KR101974112B1 - 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
유기 발광 표시 장치는, 제1 기판, 제1 기판 상에 배치되는 제1 전극, 제1 전극 및 제1 기판 상에 배치되어 표시 영역과 비표시 영역을 정의하는 화소 정의막, 제1 전극 상에 배치되는 유기 발광 구조물, 유기 발광 구조물 및 화소 정의막 상에 배치되는 제2 전극, 제2 전극 상에 배치되는 제2 기판 등을 포함할 수 있다. 화소 정의막은 표시 영역 및 비표시 영역에 형성되는 미세 요철 구조를 포함할 수 있다. 미세 요철 구조를 구비하는 화소 정의막을 통해 표시 기판 상에 실질적으로 균일하게 유기 발광 구조물을 형성할 수 있으므로, 유기 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있고, 표시되는 영상의 품질을 개선할 수 있다.
Description
본 발명은 유기 발광 표시(OLED) 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 미세 요철 구조를 갖는 화소 정의막을 통해 균일한 유기 발광 구조물을 구비할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 이러한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로 컬러 영상을 표현할 수 있는 유기 발광 표시 장치는 기판 상에 형성되는 하부 전극, 이러한 하부 전극 상에 배치되는 화소 정의막, 화소 정의막과 하부 전극 상에 형성되는 유기층들, 유기층들과 화소 정의막 상에 형성되는 상부 전극 등을 포함한다. 상기 화소 정의막은 하부 구조물을 커버하는 절연층과 하부 전극 상에 형성되며, 상기 유기 발광 표시 장치의 화소 영역을 정의하면서 인접하는 화소들의 유기층들을 절연시킨다.
상기 화소 정의막에 의해 정의되는 화소 영역에 있어서, 상기 유기층들은 색 화소들에 따라 적색 유기 발광층(EL), 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층을 포함하며, 정공 주입층, 전자 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층 등을 추가적으로 구비한다. 여기서, 상기 유기 발광층들은 유기 폴리머나 저분자 유기 물질을 사용하여 형성될 수 있다.
일반적으로 상기 유기층들은 광열 변환층과 유기 전사층들을 포함하는 도너 기판으로부터 유기 전사층들을 전사시키는 레이저 열전사(LITI) 공정을 이용하여 형성된다. 상기 레이저 열 전사 공정에 있어서, 상기 도너 기판을 상기 화소 정의막에 라미네이팅시킨 후, 상기 도너 기판에 레이저 에너지를 인가하면 상기 유기 전사층들이 팽창하고, 이에 따라 상기 도너 기판으로부터 분리되면서 상기 화소 정의막에 의해 노출되는 하부 전극 상에 유기층들이 형성된다. 그러나, 종래의 유기 발광 표시 장치의 제조 과정에 있어서, 상기 화소 영역의 끝 부분, 즉 상기 화소 정의막에 의해 노출되는 하부 전극의 양측 단부 상에 가스가 잔류하기 쉬우며, 이와 같은 잔류 가스에 의해 상기 하부 전극의 양측 단부들(즉, 상기 화소 영역의 단부들) 상에는 유기층들이 형성되지 않는다. 이러한 공정 불량은 흔히"에지 오픈 불량(edge open failure)"이라고 부르며, 이와 같은 에지 오픈 불량이 발생되면, 상기 유기 발광 표시 장치의 수명이 단축될 뿐만 아니라 영상의 균일성이 저하되는 문제점들이 야기된다.
본 발명의 일 목적은 미세 요철 구조를 갖는 화소 정의막을 구비하여 영상의 품질을 향상시키고 수명을 연장시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 화소 정의막에 미세 요철 구조를 형성하여 유기 발광 구조물의 균일도를 향상시켜 영상의 품질을 개선하고, 수명을 연장시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상술한 과제들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 제1 기판, 상기 제1 기판 상에 배치되는 제1 전극, 상기 제1 전극 및 상기 제1 기판 상에 배치되는 화소 정의막, 상기 제1 전극 상에 배치되는 유기 발광 구조물, 상기 유기 발광 구조물 및 상기 화소 정의막 상에 배치되는 제2 전극, 상기 제2 전극 상에 배치되는 제2 기판 등을 포함할 수 있다. 상기 화소 정의막은 표시 영역과 비표시 영역을 정의할 수 있으며, 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역에 형성되는 미세 요철 구조를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 각기 반사성을 갖는 물질 또는 투과성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt), 금(Au), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 이들 금속들의 합금 등을 포함할 수 있으며, 상기 제2 전극은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 인듐 갈륨 산화물(IGO), 아연 산화물(ZnOx), 갈륨 산화물(GaOx), 주석 산화물(SnOx) 등을 포함할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 제1 전극은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 인듐 갈륨 산화물, 아연 산화물, 갈륨 산화물, 주석 산화물 등을 포함할 수 있으며, 상기 제2 전극은 알루미늄, 은, 백금, 금, 크롬, 텅스텐, 몰리브데늄, 티타늄, 팔라듐, 이리듐, 이들 금속들의 합금 등을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 정의막은 상기 표시 영역에서 상기 제1 전극을 노출시키는 개구를 포함할 수 있으며, 상기 미세 요철 구조는 상기 개구의 측벽과 상기 비표시 영역의 화소 정의막 상에 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 미세 요철 구조는 일정한 방향으로 배열되는 복수의 트렌치들 또는 복수의 그루브들을 포함할 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 미세 요철 구조는 복수의 방향들로 배열되는 복수의 트렌치들, 복수의 그루브들 또는 복수의 덴트들을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 복수의 트렌치들, 복수의 그루브들 또는 복수의 덴트들은 서로 부분적으로 또는 전체적으로 연통될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 정의막은 유기 물질 또는 무기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 화소 정의막은 벤조사이클로부테인(BCB), 포토레지스트, 페놀계 수지, 폴리아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지, 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiOxNy), 실리콘 산탄화물(SiOxCy) 등을 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판 상에 제1 전극을 형성한 다음, 상기 제1 전극 및 상기 제1 기판 상에, 표시 영역과 비표시 영역을 정의하는 화소 정의막을 형성할 수 있다. 상기 화소 정의막은 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역에 형성되는 미세 요철 구조를 포함할 수 있다. 상기 제1 전극 유기 발광 구조물을 형성한 후, 상기 유기 발광 구조물 및 상기 화소 정의막 상에 제2 전극을 형성할 수 있다. 상기 제2 전극 상에 제2 기판을 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제1 전극 사이에 스위칭 소자 및 절연층을 포함하는 하부 구조물이 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 형성하는 과정에 있어서, 상기 화소 정의막을 부분적으로 식각하여 상기 표시 영역의 상기 제1 전극을 노출시키는 개구를 형성할 수 있다. 상기 미세 요철 구조는 상기 표시 영역의 상기 개구의 측벽과 상기 비표시 영역의 상기 화소 정의막 상에 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 미세 요철 구조를 형성하는 단계는, 상기 제1 기판을 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 강모들을 갖는 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 제조 방법.
예시적인 실시예들에 따른 미세 요철 구조를 형성하는 과정에 있어서, 상기 제1 기판을 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 미세한 홀들을 갖는 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 미세 요철 구조를 형성하는 과정에 있어서, 상기 제1 기판을 제1 방향으로 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 강모들을 갖는 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시킬 수 있다. 이 후에, 상기 제1 기판을 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동시키면서 상기 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 미세 요철 구조를 형성하는 과정에 있어서, 상기 제1 기판을 제1 방향으로 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 미세한 홀들을 갖는 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사할 수 있다. 다음에, 상기 제1 기판을 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동시키면서 상기 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유기 발광 구조물은 유기 전사층을 포함하는 도너 기판을 사용하는 레이저 열전사 공정을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 레이저 열전사 공정 동안 상기 미세 요철 구조를 통해 상기 화소 정의막의 개구 내의 공기 또는 가스가 배출될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 일정한 방향 또는 다양한 방향으로 배열되는 복수의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 갖는 미세 요철 구조를 구비하는 화소 정의막을 통해 표시 기판 상에 실질적으로 균일하게 유기 발광 구조물을 형성할 수 있으므로, 상기 유기 발광 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있고, 상기 유기 발광 표시 장치에 의해 표시되는 영상의 품질을 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따라 화소 정의막에 미세 요철 구조를 형성하는 과정을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 도너 기판을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따라 화소 정의막에 미세 요철 구조를 형성하는 과정을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 도너 기판을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예들에 의해 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.
본 명세서에 있어서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접촉되어"있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접촉되어 있을 수도 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접촉되어"있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 예시적인 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지는 않는다.
제1, 제2 및 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들면, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2 또는 제3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2 또는 제3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 단면도이며, 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 기판(10), 제1 전극(15), 화소 정의막(20) 등을 구비할 수 있다. 또한, 도시하지는 않았으나, 상기 유기 발광 표시 장치는 제1 전극(15) 상에 배치되는 유기 발광 구조물, 상기 유기 발광 구조물과 화소 정의막(20) 상에 배치되는 제2 전극, 상기 제2 전극 상에 배치되는 제2 기판 등을 포함할 수 있다.
제1 기판(10)은 절연 기판을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(10)은 유리 기판, 석영 기판, 플라스틱 기판, 금속 산화물 기판 등을 포함할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 제1 기판(10)은 연성을 갖는 기판(flexible substrate)으로 이루어질 수 있다.
도시하지는 않았지만, 제1 기판(10) 상에는 스위칭 소자가 제공될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 스위칭 소자는 박막 트랜지스터(TFT), 산화물 반도체 소자 등을 포함할 수 있다. 상기 스위칭 소자가 박막 트랜지스터를 포함할 경우, 제1 전극(15)은 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서, 상기 스위칭 소자와 제1 전극(15) 사이에는 하나 이상의 절연층이 개재될 수 있다. 여기서, 상기 하나 이상의 절연층은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 하나 이상의 절연층은 포토레지스트, 아크릴계(acryl-based) 폴리머, 폴리이미드계(polyimide-based) 폴리머, 폴리아미드계(polyamide-based) 폴리머, 실록산계(siloxane-based) 폴리머, 노볼락(novolak) 수지, 알칼리 가용성(alkali-soluble) 수지 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하나 이상의 절연층은 실리콘 화합물, 금속, 금속 산화물 등의 무기 물질을 사용하여 형성될 수도 있다. 예를 들면, 상기 하나 이상의 절연층은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiOxNy), 실리콘 산탄화물(SiOxCy), 실리콘 탄질화물(SiCxNy), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 알루미늄 산화물(AlOx), 티타늄 산화물(TiOx), 탄탈륨 산화물(TaOx), 마그네슘 산화물(MgOx), 아연 산화물(ZnOx), 하프늄 산화물(HfOx), 지르코늄 산화물(ZrOx), 티타늄 산화물(TiOx) 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 제1 전극(15)은 상기 하나 이상의 절연층을 개재하여 제1 기판(10) 상부에 배치될 수 있다. 제1 전극(15)은 상기 유기 발광 표시 장치의 발광 방식에 따라 반사성을 갖는 물질 또는 투과성을 갖는 물질로 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 유기 발광 표시 장치가 전면 발광 방식을 가질 경우, 제1 전극(15)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt), 금(Au), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir) 등과 같은 금속, 이들 금속들의 합금들 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 또한, 제1 전극(15)은 금속막 및/또는 합금막을 포함하는 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 한편, 상기 유기 발광 표시 장치가 배면 발광 방식을 가질 경우에는, 제1 전극(15)은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 인듐 갈륨 산화물(IGO), 아연 산화물(ZnOx), 갈륨 산화물(GaOx), 주석 산화물(SnOx) 등의 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 화소 정의막(20)은 제1 전극(15)을 부분적으로 노출시키면서 제1 기판(10) 상에 배치될 수 있다. 화소 정의막(20)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(20)은 벤조사이클로부테인(BCB), 포토레지스트, 페놀계 수지, 폴리아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지 등으로 구성될 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 화소 정의막(20)은 무기 물질을 포함할 수도 있다. 예를 들면, 화소 정의막(20)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiOxNy), 실리콘 산탄화물(SiOxCy) 등으로 구성될 수도 있다.
화소 정의막(20)은 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 영역과 비표시 영역을 정의할 수 있다. 화소 정의막(20)은 제1 전극(15)의 일부를 노출시키는 개구를 포함할 수 있다. 이러한 화소 정의막(20)의 개구에 의해 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 영역과 비표시 영역이 실질적으로 정의될 수 있다. 즉, 화소 정의막(20)의 개구가 배치되는 부분이 상기 표시 영역에 해당될 수 있으며, 화소 정의막(20)의 개구를 실질적으로 둘러싸는 부분이 상기 비표시 영역에 해당될 수 있다. 화소 정의막(20)의 개구는 화소 정의막(20)의 구성 물질에 따라 건식 식각 공정 또는 습식 식각 공정을 통해 형성될 수 있다. 화소 정의막(20)의 개구를 형성하기 위한 습식 식각 공정에 있어서, 약 200ㅀC 이하의 온도를 갖는 식각 용액을 사용하여 화소 정의막(20)을 부분적으로 식각함으로써, 제1 전극(15)의 일부를 노출시키는 화소 정의막(20)의 개구를 형성할 수 있다.
화소 정의막(20)의 개구는 제1 기판(10)에 실질적으로 평행한 방향에 대해 소정의 각도로 경사진 측벽을 가질 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(20)의 개구는 하부 폭에 비하여 실질적으로 넓은 상부 폭을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 화소 정의막(20)은 미세 요철 구조(uneven structure)(25)를 포함할 수 있다. 미세 요철 구조(25)는 상기 표시 영역에 위치하는 화소 정의막(20)의 개구의 측벽과 상기 비표시 영역에 위치하는 화소 정의막(20) 상에 형성될 수 있다. 미세 요철 구조(25)는, 도 2에 예시한 바와 같이, 일정한 방향을 따라 연장되는 복수의 트렌치(trench)들 또는 그루브(groove)들을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 트렌치들 또는 상기 그루브들의 치수는 실질적으로 동일할 수도 있지만, 실질적으로 서로 다를 수도 있다. 예를 들면, 인접하는 트렌치들 또는 인접하는 그루브들의 폭과 깊이는 서로 실질적으로 동일할 수도 있지만, 서로 상이할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따라 화소 정의막에 미세 요철 구조를 형성하는 과정을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 일정한 방향으로 배열된 강모(bristle)(60)들을 갖는 기재(55)을 구비하는 롤러(50)를 이용하여 유기 물질로 구성된 화소 정의막(20)에 미세 요철 구조(25)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 지지 플레이트(도시되지 않음) 상에 화소 정의막(20)을 갖는 제1 기판(10)을 위치시킨 후, 제1 기판(10)을 이동시키면서 회전하는 롤러(50)를 화소 정의막(20)에 접촉시켜 화소 정의막(20)에 복수의 트렌치들 또는 그루브들을 형성할 수 있다. 이에 따라, 화소 정의막(20)에는 일정한 방향으로 연장되는 복수의 트렌치들 또는 그루브들을 갖는 미세 요철 구조(25)가 형성될 수 있다. 여기서, 롤러(55)의 강모들의 배열과 치수들을 조절하여 화소 정의막(20)의 개구의 측벽과 화소 정의막(20)의 나머지 부분들 상에 동시에 상기 트렌치들 또는 그루브들을 형성할 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 화소 정의막(20)이 무기 물질로 구성될 경우에는 일정한 방향으로 배열된 복수의 미세한 홀들을 갖는 마스크(도시되지 않음)를 이용하는 레이저 조사 공정을 통해 화소 정의막(20)에 미세 요철 구조(25)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(20) 상부에 미세한 홀들을 갖는 마스크를 배치한 다음, 화소 정의막(20)이 형성된 제1 기판(10)을 일정한 방향으로 이동시키면서 상기 마스크를 통해 레이저를 조사하여, 화소 정의막(20)에 복수의 트렌치들 또는 그루브들을 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 마스크의 미세 홀들은 보다 상기 트렌치들의 폭이나 상기 그루브들의 폭에 비하여 실질적으로 작은 직경을 가질 수 있다.
상기 화소 영역의 제1 전극(15) 상에 유기 발광 구조물(도시되지 않음)을 형성하는 레이저 열전사(LITI) 공정 동안, 유기 전사층을 포함하는 도너 기판(도시되지 않음)과 제1 기판(10)이 서로 실질적으로 반대 방향으로 이동되면서 제1 전극(15) 상에 상기 유기 발광 구조물이 형성될 수 있다. 여기서, 제1 전극(15)의 양측부(즉, 화소 정의막(20)의 개구의 양측 단부) 상에는 공기 또는 기타 가스가 잔류하게 된다. 이와 같이 공기나 잔류 가스가 존재하는 상태에서 상기 레이저 열전사 공정을 수행하면, 제1 전극(15)의 양측부에는 상기 유기 발광 구조물이 형성되지 않을 수 있다. 그러나, 화소 정의막(20)에 전술한 바와 같은 트렌치들 또는 그루브들을 포함하는 미세 요철 구조(25)가 제공될 경우에는, 상기 레이저 열전사 공정 동안 화소 정의막(20)의 개구로부터 공기나 잔류 가스를 배출할 수 있기 때문에, 제1 전극(15) 상에 균일하게 상기 유기 발광 구조물을 형성할 수 있다. 이 때, 상기 트렌치들 또는 그루브들은 상기 레이저 열전사 공정 동안 제1 기판(10)이 이동하는 방향 또는 상기 도너 기판이 이동하는 방향에 대하여 실질적으로 평행한 방향을 따라 연장될 수 있다. 이에 따라, 화소 정의막(20)의 개구로부터 공기 또는 잔류 가스가 일정한 방향으로 연장되는 상기 트렌치들 또는 상기 그루브들을 따라 보다 용이하게 외부로 배출될 수 있다. 그 결과, 상기 유기 발광 표시 장치는 상기 표시 영역에 균일하게 형성되는 유기 발광 구조물을 통해 영상의 품질을 향상시킬 수 있으며, 보다 연장된 수명을 확보할 수 있다.
도 1에는 도시하지 않았으나, 상기 화소 영역의 제1 전극(15) 상에 위치하는 상기 유기 발광 구조물 상에는 상기 제2 전극이 배치될 수 있다. 상술한 바와 같이 상기 도너 기판의 유기 전사층으로부터 형성되는 상기 유기 발광 구조물은 유기 발광층(EL), 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 등을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 상기 유기 발광 구조물은 상기 유기 발광 표시 장치의 각 화소에 따라 적색광, 녹색광, 청색광 등과 같은 서로 다른 색광들을 발생시킬 수 있는 발광 물질들을 포함할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유기 발광 구조물은 적색광, 녹색광, 청색광 등의 상이한 색광들을 구현할 수 있는 복수의 발광 물질들이 적층되어 백색광을 발광하는 다층 구조를 가질 수도 있다.
제1 전극(15)과 실질적으로 유사하게, 상기 제2 전극도 상기 유기 발광 표시 장치의 발광 방식에 따라 반사성을 갖는 물질 또는 투과성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 유기 발광 표시 장치가 전면 발광 방식을 가질 경우, 상기 제2 전극은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 인듐 갈륨 산화물(IGO), 아연 산화물(ZnOx), 갈륨 산화물(GaOx), 주석 산화물(SnOx) 등과 같은 투명 도전성 물질로 구성될 수 있다. 한편, 상기 유기 발광 표시 장치가 배면 발광 방식을 가질 경우에는, 상기 제2 전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt), 금(Au), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 이들 금속들의 합금 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 또는 서로 조합되어 사용될 수 있다.
상기 제2 전극 상에 배치되는 상기 제2 기판은 절연 기판을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 기판은 유리 기판, 석영 기판, 플라스틱 기판, 금속 산화물 기판 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 기판도 연성을 갖는 기판으로 이루어질 수도 있다.
도 4는 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 화소 정의막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 표시 기판을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다. 도 4에 있어서, 도 2를 참조하여 설명한 부재들과 실질적으로 동일한 부재들에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.
도 4를 참조하면, 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 제1 기판(100), 제1 전극(105), 미세 요철 구조(125)를 갖는 화소 정의막(110) 등을 포함할 수 있다. 도시하지는 않았으나, 상기 유기 발광 표시 장치는 추가적으로 유기 발광 구조물, 제2 전극, 제2 기판 등을 포함할 수 있다.
제1 기판(100)은 절연 기판으로 구성될 수 있으며, 제1 전극(105)은 상기 유기 발광 표시 장치의 발광 방식에 따라 반사성을 갖는 물질 또는 투과성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 여기서, 제1 기판(100)과 제1 전극(105) 사이에는 스위칭 소자, 콘택, 패드, 도전 패턴, 도전 라인, 절연층 등을 포함하는 하부 구조물(도시되지 않음)이 제공될 수 있다.
화소 정의막(110)은 제1 기판(100)과 제1 전극(105) 상에 위치할 수 있으며, 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 영역과 비표시 영역을 정의할 수 있다. 화소 정의막(110)은 제1 전극(105)을 부분적으로 노출시키는 개구를 포함할 수 있다. 미세 요철 구조(125)는 화소 정의막(110)의 개구의 측벽과 나머지 부분들 상에 형성될 수 있다. 즉, 미세 요철 구조(125)는 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역 모두에 배치될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 미세 요철 구조(125)는 복수의 방향들을 따라 형성되는 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 포함할 수 있다. 여기서, 미세 요철 구조(125)의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들은 부분적으로 또는 전체적으로 연통될 수 있다. 예를 들면, 인접하는 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들은 서로 부분적으로 또는 전체적으로 이어질 수 있다.
미세 요철 구조(125)가 유기 물질로 이루어질 경우, 실질적으로 직교하거나 실질적으로 평행한복수의 방향들을 따라 배열된 강모들을 포함하는 롤러를 이용하여 화소 정의막(110)에 다양한 방향들로 배열된 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 포함하는 미세 요철 구조(125)를 형성할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 일정한 방향으로 배열된 강모들을 포함하는 롤러를 이용하는 공정을 반복적으로 수행하여, 복수의 방향들로 배열된 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 포함하는 미세 요철 구조(125)를 형성할 수도 있다. 예를 들면, 상기 롤러를 이용하여 제1 기판(100)을 제1 방향으로 이동시키면서 화소 정의막(110) 상에 상기 제1 방향을 따라 연장되는 복수의 트렌체들이나 그루브들을 형성한 후에, 다시 상기 롤러를 이용하여 제1 기판(100)을 제2 방향으로 이동시키면서 화소 정의막(110) 상에 상기 제2 방향을 따라 연장되는 복수의 트렌체들이나 그루브들을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 방향은 상기 제2 방향에 대해 실질적으로 직교하거나 소정의 각도로 경사질 수 있다. 이에 따라, 화소 정의막(110)에는 다양한 방향들로 배열된 복수의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 포함하는 미세 요철 구조(125)가 제공될 수 있다.
한편, 화소 정의막(110)이 무기 물질로 구성될 경우에는 복수의 방향들로 배열된 미세한 홀들을 갖는 마스크를 이용하는 레이저 조사 공정을 통해 화소 정의막(110)에 미세 요철 구조(125)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(110) 상부에 여러 방향들로 배열된 복수의 미세한 홀들을 갖는 마스크를 배치한 다음, 화소 정의막(110)이 형성된 제1 기판(100)을 일정한 방향으로 이동시키면서 상기 마스크를 통해 레이저를 조사하여, 화소 정의막(110)에 복수의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 갖는 미세 요철 구조(125)를 형성할 수 있다. 또한, 일정한 방향으로 배열된 복수의 미세 홀들을 갖는 마스크를 이용하는 레이저 조사 공정을 반복적으로 수행하여, 복수의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 갖는 미세 요철 구조(125)를 형성할 수도 있다. 예를 들면, 제1 기판(100)을 제1 방향으로 이동시키면서 화소 정의막(110)에 일정한 방향으로 배열된 복수의 미세 홀들을 갖는 마스크를 이용하는 레이저 조사 공정을 수행한 다음, 제1 기판(110)을 제2 방향으로 이동시키면서 전술한 레이저 조사 공정을 다시 수행함으로써, 다양한 방향들로 배열된 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 갖는 미세 요철 구조(125)를 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이 화소 정의막(110)이 미세 요철 구조(125)를 구비할 수 있기 때문에, 도너 기판을 이용하는 레이저 열전사 공정을 수행하여 제1 전극(105) 상에 상기 유가 발광 구조물을 형성하는 동안, 화소 정의막(110)의 개구에 존재하는 공기나 잔류 가스가 미세 요철 구조(125)를 통해 외부로 용이하게 배출될 수 있으므로, 상기 유기 발광 구조물이 제1 전극(105) 상에 실질적으로 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 유기 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있으며, 상기 유기 발광 표시 장치에 의해 표시되는 영상의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 도너 기판을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 도너 기판(170)은 베이스 필름(150), 광열 변환층(155), 유기 전사층(160) 등을 포함할 수 있다.
베이스 필름(150)은 소정의 유연성과 강도를 가지는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 베이스 필름(150)은 폴레에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리에스테르(polyester), 폴리아크릴(polyacryl), 폴리에폭시(polyepoxy), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리스티렌(polystyrene) 등과 같은 투명 중합체(polymer)를 포함할 수 있다. 베이스 필름(150)이 상대적으로 얇은 두께를 가질 경우에는 도너 기판(170)을 핸들링이 어려울 수 있다. 또한, 베이스 필름(150)의 두께가 상대적으로 두꺼우면 도너 기판(170)의 무게가 무거워져 도너 기판(150)을 이송하기 어려울 수 있다. 따라서 베이스 필름(150)은 약 10㎛ 내지 약 500㎛ 정도의 두께를 가질 수 있다. 베이스 필름(150)은 도너 기판(170)의 구성 요소들을 지지하는 역할을 수행할 수 있다.
광열 변환층(155)은 베이스 필름(150) 상에 배치될 수 있다. 광열 변환층(155)은 레이저 조사 장치로부터 조사되는 레이저를 열 에너지로 변환시킬 수 있는 광 흡수성 물질을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 광열 변환층(155)은 알루미늄, 몰리브데늄, 이들 금속의 산화물, 이들 금속의 황화물 등을 포함하는 금속을 함유하는 층으로 구성될 수 있다. 여기서, 상기 금속을 함유하는 층은 약 10㎚ 내지 약 500㎚ 정도의 상대적으로 작은 두께를 가질 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 광열 변환층(155)은 카본 블랙, 흑연, 적외선 염료 등이 첨가된 유기물을 함유하는 층을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 유기물을 함유하는 층은 약 100㎚ 내지 약 10㎛ 정도의 상대적으로 큰 두께를 가질 수 있다. 광열 변환층(155)으로 조사되는 레이저에 의해 발생하는 열 에너지는 유기 전사층(160)과 광열 변환층(155) 사이의 접착력을 변화시킬 수 있으며, 이에 따라 유기 전사층(160)을 소정의 패턴 형태로 표시 기판 상으로 전사시킬 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 광열 변환층(155)과 유기 전사층(160) 사이에는 버퍼층(도시되지 않음)이 추가적으로 배치될 수 있다. 이러한 버퍼층은, 예를 들면 약 5㎛ 내지 약 300㎛ 정도의 두께를 가질 수 있다.
다시 도 5를 참조하면, 유기 전사층(160)은 광열 변환층(155) 상에 배치될 수 있다. 유기 전사층(160)을 갖는 도너 기판(170)에 레이저 열 전사 공정을 수행하여, 상기 표시 기판 상에 유기 발광 구조물을 형성할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 유기 전사층(160)은 유기 발광층, 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 등을 포함할 수 있다. 이러한 다층 구조의 유기 전사층(160)으로부터 상기 표시 기판 상에 복수의 유기층들을 포함하는 유기 발광 구조물이 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 6에 있어서, 도 1을 참조하여 설명한 유기 발광 표시 장치와 실질적으로 동일한 구성을 갖는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하지만, 화소 정의막(210)에 미세 요철 구조(225)를 형성하는 공정의 자명한 변경을 통해 도 4를 참조하여 설명한 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있다.
도 6을 참조하면, 제1 기판(200) 상부에 제1 전극(205)을 형성할 수 있다. 제1 기판(200)은 절연 기판을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 제1 전극(205)을 형성하기 전에, 제1 기판(200) 상에는 스위칭 소자, 절연층, 콘택 등을 포함하는 하부 구조물(도시되지 않음)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 전극(205)은 상기 스위칭 소자에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 스위칭 소자가 박막 트랜지스터(TFT)를 포함할 경우, 상기 스위칭 소자는 게이트 절연막, 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극, 반도체 패턴 등을 구비할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 전극(205)은 유기 발광 구조물(230)에 정공들(holes)을 제공하는 양극(anode)에 해당될 수 있다. 제1 전극(205)은 상기 유기 발광 표시 장치의 발광 방식에 따라 투과 전극 또는 반사 전극에 해당될 수 있다. 예를 들면, 제1 전극(205)은 투명 도전성 물질, 반사성을 갖는 금속, 반사성을 갖는 합금 등을 사용하여 형성될 수 있다.
제1 기판(200)과 제1 전극(205) 상에 화소 정의막(210)을 형성할 수 있다. 화소 정의막(210)은 유기 물질 또는 무기 물질을 사용하여 형성될 수 있다. 화소 정의막(210)을 부분적으로 식각하여 제1 전극(205)의 일부를 노출시키는 개구를 형성할 수 있다. 화소 정의막(210)에 개구가 형성됨에 따라, 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 영역과 비표시 영역이 정의될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 전술한 바와 같이, 화소 정의막(210)의 구성 물질에 따라 롤러를 이용하는 공정 또는 레이저를 이용하는 공정을 수행하여, 화소 정의막(210)에 미세 요철 구조(225)를 형성할 수 있다. 미세 요철 구조(225)는 상기 표시 영역의 개구의 측벽과 상기 비표시 영역의 화소 정의막(210) 상에 형성될 수 있다. 미세 요철 구조(225)는 일정한 방향으로 배열된 복수의 트렌치들 또는 그루브들을 포함할 수 있다. 또한, 미세 요철 구조(225)는 다양한 방향들로 배열된 복수의 트렌치들, 그루브들 또는 덴트들을 포함할 수도 있다.
다시 도 6을 참조하면, 도 5를 참조하여 설명한 도너 기판(170)을 미세 요철 구조(225)를 갖는 화소 정의막(210) 상에 라미네이트할 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 기판(200)을 지지 부재(도시되지 않음) 상에 고정시킨 다음, 제1 기판(200)에 대해 도너 기판(170)을 정렬시킬 수 있다. 이 후에, 도너 기판(170)을 가압하여 화소 정의막(210) 상에 도너 기판(150)을 라미네이트할 수 있다.
도 6에 화살표들로 도시한 바와 같이, 도너 기판(170)으로 레이저를 조사하여 도너 기판(170)의 유기 전사층(150)을 제1 기판(200) 상의 노출된 제1 전극(205) 상으로 전사시킨다. 이 경우, 도너 기판(170) 중에서 노출된 제1 전극(205)이 위치하는 상기 표시 영역에 대응하는 부분에 레이저를 조사할 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저는 레이저 광원, 크세논(Xe) 램프, 플래시(flash) 램프 등으로부터 조사될 수 있다.
상기 레이저 열전사 공정에 있어서, 도너 기판(170)의 일부에 레이저가 조사될 경우, 밀착된 유기 전사층(150)과 제1 전극(205) 사이의 접착력이 광열 변환층(155)과 유기 전사층(160) 사이의 접착력 보다 커질 수 있다. 이에 따라, 레이저가 조사된 유기 전사층(160)의 일부가 광열 변환층(155)으로부터 박리되어, 상기 표시 영역의 제1 전극(205) 상에 유기 발광 구조물(230)이 형성될 수 있다. 여기서, 유기 발광 구조물(230)은 유기 발광층(EL), 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 등을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 또한, 유기 발광 구조물(230)의 유기 발광층은 상기 유기 발광 표시 장치의 각 화소에 따라 적색광, 녹색광, 청색광 등과 같은 서로 다른 색광들을 발생시킬 수 있는 발광 물질들을 포함할 수 있다. 한편, 유기 발광 구조물(230)의 유기 발광층은 적색광, 녹색광, 청색광 등의 상이한 색광들을 구현할 수 있는 복수의 발광 물질들이 적층되어 백색광을 발광하는 다층 구조를 가질 수도 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 화소 정의막(210)이 미세 요철 구조(225)를 구비할 수 있기 때문에, 도너 기판(170)을 이용하는 레이저 열전사 공정을 수행하여 제1 전극(205) 상에 유기 발광 구조물(230)을 형성하는 동안, 화소 정의막(210)의 개구에 존재하는 공기나 잔류 가스가 미세 요철 구조(225)를 통해 외부로 용이하게 배출될 수 있으므로, 유기 발광 구조물(230)이 제1 전극(105) 상에 실질적으로 균일하게 형성될 수 있다. 그 결과, 상기 유기 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있으며, 상기 유기 발광 표시 장치에 의해 표시되는 영상의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 6에 도시하지는 않았으나, 우기 발광 구조물(230)과 화소 정의막(210) 상에는 제2 전극이 형성될 수 있으며, 이러한 제2 전극 상에는 제2 기판이 배치될 수 있다. 상기 제2 전극은 상기 유기 발광 표시 장치의 발광 방식에 따라 반사성을 갖는 금속, 반사성을 갖는 합금 또는 투명 도전성 물질을 사용하여 형성될 수 있다. 상기 제2 기판은 절연 기판을 포함할 수 있다.
상술한 바에 있어서, 본 발명의 예시적인 실시예들을 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다음에 기재하는 특허 청구 범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경 및 변형이 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 미세 요철 구조를 구비하는 화소 정의막을 통해 표시 기판 상에 실질적으로 균일하게 유기 발광 구조물을 형성할 수 있으므로, 이러한 유기 발광 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있고, 상기 유기 발광 표시 장치에 의해 표시되는 영상의 품질을 개선할 수 있다. 이와 같이 개선된 수명과 영상의 품질을 갖는 유기 발광 표시 장치는 텔레비전, 휴대폰, 휴대용 영상 표시 장치, 의료 기기 등과 같은 다양한 전기전가 기기들에 작용될 수 있다.
10, 100, 200: 제1 기판 15, 105, 205: 제1 전극
20, 110, 210: 화소 정의막 25, 125, 215: 미세 요철 구조
50: 롤러 55: 기재
60: 강모 150: 베이스 필름
155: 광열 변환층 170: 유기 전사층
230: 유기 발광 구조물
20, 110, 210: 화소 정의막 25, 125, 215: 미세 요철 구조
50: 롤러 55: 기재
60: 강모 150: 베이스 필름
155: 광열 변환층 170: 유기 전사층
230: 유기 발광 구조물
Claims (20)
- 제1 기판;
상기 제1 기판 상에 배치되는 제1 전극;
상기 제1 전극 및 상기 제1 기판 상에 배치되어 표시 영역과 비표시 영역을 정의하며, 상기 표시 영역에서 상기 제1 전극을 노출시키는 개구를 포함하고, 상기 표시 영역 및 상기 비표시 영역에 형성되는 미세 요철 구조를 포함하는 화소 정의막;
상기 제1 전극 상에 배치되는 유기 발광 구조물;
상기 유기 발광 구조물 및 상기 화소 정의막 상에 배치되는 제2 전극; 및
상기 제2 전극 상에 배치되는 제2 기판을 포함하며,
상기 미세 요철 구조는 상기 개구의 측벽과 상기 비표시 영역의 화소 정의막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 각기 반사성을 갖는 물질 또는 투과성을 갖는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt), 금(Au), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir) 및 이들 금속들의 합금으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상을 포함하며, 상기 제2 전극은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 인듐 갈륨 산화물(IGO), 아연 산화물(ZnOx), 갈륨 산화물(GaOx) 및 주석 산화물(SnOx)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 전극은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 인듐 갈륨 산화물, 아연 산화물, 갈륨 산화물 및 주석 산화물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하며, 상기 제2 전극은 알루미늄, 은, 백금, 금, 크롬, 텅스텐, 몰리브데늄, 티타늄, 팔라듐, 이리듐 및 이들 금속들의 합금으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 미세 요철 구조는 일정한 방향으로 배열되는 복수의 트렌치들 또는 복수의 그루브들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 미세 요철 구조는 복수의 방향들로 배열되는 복수의 트렌치들, 복수의 그루브들 또는 복수의 덴트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 복수의 트렌치들, 복수의 그루브들 또는 복수의 덴트들은 서로 부분적으로 또는 전체적으로 연통되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 화소 정의막은 유기 물질 또는 무기 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 화소 정의막은 벤조사이클로부테인(BCB), 포토레지스트, 페놀계 수지, 폴리아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지, 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiOxNy) 또는 실리콘 산탄화물(SiOxCy)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제1 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;
상기 제1 전극 및 상기 제1 기판 상에, 표시 영역과 비표시 영역을 정의하는 화소 정의막을 형성하는 단계;
상기 화소 정의막을 부분적으로 식각하여 상기 표시 영역에서 상기 제1 전극을 노출시키는 개구를 형성하는 단계;
상기 개구의 측벽과 상기 비표시 영역의 화소 정의막 상에 미세 요철 구조를 형성하는 단계;
상기 제1 전극 상에 유기 발광 구조물을 형성하는 단계;
상기 유기 발광 구조물 및 상기 화소 정의막 상에 제2 전극을 형성하는 단계; 및
상기 제2 전극 상에 제2 기판을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제1 전극 사이에 스위칭 소자 및 절연층을 포함하는 하부 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 개구를 형성하는 단계는 200℃ 이하의 온도를 갖는 식각 용액을 사용하는 습식 식각 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 삭제
- 제11항에 있어서, 상기 미세 요철 구조를 형성하는 단계는, 상기 제1 기판을 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 강모들을 갖는 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 미세 요철 구조를 형성하는 단계는, 상기 제1 기판을 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 미세한 홀들을 갖는 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 미세 요철 구조를 형성하는 단계는,
상기 제1 기판을 제1 방향으로 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 강모들을 갖는 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시키는 단계; 및
상기 제1 기판을 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동시키면서 상기 롤러를 상기 화소 정의막에 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11항에 있어서, 상기 미세 요철 구조를 형성하는 단계는,
상기 제1 기판을 제1 방향으로 이동시키면서 소정의 방향으로 배열되는 미세한 홀들을 갖는 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사하는 단계; 및
상기 제1 기판을 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동시키면서 상기 마스크를 이용하여 상기 화소 정의막에 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11항에 있어서, 상기 유기 발광 구조물은 유기 전사층을 포함하는 도너 기판을 사용하는 레이저 열전사 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 레이저 열전사 공정 동안 상기 미세 요철 구조를 통해 상기 화소 정의막의 개구 내의 공기 또는 가스가 배출되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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