CN109461825B - 柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种柔性显示面板、采用所述柔性显示面板的柔性显示装置以及所述柔性显示面板的制作方法。本发明中，柔性显示面板包括：依次层叠设置的基板、阴极承载层以及阴极层；所述阴极承载层包括：设置于所述基板的阳极层以及像素限定层；所述阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分，部分所述像素限定层位于所述阴极层以及所述非发光部分之间；所述阴极承载层设置有第一沟槽，用于暴露出所述非发光部分的金属子层；部分所述阴极层形成在暴露出的所述金属子层表面。本发明实施例通过增加阴极与柔性显示面板中其他层之间的结合力，从而在弯折时降低阴极膜层分离的风险，提高产品的可靠性。

Description

柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置

技术领域

本发明实施例涉及柔性显示技术领域，特别涉及一种柔性显示面板、采用所述柔性显示面板的柔性显示装置以及所述柔性显示面板的制作方法。

背景技术

随着显示技术的发展，显示面板被广泛应用于手机、掌上电脑等便携式电子产品中，尤其是柔性显示屏，以其可折叠、携带方便、应用范围广、观看体验更佳等优势越来越受到用户的青睐，成为未来各种智能显示屏幕的发展趋势。然现有的柔性显示面板在弯折时仍存在较大的可靠性风险。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：目前有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode，OLED)等的柔性显示技术中，阴极的制备方式一般为整面成膜，由于阴极与其下层膜层之间结合力弱，在弯折的时候容易发生分离而影响产品的可靠性。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种柔性显示面板、采用所述柔性显示面板的柔性显示装置以及所述柔性显示面板的制作方法，通过增加阴极与柔性显示面板中其他层之间的结合力，从而在弯折时降低阴极膜层分离的风险，提高产品的可靠性。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种柔性显示面板，包括：依次层叠设置的基板、阴极承载层以及阴极层；所述阴极承载层包括：设置于所述基板的阳极层以及像素限定层；所述阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分，部分所述像素限定层位于所述阴极层以及所述非发光部分之间；所述阴极承载层设置有第一沟槽，用于暴露出所述非发光部分的金属子层；部分所述阴极层形成在暴露出的所述金属子层表面。

本发明的实施例还提供了一种柔性显示装置，包括如前所述的柔性显示面板。

本发明的实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：提供一基板；在所述基板上依次形成阳极层以及像素限定层；其中，所述阳极层以及所述像素限定层形成阴极承载层；所述阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分；部分所述像素限定层位于所述非发光部分的表面；在所述阴极承载层上形成第一沟槽，所述第一沟槽用于暴露出所述非发光部分的金属子层；在所述阴极承载层上形成阴极层；其中，部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在暴露出的所述金属子层表面。

本发明实施例相对于现有技术而言，柔性显示面板中通过将阳极层的非发光部分与发光部分电性隔离，并在阴极承载层上开设暴露出阳极层的非发光部分的金属子层的第一沟槽，从而在阴极承载层上开辟出与阴极层结合力更强的金属层，并且将部分阴极层直接形成在暴露出的金属子层表面，从而使得阴极层与阴极承载层之间部分通过金属与金属的结合力相结合，相对现有阴极层整层依赖金属与有机层的结合力相结合而言，可以提高阴极层与阴极承载层之间的结合力，从而可在柔性显示面板弯折强度较大时，防止阴极层与阴极承载层发生分离，进而提高产品的可靠性。

作为一个实施例，所述非发光部分与所述发光部分均采用多层复合结构。这样非发光部分可以与发光部分一并制备得到，不会增加工艺复杂度。

作为一个实施例，所述阳极层包括依次层叠设置于所述基板上的第一子层、第二子层以及第三子层；其中，所述第二子层为金属层；所述第一沟槽用于暴露出所述第二子层的表面，且部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在所述第二子层表面。

作为一个实施例，所述非发光部分采用单层金属层，所述发光部分采用多层复合结构；所述第一沟槽用于暴露出所述非发光部分的表面，且部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在所述非发光部分表面。

作为一个实施例，所述阴极承载层的表面以及暴露出的所述金属子层的表面均通过弧形过渡表面与所述第一沟槽连接，从而使得阴极层在第一沟槽处的厚度较为均匀，使得阴极层不易断裂。

作为一个实施例，所述弧形过渡表面的切面与所述阴极承载层之间的倾斜角度在30～40度之间，从而更有利于第一沟槽处的阴极层厚度的均匀性。

作为一个实施例，所述阴极层对应所述第一沟槽的位置形成第二沟槽，所述柔性显示面板还包括形成在所述阴极层上且部分填充于所述第二沟槽的光取出层。光取出层填充入第二沟槽，有利于释放阴极层应力，提高阴极层耐弯折性能。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本发明第一实施例柔性显示面板的截面示意图；

图2是根据本发明第一实施例柔性显示面板的阳极层的截面示意图；

图3是根据本发明第一实施例柔性显示面板的阳极层中一个阳极图形的俯视示意图；

图4是根据本发明第二实施例柔性显示面板的阳极层的截面示意图；

图5是根据本发明第四实施例柔性显示面板的制作方法的流程图。

具体实施例

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

本发明的第一实施例涉及一种柔性显示面板。请参阅图1，该柔性显示面板包括：依次层叠设置的基板10、阴极承载层11以及阴极层12；阴极承载层11包括：设置于基板10的阳极层110以及像素限定层111；所述阳极层110包括电性隔离的发光部分1101以及非发光部分1102，部分像素限定层111位于阴极层12以及非发光部分1102之间；阴极承载层11设置有第一沟槽112，用于暴露出非发光部分1102的金属子层；部分阴极层12形成在暴露出的金属子层表面。本发明实施例相对于现有技术而言，柔性显示面板中通过将阳极层的非发光部分与发光部分电性隔离，并在阴极承载层上开设暴露出阳极层的非发光部分的金属部分的第一沟槽，从而在阴极承载层上开辟出与阴极层结合力更强的金属层，并且将部分阴极层直接形成在暴露出的金属层表面，从而使得阴极层与阴极承载层之间部分通过金属与金属的结合力相结合，相对现有阴极层整层采用金属与有机层的结合力相结合而言，可以提高阴极层与阴极承载层之间的结合力，从而可在柔性显示面板弯折强度较大时，防止阴极层与阴极承载层发生分离，进而提高产品的可靠性。下面对本实施例的柔性显示面板的实现细节进行具体的说明，以下内容仅为方便理解提供的实现细节，并非实施本方案的必须。

需要说明的是，有机发光二极管中，位于阴极层和阳极层之间的发光层用于发光。本发明中，阳极层的发光部分是指与发光层可电接触的部分。如图1所示，阳极层110的发光部分1101在基板10上的正投影面积与发光层13在基板10上的正投影面积相等，但本发明不限于此，根据设计的需要，阳极层110的发光部分1101在基板10上的正投影面积还可以大于或者小于发光层13在基板10上的正投影面积，阳极层110的发光部分1101和发光层13存在电接触区域即可。阳极层的非发光部分是指与发光层不电接触的部分，即阳极层的非发光部分与发光层不存在电接触区域。

请参阅图1、图2，本实施例的柔性显示面板中，阳极层110的非发光部分1102与发光部分1101均采用多层复合结构，且两者的结构相同，从而可以采用相同工艺一并制备得到阳极层110的发光部分1101以及非发光部分1102，不会增加显示面板制作工艺的复杂度。举例而言，阳极层110包括依次层叠设置于基板上的第一子层1103、第二子层1104以及第三子层1105。其中，第一子层1103以及第三子层1105例如均为透明氧化铟锡(Indium TinOxide，ITO)导电膜层，第二子层1104为金属层，即阳极层110采用三层导电膜层复合结构。然不限于此，在一些例子中，阳极层110还可以为金属以及透明导电膜形成的混合导电层。第二子层1104例如采用金属银制作，其中，第二子层可以与阴极层的材料相同，也可以与阴极层的材料不同，第二子层可以采用物理气相沉积工艺制备得到。在一些例子中，在阳极层为反射电极膜层时，该反射电极膜层可以由银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)或者它们的混合物形成，并且氧化铟锡(ITO)透明导电膜、掺铟氧化锌(IZO)、氧化锌(ZnO)或者氧化铟等可以形成在该反射电极膜层上。

请参阅图3，图3中以一个矩形阳极图形为例进行说明，然不限于此，在一些例子中，阳极图形还可以为圆形、五边形等其他形状。阳极层110例如包括阵列排列的矩形阳极，每个矩形阳极例如对应一个像素单元。阳极层110的发光部分1101以及非发光部分1102，即每个阳极图形均可以通过图形化工艺实现电性隔离，例如在各阳极图形的非发光部分1102以及发光部分1101之间形成隔离槽1106。隔离槽例如为环形，通过环形隔离槽可以将矩形阳极划分为位于中心的发光部分1101以及位于四周的非发光部分1102。这样，非发光部分相互连通从而使得非发光部分具有较大的金属层表面，然不限于此，在一些例子中，也可以将非发光部分图形化为多个部分。需要说明的是，在一些例子中，还可以在隔离槽中填充绝缘材料，从而保证非发光部分以及发光部分之间的绝缘性。

本实施例中，阳极层110的非发光部分1102上形成有像素限定层111，像素限定层111可以采用已知工艺制备得到，此处不再赘述。像素限定层可以采用聚酰亚胺(PI)、聚酰胺(PA)、苯并环丁烯(BCB)、亚克力树脂或者酚醛树脂等的有机材料形成。

柔性显示面板还包括发光层13，发光层13设置于像素限定层111、阳极层110的发光部分1101以及阴极层12围成的密封空间内。发光层例如为基于有机发光二极管，量子点发光二极管等的显示技术形成的发光层，然不限于此。

本实施例中，第一沟槽112用于暴露出非发光部分的第二子层1104的表面，且部分阴极层12沉入第一沟槽112并形成在暴露出的第二子层1104的表面，其中，暴露出的第二子层1104的表面越大，阴极层12与第二子层1104的结合面越大，则在柔性显示面板弯折时，阴极承载层11对阴极层12的粘附力越大，从而可以更好地防止阴极层与阴极承载层分离。具体地，阴极承载层11的表面以及暴露出的金属子层的表面均通过弧形过渡表面与第一沟槽112连接，然不限于此。在实际应用中，弧形过渡表面的切面与阴极承载层11之间的倾斜角度在30～40度之间，优选在35度左右。这样，相对未采用弧形过渡表面连接时，在通过蒸镀或者喷墨打印工艺以整面成膜方式形成阴极层12的过程中，阴极层12在第一沟槽112位置可以更为均匀地堆积在第一沟槽112的内壁以及暴露出的金属子层(即第二子层)表面。

在实际应用中，第一沟槽112可以采用曝光工艺加工得到，例如对阴极承载层11进行曝光显影从而得到第一沟槽112。具体地，通过控制曝光工艺的参数能够控制第一沟槽112的深度，以及第一沟槽112的槽壁的表面弧度。采用曝光显影的工艺形成第一沟槽112，还能够通过控制曝光工艺的各参数精确控制第一沟槽112的相关尺寸的精度。更具体地，可以通过控制曝光工艺中的曝光的总能量值实现，如控制曝光时间以及曝光功率，具体曝光的总能量可以根据阴极承载层11的各层材料的材料特征以及尺寸等参数来确定。

通过曝光显影工艺加工得到第一沟槽，在设置掩膜版时，可以将掩膜版上与第一沟槽相对应的区域设置成包括不全透光部以及全透光部的透光区。其中，第一沟槽深度最大的区域对应全透光部，第一沟槽的内壁的弧形过渡表面对应不全透光部，不全透光部的透光率可以逐渐增大，直至连通至全透光部，这样直接通过掩膜版的设置即可控制第一沟槽的成型精度。

值得一提的是，本实施例中，阴极层12对应第一沟槽112的位置形成第二沟槽120，柔性显示面板还包括形成在阴极层12上且部分填充于第二沟槽120的光取出层(CPL)14。光取出层14填充入第二沟槽120，在弯折时有利于释放阴极层应力，提高阴极层耐弯折性能。

本实施例中，阴极层12作为透明电极，可以为由锂(Li)、钙(Ca)、氟化锂/钙(LiF/Ca)、氟化锂/铝(LiF/Al)、铝(Al)、镁(Mg)或者它们组合的化合物形成的膜层。

本实施例相对于现有技术而言，在现有柔性显示面板的基础上，通过将阳极层非发光部分以及发光部分进行隔离，并且对像素限定层以及阳极层非金属层进行去除从而得到用于暴露出非发光部分的金属层的第一沟槽，从而在阴极承载层中开辟出与阴极层结合力更强的金属层，通过将部分阴极层直接形成在暴露出的金属层表面，从而使得阴极层部分与阴极承载层中的金属层相结合，由于金属与金属的结合力相较于金属与有机层之间的结合力更强，所以可以在柔性显示面板能够承受更大的弯折强度而不易分离，保证产品的可靠性。

本发明的第二实施例涉及一种柔性显示面板。第二实施例与第一实施例大致相同，主要区别之处在于：在第一实施例中，阳极层的非发光部分与发光部分结构相同，且均采用多层复合结构。而在本发明第二实施例中，阳极层的非发光部分与发光部分结构不同，且非发光部分采用单层金属结构，发光部分采用多层复合结构。

请参阅图4，本实施例中，阳极层110的发光部分1101例如与第一实施例中的阳极层发光部分结构相同，此处不再赘述。阳极层110的非发光部分1102例如为与阴极层12结合力较强的单层金属，其中，阳极层非发光部分金属层材料可以与阴极层材料相同，也可以不同。第一沟槽用于暴露出非发光部分的表面，即单层金属层的表面，且部分阴极层沉入第一沟槽并形成在非发光部分表面。在实际应用中，可以先采用现有工艺形成整层阳极层，然后再通过图形化工艺去除阳极层非发光部分，接着再在基板上沉积得到单层金属层结构的阳极层非发光部分。其中，阳极层非发光部分的去除工艺可以与现有的阳极层图形化过程一并执行，这样，仅需在现有阳极层图形化之后，再制备得到单层金属层非发光部分即可。或者，可以先形成阳极层110的发光部分1101的第一子层1103，接着在形成阳极层110的发光部分1101的第二子层1104的同时形成阳极层非发光部分1102，再形成阳极层110的发光部分1101的第三子层1105，即阳极层110的发光部分1101的第二子层1104与阳极层非发光部分1102采用相同的金属层并且在同一次图形化过程形成。

在阴极承载层形成第一沟槽时，仅需去除像素限定层即可将非发光部分的单层金属层暴露出来，并可通过蒸镀工艺以整面成膜方式形成阴极层，使得部分阴极层沉入第一沟槽，并直接形成在单层金属层表面。

本实施例与前述实施例相比，阳极层非发光部分为单层金属层结构，从而使得部分阴极层与非发光部分的整层金属层结合，有利于进一步提高阴极层与阴极承载层之间的结合力。

本发明第三实施例涉及一种柔性显示装置，该柔性显示装置包括如第一或者第二实施例所述的柔性显示面板。该柔性显示装置可应用于可配备显示器的电子设备中。电子设备可以是智能手机、平板电脑、媒体播放器、腕表设备、挂件设备、头戴式耳机或者耳塞设备、游戏设备、导航设备等等，本实施例对电子设备的类型不做具体限制。

本发明第四实施例涉及一种柔性显示面板的制作方法，如图5所示，本实施例的柔性显示面板的制作方法包括步骤501至步骤504。本实施例制备得到的柔性显示面板的结构请继续参阅图1～图3。

步骤501：提供一基板。

步骤502：在基板上依次形成阳极层以及像素限定层，其中，阳极层以及像素限定层形成阴极承载层；阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分；部分像素限定层位于非发光部分的表面。

步骤503：在阴极承载层上形成第一沟槽，第一沟槽用于暴露出非发光部分的金属子层。

步骤504：在阴极承载层上形成阴极层，其中，部分阴极层沉入第一沟槽并形成在暴露出的金属子层表面。

步骤502具体包括：在基板10上形成阳极层110，阳极层110包括依次层叠设置于基板10上的第一子层1103、第二子层1104以及第三子层1105；其中，第二子层1104为金属层，对阳极层110进行图形化得到电性隔离的发光部分1101以及非发光部分1102，在基板10上形成像素限定层111，其中，部分像素限定层111位于非发光部分1102表面。

步骤503具体包括：去除非发光部分的第二子层上的像素限定层以及第三子层得到第一沟槽，在阴极承载层上形成阴极层的过程中，部分阴极层沉入第一沟槽并形成在第二子层表面。

步骤503中，阴极承载层11的表面以及暴露出的金属子层的表面均通过弧形过渡表面与第一沟槽112连接。具体地，弧形过渡表面的切面与阴极承载层之间的倾斜角度在30～40度之间，优选在35度左右。

具体地，第一沟槽可以采用曝光工艺加工得到，例如对阴极承载层进行曝光显影从而得到第一沟槽。具体地，通过控制曝光工艺的参数能够控制第一沟槽的深度，以及第一沟槽的内壁的表面弧度。采用曝光显影的工艺形成第一沟槽，还能够通过控制曝光工艺的各参数精确控制第一沟槽的相关尺寸的精度。更具体地，可以通过控制曝光工艺中的曝光的总能量值实现，如控制曝光时间以及曝光功率，具体曝光的总能量可以根据阴极承载层的各层材料的材料特征以及尺寸等参数来确定。通过曝光显影工艺加工得到第一沟槽，在设置掩膜版时，可以将掩膜版上与第一沟槽相对应的区域设置成包括不全透光部以及全透光部的透光区。其中，第一沟槽深度最大的区域对应全透光部，第一沟槽内壁的弧形表面对应不全透光部，不全透光部的透光率可以逐渐增大，直至连通至全透光部，这样直接通过掩膜版的设置即可控制第一沟槽的成型精度。需要说明的是，在实际应用中，可以在形成第一沟槽之后，在阳极层发光部分形成发光层，发光层例如有机发光层可以采用整面成膜方式制作得到，但是有机发光层不在第一沟槽成膜。

步骤504中，可以采用蒸镀或者喷墨打印工艺以整面成膜方式制备得到阴极层。由于步骤503中通过图形化得到的第一沟槽的步骤中，阴极承载层以及非发光部分的金属子层表面均与第一沟槽形成弧形过渡表面，所以能够在第一沟槽内形成厚度较为均匀的阴极层。

值得一提的是，在步骤504之后，本实例还包括：在阴极层上形成光取出层，其中，阴极层对应第一沟槽的位置形成第二沟槽，部分光取出层填充于第二沟槽。

本实施例与现有技术相比，在现有柔性显示面板的基础上，通过将阳极层非发光部分以及发光部分进行隔离，并且对像素限定层以及阳极层非金属层进行图形化得到用于暴露出阳极层非发光部分的金属层的第一沟槽，从而在阴极承载层中开辟出与阴极层结合力更强的金属层，通过将部分阴极层直接形成在暴露出的金属层表面，从而使得阴极层部分与阴极承载层中的金属层相结合，由于金属与金属的结合力相较于金属与有机层之间的结合力更强，所以可以在柔性显示面板能够承受更大的弯折强度而不易分离，保证产品的可靠性。

不难发现，本实施例为与第一实施例相对应的制作方法实施例，本实施例可与第一实施例互相配合实施。第一实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第一实施例中。

本发明第五实施例涉及一种柔性显示面板的制作方法，第五实施例与第四实施例大致相同，主要区别之处在于：在第四实施例中，阳极层的非发光部分与发光部分结构相同，且均采用多层复合结构。而在本发明第五实施例中，阳极层的非发光部分与发光部分结构不同，且非发光部分采用单层金属结构，发光部分采用多层复合结构。

本实施例中，请继续参阅图5，在步骤503中，在基板上分别形成电性隔离的发光部分以及非发光部分；其中，非发光部分以及发光部分形成整个阳极层，且非发光部分采用单层金属层，发光部分采用多层复合结构，例如如第四实施例所述的三层复合结构，然不限于此。在阴极承载层上形成第一沟槽具体包括：去除非发光部分上的像素限定层即可得到第一沟槽。具体地，可以先在基板上形成多层复合结构，然后通过图形化工艺去除非发光部分，然后再在非发光区域形成单层金属结构的非发光部分，例如通过物理气相沉积工艺得到非发光部分。或者，可以先形成阳极层发光部分的第一子层，接着在形成阳极层发光部分的第二子层的同时形成阳极层非发光部分，再形成阳极层发光部分的第三子层，即阳极层发光部分的第二子层与阳极层非发光部分采用相同的金属层并在同一次图形化过程形成。

本实施例与第四实施例相比，阳极层非发光部分为单层金属层结构，从而使得部分阴极层与非发光部分的整层金属层结合，有利于进一步提高阴极层与阴极承载层之间的结合力。

不难发现，本实施例为与第二实施例相对应的制作方法实施例，本实施例可与第二实施例互相配合实施。第二实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第二实施例中

上面各种方法的步骤划分，只是为了描述清楚，实现时可以合并为一个步骤或者对某些步骤进行拆分，分解为多个步骤，只要包括相同的逻辑关系，都在本专利的保护范围内；对算法中或者流程中添加无关紧要的修改或者引入无关紧要的设计，但不改变其算法和流程的核心设计都在该专利的保护范围内。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施例是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (9)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：依次层叠设置的基板、阴极承载层以及阴极层；

所述阴极承载层包括：设置于所述基板的阳极层以及像素限定层；

所述阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分，部分所述像素限定层位于所述阴极层以及所述非发光部分之间；

所述阴极承载层设置有第一沟槽，用于暴露出所述非发光部分的金属子层；

部分所述阴极层形成在暴露出的所述金属子层表面；

其中，所述非发光部分与所述发光部分均采用多层复合结构，所述阳极层包括依次层叠设置于所述基板上的第一子层、第二子层以及第三子层；其中，所述第二子层为金属层；

所述第一沟槽用于暴露出所述第二子层的表面，且部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在所述第二子层表面。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述阴极承载层的表面以及暴露出的所述金属子层的表面均通过弧形过渡表面与所述第一沟槽连接。

3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述弧形过渡表面的切面与所述阴极承载层之间的倾斜角度在30~40度之间。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述阴极层对应所述第一沟槽的位置形成第二沟槽，所述柔性显示面板还包括形成在所述阴极层上且部分填充于所述第二沟槽的光取出层。

5.一种柔性显示装置，其特征在于，包括如权利要求1至4中任一项所述的柔性显示面板。

6.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板；

在所述基板上依次形成阳极层以及像素限定层；其中，所述阳极层以及所述像素限定层形成阴极承载层；所述阳极层包括电性隔离的发光部分以及非发光部分；部分所述像素限定层位于所述非发光部分的表面；

在所述阴极承载层上形成第一沟槽，所述第一沟槽用于暴露出所述非发光部分的金属子层；

在所述阴极承载层上形成阴极层；其中，部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在暴露出的所述金属子层表面；

所述在所述基板上依次形成阳极层以及像素限定层，具体包括：

在所述基板上形成所述阳极层；所述阳极层包括依次层叠设置于所述基板上的第一子层、第二子层以及第三子层；其中，所述第二子层为金属层；

对所述阳极层进行图形化得到电性隔离的发光部分以及非发光部分；

在所述基板上形成所述像素限定层；其中，部分所述像素限定层位于所述非发光部分表面；

在所述阴极承载层上形成第一沟槽具体包括：

去除所述非发光部分的第二子层上的像素限定层以及所述第三子层得到所述第一沟槽；

在所述阴极承载层上形成阴极层，部分所述阴极层沉入所述第一沟槽并形成在所述第二子层表面。

7.根据权利要求6所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述阴极承载层上形成第一沟槽，所述阴极承载层的表面以及暴露出的所述金属子层的表面均通过弧形过渡表面与所述第一沟槽连接。

8.根据权利要求7所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述弧形过渡表面的切面与所述阴极承载层之间的倾斜角度在30~40度之间。

9.根据权利要求6所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述阴极承载层上形成阴极层之后，还包括：

在所述阴极层上形成光取出层；其中，所述阴极层对应所述第一沟槽的位置形成第二沟槽，部分所述光取出层填充于所述第二沟槽。

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