KR101662206B1 - 파워 인덕터 - Google Patents

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KR101662206B1
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주식회사 모다이노칩
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Abstract

본 발명은 바디와, 바디 내부에 마련된 기재와, 기재의 적어도 일면 상에 마련된 코일 패턴과, 바디 내의 적어도 일 영역에 마련된 자성층을 포함하고, 바디는 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 포함하는 파워 인덕터를 제시한다.

Description

파워 인덕터{Power inductor}
본 발명은 파워 인덕터에 관한 것으로, 특히 인덕턴스(Inductance) 특성이 우수하고 열적 안정성이 향상된 파워 인덕터에 관한 것이다.
파워 인덕터는 주로 휴대기기 내의 DC-DC 컨버터 등의 전원 회로에 마련된다. 이러한 파워 인덕터는 전원 회로의 고주파화 및 소형화에 따라 기존의 권선형 초크 코일 패턴(Choke Coil)을 대신하여 이용이 증대되고 있다. 또한, 파워 인덕터는 휴대기기의 사이즈 축소와 다기능화에 따라 소형화, 고전류화, 저저항화 등의 방향으로 개발이 진행되고 있다.
파워 인덕터는 다수의 자성체(ferrite) 또는 저유전율의 유전체로 이루어진 세라믹 시트들이 적층된 적층체의 형태로 제조될 수 있다. 이때, 세라믹 시트 상에는 금속 패턴이 코일 패턴 형태로 형성되어 있는데, 각각의 세라믹 시트 상에 형성된 코일 패턴은 각각의 세라믹 시트에 형성된 도전성 비아에 의해 접속되고, 시트가 적층되는 상하 방향을 따라 중첩되는 구조를 이룰 수 있다. 이러한 파워 인덕터를 구성하는 바디는 종래에는 대체로 니켈(Ni)-아연(Zn)-구리(Cu)-철(Fe)의 4 원계로 구성된 자성체 재료를 이용하여 제작하였다.
그런데, 자성체 재료는 포화 자화 값이 금속 재료에 비해 낮아서 최근의 휴대기기가 요구하는 고전류 특성을 구현하지 못할 수 있다. 따라서, 파워 인덕터를 구성하는 바디를 금속 분말을 이용하여 제작함으로써 바디를 자성체로 제작한 경우에 비해 상대적으로 포화 자화 값을 높일 수 있다. 그러나, 금속을 이용하여 바디를 제작할 경우 고주파에서의 와전류 손실 및 히스테리 손실이 높아져 재료의 손실이 심해지는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 재료의 손실을 감소시키기 위해 금속 분말 사이를 폴리머로 절연하는 구조를 적용하고 있다.
그러나, 금속 분말 및 폴리머를 이용하여 바디를 제조한 파워 인덕터는 온도 상승에 따라 인덕턴스가 낮아지는 문제가 있다. 즉, 파워 인덕터가 적용된 휴대기기의 발열에 의해 파워 인덕터의 온도가 상승하고, 그에 따라 파워 인덕터의 바디를 이루는 금속 분말이 가열되면서 인덕턴스가 낮아지는 문제가 발생된다.
한국공개특허공보 제2007-0032259호
본 발명은 온도에 대한 안정성을 향상시키고 그에 따라 인덕턴스의 저하를 방지할 수 있는 파워 인덕터를 제공한다.
본 발명은 바디 내의 열을 방출함으로써 온도 안정성을 향상시킬 수 있는 파워 인덕터를 제공한다.
본 발명은 투자율을 향상시킬 수 있는 파워 인덕터를 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 파워 인덕터는 바디; 상기 바디 내부에 마련된 기재; 상기 기재의 적어도 일면 상에 마련된 코일 패턴; 및 상기 바디의 적어도 일 영역에 마련된 자성층을 포함한다.
상기 바디는 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 포함한다.
상기 금속 분말은 철을 포함하는 금속 합금 분말을 포함한다.
상기 열 전도성 필러는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함한다.
상기 열 전도성 필러는 상기 금속 분말 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함된다.
상기 기재는 철을 포함하는 금속판의 양면 상에 구리 포일이 접합된다.
상기 자성층은 상기 바디의 투자율보다 높은 투자율을 갖는다.
상기 자성층은 열 전도성 필러를 포함하여 형성된다.
상기 금속 패턴 상에 형성된 절연층과, 상기 바디의 외측에 형성되어 상기 코일 패턴과 연결된 외부 전극을 더 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따른 파워 인덕터는 바디; 상기 바디 내부에 마련된 기재; 상기 기재의 적어도 일면 상에 마련된 코일 패턴; 및 상기 바디 내의 적어도 일 영역에 마련된 자성층을 포함하고, 상기 기재는 철을 포함하는 금속판의 양면 상에 포일이 접합된다.
상기 바디는 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 포함한다.
상기 열 전도성 필러는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함한다.
상기 열 전도성 필러는 상기 금속 분말 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함된다.
상기 자성층은 상기 바디의 투자율보다 높은 투자율을 갖는다.
본 발명의 실시 예들에 따른 파워 인덕터는 바디가 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 이용하여 제작된다. 열 전도성 필러가 포함됨으로써 바디의 열을 외부로 잘 방출할 수 있고, 그에 따라 바디의 가열에 따른 인덕턴스의 저하를 방지할 수 있다.
또한, 바디 내부에 마련되어 코일 패턴이 형성된 기재를 금속 자성체로 제작함으로써 파워 인덕터의 투자율 저하를 방지할 수도 있고, 바디에 적어도 하나의 자성층을 마련함으로써 파워 인덕터의 투자율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A' 라인을 따라 절취한 상태의 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 파워 인덕터의 단면도.
도 4는 본 발명의 또다른 실시 예에 따른 파워 인덕터의 단면도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한 다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 라인을 따라 절단한 상태의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터(10)는 열 전도성 필러(130)를 포함하는 바디(100)와, 바디(100) 내부에 마련된 기재(200)와, 기재(200)의 적어도 일면 상에 형성된 코일 패턴(310, 320)과, 바디(100) 외부에 마련된 외부 전극(410, 420)을 포함할 수 있다. 또한, 코일 패턴(310, 320) 상에 각각 마련된 절연층(500)과, 바디(100)의 상부 및 하부에 각각 마련된 적어도 하나의 자성층(610, 620)을 더 포함할 수 있다.
바디(100)는 예를 들어 육면체 형상일 수 있다. 그러나, 바디(100)는 육면체 이외의 다면체의 형상을 가질 수 있다. 이러한 바디(100)는 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함할 수 있다. 금속 분말(110)은 평균 입경이 1㎛ 내지 50㎛일 수 있다. 또한, 금속 분말(110)은 동일 크기의 단일 입자 또는 2종 이상의 입자를 이용할 수도 있고, 복수의 크기를 갖는 단일 입자 또는 2종 이상의 입자를 이용할 수도 있다. 예를 들어, 30㎛의 평균 크기를 갖는 제 1 금속 입자와 3㎛의 평균 크기를 갖는 제 2 금속 입자를 혼합하여 이용할 수 있다. 크기가 서로 다른 2종 이상의 금속 분말(110)을 이용할 경우 바디(100)의 충진율을 높일 수 있어 용량을 최대한으로 구현할 수 있다. 예를 들어, 30㎛의 금속 분말을 이용할 경우 30㎛의 금속 분말 사이에는 공극이 발생할 수 있고, 그에 따라 충진율이 낮아질 수 밖에 없다. 그러나, 30㎛의 금속 분말 사이에 이보다 크기가 작은 3㎛의 금속 분말을 혼합하여 이용함으로써 충진율을 높일 수 있다. 이러한 금속 분말(110)은 철(Fe)를 포함하는 금속 물질을 이용할 수 있는데, 예를 들어 철-니켈(Fe-Ni), 철-니켈-규소(Fe-Ni-Si), 철-알루미늄-규소(Fe-Al-Si) 및 철-알루미늄-크롬(Fe-Al-Cr)으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다. 즉, 금속 분말(110)은 철을 포함하여 자성 조직을 갖거나 자성을 띄는 금속 합금으로 형성되어 소정의 투자율을 가질 수 있다. 또한, 금속 분말(110)은 표면이 자성체로 코팅될 수 있는데, 금속 분말(110)과 투자율이 상이한 물질로 코팅될 수 있다. 예를 들어, 자성체는 금속 산화물 자성체로 형성될 수 있는데, 니켈 산화물 자성체, 아연 산화물 자성체, 구리 산화물 자성체, 망간 산화물 자성체, 코발트 산화물 자성체, 바륨 산화물 자성체 및 니켈-아연-구리 산화물 자성체로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 산화물 자성체를 이용할 수 있다. 즉, 금속 분말(110)의 표면에 코팅되는 자성체는 철을 포함하는 금속 산화물로 형성될 수 있으며, 금속 분말(110)보다 높은 투자율을 갖는 것이 바람직하다. 폴리머(120)는 금속 분말(110) 사이를 절연시키기 위해 금속 분말(110)과 혼합될 수 있다. 즉, 금속 분말(110)은 고주파에서의 와전류 손실 및 히스테리 손실이 높아져서 재료의 손실이 심해지는 문제점이 발생할 수 있는데, 이러한 재료의 손실을 감소시키기 위해 금속 분말(110) 사이를 절연하기 위해 폴리머(120)를 포함시킬 수 있다. 이러한 폴리머(120)는 에폭시(epoxy), 폴리이미드(polyimide) 및 액정 결정성 폴리머(Liquid Crystalline Polymer, LCP)로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 폴리머를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 폴리머(120)는 금속 분말(110) 사이에 절연성을 제공하는 것으로 열경화성 수지로 이루어질 수 있다. 열경화성 수지로는 예를 들어 노볼락 에폭시 수지(Novolac Epoxy Resin), 페녹시형 에폭시 수지(Phenoxy Type Epoxy Resin), 비피에이형 에폭시 수지(BPA Type Epoxy Resin), 비피에프형 에폭시 수지(BPF Type Epoxy Resin), 하이드로네이트 비피에이 에폭시 수지(Hydrogenated BPA Epoxy Resin), 다이머산 개질 에폭시 수지(Dimer Acid Modified Epoxy Resin), 우레탄 개질 에폭시 수지(Urethane Modified Epoxy Resin), 고무 개질 에폭시 수지(Rubber Modified Epoxy Resin) 및 디씨피디형 에폭시 수지(DCPD Type Epoxy Resin)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다. 여기서, 폴리머(120)는 금속 분말 100wt%에 대하여 2.0wt% 내지 5.0wt%의 함량으로 포함될 수 있다. 그런데, 폴리머(120)의 함량이 증가할 경우 금속 분말(110)의 부피 분율이 저하되어 포화자화 값을 높이는 효과가 제대로 구현되지 않는 문제점과 바디(100)의 자성 특성, 즉 투자율을 저하시킬 수 있고, 폴리머(120)의 함량이 감소하는 경우 인덕터의 제조 과정에서 사용되는 강산 또는 강염기 용액 등이 내부로 침투하여 인덕턴스 특성을 감소시키는 문제가 발생될 수 있다. 따라서, 폴리머(120)는 금속 분말(110)의 포화자화 값 및 인덕턴스를 저하시키지 않도록 하는 범위에서 포함될 수 있다. 또한, 열 전도성 필러(130)는 외부의 열에 의해 바디(100)가 가열되는 문제를 해결하기 위해 포함된다. 즉, 외부의 열에 의해 바디(100)의 금속 분말(110)이 가열될 수 있는데, 열 전도성 필러(130)가 포함됨으로써 금속 분말(110)의 열을 외부로 방출시킬 수 있다. 이러한 열 전도성 필러(130)는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 여기서, 카본 계열의 물질은 탄소를 포함하며 다양한 형상을 가질 수 있는데, 예를 들어 흑연, 카본 블랙, 그래핀, 그라파이트 등이 포함될 수 있다. 또한, 열 전도성 필러(130)는 금속 분말(110) 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함될 수 있다. 열 전도성 필러(130)의 함량이 상기 범위 미만일 경우 열 방출 효과를 얻을 수 없으며, 상기 범위를 초과할 경우 금속 분말(110)의 투자율을 저하시키게 된다. 그리고, 열 전도성 필러(130)는 예를 들어 0.5㎛ 내지 100㎛의 크기를 가질 수 있다. 즉, 열 전도성 필러(130)는 금속 분말(110)보다 크거나 작은 크기를 가질 수 있다. 한편, 바디(100)는 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하는 재료로 이루어진 복수 개의 시트를 적층하여 제작될 수 있다. 여기서, 복수의 시트를 적층하여 바디(100)를 제작할 경우 각 시트의 열 전도성 필러(130)의 함량은 다를 수 있다. 예를 들어, 기재(200)를 중심으로 상측 및 하측으로 멀어질수록 시트 내의 열 전도성 필러(130)의 함량은 증가할 수 있다. 또한, 바디(100)는 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하는 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하여 형성하거나, 이러한 페이스트를 틀에 넣어서 압착하는 방법 등 필요에 따라 다양한 방법이 적용되어 형성될 수 있다. 이때, 바디(100)를 형성하기 위해 적층되는 시트의 개수 또는 일정 두께로 인쇄되는 페이스트의 두께는 파워 인덕터에서 요구되는 인덕턴스 등의 전기적 특성을 고려하여 적정한 수나 두께로 결정될 수 있다.
기재(200)는 바디(100)의 내부에 마련될 수 있다. 예를 들어, 기재(200)는 바디(100) 내부에 바디(100)의 장축 방향을 따라 마련될 수 있다. 여기서, 기재(200)는 하나 이상으로 마련될 수 있는데, 예를 들어 두개의 기재(200)가 외부 전극(400)이 형성된 방향과 직교하는 방향, 예를 들어 수직 방향으로 소정 간격 이격되어 마련될 수 있다. 이러한 기재(200)는 예를 들어 구리 클래드 라미네이션(Copper Clad Lamination; CCL) 또는 금속 자성체 등으로 제작될 수 있다. 이때, 기재(200)는 금속 자성체로 제작됨으로써 실효 투자율을 증가시키고 용량 구현을 용이하게 할 수 있다. 즉, CCL은 유리강화섬유에 구리 포일(foil)을 접합하여 제작되는데, CCL은 투자율을 갖기 않기 때문에 파워 인덕터의 투자율을 저하시키게 된다. 그러나, 금속 자성체를 기재(200)로 이용하게 되면 금속 자성체가 투자율을 가지기 때문에 파워 인덕터의 투자율을 저하시키지 않게 된다. 이러한 금속 자성체를 이용한 기재(200)은 철을 함유하는 금속, 예를 들어 철-니켈(Fe-Ni), 철-니켈-규소(Fe-Ni-Si), 철-알루미늄-규소(Fe-Al-Si) 및 철-알루미늄-크롬(Fe-Al-Cr)으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속으로 이루어진 소정 두께의 판에 구리 포일을 접합시켜 제작될 수 있다. 즉, 철을 포함하여 적어도 하나의 금속으로 이루어진 합금을 소정 두께의 판 형상으로 제작하고, 금속판의 적어도 일면에 구리 포일을 접합함으로써 기재(200)가 제작될 수 있다. 또한, 기재(200)의 소정 영역에는 적어도 하나의 도전성 비아(미도시)가 형성될 수 있고, 도전성 비아에 의해 기재(200)의 상측 및 하측에 각각 형성되는 코일 패턴(310, 320)이 전기적으로 연결될 수 있다. 도전성 비아는 기재(200)에 두께 방향을 따라 관통하는 비아(미도시)를 형성한 후, 비아에 도전성 페이스트를 충전하는 등의 방법으로 형성할 수 있다.
코일 패턴(310, 320)은 기재(200)의 적어도 일면, 바람직하게는 양면에 형성될 수 있다. 이러한 코일 패턴(310, 320)은 기재(200)의 소정 영역, 예를 들어 중앙부로부터 외측 방향으로 스파이럴 형태로 형성될 수 있고, 기재(200) 상에 형성된 두 코일 패턴(310, 320)이 연결되어 하나의 코일을 이룰 수 있다. 여기서, 상측이 코일 패턴(310)과 하측의 코일 패턴(320)은 서로 동일 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 코일 패턴(310, 320)이 서로 중첩되게 형성될 수도 있고, 코일 패턴(310)이 형성되지 않은 영역에 중첩되도록 코일 패턴(320)이 형성될 수도 있다. 이러한 코일 패턴(310, 320)은 기재(200)에 형성된 도전성 비아에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 코일 패턴(310, 320)은 예를 들면 후막 인쇄, 도포, 증착, 도금 및 스퍼터링 등의 방법을 통하여 형성할 수 있다. 또한, 코일 패턴(310, 320) 및 도전성 비아는 은(Ag), 구리(Cu) 및 구리 합금 중 적어도 하나를 포함하는 재료로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 한편, 코일 패턴(310, 320)을 도금 공정으로 형성하는 경우 예를 들어 기재(200) 상에 도금 공정으로 금속층, 예를 들어 구리층을 형성하고, 리소그라피 공정으로 패터닝할 수 있다. 즉, 기재(200)의 표면에 형성된 구리 포일을 시드층으로 구리층을 도금 공정으로 형성하고 이를 패터닝함으로써 코일 패턴(310, 320)을 형성할 수 있다. 물론, 기재(200) 상에 소정 형상의 감광막 패턴을 형성한 후 도금 공정을 실시하여 노출된 기재(200) 표면으로부터 금속층을 성장시킨 후 감광막을 제거함으로써 소정 형상의 코일 패턴(310, 320)을 형성할 수도 있다. 한편, 코일 패턴(310, 320)은 다층으로 형성될 수도 있다. 즉, 기재(200)의 상측에 형성된 코일 패턴(310)의 상측으로 복수의 코일 패턴이 더 형성될 수 있고, 기재(200)의 하측에 형성된 코일 패턴(320)의 하측으로 복수의 코일 패턴이 더 형성될 수도 있다. 코일 패턴(310, 320)이 다층으로 형성될 경우 하층과 상층 사이에 절연층이 형성되고, 절연층에 도전성 비아(미도시)가 형성되어 다층 코일 패턴이 연결될 수 있다.
외부 전극(400)은 바디(100)의 양단부에 형성될 수 있다. 예를 들어, 외부 전극(400)은 바디(100)의 장축 방향으로 서로 대향되는 두 측면에 형성될 수 있다. 이러한 외부 전극(400)은 바디(100)의 코일 패턴(310, 320)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 코일 패턴(310, 320)의 적어도 일 단부가 바디(100)의 외측으로 노출되고 외부 전극(400)이 코일 패턴(310, 320)의 단부와 연결되도록 형성될 수 있다. 이러한 외부 전극(400)은 도전성 페이스트에 바디(100)를 침지하거나, 인쇄, 증착 및 스퍼터링 등의 다양한 방법을 통하여 바디(100)의 양단에 형성될 수 있다. 외부 전극(400)은 전기 전도성을 가지는 금속으로 형성될 수 있는데, 예를 들어 금, 은, 백금, 구리, 니켈, 팔라듐 및 이들의 합금으로부터 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속으로 형성될 수 있다. 또한, 외부 전극(400)은 표면에 니켈-도금층(미도시) 또는 주석 도금층(미도시)이 더 형성될 수 있다.
절연층(500)은 코일 패턴(310, 320)과 바디(100) 사이에는 코일 패턴(310, 320)과 금속 분말(110)을 절연시키기 위해 형성될 수 있다. 즉, 절연층(500)이 코일 패턴(310, 320)을 덮도록 기재(200)의 상부 및 하부에 형성될 수 있다. 이러한 절연층(500)은 에폭시, 폴리이미드 및 액정 결정성 폴리머로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 즉, 절연층(500)은 바디(100)를 이루는 폴리머(120)와 동일 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 절연층(500)은 절연 시트를 이용하여 코일 패턴(310, 320) 상에 형성할 수 있다.
자성층(600; 610, 620)은 바디(100)의 적어도 일 영역에 마련될 수 있다. 즉, 제 1 자성층(610)이 바디(100)의 상부 표면에 형성되고 제 2 자성층(620)이 바디(100)의 하부 표면에 형성될 수 있다. 여기서, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 바디(100)의 투자율을 증가시키기 위해 마련되며, 바디(100)보다 높은 투자율을 갖는 물질로 제작될 수 있다. 예를 들어, 바디(100)의 투자율이 20이고 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 40 내지 1000의 투자율을 갖도록 마련될 수 있다. 이러한 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 예를 들어 자성체 분말과 폴리머를 이용하여 제작할 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 바디(100)보다 높은 투자율을 갖도록 바디(100)의 자성체보다 높은 자성을 갖는 물질로 형성되거나 자성체의 함유율이 더 높도록 형성될 수 있다. 여기서, 폴리머는 금속 분말 100wt%에 대하여 15wt%로 첨가될 수 있다. 또한, 자성체 분말은 니켈 자성체(Ni Ferrite), 아연 자성체(Zn Ferrite), 구리 자성체(Cu Ferrite), 망간 자성체(Mn Ferrite), 코발트 자성체(Co Ferrite), 바륨 자성체(Ba Ferrite) 및 니켈-아연-구리 자성체(Ni-Zn-Cu Ferrite)로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상 또는 이들의 하나 이상의 산화물 자성체를 이용할 수 있다. 즉, 철을 포함하는 금속 합금 분말 또는 철을 함유하는 금속 합금 산화물을 이용하여 자성층(600)을 형성할 수 있다. 또한, 금속 합금 분말에 자성체를 코팅하여 자성체 분말을 형성할 수도 있다. 예를 들어, 니켈 산화물 자성체, 아연 산화물 자성체, 구리 산화물 자성체, 망간 산화물 자성체, 코발트 산화물 자성체, 바륨 산화물 자성체 및 니켈-아연-구리 산화물 자성체로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 산화물 자성체를 예를 들어 철을 포함하는 금속 합금 분말에 코팅하여 자성체 분말을 형성할 수 있다. 즉, 철을 포함하는 금속 산화물을 금속 합금 분말에 코팅하여 자성체 분말을 형성할 수 있다. 물론, 니켈 산화물 자성체, 아연 산화물 자성체, 구리 산화물 자성체, 망간 산화물 자성체, 코발트 산화물 자성체, 바륨 산화물 자성체 및 니켈-아연-구리 산화물 자성체로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 산화물 자성체를 예를 들어 철을 포함하는 금속 합금 분말과 혼합하여 자성체 분말을 형성할 수 있다. 즉, 철을 포함하는 금속 산화물을 금속 합금 분말과 혼합하여 자성체 분말을 형성할 수 있다. 한편, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 금속 분말 및 폴리머에 열 전도성 필러를 더 포함하여 제작할 수도 있다. 열 전도성 필러는 금속 분말 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%로 함유될 수 있다. 이러한 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 시트 형태로 제작되어 복수의 시트가 적층된 바디(100)의 상부 및 하부에 각각 마련될 수 있다. 또한, 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하는 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하거나 페이스트를 틀에 넣어 압착하는 바디(100)를 형성한 후 바디(100)의 상부 및 하부에 자성층(610, 620)을 각각 형성할 수 있다. 물론, 자성층(610, 620)은 페이스트를 이용하여 형성할 수도 있는데, 바디(100)의 상부 및 하부에 자성 물질을 도포하여 자성층(610, 620)을 형성할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 파워 인덕터는 도 3에 도시된 바와 같이 바디(100)와 기재(200) 사이의 상부 및 하부에 제 3 및 제 4 자성층(630, 640)이 더 마련될 수 있고, 도 4에 도시된 바와 같이 이들 사이에 제 5 및 제 6 자성층(650, 660)이 더 마련할 수 있다. 즉, 바디(100) 내에 적어도 하나의 자성층(600)이 마련될 수 있다. 이러한 자성층(600)은 시트 형태로 제작되어 복수의 시트가 적층된 바디(100)의 사이에 마련될 수 있다. 즉, 바디(100)를 제작하기 위한 복수의 시트 사이에 적어도 하나의 자성층(600)을 마련할 수 있다. 또한, 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하는 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하여 바디(100)를 형성하는 경우 인쇄 도중에 자성층을 형성할 수 있고, 페이스트를 틀에 넣어서 압착하는 경우에도 자성층을 그 사이에 넣고 압착할 수 있다. 물론, 자성층(600)은 페이스트를 이용하여 형성할 수도 있는데, 바디(100)를 인쇄할 때 연자성 물질을 도포하여 바디(100) 내에 자성층(600)을 형성할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터는 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하여 바디(100)를 제작함으로써 금속 분말(110)의 가열에 의한 바디(100)의 열을 외부로 방출할 수 있어 바디(100)의 온도 상승을 방지할 수 있고, 그에 따라 인덕턴스 저하 등의 문제를 방지할 수 있다. 또한, 바디(100) 내부의 기재(200)을 금속 자성체로 형성함으로써 파워 인덕터의 투자율 감소를 방지할 수 있고, 바디(100)에 적어도 하나의 자성층(600)을 마련함으로써 파워 인덕터의 자성률을 향상시킬 수 있다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터의 제조 방법을 설명하기 위해 순서적으로 도시한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 기재(200)의 적어도 일면, 바람직하게는 일면 및 타면 상에 소정 형상의 코일 패턴(310, 320)을 형성한다. 기재(200)는 CCL 또는 금속 자성체 등으로 제작될 수 있는데, 실효 투자율을 증가시키고 용량 구현을 용이하게 할 수 있는 금속 자성체를 이용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 기재(200)는 철을 함유하는 금속 합금으로 이루어진 소정 두께의 금속판의 일면 및 타면에 구리 포일을 접합함으로써 제작될 수 있다. 또한, 코일 패턴(310, 320)은 기재(200)의 소정 영역, 예를 들어 중앙부로부터 원형의 스파이럴 형태로 형성된 코일 패턴으로 형성될 수 있다. 이때, 기재(200)의 일면 상에 코일 패턴(310)을 형성한 후 기재(200)의 소정 영역을 관통하고 도전 물질이 매립된 도전성 비아를 형성하고, 기재(200)의 타면 상에 코일 패턴(320)을 형성할 수 있다. 도전성 비아는 레이저 등을 이용하여 기재(200)의 두께 방향으로 비아홀을 형성한 후 비아홀에 도전성 페이스트를 충전하여 형성할 수 있다. 또한, 코일 패턴(310)은 예를 들어 도금 공정으로 형성할 수 있는데, 이를 위해 기재(200)의 일면 상에 소정 형상의 감광막 패턴을 형성하고 기재(200) 상의 구리 포일을 시드로 이용한 도금 공정을 실시하여 노출된 기재(200)의 표면으로부터 금속층을 성장시킨 후 감광막을 제거함으로써 형성할 수 있다. 물론, 코일 패턴(320)은 기재(200)의 타면 상에 코일 패턴(310)과 동일 방법으로 형성할 수 있다. 한편, 코일 패턴(310, 320)은 다층으로 형성될 수도 있다. 코일 패턴(310, 320)이 다층으로 형성될 경우 하층과 상층 사이에 절연층이 형성되고, 절연층에 도전성 비아(미도시)가 형성되어 다층 코일 패턴이 연결될 수 있다. 이렇게 기재(200)의 일면 및 타면 상에 코일 패턴(310, 320)을 각각 형성한 후 코일 패턴(310, 320)을 덮도록 절연층(500)을 형성한다. 절연층(500)은 에폭시, 폴리이미드 및 액정 결정성 폴리머로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 시트를 코일 패턴(310, 320) 상에 밀착함으로써 형성할 수 있다.
도 6을 참조하면, 금속 분말(110), 폴리머(120) 및 열 전도성 필러(130)를 포함하는 재료로 이루어진 복수의 시트(100a 내지 100h)를 제작하여 기재(200)을 사이에 두고 복수의 시트(100a 내지 100h)를 배치한다. 또한, 최상층 및 최하층 시트(100a, 100h)의 상부 및 하부에 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)을 각각 마련한다. 여기서, 금속 분말(110)은 철(Fe)를 포함하는 금속 물질을 이용할 수 있고, 폴리머(120)는 금속 분말(110) 사이를 절연할 수 있는 에폭시, 폴리이미드 등을 이용할 수 있으며, 열 전도성 필러(130)는 금속 분말(110)의 열을 외부로 방출시킬 수 있는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질 등을 이용할 수 있다. 또한, 금속 분말(110)의 표면이 자성체로 코팅될 수 있다. 여기서, 폴리머(120)는 금속 분말 100wt%에 대하여 2.0wt% 내지 5.0wt%의 함량으로 포함될 수 있고, 열 전도성 필러(130)는 금속 분말(110) 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함될 수 있다. 이러한 복수의 시트(100a 내지 100h)를 코일 패턴(310, 320)이 형성된 기재(200)의 상부 및 하부에 각각 배치한다. 한편, 복수의 시트(100a 내지 100h)는 열 전도성 필러(130)의 함량이 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 기재(200)의 일면 및 타면으로부터 상측 및 하측으로 갈수록 열 전도성 필러(130)의 함량이 높아질 수 있다. 즉, 기재(200)에 접하는 시트(100a, 100d)의 상측 및 하측에 위치하는 시트(100b, 100e)의 열 전도성 필러(130)의 함량이 시트(100a, 100d)의 열 전도성 필러(130)의 함량보다 높고, 시트(100b, 100e)의 상측 및 하측에 위치하는 시트(100c, 100f)의 열 전도성 필러(130)의 함량이 시트(100b, 100e)의 열 전도성 필러(130)의 함량보다 더 높을 수 있다. 이렇게 기재(200)으로부터 멀어질수록 열 전도성 필러(130)의 함량이 높아짐으로써 열 전달 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 시트(100a 내지 100h)보다 높은 투자율을 갖는 물질로 제작될 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)은 시트(100a 내지 100h)의 투자율보다 높은 투자율을 갖도록 자성 분말과 에폭시 수지를 이용하여 제작할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)에 열 전도성 필러가 더 포함되도록 할 수 있다.
도 7을 참조하면, 기재(200)을 사이에 두고 복수의 시트(100a 내지 100h) 및 제 1 및 제 2 자성층(610, 620)을 적층한 후 가압 및 성형하여 바디(100) 및 자성층(600)을 형성한다. 그리고, 바디(100) 양단부에 코일 패턴(310, 320)의 인출된 부분과 전기적으로 접속되도록 외부 전극(400)을 형성할 수 있다. 외부 전극(400)은 도전성 페이스트에 바디(100)를 침지하거나, 바디(10)의 양단부에 도전성 페이스트를 인쇄하거나, 증착 및 스퍼터링 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 여기서, 도전성 페이스트는 외부 전극(400)에 전기 전도성을 부여할 수 있는 금속 물질을 이용할 수 있다. 또한, 외부 전극(400)의 표면에는 필요시 니켈 도금층 및 주석 도금층을 더 형성할 수 있다.
본 발명은 상기에서 서술된 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 즉, 상기의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다.
100 : 바디 200 : 기재
310. 320 : 코일 패턴 400 : 외부 전극
500 : 절연층 600 : 자성층

Claims (14)

  1. 바디;
    상기 바디 내부에 마련된 기재;
    상기 기재의 적어도 일면 상에 마련된 코일 패턴; 및
    상기 바디에 마련된 복수의 자성층을 포함하고,
    상기 바디를 형성하기 위한 복수의 시트와 상기 복수의 자성층이 교대로 마련된 파워 인덕터.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 바디는 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 포함하는 파워 인덕터.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 금속 분말은 철을 포함하는 금속 합금 분말을 포함하는 파워 인덕터.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 열 전도성 필러는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 파워 인덕터.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 열 전도성 필러는 상기 금속 분말 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함되는 파워 인덕터.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 기재는 철을 포함하는 금속판의 양면 상에 구리 포일이 접합된 파워 인덕터.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 자성층은 상기 바디의 투자율보다 높은 투자율을 갖는 파워 인덕터.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 자성층은 열 전도성 필러를 포함하여 형성된 파워 인덕터.
  9. 청구항 1에 있어서, 상기 코일 패턴 상에 형성된 절연층과, 상기 바디의 외측에 형성되어 상기 코일 패턴과 연결된 외부 전극을 더 포함하고,
    상기 바디를 형성하기 위한 복수의 시트와 상기 복수의 자성층은 상기 기재를 사이에 두고 교대로 마련된 파워 인덕터.
  10. 바디;
    상기 바디 내부에 마련된 기재;
    상기 기재의 적어도 일면 상에 마련된 코일 패턴; 및
    상기 바디에 마련된 복수의 자성층을 포함하고,
    상기 바디를 형성하기 위한 복수의 시트와 상기 복수의 자성층이 교대로 마련되며,
    상기 기재는 철을 포함하는 금속판과, 상기 금속판의 양면 상에 접합된 구리 포일을 포함하는 파워 인덕터.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 바디는 금속 분말, 폴리머 및 열 전도성 필러를 포함하는 파워 인덕터.
  12. 청구항 11에 있어서, 상기 열 전도성 필러는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 파워 인덕터.
  13. 청구항 12에 있어서, 상기 열 전도성 필러는 상기 금속 분말 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함되는 파워 인덕터.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 자성층은 상기 바디의 투자율보다 높은 투자율을 갖는 파워 인덕터.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10431365B2 (en) * 2015-03-04 2019-10-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and method for manufacturing electronic component
JP6668931B2 (ja) * 2016-05-11 2020-03-18 Tdk株式会社 コイル部品
JP2018019062A (ja) * 2016-07-27 2018-02-01 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． インダクタ
JP2018182209A (ja) * 2017-04-19 2018-11-15 株式会社村田製作所 コイル部品
JP2019165169A (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 太陽誘電株式会社 コイル部品及び電子機器
KR102185058B1 (ko) * 2018-05-24 2020-12-01 삼성전기주식회사 코일부품 및 그 제조방법
KR102080651B1 (ko) * 2018-05-28 2020-02-24 삼성전기주식회사 코일 부품
KR102122925B1 (ko) * 2018-11-02 2020-06-15 삼성전기주식회사 코일 전자부품
CN109509613A (zh) * 2018-12-03 2019-03-22 惠州市金籁电子有限公司 一种一体成型电感器
US11631529B2 (en) 2019-03-19 2023-04-18 Tdk Corporation Electronic component and coil component
KR102172639B1 (ko) 2019-07-24 2020-11-03 삼성전기주식회사 코일 전자 부품

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006310812A (ja) * 2005-03-30 2006-11-09 Yasuyuki Agari 熱伝導性シート
JP2007067214A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Taiyo Yuden Co Ltd パワーインダクタ

Family Cites Families (76)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2909392B2 (ja) 1994-09-21 1999-06-23 日立金属株式会社 巻磁心およびこれを用いたパルストランス、ならびにインターフェース用ｐｃカード
JP3154041B2 (ja) 1995-03-27 2001-04-09 太陽誘電株式会社 チップ状インダクタ及びその製造方法
JP3423569B2 (ja) 1997-02-28 2003-07-07 太陽誘電株式会社 積層電子部品とその特性調整方法
JP3199006B2 (ja) 1997-11-18 2001-08-13 日本電気株式会社 層間絶縁膜の形成方法および絶縁膜形成装置
JP4115612B2 (ja) 1997-12-25 2008-07-09 松下電器産業株式会社 複合磁性体とその製造方法
DE69936827T2 (de) 1998-03-13 2007-12-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Baugruppe und verfahren zur herstellung
US6191468B1 (en) 1999-02-03 2001-02-20 Micron Technology, Inc. Inductor with magnetic material layers
US6566731B2 (en) 1999-02-26 2003-05-20 Micron Technology, Inc. Open pattern inductor
JP3301415B2 (ja) 1999-08-19 2002-07-15 株式会社村田製作所 チップ状電子部品
JP2001338813A (ja) 2000-05-29 2001-12-07 Tdk Corp 電子部品
JP4684461B2 (ja) 2000-04-28 2011-05-18 パナソニック株式会社 磁性素子の製造方法
JP2002158135A (ja) * 2000-11-16 2002-05-31 Tdk Corp 電子部品
JP2002231574A (ja) * 2001-02-05 2002-08-16 Murata Mfg Co Ltd 積層型セラミック電子部品の製造方法および積層型セラミック電子部品
US6459352B1 (en) 2001-02-08 2002-10-01 Skyworks Solutions, Inc. On-chip transformers
JP2003059719A (ja) 2001-08-16 2003-02-28 Denki Kagaku Kogyo Kk コイル回路付き金属ベース回路基板
JP2003282328A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄型磁性素子及びその製造方法並びにそれを用いた電源モジュール
KR100479625B1 (ko) 2002-11-30 2005-03-31 주식회사 쎄라텍 칩타입 파워인덕터 및 그 제조방법
US7452334B2 (en) 2002-12-16 2008-11-18 The Regents Of The University Of Michigan Antenna stent device for wireless, intraluminal monitoring
JP2004210936A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Tdk Corp プリプレグ、シート状樹脂硬化物及び積層体
JP2003297634A (ja) 2003-02-17 2003-10-17 Tdk Corp 電子部品
JP2005038872A (ja) 2003-07-15 2005-02-10 Nippon Avionics Co Ltd シート型トランス及び電子機器
KR20070032259A (ko) 2003-08-26 2007-03-21 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 인덕터 및 인덕터 제조 방법
SE0302427D0 (sv) 2003-09-09 2003-09-09 Hoeganaes Ab Iron based soft magnetic powder
JP4762531B2 (ja) 2004-11-30 2011-08-31 太陽誘電株式会社 電子部品及びその製造方法
JP2006273969A (ja) 2005-03-29 2006-10-12 Mitsui Chemicals Inc 硬化可能な組成物およびその用途
JP2007012969A (ja) 2005-07-01 2007-01-18 Shinji Kudo 積層コイルの製造方法及び積層コイル
DE102005039379B4 (de) 2005-08-19 2010-05-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Magnetisches Bauelement mit Spiralspule(n), Arrays solcher Bauelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung
JP2007091538A (ja) 2005-09-29 2007-04-12 Tdk Corp 非磁性Ｚｎフェライトおよびこれを用いた複合積層型電子部品
US7573362B2 (en) * 2005-10-11 2009-08-11 Hamilton Sunstrand Corporation High current, multiple air gap, conduction cooled, stacked lamination inductor
JP4784859B2 (ja) 2006-01-20 2011-10-05 日立金属株式会社 マルチフェーズコンバータ
JP2008072073A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Taiyo Yuden Co Ltd コイル部品
JP5348862B2 (ja) 2007-08-06 2013-11-20 新光電気工業株式会社 インダクタ素子
JP5082675B2 (ja) * 2007-08-23 2012-11-28 ソニー株式会社 インダクタおよびインダクタの製造方法
GB2457470A (en) 2008-02-13 2009-08-19 Pulse Medical Technologies Ltd Silver ion wound dressing with electromagnetic coil
JP2009302386A (ja) 2008-06-16 2009-12-24 Nec Tokin Corp 面実装インダクタ
JP5168560B2 (ja) 2008-06-30 2013-03-21 Ｔｄｋ株式会社 薄膜インダクタ及びその製造方法
TWI402868B (zh) 2009-05-27 2013-07-21 Delta Electronics Inc 具屏蔽功能之線圈及磁性元件
JP4749482B2 (ja) 2009-07-08 2011-08-17 Ｔｄｋ株式会社 複合電子部品
JP5131260B2 (ja) 2009-09-29 2013-01-30 株式会社村田製作所 積層型コイル装置
WO2011077601A1 (ja) * 2009-12-25 2011-06-30 株式会社タムラ製作所 圧粉磁心及びその製造方法
DE102010010819A1 (de) 2010-03-10 2011-09-15 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Parylen-Beschichtung
JP5593127B2 (ja) 2010-06-04 2014-09-17 Ｎｅｃトーキン株式会社 線輪部品
KR101151999B1 (ko) 2010-09-27 2012-06-01 주식회사 아모텍 적층형 파워 인덕터 및 이의 제조방법
WO2012053439A1 (ja) 2010-10-21 2012-04-26 Tdk株式会社 コイル部品及びその製造方法
JP5786120B2 (ja) 2010-11-15 2015-09-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 コモンモードノイズフィルタ
EP2661757A1 (en) 2011-01-04 2013-11-13 ÅAC Microtec AB Coil assembly comprising planar coil
JP5641230B2 (ja) 2011-01-28 2014-12-17 株式会社豊田自動織機 電子機器
KR101214749B1 (ko) 2011-04-25 2012-12-21 삼성전기주식회사 적층형 파워 인덕터
JP6127365B2 (ja) 2011-04-28 2017-05-17 住友電気工業株式会社 リアクトル、複合材料、リアクトル用コア、コンバータ、及び電力変換装置
KR20130017598A (ko) 2011-08-11 2013-02-20 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 제조 방법
JP5710427B2 (ja) 2011-08-31 2015-04-30 株式会社東芝 磁性材料、磁性材料の製造方法および磁性材料を用いたインダクタ素子
JP6090164B2 (ja) 2011-09-20 2017-03-08 大同特殊鋼株式会社 リアクトル及びこれに用いるコンパウンド
KR101541570B1 (ko) * 2011-09-30 2015-08-04 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 제조방법
KR101853135B1 (ko) 2011-10-27 2018-05-02 삼성전기주식회사 적층형 파워인덕터 및 이의 제조 방법
JP5450565B2 (ja) 2011-10-31 2014-03-26 東光株式会社 面実装インダクタ
KR20130077177A (ko) 2011-12-29 2013-07-09 삼성전기주식회사 파워 인덕터 및 그 제조방법
US9999369B2 (en) 2012-03-13 2018-06-19 Purdue Research Foundation Laser-scribed ferrogel sensor with magnetic particles
US9009951B2 (en) 2012-04-24 2015-04-21 Cyntec Co., Ltd. Method of fabricating an electromagnetic component
JP2013239542A (ja) 2012-05-15 2013-11-28 Nec Tokin Corp リアクトル
KR101541581B1 (ko) * 2012-06-28 2015-08-03 삼성전기주식회사 인덕터 및 인덕터 제조방법
KR20140003056A (ko) 2012-06-29 2014-01-09 삼성전기주식회사 파워 인덕터 및 그 제조방법
KR20140002355A (ko) * 2012-06-29 2014-01-08 삼성전기주식회사 인덕터 및 인덕터의 제조방법
JP6031854B2 (ja) 2012-07-04 2016-11-24 Tdk株式会社 コモンモードフィルタ
KR20140011693A (ko) 2012-07-18 2014-01-29 삼성전기주식회사 파워 인덕터용 자성체 모듈, 파워 인덕터 및 그 제조 방법
JP6115057B2 (ja) * 2012-09-18 2017-04-19 Tdk株式会社 コイル部品
JP6050667B2 (ja) * 2012-12-04 2016-12-21 デクセリアルズ株式会社 コイルモジュール、非接触電力伝送用アンテナユニット、及び電子機器
KR20140071770A (ko) 2012-12-04 2014-06-12 삼성전기주식회사 커먼 모드 노이즈 칩 필터 및 이의 제조방법
CN103035354B (zh) * 2012-12-25 2016-11-23 东北大学 一种无绝缘超导磁体
KR101983136B1 (ko) * 2012-12-28 2019-09-10 삼성전기주식회사 파워 인덕터 및 그 제조방법
KR20150005292A (ko) * 2013-07-05 2015-01-14 삼성전기주식회사 코일 부품
KR101445741B1 (ko) 2013-05-24 2014-10-07 주식회사 이노칩테크놀로지 회로 보호 소자
KR101983159B1 (ko) * 2013-11-28 2019-05-28 삼성전기주식회사 코일 부품 및 이의 제조 방법
KR101598256B1 (ko) 2013-12-04 2016-03-07 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
KR101942725B1 (ko) * 2014-03-07 2019-01-28 삼성전기 주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
KR102004791B1 (ko) * 2014-05-21 2019-07-29 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 실장기판
JP6381432B2 (ja) 2014-05-22 2018-08-29 新光電気工業株式会社 インダクタ、コイル基板及びコイル基板の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006310812A (ja) * 2005-03-30 2006-11-09 Yasuyuki Agari 熱伝導性シート
JP2007067214A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Taiyo Yuden Co Ltd パワーインダクタ

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