KR102000314B1 - 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법, 진공 제어 장치 및 매니퓰레이터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 그립퍼 (4), 처리 장치 (32), 유체와 관련된 및/또는 진공과 관련된 센서신호를 제공하기 위한 센서 장치 (33), 및 상기 처리 장치 (32) 에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 상기 진공 그립퍼 (4) 에 진공을 제공하기 위한 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 를 포함하는 진공 그립핑 장치 (1) 를 작동하기 위한 방법에 관한 것이며, 상기 처리 장치 (32) 는 상기 센서신호를 처리하기 위해 그리고 상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 를 액츄에이팅하기 위해 형성되고, 상기 방법은 다음과 같은 단계들을 갖는다: 제어신호를 상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 로 출력하는 단계, 상기 센서 장치 (33) 에 의해 출력된 센서신호를 위한 변경속도를 검출하는 단계, 그리고 상기 검출된 변경속도가 미리 설정 가능한 최소값과 일치하거나 또는 미리 설정 가능한 값 간격 내에 있으면 상태신호를 통해 상기 진공 그립퍼 (4) 의 운동 상태의 변경을 초래하기 위해, 기계 제어기 (13) 와의 통신을 위해 형성되는 외부 통신 시스템 (15) 에 상기 상태신호를 제공하는 단계.

Description

진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법, 진공 제어 장치 및 매니퓰레이터 {METHOD FOR OPERATING A VACUUM GRIPPING DEVICE, VACUUM CONTROL DEVICE AND MANIPULATOR}

본 발명은 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법에 관한 것이며, 상기 진공 그립핑 장치는 진공 그립퍼, 처리 장치 (processing device), 유체와 관련된 및/또는 진공과 관련된 센서신호를 제공하기 위한 센서 장치, 및 상기 처리 장치에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 유체 흐름, 바람직하게는 진공, 특히 진공 및 정압 (positive pressure) 을 상기 진공 그립퍼에 제공하기 위한 유체 제어 밸브를 포함하고, 상기 처리 장치는 상기 센서신호를 처리하기 위해 그리고 상기 유체 제어 밸브를 액츄에이팅하기 위해 형성된다. 또한, 본 발명은 진공 제어 장치 및 매니퓰레이터에 관한 것이다.

DE 10 2007 061 820 A1 에는, 흡입 그립퍼에 연결된 흡입 채널과 연결된 이젝터 장치 (ejector device) 를 구비하는 진공 발생기 장치가 공지되어 있다. 상기 흡입 채널에는 압력 검출 장치가 연결되고, 상기 압력 검출 장치는 제어 전자장치와 소통한다. 상기 장치는, 상기 흡입 채널의 진공화 시간 및/또는 환기 시간이 검출되고, 비교 결과에 따라 전기적 진단신호를 발생시키기 위해 적어도 하나의 기준 시간값과 비교되는 방법의 실행을 허용한다.

DE 10 2007 058 114 A1 은 진공 발생기 장치 및 그를 작동하기에 적합한 방법을 공개하고 있다. 이젝터 장치는 그의 유입구와 함께 공기 공급 채널에 연결되고, 상기 공기 공급 채널은, 상기 이젝터 장치를 선택적으로 스위칭 오프 또는 스위칭 온하기 위해 전자적 조절장치를 통해 선택적으로 차단 또는 해제될 수 있다. 스위칭 온된 이젝터 장치에 있어서, 흡입 채널 안에 진공이 발생된다. 상기 이젝터 장치는 상기 진공이 상한 스위칭값과 하한 스위칭값 사이를 왔다갔다 하도록 작동된다. 존재하는 누출을 추론하게 하는 진단신호를 발생시키기 위해, 기준 시간값과의 비교를 통해 상기 이젝터 장치의 작동시간이 검출된다.

본 발명의 목적은 선행기술과 비교하여 작업편의 보다 신속한 핸들링을 가능하게 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법, 진공 제어 장치 및 매니퓰레이터를 제공하는 것이다.

이 목적은 본 발명의 제 1 양상에 따르면 도입부에 언급된 유형의 방법을 위해 청구항 제 1 항의 특징들을 가지고 달성된다. 이에 따르면, 다음과 같은 단계들이 제공된다: 액츄에이팅 시점에서 처리 장치에 의해 제어신호를 유체 제어 밸브로 출력하는 단계, 유체와 관련된 및/또는 진공과 관련된 물리적 값과의 상호 관계하에 센서 장치에 의해 출력된 센서신호를 위한 변경속도를 검출하는 단계, 그리고 상기 검출된 변경속도가 미리 설정 가능한 최소값과 일치하거나 또는 미리 설정 가능한 값 간격 (value interval) 내에 있으면 상태신호 (status signal) 를 통해 진공 그립퍼의 운동 상태의 변경을 초래하기 위해, 기계 제어기와의 통신을 위해 형성되는 외부 통신 시스템에 상기 상태신호를 제공하는 단계.

진공 그립퍼에서의 물리적 값, 특히 압력값의 변경을 나타내는 센서신호를 위한 변경속도를 고려함으로써, 이미 그립핑 과정의 이른 단계에서, 상기 그립핑 과정이 성공할 것인가의 여부에 관한 신뢰성 있는 예보가 가능해진다. 전형적으로, 진공 그립퍼로 작업편을 성공적으로 그립핑한 후, 예컨대 상기 작업편을 제 1 장소로부터 제 2 장소로 옮기기 위해 상기 진공 그립퍼 및 그에 수용된 상기 작업편의 운동이 제공된다. 본 발명에 따른 방법에 있어서, 이제 진공 그립퍼의 운동이 수행되도 된다는 것을 상기 기계 제어기에 알려주는 상태신호는 이미 상기 변경속도와 상기 미리 설정 가능한 최소값 또는 상기 미리 설정 가능한 값 간격과의 일치가 검출될시 그리고 이로써 그립핑 과정 동안의 이른 시점에서 발생할 수 있다. 상기 상태신호의 출력과 상기 진공 그립퍼의 운동의 실제의 시작 사이에는, 특히 처리 장치와 기계 제어기와 할당된 액츄에이터 사이의 데이터 전달 시간들에 의해, 상기 기계 제어기 안에서의 상태신호의 처리 시간에 의해 그리고 상기 액츄에이터의 기계적 관성에 의해 결정된 시간이 존재하고, 상기 시간은 데드 타임이라고도 불리울 수 있다. 본 발명에 따른 방법에 있어서, 내재적으로 존재하는 상기 데드 타임은 그립핑 과정의 완성을 위해 이용되는데, 왜냐하면 이미 이른 시점에서, 상기 그립핑 장치가 성공적으로 종료될지 아닌지의 여부가 예보될 수 있고, 예보된 성공 경우에만 상태신호가 출력되기 때문이다. 그러므로, 상기 유체 제어 밸브를 위한 액츄에이팅 시점부터 상기 진공 그립퍼의 실제의 운동까지의 시간이 짧아진다.

본 발명의 바람직한 개선들은 종속항들에 기재된다.

본 발명의 개선에 있어서, 진공 그립퍼가 작업편에 밀착하지 않은 시점에서 상기 처리 장치에 의해 공전 (idle running) 압력값이 검출되는 것이 제공된다. 이를 통해, 상기 진공 그립퍼에 진공을 제공하기 위해 제공된 상기 유체 제어 밸브가 정확히 작동하는지의 여부 및/또는 혹시 상기 유체 제어 밸브와 상기 진공 그립퍼 사이의 유체적 라인들 안에 및/또는 바로 상기 진공 그립퍼에 오작동이 존재하는지의 여부가 검사될 수 있다. 이는 예컨대 상기 공전 압력값과 상기 처리 장치 안에 저장된 미리 설정 가능한 공전 압력 한계값과의 비교를 통해 검출될 수 있다. 특히 상기 유체 제어 밸브의 상응하는 액츄에이팅 후 미리 설정 가능한 대기 시간이 경과한 후, 상기 공전 압력 한계값을 초과할시, 예시적으로 그립핑 과정의 도입이 상기 처리 장치에 의해 저지될 수 있다. 이 오류는, 예컨대 진공 그립퍼에서의 흡착컵들의 오염 또는 손상 및/또는 상기 진공 그립퍼로의 흡입 라인들의 오염 또는 손상 및/또는 정해져 있는 시간 내의 흡입필터들의 오염에 의한 상기 진공 그립핑 장치의 불충분함을 근거로, 예컨대 주위압력에서 시작하여 상기 진공 그립퍼에서의 필요한 압력감소를 달성하지 않으면 발생할 수 있다. 즉, 이 경우, 진공 그립퍼와 작업편과의 접촉시 상기 작업편을 신뢰성 있게 그립핑하기에 적합한 진공이 상기 진공 그립퍼에서 발생할 것이라는 것을 기대할 수 없다. 그러면 이에 상응하여, 상기 진공 그립퍼의 운동을 초래하는 상태신호가 출력되지 않는다.

진공 그립퍼가 작업편에 밀착할 때 발생하는 최소 압력값이 진공 그립핑 과정 동안 상기 처리 장치에 의해 검출되면 목적에 맞는다. 특히 그립핑 과정 동안 상기 진공 그립퍼 안에서 발생하는 가장 낮은 압력과 일치하는 상기 최소 압력값은 특히 상기 진공 그립퍼의 상태, 그립핑되어야 하는 작업편의 성질, 상기 유체 제어 밸브의 기능, 및 상기 유체 제어 밸브와 상기 진공 그립퍼 사이의 유체 라인들의 상태에 좌우된다. 상기 최소 압력값은 상기 처리 장치 안에 저장된 미리 설정 가능한 최소 압력 한계값과 비교된다. 즉, 그립핑 과정 동안 상기 최소 압력 한계값에 미달하지 않을 경우에는, 즉 상기 미리 설정 가능한 최소 압력 한계값보다 작은 최소 압력값이 발생하지 않을 경우에는, 진공 그립퍼와 작업편 사이의 필요한 그립핑력도 예정된 레벨에 도달하지 않는다라고 가정되어야 한다. 이에 상응하여, 이 경우를 위해, 그 밖의 그립핑 과정을 저지하기 위해 또는 상기 진공 그립핑 장치의 사용자에 통지하기 위해 진공 그립퍼의 운동을 느리게 하고 및/또는 작업편을 가능한 한 빨리 위험하지 않은 위치로 데려 가고, 특히 내려놓고, 및/또는 상기 처리 장치에 의해 오류 통지를 기계 제어기로 출력하는 것이 제공될 수 있다.

상기 센서신호의 변경속도를 위한 상기 최소값 또는 상기 값 간격이 상기 공전 압력값 및/또는 상기 최소 압력값에 따라 맞춰지면 바람직하다. 이를 통해, 특히 미리 설정 가능한 간격의 내에서, 그립핑 과정에 부정적으로 영향을 미치는 요소들, 예컨대 상기 진공 그립퍼 및/또는 상기 유체 밸브의 마모 및/또는 그립핑 과정을 돕는 요소들, 예컨대 그립핑되어야 하는 작업편에의, 상기 진공 그립퍼의 마모에 의해 발생하는 적어도 일시적으로 바람직한 기하학적 적응이 상기 그립핑 과정의 성공에 관한 예보에 있어서 고려될 수 있다. 이를 통해, 상기 처리 장치의 거동은, 본질적으로 상기 유체 밸브, 상기 진공 그립퍼 및 상기 작업편로 구성된 그립핑 시스템 안에서의 변경들에 연속적으로 맞춰질 수 있다.

본 발명의 그 밖의 구현형태에서, 상기 공전 압력값이 미리 설정 가능한 공전 한계값을 초과하고 및/또는 상기 최소 압력값이 미리 설정 가능한 최소 압력 한계값을 초과하면 상기 처리 장치에 의해 경고 통지의 출력이 수행되는 것이 제공된다. 이를 통해, 원하는 그립핑 성공이 발생하지 않을 것이라고 예측될 수 있는 그립핑 과정들은 저지되어야 한다.

바람직하게는, 상기 센서신호를 위한 변경속도가 미리 설정 가능한 최소 시간 간격보다 길게 상기 미리 설정 가능한 최소값 또는 상기 미리 설정 가능한 값 간격과 일치할 때에만 및/또는 상기 액츄에이팅 시점에서의 상기 처리 장치에 의한 상기 유체 제어 밸브로의 제어신호의 출력부터 미리 설정 가능한 시간 내에 상기 센서신호를 위한 최소값에 도달했을 때에만 상태신호가 상기 처리 장치에 의해 제공된다. 이를 통해, 이미 상기 미리 정해진 변경속도가 잠시 존재할시, 진공 그립퍼로의 운동의 도입을 위한 상태신호의 제공을 초래할 수 있는, 그립핑 과정의 긍정적인 판단이 수행되는 것이 저지된다. 본 발명에 따르면, 미리 설정 가능한 시간 간격의 내에서 상기 변경속도를 위한 미리 설정 가능한 값에 도달하거나 또는 초과했을 때에만 상태신호를 제공한다. 상기 시간 간격은, 상기 미리 설정된 최소값에의 제 1 도달시 개방되는 그리고 상기 변경속도가 상기 미리 설정된 최소값에 미달할 경우에는 다시 폐쇄되는 또는 상기 미리 설정 가능한 시간 간격에 도달할시 상태 통지의 제공을 초래하는 이동하는 시간 창 (time window) 이다. 보충적으로 또는 대안적으로, 마찬가지로 그립핑 과정의 성공에 관한 신뢰성 있는 진술을 가능하게 하기 위해, 상기 변경속도의 관찰에 대해 추가적으로 미리 설정 가능한 시간 간격의 내에서의 상기 센서신호를 위한 최소값에의 도달도 고려되는 것이 제공될 수 있다.

본 발명의 목적은 제 2 양상에 따라 청구항 제 7 항의 특징들을 가지고 달성된다. 이에 따르면, 유체 공급을 위한 유체 연결부를 갖는, 컨슈머에 유체 및/또는 진공을 공급하기 위한 유체 출구를 갖는, 유체와 관련된 및/또는 진공과 관련된 적어도 하나의 센서신호를 처리하기 위해 그리고 제어신호들을 제공하기 위해 형성된 처리 장치를 갖는, 상기 제어신호들에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 상기 유체 연결부와 또는 상기 유체 연결부 및 상기 유체 출구와 연결된 유체 제어 밸브를 갖는, 및/또는 상기 유체 출구에 유체 및/또는 진공의 일시적인 제공을 가능하게 하기 위해 상기 유체 연결부 및 상기 유체 출구와 연결된 진공 제어 밸브를 갖는 진공 제어 장치가 제공된다.

본 발명에 따르면, 상기 처리 장치는, 검출된 변경속도가 미리 설정 가능한 최소값 또는 미리 설정 가능한 값 간격과 일치할시 상태신호를 근거로 진공 그립퍼의 운동 상태의 변경이 미리 정해질 수 있도록, 유체와 관련된 및/또는 진공과 관련된 물리적 값과의 상호 관계하에 상기 센서 장치에 의해 출력된 센서신호를 위한 변경속도의 검출을 위해 그리고 기계 제어기와의 통신에 사용되는 외부 통신 시스템에 상태신호의 제공을 위해 형성된다. 진공 제어 장치 안에 포함된 이러한 유형의 처리 장치를 가지고, 상기 진공 제어 장치에 의해 제공된 진공 및 경우에 따라서는 정압의 작용을 받는 진공 그립퍼에 의해 그립핑되어야 하는 작업편을 위한 그립핑 및/또는 내려놓기 과정의 최적화가 가능해진다. 상기 진공 제어 장치는 상기 센서 장치를 위한 변경속도를 근거로 이미 이른 시점에서 그리고 분명히 상기 진공 그립퍼 안의 추구되는 최소압력에 도달하기 전에 기계 제어기와의 상호 작용하에, 상기 기계 제어기에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 상기 진공 그립퍼를 지니고 움직이는 매니퓰레이터를 위한 최적화된 운동제어를 달성할 수 있다.

특히 압력센서로서 형성된 센서 장치가 상기 진공 그립퍼에 할당되고, 상기 센서 장치는 상기 처리 장치에 상기 진공과 관련된 센서신호의 제공을 위해 형성되면 바람직하다. 그러므로, 진공의 검출은 현장에서 바로 상기 진공 그립퍼에서 수행되고, 이를 통해, 발생되어야 하는 진공의 적어도 하나의 특성을 위한 검출된 측정값의 높은 정확성이 보장된다.

상기 유체 연결부에서의 유체 압력의 검출을 위한 압력센서가 상기 처리 장치에 할당되고, 상기 처리 장치가 검출된 상기 유체 압력을 근거로 한 상기 진공 제어 밸브에게로의 제어신호의 변경을 위해 형성되면 목적에 맞는다. 상기 진공 제어 장치 안에 상기 압력센서를 통합시킴으로써 특히 콤팩트한 구조가 달성되는데, 왜냐하면 외부 압력센서를 위한 연결 수단, 예컨대 신호 채널을 위한 삽입 부시들이 생략될 수 있기 때문이다. 또한, 압력센서의 출력신호들의 노력이 많이 드는 처리가 필요하지 않고, 오히려 압력센서의 출력신호들은 짧은 경로 상에서 상기 처리 장치에 전달된다. 특히 바람직하게는, 압력센서는 바로 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되고, 상기 인쇄회로기판 상에 상기 처리 장치가 형성된다.

본 발명의 바람직한 개선에 있어서, 상기 유체 연결부와 상기 유체 출구 사이에 진공 발생기, 특히 이젝터가 삽입되는 것이 제공된다. 이를 통해, 필요한 진공이 바로 상기 진공 제어 장치 안에서 발생될 수 있다. 상기 유체 출구에 진공 및 정압의 선택적인 제공이 상기 진공 제어 밸브의 전환을 통해서만 달성될 수 있으면 특히 바람직하다. 이에 따르면, 상기 진공 제어 밸브는 제 1 스위칭 위치에 있어서, 상기 유체 연결부에 제공된 압축공기를 상기 진공 발생기, 특히 이젝터에 제공하고, 따라서 상기 유체 출구에는 진공이 제공된다. 제 2 스위칭 위치에 있어서, 상기 유체 연결부는 상기 진공 제어 밸브에 의해 차단된다. 제 3 스위칭 위치에 있어서, 상기 유체 출구로의, 상기 유체 연결부에 제공된 압축공기의 직접적인 전달이 발생하고, 따라서 그곳에 연결된 진공 그립퍼의 정압적용이 수행될 수 있다.

대안적으로, 상기 진공 제어 장치에는 제 2 유체 연결부가 제공될 수 있고, 상기 제 2 유체 연결부는 상기 유체 제어 밸브 및/또는 상기 진공 제어 밸브에 제 2 유체의 제공을 위해 형성되고, 상기 유체 제어 밸브 및/또는 상기 진공 제어 밸브는 상기 제 1 또는 제 2 유체 연결부와 상기 유체 출구 사이의 소통하는 연결의 선택적인 해제를 위해 그리고 상기 유체 출구에 대한 상기 연결의 차단을 위해 형성된다. 상기 유체 제어 밸브 및/또는 상기 진공 제어 밸브의 이러한 유형의 구현형태는 압축공기 뿐만 아니라 진공도 상기 진공 제어 장치에 제공되면 바람직하다. 그러므로, 상기 유체 제어 밸브 및/또는 상기 진공 제어 밸브는 제공된 진공과 제공된 압축공기와 경우에 따라서는 상기 유체 출구의 차단 사이의 전환에 대하여 책임이 있다.

본 발명의 제 3 양상에 따르면, 본 발명의 목적은 청구항 제 12 항의 특징들을 통해 달성된다. 이에 따르면, 움직일 수 있는 매니퓰레이터 암 (manipulator arm), 및 작업편들을 그립핑하고, 이동시키고, 내려놓기 위해 상기 매니퓰레이터 암에 부착된 진공 그립퍼를 갖는 매니퓰레이터가 제공되며, 상기 진공 그립퍼는 본 발명에 따른 진공 제어 장치와 유체적으로 소통하며 연결되고, 상기 매니퓰레이터는 상기 매니퓰레이터 암의 액츄에이팅을 위해 그리고 외부 통신 시스템을 통한 상기 진공 제어 장치와의 통신을 위해 형성된 기계 제어기를 갖는다. 또한, 상기 진공 제어 장치의 상태신호에 따라 상기 매니퓰레이터 암의 운동 상태의 변경이 수행되도록 상기 기계 제어기가 셋업되는 것이 제공된다.

본 발명의 바람직한 실시형태들이 도면에 도시된다.

도 1 은 진공 그립핑 장치의 개략적인 도면,
도 2 는 도 1 에 도시된 진공 그립핑 장치를 액츄에이팅하기 위한, 모듈식으로 구성된 유체 제어 장치,
도 3 은 진공 제어 장치의 제 1 실시형태의 공압 회로도,
도 4 는 진공 제어 장치의 제 2 실시형태의 공압 회로도,
도 5 는 진공 그립핑 장치의 작동을 위한 시간적 진행 도식을 나타낸다.

도 1 에는 예컨대 판 모양의 물체 (2) 들을 핸들링하기 위해 이용될 수 있는 진공 그립핑 장치 (1) 가 개략적으로 도시된다. 진공 그립핑 장치 (1) 는 예시적으로 하나의 공통의 형태 안정적 프레임 (3) 에 부착된, 적어도 부분적으로 플렉시블하게 형성된 다수의 진공 그립퍼 (4) 를 포함한다. 프레임 (3) 은 본 경우 서로 평행으로 정렬된 2개의 리니어 액츄에이터 (5) 에 부착되고, 상기 리니어 액츄에이터들은 전기적 또는 유체적 작동 수단들, 특히 공압 실린더들일 수 있다. 진공 그립퍼 (4) 들 각각은 공급라인 (6) 과 유체적으로 소통하며 연결되고, 상기 공급라인은 진공 그핍퍼 (4) 에 의해 그리고 할당된 작업편 (2) 에 의해 한정된, 상세히 도시되지 않은 중공 공간으로부터의 유체 흐름 또는 이 중공 공간 안으로의 유체 흐름을 제공하기 위해 형성된다. 진공 그립퍼 (4) 들은 예컨대 우선 작업편 (2) 의 표면 위에 놓여질 수 있는데, 왜냐하면 그 후 다음 단계에서 상기 중공 공간의 진공화를 상기 공급라인을 통하여 초래하기 위해서이며, 이를 통해 진공 그립퍼 (4) 와 작업편 (2) 사이의 홀딩력이 생성된다. 진공 그립퍼 (4) 와 작업편 (2) 사이의 충분한 밀봉작용 및 상기 중공 공간의 충분한 진공적용에 있어서, 이를 통해 작업편 (2) 은 리니어 액츄에이터 (5) 들을 이용해 상승 및/또는 하강될 수 있다. 공압 실린더들로서의 리니어 액츄에이터 (5) 들의 예시적인 구현형태에 있어서 압력라인들 (7, 8) 이 제공되고, 원하는 상승 또는 하강 과정을 초래하기 위해 상기 압력라인들을 통하여 압축공기가 리니어 액츄에이터 (5) 들로 안내될 수 있다.

다음 단계에서, 상기 홀딩력의 재빠른 감소를 초래하기 위해 그리고 작업편 (2) 을 신속하게 내려놓을 수 있기 위해 각각의 진공 그립퍼 (4) 의 상기 중공 공간들은 환기되거나 또는 경우에 따라서는 정압으로 가압된다.

공급라인 (6) 은 압력라인들 (7, 8) 과 같이 유체 제어 장치 (9) 와 연결되고, 상기 유체 제어 장치는 도 2 에 상세히 도시된 다수의 모듈 (10, 11, 12) 로 구성된다. 바람직하게는, 이 모듈들 (10, 11, 12) 은 나란히 배치되고, 서로 전기적 및 유체적으로 소통하며 연결된다. 예시적으로, 유체 제어 장치 (9) 는 하나의 진공 모듈 (10), 2개의 압축공기 모듈 (11) 및 하나의 제어 모듈 (12) 을 포함한다. 진공 그립퍼 (4) 들은 공급라인 (6) 을 통하여 진공 모듈 (10) 과 연결된다. 두 리니어 액츄에이터 (5) 는 압력라인들 (7, 8) 을 통하여, 상승 또는 하강 운동을 담당하는 압축공기 모듈 (11) 들과 연결된다. 제어 모듈 (12) 은 다른 모듈들 (10, 11) 의 기능들의 조정을 위해 제공되고, 이를 위해 예컨대 모듈들 (10, 11) 과 제어 모듈 (12) 과의 병렬 접속 또는 모듈들 (10, 11) 과 제어 모듈 (12) 사이의 내부 통신 시스템이 제공된다. 또한, 제어 모듈 (12) 은, 기계 제어기 (12) 로부터 통신 시스템 (15) 을 통하여 제어 모듈 (12) 에 제공되는 제어명령들을 변환하기 위해서도 사용된다.

도 2 에서는 유체 제어 장치 (9) 의 바람직한 실시형태의 모듈식 구성을 알아볼 수 있다. 제어 모듈 (12) 은 외부 통신 인터페이스 (16), 내부 통신 인터페이스 (17), 2개의 외부 유체 연결부 (18, 19) 및 2개의 내부 유체 연결부 (20, 21) 를 포함한다. 두 외부 유체 연결부 (18, 19) 에는 예컨대 압축공기 및 진공이 연결될 수 있고, 그러면 내부 유체 연결부들 (20, 21) 은 예시적으로 상기 압축공기 및 상기 진공을 모듈들 (10, 11) 에 전달하기 위해 사용된다. 외부 통신 인터페이스 (16) 는 외부 통신 시스템 (15) 을 연결하기 위해 사용되고, 상기 외부 통신 시스템은 예시적으로 프로피버스 프로토콜에 따라 기계 제어기 (13) 와 제어 모듈 (12) 사이의 제어명령들 및 센서 데이터의 전달을 제공한다. 내부 통신 인터페이스 (17) 는 제어 모듈 (12) 로부터 모듈들 (10, 11) 로 제어명령들을 전달하기 위해 그리고 모듈들 (10, 11) 의 센서 및/또는 상태 신호들을 제어 모듈 (12) 에 제공하기 위해 제공되고, 예컨대 I/O 링크 프로토콜에 따른 데이터 전달을 위해 형성된다. 대안적으로, 내부 통신 인터페이스 (17) 는 제어 모듈 (12) 에 형성되고, 상응하는 통신 인터페이스 (17) 들은 모듈들 (10, 11) 에 병렬 버스 시스템으로서, I/O 링크에 따라 또는 병렬 배선으로서, 특히 멀티폴로서 형성된다.

진공 제어 장치 (22) 로서 형성된 진공 모듈 (10) 의 도 3 에 도시된 제 1 실시형태는 유체 연결부 (23), 제어 밸브 (24), 이젝터 (25), 배기 소음기 (28), 이젝터 (28) 에 배치된 흡입 연결부 (29), 유체 라인 (30), 유체 출구 (31), 처리 장치 (32), 및 압력센서 (33) 로서 형성된 센서 장치를 포함한다. 유체 연결부 (23) 는 진공 제어 장치 (22) 안으로의 압축공기 공급을 위해 형성되고, 진공 모듈 (10) 의 측벽에 배치되며, 따라서 그는 이웃하여 배치된 모듈 (10, 11, 12) 의 부합하는 내부 유체 연결부 (20) 와 소통하며 연결될 수 있다. 유체 연결부 (23) 는 제어 밸브 (24) 와 연결되고, 상기 제어 밸브는 선택적으로 상기 제공되는 압축공기를 이젝터 (25) 에 전달하거나 또는 바로 유체 출구 (31) 에 전달하기 위해 형성된다. 제어 밸브 (24) 는 예시적으로 3/3 웨이 밸브로서 형성되고, 전자기적으로 액츄에이팅될 수 있다. 이를 위해, 진공 제어 장치 (22) 안에 배치된 처리 장치 (32) 가 제공되고, 상기 처리 장치는 내부 통신 인터페이스 (17) 를 통하여 제어 모듈 (12) 과 전기적으로 소통하며 연결된다. 제어 밸브 (24) 는 도 3 에 도시된 제 1 스위칭 위치에 있어서 이젝터 (23) 의 압축공기 공급을 위해 제공될 수 있고, 따라서 흡입 연결부 (29) 에는 그리고 이로써 유체 출구 (31) 에도 진공이 인가되고, 상기 진공을 이용해 도 1 에 도시된 진공 그립퍼 (4) 들이 작업편 (2) 에 부착될 수 있다. 제어 밸브 (24) 의 제 2 스위칭 위치에 있어서, 진공 그립퍼 (4) 의 가압은 작업편 (2) 을 신속하게 내려놓기 위해 제공된다. 제어 밸브 (24) 의 제 3 스위칭 위치에 있어서 유체 연결부 (23) 와 유체 출구 (31) 사이의 연결들이 차단된다. 처리 장치 (32) 는 압력센서 (33) 와 전기적으로 연결되고, 상기 압력센서는 그의 편에서, 유체 출구 (31) 로 안내하는 유체 라인 (30) 과 소통하며 유체적으로 연결된다. 제어 밸브 (24) 의 바람직한 액츄에이팅을 수행할 수 있기 위해, 압력센서 (33) 의 도움으로, 실제로 유체 출구 (31) 에 인가된 유체압력이 검출될 수 있다. 도시되지 않은 실시형태에서는, 상기 처리 장치가 상기 진공 제어 장치의 구조적으로 분리된 구성요소로서 형성되거나 또는 상기 제어 모듈 안에 통합된다.

진공 제어 장치 (42) 로서 설계된 진공 모듈 (10) 의 도 4 에 도시된 제 2 실시형태에 있어서, 기능이 동일한 구성요소들에 대해 진공 제어 장치 (22) 에서와 동일한 참조부호들이 사용된다. 진공 제어 장치 (42) 는 마찬가지로 처리 장치 (32), 압력센서 (33) 및 유체 출구 (31) 를 포함한다. 진공 제어 장치 (22) 와 달리 진공 제어 장치 (42) 에는 2개의 유체 연결부 (43, 44) 가 제공되고, 상기 유체 연결부들은 진공 제어 장치 (42) 안으로의 압축공기 공급 또는 진공 공급에 사용된다. 두 유체 연결부 (43, 44) 에는 각각 2/2 웨이 밸브로서 형성된 제어 밸브 (45, 46) 가 할당되고, 이때 제어 밸브들 (45, 46) 각각은 처리 장치 (32) 와 전기적으로 커플링된다. 처리 장치 (32) 는, 선택적으로 유체 연결부 (43) 에 제공된 압축공기가 또는 유체 연결부 (44) 에 제공된 진공이 유체 출구 (31) 에 제공되도록 제어 밸브들 (45, 46) 을 액츄에이팅할 수 있다. 보충적으로, 두 제어 밸브 (45, 46) 가 처리 장치 (32) 에 의해 각각의 차단 위치로 스위칭되는 것이 제공될 수 있고, 따라서 유체 연결부들 (43, 44) 과 유체 출구 (31) 사이의 유체 흐름이 존재하지 않는다.

진공 그립핑 장치 (1) 의 작동을 위한 도 5 에 도시된 시간적 진행 도식에는, 도 4 에 도시된 진공 제어 장치 (42) 의 바람직한 액츄에이팅이 어떤 방식으로 수행될 수 있는지가 나타나 있다. 상기 도표의 횡축에는 시간 t 가 그려지고, 종축에는 압력 p 가 그려진다.

시점 t0 에서 두 제어 밸브 (45, 46) 는 차단 위치로 스위칭되고, 따라서 유체 출구 (31) 에는 진공도 인가되지 않고 정압도 인가되지 않는다. 이에 상응하여, 압력센서 (33) 의해 측정된 압력은 주위압력 p0 과 같다.

제 1 액츄에이팅 시점이라고도 불리우는 그리고 시간적으로 t1 과 t10 사이에 연장되는 액츄에이팅 사이클의 시작으로 여겨질 수 있는 시점 t1 에서, 유체 출구 (31) 의 진공적용을 초래하기 위해 처리 장치 (32) 에 의해 제어신호가 제어 밸브 (46) 로 출력된다. 상기 제어신호는 시점 t1 에서 시작하는, 도 5 의 줄 B 안의 검은색 줄로서 나타내진다. 전기적 및/또는 기계적 및/또는 유체적 관성을 근거로, 처리 장치 (32) 에 의한 상기 제어신호의 상기 출력과 상기 유체 출구에서의 압력의 실제의 변경 사이의 시간적 지연이 발생하고, 따라서 예컨대 미리 설정 가능한 압력변경 △p1 이 실제로 발생한 작용시점은 본 경우 시점 t2 에서 존재한다. 이 시간적 차이 t2-t1 은 처리 장치 (32) 에 의해 압력센서 (33) 의 전기적 센서신호의 평가를 통해 검출되고, 지연 시간 td1 으로서 저장된다.

시점 t2 부터, 진공 그립퍼 (4) 가 판 모양의 작업편 위에 올려 놓이는 시점 t3 까지, 특히 진공 그립퍼 (4) 에 배치된 압력센서 (14) 를 이용해 공전 압력값이 결정될 수 있다. 제어 밸브 (46) 가 통과 위치로 스위칭되었고 제어 밸브 (46) 와 진공 그립퍼 (4) 사이의 유체적 관성이 극복되자마자 그리고 진공 그립퍼 (4) 가 판 모양의 작업편 (2) 에 밀착하기 전에, 특히 시점 t2 부터 상기 공전 압력값이 발생한다. 상기 공전 압력값은, 제어 밸브 (46) 및/또는 제어 밸브 (46) 와 진공 그립퍼 (4) 사이에 배치된 공급라인 (6) 들 및/또는 진공 그립퍼 (4) 자체가 혹시 결함이 있는지 또는 막혀 있는지의 여부에 관한 정보를 제공한다. 상기 공전 압력값은 처리 장치 (32) 안에 저장된 공전 압력 한계값과 비교된다. 그립핑 과정은 상기 공전 압력값이 상기 공전 압력 한계값에 미달할 때에만, 즉 상기 진공 그립퍼 안에서의 압력감소가 상기 공전 압력 한계값의 미만에서 발생했을 때에만 계속된다. 그렇지 않으면, 그립핑 과정은 처리 장치 (32) 및 그와 커플링된 기계 제어기 (13) 를 통해 중단되고, 경우에 따라서는 오류 신호가 출력된다. 대안적으로, 그립핑 과정이 계속되어야 할지 아닌지의 여부에 관한 결정을 사용자에 맡기기 위해 오류 신호만 출력되는 것이 제공될 수 있다.

시점 t3 에서 진공 그립퍼 (4) 는 작업편 (2) 과 접촉하게 되고, 따라서 진공 그립퍼 (4) 및 작업편 (2) 에 의해 한정된 중공 공간 안에서의 진공의 빠른 생성 그리고 이로써 진공 그립퍼 (4) 와 작업편 (2) 사이의 홀딩력의 생성도 수행된다.

시점 t3 부터 처리 장치 (32) 는 압력의 발생된 변경, 즉 압력의 시간 도함수 또는 압력 변경속도를 연속적으로 검출한다. 예시적으로, 상기 압력 변경속도가 신뢰성 있게 미리 설정 가능한 레벨을 초과하는 시간이 경과한 후, 예시적으로 도 5 의 줄 D 에 도시된 상태신호를 처리 장치 (32) 를 통해 출력하는 것이 제공될 수 있다. 이는 예시적으로 시점 t4 에서 그러하다. 보충적으로, 미리 설정 가능한 시점에서 또는 미리 설정 가능한 시간 간격의 경과 후, 본 경우 예시적으로 t3 과 t4 사이의 시간 간격의 경과 후, 상기 압력 변경속도를 위한 미리 설정 가능한 한계값의 유지 또는 초과에 대해 추가적으로 미리 설정 가능한 압력레벨 (pressure level) 에 도달했는지의 여부가 검사될 수 있는데, 왜냐하면 이를 통해 그립핑 과정의 성공적인 진행에 관한 예보를 확인하기 위해서이다. 이를 위해, 처리 장치 (32) 안에는 상응하는 한계값이 저장될 수 있다. 상기 압력 변경속도 및 경우에 따라서는 추구되는 압력레벨이 사전 설정값과 일치할 경우에는 처리 장치 (32) 는 상태신호를 출력할 수 있다.

상기 상태신호는 예컨대 내부 통신 시스템을 통하여 제어 모듈 (12) 로 전달되고, 그곳으로부터 외부 통신 시스템 (15) 을 통하여 기계 제어기 (13) 로 전달될 수 있다. 이 상태신호를 근거로, 기계 제어기 (13) 안에서 예컨대 리니어 액츄에이터 (5) 들의 액츄에이팅이 유발될 수 있다. 기계 제어기 (13) 에 의한 상응하는 액츄에이팅 신호의 출력과 리니어 액츄에이터 (5) 들의 실제의 운동 사이에 마찬가지로 시간적 차이가 존재하고, 상기 시간적 차이 내에서 진공 그립퍼에서의 그 밖의 압력감소가 발생했고, 이를 통해 홀딩력이 높아진다. 상기 압력 변경속도의 상기 제공된 관찰 및 경우에 따라서는 미리 설정 가능한 시간 후 필요한 압력레벨을 근거로, 상기 상태신호를 이미, 진공 그립퍼 (4) 들과 작업편 (2) 사이의 아직 충분한 홀딩력이 존재하지 않는 시점에서 출력하는 것이 가능한데, 왜냐하면 작업편 (2) 의 실제의 가속화까지는 홀딩력은 충분한 레벨에 도달해 있을 것이기 때문이다.

이와는 달리, 미리 설정 가능한 압력레벨에의 도달은 동일한 유형의 상태신호를 위한 트리거로서 보다 긴 대기 시간을 요구하는데, 왜냐하면 상기 압력 변경속도와 달리 훨씬 더 늦은 시점에서 비로소, 작업편 (2) 이 진공 그립퍼 (4) 들에 의해 확실히 그립핑되어 있는지의 여부에 관한 신뢰성 있는 진술이 행해질 수 있기 때문이다. 압력 기반 (pressure-based) 상태신호가 출력될 수 있는 시점은 도 5 에 t5 로 표시된다. 압력 변경속도의 분석을 통해 작업편 (2) 을 들어 올리기 위한 시간 장점이 분명히 발생하고, 따라서 상응하는 진공 그립핑 장치 (1) 가 보다 효과적으로 작동될 수 있다.

이 이외에, 진공 그립핑 장치 (1) 의 진단을 위해, 진공 그립퍼 (4) 들의 어쩌면 있을 수 있는 손상 또는 진공 그립퍼 (1) 에서의 그 밖의 고장을 검출하기 위해 최소 압력값을 검출하는 것이 제공될 수 있다. 바람직하게는, 진공을 위한 생성 과정 동안의, 즉 진공 그립퍼 (4) 안에서의 압력의 감소 동안의 압력 변경속도가 미리 설정 가능한 값을 초과하자마자, 특히 아주 적게, 최소 압력값이 검출된다. 예시적으로, 상기 최소 압력값은 도 5 에 도시된 그립핑 과정에 있어서 바로 t6 전에 최소 압력 한계값에 도달한다. 상기 최소 압력 한계값은 예시적으로 상기 처리 장치 안에 저장된다. 상기 최소 압력값이 상기 최소 압력 한계값을 초과할 경우에는, 진공 그립핑 장치 (1) 의 오류 없는 기능이라고 가정된다. 상기 최소 압력값이 상기 최소 압력 한계값에 미달하지 않을 경우에는 진공 그립핑 장치 (1) 의 오작동이라고 가정되어야 한다. 예시적으로, 처음으로 상기 최소 압력값이 상기 최소 압력 한계값에 미달하지 않는 것이 확정될 수 있는 그립핑 사이클 후 진공 그립핑 장치 (1) 가 오류 신호를 출력하고, 그 밖의 그립핑 과정을 시작하지 않는 것이 제공될 수 있다.

보충적으로 또는 대안적으로, 상기 유체 출구의 진공적용의 시작시 검출된 지연 시간 td1 을 작업편 (2) 을 안전하게 그리고 신속하게 내려놓기 위해 이용하는 것이 제공될 수 있다. 작업편 (2) 을 내려놓을시, 작업편 (2) 이 신뢰성 있게 내려놓여졌을 때에야 비로소 진공 그립퍼 (4) 들의 운동이 수행되어야 한다는 데에 문제가 존재한다. 이를 안전하게 하기 위해, 진공 그립퍼 (4) 들의 환기 또는 가압 후 대기 시간을 제공하는 것이 선행기술에 알려져 있고, 상기 대기 시간 내에는 진공 그립퍼 (4) 들의 운동이 수행되지 않는다. 이 대기 시간은 처리 장치 (32) 와 제어 밸브 (45, 46) 와 유체 출구 (31) 와 진공 그립퍼 (4) 들 사이에 발생할 수 있는 모든 전기적, 기계적 및 유체적 관성이 고려되도록 선택되어야 한다. 이 대기 시간을 줄이기 위해, 예시적으로 시점 t6 에서 처리 장치 (32) 에 의해 진공의 차단과 동시에 수행되는 진공 그립퍼 (4) 들의 환기 또는 가압시, 진공 그립퍼 (4) 들의 진공적용시 처리 장치 (32) 에 의해 검출되었던 지연 시간 td1 이 처리 장치 (32) 에 의해 고려된다. 도 5 에서 시점 t6 과, 시점 t7 에서의 진공 그립퍼들 안의 압력상승의 시작 사이의 시간적 차이로서 볼 수 있는 이 지연 시간을 가지고, 처리 장치 (32) 에 정보가 제공되고, 상기 정보를 근거로, 진공 그립퍼 (4) 들에서의 진공의 가능한 한, 특히 완전한 감소가 수행되어 있는 시점 t8 이 보다 정확히 결정될 수 있다. 이로써, 진공 그립퍼 (4) 들의 환기 또는 가압으로부터 진공 그립퍼 (4) 들과 작업편 (2) 사이의 상대운동까지의 시간이 짧아질 수 있다.

보충적으로 또는 대안적으로, 미리 설정 가능한 최소압력, 특히 주위압력에 도달할시 상태신호를 기계 제어기 (13) 에 제공하기 위해 처리 장치 (32) 는 압력센서 (33) 의 압력신호도 감시할 수 있고, 상기 상태신호를 근거로 리니어 액츄에이터 (5) 들의 운동이 도입될 수 있다. 바람직한 방식으로, 진공 그립퍼 (4) 들의 환기 또는 가압시 지연 시간 td2 가 검출될 수 있고, 상기 지연 시간은, 본 경우 진공 그립퍼 (4) 들의 가압을 위한, 제어 밸브 (45) 를 위한 스위칭 시점 t6 과 진공 그립퍼 (4) 들에서의 미리 설정 가능한 최소압력에의, 예시적으로 시점 t8 에서의, 도달 사이의 시간적 차이로서 발생한다. 아직 언급할 만한 홀딩력이 존재하는 시점에서 진공 그립퍼 (4) 들이 작업편 (2) 로부터 들어 올려지는 위험이 존재하지 않으면서 가능한 한 이른 시점에서 기계 제어기 (13) 로의 상기 상태신호의 출력을 수행하기 위해, 이 지연 시간 td2 도 또한 처리 장치 (32) 에 의해 고려될 수 있다.

Claims (12)

1. 진공 그립퍼 (4),
   처리 장치 (32),
   유체 및 진공 중 적어도 하나와 관련된 센서신호를 제공하기 위한 센서 장치 (33), 및
   상기 처리 장치 (32) 에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 상기 진공 그립퍼 (4) 에 진공을 제공하기 위한 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 를 포함하는 진공 그립핑 장치 (1) 를 작동하기 위한 방법으로서,
   상기 처리 장치 (32) 는 상기 센서신호를 처리하기 위해 그리고 상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 를 액츄에이팅하기 위해 형성되고,
   상기 방법은: 액츄에이팅 시점 (t1; t6) 에서 상기 처리 장치 (32) 에 의해 제어신호를 상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 로 출력하는 단계, 유체 및 진공 중 적어도 하나와 관련된 물리적 값과의 상호 관계하에 상기 센서 장치 (33) 에 의해 출력된 센서신호를 위한 변경속도를 검출하는 단계, 그리고 검출된 상기 변경속도가 미리 설정 가능한 최소값과 일치하거나 또는 미리 설정 가능한 값 간격 내에 있으면 상태신호를 통해 상기 진공 그립퍼 (4) 의 운동 상태의 변경을 초래하기 위해, 기계 제어기 (13) 와의 통신을 위해 형성되는 외부 통신 시스템 (15) 에 상기 상태신호를 제공하는 단계를 갖는, 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 진공 그립퍼 (4) 가 작업편 (2) 에 밀착하지 않은 시점에서 상기 처리 장치 (32) 에 의해 공전 압력값이 검출되는 것을 특징으로 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 진공 그립퍼 (4) 가 상기 작업편 (2)에 밀착할 때 발생하는 최소 압력값은 진공 그립핑 과정 동안 상기 처리 장치 (32) 에 의해 검출되는 것을 특징으로 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 센서신호의 상기 변경속도를 위한 상기 최소값 또는 상기 값 간격은 상기 공전 압력값 및 상기 최소 압력값 중 적어도 하나에 따라 맞춰지는 것을 특징으로 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 공전 압력값이 미리 설정 가능한 공전 한계값을 초과하는 것 및 상기 최소 압력값이 미리 설정 가능한 최소 압력 한계값을 초과하는 것 중 적어도 하나를 만족하면,
   상기 처리 장치 (32) 에 의해 경고 통지의 출력이 수행되는 것을 특징으로 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 센서신호를 위한 상기 변경속도가 미리 설정 가능한 최소 시간 간격보다 길게 상기 미리 설정 가능한 최소값 또는 상기 미리 설정 가능한 값 간격과 일치할 때; 및
   상기 액츄에이팅 시점 (t1; t6) 에서의 상기 처리 장치 (32) 에 의한 상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 로의 상기 제어신호의 출력부터 미리 설정 가능한 시간 내에 상기 센서신호를 위한 최소값에 도달했을 때;
   중 적어도 하나의 시점에만 상기 상태신호가 상기 처리 장치 (32) 에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 그립핑 장치를 작동하기 위한 방법.
7. 유체 공급을 위한 유체 연결부 (18, 19; 23; 43, 44),
   컨슈머에 유체 및 진공 중 적어도 하나를 공급하기 위한 유체 출구 (31),
   유체 및 진공 중 적어도 하나와 관련된 적어도 하나의 센서신호를 처리하기 위해 그리고 제어신호들을 제공하기 위해 형성된 처리 장치 (32), 및,
   유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 및 진공 제어 밸브 (46) 중 적어도 하나,
   를 포함하는 진공 제어 장치로서,
   상기 유체 제어 밸브 (24; 45, 46) 는 상기 제어신호들에 의해 액츄에이팅될 수 있으며 상기 유체 연결부 (18, 19; 23; 43, 44) 와 연결되거나 상기 유체 연결부 (18, 19; 23; 43, 44) 및 상기 유체 출구 (31) 와 연결되고,
   상기 진공 제어 밸브 (46) 는 상기 유체 출구 (31) 에 유체 및 진공 중 적어도 하나의 일시적인 제공을 가능하게 하기 위해 상기 유체 연결부 (44) 및 상기 유체 출구 (31) 와 연결되고,
   상기 처리 장치 (32) 는, 검출된 변경속도가 미리 설정 가능한 최소값 또는 미리 설정 가능한 값 간격과 일치할시 상태신호를 근거로 진공 그립퍼 (4) 의 운동 상태의 변경이 미리 정해질 수 있도록, 유체 및 진공 중 적어도 하나와 관련된 물리적 값과의 상호 관계하에 상기 센서 장치 (14; 33) 에 의해 출력된 센서신호를 위한 변경속도의 검출을 위해 그리고 기계 제어기 (13) 와의 통신에 사용되는 외부 통신 시스템 (15) 에 상태신호의 제공을 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 제어 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   센서 장치 (14) 가 상기 진공 그립퍼 (4) 에 할당되고, 상기 센서 장치는 상기 처리 장치 (32) 에 상기 진공과 관련된 센서신호의 제공을 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 제어 장치.
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 유체 연결부 (31) 에서의 유체 압력의 검출을 위한 압력센서 (33) 가 상기 처리 장치 (32) 에 할당되고, 상기 처리 장치 (32) 는 검출된 상기 유체 압력을 근거로 하여 상기 유체 제어 밸브 (24; 45) 및 상기 진공 제어 밸브 (46) 중 적어도 하나에 상기 제어신호의 변경을 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 제어 장치.
10. 제 7 항에 있어서,
    상기 유체 연결부 (23) 와 상기 유체 출구 (31) 사이에 진공 발생기 (25) 가 삽입되는 것을 특징으로 하는 진공 제어 장치.
11. 제 7 항에 있어서,
    제 2 유체 연결부 (43) 가 제공되고, 상기 제 2 유체 연결부는 상기 유체 제어 밸브 (45) 및 상기 진공 제어 밸브 (46) 중 적어도 하나에 제 2 유체의 제공을 위해 형성되고, 상기 유체 제어 밸브 (45) 및 상기 진공 제어 밸브 (46) 중 적어도 하나는 상기 제 1 또는 제 2 유체 연결부 (43, 44) 와 상기 유체 출구 (31) 사이의 소통하는 연결의 선택적인 해제를 위해 그리고 상기 유체 출구 (31) 에 대한 상기 연결의 차단을 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 제어 장치.
12. 움직일 수 있는 매니퓰레이터 암 (3, 5), 및
    작업편 (2) 들을 그립핑하고, 이동시키고, 내려놓기 위해 상기 매니퓰레이터 암에 부착된 진공 그립퍼 (4) 를 갖는 매니퓰레이터로서,
    상기 진공 그립퍼 (4) 는 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 진공 제어 장치 (22; 42) 와 유체적으로 소통하며 연결되고, 상기 매니퓰레이터는 상기 매니퓰레이터 암 (3, 5) 의 액츄에이팅을 위해 그리고 외부 통신 시스템 (15) 을 통한 진공 제어 장치 (22; 42) 와의 통신을 위해 형성되는 기계 제어기 (13) 를 갖고,
    상기 기계 제어기 (13) 는 상기 진공 제어 장치 (22; 42) 의 상태신호에 따라 상기 매니퓰레이터 암 (3, 5) 의 운동 상태의 변경이 수행되도록 셋업되는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터.

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