KR101576325B1

KR101576325B1 - 유리기판의 평탄면 형성장치

Info

Publication number: KR101576325B1
Application number: KR1020120049434A
Authority: KR
Inventors: 정욱
Original assignee: 주식회사 엘지화학
Priority date: 2012-05-10
Filing date: 2012-05-10
Publication date: 2015-12-21
Also published as: KR20130125865A

Abstract

생산성이 향상되고, 저비용으로 고품질의 유리기판을 얻을 수 있도록 한 유리기판의 평탄면 형성장치가 개시된다. 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 지지하는 지지부, 상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부, 상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러 및 상기 유리기판에 대하여 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 롤러 이송부를 포함한다.

Description

유리기판의 평탄면 형성장치{Apparatus for forming flatness of glass substrate using the same}

본 발명은 유리기판의 평탄면 형성장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판에 평탄면을 형성하는 유리기판의 평탄면 형성장치에 관한 것이다.

최근 디스플레이 장치로 각광받고 있는 PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등에는 유리기판이 사용된다.

이 중에서, TFT LCD(Thin film Transistor Liquid Crystal Display)에 사용되는 유리기판은 TFT 어레이와 컬러필터에 부착되는 기판으로, TFT LCD 패널의 핵심소재로 사용된다. 따라서 유리기판은 육안으로는 구분이 불가능할 정도의 평탄한 표면과 열에 의한 변형이 없어야 하는 등의 고품질의 특성이 필요하다.

하지만, 유리기판이 생산되는 과정에서 유리기판 표면에는 용융 결함이 발생되고, 용융 결함은 유리기판이 디스플레이 장치에 사용되기 곤란한 문제점으로 작용한다. 따라서 종래에는 용융 결함을 제거하기 위해 유리기판 표면을 연마하여 유리기판에 일정 수준의 평탄도(waviness)가 확보되도록 한다. 이와 같이 유리기판 표면을 연마하는 장치에 대해서는 이미 "대한민국 등록특허 10-0952324호" 등에 개시된 바 있다. 상기 등록특허와 같이 종래에는 유리기판을 직접 연마하여 유리기판에 평탄면을 형성한다.

하지만, 요구되는 두께 및 평탄도를 얻기 위해, 비교적 경질(硬質) 재료에 속하는 유리기판을 직접 연마해야 하며, 고가의 연마패드와 슬러리(slurry)가 사용되어야 하므로, 생산비용이 높아지는 문제점이 있다.

또한, 유리기판을 직접 연마되는데 소요되는 시간 또한 지연되어 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 등록특허 10-0952324호(2009. 08. 21. 공개)

본 발명의 목적은 생산성이 향상되고, 저비용으로 고품질의 유리기판을 얻을 수 있도록 한 유리기판의 평탄면 형성장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 지지하는 지지부, 상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부, 상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러 및 상기 유리기판에 대하여 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 롤러 이송부를 포함한다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 평탄면 형성롤러를 지지하는 프레임을 더 포함하며, 상기 롤러 이송부는 상기 프레임을 지지하고 상기 프레임을 승강시키는 승강유닛 및 상기 승강유닛을 지지하고 상기 승강유닛을 상기 유리기판의 평면 방향으로 이송하는 평면 이송유닛을 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되는 도포롤러 및 상기 도포롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 사이에 배치되고 상기 프레임에 설치되어 상기 도폴롤러로부터 전이되는 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러를 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 액상원료가 수용되며, 상기 도포롤러의 표면에 상기 액상원료가 도포되도록 설치되는 원료용기를 더 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 도포롤러의 표면으로 상기 액상원료를 분사하는 원료분사유닛을 더 포함할 수 있다,

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 프레임에 설치되고 상기 도포롤러와 상기 압출롤러의 간격이 조절되도록 상기 압출롤러의 위치를 가변시키는 제 1간격조절유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 제 2간격조절유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되며, 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러 및 상기 액상원료를 상기 압출롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛을 포함할 수 있다.

상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 간격조절유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 프레임에 설치되고 상기 액상원료를 상기 평탄면 형성롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛을 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 평탄면 형성롤러의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치되고, 상기 프레임에 설치되어 상기 평탄면 형성롤러와 함께 이송되며, 상기 유리기판의 표면을 세정하는 적어도 하나의 세정유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 세정유닛은 상기 유리기판을 향해 개방되어 에어(Air), 불황성 가스를 분사하는 분사노즐 및 상기 유리기판을 향해 개방되어 상기 유리기판으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐을 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 평탄면 형성롤러의 내부에 설치되고 상기 표면층을 경화시키는 경화모듈을 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 지지하는 지지부, 상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부, 상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러 및 상기 평탄면 형성롤러에 대하여 상기 지지부의 위치를 가변시키는 유리기판 이송부를 포함한다.

상기 유리기판 이송부는 상기 유리기판의 평면방향으로 배치되는 이송레일;및 상기 지지부를 지지하고 상기 이송레일을 따라 이송되는 이송대차를 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 평탄면 형성롤러를 지지하는 프레임 및 상기 프레임을 지지하고 상기 프레임을 승강시키는 승강유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 프레임에 지지되고, 표면에 상기 액상원료가 도포되는 도포롤러 및 상기 도포롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 사이에 배치되어 상기 도폴롤러로부터 전이되는 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러를 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 도포롤러의 표면으로 상기 액상원료를 분사하는 원료분사유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 간격조절유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 원료 공급부는 상기 액상원료를 상기 평탄면 형성롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛을 포함할 수 있다.

상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 평탄면 형성롤러의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치되고, 상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판의 표면을 세정하는 적어도 하나의 세정유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 세정유닛은 상기 유리기판을 향해 개방되어 에어(Air), 또는 불황성 가스를 분사하는 분사노즐 및 상기 유리기판을 향해 개방되어 상기 유리기판으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐을 포함할 수 있다.

상기 평탄면 형성롤러의 내부에 설치되고 상기 표면층을 경화시키는 경화모듈을 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 지지하는 지지부, 상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부, 상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러, 상기 유리기판에 대하여 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 롤러 이송부 및 상기 유리기판의 평면방향으로 이송되는 상기 평탄면 형성롤러의 반대방향으로 상기 지지부의 위치를 가변시키는 유리기판 이송부를 포함한다.

본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 고품질의 유리기판을 생산할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 생산성이 향상되는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 생산비용을 절감할 수 있다.

도 1은 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 2는 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이다.
도 3은 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.
도 4는 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 5는 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이다.
도 6은 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.
도 7은 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 8은 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이다.
도 9는 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.
도 10은 제 4실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 11은 제 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

먼저, 이하에서 설명되는 실시예들에는 다수의 리니어 액츄에이터(Linear actuator)가 설치될 수 있다. 리니어 액츄에이터로는 랙 앤 피니온(Rack & pinion) 및 회전모터의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터, 또는 가이드이송레일, 볼 스크류 및 회전모터의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터, 또는 가이드이송레일 및 유/공압실린더의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터 등을 사용할 수 있다.

도 1은 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(이하, '평탄면 형성장치'라 함.)(100)은 지지부(110), 원료 공급부(120), 평탄면 형성롤러(130) 및 롤러 이송부(150)를 포함한다.

지지부(110)는 유리기판(10)을 지지한다. 지지부(110)는 정반(111) 및 정반(111) 위에 설치되는 척킹모듈(113)을 포함할 수 있다. 척킹모듈(113)로는 정전기력에 의해 유리기판(10)을 지지하는 정전척, 진공 흡착력에 유리기판(10)을 지지하는 진공척, 유리기판(10)의 적어도 세 측면을 기계적으로 클램핑하는 클램프 등이 사용될 수 있다. 이러한 척킹모듈(113)은 이미 이 기술 분야에서 널리 알려진 기술이므로 상세한 설명은 생략하도록 한다.

원료 공급부(120)는 유리기판(10)의 표면을 이루는 표면층(20)의 액상원료(21)을 공급한다. 원료 공급부(120)는 원료용기(121), 도포롤러(123) 및 압출롤러(125)를 포함한다.

원료용기(121)의 내부에는 액상원료(21)가 수용된다. 액상원료(21)는 광 경화성 원료, 또는 열 경화성 원료를 사용할 수 있다. 액상원료(21)는 롤러의 표면에 점착될 수 있는 정도의 점도를 가질 수 있다.

도포롤러(123)는 원료용기(121)에 수용된 액상원료(21)가 표면에 도포될 수 있는 위치에 설치된다. 따라서 액상원료(21)는 도포롤러(123)의 회전에 따라 도포롤러(123)의 표면에 도포될 수 있다. 압출롤러(125)는 도포롤러(123)에 맞물리도록 설치된다. 따라서 도포롤러(123)에 도포된 액상원료(21)는 도포롤러(123)로부터 압출롤러(125)로 전이될 수 있다. 압출롤러(125)는 이후에 설명될 평탄면 형성롤러(130)에 의해 형성되는 표면층(20)이 0.1~70㎛의 두께를 가질 수 있도록 액상원료(21)를 압출시킨다.

상술된 설명에서 액상원료(21)는 원료용기(121)에 수용되고, 도포롤러(123)가 회전됨에 따라 액상원료(21)는 도포롤러(123)의 표면에 도포되는 것으로 설명하고 있으나, 원료 공급부(120)는 액상원료(21)를 도포롤러(123)로 분사하는 원료분사유닛(127)을 포함하고, 액상원료(21)는 도포롤러(123)에 분사되어 도포롤러(123)의 표면에 도포되도록 변형실시 될 수 있다.

한편, 평탄면 형성롤러(130)는 액상원료(21)를 반경화시켜 표면층(20)을 유리기판(10)에 적층시키고, 표면층(20)에 구름 접촉되어 표면층(20)이 유리기판(10)에 합착되도록 한다.

평탄면 형성롤러(130)는 압출롤러(125)에 맞물리도록 설치된다. 따라서 압출롤러(125)로부터 압출되는 액상원료(21)는 압출롤러(125)로부터 평탄면 형성롤러(130)로 전이될 수 있다. 평탄면 형성롤러(130)의 외벽은 액상원료(21)에 따라 그 재질이 선택될 수 있다.

즉, 액상원료(21)가 광 경화성 원료로 사용될 경우, 평탄면 형성롤러(130)의 외벽은 광 투과성 재질, 예를 들어 PCV(PolyVinyl Vhloride), 유리 등이 사용될 수 있다. 액상원료(21)가 열 경화성 원료로 사용될 경우, 평탄면 형성롤러(130)의 외벽은 열 전도성 재질, 예를 들어 SUS(Steel Use Stainless), Steel 등의 금속 재질이 사용될 수 있다.

이와 함께, 평탄면 형성롤러(130)는 액상원료(21)가 변성되어 반경화상태의 표면층(20)이 형성되도록 그 내부에는 경화모듈(131)이 설치될 수 있다. 평탄면 형성롤러(130)의 외벽이 광 투과성 재질로 이루어질 경우, 경화모듈(131)은 평탄면 형성롤러(130)의 외측을 향해 광을 조사하는 광원을 사용할 수 있다. 평탄면 형성롤러(130)의 외벽이 열 전도성 재질로 이루어질 경우, 경화모듈(131)은 평탄면 형성롤러(130)의 외측을 향해 열을 조사하는 열원을 사용할 수 있다.

또한, 평탄면 형성롤러(130)의 외주면에 접촉되는 표면층(20)의 접촉면에는 평탄면이 형성될 수 있도록 평탄면 형성롤러(130)의 외주면은 별도의 코팅, 도금, 연마 등의 처리를 통해 제조될 수 있다. 따라서 평탄면 형성롤러(130)의 외주면에 접촉되는 표면층(20)의 접촉면은 0.01~0.2㎛ 이하의 평탄도(Waviness)를 가질 수 있다.

이러한 원료 공급부(120)와 평탄면 형성롤러(130)는 프레임(140)에 함께 지지될 수 있다. 즉, 원료용기(121) 또는 분사유닛(127), 도포롤러(123), 압출롤러(125) 및 평탄면 형성롤러(130)는 프레임(140)에 지지될 수 있다. 이때, 프레임(140)에는 제 1간격조절유닛(141) 및 제 2간격조절유닛(143)이 설치될 수 있다. 제 1간격조절유닛(141)은 압출롤러(125)와 도포롤러(123)의 간격을 조절한다. 제 1간격조절유닛(141)으로는 압출롤러(125)의 회전축을 지지하고 압출롤러(125)의 회전축을 이동시키는 리니어 액츄에이터를 사용할 수 있다. 제 2간격조절유닛(143)은 평탄면 형성롤러(130)와 압출롤러(125)의 간격을 조절한다. 제 2간격조절유닛(143)으로는 평탄면 형성롤러(130)의 회전축을 지지하고 평탄면 형성롤러(130)의 회전축을 이동시키는 리니어 액츄에이터를 사용할 수 있다.

롤러 이송부(150)는 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압할 수 있도록 유리기판(10)과 평탄면 형성롤러(130)의 간격을 조절하며, 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)의 전면적에 대하여 구름 가압할 수 있도록 유리기판(10)에 대하여 평탄면 형성롤러(130)의 위치를 가변시킨다. 롤러 이송부(150)는 승강유닛(151) 및 평면 이송유닛(153)을 포함한다.

승강유닛(151)은 프레임(140)을 지지하고 프레임(140)을 승강시킨다. 승강유닛(151)은 프레임(140)을 승강시키도록 설치되는 리니어 액츄에이터를 사용할 수 있다. 승강유닛(151)에 의해 프레임(140)이 승강됨에 따라, 평탄면 형성롤러(130)는 유리기판(10)과의 간격이 조절될 수 있다. 이에 따라 평탄면 형성롤러(130)에는 가압력이 부여되고, 표면층(20)은 유리기판(10)에 원활하게 합착될 수 있다.

평면 이송유닛(153)은 승강유닛(151)을 지지하고, 승강유닛(151)을 유리기판(10)의 평면방향으로 이송한다. 평면 이송유닛(153)은 승강유닛(151)을 유리기판(10)의 평면방향으로 이송하도록 설치되는 리니어 액츄에이터를 사용할 수 있다. 평면 이송유닛(153)에 의해 승강유닛(151)이 유리기판의 평면방향으로 이송됨에 따라, 평탄면 형성롤러(130)는 표면층(20)의 전면적에 대하여 표면층(20)을 구름 가압할 수 있다.

한편, 프레임(140)에는 세정유닛(160)이 추가로 설치될 수 있다. 세정유닛(160)은 평탄면 형성롤러(130)의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치될 수 있다. 세정유닛(160)은 유리기판(10)으로 에어(Air) 또는 질소(N₂)불활성가스를 분사하는 분사노즐(161)과, 유리기판(10)으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐(163)을 포함할 수 있다.

이하, 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 동작에 대해 설명하도록 한다.

도 2는 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이며, 도 3은 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 유리기판(10)은 지지부(110)에 지지된다. 척킹모듈(113)은 유리기판(10)이 견고하게 지지되도록 한다.

이와 같이 유리기판(10)이 지지부(110)에 지지되면, 승강유닛(151)은 세정유닛(160)의 분사노즐(161) 및 흡입노즐(163)이 유리기판(10)에 근접하도록 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 평면 이송유닛(153)은 승강유닛(151)을 유리기판(10)의 평면방향으로 이송한다. 이때, 세정유닛(160)은 유리기판(10)의 표면을 세정한다. 즉, 분사노즐(161)로부터 유리기판(10)으로 에어, 또는 불활성가스가 분사되어 유리기판(10) 표면에 남아 있는 이물질이 유리기판(10)으로부터 이탈되고, 유리기판(10)으로부터 이탈되는 이물질은 흡입노즐(163)을 통해 흡입된다.

이와 같이 유리기판(10) 표면이 세정되면, 원료 공급부(120)는 액상원료(21)를 공급한다. 즉, 액상원료(21)는 도포롤러(123)의 표면에 도포된다. 도포롤러(123)에 도포된 액상원료(21)는 압출롤러(125)로 전이된다. 액상원료(21)는 압출롤러(125)에 의해 압출되며, 평탄면 형성롤러(130)로 전이된다. 액상원료(21)는 평탄면 형성롤러(130)에 의해 반경화된 표면층(20)으로 변성된다. 이때, 표면층(20)은 평탄면 형성롤러(130)에 접촉되는 접촉면에 평탄면이 형성된다. 이와 같이 일면에 평탄면이 형성되는 표면층(20)은 선단이 유리기판(10)에 적층된다.

이어, 승강유닛(151)은 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압할 수 있는 위치로 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 평면 이송유닛(153)은 평탄면 형성롤러(130)를 유리기판(10)의 평면방향으로 이송한다.

이와 같이 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압하는 상태에서, 평면 이송유닛(153)에 의해 평탄면 형성롤러(130)는 표면층(20)에 구름 가압하고, 표면층(20)은 유리기판(10)에 합착된다.

상술된 바와 같은 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(100)는 내부에 지지부(110)가 설치되는 챔버(미도시)와, 유리기판(10)을 챔버(미도시)의 내부로 반입하는 이송로봇(미도시)을 포함하여 오프라인 배치(Off-line Batch) 방식으로 유리기판(10)에 평탄면을 형성할 수 있다. 이와 같이 오프라인 배치 방식으로 유리기판(10)에 평탄면을 형성하면, 청정도가 확보된 공정환경 속에서 양질의 유리기판(10)을 제조할 수 있다.

이하, 다른 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치에 대해 상세히 설명하도록 한다. 이하의 설명에서는 상술된 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치에 대한 설명에서 설명된 유사한 구성요소에 대해서는 동일 참조부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략하도록 한다. 따라서, 이하의 설명에서 상세한 설명이 생략된 구성요소에 대해서는 상술된 제 1실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다.

도 4는 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

도 4를 참조하면, 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(이하, '평탄면 형성장치'라 함.)(200)는 평탄면 형성롤러(130)에 대하여 유리기판(10)을 이송하면서 표면층(20)을 유리기판(10)에 합착시킬 수 있다. 즉, 평탄면 형성장치(200)는 상술된 평면 이송유닛(153)의 구성을 생략하고, 유리기판 이송부(210)를 포함할 수 있다.

유리기판 이송부(210)는 지지부(110)를 지지하고, 평탄면 형성롤러(130)에 대하여 지지부(110)를 이송한다. 유리기판 이송부(210)는 이송레일(211) 및 이송대차(213)를 포함한다. 이송레일(211)은 유리기판(10)의 평면방향으로 배치된다. 지지부(110)를 지지하고 이송레일(211)을 따라 이송되는 이송대차(213)를 포함한다.

도 5는 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이며, 도 6은 제 2실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 유리기판(10)은 지지부(110)에 지지된다. 척킹모듈(113)은 유리기판(10)이 견고하게 지지되도록 한다.

이와 같이 유리기판(10)이 지지부(110)에 지지되면, 유리기판 이송부(210)는 평탄면 형성롤러(130)의 하측에 유리기판(10)이 위치하도록 지지부(110)를 이송한다.

이어, 승강유닛(151)은 세정유닛(160)의 분사노즐(161) 및 흡입노즐(163)이 유리기판(10)에 근접하도록 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 유리기판 이송부(210)는 지지부(110)를 유리기판(10)의 평면방향으로 이송한다. 이때, 세정유닛(160)은 유리기판(10)의 표면을 세정한다. 즉, 분사노즐(161)로부터 유리기판(10)으로 에어, 또는 불활성가스가 분사되어 유리기판(10) 표면에 남아 있는 이물질이 유리기판(10)으로부터 이탈되고, 유리기판(10)으로부터 이탈되는 이물질은 흡입노즐(163)을 통해 흡입된다.

이와 같이 유리기판(10) 표면이 세정되면, 원료 공급부(120)는 일면에 평탄면이 형성되는 표면층(20)을 공급한다. 즉, 액상원료(21)는 도포롤러(123)의 표면에 도포된다. 도포롤러(123)에 도포된 액상원료(21)는 압출롤러(125)로 전이된다. 액상원료(21)는 압출롤러(125)에 의해 압출되며, 평탄면 형성롤러(130)로 전이된다. 액상원료(21)는 평탄면 형성롤러(130)에 의해 반경화된 표면층(20)으로 변성된다. 이때, 표면층(20)은 평탄면 형성롤러(130)에 접촉되는 접촉면에 평탄면이 형성된다. 이와 같이 일면에 평탄면이 형성되는 표면층(20)은 선단이 유리기판(10)에 적층된다.

이어, 승강유닛(151)은 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압할 수 있는 위치로 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 유리기판 이송부(210)는 지지부(110)를 유리기판(10)의 평면방향으로 이송한다.이와 같이 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압하는 상태에서, 유리기판 이송부(210)에 의해 지지부(110)가 유리기판(10)의 평면 방향으로 이송됨에 따라 평탄면 형성롤러(130)는 표면층(20)에 구름 가압하고, 표면층(20)은 유리기판(10)에 합착된다.

도 7은 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

도 7을 참조하면, 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(이하, '평탄면 형성장치'라 함.)은 상술된 바와 같은 롤러 이송부(150)와 유리기판 이송부(210)를 포함할 숭 있다. 롤러 이송부(150)는 유리기판(10)에 대하여 평탄면 형성롤러(130)의 위치를 가변시키며, 유리기판 이송부(210)는 평탄면 형성롤러(130)에 대하여 유리기판(10)의 위치를 가변키면서 표면층(20)을 유리기판(10)에 합착시킬 수 있다.

도 8은 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 유리기판과 평탄면 형성롤러의 간격조절 동작을 나타낸 도면이며, 도 9는 제 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 평탄면 형성롤러의 구름 가압 동작을 나타낸 도면이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 유리기판(10)은 지지부(110)에 지지된다. 척킹모듈(113)은 유리기판(10)이 견고하게 지지되도록 한다.

이어, 승강유닛(151)은 세정유닛(160)의 분사노즐(161) 및 흡입노즐(163)이 유리기판(10)에 근접하도록 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 유리기판 이송부(210)는 지지부(110)를 유리기판(10)의 평면방향으로 이송하며, 평면 이송유닛(153)은 유리기판(10)이 이송되는 방향의 반대방향으로 승강유닛(151)을 이송한다. 이때, 세정유닛(160)은 유리기판(10)의 표면을 세정한다. 즉, 분사노즐(161)로부터 유리기판(10)으로 에어, 또는 불활성가스가 분사되어 유리기판(10) 표면에 남아 있는 이물질이 유리기판(10)으로부터 이탈되고, 유리기판(10)으로부터 이탈되는 이물질은 흡입노즐(163)을 통해 흡입된다.

이어, 승강유닛(151)은 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압할 수 있는 위치로 프레임(140)을 승강시킨다. 그리고 유리기판 이송부(210)는 지지부(110)를 유리기판(10)의 평면방향으로 이송하며, 평면 이송유닛(153)은 유리기판(10)이 이송되는 방향의 반대방향으로 승강유닛(151)을 이송한다.

이와 같이 평탄면 형성롤러(130)가 표면층(20)을 가압하는 상태에서, 유리기판 이송부(210)에 의해 지지부(110)가 유리기판(10)의 평면 방향으로 이송되고, 승강유닛(151)이 유리기판(10)이 이송되는 방향의 반대방향으로 이송됨에 따라 평탄면 형성롤러(130)는 표면층(20)에 구름 가압하고, 표면층(20)은 유리기판(10)에 합착된다.

상술된 바와 같은 제 2, 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(200, 300)는 유리기판(10)이 이송되는 인라인(In-line) 방식으로 유리기판(10)에 평탄면을 형성할 수 있다. 이와 같이 인라인 방식으로 유리기판(10)에 평탄면을 형성하면, 공정의 연속성이 부여되어 유리기판(10)의 생산성이 향상될 수 있다.

도 10은 제 4실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

도 10을 참조하면, 제 4실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(400)의 원료 공급부(120)는 평탄면 형성롤러(130)의 표면으로 액상원료를 직접 분사하는 원료분사유닛(127)을 포함할 수 있다.

제 4실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(400)의 원료공급부(120)는 상술된 바와 같은 제 1, 2, 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(100, 200, 300)의 원료 공급부(120)에 대체되어 평탄면 형성롤러(130)로 액상원료를 공급하도록 변형실시될 수 있다.

도 11은 제 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.

도 11을 참조하면, 제 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(500)의 원료 공급부(120)는 평탄면 형성롤러(130)에 맞물려 회전되는 압출롤러(125)와, 압출롤러(125)의 표면으로 액상원료를 직접 분사하는 원료분사유닛(127)을 포함할 수 있다.

제 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(500)의 원료공급부(120)는 상술된 바와 같은 제 1, 2, 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(100, 200, 300)의 원료 공급부(120)에 대체되어 압출롤러(125)로 액상원료가 분사되고, 압출롤러(125)에 의해 압출되는 액상원료가 평탄면 형성롤러(130)로 공급되도록 변형실시될 수 있다.

이러한 제 4, 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(400, 500)는 상술된 제 1, 2, 3실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(100, 200, 300)과 원료 공급부(120)의 구성 및 액상원료의 공급동작에서 미차를 가질 뿐, 대부분의 구성 및 동작이 대동소이하므로 상세한 설명은 생략하도록 한다.

상술된 바와 같은 제 4, 5실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치(400, 500)는 비교적 러프(rough)한 유리기판(10)의 평탄도가 요구되는 경우, 간편한 구성으로도 유리기판(10)에 평탄면을 형성하는데 사용될 수 있다.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.

10 : 유리기판 20 : 표면층
100 : 유리기판의 평탄면 형성장치
110 : 지지부 111 : 정반
113 : 척킹모듈 120 : 원료 공급부
121 : 원료용기 123 : 도포롤러
125 : 압출롤러 127 : 분사유닛
130 : 평탄면 형성롤러 131 : 경화모듈
140 : 프레임 141 : 제 1간격조절유닛
143 : 제 2간격조절유닛 150 : 롤러 이송부
151 : 승강유닛 153 : 평면 이송유닛
160 : 세정모듈 161 : 분사노즐
163 : 흡입노즐 210 : 유리기판 이송부
211 : 이송레일 213 : 이송대차

Claims

유리기판을 지지하는 지지부;
상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부;
상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러;
상기 유리기판에 대하여 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 롤러 이송부; 및
상기 평탄면 형성롤러를 지지하는 프레임을 포함하고,
상기 롤러 이송부는
상기 프레임을 지지하고 상기 프레임을 승강시키는 승강유닛;및
상기 승강유닛을 지지하고 상기 승강유닛을 상기 유리기판의 평면 방향으로 이송하는 평면 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
삭제
제 1항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되는 도포롤러;및
상기 도포롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 사이에 배치되고 상기 프레임에 설치되어 상기 도포롤러로부터 전이되는 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 3항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 액상원료가 수용되며, 상기 도포롤러의 표면에 상기 액상원료가 도포되도록 설치되는 원료용기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 3항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 도포롤러의 표면으로 상기 액상원료를 분사하는 원료분사유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 3항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 도포롤러와 상기 압출롤러의 간격이 조절되도록 상기 압출롤러의 위치를 가변시키는 제 1간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 3항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 제 2간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되며, 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;및
상기 액상원료를 상기 압출롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 8항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 설치되고 상기 액상원료를 상기 평탄면 형성롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서,
상기 평탄면 형성롤러의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치되고, 상기 프레임에 설치되어 상기 평탄면 형성롤러와 함께 이송되며, 상기 유리기판의 표면을 세정하는 적어도 하나의 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 11항에 있어서, 상기 세정유닛은
상기 유리기판을 향해 개방되어 에어(Air), 불황성 가스를 분사하는 분사노즐;및
상기 유리기판을 향해 개방되어 상기 유리기판으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서, 상기 평탄면 형성롤러의 내부에 설치되고 상기 표면층을 경화시키는 경화모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
유리기판을 지지하는 지지부;
상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부;
상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러;
상기 평탄면 형성롤러에 대하여 상기 지지부의 위치를 가변시키는 유리기판 이송부;
상기 평탄면 형성롤러를 지지하는 프레임;및
상기 프레임을 지지하고 상기 프레임을 승강시키는 승강유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 14항에 있어서, 상기 유리기판 이송부는
상기 유리기판의 평면방향으로 배치되는 이송레일;및
상기 지지부를 지지하고 상기 이송레일을 따라 이송되는 이송대차;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
삭제
제 14항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고, 표면에 상기 액상원료가 도포되는 도포롤러;및
상기 도포롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 사이에 배치되어 상기 도포롤러로부터 전이되는 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 17항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 액상원료가 수용되며, 상기 도포롤러의 표면에 상기 액상원료가 도포되도록 설치되는 원료용기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 17항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 도포롤러의 표면으로 상기 액상원료를 분사하는 원료분사유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 14항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되며, 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;및
상기 액상원료를 상기 압출롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 20항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 액상원료를 상기 평탄면 형성롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 14항에 있어서,
상기 평탄면 형성롤러의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치되고, 상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판의 표면을 세정하는 적어도 하나의 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 23항에 있어서, 상기 세정유닛은
상기 유리기판을 향해 개방되어 에어(Air), 또는 불황성 가스를 분사하는 분사노즐;및
상기 유리기판을 향해 개방되어 상기 유리기판으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 1항에 있어서, 상기 평탄면 형성롤러의 내부에 설치되고 상기 표면층을 경화시키는 경화모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
유리기판을 지지하는 지지부;
상기 유리기판의 표면을 이루는 표면층의 액상원료를 공급하는 원료 공급부;
상기 액상원료를 반경화시켜 상기 유리기판에 상기 표면층을 적층시키고 상기 표면층을 구름 가압하여 상기 표면층에 평탄면을 형성하는 평탄면 형성롤러;
상기 유리기판에 대하여 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 롤러 이송부;
상기 유리기판의 평면방향으로 이송되는 상기 평탄면 형성롤러의 반대방향으로 상기 지지부의 위치를 가변시키는 유리기판 이송부; 및
상기 평탄면 형성롤러를 지지하는 프레임을 포함하고,
상기 롤러 이송부는
상기 프레임을 지지하고 상기 프레임을 승강시키는 승강유닛;및
상기 승강유닛을 지지하고 상기 승강유닛을 상기 유리기판의 평면 방향으로 이송하는 평면 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
삭제
제 26항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되는 도포롤러;및
상기 도포롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 사이에 배치되고 상기 프레임에 설치되어 상기 도폴롤러로부터 전이되는 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 28항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 액상원료가 수용되며, 상기 도포롤러의 표면에 상기 액상원료가 도포되도록 설치되는 원료용기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 28항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 도포롤러의 표면으로 상기 액상원료를 분사하는 원료분사유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 28항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 도포롤러와 상기 압출롤러의 간격이 조절되도록 상기 압출롤러의 위치를 가변시키는 제 1간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 28항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 제 2간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 26항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 지지되고 표면에 상기 액상원료가 도포되며, 상기 액상원료가 상기 평탄면 형성롤러로 압출되도록 하는 압출롤러;및
상기 액상원료를 상기 압출롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 33항에 있어서,
상기 프레임에 설치되고 상기 압출롤러와 상기 평탄면 형성롤러의 간격이 조절되도록 상기 평탄면 형성롤러의 위치를 가변시키는 간격조절유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 26항에 있어서, 상기 원료 공급부는
상기 프레임에 설치되고 상기 액상원료를 상기 평탄면 형성롤러의 표면으로 분사하는 원료분사유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 26항에 있어서, 상기 유리기판 이송부는
상기 유리기판의 평면방향으로 배치되는 이송레일;및
상기 지지부를 지지하고 상기 이송레일을 따라 이송되는 이송대차;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 26항에 있어서,
상기 평탄면 형성롤러의 전방, 또는 후방 중 적어도 어느 한 측에 배치되고, 상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판의 표면을 세정하는 적어도 하나의 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 37항에 있어서, 상기 세정유닛은
상기 유리기판을 향해 개방되어 에어(Air), 또는 불황성 가스를 분사하는 분사노즐;및
상기 유리기판을 향해 개방되어 상기 유리기판으로부터 이탈되는 이물질을 흡입하는 흡입노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.
제 26항에 있어서, 상기 평탄면 형성롤러의 내부에 설치되고 상기 표면층을 경화시키는 경화모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성장치.