CN111103097A - 一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机，漏水检测设备用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括检测部和储液部。检测部包括漏液检测器，其与装置连接，当装置内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。储液部与装置连接，能够容纳自装置泄露的液体。

Description

一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种具有漏水检测设备的曝光机。

背景技术

曝光机是半导体制造工艺中所使用的重要设备。如图1所示，曝光机通常包括曝光单元110、防震台120及电控柜130。曝光单元110支撑于防震台120上，电控柜130设置于防震台120的下方。曝光过程中，曝光单元110中的水可能会发生泄露，漏出的水会沿着防震台向下滴落到电控柜130上，从而造成设备短路、损毁，导致严重经济损失。并且，电控柜130的重新恢复时间较长(约花费十几小时)，若购入新机，则订购周期较长(至少1周)，且订购费高昂(至少上百万人民币)。可见，曝光机漏水将给整个制造设备带来严重的经济及时间损失。

因此，如何降低曝光机漏水带来的损失，实为半导体制造领域亟待解决的问题。

发明内容

基于上述问题，本发明提供了一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机，降低曝光机漏水带来的损失。

为达成上述目的，本发明提供一种漏水检测设备，用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括检测部和储液部。

检测部包括漏液检测器，其与装置连接，当装置内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。储液部与装置连接，能够容纳自装置泄露的液体。

根据一实施例，漏液检测器包括带状传感器和一检测器，检测器能够对传感器提供电压以及对漏水信号进行收集放大处理。

根据一实施例，带状传感器围绕设置于至少部分装置的外周。

根据一实施例，带状传感器连续的围绕装置的整个外周。

根据一实施例，带状传感器与装置的外周紧密贴合。

根据一实施例，储液部包括蓄水槽，蓄水槽位于漏液检测器的下方，用于接收由装置泄露的液体。

根据一实施例，蓄水槽设置于至少部分装置的外周。

根据一实施例，蓄水槽连续的围绕装置的整个外周。

根据一实施例，蓄水槽的一侧与装置的外周紧密贴合。

根据一实施例，储液部还包括储水桶，用于接收来自蓄水槽的液体。

根据一实施例，储液部还包括导液管，导液管的两端分别与蓄水槽和储水桶连通，从而将蓄水槽内的液体导入储水桶内。

根据一实施例，蓄水槽的底部具有开孔，导液管的一端与开孔连通，储水桶位于蓄水槽的下方。

根据一实施例，检测部还包括警报器，其能够接收来自漏液检测器发出的漏水信号，并发出警报。

本发明另一方面，提供一种曝光机，其包括曝光单元、防震台、电控柜及如上述的漏水检测设备，曝光机支撑于防震台上，电控柜设置于防震台的下方，漏液检测器和储液部与曝光单元或防震台连接，当曝光单元内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。

根据一实施例，漏液检测器围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周，储液部围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周。

本发明相较于现有技术的有益效果在于：发明的漏水检测设备能够及时检测到漏水，并收集漏水，同时实现了检测和阻漏，从而有效的保护曝光机的部件不会损坏，降低财产损失和设备停机时间。

附图说明

图1为现有的曝光机的示意图。

图2为本公开一实施例的曝光机的示意图。

图3为本公开一实施例的曝光机的示意图，其示出了发生漏水的情况，。

图4为本公开一实施例的曝光机的蓄水槽的立体图。

图5为本公开一实施例的曝光机的蓄水槽的侧视图。

图6为本公开一实施例的曝光机的示意图，其示出了漏液检测系统。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中，为了清晰，可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明的主要技术创意。

如图2所示，本发明提供一种漏水检测设备，用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括检测部10和储液部20。

检测部10包括漏液检测器11，其与装置连接，当装置内的液体泄漏时，漏液检测器11能够被触发，并发出漏水信号。储液部20与装置连接，能够容纳自装置泄漏的液体。

本发明的漏水检测设备可应用于曝光机，曝光机包括曝光单元110、防震台120及电控柜130。曝光单元110支撑于防震台120上，电控柜130设置于防震台120的下方，漏液检测器11和储液部20与曝光单元110或防震台120连接。本实施例中，漏液检测器11和储液部20与防震台120连接。

在进行曝光制程中，当曝光单元110内的液体泄漏时，漏液检测器11能够被触发，并发出漏水信号，从而第一时间通知使用者发生漏水，以便及时控制漏水。同时，储液部20能够承接自装置泄漏的液体，避免液体顺着防震台120滴落至下方的电控柜130内。

因此，本发明的漏水检测设备能够及时检测到漏水，并收集漏水，同时实现了检测和阻漏，从而有效的保护曝光机的部件不会损坏，降低财产损失和设备停机时间。

本实施例中，漏液检测器11例如为市面销售的漏液检测带，其可包括传感器111和检测器112，传感器111可为带状传感器111，检测器112用于对传感器111提供电压供应以及对漏水信号进行收集放大处理。带状传感器111可包括电极和包覆电极的绝缘部。带状的传感器111的原理为两根金属线上加载电压，例如，+24v电压，从而检测导线间液体短路现象。可向带状传感器111提供AC信号，以保护带状传感器111免受电腐蚀并确保安全的操作。检测器112可根据电极间电阻的检测方式，可设定4级检测范围，能够根据液体特性检测。本实施例中，检测器112可对50MΩ电阻抗液体到普通水进行稳定检测，例如，可检测50MΩ的高阻抗液体，也可检测IPA·纯水的漏液。

应当理解，漏液检测器11的类型不限于此，例如可为点状，也可包括多种类型的漏液检测器11。

本实施例中，带状传感器111围绕设置于至少部分装置的外周。优选为，带状传感器111连续的围绕装置，例如曝光单元110或防震台120的整个外周。带状传感器111与曝光单元110或防震台120的外周紧密贴合。由此，从曝光单元110的各个位置漏出的液体均能够将带状传感器111触发，从而发出漏水信号，实现全面、准确的漏液检测。

如图6所示，本实施例中，检测部10还包括警报器13，其能够接收来自漏液检测器11发出的漏水信号，并发出警报，使用者收到警报后，可立即采取措施，例如停水、断电。

另外，漏液检测器11还可与操作控制界面提示(OIU)配合，组合成一套侦测系统，能够快速发现有漏液情况并且及时处理，降低机台因漏水造成的损失。

本实施例中，如图4所示，储液部20可包括蓄水槽21，蓄水槽21位于漏液检测器11的下方，用于接收由装置泄漏的液体。蓄水槽21可通过粘结或螺丝固定于防震台120的外周。优选的，蓄水槽21与防震台120的外周之间还可设置密封条，使得蓄水槽21与防震台120之间不存在间隙，避免漏液自间隙流出。

本实施例中，如图4、5所示，蓄水槽21为由三个平面围成的槽形。蓄水槽21可为PVC(Polyvinyl chloride)材质，其整体大小根据防震台120尺寸来制作。

蓄水槽21的形式不限于此，其底面可为曲面，也可为底面直接与防震台120的外周接触，并在二者之间设置密封条。应当理解，蓄水槽21可采用任意能够起到容纳作用的结构。

本实施例中，蓄水槽21设置于至少部分装置的外周。优选的，蓄水槽21连续的围绕装置的整个外周。蓄水槽21的一侧与装置的外周紧密贴合。

本实施例中，如图2、3所示，储液部20还包括储水桶22，储水桶22可为PVC(Polyvinyl chloride)材质，用于接收来自蓄水槽21的液体。可通过储水桶22收集漏出的液体，从而方便清理。

本实施例中，储液部20还可包括导液管23，导液管23的两端分别与蓄水槽21和储水桶22连通，从而将蓄水槽21内的液体导入储水桶22内。

其中，蓄水槽21的底部可具有开孔，导液管23的一端与开孔连通，储水桶22位于蓄水槽21的下方。本实施例中，开孔可开设于蓄水槽21的底部的最低点，以使蓄水槽21内的液体全部经由导液管23排进储水桶22。

蓄水槽21、导液管23及储水桶22的结构、连接方式不限于此，任意能够实现容纳的结构均可采用。

因此，本实施例中，通过为曝光机增设加一套漏水检测装置，在发生漏水的情况下，水会流向带状传感器111，引发带状传感器111的电路触发，启动报警器，提醒维护人员及时停机并查找漏水点，及时处理问题，并将损失减少到最小；同时，当漏水量比较大时，水会先流向下方蓄水槽21然后导向最下方的储水桶22。因此，能够有效避免漏液滴落于电控柜130，从而避免因为漏水发生对设备造成损坏。

综上所述，本发明的漏水检测设备能够及时检测到漏水，并收集漏水，同时实现了检测和阻漏，从而有效的保护曝光机的部件不会损坏，降低财产损失和设备停机时间。

虽然已参照几个典型实施例描述了本发明，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本发明能够以多种形式具体实施而不脱离发明的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。

Claims (15)

1.一种漏水检测设备，用于对一装置进行漏水检测，漏水检测设备包括：

检测部，包括漏液检测器，其与装置连接，当装置内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号；及

储液部，其与装置连接，能够容纳自装置泄露的液体。

2.如权利要求1所述的漏水检测设备，其中，漏液检测器包括带状传感器和一检测器，检测器能够对传感器提供电压以及对漏水信号进行收集放大处理。

3.如权利要求2所述的漏水检测设备，其中，带状传感器围绕设置于至少部分装置的外周。

4.如权利要求3所述的漏水检测设备，其中，带状传感器连续的围绕装置的整个外周。

5.如权利要求4所述的漏水检测设备，其中，带状传感器与装置的外周紧密贴合。

6.如权利要求1所述的漏水检测设备，其中，储液部包括蓄水槽，蓄水槽位于漏液检测器的下方，用于接收由装置泄露的液体。

7.如权利要求6所述的漏水检测设备，其中，蓄水槽设置于至少部分装置的外周。

8.如权利要求7所述的漏水检测设备，其中，蓄水槽连续的围绕装置的整个外周。

9.如权利要求8所述的漏水检测设备，其中，蓄水槽的一侧与装置的外周紧密贴合。

10.如权利要求1所述的漏水检测设备，其中，储液部还包括储水桶，用于接收来自蓄水槽的液体。

11.如权利要求10所述的漏水检测设备，其中，储液部还包括导液管，导液管的两端分别与蓄水槽和储水桶连通，从而将蓄水槽内的液体导入储水桶内。

12.如权利要求11所述的漏水检测设备，其中，蓄水槽的底部具有开孔，导液管的一端与开孔连通，储水桶位于蓄水槽的下方。

13.如权利要求1所述的漏水检测设备，其中，检测部还包括警报器，其能够接收来自漏液检测器发出的漏水信号，并发出警报。

14.一种曝光机，其包括曝光单元、防震台、电控柜及如权利要求1至13中任一项所述的漏水检测设备，曝光机支撑于防震台上，电控柜设置于防震台的下方，漏液检测器和储液部与曝光单元或防震台连接，当曝光单元内的液体泄露时，漏液检测器能够被触发，并发出漏水信号。

15.如权利要求14所述的曝光机，其中，漏液检测器围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周，储液部围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周。

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