단된다.
기판 (9) 에 대한 액 처리가 종료되면, 기판 회전 기구 (35) 에 의한 기판 (9) 의 회전 속도가 증대된다. 기판 (9) 이 비교적 고속으로 회전함으로써, 기판 (9) 의 상면 (91) 위의 처리액이 직경 방향 외방으로 이동하여, 기판 (9) 의 외측 가장자리로부터 주위로 비산한다. 그 결과, 기판 (9) 상의 처리액이 제거된다 (스텝 S13). 이하, 스텝 S13 의 처리를 「건조 처리」라고 한다. 건조 처리에 있어서 기판 (9) 으로부터 비산하여 컵부 (4) 에 의해 수용된 처리액도, 상기와 마찬가지로, 배출 포트를 개재하여 컵부 (4) 및 하우징 (11) 의 외부로 배출된다. 건조 처리가 종료된 기판 (9) 은 하우징 (11) 밖으로 반출된다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 복수의 기판 (9) 에 대해 순차, 상기 서술한 스텝 S11 ∼ S13 이 실시된다.
기판 처리 장치 (1) 에서는, 노즐 (61) 로부터 기판 (9) 으로의 처리액의 공급 중, 및 노즐 (61) 로부터의 처리액의 공급이 정지하고 있는 동안, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액 (71) 의 존재 여부가, 확인부 (67) 에 의해 계속적으로 확인된다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 예를 들어, 처리액 (71) 의 공급 중에, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하지 않는 것으로 확인부 (67) 에 의해 판단된 경우, 처리액 (71) 의 공급 불량이 발생한 것이라고 판단되어 기판 (9) 의 액 처리가 중단된다. 처리액 (71) 의 공급 불량은, 예를 들어, 공급 밸브 (63) 의 오작동 등에 의해, 처리액 공급원 (60) 으로부터의 처리액 (71) 이 처리액 관로 (62) 에 공급되고 있지 않은 경우에 발생한다. 혹은, 처리액 (71) 의 공급 불량은, 예를 들어, 흡인 밸브 (66) 의 오동작 등에 의해, 흡인부 (65) 에 의한 처리액 관로 (62) 내의 처리액 (71) 의 흡인이 실시되어, 처리액 공급원 (60) 으로부터 처리액 관로 (62) 로 송출된 처리액 (71) 이 노즐 (61) 로 흐르지 않고, 흡인부 (65) 에 의해 흡인되고 있는 경우에 발생한다.
또, 기판 처리 장치 (1) 에서는, 예를 들어, 기판 (9) 의 건조 처리 중 (즉, 처리액 (71) 의 공급 정지 중) 에, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하는 것으로 확인부 (67) 에 의해 판단된 경우, 처리액 (71) 의 리크 (액 누출) 가 발생하고 있는 것이라고 판단되어 기판 (9) 의 건조 처리가 중단된다. 처리액 (71) 의 리크는, 예를 들어, 공급 밸브 (63) 의 오동작 등에 의해, 처리액 공급원 (60) 으로부터의 처리액 (71) 이, 처리액 관로 (62) 에 있어서 공급 밸브 (63) 보다 노즐 (61) 측으로 유출되어 검사 관로 (671) 중을 흐르고 있는 경우에 발생한다. 혹은, 처리액 (71) 의 리크는, 예를 들어, 흡인부 (65) 나 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등에 의해, 처리액 관로 (62) 내의 처리액 (71) 의 흡인이 정상적으로 실시되지 않은 경우 (즉, 석백 (suck back) 이상이 발생한 경우) 에 발생한다.
상기 서술한 바와 같이, 기판 처리 장치 (1) 에서는, 확인부 (67) 가, 검사 관로 (671) 와, 도전율 취득부 (672) 과, 판단부 (673) 를 구비한다. 검사 관로 (671) 는, 처리액 관로 (62) 의 적어도 일부이고, 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장됨과 함께 둘레 방향으로 교대로 배치되는 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 를 갖는다. 도전율 취득부 (672) 는, 당해 복수의 도전부 (675) 중 적어도 2 개의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속되고, 당해 적어도 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율을 취득한다. 판단부 (673) 는, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액의 존재 여부를 판단한다.
이와 같이, 확인부 (67) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속된 적어도 2 개의 도전부 (675) 와 처리액의 접촉이, 비교적 긴 검사 관로 (671) 의 어느 위치에 있어서 발생하는 경우에도, 처리액의 존재를 검출할 수 있다. 바꾸어 말하면, 확인부 (67) 에서는, 처리액의 존재 여부를, 비교적 긴 검사 관로 (671) 의 전체 길이에 걸쳐 판단할 수 있다. 따라서, 처리액이 흐르는 관로 상의 소정의 액면 검출 위치에 있어서만 처리액의 존재를 검출하는 경우에 비해, 처리액의 존재 여부 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또, 기판 처리 장치 (1) 에서는, 광학 센서에 의해 처리액을 검출하는 경우와 달리, 고온의 처리액으로부터의 수증기나 처리액 중의 기포에 의한 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또, 처리액 관로 (62) 는 광을 투과하는 재료로 형성될 필요도 없고, 처리액에 의한 검사 관로 (671) 의 변색에 의해, 처리액의 검출 정밀도가 저하될 우려도 없다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 에서는, 광학 센서에 의해 처리액을 검출하는 경우에 비해, 처리액의 존재 여부 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 도전성 튜브인 검사 관로 (671) 는 비교적 높은 내열성을 가지므로, 초음파 센서나 정전 용량 센서를 처리액 관로 (62) 에 장착하여 처리액을 검출하는 경우에 비해, 비교적 고온의 처리액의 존재 여부도 양호한 정밀도로 확인할 수 있다.
기판 처리 장치 (1) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 확인부 (67) 의 판단부 (673) 에 의해, 검사 관로 (671) 내의 처리액의 종류가 판단되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 처리액의 종류와 그 도전율 (또는, 도전율의 범위) 의 관계를 나타내는 정보가 미리 판단부 (673) 에 기억된다. 그리고, 당해 정보와, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 도전율에 기초하여, 처리액의 종류가 판단부 (673) 에 의해 판단된다.
기판 처리 장치 (1) 의 확인부 (67) 에서는, 상기와 마찬가지로, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속된 적어도 2 개의 도전부 (675) 와 처리액의 접촉이, 비교적 긴 검사 관로 (671) 의 어느 위치에 있어서 발생하는 경우에도, 처리액의 종류를 판단할 수 있다. 바꾸어 말하면, 확인부 (67) 에서는, 처리액의 종류를, 비교적 긴 검사 관로 (671) 의 전체 길이에 걸쳐 판단할 수 있다. 따라서, 처리액의 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서 처리액 관로 (62) 등의 배관이 잘못 접속된 경우 등, 처리액 관로 (62) 내를 의도하지 않는 처리액이 흘렀을 경우, 처리액의 공급 미스를 양호한 정밀도로 검출할 수 있다.
그런데, 반도체 기판의 액 처리에서는, 여러가지 종류의 처리액이나 비교적 고온의 처리액이 사용된다. 또, 반도체 기판의 액 처리에서는, 반도체 기판에 공급되는 처리액에 불순물이 혼입되는 것을 피할 필요가 있다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 확인부 (67) 의 검사 관로 (671) 를 형성하는 주요 재료가 수지이고, 복수의 도전부 (675) 는 도전성 수지이다. 이 때문에, 검사 관로 (671) 는, 비교적 높은 내약품성 및 비교적 높은 내열성을 갖는다. 또, 검사 관로 (671) 의 일부가, 검사 관로 (671) 내를 흐르는 처리액에 불순물로서 용출되는 것이 억제된다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 확인부 (67) 는, 반도체 기판인 기판 (9) 에 공급되는 처리액의 존재 여부 또는 처리액의 종류의 확인에 특히 적합하다.
확인부 (67) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 검사 관로 (671) 의 복수의 절연부 (676) 가, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성되고, 복수의 도전부 (675) 가, 카본이 첨가된 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성된다. 이와 같이, 비교적 높은 내열성을 갖는 재료에 의해 도전부 (675) 및 절연부 (676) 가 형성되기 때문에, 확인부 (67) 는, 비교적 고온의 처리액의 존재 여부, 또는, 비교적 고온의 처리액의 종류의 확인에 특히 적합하다.
기판 처리 장치 (1) 는, 상기 서술한 바와 같이, 노즐 (61) 과, 공급 밸브 (63) 와, 분기 관로 (64) 와, 흡인부 (65) 를 추가로 구비한다. 또, 검사 관로 (671) 는, 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이에서 처리액 관로 (62) 상에 형성된다. 그리고, 판단부 (673) 가, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액의 존재 여부를 판단함으로써, 처리액 관로 (62) 에 대한 처리액의 리크 (즉, 공급 밸브 (63) 로부터의 액 누출, 또는 흡인부 (65) 에 의한 석백 이상) 를 검출할 수 있다. 그 결과, 노즐 (61) 로부터 기판 (9) 등에 대한 의도하지 않는 처리액의 낙하를 방지할 수 있다.
또, 확인부 (67) 에서는, 검사 관로 (671) 가 중력 방향을 따라 연장되므로, 처리액 관로 (62) 에 대한 처리액의 리크가 발생한 경우, 검사 관로 (671) 에 도달한 처리액은, 검사 관로 (671) 의 하단으로부터 상방을 향해 모여 간다. 이 때문에, 검사 관로 (671) 에 있어서의 처리액의 존재 여부 확인을 용이하고 또한 고정밀도로 실시할 수 있다. 또한, 검사 관로 (671) 의 하단에 모이는 처리액이 소량인 경우에도, 당해 처리액이, 검사 관로 (671) 의 내주면에 전체 둘레에 걸쳐 접촉한다. 이로써, 확인부 (67) 에서는, 소량의 처리액의 존재도 양호한 정밀도로 검출할 수 있다.
기판 처리 장치 (1) 에서는, 검사 관로 (671) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 처리액 관로 (62) 의 수평 방향으로 연장되는 부위에 형성되어도 된다. 이 경우도, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서의 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 의 각각의 둘레 방향의 폭이 대략 동일하고, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속된 적어도 2 개의 도전부 (675) 가, 검사 관로 (671) 의 중심축 (J2) 을 사이에 두고 서로 대향하는 2 개의 도전부 (675) 이다. 당해 2 개의 도전부 (675) 는, 상하 방향에 있어서 대략 동일한 높이에 위치한다. 이 때문에, 확인부 (67) 에서는, 검사 관로 (671) 의 유로 단면 (즉, 처리액이 흐르는 유로의 중심축 (J2) 에 수직인 단면) 중 대략 절반 이상에 걸쳐 처리액 (71) 이 존재하는 경우, 처리액 (71) 이 당해 2 개의 도전부 (675) 에 접하여, 처리액 (71) 의 존재가 검출된다. 한편, 검사 관로 (671) 의 유로 단면에서 차지하는 처리액 (71) 의 비율이 비교적 작은 (즉, 유로 단면의 절반에도 미치지 않는) 경우에는, 처리액 (71) 이 당해 2 개의 도전부 (675) 와는 접하지 않기 때문에, 처리액 (71) 의 존재가 검출되지 않는다. 이와 같이, 기판 처리 장치 (1) 에서는, 검사 관로 (671) 내의 처리액의 양이 어느 정도 이상 많은 경우만 처리액을 검출하고, 처리액의 약간의 액적이 검사 관로 (671) 의 내주면에 부착되어 있는 경우 등에는 처리액을 검출하지 않도록 할 수 있다. 그 결과, 건조 처리시 등에 검사 관로 (671) 내의 액적을 리크로 오판단하여 불필요한 처리 중단이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
도 4 에 나타내는 예에서는, 확인부 (67) 에 있어서, 도전율 취득부 (672) 는 2 개의 도전부 (675) 에 접속되지만, 도전율 취득부 (672) 는, 검사 관로 (671) 의 복수의 도전부 (675) 중, 3 개 이상의 도전부 (675) 에 접속되어도 된다. 바꾸어 말하면, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속되는 적어도 2 개의 도전부 (675) 는, 3 개 이상의 도전부 (675) 여도 된다. 그리고, 도전율 취득부 (672) 에 의해, 당해 3 개 이상의 도전부 (675) 에 있어서 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이 취득된다.
도 8 은, 도전율 취득부 (672) 가 3 개 이상의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속되는 확인부의 일례를 나타내는 도면이다. 도 8 에서는, 도 4 와 마찬가지로, 확인부 (67a) 의 검사 관로 (671) 를 길이 방향으로 수직으로 절단한 단면을 나타낸다. 도 8 에 예시하는 처리액 공급부 (6a) 의 확인부 (67a) 에서는, 도전율 취득부 (672) 는, 검사 관로 (671) 의 4 개의 도전부 (675) 모두에 접속된다.
도전율 취득부 (672) 는, 예를 들어, 4 개의 도선 (721) 과, 공통 도선 (722) 과, 3 개의 전지 (723) 와, 3 개의 LED (724) 를 구비한다. 4 개의 도선 (721) 은, 4 개의 도전부 (675) 에 각각 전기적으로 접속된다. 공통 도선 (722) 은, 4 개의 도선 (721) 의 선단을 전기적으로 접속한다. 3 개의 전지 (723) 는, 공통 도선 (722) 상에 있어서, 4 개의 도선 (721) 과 공통 도선 (722) 의 4 개의 접점의 각각의 사이에 배치된다. 3 개의 LED (724) 는, 공통 도선 (722) 상에 있어서, 4 개의 도선 (721) 과 공통 도선 (722) 의 4 개의 접점의 각각의 사이에 배치된다.
도 8 에 예시하는 확인부 (67a) 에서는, 검사 관로 (671) 내에 처리액 (71) 이 존재하지 않는 경우, 어느 LED (724) 도 점등되지 않는다. 또, 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 도전부 (675) 가 처리액 (71) 에 접촉하면, 당해 각 2 개의 도전부 (675) 의 사이에 배치되는 LED (724) 가 점등된다. 이로써, 도전율 취득부 (672) 에 있어서, 당해 각 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율 (상세하게는, 도전율의 변화) 이 실질적으로 취득된다. 판단부 (673) 는, 도전율 취득부 (672) 의 LED (724) 의 점등 또는 소등을 감지함으로써, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율에 실질적으로 기초하여, 검사 관로 (671) 내에 있어서의 처리액 (71) 의 존재 여부를 판단한다. 또, 판단부 (673) 에서는, 점등된 LED (724) 의 수가 많은 경우, 검사 관로 (671) 의 유로 단면 중 처리액 (71) 이 차지하는 비율이 큰 것으로 판단된다.
이와 같이, 확인부 (67a) 에서는, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속되는 적어도 2 개의 도전부 (675) 가 3 개 이상의 도전부 (675) 이고, 도전율 취득부 (672) 에 의해, 당해 3 개 이상의 도전부 (675) 에 있어서 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 도전부 (675) 간의 도전율이 취득된다. 이로써, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 이, 둘레 방향에 인접하는 어느 2 개의 도전부 (675) 에 접촉하는 경우에도, 처리액 (71) 의 존재를 검출할 수 있다. 즉, 처리액의 존재 여부 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, LED (724) 의 점등 수에 기초하여, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 대략의 양을 취득할 수도 있다.
확인부 (67a) 에서는, LED (724) 대신에 전류계 등을 설치하여, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 도전율을 측정함으로써, 검사 관로 (671) 내의 처리액 (71) 의 종류를 양호한 정밀도로 확인할 수도 있다. 이 경우도, 도전율 취득부 (672) 가 3 개 이상의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속됨으로써, 처리액 (71) 의 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 9 는, 기판 처리 장치 (1) 의 다른 바람직한 처리액 공급부의 구성예를 나타내는 도면이다. 도 9 에 나타내는 처리액 공급부 (6b) 에서는, 확인부 (67b) 의 검사 관로 (671) 가, 처리액 관로 (62) 의 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이의 대략 전체 길이에 걸쳐 형성된다. 바꾸어 말하면, 처리액 관로 (62) 의 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이의 부위가, 대략 전체 길이에 걸쳐 도 3 에 나타내는 도전성 튜브에 의해 형성되어 검사 관로 (671) 가 되어 있다. 이로써, 처리액 관로 (62) 에 있어서, 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이의 어느 위치에 처리액 (71) 이 존재하는 경우에도, 당해 처리액 (71) 을 검출할 수 있다. 그 결과, 처리액 관로 (62) 에 대한 처리액의 리크 (즉, 공급 밸브 (63) 로부터의 액 누출 또는 흡인부 (65) 에 의한 석백 이상) 를 더욱 양호한 정밀도로 검출할 수 있다.
도 10 은, 기판 처리 장치 (1) 의 다른 바람직한 처리액 공급부의 구성예를 나타내는 도면이다. 도 10 에 나타내는 처리액 공급부 (6c) 에서는, 확인부 (67) 와 동일한 구조를 갖는 또 하나의 확인부 (67c) 가 형성된다. 확인부 (67c) 는, 검사 관로 (671c) 와, 도전율 취득부 (672c) 와, 판단부 (673c) 를 구비한다. 검사 관로 (671c) 는, 분기 관로 (64) 의 적어도 일부이고, 분기 관로 (64) 상에 있어서 흡인 밸브 (66) 와 분기점 (640) 사이에 형성된다. 도 10 에 나타내는 예에서는, 검사 관로 (671c) 는, 분기 관로 (64) 의 흡인 밸브 (66) 와 분기점 (640) 사이의 대략 전체 길이에 걸쳐 형성된다. 검사 관로 (671c) 는, 검사 관로 (671) 와 마찬가지로, 내주면에 있어서 검사 관로 (671c) 의 길이 방향으로 각각 연장됨과 함께 둘레 방향으로 교대로 배치되는 복수의 도전부와 복수의 절연부를 갖는다. 도전율 취득부 (672c) 는, 검사 관로 (671c) 의 복수의 도전부 중 적어도 2 개의 도전부에 전기적으로 접속되고, 당해 적어도 2 개의 도전부 간의 도전율을 취득한다. 판단부 (673c) 는, 도전율 취득부 (672c) 에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 검사 관로 (671c) 내에 있어서의 처리액의 존재 여부를 판단한다.
처리액 공급부 (6c) 에서는, 또 하나의 확인부 (67c) 가, 분기 관로 (64) 상에 있어서 흡인 밸브 (66) 와 분기점 (640) 사이에 형성되어 처리액의 존재 여부를 확인한다. 이로써, 흡인 밸브 (66) 의 오동작 등에서 기인하는 처리액의 공급 불량이나 리크를 검출할 수 있다. 바꾸어 말하면, 처리액의 공급 불량이나 리크의 원인을 용이하게 판단할 수 있다.
예를 들어, 기판 (9) 의 액 처리시에, 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등에 의해, 처리액 공급원 (60) 으로부터 처리액 관로 (62) 에 송출된 처리액이 흡인부 (65) 에 의해 흡인되어 공급 불량이 발생하고 있는 경우, 처리액 관로 (62) 상의 확인부 (67) 에 의해 공급 불량이 검출됨과 함께, 분기 관로 (64) 상의 확인부 (67c) 에 의해, 분기 관로 (64) 에 있어서의 의도하지 않는 처리액의 존재가 검출된다. 그 결과, 처리액의 공급 불량이, 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등에서 기인하여 발생한 흡인부 (65) 에 의한 처리액의 의도하지 않는 흡인에 의한 것이라고 판단된다.
또, 예를 들어, 기판 (9) 의 건조 처리시에, 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등에 의해, 처리액 관로 (62) 내의 처리액이 충분히 흡인되지 않고 석백 이상이 발생하고 있는 경우, 처리액 관로 (62) 상의 확인부 (67) 에 의해 석백 이상이 검출됨과 함께, 분기 관로 (64) 상의 확인부 (67c) 에 의해, 분기 관로 (64) 에 있어서의 의도하지 않는 처리액의 존재가 검출된다. 그 결과, 석백 이상이, 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등에서 기인하여 발생한 것으로 판단된다.
도 11 은, 검사 관로의 다른 예를 나타내는 종단면도이다. 도 11 에서는, 검사 관로 (671d) 의 일부에 대해, 중심축 (J2) 을 포함하는 단면을 나타낸다. 검사 관로 (671d) 는, 복수의 도전부 (675) 와 절연부 (676) 를 구비한다. 검사 관로 (671d) 의 내주면에서는, 복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) (실제로는, 1 개의 절연부 (676) 의 복수의 부위) 가 길이 방향으로 교대로 배치된다. 검사 관로 (671d) 의 내주면에서는, 도전부 (675) 및 절연부 (676) 는, 중심축 (J2) 을 중심으로 하는 둘레 방향의 전체 둘레에 걸쳐 형성된다. 복수의 도전부 (675) 는, 도전율 취득부 (672) 와 전기적으로 접속된다. 또한, 도전율 취득부 (672) 는, 반드시, 모든 도전부 (675) 에 접속될 필요는 없고, 복수의 도전부 (675) 중 적어도 2 개의 도전부 (675) 에 전기적으로 접속된다.
각 도전부 (675) 는, 내측 도전부 (677) 와, 외측 도전부 (678) 와, 도전 연결부 (679) 를 갖는다. 내측 도전부 (677) 및 외측 도전부 (678) 는 각각, 검사 관로 (671) 의 두께 (즉, 육후) 에 비해 얇은 대략 판상이다. 내측 도전부 (677) 은, 검사 관로 (671) 의 내주면의 일부를 구성하고, 둘레 방향의 전체 둘레에 걸쳐 형성된다. 외측 도전부 (678) 는, 검사 관로 (671) 의 외주면의 일부를 구성하고, 둘레 방향의 전체 둘레에 걸쳐 형성된다. 도전 연결부 (679) 는, 내측 도전부 (677) 와 외측 도전부 (678) 를 연결하는 대략 판상의 부위이다. 도전 연결부 (679) 는, 둘레 방향의 일부에 있어서 내측 도전부 (677) 와 외측 도전부 (678) 를 전기적으로 접속한다.
확인부 (67d) 에서는, 검사 관로 (671d) 의 복수의 도전부 (675) 중, 도전율 취득부 (672) 에 전기적으로 접속된 2 개의 도전부 (675) (예를 들어, 길이 방향에 있어서 절연부 (676) 를 사이에 두고 인접하는 2 개의 도전부 (675)) 에 걸쳐 처리액이 존재하는 경우, 판단부 (673) 에 의해, 도전율 취득부 (672) 에 의해 취득된 도전율에 기초하여 당해 처리액의 존재가 검출된다. 확인부 (67d) 에서는, 비교적 긴 검사 관로 (671d) 에 있어서 처리액의 존재 여부를 판단할 수 있기 때문에, 상기와 마찬가지로, 처리액의 존재 여부 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 판단부 (673) 에 의해 처리액의 종류가 판단되는 경우도 동일하게, 처리액의 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 검사 관로 (671d) 는, 확인부 (67, 67a ∼ 67c) 에 있어서 검사 관로 (671, 671c) 대신에 이용되어도 된다.
상기 서술한 기판 처리 장치 (1) 에서는, 여러가지 변경이 가능하다.
예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서 기판 (9) 에 처리액이 공급될 때에는, 노즐 (61) 이 기판 (9) 의 상방에 있어서 수평하게 왕복 이동해도 된다. 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 기판 (9) 의 처리에서는, 복수 종류의 처리액이 기판 (9) 에 대해 순차 공급되어도 된다. 또, 기판 (9) 의 회전이 정지된 상태에서, 기판 (9) 에 처리액이 공급되어도 된다.
처리액 공급부 (6, 6a ∼ 6c) 에서는, 검사 관로 (671) 는, 공급 밸브 (63) 와 노즐 (61) 사이에 있어서 처리액 관로 (62) 상에 형성되는 것이면, 반드시 중력 방향을 따라 연장될 필요는 없고, 예를 들어, 노즐 (61) 로부터 떨어진 위치에 있어서 대략 수평으로 연장되어도 된다. 또, 검사 관로 (671) 에서는, 복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) 의 둘레 방향의 위치가, 검사 관로 (671) 의 길이 방향의 일방측으로부터 타방측을 향함에 따라 시계 방향 (또는 반시계 방향) 으로 점차 변화되어도 된다. 바꾸어 말하면, 복수의 도전부 (675) 및 복수의 절연부 (676) 가, 검사 관로 (671) 의 길이 방향을 따라 나선상으로 배치되어도 된다. 이로써, 검사 관로 (671) 가 예를 들어 대략 수평으로 연장되는 경우에도, 검사 관로 (671) 내의 처리액이 복수의 도전부 (675) 모두에 접촉할 가능성을 높일 수 있다. 그 결과, 처리액의 존재 여부 확인, 또는, 처리액의 종류 확인의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
처리액 공급부 (6, 6a ∼ 6c) 에서는, 검사 관로 (671) 와 노즐 (61) 사이에 있어서, 처리액 관로 (62) 에 제전부 (除電部) 가 형성되어 있어도 된다. 제전부로는, 예를 들어, 처리액 관로 (62) 를 접지 (어스) 하는 어스선이 이용된다. 이로써, 처리액이 검사 관로 (671) 를 통과함으로써 만약 대전될 가능성이 있는 경우에도, 기판 (9) 에 공급되는 처리액의 대전을 방지 또는 억제할 수 있다.
검사 관로 (671) 에서는, 복수의 도전부 (675) 와 복수의 절연부 (676) 가, 검사 관로 (671) 의 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장됨과 함께 둘레 방향으로 교대로 배치되는 것이면, 외측 도전부 (678) 및 도전 연결부 (679) 는 도전부 (675) 로부터 생략되어도 된다. 또, 검사 관로 (671) 에서는, 도전부 (675) 및 절연부 (676) 의 각각의 수는, 2 이상이면 적절히 변경되어도 된다. 검사 관로 (671c) 에 있어서도 동일하다.
기판 처리 장치 (1) 에서는, 도 10 에 나타내는 또 하나의 확인부 (67c) 대신에, 흡인 밸브 (66) 의 개폐를 감시하는 밸브 감시 센서가 흡인 밸브 (66) 에 형성됨에 따라, 흡인 밸브 (66) 의 오작동 등이 검출되어도 된다.
처리액 공급부 (6, 6a ∼ 6c) 에서는, 공급 밸브 (63) 대신에, 다른 여러가지 구조의 공급 제어부가 처리액 관로 (62) 상에 형성되고, 당해 공급 제어부에 의해, 처리액 공급원 (60) 으로부터 노즐 (61) 로의 처리액의 공급 및 정지가 전환되어도 된다. 또, 흡인 밸브 (66) 대신에, 다른 여러가지 구조의 흡인 제어부가 분기 관로 (64) 상에 형성되고, 당해 흡인 제어부에 의해, 흡인부 (65) 에 의한 처리액의 흡인 및 정지가 전환되어도 된다.
확인부 (67, 67a ∼ 67c) 는, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서, 처리액 공급부 (6, 6a ∼ 6c) 이외의 부위에서 이용되어도 된다. 예를 들어, 확인부 (67, 67a ∼ 67c) 는, 처리액이 저류되는 저류 탱크의 액면 센서로서 이용된다. 이 경우, 상하 방향을 따라 연장되는 처리액 관로 (62) 의 하단부가 저류 탱크의 바닥부에 접속되고, 처리액 관로 (62) 중, 처리액의 액면을 검출하고자 하는 상하 방향의 범위에 검사 관로 (671) 가 형성된다. 그리고, 검사 관로 (671) 내에 처리액이 존재하는 것이 확인됨으로써, 저류 탱크 내의 처리액의 액면이, 검사 관로 (671) 의 하단보다 상방에 위치하는 것이 확인된다. 당해 액면 센서에서는, 복수의 검사 관로 (671) 가 서로 전기적으로 절연되면서 상하 방향으로 이간되어 배열되어도 된다.
상기 서술한 기판 처리 장치에서는, 반도체 기판 이외에, 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이, FED (field emission display) 등의 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 처리에 이용되어도 된다. 혹은, 상기 서술한 기판 처리 장치는, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 및 태양 전지용 기판 등의 처리에 이용되어도 된다.
상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했지만, 기술의 설명은 예시적으로서 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
1 : 기판 처리 장치
9 : 기판
31 : 기판 유지부
60 : 처리액 공급원
61 : 노즐
62 : 처리액 관로
63 : 공급 밸브
64 : 분기 관로
65 : 흡인부
66 : 흡인 밸브
67, 67a ∼ 67d : 확인부
71 : 처리액
640 : 분기점
671, 671c, 671d : 검사 관로
672, 672c : 도전율 취득부
673, 673c : 판단부
675 : 도전부
676 : 절연부
J2 : 중심축

Claims (17)

  1. 기판에 처리액을 공급하여 처리를 실시하는 기판 처리 장치로서,
    기판을 유지하는 기판 유지부와,
    처리액이 통과 가능하고, 처리액의 존재 여부 또는 처리액의 종류를 확인하는 확인부가 형성된 관로를 구비하고,
    상기 확인부가,
    상기 관로의 적어도 일부이고, 내주면에 있어서 둘레 방향으로 교대로 배치되는 복수의 도전부와 복수의 절연부를 갖는 검사 관로와,
    상기 복수의 도전부 중 적어도 2 개의 도전부에 전기적으로 접속되고, 상기 적어도 2 개의 도전부 간의 도전율을 취득하는 도전율 취득부와,
    상기 도전율 취득부에 의해 취득된 도전율에 기초하여, 상기 검사 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부, 또는, 상기 검사 관로 내의 처리액의 종류를 판단하는 판단부를 구비하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 도전부 및 상기 복수의 절연부는, 상기 검사 관로의 상기 내주면에 있어서 길이 방향으로 각각 연장되는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 도전부 및 상기 복수의 절연부의 각각의 둘레 방향의 폭이 동일하고,
    상기 적어도 2 개의 도전부가, 상기 검사 관로의 중심축을 사이에 두고 서로 대향하는 2 개의 도전부인, 기판 처리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 도전부가, 3 개 이상의 도전부이고,
    상기 도전율 취득부에 의해, 상기 3 개 이상의 도전부에 있어서 둘레 방향에 인접하는 각 2 개의 도전부 간의 도전율이 취득되는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 도전부와 상기 복수의 절연부가, 상기 검사 관로의 외주면에 있어서도 둘레 방향으로 교대로 배치되고,
    상기 복수의 도전부가 각각,
    상기 검사 관로의 상기 내주면의 일부를 구성하는 내측 도전부와,
    상기 검사 관로의 상기 외주면의 일부를 구성하는 외측 도전부와,
    상기 내측 도전부와 상기 외측 도전부를 전기적으로 접속하는 도전 연결부를 구비하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 도전 연결부가, 상기 내측 도전부와 상기 외측 도전부 사이에 있어서 직경 방향으로 확장되는 판상의 부위이고,
    상기 도전 연결부의 둘레 방향의 폭이, 상기 내측 도전부 및 상기 외측 도전부의 둘레 방향의 폭보다 작은, 기판 처리 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 관로를 형성하는 주요 재료가 수지이고,
    상기 복수의 도전부가 도전성 수지인, 기판 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 절연부가, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성되고,
    상기 복수의 도전부가, 카본이 첨가된 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체에 의해 형성되는, 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 관로에 접속되고, 상기 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 관로 상에 형성되어 처리액 공급원으로부터 상기 노즐에 대한 처리액의 공급 및 정지를 전환하는 공급 제어부와,
    상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이의 분기점에서 상기 관로로부터 분기되는 분기 관로와,
    상기 분기 관로에 접속되어 상기 관로 내의 처리액을 흡인하는 흡인부를 추가로 구비하고,
    상기 검사 관로가, 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이에서 상기 관로 상에 형성되고,
    상기 판단부가, 상기 검사 관로 내에 있어서의 처리액의 존재 여부를 판단하는, 기판 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 검사 관로가 중력 방향을 따라 연장되는, 기판 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 검사 관로가, 상기 관로의 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이의 전체 길이에 걸쳐 형성되는, 기판 처리 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 분기 관로 상에 형성되어 상기 흡인부에 의한 처리액의 흡인 및 정지를 전환하는 흡인 제어부를 추가로 구비하고,
    상기 확인부와 동일한 구조를 갖는 또 하나의 확인부가, 상기 분기 관로 상에 있어서 상기 흡인 제어부와 상기 분기점 사이에 형성되어 처리액의 존재 여부를 확인하는, 기판 처리 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 검사 관로가, 상기 관로의 상기 공급 제어부와 상기 노즐 사이의 전체 길이에 걸쳐 형성되는, 기판 처리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 분기 관로 상에 형성되어 상기 흡인부에 의한 처리액의 흡인 및 정지를 전환하는 흡인 제어부를 추가로 구비하고,
    상기 확인부와 동일한 구조를 갖는 또 하나의 확인부가, 상기 분기 관로 상에 있어서 상기 흡인 제어부와 상기 분기점 사이에 형성되어 처리액의 존재 여부를 확인하는, 기판 처리 장치.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 분기 관로 상에 형성되어 상기 흡인부에 의한 처리액의 흡인 및 정지를 전환하는 흡인 제어부를 추가로 구비하고,
    상기 확인부와 동일한 구조를 갖는 또 하나의 확인부가, 상기 분기 관로 상에 있어서 상기 흡인 제어부와 상기 분기점 사이에 형성되어 처리액의 존재 여부를 확인하는, 기판 처리 장치.
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