KR101725470B1

KR101725470B1 - 복합 전자파 흡수 필름

Info

Publication number: KR101725470B1
Application number: KR1020117014394A
Authority: KR
Inventors: 세이지 까가와
Original assignee: 세이지 까가와
Priority date: 2009-12-25
Filing date: 2010-10-29
Publication date: 2017-04-10
Also published as: WO2011077834A1; EP2519091B1; JP5542139B2; JPWO2011077834A1; CN102415230A; EP2519091A4; CA2749701A1; TW201134381A; EP2519091A1; KR20120100699A; TWI562717B; US9326433B2; US20110268925A1; CN102415230B

Abstract

인접하는 복수의 전자파 흡수 필름편이 플라스틱 베이스 필름 상에 설치된 복합 전자파 흡수 필름으로서, 각 전자파 흡수 필름편은, 불규칙한 폭 및 간격으로 실질적으로 평행한 다수의 단속적(斷續的)인 선상흔(線狀痕)이 복수 방향으로 형성된 도전체층을 가지는 플라스틱 필름으로 이루어지고, 또한 상기 복수의 전자파 흡수 필름편은 상기 선상흔의 폭, 간격, 길이 및 방향 중 적어도 하나가 상이한 복합 전자파 흡수 필름.

Description

복합 전자파 흡수 필름{COMPOSITE ELECTROMAGNETIC-WAVE-ABSORBING FILM}

본 발명은 우수한 전자파 흡수능(吸收能)을 가지는 동시에 그 이방성(異方性)이 저감된 복합 전자파 흡수 필름에 관한 것이다.

퍼스널 컴퓨터, 휴대 전화기, 유료 도로의 자동 요금 징수 시스템(ETC), 무선 LAN 등의 전자 기기나 통신 기기의 시스템에는, 전자파의 누출 및 침입(intrusion)을 방지하는 차폐재(shielding material)가 사용되고 있다. 차폐재에는, 광범위한 주파수의 전자파를 양호하게 흡수 가능할 뿐만 아니라, 입사 방향에 따른 전자파 흡수능의 변화(이방성)가 적을 필요도 있다. 특히, ETC 등과 같이 원편파(circularly polarized wave)를 사용하는 시스템에서는, TE파(입사면에 대하여 전계 성분이 수직인 전자파) 및 TM파(입사면에 대하여 자계 성분이 수직인 전자파)의 양쪽 모두 양호한 효율로 흡수하는 차폐재가 요구된다.

현재 차폐재로서 널리 사용되어 있는 금속의 시트 또는 네트는 무거우며, 기기의 케이싱 내에 배치하기가 번거로운 문제점이 있다. 거기에 더하여, 금속의 시트 또는 네트에는 전자파 흡수능에 있어서, 큰 이방성, 즉 전자파의 입사각이 커지면 전자파 흡수능이 현저하게 저하되는 경향이 있다.

경량이며 케이싱으로의 배치가 용이한 전자파 흡수 차폐재로서 일본 특허출원 공개번호 평9-148782호는, 플라스틱 필름과, 그 양면에 형성된 제1 및 제2 알루미늄 증착막으로 이루어지고, 제1 알루미늄 증착막에는 비도통(非導通))의 선형 패턴이 에칭되어 있고, 제2 알루미늄 증착막에는 메쉬형(mesh type) 패턴이 에칭되어 있는 차폐재를 제안하고 있다. 그러나, 이 차폐재의 선형 패턴 및 메쉬형 패턴은 모두 규칙적이므로, 광범위한 주파수의 전자파를 양호한 효율로 흡수할 수 없고, 또한 전자파 흡수능의 이방성이 크다.

일본 특허출원 공개번호 2004-134528호는, 이방성 저항층과 도전성 필러를 포함하는 유전체층과 전자파 반사체층을 차례로 가지는 전자파 흡수체로서, 이방성 저항층은 도통한 선형 패턴으로 이루어지고, 표면 저항이 일방향에서는 1kΩ 이하이며, 다른 방향에서는 10kΩ 이상의 이방성을 가지는 전자파 흡수체를 제안하고 있다. 상기 일본 특허출원 공개번호 2004-134528호는, 선형 패턴이 TE파의 자계 성분과 평행하도록 전자파 흡수체를 배치하면, TE파 및 TM파의 양쪽을 양호한 효율로 흡수할 수 있다고 기재하고 있다. 그러나, 이 전자파 흡수체는 전자파 흡수능의 이방성이 큰 문제점이 있다.

일본 특허출원 공개번호 평9-148782호 일본 특허출원 공개번호 2004-134528호

따라서, 본 발명의 목적은, 각종 주파수의 전자파에 대하여 양호한 흡수능을 가질 뿐만 아니라, 전자파 흡수능의 이방성이 저감된 복합 전자파 흡수 필름을 제공하는 것이다.

상기 목적을 감안하여 검토를 거듭한 결과, 본 발명자는, 불규칙한 폭 및 간격으로 실질적으로 평행한 다수의 단속적(斷續的)인 선상흔(線狀痕)이 복수 방향으로 형성된 도전체층을 가지는 복수의 전자파 흡수 필름편(片)을 인접하여 배치함으로써, 각종 주파수의 전자파에 대하여 양호한 흡수능을 가질 뿐만 아니라, 전자파 흡수능의 이방성이 저감된 복합 전자파 흡수 필름을 얻을 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.

즉, 본 발명의 복합 전자파 흡수 필름은, 인접하는 복수의 전자파 흡수 필름편이 플라스틱 베이스 필름 상에 설치되고, 각 전자파 흡수 필름편은, 불규칙한 폭 및 간격으로 실질적으로 평행한 다수의 단속적인 선상흔이 복수 방향으로 형성된 도전체층을 가지는 플라스틱 필름으로 이루어지고, 또한 상기 복수의 전자파 흡수 필름편은 상기 선상흔의 폭, 간격, 길이 및 방향 중 적어도 하나가 상이한 것을 특징으로 한다.

인접하는 전자파 흡수 필름편 사이에 미소한 공극(空隙)이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 상기 공극의 폭은 0.1∼5 mm인 것이 바람직하다.

복수의 전자파 흡수 필름편의 도전체층은, 20Ω／□ ∼ 1kΩ／□의 표면 저항을 가지는 제1 도전체층, 1kΩ／□초과 ∼ 3.5kΩ／□ 미만의 표면 저항을 가지는 제2 도전체층, 및 3.5kΩ／□ ∼ 1MΩ／□의 표면 저항을 가지는 제3 도전체 층으로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 제1∼제3 도전체층의 면적 비율은, 합계를 100%로 할 때, 각각 50∼70 %, 10∼20 % 및 20∼30 %인 것이 바람직하다.

상기 전자파 흡수 필름편은 모두 직사각형이며, 상기 제2 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편 및 상기 제3 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편은 상기 제1 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편의 한 변에 인접하고 있는 것이 바람직하다.

각 도전체층은 단층 또는 다층의 금속 박막으로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 선상흔의 폭은 90% 이상이 0.1∼100 ㎛의 범위 내에 있으며, 평균 1∼50 ㎛이며, 또한 상기 선상흔의 간격은 0.1∼200 ㎛의 범위 내에 있으며, 평균 1∼100 ㎛인 것이 바람직하다.

각 전자파 흡수 필름편에서의 선상흔은 2방향으로 배향되어 있고, 그 교차각은 30°∼90°인 것이 바람직하다.

본 발명의 복합 전자파 흡수 필름은, 불규칙한 폭 및 간격으로 실질적으로 평행한 다수의 단속적인 선상흔이 복수 방향으로 형성된 도전체층을 가지는 복수의 전자파 흡수 필름편을 인접하여 구비하므로, 각종 주파수의 전자파에 대하여 양호한 흡수능을 가질 뿐만 아니라, 그 이방성이 적다. 이와 같은 특징을 가지는 본 발명의 복합 전자파 흡수 필름은, 휴대 전화기, 퍼스널 컴퓨터, 텔레비전 등의 전자 기기 및 통신 기기; IC 태그, 비접촉 IC 카드 등을 사용하는 RFID(Radio Frequency Identification) 시스템; 무선 LAN 시스템; 유료 도로의 자동 요금 징수 시스템(ETC); 건축물의 내벽 등에서의 전자파 노이즈의 누출 및 진입의 방지나, 정보의 누출 방지 등에 매우 적합하다.

도 1a는 본 발명의 일실시예에 의한 복합 전자파 흡수 필름을 나타낸 평면도이다.
도 1b는 도 1a의 A-A 단면도이다.
도 1c는 도 1a의 B-B 단면도이다.
도 2a는 도 1a의 복합 전자파 흡수 필름의 부분 A, B, C를 나타낸 평면도이다.
도 2b는 도 2a의 C-C 단면도이다.
도 2c는 도 2b의 부분 A', B', C'를 나타내는 확대 단면도이다.
도 3a는 전자파 흡수 필름편의 또 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 부분 D를 나타내는 확대 단면도이다.
도 4a는 선상흔의 교차각이 90°인 전자파 흡수 필름편을 나타낸 평면도이다.
도 4b는 3방향의 선상흔을 가지는 전자파 흡수 필름편을 나타낸 평면도이다.
도 4c는 4방향의 선상흔을 가지는 전자파 흡수 필름편을 나타낸 평면도이다.
도 5a는 전자파 흡수 필름편의 또 다른 예를 나타낸 평면도이다.
도 5b는 도 5a의 D-D 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시형태에 의한 복합 전자파 흡수 필름을 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 복합 전자파 흡수 필름을 나타낸 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 전자파 흡수 필름을 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 복합 전자파 흡수 필름을 나타낸 평면도이다.
도 10a는 선상흔 형성 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.
도 10b는 도 10a의 선상흔 형성 장치를 나타낸 평면도이다.
도 10c는 도 10b의 E-E 단면도이다.
도 10d는 플라스틱 필름의 진행 방향에 대하여 경사진 선상흔이 형성되는 원리를 설명하기 위한 부분 확대 평면도이다.
도 10e는 도 10a의 선상흔 형성 장치에 있어서, 플라스틱 필름에 대한 패턴 롤 및 가압 롤의 경사 각도를 나타내는 부분 평면도이다.
도 11은 선상흔 형성 장치의 다른 예를 개략적으로 나타내는 부분 단면도이다.
도 12는 선상흔 형성 장치의 또 다른 예를 나타낸 사시도다.
도 13은 선상흔 형성 장치의 또 다른 예를 나타낸 사시도다.
도 14는 선상흔 형성 장치의 또 다른 예를 나타낸 사시도다.
도 15는 복합 전자파 흡수 필름의 전자파 흡수능을 평가하는 장치를 나타낸 개략도이다.
도 16은 실시예 1의 복합 전자파 흡수 필름의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 17은 실시예 1의 복합 전자파 흡수 필름의 주파수 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량과 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 18은 실시예 2의 복합 전자파 흡수 필름의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 19는 실시예 2의 복합 전자파 흡수 필름의 주파수 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량과 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 20은 실시예 3의 복합 전자파 흡수 필름의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 21은 실시예 3의 복합 전자파 흡수 필름의 주파수 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량과 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 22는 실시예 4의 복합 전자파 흡수 필름의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 23은 실시예 4의 복합 전자파 흡수 필름의 주파수 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량과 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 24는 실시예 4의 복합 전자파 흡수 필름을 좌우 반전(反轉)했을 때의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 다른 그래프이다.
도 25는 실시예 4의 복합 전자파 흡수 필름을 좌우 반전했을 때의 주파수 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량과 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 다른 그래프이다.
도 26은 참고예 1의 전자파 흡수 필름편(홀더에 세로로 길게 고정)의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 27은 참고예 1의 전자파 흡수 필름편(홀더에 가로로 길게 고정)의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 다른 그래프이다.
도 28은 참고예 2의 전자파 흡수 필름편(홀더에 세로로 길게 고정)의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 29는 참고예 2의 전자파 흡수 필름편(홀더에 가로로 길게 고정)의 피크 흡수율 및 피크 주파수와 전자파 입사 각도와의 관계를 나타내는 다른 그래프이다.

본 발명의 각 실시형태를 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명하지만, 특별한 언급이 없으면 하나의 실시형태에 관한 설명은 다른 실시형태에도 적용된다. 또한, 하기 설명은 한정적이 아니고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 각종 변경을 해도 된다.

[1] 복합 전자파 흡수 필름

도 1a∼도 1c는, 플라스틱 베이스 필름(10a)의 일면에 3개의 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)를 인접 배치하여 이루어지는 복합 전자파 흡수 필름의 일례를 나타낸다. 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)은 모두, 플라스틱 필름(10)과 그 일면에 설치된 금속 박막(11)을 가지고, 금속 박막(11)의 전체면에 실질적으로 평행하며 단속적인 다수의 선상흔(12)이 불규칙한 폭 및 간격으로 복수 방향으로 형성되어 있다. 그리고, 설명을 위하여, 도 1a에서는 선상흔(12)의 길이, 폭 및 간격을 실제보다 과장하고 있다.

(1) 전자파 흡수 필름편

제1∼제3 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)은 모두, 플라스틱 필름(10) 중 적어도 일면에 단층 또는 다층의 금속 박막(11)을 가진다. 다층의 금속 박막으로서는 2층 구조의 금속 박막이 바람직하고, 그 경우 자성(磁性) 금속 박막과 비자성 금속 박막과의 조합이 바람직하다.

(a) 플라스틱 필름

플라스틱 필름(10)을 형성하는 수지는, 절연성과 함께 충분한 강도, 가요성(可撓性) 및 가공성을 가지는 한 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 폴리에스테르(폴리에틸렌테레프탈레이트 등), 폴리아릴렌설파이드(폴리페닐렌설파이드 등), 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 아크릴 수지, 폴리스티렌, 폴리올레핀(폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등) 등이 있다. 플라스틱 필름(10)의 두께는 10∼100 ㎛ 정도로 된다.

(b) 금속 박막

금속 박막(11)을 형성하는 금속은 도전성을 가지는 한 특별히 한정되지 않지만, 내식성(耐蝕性) 및 비용의 관점에서 알루미늄, 동, 니켈, 코발트, 은 및 이들의 합금이 바람직하고, 특히 알루미늄, 동, 니켈 및 이들의 합금이 바람직하다. 금속 박막의 두께는 0.01㎛ 이상이 바람직하다. 두께의 상한은 특별히 한정적이 아니지만, 실용적으로는 10㎛ 정도이면 충분하다. 물론, 10㎛ 초과의 금속 박막을 사용해도 되지만, 고주파수의 전자파의 흡수능은 거의 변함이 없다. 금속 박막의 두께는 0.01∼5 ㎛가 더욱 바람직하고, 0.01∼1 ㎛가 가장 바람직하고, 10∼100 nm가 특히 바람직하다.

금속 박막(11)은, 도 2a∼도 2c에 나타낸 바와 같이 단층 구조라도 되고, 도 3a 및 도 3b에 나타낸 바와 같이 다층 구조라도 된다. 다층 구조의 금속 박막(11)은, 한쪽이 비자성 금속이며 다른 쪽이 자성 금속의 제1 및 제2 금속 박막(11a, 11b)으로 이루어지는 것이 바람직하다. 자성 금속으로서 니켈, 코발트, 크롬 또는 이들의 합금을 예로 들 수 있고, 비자성 금속으로서 동, 은, 알루미늄, 주석 또는 이들의 합금을 예로 들 수 있다. 바람직한 조합은 니켈과 동 또는 알루미늄이다. 자성 금속 박막의 두께는 0.01㎛ 이상이 바람직하고, 비자성 금속 박막의 두께는 0.1㎛ 이상이 바람직하다. 두께의 상한은 특별히 한정적이 아니지만, 양 금속 박막 모두 실용적으로는 10㎛ 정도이면 된다. 더욱 바람직하게는, 자성 금속 박막의 두께는 0.01∼5 ㎛이며, 비자성 금속 박막의 두께는 0.1∼5 ㎛이다.

(c) 선상흔

도 2a∼도 2c에 나타낸 예에서는, 금속 박막(11)에 다수의 실질적으로 평행하며 단속적인 선상흔(12a, 12b)이, 불규칙한 폭 및 간격으로 2방향으로 배향되도록 형성되어 있다. 그리고, 설명을 위하여, 도 2b에서는 선상흔(12a)의 깊이를 실제보다 과장하고 있다. 선상흔(12)은 매우 가는 선상흔으로부터 매우 굵은 선상흔까지 각종 폭 W를 가지는 동시에, 각종 간격 I로 불규칙하게 배열되어 있다. 선상흔(12)의 폭 W는 원래의 표면 S와 교차하는 위치에서 구하고, 인접하는 선상흔(12)의 간격 I는 원래의 표면 S와 교차하는 위치에서 구한다. 선상흔(12) 중에는 부분적으로 연결된 것이 있어도 된다. 또한, 선상흔(12)에는, 금속 박막(11)을 관통하여 플라스틱 필름(10)에 도달한 것[비도통부(121)를 형성하고 있는 것]과, 비교적 깊어서 금속 박막(11)을 관통하고 있지 않은 것[고저항부(122)를 형성하고 있는 것]이 있다. 이와 같이 선상흔(12)이 불규칙한 폭 W 및 간격 I로 형성되어 있으므로, 본 발명의 전자파 흡수 필름편은 넓은 범위의 주파수의 전자파를 양호한 효율로 흡수할 수 있다.

선상흔(12)의 폭 W는, 90% 이상이 0.1∼100 ㎛의 범위 내에 있으며, 평균 1∼50 ㎛인 것이 바람직하다. 상기 범위 밖에서는 전자파 흡수 필름편의 전자파 흡수능은 낮다. 선상흔(12)의 폭 W는 90% 이상이 0.1∼50 ㎛의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하고, 0.1∼20 ㎛의 범위 내에 있는 것이 가장 바람직하다. 또한, 선상흔(12)의 평균 폭 Wav는 1∼20 ㎛가 보다 바람직하고, 1∼10 ㎛가 가장 바람직하다.

선상흔(12)의 간격 I는 0.1∼200 ㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 0.1∼100 ㎛의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하고, 0.1∼50 ㎛의 범위 내에 있는 것이 가장 바람직하고, 0.1∼20 ㎛의 범위 내에 있는 것이 특히 바람직하다. 또한, 선상흔(12)의 평균 간격 Iav는 1∼100 ㎛가 바람직하고, 1∼50 ㎛가 더욱 바람직하며, 1∼20 ㎛가 가장 바람직하다.

선상흔(12)의 길이 L은, 슬라이드 접촉 조건[주로 롤 및 필름의 상대적인 주속(周速), 및 필름의 롤에 대한 권취 각도]에 의해 정해지므로, 슬라이드 접촉 조건을 바꾸지 않는 한 대부분이 거의 동일하다(평균 길이가 거의 동일함). 선상흔(12)의 길이는 특별히 한정적이 아니고, 실용적으로는 1∼100 mm 정도가 된다.

도 4a∼도 4c는 선상흔(12)의 패턴의 다른 예를 각각 나타낸다. 슬라이드 접촉 조건(패턴 롤의 수, 축선 방향, 패턴 롤 및 필름의 상대적인 주속 등)을 적절하게 설정함으로써, 배향 방향 및 수가 상이한 각종 패턴의 선상흔(12)을 얻을 수 있다.

도 4a의 선상흔(12)은 교차각 θs가 90°인 선상흔(12a, 12b)으로 이루어지고, 도 4b의 선상흔(12)은 3방향의 선상흔(12a, 12b, 12c)으로 이루어지고, 도 4c의 선상흔(12)은 4방향의 선상흔(12a, 12b, 12c, 12d)으로 이루어진다.

(d) 미세 구멍

도 5a 및 도 5b는 단층 금속 박막을 가지는 전자파 흡수 필름편의 다른 예를 나타낸다. 이 예에서는, 금속 박막(11)에 선상흔(12) 외에, 금속 박막(11)을 관통하는 다수의 미세 구멍(13)이 랜덤하게 형성되어 있다. 미세 구멍(13)은, 표면에 고경도 미립자를 가지는 롤을 금속 박막(11)에 가압함으로써 형성할 수 있다. 도 5b에 나타낸 바와 같이, 미세 구멍(13)의 개구 직경 D는 원래의 표면 S의 위치에서 구한다. 미세 구멍(13)의 개구 직경 D는 90% 이상이 0.1∼100 ㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 0.1∼50 ㎛의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 미세 구멍(13)의 평균 개구 직경 Dav는 0.5∼50 ㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 1∼30 ㎛의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하다. 평균 개구 직경 Dav의 상한은 20㎛가 더욱 바람직하고, 10㎛가 가장 바람직하다. 미세 구멍(13)의 평균 밀도는 500개/cm² 이상인 것이 바람직하고, 5000∼50000 개/cm²인 것이 더욱 바람직하다.

(2) 표면 저항

제1∼제3 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)의 표면 저항은, 이 순서로 각각 20Ω／□ ∼ 1kΩ／□, 1kΩ／□초과 ∼ 3.5kΩ／□ 미만, 및 3.5kΩ／□ ∼ 1MΩ／□로 하는 것이 바람직하고, 이로써, 입사면에 대하여 전계 성분이 수직인 편파(TE파)가 경사 입사하는 경우, 및 입사면에 대하여 자계 성분이 수직인 편파(TM파)가 경사 입사하는 경우의 어느 경우에 있어서도, 입사 방향과는 관계없이 우수한 전자파 흡수능을 얻을 수 있다.

제1 전자파 흡수 필름편(1a)의 표면 저항은 100∼800 Ω／□이 더욱 바람직하고, 200∼700 Ω／□이 가장 바람직하다. 제2 전자파 흡수 필름편(1b)의 표면 저항은 1.5kΩ／□ 이상 ∼ 3.5kΩ／□ 미만이 더욱 바람직하고, 2kΩ／□ 이상 ∼ 3.5kΩ／□ 미만이 가장 바람직하다. 제3 전자파 흡수 필름편(1c)의 표면 저항은 3.5kΩ／□ ∼ 500kΩ／□가 더욱 바람직하고, 3.5kΩ／□ ∼ 100kΩ／□가 가장 바람직하다. 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)의 표면 저항은, 금속 박막(11)의 재료 및 두께, 선상흔(12)의 폭, 간격, 길이 등에 의해 조정할 수 있다. 표면 저항은 직류 2단자법으로 측정할 수 있다.

TE파 및 TM파를 한층 양호한 효율로 흡수하기 위하여, 제1 및 제2 전자파 흡수 필름편의 표면 저항의 차이를 1kΩ／□ 이상으로 하고, 제2 및 제3 전자파 흡수 필름편의 표면 저항의 차이를 500Ω／□ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 전자는 1.5kΩ／□ 이상인 것이 더욱 바람직하고, 후자는 700Ω／□ 이상인 것이 더욱 바람직하다.

(3) 전자파 흡수 필름편의 면적 비율

제1∼제3 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)의 면적 비율은, 합계를 100%로 할 때 각각 50∼70 %, 10∼20 % 및 20∼30 %인 것이 바람직하다.

(4) 전자파 흡수 필름편의 형상 및 배치

전자파 흡수 필름편(1a∼1c)의 외형은 직사각형(정사각형을 포함함)인 것이 바람직하지만, 원형, 삼각형, 부정형(不定形) 등이라도 된다. 도 1a∼도 1c에 나타낸 바와 같이, 직사각형의 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)을 배치하여 이루어지는 집합체는 직사각형상이 바람직하고, 직사각형의 전자파 흡수 필름편(1b 및 1c)이, 직사각형의 전자파 흡수 필름편(1a)의 한 변에 인접하고 있는 것이 더욱 바람직하다. 다만, 도 6에 나타낸 바와 같이, 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)이 스트라이프형으로 배치되어 있어도 된다. 이와 같은 직사각형 집합체의 어스펙트비는 대략 황금비인 것이 바람직하다. 이 직사각형 집합체의 사이즈는 용도에 따라 적절하게 설정하면 된다.

도 1a∼도 1c에 나타낸 바와 같이, 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)은, 근소한 공극(14)을 형성하여 배치되어 있는 것이 바람직하다. 한정적은 아니지만, 공극(14)의 폭 d는 0.1∼5 mm가 바람직하고, 0.5∼3 mm가 더욱 바람직하다. 복합 전자파 흡수 필름이 이방성이 작은 전자파 흡수능을 가지는 것은, 다수의 선상흔(12) 뿐만 아니라, 공극(14)에 의해 전자파가 감쇠하기 때문인 것으로 여겨진다. 그리고, 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)은, 금속 박막(11) 측이 플라스틱 베이스 필름(10a)에 접착되어 있어도 된다.

(5) 선상흔의 교차각 및 배향

선상흔(12)은 패턴 롤에 의해 장척의 복합 필름[적어도 일면에 금속 박막(11)이 형성된 플라스틱 필름(10)]에 형성되므로, 복합 필름에 대한 패턴 롤의 슬라이드 접촉 조건(패턴 롤의 축선 방향, 패턴 롤 및 필름의 상대적인 주속 등)에 따라 선상흔(12a, 12b)의 교차각(예각 측의 교차각) θs를 적절하게 설정할 수 있다. 선상흔(12a, 12b)의 교차각 θs는 30°∼90°가 바람직하고, 45°∼90°가 더욱 바람직하며, 60°∼90°가 가장 바람직하다. 필름(1a∼1c)의 교차각 θs는, 이들 중 2종 또는 모두가 같아도 되고, 모두 상이해도 된다. 교차각 θs의 중심선 L₁∼L₃의 배향 방향도 한정적이 아니고, 적절하게 설정할 수 있다. 도 7은, 교차각 θs의 중심선 L₁∼L₃의 배향 방향이 각각 상이한 예를 나타낸다. 바람직하게는, 중심선 L₁∼L₃의 배향 방향이 서로 평행하거나 또는 직교하도록, 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)을 배치한다. 더욱 바람직하게는, 도 1a에 나타낸 바와 같이, 전자파 흡수 필름편(1a 및 1b)의 교차각 θs의 중심선 L₁ 및 L₂가 평행하게 되고, 전자파 흡수 필름편(1a 및 1c)의 교차각 θs의 중심선 L₁ 및 L₃가 직교하도록, 전자파 흡수 필름편(1a∼1c)을 배치한다.

(6) 플라스틱 베이스 필름

플라스틱 베이스 필름(10a)을 형성하는 수지는, 전자파 흡수 필름편의 플라스틱 필름(10)과 동일해도 된다.

(7) 보호층

도 8에 나타낸 바와 같이, 복합 전자파 흡수 필름의 금속 박막(11)을 플라스틱 보호층(10b)으로 피복해도 된다. 보호층(10b)의 두께는 10∼100 ㎛가 바람직하다.

도 9는 본 발명의 복합 전자파 흡수 필름의 또 다른 예를 나타낸다. 이 복합 전자파 흡수 필름은, 폭, 간격, 길이 및 방향 중 적어도 하나가 상이한 2종의 직사각형 전자파 흡수 필름편(1a 및 1d)을 인접하도록 배치하여 이루어진다. 전자파 흡수 필름편(1d)은, 1kΩ／□ 초과∼1MΩ／□의 표면 저항 및 30%∼50%의 면적 비율을 가지는 것이 바람직하다. 그 이외는 복합 전자파 흡수 필름의 상기 예와 동일해도 된다. 전자파 흡수 필름편(1d)의 표면 저항은 1.5kΩ／□∼500kΩ／□가 더욱 바람직하고, 2kΩ／□∼100kΩ／□가 가장 바람직하다. 전자파 흡수 필름편(1a와 1d)의 표면 저항차는 1kΩ／□ 이상이 바람직하다.

[2] 복합 전자파 흡수 필름의 제조 방법

본 발명의 복합 전자파 흡수 필름은, (a) 플라스틱 필름 중 적어도 일면에 단층 또는 다층의 도전체층을 가지는 복수의 복합 필름을 제조하고, (b) 각 복합 필름의 도전체층에, 불규칙한 폭 및 간격으로 실질적으로 평행한 다수의 단속적인 선상흔을 복수 방향으로 형성함으로써, 선상흔의 폭, 간격, 길이 및 방향 중 적어도 하나가 상이한 복수의 장척의 전자파 흡수 필름을 형성하고, (c) 각 장척의 전자파 흡수 필름으로부터 소정의 형상의 전자파 흡수 필름편을 펀칭하고, (d) 원하는 조합의 전자파 흡수 필름편을 플라스틱 베이스 필름에 접착함으로써, 제조할 수 있다.

(1) 복합 필름의 제조

단층 또는 다층의 도전체층(금속 박막)을 가지는 장척의 전자파 흡수 필름은, 플라스틱 필름(10) 중 적어도 일면에, 증착법(진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법 등의 물리 증착법, 또는 플라즈마 CVD법, 열 CVD법, 광 CVD법 등의 화학 기상 증착법), 도금법 또는 박(箔)접합법에 의해 금속 박막(11)을 형성함으로써, 제조할 수 있다.

(2) 선상흔의 형성

(a) 선상흔 형성 장치

도 10a∼도 10e는, 2방향으로 배향하는 선상흔을 형성하는 장치의 예를 나타낸다. 이 선상흔 형성 장치는 상류측으로부터 차례로, (i) 플라스틱 필름(10)의 일면에 금속 박막(11)이 형성된 복합 필름(100)을 풀어내는 릴(21)과, (ii) 복수의 가이드 롤(22)과, (iii) 다수의 고경도의 미립자를 표면에 가지고, 복합 필름(100)의 폭 방향과는 상이한 방향으로 금속 박막(11) 측에 배치된 제1 패턴 롤(2a)과, (iv) 제1 패턴 롤(2a)의 상류측에서, 금속 박막(11)의 반대측에 배치된 제1 가압 롤(3a)과, (v) 다수의 고경도의 미립자를 표면에 가지고, 복합 필름(100)의 폭 방향으로 관하여 제1 패턴 롤(2a)과 역방향이면서, 또한 금속 박막(11) 측에 배치된 제2 패턴 롤(2b)과, (vi) 제2 패턴 롤(2b)의 하류측에서, 금속 박막(11)의 반대측에 배치된 제2 가압 롤(3b)과, (vii) 제1 및 제2 패턴 롤(2a, 2b)의 사이에서, 금속 박막(11) 측에 배치된 전기 저항 측정 수단(4a)과, (viii) 제2 패턴 롤(2b)의 하류측에서, 금속 박막(11) 측에 배치된 전기 저항 측정 수단(4b)과, (ix) 복수의 가이드 롤(23)과, (x) 선상흔을 형성한 전자파 흡수 필름(1)을 권취하는 릴(24)을 가진다. 각 패턴 롤(2a, 2b)은, 미소(微小)한 휨을 방지하기 위해 백업 롤(5a, 5b)에 의해 지지되어 있다. 백업 롤(5a, 5b)은, 패턴 롤(2a, 2b)에 악영향을 미치지 않도록 고무 롤을 사용하는 것이 바람직하다.

도 10c에 나타낸 바와 같이, 복합 필름(100)의 금속 박막(11)이 가압된 상태에서 각 패턴 롤(2a, 2b)과 슬라이드 접촉하도록, 각 가압 롤(3a, 3b)의 세로 방향 위치는 복합 필름(100)과 각 패턴 롤(2a, 2b)과의 슬라이드 접촉 위치보다 낮다. 이 조건을 만족시킨 각 가압 롤(3a, 3b)의 세로 방향 위치를 조정함으로써, 금속 박막(11)의 각 패턴 롤(2a, 2b)에 대한 가압력을 조정하는 동시에, 중심각 θ₁에 의해 표시되는 슬라이드 접촉 거리를 조정할 수 있다.

도 10d는 선상흔(12a)이 복합 필름(100)의 진행 방향에 대하여 경사지게 형성되는 원리를 나타낸다. 복합 필름(100)의 진행 방향에 대하여 패턴 롤(2a)은 경사져 있으므로, 패턴 롤(2a) 상의 경질 미립자의 이동 방향(회전 방향 a)과 복합 필름(100)의 진행 방향 b는 상이하다. 따라서, X에서 나타낸 바와 같이, 임의의 시점에 있어서 패턴 롤(2a) 상의 점 A에서의 경질 미립자가 복합 필름(100)의 금속 박막과 접촉하여 자국 B가 형성된다고 하면, 소정 시간 후에 경질 미립자는 점 A'까지 이동하고, 자국 B는 점 B'까지 이동한다. 점 A로부터 점 A'까지 경질 미립자가 이동하는 동안, 상기 자국은 연속적으로 형성되므로, 점 B'로부터 점 A'까지 연장되는 선상흔(12a)이 형성된다.

제1 및 제2 패턴 롤(2a, 2b)에 의해 형성되는 제1 및 제2 선형흔군(12A, 12B)의 방향 및 교차각 θs는, 각 패턴 롤(2a, 2b)의 복합 필름(100)에 대한 각도, 및/또는 복합 필름(100)의 주행 속도에 대한 각 패턴 롤(2a, 2b)의 주속도를 조정함으로써 조정할 수 있다. 예를 들면, 복합 필름(100)의 주행 속도 b에 대한 패턴 롤(2a)의 주속도 a를 증대시키면, 도 10d의 Y에서 나타낸 바와 같이 선상흔(12a)을 선분 C'D'와 같이 복합 필름(100)의 진행 방향에 대하여 45°로 할 수 있다. 마찬가지로, 복합 필름(100)의 폭 방향에 대한 패턴 롤(2a)의 경사각 θ₂를 변경하면, 패턴 롤(2a)의 주속도 a를 변경할 수 있다. 이는 패턴 롤(2b)에 대해서도 마찬가지이다. 따라서, 양 패턴 롤(2a, 2b)의 조정에 의해, 선상흔(12a, 12b)의 방향을 변경할 수 있다.

각 패턴 롤(2a, 2b)은 복합 필름(100)에 대하여 경사져 있으므로, 각 패턴 롤(2a, 2b)과의 슬라이드 접촉에 의해 복합 필름(100)은 폭 방향의 힘을 받아 사행(蛇行)할 우려가 있다. 복합 필름(100)의 사행을 방지하기 위하여, 각 패턴 롤(2a, 2b)에 대한 각 가압 롤(3a, 3b)의 세로 방향 위치 및/또는 각도를 조정하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 패턴 롤(2a)의 축선과 가압 롤(3a)의 축선과의 교차각 θ₃를 적절하게 조절하면, 폭 방향의 힘을 캔슬하도록 가압력의 폭 방향 분포를 얻을 수 있고, 이로써 사행을 방지할 수 있다. 또한, 패턴 롤(2a)과 가압 롤(3a)과의 간격의 조정도 사행의 방지에 기여한다.

복합 필름(100)의 사행 및 파단(破斷)을 방지하기 위하여, 제1 및 제2 패턴 롤(2a, 2b)의 회전 방향은 복합 필름(100)의 진행 방향과 동일한 것이 바람직하다.

도 10b에 나타낸 바와 같이, 각 전기 저항 측정 수단(롤)(4a, 4b)은 절연부(40)를 통하여 양 단부(端部)에 한쌍의 전극(41, 41)을 가지고, 전극(41, 41) 사이에 있어서 선상흔(12a, 12b)을 가지는 금속 박막(11)의 전기 저항을 측정한다. 전기 저항 측정 롤(4a, 4b)에서 측정된 전기 저항값을 목표하는 전기 저항값과 비교하여, 그 차이에 따라 운전 조건을 조정한다. 조정되는 운전 조건은, 복합 필름(100)의 주행 속도, 패턴 롤(2a, 2b)의 회전 속도 및 경사각 θ₂, 가압 롤(3a, 3b)의 세로 방향 위치, 패턴 롤(2a, 2b)로부터의 거리, 및 패턴 롤(2a, 2b)로부터의 경사각 θ₃ 등이다.

도 11에 나타낸 바와 같이 패턴 롤(2a, 2b) 사이에 제3 가압 롤(3c)을 설치하면, 복합 필름(100)의 금속 박막(11)이 패턴 롤(2a, 2b)에 가압되는 힘이 증대할 뿐만 아니라, 중심각 θ₁에 의해 표시되는 금속 박막(11)의 슬라이드 접촉 거리가 증대하여, 선상흔(12a, 12b)의 깊이 및 폭이 커지게 된다. 거기에 더하여, 복합 필름(100)의 사행의 방지에도 기여한다.

도 12는, 도 4b에 나타낸 바와 같이 3방향으로 배향하는 선상흔을 형성하는 장치의 예를 나타낸다. 이 장치는, 제2 패턴 롤(2b)의 하류측에 제3 패턴 롤(2c), 제3 가압 롤(30b) 및 전기 저항 측정 롤(4c)을 설치한 점을 제외하면, 도 10a∼도 10e에 나타낸 장치와 동일하다. 제3 패턴 롤(2c)의 회전 방향은 복합 필름(100)의 진행 방향과 동일해도 되고 역 방향이라도 된다. 폭 방향으로 배치된 제3 패턴 롤(2c)은 복합 필름(100)의 진행 방향으로 연장되는 선상흔(12c)을 형성한다. 제3 가압 롤(30b)은 제3 패턴 롤(2c)의 상류측에 있어도 되고 하류측에 있어도 된다.

도 13은, 도 4c에 나타낸 바와 같은 4방향으로 배향하는 선상흔을 형성하는 장치의 예를 나타낸다. 이 장치는, 제2 패턴 롤(2b)과 제3 패턴 롤(2c)과의 사이에 제4 패턴 롤(2d)을 설치하고, 제4 패턴 롤(2d)의 상류측에 제4 가압 롤(3d)을 설치한 점으로 제외하면, 도 12에 나타낸 장치와 동일하다. 제4 패턴 롤(2d)의 회전 속도를 늦게 함으로써, 도 10d의 Z로 나타낸 바와 같이, 선상흔(12a')의 방향(선분 E'F')을 복합 필름(100)의 폭 방향으로 할 수 있다.

도 14는, 도 4a에 나타낸 바와 같이 길이 방향 및 가로 방향으로 직교하는 선상흔을 형성하는 장치의 예를 나타낸다. 이 선상흔 형성 장치는, 기본적으로 제2 패턴 롤(32b)이 복합 필름(100)의 폭 방향으로 배치되어 있는 점에서 도 10a∼도 10e에 나타낸 장치와 상이하다. 따라서, 도 10a∼도 10e에 나타낸 장치와 상이한 부분만을 이하에서 설명한다. 제2 패턴 롤(32b)의 회전 방향은 복합 필름(100)의 진행 방향과 동일해도 되고 역방향이라도 된다. 또한, 제2 가압 롤(33b)은 제2 패턴 롤(32b)의 상류측에 있어도 되고 하류측에 있어도 된다. 이 장치는, 도 10d의 Z로 나타낸 바와 같이, 선상흔(12a')의 방향(선분 E'F')을 복합 필름(100)의 폭 방향으로 하고, 도 4c에 나타낸 선상흔을 형성하기에 적합하다.

(b) 운전 조건

선상흔의 경사각 및 교차각뿐만 아니라, 이들의 깊이, 폭, 길이 및 간격을 결정하는 운전 조건으로서는, 복합 필름의 주행 속도, 패턴 롤의 회전 속도 및 경사각 θ₂, 복합 필름의 장력(가압 롤의 세로 방향 위치, 패턴 롤로부터의 거리, 및 패턴 롤로부터의 경사각 θ₃ 등에 의해 정해짐) 등이 있다. 복합 필름의 주행 속도는 5∼200 m/분이 바람직하고, 패턴 롤의 회전 속도(주속)는 10∼2,000 m/분이 바람직하다. 경사각 θ₂는 20°∼60°가 바람직하고, 특히 약 45°가 바람직하다. 복합 필름의 장력은 0.05∼5 kgf/cm 폭이 바람직하다.

(c) 패턴 롤

선상흔을 형성하는 패턴 롤은, 날카로운 모서리부를 가지는 모스 경도 5 이상의 미립자를 표면에 가지는 롤, 예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2002-59487호에 기재되어 있는 다이아몬드 롤이 바람직하다. 선상흔의 폭은 미립자의 입경(粒徑)에 의해 정해지므로, 다이아몬드 미립자의 90% 이상은 1∼100 ㎛의 범위 내의 입경을 가지는 것이 바람직하고, 10∼50 ㎛의 범위 내의 입경이 더욱 바람직하다. 다이아몬드 미립자는 롤 면에 30% 이상의 면적 비율로 부착되어 있는 것이 바람직하다.

(3) 미세 구멍의 형성

일본 특허 제2063411호 등에 기재된 방법에 의해 선상흔(12)을 가지는 금속 박막(11)에 다수의 미세 구멍(13)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 날카로운 모서리부를 가지는 모스 경도 5 이상의 다수의 미립자가 표면에 부착된 제1 롤(상기 선상흔 형성용 롤과 동일해도 됨)과, 제1 롤에 의해 가압된 평활면의 제2 롤과의 간극에, 금속 박막(11)을 제1 롤 측에 배치하고, 제1 롤의 주속과 동일한 속도로 복합 필름(100)을 통과시키면, 미세 구멍이 형성된다.

(4) 전자파 흡수 필름의 절단

얻어진 선상흔이 상이한 복수의 장척의 전자파 흡수 필름을 구멍뚫기함으로써, 원하는 형상을 가지는 복수의 전자파 흡수 필름편을 형성할 수 있다.

(5) 전자파 흡수 필름편의 부착

선상흔이 상이한 복수의 전자파 흡수 필름편을, 소정의 공극을 형성하고, 열 라미네이트법, 접착법 등에 의해 플라스틱 베이스 필름(10a)에 부착함으로써, 복합 전자파 흡수 필름을 얻을 수 있다. 전자파 흡수 필름편을 부착한 후에 금속 박막(11)에 플라스틱 필름을 열 라미네이트법 등으로 부착함으로써, 플라스틱 보호층(10b)을 형성할 수 있다.

본 발명을 이하의 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.

[실시예 1]

2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름[두께: 12㎛, 유전율(誘電率): 3.2(1MHz), 유전정접(dissipation factor): 1.0%(1MHz), 융점: 265℃] 의 일면에, 진공 증착법에 의해 두께 0.05㎛의 알루미늄층을 형성하여, 복합 필름을 제조하였다.

도 10a에 나타낸 장치를 사용하여, 입경 분포 50∼80 ㎛의 다이아몬드 미립자를 전착(電着)한 패턴 롤(2a, 2b)에, 알루미늄층을 패턴 롤(2a, 2b) 측에 배치하고 복합 필름(100)을 슬라이드 접촉시켜, 운전 조건[복합 필름의 주행 속도, 패턴 롤(2a, 2b)의 회전 속도 및 경사각 θ₂, 필름의 권취 각도 θ₁ 및 복합 필름의 장력]을 적절하게 설정함으로써, 도 2a에 나타낸 2방향으로 배향하는 선상흔을 형성하였다. 광학 현미경 사진의 관찰에 의해, 얻어진 전자파 흡수 필름은 하기의 선상흔을 가지는 것을 알 수 있었다.

폭 W의 범위: 0.5∼5 ㎛

평균 폭 Wav: 2㎛

간격 I의 범위: 2∼30 ㎛

평균 간격 Iav: 20㎛

평균 길이 Lav: 5mm

선상흔의 예각 측의 교차각 θs: 60°

상기 전자파 흡수 필름으로부터 잘라낸 전자파 흡수 필름편(32cm×33cm)의 알루미늄층의 표면 저항(직류 2단자법에 의해 측정하여, 평균을 계산)은 377Ω／□였다. 장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 전술한 바와 마찬가지로 하여, 선상흔의 교차각 θs = 60°, 표면 저항 3.4kΩ／□의 알루미늄층을 가지는 전자파 흡수 필름편(20cm×12cm), 및 선상흔의 교차각 θs = 30°, 표면 저항 5kΩ／□의 알루미늄층을 가지는 전자파 흡수 필름편(20cm×20cm)을 제조하였다. 각 전자파 흡수 필름편의 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 표 1에 나타낸다.

[표 1]

3장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1b, 1c)을, 선상흔이 형성된 알루미늄층 측을 위로 하여, 1mm의 공극 폭 d, 두께 100㎛의 PET 필름에 부착한 후, 플라스틱 보호층으로서 두께 16㎛의 PET 필름을 알루미늄층 측에 융착(融着)하고, 도 1a∼도 1c에 나타낸 복합 전자파 흡수 필름(바깥 치수: 53cm×33cm)을 제조하였다.

접지한 유전체 홀더(62)와, 송신 안테나(63a)와, 수신 안테나(63b)와, 안테나(63a, 63b)와 접속된 네트워크 아날라이저(64)를 가지는 도 15에 나타내는 장치를 사용하여, 이 복합 전자파 흡수 필름의 전자파 흡수능을 이하의 방법에 의해 평가했다. 먼저, 홀더(62)에 고정한 알루미늄판(세로 32cm× 가로 52cm×두께 2mm)에, 100cm만큼 이격된 안테나(63a)로부터, 10°에서 60°까지 10°간격으로 입사 각도 θi를 변경하면서, 1∼6 GHz의 TE파 및 TM파를 각각 0.25GHz 간격으로 조사하고, 안테나(63b)에서 반사파를 수신하고, 네트워크 아날라이저(64)에 의해 반사 전력을 측정하였다. 다음으로, 복합 전자파 흡수 필름 T를, 선상흔이 형성된 알루미늄층이 송신 안테나(63a) 측이 되도록 홀더(62)에 고정하고, 전술한 바와 마찬가지로 하여 반사 전력을 측정하였다. 알루미늄판을 사용하여 측정한 경우의 반사 전력이 입사 전력과 동일한 것으로 가정하여, 반사 계수 RC(반사 전력과 입사 전력과의 비)를 구하고, RL(dB) = 20log(1/RC)의 식에 의해 반사 감쇠량 RL(dB)를 구하였다. 각 입사 각도 θi에서의 반사 감쇠량은 주파수에 따라 변화하므로, 반사 감쇠량이 최대가 될 때의 주파수(피크 주파수)에서 얻어진 전자파 흡수율을 피크 흡수율로 하였다. TE파 및 TM파 각각에 대하여, 피크 흡수율(dB) 및 피크 주파수(GHz)를 입사 각도 θi에 대하여 플롯팅했다. 결과를 도 16에 나타낸다. 또한, 2.0196GHz에서의 반사 감쇠량 RL을 입사 각도 θi에 대하여 플롯팅한 결과를 도 17에 나타낸다.

[실시예 2]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 표 2에 나타낸 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 가지는 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여, 3장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1b, 1c)를 사용하여 복합 전자파 흡수 필름을 제조하고, 전자파 흡수능을 평가했다. 결과를 도 18 및 도 19에 나타낸다.

[표 2]

[실시예 3]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 표 3에 나타낸 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 가지는 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여, 3장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1b, 1c)을 사용하여 복합 전자파 흡수 필름을 제조하고, 전자파 흡수능을 평가했다. 결과를 도 20 및 도 21에 나타낸다.

[표 3]

[실시예 4]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 표 4에 나타낸 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 가지는 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여, 3장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1b, 1c)을 사용하여 복합 전자파 흡수 필름을 제조하고, 전자파 흡수능을 평가했다. 결과를 도 22 및 도 23에 나타낸다. 또한, 이 복합 전자파 흡수 필름의 좌우를 반전시켜[전자파 흡수 필름편(1a)을 수신 안테나(63b) 측으로 하여], 전자파 흡수능을 전술한 바와 마찬가지로 하여 평가했다. 결과를 도 24 및 도 25에 나타낸다.

[표 4]

[참고예 1]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 선상흔의 교차각 θs = 30°, 표면 저항 377Ω／□, 사이즈 53cm×33cm의 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 이 전자파 흡수 필름편의 전자파 흡수능을 전술한 바와 마찬가지로 하여 평가했다. 그 결과를 도 26[홀더(62)에 세로로 길게 고정한 경우] 및 도 27[홀더(62)에 가로로 길게 고정한 경우]에 나타낸다.

[참고예 2]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 선상흔의 교차각 θs = 60°, 표면 저항 377Ω／□, 사이즈 53cm×33cm의 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 이 전자파 흡수 필름편의 전자파 흡수능을 전술한 바와 마찬가지로 하여 평가했다. 결과를 도 28[홀더(62)에 세로로 길게 고정한 경우] 및 도 29[홀더(62)에 가로로 길게 고정한 경우]에 나타낸다.

도 16, 18, 20, 22 및 24로부터 명백한 바와 같이, 실시예 1∼4의 복합 전자파 흡수 필름은 모두, 10°∼60°의 입사 각도 θi의 TE파 및 TM파에 대하여 10dB 이상이며, 또한 30dB 이상에 이르는 피크 흡수율을 가지고 있었다. 도 17, 19, 21, 23 및 25로부터 명백한 바와 같이, 일정 주파수(2.0196GHz)의 경우도, 실시예 1∼4의 전자파 흡수 필름은 모두, 10°∼60°의 입사 각도 θi의 TE파 및 TM파에 대하여 우수한 흡수능을 가지고 있었다. 이에 비해, 선상흔이 상이한 복수의 전자파 흡수 필름편의 조합이 아닌 참고예 1 및 2에서는, TE파 및 TM파의 흡수능의 이방성이 비교적 컸다.

[실시예 5]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 표 5에 나타낸 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 가지는 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여, 3장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1b, 1c)을 사용하여 도 6에 나타낸 복합 전자파 흡수 필름을 제조하였다. 이 복합 전자파 흡수 필름은 이방성이 비교적 작은 전자파 흡수능을 가지고 있었다.

[표 5]

[실시예 6]

장치의 운전 조건을 변경한 점 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, 표 6에 나타낸 표면 저항, 사이즈, 면적 비율 및 선상흔의 교차각 θs를 가지는 전자파 흡수 필름편을 제조하였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여, 2장의 전자파 흡수 필름편(1a, 1d)을 사용하여 도 9에 나타낸 복합 전자파 흡수 필름을 제조하였다. 이 복합 전자파 흡수 필름은 이방성이 비교적 작은 전자파 흡수능을 가지고 있었다.

[표 6]

Claims

인접하는 복수의 전자파 흡수 필름편(片)이 플라스틱 베이스 필름 상에 접착된 복합 전자파 흡수 필름으로서,
각각의 상기 전자파 흡수 필름편은, 불규칙한 폭 및 간격으로 평행한 다수의 단속적(斷續的)인 선상흔(線狀痕)이 형성된 도전체층을 가지는 플라스틱 필름으로 이루어지고,
상기 선상흔의 폭은 90% 이상이 0.1∼100 ㎛의 범위 내에 있으며, 평균 1∼50 ㎛이며, 또한 상기 선상흔의 간격은 0.1∼200 ㎛의 범위 내에 있으며, 평균 1∼100 ㎛이고,
각각의 전자파 흡수 필름편에서의 상기 선상흔이, 30°∼90°의 교차각으로 적어도 2방향으로 배향되어 있고,
또한 상기 복수의 인접하는 전자파 흡수 필름편은 상기 선상흔의 폭, 간격, 길이 및 방향 중 적어도 하나가 상이한, 복합 전자파 흡수 필름.
제1항에 있어서,
인접하는 상기 전자파 흡수 필름편 사이에 미소한 공극(空隙)이 형성되어 있는, 복합 전자파 흡수 필름.
제1항에 있어서,
상기 복수의 전자파 흡수 필름편의 도전체층은, 20Ω／□∼1kΩ／□의 표면 저항을 가지는 제1 도전체층, 1kΩ／□초과 ∼ 3.5kΩ／□ 미만의 표면 저항을 가지는 제2 도전체층, 및 3.5kΩ／□ ∼ 1MΩ／□의 표면 저항을 가지는 제3 도전체 층으로 이루어지는, 복합 전자파 흡수 필름.
제3항에 있어서,
상기 제1 도전체층 내지 상기 제3 도전체층의 면적 비율은, 합계를 100%로 할 때, 각각 50%∼70%, 10%∼20% 및 20%∼30%인, 복합 전자파 흡수 필름.
제3항에 있어서,
상기 전자파 흡수 필름편은 모두 직사각형이며, 상기 제2 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편 및 상기 제3 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편이 상기 제1 도전체층을 가지는 전자파 흡수 필름편의 한 변에 인접하고 있는, 복합 전자파 흡수 필름.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 상기 도전체층은 단층(單層) 또는 다층의 금속 박막으로 이루어지는, 복합 전자파 흡수 필름.
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