KR101761305B1 - 흡착 작업으로부터 nf3를 회수하는 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 병류식(cocurrent flow)으로 NF3를 회수하기 위한 개략적인 장치를 도시한 것이다.
도 3은 실시예 1에 대한 시간에 따른 % NF3 및 % N20의 표준화된 회수율을 도시한 것이다.
도 4는 실시예 2에 대한 시간에 따른 % NF3 및 % N20의 표준화된 회수율을 도시한 것이다.
도 5는 실시예 3에 대한 시간에 따른 % NF3 및 % N20의 표준화된 회수율을 도시한 것이다.
3, 8: 유입 도관
4-1, 4-2, 5-1, 5-2, 6-1, 6-2, 7-1, 7-2, 9, 15-1, 15-2, 19-1, 19-2: 밸브
11: 가열부재
13, 14: 배출구
17: 분석기
Claims (20)
- 각각 흡착체를 함유하는 두 개 이상의 용기를 갖는 시스템에서 미정제 NF3 가스 스트림으로부터 하나 이상의 불순물을 제거하는 방법으로서,
미정제 NF3 가스 스트림을 제 1 용기 내의 제 1 흡착체를 통해 흐르게 하여 하나 이상의 불순물을 선택적으로 흡착시키는 단계,
소정의 시간 후에, 또는 제 1 흡착체의 유출물 중의 하나 이상의 불순물이 소정 수준에 도달하는 경우에, 제 2 용기 내의 제 2 흡착체를 통해 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름을 방향 전환하는 단계,
회수 퍼어지 가스(recovery purge gas)를 제 1 흡착체를 통해 흐르게 하여 제 1 흡착체로부터 동시-흡착된 NF3를 선택적으로 탈착시키는 단계,
소정 시간 후에, 또는 회수 퍼어지 가스의 유출물 중의 하나 이상의 불순물이 소정 수준에 도달하거나, 또는 동시-흡착된 NF3가 소정 퍼센트에 도달하는 경우, 회수 퍼어지 가스의 흐름을 중단시키는 단계,
재생 퍼어지 가스를 제 1 흡착체를 통해 흐르게 하여 제 1 흡착체로부터 흡착된 하나 이상의 불순물 및 잔류하는 동시-흡착된 NF3를 퍼어징하는 단계, 및
재생 퍼지 가스의 흐름을 중단시키는 단계를 포함하는 방법. - 제 1항에 있어서, 온도 변동 흡착(TSA)법인 방법.
- 제 1항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 유출물 중의 하나 이상의 불순물이 소정 수준에 도달하는 경우, 제 1 흡착체로부터의 회수 퍼어지 가스의 유출물을, (1) 제 2 흡착체의 유출물, 또는 (2) 제 2 흡착체로 유도되는 미정제 NF3 가스 스트림과 합치는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
- 제 1항에 있어서, 하나 이상의 불순물이 N2O, CO2, H2O, OF2, SF6, CF4, C2F6 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
- 제 1항에 있어서, 제 1 흡착체 및 제 2 흡착체가 각각, FAU, MOR, CHA, OFF, ERI, FER, GME, LEV, EMT, BEA, MAZ, LTA, LTL, MFI, MEL, MTW, MEI, MFS, NES, 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 골격(framework)을 지닌 알루미노실리케이트 제올라이트인 방법.
- 제 5항에 있어서, 제 1 흡착체 및 제 2 흡착체가 각각, Na-MOR, Ca-LTA, Na-FAU, 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
- 제 1항에 있어서, 회수 퍼어지 가스가 헬륨, 질소 및 아르곤으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 재생 퍼어지 가스가 헬륨, 질소 및 아르곤으로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
- 제 1항에 있어서, 제 1 흡착체를 통한 회수 퍼어지 가스의 흐름이 제 1 흡착체를 통한 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름과 동일한 방향(병류식)인 방법.
- 제 1항에 있어서, 제 1 흡착체를 통한 회수 퍼어지 가스의 흐름이 제 1 흡착체를 통한 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름과 반대 방향(향류식)인 방법.
- 제 1항에 있어서, 제 1 흡착체를 통한 재생 퍼어지 가스의 흐름이 제 1 흡착체를 통한 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름과 동일한 방향(병류식)인 방법.
- 제 1항에 있어서, 제 1 흡착체를 통한 재생 퍼어지 가스의 흐름이 제 1 흡착체를 통한 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름과 반대 방향(향류식)인 방법.
- 제 1항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 온도가 -20 내지 120℃ 범위인 방법.
- 제 12항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 온도가 4 내지 65℃ 범위인 방법.
- 제 12항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 온도가 4 내지 30℃ 범위인 방법.
- 제 1항 또는 제 12항에 있어서, 재생 퍼어지 가스의 온도가 35 내지 450℃ 범위인 방법.
- 제 1항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 몰질량 속도(molar mass velocity)가 0.2 내지 40 kg-mol/m2 hr 범위이고, 체류 시간이 0.1 내지 25분 범위인 방법.
- 제 16항에 있어서, 회수 퍼어지 가스의 몰질량 속도가 0.5 내지 15 kg-mol/m2 hr 범위이고, 체류 시간이 0.3 내지 10분 범위인 방법.
- 제 1항 또는 제 16항에 있어서, 재생 퍼어지 가스의 유속이 1 내지 7 kg-mol/m2 hr 범위이고, 체류 시간이 0.7 내지 5분 범위인 방법.
- 제 1항에 있어서, 동시 흡착된 NF3의 10 내지 100%가 제 1 흡착체를 통해 회수 퍼어지 가스를 흐르게 하는 단계에서 제 1 흡착체로부터 탈착되는 방법.
- 제 1항에 있어서,
소정 시간 후에, 또는 제 2 흡착체의 유출물 중의 하나 이상의 불순물이 소정 수준에 도달하는 경우, 제 1 용기 내의 제 1 흡착체를 통해 미정제 NF3 가스 스트림의 흐름을 다시 방향 전환하는 단계,
회수 퍼어지 가스를 제 2 흡착체를 통해 흐르게 하여 제 2 흡착체로부터 동시-흡착된 NF3를 선택적으로 탈착시키는 단계,
소정 시간 후에, 또는 회수 퍼어지 가스의 유출물 중의 하나 이상의 불순물이 소정 수준에 도달하거나, 또는 동시-흡착된 NF3가 소정 퍼센트에 도달하는 경우, 회수 퍼어지 가스의 흐름을 중단시키는 단계,
재생 퍼어지 가스를 제 2 흡착체를 통해 흐르게 하여 제 2 흡착체로부터 흡착된 하나 이상의 불순물 및 잔류하는 동시 흡착된 NF3를 퍼어징하는 단계, 및
재생 퍼지 가스의 흐름을 중단시키는 단계를 추가로 포함하는 방법.
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