JPH03261872A - 導電率計 - Google Patents
導電率計Info
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- JPH03261872A JPH03261872A JP6084090A JP6084090A JPH03261872A JP H03261872 A JPH03261872 A JP H03261872A JP 6084090 A JP6084090 A JP 6084090A JP 6084090 A JP6084090 A JP 6084090A JP H03261872 A JPH03261872 A JP H03261872A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 241000221535 Pucciniales Species 0.000 description 1
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- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は管路を流れる肢体の品質、濃度等を計測するた
めに流体の導電率を測定する導電率計に関する。
めに流体の導電率を測定する導電率計に関する。
(従来の技術)
工業プロセスに用いる酸類もしくは塩基類等の電解質溶
液、又は医療に用いる生理的食塩水等の電解質溶液が管
路中を流れているとき、その液体の濃度に変化かある場
合に、その変化に対処するために管路中に電極を設け、
この電極間に電流を流して、その電流値と印加された電
圧との関係から管路を流れる流体の導電率を測定しそれ
によってその液体の濃度を求めていた。又、純水の導電
率は極めて小さい値であるが、少量の電解質か溶は込ん
でいるとその導電率が溶は込んでいる電解質の量に比例
して増加する。このため管路中を流れる水の導電率を求
めることにより、その水の純度を知ることができる。従
来、導電率計はこのような用途に用いられていた。
液、又は医療に用いる生理的食塩水等の電解質溶液が管
路中を流れているとき、その液体の濃度に変化かある場
合に、その変化に対処するために管路中に電極を設け、
この電極間に電流を流して、その電流値と印加された電
圧との関係から管路を流れる流体の導電率を測定しそれ
によってその液体の濃度を求めていた。又、純水の導電
率は極めて小さい値であるが、少量の電解質か溶は込ん
でいるとその導電率が溶は込んでいる電解質の量に比例
して増加する。このため管路中を流れる水の導電率を求
めることにより、その水の純度を知ることができる。従
来、導電率計はこのような用途に用いられていた。
従来のこのような用途に用いられている導電率計の測定
回路の一例を第5図に示す。図において、1はその中に
流体を流すための導液管で、その管内が流路2を形成し
ている(図は管路を2つに分った部分を表わす)。3は
流路2中に突出させて設けた電極で、導液管1の外部の
管壁5に取り付けた電極板4と接続されており、電極板
4に電源6か接続されている。この回路において、電源
6の電圧をVとし、そのときに電流計7で検出された電
流を1とし、流体の抵抗値をRとすると、導電率σは次
式で得られる。
回路の一例を第5図に示す。図において、1はその中に
流体を流すための導液管で、その管内が流路2を形成し
ている(図は管路を2つに分った部分を表わす)。3は
流路2中に突出させて設けた電極で、導液管1の外部の
管壁5に取り付けた電極板4と接続されており、電極板
4に電源6か接続されている。この回路において、電源
6の電圧をVとし、そのときに電流計7で検出された電
流を1とし、流体の抵抗値をRとすると、導電率σは次
式で得られる。
但し、Jは電極の形状、電極間距離により決まる定数(
セル定数) 第6図は他の測定回路の例である。図において、第5図
と同等の部分には同一の符号を付しである。
セル定数) 第6図は他の測定回路の例である。図において、第5図
と同等の部分には同一の符号を付しである。
この例ては電極3は導液管1の管壁5に埋め込まれてお
り、第5図の場合と異なり液体の充れを乱すことはない
。
り、第5図の場合と異なり液体の充れを乱すことはない
。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、従来のこのような第5図又は第6図の測定回
路では、いずれの場合も電極3が測定すべき液体に接し
ているため、その液体により電極3か錆びたり汚れたり
して、流れる電流の経路が変化し、或いは電極3と液体
の接触抵抗が変化するなどにより導電率測定に誤差を生
じる。
路では、いずれの場合も電極3が測定すべき液体に接し
ているため、その液体により電極3か錆びたり汚れたり
して、流れる電流の経路が変化し、或いは電極3と液体
の接触抵抗が変化するなどにより導電率測定に誤差を生
じる。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は
、導電率測定に影響を及はす電極の汚れ、錆等が発生し
ないように、電極を被測定液中にさらすことのない導電
率計を実現することにある。
、導電率測定に影響を及はす電極の汚れ、錆等が発生し
ないように、電極を被測定液中にさらすことのない導電
率計を実現することにある。
又、他の目的は電極が被測定液中にさらされても導電率
測定に影響を及ぼさない導電率計を実現することにある
。
測定に影響を及ぼさない導電率計を実現することにある
。
(課題を解決するための手段)
前記の課題を解決する本発明は、管路中を流れる液体の
品質、濃度等を計測するために用いる導電率計において
、少なくとも管の外壁に沿って対向する位置に設けた1
対の電極と、該電極に基準電圧を供給する周波数の異な
る交流電圧を発生する1対の基準電圧電源と、該1対の
基準電圧電源を適当な周期で切り替えて前記電極に異な
る周波数の交流電圧を交互に供給するためのスイッチと
、該スイッチの切り替え時期の制御を行うと共に前記電
極間を流れる1対の基準電圧電源に基づく2種の電流値
から導電率を演算する演算制御部とを具備することを特
徴とするものである。
品質、濃度等を計測するために用いる導電率計において
、少なくとも管の外壁に沿って対向する位置に設けた1
対の電極と、該電極に基準電圧を供給する周波数の異な
る交流電圧を発生する1対の基準電圧電源と、該1対の
基準電圧電源を適当な周期で切り替えて前記電極に異な
る周波数の交流電圧を交互に供給するためのスイッチと
、該スイッチの切り替え時期の制御を行うと共に前記電
極間を流れる1対の基準電圧電源に基づく2種の電流値
から導電率を演算する演算制御部とを具備することを特
徴とするものである。
又、2個を1対とする基準電圧電源を2系統用いるよう
にしてもよい。
にしてもよい。
(作用)
流体の流れる管路の外側の対向する位置に電極を設け、
1対の基準電圧電源から周波数の異なる交流電圧を与え
、得られた2種類の電流値と基準電圧値とその周波数値
により演算処理部において演算して導電率を求める。又
、2対の基準電圧源を交互に用いることにより導電率を
求めてその平均値を得ることにより導電率を求める。
1対の基準電圧電源から周波数の異なる交流電圧を与え
、得られた2種類の電流値と基準電圧値とその周波数値
により演算処理部において演算して導電率を求める。又
、2対の基準電圧源を交互に用いることにより導電率を
求めてその平均値を得ることにより導電率を求める。
(実施例)
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例の回路図である。図において
、第5図と同等の部分には同一の符号を付しである。図
中、11は導液管1の外部の管壁5に導波管1の形状に
沿って密着して取り付けられた電極A、12は同様に管
壁5の電極Allに対向する位置に取り付けられた電極
Bである。13は電極Allと電極B12とに導電率測
定のために電圧を印加する周波数f1の基準電圧電源A
114は同様に電極Allと電極B12とに電圧を印加
する周波数f2の基準電圧電源Bである。この基準電圧
電源A13と基準電圧電源B14の一方の端子はスイッ
チ15により切り替えられて電極Allに交互に接続さ
れる。又、基準電圧電源A13と基準電圧電源B14の
他方の端子は接続されて電流計7を経て電極B12に接
続されている。16はスイッチ15の切り替えタイミン
グを制御する制御信号をスイッチ15に供給すると共に
、基準電圧電源A13と基準電圧電源B14の電極Al
lと電極B12に印加された電圧に基づいて流れる電流
の電流計7により得られた電流値から導電率を演算する
演算制御部である。
、第5図と同等の部分には同一の符号を付しである。図
中、11は導液管1の外部の管壁5に導波管1の形状に
沿って密着して取り付けられた電極A、12は同様に管
壁5の電極Allに対向する位置に取り付けられた電極
Bである。13は電極Allと電極B12とに導電率測
定のために電圧を印加する周波数f1の基準電圧電源A
114は同様に電極Allと電極B12とに電圧を印加
する周波数f2の基準電圧電源Bである。この基準電圧
電源A13と基準電圧電源B14の一方の端子はスイッ
チ15により切り替えられて電極Allに交互に接続さ
れる。又、基準電圧電源A13と基準電圧電源B14の
他方の端子は接続されて電流計7を経て電極B12に接
続されている。16はスイッチ15の切り替えタイミン
グを制御する制御信号をスイッチ15に供給すると共に
、基準電圧電源A13と基準電圧電源B14の電極Al
lと電極B12に印加された電圧に基づいて流れる電流
の電流計7により得られた電流値から導電率を演算する
演算制御部である。
次に上記のように構成された実施例の動作を説明する。
導電率の測定において、演算制御部16はスイッチ15
を制御してスイッチ15の動接点Cを接点aに接続させ
る。従って、基準電圧電源A13の出力の周波数f、の
交流電圧が電極A11と電極B12に印加される。電極
Allと流路2中の液体間の静電容量をCI、電極B1
2と液体間の静電容量をC3、液体の抵抗をR2、静電
容量をC2とし、電極Allと流路2及び電極B12の
インピーダンスをそれぞれZ+ 、 Z2 、 Z
3とすると、 jω1 C1 jωl C2 但し、ω1−2πf1゜ 印加電圧をv5、そのときに流れる電流を11とすると
、次式が成立する。
を制御してスイッチ15の動接点Cを接点aに接続させ
る。従って、基準電圧電源A13の出力の周波数f、の
交流電圧が電極A11と電極B12に印加される。電極
Allと流路2中の液体間の静電容量をCI、電極B1
2と液体間の静電容量をC3、液体の抵抗をR2、静電
容量をC2とし、電極Allと流路2及び電極B12の
インピーダンスをそれぞれZ+ 、 Z2 、 Z
3とすると、 jω1 C1 jωl C2 但し、ω1−2πf1゜ 印加電圧をv5、そのときに流れる電流を11とすると
、次式が成立する。
Vs =I+ (Z+ +Z2 ”Z3 )
−(5)(2)式、(3)式、(4)式及び(5)
式から1、 1 1vS−1
1(+R2) Jω+ CI jω+ C2jω1 C3Vs
−+2 (”R2) jω2C ・・・ (7) l (1( −11((−+−+−)+R2) jωIcI C2c3 −il (−+R2) jωIC ・・・ (6) 111 但し、−− CCIC2C3 とおく。
−(5)(2)式、(3)式、(4)式及び(5)
式から1、 1 1vS−1
1(+R2) Jω+ CI jω+ C2jω1 C3Vs
−+2 (”R2) jω2C ・・・ (7) l (1( −11((−+−+−)+R2) jωIcI C2c3 −il (−+R2) jωIC ・・・ (6) 111 但し、−− CCIC2C3 とおく。
次に、演算制御部16はスイッチ15の動接点Cを接点
すと接続させる。電極Allと電極B12には基準電圧
電源Bが印加され、その時の電流計7で測定される電流
を12とすれば、演算制御部16は以下に示す演算を行
って液体の抵抗値と導電率を求める。
すと接続させる。電極Allと電極B12には基準電圧
電源Bが印加され、その時の電流計7で測定される電流
を12とすれば、演算制御部16は以下に示す演算を行
って液体の抵抗値と導電率を求める。
但し、ω2−2πf2
(6)式から
■
十R2−
jω1C
1Vs
−jωI(−−R2)
1
・・・ (8)
同様に(7)式から
i vs
−jω2(−R2)
Ci2
・・・ (9)
(8)式、 (9)式から
S
jω1 (□
Vs
−R2)−jω2 (−R2)
2
Vs
ω112−ω2 it
・・・ (10)
(1)式から導電率σは次式により求められる。
Vs ω112−ω2 it・・・ (11
) ここで、演算制御部16からの制御信号によりスイッチ
15が切り替えられて得られる基11電圧の周波数と電
流の関係を第2図に示す。図において、基準電圧電源A
13と基準電圧電源B14とが交互に切り替えられ、電
流計7で測定される電流の11と1□とが交互に周波数
f1と周波数f2によって得られることが示されている
。
) ここで、演算制御部16からの制御信号によりスイッチ
15が切り替えられて得られる基11電圧の周波数と電
流の関係を第2図に示す。図において、基準電圧電源A
13と基準電圧電源B14とが交互に切り替えられ、電
流計7で測定される電流の11と1□とが交互に周波数
f1と周波数f2によって得られることが示されている
。
このようにして、本実施例によれば、電極A11、電極
B12を流路2中の液体にさらすことがないため電極A
11.電極B 1.2は液体による化学的変化や汚れ等
を受けることがなく、常に流路2中の流体の抵抗が(1
0)式により、導電率が(11)式により正確に求めら
れる。
B12を流路2中の液体にさらすことがないため電極A
11.電極B 1.2は液体による化学的変化や汚れ等
を受けることがなく、常に流路2中の流体の抵抗が(1
0)式により、導電率が(11)式により正確に求めら
れる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、前記実施例の演算制御部16はAD変換器とCP
Uによって行ってもよい。
えば、前記実施例の演算制御部16はAD変換器とCP
Uによって行ってもよい。
第3図は更に他の実施例の電極の配置図である。
図において、17は導液管1の管壁5の内部に電極Al
lに対向する位置に取り付けられた電極C118は同様
に管壁5の内部に電極B12に対向する位置に取り付け
られた電極りである。このように導液管1の管壁5を電
極Allと電極C17及び電極B12と電極D18で挾
んで取り付けることにより、(2)式、(4)式におけ
る静電容量C3とC1を安定させることができる。この
場合、電極C17と電極D18とは液に接するか、これ
らは電極All及び電極B12との間に静電容量を持た
せるたけなので、汚れることかあっても測定には影響し
ない。
lに対向する位置に取り付けられた電極C118は同様
に管壁5の内部に電極B12に対向する位置に取り付け
られた電極りである。このように導液管1の管壁5を電
極Allと電極C17及び電極B12と電極D18で挾
んで取り付けることにより、(2)式、(4)式におけ
る静電容量C3とC1を安定させることができる。この
場合、電極C17と電極D18とは液に接するか、これ
らは電極All及び電極B12との間に静電容量を持た
せるたけなので、汚れることかあっても測定には影響し
ない。
第4図は更に他の実施例の回路図である。図において、
第1図と同等の部分には同一の符号を付しである。図中
、20は周波数f3の基準電圧を発生する基準電圧電源
C121は周波数f4の基準電圧を発生する基準電圧電
源りである。22はスイッチ15と同様に基準電圧電源
C20と基準電圧電源D21とを切り替えて、電極Al
lと電極B12に基準電圧を印加するためのスイッチ、
23は基準電圧電源A13.基f$電圧電源B14から
成る電源群と、基準電圧電源C20,基準電圧電源D2
1から成る電源群とを切り替えるスイッチである。周波
数の異なる2個の基準電圧電源によって(11)式の導
電率を求める本実施例の回路において、基準電圧電源を
2系統設けて2回の測定を行い、(11)式により求め
た導電率を平均することにより精度を一層高めることが
できる。この実施例において、基準電圧電源Cの電源周
波数をfl+基準電圧電源りの電源周波数をC2に選ん
でも差し支えない。
第1図と同等の部分には同一の符号を付しである。図中
、20は周波数f3の基準電圧を発生する基準電圧電源
C121は周波数f4の基準電圧を発生する基準電圧電
源りである。22はスイッチ15と同様に基準電圧電源
C20と基準電圧電源D21とを切り替えて、電極Al
lと電極B12に基準電圧を印加するためのスイッチ、
23は基準電圧電源A13.基f$電圧電源B14から
成る電源群と、基準電圧電源C20,基準電圧電源D2
1から成る電源群とを切り替えるスイッチである。周波
数の異なる2個の基準電圧電源によって(11)式の導
電率を求める本実施例の回路において、基準電圧電源を
2系統設けて2回の測定を行い、(11)式により求め
た導電率を平均することにより精度を一層高めることが
できる。この実施例において、基準電圧電源Cの電源周
波数をfl+基準電圧電源りの電源周波数をC2に選ん
でも差し支えない。
(発明の効果)
以上詳細に説明したように本発明によれば、測定のため
の電極がl皮体に接することかなく、電極が被測定肢体
によって錆びたり汚れたりすることのない導電率計を実
現することかでき、又、たとへ液体に接して錆びること
があっても、導電率測定に影響のない導電率計を実現す
ることかでき、実用上の効果は大きい。
の電極がl皮体に接することかなく、電極が被測定肢体
によって錆びたり汚れたりすることのない導電率計を実
現することかでき、又、たとへ液体に接して錆びること
があっても、導電率測定に影響のない導電率計を実現す
ることかでき、実用上の効果は大きい。
第1図は本発明の一実施例の回路図、
第2図は基準電圧電源の周波数と電流の関係を示す図、
第3図は本発明の他の実施例の図、
第4図は本発明の更に他の実施例の図、第5図は従来の
導電率計の測定回路の図、第6図は従来の導電率計の測
定回路の他の例の図である。 1・・・導液管 2 流路 5・・・管壁 7・・・電流計11・・・
電極A I2・・・電極B3・・基準電圧電
源A 14・・・基準電圧電源B5,22.23・・
・スイッチ 6・・・演算制御部 17・・電極C8・・・電極
D 20・・・基準電圧電源C1・・・基準
電圧電源D
導電率計の測定回路の図、第6図は従来の導電率計の測
定回路の他の例の図である。 1・・・導液管 2 流路 5・・・管壁 7・・・電流計11・・・
電極A I2・・・電極B3・・基準電圧電
源A 14・・・基準電圧電源B5,22.23・・
・スイッチ 6・・・演算制御部 17・・電極C8・・・電極
D 20・・・基準電圧電源C1・・・基準
電圧電源D
Claims (2)
- (1)管路中を流れる液体の品質、濃度等を計測するた
めに用いる導電率計において、 管壁に沿って対向する位置に設けた少なく とも1対の電極(11、12)と、 該電極(11、12)に基準電圧を供給す る周波数の異なる交流電圧を発生する1対の基準電圧電
源(13、14)と、 該1対の基準電圧電源(13、14)を適 当な周期で切り替えて前記電極(11、12)に異なる
周波数の交流電圧を交互に供給するためのスイッチ(1
5)と、 該スイッチ(15)の切り替え時期の制御 を行うと共に前記電極(11、12)間を流れる1対の
基準電圧電源(13、14)に基づく2種の電流値から
導電率を演算する演算制御部(16)とを具備すること
を特徴とする導電率計。 - (2)1対の基準電圧電源(13、14)の他に設けた
異なる周波数の交流電圧を発生する1対の基準電圧電源
(20、21)と、 該1対の基準電圧電源(20、21)を適 当な周期で切り替えるためのスイッチ(22)と、 前記1対の基準電圧電源(13、14)と 他の前記1対の基準電圧電源(20、21)からの電圧
を切り替えて電極(11、12)に供給するためのスイ
ッチ(23)とを具備することを特徴とする請求項1記
載の導電率計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6084090A JPH03261872A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 導電率計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6084090A JPH03261872A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 導電率計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03261872A true JPH03261872A (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=13153963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6084090A Pending JPH03261872A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 導電率計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03261872A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016152375A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP2019087585A (ja) * | 2017-11-02 | 2019-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 液供給装置およびリーク検知方法 |
-
1990
- 1990-03-12 JP JP6084090A patent/JPH03261872A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016152375A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
WO2016132788A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
TWI595549B (zh) * | 2015-02-19 | 2017-08-11 | 思可林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
KR20170108155A (ko) * | 2015-02-19 | 2017-09-26 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
CN107251200A (zh) * | 2015-02-19 | 2017-10-13 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置 |
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